JP2000299365A - 光データ伝送装置 - Google Patents
光データ伝送装置Info
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- H04B10/00—Transmission systems employing electromagnetic waves other than radio-waves, e.g. infrared, visible or ultraviolet light, or employing corpuscular radiation, e.g. quantum communication
- H04B10/11—Arrangements specific to free-space transmission, i.e. transmission through air or vacuum
- H04B10/114—Indoor or close-range type systems
- H04B10/1143—Bidirectional transmission
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- H04B10/11—Arrangements specific to free-space transmission, i.e. transmission through air or vacuum
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- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 インターロック機構を備え、無人搬送車１に
よって複数の製造装置２に光データ伝送を行いながら移
載物の搬送する搬送システムにおいて、インターロック
によって搬送システムが停止したとき、その原因を迅速
に解明する。 【解決手段】 無人搬送車１と製造装置２に取付けられ
る光データ伝送装置１１の少なく共一方に、通信ログを
記録保持する不揮発性メモリ１４と、通信ログを不揮発
性メモリに書込み、外部から問い合わせがあったとき、
その記録内容を外部に出力する通信ログ記録手段を備え
る。
よって複数の製造装置２に光データ伝送を行いながら移
載物の搬送する搬送システムにおいて、インターロック
によって搬送システムが停止したとき、その原因を迅速
に解明する。 【解決手段】 無人搬送車１と製造装置２に取付けられ
る光データ伝送装置１１の少なく共一方に、通信ログを
記録保持する不揮発性メモリ１４と、通信ログを不揮発
性メモリに書込み、外部から問い合わせがあったとき、
その記録内容を外部に出力する通信ログ記録手段を備え
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インターロック機構を
備えた搬送システムにおいて、移載物の受け渡しに必要
なデータを双方向通信により伝送するために、無人搬送
車と製造装置の双方に取り付けられる光データ伝送装置
に関し、特に、通信ログを記録保持する不揮発性メモリ
を設け、トラブル発生時に、この通信ログを読出して、
原因の究明を迅速に行えるようにした光データ伝送装置
に関する。
備えた搬送システムにおいて、移載物の受け渡しに必要
なデータを双方向通信により伝送するために、無人搬送
車と製造装置の双方に取り付けられる光データ伝送装置
に関し、特に、通信ログを記録保持する不揮発性メモリ
を設け、トラブル発生時に、この通信ログを読出して、
原因の究明を迅速に行えるようにした光データ伝送装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイスや液晶表示器の製造ライ
ンでは、建家内に配置した複数の製造装置に対して、半
導体ウエーハや液晶表示器の基板を、無人搬送車により
工程に従って移載している。
ンでは、建家内に配置した複数の製造装置に対して、半
導体ウエーハや液晶表示器の基板を、無人搬送車により
工程に従って移載している。
【０００３】図６（ａ）（ｂ）（ｃ）は、半導体デバイ
スの製造ラインにおいて、無人搬送車１と半導体製造装
置２の間で、ＡＭＨＳ（Automated material handling
systems）によって、半導体ウエ−ハ３を収納した移載
物であるキャリア４を受け渡す状態を示したものであ
る。図６（ａ）は無人搬送車が車輪によって自走するＡ
ＧＶ（Automated Guided Vchicle）である場合で、ＡＭ
ＨＳのアーム５とハンド６によって、キャリア４を半導
体製造装置２に積み降している。図６（ｂ）は無人搬送
車１が床面に設けたガイドレール７を走行するＲＧＶ
（Rail Guided Vchicle）である場合で、ＡＭＨＳによ
って同様の積み降ろしが行なわれている。図６（ｃ）は
無人搬送車が天井面に設けたガイドレール８を走行する
ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）である場合で、こ
の場合はＡＭＨＳの持つホイスト９とハンド１０でキャ
リア４の積み降ろしを行なっている。
