JP2000167365A - オゾン水処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オゾン処理設備建設工事費用を従来より大幅
に削減できるオゾン水処理装置を提供する。 【解決手段】 オゾン発生のための原料空気を供給する
原料空気供給装置１ａと、原料空気より酸素を発生する
酸素発生装置１ｂと、発生した酸素ガスによりオゾンを
発生するオゾン発生装置１ｃからなるオゾン発生装置ユ
ニット１、被処理水４にオゾンを接触・溶解させるオゾ
ン溶解ポンプ２ａと、オゾン発生装置１ｃへ冷却水を供
給する冷却水ポンプ２ｂからなるオゾン溶解ユニット２
及び被処理水４とオゾンを十分に反応させるオゾン滞留
槽３ａと未反応オゾンを分解・大気放出する排オゾン処
理装置３ｂからなるオゾン滞留ユニット３によりオゾン
水処理装置を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、オゾンによる水
処理を行なうための構成機器であるオゾン発生装置、オ
ゾン溶解装置、オゾン滞留槽からなるオゾン水処理装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】オゾンは、上水、下水、産業排水等あら
ゆる水処理に利用されており、特に上水、下水分野では
数多くの建設・運用実績がある。従来、オゾンによる水
処理設備は、空気原料供給装置、空気前処理装置、オゾ
ン発生器、オゾン反応塔または槽、水洗消泡塔、排オゾ
ン分解塔、設備制御盤等から構成され、それぞれ単独に
て設置を行なうため、機器毎に独立したコンクリート基
礎を設置し、機器間配管、配線工事も煩雑であり、現地
工事量が膨大であるため、全体としての建設コストが大
きく、結果的にその有用性に比して建設実績が少ないの
が実状である。

【０００３】図１３は従来のオゾン水処理設備の代表例
を示すシステム構成図であり、図において、設備構成機
器としては、空気圧縮機１１、酸素発生装置または空気
前処理装置１２、オゾン発生装置１３、冷却水ポンプ１
４、オゾン反応塔１５、オゾン滞留槽１６、排オゾン処
理塔１７等より構成され、それぞれ個別に設置されるも
のである。又、１８は被処理水、１９は処理水である。

【０００４】次に動作について説明する。空気圧縮機１
１から圧送された空気は、酸素発生装置または空気前処
理装置１２を経て原料ガスとなり、オゾン発生装置１３
にてオゾン発生を行なう。発生したオゾンガスは、オゾ
ン反応塔１５内にて気液接触が行なわれ、オゾンガスと
接触した被処理水１８はオゾン滞留槽１６を経て処理水
１９として排出される。一方、未反応オゾンは、オゾン
反応塔１５から排オゾン処理塔１７へ流れ、分解され酸
素に戻った後、大気中へ開放される。また、オゾン発生
装置１３の冷却水は、オゾン滞留槽１６から冷却水ポン
プ１４よりオゾン発生装置１３に導入され、冷却を行な
う。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来のオゾン水処理設
備は以上のように構成されているので、それぞれ個別の
機器から構成されており、現地工事量が膨大となり、広
大な設置スペースが必要であり、現地据付、配管、配線
工事量が膨大となっていた。又、現地試運転調整に時間
を要し、オゾン接触法として散気方式を採用しているた
め、反応効率が低いという問題点もあった。更に、その
都度、オゾン発生装置を設計製作するため、汎用性がな
く、さまざまな処理目的に対応できなくなると共に、そ
の都度オゾン反応塔、オゾン滞留槽も設計製作するた
め、汎用性がなく、さまざまな処理目的に対応できない
という問題点もあった。

