JP2000229408A - Method for manufacturing liquid discharge head, liquid discharge head, head cartridge, and liquid discharge recording apparatus - Google Patents
Method for manufacturing liquid discharge head, liquid discharge head, head cartridge, and liquid discharge recording apparatusInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オリフィスプレートに多数の吐出口、および
流路内にそれぞれ進入させる多数の凸部を形成するため
にオリフィスプレートを分割せずにオリフィスプレート
を作製することが可能となる液体吐出ヘッドの製造方法
を実現する。
【解決手段】 押出成形機のダイから溶融樹脂をフィル
ム状に押出し、押出されたフィルム状樹脂に、所定の形
状のレリーフ型を備えたロールを押圧することで、その
レリーフ型によってフィルム状樹脂3に複数の吐出口4
1および複数の凸部45を形成する。それぞれの凸部4
5は吐出口41ごとに独立してそれぞれの吐出口41の
周囲に形成される。フィルム状樹脂3に吐出口41およ
び凸部45を形成してなるオリフィスプレートが、ヘッ
ド本体に備えられた流路内に凸部45が進入して嵌合す
るように接着剤によりヘッド本体に接合されることで、
液体吐出ヘッドが製造される。
(57) [Problem] To form an orifice plate without dividing the orifice plate in order to form a large number of discharge ports in the orifice plate and a large number of convex portions each of which enters the flow path. And a method for manufacturing a liquid discharge head. SOLUTION: A molten resin is extruded into a film form from a die of an extruder, and a roll provided with a relief mold having a predetermined shape is pressed on the extruded film resin, so that the resin film 3 is formed by the relief mold. Multiple outlets 4
One and a plurality of convex portions 45 are formed. Each convex part 4
5 is formed around each discharge port 41 independently for each discharge port 41. An orifice plate formed by forming a discharge port 41 and a convex portion 45 in the film-like resin 3 is bonded to the head main body by an adhesive so that the convex portion 45 enters and fits into a flow path provided in the head main body. Being done
A liquid ejection head is manufactured.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液体を飛翔液滴と
して噴射して液滴を被記録媒体に付着させることにより
記録を行う液体吐出ヘッドの製造方法や、その製造方法
により製造された液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッド
を有するヘッドカートリッジおよび液体吐出記録装置に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a liquid discharge head for performing recording by ejecting liquid as flying droplets and attaching the droplets to a recording medium, and a liquid manufactured by the method. The present invention relates to a discharge head, a head cartridge having the liquid discharge head, and a liquid discharge recording apparatus.
【0002】また本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮
革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス
等の被記録媒体に対して記録を行う、プリンタ、複写
機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を
有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装
置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用できる液
体吐出ヘッドの製造方法や、その製造方法により製造さ
れた液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドを有するヘッ
ドカートリッジおよび液体吐出記録装置に関する。な
お、本発明における『記録』とは、文字や図形など意味
を持つ画像を被記録媒体に形成することだけでなく、パ
ターン等の意味を持たない画像を被記録材に形成するこ
とも意味する。[0002] The present invention also provides a facsimile machine having a printer, a copying machine, a communication system, which performs recording on a recording medium such as paper, thread, fiber, cloth, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics, etc. A device such as a word processor having a printer unit, and a method of manufacturing a liquid discharge head applicable to an industrial recording device combined with various processing devices, and a liquid discharge head manufactured by the method, and a liquid discharge head manufactured by the method. Cartridge and a liquid ejection recording apparatus having the same. Note that “recording” in the present invention means not only forming an image having a meaning such as a character or a figure on a recording medium, but also forming an image having no meaning such as a pattern on a recording material. .
【0003】[0003]
【従来の技術】従来より、液体吐出ヘッドに形成された
オリフィスから記録液としてのインクを吐出することに
より記録を行うインクジェット記録装置が、低騒音、高
速記録などの点で優れた記録装置として知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet recording apparatus which performs recording by discharging ink as a recording liquid from an orifice formed in a liquid discharge head has been known as a recording apparatus excellent in terms of low noise, high speed recording and the like. Have been.
【0004】このインクジェット記録装置については、
これまでにもさまざまなものが提案され、改良が加えら
れて商品化されたものもあれば現在、実用化への努力が
続けられているものもある。[0004] This ink jet recording apparatus includes:
A variety of proposals have been proposed, some of which have been commercialized with improvements, and others of which are currently being put to practical use.
【0005】図24は、従来のインクジェット記録装置
に備えられる液体吐出ヘッドについて説明するための斜
視図である。FIG. 24 is a perspective view for explaining a liquid discharge head provided in a conventional ink jet recording apparatus.
【0006】図24に示すように、従来のインクジェッ
ト記録装置に備えられる液体吐出ヘッドでは、インクを
吐出するための吐出口(オリフィス)241が形成され
たオリフィスプレート240と、吐出口241にそれぞ
れ連通した流路261を構成するための溝が形成された
天板260と、流路261の壁面の一部を構成し、か
つ、吐出のためのエネルギーを発生するエネルギー発生
素子251を有する基板250とによって構成されてい
る。流路261を形成するように基板250のエネルギ
ー発生素子251側の面に天板260を接合してヘッド
本体246が構成されており、それぞれの吐出口241
が、それぞれの吐出口241に対応する流路261と連
通するように、ヘッド本体246の、接合面244aを
含む前端面に接着樹脂によりオリフィスプレート240
が接合されている。As shown in FIG. 24, in a liquid discharge head provided in a conventional ink jet recording apparatus, an orifice plate 240 in which discharge ports (orifices) 241 for discharging ink are formed, and a discharge port 241 respectively communicate with each other. A top plate 260 in which a groove for forming the formed flow path 261 is formed, and a substrate 250 which forms a part of a wall surface of the flow path 261 and has an energy generating element 251 for generating energy for ejection. It is constituted by. A head main body 246 is formed by joining a top plate 260 to a surface of the substrate 250 on the side of the energy generating element 251 so as to form the flow path 261, and the respective ejection ports 241 are formed.
The orifice plate 240 is attached to the front end surface of the head main body 246 including the bonding surface 244a by an adhesive resin so that the orifice plate 240
Are joined.
【0007】オリフィスプレート240に形成された吐
出口241は微細なものであり、この吐出口241が液
体吐出ヘッドの吐出性能を左右する重要な要素となって
いる。従って、液体吐出ヘッドのオリフィスプレート2
40の性能としては、微細な吐出口241が設けられる
ため、加工性がよいことや、また、インクに直接接触す
るため、耐インク性がよいことなどが必要とされる。The discharge ports 241 formed in the orifice plate 240 are minute, and the discharge ports 241 are an important factor that affects the discharge performance of the liquid discharge head. Therefore, the orifice plate 2 of the liquid ejection head
As for the performance of 40, it is necessary that the workability is good because the fine discharge port 241 is provided, and that the ink 40 has good ink resistance because it comes into direct contact with the ink.
【0008】近年の記録技術の進歩に伴って、高速、高
精細な記録が要求されるようになりつつあり、このた
め、吐出口241の大きさ(オリフィス径)が微小にな
り、かつ吐出口241が高密度に形成されるようになっ
てきた。その結果、オリフィスプレート240の材料と
して、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリ
フェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン
などの樹脂フィルムを用い、その樹脂フィルムにエキシ
マレーザのアブレーションによる微細加工でオリフィス
を形成する方法が最も一般的に用いられている。[0008] With the recent progress in printing technology, high-speed, high-definition printing has been demanded. Therefore, the size (orifice diameter) of the discharge port 241 has become very small, and the discharge port 241 has a small size. 241 has been formed at a high density. As a result, as the material of the orifice plate 240, a resin film such as polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene sulfide, or polyetheretherketone is used, and the method of forming an orifice on the resin film by micromachining by excimer laser ablation is most preferable. Commonly used.
【0009】しかしながら、オリフィスプレート240
をヘッド本体246に接合する際に、微細な吐出口24
1を、吐出口241と連通させる流路261と隙間なく
接続することは極めて難しい。However, the orifice plate 240
When the nozzles are bonded to the head body 246, the fine discharge ports 24
It is extremely difficult to connect 1 to the flow path 261 communicating with the discharge port 241 without any gap.
【0010】上記の対策としては、図24に示されるよ
うに、オリフィスプレート240のヘッド本体246側
の面における吐出口241の周辺に凸部245を形成
し、その凸部245全体、または凸部245の一部を流
路261内に進入させて嵌合する方法が用いられてい
た。この方法により、オリフィスプレート240を接着
する際に用いられる接着樹脂の、吐出口241または流
路261への流れ込みが防止される。オリフィスプレー
ト240に凸部245を形成する際には、吐出口241
の形成と同様に、エキシマレーザによる加工が行われて
いた。As a countermeasure against the above, as shown in FIG. 24, a convex portion 245 is formed around the discharge port 241 on the surface of the orifice plate 240 on the side of the head main body 246, and the entire convex portion 245 or the convex portion 245 is formed. A method has been used in which a part of the 245 is inserted into the channel 261 and fitted. According to this method, the adhesive resin used for bonding the orifice plate 240 is prevented from flowing into the discharge port 241 or the flow path 261. When forming the convex portion 245 on the orifice plate 240, the discharge port 241
In the same manner as in the formation of, processing by an excimer laser was performed.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】前述したように、近年
の記録技術の進歩に伴って、高速、高精細な記録が要求
されるようになりつつあり、記録速度の向上、および解
像度を高くするためにノズルの数はしだいに増加する方
向にある。As described above, high-speed, high-definition recording has been demanded with the recent progress of recording technology, and the recording speed has been improved and the resolution has been increased. Therefore, the number of nozzles tends to increase gradually.
【0012】一方で、工業用に、現在最も一般的に用い
られているエキシマレーザはKrFレーザであり、Kr
Fレーザの実用上の出力は500mJから700mJが
最大となっている。このクラスの出力のレーザを用いた
場合に、微細加工時の精度の確保に適した縮小光学系の
マスクを用いると、レーザ加工の有効エリアは1/2i
nch程度以下になる。ここで、ノズル数の多い液体吐
出ヘッドを作製する際に必要なレーザ加工のエリアが、
レーザの有効加工エリアよりも大きい場合では、一つの
ヘッドを一括で加工できないため、液体吐出ヘッドの構
成部品をレーザの有効加工エリア内の大きさに分割し、
分割された構成部品をそれぞれ別々に加工することにな
る。On the other hand, the most commonly used excimer laser for industrial use is a KrF laser,
The maximum practical output of the F laser is from 500 mJ to 700 mJ. When a laser of this class of output is used and a mask of a reduction optical system suitable for ensuring accuracy during fine processing is used, the effective area of laser processing is 1 / 2i.
It is about nch or less. Here, the area of laser processing required when manufacturing a liquid ejection head with a large number of nozzles is
If the head is larger than the effective processing area of the laser, one head cannot be processed at once, so the components of the liquid ejection head are divided into the size within the effective processing area of the laser,
Each of the divided components is separately processed.
【0013】図24に示した液体吐出ヘッドを製造する
ためにオリフィス241を形成する際の穴加工でオリフ
ィスプレート240を分割して加工した場合、オリフィ
スプレート240の、分割された部分同士を接続した時
にオリフィスプレート240のつなぎ目で誤差が生じる
と、そのつなぎ目の誤差が液体吐出ヘッドにおけるノズ
ルピッチの誤差となり、液体吐出ヘッドの記録品位が低
下するという問題点がある。In the case where the orifice plate 240 is divided and processed by drilling when forming the orifice 241 to manufacture the liquid discharge head shown in FIG. 24, the divided portions of the orifice plate 240 are connected to each other. If an error occurs at the joint of the orifice plate 240 at the time, the error of the joint becomes an error of the nozzle pitch in the liquid ejection head, and there is a problem that the recording quality of the liquid ejection head is deteriorated.
【0014】また、レーザ加工により凸部245を形成
するためにオリフィスプレート240を分割して加工す
る場合では、凸部245につなぎ目を設定するとオリフ
ィスプレート240のつなぎ目の誤差は、流路261内
に進入させる凸部245のずれになってしまうという問
題点がある。この場合、流路261に対する凸部245
と吐出口241の位置がずれて、つなぎ目における吐出
口241の形状が不良になったり、流路261への凸部
245の進入がうまくできないなどの不良が発生する。In the case where the orifice plate 240 is divided and processed in order to form the convex portion 245 by laser processing, if a joint is set in the convex portion 245, an error in the joint of the orifice plate 240 will occur in the flow path 261. There is a problem that the convex portion 245 to be entered is shifted. In this case, the convex portion 245 with respect to the flow path 261
The position of the discharge port 241 is displaced from that of the discharge port 241, resulting in a defect such as a failure in the shape of the discharge port 241 at the joint or an inability of the protrusion 245 to enter the flow path 261.
【0015】これに対して、吐出口241ごとに凸部2
45を独立して形成し、隣り合う凸部245の間につな
ぎ目を設定する場合、つなぎ目がオーバラップすること
で、凸部245を形成する際の除去加工における加工深
さの二倍の深さの溝ができたり、つなぎ目がアンダーカ
ットすることでその箇所に壁状の加工残りができたりす
るという問題点が発生することがある。また、レーザ加
工で凸部245を形成するには、オリフィスプレートの
広い面に対して多大な除去加工をする必要があるため、
カーボンなどの副生成物の発生も多く、レーザ加工の後
処理の手間もかかるという問題点がある。また、レーザ
加工機も、大規模なものが必要となり、液体吐出ヘッド
を製造するための装置のコストが高くなってしまう。On the other hand, the projection 2
45 are formed independently, and a joint is set between the adjacent convex portions 245, the joint is overlapped, and the depth is twice the processing depth in the removal processing when forming the convex portion 245. In some cases, such a problem may occur that a groove is formed or a joint is undercut, so that a wall-shaped unprocessed portion is formed at that portion. Further, in order to form the convex portion 245 by laser processing, it is necessary to perform a large amount of removal processing on a wide surface of the orifice plate.
There is also a problem that many by-products such as carbon are generated, and it takes time and labor for post-processing of laser processing. In addition, a large-scale laser processing machine is required, which increases the cost of an apparatus for manufacturing a liquid discharge head.
【0016】本発明の目的は、流路を有するヘッド本体
に、吐出口が形成されたオリフィスプレートを接合して
液体吐出ヘッドを製造する際に、オリフィスプレートの
吐出口の周囲に凸部を形成し、その凸部をヘッド本体の
流路内に進入させてオリフィスプレートをヘッド本体に
接合する液体吐出ヘッドの製造方法において、吐出口お
よび凸部を形成するためにオリフィスプレートを分割し
て作製することによりオリフィスのピッチの誤差や吐出
口の形状不良、流路への凸部の進入がうまくできないこ
となどの不良がない液体吐出ヘッドの製造方法や、液体
吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドを有するヘッドカート
リッジおよび液体吐出記録装置を提供することにある。An object of the present invention is to form a projection around a discharge port of an orifice plate when a liquid discharge head is manufactured by joining an orifice plate having a discharge port to a head body having a flow path. Then, in the method of manufacturing a liquid ejection head in which the projection enters the flow path of the head body and the orifice plate is joined to the head body, the orifice plate is divided and formed to form the ejection port and the projection. A method for manufacturing a liquid discharge head having no defects such as errors in the pitch of the orifices, defective shape of the discharge port, and inability of the protrusion to enter the flow path, a liquid discharge head, and a head having the liquid discharge head An object of the present invention is to provide a cartridge and a liquid discharge recording device.
【0017】[0017]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、液体を飛翔液滴として吐出させるための
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、前記流路とそれぞれ連通した
複数の吐出口、および前記吐出口の周囲に、前記流路内
に進入して嵌合するように前記吐出口ごとにそれぞれ独
立して形成された複数の凸部を備えて前記ヘッド本体に
接合されたオリフィスプレートとを有する液体吐出ヘッ
ドの製造方法であって、前記オリフィスプレートを作製
するために押出成形により溶融樹脂をフィルム状に押出
してフィルム状樹脂を形成する工程と、前記フィルム状
樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型を備えたロール
を押圧することにより、前記フィルム状樹脂に前記吐出
口および前記凸部を同時に連続的に形成し、前記フィル
ム状樹脂に前記複数の吐出口および前記複数の凸部が形
成されてなる前記オリフィスプレートを作製する工程
と、前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接
合面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレー
トとの接合面に接着剤を塗布する工程と、前記オリフィ
スプレートを前記接着剤により前記本体ヘッドに接着す
る工程とを有する。In order to achieve the above object, the present invention provides a plurality of energy generating elements for generating energy for discharging a liquid as flying droplets, and the energy generating elements are arranged respectively. A head body having a plurality of flow paths, a plurality of discharge ports respectively communicating with the flow paths, and around the discharge ports, each of the discharge ports so as to enter and fit into the flow paths. A method for manufacturing a liquid ejection head having an orifice plate joined to the head body with a plurality of independently formed protrusions, wherein a molten resin is formed by extrusion molding to produce the orifice plate. Extruding into a film shape to form a film-like resin, and pressing a roll provided with a relief mold of a predetermined shape on the surface of the film-like resin. Forming the orifice plate in which the plurality of discharge ports and the plurality of protrusions are formed in the film-shaped resin by simultaneously and continuously forming the discharge ports and the protrusions in the film-shaped resin. Applying an adhesive to a bonding surface of the orifice plate with the head main body or a bonding surface of the main body head with the orifice plate; and bonding the orifice plate to the main body head with the adhesive. And
【0018】上記の発明では、液体吐出ヘッドを製造す
る際に、押出成形により溶融樹脂をフィルム状に押出す
ことでフィルム状樹脂を形成し、フィルム状樹脂の表面
に、所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧する
ことによりフィルム状樹脂に吐出口、およびヘッド本体
の流路内に進入して嵌合する凸部を同時に連続的に形成
してオリフィスプレートを作製するので、従来のように
多数の吐出口および凸部をレーザ加工により形成するた
めにオリフィスプレートを分割して作製する必要がなく
なる。従って、従来ではオリフィスプレートを分割して
作製した際にオリフィスプレートのつなぎ目の誤差によ
る吐出口のピッチの誤差や、吐出口の形状不良、流路へ
の凸部の進入がうまくいかないことなどの問題点が発生
していたが、それらの問題点がすべてなくなる。また、
隣り合う凸部の間でつなぎ目を設定した場合に、凸部を
形成する際の除去加工における加工深さの二倍の深さの
溝ができたり、つなぎ目に壁状の加工残りができたりす
るという問題点がなくなる。さらに、吐出口や凸部を形
成する際にレーザを用いないので、カーボンなどの副生
成物の発生がないために後処理の手間もかからず、大規
模なレーザ加工機も必要なく、製造装置のコストを低く
抑えることができる。In the above invention, when manufacturing the liquid discharge head, the molten resin is extruded into a film by extrusion molding to form a film-like resin, and a relief mold having a predetermined shape is formed on the surface of the film-like resin. The orifice plate is manufactured by simultaneously and continuously forming a discharge port on the film-shaped resin and a convex portion that enters and fits into the flow path of the head body by pressing the roll having the orifice. In order to form a large number of discharge ports and projections by laser processing, it is not necessary to divide and manufacture the orifice plate. Therefore, in the related art, when the orifice plate is divided and manufactured, there are problems such as errors in the pitch of the discharge ports due to errors in the joints of the orifice plates, poor shape of the discharge ports, and difficulty in entering the convex portion into the flow path. Occurred, but all those problems disappeared. Also,
When a joint is set between adjacent protrusions, a groove having a depth twice as large as the processing depth in the removal processing when forming the protrusion is formed, or a wall-shaped processing residue is formed at the joint. This eliminates the problem. Furthermore, since laser is not used when forming the discharge port and the convex portion, there is no generation of by-products such as carbon, so there is no need for post-processing, and there is no need for a large-scale laser processing machine. The cost of the device can be kept low.