スの製造ラインにおいて、無人搬送車１と半導体製造装
置２の間で、ＡＭＨＳ（Automated material handling
systems）によって、半導体ウエ−ハ３を収納した移載
物であるキャリア４を受け渡す状態を示したものであ
る。図６（ａ）は無人搬送車が車輪によって自走するＡ
ＧＶ（Automated Guided Vchicle）である場合で、ＡＭ
ＨＳのアーム５とハンド６によって、キャリア４を半導
体製造装置２に積み降している。図６（ｂ）は無人搬送
車１が床面に設けたガイドレール７を走行するＲＧＶ
（Rail Guided Vchicle）である場合で、ＡＭＨＳによ
って同様の積み降ろしが行なわれている。図６（ｃ）は
無人搬送車が天井面に設けたガイドレール８を走行する
ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）である場合で、こ
の場合はＡＭＨＳの持つホイスト９とハンド１０でキャ
リア４の積み降ろしを行なっている。
【０００４】上述したキャリア４の受け渡しは、製造ラ
イン全体を制御するコントロールシステムの指令に基づ
き、無人搬送車１と半導体製造装置２の夫々に搭載され
たホストコンピュータによって行われる。この受け渡し
時に、無人搬送車１と半導体製造装置２を連携動作させ
る必要があるので、無人搬送車１と半導体製造装置２の
双方に設けた光データ伝送装置１１によって、必要なデ
ータの送受信を行っている。
イン全体を制御するコントロールシステムの指令に基づ
き、無人搬送車１と半導体製造装置２の夫々に搭載され
たホストコンピュータによって行われる。この受け渡し
時に、無人搬送車１と半導体製造装置２を連携動作させ
る必要があるので、無人搬送車１と半導体製造装置２の
双方に設けた光データ伝送装置１１によって、必要なデ
ータの送受信を行っている。
【０００５】この光による無人搬送車１と半導体製造装
置２の双方向通信は、無人搬送車１が半導体製造装置２
と対向する位置に到着したときに行われる。この通信内
容は、無人搬送車１から半導体製造装置２にキャリア４
を積み降ろす場合には、無人搬送車１から半導体製造装
置２に向けて、移載ポートの指定信号（ＣＳ＿０，ＣＳ
＿１），ポート使用信号（ＶＡＬＩＤ），移載要求信号
（ＴＲ＿ＲＥＱ），作業中信号（ＢＵＳＹ），及び完了
信号（ＣＯＭＰＴ）を送信し、半導体製造装置２から無
人搬送車１に向けて、受入れ要求信号（Ｌ＿ＲＥＱ）と
受入れ許容信号（ＲＥＡＤＹ）を送信するもので、これ
らの信号は受け渡しを行なっている期間中継続して送受
信される。
置２の双方向通信は、無人搬送車１が半導体製造装置２
と対向する位置に到着したときに行われる。この通信内
容は、無人搬送車１から半導体製造装置２にキャリア４
を積み降ろす場合には、無人搬送車１から半導体製造装
置２に向けて、移載ポートの指定信号（ＣＳ＿０，ＣＳ
＿１），ポート使用信号（ＶＡＬＩＤ），移載要求信号
（ＴＲ＿ＲＥＱ），作業中信号（ＢＵＳＹ），及び完了
信号（ＣＯＭＰＴ）を送信し、半導体製造装置２から無
人搬送車１に向けて、受入れ要求信号（Ｌ＿ＲＥＱ）と
受入れ許容信号（ＲＥＡＤＹ）を送信するもので、これ
らの信号は受け渡しを行なっている期間中継続して送受
信される。
【０００６】液晶表示器の製造ラインの場合も、半導体
ウエーハ３の代わりにサイズの大きいガラス基板を用い
るが、類似した処理工程を経て製造されるため、図６と
同様の移載を行っている。
ウエーハ３の代わりにサイズの大きいガラス基板を用い
るが、類似した処理工程を経て製造されるため、図６と
同様の移載を行っている。
【０００７】これらの製造ラインの移載物は、非常に高
価で割れやすいものであるため、衝撃を与えないように
慎重に取り扱う必要がある。このため、これらの搬送シ
ステムは、何等かのトラブルが発生した場合には、移載
動作を即時に停止させるインターロック機構を備えてい
る。
価で割れやすいものであるため、衝撃を与えないように
慎重に取り扱う必要がある。このため、これらの搬送シ
ステムは、何等かのトラブルが発生した場合には、移載
動作を即時に停止させるインターロック機構を備えてい
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した搬送システム
では、何等かの原因によって障害が発生した場合に、イ
ンターロック機能が働いて安全のために動作が停止す
る。この発生頻度は少ないが、いつどこで発生するか不
明である。この場合は、その原因を究明して、同様のト
ラブルが再発しないように処置する必要がある。
では、何等かの原因によって障害が発生した場合に、イ
ンターロック機能が働いて安全のために動作が停止す
る。この発生頻度は少ないが、いつどこで発生するか不
明である。この場合は、その原因を究明して、同様のト
ラブルが再発しないように処置する必要がある。
【０００９】このインターロックは、無人搬送車と製造
装置が、相互にデータ伝送を行いながら、夫々、複数の
ステップを踏んで進める移載物の受け渡し過程で発生す
る場合が多い。ホストコンピュータは、自車又は自装置
で障害が発生した場合は、直ちに自車又は自装置のイン
