JP2000208600A - ウエハの処理方法及びウエハキャリアケ―ス - Google Patents
ウエハの処理方法及びウエハキャリアケ―スInfo
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- JP2000208600A JP2000208600A JP671099A JP671099A JP2000208600A JP 2000208600 A JP2000208600 A JP 2000208600A JP 671099 A JP671099 A JP 671099A JP 671099 A JP671099 A JP 671099A JP 2000208600 A JP2000208600 A JP 2000208600A
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- Japan
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- wafer
- pedestal
- wafers
- carrier case
- carrier
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 キャリアに収納されたウエハを治具で取り出
すときに、治具が隣り合うウエハに接触してウエハに異
物が付着したり、傷がついたりすることがある。 【解決手段】 ウエハキャリアケース１の底部に、ウエ
ハの周縁部が当接する傾きを持った台座４を設けること
によって、ウエハを収納したキャリアをウエハキャリア
ケース１に入れたときに隣り合うウエハの上端部に高低
差を生じさせるようにした。
すときに、治具が隣り合うウエハに接触してウエハに異
物が付着したり、傷がついたりすることがある。 【解決手段】 ウエハキャリアケース１の底部に、ウエ
ハの周縁部が当接する傾きを持った台座４を設けること
によって、ウエハを収納したキャリアをウエハキャリア
ケース１に入れたときに隣り合うウエハの上端部に高低
差を生じさせるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置の製造工
程におけるウエハの処理方法及びそれに使用されるウエ
ハキャリアケースに関するものである。
程におけるウエハの処理方法及びそれに使用されるウエ
ハキャリアケースに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウエハキャリアケースは、ウエハを収納
したキャリアを中に入れて保管、移動する場合に使用さ
れる。ウエハの処理を行うときは、キャリアケースから
キャリアを取り出し、更にキャリアからウエハを治具に
よって取り出して使用している。
したキャリアを中に入れて保管、移動する場合に使用さ
れる。ウエハの処理を行うときは、キャリアケースから
キャリアを取り出し、更にキャリアからウエハを治具に
よって取り出して使用している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、キャリ
アに収納されたウエハは、狭い間隔で、同じ高さで並列
に並んでおり、ウエハを取り出すために治具の先端部を
ウエハ間に差し込んだとき、治具が隣り合うウエハに接
触してしまうことがある。
アに収納されたウエハは、狭い間隔で、同じ高さで並列
に並んでおり、ウエハを取り出すために治具の先端部を
ウエハ間に差し込んだとき、治具が隣り合うウエハに接
触してしまうことがある。
【０００４】その結果、そのウエハに異物が付着した
り、傷が入ったりする。
り、傷が入ったりする。
【０００５】ＬＳＩ（大規模集積回路）の微細化が進む
現状では、微小な異物の付着や傷は不良品発生の原因と
なっている。
現状では、微小な異物の付着や傷は不良品発生の原因と
なっている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、ウエハキャリアケースの底部に、ウエハ
の周縁部が当接する傾きを持った台座を設けることによ
って、ウエハを収納したキャリアをウエハキャリアケー
スに入れたときに隣り合うウエハの上端部に高低差を生
じさせるようにしたものである。
め、本発明は、ウエハキャリアケースの底部に、ウエハ
の周縁部が当接する傾きを持った台座を設けることによ
って、ウエハを収納したキャリアをウエハキャリアケー
スに入れたときに隣り合うウエハの上端部に高低差を生
じさせるようにしたものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施形態を
示す斜視図、図２は図１のウエハキャリアケースに入れ
るキャリアを示す斜視図である。
示す斜視図、図２は図１のウエハキャリアケースに入れ
るキャリアを示す斜視図である。
【０００８】図１において、ウエハキャリアケース１は
例えば合成樹脂で一体に射出成型され、上部には移動時
