JP2000108360A - プリントヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】製造を簡易化させ得るプリントヘッドの製造方
法を実現し難かった。 【解決手段】プリントヘッドの製造方法において、流路
板のインク流路のうちの凹部形状の部分を板状部材に形
成する第１の工程と、流路板のインク流路のうちの貫通
孔形状の部分及びインク流路以外の他の貫通孔の一部又
は全部を板状部材に穿設すると共に、当該板状部材から
流路板を切り出す第２の工程とを設け、第２の工程で
は、所定の第１の加工法を用いて、板状部材に対する貫
通孔の穿設と、板状部材からの流路板の切り出しとを一
括して行うようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はプリントヘッドの製
造方法に関し、特にインクジェットプリントヘッドに適
用して好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、インクジェットプリンタ装置にお
いては、記録信号に応じてインク液滴を紙やフィルムな
どの記録媒体に吐出することにより、当該記録信号に応
じた文字や図形等を記録媒体にプリントし得るようにな
されている。

【０００３】図７はこのようなインクジェットプリンタ
装置に用いられる従来のインクジェットプリントヘッド
の一構成例を示すものであり、流路板２の一面２Ａに圧
電アクチュエータ３が固着されると共に、当該流路板２
の他面２Ｂにノズル板４が貼着されることにより構成さ
れている。

【０００４】この場合流路板２の一面２Ａ側には矢印ｘ
₁ 方向に沿って複数の凹部でなるインク貯蔵用の圧力室
２Ｃが所定ピッチで並設されている。そしてこれら各圧
力室２Ｃには、それぞれ共通流路２Ｄを介して図示しな
いインクカートリッジからインクを順次供給し得るよう
になされている。

【０００５】また各圧力室２Ｃの先端部にはそれぞれ流
路板２をその厚み方向（矢印ｚ₁ 方向）に貫通する貫通
路２Ｅが穿設され、ノズル板４にはこれら各貫通路２Ｅ
とそれぞれ対応させて複数の貫通孔でなるノズル４Ａが
矢印ｘ₁ 方向に沿って所定ピッチで穿設されている。

【０００６】一方圧電アクチュエータ３は、可撓性材料
からなる振動板５の一面上に、当該振動板５を介して流
路板２の各圧力室２Ｃとそれぞれ対向するように複数の
ピエゾ素子等の圧電素子６が矢印ｘ₁ 方向に沿って配設
されることにより構成されており、振動板５の他面を流
路板２の一面２Ａ上に貼着又は溶着するようにして当該
流路板２に固着されている。

【０００７】このとき各圧電素子６はそれぞれその厚み
方向（矢印ｚ₁ 方向）に分極されると共に、各圧電素子
６の一面及び他面にはそれぞれ上部電極及び下部電極が
形成されており、かくしてこれら上部電極及び下部電極
間に電位差を生じさせることによって、圧電素子６をバ
イモルフ効果により振動板５を対応する圧力室２Ｃの内
側に変位させる方向（矢印ｚ₁ 方向と逆方向）に撓ませ
得るようになされている。

【０００８】これによりこの種のインクジェットプリン
トヘッド１においては、圧電素子６の上部電極及び下部
電極間に電位差を生じさせて振動板５を対応する圧力室
２Ｃの内側に変位させることによって、当該変位量に応
じた圧力をその圧力室２Ｃ内に発生させることができ、
この圧力によって当該圧力室２Ｃ内のインクを貫通路２
Ｅを介して対応するノズル４Ａから外部に吐出させ得る
ようになされている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところでかかるインク
ジェットプリントヘッド１において流路板２は、当該流
路板２の複数倍の面積を有するガラス板に、流路板２の
各圧力室２Ｃ、各貫通路２Ｅ及び共通流路２Ｄ等のイン
クの流路（以下、これをインク流路２Ｆと呼ぶ）となる
凹部や貫通孔と、圧電アクチュエータ３及びインク板４
を固着する際の位置決め用のピン挿入孔（以下、これを
位置決め用ピン挿入孔と呼ぶ）とをそれぞれ流路板２に
して複数枚分形成した後、これら各流路板２をダイシン
グによりそれぞれ個別に切り離すようにして作製してい
た。

