JP2000284113A

JP2000284113A - カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置

Info

Publication number: JP2000284113A
Application number: JP11090076A
Authority: JP
Inventors: Hiromitsu Yamaguchi; 裕充山口; Tetsuo Okabe; 哲夫岡部
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1999-03-30
Filing date: 1999-03-30
Publication date: 2000-10-13

Abstract

(57)【要約】【課題】装置の稼働率を低下させること無く、かつ高い
留まりでカラーフィルタを製造可能なカラーフィルタの
製造方法を提供する。【解決手段】光透過性の基板上にインクジェットヘッ
ドによりインクを吐出して、基板上に複数の着色画素を
形成するためのカラーフィルタの製造方法であって、カ
ラーフィルタの着色後の欠陥画素を検出する検出工程
と、この検出工程で検出された欠陥画素位置とインクジ
ェットヘッドのノズル情報とから、吐出不良ノズルを特
定する特定工程と、この特定工程で特定された吐出不良
ノズルを使用せずに基板を着色する着色工程とを具備す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーテレビ、パ
ーソナルコンピュータ等のカラー液晶ディスプレイ等に
使用されているカラーフィルタの製造方法に関し、特に
インクジェット記録技術を利用し、インク吐出により着
色部を形成したカラーフィルタの製造方法及びカラーフ
ィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年携帯用パーソナルコンピュータの急
速な発達に伴い、液晶ディスプレイ、特にカラー液晶デ
ィスプレイの需要は増加する傾向にある。同時に、装置
のコストダウンも要求されるようになり、特に比較的コ
スト比率の高いカラーフィルタのコストダウンに対する
要求が高まっている。カラーフィルタの要求特性を満足
し、上記の要求も満たすため様々な方法が提案されてい
るが、いまだ不十分である。以下にそれぞれの方法につ
いて説明する。

【０００３】最も多く使われている第１の方法が顔料分
散法である。この方法は、まず基板上に顔料を分散した
感光性樹脂層を形成し、これをパターンニングすること
により単色のパターンを得る。さらにこの工程を３回繰
り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルター層を得
る。

【０００４】第２の方法は、染色法である。この方法は
ガラス基板上に染色用の材料である水溶性の高分子材料
を形成し、フォトリソグラフィー工程によりある形状に
パターンニングして、できあがったパターンを染色浴に
浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回繰り返
すことにより、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタを形成す
る。

【０００５】第３の方法として電着法がある。この方法
は、まず基板上に透明基板をパターニングする。つぎに
顔料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬し第１
の色を電着する。この工程を３回繰り返してＲ、Ｇ、Ｂ
の着色層を形成し、最後に焼成する。

【０００６】第４の方法として印刷法がある。この方法
は、熱硬化性樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回繰り返
すことによりＲ、Ｇ、Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱硬化
させることにより着色層を形成するものである。また、
いずれの方法においても着色層上に保護層を形成するの
が一般的である。

【０００７】以上の従来の方法に共通している点は、
Ｒ、Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰
り返す必要があり、コスト高になることである。また、
工程が多いほど歩留まりが低下するという問題を有して
いる。さらに、電着法においては、形成可能なパターン
形状が限定されるため、現状の技術では、ＴＦＴ用には
適用困難である。また、印刷法は、解像度が悪いためフ
ァインピッチのパターンの形成には不向きである。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】これらの欠点を補うべ
く、インクジェット法を用いたカラーフィルターの製造
方法として、特開昭５９−７５２０５号、特開昭６３−
２３５９０１号、特開平１−２１７３２０号、特開平４
−１２３００５号等の提案がある。これらは、上記の従
来の方法とは異なりＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各
色のインクを光透過性の基板上の所定の位置にインクジ
ェットヘッドより吐出し、インクを基板上で乾燥させて
着色層を形成させるものである、この方法によればＲ、
Ｇ、Ｂの各色層の形成を一度に行うことができ、さらに
インクの使用量にも無駄が生じないため大幅な生産性の
向上、コストダウン等の効果を得ることができる。

【０００９】しかしながら、多数のインク吐出ノズルを
有するインクジェットヘッドは各ノズルごとにインクの
吐出量が異なることが多く、一般にカラーフィルタは、
これら吐出量の異なるノズルを複数使用して着色される
ため、そのままでは、ノズルの並び方向に色ムラが発生
する。

【００１０】このノズルの並び方向に発生する色ムラに
関しては、これまでにさまざまな補正方法が提案されて
おり、色ムラが発生しないカラーフィルタをインクジェ
ット法により製造できるようになりつつある。

【００１１】しかしながら、インクジェットヘッドは、
ノズル内に異物が混入したり、ノズルフェイス面にイン
クが付着したりすることが発生した場合、ある特定のノ
ズルにおいてその吐出量が減少したり、不吐出になるこ
とがあり、その結果色ムラが発生してしまう。

【００１２】さらに一旦ノズルの吐出不良による色ムラ
が発生してしまうと、その後吐出量の再補正を行なうま
で不良品を製造し続け、歩留まりを大きく低下させると
いう問題があった。

【００１３】通常カラーフィルタの色ムラを検査する場
合、ＣＣＤ（電荷結合素子）を用いたラインセンサを走
査させて検査する装置や、エリアセンサにより一括して
検査面を画像処理する装置などが用いられている。

【００１４】これらの検査装置は、色ムラの有無を検出
するものがほとんどであり、色ムラが検出された場合に
はそのカラーフィルタを不良品として処理する場合がほ
とんどである。

【００１５】このような問題に対して、本願出願人は、
不良ノズルを検出し、検出された不良ノズルを使用しな
いで着色を行なう方法を、特願平１０−１５７９７４号
においてすでに提案している。

【００１６】この提案は、着色を行う前工程において、
インクジェットヘッドの各ノズルの吐出状態（吐出量、
着弾位置等）測定のために着色パターンの吐出を行い、
着色結果から吐出不良のノズルを事前に検出し、そのノ
ズルを使用せずに着色を行なう手法を提供するものであ
る。

【００１７】また、着色工程の途中に吐出不良が原因と
される色ムラが検出された場合には、初期の吐出状態の
測定時と同様の方法により、各ノズルの吐出状態を再度
測定し、不良ノズルを検出して、検出された不良ノズル
を使用しないようにして着色を再開する手法が提案され
ている。

