JP2000277770A - Surface protection sheet for solar cell module and solar cell module using the same - Google Patents
Surface protection sheet for solar cell module and solar cell module using the sameInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−
ト層として、フッ素系樹脂を使用するも、水分、酸素等
の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、更に、耐光
性、耐熱性、耐水性等の諸堅牢性についても、その長期
的な性能劣化を最小限に抑え、保護能力性に優れ、更
に、防汚性等に優れ、より低コストで安全な太陽電池モ
ジュ−ルを構成する表面保護シ−トを安定的に提供する
ことである。
【解決手段】 フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする
樹脂組成物による塗布膜と、無機酸化物の蒸着薄膜を設
け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、金属アルコ
キシド化合物および/またはその加水分解物をビヒクル
の主成分とする組成物によるコ−ティング膜を設けた樹
脂フィルムとを積層したことを特徴とする太陽電池モジ
ュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池
モジュ−ルに関するものである。
(57) [Summary] PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface protection sheet constituting a solar cell module.
Even if a fluorine-based resin is used as the layer, the moisture-proof property to prevent the invasion of moisture, oxygen, etc. is remarkably improved, and furthermore, the light fastness, heat resistance, water fastness, etc. By minimizing performance degradation, providing excellent protection ability, and also providing excellent antifouling properties, etc., and stably providing a low-cost and safe surface protection sheet constituting a solar cell module. is there. SOLUTION: A coating film made of a resin composition containing a fluorine-based resin as a main component of a vehicle and a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide are provided, and a metal alkoxide compound and / or A surface protection sheet for a solar cell module characterized by laminating a resin film provided with a coating film of a composition containing the hydrolyzate as a main component of a vehicle, and a solar cell using the same It concerns the module.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルに関し、更に詳しくは、耐光性、耐熱性、耐水
性、防湿性、防汚性等に優れ、極めて保護能力が高い太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用し
た太陽電池モジュ−ルに関するものである。The present invention relates to a solar cell module.
More specifically, the present invention relates to a surface protection sheet for solar cells and a solar cell module using the same, and more specifically, a solar cell module excellent in light resistance, heat resistance, water resistance, moisture resistance, stain resistance, etc. and having extremely high protection ability. And a solar cell module using the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、環境問題に対する意識の高まりか
ら、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目さ
れ、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開
発され、提案されている。而して、上記の太陽電池モジ
ュ−ルとしては、通常、表面保護シ−ト層、充填剤層、
光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、およ
び、裏面保護シ−ト層等の順に積層し、真空吸引して加
熱圧着するラミネ−ション法等を利用して製造されてい
る。そして、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する表面
保護シ−ト層としては、現在、ガラス板等が、最も一般
的に使用され、その他、近年、フッ素系樹脂シ−ト等の
樹脂シ−トも、注目され、その開発が、急速に進められ
ている。2. Description of the Related Art In recent years, attention has been paid to solar cells as a clean energy source due to increasing awareness of environmental issues. At present, solar cell modules of various forms have been developed and proposed. . Thus, the above-mentioned solar cell module usually includes a surface protection sheet layer, a filler layer,
It is manufactured by laminating a solar cell element as a photovoltaic element, a filler layer, a backside protective sheet layer, and the like in that order, vacuum-sucking and heat-compressing, for example, using a lamination method. At present, a glass plate or the like is most commonly used as a surface protection sheet layer constituting the above-mentioned solar cell module, and recently, a resin sheet such as a fluorine-based resin sheet has been used. Is also attracting attention, and its development is proceeding rapidly.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、太陽電池
は、太陽光を吸収して光起電力することから、一般に、
太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として
は、太陽光が入射し、これを透過し、吸収する透過、吸
収性に富むと共に耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅牢性
に優れ、かつ、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に
優れ、更に、表面硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ
等の蓄積を防止し、その保護能力性が高いこと、その他
等の条件が挙げられるものである。しかしながら、太陽
電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として、現
在、最も一般的に使用されているガラス板等は、太陽光
の透過、吸収性に優れ、かつ、耐光性、耐熱性、耐水性
等の諸堅牢性に優れ、また、防湿性にも優れ、更に、表
面硬度が硬く、その保護能力性が高い等の利点を有する
が、可塑性、耐衝撃性、軽量化等に欠け、更に、その加
工性、施工性等に劣り、かつ、低コスト化等に欠けると
いう問題点がある。また、上記の太陽電池モジュ−ルを
構成する表面保護シ−ト層として、フッ素系樹脂等の樹
脂シ−トを使用する場合には、ガラス板等と比較して、
可塑性、耐衝撃性、軽量化、低コスト化等に富むもので
はあるが、耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅牢性に劣
り、特に、防湿性等に欠けるという問題点がある。更
に、上記のフッ素系樹脂シ−トを使用する場合には、そ
の表面にゴミ等が蓄積し、表面が汚染するという問題点
もある。そこで本発明は、太陽電池モジュ−ルを構成す
る表面保護シ−ト層として、フッ素系樹脂を使用する
も、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上
させ、更に、耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅牢性につ
いても、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、保護能
力性に優れ、更に、防汚性等に優れ、より低コストで安
全な太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−トを安
定的に提供することである。By the way, a solar cell generally absorbs sunlight and generates photovoltaic power.
As the surface protection sheet layer constituting the solar cell module, sunlight is incident, transmits and absorbs the sunlight, and is rich in transmission and absorptivity, and also has various robustness such as light resistance, heat resistance, water resistance and the like. It has excellent moisture resistance to prevent moisture and oxygen from entering, and has high surface hardness and prevents accumulation of dirt and dust on the surface, and has high protection ability. The conditions are as follows. However, a glass plate or the like which is currently most commonly used as a surface protection sheet layer constituting a solar cell module is excellent in sunlight transmission and absorption, light resistance and heat resistance. It has the advantages of excellent water-resistance and other robustness, and also has excellent moisture-proof properties, and has the advantage of having a high surface hardness and a high protective ability, but lacks plasticity, impact resistance, weight reduction, etc. Further, there is a problem that the workability, the workability and the like are inferior, and the cost is not reduced. When a resin sheet such as a fluororesin is used as the surface protection sheet layer constituting the solar cell module, compared with a glass plate or the like,
Although it is rich in plasticity, impact resistance, weight reduction, cost reduction, etc., it is inferior in various fastnesses such as light resistance, heat resistance, water resistance and the like, and in particular, lacks moisture resistance. Further, when the above-mentioned fluorine-based resin sheet is used, there is a problem that dust and the like accumulate on the surface and the surface is contaminated. Therefore, the present invention uses a fluorine-based resin as a surface protection sheet layer constituting a solar cell module, but significantly improves moisture-proof properties for preventing intrusion of moisture, oxygen, and the like, and further improves light resistance, With respect to the robustness such as heat resistance and water resistance, the long-term performance degradation is minimized, the protection performance is excellent, the antifouling property is excellent, and the solar cell module is safer at lower cost. The object is to stably provide a surface protection sheet constituting the shell.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記のよう
な太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層につ
いての問題点を解決すべく種々研究の結果、太陽電池モ
ジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として使用されて
いるガラス板の特性、および、フッ素系樹脂に着目し、
まず、樹脂フィルムの片面に、酸化珪素、あるいは、酸
化アルミニウム等の透明な、ガラス質からなる無機酸化
物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の
上に、金属アルコキシド化合物および/またはその加水
分解物をビヒクルの主成分とする組成物によるコ−ティ
ング膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜とコ−テ
ィング膜とを設けた樹脂フィルムのいずれか一方の面
に、フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする樹脂組成物
による塗布膜を積層して太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トを製造し、これを表面保護シ−ト層とし、その一
方の面を内側にし、充填剤層、光起電力素子としての太
陽電池素子、充填剤層、および、裏面保護シ−ト層等を
順次に積層し、次いで、これらを一体的に真空吸引して
加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して太陽電池モ
ジュ−ルを製造したところ、水分、酸素等の侵入を防止
する防湿性を著しく向上させ、更に、耐光性、耐熱性、
耐水性等の諸堅牢性についても、その長期的な性能劣化
を最小限に抑え、保護能力性に優れ、更に、防汚性等に
優れ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルを
製造し得ることを見出して本発明を完成したものであ
る。The inventor of the present invention has conducted various studies to solve the problems with respect to the surface protective sheet layer constituting the solar cell module as described above. Focusing on the properties of the glass plate used as the surface protection sheet layer constituting and the fluororesin,
First, on one side of a resin film, a silicon oxide, or a transparent, glassy inorganic oxide vapor-deposited thin film such as aluminum oxide is provided, and further, on the vapor-deposited inorganic oxide thin film, a metal alkoxide compound and And / or a coating film made of a composition containing a hydrolyzate thereof as a main component of a vehicle, and further provided on one surface of a resin film provided with a vapor-deposited thin film of the inorganic oxide and a coating film. A surface protection sheet for a solar cell module is manufactured by laminating a coating film of a resin composition containing a fluororesin as a main component of a vehicle, and this is used as a surface protection sheet layer. , A filler layer, a solar cell element as a photovoltaic element, a filler layer, a backside protection sheet layer, and the like are sequentially laminated, and then these are integrally vacuum-evacuated and heat-pressed. Lamine Solar cell module using the Deployment method - was produced Le, water, greatly improves the moisture resistance for preventing intrusion of oxygen or the like, light resistance, heat resistance,
With regard to the robustness such as water resistance, the long-term performance degradation is minimized, the protection ability is excellent, the antifouling property is excellent, and the surface for solar cell modules is safer at lower cost. The inventors have found that a protection sheet and a solar cell module using the same can be manufactured, and completed the present invention.
【0005】すなわち、本発明は、フッ素系樹脂をビヒ
クルの主成分とする樹脂組成物による塗布膜と、無機酸
化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜
の上に、金属アルコキシド化合物および/またはその加
水分解物をビヒクルの主成分とする組成物によるコ−テ
ィング膜を設けた樹脂フィルムとを積層したことを特徴
とする太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれ
を使用した太陽電池モジュ−ルに関するものである。That is, the present invention provides a coating film made of a resin composition containing a fluorine-based resin as a main component of a vehicle, and a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide. A surface protection sheet for a solar cell module, characterized by laminating a resin film provided with a coating film of a composition containing an alkoxide compound and / or a hydrolyzate thereof as a main component of a vehicle, and the same. The present invention relates to a solar cell module using the same.
【0006】[0006]
【発明の実施の形態】上記の本発明について以下に図面
等を用いて更に詳しく説明する。本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用した太
陽電池モジュ−ルについてその層構成を図面等を用いて
更に具体的に説明すると、図1、図2および図3は、本
発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの層
構成についてその二三例を例示する概略的断面図であ
り、図4は、図1に示す本発明にかかる太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジ
ュ−ルの層構成についてその一例を例示する概略的断面
図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The above-mentioned present invention will be described below in more detail with reference to the drawings and the like. The layer structure of the surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention and the solar cell module using the same will be described more specifically with reference to the drawings and the like. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating a few examples of the layer configuration of the surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention. FIG. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a layer configuration of a solar cell module manufactured using a surface protection sheet for a solar cell.
【0007】まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トAは、図1に示すように、フッ素系樹
脂をビヒクルの主成分とする樹脂組成物による塗布膜1
と、その片面に、無機酸化物の蒸着薄膜2を設け、更
に、該無機酸化物の蒸着薄膜2の上に、金属アルコキシ
ド化合物および/またはその加水分解物をビヒクルの主
成分とする組成物によるコ−ティング膜3を設けた樹脂
フィルム4とを積層した構成からなることを基本構造と
するものである。而して、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ル用表面保護シ−トについて、別の例を例示する
と、図2に示すように、フッ素系樹脂をビヒクルの主成
分とする樹脂組成物による塗布膜1と、その片面に、無
機酸化物の蒸着薄膜2、2を少なくとも2層以上設けた
多層膜5を構成し、更に、該多層膜5を構成する無機酸
化物の蒸着薄膜2の上に、金属アルコキシド化合物およ
び/またはその加水分解物をビヒクルの主成分とする組
成物によるコ−ティング膜3を設けた樹脂フィルム4を
積層した構成からなる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ
−トA1 を挙げることができる。更に、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トについて、他の例
を例示すると、図3に示すように、フッ素系樹脂をビヒ
クルの主成分とする樹脂組成物による塗布膜1と、その
片面に、まず、化学気相成長法による無機酸化物の蒸着
薄膜2aを設け、次いで、該無機酸化物の蒸着薄膜2a
の上に、物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜2
bを設けて無機酸化物の蒸着薄膜2a、2bからなる2
層以上の多層膜5aを構成し、更に、該多層膜5aを構
成する無機酸化物の蒸着薄膜2bの上に、金属アルコキ
シド化合物および/またはその加水分解物をビヒクルの
主成分とする組成物によるコ−ティング膜3を設けた樹
脂フィルム4を積層した構成からなる太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−トA2 を挙げることができる。上記に
おいて、フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする樹脂組
成物による塗布膜1と、無機酸化物野蒸着薄膜2および
コ−ティング膜3とを設けた樹脂フィルム4とを積層す
るに際しては、無機酸化物の蒸着薄膜2とコ−ティング
膜3とを設けた樹脂フィルム4の樹脂フィルム4の面、
あるいは、コ−ティング膜3の面等のいずれかの面に、
フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする樹脂組成物によ
る塗布膜1を形成して積層してもよいものである。First, as shown in FIG. 1, a surface protection sheet A for a solar cell module according to the present invention comprises a coating film 1 made of a resin composition containing a fluorine-based resin as a main component of a vehicle.
A vapor-deposited thin film 2 of inorganic oxide is provided on one side thereof, and a metal alkoxide compound and / or a hydrolyzate thereof is used as a main component of a vehicle on the vapor-deposited thin film 2 of inorganic oxide. The basic structure is that the resin film 4 provided with the coating film 3 is laminated. As another example of the surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention, as shown in FIG. 2, coating with a resin composition containing a fluorine-based resin as a main component of a vehicle, as shown in FIG. A multilayer film 5 comprising at least two layers of a film 1 and an inorganic oxide vapor-deposited thin film 2 on one surface thereof, and furthermore, an inorganic oxide vapor-deposited thin film 2 constituting the multilayer film 5 Surface protection sheet A for a solar cell module having a structure in which a resin film 4 provided with a coating film 3 of a composition containing a metal alkoxide compound and / or a hydrolyzate thereof as a main component of a vehicle is laminated. One can be mentioned. Further, as another example of the surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention, as shown in FIG. 3, as shown in FIG. 3, a coating film 1 made of a resin composition containing a fluorine-based resin as a main component of a vehicle. On one side thereof, first, a vapor-deposited thin film 2a of inorganic oxide is provided by chemical vapor deposition, and then a vapor-deposited thin film 2a of the inorganic oxide is formed.
On top of this, a deposited thin film of inorganic oxide by physical vapor deposition 2
b to form an inorganic oxide vapor-deposited thin film 2a, 2b
A multilayer film 5a having at least two layers is formed, and a metal alkoxide compound and / or a hydrolyzate thereof is used as a main component of a vehicle on a vapor-deposited inorganic oxide thin film 2b constituting the multilayer film 5a. A solar cell module having a configuration in which resin films 4 provided with a coating film 3 are laminated.
Le for surface protective sheet - can be exemplified bets A 2. In the above, when laminating the coating film 1 made of a resin composition containing a fluorine-based resin as a main component of the vehicle and the resin film 4 provided with the inorganic oxide deposited thin film 2 and the coating film 3, A surface of the resin film 4 of the resin film 4 provided with the oxide thin film 2 and the coating film 3;
Alternatively, on any surface such as the surface of the coating film 3,
The coating film 1 made of a resin composition containing a fluorine-based resin as a main component of the vehicle may be formed and laminated.
【0008】次に、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを使用して製
造した太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示する
と、上記の図1に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−トAを使用した例で説明すると、図4
に示すように、上記の図1に示す本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−トAに、その一方の面を内
側にし、順次に、充填剤層11、光起電力素子としての
太陽電池素子12、充填剤層13、および、裏面保護シ
−ト層14等を積層し、次いで、これらを一体として、
真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等の通常の
成形法を利用し、上記の各層を一体成形体として太陽電
池モジュ−ルTを製造することができる。上記の例示
は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トおよびそれを使用して製造した太陽電池モジュ−ルに
ついてその一例を例示するものであり、本発明はこれに
より限定されるものではない。例えば、図示しないが、
上記の太陽電池モジュ−ルにおいては、太陽光の透過
性、吸収性、補強、その他等の目的のもとに、更に、他
の層を任意に加えて積層することができるものである。Next, in the present invention, an example of a solar cell module manufactured by using the above-mentioned surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention is illustrated in FIG. The solar cell module according to the present invention shown
FIG. 4 shows an example in which a surface protection sheet A for a tool is used.
As shown in FIG. 1, the surface protection sheet A for a solar cell module according to the present invention shown in FIG. 1 has one surface on the inside, and the filler layer 11 and the photovoltaic element are sequentially formed. The solar cell element 12, the filler layer 13, and the backside protective sheet layer 14 are laminated, and then these are integrated into one.
The solar cell module T can be manufactured by using a normal molding method such as a lamination method in which vacuum suction is applied and heat-compression bonding is performed, and the above layers are integrally formed. The above example is a surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention.
The present invention is not limited to these examples, and illustrates an example of a solar cell module manufactured using the same. For example, although not shown,
In the above-mentioned solar cell module, other layers can be optionally added and laminated for the purpose of transmitting, absorbing, reinforcing, etc. sunlight.
