JP2000149339A - Method of manufacturing optical recording medium, optical recording medium, and head device - Google Patents
Method of manufacturing optical recording medium, optical recording medium, and head deviceInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 保護層表面の潤滑耐久性に優れた光記録媒体
を製造することが出来る光記録媒体の製造方法の提供。
【解決手段】 基板と、情報を記録保持する記録層とを
備え、その表裏面の少なくとも１面に潤滑保護層２が設
けられた光記録媒体の製造方法。潤滑保護層２の形成
は、光硬化樹脂と液体潤滑剤との混合樹脂２ａを塗布し
た後、光照射により混合樹脂２ａを硬化させるに際し、
液体潤滑剤２ｂが混合樹脂２ｃの表面及び表面付近に偏
在するように硬化させる。
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an optical recording medium capable of manufacturing an optical recording medium having excellent lubrication durability on the surface of a protective layer. A method for manufacturing an optical recording medium, comprising: a substrate; and a recording layer for recording and holding information, wherein a lubrication protection layer 2 is provided on at least one of the front and back surfaces. The lubrication protection layer 2 is formed by applying a mixed resin 2a of a photocurable resin and a liquid lubricant, and then curing the mixed resin 2a by light irradiation.
The liquid lubricant 2b is cured so as to be unevenly distributed on and near the surface of the mixed resin 2c.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光記録／再生が可
能な光記録媒体と、光記録媒体の製造方法と、光学レン
ズと磁気コイルとを共にスライダに搭載した光磁気ヘッ
ド、光学レンズをスライダに搭載した光ヘッド又は磁気
コイルをスライダに搭載した磁気ヘッドの何れかを備え
たヘッド装置とに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording medium capable of optical recording / reproducing, a method of manufacturing the optical recording medium, a magneto-optical head and an optical lens having both an optical lens and a magnetic coil mounted on a slider. The present invention relates to a head device provided with either an optical head mounted on a slider or a magnetic head mounted with a magnetic coil on a slider.
【０００２】[0002]
【従来の技術】コンピュータ用記録媒体として、着脱可
能で書換え可能な大容量記録媒体である相変化光ディス
ク及び光磁気ディスク等の光ディスクが注目されてい
る。相変化光ディスクは、ＤＶＤ−ＲＡＭに代表される
ように、また、光磁気ディスクは、ＡＳ−ＭＯに代表さ
れるように、より一層の大容量高密度記録を目指して開
発が進められている。2. Description of the Related Art As recording media for computers, optical disks such as phase-change optical disks and magneto-optical disks, which are detachable and rewritable large-capacity recording media, have attracted attention. Phase-change optical disks are being developed with the aim of achieving even higher-capacity, higher-density recording, as typified by DVD-RAM, and magneto-optical disks, typified by AS-MO.
【０００３】ハードディスク及びフレキシブルディスク
等の磁気ディスクでは、通常、磁気コイルを搭載したス
ライダを有する磁気ヘッド（摺動型又は浮上型）を用い
て、情報の記録／再生を行っている。近年、光ディスク
においても、Ｍｉｎｉ Ｄｉｓｋ（ＭＤ）、Ｈｙｐｅｒ
Ｓｔｏｒａｇｅ（ＨＳ）及びＡＳ−ＭＯに代表される
ような磁界変調方式（磁気ヘッドから励磁される磁界強
度を変化させて情報を記録する方式）光磁気ディスク
で、磁気コイルを搭載したスライダを有する磁気ヘッド
（摺動型又は浮上型）が用いられている。また、特開平
５−３０７７５４号公報には、光学レンズを搭載したス
ライダを有する光ヘッドを用いる光ディスクが、特開平
４−７４３３１号公報には、光学レンズと磁気コイルと
を共に搭載したスライダを有する光磁気ヘッドを用いる
光ディスクがそれぞれ開示されている。In a magnetic disk such as a hard disk and a flexible disk, information is recorded / reproduced using a magnetic head (sliding type or floating type) having a slider on which a magnetic coil is mounted. In recent years, in optical disks, Mini Disk (MD), Hyper
A magnetic field modulation method (a method of recording information by changing the intensity of a magnetic field excited by a magnetic head) such as a storage (HS) and an AS-MO, which is a magneto-optical disk having a slider on which a magnetic coil is mounted. A head (sliding type or floating type) is used. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-307754 discloses an optical disk using an optical head having a slider on which an optical lens is mounted, and Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 4-74331 includes a slider on which both an optical lens and a magnetic coil are mounted. Optical disks using a magneto-optical head are disclosed.
【０００４】これらスライダを有するヘッドを用いる光
ディスクにおいて重要なことは、スライダが光ディスク
表面に近接（浮上）又は接触（摺接）するので、スライ
ダの浮上安定性又は摺動（摺接）安定性を得る為、スラ
イダが近接（浮上）又は接触（摺接）する光ディスク表
面に存在する保護膜又はハードコート膜（以下、保護膜
と記す）が潤滑性を有することである。What is important in an optical disk using a head having these sliders is that the slider approaches (flies) or comes into contact (sliding contact) with the surface of the optical disk, so that the flying stability or sliding (sliding) stability of the slider is improved. In order to achieve this, a protective film or a hard coat film (hereinafter, referred to as a protective film) present on the surface of the optical disk with which the slider approaches (flies) or contacts (slids) has lubricity.
【０００５】これら光ディスクの保護膜に潤滑性を付与
する技術としては、特開平６−１７６３５３号公報及び
特開平６−１７６３５３号公報に開示され、また、本出
願人が出願した（特願平１０−２７０３３１号特許願）
ような、樹脂に潤滑剤を混練する内添技術、及び特開平
７−２５４１８０号公報及び特開平７−３３４８６５号
公報に開示され、また、本出願人が出願した（特願平１
０−２７０３３１号特許願）ような、硬化樹脂上に液体
潤滑剤を塗布するトップコート技術が提案されている。
また、磁気ディスクにおいても、同様の潤滑性付与技術
が知られている。Techniques for imparting lubricity to the protective film of these optical disks are disclosed in JP-A-6-176353 and JP-A-6-176353. -270331 patent application)
Such an internal addition technique of kneading a resin with a lubricant, and a technique disclosed in JP-A-7-254180 and JP-A-7-334865, and filed by the present applicant (Japanese Patent Application No. Hei.
A top coat technique for applying a liquid lubricant on a cured resin, such as that disclosed in Japanese Patent Application No. 0-270331, has been proposed.
A similar lubricating technique is also known for magnetic disks.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述したような技術に
より、光ディスクの保護層（保護膜）に潤滑性を付与す
ることは可能であるが、これらの技術だけでは、光ディ
スクの保護層表面に充分な潤滑剤を常に存在させること
は容易ではなく、保護層表面の充分な潤滑耐久性を得る
ことはできない問題があった。つまり、内添技術では、
潤滑剤が樹脂中に取り込まれ、充分な潤滑剤が樹脂表面
に常には存在し難い（偏在し難い）問題があり、トップ
コート技術では、潤滑剤が薄層として樹脂表面に存在す
る為、繰り返しの摩擦作用により、潤滑剤の薄層が欠落
し易い問題があった。Although it is possible to impart lubricity to the protective layer (protective film) of an optical disk by the above-described techniques, it is sufficient to use these techniques alone to sufficiently cover the surface of the protective layer of the optical disk. It is not easy to always make a suitable lubricant exist, and there is a problem that sufficient lubrication durability on the surface of the protective layer cannot be obtained. In other words, in the internal technology,
Lubricant is taken into the resin, and there is a problem that sufficient lubricant is not always present on the resin surface (it is hard to be unevenly distributed). In the topcoat technology, the lubricant is present on the resin surface as a thin layer, so There is a problem that a thin layer of the lubricant is apt to be dropped due to the frictional action.