【００１８】この提案のように、色ムラが発生するごと
にインクジェットヘッドの各ノズルの吐出量測定パター
ンを吐出し測定することは、装置の稼動率を低下させる
ことにもつながるため、極力装置の稼働率を低下させる
ことなく吐出不良ノズルを検出し、検出された吐出不良
ノズルを使用せずに着色を行うことができるような手法
を考案することが望まれているがこれまでに十分な効果
を得られていない。

【００１９】さらに、インクジェット法を用いてカラー
フィルタの着色を行う製造方法の場合、他の着色方法を
用いた製造方法とは色ムラの発生状況が異なり、インク
ジェットヘッドのノズルの並び方向に規則性を持った筋
状の色ムラが発生する傾向にあることが知られてきてい
る。

【００２０】そこで、本発明は上記の問題を解決するた
めになされたものであり、その目的は、装置の稼働率を
低下させること無く、かつ高い歩留まりでカラーフィル
タを製造可能なカラーフィルタの製造方法を提供するこ
とである。

【００２１】また、本発明の他の目的は、上記の製造方
法により製造されたカラーフィルタ、及びそれを用いた
表示装置及びこの表示装置を備えた装置を提供すること
である。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタ
の製造方法は、光透過性の基板上にインクジェットヘッ
ドによりインクを吐出して、前記基板上に複数の着色画
素を形成するためのカラーフィルタの製造方法であっ
て、前記カラーフィルタの着色後の欠陥画素を検出する
検出工程と、該検出工程で検出された欠陥画素位置と前
記インクジェットヘッドのノズル情報とから、吐出不良
ノズルを特定する特定工程と、該特定工程で特定された
吐出不良ノズルを使用せずに前記基板を着色する着色工
程とを具備することを特徴としている。

【００２３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記特定工程において、ＮＧノズル
番号：吐出不良ノズル番号、ＮＧ画素：欠陥画素番号の
最大番号、使用ノズル数：着色に使用するノズル数、ス
キャン番号：カラーフィルタを分割して着色する時、何
スキャン目かを示す数、ノズル間隔：何ノズルおきにノ
ズルを吐出しているか、先頭ノズル番号：使用ノズルで
の先頭ノズル番号としたとき、ＮＧノズル番号＝（ＮＧ
画素−使用ノズル数×（スキャン番号−１）−１）×ノ
ズル間隔＋先頭ノズル番号、で表わされる計算式により
不良ノズルを特定することを特徴としている。

【００２４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記検出工程において、着色画素の
濃度差により欠陥画素を検出することを特徴としてい
る。

【００２５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記検出工程において欠陥画素の検
出をカラーフィルタの一部の領域に限定して行なうこと
を特徴としている。

【００２６】また、本発明に係わるカラーフィルタは、
光透過性の基板上にインクジェットヘッドによりインク
を吐出して、前記基板上に複数の着色画素を形成して製
造されたカラーフィルタであって、前記カラーフィルタ
の着色後の欠陥画素を検出する検出工程と、該検出工程
で検出された欠陥画素位置と前記インクジェットヘッド
のノズル情報とから、吐出不良ノズルを特定する特定工
程と、該特定工程で特定された吐出不良ノズルを使用せ
ずに前記基板を着色する着色工程とを経て製造されたこ
とを特徴としている。

【００２７】また、本発明に係わる表示装置は、光透過
性の基板上にインクジェットヘッドによりインクを吐出
して、前記基板上に複数の着色画素を形成して製造され
たカラーフィルタを備える表示装置であって、前記カラ
ーフィルタの着色後の欠陥画素を検出する検出工程と、
該検出工程で検出された欠陥画素位置と前記インクジェ
ットヘッドのノズル情報とから、吐出不良ノズルを特定
する特定工程と、該特定工程で特定された吐出不良ノズ
ルを使用せずに前記基板を着色する着色工程とを経て製
造されたカラーフィルタと、光量を変更可能とする光量
変更手段とを一体に備えることを特徴としている。

【００２８】また、本発明に係わる表示装置を備えた装
置は、光透過性の基板上にインクジェットヘッドにより
インクを吐出して、前記基板上に複数の着色画素を形成
して製造されたカラーフィルタを有する表示装置を備え
た装置であって、前記カラーフィルタの着色後の欠陥画
素を検出する検出工程と、該検出工程で検出された欠陥
画素位置と前記インクジェットヘッドのノズル情報とか
ら、吐出不良ノズルを特定する特定工程と、該特定工程
で特定された吐出不良ノズルを使用せずに前記基板を着
色する着色工程とを経て製造されたカラーフィルタと、
光量を変更可能とする光量変更手段とを一体に備える表
示装置と、該表示装置に画像信号を供給する画像信号供
給手段とを具備することを特徴としている。

【００２９】

【発明の実施形態】以下、本発明の好適な一実施形態に
ついて、添付図面を参照して詳細に説明する。

【００３０】なお、本発明において定義するカラーフィ
ルタとは、着色部と被着色体とを備えるものであり、入
力光に対し、特性を変えた出力光を得ることができるも
のである。

【００３１】図１はインクジェット法によるカラーフィ
ルタの製造装置の構成を示す概略図であり、着色工程の
作業中の状態を示している。

【００３２】図１において、５１は装置架台、５２は架
台５１上に配置されたＸＹθステージ、５３はＸＹθス
テージ５２上にセットされたカラーフィルタ基板、５４
はカラーフィルタ基板５３上に形成されるカラーフィル
タ、５５はカラーフィルタ５４の着色を行う赤色、緑
色、青色の各インクジェットヘッドとそれらを支持する
ヘッドマウント５５ａとからなるヘッドユニット、５８
はカラーフィルタ製造装置９０の全体動作を制御するコ
ントローラ、５９はコントローラの表示部、６０はコン
トローラの操作部であるキーボードを示している。

【００３３】ヘッドユニット５５はカラーフィルター製
造装置の支持部９０ａに対して着脱自在に、かつ水平面
内で回動角度を調整可能に装着されている。

【００３４】図２はカラーフィルタ製造装置９０の制御
コントローラの構成図である。５９は制御コントローラ
５８の入出力手段であるティーチングペンダント、６２
は製造の進行状況及びヘッドの異常の有無等の情報を表
示する表示部、６０はカラーフィルタ製造装置９０の動
作等を指示する操作部（キーボード）である。

