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JP2000260335A - Member for plasma display panel - Google Patents

Member for plasma display panel

Info

Publication number
JP2000260335A
JP2000260335A JP6621999A JP6621999A JP2000260335A JP 2000260335 A JP2000260335 A JP 2000260335A JP 6621999 A JP6621999 A JP 6621999A JP 6621999 A JP6621999 A JP 6621999A JP 2000260335 A JP2000260335 A JP 2000260335A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
partition
slender
paste
barrier
glass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6621999A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masaaki Iwamoto
正聰 岩元
Takeshi Horiuchi
健 堀内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP6621999A priority Critical patent/JP2000260335A/en
Publication of JP2000260335A publication Critical patent/JP2000260335A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce discharge due to effect of a defective barrier rib by constituting the barrier rib for constituting a discharge space with a plurality of slender barrier ribs. SOLUTION: Stripe-shaped barrier ribs are made as a plurality of slender barrier ribs. In the case of a lattice-shaped barrier rib, among barrier rib groups arranged two-directionally in parallel, a barrier rib in at least one-directional barrier rib group is constituted with a plurality of slender barrier ribs. Especially, a barrier rib in the barrier rib group for separating colorings from each other is formed from a plurality of slender barrier ribs to prevent false luminescence. Height of the slender barrier ribs is 50-200 μm, and line width is 10-100 μm. Thus, since each barrier rib for constituting a discharge space is constituted with the plurality of slender barrier ribs, residual slender barrier ribs function as a satisfactory barrier rib even when a part of the slender barrier rib is defective, and the barrier rib substantially having no defective is provided. Number of the plurality of slender barrier ribs is not especially restricted. But, when the number of them is increased, line width of the barrier ribs is more slender and formation of the slender barrier ribs becomes difficult, and therefore the number is set 2 or 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイ用部材に関する。なお、本発明におけるプラズマデ
ィスプレイとは、隔壁で区切られた放電空間内において
放電することにより表示を行うディスプレイを指し、上
記のAC方式プラズマディスプレイ以外にも、プラズマ
アドレス液晶ディスプレイをはじめとする各種放電型デ
ィスプレイを含むものである。
[0001] The present invention relates to a member for a plasma display. Note that the plasma display in the present invention refers to a display that performs display by discharging in a discharge space partitioned by partitions, and in addition to the above-described AC plasma display, various types of discharge including a plasma-addressed liquid crystal display. It includes a type display.

【0002】[0002]

【従来の技術】プラズマディスプレイ(PDP)は液晶
パネルに比べて高速の表示が可能であり、かつ大型化が
容易であることから、OA機器、広報表示装置などの分
野に用いられている。また、高品位テレビジョンの分野
などへの進展が非常に期待されている。このような用途
の拡大にともなって、微細で多数の表示セルを有するカ
ラープラズマディスプレイが注目されている。
2. Description of the Related Art Plasma displays (PDPs) are used in fields such as OA equipment and public information display devices because they can display at a higher speed than liquid crystal panels and can be easily made larger. In addition, progress in the field of high-definition television is highly expected. With the expansion of such uses, a color plasma display having a large number of fine display cells has been receiving attention.

【0003】その構造と原理を、AC方式プラズマディ
スプレイを例に挙げて説明すると、前面ガラス基板と背
面ガラス基板との間に備えられた放電空間内で対抗する
アノードおよびカソード電極間にプラズマ放電を生じさ
せ、上記放電空間内に封入されているガスから発生した
紫外線を、放電空間内に設けた蛍光体にあてることによ
り表示を行うものである。この場合、放電の広がりを一
定領域に押さえ、表示を規定のセル内で行わせると同時
に、かつ均一な放電空間を確保するために隔壁(障壁、
リブともいう)が設けられている。AC方式プラズマデ
ィスプレイの場合、この隔壁はストライプ状または格子
状に形成されることが多い。
The structure and principle of the plasma display will be described by taking an AC type plasma display as an example. Plasma discharge is generated between opposing anode and cathode electrodes in a discharge space provided between a front glass substrate and a rear glass substrate. The display is performed by applying ultraviolet rays generated from the gas sealed in the discharge space to a phosphor provided in the discharge space. In this case, the discharge is suppressed to a certain area, display is performed in a specified cell, and at the same time, a partition wall (barrier,
Ribs). In the case of an AC type plasma display, the partition walls are often formed in a stripe shape or a lattice shape.

【0004】ストライプ状の隔壁は、およそ幅20〜2
00μm、高さ50〜200μmであるが、通常、前面
ガラス基板や背面ガラス基板にガラス粉末を含む絶縁ペ
ーストをスクリーン印刷法で印刷・乾燥し、この印刷・
乾燥工程を10数回繰り返して所定の高さに形成する。
[0004] Stripe-shaped partitions have a width of about 20 to 2
The thickness is 50 μm and the height is 50 to 200 μm. Usually, an insulating paste containing glass powder is printed and dried on a front glass substrate and a rear glass substrate by a screen printing method.
The drying step is repeated ten or more times to form a predetermined height.

【0005】特開平1−296534号公報、特開平2
−165538号公報、特開平5−342992号公
報、特開平6−295676号公報、特開平8−508
11号公報では、隔壁を感光性ペーストを用いてフォト
リソグラフィー技術により形成する方法が提案されてい
る。
[0005] JP-A-1-296534 and JP-A-2
JP-A-165538, JP-A-5-34292, JP-A-6-295676, JP-A-8-508
Japanese Patent Application Laid-Open No. 11 proposes a method for forming a partition by a photolithography technique using a photosensitive paste.

【0006】上記のいずれの方法も、ガラス粉末を含む
絶縁ペーストを隔壁パターン形状に形成した後、焼成す
ることにより隔壁を形成する。その際、隔壁の一部が、
印刷不良、露光不良、焼成収縮、異物等により、欠けた
り脱落するという問題が生じ得る。この隔壁欠けがある
と、前面板と背面板を合わせてパネルを形成した際に、
背面板の隔壁頂部と前面板の間にギャップが生じたり、
欠けた隔壁が放電空間を塞いだりする。このことによ
り、放電時に発光欠点や発光余点が発生し、映像に乱れ
が生じる問題があった。
In any of the above methods, after forming an insulating paste containing glass powder in the shape of a partition pattern, the partition is formed by firing. At that time, part of the partition wall,
Problems such as chipping or falling off may occur due to poor printing, poor exposure, firing shrinkage, foreign matter, and the like. When there is this partition chipping, when the panel is formed by combining the front plate and the back plate,
A gap may occur between the top of the rear wall partition and the front panel,
The missing partition blocks the discharge space. As a result, there is a problem that light emission defects and extra light emission points are generated at the time of discharge, and the image is disturbed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、実質的に隔
壁欠けの影響による誤放電の少ないプラズマディスプレ
イを提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a plasma display in which erroneous discharge is substantially reduced due to the effect of chipping of a partition wall.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、基板
上に電極とストライプ状の隔壁が形成されたプラズマデ
ィスプレイパネル用部材であって、放電空間を構成する
隔壁が複数本の細隔壁から構成されることを特徴とする
プラズマディスプレイパネル用部材である。
That is, the present invention relates to a member for a plasma display panel in which electrodes and stripe-shaped partitions are formed on a substrate, wherein the partitions constituting a discharge space are composed of a plurality of fine partitions. A member for a plasma display panel.

【0009】また本発明は、基板上に電極と格子状の隔
壁が形成されたプラズマディスプレイパネル用部材であ
って、2方向に並列した隔壁群のうち少なくとも1方向
の隔壁群の隔壁が複数本の細隔壁から構成されることを
特徴とするプラズマディスプレイパネル用部材である。
The present invention also relates to a member for a plasma display panel in which an electrode and a grid-like partition are formed on a substrate, wherein a plurality of partitions of at least one direction among a group of partitions arranged in two directions are provided. A member for a plasma display panel, comprising:

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明に用いる基板としては、特
に限定されないが、ガラス基板、セラミックス基板など
を用いることができる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The substrate used in the present invention is not particularly limited, but a glass substrate, a ceramic substrate or the like can be used.

【0011】基板は、好ましくは洗浄されたのち、電極
が形成される。電極の形成方法としては、例えば、導電
性ペーストをスクリーンパターン印刷したのち焼成する
方法、感光性導電ペーストをスクリーン印刷したのち電
極パターン露光し焼成する方法、感光性導電ペーストを
ノズル等を用い塗布したのち電極パターン露光し焼成す
る方法などが好ましく用いられる。導電性ペーストもし
くは感光性導電ペーストには、例えば、銀、銅などを含
有するものを用いることができる。
The substrate is preferably cleaned and then the electrodes are formed. Examples of the method of forming the electrodes include, for example, a method in which a conductive paste is screen-printed and then baked, a method in which a photosensitive conductive paste is screen-printed and then an electrode pattern is exposed and baked, and the photosensitive conductive paste is applied using a nozzle or the like. Thereafter, a method of exposing and firing the electrode pattern is preferably used. As the conductive paste or the photosensitive conductive paste, for example, a paste containing silver, copper, or the like can be used.

【0012】電極が形成された基板上には、通常、誘電
体層を形成する。誘電体層の厚みは、4〜20μm、よ
り好ましくは5〜18μmであることが均一な誘電体層
の形成のために好ましい。厚みを20μm以下とするこ
とで、焼成の際の脱バインダー性を良好なものとし、ク
ラックの発生を抑え、また基板へかかる応力を小さくで
きるため基板の反り等も防ぐことができる。また、4μ
m以上とすることで、厚みの均一性を容易に保持でき
る。
A dielectric layer is usually formed on the substrate on which the electrodes have been formed. The thickness of the dielectric layer is preferably 4 to 20 μm, more preferably 5 to 18 μm, for forming a uniform dielectric layer. When the thickness is 20 μm or less, the binder removal property during firing is improved, cracks are suppressed, and the stress applied to the substrate can be reduced, so that the substrate can be prevented from warping. Also, 4μ
By setting m or more, uniformity of thickness can be easily maintained.

【0013】誘電体層は、無機材料粉末と有機バインダ
ーからなる誘電体ペーストをガラス基板上に塗布または
積層し、焼成することによって形成できる。誘電体層用
ペーストに用いる無機材料粉末の量は、無機材料粉末と
有機成分の和に対して50〜95重量%であるのが好ま
しい。50重量%以上とすることで、誘電体層の緻密
性、表面の平坦性を得ることができ、95重量%以下と
することで、ペースト粘度の上昇を抑え、塗布時の厚み
ムラを小さくすることができる。
The dielectric layer can be formed by applying or laminating a dielectric paste composed of an inorganic material powder and an organic binder on a glass substrate, followed by firing. The amount of the inorganic material powder used for the dielectric layer paste is preferably 50 to 95% by weight based on the sum of the inorganic material powder and the organic component. By setting the content to 50% by weight or more, the denseness of the dielectric layer and the flatness of the surface can be obtained. By setting the content to 95% by weight or less, the increase in the paste viscosity is suppressed and the thickness unevenness during application is reduced. be able to.