【０００６】又、省エネルギー化、省力化運転に貢献す
るオゾン注入量自動制御法を取入れるためには、その都
度、オゾン濃度測定装置、オゾン発生量制御装置を設置
しなければならなかった。更に、腐食性の高い被処理水
に対応できず、設置スペースが広大なため、オゾン設備
を収納する建築物が巨大なものとなり、冷却水の有無あ
るいは水質によっては、オゾン発生装置の冷却水が得ら
れない場合もあり、対処できないという問題点もあっ
た。又、難分解性物質を処理するための、過酸化水素併
用、紫外線照射併用オゾン処理を実施する場合、その都
度、過酸化水素注入設備、紫外線照射設備を設置してや
らなければならない等のデメリットもあった。

【０００７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたものであり、オゾン水処理装置を安価に
建設すると共に、オゾン水処理装置をユニット化・シリ
ーズ化することにより、処理目的に応じた装置を提供す
ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るオゾン水処理装置は、オゾン発生装置ユニットとオゾ
ン溶解ユニットとオゾン滞留ユニットとから構成される
と共に、オゾン発生装置ユニットは原料空気供給装置と
酸素発生装置とオゾン発生装置とから構成され、オゾン
溶解ユニットは被処理水にオゾンを溶解させるオゾン溶
解ポンプとオゾン発生装置に冷却水を供給する冷却水ポ
ンプとから構成され、更にオゾン滞留ユニットは被処理
水とオゾンを反応させるオゾン滞留槽と排オゾン処理装
置とから構成されたものである。

【０００９】この発明の請求項２に係るオゾン水処理装
置は、被処理水にオゾンを溶解させるエゼクタを設けた
ものである。

【００１０】この発明の請求項３に係るオゾン水処理装
置は、エゼクタにスタティックミキサを結合させたもの
である。

【００１１】この発明の請求項４に係るオゾン水処理装
置は、被処理水に応じてオゾン発生容量を変化させるも
のである。

【００１２】この発明の請求項５に係るオゾン水処理装
置は、被処理水に応じてオゾン滞留槽の容量を変化させ
るものである。

【００１３】この発明の請求項６に係るオゾン水処理装
置は、酸素発生装置に代えて原料空気前処理装置を設置
したものである。

【００１４】この発明の請求項７に係るオゾン水処理装
置は、オゾン滞留ユニットに未反応排オゾン濃度を測定
させる排オゾン濃度測定装置と濃度に応じてオゾン発生
量を制御するオゾン発生量自動制御装置を設けたもので
ある。

【００１５】この発明の請求項８に係るオゾン水処理装
置は、オゾン滞留槽に腐食防止を目的とした犠牲電極を
設けたものである。

【００１６】この発明の請求項９に係るオゾン水処理装
置は、オゾン溶解ユニットに設けられた冷却水ポンプの
代わりにオゾン発生装置を冷却するための冷却装置を設
けたものである。

【００１７】この発明の請求項１０に係るオゾン水処理
装置は、オゾン溶解ユニットに過酸化水素併用オゾン処
理が行なえるよう過酸化水素注入装置を設けたものであ
る。

【００１８】この発明の請求項１１に係るオゾン水処理
装置は、オゾン溶解ユニットに紫外線照射併用オゾン処
理が行なえるよう紫外線照射装置を設けたものである。

【００１９】この発明の請求項１２に係るオゾン水処理
装置は、オゾン発生装置ユニットとオゾン溶解ユニット
とオゾン滞留ユニットを同一ベース上で構成したもので
ある。

【００２０】この発明の請求項１３に係るオゾン水処理
装置は、オゾン発生装置ユニットのみをコンテナに収納
したものである。

【００２１】

【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
実施形態を図に基づいて説明する。図１はこの発明の実
施の形態１によるオゾン水処理装置を示すシステム構成
図であり、図において、１はオゾン発生装置ユニットで
あり、空気圧縮機、ブロワ等のオゾン発生のための原料
空気を供給する原料空気供給装置１ａ、原料空気から酸
素を発生させる酸素発生装置１ｂ、発生した酸素ガスに
よりオゾンを発生するオゾン発生装置１ｃから構成され
ている。２はオゾン溶解ユニットであり、被処理水にオ
ゾンを接触、溶解させるオゾン溶解ポンプ２ａ、オゾン
発生装置１ｃへ冷却水を供給する冷却水ポンプ２ｂとか
ら構成されている。３はオゾン滞留ユニットであり、被
処理水とオゾンを十分に反応させるオゾン滞留槽３ａ、
未反応オゾンを分解し、大気放出する排オゾン処理装置
３ｂとから構成されている。４は被処理水、５は処理
水、６は被処理水４に戻される冷却水である。