【００３５】５８はカラーフィルタ製造装置９０の全体
動作を制御するところのコントローラ、６５はティーチ
ングペンダント５９とのデータの受け渡しを行うインタ
フェース、６６はカラーフィルタ製造装置９０の制御を
行うＣＰＵ、６７はＣＰＵ６６を動作させるための制御
プログラムを記憶しているＲＯＭ、６８は異常情報等を
記憶するＲＡＭ、７０はカラーフィルタの各画素内への
インクの吐出を制御する吐出制御部、７１はカラーフィ
ルタ製造装置９０のＸＹθステージ５２の動作を制御す
るステージ制御部、９０はコントローラ５８に接続さ
れ、その指示に従って動作するカラーフィルタ製造装置
を示している。

【００３６】次に、図３は、インクジェットヘッドＩＪ
Ｈの一般的な構造を示す図である。図１の装置において
は、インクジェットヘッドはＲ,Ｇ,Ｂの３色に対応して
３個設けられているが、これらの３個のヘッドは夫々同
一の構造であるので、図３にはこれらの３個のヘッドの
うちの１つの構造を代表して示している。

【００３７】図３において、インクジェットヘッドＩＪ
Ｈは、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が形
成された基板であるヒータボード１０４と、このヒータ
ボード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概略
構成されている。天板１０６には、複数の吐出口１０８
が形成されており、吐出口１０８の後方には、この吐出
口１０８に連通するトンネル状の液路１１０が形成され
ている。各液路１１０は、隔壁１１２により隣の液路と
隔絶されている。各液路１１０は、その後方において１
つのインク液室１１４に共通に接続されており、インク
液室１１４には、インク供給口１１６を介してインクが
供給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液
路１１０に供給される。

【００３８】ヒータボード１０４と、天板１０６とは、
各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様
に位置合わせされて図３の様な状態に組み立てられる。
図３においては、２つのヒータ１０２しか示されていな
いが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応して１
つずつ配置されている。そして、図３の様に組み立てら
れた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給す
ると、ヒータ１０２上のインクが沸騰して気泡を形成
し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８か
ら押し出されて吐出される。従って、ヒータ１０２に加
える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御する
ことにより気泡の大きさを調整することが可能であり、
吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコントロー
ルすることができる。

【００３９】図４は、画素の着色を行なう複数のノズル
を備えたインクジェットヘッドの模式図である。

【００４０】図４において、７は図３に示したような構
造を有するインクジェットヘッド、８ａ〜８ｄはインク
を示す。

【００４１】図４のように各ノズルからのインク吐出量
は異なっていることが多く、そのまま画素を着色した場
合にはインク量の違いによる色ムラが生じてしまう。そ
のため、各着色画素へ付与するインク量を一定にするた
めに補正を行なう。本実施形態においては、各着色画素
へ付与するインクドット数（インクドット密度）を調整
することにより補正を行なっている。

【００４２】図４においては、ノズル８ｂ、８ｄのよう
に吐出量の多いノズルは画素内に付与するインクドット
数を少なくし、ノズル８ａ、８ｃのように吐出量が少な
いノズルは画素内に付与するインクドツト数を多くす
る。

【００４３】このように各画素に対して付与するインク
ドット数を補正するように、インクジェットヘッドを制
御して、画素の着色を行なう。

【００４４】図５はカラーフィルタの製造方法を示す工
程図である。、カラーフィルタ形成面として光透過性の
基板１上に遮光部としてのブラックマトリクス２を形成
する（工程（ａ））。

【００４５】基板１としては、一般にガラスが用いられ
るが、カラーフィルタとしての透明性を損なわず、機械
的強度等カラーフィルタの用途に応じた必要特性を有す
るものであればプラスチックなどの樹脂でも使用可能で
ある。

【００４６】またブラックマトリクス２は、基板上にス
パッタもしくは真空蒸着などの成膜法によりクロム等の
金属膜を形成し、フォトリソ法により開口部などをパタ
ーニングして形成する。ブラックマトリクス２として
は、この他に感光性の黒色樹脂を塗布後フォトリソ法に
よりパターニングして形成したものや、印刷法により形
成したものなどが使用可能である。

【００４７】次に、基板上にインク受容層３を形成する
（工程（ｂ））。

【００４８】インク受容層３はそれ自身ではインク受容
性を持たないが、ある条件下においてインク受容性を示
すポジ型、あるいはそれ自身はインク受容性を持つが、
ある条件下でインク受容性を失うネガ型、いずれかの性
質を有し、且つある条件下で硬化する特性を有する樹脂
組成物をカラーフィルタ形成面に塗布し、必要に応じて
プリベークを行って形成する。上記のある条件下とは、
たとえば光照射、又は光照射及び熱照射などである。上
記樹脂組成物の塗布には、スピンコート、ロールコー
ト、バーコート、スプレーコート、ディップコート等の
塗布方法を用いることができる。

【００４９】本実施形態においては、光照射により硬化
しその部分がインクを吸収しなくなるネガ型の感光性樹
脂組成物を用いるのが望ましい。

【００５０】またインク受容層３の厚さは、本実施形態
のカラーフィルタを液晶素子に用いる場合で０．３〜
３．０μｍ程度である。

【００５１】フォトマスク４を用いてインク受容層３を
パターン露光し、その一部を硬化してインク受容性を失
った撥インク部５を形成する（工程（ｃ））。

【００５２】この場合の図に示したフォトマスク４は、
インク受容層３をネガ型の感光性樹脂組成物を用いて形
成する場合である。インク受容層３としてポジ型の感光
性樹脂組成物を用いて形成する場合は、図に示したブラ
ックマトリクス２に対応する部位を感光させるフォトマ
スク４とは逆の、ブラックマトリクス２の開口部に対応
する部位を感光させるフォトマスクを用い、撥インク部
をマスクしてパターン露光すれば良い。

【００５３】図に示したように、撥インク部５は、ブラ
ックマトリクス２に重なる位置に形成される。撥インク
部５の幅はブラックマトリクスの幅より狭くなるように
形成することが好ましく、液晶素子に用いる場合で１．
０〜３０．０μｍ程度である。これにより、後述の着色
部９ａ〜９ｃがブラックマトリクス２と重なる位置にま
で延出して形成され、白抜けが防止される。

【００５４】あらかじめ前述の吐出量を補正する工程に
より補正データが設定されたインクジェットヘッド７か
ら、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色のインク８をインク受容層３の未
露光部６の所定の位置に付与する（工程（ｄ）、工程
（ｅ））。

【００５５】各未露光部は撥インク層５により周囲を囲
まれている。

【００５６】本発明においてインクジェット方式として
はエネルギー発生素子として電気熱変換体を用いたバブ
ルジェットタイプ、あるいは圧電素子を用いたピエゾジ
ェットタイプ等が使用可能であり、着色面積及び着色パ
ターンは任意に設定することができる。