ターロックを働かせ、他車又は他装置で障害が発生した
ときは、送信に対する応答が一定時間受信できなかった
ことによりこれを検出してインターロックを働かせる。
装置が、相互にデータ伝送を行いながら、夫々、複数の
ステップを踏んで進める移載物の受け渡し過程で発生す
る場合が多い。ホストコンピュータは、自車又は自装置
で障害が発生した場合は、直ちに自車又は自装置のイン
ターロックを働かせ、他車又は他装置で障害が発生した
ときは、送信に対する応答が一定時間受信できなかった
ことによりこれを検出してインターロックを働かせる。
【００１０】このように、インターロックが働いたと
き、それが移載物の受け渡しのどのステップで発生した
かを、その直前の送信データ又は受信データの内容によ
って特定出来れば原因の究明は、比較的容易である。
き、それが移載物の受け渡しのどのステップで発生した
かを、その直前の送信データ又は受信データの内容によ
って特定出来れば原因の究明は、比較的容易である。
【００１１】しかし、従来の光データ伝送装置は、通信
の経過について記録する機能はなく、搬送システムが停
止した場合には、全てを調査する必要があるので復旧に
長時間を要し、製造ラインの製造能率を著しく低減させ
る原因となっていた。
の経過について記録する機能はなく、搬送システムが停
止した場合には、全てを調査する必要があるので復旧に
長時間を要し、製造ラインの製造能率を著しく低減させ
る原因となっていた。
【００１２】そこで、本発明は通信ログを一定期間記録
して、トラブル発生時に、これを読出すことにより、そ
の原因を速やかに究明できるようにする光データ伝送装
置を提供することを目的とする。
して、トラブル発生時に、これを読出すことにより、そ
の原因を速やかに究明できるようにする光データ伝送装
置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
発明は、トラブル発生時に動作を停止するインターロッ
ク機構を有し、無人搬送車によって、製造ラインに配置
された複数の製造装置に移載物を搬送する搬送システム
に備えられ、移載物の受け渡しに必要なデータを双方向
通信により伝送するために、無人搬送車と製造装置の双
方に取付けられる光データ伝送装置において、通信ログ
を記録保持する不揮発性メモリと、通信ログを不揮発性
メモリに書込み、外部から問い合わせがあったとき、そ
の記録内容を外部に出力する通信ログ記録手段を備えた
ことを特徴とする。
発明は、トラブル発生時に動作を停止するインターロッ
ク機構を有し、無人搬送車によって、製造ラインに配置
された複数の製造装置に移載物を搬送する搬送システム
に備えられ、移載物の受け渡しに必要なデータを双方向
通信により伝送するために、無人搬送車と製造装置の双
方に取付けられる光データ伝送装置において、通信ログ
を記録保持する不揮発性メモリと、通信ログを不揮発性
メモリに書込み、外部から問い合わせがあったとき、そ
の記録内容を外部に出力する通信ログ記録手段を備えた
ことを特徴とする。
【００１４】上記不揮発性メモリに記憶される通信ログ
は、１回の受け渡し時に、無人搬送車と製造装置の間で
双方向に行われるデータ通信の経過を記録したもので、
インターロックによって、搬送システムが動作を停止す
るまでのステップが記録されている。したがって、トラ
ブル発生時に、これを読出せば、無人搬送車と製造装置
の、インターロックまでの受け渡しの動作手順を知るこ
とができる。このため、トラブルの原因を迅速に解明す
ることができる。
は、１回の受け渡し時に、無人搬送車と製造装置の間で
双方向に行われるデータ通信の経過を記録したもので、
インターロックによって、搬送システムが動作を停止す
るまでのステップが記録されている。したがって、トラ
ブル発生時に、これを読出せば、無人搬送車と製造装置
の、インターロックまでの受け渡しの動作手順を知るこ
とができる。このため、トラブルの原因を迅速に解明す
ることができる。
【００１５】なお、上記通信ログの記録機能は、無人搬
送車と製造装置に取付けられる光データ伝送装置の少な
く共一方にあればよい。
送車と製造装置に取付けられる光データ伝送装置の少な
く共一方にあればよい。
【００１６】本発明の請求項２に記載された発明は、請
求項１に記載した光データ伝送装置の構成において、不
揮発性メモリの記憶容量を、一回の受け渡しのための一
連の通信ログを記録できる大きさにすると共に、通信ロ
グ記録手段を、移載物の受け渡しのための通信開始時に
不揮発性メモリの記録内容をクリアし、その後に、一連
の通信ログの記録を開始するものとしたことを特徴とす
る。
求項１に記載した光データ伝送装置の構成において、不
揮発性メモリの記憶容量を、一回の受け渡しのための一
連の通信ログを記録できる大きさにすると共に、通信ロ
グ記録手段を、移載物の受け渡しのための通信開始時に
不揮発性メモリの記録内容をクリアし、その後に、一連
の通信ログの記録を開始するものとしたことを特徴とす
る。
【００１７】これは、トラブルの直前１回分の受け渡し
の通信ログが、トラブルの原因究明のために必要且つ十
分であるため、この通信ログのみを記憶保存することに
より、不揮発性メモリの記憶容量を少なくし、原因究明
