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JP2000208558A - Printed circuit board for LSI package - Google Patents

Printed circuit board for LSI package

Info

Publication number
JP2000208558A
JP2000208558A JP11003504A JP350499A JP2000208558A JP 2000208558 A JP2000208558 A JP 2000208558A JP 11003504 A JP11003504 A JP 11003504A JP 350499 A JP350499 A JP 350499A JP 2000208558 A JP2000208558 A JP 2000208558A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed circuit
circuit board
chip
bare chip
semiconductor chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11003504A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasunori Tanaka
靖則 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP11003504A priority Critical patent/JP2000208558A/en
Publication of JP2000208558A publication Critical patent/JP2000208558A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H10W72/073
    • H10W90/724

Landscapes

  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a semiconductor chip in the state of a bare chip and to easily and inexpensively mount it without being affected by the difference of a bump specification at every chip manufacture by protrusively installing a bump on the semiconductor chip mounting pad of a printed board. SOLUTION: Wirings 11 corresponding to the electrodes of a bare chip 20 are printed on a printed board for manufacturing an LSI package mounting the bare chip 20 and having a ball grid array terminal. Bumps 13 are protrusively installed on semiconductor chip mounting pads 12 abutted on the electrodes of the bare chip. Through holes 14 connected to the ball grid array terminal of the LSI package are formed on the other end parts of the wirings 11. The bare chip which is generally and easily obtained can be mounted on a bare chip-side without changing it. The LSI package can easily and inexpensively be manufactured.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板にL
SI用の半導体チップを実装してLSIパッケージを製
造するに際して、半導体チップ側に手を加えることなく
容易に実装できるLSIパッケージ用プリント基板に関
する。
[0001] The present invention relates to a printed circuit board having an L
The present invention relates to a printed circuit board for an LSI package which can be easily mounted without modifying a semiconductor chip side when an LSI package is manufactured by mounting a semiconductor chip for the SI.

【0002】[0002]