【００５７】また本実施形態において、着色用のインク
としては染料系、顔料系共に用いることが可能である。
また、常温で液体のものに限らず、室温やそれ以下で固
化するインクであって、室温で軟化するもの、もしくは
液体であるもの、あるいは上述のインクジェット方式で
はインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調
整をおこなってインクの粘性を安定吐出範囲にあるよう
に温度制御するのが一般的であるから、使用記録信号付
与時にインクが液状をなすものが好適に用いられる。

【００５８】さらに必要に応じてインクの乾燥を行い、
熱処理を行い、インク受容層３全体を完全に硬化させイ
ンクを定着させ、各色の着色部９ａ〜９ｃを形成する。
これによりカラーフィルター１０が形成される。この後
必要に応じて、カラーフィルター１０上に保護層１１を
形成する（工程（ｆ））。

【００５９】保護層１１としては、光硬化型、熱硬化
型、あるいは光、熱併用型の樹脂膜、蒸着やスパッタ等
により形成される無機膜などを用いることができ、カラ
ーフィルタとしての透明性を有し、その後のＩＴＯ形成
工程、配向膜形成工程等に耐えられるものであれば使用
することができる。

【００６０】図６乃至図８は上記のカラーフィルタを組
み込んだカラー液晶表示装置３０の基本構成を示す断面
図である。

【００６１】カラー液晶表示装置は、一般的にカラーフ
ィルタ基板１と対向基板２１を合わせこみ、液晶化合物
１８を封入することにより形成される。液晶表示装置の
一方の基板２１の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Transisto
r)（不図示）と透明な画素電極２０がマトリクス状に形
成される。また、もう一方の基板１の内側には、画素電
極に対向する位置にＲＧＢの色材が配列するようカラー
フィルタ５４が設置され、その上に透明な対向電極（共
通電極）１６が一面に形成される。ブラックマトリクス
２は、通常カラーフィルター基板１側に形成されるが
（図６参照）、ＢＭ（ブラックマトリクス）オンアレイ
タイプの液晶パネルにおいては対向するＴＦＴ基板側に
形成される（図７参照）。さらに、両基板の面内には配
向膜１９が形成されており、これをラビング処理するこ
とにより液晶分子を一定方向に配列させることができ
る。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板１
１,２２が接着されており、液晶化合物１８は、これら
のガラス基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。
また、バックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板
（不図示）の組み合わせが一般的に用いられており、液
晶化合物をバックライト光の透過率を変化させる光シャ
ッターとして機能させることにより表示を行う。

【００６２】また、図８に示すように、画素電極２０上
に着色部を形成し、カラーフィルタとして機能させるよ
うにしても良い。すなわち、カラーフィルタを構成する
着色部は、ガラス基板上に形成されることに限定される
ものではない。なお、図８に示す形式においては、画素
電極上にインク受容層を形成し、この受容層にインクを
付与する場合と、画素電極上に色材を混入した樹脂イン
クを直射ちする場合とがある。

【００６３】このような液晶表示装置を情報処理装置に
適用した場合の例を図９乃至図１１を参照して説明す
る。

【００６４】図９は上記の液晶表示装置をワードプロセ
ッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複
写装置としての機能を有する情報処理装置に適用した場
合の概略構成を示すブロック図である。

【００６５】図中、１８０１は装置全体の制御を行う制
御部で、マイクロプロセッサ等のＣＰＵや各種Ｉ／Ｏポ
ートを備え、各部に制御信号やデータ信号等を出力した
り、各部よりの制御信号やデータ信号を入力して制御を
行っている。１８０２はディスプレイ部で、この表示画
面には各種メニューや文書情報及びイメージリーダ１８
０７で読み取ったイメージデータ等が表示される。１８
０３はディスプレイ部１８０２上に設けられた透明な感
圧式のタッチパネルで、指等によりその表面を押圧する
ことにより、ディスプレイ部１８０２上での項目入力や
座標位置入力等を行うことができる。

【００６６】１８０４はＦＭ(Frequency Modulation)音
源部で、音楽エディタ等で作成された音楽情報をメモリ
部１８１０や外部記憶装置１８１２にデジタルデータと
して記憶しておき、それらメモリ等から読み出してＦＭ
変調を行うものである。ＦＭ音源部１８０４からの電気
信号はスピーカ部１８０５により可聴音に変換される。
プリンタ部１８０６はワードプロセッサ、パーソナルコ
ンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置の出力端末と
して用いられる。

【００６７】１８０７は原稿データを光電的に読取って
入力するイメージリーダ部で、原稿の搬送経路中に設け
られており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿
の読取りを行う。

【００６８】１８０８はイメージリーダ部１８０７で読
取った原稿データのファクシミリ送信や、送られてきた
ファクシミリ信号を受信して復号するファクシミリ（Ｆ
ＡＸ）の送受信部であり、外部とのインタフェース機能
を有する。１８０９は通常の電話機能や留守番電話機能
等の各種電話機能を有する電話部である。

【００６９】１８１０はシステムプログラムやマネージ
ャープログラム及びその他のアプリケーションプログラ
ム等や文字フォント及び辞書等を記憶するＲＯＭや、外
部記憶装置１８１２からロードされたアプリケーション
プログラムや文書情報、さらにはビデオＲＡＭ等を含む
メモリ部である。

【００７０】１８１１は文書情報や各種コマンド等を入
力するキーボード部である。

【００７１】１８１２はフロッピーディスクやハードデ
ィスク等を記憶媒体とする外部記憶装置で、この外部記
憶装置１８１２には文書情報や音楽あるいは音声情報、
ユーザのアプリケーションプログラム等が格納される。

【００７２】図１０は図９に示す情報処理装置の模式的
概観図である。

【００７３】図中、１９０１は上記の液晶表示装置を利
用したフラットパネルディスプレイで、各種メニューや
図形情報及び文書情報等を表示する。このディスプレイ
１９０１上ではタッチパネル１８０３の表面は指等で押
圧することにより座標入力や項目指定入力を行うことが
できる。１９０２は装置が電話機として機能するときに
使用されているハンドセットである。キーボード１９０
３は本体と着脱可能にコードを介して接続されており、
各種文書機能や各種データ入力を行うことができる。ま
た、このキーボード１９０３には各種機能キー１９０４
等が設けられている。１９０５は外部記憶装置１８１２
へのフロッピーディスクの挿入口である。

【００７４】１９０６はイメージリーダ部１８０７で読
取られる原稿を載置する用紙載置部で、読取られた原稿
は装置後部より排出される。またファクシミリ受信等に
おいては、インクジェットプリンタ１９０７よりプリン
トされる。