を容易に行なえるようにしたものである。
の通信ログが、トラブルの原因究明のために必要且つ十
分であるため、この通信ログのみを記憶保存することに
より、不揮発性メモリの記憶容量を少なくし、原因究明
を容易に行なえるようにしたものである。
【００１８】本発明の請求項３に記載された発明は、請
求項１又は２に記載した光データ伝送装置の通信ログ記
録手段が、投受光器を通して、外部からの通信ログの問
い合わせを受信し、それに応答して不揮発性メモリに記
録された通信ログを出力する光通信手段を備えているこ
とを特徴とする。
求項１又は２に記載した光データ伝送装置の通信ログ記
録手段が、投受光器を通して、外部からの通信ログの問
い合わせを受信し、それに応答して不揮発性メモリに記
録された通信ログを出力する光通信手段を備えているこ
とを特徴とする。
【００１９】これは、携帯型の光送受信器等を用いて、
通信ログを読出すことにより、無人搬送車の停止してい
る現場で、即時にインターロックの原因を究明できるよ
うにするものである。
通信ログを読出すことにより、無人搬送車の停止してい
る現場で、即時にインターロックの原因を究明できるよ
うにするものである。
【００２０】
【実施形態】本発明を半導体デバイスの製造ラインに適
用した場合の実施態様について説明する。図１におい
て、１１は、本発明の通信ログ記録機能を備えた光デー
タ伝送装置を示すもので、投受光部１２、制御部１３、
不揮発性メモリ１４、入出力インターフェース１５を備
えている。
用した場合の実施態様について説明する。図１におい
て、１１は、本発明の通信ログ記録機能を備えた光デー
タ伝送装置を示すもので、投受光部１２、制御部１３、
不揮発性メモリ１４、入出力インターフェース１５を備
えている。
【００２１】投受光部１２は、ＬＥＤ等の発光素子１２
ａと、フォトダイオード等の受光素子１２ｂと、送受信
回路１２ｃから構成される。送受信回路１２ｃは、送信
データを所定の搬送波で変調した変調信号で、発光素子
１２ａを発光させると共に、受光素子１２ｂの受光出力
を増幅した後に検波・復調して受信データを取り出すも
のである。
ａと、フォトダイオード等の受光素子１２ｂと、送受信
回路１２ｃから構成される。送受信回路１２ｃは、送信
データを所定の搬送波で変調した変調信号で、発光素子
１２ａを発光させると共に、受光素子１２ｂの受光出力
を増幅した後に検波・復調して受信データを取り出すも
のである。
【００２２】制御部１３はＣＰＵ等によって構成され、
送受信の制御を行うと共に、通信ログの記録を行う通信
ログ記録手段を持つ。不揮発性メモリ１４は、例えば移
載物であるキャリアの受け渡し時に、送受信される一連
の通信ログを記憶できる記憶容量を持つＥＥＰＲＯＭが
使用され、通信ログを記録保持する。
送受信の制御を行うと共に、通信ログの記録を行う通信
ログ記録手段を持つ。不揮発性メモリ１４は、例えば移
載物であるキャリアの受け渡し時に、送受信される一連
の通信ログを記憶できる記憶容量を持つＥＥＰＲＯＭが
使用され、通信ログを記録保持する。
【００２３】１５は入出力インターフェースで、接続線
１６により、データ伝送を指令するホストコンピュータ
との接続を行う。
１６により、データ伝送を指令するホストコンピュータ
との接続を行う。
【００２４】上記光データ伝送装置１１は、図２に示す
ように、無人搬送車１及び半導体製造装置２に取付けら
れ、ホストコンピュータ１７，１７と接続される。ホス
トコンピュータ１７，１７は、製造ライン全体を制御す
るコントロールシステムから指令を受けて、キャリアの
受け渡し制御や走行制御を行なうもので、光データ伝送
装置１１によって、キャリアの受け渡し先と双方向のデ
ータ伝送を行う。
ように、無人搬送車１及び半導体製造装置２に取付けら
れ、ホストコンピュータ１７，１７と接続される。ホス
トコンピュータ１７，１７は、製造ライン全体を制御す
るコントロールシステムから指令を受けて、キャリアの
受け渡し制御や走行制御を行なうもので、光データ伝送
装置１１によって、キャリアの受け渡し先と双方向のデ
ータ伝送を行う。
【００２５】図２において、１８は光送受信器で、光デ
ータ伝送装置１１から通信ログを読出すために使用され
る。これは、例えば、その投受光部を光データ伝送装置
１１の投受光部に向けた状態で、通信ログ読出しスイッ
チを押す事により、通信ログの内容を、ディスプレイに
表示させることができるものである。
ータ伝送装置１１から通信ログを読出すために使用され
る。これは、例えば、その投受光部を光データ伝送装置
１１の投受光部に向けた状態で、通信ログ読出しスイッ
チを押す事により、通信ログの内容を、ディスプレイに
表示させることができるものである。
【００２６】本発明の特徴とする制御部１３に備えられ
た通信ログ記録手段の記録する通信ログは、無人搬送車
１と半導体製造装置２の間のキャリアの受け渡し過程を
表わす入出力信号とその時間経過を記録したもので、無
人搬送車１から半導体製造装置２にキャリア４を積み降
ろす場合は、例えば図３に示すようにタイミングチャー
トで表される。
た通信ログ記録手段の記録する通信ログは、無人搬送車