【0009】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用し
た太陽電池モジュ−ルを構成する材料、製造法等につい
て更に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成するフッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする樹脂
組成物による塗布膜としては、フッ素系樹脂の1種ない
し2種以上をビヒクルの主成分とし、これに、要すれ
ば、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収
剤、光安定剤、充填剤、補強剤、強化剤、帯電防止剤、
難燃剤、耐炎剤、防カビ剤、着色剤、その他等の添加剤
の1種ないし2種以上を太陽光の透過に影響しない範囲
内で任意に添加し、更に、溶剤、希釈剤等で十分に混練
し、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマルジョン
型等の樹脂組成物を調整し、次いで、該樹脂組成物を、
例えば、フロ−ティングナイフコ−ト、ナイフオ−バ−
ロ−ルコ−ト、インバ−ティドナイフコ−ト、スクイ−
ズロ−ルコ−ト、ロバ−スロ−ルコ−ト、ロ−ルコ−
ト、グラビアロ−ルコ−ト、キスロ−ルコ−ト、エア−
ブレ−ドコ−ト、エクストル−ジョンコ−ト、カ−テン
フロ−コ−ト、その他等のコ−ティング法、あるいは、
グラビア印刷、オフセット印刷、シルクスクリ−ン印
刷、転写印刷、その他等の印刷法を用いて、前述の無機
酸化物の蒸着薄膜とコ−ティング膜とを設けた樹脂フィ
ルムのコ−ティング膜の面、または、樹脂フィルムの面
のいずれかの面に、塗布ないし印刷することにより塗布
膜を形成して、積層することができる。上記において、
塗布膜の膜厚としては、1〜75g/m2 (乾燥状態)
位、好ましくは、10〜50g/m2 位が望ましい。Next, in the present invention, the surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention and the material constituting the solar cell module using the same, the manufacturing method, and the like will be described in more detail. The coating film made of a resin composition containing a fluorine-based resin as a main component of a vehicle and constituting a surface protection sheet for a solar cell module, a solar cell module, and the like according to the present invention may be a fluororesin. Seed or two or more as main components of the vehicle, if necessary, for example, a lubricant, a crosslinking agent, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, a filler, a reinforcing agent, a reinforcing agent, an antistatic agent ,
One or more additives such as a flame retardant, a flame retardant, a fungicide, a colorant, etc. are arbitrarily added within a range that does not affect the transmission of sunlight, and a solvent, a diluent, etc. are sufficient. Kneading to, for example, a solvent type, aqueous type, or, to prepare a resin composition such as an emulsion type, and then, the resin composition,
For example, floating knife coat, knife over
Roll coat, inverted knife coat, squeeze
Roll coat, roll roll coat, roll coat
G, gravure roll coat, kis roll coat, air
A coating method such as blade coating, extrusion coating, curtain coating, etc., or
Using a printing method such as gravure printing, offset printing, silk screen printing, transfer printing, etc., the surface of the coating film of the resin film provided with the above-mentioned vapor-deposited inorganic oxide thin film and coating film. Alternatively, a coating film can be formed on any surface of the resin film by coating or printing to form a laminate. In the above,
The thickness of the coating film is 1 to 75 g / m 2 (dry state)
And preferably in the order of 10 to 50 g / m 2 .
【0010】また、上記において、フッ素系樹脂として
は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTF
E)、テトラフルオロエチレンとペルフルオロアルキル
ビニルエ−テルとの共重合体からなるペルフルオロアル
コキシ樹脂(PFA)、テトラフルオロエチレンとヘキ
サフルオロプロピレンコポリマ−(FEP)、テトラフ
ルオロエチレンとペルフルオロアルキルビニルエ−テル
とヘキサフルオロプロピレンコポリマ−(EPE)、テ
トラフルオロエチレンとエチレンまたはプロピレンとの
コポリマ−(ETFE)、ポリクロロトリフルオロエチ
レン樹脂(PCTFE)、エチレンとクロロトリフルオ
ロエチレンとのコポリマ−(ECTFE)、フッ化ビニ
リデン系樹脂(PVDF)、フッ化ビニル系樹脂(PV
F)、または、商品名、CYTOP(登録商標)あるい
は商品名、ルミフロン(登録商標)からなる透明フッ素
樹脂(両方とも旭硝子株式会社製)等からなるフッ素系
樹脂の1種ないし2種以上を使用することができる。な
お、本発明において、上記のフッ素系樹脂としては、可
視光線透過率が90%以上、好ましくは、93%以上で
あって、入射する太陽光を全て透過し、これを吸収する
性質を有することが望ましいものである。また、本発明
において、上記のフッ素系樹脂のなかでも、特に、フッ
化ビニル系樹脂(PVF)、テトラフルオロエチレンと
エチレンまたはプロピレンとのコポリマ−(ETF
E)、商品名、CYTOP(サイトップ、登録商標)、
または、商品名、ルミフロン(登録商標)からなる透明
フッ素樹脂が、透明性を有し、太陽光の透過性等の観点
から好ましいものである。而して、本発明において、上
記のようなフッ素系樹脂を使用することにより、これが
有する優れた特性、特に、機械的特性、化学的特性、光
学的特性等、更には、耐光性、耐熱性、耐水性、その他
等の超耐候性、耐久性、耐汚染性、耐薬品性等の諸特性
を利用して、太陽電池を構成する表面保護シ−トとする
ものであり、これにより、従来のガラス板等と同等の光
学的特性、耐候性、耐久性等を有し、また、そのフレキ
シブル性や機械的特性等がらガラス板等よりも軽く、か
つ、加工性等に優れ、そのハンドリングし易さ等の利点
を有するものである。In the above, as the fluororesin, for example, polytetrafluoroethylene (PTF)
E), perfluoroalkoxy resin (PFA) comprising a copolymer of tetrafluoroethylene and perfluoroalkylvinyl ether, tetrafluoroethylene and hexafluoropropylene copolymer (FEP), tetrafluoroethylene and perfluoroalkylvinyl ether And hexafluoropropylene copolymer (EPE); copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene or propylene (ETFE); polychlorotrifluoroethylene resin (PCTFE); copolymer of ethylene and chlorotrifluoroethylene (ECTFE); Vinylidene fluoride resin (PVDF), vinyl fluoride resin (PV
F) or one or more kinds of fluororesins made of transparent fluororesin made of trade name, CYTOP (registered trademark) or trade name, Lumiflon (registered trademark) (both made by Asahi Glass Co., Ltd.), etc. can do. In the present invention, the fluororesin has a property of transmitting visible light of 90% or more, preferably 93% or more, and transmitting and absorbing all the incident sunlight. Is desirable. In the present invention, among the above-mentioned fluorine-based resins, particularly, a vinyl fluoride-based resin (PVF), a copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene or propylene (ETF).
E), trade name, CYTOP (Cytop, registered trademark),
Alternatively, a transparent fluororesin made of a trade name, Lumiflon (registered trademark) has transparency and is preferable from the viewpoint of sunlight permeability and the like. Thus, in the present invention, by using the above-mentioned fluororesin, the excellent properties of the fluororesin, particularly, mechanical properties, chemical properties, optical properties, etc., furthermore, light resistance, heat resistance Utilizing various properties such as super weather resistance, durability, contamination resistance, chemical resistance, etc., such as water resistance, water resistance, etc., a surface protection sheet constituting a solar cell is obtained. It has the same optical properties, weather resistance, durability, etc. as glass plates, etc., and is lighter than glass plates, etc. due to its flexibility and mechanical characteristics, and has excellent workability, etc. It has advantages such as easiness.
【0011】ところで、上記のフッ素系樹脂をビヒクル
の主成分とする樹脂組成物においては、種々の添加剤を
添加し得るが、そられの中でも、特に、紫外線吸収剤お
よび/または酸化防止剤を添加し、含ませることが好ま
しいものである。上記の紫外線吸収剤としては、例え
ば、太陽光中の有害な紫外線を吸収し、分子内で無害な
熱エネルギ−へと変換し、高分子中の光劣化開始の活性
種が励起されるのを防止するものであり、具体的には、
ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−
ト系、アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−ドア
ミン系、超微粒子酸化チタン(粒径、0.01〜0.0
6μm)あるいは超微粒子酸化亜鉛(粒径、0.01〜
0.04μm)等の無機系等の紫外線吸収剤の1種ない
しそれ以上を使用することができる。また、上記におい
て、酸化防止剤としては、例えば、高分子の光劣化ある
いは熱劣化等を防止するものであり、具体的には、フェ
ノ−ル系、アミン系、硫黄系、りん酸系、その他等の公
知の酸化防止剤の1種ないしそれ以上を使用することが
できる。上記の紫外線吸収剤および/または酸化防止剤
の添加量としては、太陽光の透過に影響しない程度の
0.1〜10重量部位が好ましい。By the way, various additives may be added to the resin composition containing the above-mentioned fluororesin as a main component of the vehicle, and among them, particularly, an ultraviolet absorber and / or an antioxidant may be used. It is preferable to add and include them. As the above-mentioned ultraviolet absorber, for example, it absorbs harmful ultraviolet rays in sunlight, converts it into harmless heat energy in the molecule, and excites the active species that initiates photodegradation in the polymer. And specifically,
Benzophenone type, benzotriazole type, saltile
Type, acrylonitrile type, metal complex type, hindered amine type, ultrafine titanium oxide (particle size, 0.01 to 0.0
6 μm) or ultrafine zinc oxide (particle size, 0.01 to
One or more inorganic UV absorbers such as 0.04 μm) can be used. In the above description, the antioxidant is, for example, one that prevents photodeterioration or thermal deterioration of the polymer, and specifically, includes phenol-based, amine-based, sulfur-based, phosphoric-acid-based, and others. And the like. One or more known antioxidants can be used. The amount of the ultraviolet absorber and / or antioxidant to be added is preferably 0.1 to 10 parts by weight which does not affect the transmission of sunlight.
【0012】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜について説明する
と、かかる無機酸化物の蒸着薄膜としては、例えば、物
理気相成長法、または、化学気相成長法、あるいは、そ
の両者を併用して、無機酸化物の蒸着薄膜の1層あるい
は2層以上の多層膜を形成して、製造することができる
ものである。上記の物理気相成長法による無機酸化物の
蒸着薄膜について更に詳しく説明すると、かかる物理気
相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜としては、例え
ば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティ
ング法等の物理気相成長法(Physical Vap
or Deposition法、PVD法)を用いて無
機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。本発明に
おいて、具体的には、金属の酸化物を原料とし、これを
加熱して樹脂フィルムの上に蒸着する真空蒸着法、また
は、原料として金属または金属の酸化物を使用し、酸素
を導入して酸化させて樹脂フィルムの上に蒸着する酸化
反応蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズ
マ助成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成する
ことができる。本発明において、物理気相成長法による
無機酸化物の薄膜薄膜を形成する方法について、その具
体例を挙げると、図5は、巻き取り式真空蒸着装置の一
例を示す概略的構成図である。図5に示すように、巻き
取り式真空蒸着装置21の真空チャンバ−22の中で、
巻き出しロ−ル23から繰り出す樹脂フィルム4は、ガ
イドロ−ル24、25を介して、冷却したコ−ティング
ドラム26に案内される。而して、上記の冷却したコ−
ティングドラム26上に案内された樹脂フィルム4の上
に、るつぼ27で熱せられた蒸着源28、例えば、金属
アルミニウム、あるいは、酸化アルミニウム等を蒸発さ
せ、更に、必要ならば、酸素ガス吹出口29より酸素ガ
ス等を噴出し、これを供給しながら、マスク30、30
を介して、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の
蒸着薄膜を成膜化し、次いで、上記において、例えば、
酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成した
樹脂フィルム4を、ガイドロ−ル25′、24′を介し
て送り出し、巻き取りロ−ル31に巻き取ることによっ
て、本発明にかかる物理気相成長法による無機酸化物の
蒸着薄膜を形成することができる。なお、本発明におい
ては、上記のような無機酸化物の蒸着薄膜の形成法を2
回以上繰り返すか、あるいは、上記のような真空蒸着装
置を2連以上接続し、2層以上重層して2層あるいはそ
れ以上からなる無機酸化物の蒸着薄膜を形成することが
できる。また、本発明においては、使用する金属、また
は金属の酸化物としては、1種または2種以上の混合物
で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物の薄膜を構
成することもできる。Next, in the present invention, a surface protection sheet for a solar cell module and a solar cell module according to the present invention.
When the vapor-deposited thin film of the inorganic oxide constituting the metal or the like is described, as the vapor-deposited thin film of the inorganic oxide, for example, a physical vapor deposition method, or a chemical vapor deposition method, or a combination thereof, It can be manufactured by forming one or two or more multilayer films of a deposited thin film of an inorganic oxide. The inorganic oxide vapor-deposited thin film formed by the above-mentioned physical vapor deposition method will be described in further detail. Examples of the inorganic oxide vapor-deposited thin film formed by the physical vapor deposition method include a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, and an ion plating method. Physical Vap (Physical Vap)
or Deposition method, PVD method) to form a deposited thin film of inorganic oxide. In the present invention, specifically, a metal oxide is used as a raw material, and a vacuum evaporation method in which the metal oxide is heated and vapor-deposited on a resin film, or a metal or a metal oxide is used as a raw material, and oxygen is introduced. Then, the deposited film can be formed by an oxidation reaction deposition method of depositing on the resin film by oxidizing the film, and further, a plasma-assisted oxidation reaction deposition method of promoting the oxidation reaction by plasma. In the present invention, a specific example of a method of forming a thin film of an inorganic oxide by a physical vapor deposition method is shown in FIG. 5. FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing an example of a roll-up type vacuum evaporation apparatus. As shown in FIG. 5, in a vacuum chamber 22 of a take-up type vacuum evaporation apparatus 21,
The resin film 4 unwound from the unwinding roll 23 is guided to a cooled coating drum 26 via guide rolls 24 and 25. Thus, the above cooled core
An evaporation source 28 heated by a crucible 27, for example, metal aluminum or aluminum oxide, is evaporated on the resin film 4 guided on the singing drum 26, and further, if necessary, an oxygen gas outlet 29. Oxygen gas or the like is jetted out, and the masks 30 and 30 are supplied while supplying the gas.
Through, for example, to form a deposited thin film of an inorganic oxide such as aluminum oxide, and then, in the above, for example,
The resin film 4 on which a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide such as aluminum oxide is formed is sent out through guide rolls 25 'and 24' and wound up on a take-up roll 31, whereby the physical vapor phase according to the present invention is obtained. A vapor-deposited thin film of an inorganic oxide can be formed by a growth method. In the present invention, the method for forming a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide as described above is based on 2 methods.
It may be repeated twice or more times, or two or more vacuum evaporation apparatuses as described above may be connected, and two or more layers may be stacked to form a two or more inorganic oxide evaporated thin film. In the present invention, as the metal or metal oxide to be used, one kind or a mixture of two or more kinds can be used to form a thin film of an inorganic oxide mixed with different materials.
【0013】上記において、無機酸化物の蒸着薄膜とし
ては、基本的に金属の酸化物を蒸着した薄膜であれば使
用可能であり、例えば、ケイ素(Si)、アルミニウム
(Al)、マグネシウム(Mg)、カルシウム(C
a)、カリウム(K)、スズ(Sn)、ナトリウム(N
a)、ホウ素(B)、チタン(Ti)、鉛(Pb)、ジ
ルコニウム(Zr)、イットリウム(Y)等の金属の酸
化物の蒸着薄膜を使用することができる。而して、好ま
しいものとしては、ケイ素(Si)、アルミニウム(A
l)等の金属の酸化物の蒸着薄膜を挙げることができ
る。而して、上記の金属の酸化物の蒸着薄膜は、ケイ素
酸化物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等の
ように金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、
例えば、SiOX 、AlOX 、MgOX 等のようにMO
X (ただし、式中、Mは、金属元素を表し、Xの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。)で表され
る。また、上記のXの値の範囲としては、ケイ素(S
i)は、0〜2、アルミニウム(Al)は、0〜1.
5、マグネシウム(Mg)は、0〜1、カルシウム(C
a)は、0〜1、カリウム(K)は、0〜0.5、スズ
(Sn)は、0〜2、ナトリウム(Na)は、0〜0.
5、ホウ素(B)は、0〜1、5、チタン(Ti)は、
0〜2、鉛(Pb)は、0〜1、ジルコニウム(Zr)
は0〜2、イットリウム(Y)は、0〜1.5の範囲の
値をとることができる。上記において、X=0の場合、
完全な金属であり、透明ではなく全く使用することがで
きない、また、Xの範囲の上限は、完全に酸化した値で
ある。本発明において、一般的に、ケイ素(Si)、ア
ルミニウム(Al)以外は、使用される例に乏しく、ケ
イ素(Si)は、1.0〜2.0、アルミニウム(A
l)は、0.5〜1.5の範囲の値のものを使用するこ
とができる。本発明において、上記のような無機酸化物
の薄膜の膜厚としては、使用する金属、または金属の酸
化物の種類等によって異なるが、例えば、50〜200
0Å位、好ましくは、100〜1000Å位の範囲内で
任意に選択して形成することが望ましい。In the above, as the thin film of the inorganic oxide, any thin film obtained by basically depositing a metal oxide can be used. For example, silicon (Si), aluminum (Al), magnesium (Mg) , Calcium (C
a), potassium (K), tin (Sn), sodium (N
a) A vapor-deposited thin film of a metal oxide such as boron (B), titanium (Ti), lead (Pb), zirconium (Zr), and yttrium (Y) can be used. Thus, preferred are silicon (Si), aluminum (A
1) and the like. Thus, the vapor-deposited thin film of the above-described metal oxide can be referred to as a metal oxide such as silicon oxide, aluminum oxide, and magnesium oxide.
For example, SiO X, AlO X, as such as MgO X MO
X (wherein, M represents a metal element, and the value of X is
The range differs depending on the metal element. ). The range of the value of X is silicon (S
i) is 0-2, and aluminum (Al) is 0-1.
5. Magnesium (Mg) is 0-1, calcium (C
a) is 0-1, potassium (K) is 0-0.5, tin (Sn) is 0-2, and sodium (Na) is 0-0.
5, boron (B) is 0-1,5, titanium (Ti) is
0-2, lead (Pb): 0-1, zirconium (Zr)
Can have a value in the range of 0 to 2 and yttrium (Y) can have a value in the range of 0 to 1.5. In the above, when X = 0,
It is a perfect metal, is not transparent and cannot be used at all, and the upper end of the range of X is a fully oxidized value. In the present invention, generally, except for silicon (Si) and aluminum (Al), examples used are scarce. Silicon (Si) is 1.0 to 2.0, aluminum (A)
For l), a value in the range of 0.5 to 1.5 can be used. In the present invention, the thickness of the thin film of the inorganic oxide as described above varies depending on the type of the metal or the metal oxide to be used.
It is desirable to arbitrarily select and form it within the range of 0 °, preferably 100 to 1000 °.