【００１０】しかしながらこのような従来の流路板２の
作製方法によると、ガラス板に流路板２にして複数枚分
のインク流路２Ｆや位置決め用ピン挿入孔を形成する工
程と、この後このガラス板を各流路板２毎に切り離す工
程とを必要とし、製造が煩雑化する問題があった。

【００１１】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、製造を簡易化させ得るプリントヘッドの製造方法を
提案しようとするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、プリントヘッドの製造方法におい
て、流路板のインク流路のうちの凹部形状の部分を板状
部材に形成する第１の工程と、流路板のインク流路のう
ちの貫通孔形状の部分及びインク流路以外の他の貫通孔
の一部又は全部を板状部材に穿設すると共に、当該板状
部材から流路板を切り出す第２の工程とを設け、第２の
工程では、所定の第１の加工法を用いて、板状部材に対
する貫通孔の穿設と、板状部材からの流路板の切り出し
とを一括して行うようにした。

【００１３】この結果このプリントヘッドの製造方法に
よれば、流路板の貫通孔形成と、板状部材からの切り出
しとを一括して行うことができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施の形態を詳述する。

【００１５】（１）パウダービーム加工装置の構成 近年、エッチング加工法の１つとして、粒径１〜20〔μ
m 〕程度の砥粒を高圧エアにほぼ均一に混合することに
より固気二相流を形成し、当該固気二相流を被加工物の
加工面に吹きつけることにより、当該加工面を固気二相
流に含まれる砥粒によって削るようにして除去加工する
加工法（以下、これをパウダービーム加工法と呼ぶ）が
提案されている。

【００１６】そしてこのようなパウダービーム加工法に
よると、使用する砥粒の粒径が１〜20〔μm 〕と小さい
ため、微細なパターンを精度良く高速で加工することが
でき、しかも加工時の砥粒の噴射量を確実にコントロー
ルすることができるため、加工量を精度良く制御できる
利点がある。

【００１７】ここで図１は、このようなパウダービーム
加工法による加工処理を行い得るようになされた加工装
置（以下、これをパウダービーム加工装置と呼ぶ）１０
を示すものである。

【００１８】この場合このパウダービーム加工装置１０
においては、エアコンプレッサ１１から出力された高圧
エアＡＩＲ₁ を調整弁１２及び電磁弁１３を通した後分
流し、当該分流した一方の高圧エア（以下、これを第１
の分流高圧エアと呼ぶ）ＡＩＲ₂ を第１の空気供給管１
４、混合タンク１５の下部に設けられた空気室１５Ａ及
びフイルタ１６を順次介して当該混合タンク１６の砥粒
貯蔵室１５Ｂ内に噴出させるようになされている。

【００１９】このとき混合タンク１５の砥粒貯蔵室１５
Ｂ内には炭化珪素やアルミナ又はガラス等の平均粒径が
１〜20〔μm 〕程度の砥粒１７が溜められており、かく
してこれが当該砥粒貯蔵室１５Ｂ内に噴出された第１の
分流高圧エアＡＩＲ₂ によって吹き上げられる。

【００２０】また分流された他方の高圧エア（以下、こ
れを第２の分流高圧エアと呼ぶ）ＡＩＲ₃ は、調整弁１
８及び第２の空気供給管１９を順次介して送出管２０内
に噴出される。この結果送出管２０のうち、第２の空気
供給管１９との連結部２０Ａと、混合タンク１５の上部
とを連結する部分（以下、この部分を送出管２０の連結
部２０Ａと呼ぶ）に第２の分流高圧エアＡＩＲ₃ の空気
流による負圧が生じる。

【００２１】そしてこの負圧によって、第１の分流高圧
エアＡＩＲ₂ により吹き上げられて混合タンク１５の砥
粒貯蔵室１５Ｂ内において空気中に拡散された状態（固
気状態）の砥粒１７が送出管２０の連結部２０Ｂに吸い
込まれ、送出管２０の第２の空気供給管１９との連結部
２０Ａにおいて第２の分流高圧エアＡＩＲ₃ とほぼ均一
に混合されて固気二相流ＡＩＲ₄ が生成される。

【００２２】さらにこの固気二相流ＡＩＲ₄ は、この後
この送出管２０及びその先端部に取り付けられたノズル
２１を介して噴射室２２内のアーム２３の先端部に固定
されるようにしてセットされた被加工物２４の加工面に
所定の角度をもって吹きつけられる。

