JP2000285518A - Optical recording medium and manufacturing method thereof - Google Patents
Optical recording medium and manufacturing method thereofInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 金属反射層にAg若しくはAg含有金属を使
用した場合に、反射層に生じる欠陥の発生を防止若しく
は低減でき、記録情報の破壊、劣化を防止若しくは低減
し、耐光性が良好で信頼性の向上した光記録媒体及びそ
の製造方法を提供すること。
【解決手段】 スパッタによって成膜されるAgを含む
金属反射層の膜厚を、記録・再生可能な領域で100n
m以上としてなる光記録媒体、並びに金属反射層形成時
のスパッタガスとしてArを主成分とするガスを使用
し、しかもそのガス流量を30sccm以上とする光記
録媒体の製造方法。(57) Abstract: When Ag or a metal containing Ag is used for a metal reflection layer, it is possible to prevent or reduce the occurrence of defects occurring in the reflection layer, prevent or reduce the destruction and deterioration of recorded information, and improve light resistance. Provided is an optical recording medium having good reliability and improved reliability, and a method for manufacturing the same. SOLUTION: The thickness of a metal reflective layer containing Ag formed by sputtering is set to 100 n in a recordable / reproducible region.
m, and a method for producing an optical recording medium in which a gas containing Ar as a main component is used as a sputtering gas when forming a metal reflective layer, and the flow rate of the gas is 30 sccm or more.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光記録媒体及びそ
の製造方法に関し、詳しくはAgを含んだ金属反射膜を
用い、しかも耐光性、信頼性に優れた光記録媒体(例え
ばCD−R、DVD−R)及びその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording medium and a method for manufacturing the same, and more particularly, to an optical recording medium (for example, CD-R, DVD-R) and a method of manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】CD−R、DVD−R等の有機色素を記
録層として用いた光記録媒体において、これまでは記録
層の上に設ける反射層は反射率及び化学的安定性という
点から主にAuが使用されていたが、近年、より特性を
よくするためと、材料コストを安くするという目的で、
Auよりも反射率が高く、より安価であるAg若しくは
Agを含む金属が用いられてきている。しかし、Agは
Auに比べて化学的安定性が低いため、長時間の光照射
と下層の色素材料との組み合わせによって、金属反射膜
中に微小な欠陥が発生し、記録された情報を破壊するこ
とにより、記録媒体としての信頼性が著しく低下する。
また、上記欠陥の発生により、当然耐光性が悪くなる。2. Description of the Related Art In an optical recording medium using an organic dye as a recording layer, such as a CD-R or a DVD-R, a reflection layer provided on the recording layer has hitherto been mainly used in view of reflectance and chemical stability. In recent years, Au has been used, but in recent years, for the purpose of further improving the characteristics and reducing the material cost,
Ag or a metal containing Ag, which has a higher reflectivity and is less expensive than Au, has been used. However, Ag has a lower chemical stability than Au, so that a combination of long-time light irradiation and a dye material in the lower layer causes a minute defect in the metal reflective film to destroy recorded information. As a result, the reliability as a recording medium is significantly reduced.
In addition, the occurrence of the above-mentioned defects naturally deteriorates the light resistance.
【0003】なお、Ag若しくはAgを含む金属からな
る金属反射層を用いた光記録媒体においては、例えば特
開平6−325408号公報、特開平7−14221号
公報、特開平7−105572号公報などに記載されて
いるが、それらには、耐光性を確保するための要件につ
いて述べたものは見当らない。というのは、光記録媒体
の耐光性の向上は、記録層そのものの耐光性を向上させ
ることで実施されてきたためと考えられる。Incidentally, in an optical recording medium using a metal reflective layer made of Ag or a metal containing Ag, for example, JP-A-6-325408, JP-A-7-14221, JP-A-7-105572, etc. However, none of them mention requirements for ensuring light fastness. This is probably because the light resistance of the optical recording medium has been improved by improving the light resistance of the recording layer itself.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の課題
は、金属反射層にAg若しくはAg含有金属を使用した
場合に、反射層に生じる欠陥の発生を防止若しくは低減
でき、記録情報の破壊、劣化を防止若しくは低減し、耐
光性が良好で信頼性の向上した光記録媒体及びその製造
方法を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to prevent or reduce the occurrence of defects in a reflective layer when Ag or an Ag-containing metal is used for the metal reflective layer. It is an object of the present invention to provide an optical recording medium having good light resistance and improved reliability by preventing or reducing deterioration, and a method for manufacturing the same.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記のよ
うなAgを含む金属反射層の微少欠陥の発生を防止、又
は低減するためには、各種の材料変更、層構成の変更な
どを行うことが必要であり、また上記欠陥がAgからな
る金属反射層中に発生することから、耐光性向上のため
には、金属反射層の構成パラメータを規定することが必
要となると考え、鋭意研究を重ねた結果、スパッタによ
って成膜されるAgを含む金属反射層の膜厚を、記録・
再生可能な領域で規定することにより、耐光性と信頼性
の良好な光記録媒体の得られることを見出し、またAg
を含む金属反射層の作成時のスパッタガス及びその流量
を規定することにより、耐光性と信頼性の良好な光記録
媒体を製造することができることを見出し、本発明を完
成するに至った。In order to prevent or reduce the generation of minute defects in the metal reflecting layer containing Ag as described above, the present inventors have made various material changes and layer structure changes. Since the above defects occur in the metal reflective layer made of Ag, it is necessary to define the structural parameters of the metal reflective layer in order to improve the light resistance. As a result of repeated studies, the thickness of the metal reflective layer containing Ag formed by sputtering was recorded and recorded.
