JP2000212400A - 光半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置 - Google Patents
光半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置Info
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Abstract
明性、密着性、耐湿信頼性、バリ離型性にも優れる光半
導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供する。 【解決手段】 (a)エポキシ樹脂、(b)硬化剤、
(c)離型剤、(d)一般式(1)(2)の硬化促進剤
の少なくとも一方を含有する。 【化1】 【化2】
Description
ランジスター、フォトダイオード、CCD、EPROM
などの光半導体(素子)を封止するために用いられるト
ランスファーモールド用エポキシ樹脂組成物、及びこの
組成物を用いて光半導体を封止して形成される光半導体
装置に関するものである。
止材料としては、透明性、密着性、耐湿性、電気絶縁
性、耐熱性などの点で優れるエポキシ樹脂組成物が主流
となっている。特に、エポキシ樹脂組成物を用いたトラ
ンスファーモールドでの樹脂封止は、作業性並びに量産
性の面で優れているが、このトランスファーモールド用
のエポキシ樹脂組成物には一般に、金型からの離型性を
向上させるために内部離型剤が添加されている。ここ
で、光半導体の封止材料は透明性が重要視されるため
に、内部離型剤としてはエポキシ樹脂組成物に相溶する
必要があり、そのため従来の内部離型剤では離型効果の
少ないものしか用いることができず、またその添加量も
少量に制限されているのが現状であった。
型性を確保するために、フッ素系やシリコーン系の化合
物を含む離型剤を外部離型剤として予め(封止成形の前
に)金型の表面にスプレー方式等で吹き付けるようにし
ている。
うな外部離型剤を使用すると、成形サイクルの悪化によ
り生産効率(成形効率)を向上させることができなかっ
たり、成形体の表面に付着する外部離型剤成分の厚みの
ばらつきにより光半導体装置の特性にばらつきが生じた
りする恐れがあり、また外部離型剤のコストもかかり、
さらには外部離型剤に含まれている溶剤が環境に及ぼす
影響も懸念されるものであった。
あり、生産効率を向上させることができ、しかも透明
性、密着性、耐湿信頼性、バリ離型性にも優れる光半導
体封止用エポキシ樹脂組成物を提供することを目的とす
るものである。また金型からの離型性に優れ、透明性、
密着性、耐湿信頼性にも優れる光半導体装置を提供する
ことを目的とするものである。
光半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、(a)エポキシ
樹脂、(b)硬化剤、(c)離型剤、(d)一般式
(1)(2)の硬化促進剤の少なくとも一方を含有して
成ることを特徴とするものである。
ル基、t−ブチル基、ウンデシル基、ヘプタデシル基、
フェニル基、ベンジル基、ヒドロキシメチル基などから
選ばれる一つである。R2は水素、ベンジル基、メチル
基、エチル基、シアノメチル基、シアノエチル基などか
ら選ばれる一つである。R3は安息香酸、フタル酸、フ
マル酸、トリメリット酸、塩酸、イソシアヌル酸などか
ら選ばれる一つである。R4,R5,R6,R7は水
素、メチル基、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル
基などから選ばれる一つである。
用エポキシ樹脂組成物は、請求項1の構成に加えて、
(d)硬化促進剤の含有量が全量に対して0.05〜3
重量%であることを特徴とするものである。
用エポキシ樹脂組成物は、請求項1又は2の構成に加え
て、(c)離型剤として、炭素数が18以上のエトキシ
化合物を用いて成ることを特徴とするものである。
用エポキシ樹脂組成物は、請求項1乃至3のいずれかの
構成に加えて、(c)離型剤として、(e)一般式
(3)で示される炭素数が18以上の第一級アルコール
のエトキシ化合物を用いて成ることを特徴とする請求項
1乃至3のいずれかに記載の光半導体封止用エポキシ樹
脂組成物。
整数である。
用エポキシ樹脂組成物は、請求項1乃至4のいずれかの
構成に加えて、(e)一般式(3)で示される炭素数が
18以上の第一級アルコールのエトキシ化合物の含有量
が全量に対して0.05〜5重量%であることを特徴と
するものである。
用エポキシ樹脂組成物は、請求項1乃至5のいずれかの
構成に加えて、(c)離型剤として、(f)一般式
(4)で示される炭素数が18以上の第一級カルボン酸
のエトキシ化合物を用いて成ることを特徴とするもので
ある。
整数である。
用エポキシ樹脂組成物は、請求項1乃至6のいずれかの
構成に加えて、(f)一般式(4)で示される炭素数が