【0014】誘電体層には酸化ビスマス、酸化鉛、酸化
亜鉛のうち少なくとも1種類、さらに好ましくは酸化ビ
スマスを10〜60重量%含むガラスを用いることによ
って熱軟化温度、熱膨張係数のコントロールを容易に行
うことができる。また、酸化ビスマスを10〜60重量
%含有するガラスを用いることには、ペーストの安定性
などの利点もある。酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛の
添加量は60重量%以下とすることでガラスの耐熱温度
が低くなり過ぎるのを防ぎ、ガラス基板上への焼き付け
を容易なものとすることができる。
By using a glass containing at least one of bismuth oxide, lead oxide and zinc oxide, more preferably 10 to 60% by weight of bismuth oxide, the heat softening temperature and the coefficient of thermal expansion can be easily controlled. Can be done. Use of glass containing 10 to 60% by weight of bismuth oxide also has advantages such as stability of the paste. By setting the addition amount of bismuth oxide, lead oxide, and zinc oxide to 60% by weight or less, it is possible to prevent the heat resistance temperature of the glass from becoming too low, and to facilitate baking on a glass substrate.

【0015】具体的なガラス組成の例としては、酸化物
換算表記で以下の組成を含むものが挙げられるが、本発
明は、このガラス組成に限定されるものではない。 酸化ビスマス 10〜60重量% 酸化珪素 3〜50重量% 酸化ホウ素 10〜40重量% 酸化バリウム 5〜20重量% 酸化亜鉛 10〜20重量%。
Specific examples of glass compositions include those containing the following compositions in terms of oxides, but the present invention is not limited to these glass compositions. Bismuth oxide 10-60 wt% Silicon oxide 3-50 wt% Boron oxide 10-40 wt% Barium oxide 5-20 wt% Zinc oxide 10-20 wt%.

【0016】誘電体層中の無機材料としては、ガラスの
他に、酸化チタン、アルミナ、シリカ、チタン酸バリウ
ム、ジルコニア等の白色フィラーが好ましく用いられ
る。無機材料中の含有比率としては、ガラスを50〜9
5重量%、フィラーを5〜50重量%とするのが好まし
い。フィラーをこの範囲内に含有することによって誘電
体層の反射率を向上させ、高輝度のプラズマディスプレ
イが得られる。
As the inorganic material in the dielectric layer, in addition to glass, white fillers such as titanium oxide, alumina, silica, barium titanate, and zirconia are preferably used. As for the content ratio in the inorganic material, glass is 50 to 9%.
It is preferable that the content is 5% by weight and the filler content is 5 to 50% by weight. By containing the filler in this range, the reflectance of the dielectric layer is improved, and a high-luminance plasma display can be obtained.

【0017】次に、隔壁を形成する。本発明のプラズマ
ディスプレイは、放電空間を構成する各々の隔壁が複数
本の細隔壁からなることが必要である。隔壁が複数本の
細隔壁からなることによって、細隔壁の一部に欠陥が生
じても、残りの細隔壁が十分隔壁としての機能を果たし
実質的に欠陥の無い隔壁を得ることができる。
Next, a partition is formed. In the plasma display of the present invention, it is necessary that each partition constituting the discharge space is composed of a plurality of fine partitions. When a partition is composed of a plurality of fine partitions, even if a defect occurs in a part of the fine partition, the remaining fine partitions can sufficiently function as a partition to obtain a partition substantially free of defects.

【0018】細隔壁の本数はとくに制限がないが、本数
が増えると隔壁の線幅がより細くなり細隔壁の形成が難
しくなるため、2〜3本であることが好ましい。
The number of the fine partition walls is not particularly limited, but if the number increases, the line width of the partition walls becomes narrower and it becomes difficult to form the fine partition walls.

【0019】図1は、細隔壁、隔壁、隔壁群の関係の例
を示したものである。図1において、1は細隔壁、2は
一組の隔壁、3は隔壁群を表す。
FIG. 1 shows an example of the relationship among the fine partition, the partition, and the partition group. In FIG. 1, 1 is a fine partition, 2 is a set of partitions, and 3 is a partition group.

【0020】隔壁は基板上にストライプ状または格子状
に形成される。本発明においては、ストライプ状の隔壁
を複数の細隔壁からなるものとする。格子状隔壁の場
合、2方向に並列した隔壁群のうち少なくとも1方向の
隔壁群の隔壁が複数本の細隔壁から構成されることが必
要である。特に各色素間を隔てる隔壁群の隔壁が複数本
の細隔壁から構成されることが誤発光を防止する点から
好ましい。また、格子状の2方向の隔壁群の両方を細隔
壁からなるものとしても良い。
The partition walls are formed on the substrate in a stripe shape or a lattice shape. In the present invention, the stripe-shaped partition is composed of a plurality of fine partitions. In the case of a lattice-shaped partition wall, it is necessary that at least one of the partition groups arranged in two directions has a plurality of fine partition walls. In particular, it is preferable that the partition walls of the partition group separating the dyes be composed of a plurality of fine partition walls, from the viewpoint of preventing erroneous light emission. Further, both of the grid-like two-way partition groups may be formed of fine partition walls.

【0021】隔壁の強度を向上させるなどの目的で、細
隔壁間を一部繋げることもできる。
For the purpose of improving the strength of the partition, a part of the fine partition can be connected.

【0022】細隔壁の高さは50〜200μmであるこ
とが好ましく、線幅は10〜100μmであることが好
ましい。線幅は細隔壁間で同じでも良いし変えても良
い。
The height of the fine partition walls is preferably 50 to 200 μm, and the line width is preferably 10 to 100 μm. The line width may be the same or different between the fine partition walls.

【0023】本発明の複数本の細隔壁からなる隔壁は、
プラズマディスプレイ用背面板に形成する隔壁とプラズ
マディスプレイ用前面板に形成する隔壁の双方に適用で
きる。
The partition comprising a plurality of fine partitions of the present invention is
The present invention can be applied to both the partition formed on the back plate for plasma display and the partition formed on the front plate for plasma display.

【0024】隔壁端部に傾斜部を形成したり、隔壁を多
層構成にして上層より下層に低軟化点ガラスを用いるこ
とも、隔壁と、基板、誘電体層等の下地との接着力をあ
げることができるため好ましい。下地との接着力が向上
することにより、隔壁端部の跳ね上がり欠陥を防止でき
る。
The formation of an inclined portion at the end of the partition or the use of a low-softening point glass in the lower layer than the upper layer by forming the partition in a multilayer structure also increases the adhesive strength between the partition and the base such as the substrate and the dielectric layer. This is preferable because By improving the adhesive strength to the base, it is possible to prevent a jump-up defect at the end of the partition wall.

【0025】隔壁の誘電率はパネルの消費電力、放電寿
命に優れている点から周波数1MHz、温度20℃の時
に4〜10であることが好ましい。
The dielectric constant of the partition wall is preferably 4 to 10 at a frequency of 1 MHz and a temperature of 20 ° C. in view of excellent power consumption and discharge life of the panel.

【0026】また、本発明の隔壁の比重は、軽量化の点
から2〜3.3であることが好ましい。
The specific gravity of the partition wall of the present invention is preferably 2 to 3.3 from the viewpoint of weight reduction.

【0027】細隔壁を形成する方法は特に限定されない
が、例えば、無機材料と有機成分からなる隔壁用ペース
トを用いて、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、リ
フトオフ法、フォトリソグラフィ法、母型押し当て法な
どにより隔壁パターンを基板上に形成し、焼成すること
により、細隔壁を形成することができる。なかでも、感
光性ペーストを用いて塗布膜を形成し、該塗布膜をフォ
トマスクを通して露光し、現像することにより、隔壁パ
ターンを形成し、その後該隔壁パターンを焼成して隔壁
を得る感光性ペースト法は、工程が少なく、微細なパタ
ーン形成が可能である点から好ましい。
The method for forming the fine partition walls is not particularly limited. For example, a screen printing method, a sand blast method, a lift-off method, a photolithography method, a master pressing method, using a partition wall paste composed of an inorganic material and an organic component. A fine partition can be formed by forming a partition pattern on a substrate by baking and baking. Above all, a photosensitive paste is used to form a coating film using a photosensitive paste, exposing the coating film through a photomask and developing it to form a partition pattern, and then baking the partition pattern to obtain a partition. The method is preferable because it has few steps and a fine pattern can be formed.

【0028】これらの細隔壁の形成方法に用いる隔壁用
ペーストの好ましい態様を、以下に説明する。
Preferred embodiments of the paste for partition used in the method for forming the fine partition will be described below.

【0029】隔壁用ペーストは、通常、無機成分と有機
成分とからなる。
The paste for partition walls usually comprises an inorganic component and an organic component.

【0030】無機成分としては、ガラス材料が一般的に
用いられる。具体的には、ガラス転移点が430〜50
0℃、軟化点が470〜580℃のガラス材料を用いる
ことが好ましい。ガラス転移点を500℃以下、軟化点
を580℃以下とすることで焼成温度を低くでき焼成の
際の基板の歪みを少なくできる。またガラス転移点を4
30℃以上、軟化点を470℃以上とすることで、より
緻密な隔壁層が得られ、隔壁の剥がれ、断線、蛇行を防
止できる。
As the inorganic component, a glass material is generally used. Specifically, the glass transition point is 430 to 50.
It is preferable to use a glass material having a softening point of 0 ° C and a softening point of 470 to 580 ° C. By setting the glass transition point to 500 ° C. or lower and the softening point to 580 ° C. or lower, the firing temperature can be lowered and the distortion of the substrate during firing can be reduced. The glass transition point is 4
By setting the softening point to 30 ° C. or higher and the softening point to 470 ° C. or higher, a more dense partition layer can be obtained, and peeling, disconnection, and meandering of the partition can be prevented.

【0031】また、基板ガラスに用いられる一般的な高
歪点ガラスの熱膨張係数が80〜90×10-7/Kであ
ることから、基板のそり、パネル封着時の割れ防止のた
めには、50〜400℃の熱膨張係数(α50400)が
50〜90×10-7/K、さらには、60〜90×10
-7/Kのガラス材料を隔壁および誘電体層に用いること
が好ましい。上記の特性を有するガラス材料を用いるこ
とによって、隔壁の剥がれや断線を防ぐことができる。
The general high strain point glass used for the substrate glass has a coefficient of thermal expansion of 80 to 90 × 10 −7 / K. Has a coefficient of thermal expansion at 50 to 400 ° C. (α 50 to 400 ) of 50 to 90 × 10 −7 / K, and more preferably 60 to 90 × 10
It is preferable to use a glass material of -7 / K for the partition walls and the dielectric layer. By using a glass material having the above characteristics, peeling or disconnection of the partition can be prevented.

【0032】隔壁材料の組成としては、酸化珪素はガラ
ス中に、3〜60重量%の範囲で配合することが好まし
い。3重量%以上とすることによりガラス層の緻密性、
強度や安定性がより向上し、また熱膨張係数をガラス基
板の熱膨張係数に容易に近づけることができる。また6
0重量%以下にすることによって、熱軟化点が低くな
り、ガラス基板への焼き付けが可能になるなどの利点が
ある。
As a composition of the partition wall material, it is preferable that silicon oxide is blended in the glass in a range of 3 to 60% by weight. 3% by weight or more of the glass layer,
Strength and stability are further improved, and the coefficient of thermal expansion can be easily brought close to the coefficient of thermal expansion of the glass substrate. Also 6
By setting the content to 0% by weight or less, there is an advantage that the thermal softening point is lowered and baking on a glass substrate becomes possible.