It was found that an optical recording medium having good light resistance and reliability can be obtained by defining the area in a reproducible area.
It has been found that an optical recording medium with good light resistance and reliability can be manufactured by defining the sputter gas and the flow rate thereof at the time of forming the metal reflection layer containing, and the present invention has been completed.
【0006】即ち、本発明によれば、第一に、少なくと
も透明基板上に、シアニン系、フタロシアニン系及びア
ゾ系のいずれかの有機色素を含む記録層を介して、Ag
若しくはAgを含む金属の反射層を有し、更に該反射層
上に紫外線硬化樹脂からなる厚さ2μm以上の下部保護
層及びその上の紫外線硬化樹脂を含む上部保護層を有す
る構造の光学的に情報の記録・再生又は消去を行う光記
録媒体において、金属反射層がスパッタ成膜により作ら
れ、且つ記録・再生可能な領域の最小膜厚が100nm
以上であることを特徴とする光記録媒体が提供される。
第二に、上記第一に記載した光記録媒体において、記録
媒体の記録・再生可能な領域の金属反射層の最小膜厚が
200nm以下であることを特徴とする光記録媒体が提
供される。第三に、上記第一又は第二に記載した光記録
媒体において、金属反射層の膜厚の記録・再生可能な領
域の面内変動が50%以下であることを特徴とする光記
録媒体が提供される。第四に、上記第一、第二又は第三
に記載した光記録媒体において、金属反射層製膜時のス
パッタ出力が4kW以下で作られたものであることを特
徴とする光記録媒体が提供される。That is, according to the present invention, first, Ag is formed on at least a transparent substrate via a recording layer containing any of a cyanine-based, phthalocyanine-based, and azo-based organic dye.
Alternatively, an optically structured structure having a metal reflective layer containing Ag, and further having a lower protective layer of at least 2 μm in thickness made of an ultraviolet curable resin on the reflective layer and an upper protective layer containing an ultraviolet curable resin thereon. In an optical recording medium for recording / reproducing or erasing information, a metal reflective layer is formed by sputtering, and the minimum thickness of a recordable / reproducible region is 100 nm.
An optical recording medium characterized by the above is provided.
Secondly, there is provided the optical recording medium according to the first aspect, wherein the minimum thickness of the metal reflective layer in the recordable / reproducible region of the recording medium is 200 nm or less. Third, the optical recording medium according to the first or second aspect, wherein the in-plane variation of the recordable / reproducible region of the film thickness of the metal reflective layer is 50% or less. Provided. Fourthly, there is provided an optical recording medium according to the first, second or third aspect, wherein a sputter output at the time of forming a metal reflective layer is 4 kW or less. Is done.
【0007】また、本発明によれば、第五に、少なくと
も透明基板上に、有機色素を含む記録層を有し、該記録
層の上に銀を80〜100原子%含む金属反射層を有
し、更に該反射層の上に紫外線硬化樹脂からなる保護層
を有する構造の光学的に情報の記録・再生又は消去を行
なう光記録媒体の製造方法において、金属反射層をスパ
ッタリングにより形成し、且つスパッタガスとしてAr
を主成分とするガスを使用し、しかもスパッタガスのガ
ス流量を30sccm以上とすることを特徴とする光記
録媒体の製造方法が提供される。第六に、前記スパッタ
ガスのガス流量が100sccm以下であることを特徴
とする上記第五に記載した光記録媒体の製造方法が提供
される。第七に、前記金属反射層が銀を99〜100原
子%含むものであることを特徴とする上記第五又は第六
に記載した光記録媒体の製造方法が提供される。第八
に、前記保護層側を他の基板と接着させる工程を含むこ
とを特徴とする上記第五、第六又は第七に記載した光記
録媒体の製造方法が提供される。According to the present invention, fifthly, a recording layer containing an organic dye is provided on at least the transparent substrate, and a metal reflection layer containing 80 to 100 atomic% of silver is provided on the recording layer. Further, in a method for manufacturing an optical recording medium for optically recording / reproducing or erasing information having a structure having a protective layer made of an ultraviolet curable resin on the reflective layer, a metal reflective layer is formed by sputtering, and Ar as sputtering gas
The method for producing an optical recording medium is characterized in that a gas containing as a main component is used and the gas flow rate of the sputtering gas is 30 sccm or more. Sixthly, there is provided the method for manufacturing an optical recording medium according to the fifth aspect, wherein the gas flow rate of the sputtering gas is 100 sccm or less. Seventhly, there is provided the method for manufacturing an optical recording medium according to the fifth or sixth aspect, wherein the metal reflective layer contains 99 to 100 atomic% of silver. Eighthly, there is provided the method for manufacturing an optical recording medium according to the fifth, sixth or seventh aspect, further comprising a step of bonding the protective layer side to another substrate.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】以下、本発明についてより具体的
に説明する。本発明で対象とする光記録媒体は、CD−
R、DVD−R等の、記録層に有機色素を含む材料を用
いた追記型の光記録媒体である。その層構成は、例えば
図1に示されるように、樹脂又はガラスからなる透明基
板1上に有機色素からなる記録層2を有し、その上に金
属反射層3を有し、更にその上に樹脂からなる又は樹脂
を主成分とする保護層4(場合により更に5)を1層以
上有するものである。本発明の光記録媒体は記録層・反
射層・保護層の構成を規定するものであり、透明基板等
の他の層構成に関しては制限を受けるものではない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described more specifically. The optical recording medium of the present invention is a CD-ROM.