18以上の第一級カルボン酸のエトキシ化合物の含有量
が全量に対して0.05〜5重量%であることを特徴と
するものである。
請求項1乃至7のいずれかに記載の光半導体封止用エポ
キシ樹脂組成物で封止して成ることを特徴とするもので
ある。
する。
子中に二個以上のエポキシ基を有するものであれば、特
に制限はないが、比較的着色の少ないものを使用するの
が好ましい。具体的には、ビスフェノールA型エポキシ
樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノー
ルS型エポキシ樹脂、オルトクレゾールノボラック型エ
ポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリグリシジルイソ
シアヌレート、脂肪族系エポキシ樹脂などを挙げること
ができる。これらは単独で用いたりあるいは併用しても
差し支えない。
エポキシ樹脂と反応するものであれば、特に制限はない
が、比較的着色の少ないものを使用するのが好ましい。
具体的には、無水ヘキサヒドロフタル酸などの酸無水
物、フェノール、クレゾール、キシレノール、レゾール
シン等とホルムアルデヒドとを縮合反応して得られるノ
ボラック型フェノール樹脂、液状ポリメルカプタンやポ
リサルファイド樹脂などのポリメルカプタン系硬化剤な
どを挙げることができる。この他にもアミン系の硬化剤
なども用いることができるが、硬化時の変色が大きいの
で、使用する際には添加量を少なくするなどの注意を要
する。これらは単独で用いたりあるいは併用しても差し
支えない。
である一般式(3)で示される炭素数が18以上の第一
級アルコールのエトキシ化合物(Aは17〜100の整
数、Bは1〜100の整数)と(f)成分である一般式
(4)で示される炭素数が18以上の第一級カルボン酸
のエトキシ化合物(Cは17〜100の整数、Dは1〜
100の整数)の少なくとも一方を用いる。(e)成分
と(f)成分の配合量は本発明のエポキシ樹脂組成物の
全量に対してそれぞれ0.05〜5重量%に設定するの
が好ましい。(e)成分と(f)成分の配合量が0.0
5重量%未満であれば、充分な離型効果を得ることがで
きなくなる恐れがあり、また(e)成分と(f)成分の
配合量が5重量%を超えると、成形品が白濁したり、半
導体(素子)やリードフレームなどのインナーとの密着
性が低下したり、耐湿信頼性が低下したり、成形品の強
度が低くなることにより耐クラック性が低下したりする
恐れがある。より好ましくは、(e)成分と(f)成分
の合計量がエポキシ樹脂組成物の全量に対してそれぞれ
0.05〜5重量%となるように配合する。
して作用すると同時に、本発明で用いることができる他
の離型剤をエポキシ樹脂組成物中に均一に分散させる作
用も有するものである。ここでいう他の離型剤とは、特
に制限されるものではないが、ラウリン酸アマイミドな
どの飽和脂肪酸モノアマイド類、オレイン酸アマイドな
どの不飽和脂肪酸モノアマイド類、N−ステアリルステ
アリン酸アマイドなどの置換アマイド類、メチロールス
テアリン酸アマイドなどのメチロールアマイド類、メチ
レンビスステアリン酸アマイドなどの飽和脂肪酸ビスア
マイド類、エチレンビスオレイン酸アマイドなどの不飽
和脂肪酸ビスアマイド類、m−キシレンビスステアリン
酸アマイドなどの芳香族系ビスアマイド類を例示するこ
とができる。特に、脂肪酸アマイド類がエポキシ樹脂組
成物への相溶性が高いので好ましい。
成分とその他の離型剤の合計量)はエポキシ樹脂組成物
の全量に対して0.05〜5重量%となるように設定す
るのが好ましい。0.05重量%未満であれば、充分な
離型効果を得ることができなくなる恐れがあり、また5
重量%を超えると、成形品が白濁したり、半導体(素
子)やリードフレームなどのインナーとの密着性が低下
したり、耐湿信頼性が低下したり、成形品の強度が低く
なることにより耐クラック性が低下したりする恐れがあ
る。
(1)(2)で示されるものを単独で用いたり併用した
りすることができる。尚、(2)の「R2・R3」はR
2へR3を付加した構造あるいは塩構造を示すものであ
る。
の化合物(付加物)としては、次の(5)(6)のよう
な化学式で示される。
は、次の(7)〜(12)ような化学式で示される。
剤の他にも硬化促進剤を併用することができる。ここで
いう他の硬化促進剤としては、エポキシ樹脂と硬化剤の
反応を促進させるものであれば、特に制限はないが、比
較的着色の少ないものを用いるのが好ましい。具体的に
は、トリフェニルフォスフィン、ジフェニルフォスフィ
ンなどの有機フォスフィン系硬化促進剤、1,8−ジア
ザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7、トリエタノ
ールアミン、ベンジルジメチルアミンなどの三級アミン
系硬化促進剤、テトラフェニルホスホニウム・テトラフ
ェニルボレート、テトラフェニルホスホニウム・ブロマ
