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JP2000164270A - Electric connector and its manufacture - Google Patents

Electric connector and its manufacture

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Publication number
JP2000164270A
JP2000164270A JP10337958A JP33795898A JP2000164270A JP 2000164270 A JP2000164270 A JP 2000164270A JP 10337958 A JP10337958 A JP 10337958A JP 33795898 A JP33795898 A JP 33795898A JP 2000164270 A JP2000164270 A JP 2000164270A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
connector
sheet
base sheet
electrical
connectors
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10337958A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Odajima
智 小田嶋
Takashi Nogami
隆 野上
Takumi Suda
工 須田
Koichi Nei
鴻一 根井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Polymer Co Ltd, Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority to JP10337958A priority Critical patent/JP2000164270A/en
Publication of JP2000164270A publication Critical patent/JP2000164270A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture an electric connector in a short time and effectively prevent the disordered layout of connecting elements. SOLUTION: An electric connector for electrically conducting and connecting a plurality of electrode terminals 2 of a semiconductor package 1 of a surface mount BGA(ball grid array) to a plurality of electrodes 4 of a printed board 3 includes an includes polyimide base sheet 5 having a thickness of 20 μm-300 μm and a plurality of connecting elements 13 embedded in the base sheet 5 and connected to the electrodes. The plurality of connecting elements 13 are molded with conductive resins 12 having a volume resistivity of 1×10-2 Ωcm or less and the plurality of connecting elements 13 are mutually insulated, and both ends of the each connecting element 13 are protruded 0.05 mm-0.5 mm from both surface and back of the base sheet 5.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、BGAやLGAに代表さ
れる半導体パッケージ等とプリント基板やビルドアップ
配線板に代表される回路基板、回路基板同士、又は各種
電気電子部品と回路基板等とを電気的に接続する電気コ
ネクタ及びその製造方法の改良に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor package represented by a BGA or an LGA, a circuit board represented by a printed circuit board or a build-up wiring board, circuit boards, or various electric and electronic components and a circuit board. And a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体パッケージには、QFP(Quad Flat
Packeage)、TCP(Tape Carrier Packeage)、SOP、SOJ、又は
PLCC等のタイプがあるが、従来、実装時の端子回りの取
り扱いが容易なPGA(ピングリッドアレイ)タイプが多用
されてきた。このPGAタイプの半導体パッケージ1B
は、図12に示すように、パッケージの裏面にピン型を
呈した複数の電極端子2Bを二次元的に配列した構造に
構成され、ハイパワーで高速であるという特性を有して
いる。
2. Description of the Related Art Semiconductor packages include QFP (Quad Flat).
Packeage), TCP (Tape Carrier Packeage), SOP, SOJ, or
There are PLCC and other types, but PGA (pin grid array) types, which are easy to handle around terminals during mounting, have often been used. This PGA type semiconductor package 1B
As shown in FIG. 12, a plurality of pin-shaped electrode terminals 2B are two-dimensionally arranged on the back surface of the package, and have high power and high speed characteristics.

【0003】しかしながら、PGAタイプの半導体パッケ
ージ1Bは比較的外形寸法が大きく、ピンの挿入に高度
な位置合わせと大きな荷重とが必要であるため、1パッ
ケージのピン数は200ピン程度が限界である。さら
に、多極高密度配置の要求時にピン形の電極端子2Bの
径が小きくなり、電極端子2Bの成形加工に困難を生じ
たり、電極端子2Bが比較的容易に変形して使用不能に
なる等の欠点もあった。
However, the semiconductor package 1B of the PGA type has a relatively large external dimension and requires a high degree of positioning and a large load for pin insertion, so that the number of pins per package is limited to about 200 pins. . Further, when a multi-pole high-density arrangement is required, the diameter of the pin-shaped electrode terminal 2B becomes small, which causes difficulty in forming the electrode terminal 2B or makes the electrode terminal 2B relatively easily deformed and unusable. There were also disadvantages such as.

【0004】そこで、近年、BGA(ボールグリッドアレ
イ)タイプやLGA(ランドグリッドアレイ)タイプのような
表面実装型の半導体パッケージ1、特に各種BGAタイプ
の半導体パッケージ1が鋭意研究開発されて大いに注目
され、これらがパーソナルコンピュータやワークステー
ション用のマイクロプロセッサや多ピンのASIC(Applica
tion Specific Integrated Circuit)に使用されてい
る。
Therefore, in recent years, surface-mount type semiconductor packages 1 such as BGA (ball grid array) type and LGA (land grid array) type, especially various BGA type semiconductor packages 1, have been studied and developed intensively. These include microprocessors and multi-pin ASICs (Applica
tion Specific Integrated Circuit).

【0005】図13に示すBGAタイプの半導体パッケー
ジ1は、パッケージの裏面に半田ボール形を呈した複数
の電極端子2が格子形に配列して構成されている。これ
に対し、LGAタイプの半導体パッケージは、図示しない
が、パッケージの裏面に面状を呈した複数の電極端子の
みを残存させた構造に構成されている。これらの半導体
パッケージ1、特にBGAタイプの半導体パッケージ1
は、従来のQFPよりも小型で400ピン以上の多ピン化
が可能(実装密度が高い)であり、多ピンの一括リフロー
表面接合が容易である等の特徴を有しており、実装技術
の主流となるに至っている。
[0005] A BGA type semiconductor package 1 shown in FIG. 13 has a configuration in which a plurality of electrode terminals 2 having a solder ball shape are arranged in a lattice pattern on the back surface of the package. On the other hand, although not shown, the LGA type semiconductor package has a structure in which only a plurality of planar electrode terminals are left on the back surface of the package. These semiconductor packages 1, especially a BGA type semiconductor package 1
Is smaller than the conventional QFP and can be equipped with multiple pins of 400 pins or more (high mounting density), and has features such as easy batch reflow surface bonding of multiple pins. It has become mainstream.

【0006】ところで、BGAタイプの半導体パッケージ
1は、実装基板であるプリント基板上の所定の位置に配
置して半田リフローされることにより、各電極端子2が
溶融してプリント基板の電極端子と半田接合され、プリ
ント基板上に実装される。しかし、このような半田接合
では、半導体パッケージ1の取り付けが可能であるもの
の、その取り付け取り外しが不可能なので大きな問題が
生じる。半導体パッケージ1の半導体素子が着脱自在で
あることは、試作投階、性能評価段階でのCPUの試験的
実装、あるいは新型半導体素子への交換等に必要不可欠
だからである。そこで、表面実装型の半導体パッケージ
1の実装を可能とするとともに、その取り付け取り外し
をも実現する電気コネクタが必要とされる。
By the way, the BGA type semiconductor package 1 is arranged at a predetermined position on a printed circuit board, which is a mounting board, and is solder reflowed so that each electrode terminal 2 is melted and soldered to the electrode terminal of the printed circuit board. Joined and mounted on a printed circuit board. However, in such solder bonding, although the semiconductor package 1 can be attached, it is impossible to attach and detach the semiconductor package 1, so that a serious problem occurs. The reason that the semiconductor element of the semiconductor package 1 is detachable is because it is indispensable for trial production, CPU test mounting at the performance evaluation stage, or replacement with a new semiconductor element. Therefore, there is a need for an electrical connector that enables the mounting of the surface-mounted semiconductor package 1 and that can also be mounted and removed.