This is a write-once optical recording medium using a material containing an organic dye for a recording layer, such as R and DVD-R. As shown in FIG. 1, for example, the layer structure has a recording layer 2 made of an organic dye on a transparent substrate 1 made of a resin or glass, a metal reflective layer 3 thereon, and It has one or more protective layers 4 (and optionally 5) made of resin or containing resin as a main component. The optical recording medium of the present invention defines the structure of the recording layer, the reflective layer, and the protective layer, and there is no limitation on other layer structures such as a transparent substrate.
【0009】透明基板は記録光及び再生光に対し、好ま
しくは85%以上の透過率を有し、実質的に透明な樹脂
やガラス等から形成される。記録光や再生光は透明基板
の下側から照射される。The transparent substrate preferably has a transmittance of 85% or more with respect to recording light and reproduction light, and is formed of a substantially transparent resin or glass. The recording light and the reproduction light are emitted from below the transparent substrate.
【0010】記録層には、例えばフタロシアニン系色
素、シアニン系色素、アゾ系色素等の有機色素を材料と
して含む。記録層には、必要に応じてクエンチャーや他
の添加物を含有していてもよい。記録層の形成は、例え
ば、溶剤に色素を溶解してスピンコート法等により塗布
し、乾燥して行なう等の方法がある。膜厚としては、5
0〜300nmであることが好ましい。The recording layer contains an organic dye such as a phthalocyanine dye, a cyanine dye or an azo dye as a material. The recording layer may contain a quencher or other additives as necessary. The recording layer may be formed by, for example, dissolving a dye in a solvent, applying the solution by spin coating, or the like, and then drying. The film thickness is 5
It is preferably from 0 to 300 nm.
【0011】金属反射層は、Ag又はAgを含む金属か
ら構成される。即ち、Ag又はAgを含む金属をスパッ
タ成膜したものであり、Agを80〜100原子%含む
層であることが好ましい。スパッタガスとしては、Ar
を主成分とするガスを使用し、DCマグネトロンスパッ
タにより形成される。Arガスが主成分、例えば90%
以上であれば、他のガスが混入していても良い。Ag以
外の金属を含む金属反射層を形成する場合には、合金の
ターゲットを使用しても良いし、また、AgとAg以外
の金属をそれぞれ別のターゲットとして使用しても良
い。The metal reflecting layer is made of Ag or a metal containing Ag. That is, it is formed by sputtering Ag or a metal containing Ag, and is preferably a layer containing 80 to 100 atomic% of Ag. Ar gas is used as a sputtering gas.
Is formed by DC magnetron sputtering using a gas mainly composed of Ar gas is a main component, for example, 90%
If it is above, other gas may be mixed. When a metal reflective layer containing a metal other than Ag is formed, an alloy target may be used, or Ag and a metal other than Ag may be used as separate targets.
【0012】金属反射層の膜厚は、高耐光性の維持と高
変調度の特性を得るために、光記録媒体上の記録可能な
領域内での最小値が100nm以上であることが必要で
あり、200nm以下であることが好ましい。また、面
内での特性の均一性を維持するために、記録・再生可能
領域の反射層膜厚の変動が平均値の50%以内であるこ
とが好ましい。また、スパッタ出力は高い記録特性の維
持のため、4kW以下にすることが好ましい。The thickness of the metal reflection layer must have a minimum value within a recordable area on an optical recording medium of 100 nm or more in order to maintain high light resistance and obtain high modulation characteristics. And it is preferably 200 nm or less. Further, in order to maintain the uniformity of the characteristics in the plane, it is preferable that the fluctuation of the thickness of the reflective layer in the recordable / reproducible region is within 50% of the average value. Further, the sputter output is preferably set to 4 kW or less in order to maintain high recording characteristics.