イドなどの有機塩類などを例示することができる。
硬化促進剤とその他の硬化促進剤の合計量)はエポキシ
樹脂組成物の全量に対して0.05〜3重量%となるよ
うに設定するのが好ましい。(d)成分の配合量が0.
05重量%未満であれば、充分な硬化効果を得られず、
成形サイクルが低下する恐れがあり、また(d)成分の
配合量が3重量%を超えると、ゲル化時間が短くなりす
ぎてボイドや未充填などの成形性が低下する恐れがあ
る。
に、必要に応じて、変色防止剤、劣化防止剤、染料、シ
リカなどの無機充填剤、シラン系カップリング剤、変性
剤、可塑剤、希釈剤などの添加剤を用いることができ
る。
物を調製するにあたっては、上記の(a)〜(d)成分
とその他の添加剤を室温〜150℃の温度で溶解混合又
は溶融混合した後、三本ロールなどの混練機で溶融混練
し、これを冷却・固化した後、粉砕し、必要であれば、
タブレット状に打錠するようにする。また、性状が室温
で液状の場合は、溶解混合又は溶融混合するまでで調製
することができる。この時、(a)成分のエポキシ樹脂
と(b)成分の硬化剤の配合割合は、反応性や硬化性な
どを考慮して、反応基(エポキシ基と水酸基)の当量比
で0.8〜1.2の範囲になるように設定する。
樹脂組成物で光半導体(素子)を封止することによって
形成することができる。エポキシ樹脂組成物がタブレッ
ト(固形)の場合は、タブレットをトランスファー成形
して光半導体(素子)を封止し、光半導体装置を形成す
ることができる。この時の成形条件は、金型温度を14
0〜180℃、注入圧力を1〜10MPaに設定するこ
とができる。またエポキシ樹脂組成物が液状の場合はキ
ャスティングやポッティング、印刷などの方式で注型及
び硬化させることによって、光半導体(素子)を封止
し、光半導体装置を形成することができる。
硬化促進剤を用いるので、従来の硬化促進剤に比べてエ
ポキシ樹脂と硬化剤の反応を大きく促進することがで
き、成形サイクルを高くして生産効率を向上させること
ができるものであり、さらにバリ離型性や耐湿信頼性に
も優れるものである。また一般式(3)(4)の離型剤
を用いるので、外部離型剤を用いなくても成形体及びバ
リの金型からの離型性を高くすることができ、生産効率
を向上させることができるものである。しかも一般式
(3)(4)の離型剤を用いることによって、成形時の
金型からの連続離型性と光半導体(素子)及びリードフ
レームとの密着性という互いに相反する特性を合わせ持
ち、且つ成形体(光半導体装置)の外観的にも白濁がな
く、光透過性に優れたエポキシ樹脂組成物を得、これに
よりスプレー方式の外部離型剤を使用した成形体に比
べ、特性バラツキの小さい光半導体装置を得ることがで
きるものである。
る。
合割合で(a)エポキシ樹脂と(b)硬化剤と(c)離
型剤と(d)硬化促進剤を、110℃で溶融混合した
後、三本ロール混練機で50℃、60分間溶融混練し、
これを冷却・固化した後、粉砕し、タブレット状に打錠
して光半導体封止用エポキシ樹脂組成物を調製した。
(a)〜(d)成分としては以下のようなものを用い
た。
エポキシ樹脂(油化シェルエポキシ(株)製のエピコー
ト828) エポキシ樹脂(イ):ビスフェノールA型エポキシ樹脂
(油化シェルエポキシ(株)製のエピコート1001) エポキシ樹脂(ウ):ビスフェノールS型エポキシ樹脂
(大日本インキ化学工業(株)製のEXA1514) 硬化剤(エ):テトラヒドロ無水フタル酸無水物(新日
本理化(株)製のリカシッドTH) 硬化剤(オ):ヘキサヒドロ無水フタル酸無水物(新日
本理化(株)製のリカシッドHH) 硬化剤(カ):フェノール樹脂(三井東圧社製のVR9
300) 硬化促進剤(キ):1−ベンジル−2−フェニルイミダ
ゾール(四国化成工業(株)製で一般式(1)の構造を
有するもの。R1はフェニル基、R2はベンジル基、R
4は及びR5は水素) 硬化促進剤(ク):1−ベンジル−2−フェニルイミダ
ゾリウムトリメリテイト(四国化成工業(株)製で一般
式(2)の構造を有する付加物。R1はフェニル基、R
2はベンジル基、R3はトリメリット酸、R6は及びR
7は水素) 硬化促進剤(ケ):テトラフェニルホスホニウム・テト
ラフェニルボレート(北興化学工業(株)製) 離型剤(コ):一般式(3)の構造を有する第一級アル
コールのエトキシ化物(平均でA=49、B=30の
(e)成分である) 離型剤(サ):一般式(4)の構造を有する第一級カル
ボン酸のエトキシ化物(平均でC=48、D=27の
(f)成分である) 離型剤(シ):ベヘン酸アマイド(日本化成(株)製の
ダイヤミッドB90) そして実施例及び比較例を以下のような試験で評価し
た。
さ1mmのテストピースを作成し、分光光度計((株)
日立製作所製)を用いてテストピースの可視光領域の光
透過率を測定した。
アーベント部及びパーティング面で発生するバリの離型