【００２３】このようにしてこのパウダービーム加工装
置１０においては、この固気二相流ＡＩＲ₄ に含まれる
砥粒１７によって被加工物２４の加工面を削るようにし
てエッチング加工することができるようになされてい
る。

【００２４】なおこのときアーム２３は、その先端部を
駆動部２５により前後左右方向（ｘ₂ ｙ₂ 方向）に自在
に移動させ得るようになされており、これにより被加工
物２４の加工面の全面に亘って固気二相流ＡＩＲ₄ によ
るエッチング加工を行い得るようになされている。

【００２５】一方被加工物２４の加工面に吹き付けるよ
うにして噴射室２２内に噴出された固気二相流ＡＩＲ₄
はこの後反送管２６、２７を介して混合タンク１５の上
部に一体に取り付けられた砥粒貯蔵タンク２８内に供給
される。

【００２６】そしてこの固気二相流ＡＩＲ₄ に含まれて
いた砥粒１７がこの後砥粒貯蔵タンク２８内に溜められ
ると共に、固気二相流ＡＩＲ₄ を形成していた高圧エア
が砥粒貯蔵タンク２８の上部に連結された排気管２９及
び電磁弁３０を介して排風機３１に与えられ、当該排風
機３１において濾過された後外部に排出される。

【００２７】このとき砥粒貯蔵タンク２８には、当該砥
粒貯蔵タンク２８及び混合タンク１５の砥粒貯蔵室１５
Ｂ間を連通する連通口を塞ぐように、かつコイルばね３
２により上方向（ｚ₂ 方向）に付勢されるようにして供
給弁３３が配設されている。

【００２８】これによりパウダービーム加工装置１０に
おいては、所定量の砥粒１７が砥粒貯蔵タンク２８内に
蓄積された段階でその重みによって供給弁３３がコイル
ばね３２の弾性力に逆らって下方向に移動することによ
り砥粒貯蔵タンク１７内に溜められた砥粒１７を混合タ
ンク１５の砥粒貯蔵室１５Ｂに供給し得るようになされ
ている。

【００２９】かかる構成に加えこのパウダービーム加工
装置１０の場合、混合タンク１５の砥粒貯蔵室１５Ｂ内
にはモータ３４の回転出力に基づいて矢印ａ方向に回転
する撹拌部材３５が配設されている。

【００３０】これによりこのパウダービーム加工装置１
０においては、第１の分流高圧エアＡＩＲ₂ により一時
的に吹き上げられた砥粒１７の固気状態を撹拌部材３５
の撹拌によって持続させることができ、かくして常に一
定量の砥粒１７を含む固気二相流ＡＩＲ₄ を生成して、
当該固気二相流ＡＩＲ₄ によって被加工物２４の加工面
を精度良く加工し得るようになされている。

【００３１】（２）インクジェットプリントヘッド４０
の構成 ここで図２及び図３は、本発明を適用して製造したイン
クジェットプリントヘッド４０を示すものであり、流路
板４１の一面４１Ａ側に圧電アクチュエータ４２が固着
されると共に、当該流路板４１の他面４１Ｂ側にノズル
板４３が貼着されることにより構成されている。

【００３２】この場合流路板４１の一面４１Ａには、矢
印ｘ₃ 方向に沿って所定ピッチで複数のインク貯蔵用の
凹部でなる圧力室４１Ｃが並設されている。そしてこれ
ら各圧力室４１Ｃには、図示しないインクカートリッジ
から流路板４１の一面４１Ａ側に設けられた凹部でなる
共通流路４１Ｄ及び対応するインク導入路４１Ｅを順次
介してインクを供給し得るようになされている。

【００３３】また各圧力室４１Ｃの前端部にはそれぞれ
流路板４１をその厚み方向（矢印ｚ₃ 方向）に貫通する
ように貫通路４１Ｆが穿設されており、ノズル板４３に
はこれら各貫通路４１Ｆとそれぞれ連通するように矢印
ｘ₃ 方向に沿って所定ピッチで複数の貫通孔でなるノズ
ル４３Ａが穿設されている。

【００３４】一方圧電アクチュエータ４２は、可撓性材
料からなる振動板４４の一面上に当該振動板４４を介し
て流路板４１の対応する圧力室４１Ｃとそれぞれ対向す
るように複数のピエゾ素子等の圧電素子４５が矢印ｘ₃
方向に沿って配設されることにより構成されており、振
動板４４の他面を流路板４１の一面４１Ａに貼着するよ
うにして当該流路板４１に固着されている。

