JP2000149750A - マイクロマシンスイッチ - Google Patents
マイクロマシンスイッチInfo
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- JP2000149750A JP2000149750A JP10313017A JP31301798A JP2000149750A JP 2000149750 A JP2000149750 A JP 2000149750A JP 10313017 A JP10313017 A JP 10313017A JP 31301798 A JP31301798 A JP 31301798A JP 2000149750 A JP2000149750 A JP 2000149750A
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 26
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 description 33
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 235000021419 vinegar Nutrition 0.000 description 1
- 239000000052 vinegar Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P1/00—Auxiliary devices
- H01P1/10—Auxiliary devices for switching or interrupting
- H01P1/12—Auxiliary devices for switching or interrupting by mechanical chopper
- H01P1/127—Strip line switches
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
- H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/12—Contacts characterised by the manner in which co-operating contacts engage
- H01H1/14—Contacts characterised by the manner in which co-operating contacts engage by abutting
- H01H1/20—Bridging contacts
Landscapes
- Contacts (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 マイクロマシンスイッチのオフ時のアイソレ
ーション特性を向上させる。 【解決手段】 可動子１１の先端部１１ａ′，１１ｂ′
の面積が、各分布定数線路２ａ，２ｂの先端部２ａ′，
２ｂ′の面積よりも小さい。
ーション特性を向上させる。 【解決手段】 可動子１１の先端部１１ａ′，１１ｂ′
の面積が、各分布定数線路２ａ，２ｂの先端部２ａ′，
２ｂ′の面積よりも小さい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ミリ波帯ないしマ
イクロ波帯で使用されるマイクロマシンスイッチに関す
る。
イクロ波帯で使用されるマイクロマシンスイッチに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ミリ波帯ないしマイクロ波帯で使用され
るスイッチ素子には、ＰＩＮダイオードスイッチ、ＨＥ
ＭＴスイッチ、マイクロマシンスイッチなどがある。な
かでもマイクロマシンスイッチは、他の素子に比べて損
失が少なく、小型化・高集積化が容易であるという特徴
を有している。
るスイッチ素子には、ＰＩＮダイオードスイッチ、ＨＥ
ＭＴスイッチ、マイクロマシンスイッチなどがある。な
かでもマイクロマシンスイッチは、他の素子に比べて損
失が少なく、小型化・高集積化が容易であるという特徴
を有している。
【０００３】図１３は、従来のマイクロマシンスイッチ
の構造を示す斜視図である。また、図１４は、図１３に
示されたマイクロマシンスイッチの平面図である。マイ
クロマシンスイッチ１０１は、スイッチ可動子１１１と
支持手段１１２とスイッチ電極１１３とにより構成され
ている。そして、このマイクロマシンスイッチ１０１
は、２本のＲＦマイクロストリップ線路１０２ａ，１０
２ｂとともに、誘電体基板１０３上に形成されている。
この誘電体基板１０３の背面には、グランド板１０４が
配置されている。マイクロストリップ線路１０２ａと１
０２ｂは、ギャップＧを隔てて近接配置されている。そ
して、これらマイクロストリップ線路１０２ａと１０２
ｂとの間の誘電体基板１０３上に、スイッチ電極１１３
が配置されている。スイッチ電極１１３は、マイクロス
トリップ線路１０２ａ，１０２ｂよりも低く形成されて
いる。
の構造を示す斜視図である。また、図１４は、図１３に
示されたマイクロマシンスイッチの平面図である。マイ
クロマシンスイッチ１０１は、スイッチ可動子１１１と
支持手段１１２とスイッチ電極１１３とにより構成され
ている。そして、このマイクロマシンスイッチ１０１
は、２本のＲＦマイクロストリップ線路１０２ａ，１０
２ｂとともに、誘電体基板１０３上に形成されている。
この誘電体基板１０３の背面には、グランド板１０４が
配置されている。マイクロストリップ線路１０２ａと１
０２ｂは、ギャップＧを隔てて近接配置されている。そ
して、これらマイクロストリップ線路１０２ａと１０２
ｂとの間の誘電体基板１０３上に、スイッチ電極１１３
が配置されている。スイッチ電極１１３は、マイクロス
トリップ線路１０２ａ，１０２ｂよりも低く形成されて
いる。
【０００４】このスイッチ電極１１３の上方にはスイッ
チ可動子１１１が配置されている。スイッチ電極１１３
とスイッチ可動子１１１とにより、コンデンサ構造が形
成される。図１４に示されるように、スイッチ可動子１
１１の長さＬはギャップＧより長い。このため、スイッ
チ可動子１１１の両端がマイクロストリップ線路１０２
ａ，１０２ｂそれぞれの端部と対向している。スイッチ
可動子１１１は、マイクロストリップ線路１０２ａ，１
０２ｂの幅Ｗと同じ幅に形成されている。スイッチ可動
子１１１は、誘電体基板１０３上に固定された支持手段
１１２により片持ち支持されている。
チ可動子１１１が配置されている。スイッチ電極１１３
とスイッチ可動子１１１とにより、コンデンサ構造が形
成される。図１４に示されるように、スイッチ可動子１
１１の長さＬはギャップＧより長い。このため、スイッ
チ可動子１１１の両端がマイクロストリップ線路１０２
ａ，１０２ｂそれぞれの端部と対向している。スイッチ
可動子１１１は、マイクロストリップ線路１０２ａ，１
０２ｂの幅Ｗと同じ幅に形成されている。スイッチ可動
子１１１は、誘電体基板１０３上に固定された支持手段
１１２により片持ち支持されている。
【０００５】図１３に示されるように、通常、スイッチ
可動子１１１はマイクロストリップ線路１０２ａ，１０
２ｂの上方にある。このため、スイッチ可動子１１１は
マイクロストリップ線路１０２ａ，１０２ｂのいずれと
も接触しないので、マイクロマシンスイッチ１０１はオ
フ状態になる。このとき、マイクロストリップ線路１０
２ａからマイクロストリップ線路１０２ｂに伝達される
高周波エネルギーは少ない。しかし、スイッチ電極１１
３に制御電圧が印加されると、静電力によりスイッチ可
動子１１１が引き下げられる。そして、スイッチ可動子
１１１がマイクロストリップ線路１０２ａ，１０２ｂの
それぞれと接触すると、マイクロマシンスイッチ１０１
はオン状態になる。このとき、マイクロストリップ線路
１０２ａからの高周波エネルギーは、スイッチ可動子１
１１を経由して、マイクロストリップ線路１０２ｂに伝
達される。
可動子１１１はマイクロストリップ線路１０２ａ，１０
２ｂの上方にある。このため、スイッチ可動子１１１は
マイクロストリップ線路１０２ａ，１０２ｂのいずれと
も接触しないので、マイクロマシンスイッチ１０１はオ
フ状態になる。このとき、マイクロストリップ線路１０
２ａからマイクロストリップ線路１０２ｂに伝達される
高周波エネルギーは少ない。しかし、スイッチ電極１１
３に制御電圧が印加されると、静電力によりスイッチ可
動子１１１が引き下げられる。そして、スイッチ可動子
１１１がマイクロストリップ線路１０２ａ，１０２ｂの
それぞれと接触すると、マイクロマシンスイッチ１０１
はオン状態になる。このとき、マイクロストリップ線路
１０２ａからの高周波エネルギーは、スイッチ可動子１
１１を経由して、マイクロストリップ線路１０２ｂに伝
達される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述したようにスイッ
チ可動子１１１の両端はマイクロストリップ線路１０２
ａ，１０２ｂのそれぞれと対向している。このため、ス
イッチ可動子１１１とマイクロストリップ線路１０２
ａ，１０２ｂのそれぞれとの間にもコンデンサ構造が形
成される。このため、マイクロマシンスイッチ１０１が
オフ状態であっても、スイッチ可動子１１１と各マイク
ロストリップ線路１０２ａ，１０２ｂとの容量結合によ
り、マイクロストリップ線路１０２ａからの高周波エネ
ルギーがマイクロストリップ線路１０２ｂ側に漏れてし
まう。すなわち、従来のマイクロマシンスイッチ１０１
はオフ時のアイソレーション特性が悪いという問題があ
った。例えば、マイクロ波スイッチング回路では、概ね
１５ｄＢ以上のアイソレーションが必要である。
チ可動子１１１の両端はマイクロストリップ線路１０２
ａ，１０２ｂのそれぞれと対向している。このため、ス
イッチ可動子１１１とマイクロストリップ線路１０２
ａ，１０２ｂのそれぞれとの間にもコンデンサ構造が形
成される。このため、マイクロマシンスイッチ１０１が
オフ状態であっても、スイッチ可動子１１１と各マイク
ロストリップ線路１０２ａ，１０２ｂとの容量結合によ
り、マイクロストリップ線路１０２ａからの高周波エネ
ルギーがマイクロストリップ線路１０２ｂ側に漏れてし
まう。すなわち、従来のマイクロマシンスイッチ１０１
はオフ時のアイソレーション特性が悪いという問題があ
った。例えば、マイクロ波スイッチング回路では、概ね
１５ｄＢ以上のアイソレーションが必要である。
【０００７】本発明はこのような課題を解決するために
なされたものであり、その目的は、、マイクロマシンス
イッチのオフ時のアイソレーション特性を向上させるこ
とにある。
なされたものであり、その目的は、、マイクロマシンス
イッチのオフ時のアイソレーション特性を向上させるこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１記載の発明は、互いに近接配置された少
なくとも２本の分布定数線路のそれぞれと先端部が対向
するように各分布定数線路の上方に配置されかつ導電体
を含む可動子と、静電力により可動子を変位させて各分
布定数線路に接触させる駆動手段とを備え、可動子の少
なくとも１つの先端部の面積は、この先端部と対向する
分布定数線路の先端部の面積よりも小さい。また、請求
項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、可動
子は、各分布定数線路の先端部よりも幅の狭い矩形状を
している。また、請求項３記載の発明は、請求項１記載
の発明において、可動子は、可動子本体の周縁のうち少
なくとも１本の分布定数線路側の周縁の少なくとも一端
が切り欠かれて形成された突起部を含み、この突起部の
幅は、対応する分布定数線路の先端部の幅よりも狭い。
また、請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明にお
いて、可動子の突起部が形成されている先端部は、可動
子本体を含まない。また、請求項５記載の発明は、請求
項３記載の発明において、可動子の突起部が形成されて
いる先端部は、可動子本体の一部を含む。また、請求項
６記載の発明は、請求項５記載の発明において、可動子
本体の幅は、各分布定数線路の幅と同じである。また、
請求項７記載の発明は、請求項３〜６いずれか１項記載
の発明において、突起部は、矩形状をしている。また、
請求項８記載の発明は、請求項３〜６いずれか１項記載
の発明において、突起部は、可動子本体に近い側の幅が
可動子本体から遠い側の幅よりも広い。また、請求項９
記載の発明は、互いに近接配置された少なくとも２本の
分布定数線路のそれぞれと先端部が対向するように各分
布定数線路の上方に配置されかつ導電体を含む可動子
と、静電力により可動子を変位させて各分布定数線路に
接触させる駆動手段とを備え、少なくとも１本の分布定
数線路は、分布定数線路本体の可動子側の周縁の少なく
とも一端が切り欠かれて形成された突起部を含み、この
突起部の幅は、対応する可動子の先端部の幅よりも狭
い。また、請求項１０記載の発明は、請求項９記載の発
明において、突起部が形成された分布定数線路の先端部
は、分布定数線路本体を含まない。また、請求項１１記
載の発明は、請求項９記載の発明において、突起部が形
成された分布定数線路の先端部は、分布定数線路本体の
一部を含む。また、請求項１２記載の発明は、請求項１
１記載の発明において、可動子の幅は、各分布定数線路
本体の幅と同じである。また、請求項１３記載の発明
は、請求項９〜１２いずれか１項記載の発明において、
突起部は、矩形状をしている。また、請求項１４記載の
発明は、互いに近接配置された少なくとも２本の分布定
数線路のそれぞれと先端部が対向するように各分布定数
線路の上方に配置されかつ導電体を含む可動子と、静電
力により可動子を変位させて各分布定数線路に接触させ
る駆動手段とを備え、少なくとも１本の分布定数線路
は、分布定数線路本体の可動子側の周縁の少なくとも一
端が切り欠かれて形成された第１の突起部を含み、可動
子は、分布定数線路の第１の突起部に対向するように可
動子本体の周縁の少なくとも一端が切り欠かれて形成さ
れた第２の突起部を含む。また、請求項１５記載の発明
