JP2000258164A

JP2000258164A - 振動ジャイロ

Info

Publication number: JP2000258164A
Application number: JP11058416A
Authority: JP
Inventors: Nobuyuki Ishidoko; 信行石床; Katsumi Fujimoto; 克己藤本
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1999-03-05
Filing date: 1999-03-05
Publication date: 2000-09-22

Abstract

(57)【要約】【課題】振動子の振動をダンピングすることなく強い
強度で支持することができる振動ジャイロを提供する。【解決手段】振動ジャイロ１０は、音片型の２つの振
動子１２ａおよび１２ｂを含む。２つの振動子１２ａお
よび１２ｂは、基台２４の一端からのびて基台２４と一
体的に形成される。２つの振動子１２ａおよび１２ｂの
両側には、４角柱状の２つのねじれ防止用のアーム３４
ａおよび３４ｂが、基台２４の幅方向における両端から
のびて基台２４と一体的に形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は振動ジャイロに関
し、特にたとえば、カメラの手振れ防止、カーナビゲー
ションシステムなどに用いられる音叉型の振動ジャイロ
に関する。

【０００２】

【従来の技術】図９は従来の振動ジャイロの一例を示す
斜視図である。図９に示す振動ジャイロ１は、音片型の
２つの振動子２ａおよび２ｂを含む。振動子２ａおよび
２ｂは、それぞれ、正４角柱状の振動体３を含み、振動
体３は、短冊状の第１の圧電体基板３ａおよび第２の圧
電体基板３ｂを含む。第１の圧電体基板３ａおよび第２
の圧電体基板３ｂは、積層され接着される。また、第１
の圧電体基板３ａおよび第２の圧電体基板３ｂは、互い
に逆の厚み方向に分極される。第１の圧電体基板３ａの
主面には、その幅方向に間隔を隔てて、２つの駆動用電
極４ａおよび４ｂが形成される。また、第２の圧電体基
板３ｂの主面には、検出用電極５が形成される。なお、
第１の圧電体基板３ａおよび第２の圧電体基板３ｂ間に
は、中間電極６が形成される。これらの振動子２ａおよ
び２ｂは、基台７からのびて基台７と一体的に形成され
る。なお、振動子２ａおよび２ｂの駆動用電極４ａおよ
び４ｂは、基台７の上面にのびて形成され、振動子２ａ
の駆動用電極４ｂと振動子２ｂの駆動用電極４ａとは接
続される。また、振動子２ａおよび２ｂの２つの検出用
電極５は、基台７の下面にのびて形成される。

【０００３】図９に示す振動ジャイロ１には、図１０に
示すように、振動子２ａおよび２ｂの駆動用電極４ａお
よび４ｂ間に発振回路８が接続される。この発振回路８
は、たとえば増幅回路と位相補正回路とを含む。また、
振動子２ａおよび２ｂの２つの検出用電極５は、差動回
路９ａの２つの入力端にそれぞれ接続される。差動回路
９ａの出力端は、同期検波回路９ｂの入力端に接続され
る。同期検波回路９ｂの別に入力端には、発振回路８の
別の出力端が接続される。同期検波回路９ｂの出力端
は、積分回路９ｃの入力端に接続される。積分回路９ｃ
の出力端は、直流増幅回路９ｄの入力端に接続される。

【０００４】この振動ジャイロ１では、発振回路８によ
って、２つの振動子２ａおよび２ｂには分極方向と直交
する方向に電界が印加され、２つの振動子２ａおよび２
ｂは、図１１の矢印で示すように、それらの先端部が開
いたり閉じたりするようにして振動する。このとき、２
つの振動子２ａおよび２ｂの先端部は分極方向に対して
同じ状態で振動するため、２つの振動子２ａおよび２ｂ
の検出用電極５からは同じ出力信号が得られる。そのた
め、差動回路９ａからは、０の信号が出力される。この
状態で、振動ジャイロ１の中心軸Ｏ（図１２）を中心と
して回転角速度ωが加わると、２つの振動子２ａおよび
２ｂには、図１２の矢印で示すように、無回転時の振動
と直交する向きにコリオリ力が働く。このコリオリ力に
よって、振動子２ａおよび２ｂの振動方向が変わり、２
つの振動子２ａおよび２ｂの検出用電極５からは、コリ
オリ力に対応した信号が出力される。このとき、コリオ
リ力は２つの振動子２ａおよび２ｂに対して互いに逆向
きに働くため、２つの振動子２ａおよび２ｂは互いに逆
向きに変位する。そのため、２つの振動子２ａおよび２
ｂの検出用電極５から出力される信号は、互いに逆位相
の信号となる。したがって、差動回路９ａで２つの検出
用電極５の出力信号の差をとれば、コリオリ力に対応し
た大きい信号を得ることができる。なお、差動回路９ａ
の出力信号は、同期検波回路９ｂで、発振回路８の信号
に同期して検波される。また、同期検波回路９ｂの出力
信号は積分回路９ｃで直流信号に変換され、さらに直流
増幅回路９ｄで増幅される。