【0019】また、本発明は、上記の構成の液体吐出ヘ
ッドを製造方法であって、オリフィスプレートを作製す
る工程として、押出成形により溶融樹脂をフィルム状に
押出してフィルム状樹脂を形成する工程と、前記フィル
ム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型を備えたロ
ールを押圧することにより、前記フィルム状樹脂に、前
記吐出口を形成するための凹部が中央部にそれぞれ形成
された前記複数の凸部を形成する工程と、前記複数の凹
部のそれぞれの底面にレーザを照射することで前記フィ
ルム状樹脂に前記吐出口を複数形成する工程とを有す
る。The present invention also relates to a method of manufacturing a liquid discharge head having the above-mentioned structure, wherein the step of manufacturing an orifice plate includes a step of extruding a molten resin into a film by extrusion molding to form a film-shaped resin. By pressing a roll provided with a relief mold of a predetermined shape on the surface of the film-shaped resin, the film-shaped resin has a plurality of recesses for forming the discharge ports formed at the center thereof. Forming a plurality of discharge ports in the film-shaped resin by irradiating a laser to each bottom surface of the plurality of recesses.
【0020】さらに、本発明の液体吐出ヘッドの製造方
法は、オリフィスプレートを作製する工程として、押出
成形により溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状
樹脂を形成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、
所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧すること
により、前記フィルム状樹脂に、前記凸部を形成するた
めの、それぞれ独立した複数の突起部を形成する工程
と、それぞれの前記突起部の先端面の中央部にレーザを
照射することで前記フィルム状樹脂に前記吐出口および
前記凸部を複数形成する工程とを有する。Further, in the method of manufacturing a liquid discharge head according to the present invention, as a step of manufacturing an orifice plate, a step of extruding a molten resin into a film by extrusion molding to form a film-like resin; To
By pressing a roll provided with a relief mold having a predetermined shape, a step of forming a plurality of independent projections for forming the projections on the film-shaped resin, Forming a plurality of the discharge ports and the convex portions in the film-like resin by irradiating a laser to a central portion of the distal end surface.
【0021】さらに、本発明の液体吐出ヘッドの製造方
法は、オリフィスプレートを作製する工程として、押出
成形により溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状
樹脂を形成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、
所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧すること
により、前記フィルム状樹脂に、前記複数の凸部を形成
するための連続した突起部、および該突起部に配置され
た前記吐出口を形成する工程と、前記連続した突起部
の、前記吐出口および前記凸部に対応する部分を除く部
分にレーザを照射することで前記凸部を複数形成する工
程とを有する。Further, in the method of manufacturing a liquid discharge head according to the present invention, as a step of manufacturing an orifice plate, a step of extruding a molten resin into a film by extrusion molding to form a film-like resin; To
By pressing a roll provided with a relief mold of a predetermined shape, a continuous projection for forming the plurality of projections on the film-like resin and the discharge port arranged on the projection are formed. And forming a plurality of convex portions by irradiating a laser to portions of the continuous protruding portions other than portions corresponding to the discharge ports and the convex portions.
【0022】さらに、本発明の液体吐出ヘッドの製造方
法は、オリフィスプレートを作製する工程として、押出
成形により溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状
樹脂を形成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、
所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧すること
により、前記フィルム状樹脂に、前記吐出口を形成する
ための、それぞれ独立した複数の凹部を有する、前記複
数の凸部を形成するための連続した突起部を形成する工
程と、前記連続した突起部の、前記凹部および前記凸部
に対応する部分を除く部分にレーザを照射することで前
記凸部を複数形成する工程と、前記複数の凹部のそれぞ
れの底面にレーザを照射することで前記フィルム状樹脂
に前記吐出口を複数形成する工程とを有する。Further, in the method of manufacturing a liquid discharge head according to the present invention, the step of forming an orifice plate includes the steps of: extruding a molten resin into a film by extrusion molding to form a film-like resin; To
By pressing a roll provided with a relief mold of a predetermined shape, the film-shaped resin has a plurality of independent concave portions for forming the discharge ports, and for forming the plurality of convex portions. Forming a continuous protrusion, and forming a plurality of the protrusions by irradiating a laser to a portion of the continuous protrusion except a portion corresponding to the recess and the protrusion, Irradiating a laser to each bottom surface of the concave portion to form a plurality of the discharge ports in the film-like resin.
【0023】上記の液体吐出ヘッドの製造方法におい
て、前記フィルム状樹脂の表面にロールを押圧する工程
の後の工程が、前記複数の凹部のそれぞれの底面にレー
ザを照射することで前記フィルム状樹脂に前記吐出口を
複数形成する工程と、前記連続した突起部の、前記吐出
口および前記凸部に対応する部分を除く部分にレーザを
照射することで前記フィルム状樹脂に前記凸部を複数形
成する工程とで構成されていてもよい。In the above-described method for manufacturing a liquid discharge head, the step after the step of pressing a roll against the surface of the film-like resin may be performed by irradiating a laser to each bottom surface of the plurality of recesses. Forming the plurality of discharge ports, and forming the plurality of protrusions on the film-like resin by irradiating a laser to a portion of the continuous protrusions other than a portion corresponding to the discharge ports and the protrusions. And a step of performing the operation.
【0024】さらに、本発明の液体吐出ヘッドの製造方
法は、オリフィスプレートを作製する工程として、押出
成形により溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状
樹脂を形成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、
所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧すること
により、前記フィルム状樹脂に、前記複数の凸部を形成
するための連続した突起部を形成する工程と、前記連続
した突起部の、前記吐出口および前記凸部に対応する部
分を除く部分にレーザを照射することで、前記凸部を形
成するための、それぞれ独立した複数の突起部を形成す
る工程と、前記独立したそれぞれの突起部の先端面の中
央部にレーザを照射することで、前記フィルム状樹脂に
前記吐出口および前記凸部を複数形成する工程とを有す
る。Further, in the method of manufacturing a liquid discharge head according to the present invention, as a step of manufacturing an orifice plate, a step of extruding a molten resin into a film by extrusion molding to form a film-like resin; To
By pressing a roll provided with a relief mold having a predetermined shape, a step of forming continuous projections for forming the plurality of projections on the film-like resin, and forming the continuous projections, A step of forming a plurality of independent projections for forming the projections by irradiating a laser to a portion excluding a portion corresponding to the ejection port and the projections, and a step of forming the independent projections Forming a plurality of the discharge ports and the plurality of convex portions in the film-like resin by irradiating a laser to a central portion of a front end surface of the film.
【0025】上記の液体吐出ヘッドの製造方法におい
て、前記フィルム状樹脂の表面にロールを押圧する工程
の後の工程が、前記連続した突起部の、前記吐出口に対
応する部分にレーザを照射することで前記フィルム状樹
脂に前記吐出口を複数形成する工程と、前記連続した突
起部の、前記吐出口および前記凸部に対応する部分を除
く部分にレーザを照射することで前記フィルム状樹脂に
前記凸部を複数形成する工程とから構成されていてもよ
い。In the above-described method for manufacturing a liquid discharge head, the step after the step of pressing a roll against the surface of the film-like resin is to irradiate a portion of the continuous projection portion corresponding to the discharge port with a laser. Forming a plurality of the discharge ports in the film-like resin, and by irradiating a laser to a portion of the continuous protrusion except a portion corresponding to the discharge ports and the protrusions, to the film-like resin. And forming a plurality of the protrusions.
【0026】上記のとおりの発明でも、オリフィスプレ
ートを作製する際にフィルム状樹脂の表面に、レリーフ
型を備えたロールを押圧することにより、凹部を有する
凸部、凸部を形成するためのそれぞれ独立した複数の突
起部、凸部を形成するための連続した突起部、または吐
出口を形成する工程と、レーザ加工の工程とを組み合わ
せることで、多数の吐出口を有するオリフィスプレート
を分割して作製せずに一体のものとして製作することが
できる。従って、多数の吐出口を有するオリフィスプレ
ートを作製する際にも、オリフィスプレートのつなぎ目
もなく、吐出口や凸部などの寸法精度が良好になる。こ
れにより、オリフィスプレートの凸部をヘッド本体の流
路に勘合することができないなどの不良がなくなる。ま
た、作製されたオリフィスプレートを用いて構成された
液体吐出ヘッドにより記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られる。In the invention as described above, a roll having a relief mold is pressed against the surface of the film-like resin when the orifice plate is manufactured, so that a convex portion having a concave portion and a convex portion having a concave portion are formed. By combining the process of forming a plurality of independent protrusions, continuous protrusions for forming protrusions, or discharge ports, and the step of laser processing, the orifice plate having a large number of discharge ports is divided. It can be manufactured as one piece without manufacturing. Therefore, even when an orifice plate having a large number of discharge ports is manufactured, there is no seam between the orifice plates, and the dimensional accuracy of the discharge ports and the projections is improved. This eliminates such a defect that the projection of the orifice plate cannot be fitted into the flow path of the head body. In addition, in the evaluation when recording was performed by a liquid ejection head configured using the manufactured orifice plate, the flying droplet generated by the failure of the joint portion of the orifice plate when the orifice plate was manufactured by dividing the orifice plate was evaluated. Good recording quality can be obtained without defects such as skew and unevenness of the recorded image.
【0027】[0027]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【0028】(第1の実施の形態)図1は、本発明の第
1の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法が適用される
液体吐出ヘッドについて説明するための斜視図である。
図2は、図1に示される液体吐出ヘッドの、流路方向に
沿った断面図である。(First Embodiment) FIG. 1 is a perspective view for explaining a liquid discharge head to which a method of manufacturing a liquid discharge head according to a first embodiment of the present invention is applied.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the liquid ejection head shown in FIG. 1 along a flow channel direction.
【0029】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
より製造される液体吐出ヘッドは、図1に示すように、
基板50の表面に天板60を接合してなるヘッド本体4
6と、ヘッド本体46の前端面に接合されたオリフィス
プレート40などから構成されている。基板(以下、ヒ
ータボードともいう)50には、インクなどの液体を吐
出させるために利用される熱エネルギーを発生する複数
のエネルギー発生素子(以下、ヒータともいう)51
と、エネルギー発生素子51に電気信号を供給するため
のAl配線とが備えられている。この基板50は、Si
基板上に複数のエネルギー発生素子51および前記Al
配線を成膜技術によって形成してなるものである。The liquid discharge head manufactured by the method of manufacturing a liquid discharge head according to the present embodiment is, as shown in FIG.
Head body 4 formed by bonding top plate 60 to the surface of substrate 50
6 and an orifice plate 40 joined to the front end face of the head body 46. A substrate (hereinafter, also referred to as a heater board) 50 has a plurality of energy generating elements (hereinafter, also referred to as heaters) 51 for generating thermal energy used for discharging a liquid such as ink.
And an Al wiring for supplying an electric signal to the energy generating element 51. This substrate 50 is made of Si
A plurality of energy generating elements 51 and the Al
The wiring is formed by a film forming technique.
【0030】天板60の一方の面には、エネルギー発生
素子51がそれぞれ配置された複数の流路61を形成す
るための溝や、それぞれの流路61に供給されるインク
を一時的に保持する液室62を形成するための溝が形成
されている。さらに、天板60には、液室62内にイン
クを供給するための供給口64が形成されている。それ
ぞれの流路61にエネルギー発生素子51が配置される
ように基板50と天板60とを接合することにより、複
数の流路61および複数のエネルギー発生素子51が備
えられたヘッド本体46が構成されている。このヘッド
本体46の前端面に、すなわち、図2に示すように基板
50の、オリフィスプレート40との接合面44a、お
よび天板60の、オリフィスプレート40との接合面4
4bを含む面に、それぞれの流路61の開口が配置され
ている。On one surface of the top plate 60, grooves for forming a plurality of flow paths 61 in which the energy generating elements 51 are respectively arranged, and ink supplied to the respective flow paths 61 are temporarily held. A groove for forming a liquid chamber 62 is formed. Further, a supply port 64 for supplying ink into the liquid chamber 62 is formed in the top plate 60. By joining the substrate 50 and the top plate 60 such that the energy generation elements 51 are arranged in the respective flow paths 61, the head body 46 including the plurality of flow paths 61 and the plurality of energy generation elements 51 is configured. Have been. On the front end face of the head main body 46, that is, as shown in FIG. 2, the joining surface 44a of the substrate 50 with the orifice plate 40 and the joining surface 4 of the top plate 60 with the orifice plate 40
The opening of each flow channel 61 is arranged on the surface including 4b.
【0031】一方、オリフィスプレート40には、流路
61とそれぞれ連通した複数の吐出口(以下、オリフィ
スともいう)41が複数形成されている。また、オリフ
ィスプレート40の、ヘッド本体46との接合面におけ
る吐出口41の周囲には、吐出口41ごとにそれぞれ独
立した凸部45が複数形成されている。それぞれの凸部
45が流路61内に進入し、凸部45が流路61に嵌合
した状態で、接着剤である接着樹脂42によって接合面
44a,44bにオリフィスプレート40が接合されて
いる。On the other hand, the orifice plate 40 is formed with a plurality of discharge ports (hereinafter, also referred to as orifices) 41 each communicating with the flow path 61. A plurality of independent convex portions 45 are formed for each discharge port 41 around the discharge port 41 on the joint surface of the orifice plate 40 with the head main body 46. The orifice plate 40 is joined to the joining surfaces 44a and 44b by the adhesive resin 42 as an adhesive in a state where the respective convex portions 45 enter the flow channel 61 and the convex portions 45 are fitted into the flow channel 61. .
【0032】この液体吐出ヘッドでは、エネルギー発生
素子51から発生した熱エネルギーが流路61内のイン
クに作用することでエネルギー発生素子51上で気泡が
発生し、その気泡の発生を利用して吐出口41からイン
クが吐出される。In this liquid discharge head, bubbles are generated on the energy generating element 51 by the thermal energy generated from the energy generating element 51 acting on the ink in the flow path 61, and the generation of the bubbles is performed by utilizing the generation of the bubbles. Ink is ejected from the outlet 41.
【0033】図3は、本発明の第1の実施形態の液体吐
出ヘッドの製造方法に使用される製造ラインの一部を模
式的に示す図である。図3に示される製造ラインは、図
1および図2に示したオリフィスプレート40を製造す
るためのものである。この製造ラインでは、押出成形に
より溶融樹脂をフィルム状に押出し、押出されたフィル
ム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型を備えたロ
ールを押圧することで、そのフィルム状樹脂の表面に所
望の形状のパターンを形成するまでの工程が行われる。FIG. 3 is a diagram schematically showing a part of a production line used in the method for producing a liquid discharge head according to the first embodiment of the present invention. The production line shown in FIG. 3 is for producing the orifice plate 40 shown in FIGS. In this production line, a molten resin is extruded into a film by extrusion molding, and a roll provided with a relief mold of a predetermined shape is pressed against the surface of the extruded film resin, thereby forming a desired surface on the surface of the film resin. The steps up to the formation of the pattern having the shape shown in FIG.
【0034】図3に示すように押出成形機1のダイ2か
ら溶融樹脂をフィルム状に押出すことによりフィルム状
樹脂3が形成され、フィルム状樹脂3は冷却ロール5と
ニップロール6との間に挟まれて、それらのロールによ
って押圧される。冷却ロール5の表面には、図1および
図2に示した吐出口41および凸部45に応じた形状の
レリーフ型4が取り付けられている。このレリーフ型4
によってフィルム状樹脂3の表面に所望の形状が連続的
に形成される。As shown in FIG. 3, a film-like resin 3 is formed by extruding a molten resin from a die 2 of an extruder 1 into a film, and the film-like resin 3 is placed between a cooling roll 5 and a nip roll 6. It is pinched and pressed by those rolls. On the surface of the cooling roll 5, a relief mold 4 having a shape corresponding to the discharge port 41 and the convex portion 45 shown in FIGS. 1 and 2 is attached. This relief type 4
Thereby, a desired shape is continuously formed on the surface of the film-shaped resin 3.
【0035】レリーフ型4によって表面に所望の形状が
形成されると共に冷却ロール5によって冷却されたフィ
ルム状樹脂3は、いくつかのロールと、2つの引き取り
ロール7とを経由した後に巻き取りロール8によってロ
ール状に巻き取られる。The film-shaped resin 3 having a desired shape formed on the surface by the relief mold 4 and cooled by the cooling roll 5 passes through several rolls and two take-up rolls 7 and then takes up a winding roll 8 Is wound up in a roll.
【0036】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法で
は、押出成形機1から押出す樹脂材料としてポリサルフ
ォン樹脂(アモコ社製のユーデルP3900)を用い
た。押出成形機1から押出す樹脂材料、すなわちフィル
ム状樹脂3の材料としては、熱可塑性ポリマーを用いる
ことが好ましい。また、具体的には、フィルム状樹脂3
の材料として、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレ
ンサルファイドまたはポリエーテルエーテルケトンのう
ちいずれか1つを用いることが好ましい。In the method of manufacturing a liquid discharge head according to this embodiment, a polysulfone resin (Udel P3900 manufactured by Amoco) is used as the resin material extruded from the extruder 1. As the resin material extruded from the extruder 1, that is, the material of the film-like resin 3, it is preferable to use a thermoplastic polymer. Further, specifically, the film-like resin 3
It is preferable to use any one of polyethersulfone, polyphenylene sulfide, and polyetheretherketone as the material.
【0037】次に、オリフィスプレート40を作製する
方法について説明する。Next, a method of manufacturing the orifice plate 40 will be described.