【０００７】本発明は、上述したような事情に鑑みてな
されたものであり、第１〜３発明では、保護層表面の潤
滑耐久性に優れた光記録媒体を製造することが出来る光
記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。第４
発明では、保護層表面の潤滑耐久性に優れた光記録媒体
を提供することを目的とする。第５発明では、光記録媒
体表面との摩擦抵抗を低減させ、光記録媒体の保護層表
面における潤滑耐久性を向上させることが出来るヘッド
装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and the first to third inventions provide an optical recording medium capable of manufacturing an optical recording medium having excellent lubrication durability on the surface of a protective layer. It is an object of the present invention to provide a method for producing the same. 4th
An object of the present invention is to provide an optical recording medium having excellent lubrication durability on the surface of a protective layer. A fifth aspect of the present invention aims to provide a head device capable of reducing frictional resistance with the surface of an optical recording medium and improving lubrication durability on the protective layer surface of the optical recording medium.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】第１発明に係る光記録媒
体の製造方法は、基板と、情報を記録保持する記録層と
を備え、その表裏面の少なくとも１面に潤滑保護層が設
けられた光記録媒体の製造方法において、前記潤滑保護
層の形成は、光硬化樹脂と液体潤滑剤との混合樹脂を塗
布した後、光照射により前記混合樹脂を硬化させるに際
し、前記液体潤滑剤が前記混合樹脂の表面及び表面付近
に偏在すべく硬化させることを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an optical recording medium, comprising: a substrate; and a recording layer for recording and holding information, and a lubrication protection layer is provided on at least one of the front and back surfaces. In the method for manufacturing an optical recording medium, the formation of the lubricating protective layer is performed by applying a mixed resin of a photocurable resin and a liquid lubricant, and then curing the mixed resin by light irradiation. It is characterized in that it is cured so as to be unevenly distributed on and near the surface of the mixed resin.
【０００９】この光記録媒体の製造方法では、その表裏
面の少なくとも１面に設けられた潤滑保護層の形成は、
光硬化樹脂と液体潤滑剤との混合樹脂を塗布した後、光
照射により混合樹脂を硬化させるに際し、液体潤滑剤が
混合樹脂の表面及び表面付近に偏在すべく硬化させるの
で、混合樹脂の表面及び表面付近に液体潤滑剤を多く存
在させることが出来、保護層表面の潤滑耐久性に優れた
光記録媒体を製造することが出来る。In this method of manufacturing an optical recording medium, the formation of the lubricating protective layer provided on at least one of the front and back surfaces is performed.
After applying the mixed resin of the photocurable resin and the liquid lubricant, when the mixed resin is cured by light irradiation, the liquid lubricant is cured so as to be unevenly distributed on and near the surface of the mixed resin. A large amount of liquid lubricant can be present near the surface, and an optical recording medium having excellent lubrication durability on the surface of the protective layer can be manufactured.
【００１０】第２発明に係る光記録媒体の製造方法は、
基板と、情報を記録保持する記録層とを備え、その表裏
面の少なくとも１面に潤滑保護層が設けられた光記録媒
体の製造方法において、前記潤滑保護層の形成は、光硬
化樹脂と、該光硬化樹脂と完全には相溶しない液体潤滑
剤とを、該液体潤滑剤が前記光硬化樹脂内で略１０ｎｍ
〜１００ｎｍの球状又は粒状となるように混合し、次い
で塗布した後、球状又は粒状の前記液体潤滑剤を前記光
硬化樹脂の表面に浮上させた状態で、光照射により前記
光硬化樹脂を硬化させ、硬化した光硬化樹脂の表面に、
略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直径及び深さを有し液体潤滑
剤を保持する為の凹みを形成することを特徴とする。A method for manufacturing an optical recording medium according to a second aspect of the present invention comprises:
In a method for manufacturing an optical recording medium comprising a substrate and a recording layer for recording and holding information, wherein a lubricating protective layer is provided on at least one of the front and back surfaces, the formation of the lubricating protective layer includes the steps of: A liquid lubricant that is not completely compatible with the photocurable resin is mixed with the photocurable resin by approximately 10 nm in the photocurable resin.
After mixing to form a spherical or granular liquid having a thickness of about 100 nm, and then applying the same, the spherical or granular liquid lubricant is floated on the surface of the light curable resin, and the light curable resin is cured by light irradiation. , On the surface of the cured light-cured resin,
It has a diameter and a depth of about 10 nm to 100 nm, and is characterized by forming a recess for holding a liquid lubricant.
【００１１】この光記録媒体の製造方法では、その表裏
面の少なくとも１面に設けられた潤滑保護層の形成は、
光硬化樹脂と、光硬化樹脂と完全には相溶しない液体潤
滑剤とを、液体潤滑剤が光硬化樹脂内で略１０ｎｍ〜１
００ｎｍの球状又は粒状となるように混合し、次いで塗
布する。その後、球状又は粒状の液体潤滑剤を光硬化樹
脂の表面に浮上させた状態で、光照射により光硬化樹脂
を硬化させ、硬化した光硬化樹脂の表面に、略１０ｎｍ
〜１００ｎｍの直径及び深さを有し液体潤滑剤を保持す
る為の凹みを形成する。これにより、光硬化樹脂の表面
に液体潤滑剤を多く存在させることが出来、保護層表面
の潤滑耐久性に優れた光記録媒体を製造することが出来
る。In this method for manufacturing an optical recording medium, the formation of the lubricating protective layer provided on at least one of the front and back surfaces is performed.
A photo-curable resin and a liquid lubricant that is not completely compatible with the photo-curable resin are mixed with each other so that the liquid lubricant is approximately 10 nm to 1 nm in the photo-curable resin.
Mix to form a 00 nm sphere or granule, then apply. Thereafter, in a state where the spherical or granular liquid lubricant is floated on the surface of the photocurable resin, the photocurable resin is cured by light irradiation, and the surface of the cured photocurable resin is substantially 10 nm thick.
It has a diameter and depth of １００100 nm and forms a recess to hold the liquid lubricant. Thereby, a large amount of liquid lubricant can be present on the surface of the photocurable resin, and an optical recording medium having excellent lubrication durability on the surface of the protective layer can be manufactured.