【００３５】このとき各圧電素子４５はそれぞれその厚
み方向（矢印ｚ₃ 方向）に分極されると共に、各圧電素
子４５の一面及び他面にはそれぞれ導電材料からなる上
部電極又は下部電極が形成されており、かくしてこれら
上部電極及び下部電極間に電位差を生じさせることによ
って、各圧電素子４５をそれぞれ個別にバイモルフ効果
により振動板４４を対応する圧力室４１Ｃの内側に変位
する方向（矢印ｚ₃ 方向と逆方向）に撓ませ得るように
なされている。

【００３６】これによりこのインクジェットプリントヘ
ッド４０においては、圧電素子４５の上部電極及び下部
電極間に電位差を生じさせて振動板４４を対応する圧力
室４１Ｃの内側に変位させることによって、当該変位量
に応じた圧力をその圧力室４１Ｃ内に発生させることが
でき、この圧力によって当該圧力室４１Ｃ内のインクを
貫通路４１Ｆを介してノズル板４３の対応するノズル４
３Ａから外部に吐出させ得るようになされている。

【００３７】（３）本実施の形態によるインクジェット
プリントヘッド４０の製造手順 ここで実際上このインクジェットプリントヘッド４０
は、図４（Ａ）〜図５（Ｄ）に示す以下の手順により作
製することができる。

【００３８】すなわち、まず図４（Ａ）に示すように、
ガラス板等からなる基板５０の一面上に例えば日東電工
株式会社製リバアルファ（商品名）等の発泡性の熱剥離
シート５１を介して所望する流路板４１の数倍の面積を
有するガラス板５２を貼り付けると共に、当該ガラス板
５２の表面でなる一面５２Ａ上に、感光性のドライフィ
ルムを被着し又は液状のホトレジストを塗布することに
より第１のレジスト層５３を全面に亘って形成する。

【００３９】ここで熱剥離シート５１は、その一面５１
Ａ側に熱発泡性の接着剤からなる接着層が形成され、加
熱すると当該接着層が発泡して当該接着層に接着されて
いた物質と点接触状態となることにより、当該物質を容
易に剥離し得るようになされたものである。

【００４０】そして図４（Ａ）の工程では、この熱剥離
シート５１の他面５１Ｂ側を基板５０に接着し、当該熱
剥離シート５１の一面５１Ａ側の接着層にガラス板５２
を接着するようにして当該ガラス板５２を基板５０に貼
り付けるようにする。

【００４１】次いで図４（Ｂ）に示すように、ガラス板
５２の一面５２Ａ上に形成された第１のレジスト層５３
を所定パターンで露光し、現像することにより、当該第
１のレジスト層５３に流路板４１（図２及び図３）の各
圧力室４１Ｃ、各インク導入路４１Ｅ、共通流路４１Ｄ
及び各貫通路４１Ｆからなるインク流路４１Ｇのうちの
各圧力室４１Ｃ及び各インク導入路４１Ｅ及び共通流路
４１Ｄ等の凹部形状の部分（以下、これを凹部状インク
流路部分と呼ぶ）と同じ形状の開口部５３Ａを流路板４
１にして複数枚分形成する。

【００４２】続いて図４（Ｃ）に示すように、この第１
のレジスト層５３をマスクとし、図１に示すパウダービ
ーム加工装置１０を用いてガラス板５２の一面５２Ａを
パウダービーム加工することにより、当該一面５２Ａに
流路板４１にして複数枚分の凹部状インク流路部分と同
じ形状の凹部５２Ｃを形成する。なお以下においては１
枚分の流路板４１の凹部状インク流路部分に対応するガ
ラス板５２の凹部５２Ｃを単に凹部状インク流路５２Ｄ
と呼ぶものとする。

【００４３】続いて図４（Ｄ）に示すように、このガラ
ス板５２を基板５０に貼り付けられた状態のまま洗浄す
ることによりその一面５２Ａ上から第１のレジスト層５
３を除去し、この後このガラス板５２の一面５２Ａ上に
再びドライフィルムを貼着する等などして新たな感光性
の第２のレジスト層５４を形成する。