【0038】まず、ポリサルフォン樹脂を下記の加工条
件(A)にて、ダイ2から厚さ50μmとなるように押
出してフィルム状樹脂3を形成する。そのフィルム状樹
脂3を、表面にレリーフ型4が備えられた温度15℃の
冷却ロール5、およびニップロール6により押圧し、フ
ィルム状樹脂3を冷却する。First, a film-like resin 3 is formed by extruding a polysulfone resin from the die 2 to a thickness of 50 μm under the following processing conditions (A). The film-shaped resin 3 is pressed by a cooling roll 5 at a temperature of 15 ° C. provided with a relief mold 4 on its surface and a nip roll 6 to cool the film-shaped resin 3.
【0039】押出し加工条件(A) ダイ開口: 0.5mm 押出し機設定温度:後部315℃ 中間部360℃ ヘ
ッドおよびダイ部370℃ 冷却ロール温度:15℃ 押出し厚み:50μm ニップ圧(エアゲージ圧):2kgf/cm2 図4および図5は、図3に示した製造ラインにより作製
されたフィルム状樹脂3の平面図および断面図である。
図4(a)はフィルム状樹脂3の平面図であり、図4
(b)は図4(a)のA−A’線断面図である。また、
図5(a)は、図4(a)に示されるフィルム状樹脂の
B部を拡大した平面図であり、図5(b)は、図5
(a)のC−C’線断面図である。Extrusion processing conditions (A) Die opening: 0.5 mm Extruder set temperature: Rear 315 ° C Middle part 360 ° C Head and die 370 ° C Cooling roll temperature: 15 ° C Extruded thickness: 50 μm Nip pressure (air gauge pressure): 2 kgf / cm 2 FIG. 4 and FIG. 5 are a plan view and a cross-sectional view of the film-shaped resin 3 produced by the production line shown in FIG.
FIG. 4A is a plan view of the film-shaped resin 3 and FIG.
FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. Also,
FIG. 5A is an enlarged plan view of a portion B of the film-like resin shown in FIG. 4A, and FIG.
It is a CC 'line sectional view of (a).
【0040】フィルム状樹脂3の表面に冷却ロール5の
レリーフ型4が押圧されることで、そのレリーフ型4に
よって、図4(a)、図4(b)、図5(a)および図
5(b)に示すようにフィルム状樹脂3に吐出口41お
よび凸部45が同時に、フィルム状樹脂3の押出し方向
に連続的に複数形成される。When the relief mold 4 of the cooling roll 5 is pressed against the surface of the film-like resin 3, the relief mold 4 causes the relief mold 4 to be used as shown in FIGS. 4 (a), 4 (b), 5 (a) and 5. As shown in (b), a plurality of discharge ports 41 and projections 45 are simultaneously formed in the film-shaped resin 3 continuously in the extrusion direction of the film-shaped resin 3.
【0041】凸部45のピッチは600dpiの解像度
に相当する間隔であり、凸部45の外形は四角柱形状と
なっている。凸部45の外形寸法としては、縦が30μ
m、横が30μm、高さが10μmとなっている。オリ
フィス41の形状は円錐台となっており、オリフィス4
1の凸部45側の端面における円の直径がφ25μm、
凸部45側と反対側の端面における円の直径がφ20μ
mとなっている。このような形状および寸法を有するオ
リフィス41および凸部45がフィルム状樹脂3に同時
に、かつ、連続的に形成されるように、レリーフ型4が
作製されている。The pitch of the projections 45 is an interval corresponding to a resolution of 600 dpi, and the outer shape of the projections 45 is a quadrangular prism. The external dimensions of the convex portion 45 are 30 μ
m, the width is 30 μm, and the height is 10 μm. The shape of the orifice 41 is a truncated cone and the orifice 4
The diameter of the circle at the end face on the side of the convex portion 45 is φ25 μm,
The diameter of the circle at the end face opposite to the convex 45 side is φ20μ.
m. The relief mold 4 is manufactured so that the orifice 41 and the convex portion 45 having such a shape and dimensions are simultaneously and continuously formed on the film-shaped resin 3.
【0042】フィルム状樹脂3にレリーフ型4によって
オリフィス41および凸部45を形成した後に、フィル
ム状樹脂3の、凸部45側と反対側の表面(フェイス
面)に撥水層を形成する。撥水処理剤としては、旭硝子
株式会社製のCTX−CZ5Aを用いた。フィルム状樹
脂3のフェイス面に撥水層を形成する際には、まず、そ
のフェイス面をコロナ処理により親水化した後に、塗布
装置として康井精機社製のマイクログラビアコータを用
いて、フィルム状樹脂3のフェイス面に撥水剤を塗布す
る。ここでは、撥水層の最終の厚さが0.1μmとなる
ように、撥水剤を塗布する工程と、塗布された撥水剤を
80℃でプリベークする工程とを連続して行った。この
ような塗布およびプリベークの工程が完了してロール状
に巻き取られたフィルム状樹脂3を、加熱炉内で150
℃の温度で5時間加熱することにより、フィルム状樹脂
3のフェイス面に撥水層が形成される。After the orifice 41 and the convex portion 45 are formed on the film-shaped resin 3 by the relief mold 4, a water-repellent layer is formed on the surface (face surface) of the film-shaped resin 3 on the side opposite to the convex portion 45 side. As the water repellent, CTX-CZ5A manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. was used. When forming a water-repellent layer on the face surface of the film-shaped resin 3, first, the face surface is made hydrophilic by corona treatment, and then the film-shaped resin is applied using a microgravure coater manufactured by Yasui Seiki Co., Ltd. as a coating device. A water repellent is applied to the face of the resin 3. Here, the step of applying the water repellent and the step of pre-baking the applied water repellent at 80 ° C. were performed continuously so that the final thickness of the water repellent layer was 0.1 μm. The film-shaped resin 3 wound up in a roll after the application and pre-baking steps are completed is placed in a heating furnace for 150 minutes.
By heating at a temperature of 5 ° C. for 5 hours, a water-repellent layer is formed on the face surface of the film-shaped resin 3.
【0043】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法で
は、フィルム状樹脂3にレリーフ型4を押圧する工程
と、フィルム状樹脂3に撥水層を形成する工程とを別々
に行ったが、それらの2つの工程を1つの工程で行って
もよい。例えば、フィルム状樹脂3にレリーフ型4を押
圧する工程において、フィルム状樹脂3のニップロール
6側の面に撥水剤を供給してその表面に撥水層を形成し
ながらフィルム状樹脂3の押圧加工を行ってもよい。あ
るいは、巻き取りロール8によってフィルム状樹脂3を
巻き取る前の位置に、撥水剤を塗布するためのコーティ
ングロールをセットし、そのコーティングロールを用い
てフィルム状樹脂3に撥水剤を塗布してもよい。In the method of manufacturing a liquid discharge head according to the present embodiment, the step of pressing the relief mold 4 against the film-like resin 3 and the step of forming a water-repellent layer on the film-like resin 3 are performed separately. These two steps may be performed in one step. For example, in the step of pressing the relief mold 4 against the film-shaped resin 3, a water-repellent agent is supplied to the surface of the film-shaped resin 3 on the nip roll 6 side to form a water-repellent layer on the surface, and the film-shaped resin 3 is pressed. Processing may be performed. Alternatively, a coating roll for applying the water repellent is set at a position before the film resin 3 is wound by the winding roll 8, and the water repellent is applied to the film resin 3 using the coating roll. You may.
【0044】このようにして吐出口41および凸部45
が形成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂3を、
1つの液体吐出ヘッドごとに必要なサイズに切断して、
図1および図2に示したオリフィスプレート40が作製
される。Thus, the discharge port 41 and the projection 45
Is formed and the film-shaped resin 3 wound into a roll is
Cut to the required size for each liquid ejection head,
The orifice plate 40 shown in FIGS. 1 and 2 is manufactured.
【0045】次に、オリフィスプレート40を作製した
後の、液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。Next, a method of manufacturing the liquid discharge head after the orifice plate 40 is manufactured will be described.
【0046】オリフィスプレート40を作製した後に
は、上述した工程とは別の工程で作製されたヘッド本体
46に、接着剤によってオリフィスプレート40を接合
する。ここで用いる接着剤としては、UV(紫外線)を
接着剤に照射することによりタック性(粘性)を保持し
たままBステージ(硬化中間状態)化し、その接着剤を
硬化収縮させてから、加熱圧着、または接着剤へのさら
なるUV照射により部材同士を接着することが可能なエ
ポキシ系の接着剤を用いる。このような接着剤は、Bス
テージ化せずに加熱圧着のみでも接着が可能なものであ
る。After the orifice plate 40 is manufactured, the orifice plate 40 is bonded to the head body 46 manufactured in a process different from the above-described process by using an adhesive. As the adhesive used here, the adhesive is irradiated with UV (ultraviolet light) to form a B stage (curing intermediate state) while maintaining tackiness (viscosity), and the adhesive is cured and shrunk, and then heated and pressed. Alternatively, an epoxy-based adhesive capable of bonding members to each other by further UV irradiation to the adhesive is used. Such an adhesive can be adhered only by heating and pressing without forming a B stage.
【0047】まず、上記のようなエポキシ系の接着剤を
転写法によりヘッド本体46の接合面44a,44bに
転写する。次に、転写された接着剤に1mW/cm2の
紫外線を60秒間照射して接着剤のBステージ化を行
い、接着剤のタック性を保持したまま接着剤の硬化収縮
を終了させる。First, the epoxy adhesive as described above is transferred to the joining surfaces 44a and 44b of the head body 46 by a transfer method. Next, the transferred adhesive is irradiated with ultraviolet rays of 1 mW / cm 2 for 60 seconds to make the adhesive B-stage, and the curing shrinkage of the adhesive is terminated while maintaining the tackiness of the adhesive.
【0048】次に、オリフィスプレート40のそれぞれ
の凸部45を、それぞれの凸部45に対応する流路61
内に進入させて凸部45を流路61の先端部に嵌合す
る。凸部45と流路61との勘合は、すきまばめとし
た。Next, each of the convex portions 45 of the orifice plate 40 is connected to the flow channel 61 corresponding to each of the convex portions 45.
And the protrusion 45 is fitted to the front end of the flow channel 61. The fitting between the convex portion 45 and the flow path 61 was a loose fit.
【0049】次に、オリフィスプレート40の、凸部4
5側と反対側の面からオリフィスプレート40に1kg
/cm2の荷重をかけて、オリフィスプレート40とヘ
ッド本体46とを密着させ、その状態を保持したまま6
0℃の温度でヘッド本体46にオリフィスプレート40
を加熱圧着し、接着剤の硬化を終了させる。Next, the convex portion 4 of the orifice plate 40
1 kg from orifice plate 40 to the orifice plate 40
/ Cm 2 , the orifice plate 40 and the head body 46 are brought into close contact with each other.
At a temperature of 0 ° C., the orifice plate 40
Is heated and pressed to complete the curing of the adhesive.
【0050】以上で説明した工程を経て、図1および図
2に示した液体吐出ヘッドが製造される。本実施形態の
液体吐出ヘッドの製造方法によれば、1つのオリフィス
プレート40は、分割して作製されずに一体のものとし
て製作されるため、多数の吐出口41を有するオリフィ
スプレート40を作製する際にも、オリフィスプレート
40のつなぎ目もなく、吐出口41や凸部45などの寸
法精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート
40の凸部45をヘッド本体46の流路61に勘合する
ことができないという不良がなくなる。また、作製され
た液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価におい
ては、オリフィスプレートを分割して作製した場合にお
けるオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって
生じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良も
なく、良好な記録品位が得られた。さらに、オリフィス
41や凸部45を形成するためにレーザを用いないの
で、カーボンなどの副生成物の発生がないために後処理
の手間もかからず、大規模なレーザ加工機も必要なく、
液体吐出ヘッドを製造する装置のコストを低く抑えるこ
とができる。Through the steps described above, the liquid discharge head shown in FIGS. 1 and 2 is manufactured. According to the method of manufacturing the liquid ejection head of the present embodiment, one orifice plate 40 is manufactured as an integral one without being divided and manufactured, so that the orifice plate 40 having a large number of ejection ports 41 is manufactured. In this case, there is no seam between the orifice plates 40, and the dimensional accuracy of the discharge ports 41 and the convex portions 45 is improved. This eliminates a defect that the convex portion 45 of the orifice plate 40 cannot be fitted into the flow channel 61 of the head main body 46. In addition, in the evaluation when recording was performed using the manufactured liquid ejection head, in the case where the orifice plate was divided and manufactured, the deviation of the flying droplet caused by the failure of the joint portion of the orifice plate and the unevenness of the recorded image were observed. Good recording quality was obtained without such defects. Furthermore, since no laser is used to form the orifice 41 and the convex portion 45, no post-processing is required because no by-product such as carbon is generated, and a large-scale laser processing machine is not required.
The cost of the apparatus for manufacturing the liquid ejection head can be reduced.
【0051】(第2の実施の形態)図6および図7は、
本発明の第2の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
ついて説明するための図である。本実施形態の液体吐出
ヘッドの製造方法は、第1の実施形態の製造方法により
製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状のも
のを製造する方法であり、第1の実施形態と比較して、
吐出口をレーザ加工により形成する点が主に異なってい
る。以下では、第1の実施形態と異なる点を中心に説明
する。(Second Embodiment) FIG. 6 and FIG.
It is a figure for explaining the manufacturing method of the liquid discharge head of a 2nd embodiment of the present invention. The method for manufacturing a liquid ejection head according to the present embodiment is a method for manufacturing a liquid ejection head having the same configuration and shape as the liquid ejection head manufactured by the manufacturing method according to the first embodiment. hand,
The main difference is that the discharge port is formed by laser processing. The following description focuses on the differences from the first embodiment.
【0052】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第1の実施形態の図3に示した製造ラインに
よって、オリフィスプレートを作製するためのフィルム
状樹脂を形成する。ここでは、第1の実施形態で用いた
レリーフ型4の代わりに、レリーフ型4とは異なる別の
所定の形状のレリーフ型を備えた冷却ロール5を用い
る。図6(a)は、押出成形機1のダイ2から押出され
たポリサルフォン樹脂が、冷却ロール5に備えられた前
記レリーフ型によって押圧されることにより所定の形状
に形成されたフィルム状樹脂の平面図であり、図6
(b)は、図6(a)のA−A’線断面図である。図7
(a)は、図6(a)に示したフィルム状樹脂のB部を
拡大した平面図であり、図7(a’)は、図7(a)の
C−C’線断面図である。Also in the method of manufacturing a liquid discharge head according to the present embodiment, a film-like resin for manufacturing an orifice plate is formed by the manufacturing line shown in FIG. 3 of the first embodiment. Here, instead of the relief mold 4 used in the first embodiment, a cooling roll 5 having a relief mold having another predetermined shape different from the relief mold 4 is used. FIG. 6A is a plan view of a film-shaped resin formed in a predetermined shape by pressing the polysulfone resin extruded from the die 2 of the extruder 1 by the relief mold provided on the cooling roll 5. FIG. 6
FIG. 7B is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. FIG.
FIG. 7A is an enlarged plan view of a portion B of the film-shaped resin shown in FIG. 6A, and FIG. 7A ′ is a cross-sectional view taken along line CC ′ of FIG. 7A. .
【0053】まず、第1の実施形態と同様な押出し加工
条件(A)で、ポリサルフォン樹脂をダイ2から厚み5
0μmとなるようにフィルム状に押出すことにより、フ
ィルム状樹脂3を形成する。そのフィルム状樹脂3を、
表面に前記レリーフ型が備えられた温度15℃の冷却ロ
ール5、およびニップロール6により押圧すると同時に
冷却する。これにより、冷却ロール5に備えられた前記
レリーフ型によって、図6(a)、図6(b)、図7
(a)および図7(a’)に示すようにフィルム状樹脂
3に、それぞれが独立した複数の凸部45と、凸部45
の中央部にそれぞれ配置された複数の凹部47aとがフ
ィルム状樹脂3の押出し方向に連続的に形成される。そ
れぞれの凹部47aはオリフィス41を形成するための
ものである。凸部45のピッチおよび外形寸法は、第1
の実施形態と同様であり、凹部47aの深さは40μm
となっている。このような凸部45および凹部47aが
フィルム状樹脂3に同時に形成されるように、冷却ロー
ル5に備えられたレリーフ型が製作されている。First, a polysulfone resin was passed through the die 2 to a thickness of 5 mm under the same extrusion processing conditions (A) as in the first embodiment.
By extruding into a film so as to have a thickness of 0 μm, a film-like resin 3 is formed. The film-like resin 3 is
While being pressed by a cooling roll 5 at a temperature of 15 ° C. and a nip roll 6 provided with the above-mentioned relief mold on the surface, it is cooled at the same time. 6 (a), 6 (b) and 7 by the relief mold provided on the cooling roll 5.
As shown in FIG. 7A and FIG. 7A ′, the film-shaped resin 3 is provided with a plurality of independent projections 45,
And a plurality of recesses 47a respectively arranged in the center of the film-shaped resin 3 are continuously formed in the extrusion direction of the film-shaped resin 3. Each recess 47a is for forming the orifice 41. The pitch and the outer dimensions of the projection 45 are the first
The depth of the recess 47a is 40 μm.
It has become. A relief type provided on the cooling roll 5 is manufactured so that such a convex portion 45 and a concave portion 47a are simultaneously formed on the film-shaped resin 3.
【0054】次に、フィルム状樹脂3の、凸部45側と
反対側の面(フェイス面)に、第1の実施形態と同様な
方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、旭硝
子株式会社製のCTX−CZ5Aを用いた。Next, a water-repellent layer is formed on the surface (face surface) of the film-shaped resin 3 on the side opposite to the projection 45 side by the same method as in the first embodiment. As a water-repellent agent, CTX-CZ5A manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. was used.
【0055】次に、フィルム状樹脂3に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
7を参照して説明する。図7(b)、図7(c)は、図
6(a)に示したフィルム状樹脂のB部を拡大した平面
図であり、図7(b’)は図7(b)のC−C’線断面
図、図7(c’)は図7(c)のC−C’線断面図であ
る。Next, a process of manufacturing an orifice plate after forming a water-repellent layer on the film-like resin 3 will be described with reference to FIG. 7 (b) and 7 (c) are enlarged plan views of a portion B of the film-like resin shown in FIG. 6 (a), and FIG. FIG. 7C is a cross-sectional view taken along line CC ′ of FIG. 7C.