【００１２】第３発明に係る光記録媒体の製造方法は、
基板と、情報を記録保持する記録層とを備え、その表裏
面の少なくとも１面に潤滑保護層が設けられた光記録媒
体の製造方法において、前記潤滑保護層の形成は、光硬
化樹脂又は光硬化樹脂と液体潤滑剤との混合樹脂を塗布
した後、光照射により前記光硬化樹脂を半硬化又は硬化
させた状態で、略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直径及び高さ
を有する錐状突起物が多数形成された平板を、前記光硬
化樹脂の表面に押し当てることにより、前記表面に略１
０ｎｍ〜１００ｎｍの直径及び深さを有し液体潤滑剤を
保持する為の凹みを形成することを特徴とする。A method for manufacturing an optical recording medium according to a third aspect of the present invention comprises:
In a method for manufacturing an optical recording medium comprising a substrate and a recording layer for recording and holding information, and a lubricating protective layer provided on at least one of the front and rear surfaces, the formation of the lubricating protective layer is performed by using a photocurable resin or an optical hardening resin. After applying a mixed resin of a cured resin and a liquid lubricant, a large number of conical protrusions having a diameter and a height of approximately 10 nm to 100 nm are formed in a state where the photocured resin is semi-cured or cured by light irradiation. The pressed flat plate is pressed against the surface of the photo-curable resin, so that approximately 1
It has a diameter and a depth of 0 nm to 100 nm, and is characterized by forming a recess for holding a liquid lubricant.
【００１３】この光記録媒体の製造方法では、その表裏
面の少なくとも１面に設けられた潤滑保護層の形成は、
光硬化樹脂又は光硬化樹脂と液体潤滑剤との混合樹脂を
塗布する。その後、光照射により光硬化樹脂を半硬化又
は硬化させた状態で、略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直径及
び高さを有する錐状突起物が多数形成された平板を、光
硬化樹脂の表面に押し当てることにより、光硬化樹脂の
表面に略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直径及び深さを有し液
体潤滑剤を保持する為の凹みを形成する。これにより、
光硬化樹脂の表面に液体潤滑剤を多く存在させることが
出来、保護層表面の潤滑耐久性に優れた光記録媒体を製
造することが出来る。In the method for manufacturing an optical recording medium, the formation of the lubricating protective layer provided on at least one of the front and back surfaces is performed.
A photocurable resin or a mixed resin of a photocurable resin and a liquid lubricant is applied. Thereafter, in a state where the photocurable resin is semi-cured or cured by light irradiation, a flat plate on which a number of conical protrusions having a diameter and a height of approximately 10 nm to 100 nm are formed is pressed against the surface of the photocurable resin. As a result, a recess having a diameter and a depth of about 10 nm to 100 nm for holding the liquid lubricant is formed on the surface of the photocurable resin. This allows
A large amount of liquid lubricant can be present on the surface of the photocurable resin, and an optical recording medium with excellent lubrication durability on the surface of the protective layer can be manufactured.
【００１４】第４発明に係る光記録媒体は、基板と、情
報を記録保持する記録層とを備え、その表裏面の少なく
とも１面に保護層が設けられた光記録媒体において、前
記保護層は、酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ジ
ルコニウム、窒化シリコン、窒化アルミニウム、カーボ
ン及びダイヤモンドライクカーボンの物質群から選択さ
れる少なくとも１つを含む光学的に透明な無機物からな
り、表面をフッ素化してなしてあることを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an optical recording medium comprising a substrate and a recording layer for recording and holding information, wherein at least one of the front and back surfaces is provided with a protective layer. Made of an optically transparent inorganic material containing at least one selected from the group consisting of silicon oxide, aluminum oxide, zirconium oxide, silicon nitride, aluminum nitride, carbon and diamond-like carbon, and having a fluorinated surface. It is characterized by the following.
【００１５】この光記録媒体では、その表裏面の少なく
とも１面に設けられた保護層は、酸化シリコン、酸化ア
ルミニウム、酸化ジルコニウム、窒化シリコン、窒化ア
ルミニウム、カーボン及びダイヤモンドライクカーボン
の物質群から選択される少なくとも１つを含む光学的に
透明な無機物からなり、表面をフッ素化して形成してあ
るので、保護層表面の潤滑耐久性に優れている。In this optical recording medium, the protective layer provided on at least one of the front and back surfaces is selected from the group consisting of silicon oxide, aluminum oxide, zirconium oxide, silicon nitride, aluminum nitride, carbon and diamond-like carbon. Since it is made of an optically transparent inorganic material containing at least one of the above and is formed by fluorinating the surface, the surface of the protective layer has excellent lubrication durability.
【００１６】第５発明に係るヘッド装置は、光記録媒体
の表面に摺動又は近接すべきスライダを有する光磁気ヘ
ッド、光ヘッド又は磁気ヘッドを備えたヘッド装置にお
いて、前記スライダは、前記光記録媒体に対向すべき部
分が、ポリイミド樹脂又は少なくともフッ素を含む樹脂
により形成してあることを特徴とする。A head device according to a fifth aspect of the present invention is a magneto-optical head having a slider that slides or approaches the surface of an optical recording medium, or a head device including an optical head or a magnetic head. The portion to be opposed to the medium is formed of a polyimide resin or a resin containing at least fluorine.
【００１７】このヘッド装置では、光記録媒体の表面に
摺動又は近接すべきスライダは、光記録媒体に対向すべ
き部分が、ポリイミド樹脂又は少なくともフッ素を含む
樹脂により形成してあるので、光記録媒体表面との摩擦
抵抗を低減させ、光記録媒体の保護層表面における潤滑
耐久性を向上させる。In this head device, the slider to be slid or approached to the surface of the optical recording medium has a portion to be opposed to the optical recording medium formed of a polyimide resin or a resin containing at least fluorine. The frictional resistance with the medium surface is reduced, and the lubrication durability on the protective layer surface of the optical recording medium is improved.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下に、本発明をその実施の形態
を示す図面に基づき説明する。 実施の形態１．図１は、第１発明に係る光記録媒体の製
造方法の実施の形態１により製造された光記録媒体の膜
構成を示す断面概略図である。この光記録媒体は、光入
射側表面に、入射光に対して光学的に透明な潤滑保護層
を形成した相変化光ディスクの例であり、スライダに光
学レンズを搭載した光ヘッドが、基板側から光を入射す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings showing the embodiments. Embodiment 1 FIG. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a film configuration of an optical recording medium manufactured by Embodiment 1 of the method for manufacturing an optical recording medium according to the first invention. This optical recording medium is an example of a phase-change optical disk in which a lubrication protection layer optically transparent to incident light is formed on the light incident side surface, and an optical head having an optical lens mounted on a slider is moved from the substrate side. Light is incident.
【００１９】この光記録媒体である相変化光ディスク
は、例えば、ポリカーボネート樹脂基板、ガラス２Ｐ基
板又はガラス基板である光ディスク基板１の一方の面側
に、例えば、硫化亜鉛−酸化シリコン、窒化シリコン又
は酸化シリコンからなる第１誘電体保護層３と、例え
ば、ゲルマニウム−アンチモン−テルルからなる相変化
記録層４と、例えば、硫化亜鉛−酸化シリコン、窒化シ
リコン又は酸化シリコンからなる第２誘電体保護層５
と、例えば、純アルミニウム、アルミニウム合金又は金
からなる反射層６とをこの順に備えている。A phase change optical disk as an optical recording medium is formed, for example, on one surface side of an optical disk substrate 1 which is a polycarbonate resin substrate, a glass 2P substrate or a glass substrate, for example, zinc sulfide-silicon oxide, silicon nitride or oxidized. A first dielectric protection layer 3 made of silicon, a phase change recording layer 4 made of, for example, germanium-antimony-tellurium, and a second dielectric protection layer 5 made of, for example, zinc sulfide-silicon oxide, silicon nitride, or silicon oxide
And a reflective layer 6 made of, for example, pure aluminum, an aluminum alloy or gold.