【００４４】そしてこの後図５（Ａ）及び図６に示すよ
うに、この第２のレジスト層５４を所定パターンで露光
し、現像することにより、当該第２のレジスト層５４
に、流路板４１のインク流路４１Ｇのうちの各貫通路４
１Ｆでなる貫通孔形状の部分（以下、これを貫通孔状イ
ンク流路部分と呼ぶ）と同じ形状の第１の開口部５４Ａ
と、位置決め用ピン挿入孔（図２及び図３においては図
示せず）と同じ形状の第２の開口部５４Ｂとをそれぞれ
貫通孔状インク流路部分又は位置決め用ピン挿入孔を形
成したい位置に対向させて形成すると共に、ガラス板５
２の各凹部状インク流路５２Ｄにそれぞれ対応させて、
当該各凹部状インク流路パターン５２Ｄをそれぞれ取り
囲むように流路板４１の外形を縁取るような枠状の第３
の開口部５４Ｃを形成する。

【００４５】続いて図５（Ｂ）に示すように、この第２
のレジスト層５４をマスクとし、図１に示すパウダービ
ーム加工装置１０を用いてガラス板５２の一面５２Ａを
パウダービーム加工することにより、当該ガラス板５２
に、それぞれ流路板４１の貫通孔状インク流路部分とな
る複数の第１の貫通孔５２Ｅと、それぞれ位置決め用ピ
ン挿入孔となる複数の第２の貫通孔５２Ｆとを穿設する
と共に、当該ガラス板５２を第２のレジスト層５４の各
第３の開口部５４Ｃにそれぞれ対応させてその内側部分
を切り離す。これによりガラス板５２の各凹部状インク
流路５２Ｄに対応させてそれぞれ１枚の流路板４１が分
離形成される。

【００４６】続いて図５（Ｃ）に示すように、このよう
に複数の流路板４１に切り離されたガラス板５２を基板
５０に貼り付けた状態のまま洗浄することによりその一
面５２Ａ上から第２のレジスト層５４を除去し、この後
基板５０をホットプレート上に載せるなどして熱剥離シ
ート５１を加熱することによりその一面５１Ａ側を発泡
させた後、この熱剥離シート５１から各流路板４１をそ
れぞれ個別に剥離する。

【００４７】さらにこの後図５（Ｄ）に示すように、こ
のようにして作製した流路板４１の一面４１Ａにこれと
別工程で作製した圧電アクチュエータ４２を位置決め用
ピン挿入孔４１Ｈを用いて高精度に位置決めして固着す
ると共に、当該流路板４１の他面４１Ｂに同じく別工程
で作製したノズル板４３を位置決め用ピン挿入孔４１Ｈ
を用いて高精度に位置決めして貼着する。これにより図
２及び図３に示すインクジェットプリントヘッド４０を
得ることができる。

【００４８】（４）本実施の形態の動作及び効果 以上の構成において、ガラス板５２の一面５２Ａに流路
板４１のインク流路４１Ｇのうちの各圧力室４１Ｃ、各
インク導入路４１Ｅ及び共通流路４１Ｄ等の凹部状のイ
ンク流路部分を形成し、この後当該ガラス板５２にパウ
ダービーム加工法により流路板４１のインク流路４１Ｇ
のうちの各貫通路４１Ｆでなる貫通孔状のインク流路部
分と、各位置決め用ピン挿入孔４１Ｈとを一括して形成
すると共に、これと同時に流路板４１を切り出すように
して流路板４１を作製し、この後この流路板４１の一面
４１Ａに圧電アクチュエータ４２を位置決めして固着す
ると共に他面４１Ｂにノズル板４３を位置決めして貼着
するようにしてインクジェットプリントヘッド４０を製
造する。

【００４９】従ってこのインクジェットプリントヘッド
４０の製造方法によれば、流路板４１のインク流路４１
Ｇのうちの貫通孔状のインク流路部分（すなわち各貫通
路４１Ｆ）と各位置決め用ピン挿入孔４１Ｈとを形成す
る際に、これと同時に各流路板４１の切り出しを行う
分、流路板４１のインク流路４１Ｇや各位置決め用ピン
挿入孔４１Ｈの形成工程と別に流路板４１を切り出す工
程を設ける必要がなく、これらを一括して行うことがで
きる。