は、請求項１〜１４いずれか１項記載の発明において、
可動子は、少なくとも可動子の下面の全面が導体で形成
されている。また、請求項１６記載の発明は、請求項１
〜１４いずれか１項記載の発明において、可動子は、導
体部材と、この導体部材の下面の全面に形成された絶縁
体薄膜とからなる。
めに、請求項１記載の発明は、互いに近接配置された少
なくとも２本の分布定数線路のそれぞれと先端部が対向
するように各分布定数線路の上方に配置されかつ導電体
を含む可動子と、静電力により可動子を変位させて各分
布定数線路に接触させる駆動手段とを備え、可動子の少
なくとも１つの先端部の面積は、この先端部と対向する
分布定数線路の先端部の面積よりも小さい。また、請求
項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、可動
子は、各分布定数線路の先端部よりも幅の狭い矩形状を
している。また、請求項３記載の発明は、請求項１記載
の発明において、可動子は、可動子本体の周縁のうち少
なくとも１本の分布定数線路側の周縁の少なくとも一端
が切り欠かれて形成された突起部を含み、この突起部の
幅は、対応する分布定数線路の先端部の幅よりも狭い。
また、請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明にお
いて、可動子の突起部が形成されている先端部は、可動
子本体を含まない。また、請求項５記載の発明は、請求
項３記載の発明において、可動子の突起部が形成されて
いる先端部は、可動子本体の一部を含む。また、請求項
６記載の発明は、請求項５記載の発明において、可動子
本体の幅は、各分布定数線路の幅と同じである。また、
請求項７記載の発明は、請求項３〜６いずれか１項記載
の発明において、突起部は、矩形状をしている。また、
請求項８記載の発明は、請求項３〜６いずれか１項記載
の発明において、突起部は、可動子本体に近い側の幅が
可動子本体から遠い側の幅よりも広い。また、請求項９
記載の発明は、互いに近接配置された少なくとも２本の
分布定数線路のそれぞれと先端部が対向するように各分
布定数線路の上方に配置されかつ導電体を含む可動子
と、静電力により可動子を変位させて各分布定数線路に
接触させる駆動手段とを備え、少なくとも１本の分布定
数線路は、分布定数線路本体の可動子側の周縁の少なく
とも一端が切り欠かれて形成された突起部を含み、この
突起部の幅は、対応する可動子の先端部の幅よりも狭
い。また、請求項１０記載の発明は、請求項９記載の発
明において、突起部が形成された分布定数線路の先端部
は、分布定数線路本体を含まない。また、請求項１１記
載の発明は、請求項９記載の発明において、突起部が形
成された分布定数線路の先端部は、分布定数線路本体の
一部を含む。また、請求項１２記載の発明は、請求項１
１記載の発明において、可動子の幅は、各分布定数線路
本体の幅と同じである。また、請求項１３記載の発明
は、請求項９〜１２いずれか１項記載の発明において、
突起部は、矩形状をしている。また、請求項１４記載の
発明は、互いに近接配置された少なくとも２本の分布定
数線路のそれぞれと先端部が対向するように各分布定数
線路の上方に配置されかつ導電体を含む可動子と、静電
力により可動子を変位させて各分布定数線路に接触させ
る駆動手段とを備え、少なくとも１本の分布定数線路
は、分布定数線路本体の可動子側の周縁の少なくとも一
端が切り欠かれて形成された第１の突起部を含み、可動
子は、分布定数線路の第１の突起部に対向するように可
動子本体の周縁の少なくとも一端が切り欠かれて形成さ
れた第２の突起部を含む。また、請求項１５記載の発明
は、請求項１〜１４いずれか１項記載の発明において、
可動子は、少なくとも可動子の下面の全面が導体で形成
されている。また、請求項１６記載の発明は、請求項１
〜１４いずれか１項記載の発明において、可動子は、導
体部材と、この導体部材の下面の全面に形成された絶縁
体薄膜とからなる。
【０００９】可動子の先端部の面積を、分布定数線路の
先端部の面積よりも小さくすることにより、可動子と分
布定数線路との対向面積が小さくなる。また、分布定数
線路本体の少なくとも一端を切り欠いて、可動子の先端
部よりも幅の狭い突起部を形成し、この突起部を可動子
と対向させる。これにより、可動子と分布定数線路との
対向面積が小さくなる。可動子と分布定数線路との対向
面積が小さくなれば、両者の容量結合が弱まる。
先端部の面積よりも小さくすることにより、可動子と分
布定数線路との対向面積が小さくなる。また、分布定数
線路本体の少なくとも一端を切り欠いて、可動子の先端
部よりも幅の狭い突起部を形成し、この突起部を可動子
と対向させる。これにより、可動子と分布定数線路との
対向面積が小さくなる。可動子と分布定数線路との対向
面積が小さくなれば、両者の容量結合が弱まる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を詳細に説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明によるマイクロマ
シンスイッチの第１の実施の形態の構造を示す斜視図で
ある。また、図２は、図１に示されたマイクロマシンス
イッチの平面図である。図１に示されるように、マイク
ロマシンスイッチ１は、スイッチ可動子１１と支持手段
１２とスイッチ電極（駆動手段）１３とにより構成され
ている。そして、このマイクロマシンスイッチ１は、２
本のＲＦマイクロストリップ線路（分布定数線路）２
ａ，２ｂとともに、誘電体基板３上に形成されている。
この誘電体基板３の背面には、グランド板４が配置され
ている。
実施の形態を詳細に説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明によるマイクロマ
シンスイッチの第１の実施の形態の構造を示す斜視図で
ある。また、図２は、図１に示されたマイクロマシンス
イッチの平面図である。図１に示されるように、マイク
ロマシンスイッチ１は、スイッチ可動子１１と支持手段
１２とスイッチ電極（駆動手段）１３とにより構成され
ている。そして、このマイクロマシンスイッチ１は、２
本のＲＦマイクロストリップ線路（分布定数線路）２
ａ，２ｂとともに、誘電体基板３上に形成されている。
この誘電体基板３の背面には、グランド板４が配置され
ている。
【００１１】マイクロストリップ線路２ａと２ｂは、ギ
ャップＧを隔てて近接配置されている。マイクロストリ
ップ線路２ａ，２ｂの幅は共にＷである。そして、マイ
クロストリップ線路２ａと２ｂとの間の誘電体基板３上
に、スイッチ電極１３が配置されている。スイッチ電極
１３は、マイクロストリップ線路２ａ，２ｂよりも低く
形成されている。このスイッチ電極１３には、電気信号
に基づいて、駆動電圧が選択的に印加される。このスイ
ッチ電極１３の上方にはスイッチ可動子１１が配置され
ている。スイッチ可動子１１は導電体部材で形成されて
いる。したがって、スイッチ電極１３とスイッチ可動子
１１とによりコンデンサ構造が形成される。
ャップＧを隔てて近接配置されている。マイクロストリ
ップ線路２ａ，２ｂの幅は共にＷである。そして、マイ
クロストリップ線路２ａと２ｂとの間の誘電体基板３上
に、スイッチ電極１３が配置されている。スイッチ電極
１３は、マイクロストリップ線路２ａ，２ｂよりも低く
形成されている。このスイッチ電極１３には、電気信号
に基づいて、駆動電圧が選択的に印加される。このスイ
ッチ電極１３の上方にはスイッチ可動子１１が配置され
ている。スイッチ可動子１１は導電体部材で形成されて
いる。したがって、スイッチ電極１３とスイッチ可動子
１１とによりコンデンサ構造が形成される。
【００１２】一方、支持手段１２は、ポスト部１２ａと
アーム部１２ｂとからなる。ポスト部１２ａは、各マイ
クロストリップ線路２ａ，２ｂ間のギャップＧから所定
距離を隔てて、誘電体基板３上に固定されている。ま
た、アーム部１２ｂは、ポスト部１２ａの上面の一端か
ら、ギャップＧ上まで伸びている。支持手段１２は誘電
体、半導体または導体により形成される。この支持手段
１２のアーム部１２ｂの先端にスイッチ可動子１１が固
定されている。
アーム部１２ｂとからなる。ポスト部１２ａは、各マイ
クロストリップ線路２ａ，２ｂ間のギャップＧから所定
距離を隔てて、誘電体基板３上に固定されている。ま
た、アーム部１２ｂは、ポスト部１２ａの上面の一端か
ら、ギャップＧ上まで伸びている。支持手段１２は誘電
体、半導体または導体により形成される。この支持手段
１２のアーム部１２ｂの先端にスイッチ可動子１１が固
定されている。
【００１３】図２に示されるように、スイッチ可動子１
１は全体として矩形状をしている。このスイッチ可動子
１１の長さＬはギャップＧよりも長い。このため、スイ
ッチ可動子１１の先端部１１ａ′，１１ｂ′はそれぞ
れ、マイクロストリップ線路２ａ，２ｂの先端部２
ａ′，２ｂ′の一部と対向している。
１は全体として矩形状をしている。このスイッチ可動子
１１の長さＬはギャップＧよりも長い。このため、スイ
ッチ可動子１１の先端部１１ａ′，１１ｂ′はそれぞ
れ、マイクロストリップ線路２ａ，２ｂの先端部２
ａ′，２ｂ′の一部と対向している。
【００１４】ここで、スイッチ可動子１１の先端部１１
ａ′，１１ｂ′は、スイッチ可動子１１の両端からそれ
ぞれ長さ（Ｌ−Ｇ）／２の部分をいう。また、マイクロ
ストリップ線路２ａ，２ｂの先端部２ａ′，２ｂ′は、
マイクロストリップ線路２ａ，２ｂの端からそれぞれ長
さ（Ｌ−Ｇ）／２の部分をいう。後述するスイッチ可動
子１４，１５，１６それぞれの先端部１４ａ′，１４
ｂ′，１５ａ′，１５ｂ′，１６ａ′，１６ｂと、マイ
クロストリップ線路６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂそれぞれの
先端部６ａ′，６ｂ′，７ａ′，７ｂ′とについても同
じである。
ａ′，１１ｂ′は、スイッチ可動子１１の両端からそれ
ぞれ長さ（Ｌ−Ｇ）／２の部分をいう。また、マイクロ
ストリップ線路２ａ，２ｂの先端部２ａ′，２ｂ′は、
マイクロストリップ線路２ａ，２ｂの端からそれぞれ長
さ（Ｌ−Ｇ）／２の部分をいう。後述するスイッチ可動
子１４，１５，１６それぞれの先端部１４ａ′，１４
ｂ′，１５ａ′，１５ｂ′，１６ａ′，１６ｂと、マイ
クロストリップ線路６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂそれぞれの
先端部６ａ′，６ｂ′，７ａ′，７ｂ′とについても同
じである。
【００１５】また、スイッチ可動子１１の幅ａは、各マ
イクロストリップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗよりも狭い。し
たがって、スイッチ可動子１１の先端部１１ａ′，１１
ｂ′の面積はそれぞれ、各マイクロストリップ線路２
ａ，２ｂの先端部２ａ′，２ｂ′の面積よりも小さくな
る。
イクロストリップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗよりも狭い。し
たがって、スイッチ可動子１１の先端部１１ａ′，１１
ｂ′の面積はそれぞれ、各マイクロストリップ線路２
ａ，２ｂの先端部２ａ′，２ｂ′の面積よりも小さくな
る。
【００１６】次に、図１に示されたマイクロマシンスイ
ッチ１の動作について説明する。図３は、図２における
マイクロマシンスイッチ１のIII−III′線断面を示す断
面図であり、図３（ａ）はマイクロマシンスイッチ１の
オフ状態、図３（ｂ）はオン状態をそれぞれ示してい
る。図３（ａ）に示されるように、通常、スイッチ可動
子１１はマイクロストリップ線路２ａ，２ｂから高さｈ
のところにある。ここで、高さｈは数μｍ程度である。
したがって、スイッチ電極１３に駆動電圧が印加されて
いない場合、スイッチ可動子１１はマイクロストリップ
線路２ａ，２ｂのそれぞれと接触しない。
ッチ１の動作について説明する。図３は、図２における
マイクロマシンスイッチ１のIII−III′線断面を示す断
面図であり、図３（ａ）はマイクロマシンスイッチ１の
オフ状態、図３（ｂ）はオン状態をそれぞれ示してい
る。図３（ａ）に示されるように、通常、スイッチ可動
子１１はマイクロストリップ線路２ａ，２ｂから高さｈ
のところにある。ここで、高さｈは数μｍ程度である。
したがって、スイッチ電極１３に駆動電圧が印加されて
いない場合、スイッチ可動子１１はマイクロストリップ
線路２ａ，２ｂのそれぞれと接触しない。
【００１７】しかし、スイッチ可動子１１にはマイクロ
ストリップ線路２ａ，２ｂと対向する部分がある。この
部分でコンデンサ構造が形成されるので、マイクロスト
リップ線路２ａと２ｂとはスイッチ可動子１１を介して
相互結合される。スイッチ可動子１１と各マイクロスト
リップ線路２ａ，２ｂとの間の容量は、スイッチ可動子
１１と各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂとの対向面
積に比例する。図１３に示された従来のマイクロマシン
スイッチ１０１の場合、スイッチ可動子１１１の幅は各
マイクロストリップ線路１０２ａ，１０２ｂの幅Ｗと同
じである。したがって、スイッチ可動子１１１と各マイ
クロストリップ線路１０２ａ，１０２ｂとの対向面積
は、（Ｌ−Ｇ）×Ｗとなる。
ストリップ線路２ａ，２ｂと対向する部分がある。この
部分でコンデンサ構造が形成されるので、マイクロスト
リップ線路２ａと２ｂとはスイッチ可動子１１を介して
相互結合される。スイッチ可動子１１と各マイクロスト
リップ線路２ａ，２ｂとの間の容量は、スイッチ可動子
１１と各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂとの対向面
積に比例する。図１３に示された従来のマイクロマシン
スイッチ１０１の場合、スイッチ可動子１１１の幅は各
マイクロストリップ線路１０２ａ，１０２ｂの幅Ｗと同
じである。したがって、スイッチ可動子１１１と各マイ
クロストリップ線路１０２ａ，１０２ｂとの対向面積
は、（Ｌ−Ｇ）×Ｗとなる。
【００１８】これに対して、図１に示されたマイクロマ
シンスイッチ１の場合、スイッチ可動子１１の幅ａが各
マイクロストリップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗよりも狭い。
このため、スイッチ可動子１１と各マイクロストリップ
線路２ａ，２ｂとの対向部分の幅が狭くなり、対向面積
は（Ｌ−Ｇ）×ａとなる。このように、スイッチ可動子
１１の幅ａを各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂの幅
Ｗよりも狭く形成することにより、対向面積を小さくで
きるので、スイッチ可動子１１と各マイクロストリップ
線路２ａ，２ｂとの間に形成される容量を小さくでき
る。これにより、マイクロストリップ線路２ａと２ｂと
の相互結合が弱まるので、マイクロマシンスイッチ１が
オフ状態のときのエネルギー漏れが抑制される。
シンスイッチ１の場合、スイッチ可動子１１の幅ａが各
マイクロストリップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗよりも狭い。
このため、スイッチ可動子１１と各マイクロストリップ
線路２ａ，２ｂとの対向部分の幅が狭くなり、対向面積
は（Ｌ−Ｇ）×ａとなる。このように、スイッチ可動子
１１の幅ａを各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂの幅
Ｗよりも狭く形成することにより、対向面積を小さくで
きるので、スイッチ可動子１１と各マイクロストリップ
線路２ａ，２ｂとの間に形成される容量を小さくでき
る。これにより、マイクロストリップ線路２ａと２ｂと
の相互結合が弱まるので、マイクロマシンスイッチ１が
オフ状態のときのエネルギー漏れが抑制される。
【００１９】ここで、図１に示された本発明によるマイ
クロマシンスイッチ１と、図１３に示された従来のマイ
クロマシンスイッチ１０１それぞれのオフ時のアイソレ
ーション特性を示す。表１は、以下に示すようにパラメ
ータを設定したときに得られたオフ時アイソレーション
特性の計算結果を示す表である。すなわち、誘電体基板
３，１０３の厚さＨ＝２００μｍ、誘電体基板３，１０
３の比誘電率εｒ＝４．６、幅Ｗ＝３７０μｍ、ギャッ
プＧ＝２００μｍ、オフ時のスイッチ可動子１１，１１
１の高さｈ＝５μｍ、スイッチ可動子１１，１１１の長
さＬ＝２６０μｍ、高周波エネルギーの周波数は３０Ｇ
Ｈｚである。また、スイッチ可動子１１，１１１の幅ａ
については、表１に示すとおりである。
クロマシンスイッチ１と、図１３に示された従来のマイ
クロマシンスイッチ１０１それぞれのオフ時のアイソレ
ーション特性を示す。表１は、以下に示すようにパラメ
ータを設定したときに得られたオフ時アイソレーション
特性の計算結果を示す表である。すなわち、誘電体基板
３，１０３の厚さＨ＝２００μｍ、誘電体基板３，１０
３の比誘電率εｒ＝４．６、幅Ｗ＝３７０μｍ、ギャッ
プＧ＝２００μｍ、オフ時のスイッチ可動子１１，１１
１の高さｈ＝５μｍ、スイッチ可動子１１，１１１の長
さＬ＝２６０μｍ、高周波エネルギーの周波数は３０Ｇ
Ｈｚである。また、スイッチ可動子１１，１１１の幅ａ
については、表１に示すとおりである。
【００２０】
【表１】
【００２１】ここで、マイクロストリップ線路２ａ，１
０２ａからスイッチ可動子１１，１１１への入力エネル
ギーをＥin、スイッチ可動子１１，１１１からマイクロ
ストリップ線路２ｂ，１０２ｂへの出力エネルギーをＥ
out とすると、アイソレーション特性は式により求め
られる。 （アイソレーション特性）＝−１０ｌｏｇ（Ｅout／Ｅin） ・・・ 式から明らかなように、アイソレーション特性の値が
大きいほど、高隔離を実現できる。表１に示されるよう
に、スイッチ可動子１１，１１１の幅ａが小さいほど、
アイソレーション特性の値が大きくなる。したがって、
図１に示された本発明によるマイクロマシンスイッチ１
を用いることにより、オフ時のアイソレーションを向上
できる。
０２ａからスイッチ可動子１１，１１１への入力エネル
ギーをＥin、スイッチ可動子１１，１１１からマイクロ
ストリップ線路２ｂ，１０２ｂへの出力エネルギーをＥ
out とすると、アイソレーション特性は式により求め
られる。 （アイソレーション特性）＝−１０ｌｏｇ（Ｅout／Ｅin） ・・・ 式から明らかなように、アイソレーション特性の値が
大きいほど、高隔離を実現できる。表１に示されるよう
に、スイッチ可動子１１，１１１の幅ａが小さいほど、
アイソレーション特性の値が大きくなる。したがって、
図１に示された本発明によるマイクロマシンスイッチ１
を用いることにより、オフ時のアイソレーションを向上
できる。
【００２２】図１に示されたマイクロマシンスイッチ１
は、マイクロ波スイッチング回路、移相器、可変フィル
タなどに用いられる。例えば、マイクロ波スイッチング
回路では、概ね１５ｄＢ以上のアイソレーションが必要
である。したがって、図１に示されたマイクロマシンス
イッチ１をマイクロ波スイッチング回路に適用する場
合、スイッチ可動子１１の幅ａを２００μｍ以下にする
ことにより、良好なスイッチング特性を得られる。な
お、要求されるアイソレーションは、マイクロマシンス
イッチ１が適用されるマイクロ波回路およびミリ波回路
ごとに異なる。したがって、スイッチ可動子１１の幅ａ
が２００μｍ以上であっても効果がある場合もあること
は言うまでもない。
は、マイクロ波スイッチング回路、移相器、可変フィル
タなどに用いられる。例えば、マイクロ波スイッチング
回路では、概ね１５ｄＢ以上のアイソレーションが必要
である。したがって、図１に示されたマイクロマシンス
イッチ１をマイクロ波スイッチング回路に適用する場
合、スイッチ可動子１１の幅ａを２００μｍ以下にする
ことにより、良好なスイッチング特性を得られる。な
お、要求されるアイソレーションは、マイクロマシンス
イッチ１が適用されるマイクロ波回路およびミリ波回路
ごとに異なる。したがって、スイッチ可動子１１の幅ａ
が２００μｍ以上であっても効果がある場合もあること
は言うまでもない。
【００２３】一方、制御電圧として例えば正の電圧がス
イッチ電極１３に印加されたとする。このとき、スイッ
チ電極１３の表面には正電荷が現れる。また、スイッチ
電極１３に対向するスイッチ可動子１１の表面には、静
電誘導により負電荷が現れる。そして、スイッチ電極１
３の正電荷とスイッチ可動子１１の負電荷との静電力に
より、吸引力が発生する。
イッチ電極１３に印加されたとする。このとき、スイッ
チ電極１３の表面には正電荷が現れる。また、スイッチ
電極１３に対向するスイッチ可動子１１の表面には、静
電誘導により負電荷が現れる。そして、スイッチ電極１
３の正電荷とスイッチ可動子１１の負電荷との静電力に
より、吸引力が発生する。
【００２４】この吸引力により、スイッチ可動子１１
は、図３（ｂ）に示されるように、スイッチ電極１３の
方に引き下げらる。そして、スイッチ可動子１１がマイ
クロストリップ線路２ａ，２ｂのそれぞれと接触する
と、マイクロマシンスイッチ１はオン状態になる。この
とき、マイクロストリップ線路２ａからの高周波エネル
ギーは、スイッチ可動子１１を経由して、マイクロスト
リップ線路２ｂに伝達される。
は、図３（ｂ）に示されるように、スイッチ電極１３の
方に引き下げらる。そして、スイッチ可動子１１がマイ
クロストリップ線路２ａ，２ｂのそれぞれと接触する
と、マイクロマシンスイッチ１はオン状態になる。この
とき、マイクロストリップ線路２ａからの高周波エネル
ギーは、スイッチ可動子１１を経由して、マイクロスト
リップ線路２ｂに伝達される。
【００２５】（第２の実施の形態）図４は、本発明によ
るマイクロマシンスイッチの第２の実施の形態の要部を
示す平面図である。図４において、図２と同一部分には
同一符号を付しており、その説明を適宜省略する。ま
た、図４におけるスイッチ可動子１４は、図２における
スイッチ可動子１１と同様に、支持手段１２により片持
ち支持されている。また、マイクロストリップ線路２ａ
と２ｂとの間のギャップＧには、スイッチ電極１３が配
置されている。しかし、図４において、支持手段１２お
よびスイッチ電極１３の記載は省略されている。後掲す
る図５〜図９についても同じである。
るマイクロマシンスイッチの第２の実施の形態の要部を
示す平面図である。図４において、図２と同一部分には
同一符号を付しており、その説明を適宜省略する。ま
た、図４におけるスイッチ可動子１４は、図２における
スイッチ可動子１１と同様に、支持手段１２により片持
ち支持されている。また、マイクロストリップ線路２ａ
と２ｂとの間のギャップＧには、スイッチ電極１３が配
置されている。しかし、図４において、支持手段１２お
よびスイッチ電極１３の記載は省略されている。後掲す
る図５〜図９についても同じである。
【００２６】図４に示されたマイクロマシンスイッチ１
は、図１におけるスイッチ可動子１１の代わりに、図４
におけるスイッチ可動子１４を用いたものである。スイ
ッチ可動子１４は、可動子本体５１のマイクロストリッ
プ線路２ａ側の周縁の両端が切り欠かれて、突起部（第
２の突起部）５２ａが形成されている。同じく、可動子
本体５１のマイクロストリップ線路２ｂ側の周縁の両端
が切り欠かれて、突起部（第２の突起部）５２ｂが形成
されている。ここで、可動子本体５１とは、スイッチ可
動子１４の幅ｂをなす部分のことである。同様に、後述
するスイッチ可動子１５の可動子本体５３とは、スイッ
チ可動子１５の幅ｂをなす部分のことである。
は、図１におけるスイッチ可動子１１の代わりに、図４
におけるスイッチ可動子１４を用いたものである。スイ
ッチ可動子１４は、可動子本体５１のマイクロストリッ
プ線路２ａ側の周縁の両端が切り欠かれて、突起部（第
２の突起部）５２ａが形成されている。同じく、可動子
本体５１のマイクロストリップ線路２ｂ側の周縁の両端
が切り欠かれて、突起部（第２の突起部）５２ｂが形成
されている。ここで、可動子本体５１とは、スイッチ可
動子１４の幅ｂをなす部分のことである。同様に、後述
するスイッチ可動子１５の可動子本体５３とは、スイッ
チ可動子１５の幅ｂをなす部分のことである。
【００２７】各突起部５２ａ，５２ｂは矩形状をしてい
る。各突起部５２ａ，５２ｂの幅ａは、各マイクロスト
リップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗよりも狭い。また、可動子
本体５１の長さｃは、マイクロストリップ線路２ａと２
ｂとの間のギャップＧよりも短い。このため、可動子本
体５１はスイッチ可動子１４の先端部１４ａ′，１４
ｂ′に含まれない。すなわち、可動子本体５１はマイク
ロストリップ線路２ａ，２ｂのそれぞれと対向しない。
したがって、スイッチ可動子１４と各マイクロストリッ
プ線路２ａ，２ｂとの対向面積は、図１に示されたマイ
クロマシンスイッチ１と同じく、（Ｌ−Ｇ）×ａとな
る。すなわち、図４に示されたマイクロマシンスイッチ
１により、図１に示されたマイクロマシンスイッチ１と
同等のアイソレーション特性を得られる。
る。各突起部５２ａ，５２ｂの幅ａは、各マイクロスト
リップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗよりも狭い。また、可動子
本体５１の長さｃは、マイクロストリップ線路２ａと２
ｂとの間のギャップＧよりも短い。このため、可動子本
体５１はスイッチ可動子１４の先端部１４ａ′，１４
ｂ′に含まれない。すなわち、可動子本体５１はマイク
ロストリップ線路２ａ，２ｂのそれぞれと対向しない。
したがって、スイッチ可動子１４と各マイクロストリッ
プ線路２ａ，２ｂとの対向面積は、図１に示されたマイ
クロマシンスイッチ１と同じく、（Ｌ−Ｇ）×ａとな
る。すなわち、図４に示されたマイクロマシンスイッチ
１により、図１に示されたマイクロマシンスイッチ１と
同等のアイソレーション特性を得られる。
【００２８】ところで、線路のインピーダンスは線路の
表面積に関係するので、線路の幅が狭いほどインピーダ
ンスが高くなる。このため、図１に示されるマイクロマ
シンスイッチ１のように、スイッチ可動子１１全体の幅
を狭くすると、マイクロマシンスイッチ１のオン時にお
けるギャップＧ上の特性インピーダンスが高くなってし
まう。線路に不連続部分があると、そこで高周波エネル
ギーの反射が起こる。ギャップＧ上の特性インピーダン
スが高くなると、インピーダンス不整合が生じる。この
ため、マイクロマシンスイッチ１のオン時の反射が大き
くなってしまう。
表面積に関係するので、線路の幅が狭いほどインピーダ
ンスが高くなる。このため、図１に示されるマイクロマ
シンスイッチ１のように、スイッチ可動子１１全体の幅
を狭くすると、マイクロマシンスイッチ１のオン時にお
けるギャップＧ上の特性インピーダンスが高くなってし
まう。線路に不連続部分があると、そこで高周波エネル
ギーの反射が起こる。ギャップＧ上の特性インピーダン
スが高くなると、インピーダンス不整合が生じる。この
ため、マイクロマシンスイッチ１のオン時の反射が大き
くなってしまう。
【００２９】これに対して、図４におけるスイッチ可動
子１４では、可動子本体５１の幅ｂが、各マイクロスト
リップ線路２ａ，２ｂと対向する突起部５２ａ，５２ｂ
の幅ａよりも広くなっている。すなわち、可動子本体５
１の幅ｂは、突起部５２ａ，５２ｂの幅ａよりも、各マ
イクロストリップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗに近い。したが
って、スイッチ可動子１４におけるインピーダンス不整
合が緩和されるので、オン時の高周波エネルギーの反射
が抑制される。
子１４では、可動子本体５１の幅ｂが、各マイクロスト
リップ線路２ａ，２ｂと対向する突起部５２ａ，５２ｂ
の幅ａよりも広くなっている。すなわち、可動子本体５
１の幅ｂは、突起部５２ａ，５２ｂの幅ａよりも、各マ
イクロストリップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗに近い。したが
って、スイッチ可動子１４におけるインピーダンス不整
合が緩和されるので、オン時の高周波エネルギーの反射
が抑制される。
【００３０】ここで、図１および図４に示されたマイク