【従来の技術】LSIの製造技術においては、ウェハー
から切断された状態の半導体チップ(以下、「ベアチッ
プ」という)をLSIパッケージ用の基板に接続してL
SIパッケージを製造する際の半導体チップ実装技術
が、LSIの実装面積の小型化、軽量化、性能向上、そ
して生産効率の向上のための重要な要素の一つとなって
いる。これらの要求を満たすため、現在ではLSIパッ
ケージ用の基板にベアチップを接続するためのさまざま
な手段が開発され実用にも供されている。例えば「ハイ
ブリッドマイクロエレクトロニクスハンドブック(工業
調査会発行)」には、ハンダによる接続の方法、導電性
接着剤を用いる手法、異方性導電シートを用いる手法、
そして接着剤の収縮力によって電極を接触させて導通を
得る手法が紹介されている。これらの手法における共通
の特徴は、いずれも前記ベアチップの電極に「バンプ」
と称される導電性の突起を形成し、このバンプをLSI
パッケージ用基板の対応する位置に形成された半導体チ
ップ実装パッドに押しつけて、この半導体チップ側のバ
ンプと基板側の半導体チップ実装パッドとの接触部分に
電気的接続を形成することにある。
2. Description of the Related Art In an LSI manufacturing technique, a semiconductor chip (hereinafter, referred to as a "bare chip") cut from a wafer is connected to a substrate for an LSI package.
2. Description of the Related Art Semiconductor chip mounting technology for manufacturing an SI package is one of the important factors for reducing the mounting area of an LSI, reducing its weight, improving its performance, and improving its production efficiency. In order to satisfy these requirements, various means for connecting a bare chip to a substrate for an LSI package have been developed and put to practical use. For example, the “Hybrid Microelectronics Handbook (issued by the Industrial Research Council)” includes methods for connection by soldering, methods using conductive adhesives, methods using anisotropic conductive sheets,
Then, a method of bringing the electrodes into contact by the contraction force of the adhesive to obtain conduction is introduced. A common feature of these techniques is that the bare chip electrode has a "bump"
Conductive bumps called LSI, and these bumps are
An object of the present invention is to form an electrical connection at a contact portion between the bump on the semiconductor chip side and the semiconductor chip mounting pad on the substrate side by pressing the semiconductor chip mounting pad formed at a corresponding position on the package substrate.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、これら半導体
チップ側のバンプの形成にはさまざまな形式があり、チ
ップ製造業者によってこの形式がそれぞれ異なるため、
例えばLSIユーザが複数のチップ製造業者からバンプ
付き半導体チップを入手して一つのLSIパッケージを
組立てようとしても、それぞれのチップ製造業者に共通
仕様のバンプ形成を求めることは極めて困難である。そ
こで、代わりにLSIユーザ自身がウェハー状態で半導
体チップを入手し、ウェハー上で独自に共通仕様のバン
プを形成しようとしても、商慣習によりウェハー形態の
半導体チップを入手することはほとんど不可能である上
に、入手できても、ウェハーの寸法、ウェハー保護膜の
材質などがチップ製造業者ごとに異なるため、これらに
共通仕様のバンプを形成することは困難であるばかりで
なく、実施しても高価なものとなって実際的ではなかっ
た。本発明は、上記の課題を解決するためになされたも
のであって、従ってその目的は、チップ製造業者ごとの
バンプ仕様の違いに影響されることなく、半導体チップ
をベアチップの状態で入手し、これを容易にかつ安価に
実装することができるLSIパッケージ用基板を提供す
ることにある。
However, there are various types of formation of the bumps on the semiconductor chip side, and these types differ depending on the chip manufacturer.
For example, even if an LSI user obtains a semiconductor chip with bumps from a plurality of chip manufacturers and assembles one LSI package, it is extremely difficult to request each chip manufacturer to form bumps having a common specification. Therefore, even if an LSI user obtains a semiconductor chip in a wafer state and tries to form a bump having a common specification independently on the wafer, it is almost impossible to obtain a semiconductor chip in a wafer form by commercial practice. Above, even if it is available, since the dimensions of the wafer, the material of the wafer protective film, etc. differ for each chip manufacturer, it is not only difficult to form bumps with common specifications on these, but also expensive Was not practical. The present invention has been made to solve the above problems, and therefore, the object thereof is to obtain a semiconductor chip in a bare chip state without being affected by differences in bump specifications between chip manufacturers, An object of the present invention is to provide an LSI package substrate that can be easily and inexpensively mounted.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明は、プリント基板の半導体チップ実装パッド
にバンプが突設されたLSIパッケージ用プリント基板
を提供する。LSIパッケージ用プリント基板(以下、
単に「プリント基板」という)の側にバンプを突設させ
ることによって、半導体チップ側には何らの手を加える
必要がなく、従来からよく用いられている接合方法によ
ってベアチップをそのまま実装することが可能となる。
従ってチップ製造業者ごとの仕様の違いに影響されるこ
となく、一般に入手し得るベアチップを容易にかつ安価
にプリント基板に実装することができるようになる。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems, the present invention provides a printed circuit board for an LSI package in which bumps are protruded from semiconductor chip mounting pads of the printed circuit board. Printed circuit board for LSI package
By simply protruding the bumps on the side of the "printed circuit board", there is no need to make any changes on the semiconductor chip side, and the bare chip can be mounted as it is by the conventionally used bonding method Becomes
Therefore, a generally available bare chip can be easily and inexpensively mounted on a printed circuit board without being affected by differences in specifications among chip manufacturers.

【0005】前記において、バンプは、メッキ技術によ
り形成されたものであることが好ましい。プリント基板
の製造においてメッキ技術は、例えばスルーホール形成
時などにきわめて一般的に用いられている技術であり、
メッキ技術によるバンプの形成は技術的にも設備的にも
何ら問題がなく、通常の基板製造技術と設備内におい
て、例えば前記のスルーホール形成と同時にも実施する
ことができて、バンプ形成のためのコストの上昇を抑制
することができる。
[0005] In the above, it is preferable that the bump is formed by a plating technique. Plating technology in the manufacture of printed circuit boards is a technology that is very commonly used, for example, when forming through holes,
The formation of the bumps by the plating technique has no technical or equipment problem, and can be performed simultaneously with the formation of the through holes, for example, in the usual substrate manufacturing technique and equipment. Cost can be suppressed.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を実施
例により図面を用いて説明する。図1および図2に、本
発明によるプリント基板の一実施例を示す。図1および
図2において、プリント基板10は、ベアチップ20を
実装してボールグリッドアレイ型端子を有するLSIパ
ッケージを製造するためのプリント基板であって、表面
にベアチップ20の電極に対応する配線11がプリント
されている。この配線11において、ベアチップの電極
と当接する半導体チップ実装パッド12にはバンプ13
が突設され、またこの配線11の他の端部には、LSI
パッケージのボールグリッドアレイ型端子と接続するス
ルーホール14が形成されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. 1 and 2 show one embodiment of a printed circuit board according to the present invention. 1 and 2, a printed circuit board 10 is a printed circuit board for mounting an bare chip 20 to manufacture an LSI package having a ball grid array type terminal, and a wiring 11 corresponding to an electrode of the bare chip 20 is provided on the surface. Printed. In this wiring 11, a bump 13 is provided on a semiconductor chip mounting pad 12 which is in contact with an electrode of a bare chip.
And the other end of the wiring 11 has an LSI
A through hole 14 is formed to connect to a ball grid array type terminal of the package.