【００２０】また、この相変化光ディスクは、光ディス
ク基板１の他方の面側に、液体潤滑剤が表面に偏在する
透光性潤滑保護層２を備えている。透光性潤滑保護層２
は、例えば、入射光に対して光学的に透明なアクリル樹
脂（光硬化樹脂）に、硬化したときのこのアクリル樹脂
と相溶し難く、入射光に対して光学的に透明な液体潤滑
剤であるフッ素オイル、シリコーンオイル又は炭化水素
オイルを混練した混合樹脂を塗布し硬化させることによ
り得ている。The phase-change optical disk has a light-transmitting lubricating protective layer 2 on the other surface of the optical disk substrate 1 on which a liquid lubricant is localized. Translucent lubricating protective layer 2
Is, for example, a liquid lubricant that is hardly compatible with the acrylic resin when cured, and is optically transparent to the incident light. It is obtained by applying and curing a mixed resin obtained by kneading a certain fluorine oil, silicone oil or hydrocarbon oil.
【００２１】このような構成の相変化光ディスクを記録
再生装置に装着した場合、図１に示すように、相変化光
ディスクの透光性潤滑保護層２側に光ヘッド７が配され
る。光ヘッド７は、サスペンションであるアーム１８に
支持された浮上スライダ型の構造を有しており、例え
ば、液晶ポリマを主成分とするポリマ材からなるスライ
ダ１７に光学レンズ１６を搭載した構造、又はチタン酸
カルシウム、酸化アルミニウム−炭化チタン等のセラミ
ックからなるスライダ１７に光学レンズ１６を搭載した
構造を有している。When a phase-change optical disk having such a configuration is mounted on a recording / reproducing apparatus, as shown in FIG. 1, an optical head 7 is arranged on the light-transmitting lubricating protective layer 2 side of the phase-change optical disk. The optical head 7 has a flying slider type structure supported by an arm 18 serving as a suspension. For example, a structure in which an optical lens 16 is mounted on a slider 17 made of a polymer material mainly composed of a liquid crystal polymer, or It has a structure in which an optical lens 16 is mounted on a slider 17 made of ceramic such as calcium titanate or aluminum oxide-titanium carbide.
【００２２】図２は、実施の形態１の光記録媒体の製造
方法の、図１に示した透光性潤滑保護層２の形成方法を
説明する為の説明図である。紫外線硬化樹脂（光硬化樹
脂）と液体潤滑剤とを混練してワニス状にした混合樹脂
を、（ａ）に示すように、下地である光ディスク基板１
上に塗布する。このとき、液体潤滑剤の存在比は、
（ａ）に示すように、塗布された混合樹脂層２ａの深層
部から表層部迄均等である。FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining a method of forming the light-transmitting lubricating protective layer 2 shown in FIG. 1 in the method of manufacturing the optical recording medium according to the first embodiment. As shown in (a), the mixed resin obtained by kneading an ultraviolet curable resin (photocurable resin) and a liquid lubricant to form a varnish was used as an underlayer on the optical disc substrate 1 as shown in FIG.
Apply on top. At this time, the existing ratio of the liquid lubricant is
As shown in (a), the depth is uniform from the deep portion to the surface portion of the applied mixed resin layer 2a.
【００２３】混合樹脂を光ディスク基板１上に塗布した
後、紫外線照射（光照射）により紫外線硬化樹脂を硬化
させる。このとき、紫外線硬化樹脂は、酸素阻害現象の
為に酸素濃度が低い深層部から硬化し始め、順次、表層
部に硬化反応が伝播する。硬化した紫外線硬化樹脂との
親和／相溶性が悪い液体潤滑剤は、紫外線硬化樹脂の硬
化に伴って、硬化した紫外線硬化樹脂から遊離されるの
で、液体潤滑剤は、紫外線硬化樹脂の深層部から遊離さ
れ、表層部に順次押し出され、（ｂ）に示すように、最
終的に硬化が最も遅い紫外線硬化樹脂の表層部に液体潤
滑剤が偏在することになる。このとき、透光性潤滑保護
層２内において、液体潤滑剤の存在比は、（ｂ）に示す
ように、硬化した紫外線硬化樹脂内は低く、紫外線硬化
樹脂の表層及び表面は高くなっている。After applying the mixed resin onto the optical disk substrate 1, the ultraviolet-curable resin is cured by ultraviolet irradiation (light irradiation). At this time, the ultraviolet curable resin starts to cure from the deep portion where the oxygen concentration is low due to the oxygen inhibition phenomenon, and the curing reaction sequentially propagates to the surface portion. Since the liquid lubricant having poor affinity / compatibility with the cured ultraviolet curable resin is released from the cured ultraviolet curable resin along with the curing of the ultraviolet curable resin, the liquid lubricant is removed from a deep portion of the ultraviolet curable resin. The liquid lubricant is released and sequentially extruded to the surface layer, and as shown in (b), finally, the liquid lubricant is unevenly distributed on the surface layer of the ultraviolet curing resin whose curing is the slowest. At this time, in the translucent lubricating protective layer 2, the ratio of the liquid lubricant in the cured ultraviolet curable resin is low, and the surface layer and surface of the ultraviolet curable resin are high, as shown in FIG. .
【００２４】尚、紫外線硬化樹脂としては、多官能アク
リル樹脂（３官能以上が好ましい）が、液体潤滑剤とし
ては、上述したものの他、ジメチル変性物、メチルフェ
ニル変性物、メチルスチリル変性物、アルキル変性物、
フッ素変性物、エーテル変性物、エステル変性物、アル
コール変性物又はカルボキシル変性物が好ましい。液体
潤滑剤の混練量は、略１〜１０重量％が好ましい。ま
た、ワニス状態における紫外線硬化樹脂と液体潤滑剤と
の親和／相溶性は、良い方が好ましいが、良くなくても
問題はない。As the ultraviolet curing resin, a polyfunctional acrylic resin (preferably trifunctional or more) is used. As the liquid lubricant, in addition to those described above, a dimethyl modified product, a methylphenyl modified product, a methylstyryl modified product, an alkyl Denatured product,
Fluorine-modified, ether-modified, ester-modified, alcohol-modified or carboxyl-modified products are preferred. The kneading amount of the liquid lubricant is preferably about 1 to 10% by weight. Also, the affinity / compatibility between the ultraviolet curable resin and the liquid lubricant in the varnish state is preferably good, but there is no problem if it is not good.