などに利用される枠２が設けられ、内側部にはキャリア
を入れるときのガイド３が設けられ、また底部には所定
の傾きをもった台座４が収納するウエハと直交する方向
に設けられている。
例えば合成樹脂で一体に射出成型され、上部には移動時
などに利用される枠２が設けられ、内側部にはキャリア
を入れるときのガイド３が設けられ、また底部には所定
の傾きをもった台座４が収納するウエハと直交する方向
に設けられている。
【０００９】台座４はウエハキャリアケース１の成型時
に一体に成型しても、また別個に形成して接着剤等で固
着しても良い。
に一体に成型しても、また別個に形成して接着剤等で固
着しても良い。
【００１０】図２に示したキャリア５は、従来のものと
同じで合成樹脂で射出成型され、例えば６インチ又は８
インチのウエハを、キャリア５の側面部６に設けた溝７
にはめ込んで収納する。
同じで合成樹脂で射出成型され、例えば６インチ又は８
インチのウエハを、キャリア５の側面部６に設けた溝７
にはめ込んで収納する。
【００１１】このキャリア５にウエハを例えば２５枚収
納した状態で、ウエハキャリアケース１に入れると、ウ
エハの周縁部が台座４に当接する。台座４は傾きを持っ
ているので、ウエハは段状に整列する。
納した状態で、ウエハキャリアケース１に入れると、ウ
エハの周縁部が台座４に当接する。台座４は傾きを持っ
ているので、ウエハは段状に整列する。
【００１２】図３はウエハが階段状に整列した状態を示
す側面図で、台座４の傾きに沿って整列した隣り合うウ
エハ８の上端部には高低差ｈが生じる。
す側面図で、台座４の傾きに沿って整列した隣り合うウ
エハ８の上端部には高低差ｈが生じる。
【００１３】この高低差ｈはウエハ８を治具によって取
り出すときに利用されるので、大きい程良いが、現在の
ウエハキャリアケースの構造上、５〜６ｍｍ程度が適当
である。
り出すときに利用されるので、大きい程良いが、現在の
ウエハキャリアケースの構造上、５〜６ｍｍ程度が適当
である。
【００１４】そのためには、台座４の傾きを６インチの
ウエハの場合に５０°以上、８インチのウエハの場合に
４５°以上にすることが望まれる。
ウエハの場合に５０°以上、８インチのウエハの場合に
４５°以上にすることが望まれる。
【００１５】さて、ウエハ８を治具により１枚ずつ取り
出すのであるが、治具を手作業により又は自動機械に治
具が設置されている場合にはその操作により、真空吸着
や静電チャックなどの手段で治具の先端部にウエハ８を
密着させて取り出す。
出すのであるが、治具を手作業により又は自動機械に治
具が設置されている場合にはその操作により、真空吸着
や静電チャックなどの手段で治具の先端部にウエハ８を
密着させて取り出す。
【００１６】治具の先端部の大きさは、製品によって異
なるが、例えば縦２０ｍｍ、横１５ｍｍ、厚さ３ｍｍで
ある。これに対し、ウエハ８の間隔は５〜６ｍｍで、上
端部の高低差ｈは５〜６ｍｍ程度である。
なるが、例えば縦２０ｍｍ、横１５ｍｍ、厚さ３ｍｍで
ある。これに対し、ウエハ８の間隔は５〜６ｍｍで、上
端部の高低差ｈは５〜６ｍｍ程度である。
【００１７】吸着する治具の先端部を高低差ｈにそっく
り当てられるのが理想的であるが、高低差ｈをあまり大
きくすることはウエハキャリアケース１の構造上不可能
である。
り当てられるのが理想的であるが、高低差ｈをあまり大
きくすることはウエハキャリアケース１の構造上不可能
である。
【００１８】しかしながら、５〜６ｍｍ程度の高低差ｈ
であっても、実験によれば隣り合うウエハ８に治具が接
触することはなく、異物の付着や傷を十分防止できるこ
とがわかった。
であっても、実験によれば隣り合うウエハ８に治具が接
触することはなく、異物の付着や傷を十分防止できるこ
とがわかった。
【００１９】また、台座４の低い方の端部の高さｔは、
ウエハ８から落下した異物が再びウエハ８に付着しない
ように、１０ｍｍ程度以上に構成している。
ウエハ８から落下した異物が再びウエハ８に付着しない
ように、１０ｍｍ程度以上に構成している。
【００２０】なお、オリフラを持ったウエハを用いた場
合は、オリフラを下方向に向けてセットすると、台座４
にオリフラが当接して、収納されたウエハ８が安定す
る。
合は、オリフラを下方向に向けてセットすると、台座４
にオリフラが当接して、収納されたウエハ８が安定す
る。
【００２１】以上のように、第１の実施形態によれば、
傾きを持った台座４を設けることにより隣り合うウエハ
８の上端部に高低差ｈを生じさせ、これを利用してウエ
ハ８を取り出すので、隣り合うウエハ８への異物の付着
や傷を防止することができる。
傾きを持った台座４を設けることにより隣り合うウエハ
８の上端部に高低差ｈを生じさせ、これを利用してウエ
ハ８を取り出すので、隣り合うウエハ８への異物の付着
や傷を防止することができる。
【００２２】図４は本発明の第２の実施形態を示す斜視
図で、台座のみを示し、他は省略している。
図で、台座のみを示し、他は省略している。
【００２３】第１の実施形態と異なる点は、台座９が１