【0007】前記のバンプ13とスルーホール14と
は、基板メッキ技術により同時に形成されている。この
とき、回路上の不要な配線にはメッキレジスト等のマス
キングを予め施しておくことによりバンプの形成が防止
される。
The bumps 13 and the through holes 14 are formed at the same time by a substrate plating technique. At this time, the formation of the bumps is prevented by masking the unnecessary wiring on the circuit with a plating resist or the like in advance.

【0008】バンプ11が形成された実施例のプリント
基板10は、例えば図3に示すように、このプリント基
板10とベアチップ20との間に異方性導電シート(A
CF)30を介在させ、加圧、加熱することによって、
異方性導電シート内の導電粒子を介してバンプ13とベ
アチップ20の電極21との間を電気的に接続し、同時
に異方性導電シート30の樹脂の硬化によって、プリン
ト基板10とベアチップ20とを物理的に接合すること
ができる。
As shown in FIG. 3, for example, as shown in FIG. 3, a printed circuit board 10 having bumps 11 formed thereon is anisotropically conductive sheet (A) between the printed circuit board 10 and a bare chip 20.
CF) 30 interposed, pressurized and heated,
The printed circuit board 10 and the bare chip 20 are electrically connected between the bumps 13 and the electrodes 21 of the bare chip 20 through the conductive particles in the anisotropic conductive sheet, and at the same time, the resin of the anisotropic conductive sheet 30 is cured. Can be physically joined.

【0009】次いで必要に応じて、図4に示すように、
ベアチップ20保護のためにプリント基板10の表面を
樹脂モールド31で封止し、更にスルーホール14の裏
面に外部電極としてのハンダボール32を形成すればボ
ールグリッドアレイ(BGA)型LSIパッケージが完
成する。
Next, if necessary, as shown in FIG.
If the surface of the printed circuit board 10 is sealed with a resin mold 31 to protect the bare chip 20, and solder balls 32 as external electrodes are formed on the back surface of the through holes 14, a ball grid array (BGA) type LSI package is completed. .

【0010】前記実施例のように本発明のプリント基板
は、その半導体チップ実装パッド12にバンプ13が突
設されているので、LSIチップ側にバンプが形成され
た従来のLSIパッケージと全く同様にしてプリント基
板とベアチップとの接続が可能になる。従って、従来の
LSIチップ電極へのバンプ形成は不要となり、一般に
入手可能な様々なチップ製造業者のバンプが形成されて
いない半導体チップ、すなわちベアチップをプリント基
板に装着することが可能になる。また、プリント基板の
バンプは、スルーホール形成のメッキによって同時に形
成されるので、プリント基板製造のコスト上昇も抑える
ことができる。
As in the above embodiment, the printed board of the present invention has bumps 13 protruding from its semiconductor chip mounting pads 12, so that the printed board is exactly the same as a conventional LSI package having bumps formed on the LSI chip side. Thus, the connection between the printed circuit board and the bare chip becomes possible. Therefore, it is not necessary to form bumps on conventional LSI chip electrodes, and it is possible to mount a semiconductor chip without bumps, that is, a bare chip, which is generally available from various chip manufacturers, on a printed circuit board. Further, since the bumps of the printed board are formed simultaneously by plating for forming the through holes, it is possible to suppress an increase in the cost of manufacturing the printed board.