【0014】次にまた、本発明において、上記の化学気
相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜について更に説明
すると、かかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着
薄膜としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化
学気相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法
(Chemical Vapor Depositio
n法、CVD法)等を用いて無機酸化物の蒸着薄膜を形
成することができる。本発明においては、具体的には、
樹脂フィルムの一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用
モノマ−ガスを原料とし、キャリヤ−ガスとして、アル
ゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、更
に、酸素供給ガスとして、酸素ガス等を使用し、低温プ
ラズマ発生装置等を利用する低温プラズマ化学気相成長
法(CVD法)を用いて酸化珪素等の無機酸化物の蒸着
薄膜を形成することができる。上記において、低温プラ
ズマ発生装置としては、例えば、高周波プラズマ、パル
ス波プラズマ、マイクロ波プラズマ等の発生装置を使用
することがてき、而して、本発明においては、高活性の
安定したプラズマを得るためには、高周波プラズマ方式
による発生装置を使用することが望ましい。Next, in the present invention, the vapor-deposited thin film of inorganic oxide by the above-mentioned chemical vapor deposition method will be further described. Chemical vapor deposition (Chemical Vapor Deposition) such as vapor phase epitaxy, thermochemical vapor phase epitaxy, and photochemical vapor phase epitaxy
A vapor-deposited thin film of an inorganic oxide can be formed using an n method, a CVD method, or the like. In the present invention, specifically,
On one surface of the resin film, a monomer gas for vapor deposition such as an organic silicon compound is used as a raw material, an inert gas such as an argon gas or a helium gas is used as a carrier gas, and an oxygen gas is used as an oxygen supply gas. By using a low-temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition (CVD) method using a low-temperature plasma generator or the like, a deposited thin film of an inorganic oxide such as silicon oxide can be formed. In the above description, as the low-temperature plasma generator, for example, a generator such as a high-frequency plasma, a pulse wave plasma, or a microwave plasma can be used. Thus, in the present invention, a highly active and stable plasma is obtained. For this purpose, it is desirable to use a generator using a high-frequency plasma method.
【0015】具体的に、上記の低温プラズマ化学気相成
長法による無機酸化物の蒸着薄膜の形成法についてその
一例を例示して説明すると、図6は、上記のプラズマ化
学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜の形成法につ
いてその概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概
略的構成図である。上記の図6に示すように、本発明に
おいては、プラズマ化学気相成長装置41の真空チャン
バ−42内に配置された巻き出しロ−ル43から樹脂フ
ィルム4を繰り出し、更に、該樹脂フィルム1を、補助
ロ−ル44を介して所定の速度で冷却・電極ドラム45
周面上に搬送する。而して、本発明においては、ガス供
給装置46、47および、原料揮発供給装置48等から
酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノ
マ−ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混
合ガス組成物を調整しなから原料供給ノズル49を通し
て真空チャンバ−42内に該蒸着用混合ガス組成物を導
入し、そして、上記の冷却・電極ドラム45周面上に搬
送された樹脂フィルム4の上に、グロ−放電プラズマ5
0によってプラズマを発生させ、これを照射して、酸化
珪素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成し、製膜化する。
本発明においては、その際に、冷却・電極ドラム45
は、チャンバ−外に配置されている電源51から所定の
電力が印加されており、また、冷却・電極ドラム45の
近傍には、マグネット52を配置してプラズマの発生が
促進されており、次いで、上記で酸化珪素等の無機酸化
物の蒸着薄膜を形成した樹脂フィルム4は、補助ロ−ル
53を介して巻き取りロ−ル54に巻き取って、本発明
にかかるプラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸
着薄膜を製造することができるものである。なお、図
中、55は、真空ポンプを表す。なお、本発明において
は、上記のような無機酸化物の蒸着薄膜の形成法を2回
以上繰り返すか、あるいは、上記のような真空蒸着装置
を2連以上接続し、2層以上重層して2層あるいはそれ
以上からなる無機酸化物の蒸着薄膜を形成することがで
きる。また、本発明においては、蒸着用モノマ−ガス等
としては、1種または2種以上の混合物で使用し、異種
の材質で混合した無機酸化物の薄膜を構成することもで
きる。上記の例示は、その一例を例示するものであり、
これによって本発明は限定されるものではないことは言
うまでもないことである。More specifically, an example of a method for forming a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide by the low-temperature plasma enhanced chemical vapor deposition method will be described. FIG. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a low-temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition apparatus showing an outline of a method for forming a vapor-deposited thin film of an oxide. As shown in FIG. 6 described above, in the present invention, the resin film 4 is unwound from an unwinding roll 43 disposed in a vacuum chamber 42 of a plasma enhanced chemical vapor deposition apparatus 41. Is cooled at a predetermined speed through an auxiliary roll 44 at the cooling / electrode drum 45.
Convey on the peripheral surface. Thus, in the present invention, oxygen gas, an inert gas, a monomer gas for vapor deposition such as an organic silicon compound, and the like are supplied from the gas supply devices 46 and 47 and the raw material volatile supply device 48 and the like. While adjusting the mixed gas composition for vapor deposition, the mixed gas composition for vapor deposition was introduced into the vacuum chamber -42 through the raw material supply nozzle 49, and was conveyed onto the peripheral surface of the cooling / electrode drum 45 described above. Glow discharge plasma 5 on resin film 4
A plasma is generated by 0, and this is irradiated to form a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide such as silicon oxide, thereby forming a film.
In the present invention, the cooling / electrode drum 45
A predetermined power is applied from a power supply 51 disposed outside the chamber, and a magnet 52 is disposed near the cooling / electrode drum 45 to promote the generation of plasma. The resin film 4 on which the deposited thin film of the inorganic oxide such as silicon oxide is formed is wound on a winding roll 54 via an auxiliary roll 53, and the plasma chemical vapor deposition method according to the present invention is performed. To produce a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide. In the figure, 55 represents a vacuum pump. In the present invention, the above-described method for forming a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide is repeated two or more times, or two or more vacuum vapor deposition apparatuses are connected and two or more An inorganic oxide vapor-deposited thin film composed of layers or more can be formed. In the present invention, one or a mixture of two or more kinds of monomer gases for vapor deposition may be used to form a thin film of an inorganic oxide mixed with different materials. The above examples illustrate one example thereof,
It goes without saying that the present invention is not limited by this.
【0016】上記において、酸化珪素等の無機酸化物の
蒸着薄膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガスとしては、例えば、1.1.3.3−テトラメチル
ジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリ
メチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチル
ジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチル
シラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシ
ラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシ
シラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラ
ン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシ
シラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他
等を使用することができる。本発明において、上記のよ
うな有機珪素化合物の中でも、1.1.3.3−テトラ
メチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサ
ンを原料として使用することが、その取り扱い性、形成
された蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料であ
る。また、上記において、不活性ガスとしては、例え
ば、アルゴンガス、ヘリウムガス等を使用することがで
きる。In the above, a monomer for vapor deposition of an organic silicon compound or the like forming a vapor deposited thin film of an inorganic oxide such as silicon oxide.
Examples of the gas include 1.1.3.3-tetramethyldisiloxane, hexamethyldisiloxane, vinyltrimethylsilane, methyltrimethylsilane, hexamethyldisilane, methylsilane, dimethylsilane, trimethylsilane, diethylsilane, propylsilane, Phenylsilane, vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, octamethylcyclotetrasiloxane, and the like can be used. In the present invention, among the above-mentioned organosilicon compounds, the use of 1.1.3.3-tetramethyldisiloxane or hexamethyldisiloxane as a raw material is advantageous in terms of handleability and formed deposited film. It is a particularly preferable raw material in view of its properties and the like. In the above, for example, an argon gas, a helium gas, or the like can be used as the inert gas.
【0017】本発明において、上記で形成される酸化珪
素の蒸着薄膜は、有機珪素化合物等のモノマ−ガスと酸
素ガス等とが化学反応し、その反応生成物が樹脂フィル
ムの上に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を形成
することができ、通常、一般式SiOX (ただし、X
は、0〜2の数を表す)で表される酸化珪素を主体とす
る連続状の蒸着薄膜である。而して、上記の酸化珪素の
蒸着薄膜としては、透明性、バリア性等の点から、一般
式SiOX (ただし、Xは、1.3〜1.9の数を表
す。)で表される酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜で
あることが好ましいものである。上記において、Xの値
は、モノマ−ガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネ
ルギ−等により変化するが、一般的に、Xの値が小さく
なればガス透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯
び、透明性が悪くなる。また、上記の酸化珪素の蒸着薄
膜は、珪素(Si)と酸素(O)を必須構成元素として
有し、更に、炭素(C)と水素(H)のいずれが一方、
または、その両者の元素を微量構成元素として含有する
酸化珪素の蒸着膜からなり、かつ、その膜厚が、50Å
〜500Åの範囲であり、更に、上記の必須構成元素と
微量構成元素の構成比率が、膜厚方向において連続的に
変化しているものである。更に、上記の酸化珪素の蒸着
薄膜は、炭素からなる化合物を含有する場合には、その
膜厚の深さ方向において炭素の含有量が減少しているこ
とを特徴とするものである。而して、本発明において、
上記の酸化珪素の蒸着薄膜について、例えば、X線光電
子分光装置(Xray Photoelectron
Spectroscopy、XPS)、二次イオン質量
分析装置(Secondary Ion Mass S
pectroscopy、SIMS)等の表面分析装置
を用い、深さ方向にイオンエッチングする等して分析す
る方法を利用して、酸化珪素の蒸着薄膜の元素分析を行
うことより、上記のような物性を確認することができる
ものである。また、本発明において、上記の酸化珪素の
蒸着薄膜の膜厚としては、膜厚50Å〜2000Å位で
あることが望ましく、具体的には、その膜厚としては、
100〜1000Å位、より好ましくは、100〜50
0Å位が望ましく、而して、上記において、500Å、
更には、1000Å〜2000Åより厚くなると、その
膜にクラック等が発生し易くなるので好ましくなく、ま
た、100Å、更には、50Å未満であると、バリア性
の効果を奏することが困難になることから好ましくない
ものである。上記のおいて、その膜厚は、例えば、株式
会社理学製の蛍光X線分析装置(機種名、RIX200
0型)を用いて、ファンダメンタルパラメ−タ−法で測
定することができる。また、上記において、上記の酸化
珪素の蒸着薄膜の膜厚を変更する手段としては、蒸着膜
の体積速度を大きくすること、すなわち、モノマ−ガス
と酸素ガス量を多くする方法や蒸着する速度を遅くする
方法等によって行うことができる。In the present invention, the silicon oxide vapor-deposited thin film formed as described above undergoes a chemical reaction between a monomer gas such as an organosilicon compound and oxygen gas, and the reaction product adheres tightly to the resin film. dense, it is possible to form a thin film rich in flexibility or the like, usually, the general formula SiO X (provided that, X
Represents a number of 0 to 2). Thus, the above-mentioned silicon oxide vapor-deposited thin film is represented by a general formula SiO X (where X represents a number of 1.3 to 1.9) in terms of transparency, barrier properties, and the like. It is preferable to use a thin film mainly composed of a deposited silicon oxide film. In the above, the value of X changes depending on the molar ratio of the monomer gas to the oxygen gas, the energy of the plasma, etc. In general, the gas permeability decreases as the value of X decreases, but the film itself has It has a yellow color and poor transparency. Further, the above-described deposited silicon oxide thin film has silicon (Si) and oxygen (O) as essential constituent elements, and further has one of carbon (C) and hydrogen (H);
Alternatively, it is composed of a deposited film of silicon oxide containing both elements as trace constituent elements and has a thickness of 50 °.
And the constituent ratio between the essential constituent elements and the trace constituent elements continuously changes in the film thickness direction. Further, when the above-mentioned vapor-deposited silicon oxide thin film contains a compound composed of carbon, the carbon content is reduced in the depth direction of the film thickness. Thus, in the present invention,
Regarding the above-mentioned silicon oxide vapor-deposited thin film, for example, an X-ray photoelectron spectrometer (Xray Photoelectron)
Spectroscopy, XPS), Secondary Ion Mass Spectrometer (Secondary Ion Mass S)
The above physical properties are confirmed by performing elemental analysis of the deposited thin film of silicon oxide using a method of performing analysis such as ion etching in the depth direction using a surface analysis device such as Spectroscopy (SIMS). Is what you can do. Further, in the present invention, the thickness of the deposited silicon oxide thin film is desirably about 50 to 2000 °, and specifically, the thickness is as follows:
About 100-1000 °, more preferably 100-50
0 ° is desirable, so in the above, 500 °,
Further, when the thickness is more than 1000 ° to 2000 °, cracks and the like are easily generated in the film, which is not preferable, and when it is less than 100 °, furthermore, when the thickness is less than 50 °, it becomes difficult to exhibit a barrier effect. It is undesirable. In the above description, the film thickness is determined, for example, by a fluorescent X-ray analyzer (model name, RIX200 manufactured by Rigaku Corporation).
(Type 0) and can be measured by a fundamental parameter method. Further, in the above, as means for changing the thickness of the deposited silicon oxide thin film, increasing the volume velocity of the deposited film, that is, a method of increasing the amount of the monomer gas and the oxygen gas or the rate of the deposition. It can be performed by a method of slowing down.
【0018】ところで、本発明において、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジ
ュ−ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜として、例え
ば、物理気相成長法と化学気相成長法の両者を併用して
無機酸化物の蒸着薄膜の2層以上からなる多層膜を形成
する場合には、まず、樹脂フィルムの上に、化学気相成
長法により、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラック
の発生を防止し得る無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次い
で、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、物理気相成長法に
よる無機酸化物の蒸着薄膜を設けて、2層以上の多層膜
からなる無機酸化物の蒸着薄膜を構成することが望まし
いものである。なお、本発明において、上記の無機酸化
物の蒸着薄膜面には、その上に設けるコ−ティング膜等
との密接着性、親和性等を向上させるために、例えば、
気体をア−ク放電により電離させることにより生じるプ
ラズマガスを利用して表面改質を行なうプラズマ表面処
理法等を利用してプラズマ処理面を形成したり、あるい
は、コロナ放電処理法等によりコロナ放電処理してコロ
ナ処理面等を形成することができるものである。Incidentally, in the present invention, as a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide constituting a surface protection sheet for a solar cell module, a solar cell module or the like according to the present invention, for example, a physical vapor deposition method can be used. When forming a multilayer film composed of two or more layers of a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide by using both of the chemical vapor deposition methods together, first, on a resin film, dense and dense by a chemical vapor deposition method, Provide a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide which is rich in flexibility and can relatively prevent the occurrence of cracks, and then, on the vapor-deposited thin film of the inorganic oxide, deposit a vapor-deposited thin film of the inorganic oxide by physical vapor deposition. It is desirable to provide a deposited thin film of an inorganic oxide composed of two or more multilayer films. In the present invention, the above-mentioned vapor-deposited thin film of the inorganic oxide has a close adhesion with a coating film or the like provided thereon, in order to improve the affinity and the like, for example,
A plasma-treated surface is formed by using a plasma surface treatment method in which surface modification is performed using plasma gas generated by ionizing a gas by arc discharge, or corona discharge is performed by a corona discharge treatment method or the like. It can be processed to form a corona treated surface or the like.
【0019】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する金属アルコキシド化合物および/または
その加水分解物をビヒクルの主成分として含む組成物に
よるコ−ティング膜について説明すると、まず、上記の
金属アルコキシド化合物および/またはその加水分解物
としては、例えば、主に、一般式、M(0R)n (式
中、Mは、Si、Ti、Al、B、Zr、W、または、
Taからなる金属原子を表し、Rは、C1 〜C10からな
るアルキル基を表し、nは、1〜4の整数を表す。)で
表される金属アルコキシド化合物、または、その加水分
解物、あるいは、その両者の混合物等を使用することが
できる。上記において、金属アルコキシド化合物として
は、具体的には、例えば、テトラメトキシシラン、テト
ラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトライ
ソプロポキシシラン、テトラブトキシシラン、テトライ
ソブトキシシラン、テトラ−sec−ブトキシシラン、
テトラ−tert−ブトキシシラン、テトラ−n−アミ
ルオキシシラン、テトライソアミルオキシシラン、テト
ラヘキシルオキシシラン、テトラヘプチルオキシシラ
ン、テトラオクチルオキシシラ、メチルトリメトキシシ
ラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキ
シシラン、メチルトリブトキシシラ、ジメチルジメトキ
シシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジプロ
ポキシシラン、ジメチルジブトキシシラン、トリメチル
メトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリメチ
ルブトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−
(メタクリロキシプロピル)トリメトキシシラン、γ−
グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリ
クロロシラン、ビニルトリメトキシシラン、その他等の
アルコキシシラン化合物;トリメトキシアルミニウム、
トリエトキシアルミニウム、トリイソプロポキシアルミ
ニウム、その他等のアルミニウムアルコキシド化合物;
テトラメトキシジルコニウム、テトラエトキシジルコニ
ウム、テトライソプロポキシジルコニウム、テトラブト
キシジルコニウム、その他等のジルコニウムアルコキシ
ド化合物;テトラメトキシチタニウム、テトラエトキシ
チタニウム、テトライソプロポキシチタニウム、テトラ
ブトキシチタニウム、その他等のチタニウムアルコキシ
ド化合物;タンタルペンタプロポキシド、タンタルペン
タブトキシ、その他等のタンタルアルコキシド化合物;
ボロントリメトキシド、ボロントリブトキシド、その他
等のボロンアルコキシド化合物;その他等の1種ないし
2種以上の混合物を使用することができる。Next, in the present invention, the surface protection sheet for a solar cell module and the solar cell module according to the present invention.