【0013】保護層は、金属反射層上に1層以上構成さ
れる。下部保護層は紫外線硬化樹脂をスピンコートし、
その後紫外線を照射して硬化することによって作成され
る。下部保護層の厚さは記録可能領域での最小値が2μ
m以上とする。下部保護層材料としては、大日本インキ
化学工業(株)製紫外線硬化樹脂SD1700、SD3
18などが例として挙げられる。[0013] One or more protective layers are formed on the metal reflective layer. The lower protective layer is spin-coated with UV curable resin,
Thereafter, it is created by irradiating ultraviolet rays and curing. The minimum thickness of the lower protective layer in the recordable area is 2μ.
m or more. As the lower protective layer material, ultraviolet curable resins SD1700 and SD3 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.
18 and the like.
【0014】また、保護層の上にスクリーン印刷等によ
り、上部保護層等が形成されていても良いし、レーベル
情報が印刷されていても良い。上部保護層は、例えば、
二酸化けい素、酸化チタン等の無機酸化物の微粒子フィ
ラーを含有していてもよい。無機酸化物の微粒子フィラ
ーを1〜30重量%含むことにより、油性ペン等での筆
記時に、良好な筆記性と、下部の反射層・記録層を保護
する硬度が得られる。上部保護層は、塗布法により形成
する。具体的には、無機酸化物の微粒子フィラー及び着
色剤を含む染料を下部保護層表面に塗布することにより
上部保護層を形成する。上部保護層の強度を高くするた
めには、塗布液にアクリル系やエポキシ系等の紫外線硬
化型樹脂を含ませ、塗布後に紫外線等により硬化するこ
とが好ましい。なお、塗布液には、必要に応じ、粘度調
整用として光反応性モノマー等を添加してもよい。塗布
法は特に限定されないが、厚み制御及び工程タクトの点
から、スクリーン印刷が望ましい。また、単板のままで
なく、DVD−Rの様に、同様の構成の媒体又はダミー
の基板を張り合わせした構成としても良い。An upper protective layer or the like may be formed on the protective layer by screen printing or the like, or label information may be printed. The upper protective layer is, for example,
A fine particle filler of an inorganic oxide such as silicon dioxide or titanium oxide may be contained. By containing 1 to 30% by weight of the inorganic oxide fine particle filler, good writability and hardness for protecting the lower reflective layer / recording layer can be obtained when writing with an oil-based pen or the like. The upper protective layer is formed by a coating method. Specifically, an upper protective layer is formed by applying a dye containing a fine particle filler of inorganic oxide and a coloring agent to the surface of the lower protective layer. In order to increase the strength of the upper protective layer, it is preferable that the coating liquid contains an ultraviolet-curable resin such as an acrylic or epoxy resin, and is cured by ultraviolet rays or the like after the application. In addition, you may add a photoreactive monomer etc. to a coating liquid as needed for viscosity adjustment. The coating method is not particularly limited, but screen printing is desirable in terms of thickness control and process tact. Further, instead of a single plate, a configuration may be adopted in which a medium or a dummy substrate having a similar configuration is bonded, such as a DVD-R.
【0015】本発明で言う耐光性とは、屋外で直射日光
が光記録媒体に基板側から記録層に照射された場合に、
記録されたデータが、どの程度の照射時間まで読み出し
が可能かということを言う。耐光性の確認方法として
は、光源にキセノンランプを使用し、フィルターにより
直射日光と近似のスペクトル分布を持たせた装置を使用
する。試験装置には、例えば、Heraeus社製のS
UNTESTや、アトラス社製のウェザオメータがあ
る。The light fastness referred to in the present invention means that when the recording layer is irradiated with direct sunlight from the substrate side to the optical recording medium outdoors.
It refers to how long irradiation time can be read from recorded data. As a method of confirming light resistance, a device using a xenon lamp as a light source and having a spectral distribution similar to that of direct sunlight by a filter is used. The test equipment includes, for example, S
There are USTEST and Atlas Weather Meter.
【0016】本発明においては、Arガスを主成分とす
るスパッタガス圧を変更することにより、スパッタされ
た金属反射膜の膜質が変わっていき、それにより耐光性
が向上すると考えられる。この耐光性の向上は、Arガ
ス圧を上げていくと耐光性が徐々に向上していくが、ガ
ス圧が30sccmを超えると、耐光性について安定し
た特性が得られる。この時の膜厚分布の不均一性は35
%である。また、ガス圧を更に上げていくと、徐々に金
属反射膜の膜厚分布が不均一になっていき、ガス圧が1
00sccmを超えると、不均一性は65%以上にな
り、変調度・反射率等の信号特性に影響が出てくる。A
gを主成分とした金属反射層において、反射率は、Ag
100%の時が一番高く、温湿度保存性いわゆる耐候性
に問題がなければ、Agの含有率をできるだけ高くする
ことが望ましい。In the present invention, by changing the pressure of the sputtering gas containing Ar gas as a main component, it is considered that the film quality of the sputtered metal reflective film changes, thereby improving the light resistance. The light resistance is gradually improved as the Ar gas pressure is increased. However, when the gas pressure exceeds 30 sccm, stable light resistance characteristics are obtained. The non-uniformity of the film thickness distribution at this time is 35.