【0011】前記においては、本発明のプリント基板を
異方性導電シートを用いたベアチップの実装に用いた
が、そのほかのベアチップ実装手段も適用することがで
きる。例えば異方性導電シートの代わりに光硬化性絶縁
樹脂を用い、プリント基板側のバンプとベアチップの電
極とをその硬化時の収縮力によって電気的に接続すると
共に物理的に接合する方法も適用できる。また更に、バ
ンプ上に導電ペースト、ハンダなどを供給し接続の補助
材として用いてもよい。前記実施例においてはプリント
基板に1個の半導体チップを実装する場合を示したが、
本発明のプリント基板は、1枚のプリント基板に複数
の、しかも製造業者が異なる半導体チップを混在させて
実装できることはいうまでもない。また本発明のプリン
ト基板は、前記の半導体チップ接続回路のみならず、一
般的な電子機器用の回路および素子が実装されたもので
あってもよい。
In the above description, the printed circuit board of the present invention is used for mounting a bare chip using an anisotropic conductive sheet, but other means for mounting a bare chip may be applied. For example, a method in which a photocurable insulating resin is used instead of the anisotropic conductive sheet, and the bumps on the printed circuit board and the electrodes of the bare chip are electrically connected and physically joined by the contraction force at the time of curing thereof can also be applied. . Further, a conductive paste, solder, or the like may be supplied on the bumps and used as an auxiliary material for connection. In the above embodiment, the case where one semiconductor chip is mounted on the printed circuit board has been described.
It goes without saying that the printed circuit board of the present invention can be mounted on a single printed circuit board by mixing a plurality of semiconductor chips from different manufacturers. Further, the printed circuit board of the present invention may include not only the semiconductor chip connection circuit described above but also circuits and elements for general electronic devices mounted thereon.

【0012】[0012]

【発明の効果】本発明のLSIパッケージ用プリント基
板は、プリント基板の半導体チップ実装パッドにバンプ
が突設されたものであるので、一般に入手し得るベアチ
ップを、ベアチップ側に何ら手を加えずに実装すること
ができ、チップ製造業者ごとの仕様の違いに影響される
ことなく容易にかつ安価にLSIパッケージを製造する
ことができる。また前記のバンプをメッキ技術により形
成すれば、スルーホール形成などと同時に形成すること
ができるので、特別な工程を設けることなく加工が行え
て更に安価にLSIパッケージを製造することができる
ようになる。
The printed circuit board for an LSI package according to the present invention has bumps projecting from the semiconductor chip mounting pads of the printed circuit board, so that a commonly available bare chip can be used without any modification on the bare chip side. LSI packages can be easily and inexpensively manufactured without being affected by differences in specifications among chip manufacturers. Further, if the bumps are formed by a plating technique, they can be formed simultaneously with the formation of through holes and the like, so that processing can be performed without providing a special step, and an LSI package can be manufactured at lower cost. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の一実施例を示す平面図FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of the present invention.

【図2】 図1の線X−Xで切った断面図FIG. 2 is a sectional view taken along line XX of FIG. 1;

【図3】 前記実施例の一使用形態を示す断面図FIG. 3 is a cross-sectional view showing one use mode of the embodiment.

【図4】 前記実施例を用いて製造されたLSIパッケ
ージの一例を示す断面図
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating an example of an LSI package manufactured using the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10:プリント基板 11:配線 12:半導体チップ実装パッド 13:バンプ 14:スルーホール 20:ベアチップ 21:電極 30:異方性導電シート 31:樹脂モールド 32:ハンダボール 10: Printed circuit board 11: Wiring 12: Semiconductor chip mounting pad 13: Bump 14: Through hole 20: Bare chip 21: Electrode 30: Anisotropic conductive sheet 31: Resin mold 32: Solder ball

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 LSI用の半導体チップを実装してLS
Iパッケージを製造するためのプリント基板であって、
このプリント基板の半導体チップ実装パッドにバンプが
突設されたことを特徴とするLSIパッケージ用プリン
ト基板。
An LSI is mounted on a semiconductor chip for an LSI.
A printed circuit board for manufacturing an I package,
A printed circuit board for an LSI package, wherein bumps are projected from semiconductor chip mounting pads of the printed circuit board.
【請求項2】 前記のバンプがメッキ技術により形成さ
れたことを特徴とする請求項1に記載のLSIパッケー
ジ用プリント基板。
2. The printed circuit board for an LSI package according to claim 1, wherein said bumps are formed by a plating technique.
JP11003504A 1999-01-08 1999-01-08 Printed circuit board for LSI package Pending JP2000208558A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022153872A1 (en) * 2021-01-12 2022-07-21 株式会社オートネットワーク技術研究所 Power supply control device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022153872A1 (en) * 2021-01-12 2022-07-21 株式会社オートネットワーク技術研究所 Power supply control device
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Effective date: 20010703