【0033】酸化ホウ素はガラス中に、5〜50重量%
の範囲で配合することによって、電気絶縁性、強度、熱
膨張係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的
特性を向上することができる。50重量%以下にするこ
とによりガラスの安定性が向上する。
Boron oxide is 5 to 50% by weight in the glass.
The electrical, mechanical and thermal properties such as electrical insulation, strength, coefficient of thermal expansion, and denseness of the insulating layer can be improved by blending in the range. When the content is 50% by weight or less, the stability of the glass is improved.

【0034】酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリ
ウムのうち少なくとも1種類を2〜15重量%含むガラ
ス粉末を用いることによっても、ガラス基板上にパター
ン加工できる温度特性を有する感光性ペーストを得るこ
とができる。リチウム、ナトリウム、カリウム等のアル
カリ金属の酸化物は添加量としては、15重量%以下、
好ましくは、10重量%以下にすることによって、ペー
ストの安定性を向上することができる。
By using a glass powder containing at least one of lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide in an amount of 2 to 15% by weight, it is possible to obtain a photosensitive paste having temperature characteristics capable of patterning a glass substrate. . Alkali metal oxides such as lithium, sodium and potassium are added in an amount of 15% by weight or less,
Preferably, by setting the content to 10% by weight or less, the stability of the paste can be improved.

【0035】酸化リチウムを含むガラス組成としては、
酸化物換算表記で 酸化リチウム 2〜15重量% 酸化珪素 15〜50重量% 酸化ホウ素 15〜40重量% 酸化バリウム 2〜15重量% 酸化アルミニウム 6〜25重量% の組成を含有することが好ましい。また、上記組成で、
酸化リチウムの代わりに、酸化ナトリウム、酸化カリウ
ムを用いても良いが、ペーストの安定性の点で、酸化リ
チウムが好ましい。
As the glass composition containing lithium oxide,
It is preferable that the composition contains lithium oxide 2 to 15% by weight, silicon oxide 15 to 50% by weight, boron oxide 15 to 40% by weight, barium oxide 2 to 15% by weight aluminum oxide 6 to 25% by weight in terms of oxide. In the above composition,
Sodium oxide or potassium oxide may be used instead of lithium oxide, but lithium oxide is preferred in terms of paste stability.

【0036】また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛の
ような金属酸化物と酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸
化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有す
るガラスによって、より低いアルカリ含有量で軟化点や
線熱膨張係数のコントロールが容易になる。
Further, the glass containing both metal oxides such as lead oxide, bismuth oxide and zinc oxide and alkali metal oxides such as lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide can be softened at a lower alkali content. Point and linear thermal expansion coefficient can be easily controlled.

【0037】特に感光性ペースト法に用いる感光性ペー
ストのガラス粉末としては、酸化アルミニウム、酸化バ
リウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化亜
鉛、酸化ジルコニウムなどを含有するのが好ましい。特
に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化亜鉛を添加
することにより、軟化点、熱膨張係数、屈折率を制御す
ることができる。ガラス成分中の酸化アルミニウム、酸
化バリウム、酸化亜鉛の含有量は40重量%以下が好ま
しく、より好ましくは25重量%以下である。
In particular, the glass powder of the photosensitive paste used in the photosensitive paste method preferably contains aluminum oxide, barium oxide, calcium oxide, magnesium oxide, zinc oxide, zirconium oxide, or the like. In particular, by adding aluminum oxide, barium oxide, and zinc oxide, the softening point, the coefficient of thermal expansion, and the refractive index can be controlled. The content of aluminum oxide, barium oxide, and zinc oxide in the glass component is preferably 40% by weight or less, more preferably 25% by weight or less.

【0038】隔壁用ペーストの無機成分に、軟化点が5
50〜1200℃、さらに好ましくは650〜800℃
であるフィラーを3〜60重量%含ませてもよい。これ
により、パターン形成後の焼成時の収縮率が小さくな
り、パターン形成が容易になり、焼成時の形状保持性が
向上する。
The inorganic component of the partition wall paste has a softening point of 5
50 to 1200 ° C, more preferably 650 to 800 ° C
May be contained in an amount of 3 to 60% by weight. Thereby, the shrinkage ratio at the time of firing after pattern formation is reduced, pattern formation is facilitated, and shape retention at firing is improved.

【0039】フィラーとしては、チタニア、アルミナ、
チタン酸バリウム、ジルコニアなどのセラミックスや酸
化珪素、酸化アルミニウムを15重量%以上含有する高
融点ガラス粉末が好ましい。一例としては、以下の組成
を含有するガラス粉末を用いることが好ましい。 酸化珪素 :25〜50重量% 酸化ホウ素 : 5〜20重量% 酸化アルミニウム:25〜50重量% 酸化バリウム : 2〜10重量%。
As the filler, titania, alumina,
A high melting point glass powder containing 15% by weight or more of ceramics such as barium titanate and zirconia, silicon oxide and aluminum oxide is preferable. As an example, it is preferable to use a glass powder containing the following composition. Silicon oxide: 25 to 50% by weight Boron oxide: 5 to 20% by weight Aluminum oxide: 25 to 50% by weight Barium oxide: 2 to 10% by weight.

【0040】高融点ガラス粉末をフィラーとして用いる
際、母ガラス材料(低融点ガラス)との屈折率差が大き
いと、感光性ペースト法においてパターン形成性が悪く
なる傾向にある。そこで、低融点ガラス粉末の平均屈折
率N1、高融点ガラス粉末の平均屈折率N2を、次の関
係の範囲内とすることによって、パターン形成性を向上
させることができる。 −0.05≦N1−N2≦0.05 無機粉末の屈折率のばらつきが小さいことも光散乱低減
には好ましい。屈折率のばらつきが±0.05である
(無機粉末の95体積%以上が平均屈折率Ni±0.0
5の範囲に入っている)ことが、光散乱低減には好まし
い。
When a high melting point glass powder is used as a filler, if the refractive index difference from the base glass material (low melting point glass) is large, the pattern forming property in the photosensitive paste method tends to deteriorate. Therefore, by setting the average refractive index N1 of the low-melting glass powder and the average refractive index N2 of the high-melting glass powder within the following relationship, the pattern formability can be improved. −0.05 ≦ N1−N2 ≦ 0.05 The small variation in the refractive index of the inorganic powder is also preferable for reducing the light scattering. The dispersion of the refractive index is ± 0.05 (95% by volume or more of the inorganic powder has an average refractive index of Ni ± 0.0
5) is preferable for reducing light scattering.

【0041】用いるフィラーの粒子径としては、平均粒
子径1〜6μmのものが好ましい。また、D10(10
体積%粒子径)0.4〜2μm、D50(50体積%粒
子径):1〜3μm、D90(90体積%粒子径):3
〜8μm、最大粒子サイズ:10μm以下の粒度分布を
有するものを使用することがパターン形成を行う上で好
ましい。さらにより好ましくはD90は3〜5μm、最
大粒子サイズ5μm以下が好ましい。D90が3〜5μ
mの細かい粉末であることが、焼成収縮率を低くするこ
とができ、かつ気孔率が低い隔壁を作製する点で優れて
いることから好ましい。また隔壁上部の長手方向の凹凸
を±2μm以下にすることが可能となる。フィラーに小
さい粒径の粉末を用いることで、気孔率をが下げること
ができるばかりでなく、隔壁上部の凹凸が小さくなり、
誤放電を防止することができる。
The filler preferably has an average particle diameter of 1 to 6 μm. D10 (10
Volume% particle diameter) 0.4 to 2 μm, D50 (50 volume% particle diameter): 1 to 3 μm, D90 (90 volume% particle diameter): 3
It is preferable to use one having a particle size distribution of about 8 μm and a maximum particle size of 10 μm or less from the viewpoint of pattern formation. Still more preferably, D90 is 3 to 5 μm, and the maximum particle size is 5 μm or less. D90 is 3-5μ
It is preferable that the powder has a fine particle size of m since it is excellent in that the firing shrinkage can be reduced and a partition having a low porosity is produced. In addition, it is possible to make the unevenness in the longitudinal direction of the upper part of the partition wall less than ± 2 μm. By using a powder having a small particle size for the filler, not only can the porosity be reduced, but also the irregularities at the top of the partition walls are reduced,
Erroneous discharge can be prevented.

【0042】感光性ペースト法に用いる無機材料の量
は、無機材料と有機成分の和に対して65〜85重量%
であるのが好ましい。65重量%以上とすることで、焼
成時の収縮率が小さくなり、隔壁の断線、剥がれを防止
できる。また、ペーストとして乾燥が易しくなり、ベタ
付きが防止でき、印刷特性が向上する。さらにパターン
太り、現像時の残膜の発生を防止できる。85重量%以
下とすることで隔壁パターン底部まで光硬化し易くな
り、パターンの形成性が向上できる。
The amount of the inorganic material used in the photosensitive paste method is 65 to 85% by weight based on the sum of the inorganic material and the organic component.
It is preferred that When the content is 65% by weight or more, the shrinkage ratio during firing becomes small, and disconnection and peeling of the partition can be prevented. In addition, the paste can be easily dried, stickiness can be prevented, and printing characteristics can be improved. Further, thickening of the pattern and generation of a residual film at the time of development can be prevented. By setting the content to 85% by weight or less, photocuring becomes easy to the bottom of the partition wall pattern, and the pattern formability can be improved.

【0043】無機成分には、焼成後の隔壁を着色する目
的で、種々の金属酸化物を添加してもよい。例えば、感
光性ペースト中に黒色の金属酸化物を1〜10重量%含
むことによって、黒色の隔壁を形成することができる。
黒色に着色された隔壁はコントラストを上げる点で優れ
ている。さらに、黒色以外に、赤、青、緑等に発色する
無機顔料を添加したペーストを用いることによって、各
色のパターンを形成できる。
Various metal oxides may be added to the inorganic component for the purpose of coloring the partition after firing. For example, black partition walls can be formed by including 1 to 10% by weight of a black metal oxide in the photosensitive paste.
The partition walls colored in black are excellent in increasing the contrast. Furthermore, in addition to black, a pattern of each color can be formed by using a paste to which an inorganic pigment that develops a color such as red, blue, or green is added.