【0056】図7(b’)に示すように、それぞれの凹
部47aの底面にレーザ13を照射することにより、図
7(c)および図7(c’)に示すようにそれぞれの凹
部47aの底面に、フィルム状樹脂3を貫通する貫通孔
を形成する。これにより、凸部45側と反対側の開口寸
法がφ20μmのオリフィス41がフィルム状樹脂3に
形成される。As shown in FIG. 7B ', by irradiating the laser 13 onto the bottom surface of each concave portion 47a, as shown in FIGS. 7C and 7C', A through hole penetrating through the film-like resin 3 is formed on the bottom surface. As a result, the orifice 41 having an opening dimension of φ20 μm on the side opposite to the projection 45 is formed in the film-shaped resin 3.
【0057】図8は、フィルム状樹脂3にオリフィス4
1を形成するためのレーザ加工装置を模式的に示す図で
ある。図8に示されるレーザ加工装置には、エキシマレ
ーザ発振器9と、エキシマレーザ発振器9から出射され
たレーザ13を集光させる集光レンズ11と、集光レン
ズ11を透過したレーザ13をフィルム状樹脂3の所定
の部分に照射させるためのマスク12とが備えられてい
る。エキシマレーザ発振器9から出射されたレーザ13
は集光レンズ11およびマスク12を介してフィルム状
樹脂3に照射される。フィルム状樹脂3はロール状に巻
かれた状態で収納されており、ここでは、ロール状のフ
ィルム状樹脂3を巻き出すことによりフィルム状樹脂3
の一部を平らにし、フィルム状樹脂3の平らな部分にレ
ーザ13を照射させる。FIG. 8 shows that the orifice 4
FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a laser processing apparatus for forming a laser beam processing device 1; The laser processing apparatus shown in FIG. 8 includes an excimer laser oscillator 9, a condensing lens 11 for condensing a laser 13 emitted from the excimer laser oscillator 9, and a laser 13 transmitted through the condensing lens 11 in a film-like resin. 3 is provided with a mask 12 for irradiating a predetermined portion. Laser 13 emitted from excimer laser oscillator 9
Is irradiated to the film-shaped resin 3 through the condenser lens 11 and the mask 12. The film-shaped resin 3 is housed in a rolled state. Here, the film-shaped resin 3 is unwound from the roll-shaped film-shaped resin 3.
Is flattened, and a flat portion of the film-shaped resin 3 is irradiated with the laser 13.
【0058】本実施形態では、図1に示した製造ライン
の装置と、図8に示したレーザ加工装置とが別々になっ
ているが、図1に示した製造ラインにおいて巻き取りロ
ール8の手前に、図8に示したレーザ加工装置を配置す
ることもできる。In the present embodiment, the apparatus of the production line shown in FIG. 1 and the laser processing apparatus shown in FIG. 8 are separate from each other, but before the winding roll 8 in the production line shown in FIG. Alternatively, the laser processing apparatus shown in FIG. 8 can be arranged.
【0059】ここで、フィルム状樹脂3の厚さに対して
凹部47aの深さを深くし、レーザ13でオリフィス4
1を開口させる肉厚を必要な寸法公差内に薄くした場合
では、レーザ13を照射する部分を凹部47aの底面に
対してアライメントする必要がなく、凹部47aの底面
全体にレーザ13を照射すればよい。これにより、オリ
フィス41を形成するプロセスが簡単になり、液体吐出
ヘッドの製造コスト、および製造装置のコストが下が
る。Here, the depth of the concave portion 47 a is made larger than the thickness of the film-shaped resin 3, and
In the case where the wall thickness for opening 1 is reduced to a required dimensional tolerance, it is not necessary to align the portion to be irradiated with the laser 13 with the bottom surface of the concave portion 47a. Good. This simplifies the process of forming the orifice 41, and reduces the manufacturing cost of the liquid ejection head and the manufacturing apparatus.
【0060】次に、オリフィス41および凸部45が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂3を、1つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な4インチサイズに切断し
て、図1および図2に示したオリフィスプレート40が
作製される。Next, the orifice 41 and the convex portion 45 are formed, and the film-shaped resin 3 wound into a roll is cut into a required 4-inch size for each liquid discharge head, and is cut as shown in FIGS. The orifice plate 40 shown in FIG.
【0061】次に、第1の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート40の凸部45がヘッド本体
46の流路61内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート40をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
46に接着することで、図1および図2に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。Next, similarly to the method described in the first embodiment, the orifice plate 40 is epoxied so that the convex portion 45 of the orifice plate 40 enters and fits into the flow path 61 of the head body 46. The liquid ejection head described with reference to FIGS. 1 and 2 is manufactured by adhering to the head main body 46 with a system adhesive.
【0062】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第1の実施形態と同様に、1つのオリフィスプ
レート40は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口41を有するオリフィス
プレート40を作製する際にも、オリフィスプレート4
0のつなぎ目もなく、吐出口41や凸部45などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート4
0の凸部45をヘッド本体46の流路61に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。According to the manufacturing method of the liquid discharge head of the present embodiment, as in the first embodiment, one orifice plate 40 is manufactured as one unit without being divided and manufactured. When the orifice plate 40 having the discharge ports 41 of the
There is no seam of 0, and the dimensional accuracy of the discharge port 41, the convex portion 45, and the like is improved. Thereby, the orifice plate 4
The defect that the 0 convex portion 45 cannot be fitted into the flow path 61 of the head main body 46 is eliminated. In addition, in the evaluation when recording was performed using the manufactured liquid ejection head, in the case where the orifice plate was divided and manufactured, the deviation of the flying droplet caused by the failure of the joint portion of the orifice plate and the unevenness of the recorded image were observed. Good recording quality was obtained without such defects.
【0063】(第3の実施の形態)図9および図10
は、本発明の第3の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方
法について説明するための図である。本実施形態の液体
吐出ヘッドの製造方法は、第1の実施形態の製造方法に
より製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状
のものを製造する方法であり、第1の実施形態と比較し
て、吐出口をレーザ加工により形成する点が主に異なっ
ている。また、第2の実施形態の製造方法と比較して、
レリーフ型の押圧によってフィルム状樹脂に凹部を形成
せずに吐出口を形成する点が異なっている。以下では、
第1および第2の実施形態と異なる点を中心に説明す
る。(Third Embodiment) FIGS. 9 and 10
FIG. 11 is a diagram for describing a method for manufacturing the liquid ejection head according to the third embodiment of the present invention. The method for manufacturing a liquid ejection head according to the present embodiment is a method for manufacturing a liquid ejection head having the same configuration and shape as the liquid ejection head manufactured by the manufacturing method according to the first embodiment. The main difference is that the discharge port is formed by laser processing. Further, as compared with the manufacturing method of the second embodiment,
The difference is that a discharge port is formed without forming a concave portion in the film-like resin by pressing of a relief type. Below,
The description will focus on the differences from the first and second embodiments.
【0064】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第1の実施形態の図3に示した製造ラインに
よって、オリフィスプレートを作製するためのフィルム
状樹脂を形成する。ここでは、第1の実施形態で用いた
レリーフ型4の代わりに、レリーフ型4とは異なる別の
所定の形状のレリーフ型を備えた冷却ロール5を用い
る。図9(a)は、押出成形機1のダイ2から押出され
たポリサルフォン樹脂が、冷却ロール5に備えられた前
記レリーフ型によって押圧されることにより所定の形状
に形成されたフィルム状樹脂の平面図であり、図9
(b)は、図9(a)のA−A’線断面図である。図1
0(a)は、図9(a)に示したフィルム状樹脂のB部
を拡大した平面図であり、図10(a’)は、図10
(a)のC−C’線断面図である。Also in the method of manufacturing a liquid discharge head according to the present embodiment, a film-like resin for manufacturing an orifice plate is formed by the manufacturing line shown in FIG. 3 of the first embodiment. Here, instead of the relief mold 4 used in the first embodiment, a cooling roll 5 having a relief mold having another predetermined shape different from the relief mold 4 is used. FIG. 9A is a plan view of a film-shaped resin formed into a predetermined shape by pressing the polysulfone resin extruded from the die 2 of the extruder 1 by the relief mold provided on the cooling roll 5. FIG. 9
FIG. 10B is a sectional view taken along line AA ′ of FIG. FIG.
FIG. 10A is an enlarged plan view of a portion B of the film-shaped resin shown in FIG. 11A, and FIG.
It is a CC 'line sectional view of (a).
【0065】まず、第1の実施形態と同様な押出し加工
条件(A)で、ポリサルフォン樹脂をダイ2から厚み5
0μmとなるようにフィルム状に押出すことにより、フ
ィルム状樹脂3を形成する。そのフィルム状樹脂3を、
表面に前記レリーフ型が備えられた温度15℃の冷却ロ
ール5、およびニップロール6により押圧すると同時に
冷却する。これにより、冷却ロール5に備えられた前記
レリーフ型によって、図9(a)、図9(b)、図10
(a)および図10(a’)に示すようにフィルム状樹
脂3に、凸部45を形成するための、それぞれが独立し
た複数の突起部48aがフィルム状樹脂3の押出し方向
に連続的に形成される。突起部48aのピッチおよび外
形寸法は、最終的にフィルム状樹脂3に形成される凸部
45と同様である。このような突起部48aがフィルム
状樹脂3に形成されるように、冷却ロール5に備えられ
たレリーフ型が製作されている。First, the polysulfone resin was passed through the die 2 to a thickness of 5 mm under the same extrusion processing conditions (A) as in the first embodiment.
By extruding into a film so as to have a thickness of 0 μm, a film-like resin 3 is formed. The film-like resin 3 is
While being pressed by a cooling roll 5 at a temperature of 15 ° C. and a nip roll 6 provided with the above-mentioned relief mold on the surface, it is cooled at the same time. 9A, 9B, and 10 by the relief mold provided on the cooling roll 5.
As shown in FIG. 10A and FIG. 10A ′, a plurality of independent projections 48 a for forming the projections 45 on the film-shaped resin 3 are continuously formed in the extrusion direction of the film-shaped resin 3. It is formed. The pitch and the outer dimensions of the projection 48a are the same as those of the projection 45 finally formed on the film-shaped resin 3. A relief type provided on the cooling roll 5 is manufactured so that such a protrusion 48a is formed on the film-shaped resin 3.
【0066】次に、フィルム状樹脂3の、突起部48a
側と反対側の面(フェイス面)に、第1の実施形態と同
様な方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、
旭硝子株式会社製のCTX−CZ5Aを用いた。Next, the projection 48a of the film-like resin 3 is formed.
A water-repellent layer is formed on the surface opposite to the side (face surface) by the same method as in the first embodiment. As a water repellent,
Asahi Glass Co., Ltd. CTX-CZ5A was used.
【0067】次に、フィルム状樹脂3に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
10を参照して説明する。図10(b)、図10(c)
は、図9(a)に示したフィルム状樹脂のB部を拡大し
た平面図であり、図10(b’)は図10(b)のC−
C’線断面図、図10(c’)は図10(c)のC−
C’線断面図である。Next, a process of manufacturing an orifice plate after forming a water-repellent layer on the film-like resin 3 will be described with reference to FIG. FIG. 10 (b), FIG. 10 (c)
FIG. 10B is an enlarged plan view of a portion B of the film-like resin shown in FIG. 9A, and FIG.
FIG. 10 (c ′) is a sectional view taken along line C ′ of FIG.
It is C 'line sectional drawing.
【0068】図10(b’)に示すように、それぞれの
突起部48aの先端面の中央部にレーザ13を照射する
ことにより、図10(c)および図10(c’)に示す
ようにそれぞれの突起部48aの中央部に、フィルム状
樹脂3を貫通する貫通孔、すなわちオリフィス41を形
成する。これにより、凸部45側と反対側の開口寸法が
φ20μmのオリフィス41がフィルム状樹脂3に形成
される。ここでは、第2の実施形態の図8に示したレー
ザ加工装置を用いて、第2の実施形態と同様な方法によ
り、フィルム状樹脂3にオリフィス41を形成する。As shown in FIG. 10 (b '), by irradiating the laser 13 to the center of the tip end surface of each projection 48a, as shown in FIGS. 10 (c) and 10 (c'). A through hole, that is, the orifice 41, which penetrates the film-like resin 3, is formed at the center of each of the projections 48a. As a result, the orifice 41 having an opening dimension of φ20 μm on the side opposite to the projection 45 is formed in the film-shaped resin 3. Here, the orifice 41 is formed in the film-shaped resin 3 by the same method as that of the second embodiment, using the laser processing apparatus shown in FIG. 8 of the second embodiment.
【0069】次に、オリフィス41および凸部45が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂3を、1つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な4インチサイズに切断し
て、図1および図2に示したオリフィスプレート40が
作製される。Next, the film-shaped resin 3 formed with the orifice 41 and the convex portion 45 and wound in a roll shape is cut into a required 4-inch size for each liquid discharge head, and FIG. 1 and FIG. The orifice plate 40 shown in FIG.
【0070】次に、第1の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート40の凸部45がヘッド本体
46の流路61内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート40をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
46に接着することで、図1および図2に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。Next, similarly to the method described in the first embodiment, the orifice plate 40 is epoxied so that the convex portion 45 of the orifice plate 40 enters and fits into the flow path 61 of the head body 46. The liquid ejection head described with reference to FIGS. 1 and 2 is manufactured by adhering to the head main body 46 with a system adhesive.
【0071】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第1の実施形態と同様に、1つのオリフィスプ
レート40は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口41を有するオリフィス
プレート40を作製する際にも、オリフィスプレート4
0のつなぎ目もなく、吐出口41や凸部45などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート4
0の凸部45をヘッド本体46の流路61に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。According to the method of manufacturing a liquid discharge head of the present embodiment, as in the first embodiment, one orifice plate 40 is manufactured as one unit without being divided and manufactured. When the orifice plate 40 having the discharge ports 41 of the
There is no seam of 0, and the dimensional accuracy of the discharge port 41, the convex portion 45, and the like is improved. Thereby, the orifice plate 4
The defect that the 0 convex portion 45 cannot be fitted into the flow path 61 of the head main body 46 is eliminated. In addition, in the evaluation when recording was performed using the manufactured liquid ejection head, in the case where the orifice plate was divided and manufactured, the deviation of the flying droplet caused by the failure of the joint portion of the orifice plate and the unevenness of the recorded image were observed. Good recording quality was obtained without such defects.
【0072】(第4の実施の形態)図11および図12
は、本発明の第4の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方
法について説明するための図である。本実施形態の液体
吐出ヘッドの製造方法は、第1の実施形態の製造方法に
より製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状
のものを製造する方法であり、第1の実施形態と比較し
て、吐出口の周囲の凸部を形成する際にレーザを用いる
点が主に異なっている。以下では、第1の実施形態と異
なる点を中心に説明する。(Fourth Embodiment) FIGS. 11 and 12
FIG. 14 is a diagram for describing a method for manufacturing the liquid ejection head according to the fourth embodiment of the present invention. The method for manufacturing a liquid ejection head according to the present embodiment is a method for manufacturing a liquid ejection head having the same configuration and shape as the liquid ejection head manufactured by the manufacturing method according to the first embodiment. The main difference is that a laser is used to form a projection around the discharge port. The following description focuses on the differences from the first embodiment.
【0073】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第1の実施形態の図3に示した製造ラインに
よって、オリフィスプレートを作製するためのフィルム
状樹脂を形成する。ここでは、第1の実施形態で用いた
レリーフ型4の代わりに、レリーフ型4とは異なる別の
所定の形状のレリーフ型を備えた冷却ロール5を用い
る。図11(a)は、押出成形機1のダイ2から押出さ
れたポリサルフォン樹脂が、冷却ロール5に備えられた
前記レリーフ型によって押圧されることにより所定の形
状に形成されたフィルム状樹脂の平面図であり、図11
(b)は、図11(a)のA−A’線断面図である。図
12(a)は、図11(a)に示したフィルム状樹脂の
B部を拡大した平面図であり、図12(a’)は、図1
2(a)のC−C’線断面図である。Also in the method of manufacturing a liquid discharge head according to the present embodiment, a film-like resin for manufacturing an orifice plate is formed by the manufacturing line shown in FIG. 3 of the first embodiment. Here, instead of the relief mold 4 used in the first embodiment, a cooling roll 5 having a relief mold having another predetermined shape different from the relief mold 4 is used. FIG. 11A is a plan view of a film-shaped resin formed into a predetermined shape by pressing the polysulfone resin extruded from the die 2 of the extruder 1 by the relief mold provided on the cooling roll 5. FIG.
FIG. 12B is a sectional view taken along line AA ′ of FIG. FIG. 12A is an enlarged plan view of a portion B of the film-shaped resin shown in FIG. 11A, and FIG.
It is CC 'line sectional drawing of 2 (a).
【0074】まず、第1の実施形態と同様な押出し加工
条件(A)で、ポリサルフォン樹脂をダイ2から厚み5
0μmとなるようにフィルム状に押出すことにより、フ
ィルム状樹脂3を形成する。そのフィルム状樹脂3を、
表面に前記レリーフ型が備えられた温度15℃の冷却ロ
ール5、およびニップロール6により押圧すると同時に
冷却する。これによって、冷却ロール5に備えられた前
記レリーフ型によって、図11(a)、図11(b)、
図12(a)および図12(a’)に示すようにフィル
ム状樹脂3に、凸部45を形成するための、フィルム状
樹脂3の押出し方向に連続した突起部48b、および突
起部48bに配置された複数のオリフィス41が形成さ
れる。突起部48bの外形寸法は、幅が30μm、高さ
が10μmとなっている。このような突起部48bおよ
びオリフィス41がフィルム状樹脂3に形成されるよう
に、冷却ロール5に備えられたレリーフ型が製作されて
いる。First, the polysulfone resin was passed through the die 2 to a thickness of 5 mm under the same extrusion processing conditions (A) as in the first embodiment.
By extruding into a film so as to have a thickness of 0 μm, a film-like resin 3 is formed. The film-like resin 3 is
While being pressed by a cooling roll 5 at a temperature of 15 ° C. and a nip roll 6 provided with the above-mentioned relief mold on the surface, it is cooled at the same time. 11 (a), 11 (b), and 11 (b) by the relief mold provided on the cooling roll 5.
As shown in FIG. 12A and FIG. 12A ′, the projections 48 b and the projections 48 b continuous in the extrusion direction of the film-like resin 3 for forming the projections 45 on the film-like resin 3 are formed. A plurality of orifices 41 arranged are formed. The external dimensions of the protrusion 48b are 30 μm in width and 10 μm in height. A relief type provided on the cooling roll 5 is manufactured so that the projection 48 b and the orifice 41 are formed on the film-shaped resin 3.
【0075】次に、フィルム状樹脂3の、突起部48b
側と反対側の面(フェイス面)に、第1の実施形態と同
様な方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、
旭硝子株式会社製のCTX−CZ5Aを用いた。Next, the projecting portion 48b of the film-like resin 3 is formed.