ロマシンスイッチ１それぞれの、オフ時のアイソレーシ
ョン特性とオン時の反射特性を示す。表２は、所定のパ
ラメータを設定したときに得られたオフ時アイソレーシ
ョン特性と、オン時反射特性の計算結果を示す表であ
る。ａ、ｂ、ｃ以外のパラメータは、表１と同じであ
る。
ロマシンスイッチ１それぞれの、オフ時のアイソレーシ
ョン特性とオン時の反射特性を示す。表２は、所定のパ
ラメータを設定したときに得られたオフ時アイソレーシ
ョン特性と、オン時反射特性の計算結果を示す表であ
る。ａ、ｂ、ｃ以外のパラメータは、表１と同じであ
る。
【００３１】
【表２】
【００３２】ここで、マイクロストリップ線路２ａ，１
０２ａからスイッチ可動子１１，１４への入力エネルギ
ーをＥin、スイッチ可動子１１，１４からマイクロスト
リップ線路２ａ，１０２ａへの反射エネルギーをＥreと
すると、反射特性は式により求められる。 （反射特性）＝１０ｌｏｇ（Ｅre／Ｅin） ・・・ 式から明らかなように、反射特性の値が小さいほど、
エネルギー損失が小さくなる。
０２ａからスイッチ可動子１１，１４への入力エネルギ
ーをＥin、スイッチ可動子１１，１４からマイクロスト
リップ線路２ａ，１０２ａへの反射エネルギーをＥreと
すると、反射特性は式により求められる。 （反射特性）＝１０ｌｏｇ（Ｅre／Ｅin） ・・・ 式から明らかなように、反射特性の値が小さいほど、
エネルギー損失が小さくなる。
【００３３】表２において、スイッチ可動子１４と、ａ
＝１００μｍとしたときのスイッチ可動子１１とを対比
する。両者のアイソレーション特性の値は共に１８ｄＢ
で同じである。しかし、反射特性の値は、スイッチ可動
子１１よりもスイッチ可動子１４の方が小さくなる。こ
のように、図４に示されたスイッチ可動子１４を用いる
ことにより、オン時のエネルギー損失を改善できる。な
お、マイクロストリップ線路２ａ，２ｂの諸寸法Ｗ，Ｇ
を基に、スイッチ可動子１４の諸寸法Ｌ，ａ，ｂ，ｃを
設定することにより、適切なアイソレーション特性と反
射特性とを選択できる。
＝１００μｍとしたときのスイッチ可動子１１とを対比
する。両者のアイソレーション特性の値は共に１８ｄＢ
で同じである。しかし、反射特性の値は、スイッチ可動
子１１よりもスイッチ可動子１４の方が小さくなる。こ
のように、図４に示されたスイッチ可動子１４を用いる
ことにより、オン時のエネルギー損失を改善できる。な
お、マイクロストリップ線路２ａ，２ｂの諸寸法Ｗ，Ｇ
を基に、スイッチ可動子１４の諸寸法Ｌ，ａ，ｂ，ｃを
設定することにより、適切なアイソレーション特性と反
射特性とを選択できる。
【００３４】図５および図６は、図４におけるスイッチ
可動子１４の他の形状を示す平面図である。図５に示さ
れるように、スイッチ可動子１４は、可動子本体５１の
各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂ側の周縁の一端が
切り欠かれたものであってもよい。図５に示されたスイ
ッチ可動子１４では、図４に示されたスイッチ可動子１
４よりも、各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂとの対
向面積が増える。それでも、図１３に示された従来のマ
イクロマシンスイッチ１よりも良いオフ時のアイソレー
ション特性が得られる。
可動子１４の他の形状を示す平面図である。図５に示さ
れるように、スイッチ可動子１４は、可動子本体５１の
各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂ側の周縁の一端が
切り欠かれたものであってもよい。図５に示されたスイ
ッチ可動子１４では、図４に示されたスイッチ可動子１
４よりも、各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂとの対
向面積が増える。それでも、図１３に示された従来のマ
イクロマシンスイッチ１よりも良いオフ時のアイソレー
ション特性が得られる。
【００３５】また、スイッチ可動子１４の突起部５２
ａ，５２ｂは、矩形状に限られるものではない。例え
ば、図６に示されるように、突起部（第２の突起部）５
２ａ，５２ｂが台形状をしていてもよい。突起部５２
ａ，５２ｂの形状を、可動子本体５１に近い側の幅が可
動子本体５１から遠い側の幅よりも広くすることによ
り、スイッチ可動子１４の強度を高めることができる。
なお、図４〜図６に示されたスイッチ可動子１４の可動
子本体５１の幅ｂは、マイクロストリップ線路２ａ，２
ｂの幅Ｗよりも狭い。しかし、反射特性が著しく劣化し
ない範囲で可動子本体５１の幅ｂを広くしてもよい。
ａ，５２ｂは、矩形状に限られるものではない。例え
ば、図６に示されるように、突起部（第２の突起部）５
２ａ，５２ｂが台形状をしていてもよい。突起部５２
ａ，５２ｂの形状を、可動子本体５１に近い側の幅が可
動子本体５１から遠い側の幅よりも広くすることによ
り、スイッチ可動子１４の強度を高めることができる。
なお、図４〜図６に示されたスイッチ可動子１４の可動
子本体５１の幅ｂは、マイクロストリップ線路２ａ，２
ｂの幅Ｗよりも狭い。しかし、反射特性が著しく劣化し
ない範囲で可動子本体５１の幅ｂを広くしてもよい。
【００３６】（第３の実施の形態）図７は、本発明によ
るマイクロマシンスイッチの第３の実施の形態の要部を
示す平面図である。図７におけるスイッチ可動子１５
は、可動子本体５３の長さｃがギャップＧよりも長く、
可動子本体５３の幅ｂがマイクロストリップ線路２ａ，
２ｂの幅Ｗと等しい点で、図４におけるスイッチ可動子
１４と異なる。なお、図７において５４ａ，５４ｂは突
起部（第２の突起部）である。
るマイクロマシンスイッチの第３の実施の形態の要部を
示す平面図である。図７におけるスイッチ可動子１５
は、可動子本体５３の長さｃがギャップＧよりも長く、
可動子本体５３の幅ｂがマイクロストリップ線路２ａ，
２ｂの幅Ｗと等しい点で、図４におけるスイッチ可動子
１４と異なる。なお、図７において５４ａ，５４ｂは突
起部（第２の突起部）である。
【００３７】可動子本体５３の長さｃがギャップＧより
も長いので、可動子本体５３の一部はスイッチ可動子１
５の先端部１５ａ′，１５ｂ′に含まれる。すなわち、
可動子本体５３の一部は、マイクロストリップ線路２
ａ，２ｂのそれぞれと対向する。このため、図７におけ
るスイッチ可動子１５と各マイクロストリップ線路２
ａ，２ｂとの対向面積は、図４における対向面積よりも
大きくなる。したがって、図７におけるスイッチ可動子
１５を用いると、図１および図４におけるスイッチ可動
子１１，１４を用いたときよりも、オフ時のアイソレー
ション特性が悪くなる。それでも、従来よりは良いアイ
ソレーション特性が得られることはいうまでもない。
も長いので、可動子本体５３の一部はスイッチ可動子１
５の先端部１５ａ′，１５ｂ′に含まれる。すなわち、
可動子本体５３の一部は、マイクロストリップ線路２
ａ，２ｂのそれぞれと対向する。このため、図７におけ
るスイッチ可動子１５と各マイクロストリップ線路２
ａ，２ｂとの対向面積は、図４における対向面積よりも
大きくなる。したがって、図７におけるスイッチ可動子
１５を用いると、図１および図４におけるスイッチ可動
子１１，１４を用いたときよりも、オフ時のアイソレー
ション特性が悪くなる。それでも、従来よりは良いアイ
ソレーション特性が得られることはいうまでもない。
【００３８】しかしながら、可動子本体５３の長さｃが
ギャップＧよりも長いので、可動子１５の切り欠かれた
部分はギャップＧ上に存在しない。しかも、可動子本体
５３の幅ｂはマイクロストリップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗ
と等しい。このため、図７に示されたマイクロマシンス
イッチ１のオン時の不連続部分は、スイッチ可動子１５
と各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂとの接触部分の
みとなる。したがって、図７におけるスイッチ可動子１
５を用いることにより、図４におけるスイッチ可動子１
４よりも、さらにオン時の反射特性を改善することがで
きる。
ギャップＧよりも長いので、可動子１５の切り欠かれた
部分はギャップＧ上に存在しない。しかも、可動子本体
５３の幅ｂはマイクロストリップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗ
と等しい。このため、図７に示されたマイクロマシンス
イッチ１のオン時の不連続部分は、スイッチ可動子１５
と各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂとの接触部分の
みとなる。したがって、図７におけるスイッチ可動子１
５を用いることにより、図４におけるスイッチ可動子１
４よりも、さらにオン時の反射特性を改善することがで
きる。
【００３９】なお、可動子本体５３の幅ｂはマイクロス
トリップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗと等しいとした。しか
し、これらが完全に等しくなくても効果は得られる。ま
た、スイッチ可動子１５は、可動子本体５３の各マイク
ロストリップ線路２ａ，２ｂ側それぞれの周縁の一端が
切り欠かれたものであってもよい。また、スイッチ可動
子１５の突起部５４ａ，５４ｂは、矩形状に限られるも
のではない。例えば、台形状をしていてもよい。
トリップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗと等しいとした。しか
し、これらが完全に等しくなくても効果は得られる。ま
た、スイッチ可動子１５は、可動子本体５３の各マイク
ロストリップ線路２ａ，２ｂ側それぞれの周縁の一端が
切り欠かれたものであってもよい。また、スイッチ可動
子１５の突起部５４ａ，５４ｂは、矩形状に限られるも
のではない。例えば、台形状をしていてもよい。
【００４０】（第４の実施の形態）図８は、本発明によ
るマイクロマシンスイッチの第４の実施の形態の要部を
示す平面図である。図８に示されるように、スイッチ可
動子１６は矩形状をしている。その一方、、マイクロス
トリップ線路６ａは、線路本体６１ａのスイッチ可動子
１６側の周縁の両端が切り欠かれて、突起部（第１の突
起部）６２ａが形成されている。同じくマイクロストリ
ップ線路６ｂは、線路本体６１ｂのスイッチ可動子１６
側の周縁の両端が切り欠かれて、突起部（第１の突起
部）６２ｂが形成されている。ここで、線路本体６１
ａ，６１ｂとはそれぞれ、マイクロストリップ線路６
ａ，６ｂの幅Ｗをなす部分のことである。同様に、後述
するマイクロストリップ線路７ａ，７ｂの線路本体７１
ａ，７１ｂとは、マイクロストリップ線路７ａ，７ｂの
幅Ｗをなす部分のことである。
るマイクロマシンスイッチの第４の実施の形態の要部を
示す平面図である。図８に示されるように、スイッチ可
動子１６は矩形状をしている。その一方、、マイクロス
トリップ線路６ａは、線路本体６１ａのスイッチ可動子
１６側の周縁の両端が切り欠かれて、突起部（第１の突
起部）６２ａが形成されている。同じくマイクロストリ
ップ線路６ｂは、線路本体６１ｂのスイッチ可動子１６
側の周縁の両端が切り欠かれて、突起部（第１の突起
部）６２ｂが形成されている。ここで、線路本体６１
ａ，６１ｂとはそれぞれ、マイクロストリップ線路６
ａ，６ｂの幅Ｗをなす部分のことである。同様に、後述
するマイクロストリップ線路７ａ，７ｂの線路本体７１
ａ，７１ｂとは、マイクロストリップ線路７ａ，７ｂの
幅Ｗをなす部分のことである。
【００４１】各突起部６２ａ，６２ｂは矩形状をしてい
る。各突起部６２ａ，６２ｂの幅ｄは、スイッチ可動子
１６の幅ｅよりも狭い。また、各マイクロストリップ線
路６ａ，６ｂそれぞれの線路本体６１ａ，６１ｂ間の距
離Ｄは、スイッチ可動子１６の長さＬよりも長い。この
ため、線路本体６１ａ，６１ｂはそれぞれ、マイクロス
トリップ線路６ａ，６ｂの先端部６ａ′，６ｂ′に含ま
れない。すなわち、線路本体６１ａ，６１ｂのそれぞれ
は、スイッチ可動子１６と対向しない。
る。各突起部６２ａ，６２ｂの幅ｄは、スイッチ可動子
１６の幅ｅよりも狭い。また、各マイクロストリップ線
路６ａ，６ｂそれぞれの線路本体６１ａ，６１ｂ間の距
離Ｄは、スイッチ可動子１６の長さＬよりも長い。この
ため、線路本体６１ａ，６１ｂはそれぞれ、マイクロス
トリップ線路６ａ，６ｂの先端部６ａ′，６ｂ′に含ま
れない。すなわち、線路本体６１ａ，６１ｂのそれぞれ
は、スイッチ可動子１６と対向しない。
【００４２】このように、図８に示されたマイクロマシ
ンスイッチ１は、図４に示されたマイクロマシンスイッ
チ１でスイッチ可動子１４に突起部５２ａ，５２ｂを形
成する代わりに、マイクロストリップ線路６ａ，６ｂに
それぞれ突起部６２ａ，６２ｂを形成したものである。
この他の部分については、図４に示されたマイクロマシ
ンスイッチ１と同様である。したがって、例えば、マイ
クロストリップ線路６ａ，６ｂそれぞれの突起部６２
ａ，６２ｂは、線路本体６ａ，６ｂのスイッチ可動子１
６側の周縁の一端が切り欠かれて形成されたものであっ
てもよい。また、各突起部５４ａ，５４ｂは、矩形状に
限られるものではない。例えば、台形状をしていてもよ
い。このようにマイクロマシンスイッチ１を構成して
も、図４に示されたマイクロマシンスイッチ１と同様の
効果が得られる。
ンスイッチ１は、図４に示されたマイクロマシンスイッ
チ１でスイッチ可動子１４に突起部５２ａ，５２ｂを形
成する代わりに、マイクロストリップ線路６ａ，６ｂに
それぞれ突起部６２ａ，６２ｂを形成したものである。
この他の部分については、図４に示されたマイクロマシ
ンスイッチ１と同様である。したがって、例えば、マイ
クロストリップ線路６ａ，６ｂそれぞれの突起部６２
ａ，６２ｂは、線路本体６ａ，６ｂのスイッチ可動子１
６側の周縁の一端が切り欠かれて形成されたものであっ
てもよい。また、各突起部５４ａ，５４ｂは、矩形状に
限られるものではない。例えば、台形状をしていてもよ
い。このようにマイクロマシンスイッチ１を構成して
も、図４に示されたマイクロマシンスイッチ１と同様の
効果が得られる。