性を評価した。評価は以下の通りである。 ◎:非常にバリ剥離性に優れる ○:バリ剥離性に優れる △:現状レベル程度 ×:現状レベル以下 (III)耐湿信頼性試験 回路幅10μm、内側と外側の回路間隔10μm、厚み
1μmの櫛形アルミニウムパターン1(図1に平面図を
示す)を基板の表面に蒸着にて形成してテストエレメン
トグループ(TEG)を作成し、このテストエレメント
グループを42アロイ/銀メッキリードフレームに搭載
し、これを実施例及び比較例で16DPIパッケージ金
型を用いてトランスファー成形し(成形条件は温度16
0℃、注入圧力6MPa)、この後、成形品を150℃
で2時間の条件でアフターキュアーし、実施例及び比較
例から形成される封止樹脂で封止された性能評価用の1
6DIPパッケージを得た。
00%RHの条件下で50時間PCT試験を行い、オー
プン不良率(アルミニウムパターンが腐食され断線が発
生したものを不良とする)から評価した。評価は以下の
通りである。 ◎:不良率0% ○:不良率2%以下 △:不良率5%以下 ×:不良率10%以上 (IV)密着性試験 上記(III)の16DIPパッケージにおいて、成形直
後とアフターキュアー後の素子(TEG)と実施例及び
比較例から形成される封止樹脂の密着性を超音波探査装
置(キャノン製)を用いて評価した。評価は以下の通り
である。 ◎:チップ面全面密着、リードフレーム全面密着 ○:チップ面全面密着、リードフレーム小剥離 △:チップ面全面密着、リードフレーム中剥離 ×:チップ面剥離及び/またはリードフレーム剥離 (V)連続離型性試験 クリーニング後の金型に三回のダミー成形を行った後、
スプレー方式の外部離型剤(ワックス)を用いないで安
定して連続成形できる成形回数(shot数)をカウン
トした。金型及び成形条件は(III)と同様である。
2を用いると比較例を用いた場合と同様の光透過性を有
しながら、バリ離型性、連続離型性、密着性、耐湿信頼
性を向上させることができた。特に、硬化促進剤や離型
剤を好適な範囲で配合した実施例1乃至9において、バ
リ離型性、連続離型性、密着性、耐湿信頼性が比較例よ
りも高くなった。
は、(a)エポキシ樹脂、(b)硬化剤、(c)離型
剤、(d)一般式(1)(2)の硬化促進剤の少なくと
も一方を含有するので、従来の硬化促進剤に比べてエポ
キシ樹脂と硬化剤の反応を大きく促進することができ、
成形サイクルを高くして生産効率を向上させることがで
きるものであり、さらに透明性、密着性、耐湿信頼性、
バリ離型性にも優れるものである。
化促進剤の含有量が全量に対して0.05〜3重量%で
あるので、生産効率の向上、透明性、密着性、耐湿信頼
性、バリ離型性の効果を確実に得ることができるもので
ある。
型剤として、炭素数が18以上のエトキシ化合物を用い
るので、外部離型剤を用いなくても成形体及びバリの金
型からの離型性を高くすることができ、生産効率をさら
に向上させることができるものであり、しかも透明性、
密着性、耐湿信頼性、バリ離型性の効果もさらに向上す
るものである。
型剤として、(e)一般式(3)で示される炭素数が1
8以上の第一級アルコールのエトキシ化合物を用いるの
で、生産効率の向上、透明性、密着性、耐湿信頼性、バ
リ離型性の効果を確実に得ることができるものである。
般式(3)で示される炭素数が18以上の第一級アルコ
ールのエトキシ化合物の含有量が全量に対して0.05
〜5重量%であるので、生産効率の向上、透明性、密着
性、耐湿信頼性、バリ離型性の効果を確実に得ることが
できるものである。
型剤として、(f)一般式(4)で示される炭素数が1
8以上の第一級カルボン酸のエトキシ化合物を用いるの
で、生産効率の向上、透明性、密着性、耐湿信頼性、バ
リ離型性の効果を確実に得ることができるものである。
般式(4)で示される炭素数が18以上の第一級カルボ
ン酸のエトキシ化合物の含有量が全量に対して0.05
〜5重量%であるので、生産効率の向上、透明性、密着
性、耐湿信頼性、バリ離型性の効果を確実に得ることが
できるものである。
7のいずれかに記載の光半導体封止用エポキシ樹脂組成
物で封止するので、生産効率の向上、透明性、密着性、
耐湿信頼性、バリ離型性の効果を確実に得ることができ
るものである。
である。
Claims (8)
- 【請求項1】 (a)エポキシ樹脂、(b)硬化剤、
(c)離型剤、(d)一般式(1)(2)の硬化促進剤
の少なくとも一方を含有して成ることを特徴とする光半
導体封止用エポキシ樹脂組成物。 【化1】 【化2】 但し、R1は水素、メチル基、イソプロピル基、t−ブ
チル基、ウンデシル基、ヘプタデシル基、フェニル基、
ベンジル基、ヒドロキシメチル基などから選ばれる一つ
である。R2は水素、ベンジル基、メチル基、エチル
基、シアノメチル基、シアノエチル基などから選ばれる
一つである。R3は安息香酸、フタル酸、フマル酸、ト
リメリット酸、塩酸、イソシアヌル酸などから選ばれる
一つである。R4,R5,R6,R7は水素、メチル