【００２５】図３は、硬化した樹脂との親和／相溶性に
優れた液体潤滑剤と硬化樹脂との組合せからなる従来の
潤滑保護膜と、本実施の形態による潤滑保護膜（層）と
のＣＳＳ（Contact Start and Stop）試験の結果を示す
グラフである。横軸は、ＣＳＳサイクル数を示し、縦軸
は光ヘッドと潤滑保護膜との間の摩擦力を示している。
ＣＳＳ試験は、光ディスクが回転するときの回転開始時
及び停止時の摩擦力を、サイクル毎に測定する試験であ
る。従来の潤滑保護膜では、１０００ＣＳＳサイクルを
超えると、急速に摩擦力が上昇する。一方、本実施の形
態による潤滑保護膜では、１０００ＣＳＳサイクルを超
える迄は、摩擦力は従来の潤滑保護膜と殆ど差は無く、
１０００ＣＳＳサイクルを超えても、摩擦力は上昇せ
ず、本実施の形態による潤滑保護膜が潤滑耐久性に優れ
ていることが判る。FIG. 3 shows a conventional lubricating protective film made of a combination of a liquid lubricant excellent in affinity / compatibility with a cured resin and a cured resin, and a lubricating protective film (layer) according to the present embodiment. It is a graph which shows the result of CSS (Contact Start and Stop) test. The horizontal axis indicates the number of CSS cycles, and the vertical axis indicates the frictional force between the optical head and the lubricating protective film.
The CSS test is a test that measures the frictional force at the start and stop of rotation when the optical disk rotates, for each cycle. With a conventional lubricating protective film, the frictional force increases rapidly after exceeding 1000 CSS cycles. On the other hand, in the lubricating protective film according to the present embodiment, the frictional force is hardly different from that of the conventional lubricating protective film until exceeding 1000 CSS cycles.
Even if it exceeds 1000 CSS cycles, the frictional force does not increase, indicating that the lubricating protective film according to the present embodiment has excellent lubrication durability.
【００２６】図４は、硬化樹脂との親和／相溶性に優れ
た液体潤滑剤と硬化樹脂との組合せからなる従来の潤滑
保護膜と、本実施の形態により形成された潤滑保護膜
（層）との摺動試験の結果を示すグラフである。横軸は
パス数を示し、縦軸は光ヘッドと潤滑保護膜との間の摩
擦力を示している。摺動試験は、スライダが浮上しない
程度の低速回転で光ディスクを回転させてスライダを摺
動させ、回転毎に摩擦力を測定する試験である。従来の
潤滑保護膜では、パス数が１０6 回を超えると、摩擦力
が上昇する。一方、本実施の形態により形成された潤滑
保護膜では、パス数が１０6 回を超える迄は、摩擦力は
従来の潤滑保護膜と殆ど差は無く、パス数が１０6 回を
超えても、摩擦力は上昇せず、本実施の形態による潤滑
保護膜が潤滑耐久性に優れていることが判る。FIG. 4 shows a conventional lubricating protective film made of a combination of a liquid lubricant having excellent affinity / compatibility with the cured resin and the cured resin, and a lubricating protective film (layer) formed according to the present embodiment. 4 is a graph showing the results of a sliding test with the above. The horizontal axis indicates the number of passes, and the vertical axis indicates the frictional force between the optical head and the lubricating protective film. The sliding test is a test in which the optical disk is rotated at such a low rotation speed that the slider does not float, the slider is slid, and the frictional force is measured every rotation. In conventional lubricating protective film, the number of paths exceeds 10 6 times, the frictional force is increased. On the other hand, the lubricating protective film formed by the present embodiment, until the number of paths exceeds 10 6 times, the frictional force is rather little difference to conventional lubricating protective film, even beyond the number of paths is 10 6 times The frictional force does not increase, indicating that the lubricating protective film according to the present embodiment has excellent lubrication durability.
【００２７】実施の形態２．図５は、第２発明に係る光
記録媒体の製造方法の実施の形態２により製造された光
記録媒体の膜構成を示す断面概略図である。この光記録
媒体は、記録層側の表面に潤滑保護層を形成した光磁気
ディスクの例であり、スライダに磁気コイルを搭載した
磁気ヘッドが、潤滑保護層側から磁界を加え、光ヘッド
は、基板側から光を入射する。Embodiment 2 FIG. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a film configuration of an optical recording medium manufactured by Embodiment 2 of the method for manufacturing an optical recording medium according to the second invention. This optical recording medium is an example of a magneto-optical disk in which a lubrication protection layer is formed on the surface on the recording layer side.A magnetic head having a magnetic coil mounted on a slider applies a magnetic field from the lubrication protection layer side. Light enters from the substrate side.
【００２８】この光記録媒体である光磁気ディスクは、
例えば、ポリカーボネート樹脂基板、アモルファスポリ
オレフィン樹脂基板、ガラス２Ｐ基板又はガラス基板で
ある光ディスク基板１の一方の面側に、例えば、窒化シ
リコン又は酸化シリコンからなる第１誘電体保護層９
と、例えば、テルビウム−鉄−コバルト又はガドリニウ
ム−鉄−コバルト等からなる磁性単層膜又は磁性多層膜
１０（光磁気記録層）と、例えば、窒化シリコン又は酸
化シリコンからなる第２誘電体保護層１１と、例えば、
純アルミニウム、アルミニウム合金又は金からなる反射
層６と、液体潤滑剤が表面に偏在する潤滑保護層８とを
この順に備えている。潤滑保護層８は、例えば、アクリ
ル樹脂（光硬化樹脂）に、液体潤滑剤であるフッ素オイ
ル、シリコーンオイル又は炭化水素オイルを混練した混
合樹脂を塗布し硬化させることにより得ている。The magneto-optical disk, which is the optical recording medium,
For example, a first dielectric protection layer 9 made of, for example, silicon nitride or silicon oxide is provided on one surface side of the optical disc substrate 1 which is a polycarbonate resin substrate, an amorphous polyolefin resin substrate, a glass 2P substrate or a glass substrate.
And a magnetic single-layer film or magnetic multilayer film 10 (magneto-optical recording layer) made of, for example, terbium-iron-cobalt or gadolinium-iron-cobalt, and a second dielectric protection layer made of, for example, silicon nitride or silicon oxide 11 and, for example,
A reflection layer 6 made of pure aluminum, an aluminum alloy or gold, and a lubrication protection layer 8 having a liquid lubricant unevenly distributed on its surface are provided in this order. The lubrication protection layer 8 is obtained by, for example, applying and curing a mixed resin obtained by kneading a liquid lubricant such as a fluorine oil, a silicone oil or a hydrocarbon oil to an acrylic resin (photocurable resin).
【００２９】このような構成の光磁気ディスクを光磁気
記録再生装置に装着した場合、図５に示すように、光磁
気ディスクの潤滑保護層８側に磁気ヘッド１２が配され
る。磁気ヘッド１２は、サスペンションであるアーム１
８ａに支持された浮上スライダ型の構造を有しており、
例えば、液晶ポリマを主成分とするポリマ材からなるス
ライダ１７ａに磁気コイルを搭載した構造、又はチタン
酸カルシウム、酸化アルミニウム−炭化チタン等のセラ
ミックからなるスライダ１７ａに磁気コイルを搭載した
構造を有している。When a magneto-optical disk having such a configuration is mounted on a magneto-optical recording / reproducing apparatus, a magnetic head 12 is arranged on the lubrication protective layer 8 side of the magneto-optical disk as shown in FIG. The magnetic head 12 includes an arm 1 serving as a suspension.
8a has a flying slider type structure supported by
For example, it has a structure in which a magnetic coil is mounted on a slider 17a made of a polymer material mainly composed of a liquid crystal polymer, or a structure in which a magnetic coil is mounted on a slider 17a made of ceramic such as calcium titanate or aluminum oxide-titanium carbide. ing.