１と半導体製造装置２の間のキャリアの受け渡し過程を
表わす入出力信号とその時間経過を記録したもので、無
人搬送車１から半導体製造装置２にキャリア４を積み降
ろす場合は、例えば図３に示すようにタイミングチャー
トで表される。
【００２７】図３において、上段のＬ＿ＲＥＱとＲＥＡ
ＤＹは、半導体製造装置２の内部状態を表わす入出力信
号であり、無人搬送車１に向けて送信される。下段のＣ
Ｓ＿０，ＣＳ＿１，ＶＡＬＩＤ，ＴＲ＿ＲＥＱ，ＢＵＳ
Ｙ，ＣＯＭＰＴは、無人搬送車１の内部状態を表わす入
出力信号であり、半導体製造装置２に向けて送信され
る。各信号は１ビットデータであるので、これを８ビッ
トの１伝送フレームの各ビットに割り当てて送信を行
う。なお、この１伝送フレームは、光データ伝送装置１
１の内部ではパラレル処理されるが、光通信時にはシリ
アル伝送されるものである。
ＤＹは、半導体製造装置２の内部状態を表わす入出力信
号であり、無人搬送車１に向けて送信される。下段のＣ
Ｓ＿０，ＣＳ＿１，ＶＡＬＩＤ，ＴＲ＿ＲＥＱ，ＢＵＳ
Ｙ，ＣＯＭＰＴは、無人搬送車１の内部状態を表わす入
出力信号であり、半導体製造装置２に向けて送信され
る。各信号は１ビットデータであるので、これを８ビッ
トの１伝送フレームの各ビットに割り当てて送信を行
う。なお、この１伝送フレームは、光データ伝送装置１
１の内部ではパラレル処理されるが、光通信時にはシリ
アル伝送されるものである。
【００２８】この入出力信号は、無人搬送車１と半導体
製造装置２が相手側の状態を知るために、キャリアの受
け渡し期間中に相互に継続して伝送される。無人搬送車
１と半導体製造装置２は、送信先の入出力信号の変化
と、自車又は自装置の作業の進行状況に対応させて、自
車又は自装置の入出力信号を変化させ、キャリアの受け
渡し過程を進行させる。
製造装置２が相手側の状態を知るために、キャリアの受
け渡し期間中に相互に継続して伝送される。無人搬送車
１と半導体製造装置２は、送信先の入出力信号の変化
と、自車又は自装置の作業の進行状況に対応させて、自
車又は自装置の入出力信号を変化させ、キャリアの受け
渡し過程を進行させる。
【００２９】図３を詳細に説明すると次のようになる。
無人搬送車１が半導体製造装置２に対向する位置に到着
すると、まず、積み降ろしを行う移載ポートの指定信号
（ＣＳ＿０）を立ち上げ、さらにポート使用信号（ＶＡ
ＬＩＤ）を立ち上げて、半導体製造装置２に知らせる。
これを受けた半導体製造装置２は、受入れ要求信号（Ｌ
＿ＲＥＱ）を送信すると共に、キャリア４を受け取るた
め、図示しない受入口のシャッタを開ける等の準備を開
始する。
無人搬送車１が半導体製造装置２に対向する位置に到着
すると、まず、積み降ろしを行う移載ポートの指定信号
（ＣＳ＿０）を立ち上げ、さらにポート使用信号（ＶＡ
ＬＩＤ）を立ち上げて、半導体製造装置２に知らせる。
これを受けた半導体製造装置２は、受入れ要求信号（Ｌ
＿ＲＥＱ）を送信すると共に、キャリア４を受け取るた
め、図示しない受入口のシャッタを開ける等の準備を開
始する。
【００３０】無人搬送車１は、上記受入れ要求信号（Ｌ
＿ＲＥＱ）を受信すると、移載要求信号（ＴＲ＿ＲＥ
Ｑ）を立ち上げて、半導体製造装置２に送信する。
＿ＲＥＱ）を受信すると、移載要求信号（ＴＲ＿ＲＥ
Ｑ）を立ち上げて、半導体製造装置２に送信する。
【００３１】半導体製造装置２は移載要求信号（ＴＲ＿
ＲＥＱ）を受信した後に、キャリア４の受入れ準備が完
了していると、受入れ許容信号（ＲＥＡＤＹ）を立ち上
げ、無人搬送車１に送信する。これを受けた無人搬送車
１は、作業中信号（ＢＵＳＹ）を立ち上げて移載作業を
開始する。半導体装置２は、移載されたキャリア４を検
出すると、受入れ要求信号（Ｌ＿ＲＥＱ）を立ち下げ
て、無人搬送車１に知らせる。無人搬送車１がキャリア
４の移載を終了すると、移載要求信号（ＴＲ＿ＲＥＱ）
と作業中信号（ＢＵＳＹ）を立ち下げ、完了信号（ＣＯ
ＭＰＴ）を立ち上げる。
ＲＥＱ）を受信した後に、キャリア４の受入れ準備が完
了していると、受入れ許容信号（ＲＥＡＤＹ）を立ち上
げ、無人搬送車１に送信する。これを受けた無人搬送車
１は、作業中信号（ＢＵＳＹ）を立ち上げて移載作業を
開始する。半導体装置２は、移載されたキャリア４を検
出すると、受入れ要求信号（Ｌ＿ＲＥＱ）を立ち下げ
て、無人搬送車１に知らせる。無人搬送車１がキャリア
４の移載を終了すると、移載要求信号（ＴＲ＿ＲＥＱ）
と作業中信号（ＢＵＳＹ）を立ち下げ、完了信号（ＣＯ
ＭＰＴ）を立ち上げる。
【００３２】完了信号（ＣＯＭＰＴ）を受け取った半導
体製造装置２は、自装置において、キャリア４を受入れ
ポートから内部に収納し終わると、受入れ許容信号（Ｒ
ＥＡＤＹ）を立ち下げる。これを受けた無人搬送車１
は、ポートの指定信号（ＣＳ＿０），ポート使用信号
（ＶＡＬＩＤ），及び完了信号（ＣＯＭＰＴ）を立ち下
げて、キャリアの受け渡しが完了する。
体製造装置２は、自装置において、キャリア４を受入れ
ポートから内部に収納し終わると、受入れ許容信号（Ｒ
ＥＡＤＹ）を立ち下げる。これを受けた無人搬送車１
は、ポートの指定信号（ＣＳ＿０），ポート使用信号
（ＶＡＬＩＤ），及び完了信号（ＣＯＭＰＴ）を立ち下