【００７５】上記情報処理装置をパーソナルコンピュー
タやワードプロセッサとして機能する場合、キーボード
部１８１１から入力された各種情報が制御部１８０１に
より所定のプログラムに従って処理され、プリンタ部１
８０６に画像として出力される。

【００７６】ファクシミリ装置の受信機として機能する
場合、通信回線を介してＦＡＸ送受信部１８０８から入
力したファクシミリ情報が制御部１８０１により所定の
プログラムに従って受信処理され、プリンタ部１８０６
に受信画像として出力される。

【００７７】また、複写装置として機能する場合、イメ
ージリーダ部１８０７によって原稿を読取り、読取られ
た原稿データが制御部１８０１を介してプリンタ部１８
０６に複写画像として出力される。なお、ファクシミリ
装置の受信機として機能する場合、イメージリーダ部１
８０７によって読取られた原稿データは、制御部１８０
１により所定のプログラムに従って送信処理された後、
ＦＡＸ送受信部１８０８を介して通信回線に送信され
る。

【００７８】なお、上述した情報処理装置は図１１に示
すようにインクジェットプリンタを本体に内蔵した一体
型としてもよく、この場合は、よりポータブル性を高め
ることが可能となる。同図において、図１０と同一機能
を有する部分には、対応する符号を付す。

【００７９】次に、インクジェットヘッドにより画素を
着色する工程について、詳細な説明をする。

【００８０】本実施形態において使用するインクジェッ
トヘッドは、１３６０本のノズルを備えており、隣接す
るノズルの間隔は７０．５μｍ（３６０ｄｐｉ）であ
る。

【００８１】このインクジェットヘッドの複数のノズル
を用いて、画面サイズ１２．１インチ（縦６００画素、
横８００画素を形成したＲＧＢストライプ配列）のカラ
ーフィルタの着色を行なう場合について説明する。

【００８２】通常カラーフィルタの同一色同士の画素ピ
ッチと、インクジェットヘッドのノズルピッチは異なっ
ているため、画素ピッチとノズルピッチとを一致させる
ようにする必要がある。

【００８３】この場合にヘッドを傾けて配置する方法を
用いる。

【００８４】図１２は本実施形態におけるカラーフィル
タの着色領域の一部と、それに対するインクジェットヘ
ッドの状態を模式的に示した図である。

【００８５】図１２のようにカラーフィルタの着色領域
に対してインクジェットヘッド７ａ、７ｂ、７ｃを斜め
に傾けて配置し、さらに５ノズルおきにインクを吐出さ
せるように設定している。よって着色に使用可能なノズ
ル数は、２７２ノズル＝１３６０ノズル／５ノズルおき
である。

【００８６】この時、インクジェットヘッド７ａ、７
ｂ、７ｃは、ぞれぞれ、Ｒ、Ｇ、Ｂを着色するインクジ
ェットヘッドを示し、各色の画素を着色可能なような相
対位置に配置されている。

【００８７】また、インクジェットヘッドの各ノズルの
吐出量は、突発的に変動することがあり、このような吐
出の変動が、あるノズルにおいて発生した場合、そのノ
ズルにより着色された画素は他の画素に対し濃度差が生
じ、色ムラとなって観察されることになる。

【００８８】このような変動による色ムラの発生を回避
するように、一つの画素を一度に着色するのではなく、
複数回に分けて着色する方法を用いることが有効であ
る。

【００８９】さらに複数回に分けて着色する場合、一つ
の画素を単一のノズルで着色する場合に対し、複数のノ
ズルを用いて着色する方が、色ムラの発生を低減させる
効果がある。

【００９０】本実施形態において、単一あるいは複数の
ノズルを用いて複数回の走査により、一つの画素の着色
を行なう場合、この一回の走査のことを「パス」と呼ぶ
ことにする。

【００９１】しかしながら、一つの画素を複数ノズルを
用いて着色する場合、その着色回数は着色時のタクトと
大きく関係するため、品質と生産性を考慮し、最適な値
に決める必要がある。

【００９２】本実施形態においては、着色のパス（走
査）数を５回に設定し、一つの画素を５つの異なるノズ
ルからの吐出で着色することにした。

【００９３】これは、言い換えれば−つの画素をノズル
をずらしながら着色していることになり、本実施形態に
おいては、このずらし量を「ノズルずらし数」と呼ぶこ
ととする。

【００９４】この「ノズルずらし数」は常に一定にする
ことも、各走査ごとにその数を変えることも可能である
が、本実施形態では、その制御の容易さから各走査とも
に一定とし、その上で品質を考慮して最適な値に設定す
る。

【００９５】図１３は、ノズルをずらしながら着色を行
なうときの各画素の着色の状態と使用するノズルのイメ
ージを示す模式図である。

【００９６】図１３の場合、インクジェットヘッドは５
ノズルおきに吐出し、５回のパスで画素を着色してお
り、ノズルずらし数は５である。

【００９７】本実施形態においては、品質上良品が得ら
れる最適な値としてノズルずらし数を２０（５ノズルお
き×４）と設定することとした。

【００９８】図１４はカラーフィルタ全体と、インクジ
ェットヘッドとの関係を模式的に示す図である。

【００９９】本実施形態で使用するインクジェットヘッ
ドで画面サイズ１２．１インチ（縦６００画素、横８０
０画素を形成したＲＧＢストライプ配列）のカラーフィ
ルタの着色を行なう場合、着色領域全体を一度に着色す
ることは物理的に不可能であり、一度に着色可能な領域
は全体の３分の１程度である。

【０１００】このため、図１４のように全体を３分割
し、３分の１ずつ着色を行なうことにしている。

【０１０１】本実施形態において、着色領域全体を分割
して着色する場合、その分割された領域の一つを「スキ
ャン」、と呼ぶこととする。

【０１０２】また、本実施形態においては、全体を３分
割して３分の１ずつ着色しているが、インクジェットヘ
ッドのノズル数、ノズル密度（隣接ノズル間の間隔）、
ノズルずらし数、あるいは着色を行なう画面サイズが本
実施形態と異なる場合、着色領域の分割数もこれらの条
件に応じて最適な値に設定することが望ましいことは言
うまでもない。

【０１０３】このようにして形成されたカラーフィルタ
の色ムラおよび欠陥の検査を行なう。

【０１０４】図１５はこの検査装置の構成を示す図であ
る。

【０１０５】図１５において、１０はカラーフィルタ、
２１は光源、２２は光ファイバケーブル、２３は基板ス
テージ、２４は対物レンズ、２５はＣＣＤカメラ、２６
は画像処理装置、２７は制御用パソコンである。