The coating film formed of a composition containing a metal alkoxide compound and / or a hydrolyzate thereof as a main component of a vehicle will be described. For example, mainly, a general formula, M (0R) n (where M is Si, Ti, Al, B, Zr, W, or
Represents a metal atom consisting of ta, R represents an alkyl group consisting of C 1 -C 10, n is an integer of 1-4. ), A hydrolyzate thereof, or a mixture thereof. In the above, as the metal alkoxide compound, specifically, for example, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane, tetraisopropoxysilane, tetrabutoxysilane, tetraisobutoxysilane, tetra-sec-butoxysilane,
Tetra-tert-butoxysilane, tetra-n-amyloxysilane, tetraisoamyloxysilane, tetrahexyloxysilane, tetraheptyloxysilane, tetraoctyloxysila, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltripropoxysilane, Methyltributoxysila, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, dimethyldipropoxysilane, dimethyldibutoxysilane, trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, trimethylbutoxysilane, vinyltrimethoxysilane, γ-
(Methacryloxypropyl) trimethoxysilane, γ-
Glycidoxypropyltrimethoxysilane, vinyltrichlorosilane, vinyltrimethoxysilane, and other alkoxysilane compounds; trimethoxyaluminum,
Aluminum alkoxide compounds such as triethoxyaluminum, triisopropoxyaluminum and others;
Zirconium alkoxide compounds such as tetramethoxyzirconium, tetraethoxyzirconium, tetraisopropoxyzirconium, tetrabutoxyzirconium and others; titanium alkoxide compounds such as tetramethoxytitanium, tetraethoxytitanium, tetraisopropoxytitanium, tetrabutoxytitanium and others; tantalum penta Tantalum alkoxide compounds such as propoxide, tantalum pentaboxy and others;
Boron alkoxide compounds such as boron trimethoxide, boron tributoxide, and others; and one or more mixtures of others can be used.
【0020】次に、本発明において、金属アルコキシド
化合物の加水分解物としては、上記のような金属アルコ
キシド化合物の1種ないし2種以上を適当な溶媒中に溶
解して、金属アルコキシド化合物の部分ないし完全加水
分解物を得ることができる。上記において、溶媒として
は、水、メタノ−ル、エタノ−ル、イソプロピルアルコ
−ル、ブタノ−ル、その他等のアルコ−ル類、上記の水
−アルコ−ル系等からなる混合溶媒、メチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトン、その他等のケトン類、酢
酸エチル、酢酸ブチル、その他等のエステル類、ハロゲ
ンカ炭化水素、トルエン、キシレン、その他等の芳香族
炭化水素類、その他等を使用することができる。なお、
本発明において、上記の加水分解を行う際には、例え
ば、硫酸、塩酸、硝酸等の鉱酸、酢酸、酒石酸等の有機
酸等を触媒として少量添加して使用することができる。Next, in the present invention, the hydrolyzate of the metal alkoxide compound is obtained by dissolving one or more of the above metal alkoxide compounds in an appropriate solvent, A complete hydrolyzate can be obtained. In the above, as the solvent, water, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, butanol, alcohols such as others, the above-mentioned mixed solvent comprising water-alcohol, etc., methyl ethyl ketone, Ketones such as methyl isobutyl ketone and others, esters such as ethyl acetate and butyl acetate and others, halogenated hydrocarbons, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, and others can be used. In addition,
In the present invention, when performing the above-described hydrolysis, for example, a small amount of a mineral acid such as sulfuric acid, hydrochloric acid, or nitric acid, or an organic acid such as acetic acid or tartaric acid can be added and used as a catalyst.
【0021】次に、本発明において、上記の金属アルコ
キシド化合物および/またはその加水分解物をビヒクル
の主成分として含む組成物において、金属アルコキシド
化合物および/またはその加水分解物の含有量として
は、該金属アルコキシド化合物が100%加水分解およ
び縮合したとして生じるSiO2 換算で0.1重量%以
上、好ましくは、0.1〜70重量%、更には、0.1
〜20重量%位になるように溶媒中に溶解させて使用す
ることが望ましい。上記において、0.1重量%未満で
あると、形成されるコ−ティング膜が、所望の特性、す
なわち、所望のバリア性能を有する被膜を形成すること
ができず、また、20重量%、更に、70重量%を越え
ると、透明な均質の被膜を形成することが困難となるこ
とから好ましくないものである。Next, in the present invention, in the composition containing the above-mentioned metal alkoxide compound and / or hydrolyzate thereof as a main component of the vehicle, the content of the metal alkoxide compound and / or hydrolyzate thereof is as follows. 0.1% by weight or more, preferably 0.1 to 70% by weight, more preferably 0.1 to 70% by weight in terms of SiO 2 generated as a result of 100% hydrolysis and condensation of the metal alkoxide compound.
It is desirable to use it after dissolving it in a solvent so as to be about 20% by weight. In the above, if the amount is less than 0.1% by weight, the formed coating film cannot form a film having desired characteristics, that is, a desired barrier performance. If it exceeds 70% by weight, it is not preferable because it is difficult to form a transparent uniform film.
【0022】而して、本発明において、上記の金属アル
コキシド化合物および/またはその加水分解物をビヒク
ルの主成分として含む組成物によるコ−ティング膜を形
成するには、まず、例えば、金属アルコキシド化合物お
よび/またはその加水分解物の1種ないしそれ以上をビ
ヒクルの主成分とし、これに、更に、必要ならば、例え
ば、結合剤としての樹脂、充填剤、安定剤、可塑剤、酸
化防止剤、紫外線吸収剤等の光安定剤、分散剤、増粘
剤、乾燥剤、滑剤、帯電防止剤、架橋剤、その他等の添
加剤を任意に添加し、溶剤、希釈剤等で充分に混練して
なる溶剤型、水性型、あるいは、エマルジョン型等から
なる組成物を調整する。而して、本発明においては、上
記で調整した組成物を使用し、例えば、ロ−ルコ−ト
法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスロ−ルコ−ト法、ス
クイ−ズロ−ルコ−ト法、リバ−スロ−ルコ−ト法、カ
−テンフロ−コ−ト法、その他等のコ−ティング法によ
り、コ−ティング量、例えば、0.1g/m2 〜10g
/m2 (乾燥状態)位、好ましくは、0.5g/m2 〜
5g/m2 (乾燥状態)位になるようにコ−ティング
し、次いで、加熱乾燥、更には、エ−ジング処理等を施
して、本発明にかかるコ−ティング膜を形成することが
できる。上記において、上記の組成物としては、金属ア
ルコキシド化合物および/またはその加水分解物を溶解
ないし混練し、更に、これらを硬化させることから、
水、あるいは、アルコ−ル−水系溶液等を使用して調整
した組成物を使用することが好ましく、而して、上記の
アルコ−ル成分としては、例えば、n−プロピルアルコ
−ル、イソプロピルアルコ−ル、n−ブタノ−ル、t−
ブタノ−ル、エチルアルコ−ル、メチルアルコ−ル等を
使用することができ、また、上記のアルコ−ル−水系溶
液において、アルコ−ルと水との配合割合としては、例
えば、アルコ−ル、50〜70重量部に対し水、50〜
30重量部の割合で配合してアルコ−ル−水系溶液を調
整することが望ましい。In the present invention, in order to form a coating film of a composition containing the above-mentioned metal alkoxide compound and / or its hydrolyzate as a main component of the vehicle, first, for example, a metal alkoxide compound And / or one or more of its hydrolysates are the main components of the vehicle, and if necessary, furthermore, for example, resins as binders, fillers, stabilizers, plasticizers, antioxidants, Add additives such as light stabilizers such as ultraviolet absorbers, dispersants, thickeners, drying agents, lubricants, antistatic agents, crosslinking agents, etc., and knead thoroughly with solvents, diluents, etc. A composition comprising a solvent type, an aqueous type or an emulsion type is prepared. Thus, in the present invention, the composition prepared above is used, for example, a roll coat method, a gravure roll coat method, a kiss roll coat method, a squeeze roll coat method. The coating amount, for example, 0.1 g / m 2 to 10 g, by a coating method such as a reverse roll coating method, a curtain flow coating method, etc.
/ M 2 (dry state), preferably 0.5 g / m 2 to
Coating is carried out to a level of about 5 g / m 2 (dry state), followed by heat drying and further aging treatment to form a coating film according to the present invention. In the above, as the above composition, a metal alkoxide compound and / or a hydrolyzate thereof is dissolved or kneaded, and further, these are cured.
It is preferable to use a composition prepared using water or an alcohol-water solution, and the above-mentioned alcohol components include, for example, n-propyl alcohol and isopropyl alcohol. -N-butanol, t-
Butanol, ethyl alcohol, methyl alcohol and the like can be used. In the above-mentioned alcohol-water solution, the mixing ratio of alcohol and water is, for example, alcohol, 50 to 70 parts by weight of water, 50 to 70 parts by weight
It is desirable to prepare an alcohol-water solution by mixing at a ratio of 30 parts by weight.
【0023】上記の組成物において、添加剤としては、
例えば、金属酸化物微粒子等の無機充填剤を同時に混合
して使用することが好ましいものである。かかる場合に
は、金属酸化物微粒子が、それ自身で硬い構造であるの
に比べ、その表面に多くの水酸基を持つSiO2 混合ゾ
ルが加熱等によりSiO2 ゲル膜を形成する際に、その
表面の水酸基と反応し、コ−ティング膜を補強させると
いう利点を有するものである。上記の金属酸化物微粒子
としては、例えば、シリカ、アルミナ、チタニア、ジル
コニア、その他等を使用することができ、而して、その
粒子径としては、0.005〜1.0μm位のものを少
量添加して使用することがてきる。In the above composition, the additives include
For example, it is preferable to mix and use an inorganic filler such as metal oxide fine particles at the same time. In such a case, when the SiO 2 mixed sol having a large number of hydroxyl groups on its surface forms an SiO 2 gel film by heating or the like, the surface of the metal oxide fine particles has a hard structure by itself. This has the advantage that it reacts with the hydroxyl groups of the above to reinforce the coating film. As the above-mentioned metal oxide fine particles, for example, silica, alumina, titania, zirconia, etc. can be used. It can be added and used.
【0024】また、上記の組成物においては、コ−ティ
ング膜の被膜性、コ−ティング膜の無機酸化物の蒸着薄
膜への密接着性、その他等のことから、例えば、水溶
性、親水性、疎水性、その他等の各種の樹脂の1種ない
し2種以上を添加することもできる。上記において、樹
脂としては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピ
レン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂、あるいは、その
酸変性ポリオレフィン系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、
ポリアクリルあるいはメタクリル系樹脂、ポリスチレン
系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−ビニ
ルアルコ−ル共重合体、ポリビニルブチラ−ル系樹脂、
ポリビニルピロリドン系樹脂、メチルセルロ−ス、エチ
ルセルロ−ス、カルボキシルメチルセルロ−ス、ニトロ
セルロ−ス、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、
フェノ−ル系樹脂、メラミン系樹脂、尿素系樹脂、ポリ
ウレタン系樹脂、その他等を使用することができる。Further, in the above-mentioned composition, for example, water-soluble, hydrophilic, etc. One or two or more of various resins such as hydrophobic, hydrophobic, etc. can also be added. In the above, as the resin, for example, a polyethylene resin, a polyolefin resin such as a polypropylene resin, or an acid-modified polyolefin resin thereof, a polyvinyl acetate resin,
Polyacrylic or methacrylic resin, polystyrene resin, polyvinyl alcohol resin, ethylene-vinyl alcohol copolymer, polyvinyl butyral resin,
Polyvinylpyrrolidone resin, methylcellulose, ethylcellulose, carboxymethylcellulose, nitrocellulose, polyester resin, polyamide resin,
Phenol resins, melamine resins, urea resins, polyurethane resins, and others can be used.
【0025】次にまた、上記の組成物においては、架橋
剤として、例えば、二元反応性を有するシランカップリ
ング剤、あるいは、イソシアネ−ト化合物等を添加する
ことができる。上記のシランカップリング剤としては、
例えば、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、ビニ
ルトリクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニ
ル−トリス(β−メトキシエトキシ)シラン、γ−メタ
クリルオキシプロピルトリメトキシシラン、β−(3、
4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラ
ン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ビ
ニルトリアセトキシシラン、γ−メルカプトプロピルト
リメトキシシラン、N−β(アミノエチル)−γ−アミ
ノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチ
ル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ
−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ビス(β−ヒ
ドロキシエチル)−γ−アミノプロピルトリエトキシシ
ラン、γ−アミノプロピルシリコ−ンの1種ないしそれ
以上を使用することができる。また、上記のイソシアネ
−ト化合物としては、その分子中に2個以上のイソシア
ネ−ト基を有するものを使用することができ、例えば、
トリレンジイソシアネ−ト、トリフェニルメタントリイ
ソシアネ−ト、テトラメチルキシレンジイソシアネ−
ト、その他等を使用することがてきる。その使用量とし
ては、微量添加するだけでよい。Further, in the above composition, for example, a binary reactive silane coupling agent or an isocyanate compound can be added as a crosslinking agent. As the above silane coupling agent,
For example, γ-chloropropyltrimethoxysilane, vinyltrichlorosilane, vinyltriethoxysilane, vinyl-tris (β-methoxyethoxy) silane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, β- (3,
4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, N -Β (aminoethyl) -γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, γ
One or more of ureidopropyltriethoxysilane, bis (β-hydroxyethyl) -γ-aminopropyltriethoxysilane and γ-aminopropylsilicone can be used. Further, as the above-mentioned isocyanate compound, those having two or more isocyanate groups in the molecule can be used.
Tolylene diisocyanate, triphenylmethane triisocyanate, tetramethyl xylene diisocyanate
And others can be used. Only a small amount may be used.
【0026】更に、本発明においては、金属アルコキシ
ド化合物および/またはその加水分解を架橋硬化させる
ために、更には、架橋剤等と反応させ、架橋構造を構成
する際に、例えば、硬化触媒等を添加することができ
る。上記の硬化触媒としては、例えば、水に実質的に不
溶であり、かつ、有機溶媒に可溶な第三アミン類、例え
ば、N.N−ジメチルベンジルアミン、トリプロピルア
ミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン等、ま
た、酸類として、例えば、硫酸、塩酸、硝酸等の鉱酸、
酢酸、酒石酸等の有機酸等を使用することができる。そ
の使用量としては、微量添加することで充分である。Further, in the present invention, in order to cross-link and cure the metal alkoxide compound and / or the hydrolysis thereof, and furthermore, it is reacted with a cross-linking agent or the like to form a cross-linking structure. Can be added. Examples of the above-mentioned curing catalyst include, for example, tertiary amines which are substantially insoluble in water and soluble in an organic solvent. N-dimethylbenzylamine, tripropylamine, tributylamine, tripentylamine and the like, and as the acids, for example, sulfuric acid, hydrochloric acid, mineral acids such as nitric acid,
Organic acids such as acetic acid and tartaric acid can be used. It is sufficient to add a small amount as the amount used.
【0027】ところで、本発明において、上記の金属ア
ルコキシド化合物および/またはその加水分解物をビヒ
クルの主成分とし、これに、必要ならば、所望の添加剤
を任意に添加し、水、あるいは、アルコ−ル−水系溶
剤、希釈剤等で充分に混練してなる組成物を調整し、こ
れを通常のコ−ティング法でコ−ティングし、次いで、
加熱乾燥、更には、エ−ジング処理等を施すことによ
り、コ−ティング膜を形成することができる。而して、
上記のコ−ティング膜は、無機酸化物の蒸着薄膜との密
接着性に優れ、その両者の接着強度は極めて強く、その
層間において剥離する等の現象は認められず、更に、本
発明においては、無機酸化物の蒸着薄膜と上記のコ−テ
ィング膜との2層からなるバリア性膜を形成し、それに
より、その酸素ガス、水蒸気ガス等に対するバリア性を
更に向上させ、かつ、透明性、耐熱性、耐熱水性、ラミ
ネ−ト適性、その他等にも優れ、極めて良好な積層材を
製造し得るものである。In the present invention, the above-mentioned metal alkoxide compound and / or a hydrolyzate thereof are used as a main component of the vehicle, and if necessary, a desired additive is optionally added thereto. -Aqueous solvent, a composition obtained by sufficiently kneading with a diluent or the like is prepared, and coated by a usual coating method,
A coating film can be formed by subjecting it to heat drying, aging treatment and the like. Thus,
The above-mentioned coating film is excellent in close adhesion to a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide, the bonding strength between the two is extremely strong, and a phenomenon such as peeling between layers is not recognized. Forming a barrier film consisting of two layers of a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide and the above-mentioned coating film, thereby further improving the barrier property against oxygen gas, water vapor gas, etc., and It is excellent in heat resistance, hot water resistance, laminating suitability, etc., and can produce an extremely good laminated material.
【0028】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜とコ−ティング膜
とを有する樹脂フィルムにおいて、その樹脂フィルムと
しては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポ
リオレフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレ−ト、ポ
リエチレンナフタレ−ト等のポリエステル系樹脂、ポリ
アミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリスチレン
系樹脂、ポリビニルアルコ−ル、エチレン−酢酸ビニル
共重合体のケン化部等のポリビニルアルコ−ル系樹脂、
ポリアクリルニトリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、
ポリビニルアセタ−ル系樹脂、ポリビニルブチラ−ル系
樹脂、フッ素系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルム
ないしシ−トを使用することができる。而して、本発明
において、上記の樹脂のフィルムないしシ−トとして
は、例えば、上記の樹脂の1種ないしそれ以上を使用
し、インフレ−ション法、Tダイ法、その他等の製膜化
法を用いて、上記の樹脂を単独で製膜化する方法、ある
いは、2種以上の異なる樹脂を使用して多層共押し出し
製膜化する方法、更には、2種以上の樹脂を使用し、製
膜化する前に混合して製膜化する方法等により、樹脂の
フィルムないしシ−トを製造し、更に、例えば、テンタ
−方式、あるいは、チュ−ブラ−方式等を利用して1軸
ないし2軸方向に延伸してなる樹脂のフィルムないしシ
−トを使用することができる。本発明において、樹脂フ
ィルムの膜厚としては、5〜200μm位、より好まし
くは、10〜50μm位が望ましい。なお、上記におい
て、樹脂の製膜化に際して、例えば、フィルムの加工
性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性、抗酸化
性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的特性、
その他等を改良、改質する目的で、種々のプラスチック
配合剤や添加剤等を添加することができ、その添加量と
しては、太陽光の透過に影響しない極く微量から数十%
まで、その目的に応じて、任意に添加することができ
る。また、上記において、一般的な添加剤としては、例
えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、充填
剤、強化剤、補強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発
泡剤、防カビ剤、顔料、その他等を使用することがで
き、更には、改質用樹脂等も使用することがてきる。Next, in the present invention, the surface protection sheet for a solar cell module and the solar cell module according to the present invention.