A water-repellent layer is formed on the surface opposite to the side (face surface) by the same method as in the first embodiment. As a water repellent,
Asahi Glass Co., Ltd. CTX-CZ5A was used.
【0076】次に、フィルム状樹脂3に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
12を参照して説明する。図12(b)、図12(c)
は、図11(a)に示したフィルム状樹脂のB部を拡大
した平面図であり、図12(b’)は図12(b)のC
−C’線断面図、図12(c’)は図12(c)のC−
C’線断面図である。Next, a process of manufacturing an orifice plate after forming a water-repellent layer on the film-like resin 3 will be described with reference to FIG. FIG. 12 (b), FIG. 12 (c)
FIG. 12B is an enlarged plan view of a portion B of the film-like resin shown in FIG. 11A, and FIG.
FIG. 12 (c ′) is a sectional view taken along line C ′ of FIG.
It is C 'line sectional drawing.
【0077】図12(b’)に示すように、突起部48
bの先端面におけるオリフィス41および凸部45に対
応する部分を除く部分にレーザ13を照射することによ
り、図12(c)および図12(c’)に示すように、
突起部48bの不要な部分を除去し、オリフィス41ご
とにそれぞれが独立した複数の凸部45を形成する。こ
こでは、第2の実施形態の図8に示したレーザ加工装置
を用いて凸部45を形成するが、第2の実施形態で用い
たマスク12の代わりに、凸部45を形成するための所
定のパターンを有する別のマスクを用いてレーザ加工を
行う。As shown in FIG. 12B ', the protrusion 48
By irradiating the laser 13 to a portion other than the portion corresponding to the orifice 41 and the convex portion 45 on the distal end surface of b, as shown in FIGS. 12 (c) and 12 (c ′),
Unnecessary portions of the protrusions 48b are removed, and a plurality of independent protrusions 45 are formed for each orifice 41. Here, the convex portions 45 are formed using the laser processing apparatus shown in FIG. 8 of the second embodiment. However, instead of the mask 12 used in the second embodiment, the convex portions 45 are formed. Laser processing is performed using another mask having a predetermined pattern.
【0078】次に、オリフィス41および凸部45が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂3を、1つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な4インチサイズに切断し
て、図1および図2に示したオリフィスプレート40が
作製される。Next, the film-shaped resin 3 formed with the orifice 41 and the convex portion 45 and wound into a roll shape is cut into a required 4-inch size for each liquid discharge head, and FIG. 1 and FIG. The orifice plate 40 shown in FIG.
【0079】次に、第1の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート40の凸部45がヘッド本体
46の流路61内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート40をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
46に接着することで、図1および図2に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。Next, similarly to the method described in the first embodiment, the orifice plate 40 is epoxied so that the convex portion 45 of the orifice plate 40 enters and fits into the flow path 61 of the head main body 46. The liquid ejection head described with reference to FIGS. 1 and 2 is manufactured by adhering to the head main body 46 with a system adhesive.
【0080】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第1の実施形態と同様に、1つのオリフィスプ
レート40は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口41を有するオリフィス
プレート40を作製する際にも、オリフィスプレート4
0のつなぎ目もなく、吐出口41や凸部45などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート4
0の凸部45をヘッド本体46の流路61に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。According to the method of manufacturing the liquid discharge head of the present embodiment, as in the first embodiment, one orifice plate 40 is manufactured as one unit without being divided and manufactured. When the orifice plate 40 having the discharge ports 41 of the
There is no seam of 0, and the dimensional accuracy of the discharge port 41, the convex portion 45, and the like is improved. Thereby, the orifice plate 4
The defect that the 0 convex portion 45 cannot be fitted into the flow path 61 of the head main body 46 is eliminated. In addition, in the evaluation when recording was performed using the manufactured liquid ejection head, in the case where the orifice plate was divided and manufactured, the deviation of the flying droplet caused by the failure of the joint portion of the orifice plate and the unevenness of the recorded image were observed. Good recording quality was obtained without such defects.
【0081】(第5の実施の形態)図13〜図15は、
本発明の第5の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
ついて説明するための図である。本実施形態の液体吐出
ヘッドの製造方法は、第1の実施形態の製造方法により
製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状のも
のを製造する方法である。(Fifth Embodiment) FIG. 13 to FIG.
It is a figure for explaining the manufacturing method of the liquid discharge head of a 5th embodiment of the present invention. The method for manufacturing a liquid discharge head according to the present embodiment is a method for manufacturing a liquid discharge head having the same configuration and shape as the liquid discharge head manufactured by the manufacturing method according to the first embodiment.
【0082】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第1の実施形態の図3に示した製造ラインに
よって、オリフィスプレートを作製するためのフィルム
状樹脂を形成する。ここでは、第1の実施形態で用いた
レリーフ型4の代わりに、レリーフ型4とは異なる別の
所定の形状のレリーフ型を備えた冷却ロール5を用い
る。図13(a)は、押出成形機1のダイ2から押出さ
れたポリサルフォン樹脂が、冷却ロール5に備えられた
前記レリーフ型によって押圧されることにより所定の形
状に形成されたフィルム状樹脂の平面図であり、図13
(b)は、図13(a)のA−A’線断面図である。図
14(a)は、図13(a)に示したフィルム状樹脂の
B部を拡大した平面図であり、図14(a’)は、図1
4(a)のC−C’線断面図である。In the method of manufacturing a liquid discharge head according to the present embodiment, a film-like resin for manufacturing an orifice plate is formed by the manufacturing line shown in FIG. 3 of the first embodiment. Here, instead of the relief mold 4 used in the first embodiment, a cooling roll 5 having a relief mold having another predetermined shape different from the relief mold 4 is used. FIG. 13A is a plan view of a film-shaped resin formed in a predetermined shape by pressing the polysulfone resin extruded from the die 2 of the extruder 1 by the relief mold provided on the cooling roll 5. FIG.
FIG. 13B is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. FIG. 14 (a) is an enlarged plan view of a portion B of the film-shaped resin shown in FIG. 13 (a), and FIG.
It is CC 'line sectional drawing of 4 (a).
【0083】まず、第1の実施形態と同様な押出し加工
条件(A)で、ポリサルフォン樹脂をダイ2から厚み5
0μmとなるようにフィルム状に押出すことにより、フ
ィルム状樹脂3を形成する。そのフィルム状樹脂3を、
表面に前記レリーフ型が備えられた温度15℃の冷却ロ
ール5、およびニップロール6により押圧すると同時に
冷却する。これにより、冷却ロール5に備えられた前記
レリーフ型によって、図13(a)、図13(b)、図
14(a)および図14(a’)に示すようにフィルム
状樹脂3に、凸部45を形成するための、フィルム状樹
脂3の押出し方向に連続した突起部48b、および突起
部48bに配置された複数の凹部47bが形成される。
それぞれの凹部47aはオリフィス41を形成するため
のものであり、複数の凹部47bはそれぞれ独立してい
る。突起部48bの外形寸法は、幅が30μm、高さが
10μmとなっている。このような突起部48bおよび
凹部47bがフィルム状樹脂3に形成されるように、冷
却ロール5に備えられたレリーフ型が製作されている。First, the polysulfone resin is passed through the die 2 to a thickness of 5 mm under the same extrusion processing conditions (A) as in the first embodiment.
By extruding into a film so as to have a thickness of 0 μm, a film-like resin 3 is formed. The film-like resin 3 is
While being pressed by a cooling roll 5 at a temperature of 15 ° C. and a nip roll 6 provided with the above-mentioned relief mold on the surface, it is cooled at the same time. As a result, the relief type provided on the cooling roll 5 causes the film-shaped resin 3 to be protruded as shown in FIGS. 13 (a), 13 (b), 14 (a) and 14 (a '). For forming the portion 45, a projection 48b continuous in the direction of extrusion of the film-like resin 3 and a plurality of recesses 47b arranged in the projection 48b are formed.
Each recess 47a is for forming the orifice 41, and the plurality of recesses 47b are independent of each other. The external dimensions of the protrusion 48b are 30 μm in width and 10 μm in height. A relief mold provided on the cooling roll 5 is manufactured so that the projection 48b and the recess 47b are formed in the film-shaped resin 3.
【0084】次に、フィルム状樹脂3の、突起部48b
側と反対側の面(フェイス面)に、第1の実施形態と同
様な方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、
旭硝子株式会社製のCTX−CZ5Aを用いた。Next, the projecting portion 48b of the film-like resin 3 is formed.
A water-repellent layer is formed on the surface opposite to the side (face surface) by the same method as in the first embodiment. As a water repellent,
Asahi Glass Co., Ltd. CTX-CZ5A was used.
【0085】次に、フィルム状樹脂3に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
14および図15を参照して説明する。図14(b)、
図14(c)、図15(a)および図15(b)は、図
13(a)に示したフィルム状樹脂のB部を拡大した平
面図である。図14(b’)は図14(b)のC−C’
線断面図、図14(c’)は図14(c)のC−C’線
断面図、図15(a’)は図15(a)のC−C’線断
面図、図15(b’)は図15(b)のC−C’線断面
図である。Next, a process of forming an orifice plate after forming a water-repellent layer on the film-like resin 3 will be described with reference to FIGS. FIG. 14 (b),
FIGS. 14 (c), 15 (a) and 15 (b) are enlarged plan views of portion B of the film-like resin shown in FIG. 13 (a). FIG. 14B ′ is CC ′ of FIG. 14B.
14 (c ') is a cross-sectional view taken along line CC' of FIG. 14 (c), FIG. 15 (a ') is a cross-sectional view taken along line CC' of FIG. 15 (a), and FIG. ') Is a cross-sectional view taken along line CC' in FIG. 15B.
【0086】図14(b’)に示すように、突起部48
bの先端面における凹部47bおよび凸部45に対応す
る部分を除く部分にレーザ13を照射することにより、
図14(c)および図14(c’)に示すように、突起
部48bの不要な部分を除去し、凹部47bごとにそれ
ぞれが独立した複数の凸部45を形成する。As shown in FIG. 14B, the projection 48
By irradiating the laser 13 to a portion other than the portion corresponding to the concave portion 47b and the convex portion 45 on the distal end surface of b,
As shown in FIGS. 14C and 14C ', unnecessary portions of the protrusions 48b are removed, and a plurality of independent protrusions 45 are formed for each of the recesses 47b.
【0087】次に、図15(a’)に示すように、それ
ぞれの凹部47bの底面にレーザ13を照射することに
より、図15(b)および図15(b’)に示すように
それぞれの凹部47bの底面に、フィルム状樹脂3を貫
通する貫通孔を形成する。これにより、凸部45側と反
対側の開口寸法がφ20μmのオリフィス41がフィル
ム状樹脂3に形成される。Next, as shown in FIG. 15 (a '), the bottom surface of each concave portion 47b is irradiated with the laser 13 so that each of the concave portions 47b is irradiated with the laser 13 as shown in FIGS. 15 (b) and 15 (b'). A through hole penetrating the film-shaped resin 3 is formed on the bottom surface of the concave portion 47b. As a result, the orifice 41 having an opening dimension of φ20 μm on the side opposite to the projection 45 is formed in the film-shaped resin 3.
【0088】本実施形態においても、第2の実施形態の
図8に示したレーザ加工装置を用いて凸部45およびオ
リフィス41を形成する。凸部45を形成する際には、
第2の実施形態で用いたマスク12の代わりに、第4の
実施形態と同様に凸部45を形成するための所定のパタ
ーンを有する別のマスクを用いてレーザ加工を行う。ま
た、オリフィス41を形成する際には、凹部47bの底
面を開口させるために第2の実施形態と同様のマスク1
2を用いる。Also in this embodiment, the projection 45 and the orifice 41 are formed by using the laser processing apparatus shown in FIG. 8 of the second embodiment. When forming the convex portion 45,
In place of the mask 12 used in the second embodiment, laser processing is performed using another mask having a predetermined pattern for forming the convex portion 45 as in the fourth embodiment. When forming the orifice 41, the same mask 1 as in the second embodiment is used to open the bottom of the recess 47b.
2 is used.
【0089】第2の実施形態と同様に、フィルム状樹脂
3の厚さに対して凹部47bの深さを深くし、レーザ1
3でオリフィス41を開口させる肉厚を必要な寸法公差
内に薄くした場合では、レーザ13を照射する部分を凹
部47bの底面に対してアライメントする必要がなく、
凹部47bの底面全体にレーザ13を照射すればよい。
これにより、オリフィス41を形成するプロセスが簡単
になり、液体吐出ヘッドの製造コスト、および製造装置
のコストが下がる。As in the case of the second embodiment, the depth of the concave portion 47b is increased with respect to the thickness of the
In the case where the thickness of the opening of the orifice 41 is reduced to a required dimensional tolerance in Step 3, it is not necessary to align the portion irradiated with the laser 13 with the bottom surface of the concave portion 47b.
The laser 13 may be applied to the entire bottom surface of the recess 47b.
This simplifies the process of forming the orifice 41, and reduces the manufacturing cost of the liquid ejection head and the manufacturing apparatus.
【0090】次に、オリフィス41および凸部45が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂3を、1つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な4インチサイズに切断し
て、図1および図2に示したオリフィスプレート40が
作製される。Next, the film-shaped resin 3 formed with the orifice 41 and the convex portion 45 and wound in a roll shape is cut into a required 4-inch size for each liquid discharge head, and FIG. 1 and FIG. The orifice plate 40 shown in FIG.
【0091】次に、第1の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート40の凸部45がヘッド本体
46の流路61内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート40をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
46に接着することで、図1および図2に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。Next, similarly to the method described in the first embodiment, the orifice plate 40 is epoxied so that the convex portion 45 of the orifice plate 40 enters and fits into the flow path 61 of the head main body 46. The liquid ejection head described with reference to FIGS. 1 and 2 is manufactured by adhering to the head main body 46 with a system adhesive.
【0092】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第1の実施形態と同様に、1つのオリフィスプ
レート40は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口41を有するオリフィス
プレート40を作製する際にも、オリフィスプレート4
0のつなぎ目もなく、吐出口41や凸部45などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート4
0の凸部45をヘッド本体46の流路61に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。According to the method of manufacturing the liquid discharge head of the present embodiment, as in the first embodiment, one orifice plate 40 is manufactured as an integral unit without being divided and manufactured. When the orifice plate 40 having the discharge ports 41 of the
There is no seam of 0, and the dimensional accuracy of the discharge port 41, the convex portion 45, and the like is improved. Thereby, the orifice plate 4
The defect that the 0 convex portion 45 cannot be fitted into the flow path 61 of the head main body 46 is eliminated. In addition, in the evaluation when recording was performed using the manufactured liquid ejection head, in the case where the orifice plate was divided and manufactured, the deviation of the flying droplet caused by the failure of the joint portion of the orifice plate and the unevenness of the recorded image were observed. Good recording quality was obtained without such defects.
【0093】(第6の実施の形態)図16および図17
は、本発明の第6の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方
法について説明するための図である。本実施形態の液体
吐出ヘッドの製造方法は、第1の実施形態の製造方法に
より製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状
のものを製造する方法である。本実施形態の製造方法
は、第5の実施形態の製造方法においてレーザ加工によ
りオリフィスを形成する工程と、レーザ加工により凸部
を形成する工程の順番が入れ代わったものである。(Sixth Embodiment) FIGS. 16 and 17
FIG. 15 is a diagram for describing the method for manufacturing the liquid ejection head according to the sixth embodiment of the present invention. The method for manufacturing a liquid discharge head according to the present embodiment is a method for manufacturing a liquid discharge head having the same configuration and shape as the liquid discharge head manufactured by the manufacturing method according to the first embodiment. In the manufacturing method of the present embodiment, the order of the step of forming an orifice by laser processing and the step of forming a convex portion by laser processing in the manufacturing method of the fifth embodiment are interchanged.
【0094】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第1の実施形態の図3に示した製造ラインに
よって、第5の実施形態の図13に示した突起部48b
および凹部47bが形成されたフィルム状樹脂3を作製
する。In the manufacturing method of the liquid discharge head according to the present embodiment, the projection 48b shown in FIG. 13 of the fifth embodiment is also operated by the manufacturing line shown in FIG. 3 of the first embodiment.
Then, the film-shaped resin 3 on which the concave portions 47b are formed is produced.
【0095】次に、フィルム状樹脂3の、突起部48b
側と反対側の面(フェイス面)に、第1の実施形態と同
様な方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、
旭硝子株式会社製のCTX−CZ5Aを用いた。Next, the protrusion 48b of the film-like resin 3 is formed.
A water-repellent layer is formed on the surface opposite to the side (face surface) by the same method as in the first embodiment. As a water repellent,
Asahi Glass Co., Ltd. CTX-CZ5A was used.
【0096】次に、フィルム状樹脂3に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
16および図17を参照して説明する。図16(a)、
図16(b)、図16(c)、図17(a)および図1
7(b)は、図13(a)に示したフィルム状樹脂のB
部を拡大した平面図である。図16(a’)は図16
(a)のC−C’線断面図、図16(b’)は図16
(b)のC−C’線断面図、図16(c’)は図16
(c)のC−C’線断面図、図17(a’)は図17
(a)のC−C’線断面図、図17(b’)は図17
(b)のC−C’線断面図である。Next, a process of manufacturing an orifice plate after forming a water-repellent layer on the film-like resin 3 will be described with reference to FIGS. FIG. 16A,
16 (b), 16 (c), 17 (a) and 1
7 (b) is the film-like resin B shown in FIG. 13 (a).
It is the top view which expanded the part. FIG.
16A is a cross-sectional view taken along the line CC ′, and FIG.
FIG. 16B is a sectional view taken along the line CC ′, and FIG.
17C is a sectional view taken along the line CC ′, and FIG.
FIG. 17A is a cross-sectional view taken along the line CC ′, and FIG.
It is a CC 'line sectional view of (b).
【0097】図16(a)および図16(a’)に示す
ように、冷却ロール5に備えられたレリーフ型の押圧に
よりフィルム状樹脂3には、第5の実施形態で説明した
突起部48bおよび凹部47bが形成されている。As shown in FIGS. 16 (a) and 16 (a '), the projection 48b explained in the fifth embodiment is applied to the film-like resin 3 by the pressure of the relief type provided on the cooling roll 5. And a recess 47b.