【０１０６】図１５の装置を用いて、基板ステージ２３
を走査させながら、ＣＣＤカメラ２５で取り込んだ画像
を処理して色ムラを検査していく。

【０１０７】図１６は色ムラを検査する際のカラーフィ
ルタ１０内の検査領域を示す模式図である。

【０１０８】図１６からわかるように、カラーフィルタ
の描画ライン方向には１画素分のみで、ノズル列方向に
は画素数分の測定を行なった。

【０１０９】本実施形態のようにインクジェット方式に
よりカラーフィルタを着色する場合、ヘッドのノズルの
並び方向に色ムラが発生する傾向があることが知られて
いる。

【０１１０】具体的には、本実施形態のように着色領域
内を分割し、ノズルをずらしながら複数のパス（走査）
により着色を行なう場合、スキャン内にパス数本（例え
ば５パスで着色する場合は５本）の筋状の色ムラが発生
することが多い。

【０１１１】このように色ムラに傾向がある場合には、
カラーフィルタの全領域を測定しなくても一部の領域の
みの測定で色ムラを検出することが十分に可能であり、
測定時間を短縮することができる。

【０１１２】このようにしてカラーフィルタを検査した
結果、画素番号Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３、Ｎ４、Ｎ５…、Ｎ１
０、…、Ｎ１５（Ｎ１〜Ｎ１５は任意の整数）の部分に
周期的な筋状の色ムラが検出されたものとする。図１７
は、このときの不良画素の位置とインクジェットヘッド
の状態を模式的に示した図であり、画素番号は図で示す
ような関係である。

【０１１３】本実施形態における、色ムラとは見た目で
認識される場合はもちろん、各画素の濃度が着色領域全
体の平均の濃度に対してある割合以上の濃度差をもつ場
合を示すこととした。このときの割合は、色度規格、濃
度規格等により異なるため、目視による色ムラと濃度差
の相関関係を求め、この関係をもとに着色領域全体の平
均の濃度に対して±何％以上濃度差がある場合に色ムラ
として扱うか決めることが好ましい。

【０１１４】次にこの欠陥画素番号と、着色前に決定し
ておいたインクジェットヘッドのノズル情報をもとにそ
の画素を着色しているノズルを特定する。

【０１１５】図１８は、不良ノズルを特定するときの処
理の流れを示す図である。

【０１１６】本実施形態のようにノズルをずらしなが
ら、複数回のパスで着色を行なう場合、一定間隔（１ス
キャン）内にパス数分、筋状の色ムラが現れることが多
い。

【０１１７】そこでまず、画面を３分割して着色する場
合に、３スキャンのうちの何スキャン目に発生している
か以下の条件式（１−１）、（１−２）により判断す
る。

【０１１８】本実施形態のように３スキャンで着色を行
っている場合、１画素目＜不良画素番号＜使用ノズル数−（（ノズルずらし数／ノズル間隔）×（パス数−１））式（１−１）が成り立てば、１スキャン目内に存在する。

【０１１９】使用ノズル数−（（ノズルずらし数／ノズル間隔）×（パス数−１））＜不良画素番号＜使用ノズル数×２−（（ノズルずらし数／ノズル間隔）×（パス数−１））式（１−２）が成り立てば、２スキャン目内に存在する。

【０１２０】それ以外であれば、３スキャン目内に存在
する。

【０１２１】複数のスキャンにおいてムラが存在する場
合は、代表として２スキャン目の画素情報を用いること
とする。

【０１２２】次に、１スキャン内の不良ノズルの数を式
（２）により判断する。

【０１２３】不良ノズル数＝１スキャン内の不良画素数／パス数式（２）本実施形態においては、２スキャン目内に、Ｎ６からＮ
１０の５つの不良画素が存在していた。

【０１２４】この時、Ｎ１０−Ｎ９＝Ｎ９−Ｎ８＝Ｎ８
−Ｎ７＝Ｎ７−Ｎ６＝ノズルずらし数／パス数の関係が
成り立つ。

【０１２５】このようにして検出された不良画素の情報
をもとに、吐出不良ノズルは以下の計算式（３）により
求めることが可能である。

【０１２６】ＮＧノズル番号＝（ＮＧ画素−使用ノズル数×（スキャン番号−１）−１）×ノズル間隔＋先頭ノズル番号式（３）各パラメータは以下に説明をする。

【０１２７】ＮＧノズル番号：吐出不良ノズル番号ＮＧ画素：欠陥画素番号の最大値使用ノズル数：着色に使用するノズル数スキャン番号：カラーフィルタを分割して着色する時、
何スキャン目かを示す数ノズル間隔：何ノズルおきにノズルを吐出しているか先頭ノズル番号：使用ノズルでの先頭ノズル番号吐出不良ノズルが２本以上存在する場合、上記計算式に
おいてＮＧ画素を次に小さい番号へと変更していき、ノ
ズルの検出を繰り返す。

【０１２８】次に計算式（３）により特定した不良ノズ
ルの処理を行なう。

【０１２９】検出された不良ノズルを不吐出扱いとし、
このノズルを使用せずに着色することにする。

【０１３０】初期に測定した各ノズルの吐出量をもと
に、不良が検出された画素番号を着色していたノズル以
外の４本のノズル（本実施形態においては１画素あたり
を５本の異なるノズルで着色していたため）で画素を着
色するように、各ノズルの吐出量に応じてインクドット
数を調整し直す。

【０１３１】このように再度調整を行なったインクジェ
ットヘッドを用いて、着色を行ないカラーフィルタを製
造した。

【０１３２】このようにして製造したカラーフィルタを
図１５の検査装置で測定したところ問題となるような色
ムラがまったくないカラーフィルタが製造できた。

【０１３３】本実施形態においては、吐出量の補正方法
として画素内に付与するインクドットのドット数を各ノ
ズルの吐出量に応じて変化させる手法を用いたが、各ノ
ズルの吐出量に応じてノズルごとに駆動パルスを変化さ
せる方法によりノズルから吐出するインク量自体を変化
させる方法等が使用できる。

【０１３４】また、カラーフィルタの検査において、エ
リアセンサを用いた装置を用いたが、色ムラの検出能力
として同等の性能を有する装置であれば使用しても問題
はない。