In a resin film having a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide constituting a film and a coating film, examples of the resin film include polyolefin resins such as polyethylene and polypropylene, polyethylene terephthalate, and polyethylene naphthalate. Polyester resins such as polyester resin, polyamide resin, polycarbonate resin, polystyrene resin, polyvinyl alcohol, polyvinyl alcohol resin such as saponified portion of ethylene-vinyl acetate copolymer,
Polyacrylonitrile resin, polyvinyl chloride resin,
Films or sheets of various resins such as polyvinyl acetal-based resin, polyvinyl butyral-based resin, fluorine-based resin and others can be used. Thus, in the present invention, as the film or sheet of the above resin, for example, one or more of the above resins are used to form a film by inflation method, T-die method, etc. Using a method, a method of forming a film of the above resin alone, or a method of forming a multilayer co-extrusion film using two or more different resins, further using two or more resins, A resin film or sheet is manufactured by, for example, a method of mixing and forming a film before forming a film, and further, for example, a uniaxial method using a tenter method or a tuber method. Alternatively, a resin film or sheet stretched in a biaxial direction can be used. In the present invention, the thickness of the resin film is preferably about 5 to 200 μm, more preferably about 10 to 50 μm. In the above, when forming a resin into a film, for example, the processability, heat resistance, weather resistance, mechanical properties, dimensional stability, antioxidant properties, slip properties, mold release properties, flame retardancy, anti-mold Properties, electrical properties,
Various plastic compounding agents and additives can be added for the purpose of improving and modifying others.
Up to the above, it can be arbitrarily added according to the purpose. Further, in the above, as a general additive, for example, a lubricant, a crosslinking agent, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a filler, a reinforcing agent, a reinforcing agent, an antistatic agent, a flame retardant, a flame retardant, a foaming agent, A fungicide, a pigment, and the like can be used, and further, a modifying resin and the like can be used.
【0029】また、本発明において、樹脂フィルムは、
必要に応じて、例えば、コロナ放電処理、オゾン処理、
酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いて低温プラズマ処
理、グロ−放電処理、化学薬品等を用いて処理する酸化
処理、その他等の前処理を任意に施すことができる。上
記の表面前処理は、無機酸化物の蒸着薄膜を形成する前
に別工程で実施してもよく、また、例えば、低温プラズ
マ処理やグロ−放電処理等による表面処理の場合は、上
記の無機酸化物の蒸着薄膜を形成する前処理としてイン
ライン処理により前処理で行うことができ、このような
場合は、その製造コストを低減することができるという
利点がある。上記の表面前処理は、樹脂フィルムと無機
酸化物の蒸着薄膜との密着性を改善するための方法とし
て実施するものであるが、上記の密着性を改善する方法
として、その他、例えば、基材フィルムの表面に、予
め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤層、ある
いは、蒸着アンカ−コ−ト剤層等を任意に形成すること
もできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、その他
等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使用すること
ができる。また、上記において、コ−ト剤層の形成法と
しては、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマルジ
ョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラビ
アロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト法
を用いてコ−トすることができ、そのコ−ト時期として
は、基材フィルムの2軸延伸処理後の後工程として、あ
るいは、2軸延伸処理のインライン処理等で実施するこ
とができる。なお、本発明において、基材フィルムとし
ては、具体的には、2軸延伸ポリプロピレンフィルム等
の2軸延伸ポリプロピレン系樹脂フィルム、2軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルム等の2軸延伸ポリエ
ステル系樹脂フィルム、または、2軸延伸ナイロンフィ
ルム等の2軸延伸ポリアミド系樹脂フィルムを使用する
ことが望ましいものである。In the present invention, the resin film is
If necessary, for example, corona discharge treatment, ozone treatment,
Pretreatment such as low-temperature plasma treatment using oxygen gas or nitrogen gas, glow discharge treatment, oxidation treatment using chemicals, or the like can be arbitrarily performed. The above-mentioned surface pretreatment may be performed in a separate step before forming a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide.For example, in the case of a surface treatment such as a low-temperature plasma treatment or a glow discharge treatment, As a pretreatment for forming a vapor-deposited thin film of an oxide, pretreatment can be performed by in-line treatment. In such a case, there is an advantage that the production cost can be reduced. The above-mentioned surface pretreatment is to be performed as a method for improving the adhesion between the resin film and the deposited thin film of the inorganic oxide, but as a method for improving the adhesion, other, for example, a substrate On the surface of the film, a primer coat agent layer, an undercoat agent layer, a vapor-deposited anchor coat agent layer, or the like can be arbitrarily formed in advance. As the coating agent layer for the above pretreatment, for example, a resin composition containing a polyester-based resin, a polyurethane-based resin, or the like as a main component of the vehicle can be used. In the above, as a method of forming the coating agent layer, for example, a coating agent such as a solvent type, an aqueous type, or an emulsion type is used, and a roll coating method, a gravure roll coating is used. The coating can be performed by using a coating method such as a coating method, a kiss coating method, or the like. It can be carried out by in-line processing of axial stretching processing or the like. In the present invention, as the substrate film, specifically, a biaxially oriented polypropylene resin film such as a biaxially oriented polypropylene film, a biaxially oriented polyester resin film such as a biaxially oriented polyethylene terephthalate film, Alternatively, it is desirable to use a biaxially stretched polyamide resin film such as a biaxially stretched nylon film.
【0030】なお、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等においては、
その最表面に防汚層を形成することができる。すなわ
ち、本発明においては、太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トを構成するフッ素系樹脂をビヒクルの主成分とす
る樹脂組成物による塗布膜の他方の片面(最表面)に
は、ゴミ等の蓄積を防止する防汚層を形成することがで
きる。而して、上記の防汚層としては、光触媒粉末また
は光触媒ゾル(以下、両者を総称して光触媒粉末とい
う。)を含む組成物による塗布膜から構成されるもので
ある。上記において、光触媒粉末を含む組成物による塗
布膜としては、例えば、光触媒粉末の1種ないし2種以
上に、ビヒクルとしての結合剤の1種ないし2種以上を
添加し、更に、必要ならば、例えば、滑剤、架橋剤、酸
化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、強化剤、
補強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ
剤、顔料、その他等の添加剤の1種ないし2種以上を太
陽光の透過に影響しない範囲内で任意に添加し、更に、
溶剤、希釈剤等で十分に混練して、例えば、溶剤型、水
性型、あるいは、エマルジョン型等の組成物を調整し、
次いで、該組成物を、例えば、フロ−ティングナイフコ
−ト法、ナイフオ−バ−ロ−ルコ−ト法、インバ−ティ
ドナイフコ−ト法、スクイ−ズロ−ルコ−ト法、リバ−
スロ−ルコ−ト法、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ
−ト法、キスロ−ルコ−ト法、エア−ブレ−ドコ−ト
法、エクストル−ジョンコ−ト法、カ−テンフロ−コ−
ト法、その他等のコ−ティング法、あるいは、グラビア
印刷、オフセット印刷、シルクスクリ−ン印刷、転写印
刷、その他等の印刷法を用いて、塗布ないし印刷するこ
とにより塗布膜を形成することができる。上記におい
て、塗布膜の膜厚としては、0.1〜10g/m2 位
(乾燥状態)、より好ましくは、1.0〜1g/m2 位
が望ましい。In the solar cell module surface protection sheet and solar cell module according to the present invention,
An antifouling layer can be formed on the outermost surface. That is, in the present invention, the other one surface (outermost surface) of the coating film made of the resin composition containing the fluorine-based resin constituting the surface protection sheet for the solar cell module as a main component of the vehicle has dust or the like. An antifouling layer for preventing accumulation of water can be formed. The antifouling layer is formed of a coating film of a composition containing a photocatalyst powder or a photocatalyst sol (both are collectively referred to as a photocatalyst powder). In the above, as a coating film of the composition containing the photocatalyst powder, for example, one or more of the photocatalyst powder, one or more of the binder as a vehicle is added, and if necessary, For example, lubricants, crosslinking agents, antioxidants, ultraviolet absorbers, light stabilizers, fillers, reinforcing agents,
One or more additives such as a reinforcing agent, an antistatic agent, a flame retardant, a flame retardant, a foaming agent, a fungicide, a pigment, and other additives are arbitrarily added within a range that does not affect sunlight transmission. Furthermore,
Solvent, sufficiently kneaded with a diluent, for example, a solvent type, aqueous type, or, to prepare a composition such as an emulsion type,
Subsequently, the composition is subjected to, for example, a floating knife coating method, a knife over roll coating method, an inverted knife coating method, a squeeze roll coating method, and a reverse coating method.
Roll coat method, roll coat method, gravure roll coat method, kiss roll coat method, air blade coat method, extrude coat method, curtain coat method
Coating method such as gravure printing, offset printing, silk screen printing, transfer printing, etc. to form a coating film by applying or printing. it can. In the above description, the thickness of the coating film is preferably about 0.1 to 10 g / m 2 (dry state), more preferably about 1.0 to 1 g / m 2 .
【0031】上記において、光触媒粉末としては、太陽
光等の光の作用により、例えば、樹脂が、酸化等により
劣化、破壊、あるいは、分解し、または、低分子化し、
防汚層の表面に付着した塵埃等を、その粘着性を破壊
し、風雨等で洗浄、除去し、その表面を清掃に保持する
ことを容易にする作用を有する化学物質を使用すること
ができる。具体的には、例えば、光触媒粉末としては、
例えば、TiO2 、ZnO、SrTiO3 、CdS、C
aP、InP、GaAs、BaTiO2 、K2 Ti
O3 、K2 NbO3 、Fe2 O3 、Ta2 O3 、W
O3 、SnO2 、Bi2 O8 、NiO、Cu2 O、Si
C、SiO2 、MoS2 、InPb、RuO2 、CeO
2 等、あるいは、これらにPt、Rh、RuO2 、N
b、Cu、Sn、Ni、Fe等の金属および/またはこ
れらの金属酸化物とを混合した組成物を使用することが
できる。上記の組成物において、光触媒粉末の含有量と
しては、その粒子形状、密度等によって異なるが、約
0.1〜30重量%位が好ましい。In the above, as the photocatalyst powder, for example, the resin is degraded, destroyed, or decomposed or degraded by the action of light such as sunlight due to oxidation or the like.
It is possible to use a chemical substance that has an effect of destroying the adhesiveness of dust and the like adhered to the surface of the antifouling layer, washing and removing the dust and the like by wind and rain, and easily holding the surface for cleaning. . Specifically, for example, as a photocatalyst powder,
For example, TiO 2 , ZnO, SrTiO 3 , CdS, C
aP, InP, GaAs, BaTiO 2 , K 2 Ti
O 3 , K 2 NbO 3 , Fe 2 O 3 , Ta 2 O 3 , W
O 3 , SnO 2 , Bi 2 O 8 , NiO, Cu 2 O, Si
C, SiO 2 , MoS 2 , InPb, RuO 2 , CeO
2 etc., or Pt, Rh, RuO 2 , N
A composition in which a metal such as b, Cu, Sn, Ni, and Fe and / or a metal oxide thereof is mixed can be used. In the above composition, the content of the photocatalyst powder varies depending on the particle shape, density and the like, but is preferably about 0.1 to 30% by weight.
【0032】また、上記において、ビヒクルとしての結
合剤としては、製膜性を有し、更に、耐光性、耐熱性、
耐水性等の諸堅牢性に優れ、また、塗布膜の硬度を増
し、耐擦傷性、耐磨耗性等に優れ、特に、光触媒粉末の
光活性に影響を受けない結合剤を使用することができ、
具体的には、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピ
レン系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノ
マ−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチ
レン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチル
ペンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル
系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、塩化ビニル−塩化ビニ
リデン共重合体、ポリ(メタ)アクリル系樹脂、ポリア
クリルニトリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロ
ニトリル−スチレン共重合体(AS系樹脂)、アクリロ
ニトリル−ブタジェン−スチレン共重合体(ABS系樹
脂)、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ
−ボネ−ト系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチ
レン−酢酸ビニル共重合体のケン化物、フッ素系樹脂、
ジエン系樹脂、ポリアセタ−ル系樹脂、ポリウレタン系
樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、アミノプラ
スト系樹脂、シリコ−ン系樹脂、ニトロセルロ−ス、無
機系ポリマ−、その他等の公知の樹脂、あるいは、その
変性樹脂、その他等の1種ないし2種以上を使用するこ
とができる。而して、本発明においては、光触媒粉末の
影響を受けない結合剤としては、上記のような結合剤の
中でも、特に、低融点ガラス、アルカリ金属シリケ−
ト、ホスフェ−ト、または、コロイダルシリカ、その他
等の無機系ポリマ−の1種ないしそれ以上を使用するこ
とが好ましいものである。In the above, the binder as a vehicle has film-forming properties, and further has light resistance, heat resistance,
It is excellent in various fastnesses such as water resistance, it also increases the hardness of the coating film, it has excellent scratch resistance, abrasion resistance, etc., especially, it is possible to use a binder that is not affected by the photoactivity of the photocatalyst powder. Can,
Specifically, for example, polyethylene resin, polypropylene resin, ethylene-vinyl acetate copolymer, ionomer resin, ethylene-ethyl acrylate copolymer, ethylene-acrylic acid or methacrylic acid copolymer, methylpentene polymer -, Polybutene resin, polyvinyl chloride resin, polyvinyl acetate resin, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, poly (meth) acrylic resin, polyacrylonitrile resin, polystyrene resin, acrylonitrile-styrene copolymer Copolymer (AS resin), acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS resin), polyester resin, polyamide resin, polycarbonate resin, polyvinyl alcohol resin, ethylene-vinyl acetate copolymer Combined saponified product, fluororesin,
Known resins such as diene resin, polyacetal resin, polyurethane resin, epoxy resin, phenol resin, aminoplast resin, silicone resin, nitrocellulose, inorganic polymer and others Alternatively, one or more kinds of modified resins, others, and the like can be used. Thus, in the present invention, among the binders not affected by the photocatalyst powder, among the binders described above, particularly, low-melting glass and alkali metal silicate
It is preferable to use one or more of inorganic polymers such as silica, phosphate and colloidal silica.
【0033】ところで、本発明においては、上記の防汚
層を構成する塗布膜中の光触媒粉末の光活性が、該防汚
層の下層に位置する、例えば、塗布膜等に影響を与え、
その劣化、分解、あるいは、破壊等に起こさないよう
に、その相互の接触を遮断する無機質膜等からなる光触
媒粉末の活性を遮断する活性遮断層を設けることができ
る。上記の活性遮断層は、通常、防汚層の下層に設ける
ものである。上記の活性遮断層を構成する無機質膜とし
ては、例えば、前述の透明性を有する酸化珪素、あるい
は、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜等を使用
することができる。上記の無機酸化物の蒸着膜の形成
は、前述と同様にして製膜化して、活性遮断層を形成す
ることができ、その膜厚としては、100〜3000Å
位、より好ましくは、100〜1500Å位が望まし
い。In the present invention, the photoactivity of the photocatalyst powder in the coating film constituting the antifouling layer affects, for example, a coating film located below the antifouling layer,
An activity blocking layer for blocking the activity of the photocatalyst powder made of an inorganic film or the like for blocking mutual contact can be provided so as not to cause the deterioration, decomposition, destruction, or the like. The above-mentioned active barrier layer is usually provided below the antifouling layer. As the inorganic film constituting the above-mentioned activity blocking layer, for example, the above-mentioned vapor-deposited film of inorganic oxide such as silicon oxide or aluminum oxide can be used. The formation of the above-mentioned inorganic oxide vapor-deposited film can be carried out in the same manner as described above to form an active barrier layer.
And more preferably about 100 to 1500 °.
【0034】また、本発明においては、上記の防汚層の
密接着性を強固にするために、該防汚層を構成する光触
媒粉末を含む組成物による塗布膜を設けるに際し、必要
ならば、接着用プライマ−層等を設けることができる。
上記のプライマ−層を構成する材料としては、例えば、
防汚層中の光触媒粉末の光活性等によって分解されない
無機系のプライマ−層を構成する材料を使用することが
でき、具体的には、有機チタン化合物として代表的なテ
トライソプロピルチタネ−ト、テトラブチルチタネ−
ト、テトラステアリルチタネ−ト等のアルキルチタネ−
トやチタンキレ−ト等の加水分解による生成物等を使用
することができ、その他、無機ポリシラザン(ペルヒド
ロポリシラザラン)等も使用することができる。本発明
において、特に、加水分解の速度が極めて早く、溶液を
塗工後に分解できるテトライソプロピルチタネ−ト、テ
トラブチルチタネ−トが好ましい材料である。In the present invention, in order to strengthen the tight adhesion of the antifouling layer, when providing a coating film of a composition containing a photocatalyst powder constituting the antifouling layer, if necessary, An adhesive primer layer or the like can be provided.
As a material constituting the above-mentioned primer layer, for example,
A material constituting an inorganic primer layer that is not decomposed by the photoactivity of the photocatalyst powder in the antifouling layer can be used. Specifically, tetraisopropyl titanate, which is a typical example of an organic titanium compound, Tetrabutyl titane
Alkyl titanates such as tert., Tetrastearyl titanate, etc.
And products produced by hydrolysis of titanium chelate and the like. In addition, inorganic polysilazane (perhydropolysilazaran) and the like can also be used. In the present invention, particularly preferred are tetraisopropyl titanate and tetrabutyl titanate, which have a very high rate of hydrolysis and can be decomposed after coating the solution.