【００３０】図６は、実施の形態２の光記録媒体の製造
方法の、図５に示した潤滑保護層８の形成方法を説明す
る為の説明図である。紫外線硬化樹脂（光硬化樹脂）
と、紫外線硬化樹脂とは完全には相溶しない液体潤滑剤
とを、液体潤滑剤が紫外線硬化樹脂内で略１０ｎｍ〜１
００ｎｍのバブル（球状又は粒状）となるように混合し
ワニス状にした混合樹脂を、（ａ）に示すように、下地
である反射層６上に塗布する。その後、バブルとなった
液体潤滑剤８ｂを紫外線硬化樹脂８ａの表面に浮上させ
た状態で、紫外線照射により紫外線硬化樹脂を硬化さ
せ、（ｂ）に示すように、硬化した紫外線硬化樹脂８ｃ
の表面に略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直径及び深さを有す
る凹み８ｄ（ディンプル）を形成すると共に、凹み８ｄ
内の液体潤滑剤８ｂ（偏在オイル）が、潤滑保護層８表
面に滲み出て偏在し、潤滑保護層８表面の全面を覆うよ
うにしてある。FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining a method of forming the lubricating protective layer 8 shown in FIG. 5 in the method of manufacturing the optical recording medium according to the second embodiment. UV curable resin (light curable resin)
And a liquid lubricant that is not completely compatible with the ultraviolet curable resin.
A varnish-like mixed resin that has been mixed so as to form 00 nm bubbles (spherical or granular) is applied onto the reflective layer 6 as a base as shown in FIG. After that, the ultraviolet curable resin is cured by irradiating ultraviolet rays while the liquid lubricant 8b that has become bubbles floats on the surface of the ultraviolet curable resin 8a, and as shown in FIG.
8d (dimple) having a diameter and a depth of about 10 nm to 100 nm on the surface of
The liquid lubricant 8b (unevenly distributed oil) in the inside oozes out on the surface of the lubrication protection layer 8 and is unevenly distributed to cover the entire surface of the lubrication protection layer 8.
【００３１】これにより、潤滑保護層８表面に、スライ
ダが潤滑保護層８に吸着することを防止するテクスチャ
を形成すると共に、液体潤滑剤８ｂが潤滑保護層８表面
を均一に覆うことが出来る。凹み８ｄの直径及び深さが
略１０ｎｍより小さい場合、表面粗さが小さ過ぎ、スラ
イダの吸着が生じ、スライダの浮上安定性及び走行（摺
動）安定性が悪化する。凹み８ｄの直径及び深さが略１
００ｎｍを超える場合、表面粗さが大き過ぎ、スライダ
の浮上安定性及び走行（摺動）安定性が著しく悪化す
る。Thus, a texture is formed on the surface of the lubrication protection layer 8 to prevent the slider from being attracted to the lubrication protection layer 8, and the liquid lubricant 8b can uniformly cover the surface of the lubrication protection layer 8. If the diameter and the depth of the recess 8d are smaller than about 10 nm, the surface roughness is too small, and the slider is attracted, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider deteriorate. The diameter and depth of the recess 8d are approximately 1
If it exceeds 00 nm, the surface roughness is too large, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider are significantly deteriorated.
【００３２】尚、ワニス状混合樹脂を塗布した後、液体
潤滑剤からなるバブルが混合樹脂の表面付近により多く
浮上し偏在するように、数分間放置した後、混合樹脂を
硬化させるのが好ましい。また、液体潤滑剤としては、
上述したものの他、ジメチル変性物、メチルフェニル変
性物、メチルスチリル変性物、フッ素変性物、エステル
変性物、アルコール変性物又はカルボキシル変性物が好
ましい。液体潤滑剤の混練量は、略５〜１５重量％が好
ましい。本実施の形態により形成された潤滑保護膜
（層）の潤滑耐久性は、図３に示したＣＳＳ試験の結果
及び図４に示した摺動試験の結果と同様である。After the varnish-like mixed resin is applied, it is preferable that the mixed resin is cured after being left for several minutes so that bubbles made of the liquid lubricant float more near the surface of the mixed resin and are unevenly distributed. In addition, as a liquid lubricant,
In addition to those described above, dimethyl-modified, methylphenyl-modified, methylstyryl-modified, fluorine-modified, ester-modified, alcohol-modified or carboxyl-modified products are preferred. The kneading amount of the liquid lubricant is preferably approximately 5 to 15% by weight. The lubrication durability of the lubrication protective film (layer) formed according to the present embodiment is the same as the result of the CSS test shown in FIG. 3 and the result of the sliding test shown in FIG.
【００３３】実施の形態３．図７は、第２発明に係る光
記録媒体の製造方法の実施の形態３の、潤滑保護層の形
成方法を説明する為の説明図である。本実施の形態によ
り製造された光記録媒体の膜構成は、上述した実施の形
態２により製造された光記録媒体の膜構成を示す断面概
略図（図５）と同様であり、説明を省略する。この光記
録媒体の潤滑保護層８の形成方法は、上述した実施の形
態２の潤滑保護層の形成方法（図６）と同様の手順によ
り、硬化した紫外線硬化樹脂８ｃの表面に略１０ｎｍ〜
１００ｎｍの直径及び深さを有する凹み８ｄ（ディンプ
ル）を形成すると共に、凹み８ｄ内の液体潤滑剤８ｂ
（偏在オイル）が、潤滑保護層８表面に滲み出て偏在
し、潤滑保護層８表面の全面を覆うようにした後、潤滑
保護層８表面の液体潤滑剤８ｂの上に液体潤滑剤８ｅ
（オイル）を追加塗布する。Embodiment 3 FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining a method of forming a lubricating protective layer according to Embodiment 3 of the method for manufacturing an optical recording medium according to the second invention. The film configuration of the optical recording medium manufactured according to the present embodiment is the same as the cross-sectional schematic diagram (FIG. 5) showing the film configuration of the optical recording medium manufactured according to the above-described second embodiment, and the description is omitted. . The method for forming the lubricating protective layer 8 of the optical recording medium is substantially the same as the method for forming the lubricating protective layer of the second embodiment described above (FIG. 6).
A recess 8d (dimple) having a diameter and a depth of 100 nm is formed, and the liquid lubricant 8b in the recess 8d is formed.
(Unevenly distributed oil) oozes out on the surface of the lubrication protection layer 8 and is unevenly distributed to cover the entire surface of the lubrication protection layer 8, and then the liquid lubricant 8 e is put on the liquid lubricant 8 b on the surface of the lubrication protection layer 8.
(Oil) is additionally applied.