【0098】図16(b’)に示すように、それぞれの
凹部47bの底面にレーザ13を照射することにより、
図16(c)および図16(c’)に示すようにそれぞ
れの凹部47bの底面に、フィルム状樹脂3を貫通する
貫通孔を形成する。これにより、凸部45側と反対側の
開口寸法がφ20μmのオリフィス41がフィルム状樹
脂3に形成される。As shown in FIG. 16 (b '), by irradiating the laser 13 to the bottom surface of each recess 47b,
As shown in FIG. 16C and FIG. 16C ′, a through hole penetrating the film-shaped resin 3 is formed on the bottom surface of each concave portion 47b. As a result, the orifice 41 having an opening dimension of φ20 μm on the side opposite to the projection 45 is formed in the film-shaped resin 3.
【0099】次に、図17(a’)に示すように、突起
部48bの先端面におけるオリフィス41および凸部4
5に対応する部分を除く部分にレーザ13を照射するこ
とにより、図17(b)および図17(b’)に示すよ
うに、突起部48bの不要な部分を除去し、オリフィス
41ごとにそれぞれが独立した複数の凸部45を形成す
る。本実施形態においても、第5の実施形態と同様に、
第2の実施形態の図8に示したレーザ加工装置を用いて
凸部45およびオリフィス41を形成する。Next, as shown in FIG. 17 (a '), the orifice 41 and the projection 4 on the tip surface of the projection 48b.
By irradiating the laser 13 to portions other than the portion corresponding to 5, unnecessary portions of the protrusions 48 b are removed as shown in FIGS. Form a plurality of independent convex portions 45. Also in this embodiment, similarly to the fifth embodiment,
The projection 45 and the orifice 41 are formed by using the laser processing apparatus of the second embodiment shown in FIG.
【0100】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法で
も、第2の実施形態と同様に、フィルム状樹脂3の厚さ
に対して凹部47bの深さを深くし、レーザ13でオリ
フィス41を開口させる肉厚を必要な寸法公差内に薄く
した場合では、レーザ13を照射する部分を凹部47b
の底面に対してアライメントする必要がなく、凹部47
bの底面全体にレーザ13を照射すればよい。これによ
り、オリフィス41を形成するプロセスが簡単になり、
液体吐出ヘッドの製造コスト、および製造装置のコスト
が下がる。In the manufacturing method of the liquid discharge head of the present embodiment, similarly to the second embodiment, the depth of the concave portion 47 b is made larger than the thickness of the film-like resin 3, and the orifice 41 is opened by the laser 13. In the case where the thickness to be made is reduced to a required dimensional tolerance, the portion irradiated with the laser 13 is formed in the concave portion 47b.
There is no need to align with the bottom of
The laser 13 may be applied to the entire bottom surface of b. This simplifies the process of forming the orifice 41,
The manufacturing cost of the liquid ejection head and the cost of the manufacturing apparatus are reduced.
【0101】次に、オリフィス41および凸部45が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂3を、1つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な4インチサイズに切断し
て、図1および図2に示したオリフィスプレート40が
作製される。Next, the film-shaped resin 3 formed with the orifice 41 and the convex portion 45 and wound in a roll shape is cut into a required 4-inch size for each liquid discharge head, and FIG. 1 and FIG. The orifice plate 40 shown in FIG.
【0102】次に、第1の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート40の凸部45がヘッド本体
46の流路61内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート40をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
46に接着することで、図1および図2に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。Next, similarly to the method described in the first embodiment, the orifice plate 40 is epoxied so that the convex portion 45 of the orifice plate 40 enters and fits into the flow path 61 of the head body 46. The liquid ejection head described with reference to FIGS. 1 and 2 is manufactured by adhering to the head main body 46 with a system adhesive.
【0103】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第1の実施形態と同様に、1つのオリフィスプ
レート40は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口41を有するオリフィス
プレート40を作製する際にも、オリフィスプレート4
0のつなぎ目もなく、吐出口41や凸部45などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート4
0の凸部45をヘッド本体46の流路61に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。According to the manufacturing method of the liquid discharge head of the present embodiment, as in the first embodiment, one orifice plate 40 is manufactured as one unit without being divided and manufactured. When the orifice plate 40 having the discharge ports 41 of the
There is no seam of 0, and the dimensional accuracy of the discharge port 41, the convex portion 45, and the like is improved. Thereby, the orifice plate 4
The defect that the 0 convex portion 45 cannot be fitted into the flow path 61 of the head main body 46 is eliminated. In addition, in the evaluation when recording was performed using the manufactured liquid ejection head, in the case where the orifice plate was divided and manufactured, the deviation of the flying droplet caused by the failure of the joint portion of the orifice plate and the unevenness of the recorded image were observed. Good recording quality was obtained without such defects.
【0104】(第7の実施の形態)図18〜図20は、
本発明の第7の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
ついて説明するための図である。本実施形態の液体吐出
ヘッドの製造方法は、第1の実施形態の製造方法により
製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状のも
のを製造する方法である。(Seventh Embodiment) FIG. 18 to FIG.
It is a figure for explaining the manufacturing method of the liquid discharge head of a 7th embodiment of the present invention. The method for manufacturing a liquid discharge head according to the present embodiment is a method for manufacturing a liquid discharge head having the same configuration and shape as the liquid discharge head manufactured by the manufacturing method according to the first embodiment.
【0105】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第1の実施形態の図3に示した製造ラインに
よって、オリフィスプレートを作製するためのフィルム
状樹脂を形成する。ここでは、第1の実施形態で用いた
レリーフ型4の代わりに、レリーフ型4とは異なる別の
所定の形状のレリーフ型を備えた冷却ロール5を用い
る。図18(a)は、押出成形機1のダイ2から押出さ
れたポリサルフォン樹脂が、冷却ロール5に備えられた
前記レリーフ型によって押圧されることにより所定の形
状に形成されたフィルム状樹脂の平面図であり、図18
(b)は、図18(a)のA−A’線断面図である。図
19(a)は、図18(a)に示したフィルム状樹脂の
B部を拡大した平面図であり、図19(a’)は、図1
9(a)のC−C’線断面図である。Also in the method of manufacturing a liquid discharge head according to the present embodiment, a film-like resin for manufacturing an orifice plate is formed by the manufacturing line shown in FIG. 3 of the first embodiment. Here, instead of the relief mold 4 used in the first embodiment, a cooling roll 5 having a relief mold having another predetermined shape different from the relief mold 4 is used. FIG. 18A is a plan view of a film-shaped resin formed into a predetermined shape by pressing the polysulfone resin extruded from the die 2 of the extrusion molding machine 1 by the relief mold provided on the cooling roll 5. FIG.
FIG. 19B is a sectional view taken along line AA ′ of FIG. FIG. 19A is an enlarged plan view of a portion B of the film-shaped resin shown in FIG. 18A, and FIG.
FIG. 9 (a) is a sectional view taken along line CC ′.
【0106】まず、第1の実施形態と同様な押出し加工
条件(A)で、ポリサルフォン樹脂をダイ2から厚み5
0μmとなるようにフィルム状に押出すことにより、フ
ィルム状樹脂3を形成する。そのフィルム状樹脂3を、
表面に前記レリーフ型が備えられた温度15℃の冷却ロ
ール5、およびニップロール6により押圧すると同時に
冷却する。これにより、冷却ロール5に備えられた前記
レリーフ型によって、図18(a)、図18(b)、図
19(a)および図19(a’)に示すようにフィルム
状樹脂3に、図1および図2に示した複数の凸部45を
形成するための、フィルム状樹脂3の押出し方向に連続
した突起部48cが形成される。それぞれの突起部48
cは、凸部45を形成するためのものであり、突起部4
8cの外形寸法は、幅が30μm、高さが10μmとな
っている。このような突起部48cがフィルム状樹脂3
に形成されるように、冷却ロール5に備えられたレリー
フ型が製作されている。First, the polysulfone resin was passed through the die 2 to a thickness of 5 mm under the same extrusion processing conditions (A) as in the first embodiment.
By extruding into a film so as to have a thickness of 0 μm, a film-like resin 3 is formed. The film-like resin 3 is
While being pressed by a cooling roll 5 at a temperature of 15 ° C. and a nip roll 6 provided with the above-mentioned relief mold on the surface, it is cooled at the same time. As a result, the relief type provided on the cooling roll 5 causes the film-shaped resin 3 as shown in FIG. 18 (a), FIG. 18 (b), FIG. 19 (a) and FIG. A projection 48c continuous in the extrusion direction of the film-like resin 3 for forming the plurality of projections 45 shown in FIG. 1 and FIG. 2 is formed. Each projection 48
c is for forming the convex part 45, and the protrusion 4
The external dimensions of 8c are 30 μm in width and 10 μm in height. Such a protrusion 48c is formed of the film-like resin 3
The relief die provided on the cooling roll 5 is manufactured so as to be formed as shown in FIG.
【0107】次に、フィルム状樹脂3の、突起部48c
側と反対側の面(フェイス面)に、第1の実施形態と同
様な方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、
旭硝子株式会社製のCTX−CZ5Aを用いた。Next, the projecting portion 48c of the film-like resin 3 is formed.
A water-repellent layer is formed on the surface opposite to the side (face surface) by the same method as in the first embodiment. As a water repellent,
Asahi Glass Co., Ltd. CTX-CZ5A was used.
【0108】次に、フィルム状樹脂3に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
19および図20を参照して説明する。図19(b)、
図19(c)、図20(a)および図20(b)は、図
18(a)に示したフィルム状樹脂のB部を拡大した平
面図である。図19(b’)は図19(b)のC−C’
線断面図、図19(c’)は図19(c)のC−C’線
断面図、図20(a’)は図20(a)のC−C’線断
面図、図20(b’)は図20(b)のC−C’線断面
図である。Next, a process of manufacturing an orifice plate after forming a water-repellent layer on the film-like resin 3 will be described with reference to FIGS. 19 and 20. FIG. 19 (b),
FIGS. 19 (c), 20 (a) and 20 (b) are enlarged plan views of portion B of the film-like resin shown in FIG. 18 (a). FIG. 19B ′ is CC ′ of FIG. 19B.
19 (c ') is a sectional view taken along line CC' of FIG. 19 (c), FIG. 20 (a ') is a sectional view taken along line CC' of FIG. 20 (a), and FIG. ') Is a sectional view taken along line CC' of FIG. 20 (b).
【0109】図19(b’)に示すように、突起部48
cの先端面の、図1および図2に示したオリフィス41
および凸部45に対応する部分を除く部分にレーザ13
を照射することにより、図19(c)および図19
(c’)に示すように、突起部48cの不要な部分を除
去し、それぞれが独立した複数の突起部48dを形成す
る。それぞれの突起部48dの外形形状は凸部45と同
様なものであり、それぞれの突起部48dの外形寸法
は、縦が30μm、横が30μm、高さが10μmとな
っている。As shown in FIG. 19B ', the protrusion 48
orifice 41 shown in FIG. 1 and FIG.
And laser 13 on the part except the part corresponding to the convex part 45.
19 (c) and FIG.
As shown in (c ′), unnecessary portions of the protrusions 48c are removed to form a plurality of independent protrusions 48d. The external shape of each projection 48d is similar to that of the projection 45, and the external dimensions of each projection 48d are 30 μm in height, 30 μm in width, and 10 μm in height.
【0110】次に、図20(a’)に示すように、それ
ぞれの突起部48dの先端面の中央部にレーザ13を照
射することにより、図20(b)および図20(b’)
に示すようにそれぞれの突起部48dの中央部に、フィ
ルム状樹脂3を貫通する貫通孔、すなわちオリフィス4
1を形成する。これにより、凸部45側の開口寸法がφ
25μm、凸部45側と反対側の開口寸法がφ20μm
のオリフィス41がフィルム状樹脂3に形成される。Next, as shown in FIG. 20 (a '), the center of the tip end surface of each projection 48d is irradiated with the laser 13, thereby obtaining the laser beam shown in FIGS. 20 (b) and 20 (b').
As shown in the figure, a through-hole penetrating through the film-shaped resin 3, that is, the orifice 4
Form one. As a result, the opening dimension on the convex portion 45 side becomes φ
25 μm, opening size on the side opposite to the convex 45 side is φ20 μm
Is formed in the resin film 3.
【0111】本実施形態においても、第2の実施形態の
図8に示したレーザ加工装置を用いて突起部48dや、
凸部45およびオリフィス41を形成する。突起部48
dを形成する際には、第2の実施形態で用いたマスク1
2の代わりに、第4の実施形態と同様に凸部45を形成
するための所定のパターンを有する別のマスクを用いて
レーザ加工を行う。また、オリフィス41を形成する際
には、突起部48dの中央部を開口させるために第2の
実施形態と同様のマスク12を用いる。Also in the present embodiment, the protrusion 48d and the laser processing device shown in FIG. 8 of the second embodiment are used.
The projection 45 and the orifice 41 are formed. Projection 48
When forming d, the mask 1 used in the second embodiment is used.
Instead of 2, laser processing is performed using another mask having a predetermined pattern for forming the projection 45 as in the fourth embodiment. When forming the orifice 41, the same mask 12 as that of the second embodiment is used to open the center of the projection 48d.
【0112】次に、オリフィス41および凸部45が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂3を、1つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な4インチサイズに切断し
て、図1および図2に示したオリフィスプレート40が
作製される。Next, the film-shaped resin 3 formed with the orifice 41 and the convex portion 45 and wound in a roll shape is cut into a required 4-inch size for each liquid discharge head, and FIG. 1 and FIG. The orifice plate 40 shown in FIG.
【0113】次に、第1の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート40の凸部45がヘッド本体
46の流路61内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート40をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
46に接着することで、図1および図2に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。Next, similarly to the method described in the first embodiment, the orifice plate 40 is epoxied so that the convex portion 45 of the orifice plate 40 enters and fits into the flow path 61 of the head body 46. The liquid ejection head described with reference to FIGS. 1 and 2 is manufactured by adhering to the head main body 46 with a system adhesive.
【0114】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第1の実施形態と同様に、1つのオリフィスプ
レート40は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口41を有するオリフィス
プレート40を作製する際にも、オリフィスプレート4
0のつなぎ目もなく、吐出口41や凸部45などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート4
0の凸部45をヘッド本体46の流路61に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。According to the manufacturing method of the liquid discharge head of the present embodiment, as in the first embodiment, one orifice plate 40 is manufactured as one unit without being divided and manufactured. When the orifice plate 40 having the discharge ports 41 of the
There is no seam of 0, and the dimensional accuracy of the discharge port 41, the convex portion 45, and the like is improved. Thereby, the orifice plate 4
The defect that the 0 convex portion 45 cannot be fitted into the flow path 61 of the head main body 46 is eliminated. In addition, in the evaluation when recording was performed using the manufactured liquid ejection head, in the case where the orifice plate was divided and manufactured, the deviation of the flying droplet caused by the failure of the joint portion of the orifice plate and the unevenness of the recorded image were observed. Good recording quality was obtained without such defects.
【0115】(第8の実施の形態)図21および図22
は、本発明の第8の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方
法について説明するための図である。本実施形態の液体
吐出ヘッドの製造方法は、第1の実施形態の製造方法に
より製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状
のものを製造する方法である。本実施形態の製造方法
は、第7の実施形態の製造方法と比較して、流路に嵌合
させる凸部の外形形状を形成する前に吐出口を先に形成
する点が異なっている。(Eighth Embodiment) FIGS. 21 and 22
FIG. 21 is a view for explaining the method for manufacturing the liquid ejection head according to the eighth embodiment of the present invention. The method for manufacturing a liquid discharge head according to the present embodiment is a method for manufacturing a liquid discharge head having the same configuration and shape as the liquid discharge head manufactured by the manufacturing method according to the first embodiment. The manufacturing method according to the present embodiment is different from the manufacturing method according to the seventh embodiment in that the discharge port is formed first before the outer shape of the convex portion to be fitted into the flow path is formed.
【0116】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第1の実施形態の図3に示した製造ラインに
よって、第7の実施形態の図18に示した突起部48c
が形成されたフィルム状樹脂3を作製する。In the manufacturing method of the liquid discharge head according to the present embodiment, the projection 48c shown in FIG. 18 of the seventh embodiment is also operated by the manufacturing line shown in FIG. 3 of the first embodiment.
The film-shaped resin 3 on which is formed is produced.
【0117】次に、フィルム状樹脂3の、突起部48c
側と反対側の面(フェイス面)に、第1の実施形態と同
様な方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、
旭硝子株式会社製のCTX−CZ5Aを用いた。Next, the projecting portion 48c of the film-like resin 3 is formed.
A water-repellent layer is formed on the surface opposite to the side (face surface) by the same method as in the first embodiment. As a water repellent,
Asahi Glass Co., Ltd. CTX-CZ5A was used.
【0118】次に、フィルム状樹脂3に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
21および図22を参照して説明する。図21(a)、
図21(b)、図21(c)、図22(a)および図2
2(b)は、図18(a)に示したフィルム状樹脂のB
部を拡大した平面図である。図21(a’)は図21
(a)のC−C’線断面図、図21(b’)は図21
(b)のC−C’線断面図、図21(c’)は図21
(c)のC−C’線断面図、図22(a’)は図22
(a)のC−C’線断面図、図22(b’)は図22
(b)のC−C’線断面図である。Next, a process for manufacturing an orifice plate after forming a water-repellent layer on the film-like resin 3 will be described with reference to FIGS. 21 and 22. FIG. 21 (a),
21 (b), 21 (c), 22 (a) and 2
2 (b) is the film-like resin B shown in FIG.
It is the top view which expanded the part. FIG.
FIG. 21A is a cross-sectional view taken along the line CC ′, and FIG.
21B is a cross-sectional view taken along the line CC ′, and FIG.
FIG. 22C is a sectional view taken along line CC ′ of FIG.
FIG. 22A is a cross-sectional view taken along the line CC ′, and FIG.
It is a CC 'line sectional view of (b).
【0119】図21(a)および図21(a’)に示す
ように、冷却ロール5に備えられたレリーフ型の押圧に
よりフィルム状樹脂3には、第7の実施形態で説明した
突起部48cが形成されている。As shown in FIGS. 21 (a) and 21 (a '), the projection 48c explained in the seventh embodiment is applied to the film-shaped resin 3 by the relief-type pressing provided on the cooling roll 5. Are formed.
【0120】図21(b’)に示すように、突起部48
cの先端面の、図1および図2に示したオリフィス41
に対応する部分にレーザ13を照射することにより、図
21(c)および図21(c’)に示すように突起部4
8cに、フィルム状樹脂3を貫通する貫通孔、すなわち
オリフィス41を形成する。これにより、凸部45側の
開口寸法がφ25μm、凸部45側と反対側の開口寸法
がφ20μmのオリフィス41がフィルム状樹脂3に形
成される。As shown in FIG. 21 (b '), the protrusion 48
orifice 41 shown in FIG. 1 and FIG.
By irradiating the laser 13 to the portion corresponding to the projections 4 as shown in FIGS. 21 (c) and 21 (c ').