げて、キャリアの受け渡しが完了する。
【００３３】次に、本発明の特徴である制御部１３に備
えられた通信ログ記録手段による記録手順と、通信ログ
の問い合わせに対する通信ログ出力手段の出力手順を図
４について説明する。
えられた通信ログ記録手段による記録手順と、通信ログ
の問い合わせに対する通信ログ出力手段の出力手順を図
４について説明する。
【００３４】図１に示す制御部１３は、前述したように
投受光器１２を通して、相手先と入出力信号の送受信を
行なうと共に、図２に示す送受信器１８からの通信ログ
の問い合わせがあるか否かを監視している。
投受光器１２を通して、相手先と入出力信号の送受信を
行なうと共に、図２に示す送受信器１８からの通信ログ
の問い合わせがあるか否かを監視している。
【００３５】受信データを受信したときは、それが光送
受信器１８からの通信ログの問い合わせか否かを判断す
る。
受信器１８からの通信ログの問い合わせか否かを判断す
る。
【００３６】問い合わせでないときは、これをホストコ
ンピュータ１７に出力し、自車又は自装置の入出力信号
を送信する。１回の送受信が終了すると、前回の送受信
データ（８ビット＋８ビット）から変化しているか判断
し、１ビットでも変化しているときは、これが図３に示
したタイミングチャートの変化時点となるので、通信ロ
グ記録手段による記録を行う。
ンピュータ１７に出力し、自車又は自装置の入出力信号
を送信する。１回の送受信が終了すると、前回の送受信
データ（８ビット＋８ビット）から変化しているか判断
し、１ビットでも変化しているときは、これが図３に示
したタイミングチャートの変化時点となるので、通信ロ
グ記録手段による記録を行う。
【００３７】この記録は、１回の半導体受け渡しのため
の送受信の最初のステップと判定した時から開始され
る。最初のステップであるか否かの判定は、例えば、移
載ポートの指定信号（ＣＳ＿０，ＣＳ＿１）の立ち上が
りであるか否かによって行う。最初のステップと判定し
たときは、通信ログ記録手段の持つタイマーをスタート
させると同時に、不揮発性メモリの内容を、通信ログの
書込みアドレスを示すポインタを初期化する等によって
クリアする。
の送受信の最初のステップと判定した時から開始され
る。最初のステップであるか否かの判定は、例えば、移
載ポートの指定信号（ＣＳ＿０，ＣＳ＿１）の立ち上が
りであるか否かによって行う。最初のステップと判定し
たときは、通信ログ記録手段の持つタイマーをスタート
させると同時に、不揮発性メモリの内容を、通信ログの
書込みアドレスを示すポインタを初期化する等によって
クリアする。
【００３８】送受信データの変化時点の記録は、その時
点の送受信データ（８ビット＋８ビット）と共に、タイ
マーの計測時間（最初のステップであるときは、カウン
ト０のスタート直後の計測時間）を、不揮発性メモリ１
４に、追加して書き込むことによって行う。この記憶方
式によって、図３に示したタイミングチャートを後から
完全に再現することができる。
点の送受信データ（８ビット＋８ビット）と共に、タイ
マーの計測時間（最初のステップであるときは、カウン
ト０のスタート直後の計測時間）を、不揮発性メモリ１
４に、追加して書き込むことによって行う。この記憶方
式によって、図３に示したタイミングチャートを後から
完全に再現することができる。
【００３９】上記フローチャートの条件分岐において、
通信ログの問い合わせと判断された場合は、通信ログ出
力手段による出力を行う。これは不揮発性メモリ１４に
記録保持された上記通信ログの内容を、送受信器１２に
よって、図２に示す光送受信器１８に出力するもので、
これを受信した光送受信器１８は、図３に示す入出力信
号のタイミングチャートを再現してディスプレイ表示す
る。これによって、トラブルの原因を迅速に解明するこ
とができる。
通信ログの問い合わせと判断された場合は、通信ログ出
力手段による出力を行う。これは不揮発性メモリ１４に
記録保持された上記通信ログの内容を、送受信器１２に
よって、図２に示す光送受信器１８に出力するもので、
これを受信した光送受信器１８は、図３に示す入出力信
号のタイミングチャートを再現してディスプレイ表示す
る。これによって、トラブルの原因を迅速に解明するこ
とができる。
【００４０】以上の説明は、本発明を半導体デバイスの
製造ラインに適用した場合のものであるが、本発明は液
晶表示器の製造ラインのように、インターロック機構を
備えた無人搬送車を用いた搬送システムに適用できるも
のである。
製造ラインに適用した場合のものであるが、本発明は液
晶表示器の製造ラインのように、インターロック機構を
備えた無人搬送車を用いた搬送システムに適用できるも
のである。
【００４１】例えば、液晶表示器の製造ラインの場合
は、上記半導体デバイスの製造ラインと同様の処理工程
を持つので、無人搬送車と製造装置の間で行われる移送
物の受け渡しの手順及び通信の内容は略同様である。
は、上記半導体デバイスの製造ラインと同様の処理工程
を持つので、無人搬送車と製造装置の間で行われる移送
物の受け渡しの手順及び通信の内容は略同様である。
【００４２】図５に液晶表示器の製造ラインにおいて通