【0007】上記問題に鑑み、特開平9−115577
号公報は、電気コネクタを用いた接合構造を提案し、半
導体パッケージ1、1Aの実装の他、その取り付け取り
外しを可能としている。この電気コネクタは、図示しな
いが、複数の導電ランドを上下両面に有する絶縁性シー
トと、導電ランド位置に形成されたスルーホール(貫通
孔)の内面に沿って位置し、上下両面のランド間を導電
接続する導電層と、スルーホール内に充填されたエラス
トマーと、このエラストマーの上下両面に位置する金属
バンプとから構成されている。金属パンプは、半球形又
は球形に形成され、径がスルーホールの径よりも小径に
形成されている。
In view of the above problems, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 9-115577
This publication proposes a bonding structure using an electrical connector, and enables mounting and dismounting of the semiconductor packages 1 and 1A in addition to mounting. Although not shown, the electrical connector is located along an inner surface of an insulating sheet having a plurality of conductive lands on both upper and lower surfaces and a through hole (through hole) formed at the position of the conductive land. It is composed of a conductive layer for conductive connection, an elastomer filled in a through hole, and metal bumps located on both upper and lower surfaces of the elastomer. The metal pump is formed in a hemispherical or spherical shape, and has a diameter smaller than the diameter of the through hole.

【0008】しかしながら、上記従来の電気コネクタ
は、上記記載のように部品点数が実に多く、製造方法が
煩雑であり、製品のコストが高くなるという問題があっ
た。そこで、これを解決するため、特開平9−3578
9号公報は、絶縁性の弾性材からなるシート体の厚み方
向に複数の導電性のワイヤを貫通させてなる異方導電性
シートを提案している。この製造方法は、ワイヤボンデ
ィングの手法を用いて導電性のワイヤを一本ずつ基材に
ボンディングし、この基材上に絶縁性のゴムを充填して
当該ゴムから各ワイヤの両端を露出させ、その後、ゴム
を硬化させて基材から剥離する。
However, as described above, the conventional electrical connector has a problem that the number of components is very large, the manufacturing method is complicated, and the cost of the product is high. Then, in order to solve this, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-3578
No. 9 proposes an anisotropic conductive sheet formed by penetrating a plurality of conductive wires in a thickness direction of a sheet made of an insulating elastic material. This manufacturing method uses a wire bonding technique to bond conductive wires one by one to a base material, fill the base material with an insulating rubber, and expose both ends of each wire from the rubber, Thereafter, the rubber is cured and peeled from the substrate.

【0009】なお、この種の電気コネクタやその製造方
法に関する先行技術文献として、上記公報の他に、特公
昭7−105174号や特許2796872号公報等が
あげられる。
Prior art documents relating to this type of electrical connector and its manufacturing method include Japanese Patent Publication No. 7-105174 and Japanese Patent No. 2796872 in addition to the above-mentioned publications.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】従来の電気コネクタ
は、以上のように基材に導電性のワイヤを1本ずつボン
ディングするので、製造作業の遅延化を招くという問題
があった。さらに、ボンディングされた各ワイヤが先端
部のみで支持されるので、ゴムの充填工程で折れ曲がり
が発生しやすく、その結果、ワイヤの配列が乱れたり、
長時間かけてゴムを充填せざるを得ない等の問題があっ
た。
As described above, the conventional electrical connector has a problem that the manufacturing operation is delayed because the conductive wires are bonded to the base material one by one. Furthermore, since each bonded wire is supported only at the tip, bending is likely to occur in the rubber filling process, and as a result, the wire arrangement is disturbed,
There was a problem that rubber had to be filled for a long time.

【0011】本発明は、上記問題に鑑みなされたもの
で、短時間で製造することができ、しかも、接続子の配
列の乱れを有効に防止することのできる電気コネクタ及
びその製造方法を提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and provides an electrical connector which can be manufactured in a short time and which can effectively prevent the arrangement of connectors from being disturbed, and a method of manufacturing the same. It is intended to be.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明にお
いては、上記課題を達成するため、電気的接合物の電極
と電気的被接合物の電極とを電気的に接続するものであ
って、20μm〜300μmの厚さを有する絶縁性の基材
シートと、この基材シート中に複数設けられる上記電極
接続用の接続子とを含み、この複数の接続子を1×10
-2Ω・cm以下の体積抵抗率を有する導電性樹脂を用いて
成形するとともに、該複数の接続子を相互に絶縁し、各
接続子の少なくとも一端部を上記基材シートの表裏いず
れか一方の面から0.05mm〜0.5mm突出させるよう
にしたことを特徴としている。
According to the first aspect of the present invention, in order to achieve the above object, an electrode of an electrical joint is electrically connected to an electrode of an electrical joint. , An insulating base sheet having a thickness of 20 μm to 300 μm, and a plurality of connectors for connecting the electrodes provided in the base sheet.
While molding using a conductive resin having a volume resistivity of -2 Ωcm or less, the plurality of connectors are insulated from each other, and at least one end of each connector is one of the front and back surfaces of the base sheet. Characterized by projecting from the surface of 0.05 mm to 0.5 mm.

【0013】また、請求項2記載の発明においては、上
記課題を達成するため、絶縁性の基材シートと、この基
材シート中に複数設けられる導電性の接続子とを含み、
この複数の接続子を相互に絶縁し、各接続子の少なくと
も一端部を上記基材シートの表裏いずれか一方の面から
突出させて電気的接合物又は電気的被接合物の電極に接
触させるとともに、各接続子の他端部を電気的被接合物
又は電気的接合物の電極に接触させる電気コネクタを製
造する方法であって、上記基材シートの少なくとも表裏
いずれか一方の面に接続子形成シートを設けて積層体を
構成し、この積層体の厚さ方向に複数の貫通孔を相互に
離間させて設けるとともに、各貫通孔に導電性樹脂を充
填し、上記積層体を構成する接続子形成シートのみを除
去することを特徴としている。
[0013] In order to achieve the above object, the invention according to claim 2 includes an insulating base sheet and a plurality of conductive connectors provided in the base sheet.
The plurality of connectors are insulated from each other, and at least one end of each connector is projected from one of the front and back surfaces of the base sheet so as to be in contact with an electrode of an electric joint or an electric joint. A method of manufacturing an electrical connector in which the other end of each connector is brought into contact with an electrical joint or an electrode of the electrical joint, wherein a connector is formed on at least one of the front and back surfaces of the base sheet. A sheet is provided to form a laminate, a plurality of through holes are provided in the thickness direction of the laminate so as to be spaced apart from each other, and each through hole is filled with a conductive resin to constitute the laminate. It is characterized in that only the forming sheet is removed.

【0014】なお、上記接続子形成シートを、けん化度
50%以上のポリビニルアルコールシートとすることが
好ましい。また、上記接続子形成シートを水で膨潤させ
て剥離除去することが望ましい。さらに、上記各貫通孔
を上記電極の形状に対応する相似形に設けることが可能
である。
The connector forming sheet is preferably a polyvinyl alcohol sheet having a saponification degree of 50% or more. In addition, it is desirable that the connector forming sheet be swollen with water and peeled off. Further, each of the through holes can be provided in a similar shape corresponding to the shape of the electrode.