【００５０】またこのインクジェットプリントヘッド４
０の製造方法によれば、このように流路板４１の貫通孔
状のインク流路部分（各貫通路４１Ｆ）及び各位置決め
用のピン挿入孔４１Ｈの形成と、各流路板４１の切り出
しとを行う際の加工法としてパウダービーム加工法を用
いるようにしているため、これら加工を微細にかつ高精
度に行うことができる。

【００５１】因に、このような加工を行うもう１つの方
法として、サンドブラスト加工法を用いることが考えら
れる。ここでサンドブラスト加工法とは、粒径25〜100
〔μm 〕程度の砥粒を被加工物の加工面に吹きつけ、当
該砥粒によって被加工物の加工面を削るようにしてエッ
チングする加工法をいう。

【００５２】しかしながらサンドブラスト加工法は、使
用する砥粒の粒径が大きく、また加工時の砥粒の噴射量
をコントロールできないために加工精度が悪い問題があ
る。またサンドブラスト加工法では、使用する砥粒の３
倍程度の寸法までしか微細加工を行えない。このため上
述のような加工時にサンドブラスト加工法を用いると、
当該加工を微細かつ高精度に行い得ない問題がある。

【００５３】この点に関して本実施の形態によれば、上
述のような流路板４１の貫通孔状のインク流路部分及び
各位置決め用のピン挿入孔４１Ｈの形成と、各流路板４
１の切り出しとを行う際の加工法としてパウダービーム
加工法を用いることにより、例えばノズル４３Ａに狭ピ
ッチ化に伴う流路板４１の各貫通路４１Ｆの狭ピッチ化
が進んだ場合や、流路板４１の外形が複雑な場合にも実
用上十分に対応し得る利点がある。

【００５４】以上の構成によれば、流路板４１のインク
流路４１Ｇのうちの貫通孔状のインク流路部分と各位置
決め用ピン挿入孔４１Ｈとを形成すると共に、これと同
時に各流路板４１の切り出しをも行うようにしたことに
より、流路板４１のインク流路４１Ｇや各位置決め用ピ
ン挿入孔４１Ｈの形成作業と、流路板４１の切り出し作
業とを一括して行うことができ、かくして製造を簡易化
させ得るインクジェットプリントヘッドの製造方法を実
現できる。

【００５５】またこのような流路板４１のインク流路４
１Ｇのうちの貫通孔状のインク流路部分及び各位置決め
用ピン挿入孔４１Ｈを形成すると共に、これと同時に各
流路板４１の切り出しを行う加工をパウダービーム加工
法を用いて行うようにしたことにより、このような加工
を微細にかつ高精度に行うことができ、かくして製造の
簡易化に加えて加工精度をも向上させ得るインクジェッ
トプリントヘッドの製造方法を実現できる。

【００５６】（５）他の実施の形態 なお上述の実施の形態においては、流路板４１の各圧力
室４１Ｃ、各インク導入路４１Ｅ及び共通流路４１Ｄ等
の凹部形状のインク流路と、流路板４１の各貫通路４１
Ｆ等の貫通孔形状のインク流路及び各位置決め用ピン孔
４１Ｈの穿設、並びに流路板４１の切り出しを、平均粒
径が１〜20〔μm 〕の砥粒１７を吹きつけて行うように
した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、こ
の際平均粒径が20〜24〔μm 〕の砥粒を用いるようにし
てもほぼ同様の効果を得ることができる。

【００５７】また上述の実施の形態においては、流路板
４１の各貫通路４１Ｆ等の貫通孔形状のインク流路を各
位置決め用ピン挿入孔４１Ｈと同時に形成するようにし
た場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例え
ば流路板４１の各圧力室４１Ｃ、各インク導入路４１Ｅ
及び共通流路４１Ｄ等の凹部形状のインク流路を形成す
る前に予め貫通孔状のインク流路又は各位置決め用ピン
挿入孔４１Ｈを形成しておき、凹部形状のインク流路を
形成した後に残りの各位置決め用ピン挿入孔４１Ｈ又は
貫通孔状のインク流路を形成するようにしても良い。

【００５８】さらに上述の実施の形態においては、本発
明をノズル４３Ａと流路板４１とが別体に形成されたイ
ンクジェットプリントヘッドに適用するようにした場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば流路
板４１の各貫通路４１Ｆを先すぼみ形状に形成してこれ
をノズルとして用いるようにしても良い。