%. Further, when the gas pressure is further increased, the film thickness distribution of the metal reflection film gradually becomes uneven, and the gas pressure becomes 1
If it exceeds 00 sccm, the non-uniformity becomes 65% or more, which affects the signal characteristics such as the modulation factor and the reflectance. A
In the metal reflection layer containing g as a main component, the reflectance is Ag
When the content is 100%, it is the highest, and if there is no problem in the temperature / humidity storage property, so-called weather resistance, it is desirable to increase the Ag content as much as possible.
【0017】なお、本発明では、保護層の下から基板ま
での構成に特に制限はなく、基板と記録層との間や、記
録層と反射層との間、反射層と保護層の間等には、中間
層が設けられていてもよい。In the present invention, there is no particular limitation on the structure from below the protective layer to the substrate, such as between the substrate and the recording layer, between the recording layer and the reflective layer, between the reflective layer and the protective layer, and the like. May be provided with an intermediate layer.
【0018】[0018]
【実施例】以下、実施例により本発明を更に具体的に説
明する。但し、本実施例により本発明の技術的範囲が何
らの制限を受けるものではない。EXAMPLES The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. However, the technical scope of the present invention is not limited by the embodiment.
【0019】実施例1 ピッチ1.6μmの連続グルーブを転写したポリカーボ
ネート製CD−R基板上に、フタロニアニン色素を塗布
後乾燥し、有機色素記録層とした。記録層の厚さは基板
の平滑領域において200nmとした。この記録層上
に、アルゴンイオンを用いたスパッタ法でAg膜を作成
し、金属反射層とした。スパッタ膜記録・再生可能領域
でのもっとも薄い個所の厚さのX線測定結果を表1に示
す。得られたサンプルに大日本インキ化学工業(株)製
紫外線硬化樹脂SD1700を塗布し、紫外光を照射し
保護層とした。更に、保護層上に十條化工(株)製イン
ク・ハードコートクリアをメッシュ印刷し、紫外光を照
射することで上部保護層とした。得られたサンプルはい
ずれも、一般的なCD−Rと同等の特性をもち、CD規
格を満足するメディアであった。Example 1 A phthalonine dye was applied onto a polycarbonate CD-R substrate on which continuous grooves having a pitch of 1.6 μm were transferred, and dried to form an organic dye recording layer. The thickness of the recording layer was 200 nm in the smooth region of the substrate. An Ag film was formed on this recording layer by a sputtering method using argon ions, and was used as a metal reflection layer. Table 1 shows the results of X-ray measurement of the thickness at the thinnest point in the recordable / reproducible region of the sputtered film. An ultraviolet curable resin SD1700 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc. was applied to the obtained sample, and irradiated with ultraviolet light to form a protective layer. Further, an ink hard coat clear manufactured by Jujo Kako Co., Ltd. was mesh-printed on the protective layer and irradiated with ultraviolet light to form an upper protective layer. Each of the obtained samples had characteristics equivalent to those of a general CD-R and was a medium satisfying the CD standard.
【0020】[0020]
【表1】 [Table 1]
【0021】〈耐光試験〉上記で作成したサンプルを用
いて耐光試験を行った。ヤマハ社製CD−Rドライブ、
CDE100を用いて全面書き込みを行い、オーディオ
ディベロップ社製、測定器CD−CATS SA3を用
いてBLERを測定した。なお、CD−Rの書き込みは
4倍速で行っている。その後、耐光試験を行い、試験前
後のBLERの変化を観察した。耐光試験の条件は以下
の通りである。 光源 :キセノンランプ、 放射強度:0.35W/m2(420nm)、 温度 :35℃、 湿度 :50%RH、 黒体温度:63℃ 照射時間:約300時間 放射強度はフロリダ州・マイアミ市における晴天時の日
光の有効平均放射強度に相当する。<Light Resistance Test> A light resistance test was performed using the sample prepared above. Yamaha CD-R drive,
The entire surface was written using CDE100, and BLER was measured using a measuring device CD-CATS SA3 manufactured by Audio Development. The writing of the CD-R is performed at 4 × speed. Thereafter, a light resistance test was performed, and changes in BLER before and after the test were observed. The conditions of the light resistance test are as follows. Light source: Xenon lamp, Radiation intensity: 0.35 W / m 2 (420 nm), Temperature: 35 ° C., Humidity: 50% RH, Black body temperature: 63 ° C. Irradiation time: Approx. 300 hours Radiation intensity is in Miami, Florida It corresponds to the effective average radiation intensity of sunlight in fine weather.