【０００５】図９に示す振動ジャイロ１では、回転角速
度が加わっていない場合、振動子２ａおよび２ｂは、図
１１の矢印で示すように、それらの先端部が基台７の厚
み内で開いたり閉じたりするよう振動するため、図１１
の斜線で示す部分すなわち基台７がノード部分となる。
したがって、この場合、基台７を支持すれば、振動子２
ａおよび２ｂの振動をダンピングすることなく、振動ジ
ャイロ１を支持することができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、図９に示す
振動ジャイロ１では、中心軸Ｏ（図１２）を中心にして
回転角速度が加わっている場合、コリオリ力によって２
つの振動子２ａおよび２ｂの振動方向が基台７の厚み外
にでるように変わるため、中心軸０を中心として基台７
にねじれが発生し、中心軸Ｏがノード部分となる。その
ため、この振動ジャイロ１では、振動子２ａおよび２ｂ
の振動をダンピングしないようにするためには、中心軸
Ｏを支持する必要がある。この場合、振動ジャイロ１
は、たとえば極力細い線状の金属棒からなる支持部材を
中心軸Ｏ上に接着することによって支持されるが、その
支持強度が弱い。なお、その支持強度を強くするために
支持部材を太く形成すると、振動子２ａおよび２ｂの振
動のダンピングにつながり、振動のダンピングが大きく
なると振動が不安定になり、温度ドリフトの原因にな
る。

【０００７】それゆえに、この発明の主たる目的は、振
動子の振動をダンピングすることなく強い強度で支持す
ることができる振動ジャイロを提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明にかかる振動ジ
ャイロは、音片型の２つの振動子の一端が基台にそれぞ
れ接続された音叉型の振動ジャイロにおいて、２つの振
動子の両側に配置され、基台に接続されるねじれ防止用
のアームを設けたことを特徴とする、振動ジャイロであ
る。この発明にかかる振動ジャイロでは、振動子、基台
およびアームは一体的に形成されてもよい。また、この
発明にかかる振動ジャイロでは、振動子はたとえばバイ
モルフ構造である。

【０００９】この発明にかかる振動ジャイロでは、回転
角速度が加わっていない場合、振動子が基台の厚み内で
振動するため、基台およびねじれ防止用のアームがノー
ド部分となる。また、この発明にかかる振動ジャイロで
は、回転角速度が加わっている場合、ねじれ防止用のア
ームが振動子に働くコリオリ力の反作用で自由振動を起
こしてエネルギーを閉じ込めるため、基台がねじれず、
基台がノード部分となる。そのため、この発明にかかる
振動ジャイロでは、基台を支持すれば、振動子の振動を
ダンピングすることなく、強い強度で支持することがで
きる。

【００１０】この発明の上述の目的、その他の目的、特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１はこの発明にかかる振動ジャ
イロの一例を示す斜視図であり、図２はその振動ジャイ
ロの分解斜視図である。図１および図２に示す振動ジャ
イロ１０は、音片型の２つの振動子１２ａおよび１２ｂ
を含む。

【００１２】一方の振動子１２ａは、たとえば正４角柱
状の振動体１４を含み、振動体１４は、たとえば短冊状
の第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基板１６
ｂを含む。第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体
基板１６ｂは、積層され接着される。また、第１の圧電
体基板１６ａおよび第２の圧電体基板１６ｂは、互いに
逆の厚み方向に分極される。なお、第１の圧電体基板１
６ａおよび第２の圧電体基板１６ｂの分極の方向は、同
じ方向であってもよい。