【００５９】さらに上述の実施の形態においては、流路
板４１の各圧力室４１Ｃ、各インク導入路４１Ｅ及び共
通流路４１Ｄ等の凹部形状のインク流路と、流路板４１
の各貫通路４１Ｆ等の貫通孔形状のインク流路及び各位
置決め用ピン孔４１Ｈの穿設、並びに流路板４１の切り
出しをパウダービーム加工法を用いて行うようにした場
合について述べたが、本発明はこれに限らず、要は、流
路板４１の各貫通路４１Ｆ等の貫通孔形状のインク流路
及び各位置決め用ピン孔４１Ｈの穿設、並びに流路板４
１の切り出しを一括して行うことができる加工法を用い
るのであれば、この他種々の加工法を広く適用すること
ができる。

【００６０】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、プリント
ヘッドの製造方法において、流路板のインク流路のうち
の凹部形状の部分を板状部材に形成する第１の工程と、
流路板のインク流路のうちの貫通孔形状の部分及びイン
ク流路以外の他の貫通孔の一部又は全部を板状部材に穿
設すると共に、当該板状部材から流路板を切り出す第２
の工程とを設け、第２の工程では、所定の第１の加工法
を用いて、板状部材に対する貫通孔の穿設と、板状部材
からの流路板の切り出しとを一括して行うようにしたこ
とにより、流路板の貫通孔形成と、板状部材からの切り
出しとを一括して行うことができ、かくして製造を簡易
化させ得るプリントヘッドの製造方法を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの製造時に用いるパウダービーム加工装置の構成を
示す略線的な断面図である。

【図２】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの構成を一部断面をとって示す斜視図である。

【図３】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの構成を示す断面図である。

【図４】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの製造手順の説明に供する断面図である。

【図５】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの製造手順の説明に供する断面図である。

【図６】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの製造手順の説明に供する略線的な斜視図である。

【図７】従来のインクジェットプリントヘッドの構成を
示す断面図である。

【符号の説明】

１０……パウダービーム加工装置、１７……砥粒、４０
……インクジェットプリントヘッド、４１……流路板、
４１Ａ、５２Ａ……一面、４１Ｂ、５２Ｂ……他面、４
１Ｃ……圧力室、４１Ｄ……共通流路、４１Ｅ……イン
ク導入路、４１Ｆ……貫通路、４１Ｇ……インク流路、
４１Ｈ……位置決め用ピン穴、４２……圧電アクチュエ
ータ、４３……ノズル板、４３Ａ……ノズル、４４……
振動板、４５……圧電素子、５２……ガラス板、５０Ｃ
……凹部、５２Ｄ……凹部状インク流路、５２Ｅ、５２
Ｆ……貫通孔。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷川 徹 東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー 株式会社内 (72)発明者 阿部 晃 宮城県登米郡中田町宝江新井田字加賀野境 30番地ソニー・プレシジョン・マグネ株式 会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF93 AG12 AG44 AP02 AP13 AP22 AP31 AP77 BA04 BA14

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】流路板に設けられたインク流路内に圧力を
   発生させ、当該圧力に基づいて上記インク流路内のイン
   クを当該インク流路と連通するノズルを介して外部に吐
   出するプリントヘッドの製造方法において、 所定材料からなる板状部材に、上記流路板の上記インク
   流路のうちの凹部形状の部分を形成する第１の工程と、 上記流路板の上記インク流路のうちの貫通孔形状の部分
   及び上記インク流路以外の他の貫通孔の一部又は全部を
   上記板状部材に穿設すると共に、当該板状部材から上記
   流路板を切り出す第２の工程とを具え、 上記第２の工程では、所定の第１の加工法を用いて、上
   記板状部材に対する上記貫通孔の穿設と、上記流路板の
   切り出しとを一括して行うことを特徴とするプリントヘ
   ッドの製造方法。
2. 【請求項２】上記第１の加工法は、 被加工物の加工面に平均粒径が24〔μm 〕以下の砥粒を
   吹きつけるようにして当該加工面をエッチングする加工
   法でなることを特徴とする請求項１に記載のプリントヘ
   ッドの製造方法。
3. 【請求項３】上記第２の工程では、 位置決め用の上記貫通孔を穿設することを特徴とする請
   求項１に記載のプリントヘッドの製造方法。