【0044】隔壁形成ペースト用の有機成分としては、
ポリマー成分を含有する。さらに必要に応じて、可塑
剤、増粘剤、有機溶媒、酸化防止剤、分散剤、有機ある
いは無機の沈殿防止剤などの添加剤成分を加えることも
行われる。ポリマ成分としては、エチルセルロースに代
表されるセルロース化合物、ポリイソブチルメタクリレ
ートに代表されるアクリルポリマーなどを用いることが
できる。また、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチ
ラール、メタクリル酸エステル重合体、アクリル酸エス
テル重合体、アクリル酸エステル−メタクリル酸エステ
ル共重合体、α−メチルスチレン重合体、ブチルメタク
リレート樹脂などがあげられる。可塑剤以下の成分は次
に詳述する感光性ペーストにも共通の成分を用いること
ができる。
As the organic component for the partition wall forming paste,
Contains a polymer component. Further, if necessary, additive components such as a plasticizer, a thickener, an organic solvent, an antioxidant, a dispersant, and an organic or inorganic precipitation inhibitor may be added. As the polymer component, a cellulose compound represented by ethyl cellulose, an acrylic polymer represented by polyisobutyl methacrylate, and the like can be used. In addition, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, methacrylate polymer, acrylate polymer, acrylate-methacrylate copolymer, α-methylstyrene polymer, butyl methacrylate resin, and the like can be given. The components below the plasticizer can be used in common with the photosensitive paste described in detail below.

【0045】感光性ペーストの有機成分としては、感光
性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうち
少なくとも1種類から選ばれる感光性成分を含有し、さ
らに必要に応じて、バインダー、光重合開始剤、紫外線
吸収剤、増感剤、増感助剤、重合禁止剤、可塑剤、増粘
剤、有機溶媒、酸化防止剤、分散剤、有機あるいは無機
の沈殿防止剤などの添加剤成分を加えることも行われ
る。
The organic component of the photosensitive paste contains a photosensitive component selected from at least one of a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer, and a photosensitive polymer, and, if necessary, a binder and a photopolymerization initiator. Adding additives such as UV absorbers, sensitizers, sensitization aids, polymerization inhibitors, plasticizers, thickeners, organic solvents, antioxidants, dispersants, organic or inorganic precipitation inhibitors Is also performed.

【0046】感光性成分としては、光不溶化型のものと
光可溶化型のものがあり、光不溶化型のものとして、 (A)分子内に不飽和基などを1つ以上有する官能性の
モノマー、オリゴマー、ポリマーを含有するもの (B)芳香族ジアゾ化合物、芳香族アジド化合物、有機
ハロゲン化合物などの感光性化合物を含有するもの (C)ジアゾ系アミンとホルムアルデヒドとの縮合物な
どのいわゆるジアゾ樹脂等がある。
The photosensitive component includes a photo-insolubilizing type and a photo-solubilizing type. The photo-insolubilizing type includes: (A) a functional monomer having at least one unsaturated group in the molecule. (B) Those containing photosensitive compounds such as aromatic diazo compounds, aromatic azide compounds, and organic halogen compounds (C) So-called diazo resins such as condensates of diazo amines and formaldehyde Etc.

【0047】また、光可溶型のものとしては、 (D)ジアゾ化合物の無機塩や有機酸とのコンプレック
ス、キノンジアゾ類を含有するもの (E)キノンジアゾ類を適当なポリマーバインダーと結
合させた、例えばフェノール、ノボラック樹脂のナフト
キノン−1,2−ジアジド−5−スルフォン酸エステル
等がある。
Examples of the photo-soluble type include (D) a complex of a diazo compound with an inorganic salt or an organic acid, and a compound containing a quinone diazo compound. (E) a quinone diazo compound combined with an appropriate polymer binder. For example, phenol, naphthoquinone-1,2-diazide-5-sulfonic acid ester of a novolak resin, and the like.

【0048】本発明において用いる感光性成分は、上記
のすべてのものを用いることができる。感光性ペースト
として、無機微粒子と混合して簡便に用いることができ
る点で、(A)のものが好ましい。
As the photosensitive component used in the present invention, all of the above can be used. As the photosensitive paste, (A) is preferred because it can be easily mixed with inorganic fine particles and used.

【0049】感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽
和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、メ
チルアクリレート、エチルアクリレート、n−プロピル
アクリレート、イソプロピルアクリレート、n−ブチル
アクリレート、sec−ブチルアクリレート、sec−
ブチルアクリレート、イソ−ブチルアクリレート、te
rt−ブチルアクリレート、n−ペンチルアクリレー
ト、アリルアクリレート、ベンジルアクリレート、ブト
キシエチルアクリレート、ブトキシトリエチレングリコ
ールアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシ
クロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルアク
リレート、2−エチルヘキシルアクリレート、グリセロ
ールアクリレート、グリシジルアクリレート、ヘプタデ
カフロロデシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルア
クリレート、イソボニルアクリレート、2−ヒドロキシ
プロピルアクリレート、イソデシルアクリレート、イソ
オクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、2−メ
トキシエチルアクリレート、メトキシエチレングリコー
ルアクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリ
レート、オクタフロロペンチルアクリレート、フェノキ
シエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、トリ
フロロエチルアクリレート、アリル化シクロヘキシルジ
アクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレー
ト、1,3−ブチレングリコールジアクリレート、エチ
レングリコールジアクリレート、ジエチレングリコール
ジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレー
ト、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリ
トールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジトリメチ
ロールプロパンテトラアクリレート、グリセロールジア
クリレート、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジアクリレート、プロピレ
ングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジアクリレート、トリグリセロールジアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、アクリルア
ミド、アミノエチルアクリレート、フェニルアクリレー
ト、フェノキシエチルアクリレート、ベンジルアクリレ
ート、1−ナフチルアクリレート、2−ナフチルアクリ
レート、ビスフェノールAジアクリレート、ビスフェノ
ールA−エチレンオキサイド付加物のジアクリレート、
ビスフェノールA−プロピレンオキサイド付加物のジア
クリレート、チオフェノールアクリレート、ベンジルメ
ルカプタンアクリレート等のアクリレート、また、これ
らの芳香環の水素原子のうち、1〜5個を塩素または臭
素原子に置換したモノマー、もしくは、スチレン、p−
メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチ
レン、塩素化スチレン、臭素化スチレン、α−メチルス
チレン、塩素化α−メチルスチレン、臭素化α−メチル
スチレン、クロロメチルスチレン、ヒドロキシメチルス
チレン、カルボキシメチルスチレン、ビニルナフタレ
ン、ビニルアントラセン、ビニルカルバゾール、およ
び、上記化合物の分子内のアクリレートを一部もしくは
すべてをメタクリレートに変えたもの、γ−メタクリロ
キシプロピルトリメトキシシラン、1−ビニル−2−ピ
ロリドンなどが挙げられる。本発明ではこれらを1種ま
たは2種以上使用することができる。
The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond, and specific examples thereof include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, and sec-butyl. Acrylate, sec-
Butyl acrylate, iso-butyl acrylate, te
rt-butyl acrylate, n-pentyl acrylate, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycerol acrylate, glycidyl acrylate Heptadecafluorodecyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, isobonyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isodecyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, octafuro Pentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, allylated cyclohexyl diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene Glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, glycerol diacrylate, methoxylated cyclohexyl diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, Polypropylene Glycol diacrylate, triglycerol diacrylate,
Trimethylolpropane triacrylate, acrylamide, aminoethyl acrylate, phenyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, benzyl acrylate, 1-naphthyl acrylate, 2-naphthyl acrylate, bisphenol A diacrylate, diacrylate of bisphenol A-ethylene oxide adduct,
Diacrylates of bisphenol A-propylene oxide adducts, acrylates such as thiophenol acrylate and benzyl mercaptan acrylate, and monomers in which 1 to 5 hydrogen atoms of these aromatic rings have been substituted with chlorine or bromine atoms, or Styrene, p-
Methylstyrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, chlorinated styrene, brominated styrene, α-methylstyrene, chlorinated α-methylstyrene, brominated α-methylstyrene, chloromethylstyrene, hydroxymethylstyrene, carboxymethyl Styrene, vinyl naphthalene, vinyl anthracene, vinyl carbazole, and those obtained by changing some or all of the acrylate in the molecule of the above compound to methacrylate, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 1-vinyl-2-pyrrolidone, etc. No. In the present invention, one or more of these can be used.

【0050】これら以外に、不飽和カルボン酸等の不飽
和酸を加えることによって、感光後の現像性を向上する
ことができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として
は、アクリル酸、メタアクリル酸、イタコン酸、クロト
ン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、またはこれ
らの酸無水物などがあげられる。
In addition to these, the developability after exposure can be improved by adding an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.

【0051】これらモノマーの含有率は、ガラス粉末と
感光性成分の和に対して、5〜30重量%が好ましい。
これらの範囲とすることで、パターン形成性、硬化後の
硬度を向上できる。
The content of these monomers is preferably 5 to 30% by weight based on the sum of the glass powder and the photosensitive component.
By setting the content within these ranges, the pattern formability and the hardness after curing can be improved.

【0052】バインダーとしては、ポリビニルアルコー
ル、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合
体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル−
メタクリル酸エステル共重合体、α−メチルスチレン重
合体、ブチルメタクリレート樹脂などがあげられる。
As the binder, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, methacrylate polymer, acrylate polymer, acrylate ester
Examples include methacrylate copolymers, α-methylstyrene polymers, and butyl methacrylate resins.

【0053】感光性ガラスペースト中の感光性ポリマ
ー、感光性オリゴマーおよびバインダーからなるポリマ
ー成分の量としては、パターン形成性、焼成後の収縮率
の点で優れていることから、ガラス粉末と感光性成分の
和に対して、5〜30重量%であることが好ましい。こ
の範囲とすることで、パターン形成性、パターンの太り
防止に、より効果がある。
The amount of the polymer component comprising the photosensitive polymer, the photosensitive oligomer and the binder in the photosensitive glass paste is excellent in terms of the pattern forming property and the shrinkage ratio after firing. It is preferably 5 to 30% by weight based on the sum of the components. By setting the content in this range, pattern forming properties and prevention of pattern thickening are more effective.

【0054】紫外線吸収剤を添加することも有効であ
る。紫外線吸収効果の高い化合物を添加することによっ
て高アスペクト比、高精細、高解像度が得られる。紫外
線吸収剤としては有機系染料からなるもの、中でも35
0〜450nmの波長範囲で高UV吸収係数を有する有
機系染料が好ましく用いられる。具体的には、アゾ系染
料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン
系染料、アントラキノン系、ベンゾフェノン系、ジフェ
ニルシアノアクリレート系、トリアジン系、p−アミノ
安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は吸光剤
として添加した場合にも、焼成後の絶縁膜中に残存しな
いで吸光剤による絶縁膜特性の低下を少なくできるので
好ましい。これらの中でもアゾ系およびベンゾフェノン
系染料が好ましい。
It is also effective to add an ultraviolet absorber. By adding a compound having a high ultraviolet absorption effect, a high aspect ratio, high definition, and high resolution can be obtained. UV absorbers composed of organic dyes, especially 35
Organic dyes having a high UV absorption coefficient in the wavelength range of 0 to 450 nm are preferably used. Specifically, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes, benzophenone dyes, diphenylcyanoacrylate dyes, triazine dyes, p-aminobenzoic acid dyes and the like can be used. Even when the organic dye is added as a light absorbing agent, it is preferable because deterioration of the insulating film characteristics due to the light absorbing agent can be reduced without remaining in the insulating film after firing. Among these, azo dyes and benzophenone dyes are preferred.