【0022】耐光試験250時間後と300時間後のB
LERを表2に示す。Ag反射層の薄い順に早い時間に
BLERが増大している。BLERのCD規格値が22
0count/sec.である事を考えると、試験時間
250時間では、サンプル1、2、4の耐光性が良好で
あることがわかる。更に、300時間ではサンプル1、
4のみがBLERの値がCD規格値内であり、耐光性良
好となっている。以上のことを考慮すると、Ag膜厚の
高いサンプルは耐光性が良好になるという結果が得られ
る。B after 250 hours and 300 hours of light resistance test
The LER is shown in Table 2. The BLER increases earlier in the order of the thickness of the Ag reflection layer. BLER CD standard value is 22
0 count / sec. When the test time is 250 hours, it is understood that the light resistance of the samples 1, 2, and 4 is good. In addition, for 300 hours, sample 1,
For only 4, the BLER value was within the CD standard value, and the light resistance was good. In consideration of the above, the result that the sample having a high Ag film thickness has good light resistance is obtained.
【0023】[0023]
【表2】 [Table 2]
【0024】〈初期特性評価〉表1に示したサンプルの
初期特性を評価した。ソニー社製CD−RドライブCD
W900Eを用いて2倍速で全面に書き込みを行った。
書き込んだサンプルにおける、変調度をCD−CATS
で測定し、Ag膜厚の特性への影響を調べた。表3に、
各サンプルの変調度I3/Itop、I11/Itop
の値を示す。Ag膜厚が高いサンプル1、4はサンプル
2に比べて、変調度が低くなっている。更に、スパッタ
出力が高いサンプル4は、サンプル1よりも更に変調度
が低くなっている。<Evaluation of Initial Characteristics> The initial characteristics of the samples shown in Table 1 were evaluated. Sony CD-R drive CD
Writing was performed on the entire surface at double speed using W900E.
CD-CATS for the degree of modulation in the written sample
And the effect of the Ag film thickness on the characteristics was examined. In Table 3,
Modulation degree I3 / Itop, I11 / Itop of each sample
Shows the value of Samples 1 and 4 having a high Ag film thickness have a lower degree of modulation than Sample 2. Further, Sample 4 having a higher sputter output has a lower modulation degree than Sample 1.
【0025】[0025]
【表3】 [Table 3]
【0026】上記の耐光性試験及び初期特性評価によ
り、高耐光性で、且つ良好な信号特性を得られるCD−
RディスクのAg反射層は、表4の条件に規定できる。According to the light resistance test and the evaluation of the initial characteristics, the CD-ROM having high light resistance and good signal characteristics can be obtained.
The Ag reflection layer of the R disk can be defined under the conditions shown in Table 4.
【表4】 [Table 4]
【0027】実施例2 図1の構成の光記録媒体を作成した。まず、1.6μm
ピッチの連続グルーブを転写したポリカーボネート樹脂
の基板1上に、光吸収層としてフタロニアニン色素を溶
剤に溶解してスピンコート法により塗布、乾燥し、記録
層2を形成した。次に、記録層2の上にスパッタリング
により、Ag反射層3を記録領域の最低膜厚100nm
の厚さで形成した。なお、ターゲットには、純度99.
99%のAgを用い、また、スパッタガスには、純度9
9.9%のArガスを用いた。また、Arガスの流量は
60sccmとした。次に、Ag反射層3の上に紫外線
硬化樹脂を塗布し、紫外線照射により硬化して、保護層
4を形成した。最後にスクリーン印刷により紫外線硬化
インクを塗布し、紫外線により硬化し、上部保護層5を
形成した。Example 2 An optical recording medium having the structure shown in FIG. 1 was prepared. First, 1.6 μm
A recording layer 2 was formed by dissolving a phthalocyanine dye in a solvent as a light absorbing layer on a polycarbonate resin substrate 1 on which continuous pitch grooves were transferred, applying the solution by a spin coating method, and then drying to form a recording layer 2. Next, the Ag reflective layer 3 was formed on the recording layer 2 by sputtering so that the minimum thickness of the recording area was 100 nm.
The thickness was formed. The target had a purity of 99.
99% Ag was used, and the sputtering gas had a purity of 9%.
9.9% Ar gas was used. The flow rate of Ar gas was set to 60 sccm. Next, an ultraviolet curable resin was applied on the Ag reflective layer 3 and cured by irradiation with ultraviolet light to form a protective layer 4. Finally, an ultraviolet curable ink was applied by screen printing and cured by ultraviolet light to form an upper protective layer 5.
【0028】比較例1 実施例2の条件で、Arガスの流量を10sccmとし
てサンプルを作製した。Comparative Example 1 A sample was prepared under the same conditions as in Example 2 except that the flow rate of Ar gas was 10 sccm.
【0029】実施例3 実施例2の条件で、Arガスの流量を120sccmと
してサンプルを作製した。なお、この流量では実施例2
と比較して膜厚分布の均一性が悪くなり、外周部のAg
膜厚が薄くなったため、最低膜厚100nmを確保する
には実施例2の1.5倍のスパッタ時間が必要であっ
た。Example 3 A sample was prepared under the same conditions as in Example 2 except that the flow rate of Ar gas was 120 sccm. In addition, in this flow rate, Example 2
The film thickness distribution becomes less uniform compared to
Since the film thickness was reduced, a sputtering time 1.5 times that of Example 2 was required to secure a minimum film thickness of 100 nm.