【0015】ここで、特許請求の範囲における電気的接
合物には、少なくともBGA、LGA、FBGA、PBGA、TBGA、FPBG
A、若しくはD2BGAタイプ等の半導体パッケージ、これら
とほぼ同様の表面実装型の各種電子部品、マイクロホン
等の電気部品、又は回路基板等が含まれる。また、電気
的被接合物には、少なくとも検査用の回路基板、プリン
ト基板、高密度配線板であるビルドアップ配線板、又は
これらとほぼ同様の電気的な被接合物が含まれる。これ
ら電気的接合物と電気的被接合物の各電極は、単数でも
良いが、好ましくは複数が良い。
Here, at least the BGA, LGA, FBGA, PBGA, TBGA, FPBG
A or D 2 BGA type semiconductor package, various surface-mounted electronic components substantially similar to these, electric components such as a microphone, a circuit board, and the like are included. Further, the electrical workpiece includes at least a circuit board for inspection, a printed board, a build-up wiring board which is a high-density wiring board, or an electrical workpiece substantially similar to these. Each electrode of the electrical joint and the electrical joint may be a single electrode, but preferably a plurality of electrodes.

【0016】絶縁性の基材シートとしては、複数の接続
子を相互に絶縁した状態で保持する機能を有し、かつ本
発明に係る電気コネクタが使用される環境で耐性を有す
るものであれば良い。具体的には、ポリイミド、ポリア
ミドイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレ
ンナフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエ
ーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリ
スチレン、フッ素樹脂、ガラス繊維等で補強されたエポ
キシ樹脂、同じくポリフェニレンエーテル、又は同じく
ビスマレイミド−トリアジン樹脂等があげられる。これ
らの中でも、複数の貫通孔を設ける際の加工性及び使用
時の耐熱性に優れ、被接合物との熱膨張率の差が少ない
等の理由からゴムやエラストマーよりはプラスチックが
好ましく、このプラスチックの中でもポリイミド、ポリ
アミドイミド、又はポリエチレンナフタレートを選択す
ることが特に望ましい。
As the insulating base sheet, any one having a function of holding a plurality of connectors in a mutually insulated state and having resistance in an environment where the electrical connector according to the present invention is used. good. Specifically, polyimide, polyamide imide, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyether ether ketone, polyether sulfone, polyphenylene sulfide, polystyrene, fluororesin, epoxy resin reinforced with glass fibers, etc., also polyphenylene ether, or Similarly, bismaleimide-triazine resin and the like can be mentioned. Among these, plastics are preferable to rubbers and elastomers because they are excellent in workability when providing a plurality of through holes and heat resistance during use, and have a small difference in coefficient of thermal expansion with the object to be joined. Among them, it is particularly desirable to select polyimide, polyamideimide, or polyethylene naphthalate.

【0017】接続子形成シートとしては、けん化(sapon
ification)度50%〜100%、望ましくは90%〜1
00%のポリビニルアルコール(polyvinyl alcohol)シ
ートが好ましいが、溶解除去あるいは膨潤して剥離除去
できるものであれば、特に制限はない。ポリビニルアル
コールを用いる場合には、そのけん化度が50%未満の
とき、水に溶解して以下の問題を生じやすいので注意す
る必要がある。すなわち、接続子形成シートは、基材シ
ートの少なくとも表裏いずれかの面から導電性樹脂製の
接続子を複数突出させるためのスペーサとして機能し、
最終的には溶解若しくは膨潤(swelling)、剥離除去され
る。ここで、膨潤、剥離除去するのは、ポリビニルアル
コールシートを溶解除去する場合、溶解したポリビニル
アルコールシートが接続子に再付着し、接続不良を引き
起こすおそれがあるからである。また、この接続不良を
防止するため、入念な水洗による洗浄工程が必要不可欠
となり、製造工程が煩雑化するからである。
As the connector forming sheet, saponification (sapon
degree) 50% -100%, preferably 90% -1
A 00% polyvinyl alcohol sheet is preferred, but there is no particular limitation as long as it can be removed by dissolution or swelling. In the case of using polyvinyl alcohol, it should be noted that when the degree of saponification is less than 50%, it is likely to dissolve in water and cause the following problems. That is, the connector forming sheet functions as a spacer for projecting a plurality of conductive resin connectors from at least one of the front and back surfaces of the base sheet,
Finally, it is dissolved or swelled and peeled off. Here, the reason for swelling and peeling-off is that when the polyvinyl alcohol sheet is dissolved and removed, the dissolved polyvinyl alcohol sheet may re-attach to the connector and cause a connection failure. Further, in order to prevent this connection failure, a cleaning step by careful water washing becomes indispensable, and the manufacturing process becomes complicated.

【0018】これに対し、ポリビニルアルコールシート
のけん化度を50%以上に設定すれば、水にポリビニル
アルコールシートの溶解することがなく、接続不良のお
それや洗浄工程を防止あるいは省略することが可能にな
る。また、膨潤することにより、ポリビニルアルコール
シートに設けられた貫通孔が拡開し、剥離除去の際に接
続子が除抜されるおそれがなくなる。
On the other hand, if the degree of saponification of the polyvinyl alcohol sheet is set to 50% or more, the polyvinyl alcohol sheet does not dissolve in water, and the possibility of poor connection and the washing step can be prevented or omitted. Become. In addition, by swelling, the through-hole provided in the polyvinyl alcohol sheet expands, and there is no risk that the connector will be removed during peeling and removal.

【0019】接続子形成シートの厚さは、接続子の突出
量を決定するもので、所定の突出量に設定できるが、電
気電子機器の小型化促進の観点から0.05mm〜0.5
mmの範囲で選択することが望ましい。これは、突出量が
小さいと、被接合物の電極の間隙のばらつきを吸収する
ことができず、接続が不安定になるおそれがあるからで
ある。反対に、大きすぎると、実装後の反動や衝撃によ
り接続子が倒れて接続不良となるからである。なお、基
材シートの表裏両面に接続子形成シートを設ける場合、
各シートは、同一の厚さでも良いし、異なる厚さでも良
い。
The thickness of the connector forming sheet determines the amount of protrusion of the connector, and can be set to a predetermined amount. However, from the viewpoint of promoting miniaturization of electric and electronic equipment, the thickness is 0.05 mm to 0.5 mm.
It is desirable to select within the range of mm. This is because if the amount of protrusion is small, variations in the gap between the electrodes of the article cannot be absorbed, and the connection may be unstable. Conversely, if it is too large, the connector will fall down due to recoil or impact after mounting, resulting in poor connection. In addition, when providing the connector forming sheet on both the front and back surfaces of the base material sheet,
Each sheet may have the same thickness or different thicknesses.