【００１３】第１の圧電体基板１６ａの主面には、その
幅方向に間隔を隔てて、２つの駆動用電極１８ａおよび
１８ｂが形成される。また、第２の圧電体基板１６ｂの
主面には、検出用電極２０が形成される。さらに、第１
の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基板１６ｂ間に
は、中間電極２２が形成される。

【００１４】他方の振動子１２ｂは、一方の振動子１２
ａと同じ構造であり、振動体１４となる第１の圧電体基
板１６ａおよび第２の圧電体基板１６ｂと、２つの駆動
用電極１８ａおよび１８ｂ、検出用電極２０および中間
電極２２の各電極とを有する。

【００１５】２つの振動子１２ａおよび１２ｂの一端
は、基台２４の一端にそれぞれ接続される。基台２４
は、たとえば矩形状の第１の圧電体基板２６ａおよび第
２の圧電体基板２６ｂを含む。第１の圧電体基板２６ａ
の一端には、２つの振動子１２ａおよび１２ｂの第１の
圧電体基板１６ａの一端がそれぞれ接続される。この場
合、２つの振動子１２ａおよび１２ｂの第１の圧電体基
板１６ａと基台２４の第１の圧電体基板２６ａとは、同
じ材料で一体的に形成される。同様に、第２の圧電体基
板２６ｂの一端には、２つの振動子１２ａおよび１２ｂ
の第２の圧電体基板１６ｂの一端がそれぞれ接続され
る。この場合、２つの振動子１２ａおよび１２ｂの第２
の圧電体基板１６ｂと基台２４の第２の圧電体基板２６
ｂとは、同じ材料で一体的に形成される。そして、第１
の圧電体基板２６ａおよび第２の圧電体基板２６ｂは、
積層され接着される。

【００１６】基台２４の第１の圧電体基板２６ａの主面
には、その幅方向に間隔を隔てて、３つの駆動用電極２
８ａ、２８ｂおよび２８ｃが形成される。この場合、１
つの駆動用電極２８ａは、一方の振動子１２ａの駆動用
電極１８ａからのびて形成され、他の１つの駆動用電極
２８ｂは、一方の振動子１２ａの駆動用電極１８ｂおよ
び他方の振動子１２ｂの駆動用電極１８ａからのびて形
成され、残りの１つの駆動用電極２８ｃは、他方の振動
子１２ｂの駆動用電極１８ｂからのびて形成される。ま
た、基台２４の第２の圧電体基板２６ｂの主面には、そ
の幅方向に間隔を隔てて、２つの検出用電極３０ａおよ
び３０ｂが形成される。この場合、一方の検出用電極３
０ａは、一方の振動子１２ａの検出用電極２０からのび
て形成され、他方の検出用電極３０ｂは、他方の振動子
１２ｂの検出用電極２０からのびて形成される。さら
に、基台２４の第１の圧電体基板２６ａおよび第２の圧
電体基板２６ｂ間には、中間電極３２が、２つの振動子
１２ａおよび１２ｂの中間電極２２からのびて形成され
る。

【００１７】また、２つの振動子１２ａおよび１２ｂの
両側には、たとえば４角柱状の２つのねじれ防止用のア
ーム３４ａおよび３４ｂが、基台２４の幅方向における
両端からのびて基台２４と一体的に形成される。これら
のアーム３４ａおよび３４ｂは、振動子１２ａおよび１
２ｂの幅の２倍の幅を有し、それらの先端面が振動子１
２ａおよび１２ｂの先端面と同一面上に形成される。

【００１８】一方のアーム３４ａは、たとえば短冊状の
第１の圧電体基板３６ａおよび第２の圧電体基板３６ｂ
を含む。第１の圧電体基板３６ａは、基台２４の第１の
圧電体基板２６ａの幅方向における一端からのびて第１
の圧電体基板２６ａと同じ材料で一体的に形成される。
また、第２の圧電体基板３６ｂは、基台２４の第２の圧
電体基板２６ｂの幅方向における一端からのびて第２の
圧電体基板２６ｂと同じ材料で一体的に形成される。第
１の圧電体基板３６ａおよび第２の圧電体基板３６ｂ
は、積層され接着される。