【０１３５】以下、具体的な実施例について説明する。

【０１３６】（第１の実施例）まず、インクジェットヘ
ッドの各ノズルの吐出量を測定する工程について説明す
る。

【０１３７】光透過性の基板上に着色に使用する全ノズ
ルを用いてラインパターンを形成する。

【０１３８】このラインパターンの透過率を図１９に示
す装置を用いて測定する。

【０１３９】図１９において、３１は画像処理装置、３
２は制御および透過率を吐出量に換算する操作を行なう
パソコン、３３はラインセンサカメラ、３４は基板ステ
ージ、３５はラインパターンを形成した光透過性基板で
ある。

【０１４０】基板ステージ３４を走査させラインセンサ
カメラ３３に画像を取り込み、パソコン３２により透過
率から吐出量を算出する。

【０１４１】この各ノズルの吐出量をもとに、着色時に
各画素へ付与するインクの量が均一になるようにインク
ドット数を調整する。

【０１４２】このとき同時にこのインクジェットヘッド
のノズル情報を以下のように決定しておく。

【０１４３】本実施例で使用しているインクジェットヘ
ッドは、１３６０本のノズルを備えており、隣接するノ
ズルの間隔は７０．５μｍ（３６０ｄｐｉ）である。

【０１４４】同一色同士の画素ピッチと、ノズルのピッ
チとを一致させるためヘッドを傾け、図１２に示すよう
に５ノズルおきに使用するように設定している。即ち、
着色に使用するノズル数は、２７２ノズル＝１３６０
ノズル／５ノズルおき、先頭ノズルは１である。

【０１４５】このインクジェットヘッドで１２．１イン
チサイズのカラーフィルタ（縦６００画素、横８００画
素を形成したＲＧＢストライプ配列）の着色を行なう場
合、着色領域全体を一度に着色することは不可能であ
り、図１４のように全体を３分割し、３分の１ずつ着色
（３スキャンで着色する）を行なっていく。

【０１４６】さらに本実施例では、色ムラのない状態を
達成するような条件を実験的に算出した結果をもとに、
１スキャン分の領域を５回のパス（走査）で着色するよ
うにし、各画素を５つの異なるノズルからの吐出で着色
するようにした。

【０１４７】また、ノズルずらし数についても同様に実
験の結果からずらし数を２０（５ノズルおき×４）とし
た。

【０１４８】次に上記のように補正および、ノズル情報
を決定したインクジェットヘッドで実際にカラーフィル
タを形成する。

【０１４９】まず、所定の開口部を有するクロム（Ｃ
ｒ）からなる１２．１インチサイズＳＶＧＡタイプのブ
ラックマトリクスを形成したガラス基板上に、Ｎ−メチ
ロールアクリルアミドとメタクリル酸メチルとヒドロキ
シエチルメタクリレートの３元共重合体１０重量部とト
リフェニルスルホニウムトリフラート０．４重量部から
なる水性インク吸収性を有し、光照射あるいは、光照射
と熱処理により光照射部分のインク吸収性が低下し、か
つ、インクに対し撥水性を示す組成物材料をスピンコー
トで膜厚１．０μｍとなるように塗布し、６０℃１０分
間のプリベークを行って樹脂組成物層を形成した。

【０１５０】次いで、ブラックマトリクスより細いパタ
ーン形状のフォトマスクを介して高圧水銀灯にて露光し
た。露光終了後、ホットプレートで１１０℃９０秒間加
熱して着色領域と混色防止領域となるインク撥水部を形
成した。

【０１５１】次に上記の着色領域である画素部にあらか
じめ吐出量を補正したインクジェットヘッドによりＲ、
Ｇ、Ｂの３色からなるインクを付与し着色部を形成し
た。

【０１５２】上記の方法で着色を行なった基板を、９０
℃で１０分間インク乾燥を行い、さらに２３０℃３０分
間の加熱処理により樹脂組成物層を完全に硬化させてカ
ラーフィルタを作成した。

【０１５３】このようにして形成したカラーフィルタ
を、図１５に示した検査装置を用いて、図１６の領域部
分の色ムラの検査を行なった。

【０１５４】検査の結果、画素番号２０、２４、２８、
３２、３６、２９２、２９６、３００、３０４、３０
８、５６４、５６８、５７２、５７６、５８０の１５の
画素で筋状の色ムラが検出された。

【０１５５】本実施例において、ヘッドのノズル番号、
および画素の番号は図２０に定めた場合の番号とする。
次に、吐出不良ノズルの特定を行なう。

【０１５６】まず、不良画素が３スキャンのうちのどの
スキャンに含まれるかを前述の条件式（１−１）、（１
−２）により判断する。

【０１５７】判断の結果、画素番号２０、２４、２８、
３２、３６は１スキャン目、画素番号２９２、２９６、
３００、３０４、３０８は２スキャン目、画素番号５６
４、５６８、５７２、５７６、５８０は３スキャン目に
存在していることを確認した。

【０１５８】次に前述の式（２）により不良ノズル数を
求める。

【０１５９】不良ノズル数＝１スキャン内の不良画素数／パス数＝５／５＝１次に、前述の計算式（３）により、吐出不良ノズルの特
定を行なう。

【０１６０】ＮＧノズル番号＝（ＮＧ画素−使用ノズル数×（スキャン番号−１）−１）×ノズル間隔＋先頭ノズル番号＝（３０８−２７２×（２−１）−１）×５＋１＝１７６よって、１７６番ノズルが吐出不良であることが検出で
きた。

【０１６１】この１７６番ノズルを不吐出ノズルとして
扱うこととした。

【０１６２】よって、１７６番ノズルを使用しないよう
にして、１７６番ノズルで着色していた画素の着色を他
の４本のノズルから吐出するインクドット数を増加させ
画素内に付与するインク量を調整する。

【０１６３】このときインクドット数の調整は、初期に
測定したこれら４本のノズルの吐出量をもとに行なう。

【０１６４】このようにして再度補正を行なったインク
ジェットヘッドを用いて着色を行ない、図１５の検査装
置で色ムラの検査を行なったところ、問題となるような
色ムラがまったくないカラーフィルタが作成できた。

【０１６５】なお、本発明は、その主旨を逸脱しない範
囲で、上記実施形態を修正又は変形したものに適用可能
である。

【０１６６】例えば、近年ＴＦＴアレイ側にカラーフィ
ルタを設けたパネルも存在するが、本明細書で定義して
いるカラーフィルタは、色材により着色された被着色体
であり、ＴＦＴアレイ側にあるか否かにかかわらず、ど
ちらも包含する。

【０１６７】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱
変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。