【0020】ポリビニルアルコールシートを用いる場合
には、基材シート上に加工する際の加工性を向上させる
ため、水による膨潤性を損なわない程度でグリセリン等
の可塑剤やその他の添加剤を添加することが可能であ
る。また、基材シートに接続子形成シートを設ける方法
としては、市販の各種接着剤を介して接着、粘着する方
法、ラミネートする方法、コーティングする方法、又は
スクリーニング(スクリーン印刷)する方法等があげられ
るが、好ましくは、シートないしフィルムを積層する方
法が良い。また、複数の貫通孔の大ききや配列は、被接
合物の電極等に適宜対応させることができる。積層体に
複数の貫通孔を設ける方法としては、金型を用いてパン
チングにより穿孔する方法、レーザによる方法、又はド
リル加工による方法等があげられる。但し、これらの中
でも、金型を用いてパンチングする方法が生産性に優れ
る等の理由で最適である。
In the case of using a polyvinyl alcohol sheet, a plasticizer such as glycerin and other additives are added to such an extent that the swelling property with water is not impaired in order to improve the processability when processing on the base sheet. It is possible. Examples of the method for providing the connector forming sheet on the base sheet include a method of bonding and sticking via various commercially available adhesives, a method of laminating, a method of coating, a method of screening (screen printing), and the like. However, a method of laminating sheets or films is preferable. In addition, the size and arrangement of the plurality of through-holes can appropriately correspond to the electrodes and the like of the workpiece. Examples of a method of providing a plurality of through holes in the laminate include a method of punching by punching using a mold, a method of laser, a method of drilling, and the like. However, among these, the method of punching using a metal mold is the most suitable because the productivity is excellent.

【0021】導電性樹脂としては、合成樹脂に導電性付
与フィラーを分散させた1×10-2Ω・cm以下の体積抵
抗率を有する樹脂が良い。上記合成樹脂(ゴムないしエ
ラストマーも含む)としては、エポキシ系樹脂、不飽和
ポリエステル系樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、
又はウレタン樹脂等があげられ、これらの中でもゴムな
いしエラストマーが好ましい。これらの中には硬化剤、
硬化助剤、又は抑制剤等が適宜添加される。
As the conductive resin, a resin having a volume resistivity of 1 × 10 −2 Ω · cm or less, in which a conductive filler is dispersed in a synthetic resin, is preferable. As the synthetic resin (including rubber or elastomer), epoxy resin, unsaturated polyester resin, acrylic resin, silicone resin,
Or, a urethane resin or the like can be mentioned, and among them, a rubber or an elastomer is preferable. Among these are curing agents,
A curing aid, an inhibitor, or the like is appropriately added.

【0022】合成樹脂に分散配合される導電性付与フィ
ラーとしては、金、銀、銅、白金、パラジウム、鉛、
錫、鉄、亜鉛、アルミニウム、クロム、チタン等の金
属、鉄−ニッケル合金、ステンレス、半田、ベリリウム
銅、青銅、りん青銅、黄銅等の合金等からなる針状、球
状、板状、不定形等の粉末、アセチレンブラック、ケッ
チェンブラック、ファーネスブラック等のカーボン粉
末、セラミックス粉末、又は表面が金属メッキされた各
種粒子又はこれらの混合物、積層物等が例示される。こ
れらのうち、少ない添加量で高い導電性が得られること
から、金、銀、又は銅の粉末を主樹脂やセラミック粉末
にコーティング若しくはメッキしたもの等とする導電性
付与フィラーを用いることが好ましい。これらを上記合
成樹脂に適宜混合分散することにより、導電性樹脂を得
ることができる。但し、市販の導電性樹脂を用いること
も可能である。
Examples of the conductive filler dispersed and mixed in the synthetic resin include gold, silver, copper, platinum, palladium, lead, and the like.
Needles, spheres, plates, irregular shapes, etc. made of metals such as tin, iron, zinc, aluminum, chromium, and titanium, iron-nickel alloys, alloys such as stainless steel, solder, beryllium copper, bronze, phosphor bronze, and brass , Carbon powders such as acetylene black, Ketjen black and furnace black, ceramic powders, various kinds of particles whose surfaces are metal-plated, mixtures thereof, and laminates. Among these, from the viewpoint of obtaining high conductivity with a small amount of addition, it is preferable to use a conductivity-imparting filler formed by coating or plating gold, silver, or copper powder on a main resin or ceramic powder. By appropriately mixing and dispersing these in the above synthetic resin, a conductive resin can be obtained. However, a commercially available conductive resin can also be used.

【0023】積層体の複数の貫通孔に導電性樹脂を充填
する方法としては、導電性樹脂の粘度が自重で流動可能
なほど低い場合には、積層体の下側に適当な部材を密着
させ、貫通孔に導電性樹脂を流し込み、余剰の導電性樹
脂をドクターブレード等によりかき取り除去し、加熱し
て硬化させる方法があげられる。また、導電性樹脂の粘
度が自重のみでは流動しない程度の場合、積層体上に導
電性樹脂を供給し、スキージにより押し込む方法、積層
体の片面あるいは両面に導電性樹脂を供給し、一対のロ
ール間に加圧しながら供給する方法、積層体の片面ある
いは両面に導電性樹脂を供給し、プレスすることにより
充填する方法等がある。さらに、複数の接続子は2本以
上であれば良い。各接続子は、円柱形、角柱形、又は半
円形、半楕円形、若しくは多角形等の柱形に成形するこ
とが可能である。
As a method of filling the plurality of through holes of the laminate with the conductive resin, when the viscosity of the conductive resin is low enough to flow under its own weight, an appropriate member is adhered to the lower side of the laminate. And a method in which a conductive resin is poured into the through-hole, excess conductive resin is scraped off with a doctor blade or the like, and the resin is cured by heating. In addition, when the viscosity of the conductive resin is such that it does not flow only by its own weight, the conductive resin is supplied onto the laminate and pressed by a squeegee, the conductive resin is supplied to one or both surfaces of the laminate, and a pair of rolls is provided. There are a method in which the conductive resin is supplied while pressurizing in between, and a method in which the conductive resin is supplied to one or both surfaces of the laminate and filled by pressing. Further, the number of the connectors may be two or more. Each connector can be formed in a columnar shape such as a cylinder, a prism, or a semicircle, a semiellipse, or a polygon.

【0024】請求項1記載の発明によれば、基材シート
にワイヤボンディングするのではなく、基材シートの複
数の貫通孔に接続子を一括して成形するので、製造作業
の迅速化が期待できる。また、各貫通孔内に接続子が保
持されるので、接続子の折れ曲がりを抑制防止すること
ができる。また、基材シートの厚さが20μm〜300
μmの範囲内に設定されるので、必要以上に薄いことに
より、電気的接合物の実装時の作業性が低下するのを有
効に防止することができる。また、厚すぎることによ
り、被接合物との熱膨張の差による応力の絶対値が大き
くなり、接続不良の原因となったり、電気コネクタを使
用した電気電子機器の小型化の障害となることもない。
According to the first aspect of the present invention, the connectors are collectively formed in the plurality of through holes of the base sheet, instead of being wire-bonded to the base sheet, so that the speed of the manufacturing operation is expected. it can. In addition, since the connector is held in each through hole, it is possible to prevent the connector from being bent. Further, the thickness of the base sheet is 20 μm to 300 μm.
Since the thickness is set in the range of μm, it is possible to effectively prevent the workability at the time of mounting the electrical joint from being lowered by being thinner than necessary. Also, if the thickness is too large, the absolute value of the stress due to the difference in thermal expansion with the object to be joined becomes large, which may cause a connection failure or an obstacle to miniaturization of the electric / electronic device using the electric connector. Absent.