【００３４】これにより、潤滑保護層８表面に、スライ
ダが潤滑保護層８に吸着することを防止するテクスチャ
を形成すると共に、液体潤滑剤８ｂ，８ｅが潤滑保護層
８表面を均一に覆うことが出来る。また、凹み８ｄを、
液体潤滑剤８ｂ，８ｅを保持する為の穴としても利用出
来る。凹み８ｄの直径及び深さが略１０ｎｍより小さい
場合、表面粗さが小さ過ぎ、スライダの吸着が生じ、ス
ライダの浮上安定性及び走行（摺動）安定性が悪化す
る。凹み８ｄの直径及び深さが略１００ｎｍを超える場
合、表面粗さが大き過ぎ、スライダの浮上安定性及び走
行（摺動）安定性が著しく悪化する。Thus, a texture is formed on the surface of the lubrication protection layer 8 to prevent the slider from being attracted to the lubrication protection layer 8, and the liquid lubricants 8b and 8e uniformly cover the surface of the lubrication protection layer 8. I can do it. Also, the recess 8d
It can also be used as a hole for holding the liquid lubricant 8b, 8e. If the diameter and the depth of the recess 8d are smaller than about 10 nm, the surface roughness is too small, and the slider is attracted, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider deteriorate. If the diameter and the depth of the recess 8d exceed approximately 100 nm, the surface roughness is too large, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider are significantly deteriorated.
【００３５】尚、追加塗布する液体潤滑剤８ｅは、その
下地となる潤滑保護層８に含まれる液体潤滑剤８ｂと同
じ系の液体潤滑剤が好ましい。つまり、下地となる潤滑
保護層８にシリコーン系オイルを用いた場合には、追加
塗布する液体潤滑剤８ｅとして、フッ素系オイル又は炭
化水素系オイルよりも、シリコーン系オイルを用いるこ
とが好ましい。本実施の形態により形成された潤滑保護
膜（層）の潤滑耐久性は、その表面の液体潤滑剤がより
潤沢になるので、図３に示したＣＳＳ試験の結果及び図
４に示した摺動試験の結果よりも優れた結果を得ること
が出来る。The liquid lubricant 8e to be additionally applied is preferably a liquid lubricant of the same system as the liquid lubricant 8b contained in the lubricating protection layer 8 as the base. That is, when a silicone-based oil is used for the lubrication protective layer 8 serving as the base, it is preferable to use a silicone-based oil as the liquid lubricant 8e to be additionally applied, rather than a fluorine-based oil or a hydrocarbon-based oil. The lubricating durability of the lubricating protective film (layer) formed according to the present embodiment is more abundant with the liquid lubricant on the surface, and thus the results of the CSS test shown in FIG. 3 and the sliding shown in FIG. Excellent results can be obtained compared to the test results.
【００３６】実施の形態４．図８は、第２発明に係る光
記録媒体の製造方法の実施の形態４の、潤滑保護層の形
成方法を説明する為の説明図である。本実施の形態によ
り製造された光記録媒体の膜構成は、上述した実施の形
態２により製造された光記録媒体の膜構成を示す断面概
略図（図５）と同様であり、説明を省略する。この光記
録媒体の潤滑保護層８の形成方法は、上述した実施の形
態２の潤滑保護層の形成方法（図６）と同様の手順によ
り、硬化した紫外線硬化樹脂８ｃの表面に略１０ｎｍ〜
１００ｎｍの直径及び深さを有する凹み８ｄ（ディンプ
ル）を形成すると共に、凹み８ｄ内の液体潤滑剤８ｂ
（偏在オイル）が、潤滑保護層８表面に滲み出るように
する。次に、滲み出た液体潤滑剤８ｂを洗い流した後、
潤滑保護層８表面に新たに液体潤滑剤８ｆを塗布し、潤
滑保護層８表面に液体潤滑剤８ｆが偏在するようにして
ある。Embodiment 4 FIG. FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining a method of forming a lubrication protective layer in Embodiment 4 of the method for manufacturing an optical recording medium according to the second invention. The film configuration of the optical recording medium manufactured according to the present embodiment is the same as the cross-sectional schematic diagram (FIG. 5) showing the film configuration of the optical recording medium manufactured according to the above-described second embodiment, and the description is omitted. . The method for forming the lubricating protective layer 8 of the optical recording medium is substantially the same as the method for forming the lubricating protective layer of the second embodiment described above (FIG. 6).
A recess 8d (dimple) having a diameter and a depth of 100 nm is formed, and the liquid lubricant 8b in the recess 8d is formed.
(Unevenly distributed oil) is made to ooze onto the surface of the lubrication protection layer 8. Next, after rinsing out the oozing liquid lubricant 8b,
A liquid lubricant 8f is newly applied to the surface of the lubrication protection layer 8, so that the liquid lubricant 8f is unevenly distributed on the surface of the lubrication protection layer 8.
【００３７】これにより、潤滑保護層８表面に、スライ
ダが潤滑保護層８に吸着することを防止するテクスチャ
を形成すると共に、凹み８ｄを、潤滑耐久性に優れた新
たな液体潤滑剤８ｆを保持する為の穴として利用出来
る。凹み８ｄの直径及び深さが略１０ｎｍより小さい場
合、表面粗さが小さ過ぎ、スライダの吸着が生じ、スラ
イダの浮上安定性及び走行（摺動）安定性が悪化する。
凹み８ｄの直径及び深さが略１００ｎｍを超える場合、
表面粗さが大き過ぎ、スライダの浮上安定性及び走行
（摺動）安定性が著しく悪化する。As a result, a texture is formed on the surface of the lubrication protection layer 8 to prevent the slider from adsorbing to the lubrication protection layer 8, and the recess 8d holds a new liquid lubricant 8f having excellent lubrication durability. Can be used as a hole to do. If the diameter and the depth of the recess 8d are smaller than about 10 nm, the surface roughness is too small, and the slider is attracted, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider deteriorate.
When the diameter and the depth of the recess 8d exceed approximately 100 nm,
The surface roughness is too large, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider are significantly deteriorated.
【００３８】尚、液体潤滑剤８ｂを洗い流す洗浄剤とし
ては、液体潤滑剤８ｂがシリコーンオイルである場合に
は、ヘキサン等の炭化水素溶剤、液体潤滑剤８ｂがフッ
素系オイルである場合には、ハイドロフルオロエーテル
又はハイドロフルオロカーボン等のフッ素系溶剤、炭化
水素オイルである場合には、ヘキサン等の炭化水素溶剤
又はアルコール溶剤が好ましい。また、液体潤滑剤８ｂ
を洗い流した後に新たに塗布する液体潤滑剤は、その下
地となる潤滑保護層に含まれる液体潤滑剤と同じ系の液
体潤滑剤が好ましい。本実施の形態により形成された潤
滑保護膜（層）の潤滑耐久性は、その表面の液体潤滑剤
に、潤滑耐久性に優れた液体潤滑剤用いているので、図
３に示したＣＳＳ試験の結果及び図４に示した摺動試験
の結果よりも優れた結果を得ることが出来る。When the liquid lubricant 8b is a silicone oil, the cleaning agent is a hydrocarbon solvent such as hexane. When the liquid lubricant 8b is a fluorine-based oil, the cleaning agent is In the case of a fluorinated solvent such as hydrofluoroether or hydrofluorocarbon, or a hydrocarbon oil, a hydrocarbon solvent such as hexane or an alcohol solvent is preferred. Also, the liquid lubricant 8b
The liquid lubricant to be newly applied after washing away is preferably a liquid lubricant of the same system as the liquid lubricant contained in the underlying lubricating protective layer. The lubrication protection film (layer) formed according to the present embodiment has a lubricating durability which is determined by the CSS test shown in FIG. It is possible to obtain a result superior to the result and the result of the sliding test shown in FIG.