信ログとして記録された入出力信号のタイミングチャー
トを示す。液晶表示器は基板サイズが大きいので、搬送
物の受け渡しポートが１つの製造装置を用いる。したが
って、図３との比較から分かるように移載ポートの指定
信号（ＣＳ＿０，ＣＳ＿１）が使用されない。このた
め、最初のステップであるか否かの判定は、ポート使用
信号（ＶＡＬＩＤ）の立ち上がりの検出によって行う。
信ログとして記録された入出力信号のタイミングチャー
トを示す。液晶表示器は基板サイズが大きいので、搬送
物の受け渡しポートが１つの製造装置を用いる。したが
って、図３との比較から分かるように移載ポートの指定
信号（ＣＳ＿０，ＣＳ＿１）が使用されない。このた
め、最初のステップであるか否かの判定は、ポート使用
信号（ＶＡＬＩＤ）の立ち上がりの検出によって行う。
【００４３】なお、本発明の通信ログ記録機能は、光通
信を行う無人搬送車１と製造装置の一方にあれば、その
目的を達成できるので、本発明の機能を備えた光データ
伝送装置をその一方のみに設け、他方には通信ログの記
録機能を持たない光データ伝送装置を用いてもよい。
信を行う無人搬送車１と製造装置の一方にあれば、その
目的を達成できるので、本発明の機能を備えた光データ
伝送装置をその一方のみに設け、他方には通信ログの記
録機能を持たない光データ伝送装置を用いてもよい。
【００４４】
【発明の効果】本発明は、無人搬送車と製造設備の間で
移載物の受け渡し時に行う光データ伝送の通信ログを、
不揮発性メモリに記録し、必要に応じて、その記憶内容
を読出せるようにしたから、トラブル発生時の原因究明
を迅速に行なえ、インターロック機構を備えた搬送ライ
ンの復旧を速やかに行って、製造効率を向上することが
できる。
移載物の受け渡し時に行う光データ伝送の通信ログを、
不揮発性メモリに記録し、必要に応じて、その記憶内容
を読出せるようにしたから、トラブル発生時の原因究明
を迅速に行なえ、インターロック機構を備えた搬送ライ
ンの復旧を速やかに行って、製造効率を向上することが
できる。
【図１】 本発明の光データ伝送装置の構成例を示す図
【図２】 本発明の光データ伝送装置を無人搬送車と半
導体製造装置に取り付けた取付例を示す図
導体製造装置に取り付けた取付例を示す図
【図３】 移載物受け渡し時における無人搬送車と半導
体製造装置の入出力信号のタイミングチャート
体製造装置の入出力信号のタイミングチャート
【図４】 本発明において、制御部の持つ通信ログ記録
手段が行う通信ログの記録と問い合わせに対する外部出
力の手順を示すフローチャート
手段が行う通信ログの記録と問い合わせに対する外部出
力の手順を示すフローチャート
【図５】 移載物受け渡し時における無人搬送車と液晶
製造装置の入出力信号のタイミングチャート
製造装置の入出力信号のタイミングチャート
【図６】 無人搬送車と半導体製造装置間で行われる移
載物の受け渡し動作を無人搬送車の種類毎に示した図 １ 無人搬送車 ２ 製造装置（半導体製造装置） ３ 半導体ウエ−ハ ４ 移載物（キャリア） １１ 光データ伝送装置 １２ 投受光部 １２ａ 発光素子 １２ｂ 受光素子 １２ｃ 送受信回路 １３ 制御部（通信ログ記録手段）
載物の受け渡し動作を無人搬送車の種類毎に示した図 １ 無人搬送車 ２ 製造装置（半導体製造装置） ３ 半導体ウエ−ハ ４ 移載物（キャリア） １１ 光データ伝送装置 １２ 投受光部 １２ａ 発光素子 １２ｂ 受光素子 １２ｃ 送受信回路 １３ 制御部（通信ログ記録手段）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｂ 10/105 Ｈ０４Ｂ 9/00 Ｒ 10/10 10/22 (72)発明者 前嶋 洋治 大阪府大阪市北区曽根崎２丁目１番12号 北陽電機株式会社内 (72)発明者 嶋地 直広 大阪府大阪市北区曽根崎２丁目１番12号 北陽電機株式会社内 Ｆターム(参考） 3C042 RH01 RH05 RK04 3F022 AA08 CC02 EE05 LL07 MM08 MM11 MM42 QQ11 5F031 CA04 DA01 FA03 GA45 GA59 5K002 AA05 BA14 DA04 DA05 FA03 GA04 9A001 BB03 BB04 BB05 CC05 JJ12 JJ49 KK16 KK29 KK31 KK54 LL05
Claims (3)
- 【請求項１】 トラブル発生時に動作を停止するインタ
ーロック機構を有し、無人搬送車によって、製造ライン
に配置された複数の製造装置に移載物を搬送する搬送シ
ステムに備えられ、移載物の受け渡しに必要なデータを
双方向通信により伝送するために、無人搬送車と製造装
置の双方に取付けられる光データ伝送装置において、 通信ログを記録保持する不揮発性メモリと、通信ログを
不揮発性メモリに書込み、外部から問い合わせがあった
とき、その記録内容を外部に出力する通信ログ記録手段
を備えたことを特徴とする光データ伝送装置。 - 【請求項２】 不揮発性メモリの記憶容量を、一回の移
載物の受け渡しのための一連の通信ログを記録できる大
きさにすると共に、通信ログ記録手段を、移載物の受け
渡しのための通信の開始時に、不揮発性メモリの記録内