【0025】また、接続子の突出量が0.05mm〜0.
5mmの範囲内なので、突出量が小さすぎることにより、
被接合物の電極の間隙のばらつきを吸収することができ
ず、接続が不安定になることを有効に抑制防止すること
が可能になる。また、突出量が大きすぎることにより、
電気的接合物の実装後の反動や衝撃等により接続子が倒
れて接続に不良を来すこともない。
The protrusion of the connector is 0.05 mm to 0.1 mm.
Because it is within the range of 5 mm, the protrusion amount is too small,
Variations in the gap between the electrodes of the workpiece cannot be absorbed, and the unstable connection can be effectively suppressed and prevented. Also, because the protrusion amount is too large,
The connector does not fall down due to recoil or impact after the mounting of the electrical joint, and the connection does not fail.

【0026】また、請求項4記載の発明によれば、接続
子形成シートに水を吸収させ、接続子形成シートの寸法
を増大させて剥離除去するので、溶解させて除去する場
合と異なり、接続子等に接続子形成シートが付着し、接
続不良のおそれを来すことがない。また、接続不良を防
止するため、製造作業の煩雑化を招く洗浄工程等を特に
必要とすることもない。さらに、請求項5記載の発明に
よれば、電気的被接合物の電極の形状に対して貫通孔、
換言すれば、接続子が拡大あるいは縮小した相似の関係
にあるので、電極と接続子とを重ね合わせることがで
き、接続を安定させることが可能になる。
According to the fourth aspect of the present invention, since the connector forming sheet absorbs water and increases the size of the connector forming sheet and peels off the same, unlike the case of dissolving and removing the connector forming sheet, the connection forming sheet is removed. The connector forming sheet does not adhere to the child or the like, and there is no possibility of a connection failure. Further, there is no particular need for a cleaning step or the like that leads to complicated manufacturing operations in order to prevent poor connection. Furthermore, according to the invention described in claim 5, the shape of the electrode of the object to be electrically connected is a through hole,
In other words, since the connectors have a similar relationship of being enlarged or reduced, the electrodes and the connectors can be overlapped, and the connection can be stabilized.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
ましい実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態
になんら限定されるものではない。本実施形態における
電気コネクタは、図6ないし図8等に示すように、表面
実装型でBGAタイプの半導体パッケージ1の複数の電極
端子2とプリント基板3の複数の電極4とを電気的に導
通接続するもので、絶縁性の基材シート5と、この基材
シート5中に埋設成形される複数の電極接続用の接続子
13とを備えている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings, but the present invention is not limited to the following embodiments. As shown in FIGS. 6 to 8 and the like, the electrical connector according to the present embodiment electrically connects a plurality of electrode terminals 2 of a surface-mounted BGA type semiconductor package 1 to a plurality of electrodes 4 of a printed circuit board 3. The base sheet 5 includes an insulating base sheet 5 and a plurality of electrode connection connectors 13 embedded in the base sheet 5.

【0028】基材シート5は、図1、図6、及び図7等
に示すように、耐熱水性、耐熱衝撃性及び耐放射線性等
に優れるポリイミドを用いて20μm〜300μmの厚さ
を有する板状の方形に成形されている。また、複数の接
続子13は、ゴム弾性、耐熱性、耐寒性、圧縮永久歪特
性、耐薬品性、及び耐候性等に優れるシリコーンゴムに
導電性付与フィラーを分散させた1×10-2Ω・cm以下
の体積抵抗率を有する導電性樹脂12を用いて円柱形に
成形されるとともに、相互に離隔した配列状態で絶縁さ
れている。各接続子13は、その両端部が基材シート5
の表裏両面からそれぞれ0.2mm程度突出成形され、一
端面が半導体パッケージ1の複数の電極端子2に電気的
に接触するとともに、他端面がプリント基板3の複数の
電極4に電気的に接触する。
As shown in FIGS. 1, 6, and 7, etc., the base sheet 5 is made of a polyimide having excellent hot water resistance, thermal shock resistance, radiation resistance and the like, and has a thickness of 20 μm to 300 μm. It is shaped like a square. The plurality of connectors 13 are made of 1 × 10 −2 Ω in which a conductivity-imparting filler is dispersed in silicone rubber having excellent rubber elasticity, heat resistance, cold resistance, compression set characteristics, chemical resistance, and weather resistance. A cylindrical shape is formed by using the conductive resin 12 having a volume resistivity of not more than cm, and the resin is insulated in an array state separated from each other. Each end of the connector 13 has the base sheet 5
Are formed so as to protrude by about 0.2 mm from both front and back surfaces, and one end surface is in electrical contact with the plurality of electrode terminals 2 of the semiconductor package 1 and the other end surface is in electrical contact with the plurality of electrodes 4 of the printed circuit board 3. .

【0029】次に、上記電気コネクタの製造方法につい
て説明する。電気コネクタを製造する場合には、先ず、
基材シート5と、ミキシングロール(mixing roll)9と
を予め用意する。ミキシングロール9は、図4に示すよ
うに、積層体7を挟装する一対の円筒ロール10、10
Aを備え、一の円筒ロール10が他の円筒ロール10A
に進退動可能に構成されている(同図の矢印参照)。一の
円筒ロール10の周面には導電性樹脂層11が予め塗着
されている。
Next, a method for manufacturing the electrical connector will be described. When manufacturing electrical connectors,
A base sheet 5 and a mixing roll 9 are prepared in advance. As shown in FIG. 4, the mixing roll 9 includes a pair of cylindrical rolls 10, 10, which sandwich the laminated body 7.
A, and one cylindrical roll 10 has another cylindrical roll 10A.
(See the arrow in the figure). A conductive resin layer 11 is applied on the peripheral surface of one cylindrical roll 10 in advance.

【0030】次いで、基材シート5の平坦な表裏両面に
ポリビニルアルコールシート製で厚さ0.2mmの接続子
形成シート6をラミネーションしてそれぞれ圧着し、積
層体7を一体構成する(図2参照)。積層体7を構成した
ら、図示しない金型に積層体7をセットしてその厚さ方
向に複数の貫通孔8を所定の間隔をおいて穿孔成形(図
3参照)し、この積層体7をミキシングロール9の一対
の円筒ロール10、10A間に供給し、複数の貫通孔8
に導電性樹脂層11の導電性樹脂12を徐々に充填す
る。こうして複数の貫通孔8に導電性樹脂12を充填し
たら、積層体7の表裏両面に付着した不要の導電性樹脂
12をそれぞれ除去し、導電性樹脂12を硬化させて複
数の接続子13を成形する(図5参照)。
Next, a connector forming sheet 6 made of a polyvinyl alcohol sheet and having a thickness of 0.2 mm is laminated on each of the flat front and back surfaces of the base sheet 5 and pressure-bonded to each other to form a laminate 7 integrally (see FIG. 2). ). After the laminated body 7 is formed, the laminated body 7 is set in a mold (not shown), and a plurality of through holes 8 are formed at predetermined intervals in a thickness direction thereof (see FIG. 3). A plurality of through-holes 8 are supplied between the pair of cylindrical rolls 10 and 10A of the mixing roll 9.
Is gradually filled with the conductive resin 12 of the conductive resin layer 11. After the plurality of through holes 8 are filled with the conductive resin 12, unnecessary conductive resins 12 attached to both the front and back surfaces of the laminate 7 are removed, and the conductive resin 12 is cured to form the plurality of connectors 13. (See FIG. 5).