【0055】有機染料の添加量はガラス粉末に対して
0.05〜1重量%が好ましい。より好ましくは0.1
〜0.18重量%である。0.05重量%以上とするこ
とで紫外線吸光剤の添加効果がより顕著になり、1重量
%以下とすることで焼成後の絶縁膜特性を向上できる。
また、増感剤は、露光波長に吸収を有しているものが
用いられる、この場合、吸収波長近傍では屈折率が極端
に高くなるため、増感剤を多量に添加することによっ
て、有機成分の屈折率を向上することができる。この場
合の増感剤の添加量は3〜10重量%添加することがで
きる。
The addition amount of the organic dye is preferably 0.05 to 1% by weight based on the glass powder. More preferably 0.1
0.10.18% by weight. When the content is 0.05% by weight or more, the effect of adding the ultraviolet light absorbing agent becomes more remarkable, and when the content is 1% by weight or less, the insulating film characteristics after firing can be improved.
Further, a sensitizer having absorption at the exposure wavelength is used. In this case, the refractive index becomes extremely high in the vicinity of the absorption wavelength. Can be improved. In this case, the sensitizer may be added in an amount of 3 to 10% by weight.

【0056】重合禁止剤は、保存時の熱安定性を向上さ
せるために添加される。重合禁止剤の具体的な例として
は、ヒドロキノン、ヒドロキノンのモノエステル化物、
N−ニトロソジフェニルアミン、フェノチアジン、p−
t−ブチルカテコール、N−フェニルナフチルアミン、
2,6−ジ−t−ブチル−p−メチルフェノール、クロ
ラニール、ピロガロールなどが挙げられる。また重合禁
止剤を添加することにより、光硬化反応のしきい値があ
がり、パターン線幅の縮小化、ギャップに対するパター
ン上部の太りがなくなる。その添加量は、感光性ペース
ト中に、通常、0.01〜1重量%である。0.01重
量%以上とすることで添加効果がより顕著になり、1重
量%以下とすることで感度が向上しパターン形成するた
めの露光量が低くできる。
The polymerization inhibitor is added to improve the heat stability during storage. Specific examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, monoesterified hydroquinone,
N-nitrosodiphenylamine, phenothiazine, p-
t-butylcatechol, N-phenylnaphthylamine,
2,6-di-t-butyl-p-methylphenol, chloranil, pyrogallol and the like. Further, by adding the polymerization inhibitor, the threshold value of the photocuring reaction is increased, and the pattern line width is reduced and the upper portion of the pattern with respect to the gap is not thickened. The addition amount is usually 0.01 to 1% by weight in the photosensitive paste. When the content is 0.01% by weight or more, the effect of addition becomes more remarkable. When the content is 1% by weight or less, the sensitivity is improved and the exposure amount for forming a pattern can be reduced.

【0057】溶液の粘度を調整したい場合、有機溶媒を
加えてもよい。このとき使用される有機溶媒としては、
メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソル
ブ、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シク
ロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコー
ル、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジ
メチルスルフォキシド、γ−ブチロラクトン、ブロモベ
ンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロ
ベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸などやこれ
らのうちの1種以上を含有する有機溶媒混合物が用いら
れる。
When it is desired to adjust the viscosity of the solution, an organic solvent may be added. As the organic solvent used at this time,
Methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, bromobenzene, chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic An acid, chlorobenzoic acid, or the like, or an organic solvent mixture containing at least one of them is used.

【0058】感光性ペーストは、通常、無機微粒子、紫
外線吸光剤、感光性ポリマー、感光性モノマー、光重合
開始剤、ガラスフリットおよび溶媒等の各種成分を所定
の組成となるように調合した後、3本ローラや混練機で
均質に混合分散し作製する。
The photosensitive paste is usually prepared by mixing various components such as inorganic fine particles, an ultraviolet absorber, a photosensitive polymer, a photosensitive monomer, a photopolymerization initiator, a glass frit and a solvent so as to have a predetermined composition. The mixture is uniformly mixed and dispersed with three rollers or a kneading machine.

【0059】ペーストの粘度は無機微粒子、増粘剤、有
機溶媒、可塑剤および沈殿防止剤などの添加割合によっ
て適宜調整されるが、その範囲は2000〜20万cp
s(センチ・ポイズ)である。例えばガラス基板への塗
布をスピンコート法で行う場合は、200〜5000c
psが好ましい。スクリーン印刷法で1回塗布して膜厚
10〜20μmを得るには、1万〜10万cpsが好ま
しい。
The viscosity of the paste is appropriately adjusted by the addition ratio of inorganic fine particles, a thickener, an organic solvent, a plasticizer, a suspending agent, etc., but the range is from 2000 to 200,000 cp.
s (centipoise). For example, when the coating on the glass substrate is performed by the spin coating method, 200 to 5000 c
ps is preferred. In order to obtain a film thickness of 10 to 20 μm by applying once by a screen printing method, 10,000 to 100,000 cps is preferable.

【0060】次に、感光性ペースト法による隔壁形成の
例について説明するが、本発明はこれに限定されない。
Next, an example of the formation of the partition wall by the photosensitive paste method will be described, but the present invention is not limited to this.

【0061】ガラス基板やセラミックスの基板、もしく
は、ポリマー製フィルムの上に、感光性ペーストを全面
塗布、もしくは部分的に塗布する。塗布方法としては、
スクリーン印刷、バーコーター、ロールコーター、ダイ
コーター、ブレードコーター等の方法を用いることがで
きる。塗布厚みは、ペースト吐出量、塗布回数、スクリ
ーンのメッシュ、ペーストの粘度を選ぶことによって調
整できる。
A photosensitive paste is applied over the entire surface or partially over a glass substrate, a ceramic substrate, or a polymer film. As the application method,
Methods such as screen printing, a bar coater, a roll coater, a die coater, and a blade coater can be used. The coating thickness can be adjusted by selecting the paste discharge amount, the number of coating times, the mesh of the screen, and the viscosity of the paste.

【0062】ここでペーストを基板上に塗布する場合、
基板と塗布膜との密着性を高めるために基板の表面処理
を行うことができる。表面処理液としてはシランカップ
リング剤、例えばビニルトリクロロシラン、ビニルトリ
メトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、トリス−
(2−メトキシエトキシ)ビニルシラン、γ−グリシド
キシプロピルトリメトキシシラン、γ−(メタクリロキ
シプロピル)トリメトキシシラン、γ(2−アミノエチ
ル)アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプ
ロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルト
リメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシ
ランなどあるいは有機金属例えば有機チタン、有機アル
ミニウム、有機ジルコニウムなどである。この表面処理
液をスピナーなどで基板上に均一に塗布した後に80〜
140℃で10〜60分間乾燥することによって表面処
理ができる。また、フィルム上にペーストを塗布し、フ
ィルム上で乾燥を行い、露光した後に基板上に貼り付け
る方法や、ペーストを塗布したフィルムをガラスやセラ
ミックの基板上に貼り付けた後、露光工程を行う方法等
もある。
Here, when applying the paste on the substrate,
Surface treatment of the substrate can be performed to enhance the adhesion between the substrate and the coating film. Examples of the surface treatment liquid include silane coupling agents such as vinyltrichlorosilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, and tris-silane.
(2-methoxyethoxy) vinylsilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ- (methacryloxypropyl) trimethoxysilane, γ (2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane and the like, or organic metals such as organic titanium, organic aluminum and organic zirconium. After uniformly applying this surface treatment liquid on the substrate with a spinner or the like,
Surface treatment can be performed by drying at 140 ° C. for 10 to 60 minutes. In addition, a method of applying a paste on a film, drying the film, and exposing it to a substrate after exposure, or performing an exposure process after attaching the paste-coated film to a glass or ceramic substrate. There are also methods.

【0063】塗布した後、露光装置を用いて露光を行
う。露光は通常のフォトリソグラフィーで行われるよう
に、フォトマスクを用いてマスク露光する方法が一般的
である。用いるマスクは、感光性有機成分の種類によっ
て、ネガ型もしくはポジ型のどちらかを選定する。ま
た、フォトマスクを用いずに、赤色や青色のレーザー光
などで直接描画する方法を用いても良い。
After application, exposure is performed using an exposure device. The exposure is generally performed by a mask exposure using a photomask, as is performed by ordinary photolithography. As the mask to be used, either a negative type or a positive type is selected depending on the type of the photosensitive organic component. Alternatively, a method of directly drawing with a red or blue laser beam without using a photomask may be used.

【0064】露光装置としては、ステッパー露光機、プ
ロキシミティ露光機等を用いることができる。また、大
面積の露光を行う場合は、ガラス基板などの基板上に感
光性ペーストを塗布した後に、搬送しながら露光を行う
ことによって、小さな露光面積の露光機で、大きな面積
を露光することができる。この際使用される活性光源
は、たとえば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、
X線、レーザー光などが挙げられるが、これらの中で紫
外線が好ましく、その光源としてはたとえば低圧水銀
灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌
灯などが使用できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が
好適である。露光条件は塗布厚みによって異なるが、3
〜50mW/cm2 の出力の超高圧水銀灯を用いて20
秒〜30分間露光を行う。
As an exposure apparatus, a stepper exposure machine, a proximity exposure machine, or the like can be used. In the case of performing a large-area exposure, after applying a photosensitive paste on a substrate such as a glass substrate, and performing the exposure while transporting, it is possible to expose a large area with an exposure machine having a small exposure area. it can. The active light source used at this time is, for example, visible light, near ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam,
X-rays, laser beams and the like can be mentioned, and among them, ultraviolet rays are preferable. As the light source, for example, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a halogen lamp, a germicidal lamp and the like can be used. Among these, an ultra-high pressure mercury lamp is preferred. Exposure conditions vary depending on the coating thickness.
Using an ultra-high pressure mercury lamp with an output of 5050 mW / cm 2
Exposure is performed for seconds to 30 minutes.

【0065】露光後、感光部分と非感光部分の現像液に
対する溶解度差を利用して、現像を行うが、この場合、
浸漬法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等で行う。
用いる現像液は、感光性ペースト中の有機成分が溶解可
能である有機溶媒を使用できる。また当該有機溶媒にそ
の溶解力が失われない範囲で水を添加してもよい。感光
性ペースト中にカルボキシル基等の酸性基を持つ化合物
が存在する場合、アルカリ水溶液で現像できる。アルカ
リ水溶液として水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、水
酸化カルシウム水溶液などのような金属アルカリ水溶液
を使用できるが、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成
時にアルカリ成分を除去しやすいので好ましい。有機ア
ルカリとしては、アミン化合物を用いることができる。
具体的には、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイ
ド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキサイド、
モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどが挙げ
られる。アルカリ水溶液の濃度は通常0.01〜10重
量%、より好ましくは0.1〜5重量%である。アルカ
リ濃度が低すぎると可溶部が除去されない傾向となり、
アルカリ濃度が高すぎると、パターン部を剥離させ、ま
た非可溶部を腐食する傾向となる。また、現像時の現像
温度は、20〜50℃で行うことが工程管理上好まし
い。
After the exposure, development is performed utilizing the difference in solubility between the photosensitive portion and the non-photosensitive portion in the developing solution.
The immersion method, the shower method, the spray method, the brush method and the like are used.
As a developer to be used, an organic solvent in which an organic component in the photosensitive paste can be dissolved can be used. Further, water may be added to the organic solvent within a range that does not lose its dissolving power. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive paste, development can be performed with an aqueous alkali solution. As the alkaline aqueous solution, a metallic alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide, sodium carbonate, calcium hydroxide aqueous solution, etc. can be used, but it is preferable to use an organic alkaline aqueous solution since the alkaline component can be easily removed during firing. As the organic alkali, an amine compound can be used.
Specifically, tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide,
Monoethanolamine, diethanolamine and the like can be mentioned. The concentration of the alkaline aqueous solution is usually 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. If the alkali concentration is too low, the soluble part tends not to be removed,
If the alkali concentration is too high, the pattern portion tends to peel off and the non-soluble portion tends to corrode. The development temperature during development is preferably from 20 to 50 ° C. from the viewpoint of process control.