本でなく複数本であることである。図では３本の同じ台
座９をその長手方向が収納されるウエハと直向する方向
に互いに平行に設置される。
本でなく複数本であることである。図では３本の同じ台
座９をその長手方向が収納されるウエハと直向する方向
に互いに平行に設置される。
【００２４】３本の台座９にウエハのオリフラが当接す
るように、３本の台座９は間隔を狭めて配置される。
るように、３本の台座９は間隔を狭めて配置される。
【００２５】このように構成することにより、一旦キャ
リアからウエハを取り出してウエハ処理をした後、処理
の終了したウエハを再びキャリアの入ったウエハキャリ
アケースに直接治具で収納するようなとき、ウエハの落
下によるウエハと台座９との衝撃を小さくすることがで
きる。
リアからウエハを取り出してウエハ処理をした後、処理
の終了したウエハを再びキャリアの入ったウエハキャリ
アケースに直接治具で収納するようなとき、ウエハの落
下によるウエハと台座９との衝撃を小さくすることがで
きる。
【００２６】以上のように、第２の実施形態によれば、
第１の実施形態の効果に加えて、台座９を複数本設けた
ので、衝撃によるウエハからの微小異物の発生を低減す
ることができる。
第１の実施形態の効果に加えて、台座９を複数本設けた
ので、衝撃によるウエハからの微小異物の発生を低減す
ることができる。
【００２７】図５は本発明の第３の実施形態を示す斜視
図で、台座のみを示し、他は省略している。
図で、台座のみを示し、他は省略している。
【００２８】第２の実施形態とは、台座を少くとも３本
設け、ウエハの周縁部の曲線に合致して当接するように
両側の台座に対して中央の台座の高さを低くしたことが
異なっている。
設け、ウエハの周縁部の曲線に合致して当接するように
両側の台座に対して中央の台座の高さを低くしたことが
異なっている。
【００２９】両側の台座１０と中央の台座１１は、傾き
は同じで、高さのみ異なっている。また、ウエハの周縁
部の曲線が当接するように、台座１０と台座１１の間隔
は図４の場合より広くなっている。
は同じで、高さのみ異なっている。また、ウエハの周縁
部の曲線が当接するように、台座１０と台座１１の間隔
は図４の場合より広くなっている。
【００３０】図６は上記した第３の実施形態におけるウ
エハと台座との関係を示す図である。
エハと台座との関係を示す図である。
【００３１】ウエハ８はキャリア５の側面部６に設けら
れた溝に嵌合し、その周縁部の曲線１２が両側の台座１
０及び中央の台座１１に当接するようにしてキャリア５
に収納されている。
れた溝に嵌合し、その周縁部の曲線１２が両側の台座１
０及び中央の台座１１に当接するようにしてキャリア５
に収納されている。
【００３２】ウエハ８のオリフラ１３はいずれの台座に
も当接することはなく、実線で示した位置では右側の台
座１０に接することなく、また下側に位置しても中央の
台座１１に接することはない。
も当接することはなく、実線で示した位置では右側の台
座１０に接することなく、また下側に位置しても中央の
台座１１に接することはない。
【００３３】このように、ウエハ８は少くとも２本の台
座に周縁部の曲線１２が当接するので、オリフラ１３の
方向、位置に関係なくキャリア５に収納しても、ウエハ
キャリアケースに入れたときにウエハ８は段状に整列す
る。
座に周縁部の曲線１２が当接するので、オリフラ１３の
方向、位置に関係なくキャリア５に収納しても、ウエハ
キャリアケースに入れたときにウエハ８は段状に整列す
る。
【００３４】従って、オリフラ１３のあるウエハ８の場
合に、オリフラ１３を下方向にセットする必要がない。
合に、オリフラ１３を下方向にセットする必要がない。
【００３５】以上のように、第３の実施形態によれば、
第２の実施形態の効果に加えて、オリフラ１３の方向、
位置に関係なく、オリフラ１３を段状に整列できるよう
に常に定位置に安定して保持することができる。
第２の実施形態の効果に加えて、オリフラ１３の方向、
位置に関係なく、オリフラ１３を段状に整列できるよう
に常に定位置に安定して保持することができる。
【００３６】図７は本発明のウエハの取り出し方法を説
明する図である。
明する図である。
【００３７】キャリアに収納されたウエハ８は、ウエハ
キャリアケース１にキャリアを入れることによって、傾
きを持った台座の作用で段状に整列し、隣り合うウエハ
８の上端部には上記したように高低差ｈが生じる。
キャリアケース１にキャリアを入れることによって、傾
きを持った台座の作用で段状に整列し、隣り合うウエハ
８の上端部には上記したように高低差ｈが生じる。
【００３８】この高低差ｈを利用して治具１４の先端部
１５でウエハ８を吸着して１枚ずつ取り出す。取り出し
たウエハ８は所定の処理工程に搬送されて、ウエハ処理
がなされる。
１５でウエハ８を吸着して１枚ずつ取り出す。取り出し
たウエハ８は所定の処理工程に搬送されて、ウエハ処理
がなされる。
【００３９】
【発明の効果】上記したように、本発明はウエハキャリ