【0031】そして、図示しない所定温度(例えば80
℃)の湯に積層体7を一定時間(例えば5分間)浸漬して
膨潤させると、各接続子形成シート6が湯を吸収し、そ
の構造組織を変化させることなく、寸法が増大する。そ
の後、各接続子形成シート6を端部から剥いで取り除け
ば、電気コネクタを製造することができる(図6及び図
7参照)。
Then, a predetermined temperature not shown (for example, 80
When the laminate 7 is swelled by immersing the laminate 7 in hot water for a certain period of time (for example, 5 minutes), each connector forming sheet 6 absorbs the hot water, and its dimensions increase without changing its structural structure. Thereafter, by peeling and removing each connector forming sheet 6 from the end, an electrical connector can be manufactured (see FIGS. 6 and 7).

【0032】電気コネクタを製造したら、プリント基板
3上に電気コネクタを載置してその複数の接続子13と
プリント基板3の複数の電極4とを接触させ、電気コネ
クタ上に半導体パッケージ1をセットしてその複数の電
極端子2と電気コネクタの複数の接続子13とを接触さ
せ、その後、半導体パッケージ1を押圧圧下すれば、プ
リント基板3と半導体パッケージ1とを電気的に接続す
ることができる。
After the electrical connector is manufactured, the electrical connector is mounted on the printed circuit board 3 and the plurality of connectors 13 are brought into contact with the plurality of electrodes 4 of the printed circuit board 3 to set the semiconductor package 1 on the electrical connector. Then, the plurality of electrode terminals 2 are brought into contact with the plurality of connectors 13 of the electrical connector, and then the semiconductor package 1 is pressed down, whereby the printed board 3 and the semiconductor package 1 can be electrically connected. .

【0033】上記構成によれば、基材シート5上に導電
性のワイヤを1本ずつボンディングするのではなく、積
層体7の複数の貫通孔8に導電性樹脂12を一度に充填
硬化させて複数の接続子13を成形するので、簡便かつ
速やかな製造作業が期待できる。また、基材シート5の
各貫通孔内に接続子13が保持されるので、接続子13
の折れ曲がることがない。したがって、複数の接続子1
3の配列が乱れたり、長時間かけて導電性樹脂12を充
填する必要性が全くない。また、積層体7を浸漬膨潤さ
せ、接続子形成シート6の貫通孔を基材シート5の貫通
孔よりも拡径に広げるので、例え接続子形成シート6の
貫通孔内が荒れていても、剥離除去時に接続子形成シー
ト6の貫通孔が接続子13に付着して損傷させることが
全くない。また、煩雑な洗浄作業を省略することもでき
る。
According to the above configuration, the conductive resin 12 is filled into the plurality of through-holes 8 of the laminate 7 at a time and hardened, instead of bonding the conductive wires one by one on the base sheet 5. Since the plurality of connectors 13 are formed, a simple and quick manufacturing operation can be expected. In addition, since the connector 13 is held in each through hole of the base sheet 5, the connector 13
Never bends. Therefore, a plurality of connectors 1
There is no necessity to disturb the arrangement of 3 or to fill the conductive resin 12 for a long time. Further, since the laminated body 7 is immersed and swollen, and the through holes of the connector forming sheet 6 are expanded to have a larger diameter than the through holes of the base sheet 5, even if the through holes of the connector forming sheet 6 are rough, There is no possibility that the through-holes of the connector forming sheet 6 adhere to the connector 13 and cause damage at the time of peeling and removal. Also, a complicated cleaning operation can be omitted.

【0034】また、膨潤を用いて接続子形成シート6を
剥離除去するので、溶解除去作業に比べ、きわめて敏速
に除去作業することが可能になる。また、導電性樹脂1
2の体積抵抗率が、シリコーンゴムに導電性付与フィラ
ーを分散させた1×10-2Ω・cm以下なので、体積抵抗
率が1×10-2Ω・cmの値を超えることにより、信号や
電流の伝搬効率が悪化したり、消費電力の増大や発熱等
を招くことがない。また、積層体7の複数の貫通孔8に
充填するため、流動性を有する必要があり、無溶剤反応
硬化型の合成樹脂材料を用いることにより、ボイド(voi
d)の発生を防止することができ、かつ接続子13の突出
量を容易に制御することが可能になる。
Further, since the connector forming sheet 6 is peeled and removed by using the swelling, the removing operation can be performed very quickly as compared with the dissolving and removing operation. In addition, conductive resin 1
2 has a volume resistivity of 1 × 10 −2 Ω · cm or less in which a conductivity-imparting filler is dispersed in silicone rubber. Therefore, when the volume resistivity exceeds 1 × 10 −2 Ω · cm, a signal or There is no deterioration in current propagation efficiency, increase in power consumption, heat generation, and the like. In addition, since the plurality of through-holes 8 of the laminate 7 need to have fluidity, it is necessary to use a solventless reaction-curable synthetic resin material to form voids.
The occurrence of d) can be prevented, and the protrusion amount of the connector 13 can be easily controlled.

【0035】さらに、膨潤の採用により、接続子形成シ
ート6を機械的に連続剥離することが可能なので、生産
効率を大幅に向上させることができる。さらにまた、ミ
キシングロール9を使用して複数の貫通孔8に導電性樹
脂12を一括充填するので、作業の簡素化、効率化、及
び迅速化等が大いに期待できる。
Further, by employing swelling, the connector forming sheet 6 can be mechanically continuously peeled off, so that the production efficiency can be greatly improved. Furthermore, since the plurality of through-holes 8 are collectively filled with the conductive resin 12 by using the mixing roll 9, simplification, efficiency, and speedup of work can be greatly expected.

【0036】次に、図9は本発明の第2の実施形態を示
すもので、この場合には、プリント基板3上に電気コネ
クタを載置してその複数の接続子13とプリント基板3
の複数の電極4とを接触させ、電気コネクタ上にLGAタ
イプの半導体パッケージ1Aをセットしてその複数の電
極端子2Aと電気コネクタの複数の接続子13とを接触
させた後、半導体パッケージ1Aを押圧圧下してプリン
ト基板3と半導体パッケージ1Aとを電気的に導通接続
するようにしている。その他の部分については、上記実
施形態と同様であるので説明を省略する。本実施形態に
おいても、上記実施形態と同様の作用効果が期待できる
のは明らかである。
FIG. 9 shows a second embodiment of the present invention. In this case, an electric connector is mounted on a printed circuit board 3 and a plurality of connectors 13 and the printed circuit board 3 are connected.
After making the LGA type semiconductor package 1A set on the electrical connector and bringing the plurality of electrode terminals 2A into contact with the plurality of connectors 13 of the electrical connector, the semiconductor package 1A is removed. The printed circuit board 3 and the semiconductor package 1A are electrically connected to each other by applying a pressing pressure. The other parts are the same as those in the above-described embodiment, and a description thereof will be omitted. It is clear that the present embodiment can expect the same operation and effect as the above embodiment.