【0066】次に焼成炉にて焼成を行う。焼成雰囲気
や、温度はペーストや基板の種類によって異なるが、空
気中、窒素、水素等の雰囲気中で焼成する。焼成炉とし
ては、バッチ式の焼成炉やベルト式の連続型焼成炉を用
いることができる。ガラス基板上にパターン加工する場
合は、昇温速度200〜400℃/時間で540〜61
0℃の温度で10〜60分間保持して焼成を行う。なお
焼成温度は用いるガラス粉末によって決まるが、パター
ン形成後の形が崩れず、かつガラス粉末の形状が残らな
い適正な温度で焼成するのが好ましい。540℃以上と
することで、気孔率、隔壁上部の凹凸が小さくなり、放
電寿命を長くできたり、誤放電を防止できるため好まし
い。また610℃以下とすることでパターン形成時の形
状崩れ、隔壁上部が丸くなったり、隔壁高さが低くなっ
たりするのを防止できる。
Next, firing is performed in a firing furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of the paste and the substrate, but firing is performed in an atmosphere of air, nitrogen, hydrogen, or the like. As the firing furnace, a batch-type firing furnace or a belt-type continuous firing furnace can be used. When pattern processing is performed on a glass substrate, 540 to 61 at a heating rate of 200 to 400 ° C./hour.
The sintering is performed at a temperature of 0 ° C. for 10 to 60 minutes. The firing temperature is determined by the glass powder to be used, but it is preferable to fire at an appropriate temperature at which the shape after pattern formation does not collapse and the shape of the glass powder does not remain. The temperature of 540 ° C. or higher is preferable because the porosity and unevenness of the upper part of the partition wall can be reduced, the discharge life can be extended, and erroneous discharge can be prevented. By controlling the temperature to 610 ° C. or lower, it is possible to prevent the shape from being lost at the time of pattern formation, the upper portion of the partition to be rounded, and the height of the partition to be reduced.

【0067】また、以上の塗布や露光、現像、焼成の各
工程間に、乾燥、予備反応の目的で、50〜300℃の
加熱工程を導入しても良い。
A heating step at 50 to 300 ° C. may be introduced between the coating, exposure, development and baking steps for the purpose of drying and preliminary reaction.

【0068】以上の様に電極と隔壁が形成された基板を
AC方式プラズマディスプレイパネル用背面板として用
いる場合、隔壁間にRGB各色に発光する蛍光体層を形
成する。蛍光体層は、蛍光体粉末、有機バインダーおよ
び有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の隔壁
間に塗布することにより形成することができる。蛍光体
ペーストを塗布する方法としては、スクリーン印刷法に
よりパターン印刷する方法や感光性ペーストをスクリー
ン印刷後パターン露光する方法、所定のピッチの吐出孔
を有する口金から蛍光体ペーストを所定の隔壁間に吐出
する方法などを用いることができる。
When the substrate on which the electrodes and the partitions are formed as described above is used as a back plate for an AC type plasma display panel, a phosphor layer emitting light of each of RGB colors is formed between the partitions. The phosphor layer can be formed by applying a phosphor paste containing a phosphor powder, an organic binder and an organic solvent as main components between predetermined partition walls. As a method of applying the phosphor paste, a method of pattern printing by a screen printing method, a method of pattern exposure after the screen printing of the photosensitive paste, a method of applying the phosphor paste from a die having discharge holes of a predetermined pitch between predetermined partitions. A discharging method or the like can be used.

【0069】また、上記背面板とは別の基板上に所定の
パターンで透明電極、バス電極、誘電体、保護膜(Mg
O)を形成し、前面板を作製し、更に、背面板と前面板
とを封着後、両部材間に隔壁によって形成された空間に
真空排気を施し、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから
構成される放電ガスを封入後、駆動回路を装着してプラ
ズマディスプレイパネルを作製できる。
Further, a transparent electrode, a bus electrode, a dielectric, and a protective film (Mg) are formed on a substrate different from the back plate in a predetermined pattern.
O), a front plate is produced, and further, after sealing the back plate and the front plate, a space formed between both members by a partition is evacuated, and is made of helium, neon, xenon, or the like. After charging the discharge gas, a plasma display panel can be manufactured by mounting a drive circuit.

【0070】[0070]

【実施例】以下に、本発明を実施例を用いて、具体的に
説明する。ただし、本発明はこれに限定されない。な
お、実施例、比較例中の濃度(%)は特にことわらない
限り重量%である (測定、評価方法) (1)ガラス転移点、軟化点 示差熱分析(DTA)法を用いて、ガラス試料約100
mgを20℃/分で空気中で加熱し、横軸に温度、縦軸
に熱量をプロットし、DTA曲線を描いた。そしてDT
A曲線より、ガラス転移点と軟化点を読みとった。
The present invention will be specifically described below with reference to examples. However, the present invention is not limited to this. The concentration (%) in Examples and Comparative Examples is% by weight unless otherwise specified. (Measurement and evaluation methods) (1) Glass transition point and softening point Glass was determined by differential thermal analysis (DTA). About 100 samples
mg was heated in air at 20 ° C./min, and the DTA curve was drawn by plotting the temperature on the horizontal axis and the calorific value on the vertical axis. And DT
From the A curve, the glass transition point and the softening point were read.

【0071】(2)隔壁幅・細隔壁幅 隔壁幅・細隔壁幅は隔壁頂部の幅を測定した。隔壁頂部
エッジに丸み等がある場合は、丸み部直下の幅を測定し
た。
(2) Partition Width / Narrow Partition Width The partition width / narrow partition width was determined by measuring the width of the top of the partition. When the top edge of the partition wall was rounded, the width immediately below the rounded portion was measured.

【0072】(3)発光欠陥 プラズマディスプレイパネルを製造した後に表示させ、
表示欠陥が無く均一な表示が得られた場合は0、発光欠
点、発光余点等の欠点が見られた場合はその個数を記載
した。
(3) Light-Emitting Defect Display after manufacturing a plasma display panel,
When there was no display defect and uniform display was obtained, 0 was described, and when defects such as light emission defect and extra light emission point were found, the number was described.

【0073】(使用材料)本発明の実施例および比較例
に使用した材料を以下に示す。
(Materials Used) Materials used in Examples and Comparative Examples of the present invention are shown below.

【0074】(基板)ガラス基板 旭硝子(株)製 P
D200、300×400×2.8mm。
(Substrate) Glass substrate P manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.
D200, 300 × 400 × 2.8 mm.

【0075】(電極材料)組成:導電性銀粉末(重量平
均粒子径 1.4μm)88重量部、バインダー(エチ
ルセルロース)11重量部、ガラスフリット3重量部、
テルピネオール6重量部。
(Electrode material) Composition: 88 parts by weight of conductive silver powder (weight average particle size: 1.4 μm), 11 parts by weight of binder (ethyl cellulose), 3 parts by weight of glass frit,
6 parts by weight of terpineol.

【0076】(誘電体、隔壁材料) ガラス(1); 組成 :Li2O 7%、SiO2 22%、B23
2%、BaO 4%、Al23 22%、ZnO 2
%、MgO 6%、CaO 4% 熱物性 :ガラス転移点491℃、軟化点528℃、熱
膨張係数74×10-7/K 比表面積:1.92m2 /g 屈折率 :1.59(g線436nm) 比重 :2.54 ガラス(2); 組成 :Bi23 38%、SiO2 7%、B23
9%、BaO 12%、Al23 4%、ZnO 20
% 熱物性 :ガラス転移点475℃、軟化点515℃、熱
膨張係数75×10-7/K
(Dielectric, Partition Material) Glass (1); Composition: 7% Li 2 O, 22% SiO 2 , B 2 O 3 3
2%, BaO 4%, Al 2 O 3 22%, ZnO 2
%, MgO 6%, CaO 4% Thermophysical properties: glass transition point 491 ° C, softening point 528 ° C, coefficient of thermal expansion 74 × 10 -7 / K Specific surface area: 1.92 m 2 / g Refractive index: 1.59 (g line 436 nm) Specific gravity: 2.54 Glass (2); Composition: 38% Bi 2 O 3 , 7% SiO 2 , B 2 O 3 1
9%, BaO 12%, Al 2 O 3 4%, ZnO 20
% Thermal properties: glass transition point 475 ° C, softening point 515 ° C, coefficient of thermal expansion 75 × 10 -7 / K

【0077】(白色フィラー粉末) フィラー; TiO2 、比重4.61 (ポリマー) ポリマー(1) ;40%のメタアクリル酸(MAA)、3
0%のメチルメタアクリレート(MMA)および30%
のスチレン(St)からなる共重合体のカルボキシル基
に対して0.4当量のグリシジルメタアクリレート(G
MA)を付加反応させた重量平均分子量43000、酸
価95の感光性ポリマーの40%γ−ブチロラクトン溶
液 ポリマー(2) ;エチルセルロース/テルピネオール=6
/94(重量比)の溶液 (モノマー) モノマー(1) ;X2-N-CH(CH3)-CH2-(O-CH2-CH(CH3))
n-N-X2 X:-CH2-CH(OH)-CH2O-CO-C(CH3)=CH2 n=2〜10 モノマー(2) ;トリメチロールプロパントリアクリレー
ト・モディファイドPO(光重合開始剤) IC−369;Irgacure−369(チバ・ガイ
ギー製品) 2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフ
ォリノフェニル)ブタノン−1 IC−907;Irgacure−907(チバ・ガイ
ギー製品) 2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル−2−
モルフォリノプロパノン (増感剤) DETX−S;2,4−ジエチルチオキサントン (増感助剤) EPA ;p−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル (可塑剤) DBP ;ジブチルフタレート(DBP) (増粘剤) SiO ;SiO2の酢酸2−(2−ブトキシエトキ
シ)エチル15%溶液 (有機染料) スダン ;アゾ系有機染料、化学式C24204O、分
子量380.45 (溶媒) γ−ブチロラクトン テルピネオール (分散剤) ノプコスパース092(サンノプコ社製) (安定化剤) 1,2,3−ベンゾトリアゾール。
(White filler powder) Filler: TiO 2 , specific gravity 4.61 (polymer) Polymer (1): 40% methacrylic acid (MAA), 3
0% methyl methacrylate (MMA) and 30%
0.4 equivalent of glycidyl methacrylate (G) to the carboxyl group of the copolymer of styrene (St)
MA) by addition reaction, a 40% solution of a photosensitive polymer having a weight average molecular weight of 43,000 and an acid value of 95 in γ-butyrolactone polymer (2); ethyl cellulose / terpineol = 6
/ 94 solution (weight ratio) (Monomer) Monomer (1); X 2 -N- CH (CH 3) -CH 2 - (O-CH 2- CH (CH 3))
n -NX 2 X: —CH 2 —CH (OH) —CH 2 O—CO—C (CH 3 ) = CH 2 n = 2 to 10 Monomer (2); Trimethylolpropane triacrylate modified PO ( Photopolymerization initiator) IC-369; Irgacure-369 (Ciba-Geigy product) 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1 IC-907; Irgacure-907 (Ciba-Geigy) Product) 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl-2-
Morpholinopropanone (sensitizer) DETX-S; 2,4-diethylthioxanthone (sensitizer aid) EPA; p-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester (plasticizer) DBP; dibutyl phthalate (DBP) (thickener) SiO 2 ; 15% solution of 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate of SiO 2 (organic dye) Sudan; azo organic dye, chemical formula C 24 H 20 N 4 O, molecular weight 380.45 (solvent) γ-butyrolactone terpineol ( Dispersant) Nopcospars 092 (manufactured by San Nopco) (stabilizer) 1,2,3-benzotriazole.