【００１９】一方のアーム３４ａの第１の圧電体基板３
６ａの主面には、電極３８が形成される。また、一方の
アーム３４ａの第２の圧電体基板３６ｂの主面には、電
極４０が形成される。さらに、一方のアーム３４ａの第
１の圧電体基板３６ａおよび第２の圧電体基板３６ｂ間
には、中間電極４２が、基台２４の中間電極３２からの
びて形成される。なお、これらの電極３８および４０と
中間電極４２とは形成されなくてもよい。

【００２０】他方のアーム３４ｂは、一方のアーム３４
ａと同様の構造であり、基台２４の第１の圧電体基板２
６ａおよび第２の圧電体基板２６ｂの幅方向における他
端からのびてそれらと同じ材料で一体的に形成される第
１の圧電体基板３６ａおよび第２の圧電体基板３６ｂ
と、電極３８、４０および中間電極４２とを有する。

【００２１】この振動ジャイロ１０は、たとえば、大き
い２枚の圧電体基板と大きい３枚の電極とを交互に積層
した状態で形成し、両面の電極に溝を形成し、全体にス
リットを形成し、全体を切断することによって形成され
る。

【００２２】この振動ジャイロ１０の２つの検出用電極
３０ａ、３０ｂと２つの電極４０、４０との表面には、
たとえば直方体状のシリコンスポンジから支持部材４４
が接着される。

【００２３】この振動ジャイロ１０には、図３に示すよ
うに、２つの振動子１２ａおよび１２ｂの駆動用電極１
８ａおよび１８ｂからのびて形成される駆動用電極２８
ａおよび２８ｃと駆動用電極２８ｂとの間に発振回路５
０が接続され、駆動用電極２８ａおよび２８ｃが電源電
圧の中間点に接続される。発振回路５０は、たとえば増
幅回路と位相補正回路とを含む。

【００２４】また、２つの振動子１２ａおよび１２ｂの
検出用電極２０からのびて形成される２つの検出用電極
３０ａおよび３０ｂは、差動回路５２の２つの入力端に
それぞれ接続される。差動回路５２は、２つの振動子１
２ａおよび１２ｂの検出用電極２０から得られる出力信
号の差を検出するためのものである。差動回路５２の出
力端は、同期検波回路５４の入力端に接続される。同期
検波回路５４の別に入力端には、発振回路５０の別の出
力端が接続される。同期検波回路５４は、差動回路５２
の出力信号を発振回路５０の出力信号に同期して検波す
るためのものである。同期検波回路５４の出力端は、積
分回路５６の入力端に接続される。積分回路５６は、同
期検波回路５４の出力信号を積分するためのものであ
る。積分回路５６の出力端は、直流増幅回路５８の入力
端に接続される。直流増幅回路５８は、積分回路５６の
出力信号を増幅するためのものである。

【００２５】この振動ジャイロ１０では、発振回路５０
によって、一方の振動子１２ａの駆動用電極１８ａおよ
び他方の振動子１２ｂの駆動用電極１８ｂから出力され
る信号が増幅され、位相補正され、一方の振動子１２ａ
の駆動用電極１８ｂおよび他方の振動子１２ｂの駆動用
電極１８ａに与えられる。それによって、２つの振動子
１２ａおよび１２ｂには分極方向と直交する方向に電界
が印加され、２つの振動子１２ａおよび１２ｂは、図４
の矢印で示すように、それらの先端部が開いたり閉じた
りするようにして振動する。このとき、２つの振動子１
２ａおよび１２ｂの先端部は分極方向に対して同じ状態
で振動するため、２つの振動子１２ａおよび１２ｂの検
出用電極２０からは同じ出力信号が得られる。そのた
め、差動回路５２からは、０の信号が出力される。

【００２６】この状態で、振動ジャイロ１０の中心軸Ｏ
（図５）を中心として回転角速度ωが加わると、２つの
振動子１２ａおよび１２ｂには、図５の矢印で示すよう
に、無回転時の振動と直交する向きにコリオリ力が働
く。このコリオリ力によって、振動子１２ａおよび１２
ｂの振動方向が変わる。そのため、２つの振動子１２ａ
および１２ｂの検出用電極２０からは、コリオリ力に対
応した信号が出力される。このとき、コリオリ力は２つ
の振動子１２ａおよび１２ｂに対して互いに逆向きに働
くため、２つの振動子１２ａおよび１２ｂは互いに逆向
きに変位する。そのため、２つの振動子１２ａおよび１
２ｂの検出用電極２０から出力される信号は、互いに逆
位相の信号となる。したがって、差動回路５２で２つの
検出用電極２０の出力信号の差をとれば、コリオリ力に
対応した大きい信号を得ることができる。