【0037】次に、図10及び図11は本発明の第3の
実施形態を示すもので、この場合には、プリント基板3
の電極4の形状に対応するよう、積層体7の厚さ方向に
複数の貫通孔8を相似形に穿孔成形し、プリント基板3
の電極4に対して接続子13を少々縮小した相似形に成
形するようにしている。その他の部分については、上記
実施形態と同様であるので説明を省略する。本実施形態
においても、上記実施形態と同様の作用効果が期待で
き、しかも、電極4と接続子13とを完全に重ね合わせ
ることができるので、位置決めや接続安定性の著しい向
上が期待できるるのは明白である。
Next, FIGS. 10 and 11 show a third embodiment of the present invention.
A plurality of through-holes 8 are formed in the thickness direction of the laminate 7 in a similar manner so as to correspond to the shape of the electrodes 4 of the printed circuit board 3.
The connector 13 is formed into a slightly reduced similar shape with respect to the electrode 4. The other parts are the same as those in the above-described embodiment, and a description thereof will be omitted. Also in this embodiment, the same operation and effect as the above embodiment can be expected, and furthermore, since the electrode 4 and the connector 13 can be completely overlapped, a remarkable improvement in positioning and connection stability can be expected. Is obvious.

【0038】なお、電気コネクタは、プリント基板3上
に直接、又は位置決め具や固定具等を用いて固定するこ
とができる。また、プリント基板3上に着脱自在に載置
することも可能である。また、基材シート5の表面又は
裏面のみに接続子形成シート6をラミネーションして圧
着し、各接続子13の一端部又は他端部のみを突出させ
ても良い。また、基材シート5と接続子形成シート6と
は、同一色でも良いし、注意力を喚起して作業を円滑化
等するため異なる色彩でも良い。さらに、ミキシングロ
ール9には各種タイプがあるが、同様の作用効果が期待
できるものであれば、いずれのタイプでも採用すること
ができる。さらにまた、基材シート5と複数の接続子1
3とは、同一色でも良いし、識別力を付与して作業を容
易化等するため、相違する色彩でも良い。
The electric connector can be fixed directly on the printed circuit board 3 or by using a positioning tool or a fixing tool. Moreover, it is also possible to mount on the printed circuit board 3 detachably. Alternatively, the connector forming sheet 6 may be laminated and pressure-bonded to only the front surface or the back surface of the base sheet 5 so that only one end or the other end of each connector 13 is projected. Further, the base sheet 5 and the connector forming sheet 6 may be of the same color, or may be of different colors in order to call attention and smooth the operation. Further, there are various types of mixing rolls 9, and any type can be adopted as long as similar effects can be expected. Furthermore, the base sheet 5 and the plurality of connectors 1
3 may be the same color, or may be a different color in order to impart discriminating power to facilitate the work or the like.

【0039】[0039]

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。先ず、一
対の接続子形成シート6の接着面である片面にドライラ
ミネート用ウレタン系接着剤(武田薬品製)を厚さ5μm
となるようそれぞれ塗布し、基材シート5の表裏両面に
接続子形成シート6をそれぞれピンチローラで接着して
積層体7を一体構成した。基材シート5としては、12
5μmの厚さを有するポリイミドシート「カプトン」(デ
ュポン製)を使用した。また、接続子形成シート6とし
ては、けん化度98%、可塑剤としてグリセリンを6%
含む厚さ160μmのポリビニルアルコールを用いた。
Embodiments of the present invention will be described below. First, a urethane-based adhesive for dry lamination (manufactured by Takeda Pharmaceutical Co., Ltd.) having a thickness of 5 μm is applied to one surface of the pair of connector forming sheets 6 which is an adhesive surface.
And a connector forming sheet 6 was bonded to each of the front and back surfaces of the base sheet 5 with a pinch roller to form a laminated body 7 integrally. As the base sheet 5, 12
A polyimide sheet “Kapton” (manufactured by DuPont) having a thickness of 5 μm was used. The connector forming sheet 6 has a degree of saponification of 98% and glycerin as a plasticizer of 6%.
Polyvinyl alcohol having a thickness of 160 μm was used.

【0040】次いで、金型を使用して積層体7に打ち抜
き加工を施し、金型と同配列の貫通孔8を複数有する積
層体7を構成した。金型として、φ0.6mmの打ち抜き
用ピンをピッチ1mm、30列×30列で内側の20列×
20列が抜けた形で矩形配列した(ピン総数500本)金
型を使用した。
Next, the laminated body 7 was punched using a mold to form a laminated body 7 having a plurality of through holes 8 in the same arrangement as the mold. As a mold, a punching pin of φ0.6mm, pitch 1mm, 30 rows x 30 rows, inner 20 rows x
A mold was used which had a rectangular array with 20 rows missing (total number of pins: 500).

【0041】次いで、複数の貫通孔8を備えた積層体7
の片面に導電性樹脂12である導電性シリコーンゴムを
配し、一対の等速ロール間に積層体7を線圧5kgf/cmで
通して各貫通孔8に導電性シリコーンゴムを充填し、こ
の積層体7を170℃、20kgf/cm2の条件で10分間
加熱、加圧し、導電性シリコーンゴムを加硫させた。導
電性シリコーンゴムとしては、導電性付与フィラーとし
て銀を82重量%含有し、硬化後の体積固有抵抗が8×
10-4〜9×10-4Ω・m、硬化前の粘度が40,000ポ
イズの信越化学製を用いた。
Next, a laminate 7 having a plurality of through holes 8
A conductive silicone rubber, which is a conductive resin 12, is disposed on one side of the laminate, and the laminate 7 is passed between a pair of constant velocity rolls at a linear pressure of 5 kgf / cm to fill each through hole 8 with the conductive silicone rubber. The laminate 7 was heated and pressed at 170 ° C. and 20 kgf / cm 2 for 10 minutes to vulcanize the conductive silicone rubber. The conductive silicone rubber contains 82% by weight of silver as a conductivity-imparting filler, and has a volume resistivity of 8 × after curing.
A product made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. having a viscosity of 10 -4 to 9 × 10 -4 Ωm and a viscosity before curing of 40,000 poise was used.

【0042】そして、温度90℃の水に積層体7を3分
間浸漬して一対の接続子形成シート6を膨潤させ、その
後、各接続子形成シート6を端部から剥がし取り、本発
明に係る電気コネクタを製造した。
Then, the laminate 7 is immersed in water at a temperature of 90 ° C. for 3 minutes to swell the pair of connector forming sheets 6, and thereafter, each connector forming sheet 6 is peeled off from the end, and according to the present invention. An electrical connector was manufactured.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上のように請求項1又は2記載の発明
によれば、比較的短時間で製造することができるととも
に、複数の接続子の配列の乱れを有効に防止することが
できるという効果がある。
As described above, according to the first or second aspect of the present invention, it is possible to manufacture in a relatively short time and to effectively prevent the arrangement of the plurality of connectors from being disturbed. effective.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る電気コネクタの製造方法の実施形
態における基材シートを示す側面図である。
FIG. 1 is a side view showing a base sheet in an embodiment of a method for manufacturing an electrical connector according to the present invention.

【図2】図1の基材シートの表裏両面に接続子形成シー
トをそれぞれ圧着して積層体を一体構成した状態を示す
側面図である。
FIG. 2 is a side view showing a state in which a connector forming sheet is pressure-bonded to both front and back surfaces of the base sheet of FIG. 1 to integrally form a laminate.

【図3】図2の積層体に複数の貫通孔を穿孔成形した状
態を示す断面側面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional side view showing a state where a plurality of through holes are formed in the laminate of FIG.

【図4】ミキシングロールに図3の積層体を供給した状
態を示す部分断面側面図である。
FIG. 4 is a partial cross-sectional side view showing a state where the laminate of FIG. 3 is supplied to a mixing roll.