【０１６８】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【０１６９】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。

【０１７０】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても良い。

【０１７１】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。

【０１７２】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。

【０１７３】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。

【０１７４】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化する
ものを用いても良く、使用記録信号付与時にインクが液
状をなすものであればよい。

【０１７５】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あ
るいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。

【０１７６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
着色不良画素番号から、インクジェットヘッドの吐出不
良ノズルを特定することが可能となり、それによってこ
の不良ノズルを使用せずに再補正を行なうことで色ムラ
ないカラーフィルタを、装置の稼働率を低下させること
無く高歩留まりで製造することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】カラーフィルタの製造装置の一実施形態の構成
を示す概略図である。

【図２】カラーフィルタの製造装置の動作を制御する制
御部の構成を示す図である。

【図３】カラーフィルタの製造装置に使用されるインク
ジェットヘッドの構造を示す図である。

【図４】カラーフィルターの着色に使用するインクジェ
ットヘッドの模式図である。

【図５】カラーフィルターの製造工程の一例を示す図で
ある。

【図６】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成の一例を示す断面図である。

【図７】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成の他の例を示す断面図であ
る。

【図８】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成のさらに他の例を示す断面図
である。

【図９】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示し
た図である。

【図１０】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示
した図である。

【図１１】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示
した図である。

【図１２】カラーフィルターの着色画素とインクジェッ
トヘッドのノズルとの関係を示す模式図である。

【図１３】ノズルずらしでの着色の状態を模式的に示し
た図である。

【図１４】カラーフィルターの着色時の着色領域を示す
模式図である。

【図１５】カラーフィルターの色ムラを検査する検査装
置の模式図である。

【図１６】図１５に示す検査装置を用いて検査する際の
検査領域の概略を示す図である。

【図１７】カラーフィルターの画素番号およびインクジ
ェットヘッドのノズル番号の関係の一例を示す模式図で
ある。

【図１８】不良ノズルを特定し再度着色するまでの処理
の流れを示す図である。

【図１９】インクジェットヘッドの吐出量を測定する測
定装置の模式図である。

【図２０】カラーフィルターの画素番号およびインクジ
ェットヘッドのノズル番号の関係を示す模式図である。

【符号の説明】

１基板２ブラックマトリクス３インク受容層４フォトマスク５撥インク部６未露光部７インクジェットヘッド７ａＲ着色インクジェットヘッド７ｂＧ着色インクジェットヘッド７ｃＢ着色インクジェットヘッド８，８ａ〜８ｄインク９ａ〜９ｄインク着色部１０カラーフィルタ１１保護層２１光源２２光ファイバケーブル２３基板ステージ２４対物レンズ２５ＣＣＤカメラ２６画像処理装置２７制御用パソコン３０検査領域３１画像処理装置３２制御および吐出量算出パソコン３３ラインセンサカメラ３４基板ステージ３５ラインパターン描画済み基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2C056 EB27 EB29 EB40 EB42 FB01 FB08 2H048 BA02 BA11 BA45 BA55 BA64 BB02 BB22 2H091 FA02Y FA08X FA08Z FA41Z FC02 FC12 FC30 LA15 LA30

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光透過性の基板上にインクジェットヘッ
ドによりインクを吐出して、前記基板上に複数の着色画
素を形成するためのカラーフィルタの製造方法であっ
て、前記カラーフィルタの着色後の欠陥画素を検出する検出
工程と、該検出工程で検出された欠陥画素位置と前記インクジェ
ットヘッドのノズル情報とから、吐出不良ノズルを特定
する特定工程と、該特定工程で特定された吐出不良ノズルを使用せずに前
記基板を着色する着色工程とを具備することを特徴とす
るカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】前記特定工程において、ＮＧノズル番
号：吐出不良ノズル番号、ＮＧ画素：欠陥画素番号の最
大番号、使用ノズル数：着色に使用するノズル数、スキ
ャン番号：カラーフィルタを分割して着色する時、何ス
キャン目かを示す数、ノズル間隔：何ノズルおきにノズ
ルを吐出しているか、先頭ノズル番号：使用ノズルでの
先頭ノズル番号としたとき、ＮＧノズル番号＝（ＮＧ画素−使用ノズル数×（スキャ
ン番号−１）−１）×ノズル間隔＋先頭ノズル番号で表わされる計算式により不良ノズルを特定することを
特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方
法。
【請求項３】前記検出工程において、着色画素の濃度
差により欠陥画素を検出することを特徴とする請求項１
に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】前記検出工程において欠陥画素の検出を
カラーフィルタの一部の領域に限定して行なうことを特
徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】光透過性の基板上にインクジェットヘッ
ドによりインクを吐出して、前記基板上に複数の着色画
素を形成して製造されたカラーフィルタであって、前記カラーフィルタの着色後の欠陥画素を検出する検出
工程と、該検出工程で検出された欠陥画素位置と前記イ
ンクジェットヘッドのノズル情報とから、吐出不良ノズ
ルを特定する特定工程と、該特定工程で特定された吐出
不良ノズルを使用せずに前記基板を着色する着色工程と
を経て製造されたことを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項６】光透過性の基板上にインクジェットヘッ
ドによりインクを吐出して、前記基板上に複数の着色画
素を形成して製造されたカラーフィルタを備える表示装
置であって、前記カラーフィルタの着色後の欠陥画素を検出する検出
工程と、該検出工程で検出された欠陥画素位置と前記イ
ンクジェットヘッドのノズル情報とから、吐出不良ノズ
ルを特定する特定工程と、該特定工程で特定された吐出
不良ノズルを使用せずに前記基板を着色する着色工程と
を経て製造されたカラーフィルタと、光量を変更可能とする光量変更手段とを一体に備えるこ
とを特徴とする表示装置。
【請求項７】光透過性の基板上にインクジェットヘッ
ドによりインクを吐出して、前記基板上に複数の着色画
素を形成して製造されたカラーフィルタを有する表示装
置を備えた装置であって、前記カラーフィルタの着色後の欠陥画素を検出する検出
工程と、該検出工程で検出された欠陥画素位置と前記イ
ンクジェットヘッドのノズル情報とから、吐出不良ノズ
ルを特定する特定工程と、該特定工程で特定された吐出
不良ノズルを使用せずに前記基板を着色する着色工程と
を経て製造されたカラーフィルタと、光量を変更可能と
する光量変更手段とを一体に備える表示装置と、該表示装置に画像信号を供給する画像信号供給手段とを
具備することを特徴とする表示装置を備えた装置。