【００２７】差動回路５２の出力信号は、同期検波回路
５４で、発振回路５０の信号に同期して検波される。そ
れによって、差動回路５２の出力信号の正部分のみまた
は負部分のみが検波される。同期検波回路５４の出力信
号は積分回路５６で直流信号に変換され、さらに直流増
幅回路５８で増幅される。振動子１２ａおよび１２ｂの
検出用電極２０からの出力信号のレベルは、振動子１２
ａおよび１２ｂの先端部の変位の大きさによって決まる
ため、大きいコリオリ力が働くと、出力信号のレベルは
大きくなる。したがって、直流増幅回路５８の出力信号
のレベルから、回転角速度の大きさを検出することがで
きる。

【００２８】また、回転角速度が加わる方向によって、
振動子１２ａおよび１２ｂに働くコリオリ力の方向が変
わる。そのため、２つの検出用電極２０から出力される
信号の位相も変わり、差動回路５２からは、回転角速度
の方向によって、逆位相の信号が出力される。したがっ
て、同期検波回路５４では、一方向に回転角速度が加わ
ったときに信号の正部分が検波されるとすると、他方向
に回転角速度が加わったときに信号の負部分が検波され
る。そのため、回転角速度の加わる方向によって、直流
増幅回路５８の出力信号の極性が変わる。つまり、直流
増幅回路５８の出力信号の極性から、回転角速度の加わ
った方向を知ることができる。

【００２９】この振動ジャイロ１０では、回転角速度が
加わっていない場合、振動子１２ａおよび１２ｂは、図
４の矢印で示すように、それらの先端部が開いたり閉じ
たりするよう振動する。そのため、この場合、図４の斜
線で示す部分すなわち振動ジャイロ１０の基台２４と２
つのアーム３４ａおよび３４ｂとがノード部分となる。
したがって、この場合、基台２４と２つのアーム３４ａ
および３４ｂとの下面に接着されている支持部材４４
（図１）を支持することによって、振動子１２ａおよび
１２ｂの振動をダンピングすることなく、振動ジャイロ
１０を強い強度で支持することができる。

【００３０】また、この振動ジャイロ１０では、中心軸
Ｏ（図５）を中心にして回転角速度が加わっている場
合、振動子１２ａおよび１２ｂには、図５の矢印で示す
ように、コリオリ力が加わる。また、この場合、２つの
アーム３４ａおよび３４ｂは、重りとなり、振動子１２
ａおよび１２ｂに働くコリオリ力の反作用で、図５の矢
印で示すように、自由振動を起こしてエネルギーを閉じ
込める。そのため、この場合、図５の斜線で示す部分す
なわち基台２４と２つのアーム部３４ａおよび３４ｂに
おいて基台２４に接続されている部分とがノード部分と
なる。したがって、この場合も、基台２４などに下面に
接着されている支持部材４４を支持することによって、
振動子１２ａおよび１２ｂの振動をダンピングすること
なく、振動ジャイロ１０を強い強度で支持することがで
きる。

【００３１】図６はこの発明にかかる振動ジャイロの他
の例を示す斜視図である。図６に示す振動ジャイロ１０
では、図１および図２に示す振動ジャイロ１０と比べ
て、アーム３４ａおよび３４ｂの幅が振動子１２ａおよ
び１２ｂの幅と同じ幅に細く形成されている。

【００３２】図７この発明にかかる振動ジャイロのさら
に他の例を示す斜視図である。図７に示す振動ジャイロ
１０では、図１および図２に示す振動シャイロ１０と比
べて、アーム３４ａおよび３４ｂの幅が振動子１２ａお
よび１２ｂの幅の半分の幅にさらに細く形成されてい
る。

【００３３】図６および図７に示す各振動ジャイロ１０
でも、図１および図２に示す振動ジャイロ１０と同様に
動作し、同様の効果が得られる。

【００３４】また、図１および図２に示す振動ジャイロ
１０では、図６および図７に示す各振動ジャイロ１０と
比べて、アーム３４ａおよび３４ｂの幅が広いので、振
動ジャイロの実質的な設置面は広くなるが、アーム３４
ａおよび３４ｂの質量が重いので、アーム３４ａおよび
３４ｂの上下方向における振動の振幅が安定するととも
に小さくなり、振動ジャイロを収納するためのケースな
どの空間を薄型に形成することができる。