【0035】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下
に積層する充填剤層について説明すると、かかる充填剤
層としては、太陽光が入射し、これを透過して吸収する
ことから透明性を有することが必要であり、また、表面
保護シ−トとの接着性を有することも必要であり、更
に、光起電力素子としての太陽電池素子の表面の平滑性
を保持する機能を果たすために熱可塑性を有すること、
更には、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とう
いことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れてい
ることが必要である。具体的には、上記の充填剤層とし
ては、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共
重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、ま
たは、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリ
プロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン
等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、
マレイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性し
た酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−
ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、(メタ)
アクリル系樹脂、その他等の樹脂の1種ないし2種以上
の混合物を使用することができる。なお、本発明におい
ては、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐
光性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透
明性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。而して、本発明においては、太陽光の入射側の充
填剤としては、耐光性、耐熱性、耐水性等の耐候性を考
慮すると、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル系樹脂
が望ましい素材である。なお、上記の充填剤層の厚さと
しては、200〜1000μm位、より好ましくは、3
50〜600μm位が望ましい。Next, in the present invention, the solar cell module
The filler layer laminated below the surface protection sheet for a solar cell module constituting the solar cell module will be described. The filler layer is transparent because sunlight enters and transmits and absorbs sunlight. It is necessary that the photovoltaic element has an adhesive property with a surface protection sheet, and has a function of maintaining the smoothness of the surface of a solar cell element as a photovoltaic element. Having thermoplasticity for
Further, since the solar cell element as a photovoltaic element is to be protected, it is necessary to have excellent scratch resistance, shock absorption and the like. Specifically, as the filler layer, for example, a fluororesin, ethylene-vinyl acetate copolymer, ionomer resin, ethylene-acrylic acid, or methacrylic acid copolymer, polyethylene resin, polypropylene resin, Acrylic acid, itaconic acid, polyolefin resin such as polyethylene or polypropylene,
Acid-modified polyolene fin resin modified with unsaturated carboxylic acids such as maleic acid and fumaric acid, polyvinyl butyral
Resin, silicone resin, epoxy resin, (meth)
A mixture of one or more resins such as acrylic resins and other resins can be used. In the present invention, in order to improve the heat resistance, light resistance, weather resistance such as water resistance, etc. of the resin constituting the above-mentioned filler layer, in a range where the transparency is not impaired, for example, crosslinking is performed. Additives such as an agent, a thermal antioxidant, a light stabilizer, an ultraviolet absorber, a photooxidant, and the like can be arbitrarily added and mixed. Therefore, in the present invention, as the filler on the incident side of sunlight, in consideration of light resistance, heat resistance, and weather resistance such as water resistance, a fluororesin or an ethylene-vinyl acetate resin is a desirable material. is there. In addition, the thickness of the above-mentioned filler layer is about 200 to 1000 μm, more preferably about 3 μm.
About 50 to 600 μm is desirable.
【0036】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子につい
て説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知
のもの、例えば、結晶性シリコン太陽電池素子、多結晶
シリコン太陽電池素子、アモルファスシリコン太陽電池
素子、銅インジウムセレナイド太陽電池素子、化合物半
導体太陽電池素子、その他等を使用することができる。
更に、本発明においては、薄膜多結晶シリコン太陽電池
素子、薄膜微結晶シリコン太陽電池素子、薄膜結晶シリ
コン太陽電池素子とアモルファスシリコン太陽電池素子
とのハイブリット素子等も使用することができる。Next, in the present invention, the solar cell module
A solar cell element as a photovoltaic element constituting a solar cell will be described. As such a solar cell element, a conventionally known one, for example, a crystalline silicon solar cell element, a polycrystalline silicon solar cell element, an amorphous silicon solar cell element , A copper indium selenide solar cell element, a compound semiconductor solar cell element, and the like can be used.
Further, in the present invention, a thin-film polycrystalline silicon solar cell element, a thin-film microcrystalline silicon solar cell element, a hybrid element of a thin-film crystalline silicon solar cell element and an amorphous silicon solar cell element, and the like can also be used.
【0037】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層につ
いて説明すると、かかる充填剤層としては、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤
層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有することも
必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子
の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性
を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池
素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収
性等に優れていることが必要である。しかし、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層す
る充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トの下に積層する充填剤層と異なり、必ずも、
透明性を有することを必要としないものである。具体的
には、上記の充填剤層としては、前述の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様
に、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、また
は、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マ
レイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した
酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル
樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、(メタ)ア
クリル系樹脂、その他等の樹脂の1種ないし2種以上の
混合物を使用することができる。なお、本発明において
は、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光
性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透明
性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。なお、上記の充填剤層の厚さとしては、200〜
1000μm位、より好ましくは、350〜600μm
位が望ましい。Next, in the present invention, the solar cell module
The filler layer laminated below the photovoltaic element constituting the solar cell module will be described. The filler layer is the same as the filler layer laminated below the solar cell module surface protection sheet. In addition, it is necessary to have adhesiveness to the backside protection sheet, and further to have thermoplasticity to fulfill the function of maintaining the smoothness of the backside of the solar cell element as a photovoltaic element. In order to protect a solar cell element as a photovoltaic element, it is necessary to have excellent scratch resistance, shock absorption and the like. However, the filler layer laminated below the photovoltaic element constituting the solar cell module is different from the filler layer laminated below the surface protection sheet for the solar cell module. , Surely,
It is not necessary to have transparency. Specifically, as the above-mentioned filler layer, for example, as in the case of the above-described filler layer laminated under the surface protection sheet for a solar cell module, for example, a fluorine-based resin, ethylene-vinyl acetate copolymer may be used. A polyolefin resin such as coalesced, ionomer resin, ethylene-acrylic acid, or methacrylic acid copolymer, polyethylene resin, polypropylene resin, polyethylene or polypropylene can be mixed with acrylic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, etc. One or more resins such as an acid-modified polyolefin resin modified with a saturated carboxylic acid, a polyvinyl butyral resin, a silicone resin, an epoxy resin, a (meth) acrylic resin, and the like. Mixtures can be used. In the present invention, in order to improve the heat resistance, light resistance, weather resistance such as water resistance, etc. of the resin constituting the above-mentioned filler layer, in a range where the transparency is not impaired, for example, crosslinking is performed. Additives such as an agent, a thermal antioxidant, a light stabilizer, an ultraviolet absorber, a photooxidant, and the like can be arbitrarily added and mixed. The thickness of the filler layer is 200 to
About 1000 μm, more preferably 350 to 600 μm
Position is desirable.
【0038】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する裏面保護シ−ト層について説明すると、か
かる裏面保護シ−トとしては、絶縁性の樹脂のフィルム
ないしシ−トを使用することができ、更に、耐熱性、耐
光性、耐水性等の耐候性を有し、物理的あるいは化学的
強度性、強靱性等に優れ、更に、光起電力素子としての
太陽電池素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、
衝撃吸収性等に優れていることが必要である。上記の裏
面保護シ−トとしては、具体的には、例えば、ポリアミ
ド系樹脂(各種のナイロン)、ポリエステル系樹脂、ポ
リエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリスチレ
ン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系樹
脂、セルロ−ス系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、その
他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用するこ
とができる。上記の樹脂のフィルムないしシ−トとして
は、例えば、2軸延伸した樹脂のフィルムないしシ−ト
も使用することができる。また、上記の樹脂のフィルム
ないしシ−トにおいて、その膜厚としては、12〜20
0μm位、より好ましくは、25〜150μm位が望ま
しい。Next, in the present invention, the solar cell module
The backside protective sheet layer constituting the film will be described. As the backside protective sheet, an insulating resin film or sheet can be used, and furthermore, heat resistance, light resistance, and water resistance can be used. It has weather resistance such as, physical or chemical strength, excellent toughness, etc., furthermore, from the protection of the solar cell element as a photovoltaic element, scratch resistance,
It is necessary to be excellent in shock absorption and the like. Specific examples of the backside protection sheet include polyamide resins (various nylons), polyester resins, polyethylene resins, polypropylene resins, polystyrene resins, polycarbonate resins, and the like. Films or sheets of various resins such as an acetal resin, a cellulose resin, a (meth) acrylic resin and others can be used. As the above resin film or sheet, for example, a biaxially stretched resin film or sheet can also be used. In the above resin film or sheet, the film thickness is 12 to 20.
About 0 μm, more preferably about 25 to 150 μm is desirable.
【0039】なお、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候
性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させる
ために、その他の素材、例えば、低密度ポリエチレン、
中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度
ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン
共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ
−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレ
ン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペ
ンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系
樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹
脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ(メ
タ)アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体(AS系樹脂)、アクリロニトリル−ブタジェン−ス
チレン共重合体(ABS系樹脂)、ポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ
ビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合
体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセ
タ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−
ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから
任意に選択して使用することができる。本発明におい
て、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ない
し二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用
することができる。また、その厚さは、任意であるが、
数μmから300μm位の範囲から選択して使用するこ
とができる。更に、本発明においては、フィルムないし
シ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成
膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。In the present invention, when the solar cell module according to the present invention is manufactured, in order to improve its various strengths such as strength, weather resistance, scratch resistance, etc. Material, for example, low density polyethylene,
Medium density polyethylene, high density polyethylene, linear low density polyethylene, polypropylene, ethylene-propylene copolymer, ethylene-vinyl acetate copolymer, ionomer resin, ethylene-ethyl acrylate copolymer, ethylene-acrylic acid or methacrylic Acid copolymer, methylpentene polymer, polybutene resin, polyvinyl chloride resin, polyvinyl acetate resin, polyvinylidene chloride resin, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, poly (meth) acrylic resin, poly Acrylonitrile resin, polystyrene resin, acrylonitrile-styrene copolymer (AS resin), acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS resin), polyester resin, polyamide resin, polycarbonate resin , Polyvinyl alcohol tree , Ethylene - saponified vinyl acetate copolymer, fluorine resin, diene resin, polyacetal - Le resins, polyurethane resins, nitrocellulose -
And any other known resin film or sheet. In the present invention, the above-mentioned film or sheet can be used in any of unstretched and uniaxially or biaxially stretched. The thickness is arbitrary,
It can be used by selecting from a range of several μm to about 300 μm. Further, in the present invention, the film or sheet may be any film such as an extruded film, an inflation film or a coating film.
【0040】次に、本発明において、上記のような材料
を使用して太陽電池モジュ−ルを製造する方法について
説明すると、かかる製造法としては、公知の方法、例え
ば、上記に挙げた本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
表面保護シ−トを使用し、これに、その無機酸化物の蒸
着薄膜の面を内側にし、順次に、充填剤層、光起電力素
子としての太陽電池素子、充填剤層、および、裏面保護
シ−ト層等を積層し、更に、必要ならば、各層間に、そ
の他の素材を任意に積層し、次いで、これらを、真空吸
引等により一体化して加熱圧着するラミネ−ション法等
の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体とし
て加熱圧着成形して、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができる。上記において、必要ならば、各層間の接着
性等を高めるために、(メタ)アクリル系樹脂、オレフ
ィン系樹脂、ビニル系樹脂、その他等の樹脂をビヒクル
の主成分とする加熱溶融型接着剤、溶剤型接着剤、光硬
化型接着剤、その他等を使用することができる。Next, a method of manufacturing a solar cell module using the above-mentioned materials in the present invention will be described. Such a manufacturing method may be a known method, for example, the above-described method of the present invention. Using a surface protection sheet for a solar cell module according to the above, with the surface of the inorganic oxide vapor-deposited thin film inside, a filler layer, a solar cell element as a photovoltaic element, A filler layer, a backside protective sheet layer, etc. are laminated, and if necessary, other materials are laminated arbitrarily between the respective layers. The solar cell module can be manufactured by using a conventional molding method such as a lamination method and forming the above-mentioned layers into an integrally molded body by thermocompression bonding. In the above, if necessary, a heat-melt adhesive containing a resin such as a (meth) acrylic resin, an olefin-based resin, a vinyl-based resin, or the like as a main component of the vehicle, in order to enhance adhesion between the layers, Solvent-based adhesives, photo-curable adhesives, and others can be used.
【0041】[0041]
【実施例】次に、本発明について実施例を挙げて更に具
体的に説明する。 実施例1 (1).基材として、厚さ50μmの2軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これを巻き取り
式真空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、こ
れをコ−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件
で、アルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しな
がら、エレクトロンビ−ム(EB)加熱方式による反応
真空蒸着法により、上記の2軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルムの易接着処理面に、膜厚300Åの酸
化アルミニウムの蒸着薄膜を形成した。 (蒸着条件) 蒸着源:アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度:7.5×10-6mbar 蒸着チャンバ−内の真空度:2.1×10-6mbar EB出力:40KW フィルム搬送速度:600m/分 (2).次に、上記で膜厚300Åの酸化アルミニウム
の蒸着薄膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化ア
ルミニウムの蒸着薄膜面に、グロ−放電プラズマ発生装
置を使用し、プラズマ出力、1500W、酸素ガス(O
2 ):アルゴンガス(Ar)=19:1からなる混合ガ
スを使用し、混合ガス圧6X10-5Toor、処理速度
420m/minで酸素/アルゴン混合ガスプラズマ処
理を行った。 (3).他方、ジメチルジメトキシシラン2重量部とエ
タノ−ル1重量部と0.1規定の塩酸0.2重量部とを
その割合で混合して、50℃にて2時間還流した。得ら
れたジメチルジメトキシシランの部分加水分解物溶液
に、メチルトリメトキシシラン25重量部とエタノ−ル
5重量部とポリメチルメタクリレ−ト(PMMA)のト
ルエン溶液(20%)20重量部の割合で添加し、室温
にて更に2時間攪拌して、塗布用の組成物を調整した。
次に、上記の酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処
理面に、上記で得られた塗布用の組成物を使用し、これ
をグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティングして、厚さ
1.0g/m2 (乾燥状態)のコ−ティング膜を形成
し、次いで、120℃で5分間加熱処理してコ−ティン
グ硬化膜を形成した。更に、基材としての厚さ50μm
の2軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの非コ
−ティング硬化膜面に、フッ素樹脂塗布液(商品名、ル
ミフロン、旭硝子株式会社製)をグラビアコ−ト法を用
いて塗布して、膜厚10g/m2 (乾燥状態)の塗布膜
を形成して、本発明にかかる表面保護シ−トを製造し
た。 (4).次に、上記で製造した表面保護シ−トのコ−テ
ィング硬化膜に、アモルファスシリコンからなる太陽電
池素子を並列に配置した厚さ38μmの2軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム(受光面)を、その太陽
電池素子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を介
して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製
造した。 (5).なお、上記において、フッ素樹脂塗布液(商品
名、ルミフロン、旭硝子株式会社製)に代えて、テトラ
フルオロエチレンとエチレンとのコポリマ−からなるフ
ッ素樹脂液を使用し、それ以外は、上記と全く同様にし
て、上記と同様に表面保護シ−トおよび太陽電池モジュ
−ルを製造した。Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples. Example 1 (1). As a base material, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm was used, mounted on a delivery roll of a take-up type vacuum evaporation apparatus, and then fed out onto a coating drum. Under the following conditions, the above-mentioned biaxially stretched polyethylene terephthalate film is easily bonded by a reactive vacuum deposition method using an electron beam (EB) heating system while supplying oxygen gas while using aluminum as a deposition source. An aluminum oxide deposited thin film having a thickness of 300 ° was formed on the surface. (Evaporation conditions) Evaporation source: Aluminum Degree of vacuum in vacuum chamber: 7.5 × 10 −6 mbar Degree of vacuum in evaporation chamber: 2.1 × 10 −6 mbar EB output: 40 KW Film transport speed: 600 m / Minutes (2). Next, after forming a thin film of aluminum oxide having a thickness of 300 ° above, immediately after the deposition, a plasma output of 1500 W and oxygen gas were applied to the surface of the thin film of aluminum oxide using a glow discharge plasma generator. (O
2 ): Oxygen / argon mixed gas plasma processing was performed using a mixed gas consisting of argon gas (Ar) = 19: 1 at a mixed gas pressure of 6 × 10 −5 Tool and a processing speed of 420 m / min. (3). On the other hand, 2 parts by weight of dimethyldimethoxysilane, 1 part by weight of ethanol and 0.2 part by weight of 0.1N hydrochloric acid were mixed at the same ratio and refluxed at 50 ° C. for 2 hours. A ratio of 25 parts by weight of methyltrimethoxysilane, 5 parts by weight of ethanol, and 20 parts by weight of a toluene solution (20%) of polymethyl methacrylate (PMMA) to the obtained partially hydrolyzed solution of dimethyldimethoxysilane. And further stirred at room temperature for 2 hours to prepare a coating composition.
Next, the coating composition obtained above was used on the plasma-treated surface of the above-mentioned aluminum oxide vapor-deposited thin film, and the composition was coated by a gravure roll coating method to a thickness of 1.0 g. / M 2 (dry state), and then heat-treated at 120 ° C. for 5 minutes to form a cured coating film. Furthermore, the thickness as a substrate is 50 μm
A fluororesin coating solution (trade name, Lumiflon, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) is applied to the non-coated cured film surface of the biaxially stretched polyethylene terephthalate film by a gravure coating method, and the film thickness is 10 g. / M 2 (dry state) to form a coating film to produce a surface protection sheet according to the present invention. (4). Next, a 38 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film (light receiving surface) in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel is coated on the coating cured film of the surface protection sheet manufactured as described above. The photovoltaic module according to the present invention was manufactured by laminating the photovoltaic cell elements with the surface facing the photovoltaic cell and an adhesive layer of an acrylic resin. (5). In the above, instead of the fluororesin coating liquid (trade name, Lumiflon, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), a fluororesin liquid composed of a copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene is used, and otherwise is exactly the same as above. Thus, a surface protection sheet and a solar cell module were manufactured in the same manner as described above.