【００２２】次に動作について説明する。まず被処理水
４はオゾン滞留槽３ａへ流れ込む。滞留槽内第二段３ａ
₂から一部処理水を取り出し、オゾン溶解ポンプ２ａに
より被処理水ラインに戻す。一方、原料空気供給装置１
ａから圧送された空気は、酸素発生装置１ｂを経て酸素
ガスとなり、オゾン発生装置１ｃにてオゾン発生を行な
う。発生したオゾンガスは、オゾン溶解ポンプ２ａのサ
クション側に導入され、オゾン溶解ポンプ２ａ内にて気
液接触が行なわれる。オゾンガスと接触した被処理水は
オゾン滞留槽３ａへ戻り、滞留時間を経て十分に反応が
行なわれる。未反応オゾンは、オゾン滞留槽３ａから排
オゾン処理装置３ｂへ流れ、分解されて酸素に戻った
後、大気中へ開放される。オゾン発生装置１ｃの冷却水
は、オゾン滞留槽３ａの第三段３ａ₃から冷却水ポンプ
２ｂによりオゾン発生装置１ｃに導入され、その後、被
処理水ラインに戻る。

【００２３】次に上記装置の機器構成配置を図２に基づ
いて説明する。本装置は図２に示すように、オゾン発生
装置ユニット１、オゾン溶解ユニット２、オゾン滞留ユ
ニット３とから構成され、現地にて一つのベースに結合
される。以上のように構成することにより、各同一ベー
スのユニット構成となっているため、設置スペースを大
幅に縮小できると共に、現地据付、配管、配線工事量を
大幅に減少することができる。又、工場製作品であるユ
ニット構成となっているため、工場での試験調整を十分
実施でき、現地での試運転調整期間を大幅に縮小できる
ものである。

【００２４】上記のようにして、本実施形態では、各構
成機器を機能単位に同一ベース上にユニット化し、ユニ
ット毎に工場製作とした。そのため、現地ではユニット
単位での基礎を設置するだけで良く、また搬入・据付・
配管・配線工事が容易となり、現地工事量が大幅に削減
できる。また、工場製作品であるため、工場での出荷前
組合わせ試験が十分に実施でき、現地での試運転調整期
間を大幅に縮小できる。さらに構成機器をユニット化す
ることで、従来に比べ設置面積を大幅に縮小できるとい
う利点もあり、ユニット化、シリーズ化により、機器自
体の製造コストも削減できる。

【００２５】実施の形態２．図３はこの発明の実施の形
態２によるオゾン水処理装置を示すシステム構成図であ
り、図において、オゾン溶解ユニット２内では、被処理
水とオゾンの気液接触方法として、実施形態１のオゾン
溶解ポンプ２ａに代えてオゾンを接触、溶解させるため
にエゼクタ２ｄを用い、エゼクタポンプ２ｃにより駆動
するものである。これにより、従来使用されていた散気
管方式に比べ高いオゾン反応率が得られるというメリッ
トが生じる。

【００２６】実施の形態３．図４はこの発明の実施の形
態３によるオゾン水処理装置を示すシステム構成図であ
り、図において、オゾン溶解ユニット２内では、被処理
水とオゾンの気液接触方法として、実施形態１のオゾン
溶解ポンプ２ａに代えてエゼクタ２ｄ、スタティックミ
キサ２ｅを用い、エゼクタポンプ２ｃにより駆動するも
のである。これにより、従来使用されていた散気管方式
に比べ高いオゾン反応効率が得られるというメリットが
生じる。