基、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基などから
選ばれる一つである。 - 【請求項2】 (d)硬化促進剤の含有量が全量に対し
て0.05〜3重量%であることを特徴とする請求項1
に記載の光半導体封止用エポキシ樹脂組成物。 - 【請求項3】 (c)離型剤として、炭素数が18以上
のエトキシ化合物を用いて成ることを特徴とする請求項
1又は2に記載の光半導体封止用エポキシ樹脂組成物。 - 【請求項4】 (c)離型剤として、(e)一般式
(3)で示される炭素数が18以上の第一級アルコール
のエトキシ化合物を用いて成ることを特徴とする請求項
1乃至3のいずれかに記載の光半導体封止用エポキシ樹
脂組成物。 【化3】 但し、Aは17〜100の整数、Bは正の整数である。 - 【請求項5】 (e)一般式(3)で示される炭素数が
18以上の第一級アルコールのエトキシ化合物の含有量
が全量に対して0.05〜5重量%であることを特徴と
する請求項1乃至4のいずれかに記載の光半導体封止用
エポキシ樹脂組成物。 - 【請求項6】 (c)離型剤として、(f)一般式
(4)で示される炭素数が18以上の第一級カルボン酸
のエトキシ化合物を用いて成ることを特徴とする請求項
1乃至5のいずれかに記載の光半導体封止用エポキシ樹
脂組成物。 【化4】 但し、Cは17〜100の整数、Dは正の整数である。 - 【請求項7】 (f)一般式(4)で示される炭素数が
18以上の第一級カルボン酸のエトキシ化合物の含有量
が全量に対して0.05〜5重量%であることを特徴と
する請求項1乃至6のいずれかに記載の光半導体封止用
エポキシ樹脂組成物。 - 【請求項8】 請求項1乃至7のいずれかに記載の光半
導体封止用エポキシ樹脂組成物で封止して成ることを特
徴とする光半導体装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP01772699A JP3392068B2 (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 光半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP01772699A JP3392068B2 (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 光半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000212400A true JP2000212400A (ja) | 2000-08-02 |
| JP3392068B2 JP3392068B2 (ja) | 2003-03-31 |
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ID=11951762
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01772699A Expired - Lifetime JP3392068B2 (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 光半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006228708A (ja) * | 2005-01-20 | 2006-08-31 | Mitsui Chemicals Inc | 有機elシール材 |
| JP2008509241A (ja) * | 2004-08-05 | 2008-03-27 | フライズ・メタルズ・インコーポレイテッド | 電子デバイス用の低空孔で非流動性のフラクシングアンダーフィル |
| JP2010144016A (ja) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Nitto Denko Corp | 光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた光半導体装置 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01275625A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 |
| JPH03166221A (ja) * | 1989-11-25 | 1991-07-18 | Shikoku Chem Corp | エポキシ樹脂組成物 |
| JPH08157695A (ja) * | 1994-12-02 | 1996-06-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