【0042】実施例2 (1).基材として、厚さ50μmの2軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ300Åの酸化珪素の蒸着薄膜を上記の2軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの易接着処理面
に形成した。 (蒸着条件) 反応ガス混合比:ヘキサメチルジシロキサン:酸素ガ
ス:ヘリウム=1:10:10(単位:slm) 真空チャンバ−内の真空度:5.0×10-6mbar 蒸着チャンバ−内の真空度:6.0×10-2mbar 冷却・電極ドラム供給電力:20kW フィルムの搬送速度:80m/分 蒸着面:コロナ処理面 (2).上記で膜厚300Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形
成した2軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムに
ついて、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着薄膜面
に、出力、10kW、処理速度100m/minでコロ
ナ放電処理を行って、蒸着薄膜面の表面張力を35dy
neより60dyneに向上させた。 (3).他方、テトラエトキシシラン25重量部とエタ
ノ−ル10重量部と0.1規定の塩酸5重量部とをその
割合で混合して、50℃にて3時間還流した。得られた
テトラエトキシシランの部分加水分解物溶液に、ポリメ
チルメタクリレ−ト(PMMA)のトルエン溶液(20
%)30重量部を添加し、室温にて更に2時間攪拌し
て、塗布用の組成物を調整した。次に、上記の酸化珪素
の蒸着薄膜のコロナ処理面に、上記の塗布用の組成物を
を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティン
グして、厚さ1.5g/m2 (乾燥状態)のコ−ティン
グ膜を形成し、次いで、120℃で1分加熱処理してコ
−ティング硬化膜を形成した。更に、基材としての厚さ
50μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ムの非コ−ティング硬化膜面に、フッ素樹脂塗布液(商
品名、ルミフロン、旭硝子株式会社製)をグラビアコ−
ト法を用いて塗布し、膜厚10g/m2 (乾燥状態)の
塗布膜を形成して、本発明にかかる表面保護シ−トを製
造した。 (4).次に、上記で製造した表面保護シ−トのコ−テ
ィング硬化膜面に、アモルファスシリコンからなる太陽
電池素子を並列に配置した厚さ38μmの2軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルム(受光面)を、その太
陽電池素子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを
製造した。 (5).なお、上記において、フッ素樹脂塗布液(商品
名、ルミフロン、旭硝子株式会社製)に代えて、テトラ
フルオロエチレンとエチレンとのコポリマ−からなるフ
ッ素樹脂液を使用し、それ以外は、上記と全く同様にし
て、上記と同様に表面保護シ−トおよび太陽電池モジュ
−ルを製造した。Embodiment 2 (1). A biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm was used as a base material, and was mounted on a delivery roll of a plasma enhanced chemical vapor deposition apparatus. Was formed on the surface of the above-mentioned biaxially stretched polyethylene terephthalate film which had been subjected to easy adhesion. (Evaporation conditions) Reaction gas mixture ratio: hexamethyldisiloxane: oxygen gas: helium = 1: 10: 10 (unit: slm) Degree of vacuum in vacuum chamber: 5.0 × 10 −6 mbar Inside vapor deposition chamber Degree of vacuum: 6.0 × 10 -2 mbar Cooling / electrode drum supply power: 20 kW Film transport speed: 80 m / min Evaporation surface: Corona treated surface (2). Immediately after the deposition of the biaxially stretched polyethylene terephthalate film on which a 300-mm-thick silicon oxide vapor-deposited thin film was formed, a corona discharge was applied to the silicon oxide vapor-deposited thin film at an output of 10 kW and at a processing speed of 100 m / min. Perform processing to reduce the surface tension of the deposited thin film surface to 35 dy.
ne to 60 dyne. (3). On the other hand, 25 parts by weight of tetraethoxysilane, 10 parts by weight of ethanol and 5 parts by weight of 0.1 N hydrochloric acid were mixed at the same ratio and refluxed at 50 ° C. for 3 hours. To a solution of the partial hydrolyzate of the obtained tetraethoxysilane, a toluene solution of polymethyl methacrylate (PMMA) (20
%), And the mixture was further stirred at room temperature for 2 hours to prepare a coating composition. Next, the above coating composition was used on the corona-treated surface of the above-mentioned silicon oxide vapor-deposited thin film, and was coated by a gravure roll coating method to have a thickness of 1.5 g / m2. 2 (dry state) was formed, and then heat-treated at 120 ° C. for 1 minute to form a cured coating film. Further, a fluororesin coating solution (trade name, Lumiflon, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) is applied to the non-coated cured film surface of a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm as a substrate by gravure coating.
The surface protection sheet according to the present invention was produced by applying a coating method to form a coating film having a thickness of 10 g / m 2 (dry state). (4). Next, a 38 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film (light-receiving surface) in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel on the coating cured film surface of the surface protection sheet manufactured as described above. The photovoltaic module according to the present invention was manufactured by laminating the photovoltaic cell elements with their faces facing each other with an adhesive layer of an acrylic resin interposed therebetween. (5). In the above, instead of the fluororesin coating liquid (trade name, Lumiflon, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), a fluororesin liquid composed of a copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene is used, and otherwise is exactly the same as above. Thus, a surface protection sheet and a solar cell module were manufactured in the same manner as described above.
【0043】実施例3 (1).基材として、紫外線吸収剤を練り込んだ厚さ5
0μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
を使用し、上記の実施例2と全く同様にして、厚さ30
0Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成し、更に、その酸化珪
素の蒸着薄膜面に、コロナ放電処理を行って、蒸着薄膜
面の表面張力を35dyneより60dyneに向上さ
せた。 (2).次に、上記の実施例1と全く同様にして、上記
の2軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの酸化
珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面に、膜厚300Åの酸化
アルミニウムの蒸着薄膜を形成し、更に、酸化アルミニ
ウムの蒸着薄膜面に、プラズマ処理を行った。 (3).他方、ジメチルジメトキシシラン5重量部とエ
タノ−ル2.5重量部と0.1規定の塩酸0.5重量部
とをその割合で混合して、50℃にて2時間還流した。
得られたジメチルジメトキシシランの部分加水分解物溶
液に、メチルトリメトキシシラン15重量部とエタノ−
ル3重量部と環状ポリオレフィンのシクロヘキサン溶液
(30%)10重量部の割合で添加し、室温にて更に2
時間攪拌して、塗布用の組成物を調整した。次に、上記
の酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、上
記で得られた塗布用の組成物を使用し、これをグラビア
ロ−ルコ−ト法でコ−ティングして、厚さ2.0g/m
2 (乾燥状態)のコ−ティング膜を形成し、次いで、1
20℃で1分加熱処理してコ−ティング硬化膜を形成し
た。更に、基材としての厚さ50μmの2軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムの非コ−ティング硬化膜
面に、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤を含むフッ素樹脂
塗布液(商品名、ルミフロン、旭硝子株式会社製)をグ
ラビアコ−ト法を用いて塗布し、膜厚10g/m2 (乾
燥状態)の塗布膜を形成した。更に、上記の塗布膜面
(最表面)に、粒径0.03μmの超微粒子酸化チタン
10重量部とテトラエトキシシラン液90重量部(固形
分20%)とからなる光触媒塗工液をグラビアロ−ルコ
−ト法を用いて塗布し、膜厚1.0g/m2 の防汚層を
形成して、本発明にかかる表面保護シ−トを製造した。 (4).次に、上記で製造した表面保護シ−トのコ−テ
ィング硬化膜面に、アモルファスシリコンからなる太陽
電池素子を並列に配置した厚さ38μmの2軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルム(受光面)を、その太
陽電池素子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを
製造した。 (5).上記において、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤
を含むフッ素樹脂塗布液(商品名、ルミフロン、旭硝子
株式会社製)に代えて、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤
を含むテトラフルオロエチレンとエチレンとのコポリマ
−からなるフッ素樹脂液を使用し、それ以外は、上記と
全く同様にして、上記と同様に表面保護シ−トおよび太
陽電池モジュ−ルを製造した。Embodiment 3 (1). As a substrate, a thickness of 5 kneaded with an ultraviolet absorber
A biaxially oriented polyethylene terephthalate film of 0 μm was used, and the thickness was 30
A vapor-deposited thin film of 0 ° silicon oxide was formed, and the surface of the vapor-deposited thin film of silicon oxide was subjected to corona discharge treatment to increase the surface tension of the vapor-deposited thin film surface from 35 dyne to 60 dyne. (2). Next, a vapor-deposited aluminum oxide thin film having a thickness of 300 ° was formed on the corona-treated surface of the silicon oxide vapor-deposited thin film of the biaxially stretched polyethylene terephthalate film in exactly the same manner as in Example 1 described above. Then, a plasma treatment was performed on the surface of the deposited thin film of aluminum oxide. (3). On the other hand, 5 parts by weight of dimethyldimethoxysilane, 2.5 parts by weight of ethanol and 0.5 parts by weight of 0.1N hydrochloric acid were mixed at the same ratio and refluxed at 50 ° C. for 2 hours.
15 parts by weight of methyltrimethoxysilane and ethanol were added to the resulting partially hydrolyzed solution of dimethyldimethoxysilane.
At a ratio of 3 parts by weight of the catalyst and 10 parts by weight of a cyclohexane solution of a cyclic polyolefin (30%).
After stirring for an hour, a composition for coating was prepared. Next, the coating composition obtained above was used on the plasma-treated surface of the above-mentioned deposited thin film of aluminum oxide, and the composition was coated by a gravure roll coating method to a thickness of 2.0 g. / M
2 (dry state) coating film is formed.
The coating was cured by heating at 20 ° C. for 1 minute. Furthermore, a fluororesin coating solution containing a benzophenone-based ultraviolet absorber (trade name, Lumiflon, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) is applied to the non-coated cured film surface of a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm as a substrate. Was applied using a gravure coating method to form a coating film having a thickness of 10 g / m 2 (dry state). Further, a photocatalyst coating solution comprising 10 parts by weight of ultrafine titanium oxide particles having a particle size of 0.03 μm and 90 parts by weight of a tetraethoxysilane solution (solid content: 20%) was applied to the above coating film surface (outermost surface) by gravure coating. The surface protection sheet according to the present invention was produced by applying a coating method to form an antifouling layer having a thickness of 1.0 g / m 2 . (4). Next, a 38 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film (light-receiving surface) in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel on the coating cured film surface of the surface protection sheet manufactured as described above. The photovoltaic module according to the present invention was manufactured by laminating the photovoltaic cell elements with their faces facing each other with an adhesive layer of an acrylic resin interposed therebetween. (5). In the above, instead of the fluororesin coating liquid containing a benzophenone-based ultraviolet absorber (trade name, Lumiflon, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), a fluororesin liquid comprising a copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene containing a benzophenone-based ultraviolet absorber The surface protection sheet and the solar cell module were produced in the same manner as described above except for using the above.
【0044】実施例4 (1).上記の実施例1で製造した膜厚300Åの酸化
アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、上記の実
施例1と全く同様にして、膜厚300Åの酸化アルミニ
ウムの蒸着薄膜を形成し、更に、酸化アルミニウムの蒸
着薄膜面に、プラズマ処理を行って、2層の酸化アルミ
ニウムの蒸着薄膜を形成した。 (2).他方、テトラエトキシシラン25重量部とエタ
ノ−ル10重量部と0.1規定の塩酸5重量部とを混合
して、50℃にて3時間還流した。得られたテトラエト
キシシランの部分加水分解物溶液に、フッ素系アクリル
樹脂液(旭硝子株式会社製、商品名、ルミフロン)25
重量部を添加し、室温にて更に2時間攪拌して、塗布用
の組成物を調整した。次に、上記の酸化アルミニウムの
蒸着薄膜のプラズマ処理面に、上記の塗布用の組成物を
を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティン
グして、厚さ0.5g/m2 (乾燥状態)のコ−ティン
グ膜を形成し、次いで、120℃で5分間加熱処理して
コ−ティング硬化膜を形成した。次いで、それ以外は、
上記の実施例1と全く同様にして、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トを製造した。更に、上
記で製造した表面保護シ−トを使用し、上記の実施例1
と同様にして本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造
した。Embodiment 4 (1). On the plasma-treated surface of the deposited aluminum oxide thin film having a thickness of 300 ° produced in Example 1 above, a deposited aluminum oxide thin film having a thickness of 300 ° was formed in exactly the same manner as in Example 1 above. Plasma deposition was performed on the aluminum thin film deposition surface to form two aluminum oxide thin films. (2). Separately, 25 parts by weight of tetraethoxysilane, 10 parts by weight of ethanol and 5 parts by weight of 0.1 N hydrochloric acid were mixed and refluxed at 50 ° C. for 3 hours. To the obtained partially hydrolyzed solution of tetraethoxysilane, add a fluorine-based acrylic resin solution (trade name, Lumiflon) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. 25
The mixture was stirred at room temperature for 2 hours to prepare a coating composition. Next, the above-mentioned composition for coating was used on the plasma-treated surface of the above-mentioned vapor-deposited thin film of aluminum oxide, and was coated by a gravure roll coating method to have a thickness of 0.5 g / m 2. 2 (dry state) was formed, and then heat-treated at 120 ° C. for 5 minutes to form a cured coating film. Then, otherwise,
A surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention was manufactured in exactly the same manner as in Example 1 described above. Further, using the surface protection sheet manufactured as described above,
A solar cell module according to the present invention was manufactured in the same manner as in the above.
【0045】実施例5 (1).上記の実施例2において製造した酸化珪素の蒸
着薄膜のコロナ処理面に、上記の実施例2と全く同様に
して、膜厚300Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成し、更
に、酸化珪素の蒸着薄膜面に、コロナ放電処理を行っ
て、2層の酸化珪素の蒸着薄膜を形成した。 (2).他方、テトラエトキシシラン20重量部と水5
0重量部とエタノ−ル30重量部と0.1規定の塩酸5
重量部とをその割合で混合して、50℃にて3時間還流
した。得られたテトラエトキシシランの部分加水分解物
溶液に、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体の水−イ
ソプロピ−ルアルコ−ル溶液(固形分8%)50重量部
を添加し、室温にて更に2時間攪拌して、塗布用の組成
物を調整した。次に、上記の酸化珪素の蒸着薄膜のプラ
ズマ処理面に、上記の塗布用の組成物をを使用し、これ
をグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティングして、厚さ
1.0g/m2 (乾燥状態)のコ−ティング膜を形成
し、次いで、120℃で5分間加熱処理してコ−ティン
グ硬化膜を形成した。以下、上記の実施例2と全く同様
にして、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トを製造した。更に、上記で製造した表面保護シ−
トを使用し、上記の実施例2と全く同様にして本発明に
かかる太陽電池モジュ−ルを製造した。Embodiment 5 (1). On the corona-treated surface of the silicon oxide vapor-deposited thin film produced in Example 2 above, a silicon oxide vapor-deposited thin film having a thickness of 300 ° was formed in exactly the same manner as in Example 2 above. The surface was subjected to corona discharge treatment to form two layers of silicon oxide vapor-deposited thin films. (2). On the other hand, 20 parts by weight of tetraethoxysilane and water 5
0 parts by weight, 30 parts by weight of ethanol and 0.1 N hydrochloric acid 5
Parts by weight and the mixture was refluxed at 50 ° C. for 3 hours. To the obtained partial hydrolyzate solution of tetraethoxysilane, 50 parts by weight of a solution of ethylene-vinyl alcohol copolymer in water-isopropyl alcohol (solid content: 8%) was added, and the mixture was further added at room temperature for 2 hours. The composition for coating was prepared by stirring. Next, the above-mentioned composition for coating was used on the plasma-treated surface of the above-mentioned silicon oxide vapor-deposited thin film, and was coated by a gravure roll coating method to have a thickness of 1.0 g / m 2. 2 (dry state) was formed, and then heat-treated at 120 ° C. for 5 minutes to form a cured coating film. Hereinafter, a surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention was manufactured in exactly the same manner as in Example 2 described above. Further, the surface protection sheet manufactured as described above is used.
A solar cell module according to the present invention was manufactured in exactly the same manner as in Example 2 described above.
【0046】実施例6 (1).基材として、紫外線吸収剤を練り込んだ厚さ5
0μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
を使用し、上記の実施例1と全く同様にして、厚さ30
0Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成し、更に、そ
の酸化アルミニウムの蒸着薄膜面に、プラズマ処理を行
った。 (2).次に、上記の実施例2と全く同様にして、上記
の2軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの酸化
アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、膜厚30
0Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成し、更に、酸化珪素の
蒸着薄膜面に、コロナ放電処理を行った。次に、上記の
酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面に、以下、上記の実
施例2と全く同様にして、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ル用表面保護シ−トを製造した。更に、上記で製造
した表面保護シ−トを使用し、上記の実施例2と全く同
様にして本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造し
た。Embodiment 6 (1). As a substrate, a thickness of 5 kneaded with an ultraviolet absorber
A biaxially stretched polyethylene terephthalate film of 0 μm was used and the thickness was 30
A 0 ° aluminum oxide deposited thin film was formed, and a plasma treatment was performed on the aluminum oxide deposited thin film surface. (2). Next, in the same manner as in Example 2 described above, the plasma-treated surface of the aluminum oxide vapor-deposited thin film of the biaxially stretched polyethylene terephthalate film was coated with a film thickness of 30%.
A 0 ° silicon oxide deposited thin film was formed, and a corona discharge treatment was further performed on the silicon oxide deposited thin film surface. Next, a surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention was manufactured on the corona-treated surface of the silicon oxide vapor-deposited thin film in the same manner as in Example 2 above. Further, a solar cell module according to the present invention was manufactured in exactly the same manner as in Example 2 above, using the surface protection sheet manufactured as described above.
【0047】比較例1 (1).基材として、厚さ50μmのポリフッ化ビニル
樹脂フィルム(PVF)を使用し、これを表面保護シ−
トし、その片面に、アモルファスシリコンからなる太陽
電池素子を並列に配置した厚さ38μmの2軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルム(受光面)を、その太
陽電池素子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。Comparative Example 1 (1). As a base material, a 50 μm thick polyvinyl fluoride resin film (PVF) was used, and this was used as a surface protection sheet.
A 38 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film (light-receiving surface) in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel on one surface thereof, with the solar cell element surfaces facing each other, and an acrylic resin The solar cell module was manufactured by laminating via an adhesive layer.
【0048】比較例2 基材として、厚さ50μmの2軸延伸ポリエチレンテレ
フタレ−トフィルムを使用し、上記の実施例1と全く同
様にして、膜厚300Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜
を形成し、更に、酸化アルミニウムの蒸着薄膜面に、プ
ラズマ処理を行った。更に、基材としての厚さ50μm
の2軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの非プ
ラズマ処理面に、フッ素樹脂塗布液(商品名、ルミフロ
ン、旭硝子株式会社製)をグラビアコ−ト法を用いて塗
布し、膜厚10g/m2 (乾燥状態)の塗布膜を形成し
て、表面保護シ−トを製造した。次に、上記の表面保護
シ−トの酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面
に、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列
に配置した厚さ38μmの2軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルム(受光面)を、その太陽電池素子面を
対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層し
て、太陽電池モジュ−ルを製造した。COMPARATIVE EXAMPLE 2 A biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm was used as a substrate, and a vapor-deposited thin film of aluminum oxide having a thickness of 300 ° was formed in the same manner as in Example 1 above. Further, a plasma treatment was performed on the surface of the deposited thin film of aluminum oxide. Furthermore, the thickness as a substrate is 50 μm
A fluororesin coating solution (trade name, Lumiflon, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) is applied to the non-plasma-treated surface of the biaxially stretched polyethylene terephthalate film by a gravure coating method, and the film thickness is 10 g / m 2 ( A coating film (in a dry state) was formed to produce a surface protection sheet. Next, a 38 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film (light receiving surface) in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel on the plasma-treated surface of the above-mentioned surface protection sheet on which a thin film of aluminum oxide is deposited. Were laminated with an adhesive layer of an acrylic resin facing the solar cell element surface to produce a solar cell module.