【００２７】実施の形態４．本実施形態においては、オ
ゾン水処理装置の構成は図１と同様であるが、上水、下
水、産業排水等の処理対象水の処理目的に応じてオゾン
注入率が決定することを考慮し、オゾン発生装置１ｃに
おけるオゾン発生容量を変動させたものである。これに
より、シリーズ化によって汎用性のあるオゾン発生装置
１ｃのユニットを選定することで、様々な処理目的に対
応できるというメリットが生じる。

【００２８】実施の形態５．図５はこの発明の実施の形
態５によるオゾン水処理装置を示すシステム構成図であ
り、本実施形態においては、対象水の処理目的に応じて
オゾン滞留槽３ａの滞留時間が決定されることを考慮
し、オゾン滞留槽３ａの容量を変動させたものである。
即ち、処理対象水が比較的清澄である場合には、滞留時
間は短くてもよいから、オゾン滞留槽３ａの容量を小さ
くし、比較的汚れている場合は、滞留時間を長く採る必
要があるから容量を大きくし、更に様々な産業排水の場
合は、適宜容量を調整するようにする。ここで、オゾン
滞留槽３ａの槽の大きさは生産段階で決めるものであ
る。これにより、シリーズ化によって汎用性のあるオゾ
ン滞留槽３ａのユニットを選定することで、様々な処理
目的に対応できるというメリットが生じる。

【００２９】実施の形態６．図６はこの発明の実施の形
態６によるオゾン水処理装置を示すシステム構成図であ
り、本実施形態においては、オゾン発生装置ユニット１
において、処理目的に応じてオゾン発生原料ガスを空気
とするため、上記の酸素発生装置１ｂの代りに、空気冷
却装置又は空気乾燥機等の原料空気前処理装置１ｄを設
置し、原料空気を前処理後、オゾン発生装置１ｃに送る
ものである。このように空気乾燥機等を用いるのは、水
分がオゾンの発生効率を低下させるので、オゾン発生効
率を上げるためである。これにより、シリーズ化によっ
て汎用性のある空気原料オゾン発生装置ユニットを選定
することで、様々な処理目的に対応できるというメリッ
トが生じる。

【００３０】実施の形態７．図７はこの発明の実施の形
態７によるオゾン水処理装置を示すシステム構成図であ
り、図において、オゾン滞留ユニット３に、排オゾン濃
度測定装置３ｃおよびオゾン発生量自動制御装置３ｄを
取付けたものである。排オゾン処理装置３ｂの入口の未
反応排オゾン濃度を排オゾン濃度測定装置３ｃにて自動
測定し、その濃度に応じてオゾン発生量自動制御装置３
ｄがオゾン発生量を制御するのである。即ち、排オゾン
濃度が低下すると、オゾンが多く使われていると判断
し、オゾン発生量を増やすのである。これにより、被処
理水に最適なオゾン注入率に応じたオゾン発生量を自動
的にしかも連続的に制御できるため、従来よりランニン
グコストが向上する。更に最適オゾン発生量制御を実施
できるため、省エネルギー、省力化運転が可能となると
いうメリットが生じる。

【００３１】実施の形態８．図８はこの発明の実施の形
態８によるオゾン水処理装置を示すシステム構成図であ
り、オゾン滞留ユニット３において、オゾン滞留槽３ａ
に腐食防止を目的とした犠牲電極３ｅを取付けたもので
ある。即ち、イオン化傾向の違いを利用して、犠牲電極
３ｅを腐食させるようにし、オゾン滞留槽３ａを守るの
である。これにより、腐食性の高い被処理水の場合で
も、オゾン滞留槽３ａに設置した犠牲電極３ｅにより、
長期に亘る高度な耐食性が確保され、腐食性の高い被処
理水にも対応でき、様々な処理目的に対応できるという
メリットが生じる。