【0078】実施例1 ガラス基板を温水ブラシ洗浄後、電極用ペーストをスク
リーン印刷機を用いパターン印刷した。ペーストの焼成
は、570℃で行った。得られた電極は、ストライプ状
でピッチ360μm、厚み4μm、線幅120μmであ
った。
Example 1 After cleaning a glass substrate with a hot water brush, the electrode paste was subjected to pattern printing using a screen printer. The firing of the paste was performed at 570 ° C. The obtained electrode had a stripe shape with a pitch of 360 μm, a thickness of 4 μm, and a line width of 120 μm.

【0079】次に、隔壁用感光性ペーストを作製した。
ガラス粉末(ガラス(1))100重量部に対して、有機
染料0.08重量部の割合で秤量した。スダンをアセト
ンに溶解させ、分散剤を加えてホモジナイザで均質に攪
拌した。この溶液中にガラス粉末を添加して均質に分散
・混合後、ロータリーエバポレータを用いて、100℃
の温度で乾燥し、アセトンを蒸発させた。こうして有機
染料の膜でガラス粉末の表面が均質にコーティングされ
た粉末を作製した。
Next, a photosensitive paste for a partition was prepared.
The organic dye was weighed at a ratio of 0.08 parts by weight to 100 parts by weight of the glass powder (glass (1)). Sudan was dissolved in acetone, a dispersant was added, and the mixture was homogeneously stirred with a homogenizer. After adding glass powder to this solution and uniformly dispersing and mixing, 100 ° C. using a rotary evaporator.
At 70 ° C. and the acetone was evaporated. In this way, a powder was prepared in which the surface of the glass powder was uniformly coated with the organic dye film.

【0080】ポリマー(1)、モノマー(1)、光重合開始剤
(IC-369)、増感剤、可塑剤、溶媒を37.5:15:
4.8:4.8:2:7.5の重量比で混合し、均質に
溶解させた。その後、この溶液を400メッシュのフィ
ルターを用いて濾過し、有機ビヒクルを得た。
The polymer (1), the monomer (1), the photopolymerization initiator (IC-369), the sensitizer, the plasticizer, and the solvent were mixed at 37.5: 15:
The mixture was mixed at a weight ratio of 4.8: 4.8: 2: 7.5 and homogeneously dissolved. Thereafter, this solution was filtered using a 400-mesh filter to obtain an organic vehicle.

【0081】上記ガラス粉末と上記有機ビヒクルをガラ
ス粉末:有機ビヒクル=70:71.6の重量比になる
ように添加し、3本ローラで混合・分散して、隔壁用の
感光性ペーストを調整した。有機成分の屈折率は1.5
9、ガラス粉末の屈折率は1.59であった。
The glass powder and the organic vehicle were added in a weight ratio of glass powder: organic vehicle = 70: 71.6, and mixed and dispersed with three rollers to prepare a photosensitive paste for partition walls. did. The refractive index of the organic component is 1.5
9. The refractive index of the glass powder was 1.59.

【0082】同様にしてガラス(2):フィラー:ポリマ
ー(2)=55:10:35の重量比になる誘電体層用ペ
ーストを作製した。この誘電体ペーストをピッチ360
μm、線幅120μm、厚み4μmの電極をあらかじめ
形成したガラス基板上に、325メッシュのスクリーン
を用いてスクリーン印刷により、均一に塗布した。その
後、80℃で40分乾燥し、550℃で仮焼成して、厚
み10μmの誘電体層を形成した。
Similarly, a paste for a dielectric layer having a weight ratio of glass (2): filler: polymer (2) = 55: 10: 35 was prepared. This dielectric paste has a pitch of 360
An electrode having a thickness of 4 μm, a line width of 120 μm, and a thickness of 4 μm was uniformly applied by screen printing using a 325 mesh screen on a glass substrate. Thereafter, the resultant was dried at 80 ° C. for 40 minutes and calcined at 550 ° C. to form a dielectric layer having a thickness of 10 μm.

【0083】この誘電体層上に前記隔壁用ペーストを3
25メッシュのスクリーンを用いてスクリーン印刷によ
り、均一に塗布し塗布膜を形成した。塗布膜にピンホー
ルなどが発生することを回避するために塗布・乾燥を数
回以上繰り返し行い、膜厚みの調整を行った。スクリー
ン版の印刷版は、隔壁パターン長手方向の長さよりも小
さく設計したものを用いた。途中の乾燥は80℃で10
分間、塗布膜を形成後の乾燥は80℃で1時間行った。
乾燥後の塗布膜厚みは150μmであった。
On the dielectric layer, the paste for partition was
The solution was uniformly applied by screen printing using a 25-mesh screen to form a coating film. Coating and drying were repeated several times or more to prevent pinholes and the like from being generated in the coating film, and the film thickness was adjusted. The screen printing plate used was designed to be smaller than the length of the partition wall pattern in the longitudinal direction. Drying on the way is 10 at 80 ° C.
After forming the coating film for 1 minute, drying was performed at 80 ° C. for 1 hour.
The thickness of the coating film after drying was 150 μm.

【0084】続いて、360μmピッチのストライプ状
のネガ型クロムマスクを通して、上面から50mJ/c
2出力の超高圧水銀灯で紫外線照射した。露光量は
1.0J/cm2であった。この際、クロムマスクは隔
壁パターンの長さが、前記塗布膜の隔壁長手方向の長さ
よりも大きいものを用いた。各隔壁の幅は80ミクロ
ン、細隔壁の幅は30ミクロン、細隔壁の本数は各隔壁
あたり2本、細隔壁間幅は20ミクロンとなるようにク
ロムマスクを設計した。
Subsequently, through a stripe-type negative chrome mask having a pitch of 360 μm, 50 mJ / c from the upper surface.
Ultraviolet irradiation was performed using an ultra-high pressure mercury lamp having an m 2 output. The exposure amount was 1.0 J / cm 2 . At this time, the chrome mask used had a partition pattern length longer than the length of the coating film in the partition longitudinal direction. The chrome mask was designed so that the width of each partition was 80 microns, the width of the fine partitions was 30 microns, the number of the fine partitions was 2 per partition, and the width between the fine partitions was 20 microns.

【0085】次に、35℃に保持したモノエタノールア
ミンの0.2重量%の水溶液をシャワーで170秒間か
けることにより現像し、その後シャワースプレーを用い
て水洗浄した。これにより、光硬化していない部分が除
去され、ガラス基板上にストライプ状の細隔壁パターン
が形成された。
Next, a 0.2% by weight aqueous solution of monoethanolamine kept at 35 ° C. was developed by applying a shower for 170 seconds, and then washed with water using a shower spray. As a result, the portions that were not photocured were removed, and a striped fine partition pattern was formed on the glass substrate.

【0086】このようにして細隔壁パターンが形成され
たガラス基板を、空気中で570℃で15分間焼成し、
細隔壁を形成した。
The glass substrate on which the fine partition wall pattern is formed is baked at 570 ° C. for 15 minutes in air.
Fine partition walls were formed.

【0087】焼成後の隔壁パターンを目視で欠陥検査し
たところ、隔壁間の短絡は無かった。細隔壁どうしの短
絡は数カ所認められたが、細隔壁間の短絡は発光時に欠
陥にならないと考えられる。また、細隔壁内の断線が数
カ所認められたが、隣接する細隔壁にまで渡る欠陥では
なく、隔壁としての機能に問題はないと考えられた。こ
の検証は、後述する発光評価で行った。
When the defect pattern of the partition wall after firing was visually inspected, there was no short circuit between the partition walls. Although several short-circuits between the fine partitions were observed, it is considered that the short-circuit between the fine partitions does not cause a defect during light emission. In addition, several disconnections were observed in the fine partition walls, but it was considered that this was not a defect extending to adjacent fine partition walls and there was no problem in the function as the partition walls. This verification was performed by light emission evaluation described later.

【0088】このように形成された隔壁間に、赤、青、
緑に発光する蛍光体ペーストをスクリーン印刷法を用い
て塗布し、これらを焼成(500℃、30分)して隔壁
の側面および底部に蛍光体層を形成し、背面板を完成さ
せた。
Between the partition walls thus formed, red, blue,
A phosphor paste that emits green light was applied by a screen printing method, and the paste was baked (500 ° C., 30 minutes) to form a phosphor layer on the side and bottom of the partition, thereby completing the back plate.

【0089】次に、前面板を以下の工程によって作製し
た。先ず、背面板と同じガラス基板上に、ITOをスパ
ッタ法で形成後、レジストを塗布し、所望のパターンに
露光・現像後、エッチング処理して焼成厚み0.1μ
m、線幅200μmの透明電極を形成した。また、黒色
銀粉末からなる感光性銀ペーストを用いて、フォトリソ
グラフィ法により、焼成後厚み10μm、ピッチ360
μm、線幅120μmのバス電極を形成した。さらに、
電極形成した前面板用基板上に透明誘電体ペーストを2
0μm塗布し、430℃で20分間保持して焼き付け
た。次に、形成した透明電極、黒色電極、誘電体層を一
様に被覆するように電子ビーム蒸着機を用いて、厚み
0.5μmのMgO膜を形成して前面板を完成させた。
Next, a front plate was manufactured by the following steps. First, after forming ITO by sputtering on the same glass substrate as the back plate, applying a resist, exposing and developing into a desired pattern, etching, and firing to a thickness of 0.1 μm.
m, a transparent electrode having a line width of 200 μm was formed. Further, using a photosensitive silver paste composed of black silver powder, a thickness of 10 μm after firing and a pitch of 360
A bus electrode having a line width of 120 μm was formed. further,
Apply a transparent dielectric paste on the front plate substrate on which the electrodes are formed.
It was coated at 0 μm and baked while being kept at 430 ° C. for 20 minutes. Next, an MgO film having a thickness of 0.5 μm was formed using an electron beam evaporator so as to uniformly cover the formed transparent electrode, black electrode, and dielectric layer, thereby completing the front plate.