8c, a through hole penetrating the film-shaped resin 3, that is, an orifice 41 is formed. As a result, the orifice 41 having an opening size of φ25 μm on the convex portion 45 side and φ20 μm on the opposite side to the convex portion 45 side is formed in the film-shaped resin 3.
【0121】次に、図22(a’)に示すように、突起
部48cの先端面におけるオリフィス41および凸部4
5に対応する部分を除く部分にレーザ13を照射するこ
とにより、図22(b)および図22(b’)に示すよ
うに、突起部48cの不要な部分を除去し、オリフィス
41ごとにそれぞれが独立した複数の凸部45を形成す
る。本実施形態においても、第7の実施形態と同様に、
第2の実施形態の図8に示したレーザ加工装置を用いて
オリフィス41および凸部45を形成する。Next, as shown in FIG. 22 (a '), the orifice 41 and the projection 4 on the distal end surface of the projection 48c.
By irradiating the laser 13 to portions other than the portion corresponding to 5, unnecessary portions of the protrusions 48 c are removed as shown in FIG. 22B and FIG. Form a plurality of independent convex portions 45. In the present embodiment, as in the seventh embodiment,
The orifice 41 and the projection 45 are formed by using the laser processing apparatus of the second embodiment shown in FIG.
【0122】次に、オリフィス41および凸部45が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂3を、1つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な4インチサイズに切断し
て、図1および図2に示したオリフィスプレート40が
作製される。Next, the film-shaped resin 3 formed with the orifice 41 and the convex portion 45 and wound in a roll shape is cut into a required 4-inch size for each liquid discharge head, and is cut as shown in FIGS. The orifice plate 40 shown in FIG.
【0123】次に、第1の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート40の凸部45がヘッド本体
46の流路61内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート40をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
46に接着することで、図1および図2に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。Next, similarly to the method described in the first embodiment, the orifice plate 40 is epoxied so that the convex portion 45 of the orifice plate 40 enters and fits into the flow path 61 of the head body 46. The liquid ejection head described with reference to FIGS. 1 and 2 is manufactured by adhering to the head main body 46 with a system adhesive.
【0124】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第1の実施形態と同様に、1つのオリフィスプ
レート40は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口41を有するオリフィス
プレート40を作製する際にも、オリフィスプレート4
0のつなぎ目もなく、吐出口41や凸部45などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート4
0の凸部45をヘッド本体46の流路61に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。According to the method of manufacturing the liquid discharge head of the present embodiment, as in the first embodiment, one orifice plate 40 is manufactured as one unit without being divided and manufactured. When the orifice plate 40 having the discharge ports 41 of the
There is no seam of 0, and the dimensional accuracy of the discharge port 41, the convex portion 45, and the like is improved. Thereby, the orifice plate 4
The defect that the 0 convex portion 45 cannot be fitted into the flow path 61 of the head main body 46 is eliminated. In addition, in the evaluation when recording was performed using the manufactured liquid ejection head, in the case where the orifice plate was divided and manufactured, the deviation of the flying droplet caused by the failure of the joint portion of the orifice plate and the unevenness of the recorded image were observed. Good recording quality was obtained without such defects.
【0125】<液体吐出記録装置>図23は、図1およ
び図2に基づいて説明した液体吐出ヘッドを搭載した液
体吐出記録装置の一例であるインクジェット記録装置を
示す斜視図である。図23に示されるインクジェット記
録装置600に搭載されたヘッドカートリッジ601
は、図1および図2に基づいて説明した液体吐出ヘッド
と、その液体吐出ヘッドに供給される液体を保持する液
体容器とを有するものである。ヘッドカートリッジ60
1は、図23に示すように、駆動モータ602の正逆回
転に連動して駆動力伝達ギヤ603および604を介し
て回転するリードスクリュー605の螺旋溝606に対
して係合するキャリッジ607上に搭載されている。駆
動モータ602の動力によってヘッドカートリッジ60
1がキャリッジ607ともとにガイド608に沿って矢
印aおよびbの方向に往復移動される。インクジェット
記録装置600には、ヘッドカートリッジ601から吐
出されたインクなどの液体を受ける被記録媒体としての
プリント用紙Pを搬送する被記録媒体搬送手段(不図
示)が備えられている。その被記録媒体搬送手段によっ
てプラテン609上を搬送されるプリント用紙Pの紙押
さえ板610は、キャリッジ607の移動方向にわたっ
てプリント用紙Pをプラテン609に対して押圧する。<Liquid Discharge Recording Apparatus> FIG. 23 is a perspective view showing an ink jet recording apparatus which is an example of a liquid discharge recording apparatus equipped with the liquid discharge head described with reference to FIGS. Head cartridge 601 mounted on inkjet recording apparatus 600 shown in FIG.
Has a liquid ejection head described with reference to FIGS. 1 and 2, and a liquid container for holding liquid supplied to the liquid ejection head. Head cartridge 60
As shown in FIG. 23, a carriage 607 is engaged with a spiral groove 606 of a lead screw 605 that rotates via driving force transmission gears 603 and 604 in conjunction with forward and reverse rotation of a driving motor 602. It is installed. The head cartridge 60 is driven by the power of the drive motor 602.
1 is reciprocated with the carriage 607 along the guide 608 in the directions of arrows a and b. The inkjet recording apparatus 600 includes a recording medium transport unit (not shown) that transports a printing paper P as a recording medium that receives a liquid such as ink discharged from the head cartridge 601. The paper pressing plate 610 of the print paper P conveyed on the platen 609 by the recording medium conveying means presses the print paper P against the platen 609 in the moving direction of the carriage 607.
【0126】リードスクリュー605の一端の近傍に
は、フォトカプラ611および612が配設されてい
る。フォトカプラ611および612は、キャリッジ6
07のレバー607aの、フォトカプラ611および6
12の領域での存在を確認して駆動モータ602の回転
方向の切り換えなどを行うためのホームポジション検知
手段である。プラテン609の一端の近傍には、ヘッド
カートリッジ601の吐出口のある前面を覆うキャップ
部材614を支持する支持部材613が備えられてい
る。また、ヘッドカートリッジ601から空吐出などさ
れてキャップ部材614の内部に溜まったインクを吸引
するインク吸引手段615が備えられている。このイン
ク吸引手段615によりキャップ部材614の開口部を
介してヘッドカートリッジ601の吸引回復が行われ
る。In the vicinity of one end of the lead screw 605, photocouplers 611 and 612 are provided. The photocouplers 611 and 612 are
07, the photocouplers 611 and 6
This is a home position detecting means for confirming the presence in the area No. 12 and switching the rotation direction of the drive motor 602. In the vicinity of one end of the platen 609, a support member 613 that supports a cap member 614 that covers the front surface of the head cartridge 601 having the discharge port is provided. In addition, an ink suction unit 615 that sucks ink that has been idly discharged from the head cartridge 601 and accumulated inside the cap member 614 is provided. The ink suction unit 615 performs suction recovery of the head cartridge 601 through the opening of the cap member 614.
【0127】インクジェット記録装置600には本体支
持体619が備えられている。この本体支持体619に
は移動部材618が、前後方向、すなわちキャリッジ6
07の移動方向に対して直角な方向に移動可能に支持さ
れている。移動部材618には、クリーニングブレード
617が取り付けられている。クリーニングブレード6
17はこの形態に限らず、他の形態の公知のクリーニン
グブレードであってもよい。さらに、インク吸引手段6
15による吸引回復操作にあたって吸引を開始するため
のレバー620が備えられており、レバー620は、キ
ャリッジ607と係合するカム621の移動に伴って移
動し、駆動モータ602からの駆動力がクラッチ切り換
えなどの公知の伝達手段で移動制御される。ヘッドカー
トリッジ601に設けられた発熱体に信号を付与した
り、上記の各機構の駆動制御を行ったりするインクジェ
ット記録制御部はインクジェット記録装置の本体に設け
られており、図23では示されていない。インクジェッ
ト記録制御部には、液体吐出ヘッドから液体を吐出させ
るための駆動信号を供給する駆動信号供給手段が備えら
れている。The ink jet recording apparatus 600 is provided with a main body support 619. The moving member 618 is attached to the main body support 619 in the front-rear direction, that is, the carriage 6.
It is supported so as to be movable in a direction perpendicular to the direction of movement 07. The cleaning blade 617 is attached to the moving member 618. Cleaning blade 6
Reference numeral 17 is not limited to this form, and may be another form of a known cleaning blade. Further, the ink suction means 6
15 is provided with a lever 620 for starting suction in the suction recovery operation by the lever 15. The lever 620 moves with the movement of the cam 621 engaging with the carriage 607, and the driving force from the driving motor 602 switches the clutch. The movement is controlled by a known transmission means such as the like. An ink jet recording control unit for giving a signal to the heating element provided in the head cartridge 601 and controlling the driving of each mechanism described above is provided in the main body of the ink jet recording apparatus, and is not shown in FIG. . The inkjet recording control unit includes a drive signal supply unit that supplies a drive signal for discharging liquid from the liquid discharge head.
【0128】上述した構成を有するインクジェット記録
装置600では、前記の被記録媒体搬送手段によりプラ
テン609上を搬送されるプリント用紙Pに対して、ヘ
ッドカートリッジ601がプリント用紙Pの全幅にわた
って往復移動しながら記録を行う。In the ink jet recording apparatus 600 having the above-described configuration, the head cartridge 601 reciprocates over the entire width of the print paper P with respect to the print paper P conveyed on the platen 609 by the recording medium conveyance means. Make a record.
【0129】[0129]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、以下のよ
うな効果がある。As described above, the present invention has the following effects.
【0130】請求項1に記載の発明は、液体吐出ヘッド
を製造する際に、押出成形により形成されたフィルム状
樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型を備えたロール
を押圧することによりフィルム状樹脂に吐出口、および
ヘッド本体の流路内に進入して嵌合する凸部を同時に連
続的に形成してオリフィスプレートを作製するので、従
来のように多数の吐出口および凸部をレーザ加工により
形成するためにオリフィスプレートを分割して作製した
際に発生していた吐出口のピッチの誤差や、吐出口の形
状不良、流路への凸部の進入がうまくいかないなどの問
題点がすべてなくなるという効果がある。また、隣り合
う凸部の間でつなぎ目を設定した場合に、凸部を形成す
る際の除去加工における加工深さの二倍の深さの溝がで
きたり、つなぎ目に壁状の加工残りができたりするとい
う問題点もなくなる。さらに、吐出口や凸部を形成する
際にレーザを用いないので、カーボンなどの副生成物の
発生がないために後処理の手間もかからず、大規模なレ
ーザ加工機も必要なく、製造装置のコストを低く抑える
ことができるという効果がある。According to the first aspect of the present invention, when a liquid discharge head is manufactured, a film-shaped resin formed by extrusion molding is pressed against a roll provided with a relief mold having a predetermined shape. The orifice plate is manufactured by simultaneously and continuously forming the discharge ports and the convex portions that enter and fit into the flow path of the head body in the resin, so that a large number of discharge ports and convex portions are formed by laser as in the related art. All problems such as errors in the pitch of the discharge ports, defects in the shape of the discharge ports, and inadequate entry of the convex part into the flow path, which occurred when the orifice plate was divided and manufactured for processing, were all encountered. This has the effect of disappearing. In addition, when a joint is set between adjacent convex portions, a groove having a depth twice as large as the processing depth in the removal processing when forming the convex portion is formed, or a wall-shaped processing residue is formed at the joint. Or the problem of having to do so. Furthermore, since laser is not used when forming the discharge ports and projections, there is no generation of by-products such as carbon, so there is no need for post-processing, and there is no need for a large-scale laser processing machine. There is an effect that the cost of the apparatus can be kept low.
【0131】請求項2〜8に記載の発明は、オリフィス
プレートを作製する際にフィルム状樹脂の表面に、レリ
ーフ型を備えたロールを押圧することにより、凹部を有
する凸部、凸部を形成するためのそれぞれ独立した複数
の突起部、凸部を形成するための連続した突起部、また
は吐出口を形成する工程と、レーザ加工の工程とを組み
合わせることで、オリフィスプレートを分割して作製せ
ず、一体のものとしてオリフィスプレートを製作するた
め、多数の吐出口を有するオリフィスプレートを作製す
る際にも、オリフィスプレートのつなぎ目もなく、吐出
口や凸部などの寸法精度が良好になるという効果があ
る。また、作製されたオリフィスプレートを用いて構成
された液体吐出ヘッドにより記録を行った際の評価にお
いては、オリフィスプレートを分割して作製した場合に
おけるオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によっ
て生じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良
もなく、良好な記録品位が得られるという効果がある。According to the second to eighth aspects of the present invention, when manufacturing an orifice plate, a convex portion having a concave portion and a convex portion are formed on a surface of a film-like resin by pressing a roll provided with a relief mold. The orifice plate can be divided and manufactured by combining the process of forming a plurality of independent projections, the continuous projections for forming the projections, or the discharge port, and the laser processing process. In addition, since the orifice plate is manufactured as a single unit, even when an orifice plate having a large number of discharge ports is manufactured, there is no seam between the orifice plates and the dimensional accuracy of the discharge ports and projections is improved. There is. In addition, in the evaluation when recording was performed by a liquid discharge head configured using the manufactured orifice plate, the flying droplet generated by the failure of the joint portion of the orifice plate when the orifice plate was manufactured by dividing the orifice plate was evaluated. There is an effect that good recording quality can be obtained without defects such as warping and unevenness of a recorded image.
【図1】本発明の第1の実施形態の液体吐出ヘッドの製
造方法が適用される液体吐出ヘッドについて説明するた
めの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view for explaining a liquid ejection head to which a method for manufacturing a liquid ejection head according to a first embodiment of the present invention is applied.
【図2】図1に示した液体吐出ヘッドの、流路方向に沿
った断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the liquid ejection head shown in FIG. 1 along a flow channel direction.
【図3】本発明の第1の実施形態の液体吐出ヘッドの製
造方法に使用される製造ラインの一部を模式的に示す図
である。FIG. 3 is a diagram schematically illustrating a part of a production line used in the method for producing a liquid ejection head according to the first embodiment of the present invention.
【図4】図3に示した製造ラインにより作製されたフィ
ルム状樹脂の平面図および断面図である。FIG. 4 is a plan view and a cross-sectional view of a film-like resin produced by the production line shown in FIG.
【図5】図3に示した製造ラインにより作製されたフィ
ルム状樹脂の平面図および断面図である。FIG. 5 is a plan view and a cross-sectional view of a film-like resin produced by the production line shown in FIG.
【図6】本発明の第2の実施形態の液体吐出ヘッドの製
造方法について説明するための図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a method for manufacturing a liquid ejection head according to a second embodiment of the present invention.
【図7】本発明の第2の実施形態の液体吐出ヘッドの製
造方法について説明するための図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a method for manufacturing a liquid discharge head according to a second embodiment of the present invention.
【図8】フィルム状樹脂にオリフィスを形成するための
レーザ加工装置を模式的に示す図である。FIG. 8 is a diagram schematically showing a laser processing apparatus for forming an orifice in a film-like resin.
【図9】本発明の第3の実施形態の液体吐出ヘッドの製
造方法について説明するための図である。FIG. 9 is a view for explaining a method for manufacturing the liquid ejection head according to the third embodiment of the present invention.
【図10】本発明の第3の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 10 is a view for explaining a method for manufacturing the liquid ejection head according to the third embodiment of the present invention.
【図11】本発明の第4の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining a method for manufacturing a liquid ejection head according to a fourth embodiment of the present invention.
【図12】本発明の第4の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 12 is a diagram illustrating a method for manufacturing a liquid ejection head according to a fourth embodiment of the present invention.
【図13】本発明の第5の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 13 is a view illustrating a method for manufacturing the liquid ejection head according to the fifth embodiment of the present invention.
【図14】本発明の第5の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 14 is a view illustrating a method for manufacturing the liquid ejection head according to the fifth embodiment of the present invention.
【図15】本発明の第5の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 15 is a view illustrating a method for manufacturing the liquid ejection head according to the fifth embodiment of the present invention.
【図16】本発明の第6の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 16 is a view for explaining a method for manufacturing the liquid ejection head according to the sixth embodiment of the present invention.
【図17】本発明の第6の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 17 is a view illustrating a method for manufacturing the liquid discharge head according to the sixth embodiment of the present invention.
【図18】本発明の第7の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 18 is a diagram illustrating a method for manufacturing the liquid discharge head according to the seventh embodiment of the present invention.
【図19】本発明の第7の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 19 is a view illustrating a method for manufacturing the liquid discharge head according to the seventh embodiment of the present invention.
【図20】本発明の第7の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 20 is a view illustrating a method for manufacturing the liquid discharge head according to the seventh embodiment of the present invention.
【図21】本発明の第8の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 21 is a view illustrating a method for manufacturing the liquid discharge head according to the eighth embodiment of the present invention.
【図22】本発明の第8の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。FIG. 22 is a diagram illustrating a method for manufacturing the liquid discharge head according to the eighth embodiment of the present invention.
【図23】図1および図2に基づいて説明した液体吐出
ヘッドを搭載した液体吐出記録装置の一例であるインク
ジェット記録装置を示す斜視図である。FIG. 23 is a perspective view showing an ink jet recording apparatus as an example of a liquid ejection recording apparatus equipped with the liquid ejection head described with reference to FIGS. 1 and 2.
【図24】従来のインクジェット記録装置に備えられる
液体吐出ヘッドについて説明するための斜視図である。FIG. 24 is a perspective view illustrating a liquid ejection head provided in a conventional inkjet recording apparatus.