【図5】図4の積層体の導電性樹脂を硬化させて複数の
接続子を成形した状態を示す断面側面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional side view showing a state where a plurality of connectors are formed by curing the conductive resin of the laminate of FIG. 4;

【図6】図5の積層体から接続子形成シートをそれぞれ
剥離除去した状態を示す断面側面図である。
6 is a cross-sectional side view showing a state in which a connector forming sheet has been peeled off from the laminate of FIG. 5, respectively.

【図7】本発明に係る電気コネクタの実施形態を示す平
面図である。
FIG. 7 is a plan view showing an embodiment of the electrical connector according to the present invention.

【図8】本発明に係る電気コネクタの実施形態を示す使
用状態説明図である。
FIG. 8 is an explanatory view of a use state showing an embodiment of the electric connector according to the present invention.

【図9】本発明に係る電気コネクタの第2の実施形態を
示す使用状態説明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating a use state of an electric connector according to a second embodiment of the present invention.

【図10】本発明に係る電気コネクタの第3の実施形態
におけるプリント基板を示す平面図である。
FIG. 10 is a plan view showing a printed circuit board in a third embodiment of the electrical connector according to the present invention.

【図11】本発明に係る電気コネクタの第3の実施形態
における電気コネクタを示す平面図である。
FIG. 11 is a plan view showing an electric connector in a third embodiment of the electric connector according to the present invention.

【図12】PGAタイプの半導体パッケージを裏側から示
す斜視説明図である。
FIG. 12 is an explanatory perspective view showing a PGA type semiconductor package from the back side.

【図13】BGAタイプの半導体パッケージを示す部分切
り欠き斜視説明図である。
FIG. 13 is a partially cutaway perspective view showing a BGA type semiconductor package.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 BGAタイプの半導体パッケージ(電気的接合
物) 1A LGAタイプの半導体パッケージ(電気的接合
物) 2 電極端子(電極) 2A 電極端子(電極) 3 プリント基板(電気的被接合物) 4 電極 5 基材シート 6 接続子形成シート 7 積層体 8 貫通孔 9 ミキシングロール 10 円筒ロール 10A 円筒ロール 11 導電性樹脂層 12 導電性樹脂 13 接続子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 BGA type semiconductor package (electrical joint) 1A LGA type semiconductor package (electrical joint) 2 Electrode terminal (electrode) 2A electrode terminal (electrode) 3 Printed circuit board (electrical joint) 4 electrodes 5 Material sheet 6 Connector forming sheet 7 Laminated body 8 Through hole 9 Mixing roll 10 Cylindrical roll 10A Cylindrical roll 11 Conductive resin layer 12 Conductive resin 13 Connector

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 須田 工 東京都中央区日本橋本町4丁目3番5号 信越ポリマー株式会社内 (72)発明者 根井 鴻一 東京都中央区日本橋本町4丁目3番5号 信越ポリマー株式会社内 Fターム(参考) 5E023 AA04 BB01 BB21 CC21 EE03 HH28  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Takumi Suda 4-3-5 Nihonbashi Honcho, Chuo-ku, Tokyo Inside Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. (72) Inventor Koichi Nei 4-3-5 Nihonbashi Honcho, Chuo-ku, Tokyo No. Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. F-term (reference) 5E023 AA04 BB01 BB21 CC21 EE03 HH28

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電気的接合物の電極と電気的被接合物の
電極とを電気的に接続する電気コネクタであって、 20μm〜300μmの厚さを有する絶縁性の基材シート
と、この基材シート中に複数設けられる上記電極接続用
の接続子とを含み、この複数の接続子を1×10-2Ω・c
m以下の体積抵抗率を有する導電性樹脂を用いて成形す
るとともに、該複数の接続子を相互に絶縁し、各接続子
の少なくとも一端部を上記基材シートの表裏いずれか一
方の面から0.05mm〜0.5mm突出させるようにした
ことを特徴とする電気コネクタ。
1. An electrical connector for electrically connecting an electrode of an electrical joint and an electrode of an electrical joint, comprising: an insulating base sheet having a thickness of 20 μm to 300 μm; And a plurality of connectors for connecting the electrodes provided in the material sheet, wherein the plurality of connectors are 1 × 10 −2 Ω · c.
m and molded using a conductive resin having a volume resistivity of not more than m, the plurality of connectors are insulated from each other, and at least one end of each connector is 0% from one of the front and back surfaces of the base sheet. An electrical connector characterized by projecting from 0.05 mm to 0.5 mm.
【請求項2】 絶縁性の基材シートと、この基材シート
中に複数設けられる導電性の接続子とを含み、この複数
の接続子を相互に絶縁し、各接続子の少なくとも一端部
を上記基材シートの表裏いずれか一方の面から突出させ
て電気的接合物又は電気的被接合物の電極に接触させる
とともに、各接続子の他端部を電気的被接合物又は電気
的接合物の電極に接触させる電気コネクタを製造する方
法であって、 上記基材シートの少なくとも表裏いずれか一方の面に接
続子形成シートを設けて積層体を構成し、この積層体の
厚さ方向に複数の貫通孔を相互に離間させて設けるとと
もに、各貫通孔に導電性樹脂を充填し、上記積層体を構
成する接続子形成シートのみを除去することを特徴とす
る電気コネクタの製造方法。
2. An insulating base sheet, and a plurality of conductive connectors provided in the base sheet, the plurality of connectors insulated from each other, and at least one end of each connector is The base sheet is made to protrude from one of the front and back surfaces to be in contact with an electrode of an electrical joint or an electrical joint, and the other end of each connector is electrically joined or an electrical joint. A method for manufacturing an electrical connector to be brought into contact with the electrodes of claim 1, wherein a connector forming sheet is provided on at least one of the front and back surfaces of the base sheet to form a laminate, and a plurality of the laminates are formed in the thickness direction of the laminate. Wherein the through holes are provided apart from each other, and each of the through holes is filled with a conductive resin, and only the connector forming sheet constituting the laminate is removed.
【請求項3】 上記接続子形成シートを、けん化度50
%以上のポリビニルアルコールシートとした請求項2記
載の電気コネクタの製造方法。
3. The method according to claim 1, wherein the connector forming sheet has a saponification degree of 50.
The method for producing an electrical connector according to claim 2, wherein the polyvinyl alcohol sheet has a polyvinyl alcohol sheet content of at least 10%.
【請求項4】 上記接続子形成シートを水で膨潤させて
剥離除去する請求項3記載の電気コネクタの製造方法。
4. The method for manufacturing an electrical connector according to claim 3, wherein said connector forming sheet is swelled with water and peeled off.
【請求項5】 上記各貫通孔を上記電極の形状に対応す
る相似形に設ける請求項2、3、又は4記載の電気コネ
クタの製造方法。
5. The method for manufacturing an electrical connector according to claim 2, wherein each of the through holes is provided in a similar shape corresponding to the shape of the electrode.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003037341A (en) * 2001-07-23 2003-02-07 Shin Etsu Polymer Co Ltd Conductive contact element, film type connector and its connection structure
JP2007027576A (en) * 2005-07-20 2007-02-01 Rohm Co Ltd Semiconductor device
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JP2009198923A (en) * 2008-02-22 2009-09-03 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Optical module

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