【００４３】（第５の実施の形態）図９は、本発明によ
るマイクロマシンスイッチの第５の実施の形態の要部を
示す平面図である。図９に示されたマイクロマシンスイ
ッチは、次の点で図８に示されたマイクロマシンスイッ
チ１と異なる。まず、各マイクロストリップ線路７ａ，
７ｂそれぞれの線路本体７１ａ，７１ｂ間の距離Ｄが、
スイッチ可動子１６の長さＬよりも短い。このため、線
路本体７１ａ，７１ｂはそれぞれ、マイクロストリップ
線路７ａ，７ｂの先端部７ａ′，７ｂ′に含まれる。す
なわち、線路本体７１ａ，７１ｂのそれぞれは、スイッ
チ可動子１６と対向する。
るマイクロマシンスイッチの第５の実施の形態の要部を
示す平面図である。図９に示されたマイクロマシンスイ
ッチは、次の点で図８に示されたマイクロマシンスイッ
チ１と異なる。まず、各マイクロストリップ線路７ａ，
７ｂそれぞれの線路本体７１ａ，７１ｂ間の距離Ｄが、
スイッチ可動子１６の長さＬよりも短い。このため、線
路本体７１ａ，７１ｂはそれぞれ、マイクロストリップ
線路７ａ，７ｂの先端部７ａ′，７ｂ′に含まれる。す
なわち、線路本体７１ａ，７１ｂのそれぞれは、スイッ
チ可動子１６と対向する。
【００４４】また、スイッチ可動子１６の幅ｅがマイク
ロストリップ線路７ａ，７ｂの幅Ｗと等しい。この他の
部分については、図８に示されたマイクロマシンスイッ
チ１と同じである。なお、図９において７２ａ，７２ｂ
は突起部（第１の突起部）である。このようにマイクロ
マシンスイッチ１を構成しても、図７に示されたマイク
ロマシンスイッチ１と同様の効果が得られる。なお、ス
イッチ可動子１６の幅ｅはマイクロストリップ線路７
ａ，７ｂの幅Ｗと等しいとした。しかし、これらが完全
に等しくなくても効果は得られる。
ロストリップ線路７ａ，７ｂの幅Ｗと等しい。この他の
部分については、図８に示されたマイクロマシンスイッ
チ１と同じである。なお、図９において７２ａ，７２ｂ
は突起部（第１の突起部）である。このようにマイクロ
マシンスイッチ１を構成しても、図７に示されたマイク
ロマシンスイッチ１と同様の効果が得られる。なお、ス
イッチ可動子１６の幅ｅはマイクロストリップ線路７
ａ，７ｂの幅Ｗと等しいとした。しかし、これらが完全
に等しくなくても効果は得られる。
【００４５】（第６の実施の形態）図１０は、本発明に
よるマイクロマシンスイッチの第６の実施の形態の要部
を示す平面図である。図１０に示されたマイクロマシン
スイッチは、図４におけるスイッチ可動子１４と、図８
におけるマイクロストリップ線路６ａ，６ｂとを組み合
わせたものである。このようにスイッチ可動子１４およ
びマイクロストリップ線路６ａ，６ｂの両方を切り欠い
ても、スイッチ可動子１４とマイクロストリップ線路６
ａ，６ｂとの対向面積を小さくできる。したがって、マ
イクロマシンスイッチ１のオフ時のアイソレーション特
性を高められる。
よるマイクロマシンスイッチの第６の実施の形態の要部
を示す平面図である。図１０に示されたマイクロマシン
スイッチは、図４におけるスイッチ可動子１４と、図８
におけるマイクロストリップ線路６ａ，６ｂとを組み合
わせたものである。このようにスイッチ可動子１４およ
びマイクロストリップ線路６ａ，６ｂの両方を切り欠い
ても、スイッチ可動子１４とマイクロストリップ線路６
ａ，６ｂとの対向面積を小さくできる。したがって、マ
イクロマシンスイッチ１のオフ時のアイソレーション特
性を高められる。
【００４６】なお、スイッチ可動子１４の突起部５２
ａ，５２ｂの幅ａと、マイクロストリップ線路６ａ，６
ｂの突起部６２ａ，６２ｂの幅ｄとは、同じであって
も、異なっていてもよい。また、図４におけるスイッチ
可動子１４の代わりに図５〜図７におけるスイッチ可動
子１４，１５を用いてもよく、図８におけるマイクロス
トリップ線路６ａ，６ｂの代わりに図９におけるマイク
ロストリップ線路７ａ，７ｂを用いてもよい。
ａ，５２ｂの幅ａと、マイクロストリップ線路６ａ，６
ｂの突起部６２ａ，６２ｂの幅ｄとは、同じであって
も、異なっていてもよい。また、図４におけるスイッチ
可動子１４の代わりに図５〜図７におけるスイッチ可動
子１４，１５を用いてもよく、図８におけるマイクロス
トリップ線路６ａ，６ｂの代わりに図９におけるマイク
ロストリップ線路７ａ，７ｂを用いてもよい。
【００４７】以上、ギャップＧ上にスイッチ電極１３が
配置されている構成のマイクロマシンスイッチ１を用い
て、本発明の実施の形態を説明した。しかし、本発明
は、図１１に示されるような断面形状をもつマイクロマ
シンスイッチ８にも適用できる。すなわち、図１１に示
されるマイクロマシンスイッチ８は、スイッチ電極（駆
動手段）として上部電極１３ａと下部電極１３ｂとをも
つ。下部電極１３ｂは、支持手段のアーム部１２ｂの下
方であって、マイクロストリップ線路２ａ，２ｂ（また
は６ａ，６ｂ、または７ａ，７ｂ）間ではない誘電体基
板３上に形成されている。また、上部電極１３ａはアー
ム部１２ｂの上面に密着形成されている。これら上部電
極１３ａと下部電極１３ｂとは、アーム部１２ｂを挟ん
で対向している。アーム部１２ｂは、絶縁部材により形
成されている。
配置されている構成のマイクロマシンスイッチ１を用い
て、本発明の実施の形態を説明した。しかし、本発明
は、図１１に示されるような断面形状をもつマイクロマ
シンスイッチ８にも適用できる。すなわち、図１１に示
されるマイクロマシンスイッチ８は、スイッチ電極（駆
動手段）として上部電極１３ａと下部電極１３ｂとをも
つ。下部電極１３ｂは、支持手段のアーム部１２ｂの下
方であって、マイクロストリップ線路２ａ，２ｂ（また
は６ａ，６ｂ、または７ａ，７ｂ）間ではない誘電体基
板３上に形成されている。また、上部電極１３ａはアー
ム部１２ｂの上面に密着形成されている。これら上部電
極１３ａと下部電極１３ｂとは、アーム部１２ｂを挟ん
で対向している。アーム部１２ｂは、絶縁部材により形
成されている。
【００４８】上部電極１３ａおよび下部電極１３ｂの少
なくとも一方に駆動電圧が印加される。そして、静電力
によりアーム部１２ｂが引き下げられ、スイッチ可動子
１１（または１４、または１５、または１６）がマイク
ロストリップ線路２ａ，２ｂ（または６ａ，６ｂ、また
は７ａ，７ｂ）のそれぞれと接触する。このようなマイ
クロマシンスイッチ８に本発明を適用しても、上述した
ものと同じ効果が得られる。
なくとも一方に駆動電圧が印加される。そして、静電力
によりアーム部１２ｂが引き下げられ、スイッチ可動子
１１（または１４、または１５、または１６）がマイク
ロストリップ線路２ａ，２ｂ（または６ａ，６ｂ、また
は７ａ，７ｂ）のそれぞれと接触する。このようなマイ
クロマシンスイッチ８に本発明を適用しても、上述した
ものと同じ効果が得られる。
【００４９】また、図４〜図７におけるスイッチ可動子
１４，１５はいずれも、可動子本体５１，５３の両側が
切り欠かれて、突起部５２ａ，５２ｂ，５４ａ，５４ｂ
が形成されている。しかし、可動子本体５１の一方の側
のみに突起部５２ａまたは５２ｂを形成した場合でも、
あるいは可動子本体５３の一方の側のみに突起部５４ａ
または５４ｂを形成した場合でも、効果は得られる。図
８，図９におけるマイクロストリップ線路６ａ，６ｂ，
７ａ，７ｂについても同様である。すなわち、マイクロ
ストリップ線路６ａ，６ｂの一方のみに突起部６２ａま
たは６２ｂを形成した場合でも、マイクロストリップ線
路７ａ，７ｂの一方のみに突起部７２ａまたは７２ｂを
形成した場合でも、効果は得られる。
１４，１５はいずれも、可動子本体５１，５３の両側が
切り欠かれて、突起部５２ａ，５２ｂ，５４ａ，５４ｂ
が形成されている。しかし、可動子本体５１の一方の側
のみに突起部５２ａまたは５２ｂを形成した場合でも、
あるいは可動子本体５３の一方の側のみに突起部５４ａ
または５４ｂを形成した場合でも、効果は得られる。図
８，図９におけるマイクロストリップ線路６ａ，６ｂ，
７ａ，７ｂについても同様である。すなわち、マイクロ
ストリップ線路６ａ，６ｂの一方のみに突起部６２ａま
たは６２ｂを形成した場合でも、マイクロストリップ線
路７ａ，７ｂの一方のみに突起部７２ａまたは７２ｂを
形成した場合でも、効果は得られる。
【００５０】また、図１〜図１１に示されたマイクロマ
シンスイッチ１，８は、２本のマイクロストリップ線路
２ａ，２ｂ（または６ａ，６ｂ、または７ａ，７ｂ）を
接・断するものである。しかし、本発明は３本以上のマ
イクロストリップ線路を接・断するマイクロマシンスイ
ッチ１，８にも適用できる。また、本発明の実施の形態
を説明するにあたり、分布定数線路としてマイクロスト
リップ線路２ａ，２ｂ（または６ａ，６ｂ、または７
ａ，７ｂ）を用いた。しかし、分布定数線路として、コ
プレーナ線路、トリプレート線路またはスロット線路を
用いても、同様の効果が得られる。
シンスイッチ１，８は、２本のマイクロストリップ線路
２ａ，２ｂ（または６ａ，６ｂ、または７ａ，７ｂ）を
接・断するものである。しかし、本発明は３本以上のマ
イクロストリップ線路を接・断するマイクロマシンスイ
ッチ１，８にも適用できる。また、本発明の実施の形態
を説明するにあたり、分布定数線路としてマイクロスト
リップ線路２ａ，２ｂ（または６ａ，６ｂ、または７
ａ，７ｂ）を用いた。しかし、分布定数線路として、コ
プレーナ線路、トリプレート線路またはスロット線路を
用いても、同様の効果が得られる。
【００５１】また、図１〜図１１に示されたマイクロマ
シンスイッチ１，８は、オーム結合形でも、容量結合形
でもよい。オーム結合形のマイクロマシンスイッチ１，
８の場合、スイッチ可動子１１，１４〜１６の全体が導
体部材で形成されていてもよい。また、スイッチ可動子
１１，１４〜１６は、図１２（ａ）に示されるように、
半導体または絶縁体の部材８１と、その下面（すなわ
ち、マイクロストリップ線路２ａ，２ｂ等に対向する
面）の全面に形成された導体膜８２とにより構成されて
いてもよい。すなわち、スイッチ可動子１１，１４〜１
６は、少なくともスイッチ可動子１１，１４〜１６の下
面の全面が導体で形成されていればよい。また、容量結
合形のマイクロマシンスイッチ１，８の場合、図１２
（ｂ）に示されるように、導体部材８３と、その下面
（すなわち、マイクロストリップ線路２ａ，２ｂ等に対
向する面）に形成された絶縁体薄膜８４とにより構成さ
れている。
シンスイッチ１，８は、オーム結合形でも、容量結合形
でもよい。オーム結合形のマイクロマシンスイッチ１，
８の場合、スイッチ可動子１１，１４〜１６の全体が導
体部材で形成されていてもよい。また、スイッチ可動子
１１，１４〜１６は、図１２（ａ）に示されるように、
半導体または絶縁体の部材８１と、その下面（すなわ
ち、マイクロストリップ線路２ａ，２ｂ等に対向する
面）の全面に形成された導体膜８２とにより構成されて
いてもよい。すなわち、スイッチ可動子１１，１４〜１
６は、少なくともスイッチ可動子１１，１４〜１６の下
面の全面が導体で形成されていればよい。また、容量結
合形のマイクロマシンスイッチ１，８の場合、図１２
（ｂ）に示されるように、導体部材８３と、その下面
（すなわち、マイクロストリップ線路２ａ，２ｂ等に対
向する面）に形成された絶縁体薄膜８４とにより構成さ
れている。
【００５２】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明では、可動子の先端部の面積を、分布定数線路の先端
部の面積よりも小さくする。これにより、可動子と分布
定数線路との対向面積が小さくなるので、可動子と分布
定数線路との容量結合が弱くなる。したがって、マイク
ロマシンスイッチのオフ時のアイソレーション特性を向
上させることができる。また、請求項２記載の発明で
は、可動子を矩形状に形成し、その幅を分布定数線路の
先端部よりも狭くする。これにより、請求項１記載の発
明と同じ効果が得られる。
明では、可動子の先端部の面積を、分布定数線路の先端
部の面積よりも小さくする。これにより、可動子と分布
定数線路との対向面積が小さくなるので、可動子と分布
定数線路との容量結合が弱くなる。したがって、マイク
ロマシンスイッチのオフ時のアイソレーション特性を向
上させることができる。また、請求項２記載の発明で
は、可動子を矩形状に形成し、その幅を分布定数線路の
先端部よりも狭くする。これにより、請求項１記載の発
明と同じ効果が得られる。
【００５３】また、請求項３記載の発明では、可動子本
体の少なくとも一端を切り欠いて、分布定数線路の先端
部よりも幅の狭い突起部を形成する。この突起部を分布
定数線路と対向させることにより、請求項１記載の発明
と同じ効果が得られる。また、請求項２記載の発明と比
較すると、各分布定数線路のギャップ上の可動子の幅を
広くできる。このため、請求項２記載の発明よりも良い
オン時の反射特性が得られる。また、請求項４記載の発
明では、可動子の突起部の先端部分のみが分布定数線路
と対向する。これにより、分布定数線路と対向する可動
子の先端部の幅が、全体的に分布定数線路よりも狭くな
る。このため、請求項２記載の発明と同等のオフ時のア
イソレーション特性を実現しつつ、同発明よりも良いオ
ン時の反射特性が得られる。
体の少なくとも一端を切り欠いて、分布定数線路の先端
部よりも幅の狭い突起部を形成する。この突起部を分布
定数線路と対向させることにより、請求項１記載の発明
と同じ効果が得られる。また、請求項２記載の発明と比
較すると、各分布定数線路のギャップ上の可動子の幅を
広くできる。このため、請求項２記載の発明よりも良い
オン時の反射特性が得られる。また、請求項４記載の発
明では、可動子の突起部の先端部分のみが分布定数線路
と対向する。これにより、分布定数線路と対向する可動
子の先端部の幅が、全体的に分布定数線路よりも狭くな
る。このため、請求項２記載の発明と同等のオフ時のア
イソレーション特性を実現しつつ、同発明よりも良いオ
ン時の反射特性が得られる。
【００５４】また、請求項５記載の発明では、可動子の
突起部とともに、可動子本体の一部が分布定数線路と対
向する。したがって、請求項４記載の発明と比較する
と、可動子と分布定数線路との対向面積が増えてしま
う。しかし、従来よりもオフ時のアイソレーション特性
を向上できる。さらに、請求項６記載の発明では、可動