【００３２】実施の形態９．実施の形態９を図９に基づ
いて説明する。図９は本実施形態によるコンパクトオゾ
ン水処理装置の概略外形図である。オゾン溶解ユニット
２、オゾン滞留ユニット３は屋外設置仕様とし、一方、
屋外設置の困難なオゾン発生装置ユニット１を、雨滴浸
入防止用のコンテナ７に収納するものである。これによ
り、建築物に要する費用をなくすことができるというメ
リットが生じる。

【００３３】実施の形態１０．図１０はこの発明の実施
の形態１０によるオゾン水処理装置を示すシステム構成
図であり、図において、実施の形態１におけるオゾン発
生装置冷却水ポンプ２ｂの代りに、空冷チラー、水冷チ
ラー、熱交換器等の冷却装置１ｅを設置したものであ
る。即ち、処理水５の水質が悪いとオゾン発生装置１ｃ
が腐食してしまい冷却水として使えない場合があるの
で、別に冷却装置１ｅを設けるものである。これによ
り、様々な冷却水の条件に対応できるというメリットが
生じる。

【００３４】実施の形態１１．図１１はこの発明の実施
の形態１１によるオゾン水処理装置を示すシステム構成
図であり、図において、処理対象水の処理目的に応じ
て、過酸化水素タンク２ｆ及び注入ポンプ２ｇからなる
過酸化水素注入装置を設置し、併用処理を可能としたも
のである。これにより、難分解性物質の処理を実施する
ため、過酸化水素併用オゾン処理が可能となるというメ
リットが生じる。

【００３５】実施の形態１２．図１２はこの発明の実施
の形態１２によるオゾン水処理装置を示すシステム構成
図であり、図において、処理対象水の処理目的に応じ
て、紫外線照射装置２ｈを設置し、併用処理を可能とし
たものである。これにより、難分解性物質の処理を実施
するための紫外線照射併用オゾン処理が可能となるとい
うメリットが生じる。

【００３６】

【発明の効果】この発明の請求項１に係るオゾン水処理
装置によれば、オゾン発生装置ユニットとオゾン溶解ユ
ニットとオゾン滞留ユニットとから構成されると共に、
オゾン発生装置ユニットは原料空気供給装置と酸素発生
装置とオゾン発生装置とから構成され、オゾン溶解ユニ
ットは被処理水にオゾンを溶解させるオゾン溶解ポンプ
とオゾン発生装置に冷却水を供給する冷却水ポンプとか
ら構成され、更にオゾン滞留ユニットは被処理水とオゾ
ンを反応させるオゾン滞留槽と排オゾン処理装置とから
構成されているので、上水、下水、産業排水等あらゆる
オゾン水処理に応用でき、しかも従来よりも安価に提供
できる。

【００３７】この発明の請求項２に係るオゾン水処理装
置によれば、被処理水にオゾンを溶解させるエゼクタを
設けたので、散気管方式に比べ高いオゾン反応効率が得
られる。

【００３８】この発明の請求項３に係るオゾン水処理装
置によれば、エゼクタにスタティックミキサを結合させ
たので、散気管方式に比べ高いオゾン反応効率が得られ
る。

【００３９】この発明の請求項４に係るオゾン水処理装
置によれば、被処理水に応じてオゾン発生容量を変化さ
せるので、様々な処理目的に対応できる。

【００４０】この発明の請求項５に係るオゾン水処理装
置によれば、被処理水に応じてオゾン滞留槽の容量を変
化させるので、様々な処理目的に対応できる。

【００４１】この発明の請求項６に係るオゾン水処理装
置によれば、酸素発生装置に代えて原料空気前処理装置
を設置したので、上水処理等様々な処理目的に対応でき
る。

【００４２】この発明の請求項７に係るオゾン水処理装
置によれば、オゾン滞留ユニットに未反応排オゾン濃度
を測定させる排オゾン濃度測定装置と濃度に応じてオゾ
ン発生量を制御するオゾン発生量自動制御装置を設けた
ので、省エネルギー、省力化運転が可能となる。