| JPH09208805A (ja) * | 1994-11-09 | 1997-08-12 | Nitto Denko Corp | 光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物 |
| JPH11343395A (ja) * | 1998-06-02 | 1999-12-14 | Hitachi Chem Co Ltd | 光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物及び該組成物で封止された光半導体装置 |
| JP2000063635A (ja) * | 1998-08-25 | 2000-02-29 | Matsushita Electric Works Ltd | 光半導体用エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置 |
| JP2000160063A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-06-13 | Kubota Corp | 低温硬化型粉体塗料組成物及びこの粉体塗料を用いた金属管の内面に塗膜を形成する方法 |
| JP2000169671A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-06-20 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
-
1999
- 1999-01-26 JP JP01772699A patent/JP3392068B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01275625A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 |
| JPH03166221A (ja) * | 1989-11-25 | 1991-07-18 | Shikoku Chem Corp | エポキシ樹脂組成物 |
| JPH09208805A (ja) * | 1994-11-09 | 1997-08-12 | Nitto Denko Corp | 光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物 |
| JPH08157695A (ja) * | 1994-12-02 | 1996-06-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
| JPH11343395A (ja) * | 1998-06-02 | 1999-12-14 | Hitachi Chem Co Ltd | 光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物及び該組成物で封止された光半導体装置 |
| JP2000063635A (ja) * | 1998-08-25 | 2000-02-29 | Matsushita Electric Works Ltd | 光半導体用エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置 |
| JP2000160063A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-06-13 | Kubota Corp | 低温硬化型粉体塗料組成物及びこの粉体塗料を用いた金属管の内面に塗膜を形成する方法 |
| JP2000169671A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-06-20 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008509241A (ja) * | 2004-08-05 | 2008-03-27 | フライズ・メタルズ・インコーポレイテッド | 電子デバイス用の低空孔で非流動性のフラクシングアンダーフィル |
| JP2006228708A (ja) * | 2005-01-20 | 2006-08-31 | Mitsui Chemicals Inc | 有機elシール材 |
| JP2010144016A (ja) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Nitto Denko Corp | 光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた光半導体装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3392068B2 (ja) | 2003-03-31 |
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