【0049】比較例3 基材として、厚さ50μmの2軸延伸ポリエチレンテレ
フタレ−トフィルムを使用し、上記の実施例2と全く同
様にして、厚さ300Åの酸化珪素の蒸着薄膜を、その
易接着処理面に形成し、更に、その酸化珪素の蒸着薄膜
面に、コロナ放電処理を行った。更に、基材としての厚
さ50μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルムの非コロナ処理面に、フッ素樹脂塗布液(商品名、
ルミフロン、旭硝子株式会社製)をグラビアコ−ト法を
用いて塗布し、膜厚10g/m2 (乾燥状態)の塗布膜
を形成して、表面保護シ−トを製造した。次いで、上記
の表面保護シ−トの酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面
に、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列
に配置した厚さ38μmの2軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルム(受光面)を、その太陽電池素子面を
対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層し
て、太陽電池モジュ−ルを製造した。COMPARATIVE EXAMPLE 3 A biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm was used as a base material. A corona discharge treatment was performed on the surface of the silicon oxide film on which the silicon oxide was deposited. Further, a fluororesin coating solution (trade name, product name) is applied to the non-corona treated surface of a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm as a substrate.
(Lumiflon, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) using a gravure coating method to form a coating film having a thickness of 10 g / m 2 (dry state), thereby producing a surface protection sheet. Next, a 38 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film (light-receiving surface) in which solar cell elements made of amorphous silicon were arranged in parallel on the corona-treated surface of the deposited silicon oxide thin film of the surface protection sheet. The photovoltaic module was manufactured by stacking the photovoltaic cell elements with their surfaces facing each other with an acrylic resin adhesive layer interposed therebetween.
【0050】実験例 上記の実施例1〜6で製造した本発明にかかる表面保護
シ−トと比較例1〜3にかかる表面保護シ−トについ
て、全光線透過率を測定し、また、上記の実施例1〜6
で製造した太陽電池モジュ−ルと比較例1〜3で製造し
た太陽電池モジュ−ルについて太陽電池モジュ−ル評価
試験を行った。 (1).全光線透過率の測定 これは、基材フィルムを基準とし、実施例1〜6で製造
した本発明にかかる表面保護シ−トと比較例1〜3にか
かる表面保護シ−トについて、カラ−コンピュ−タ−に
より全光線透過率(%)を測定した。 (2).太陽電池モジュ−ル評価試験 これは、JIS規格C8917−1989に基づいて、
太陽電池モジュ−ルの環境試験を行い、試験前後の光起
電力の出力を測定して、比較評価した。 (3).水蒸気透過度と酸素透過度の測定 水蒸気透過度は、実施例1〜6で製造した本発明にかか
る表面保護シ−トと比較例1〜3にかかる表面保護シ−
トについて、温度40℃、湿度90%RHの条件で、米
国、モコン(MOCON)社製の測定機〔機種名、パ−
マトラン(PERMATRAN)〕にて測定し、更に、
酸素透過度は、上記と同様の対象物について、温度23
℃、湿度90%RHの条件で、米国、モコン(MOCO
N)社製の測定機〔機種名、オクストラン(OXTRA
N)〕にて測定した。上記の測定結果について下記の表
1に示す。Experimental Example The total light transmittance of the surface protective sheets according to the present invention manufactured in Examples 1 to 6 and the surface protective sheets according to Comparative Examples 1 to 3 was measured. Examples 1 to 6
A solar cell module evaluation test was conducted for the solar cell modules manufactured in Comparative Examples 1 to 3 and the solar cell modules manufactured in Comparative Examples 1 to 3. (1). Measurement of Total Light Transmittance This is based on the base film and the color of the surface protection sheets according to the present invention manufactured in Examples 1 to 6 and the surface protection sheets according to Comparative Examples 1 to 3. The total light transmittance (%) was measured by a computer. (2). Solar cell module evaluation test This is based on JIS standard C8917-1989.
An environmental test of the solar cell module was performed, and the output of the photovoltaic power before and after the test was measured and compared and evaluated. (3). Measurement of Water Vapor Permeability and Oxygen Permeability The water vapor permeability was measured for the surface protection sheets according to the present invention manufactured in Examples 1 to 6 and the surface protection sheets according to Comparative Examples 1 to 3.
Under the conditions of a temperature of 40 ° C. and a humidity of 90% RH, a measuring device manufactured by MOCON, USA [model name, part
MATTRAN (PERMATRAN)]
Oxygen permeability was measured at a temperature of 23
℃, humidity 90% RH, USA, Mocon (MOCO
N) Company [Model name, OXTRA
N)]. The results of the above measurements are shown in Table 1 below.
【0051】 上記の表1において、水蒸気バリア性は、〔g/m2 /
day・40℃・100%RH〕の単位であり、また、
酸素バリア性は、〔cc/m2 /day・23℃・90
%RH〕の単位である。[0051] In Table 1 above, the water vapor barrier property is expressed as [g / m 2 /
day • 40 ° C • 100% RH], and
The oxygen barrier property is as follows: [cc / m 2 / day · 23 ° C. · 90
% RH].
【0052】上記の表1に示す測定結果より明らかなよ
うに、実施例1〜6にかかる表面保護シ−トは、全光線
透過率が高く、また、水蒸気バリア性、酸素バリア性に
優れ、更に、それらを使用した太陽電池モジュ−ルは、
出力低下率が、低いものであった。これに対し、比較例
1にかかる表面保護シ−トは、全光線透過率が高いもの
の、水蒸気バリア性、酸素バリア性に劣り、そのため、
それを使用した太陽電池モジュ−ルは、出力低下率が、
高いという問題点があった。また、比較例2、3にかか
る表面保護シ−トは、実施例1〜6にかかるそれらと比
較すると、水蒸気バリア性、酸素バリア性等において、
若干、劣るものであった。As is clear from the measurement results shown in Table 1 above, the surface protection sheets according to Examples 1 to 6 have high total light transmittance, and are excellent in water vapor barrier properties and oxygen barrier properties. Furthermore, solar cell modules using them are:
The output reduction rate was low. On the other hand, the surface protective sheet according to Comparative Example 1 has a high total light transmittance, but is inferior in water vapor barrier property and oxygen barrier property.
The solar cell module using it, the output reduction rate,
There was a problem that it was expensive. Further, the surface protection sheets according to Comparative Examples 2 and 3 are different from those according to Examples 1 to 6 in terms of water vapor barrier property, oxygen barrier property, and the like.
It was slightly inferior.
【0053】[0053]
【発明の効果】以上の説明で明らかなよう、本発明は、
太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として
使用されているガラス板の特性、および、フッ素系樹脂
に着目し、まず、樹脂フィルムの片面に、酸化珪素、あ
るいは、酸化アルミニウム等の透明な、ガラス質からな
る無機酸化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の
蒸着薄膜の上に、金属アルコキシド化合物および/また
はその加水分解物をビヒクルの主成分とする組成物によ
るコ−ティング膜を設け、次いで、該無機酸化物の蒸着
薄膜とコ−ティング膜とを設けた樹脂フィルムの一方の
面に、フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする樹脂組成
物による塗布膜を形成し、積層して太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トを製造し、これを表面保護シ−ト層と
し、その一方の面を内側にし、充填剤層、光起電力素子
としての太陽電池素子、充填剤層、および、裏面保護シ
−ト層等を順次に積層し、次いで、これらを一体的に真
空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して
太陽電池モジュ−ルを製造して、水分、酸素等の侵入を
防止する防湿性を著しく向上させ、更に、耐光性、耐熱
性、耐水性等の諸堅牢性についても、その長期的な性能
劣化を最小限に抑え、保護能力性に優れ、更に、防汚性
等に優れ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ル用
表面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルを製造し得ることができるというものである。As is apparent from the above description, the present invention
Focusing on the properties of the glass plate used as the surface protection sheet layer constituting the solar cell module and the fluorine-based resin, first, one side of the resin film is coated with silicon oxide or aluminum oxide. A transparent glassy inorganic oxide vapor-deposited thin film is provided, and a metal alkoxide compound and / or a hydrolyzate thereof is used as a main component of a vehicle. Forming a coating film of a resin composition containing a fluorine-based resin as a main component of a vehicle on one surface of a resin film provided with a deposited thin film of the inorganic oxide and a coating film. To form a surface protection sheet for a solar cell module, which is used as a surface protection sheet layer, one side of which is on the inside, a filler layer, and a solar cell as a photovoltaic element. The solar cell module is formed by sequentially laminating a cell, a filler layer, a backside protective sheet layer, and the like, and then using a lamination method or the like in which these are integrally vacuum-evacuated and heat-pressed. Manufactured to significantly improve moisture resistance to prevent intrusion of moisture, oxygen, etc., and also minimize light-resistance, heat-resistance, water-resistance, etc. A low-cost and safe surface protection sheet for a solar cell module that is excellent in protection ability, furthermore excellent in antifouling properties and the like, and a solar cell module using the same.
Can be manufactured.
【図1】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view schematically showing a layer configuration of an example of a surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention.
【図2】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view schematically showing a layer configuration of an example of a surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention.
【図3】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view schematically showing a layer configuration of an example of a surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention.
【図4】図1に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−
ルついてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図で
ある。FIG. 4 is a solar cell module manufactured using the surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention shown in FIG.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view schematically illustrating a layer configuration of an example of the structure.
【図5】物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を
形成する方法についてその概要を示す巻き取り式真空蒸
着装置の概略的構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a take-up type vacuum evaporation apparatus showing an outline of a method of forming an evaporated thin film of an inorganic oxide by a physical vapor deposition method.
【図6】化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を
形成する方法についてその概要を示す低温プラズマ化学
気相成長装置の概略的構成図である。FIG. 6 is a schematic configuration diagram of a low-temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition apparatus showing an outline of a method for forming a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide by a chemical vapor deposition method.
A 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト A1 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト A2 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト 1 塗布膜 2 無機酸化物の蒸着薄膜 2a 無機酸化物の蒸着薄膜 2b 無機酸化物の蒸着薄膜 3 コ−ティング膜 4 樹脂フィルム 5 多層膜 5a 多層膜 T 太陽電池モジュ−ル 11 充填剤層 12 太陽電池素子 13 充填剤層 14 裏面保護シ−トA Surface protection sheet for solar cell module A 1 Surface protection sheet for solar cell module A 2 Surface protection sheet for solar cell module 1 Coating film 2 Evaporated thin film of inorganic oxide 2a Inorganic Evaporated thin film of oxide 2b Evaporated thin film of inorganic oxide 3 Coating film 4 Resin film 5 Multilayer film 5a Multilayer film T Solar cell module 11 Filler layer 12 Solar cell element 13 Filler layer 14 Backside protection sheet
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 浩 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 今野 克俊 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 Fターム(参考) 5F051 BA18 CB12 CB13 CB14 CB22 GA05 GA06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hiroshi Yamamoto 1-1-1, Ichigaya-Kagacho, Shinjuku-ku, Tokyo Inside Dai Nippon Printing Co., Ltd. (72) Katsutoshi Konno 1-chome, Ichigaya-cho, Shinjuku-ku, Tokyo No. 1 Dai Nippon Printing Co., Ltd. F-term (reference) 5F051 BA18 CB12 CB13 CB14 CB22 GA05 GA06
Claims (17)
樹脂組成物による塗布膜と、無機酸化物の蒸着薄膜を設
け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、金属アルコ
キシド化合物および/またはその加水分解物をビヒクル
の主成分とする組成物によるコ−ティング膜を設けた樹
脂フィルムとを積層したことを特徴とする太陽電池モジ
ュ−ル用表面保護シ−ト。1. A coating film of a resin composition containing a fluorine-based resin as a main component of a vehicle, and a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide are provided, and a metal alkoxide compound and / or Alternatively, a surface protection sheet for a solar cell module characterized by laminating a resin film provided with a coating film of a composition containing a hydrolyzate thereof as a main component of a vehicle.
ある透明フッ素系樹脂からなることを特徴とする上記の
請求項1に記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
ト。2. The surface protection seal for a solar cell module according to claim 1, wherein the coating film is made of a transparent fluororesin having a visible light transmittance of 90% or more.
G.
プ)または商品名ルミフロン(両方とも旭硝子株式会社
製)からなる透明フッ素系樹脂からなることを特徴とす
る上記の請求項1〜2に記載する太陽電池モジュ−ル用
表面保護シ−ト。3. The coating film according to claim 1, wherein the coating film is made of a transparent fluororesin made of CYTOP (trade name) or Lumiflon (trade name) (both manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.). Protection sheet for solar cell module.
酸化防止剤を含むことを特徴とする上記の請求項1〜3
に記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。4. The coating film according to claim 1, wherein the coating film contains an ultraviolet absorber and / or an antioxidant.
2. A surface protection sheet for a solar cell module according to item 1.
ことを特徴とする上記の請求項1〜4に記載する太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−ト。5. The surface protection sheet for a solar cell module according to claim 1, wherein the coating film has an antifouling layer on the outermost surface.
法による無機酸化物の蒸着薄膜の1層ないし2層以上の
多層膜からなることを特徴とする上記の請求項1〜5に
記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。6. The method according to claim 1, wherein the inorganic oxide vapor-deposited thin film is formed of one or more multilayer films of the inorganic oxide vapor-deposited thin film formed by physical vapor deposition. A surface protection sheet for a solar cell module to be described.
法による無機酸化物の蒸着薄膜の1層ないし2層以上の
多層膜からなることを特徴とする上記の請求項1〜5に
記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。7. The method according to claim 1, wherein the inorganic oxide vapor-deposited thin film comprises one or more multilayer films of the inorganic oxide vapor-deposited thin film formed by chemical vapor deposition. A surface protection sheet for a solar cell module to be described.
法および化学気相成長法による2層以上の多層膜からな
ることを特徴とする上記の請求項1〜5に記載する太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。8. The solar cell according to claim 1, wherein the inorganic oxide vapor-deposited thin film is composed of two or more multilayer films formed by physical vapor deposition and chemical vapor deposition. Surface protection sheet for modules.
法による無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次に、該無機酸
化物の蒸着薄膜の上に、物理気相成長法による無機酸化
物の蒸着薄膜を設けた2層以上の多層膜からなることを
特徴とする上記の請求項8に記載する太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−ト。9. A vapor-deposited thin film of an inorganic oxide, wherein a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide is provided by a chemical vapor deposition method, and then the inorganic oxide is deposited on the vapor-deposited thin film of the inorganic oxide by a physical vapor deposition method. 9. The solar cell module according to claim 8, comprising a multilayer film of two or more layers provided with a deposited thin film of an object.
Surface protection sheet for
理面またはコロナ処理面を形成していることを特徴とす
る上記の請求項1〜9に記載する太陽電池モジュ−ル用
表面保護シ−ト。10. The surface protection seal for a solar cell module according to claim 1, wherein the vapor-deposited thin film of an inorganic oxide forms a plasma-treated surface or a corona-treated surface. G.
とする上記の請求項1〜10に記載する太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−ト。11. The surface protection sheet for a solar cell module according to claim 1, wherein the composition contains a resin component.
であることを特徴とする上記の請求項11に記載する太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。12. The surface protection sheet for a solar cell module according to claim 11, wherein the resin component is a water-soluble or hydrophilic resin.
よび/またはその加水分解物の硬化触媒を含むことを特
徴とする上記の請求項1〜12に記載する太陽電池モジ
ュ−ル用表面保護シ−ト。13. The surface protection sheet for a solar cell module according to claim 1, wherein the composition contains a curing catalyst for a metal alkoxide compound and / or a hydrolyzate thereof. .
とを特徴とする上記の請求項1〜13に記載する太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−ト。14. The surface protection sheet for a solar cell module according to claim 1, wherein the composition contains inorganic oxide fine particles.
する上記の請求項1〜14に記載する太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−ト。15. The solar cell module according to claim 1, wherein the composition comprises a crosslinking agent.
Surface protection sheet for
ル系樹脂フィルム、二軸延伸ポリアミド系樹脂フィル
ム、二軸延伸ポリプロピレン系樹脂フィルム、環状ポリ
オレフィン系樹脂フィルム、または、(メタ)アクリル
系樹脂フィルムからなることを特徴とする上記の請求項
1〜15に記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
ト。16. The resin film comprises a biaxially stretched polyester resin film, a biaxially stretched polyamide resin film, a biaxially stretched polypropylene resin film, a cyclic polyolefin resin film, or a (meth) acrylic resin film. The surface protection sheet for a solar cell module according to any one of claims 1 to 15, wherein:
G.
る樹脂組成物による塗布膜と、無機酸化物の蒸着薄膜を
設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、金属アル
コキシド化合物および/またはその加水分解物をビヒク
ルの主成分とする組成物によるコ−ティング膜を設けた
樹脂フィルムとを積層した太陽電池モジュ−ル用表面保
護シ−トの一方の面に、充填剤層、光起電力素子として
の太陽電池素子、充填剤層、および、裏面保護シ−ト層
を順次に積層し、これらを真空吸引して加熱圧着ラミネ
−ション法等により一体成形体としたことを特徴とする
太陽電池モュジュ−ル。17. A coating film made of a resin composition containing a fluorine-based resin as a main component of a vehicle, and a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide are provided, and a metal alkoxide compound and / or Alternatively, on one surface of a solar cell module surface protection sheet in which a resin film provided with a coating film of a composition containing a hydrolyzate thereof as a main component of a vehicle, a filler layer and a light A solar cell element as an electromotive element, a filler layer, and a backside protection sheet layer are sequentially laminated, and these are vacuum-suctioned to form an integrally formed body by a heat compression lamination method or the like. Solar cell module.
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| JP11082384A JP2000277770A (en) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | Surface protection sheet for solar cell module and solar cell module using the same |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060606 |