【００３５】一方、図７に示す振動ジャイロ１０では、
図１、図２および図６に示す各振動ジャイロ１０と比べ
て、アーム３４ａおよび３４ｂの質量が軽いので、アー
ム３４ａおよび３４ｂの上下方向における振動の振幅は
大きいが、アーム３４ａおよび３４ｂの幅が狭いので、
振動ジャイロの実質的な設置面が狭くなる。

【００３６】なお、図６に示す振動ジャイロ１０では、
振動ジャイロの設置面の広さおよび振動ジャイロを収納
するための空間の厚さにおいて、図１および図２に示す
振動ジャイロ１０と図７に示す振動ジャイロ１０との中
間に位置する。

【００３７】図８は振動ジャイロの支持構造の他の例を
示す正面図である。図８に示す振動ジャイロ１０の支持
構造では、基台２４、アーム３４ａおよび３４ｂの下面
が、シリコン接着剤４６で他の部材４８に接着される。
このように、振動ジャイロ１０の基台２４などの下面が
接着剤で他の部材に接着されてもよい。

【００３８】なお、上述の各振動ジャイロ１０では２つ
の振動子１２ａおよび１２ｂがそれぞれいわゆるバイモ
ルフ構造に形成されているが、この発明では振動子はユ
ニモルフ構造などの他の構造に形成されてもよい。ま
た、基台２４やアーム３４ａおよび３４ｂについても、
同様に、ユニモルフ構造などの他の構造に形成されても
よい。

【００３９】

【発明の効果】この発明によれば、振動子の振動をダン
ピングすることなく強い強度で支持することができるジ
ャイロが得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明にかかる振動ジャイロの一例を示す斜
視図である。

【図２】図１に示す振動ジャイロの分解斜視図である。

【図３】図１および図２に示す振動ジャイロを使用する
ための回路を示す図解図である。

【図４】図１および図２に示す振動ジャイロにおいて回
転角速度が加わっていない場合のノード部分を示す図解
図である。

【図５】図１および図２に示す振動ジャイロにおいて回
転角速度が加わっている場合のノード部分を示す図解図
である。

【図６】この発明にかかる振動ジャイロの他の例を示す
斜視図である。

【図７】この発明にかかる振動ジャイロのさらに他の例
を示す斜視図である。

【図８】振動ジャイロの支持構造の他の例を示す正面図
である。

【図９】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であ
る。

【図１０】図９に示す振動ジャイロを使用するための回
路を示す図解図である。

【図１１】図９に示す振動ジャイロにおいて回転角速度
が加わっていない場合のノード部分を示す図解図であ
る。

【図１２】図９に示す振動ジャイロにおいて回転角速度
が加わっている場合のノード部分を示す図解図である。

【符号の説明】

１０振動ジャイロ１２ａ、１２ｂ振動子１４振動体１６ａ第１の圧電体基板１６ｂ第２の圧電体基板１８ａ、１８ｂ駆動用電極２０検出用電極２２中間電極２４基台２６ａ第１の圧電体基板１６ｂ第２の圧電体基板２８ａ、２８ｂ、２８ｃ駆動用電極３０ａ、３０ｂ検出用電極３２中間電極３４ａ、３４ｂアーム３６ａ第１の圧電体基板３６ｂ第２の圧電体基板３８、４０電極４２中間電極４４支持部材４６シリコン接着剤４８他の部材５０発振回路５２差動回路５４同期検波回路５６平滑回路５８直流増幅回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】音片型の２つの振動子の一端が基台にそ
れぞれ接続された音叉型の振動ジャイロにおいて、前記２つの振動子の両側に配置され、前記基台に接続さ
れるねじれ防止用のアームを設けたことを特徴とする、
振動ジャイロ。
【請求項２】前記振動子、前記基台および前記アーム
は一体的に形成される、請求項１に記載の振動ジャイ
ロ。
【請求項３】前記振動子はバイモルフ構造である、請
求項１または請求項２に記載の振動ジャイロ。