1 押出成形機 2 ダイ 3 フィルム状樹脂 4 レリーフ型 5 冷却ロール 6 ニップロール 7 引き取りロール 8 巻き取りロール 9 エキシマレーザ発振器 11 集光レンズ 12 マスク 13 レーザ 40 オリフィスプレート 41 吐出口(オリフィス) 42 接着樹脂 44a、44b 接合面 45 凸部 46 ヘッド本体 47a、47b 凹部 48a、48b、48c、48d 突起部 50 基板(ヒータボード) 51 エネルギー発生素子(ヒータ) 60 天板 61 流路 62 液室 64 供給口 600 インクジェット記録装置 601 ヘッドカートリッジ 602 駆動モータ 603、604 駆動力伝達ギヤ 605 リードスクリュー 606 螺旋溝 607 キャリッジ 607a レバー 608 ガイド 609 プラテン 610 紙押さえ板 611、612 フォトカプラ 613 支持部材 614 キャップ部材 615 インク吸引手段 617 クリーニングブレード 618 移動部材 619 本体支持体 620 レバー 621 カム P プリント用紙 REFERENCE SIGNS LIST 1 extruder 2 die 3 film-like resin 4 relief type 5 cooling roll 6 nip roll 7 take-up roll 8 take-up roll 9 excimer laser oscillator 11 condenser lens 12 mask 13 laser 40 orifice plate 41 discharge port (orifice) 42 adhesive resin 44a , 44b Joint surface 45 Convex part 46 Head body 47a, 47b Concave part 48a, 48b, 48c, 48d Projection part 50 Substrate (heater board) 51 Energy generating element (heater) 60 Top plate 61 Flow path 62 Liquid chamber 64 Supply port 600 Ink jet Recording device 601 Head cartridge 602 Drive motor 603, 604 Driving force transmission gear 605 Lead screw 606 Spiral groove 607 Carriage 607a Lever 608 Guide 609 Platen 610 Paper press plate 611, 6 2 photocoupler 613 supporting member 614 cap member 615 ink suction means 617 cleaning blade 618 moves member 619 main support 620 lever 621 cams P print paper
Claims (16)
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、 前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、 前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、 前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に前記吐出口および前記凸部を同時に連続的に形成
し、前記フィルム状樹脂に前記複数の吐出口および前記
複数の凸部が形成されてなる前記オリフィスプレートを
作製する工程と、 前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、 前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。1. A head body including a plurality of energy generating elements for generating energy for discharging a liquid as flying droplets, a plurality of flow paths in which the energy generating elements are respectively arranged, The head comprising: a plurality of discharge ports each communicating with each other; and a plurality of protrusions formed around each of the discharge ports independently of each other so as to enter and fit into the flow path around the discharge ports. A method for manufacturing a liquid ejection head having an orifice plate joined to a main body, the method comprising: extruding a molten resin into a film by extrusion to form the orifice plate, thereby forming a film-like resin; By pressing a roll provided with a relief mold of a predetermined shape on the surface of the resin film, the discharge port and the convex portion are formed on the film resin. Simultaneously and continuously forming the orifice plate in which the plurality of discharge ports and the plurality of convex portions are formed in the film-like resin; and a joining surface of the orifice plate with the head main body. Alternatively, a method for manufacturing a liquid ejection head, comprising: applying an adhesive to a bonding surface of the main body head with the orifice plate; and bonding the orifice plate to the main body head with the adhesive.
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、 前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、 前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、 前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記吐出口を形成するための凹部が中央部にそ
れぞれ形成された前記複数の凸部を形成する工程と、 前記複数の凹部のそれぞれの底面にレーザを照射するこ
とで前記フィルム状樹脂に前記吐出口を複数形成し、前
記フィルム状樹脂に前記複数の吐出口および前記複数の
凸部が形成されてなる前記オリフィスプレートを作製す
る工程と、 前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、 前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。2. A head body having a plurality of energy generating elements for generating energy for discharging a liquid as flying droplets, a plurality of flow paths in which the energy generating elements are respectively arranged, The head comprising: a plurality of discharge ports each communicating with each other; and a plurality of protrusions formed around each of the discharge ports independently of each other so as to enter and fit into the flow path around the discharge ports. A method for manufacturing a liquid ejection head having an orifice plate joined to a main body, the method comprising: extruding a molten resin into a film by extrusion to form the orifice plate, thereby forming a film-like resin; The discharge port is formed in the film-like resin by pressing a roll provided with a relief mold of a predetermined shape on the surface of the resin-like shape. Forming the plurality of protrusions, each of which has a concave portion formed in the center thereof, and forming a plurality of the discharge ports in the film-like resin by irradiating a laser to each bottom surface of the plurality of concave portions, A step of producing the orifice plate in which the plurality of discharge ports and the plurality of convex portions are formed in the film-like resin; and a joining surface of the orifice plate with the head main body, or the main body head, A method for manufacturing a liquid discharge head, comprising: a step of applying an adhesive to a joint surface with an orifice plate; and a step of bonding the orifice plate to the main body head with the adhesive.
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、 前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、 前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、 前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記凸部を形成するための、それぞれ独立した
複数の突起部を形成する工程と、 それぞれの前記突起部の先端面の中央部にレーザを照射
することで前記フィルム状樹脂に前記吐出口および前記
凸部を複数形成し、前記フィルム状樹脂に前記複数の吐
出口および前記複数の凸部が形成されてなる前記オリフ
ィスプレートを作製する工程と、 前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、 前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。3. A head body including a plurality of energy generating elements for generating energy for discharging a liquid as flying droplets, a plurality of flow paths in which the energy generating elements are respectively arranged, The head comprising: a plurality of discharge ports each communicating with each other; and a plurality of protrusions formed around each of the discharge ports independently of each other so as to enter and fit into the flow path around the discharge ports. A method for manufacturing a liquid ejection head having an orifice plate joined to a main body, the method comprising: extruding a molten resin into a film by extrusion to form the orifice plate, thereby forming a film-like resin; By pressing a roll provided with a relief mold of a predetermined shape on the surface of the resin-like resin, to form the protrusions on the film-like resin. The step of forming a plurality of independent protrusions, and forming a plurality of the discharge ports and the protrusions in the film-like resin by irradiating a laser to the center of the tip end surface of each of the protrusions, A step of producing the orifice plate in which the plurality of discharge ports and the plurality of convex portions are formed in the film-like resin; and a joining surface of the orifice plate with the head main body, or the main body head, A method for manufacturing a liquid discharge head, comprising: a step of applying an adhesive to a joint surface with an orifice plate; and a step of bonding the orifice plate to the main body head with the adhesive.
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、 前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、 前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、 前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記複数の凸部を形成するための連続した突起
部、および該突起部に配置された前記吐出口を形成する
工程と、 前記連続した突起部の、前記吐出口および前記凸部に対
応する部分を除く部分にレーザを照射することで前記凸
部を複数形成し、前記フィルム状樹脂に前記複数の吐出
口および前記複数の凸部が形成されてなる前記オリフィ
スプレートを作製する工程と、 前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、 前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。4. A head body including a plurality of energy generating elements for generating energy for discharging a liquid as flying droplets, a plurality of flow paths in which the energy generating elements are respectively arranged, The head comprising: a plurality of discharge ports each communicating with each other; and a plurality of protrusions formed around each of the discharge ports independently of each other so as to enter and fit into the flow path around the discharge ports. A method for manufacturing a liquid ejection head having an orifice plate joined to a main body, the method comprising: extruding a molten resin into a film by extrusion to form the orifice plate, thereby forming a film-like resin; The plurality of projections are formed on the film-like resin by pressing a roll having a relief mold of a predetermined shape on the surface of the resin-like shape. Forming a continuous projection for forming the discharge port disposed on the projection, and irradiating a laser to a portion of the continuous projection except for a portion corresponding to the discharge port and the projection. Forming a plurality of the convex portions by performing the orifice plate in which the plurality of discharge ports and the plurality of convex portions are formed in the film-like resin; and the head body of the orifice plate, A method of manufacturing a liquid ejection head, comprising: applying an adhesive to a bonding surface of the main body head or a bonding surface of the main body head to the orifice plate; and bonding the orifice plate to the main body head with the adhesive. .
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、 前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、 前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、 前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記吐出口を形成するための、それぞれ独立し
た複数の凹部を有する、前記複数の凸部を形成するため
の連続した突起部を形成する工程と、 前記連続した突起部の、前記凹部および前記凸部に対応
する部分を除く部分にレーザを照射することで前記凸部
を複数形成する工程と、 前記複数の凹部のそれぞれの底面にレーザを照射するこ
とで前記フィルム状樹脂に前記吐出口を複数形成し、前
記フィルム状樹脂に前記複数の吐出口および前記複数の
凸部が形成されてなる前記オリフィスプレートを作製す
る工程と、 前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、 前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。5. A head body having a plurality of energy generating elements for generating energy for discharging a liquid as flying droplets, a plurality of flow paths in which the energy generating elements are respectively arranged, The head comprising: a plurality of discharge ports each communicating with each other; and a plurality of protrusions formed around each of the discharge ports independently of each other so as to enter and fit into the flow path around the discharge ports. A method for manufacturing a liquid ejection head having an orifice plate joined to a main body, the method comprising: extruding a molten resin into a film by extrusion to form the orifice plate, thereby forming a film-like resin; The discharge port is formed in the film-like resin by pressing a roll provided with a relief mold of a predetermined shape on the surface of the resin-like shape. Forming a continuous protrusion for forming the plurality of protrusions, each having a plurality of independent recesses, and a portion corresponding to the recess and the protrusion of the continuous protrusion. Irradiating a laser to a part to be removed to form a plurality of the convex portions, and irradiating a laser to a bottom surface of each of the plurality of concave portions to form a plurality of the discharge ports in the film-shaped resin, A step of manufacturing the orifice plate in which the plurality of discharge ports and the plurality of convex portions are formed in a resin; and a bonding surface of the orifice plate with the head main body, or the orifice plate of the main body head. A step of applying an adhesive to the bonding surface of the liquid ejecting head, and a step of bonding the orifice plate to the main body head with the adhesive. Production method.
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、 前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、 前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、 前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記吐出口を形成するための、それぞれ独立し
た複数の凹部を有する、前記複数の凸部を形成するため
の連続した突起部を形成する工程と、 前記複数の凹部のそれぞれの底面にレーザを照射するこ
とで前記フィルム状樹脂に前記吐出口を複数形成する工
程と、 前記連続した突起部の、前記吐出口および前記凸部に対
応する部分を除く部分にレーザを照射することで前記フ
ィルム状樹脂に前記凸部を複数形成し、前記フィルム状
樹脂に前記複数の吐出口および前記複数の凸部が形成さ
れてなる前記オリフィスプレートを作製する工程と、 前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、 前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。6. A head body including a plurality of energy generating elements for generating energy for discharging a liquid as flying droplets, a plurality of flow paths in which the energy generating elements are respectively arranged, The head comprising: a plurality of discharge ports each communicating with each other; and a plurality of protrusions formed around each of the discharge ports independently of each other so as to enter and fit into the flow path around the discharge ports. A method for manufacturing a liquid ejection head having an orifice plate joined to a main body, the method comprising: extruding a molten resin into a film by extrusion to form the orifice plate, thereby forming a film-like resin; The discharge port is formed in the film-like resin by pressing a roll provided with a relief mold of a predetermined shape on the surface of the resin-like shape. Forming a continuous protrusion for forming the plurality of protrusions, each having a plurality of independent recesses, and irradiating a laser to each bottom surface of the plurality of recesses to form the film. Forming a plurality of the discharge ports on the resin; and irradiating a laser to a portion of the continuous protrusions other than a portion corresponding to the discharge ports and the protrusions, thereby forming the plurality of the protrusions on the film-shaped resin. Forming the orifice plate in which the plurality of discharge ports and the plurality of protrusions are formed in the film-like resin; and a bonding surface of the orifice plate with the head main body, or the main body head. Applying an adhesive to a joint surface with the orifice plate; and adhering the orifice plate to the main body head with the adhesive. Of manufacturing a liquid discharge head having the same.
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、 前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、 前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、 前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記複数の凸部を形成するための連続した突起
部を形成する工程と、 前記連続した突起部の、前記吐出口および前記凸部に対
応する部分を除く部分にレーザを照射することで、前記
凸部を形成するための、それぞれ独立した複数の突起部
を形成する工程と、 前記独立したそれぞれの突起部の先端面の中央部にレー
ザを照射することで前記フィルム状樹脂に前記吐出口お
よび前記凸部を複数形成し、前記フィルム状樹脂に前記
複数の吐出口および前記複数の凸部が形成されてなる前
記オリフィスプレートを作製する工程と、 前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、 前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。7. A head body including a plurality of energy generating elements for generating energy for discharging a liquid as flying droplets, a plurality of flow paths in which the energy generating elements are respectively arranged, The head comprising: a plurality of discharge ports each communicating with each other; and a plurality of protrusions formed around each of the discharge ports independently of each other so as to enter and fit into the flow path around the discharge ports. A method for manufacturing a liquid ejection head having an orifice plate joined to a main body, the method comprising: extruding a molten resin into a film by extrusion to form the orifice plate, thereby forming a film-like resin; The plurality of projections are formed on the film-like resin by pressing a roll having a relief mold of a predetermined shape on the surface of the resin-like shape. Forming a continuous projection for forming the projection, by irradiating a laser to a portion of the continuous projection except a portion corresponding to the discharge port and the projection. Forming a plurality of independent protrusions, and forming a plurality of the discharge ports and the protrusions on the film-like resin by irradiating a laser to a center portion of a tip end surface of each of the independent protrusions. A step of producing the orifice plate in which the plurality of discharge ports and the plurality of projections are formed in the film-like resin; and a bonding surface of the orifice plate with the head main body, or of the main body head, A step of applying an adhesive to a bonding surface with the orifice plate; and a step of bonding the orifice plate to the main body head with the adhesive. Production method of the delivery head.
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、 前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、 前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、 前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記複数の凸部を形成するための連続した突起
部を形成する工程と、 前記連続した突起部の、前記吐出口に対応する部分にレ
ーザを照射することで前記フィルム状樹脂に前記吐出口
を複数形成する工程と、 前記連続した突起部の、前記吐出口および前記凸部に対
応する部分を除く部分にレーザを照射することで前記フ
ィルム状樹脂に前記凸部を複数形成し、前記フィルム状
樹脂に前記複数の吐出口および前記複数の凸部が形成さ
れてなる前記オリフィスプレートを作製する工程と、 前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、 前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。8. A head body including a plurality of energy generating elements for generating energy for discharging a liquid as flying droplets, a plurality of flow paths in which the energy generating elements are respectively arranged, A plurality of discharge ports each communicating with each other, and a plurality of projections formed around each of the discharge ports independently around the discharge ports so as to enter and fit into the flow path; A method for manufacturing a liquid ejection head having an orifice plate joined to a main body, the method comprising: extruding a molten resin into a film by extrusion to form the orifice plate, thereby forming a film-like resin; The plurality of projections are formed on the film-like resin by pressing a roll having a relief mold of a predetermined shape on the surface of the resin-like shape. Forming a continuous protrusion for forming, a step of forming a plurality of discharge openings in the film-like resin by irradiating a laser to a portion corresponding to the discharge opening of the continuous protrusion, By irradiating a laser to a portion of the continuous protrusion except a portion corresponding to the ejection port and the projection, the plurality of projections are formed in the film-like resin, and the plurality of ejection ports are formed in the film-like resin. And forming the orifice plate on which the plurality of protrusions are formed; and bonding an adhesive to the bonding surface of the orifice plate with the head body or the bonding surface of the body head with the orifice plate. A method for manufacturing a liquid ejection head, comprising: a step of applying; and a step of bonding the orifice plate to the main body head with the adhesive.
の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧する工程で
は、前記押出成形の工程でフィルム状に押出された溶融
樹脂を前記ロールによって冷却するように前記溶融樹脂
に前記ロールを押圧する請求項1〜8のいずれか1項に
記載の液体吐出ヘッドの製造方法。9. In the step of pressing a roll provided with a relief mold of the predetermined shape on the surface of the film-like resin, the molten resin extruded into a film in the extrusion molding step is cooled by the roll. 9. The method according to claim 1, wherein the roll is pressed against the molten resin. 8.
塑性ポリマーを用いる請求項1〜9のいずれか1項に記
載の液体吐出ヘッドの製造方法。10. The method for manufacturing a liquid ejection head according to claim 1, wherein a thermoplastic polymer is used as a material of the film-shaped resin.
サルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレン
サルファイドまたはポリエーテルエーテルケトンのうち
いずれか1つを用いる請求項1〜9のいずれか1項に記
載の液体吐出ヘッドの製造方法。11. The liquid ejection head according to claim 1, wherein one of polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene sulfide, and polyetheretherketone is used as a material of the film-shaped resin. Manufacturing method.
で起こる気泡の発生を利用して液体を吐出する液体吐出
ヘッドであって、 請求項1〜11のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド
の製造方法により製造された液体吐出ヘッド。12. A liquid ejection head for ejecting a liquid by utilizing the generation of air bubbles caused by applying thermal energy to the liquid, wherein the liquid ejection head according to claim 1 is a liquid ejection head. A liquid ejection head manufactured by a manufacturing method.
ッドと、該液体吐出ヘッドに供給される液体を保持する
液体容器とを有するヘッドカートリッジ。13. A head cartridge comprising: the liquid ejection head according to claim 12; and a liquid container for holding a liquid supplied to the liquid ejection head.
と、該液体吐出ヘッドから液体を吐出させるための駆動
信号を供給する駆動信号供給手段とを有する液体吐出記
録装置。14. A liquid ejection recording apparatus comprising: the liquid ejection head according to claim 12; and a drive signal supply unit that supplies a drive signal for ejecting liquid from the liquid ejection head.
と、該液体吐出ヘッドから吐出された液体を受ける被記
録媒体を搬送する被記録媒体搬送手段とを有する液体吐
出記録装置。15. A liquid discharge recording apparatus comprising: the liquid discharge head according to claim 12; and a recording medium transport unit that transports a recording medium that receives liquid discharged from the liquid discharge head.
て被記録媒体に前記液体を付着させることで記録を行う
ものである請求項14または15に記載の液体吐出記録
装置。16. The liquid discharge recording apparatus according to claim 14, wherein recording is performed by discharging liquid from the liquid discharge head and attaching the liquid to a recording medium.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3326999A JP2000229408A (en) | 1999-02-10 | 1999-02-10 | Method for manufacturing liquid discharge head, liquid discharge head, head cartridge, and liquid discharge recording apparatus |
| US09/500,028 US6745467B1 (en) | 1999-02-10 | 2000-02-08 | Method of producing a liquid discharge head |
| EP00102699A EP1027991A3 (en) | 1999-02-10 | 2000-02-09 | Method for producing liquid discharge head, liquid discharge head produced thereby, head cartridge and liquid discharge apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3326999A JP2000229408A (en) | 1999-02-10 | 1999-02-10 | Method for manufacturing liquid discharge head, liquid discharge head, head cartridge, and liquid discharge recording apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000229408A true JP2000229408A (en) | 2000-08-22 |
Family
ID=12381818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3326999A Pending JP2000229408A (en) | 1999-02-10 | 1999-02-10 | Method for manufacturing liquid discharge head, liquid discharge head, head cartridge, and liquid discharge recording apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000229408A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008246696A (en) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Seiko Epson Corp | Liquid container, method for regenerating liquid container, and sealing method for liquid container |
-
1999
- 1999-02-10 JP JP3326999A patent/JP2000229408A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008246696A (en) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Seiko Epson Corp | Liquid container, method for regenerating liquid container, and sealing method for liquid container |
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