子本体の幅を分布定数線路と同じ幅に形成する。これに
より、分布定数線路と可動子との不連続部分がほぼなく
なる。したがって、請求項４記載の発明よりも、さらに
良いオン時の反射特性が得られる。
突起部とともに、可動子本体の一部が分布定数線路と対
向する。したがって、請求項４記載の発明と比較する
と、可動子と分布定数線路との対向面積が増えてしま
う。しかし、従来よりもオフ時のアイソレーション特性
を向上できる。さらに、請求項６記載の発明では、可動
子本体の幅を分布定数線路と同じ幅に形成する。これに
より、分布定数線路と可動子との不連続部分がほぼなく
なる。したがって、請求項４記載の発明よりも、さらに
良いオン時の反射特性が得られる。
【００５５】また、請求項７記載の発明では、可動子の
突起部を矩形状に形成する。可動子の両端が切り欠かれ
て矩形状の突起部が形成されている場合、可動子の長さ
方向に位置決め誤差が生じても、可動子と分布定数線路
との対向面積が一定となる。また、請求項８記載の発明
では、可動子の突起部を、可動子本体に近い側を可動子
本体から遠い側よりも広く形成する。これにより、突起
部の強度が高くなる。
突起部を矩形状に形成する。可動子の両端が切り欠かれ
て矩形状の突起部が形成されている場合、可動子の長さ
方向に位置決め誤差が生じても、可動子と分布定数線路
との対向面積が一定となる。また、請求項８記載の発明
では、可動子の突起部を、可動子本体に近い側を可動子
本体から遠い側よりも広く形成する。これにより、突起
部の強度が高くなる。
【００５６】また、請求項９記載の発明では、分布定数
線路本体の少なくとも一端を切り欠いて、可動子の先端
部よりも幅の狭い突起部を形成する。この突起部を可動
子と対向させることにより、可動子と分布定数線路との
対向面積を小さくすることができる。したがって、請求
項１記載の発明と同様に、マイクロマシンスイッチのオ
フ時のアイソレーション特性を向上させることができ
る。また、請求項１０記載の発明では、分布定数線路の
突起部の先端部分のみが可動子と対向する。これによ
り、請求項４記載の発明と同様の効果が得られる。
線路本体の少なくとも一端を切り欠いて、可動子の先端
部よりも幅の狭い突起部を形成する。この突起部を可動
子と対向させることにより、可動子と分布定数線路との
対向面積を小さくすることができる。したがって、請求
項１記載の発明と同様に、マイクロマシンスイッチのオ
フ時のアイソレーション特性を向上させることができ
る。また、請求項１０記載の発明では、分布定数線路の
突起部の先端部分のみが可動子と対向する。これによ
り、請求項４記載の発明と同様の効果が得られる。
【００５７】また、請求項１１記載の発明では、分布定
数線路の突起部とともに、分布定数線路本体の一部が可
動子と対向する。これにより、請求項５記載の発明と同
様の効果が得られる。さらに、請求項１２記載の発明で
は、可動子の幅を分布定数線路本体と同じ幅に形成す
る。これにより、請求項６記載の発明と同様の効果が得
られる。また、請求項１３記載の発明では、分布定数線
路の突起部を矩形状に形成する。これにより、請求項７
記載の発明と同様の効果が得られる。また、請求項１４
記載の発明では、分布定数線路の第１の突起部と、可動
子の第２の突起部とを、互いに対向するように形成す
る。これにより、請求項１記載の発明と同様の効果が得
られる。
数線路の突起部とともに、分布定数線路本体の一部が可
動子と対向する。これにより、請求項５記載の発明と同
様の効果が得られる。さらに、請求項１２記載の発明で
は、可動子の幅を分布定数線路本体と同じ幅に形成す
る。これにより、請求項６記載の発明と同様の効果が得
られる。また、請求項１３記載の発明では、分布定数線
路の突起部を矩形状に形成する。これにより、請求項７
記載の発明と同様の効果が得られる。また、請求項１４
記載の発明では、分布定数線路の第１の突起部と、可動
子の第２の突起部とを、互いに対向するように形成す
る。これにより、請求項１記載の発明と同様の効果が得
られる。
【図１】 本発明によるマイクロマシンスイッチの第１
の実施の形態の構造を示す斜視図である。
の実施の形態の構造を示す斜視図である。
【図２】 図１に示されたマイクロマシンスイッチの平
面図である。
面図である。
【図３】 図２におけるマイクロマシンスイッチのIII
−III′線断面を示す断面図である。
−III′線断面を示す断面図である。
【図４】 本発明によるマイクロマシンスイッチの第２
の実施の形態の要部を示す平面図である。
の実施の形態の要部を示す平面図である。
【図５】 図４におけるスイッチ可動子の他の形状を示
す平面図である。
す平面図である。
【図６】 図４におけるスイッチ可動子の他の形状を示
す平面図である。
す平面図である。
【図７】 本発明によるマイクロマシンスイッチの第３
の実施の形態の要部を示す平面図である。
の実施の形態の要部を示す平面図である。
【図８】 本発明によるマイクロマシンスイッチの第４
の実施の形態の要部を示す平面図である。
の実施の形態の要部を示す平面図である。
【図９】 本発明によるマイクロマシンスイッチの第５
の実施の形態の要部を示す平面図である。
の実施の形態の要部を示す平面図である。
【図１０】 本発明によるマイクロマシンスイッチの第
６の実施の形態の要部を示す平面図である。
６の実施の形態の要部を示す平面図である。
【図１１】 他の構成をもつマイクロマシンスイッチの
断面を示す断面図である。
断面を示す断面図である。
【図１２】 スイッチ可動子の断面を示す断面図であ
る。
る。
【図１３】 従来のマイクロマシンスイッチの構造を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図１４】 図１３に示されたマイクロマシンスイッチ
の平面図である。
の平面図である。
１，８…マイクロマシンスイッチ、２ａ，２ｂ，６ａ，
６ｂ，７ａ，７ｂ…マイクロストリップ線路、２ａ′，
２ｂ′，６ａ′，６ｂ′，７ａ′，７ｂ′…マイクロス
トリップ線路の先端部、３…誘電体基板、４…グランド
板、１１，１４〜１６…スイッチ可動子、１１ａ′，１
１ｂ′，１４ａ′，１４ｂ′，１５ａ′，１５ｂ′，１
６ａ′，１６ｂ′…スイッチ可動子の先端部、１２…支
持手段、１２ａ…ポスト部、１２ｂ…アーム部、１３…
スイッチ電極、１３ａ…上部電極、１３ｂ…下部電極、
５１，５３…可動子本体、５２ａ，５２ｂ，５４ａ，５
４ｂ，６１ａ，６１ｂ，７１ａ，７１ｂ…突起部、６１
ａ，６１ｂ，７１ａ，７１ｂ…線路本体、８１…半導体
または絶縁体の部材、８２…導体膜、８３…導体部材、
８４…絶縁体薄膜、ａ…スイッチ可動子の先端部の幅、
ｂ…可動子本体の幅、ｃ…可動子本体の長さ、ｄ…突起
部の幅、Ｄ…線路本体間の距離、ｅ…可動子の幅、Ｇ…
ギャップ、ｈ…スイッチ可動子の高さ、Ｈ…誘電体基板
の厚さ、Ｌ…スイッチ可動子の長さ。
６ｂ，７ａ，７ｂ…マイクロストリップ線路、２ａ′，
２ｂ′，６ａ′，６ｂ′，７ａ′，７ｂ′…マイクロス
トリップ線路の先端部、３…誘電体基板、４…グランド
板、１１，１４〜１６…スイッチ可動子、１１ａ′，１
１ｂ′，１４ａ′，１４ｂ′，１５ａ′，１５ｂ′，１
６ａ′，１６ｂ′…スイッチ可動子の先端部、１２…支
持手段、１２ａ…ポスト部、１２ｂ…アーム部、１３…
スイッチ電極、１３ａ…上部電極、１３ｂ…下部電極、
５１，５３…可動子本体、５２ａ，５２ｂ，５４ａ，５
４ｂ，６１ａ，６１ｂ，７１ａ，７１ｂ…突起部、６１
ａ，６１ｂ，７１ａ，７１ｂ…線路本体、８１…半導体
または絶縁体の部材、８２…導体膜、８３…導体部材、
８４…絶縁体薄膜、ａ…スイッチ可動子の先端部の幅、
ｂ…可動子本体の幅、ｃ…可動子本体の長さ、ｄ…突起
部の幅、Ｄ…線路本体間の距離、ｅ…可動子の幅、Ｇ…
ギャップ、ｈ…スイッチ可動子の高さ、Ｈ…誘電体基板
の厚さ、Ｌ…スイッチ可動子の長さ。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年１１月１日（１９９９．１１．
１）
１）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１記載の発明は、互いに近接配置された少
なくとも２本の分布定数線路と、これらの分布定数線路
のそれぞれと対向するように各分布定数線路の上方に配
置されかつ各分布定数線路と接触したときに各分布定数
線路を高周波的に接続する可動子と、静電力により可動
子を変位させて各分布定数線路に接触させる駆動手段と
を備え、可動子は、この可動子の周縁のうち少なくとも
１本の分布定数線路側の周縁の少なくとも一端が切り欠
かれて形成された突起部を含み、この突起部は、分布定
数線路の幅方向と平行な方向の長さである幅が分布定数
線路の幅よりも狭い。また、請求項２記載の発明は、請
求項１記載の発明において、可動子の突起部と対向する
分布定数線路は、可動子の突起部を除く部分である可動
子本体とは対向していない。また、請求項３記載の発明
は、請求項１記載の発明において、可動子の突起部と対
向する分布定数線路は、可動子の突起部を除く部分であ
る可動子本体の一部とも対向している。また、請求項４
記載の発明は、請求項３記載の発明において、可動子の
可動子本体の幅は、各分布定数線路の幅と同じである。
また、請求項５記載の発明は、請求項１〜４いずれか１
項記載の発明において、可動子の突起部は、矩形状をし
ている。また、請求項６記載の発明は、請求項１〜４い
ずれか１項記載の発明において、可動子の突起部は、可
動子の突起部を除く部分である可動子本体に近い側の幅
が可動子本体から遠い側の幅よりも広い。また、請求項
７記載の発明は、互いに近接配置された少なくとも２本
の分布定数線路と、これらの分布定数線路のそれぞれと
対向するように各分布定数線路の上方に配置されかつ各
分布定数線路と接触したときに各分布定数線路を高周波
的に接続する可動子と、静電力により可動子を変位させ
て各分布定数線路に接触させる駆動手段とを備え、少な
くとも１本の分布定数線路は、この分布定数線路の可動
子側の周縁の少なくとも一端が切り欠かれて形成された
突起部を含み、この突起部の幅は、可動子の幅である分
布定数線路の幅方向と平行な方向の長さよりも狭い。ま
た、請求項８記載の発明は、請求項７記載の発明におい
て、可動子は、突起部が形成されている分布定数線路の
突起部を除く部分である分布定数線路本体とは対向して
いない。また、請求項９記載の発明は、請求項７記載の
発明において、可動子は、突起部が形成されている分布
定数線路の突起部を除く部分である分布定数線路本体の
一部とも対向している。また、請求項１０記載の発明
は、請求項９記載の発明において、可動子の幅は、各分
布定数線路の分布定数線路本体の幅と同じである。ま
た、請求項１１記載の発明は、請求項７〜１０いずれか
１項記載の発明において、分布定数線路の突起部は、矩
形状をしている。また、請求項１２記載の発明は、互い
に近接配置された少なくとも２本の分布定数線路と、こ
れらの分布定数線路のそれぞれと対向するように各分布
定数線路の上方に配置されかつ各分布定数線路と接触し
たときに各分布定数線路を高周波的に接続する可動子
と、静電力により可動子を変位させて各分布定数線路に
接触させる駆動手段とを備え、少なくとも１本の分布定
数線路は、この分布定数線路の可動子側の周縁の少なく
とも一端が切り欠かれて形成された第１の突起部を含
み、可動子は、分布定数線路の第１の突起部に対向する
ように可動子の周縁の少なくとも一端が切り欠かれて形
成された第２の突起部を含む。また、請求項１３記載の
発明は、請求項１〜１２いずれか１項記載の発明におい
て、可動子は、少なくとも可動子の下面の全面が導体で
形成されている。また、請求項１４記載の発明は、請求
項１〜１２いずれか１項記載の発明において、可動子
は、導体部材と、この導体部材の下面の全面に形成され
た絶縁体薄膜とからなる。
めに、請求項１記載の発明は、互いに近接配置された少
なくとも２本の分布定数線路と、これらの分布定数線路
のそれぞれと対向するように各分布定数線路の上方に配
置されかつ各分布定数線路と接触したときに各分布定数
線路を高周波的に接続する可動子と、静電力により可動
子を変位させて各分布定数線路に接触させる駆動手段と
を備え、可動子は、この可動子の周縁のうち少なくとも
１本の分布定数線路側の周縁の少なくとも一端が切り欠
かれて形成された突起部を含み、この突起部は、分布定
数線路の幅方向と平行な方向の長さである幅が分布定数
線路の幅よりも狭い。また、請求項２記載の発明は、請
求項１記載の発明において、可動子の突起部と対向する
分布定数線路は、可動子の突起部を除く部分である可動
子本体とは対向していない。また、請求項３記載の発明
は、請求項１記載の発明において、可動子の突起部と対
向する分布定数線路は、可動子の突起部を除く部分であ
る可動子本体の一部とも対向している。また、請求項４
記載の発明は、請求項３記載の発明において、可動子の
可動子本体の幅は、各分布定数線路の幅と同じである。
また、請求項５記載の発明は、請求項１〜４いずれか１
項記載の発明において、可動子の突起部は、矩形状をし
ている。また、請求項６記載の発明は、請求項１〜４い
ずれか１項記載の発明において、可動子の突起部は、可
動子の突起部を除く部分である可動子本体に近い側の幅
が可動子本体から遠い側の幅よりも広い。また、請求項
７記載の発明は、互いに近接配置された少なくとも２本
の分布定数線路と、これらの分布定数線路のそれぞれと
対向するように各分布定数線路の上方に配置されかつ各
分布定数線路と接触したときに各分布定数線路を高周波
的に接続する可動子と、静電力により可動子を変位させ
て各分布定数線路に接触させる駆動手段とを備え、少な
くとも１本の分布定数線路は、この分布定数線路の可動
子側の周縁の少なくとも一端が切り欠かれて形成された
突起部を含み、この突起部の幅は、可動子の幅である分
布定数線路の幅方向と平行な方向の長さよりも狭い。ま
た、請求項８記載の発明は、請求項７記載の発明におい
て、可動子は、突起部が形成されている分布定数線路の
突起部を除く部分である分布定数線路本体とは対向して
いない。また、請求項９記載の発明は、請求項７記載の
発明において、可動子は、突起部が形成されている分布