【0030】〈評価〉実施例2、3及び比較例1のサン
プルに、CD−R記録機(ヤマハ社製CDE100)に
よりCD信号を記録した。それらのサンプルを、Her
aeus社製のSUNTESTを使用し、6万5000
ルクスの照度で250時間の光照射を行い、照射前後の
内周部のブロック・エラー・レート(BLER)を比較
した。結果を表5に示す。BLERのCD規格値は22
0count/s以下である。なお、実施例3の信号特
性をチェックしたところ、11T変調度が実施例2と比
較して1.5%低かった。<Evaluation> A CD signal was recorded on the samples of Examples 2 and 3 and Comparative Example 1 by a CD-R recorder (CDE100 manufactured by Yamaha Corporation). Her samples
65,000 using SUNEST made by aeus
Light irradiation was performed for 250 hours at an illuminance of lux, and the block error rate (BLER) of the inner peripheral portion before and after irradiation was compared. Table 5 shows the results. BLER CD standard value is 22
0 count / s or less. When the signal characteristics of the third embodiment were checked, the 11T modulation degree was 1.5% lower than that of the second embodiment.
【0031】[0031]
【表5】 [Table 5]
【0032】[0032]
【発明の効果】請求項1の光記録媒体によれば、金属反
射層の厚さが100nm以上あり、100nm以下の微
小な欠陥の影響を受けにくいため、光の長時間の照射で
発生する欠陥と上部保護層作成時に反射層が受けるダメ
ージによる記録情報の破壊を防止又は低下できるので、
耐光性を高くすることができる。According to the optical recording medium of the first aspect, since the thickness of the metal reflection layer is 100 nm or more and is not easily affected by minute defects of 100 nm or less, defects generated by prolonged irradiation of light are possible. Since the destruction of recorded information due to damage to the reflective layer when creating the upper protective layer can be prevented or reduced,
Light resistance can be increased.
【0033】請求項2の光記録媒体によれば、金属反射
膜の厚さの上限が200nm以下にされており、金属膜
の熱容量が低く押さえられているので、記録層の色素の
熱的感度が高く、耐光性を維持しつつ高い変調度を得る
ことができる。According to the optical recording medium of the second aspect, the upper limit of the thickness of the metal reflection film is set to 200 nm or less, and the heat capacity of the metal film is kept low. And a high degree of modulation can be obtained while maintaining light resistance.
【0034】請求項3の光記録媒体によれば、金属反射
膜厚の均一性が高いので、耐光性において均一な特性を
得ることができる。According to the optical recording medium of the third aspect, since the uniformity of the metal reflection film thickness is high, uniform characteristics in light resistance can be obtained.
【0035】請求項4の光記録媒体によれば、金属反射
膜を4kW以下の出力でスパッタしているため、成膜時
の反射層へのダメージを少なく押さえつつ、高いスパッ
タレートが得られるので、高い耐光性と変調度を維持し
つつ、請求項1で規定した以上の膜厚を短い時間で作成
できる。According to the optical recording medium of the fourth aspect, since the metal reflective film is sputtered at an output of 4 kW or less, a high sputter rate can be obtained while minimizing damage to the reflective layer during film formation. In addition, a film having a thickness greater than that specified in claim 1 can be formed in a short time while maintaining high light resistance and a high degree of modulation.
【0036】請求項5の光記録媒体の製造方法によれ
ば、金属反射層をスパッタリングで形成する場合のスパ
ッタガスとしてArを主成分とするガスを使用し、しか
もそのガス流量を30sccm以上とすることにより、
反射層にAgを使用した場合でも、耐光性の良い光記録
媒体を得ることができる。According to the method of manufacturing an optical recording medium of the present invention, a gas containing Ar as a main component is used as a sputtering gas when the metal reflection layer is formed by sputtering, and the gas flow rate is 30 sccm or more. By doing
Even when Ag is used for the reflective layer, an optical recording medium with good light resistance can be obtained.
【0037】請求項6の光記録媒体の製造方法によれ
ば、金属反射層をスパッタリングで形成する場合のスパ
ッタガスのガス流量を100sccm以下とすることに
より、反射層にAgを使用した場合でも、耐光性が良
く、また、膜厚分布が均一で信号特性の良好な光記録媒
体を得ることができる。According to the method of manufacturing an optical recording medium of the present invention, when the metal reflection layer is formed by sputtering, the gas flow rate of the sputtering gas is set to 100 sccm or less, so that even when Ag is used for the reflection layer, An optical recording medium having good light resistance, uniform film thickness distribution, and good signal characteristics can be obtained.