アケースの底部に傾きを持った台座を設けたので、ウエ
ハを段状に整列させ、隣り合うウエハの上端部に高低差
を作ることができ、この高低差を利用してウエハを治具
によって取り出すときに異物を付着させたり、傷をつけ
たりすることを防止できる。
アケースの底部に傾きを持った台座を設けたので、ウエ
ハを段状に整列させ、隣り合うウエハの上端部に高低差
を作ることができ、この高低差を利用してウエハを治具
によって取り出すときに異物を付着させたり、傷をつけ
たりすることを防止できる。
【図１】本発明の第１の実施形態を示す斜視図
【図２】キャリアを示す斜視図
【図３】ウエハの整列状態を示す側面図
【図４】本発明の第２の実施形態を示す斜視図
【図５】本発明の第３の実施形態を示す斜視図
【図６】ウエハと台座との関係を示す図
【図７】本発明のウエハの取り出し方法を説明する図
１ ウエハキャリアケース ４，９，１０，１１ 台座 ５ キャリア ８ ウエハ １２ 曲線 １３ オリフラ １４ 治具
Claims (6)
- 【請求項１】 ウエハを収納したキャリアを、傾きを持
った台座を底部に設置したキャリアケースに入れること
によって、ウエハを段状に整列させ、隣り合うウエハの
上端部に生じた高低差を利用して治具によりウエハを取
り出し、取り出したウエハを所定の処理工程に搬送して
処理することを特徴とするウエハの処理方法。 - 【請求項２】 ウエハを収納したキャリアを入れるウエ
ハキャリアケースにおいて、 前記ウエハキャリアケースの底部に、前記ウエハの周縁
部が当接する傾きを持った台座を設けたことを特徴とす
るウエハキャリアケース。 - 【請求項３】 前記傾きが４５°以上であることを特徴
とする請求項２記載のウエハキャリアケース。 - 【請求項４】 前記ウエハのオリフラが前記台座に当接
することを特徴とする請求項２又は請求項３記載のウエ
ハキャリアケース。 - 【請求項５】 前記台座を複数本設けたことを特徴とす
る請求項２〜４のいずれかに記載のウエハキャリアケー
ス。 - 【請求項６】 前記台座を少なくとも３本設け、前記ウ
エハの周縁部の曲線に合致して当接するように両側の台
座に対して中央の台座の高さを低くしたことを特徴とす
る請求項２又は請求項３記載のウエハキャリアケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP671099A JP2000208600A (ja) | 1999-01-13 | 1999-01-13 | ウエハの処理方法及びウエハキャリアケ―ス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP671099A JP2000208600A (ja) | 1999-01-13 | 1999-01-13 | ウエハの処理方法及びウエハキャリアケ―ス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000208600A true JP2000208600A (ja) | 2000-07-28 |
Family
ID=11645856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP671099A Pending JP2000208600A (ja) | 1999-01-13 | 1999-01-13 | ウエハの処理方法及びウエハキャリアケ―ス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000208600A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115910874A (zh) * | 2023-03-09 | 2023-04-04 | 四川上特科技有限公司 | 一种晶圆存放框 |
-
1999
- 1999-01-13 JP JP671099A patent/JP2000208600A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115910874A (zh) * | 2023-03-09 | 2023-04-04 | 四川上特科技有限公司 | 一种晶圆存放框 |
| CN115910874B (zh) * | 2023-03-09 | 2023-05-23 | 四川上特科技有限公司 | 一种晶圆存放框 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040622 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040722 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20040929 |
|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20050318 |