【００４３】この発明の請求項８に係るオゾン水処理装
置によれば、オゾン滞留槽に腐食防止を目的とした犠牲
電極を設けたので、様々な処理目的に対応できる。

【００４４】この発明の請求項９に係るオゾン水処理装
置によれば、オゾン溶解ユニットに設けられた冷却水ポ
ンプの代わりにオゾン発生装置を冷却するための冷却装
置を設けたので、様々な冷却水の条件に対応できる。

【００４５】この発明の請求項１０に係るオゾン水処理
装置によれば、オゾン溶解ユニットに過酸化水素併用オ
ゾン処理が行なえるよう過酸化水素注入装置を設けたの
で、難分解性物質の処理を行なうことができる。

【００４６】この発明の請求項１１に係るオゾン水処理
装置によれば、オゾン溶解ユニットに紫外線照射併用オ
ゾン処理が行なえるよう紫外線照射装置を設けたので、
難分解性物質の処理を行なうことができる。

【００４７】この発明の請求項１２に係るオゾン水処理
装置によれば、オゾン発生装置ユニットとオゾン溶解ユ
ニットとオゾン滞留ユニットを同一ベース上で構成した
ので、現地ではユニット単位での基礎を設置するだけで
良く、また搬入・据付・配管・配線工事が容易となり、
現地工事量が大幅に削減できる。また工場製作品である
ため工場での出荷前組合わせ試験が十分に実施でき、現
地での試運転調整期間も大幅に縮小できる。さらに構成
機器をユニット化することで従来に比べ設置面積を大幅
に縮小できるという利点もあり、ユニット化・シリーズ
化により機器自体の製造コストも削減できる。

【００４８】この発明の請求項１３に係るオゾン水処理
装置によれば、オゾン発生装置ユニットのみをコンテナ
に収納したので、建築物に要する費用をなくすことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１によるオゾン水処理
装置を示すシステム構成図である。

【図２】 この発明の実施の形態１によるオゾン水処理
装置を示す機器構成配置図である。

【図３】 この発明の実施の形態２によるオゾン水処理
装置を示すシステム構成図である。

【図４】 この発明の実施の形態３によるオゾン水処理
装置を示すシステム構成図である。

【図５】 この発明の実施の形態５によるオゾン水処理
装置を示すシステム構成図である。

【図６】 この発明の実施の形態６によるオゾン水処理
装置を示すシステム構成図である。

【図７】 この発明の実施の形態７によるオゾン水処理
装置を示すシステム構成図である。

【図８】 この発明の実施の形態８によるオゾン水処理
装置を示すシステム構成図である。

【図９】 この発明の実施の形態９によるオゾン水処理
装置を示す機器構成配置図である。

【図１０】 この発明の実施の形態１０によるオゾン水
処理装置を示すシステム構成図である。

【図１１】 この発明の実施の形態１１によるオゾン水
処理装置を示すシステム構成図である。

【図１２】 この発明の実施の形態１２によるオゾン水
処理装置を示すシステム構成図である。

【図１３】 従来のオゾン水処理設備を示すシステム構
成図である。

【符号の説明】

１ オゾン発生装置ユニット、１ａ 原料空気供給装
置、１ｂ 酸素発生装置、１ｃ オゾン発生装置、１ｄ
原料空気前処理装置、１ｅ 冷却装置、２ オゾン溶
解ユニット、２ａ オゾン溶解ポンプ、２ｂ 冷却水ポ
ンプ、２ｄ エゼクタ、２ｅ スタティックミキサ、２
ｈ 紫外線照射装置、３ オゾン滞留ユニット、３ａ
オゾン滞留槽、３ｂ 排オゾン処理装置、３ｃ 排オゾ
ン濃度測定装置、３ｄ オゾン発生量自動制御装置、３
ｅ 犠牲電極、４ 被処理水、５処理水、７ コンテ
ナ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小沢 建樹 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 4D050 AA01 AA03 AA12 AA15 BB02 BB09 BC09 BD02 BD03 BD04 BD06 BD08 4G035 AA01 AB20 AC01 AC33 AE13 4G042 CB24 CC12 CC23 CE01