容をクリアし、その後に、一連の通信ログの記録を開始
するものとしたことを特徴とする請求項１に記載した光
データ伝送装置。 - 【請求項３】 通信ログ記録手段が、投受光器を通し
て、外部からの通信ログの問い合わせを受信し、それに
応答して不揮発性メモリに記録された通信ログを出力す
る光通信手段を備えていることを特徴とする請求項１又
は２に記載した光データ伝送装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10447799A JP3917777B2 (ja) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | 光データ伝送装置 |
| CNB001202758A CN1164048C (zh) | 1999-04-12 | 2000-07-19 | 光数据传送装置 |
| US09/630,873 US6665595B1 (en) | 1999-04-12 | 2000-08-02 | Device for transmitting optical data |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10447799A JP3917777B2 (ja) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | 光データ伝送装置 |
| CNB001202758A CN1164048C (zh) | 1999-04-12 | 2000-07-19 | 光数据传送装置 |
| US09/630,873 US6665595B1 (en) | 1999-04-12 | 2000-08-02 | Device for transmitting optical data |
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|---|---|---|---|
| JP2005157251A Division JP2005294863A (ja) | 2005-05-30 | 2005-05-30 | 光データ伝送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000299365A true JP2000299365A (ja) | 2000-10-24 |
| JP3917777B2 JP3917777B2 (ja) | 2007-05-23 |
Family
ID=32180083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10447799A Expired - Fee Related JP3917777B2 (ja) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | 光データ伝送装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP3917777B2 (ja) |
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| JP2012112682A (ja) * | 2010-11-19 | 2012-06-14 | Sysmex Corp | 検体搬送システム、検体処理システムおよび制御装置 |
| JP2023059083A (ja) * | 2021-10-14 | 2023-04-26 | 北陽電機株式会社 | 通信システム、光伝送装置および通信方法 |
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| JP5024422B2 (ja) | 2010-05-06 | 2012-09-12 | 株式会社デンソー | 搬送システム |
| KR101527686B1 (ko) * | 2014-05-02 | 2015-06-10 | 오학서 | 자동 반송 시스템용 데이터 전송 시스템 |
| CN110471403B (zh) | 2018-05-09 | 2023-11-03 | 北京外号信息技术有限公司 | 通过光通信装置对能够自主移动的机器进行导引的方法 |
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1999
- 1999-04-12 JP JP10447799A patent/JP3917777B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-07-19 CN CNB001202758A patent/CN1164048C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-02 US US09/630,873 patent/US6665595B1/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
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