定数線路の突起部を除く部分である分布定数線路本体の
一部とも対向している。また、請求項１０記載の発明
は、請求項９記載の発明において、可動子の幅は、各分
布定数線路の分布定数線路本体の幅と同じである。ま
た、請求項１１記載の発明は、請求項７〜１０いずれか
１項記載の発明において、分布定数線路の突起部は、矩
形状をしている。また、請求項１２記載の発明は、互い
に近接配置された少なくとも２本の分布定数線路と、こ
れらの分布定数線路のそれぞれと対向するように各分布
定数線路の上方に配置されかつ各分布定数線路と接触し
たときに各分布定数線路を高周波的に接続する可動子
と、静電力により可動子を変位させて各分布定数線路に
接触させる駆動手段とを備え、少なくとも１本の分布定
数線路は、この分布定数線路の可動子側の周縁の少なく
とも一端が切り欠かれて形成された第１の突起部を含
み、可動子は、分布定数線路の第１の突起部に対向する
ように可動子の周縁の少なくとも一端が切り欠かれて形
成された第２の突起部を含む。また、請求項１３記載の
発明は、請求項１〜１２いずれか１項記載の発明におい
て、可動子は、少なくとも可動子の下面の全面が導体で
形成されている。また、請求項１４記載の発明は、請求
項１〜１２いずれか１項記載の発明において、可動子
は、導体部材と、この導体部材の下面の全面に形成され
た絶縁体薄膜とからなる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】可動子の少なくとも一端を切り欠いて分布
定数線路よりも幅（分布定数線路の幅方向と平行な方向
の長さ）の狭い突起部を形成し、この突起部を分布定数
線路と対向させる。あるいは、分布定数線路の少なくと
も一端を切り欠いて可動子よりも幅（分布定数線路の幅
方向と平行な方向の長さ）の狭い突起部を形成し、この
突起部を可動子と対向させる。これにより、可動子と分
布定数線路との対向面積が小さくなる。可動子と分布定
数線路との対向面積が小さくなれば、両者の容量結合が
弱まる。
定数線路よりも幅（分布定数線路の幅方向と平行な方向
の長さ）の狭い突起部を形成し、この突起部を分布定数
線路と対向させる。あるいは、分布定数線路の少なくと
も一端を切り欠いて可動子よりも幅（分布定数線路の幅
方向と平行な方向の長さ）の狭い突起部を形成し、この
突起部を可動子と対向させる。これにより、可動子と分
布定数線路との対向面積が小さくなる。可動子と分布定
数線路との対向面積が小さくなれば、両者の容量結合が
弱まる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を詳細に説明する。なお、マイクロストリッ
プ線路（分布定数線路）において、マイクロストリップ
線路の長手方向の長さを「長さ」といい、マイクロスト
リップ線路の長手方向と直交する幅方向の長さを「幅」
という。また、可動子において、マイクロストリップ線
路の長手方向と平行な方向の長さを「長さ」といい、マ
イクロストリップ線路の幅方向と平行な方向の長さを
「幅」という。 （第１の実施の形態）図１は、本発明によるマイクロマ
シンスイッチの第１の実施の形態の構造を示す斜視図で
ある。また、図２は、図１に示されたマイクロマシンス
イッチの平面図である。図１に示されるように、マイク
ロマシンスイッチ１は、スイッチ可動子１１と支持手段
１２とスイッチ電極（駆動手段）１３とにより構成され
ている。そして、このマイクロマシンスイッチ１は、２
本のＲＦマイクロストリップ線路（分布定数線路）２
ａ，２ｂとともに、誘電体基板３上に形成されている。
この誘電体基板３の背面には、グランド板４が配置され
ている。
実施の形態を詳細に説明する。なお、マイクロストリッ
プ線路（分布定数線路）において、マイクロストリップ
線路の長手方向の長さを「長さ」といい、マイクロスト
リップ線路の長手方向と直交する幅方向の長さを「幅」
という。また、可動子において、マイクロストリップ線
路の長手方向と平行な方向の長さを「長さ」といい、マ
イクロストリップ線路の幅方向と平行な方向の長さを
「幅」という。 （第１の実施の形態）図１は、本発明によるマイクロマ
シンスイッチの第１の実施の形態の構造を示す斜視図で
ある。また、図２は、図１に示されたマイクロマシンス
イッチの平面図である。図１に示されるように、マイク
ロマシンスイッチ１は、スイッチ可動子１１と支持手段
１２とスイッチ電極（駆動手段）１３とにより構成され
ている。そして、このマイクロマシンスイッチ１は、２
本のＲＦマイクロストリップ線路（分布定数線路）２
ａ，２ｂとともに、誘電体基板３上に形成されている。
この誘電体基板３の背面には、グランド板４が配置され
ている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２６】図４に示されたマイクロマシンスイッチ１
は、図１におけるスイッチ可動子１１の代わりに、図４
におけるスイッチ可動子１４を用いたものである。スイ
ッチ可動子１４は、スイッチ可動子１４のマイクロスト
リップ線路２ａ側の周縁の両端が切り欠かれて、突起部
（第２の突起部）５２ａが形成されている。同じく、ス
イッチ可動子１４のマイクロストリップ線路２ｂ側の周
縁の両端が切り欠かれて、突起部（第２の突起部）５２
ｂが形成されている。ここで、スイッチ可動子１４の突
起部５２ａ，５２ｂを除く部分を可動子本体５１とい
う。すなわち、この可動子本体５１とは、スイッチ可動
子１４の幅ｂをなす部分のことである。同様に、後述す
るスイッチ可動子１５の突起部５４ａ，５４ｂを除く部
分を可動子本体５３という。すなわち、この可動子本体
５３とは、スイッチ可動子１５の幅ｂをなす部分のこと
である。
は、図１におけるスイッチ可動子１１の代わりに、図４
におけるスイッチ可動子１４を用いたものである。スイ
ッチ可動子１４は、スイッチ可動子１４のマイクロスト
リップ線路２ａ側の周縁の両端が切り欠かれて、突起部
（第２の突起部）５２ａが形成されている。同じく、ス
イッチ可動子１４のマイクロストリップ線路２ｂ側の周
縁の両端が切り欠かれて、突起部（第２の突起部）５２
ｂが形成されている。ここで、スイッチ可動子１４の突
起部５２ａ，５２ｂを除く部分を可動子本体５１とい
う。すなわち、この可動子本体５１とは、スイッチ可動
子１４の幅ｂをなす部分のことである。同様に、後述す
るスイッチ可動子１５の突起部５４ａ，５４ｂを除く部
分を可動子本体５３という。すなわち、この可動子本体
５３とは、スイッチ可動子１５の幅ｂをなす部分のこと
である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３４】図５および図６は、図４におけるスイッチ
可動子１４の他の形状を示す平面図である。図５に示さ
れるように、スイッチ可動子１４は、スイッチ可動子１
４の各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂ側の周縁の一
端が切り欠かれたものであってもよい。図５に示された
スイッチ可動子１４では、図４に示されたスイッチ可動
子１４よりも、各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂと
の対向面積が増える。それでも、図１３に示された従来
のマイクロマシンスイッチ１よりも良いオフ時のアイソ
レーション特性が得られる。
可動子１４の他の形状を示す平面図である。図５に示さ
れるように、スイッチ可動子１４は、スイッチ可動子１
４の各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂ側の周縁の一
端が切り欠かれたものであってもよい。図５に示された
スイッチ可動子１４では、図４に示されたスイッチ可動
子１４よりも、各マイクロストリップ線路２ａ，２ｂと
の対向面積が増える。それでも、図１３に示された従来
のマイクロマシンスイッチ１よりも良いオフ時のアイソ
レーション特性が得られる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３９】なお、可動子本体５３の幅ｂはマイクロス
トリップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗと等しいとした。しか
し、これらが完全に等しくなくても効果は得られる。ま
た、スイッチ可動子１５は、スイッチ可動子１５の各マ
イクロストリップ線路２ａ，２ｂ側それぞれの周縁の一
端が切り欠かれたものであってもよい。また、スイッチ
可動子１５の突起部５４ａ，５４ｂは、矩形状に限られ
るものではない。例えば、台形状をしていてもよい。
トリップ線路２ａ，２ｂの幅Ｗと等しいとした。しか
し、これらが完全に等しくなくても効果は得られる。ま
た、スイッチ可動子１５は、スイッチ可動子１５の各マ
イクロストリップ線路２ａ，２ｂ側それぞれの周縁の一
端が切り欠かれたものであってもよい。また、スイッチ
可動子１５の突起部５４ａ，５４ｂは、矩形状に限られ
るものではない。例えば、台形状をしていてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４０】（第４の実施の形態）図８は、本発明によ
るマイクロマシンスイッチの第４の実施の形態の要部を
示す平面図である。図８に示されるように、スイッチ可
動子１６は矩形状をしている。その一方、、マイクロス
トリップ線路６ａは、マイクロストリップ線路６ａのス
イッチ可動子１６側の周縁の両端が切り欠かれて、突起
部（第１の突起部）６２ａが形成されている。同じくマ
イクロストリップ線路６ｂは、マイクロストリップ線路
６ｂのスイッチ可動子１６側の周縁の両端が切り欠かれ
て、突起部（第１の突起部）６２ｂが形成されている。
ここで、マイクロストリップ線路６ａ，６ｂの突起部６
２ａ，６２ｂを除く部分をそれぞれ線路本体６１ａ，６
１ｂという。すなわち、これら線路本体６１ａ，６１ｂ
とはそれぞれ、マイクロストリップ線路６ａ，６ｂの幅
Ｗをなす部分のことである。同様に、後述するマイクロ
ストリップ線路７ａ，７ｂの突起部７２ａ，７２ｂを除
く部分をそれぞれ線路本体７１ａ，７１ｂという。すな
わち、これら線路本体７１ａ，７１ｂとは、マイクロス
トリップ線路７ａ，７ｂの幅Ｗをなす部分のことであ
る。
るマイクロマシンスイッチの第４の実施の形態の要部を
示す平面図である。図８に示されるように、スイッチ可
動子１６は矩形状をしている。その一方、、マイクロス
トリップ線路６ａは、マイクロストリップ線路６ａのス
イッチ可動子１６側の周縁の両端が切り欠かれて、突起
部（第１の突起部）６２ａが形成されている。同じくマ
イクロストリップ線路６ｂは、マイクロストリップ線路
６ｂのスイッチ可動子１６側の周縁の両端が切り欠かれ
て、突起部（第１の突起部）６２ｂが形成されている。
ここで、マイクロストリップ線路６ａ，６ｂの突起部６
２ａ，６２ｂを除く部分をそれぞれ線路本体６１ａ，６
１ｂという。すなわち、これら線路本体６１ａ，６１ｂ
とはそれぞれ、マイクロストリップ線路６ａ，６ｂの幅
Ｗをなす部分のことである。同様に、後述するマイクロ
ストリップ線路７ａ，７ｂの突起部７２ａ，７２ｂを除
く部分をそれぞれ線路本体７１ａ，７１ｂという。すな
わち、これら線路本体７１ａ，７１ｂとは、マイクロス
トリップ線路７ａ，７ｂの幅Ｗをなす部分のことであ
る。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４２】このように、図８に示されたマイクロマシ
ンスイッチ１は、図４に示されたマイクロマシンスイッ
チ１でスイッチ可動子１４に突起部５２ａ，５２ｂを形
成する代わりに、マイクロストリップ線路６ａ，６ｂに
それぞれ突起部６２ａ，６２ｂを形成したものである。
この他の部分については、図４に示されたマイクロマシ
ンスイッチ１と同様である。したがって、例えば、マイ
クロストリップ線路６ａ，６ｂそれぞれの突起部６２
ａ，６２ｂは、マイクロストリップ線路６ａ，６ｂのス
イッチ可動子１６側の周縁の一端が切り欠かれて形成さ
れたものであってもよい。また、各突起部５４ａ，５４
ｂは、矩形状に限られるものではない。例えば、台形状
をしていてもよい。このようにマイクロマシンスイッチ
１を構成しても、図４に示されたマイクロマシンスイッ
チ１と同様の効果が得られる。
ンスイッチ１は、図４に示されたマイクロマシンスイッ
チ１でスイッチ可動子１４に突起部５２ａ，５２ｂを形
成する代わりに、マイクロストリップ線路６ａ，６ｂに
それぞれ突起部６２ａ，６２ｂを形成したものである。
この他の部分については、図４に示されたマイクロマシ
ンスイッチ１と同様である。したがって、例えば、マイ
クロストリップ線路６ａ，６ｂそれぞれの突起部６２
ａ，６２ｂは、マイクロストリップ線路６ａ，６ｂのス
イッチ可動子１６側の周縁の一端が切り欠かれて形成さ
れたものであってもよい。また、各突起部５４ａ，５４
ｂは、矩形状に限られるものではない。例えば、台形状
をしていてもよい。このようにマイクロマシンスイッチ
１を構成しても、図４に示されたマイクロマシンスイッ
チ１と同様の効果が得られる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４９】また、図４〜図７におけるスイッチ可動子
１４，１５はいずれも、スイッチ可動子１４，１５の両
側が切り欠かれて、突起部５２ａ，５２ｂ，５４ａ，５
４ｂが形成されている。しかし、スイッチ可動子１４の
一方の側のみに突起部５２ａまたは５２ｂを形成した場
合でも、あるいはスイッチ可動子１５の一方の側のみに
突起部５４ａまたは５４ｂを形成した場合でも、効果は
得られる。図８，図９におけるマイクロストリップ線路
６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂについても同様である。すなわ
ち、マイクロストリップ線路６ａ，６ｂの一方のみに突
起部６２ａまたは６２ｂを形成した場合でも、マイクロ
ストリップ線路７ａ，７ｂの一方のみに突起部７２ａま
たは７２ｂを形成した場合でも、効果は得られる。
１４，１５はいずれも、スイッチ可動子１４，１５の両
側が切り欠かれて、突起部５２ａ，５２ｂ，５４ａ，５
４ｂが形成されている。しかし、スイッチ可動子１４の