【0038】請求項7の光記録媒体の製造方法によれ
ば、金属反射層のAg比率を99〜100原子%とする
ことにより、反射率等の信号特性が良好な光記録媒体を
得ることができる。According to the method of manufacturing an optical recording medium of the present invention, by setting the Ag ratio of the metal reflection layer to 99 to 100 atomic%, an optical recording medium having good signal characteristics such as reflectance can be obtained. it can.
【0039】請求項8の光記録媒体の製造方法によれ
ば、DVD−R等の張り合わせ型メディアへ適用できる
製品を得ることができる。According to the method for manufacturing an optical recording medium of the eighth aspect, it is possible to obtain a product applicable to a laminated medium such as a DVD-R.
【図1】本発明の光記録媒体の構成例を示す模式断面図
である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing a configuration example of an optical recording medium of the present invention.
1 透明基板 2 記録層 3 金属反射層 4 下部保護層 5 上部保護層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent substrate 2 Recording layer 3 Metal reflective layer 4 Lower protective layer 5 Upper protective layer
Claims (8)
フタロシアニン系及びアゾ系のいずれかの有機色素を含
む記録層を介して、Ag若しくはAgを含む金属の反射
層を有し、更に該反射層上に紫外線硬化樹脂からなる厚
さ2μm以上の下部保護層及びその上の紫外線硬化樹脂
を含む上部保護層を有する構造の光学的に情報の記録・
再生又は消去を行う光記録媒体において、金属反射層が
スパッタ成膜により作られ、且つ記録・再生可能な領域
の最小膜厚が100nm以上であることを特徴とする光
記録媒体。Claims: 1. A cyanine-based resin on at least a transparent substrate.
A reflective layer of Ag or a metal containing Ag is provided via a recording layer containing either a phthalocyanine-based or azo-based organic dye, and a lower protective layer having a thickness of 2 μm or more made of an ultraviolet curable resin is further formed on the reflective layer. Optical recording of information with a structure having a layer and an upper protective layer containing an ultraviolet curable resin thereon
An optical recording medium for performing reproduction or erasing, wherein the metal reflective layer is formed by sputtering film formation, and the minimum film thickness of a recordable / reproducible region is 100 nm or more.
録媒体の記録・再生可能な領域の金属反射層の最小膜厚
が200nm以下であることを特徴とする光記録媒体。2. The optical recording medium according to claim 1, wherein a minimum thickness of the metal reflective layer in a recording / reproducing area of the recording medium is 200 nm or less.
て、金属反射層の膜厚の記録・再生可能な領域の面内変
動が50%以下であることを特徴とする光記録媒体。3. The optical recording medium according to claim 1, wherein the in-plane variation of the recordable / reproducible region of the film thickness of the metal reflective layer is 50% or less.
おいて、金属反射層製膜時のスパッタ出力が4kW以下
で作られたものであることを特徴とする光記録媒体。4. The optical recording medium according to claim 1, wherein the sputtering output at the time of forming the metal reflective layer is 4 kW or less.
む記録層を有し、該記録層の上に銀を80〜100原子
%含む金属反射層を有し、更に該反射層の上に紫外線硬
化樹脂からなる保護層を有する構造の光学的に情報の記
録・再生又は消去を行なう光記録媒体の製造方法におい
て、金属反射層をスパッタリングにより形成し、且つス
パッタガスとしてArを主成分とするガスを使用し、し
かもスパッタガスのガス流量を30sccm以上とする
ことを特徴とする光記録媒体の製造方法。5. A recording layer containing an organic dye on at least a transparent substrate, a metal reflection layer containing 80 to 100 atomic% of silver on the recording layer, and an ultraviolet ray on the reflection layer. In a method of manufacturing an optical recording medium for optically recording / reproducing or erasing information having a structure having a protective layer made of a cured resin, a metal reflective layer is formed by sputtering, and a gas mainly containing Ar is used as a sputtering gas. And a gas flow rate of a sputtering gas of 30 sccm or more.
ccm以下であることを特徴とする請求項5記載の光記
録媒体の製造方法。6. A gas flow rate of the sputtering gas is 100 s.
6. The method for manufacturing an optical recording medium according to claim 5, wherein the optical recording medium is not more than ccm.
%含むものであることを特徴とする請求項5又は6記載
の光記録媒体の製造方法。7. The method for manufacturing an optical recording medium according to claim 5, wherein the metal reflection layer contains 99 to 100 atomic% of silver.
程を含むことを特徴とする請求項5、6又は7記載の光
記録媒体の製造方法。8. The method for manufacturing an optical recording medium according to claim 5, further comprising a step of bonding the protective layer side to another substrate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11094714A JP2000285518A (en) | 1999-04-01 | 1999-04-01 | Optical recording medium and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP11094714A JP2000285518A (en) | 1999-04-01 | 1999-04-01 | Optical recording medium and manufacturing method thereof |
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|---|---|
| JP2000285518A true JP2000285518A (en) | 2000-10-13 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP (1) | JP2000285518A (en) |
-
1999
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