【0090】得られた前面基板を、前記の背面基板と貼
り合わせ封着した後、真空排気し、Xe5%−Ne95
%ガスを67kPa封入し、駆動回路を接合してプラズ
マディスプレイを作製した。このパネルに電圧を印加し
て表示を行った。評価結果を表1に示す。表1に示すよ
うに全面に渡って表示欠陥が無く均一な表示が得られ
た。
After the obtained front substrate is bonded and sealed to the rear substrate, the substrate is evacuated and evacuated, and Xe5% -Ne95
% Gas was enclosed at 67 kPa, and a driving circuit was joined to produce a plasma display. Display was performed by applying a voltage to this panel. Table 1 shows the evaluation results. As shown in Table 1, uniform display was obtained without display defects over the entire surface.

【0091】実施例2 隔壁用ペーストを基板上に塗布する際、スリットダイコ
ーターを用いて乾燥前厚み240μmに塗布し、乾燥す
る前に内径0.3mmφのノズルを用いて、空気を噴射
して塗布膜端部に傾斜面を形成した以外は実施例1と同
様に隔壁パターンの形成を行った。後は、実施例1と同
様にプラズマディスプレイを作製し、評価を行った。結
果を表1に示す。
Example 2 When applying the paste for partition walls to the substrate, a thickness of 240 μm before drying was applied using a slit die coater, and air was jetted using a nozzle having an inner diameter of 0.3 mm before drying. A partition pattern was formed in the same manner as in Example 1 except that an inclined surface was formed at the end of the coating film. Thereafter, a plasma display was fabricated and evaluated in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0092】実施例3 ガラス基板を温水ブラシ洗浄後、電極用ペーストをスク
リーン印刷機を用いパターン印刷した。ペーストの焼成
は、570℃で行った。得られた電極は、ストライプ状
でピッチ360μm、厚み4μm、線幅120μmであ
った。
Example 3 After cleaning the glass substrate with a hot water brush, the electrode paste was subjected to pattern printing using a screen printer. The firing of the paste was performed at 570 ° C. The obtained electrode had a stripe shape with a pitch of 360 μm, a thickness of 4 μm, and a line width of 120 μm.

【0093】次に、実施例1と同様にして、隔壁用感光
性ペーストおよび誘電体層用ペーストを作製した。この
誘電体ペーストを上記電極をあらかじめ形成したガラス
基板上に、325メッシュのスクリーンを用いてスクリ
ーン印刷により、均一に塗布した。その後、80℃で4
0分乾燥し、550℃で仮焼成して、厚み10μmの誘
電体層を形成した。
Next, in the same manner as in Example 1, a photosensitive paste for partition walls and a paste for dielectric layer were prepared. This dielectric paste was uniformly applied by screen printing using a 325 mesh screen on a glass substrate on which the electrodes had been formed in advance. Then, at 80 ° C, 4
It was dried for 0 minutes and calcined at 550 ° C. to form a dielectric layer having a thickness of 10 μm.

【0094】この誘電体層上に、隔壁用ペーストをスリ
ットダイコーターを用いて基板上に乾燥前厚み240μ
mに塗布した。塗布した隔壁用ペーストを乾燥する前に
内径0.3mmφのノズルを用いて、空気を噴射して塗
布膜端部に傾斜面を形成した。
On the dielectric layer, a paste for partition walls was coated on the substrate with a thickness of 240 μm before drying using a slit die coater.
m. Before drying the applied partition wall paste, air was sprayed using a nozzle having an inner diameter of 0.3 mm to form an inclined surface at the end of the coating film.

【0095】続いて、格子状隔壁を形成した。各色素間
を隔てる隔壁群の隔壁を細隔壁から構成し、他方向の隔
壁群は通常の隔壁を形成した。各色素間は360μmピ
ッチ、他方向の隔壁は1080μmピッチとした格子状
ネガ型クロムマスクを通して、上面から50mJ/cm
2出力の超高圧水銀灯で紫外線照射した。露光量は1.
0J/cm2であった。この際、クロムマスクは隔壁パ
ターンの長さが、前記塗布膜の隔壁長手方向の長さより
も大きいものを用いた。各色素間を隔てる隔壁の幅は8
0μm、細隔壁の幅は30μm、細隔壁の本数は各隔壁
あたり2本、細隔壁間幅は20μm、他方向の隔壁の幅
は40ミクロンとなるようにクロムマスクを設計した。
次に、35℃に保持したモノエタノールアミンの0.2
重量%の水溶液をシャワーで170秒間かけることによ
り現像し、その後シャワースプレーを用いて水洗浄し
た。これにより、光硬化していない部分が除去され、ガ
ラス基板上に格子状の隔壁パターンが形成された。
Subsequently, grid-like partition walls were formed. The partition walls of the partition group separating the dyes were composed of fine partition walls, and the partition groups in the other direction formed ordinary partition walls. Through a lattice negative chrome mask with a pitch of 360 μm between each dye and a pitch of 1080 μm in the other direction, 50 mJ / cm from the top.
Ultraviolet irradiation was performed using a two- output ultra-high pressure mercury lamp. The exposure amount is 1.
It was 0 J / cm 2 . At this time, the chrome mask used had a partition pattern length longer than the length of the coating film in the partition longitudinal direction. The width of the partition separating each dye is 8
The chromium mask was designed such that the width of the fine partitions was 0 μm, the width of the fine partitions was 30 μm, the number of the fine partitions was 2 per partition, the width between the fine partitions was 20 μm, and the width of the partitions in the other direction was 40 μm.
Next, 0.2% of monoethanolamine kept at 35 ° C.
The solution was developed by applying a weight% aqueous solution in a shower for 170 seconds, and then washed with water using a shower spray. As a result, portions that were not photocured were removed, and a grid-like partition pattern was formed on the glass substrate.

【0096】このようにして隔壁パターンが形成された
ガラス基板を、空気中で570℃で15分間焼成し、隔
壁を形成した。
The glass substrate on which the partition pattern was formed was fired in air at 570 ° C. for 15 minutes to form the partition.

【0097】焼成後の隔壁パターンを目視で欠陥検査し
たところ、隔壁間の短絡は無かった。細隔壁どうしの短
絡は数カ所認められたが、細隔壁間の短絡は発光時に欠
陥にならないと考えられる。また、細隔壁内の断線が数
カ所認められたが、隣接する細隔壁にまで渡る欠陥では
なく、隔壁としての機能に問題はないと考えられた。こ
の検証は、後述する発光評価で行った。
When the defect pattern of the fired partition wall pattern was visually inspected, there was no short circuit between the partition walls. Although several short-circuits between the fine partitions were observed, it is considered that the short-circuit between the fine partitions does not cause a defect during light emission. In addition, several disconnections were observed in the fine partition, but it was considered that this was not a defect extending to the adjacent fine partition, and there was no problem in the function as the partition. This verification was performed by light emission evaluation described later.

【0098】後は、実施例1と同様に蛍光体を形成、前
面板からプラズマディスプレイまでを作製し、評価を行
った。表1に示す様に、全面に渡って表示欠陥が無く均
一な表示が得られた。
Thereafter, a phosphor was formed in the same manner as in Example 1, and a front panel to a plasma display were manufactured and evaluated. As shown in Table 1, uniform display was obtained without display defects over the entire surface.

【0099】比較例1 細隔壁を形成せずに、80ミクロンの隔壁を形成した以
外は実施例1と同様に隔壁パターンの形成を行った。実
施例1と同様に焼成後目視検査した結果、隔壁短絡欠陥
は無かったが、隔壁断線が数ヶ所認められた。後は、実
施例1と同様にプラズマディスプレイを作製し、評価を
行った。結果を表1に示す。表示面内で3箇所の発光欠
陥が認められた。
Comparative Example 1 A partition pattern was formed in the same manner as in Example 1 except that a 80 μm partition was formed without forming a fine partition. As a result of visual inspection after firing in the same manner as in Example 1, no short-circuit defect of the partition wall was found, but several breaks in the partition wall were found. Thereafter, a plasma display was fabricated and evaluated in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results. Three light emission defects were observed in the display surface.

【0100】[0100]

【表1】 [Table 1]

【0101】[0101]

【発明の効果】本発明の細隔壁を有することによって、
実質的に隔壁断線・欠けの影響の無いプラズマディスプ
レイパネル用部材が得られる。これによって、発光欠
点、発光余点の生じない、全面にわたって均一な表示の
できるプラズマディスプレイを提供することができる。
本発明のプラズマディスプレイパネル用部材は大型のテ
レビやコンピューターモニターに用いることができる。
By having the fine partition walls of the present invention,
A member for a plasma display panel substantially free from the influence of disconnection or chipping of the partition can be obtained. Thus, it is possible to provide a plasma display capable of performing uniform display over the entire surface without causing a light emission defect and an extra light emission point.
The member for a plasma display panel of the present invention can be used for a large television or a computer monitor.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の隔壁の概略図である。FIG. 1 is a schematic view of a partition according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 細隔壁 2 隔壁 3 隔壁群 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fine partition 2 Partition 3 Partition group

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板上に電極とストライプ状の隔壁が形成
されたプラズマディスプレイパネル用部材であって、放
電空間を構成する隔壁が複数本の細隔壁から構成される
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用部材。
1. A plasma display panel member having electrodes and stripe-shaped partitions formed on a substrate, wherein the partitions forming a discharge space are composed of a plurality of fine partitions. Panel members.
【請求項2】基板上に電極と格子状の隔壁が形成された
プラズマディスプレイパネル用部材であって、2方向に
並列した隔壁群のうち少なくとも1方向の隔壁群の隔壁
が複数本の細隔壁から構成されることを特徴とするプラ
ズマディスプレイパネル用部材。
2. A member for a plasma display panel in which an electrode and a grid-like partition are formed on a substrate, wherein the partition of at least one of the partition groups arranged in two directions has a plurality of fine partitions. A member for a plasma display panel, comprising:
【請求項3】細隔壁が一組の隔壁につき2〜3本である
ことを特徴とする請求項1または2記載のプラズマディ
スプレイパネル用部材。
3. The member for a plasma display panel according to claim 1, wherein the number of the fine partition walls is two or three per one set of partition walls.
【請求項4】細隔壁の高さが50〜200μm、線幅が
10〜100μmであることを特徴とする請求項1〜3
のいずれか記載のプラズマディスプレイパネル用部材。
4. A thin partition having a height of 50 to 200 μm and a line width of 10 to 100 μm.
The member for a plasma display panel according to any one of the above.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002362978A (en) * 2001-06-05 2002-12-18 Asahi Glass Co Ltd Method for producing glass powder and fired body
JP2004051444A (en) * 2002-07-22 2004-02-19 Jsr Corp Photosensitive glass paste composition and plasma display panel
US7696691B2 (en) 2005-02-02 2010-04-13 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display apparatus including a plurality of cavities defined within a barrier structure

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