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 オゾン発生装置ユニットとオゾン溶解ユ
   ニットとオゾン滞留ユニットとから構成されると共に、
   上記オゾン発生装置ユニットは原料空気供給装置と酸素
   発生装置とオゾン発生装置とから構成され、上記オゾン
   溶解ユニットは被処理水にオゾンを溶解させるオゾン溶
   解ポンプと上記オゾン発生装置に冷却水を供給する冷却
   水ポンプとから構成され、更に上記オゾン滞留ユニット
   は被処理水とオゾンを反応させるオゾン滞留槽と排オゾ
   ン処理装置とから構成されたことを特徴とするオゾン水
   処理装置。
2. 【請求項２】 オゾン発生装置ユニットとオゾン溶解ユ
   ニットとオゾン滞留ユニットとから構成されると共に、
   上記オゾン発生装置ユニットは原料空気供給装置と酸素
   発生装置とオゾン発生装置とから構成され、上記オゾン
   溶解ユニットは被処理水にオゾンを溶解させるエゼクタ
   と上記オゾン発生装置に冷却水を供給する冷却水ポンプ
   とから構成され、更に上記オゾン滞留ユニットは被処理
   水とオゾンを反応させるオゾン滞留槽と排オゾン処理装
   置とから構成されたことを特徴とするオゾン水処理装
   置。
3. 【請求項３】 エゼクタにスタティックミキサを結合さ
   せたことを特徴とする請求項２記載のオゾン水処理装
   置。
4. 【請求項４】 被処理水に応じてオゾン発生容量を変化
   させることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれ
   か１項に記載のオゾン水処理装置。
5. 【請求項５】 被処理水に応じてオゾン滞留槽の容量を
   変化させることを特徴とする請求項１から請求項４のい
   ずれか１項に記載のオゾン水処理装置。
6. 【請求項６】 酸素発生装置に代えて原料空気前処理装
   置を設置したことを特徴とする請求項１から請求項５の
   いずれか１項に記載のオゾン水処理装置。
7. 【請求項７】 オゾン滞留ユニットに未反応排オゾン濃
   度を測定させる排オゾン濃度測定装置と濃度に応じてオ
   ゾン発生量を制御するオゾン発生量自動制御装置を設け
   たことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１
   項に記載のオゾン水処理装置。
8. 【請求項８】 オゾン滞留槽に腐食防止を目的とした犠
   牲電極を設けたことを特徴とする請求項１から請求項７
   のいずれか１項に記載のオゾン水処理装置。
9. 【請求項９】 オゾン溶解ユニットに設けられた冷却水
   ポンプの代わりにオゾン発生装置を冷却するための冷却
   装置を設けたことを特徴とする請求項１から請求項８の
   いずれか１項に記載のオゾン水処理装置。
10. 【請求項１０】 オゾン溶解ユニットに過酸化水素併用
    オゾン処理が行なえるよう過酸化水素注入装置を設けた
    ことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項
    に記載のオゾン水処理装置。
11. 【請求項１１】 オゾン溶解ユニットに紫外線照射併用
    オゾン処理が行なえるよう紫外線照射装置を設けたこと
    を特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記
    載のオゾン水処理装置。
12. 【請求項１２】 オゾン発生装置ユニットとオゾン溶解
    ユニットとオゾン滞留ユニットを同一ベース上で構成し
    たことを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか
    １項に記載のオゾン水処理装置。
13. 【請求項１３】 オゾン発生装置ユニットのみをコンテ
    ナに収納したことを特徴とする請求項１から請求項１１
    のいずれか１項に記載のオゾン水処理装置。