一方の側のみに突起部５２ａまたは５２ｂを形成した場
合でも、あるいはスイッチ可動子１５の一方の側のみに
突起部５４ａまたは５４ｂを形成した場合でも、効果は
得られる。図８，図９におけるマイクロストリップ線路
６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂについても同様である。すなわ
ち、マイクロストリップ線路６ａ，６ｂの一方のみに突
起部６２ａまたは６２ｂを形成した場合でも、マイクロ
ストリップ線路７ａ，７ｂの一方のみに突起部７２ａま
たは７２ｂを形成した場合でも、効果は得られる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５２】
【発明の効果】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５３】以上説明したように、請求項１記載の発明
では、可動子の少なくとも一端を切り欠いて、分布定数
線路よりも幅の狭い突起部を形成する。この突起部を分
布定数線路と対向させることにより、可動子と分布定数
線路との対向面積が小さくなるので、可動子と分布定数
線路との容量結合が弱くなる。したがって、マイクロマ
シンスイッチのオフ時のアイソレーション特性を向上さ
せることができる。また、分布定数線路よりも幅の狭い
矩形状の可動子を使用した場合と比較すると、各分布定
数線路のギャップ上の可動子の幅を広くできるので、こ
の発明の方が良いオン時の反射特性を得られる。また、
請求項２記載の発明では、可動子の突起部のみが分布定
数線路と対向する。これにより、可動子の分布定数線路
と対向する部分の幅が、全体的に分布定数線路よりも狭
くなる。このため、分布定数線路よりも幅の狭い矩形状
の可動子を使用した場合と同等のオフ時のアイソレーシ
ョン特性を実現しつつ、この場合よりも良いオン時の反
射特性が得られる。
では、可動子の少なくとも一端を切り欠いて、分布定数
線路よりも幅の狭い突起部を形成する。この突起部を分
布定数線路と対向させることにより、可動子と分布定数
線路との対向面積が小さくなるので、可動子と分布定数
線路との容量結合が弱くなる。したがって、マイクロマ
シンスイッチのオフ時のアイソレーション特性を向上さ
せることができる。また、分布定数線路よりも幅の狭い
矩形状の可動子を使用した場合と比較すると、各分布定
数線路のギャップ上の可動子の幅を広くできるので、こ
の発明の方が良いオン時の反射特性を得られる。また、
請求項２記載の発明では、可動子の突起部のみが分布定
数線路と対向する。これにより、可動子の分布定数線路
と対向する部分の幅が、全体的に分布定数線路よりも狭
くなる。このため、分布定数線路よりも幅の狭い矩形状
の可動子を使用した場合と同等のオフ時のアイソレーシ
ョン特性を実現しつつ、この場合よりも良いオン時の反
射特性が得られる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５４】また、請求項３記載の発明では、可動子の
突起部とともに、可動子本体の一部が分布定数線路と対
向する。したがって、請求項２記載の発明と比較する
と、可動子と分布定数線路との対向面積が増えてしま
う。しかし、従来よりもオフ時のアイソレーション特性
を向上できる。さらに、請求項４記載の発明では、可動
子本体の幅を分布定数線路と同じ幅に形成する。これに
より、分布定数線路と可動子との不連続部分がほぼなく
なる。したがって、請求項２記載の発明よりも、さらに
良いオン時の反射特性が得られる。
突起部とともに、可動子本体の一部が分布定数線路と対
向する。したがって、請求項２記載の発明と比較する
と、可動子と分布定数線路との対向面積が増えてしま
う。しかし、従来よりもオフ時のアイソレーション特性
を向上できる。さらに、請求項４記載の発明では、可動
子本体の幅を分布定数線路と同じ幅に形成する。これに
より、分布定数線路と可動子との不連続部分がほぼなく
なる。したがって、請求項２記載の発明よりも、さらに
良いオン時の反射特性が得られる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５５】また、請求項５記載の発明では、可動子の
突起部を矩形状に形成する。可動子の両端が切り欠かれ
て矩形状の突起部が形成されている場合、可動子の長さ
方向に位置決め誤差が生じても、可動子と分布定数線路
との対向面積が一定となる。また、請求項６記載の発明
では、可動子の突起部を、可動子本体に近い側を可動子
本体から遠い側よりも広く形成する。これにより、突起
部の強度が高くなる。
突起部を矩形状に形成する。可動子の両端が切り欠かれ
て矩形状の突起部が形成されている場合、可動子の長さ
方向に位置決め誤差が生じても、可動子と分布定数線路
との対向面積が一定となる。また、請求項６記載の発明
では、可動子の突起部を、可動子本体に近い側を可動子
本体から遠い側よりも広く形成する。これにより、突起
部の強度が高くなる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５６】また、請求項７記載の発明では、分布定数
線路の少なくとも一端を切り欠いて、可動子よりも幅の
狭い突起部を形成する。この突起部を可動子と対向させ
ることにより、可動子と分布定数線路との対向面積を小
さくすることができる。したがって、請求項１記載の発
明と同様に、マイクロマシンスイッチのオフ時のアイソ
レーション特性を向上させることができる。また、請求
項８記載の発明では、分布定数線路の突起部のみが可動
子と対向する。これにより、請求項２記載の発明と同様
の効果が得られる。
線路の少なくとも一端を切り欠いて、可動子よりも幅の
狭い突起部を形成する。この突起部を可動子と対向させ
ることにより、可動子と分布定数線路との対向面積を小
さくすることができる。したがって、請求項１記載の発
明と同様に、マイクロマシンスイッチのオフ時のアイソ
レーション特性を向上させることができる。また、請求
項８記載の発明では、分布定数線路の突起部のみが可動
子と対向する。これにより、請求項２記載の発明と同様
の効果が得られる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５７】また、請求項９記載の発明では、分布定数
線路の突起部とともに、分布定数線路本体の一部が可動
子と対向する。これにより、請求項３記載の発明と同様
の効果が得られる。さらに、請求項１０記載の発明で
は、可動子の幅を分布定数線路本体と同じ幅に形成す
る。これにより、請求項４記載の発明と同様の効果が得
られる。また、請求項１１記載の発明では、分布定数線
路の突起部を矩形状に形成する。これにより、請求項５
記載の発明と同様の効果が得られる。また、請求項１２
記載の発明では、分布定数線路の第１の突起部と、可動
子の第２の突起部とを、互いに対向するように形成す
る。これにより、請求項１記載の発明と同様の効果が得
られる。
線路の突起部とともに、分布定数線路本体の一部が可動
子と対向する。これにより、請求項３記載の発明と同様
の効果が得られる。さらに、請求項１０記載の発明で
は、可動子の幅を分布定数線路本体と同じ幅に形成す
る。これにより、請求項４記載の発明と同様の効果が得
られる。また、請求項１１記載の発明では、分布定数線
路の突起部を矩形状に形成する。これにより、請求項５
記載の発明と同様の効果が得られる。また、請求項１２
記載の発明では、分布定数線路の第１の突起部と、可動
子の第２の突起部とを、互いに対向するように形成す
る。これにより、請求項１記載の発明と同様の効果が得
られる。
Claims (16)
- 【請求項１】 互いに近接配置された少なくとも２本の
分布定数線路のそれぞれと先端部が対向するように前記
各分布定数線路の上方に配置されかつ導電体を含む可動
子と、 静電力により前記可動子を変位させて前記各分布定数線
路に接触させる駆動手段とを備え、 前記可動子の少なくとも１つの先端部の面積は、この先
端部と対向する前記分布定数線路の先端部の面積よりも
小さいことを特徴とするマイクロマシンスイッチ。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記可動子は、前記各分布定数線路の先端部よりも幅の
狭い矩形状をしていることを特徴とするマイクロマシン
スイッチ。 - 【請求項３】 請求項１において、 前記可動子は、可動子本体の周縁のうち少なくとも１本
の前記分布定数線路側の前記周縁の少なくとも一端が切
り欠かれて形成された突起部を含み、 この突起部の幅は、対応する前記分布定数線路の先端部
の幅よりも狭いことを特徴とするマイクロマシンスイッ
チ。 - 【請求項４】 請求項３において、 前記可動子の前記突起部が形成されている先端部は、前
記可動子本体を含まないことを特徴とするマイクロマシ
ンスイッチ。 - 【請求項５】 請求項３において、 前記可動子の前記突起部が形成されている先端部は、前
記可動子本体の一部を含むことを特徴とするマイクロマ
シンスイッチ。 - 【請求項６】 請求項５において、 前記可動子本体の幅は、前記各分布定数線路の幅と同じ
であることを特徴とするマイクロマシンスイッチ。 - 【請求項７】 請求項３〜６いずれか１項において、 前記突起部は、矩形状をしていることを特徴とするマイ
クロマシンスイッチ。 - 【請求項８】 請求項３〜６いずれか１項において、 前記突起部は、前記可動子本体に近い側の幅が前記可動
子本体から遠い側の幅よりも広いことを特徴とするマイ
クロマシンスイッチ。 - 【請求項９】 互いに近接配置された少なくとも２本の
分布定数線路のそれぞれと先端部が対向するように前記
各分布定数線路の上方に配置されかつ導電体を含む可動
子と、 静電力により前記可動子を変位させて前記各分布定数線
路に接触させる駆動手段とを備え、 少なくとも１本の前記分布定数線路は、分布定数線路本
体の前記可動子側の周縁の少なくとも一端が切り欠かれ
て形成された突起部を含み、 この突起部の幅は、対応する前記可動子の先端部の幅よ
りも狭いことを特徴とするマイクロマシンスイッチ。 - 【請求項１０】 請求項９において、 前記突起部が形成された前記分布定数線路の先端部は、
前記分布定数線路本体を含まないことを特徴とするマイ
クロマシンスイッチ。 - 【請求項１１】 請求項９において、 前記突起部が形成された前記分布定数線路の先端部は、
前記分布定数線路本体の一部を含むことを特徴とするマ
イクロマシンスイッチ。 - 【請求項１２】 請求項１１において、 前記可動子の幅は、前記各分布定数線路本体の幅と同じ
であることを特徴とするマイクロマシンスイッチ。 - 【請求項１３】 請求項９〜１２いずれか１項におい
て、 前記突起部は、矩形状をしていることを特徴とするマイ
クロマシンスイッチ。 - 【請求項１４】 互いに近接配置された少なくとも２本
の分布定数線路のそれぞれと先端部が対向するように前
記各分布定数線路の上方に配置されかつ導電体を含む可
動子と、 静電力により前記可動子を変位させて前記各分布定数線
路に接触させる駆動手段とを備え、 少なくとも１本の前記分布定数線路は、分布定数線路本
体の前記可動子側の周縁の少なくとも一端が切り欠かれ
て形成された第１の突起部を含み、 前記可動子は、前記分布定数線路の前記第１の突起部に
対向するように可動子本体の周縁の少なくとも一端が切
り欠かれて形成された第２の突起部を含むことを特徴と
するマイクロマシンスイッチ。 - 【請求項１５】 請求項１〜１４いずれか１項におい
て、 前記可動子は、少なくとも前記可動子の下面の全面が導
体で形成されていることを特徴とするマイクロマシンス
イッチ。 - 【請求項１６】 請求項１〜１４いずれか１項におい
て、 前記可動子は、導体部材と、 この導体部材の下面の全面に形成された絶縁体薄膜とか
らなることを特徴とするマイクロマシンスイッチ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10313017A JP3087741B2 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | マイクロマシンスイッチ |
| US09/830,893 US6433657B1 (en) | 1998-11-04 | 1999-11-02 | Micromachine MEMS switch |
| PCT/JP1999/006113 WO2000026933A1 (fr) | 1998-11-04 | 1999-11-02 | Commutateur de micromachine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10313017A JP3087741B2 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | マイクロマシンスイッチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000149750A true JP2000149750A (ja) | 2000-05-30 |
| JP3087741B2 JP3087741B2 (ja) | 2000-09-11 |
Family
ID=18036231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10313017A Expired - Fee Related JP3087741B2 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | マイクロマシンスイッチ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6433657B1 (ja) |
| JP (1) | JP3087741B2 (ja) |
| WO (1) | WO2000026933A1 (ja) |
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1999
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