【００３９】実施の形態５．図９は、第３発明に係る光
記録媒体の製造方法の実施の形態５により製造された光
記録媒体の膜構成を示す断面概略図である。この光記録
媒体は、記録層側の表面に潤滑保護層を形成し、光ディ
スク基板側の表面に透光性潤滑保護層を形成した光磁気
ディスクの例であり、スライダに磁気コイルを搭載した
磁気ヘッドが、潤滑保護層側から磁界を加え、スライダ
に光学レンズを搭載した光ヘッドが、光ディスク基板側
から光を入射する。Embodiment 5 FIG. 9 is a schematic sectional view showing a film configuration of an optical recording medium manufactured by Embodiment 5 of the method for manufacturing an optical recording medium according to the third invention. This optical recording medium is an example of a magneto-optical disk in which a lubrication protection layer is formed on the surface on the recording layer side and a light-transmitting lubrication protection layer is formed on the surface on the optical disk substrate side. The head applies a magnetic field from the lubrication protection layer side, and an optical head having an optical lens mounted on the slider receives light from the optical disk substrate side.
【００４０】この光記録媒体である光磁気ディスクは、
例えば、ポリカーボネート樹脂基板、アモルファスポリ
オレフィン樹脂基板、ガラス２Ｐ基板又はガラス基板で
ある光ディスク基板１の一方の面側に、例えば、窒化シ
リコン又は酸化シリコンからなる第１誘電体保護層９
と、例えば、テルビウム−鉄−コバルト又はガドリニウ
ム−鉄−コバルト等からなる磁性単層膜又は磁性多層膜
１０（光磁気記録層）と、例えば、窒化シリコン又は酸
化シリコンからなる第２誘電体保護層１１と、例えば、
純アルミニウム、アルミニウム合金又は金からなる反射
層６と、液体潤滑剤が表面に偏在する潤滑保護層８とを
この順に備えている。潤滑保護層８は、例えば、アクリ
ル樹脂を塗布し硬化させた後に、液体潤滑剤であるフッ
素オイル、シリコーンオイル又は炭化水素オイルを塗布
することにより得ている。The magneto-optical disk, which is an optical recording medium,
For example, a first dielectric protection layer 9 made of, for example, silicon nitride or silicon oxide is provided on one surface side of the optical disc substrate 1 which is a polycarbonate resin substrate, an amorphous polyolefin resin substrate, a glass 2P substrate or a glass substrate.
And a magnetic single-layer film or magnetic multilayer film 10 (magneto-optical recording layer) made of, for example, terbium-iron-cobalt or gadolinium-iron-cobalt, and a second dielectric protection layer made of, for example, silicon nitride or silicon oxide 11 and, for example,
A reflection layer 6 made of pure aluminum, an aluminum alloy or gold, and a lubrication protection layer 8 having a liquid lubricant unevenly distributed on its surface are provided in this order. The lubricating protection layer 8 is obtained by, for example, applying and curing an acrylic resin, and then applying a liquid lubricant such as fluorine oil, silicone oil or hydrocarbon oil.
【００４１】また、この光磁気ディスクは、光ディスク
基板１の他方の面である光入射側表面に形成された透光
性潤滑保護層２を備えている。透光性潤滑保護層２は、
例えば、入射光に対して光学的に透明なアクリル樹脂
に、入射光に対して光学的に透明な液体潤滑剤であるフ
ッ素オイル、シリコーンオイル又は炭化水素オイルを混
練した混合樹脂を塗布し硬化させることにより得てお
り、液体潤滑剤が表面に偏在するようにしてある。This magneto-optical disk also has a light-transmitting lubricating protective layer 2 formed on the other surface of the optical disk substrate 1 on the light incident side. The light-transmitting lubricating protective layer 2
For example, an acrylic resin that is optically transparent to incident light, a mixed resin obtained by kneading a fluorine oil, silicone oil, or hydrocarbon oil, which is a liquid lubricant optically transparent to incident light, is applied and cured. The liquid lubricant is unevenly distributed on the surface.
【００４２】このような構成の光磁気ディスクを光磁気
記録再生装置に装着した場合、図９に示すように、光磁
気ディスクの潤滑保護層８側に磁気ヘッド１２が配さ
れ、透光性潤滑保護層２側に光ヘッド１５が配される。
磁気ヘッド１２は、サスペンションであるアーム１８ａ
に支持された浮上スライダ型の構造を有しており、例え
ば、液晶ポリマを主成分とするポリマ材からなるスライ
ダ１７ａに磁気コイルを搭載した構造、又はチタン酸カ
ルシウム、酸化アルミニウム−炭化チタン等のセラミッ
クからなるスライダ１７ａに磁気コイルを搭載した構造
を有している。When a magneto-optical disk having such a configuration is mounted on a magneto-optical recording / reproducing apparatus, as shown in FIG. 9, a magnetic head 12 is arranged on the lubrication protective layer 8 side of the magneto-optical disk, and The optical head 15 is provided on the protective layer 2 side.
The magnetic head 12 includes an arm 18a serving as a suspension.
A slider 17a made of a polymer material mainly composed of a liquid crystal polymer and a magnetic coil mounted on the slider 17a, or a material such as calcium titanate or aluminum oxide-titanium carbide. It has a structure in which a magnetic coil is mounted on a slider 17a made of ceramic.
【００４３】光ヘッド１５は、サスペンションであるア
ーム１８に支持された浮上スライダ型の構造を有してお
り、例えば、液晶ポリマを主成分とするポリマ材からな
るスライダ１７に光学レンズを搭載した構造、又はチタ
ン酸カルシウム、酸化アルミニウム−炭化チタン等のセ
ラミックからなるスライダ１７に光学レンズを搭載した
構造を有している。The optical head 15 has a flying slider type structure supported by an arm 18 as a suspension. For example, the optical head 15 has a structure in which an optical lens is mounted on a slider 17 made of a polymer material mainly composed of a liquid crystal polymer. Or a slider 17 made of ceramic such as calcium titanate, aluminum oxide-titanium carbide, etc., having an optical lens mounted thereon.
【００４４】図１０は、実施の形態５の光記録媒体の製
造方法の、図９に示した潤滑保護層８の形成方法を説明
する為の説明図である。紫外線硬化樹脂８ｇ（光硬化樹
脂）を、下地である反射層６上に塗布する。その後、時
間を調整し、紫外線照射により紫外線硬化樹脂８ｇを半
硬化又は完全硬化させる。次に、（ａ）に示すように、
半硬化又は完全硬化させた紫外線硬化樹脂８ｇの表面
に、略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直径及び高さを有する錐
状突起物が多数形成された平板２１を押し当てた（スタ
ンプした）後、（ｂ）に示すように、平板２１を引き離
し、半硬化の場合は完全硬化させる。FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining a method of forming the lubricating protective layer 8 shown in FIG. 9 in the method of manufacturing the optical recording medium according to the fifth embodiment. 8 g of an ultraviolet curable resin (photocurable resin) is applied on the reflective layer 6 as a base. Thereafter, the time is adjusted, and the ultraviolet curable resin 8g is semi-cured or completely cured by ultraviolet irradiation. Next, as shown in (a),
After pressing (stamping) a flat plate 21 on which a large number of cone-shaped protrusions having a diameter and a height of approximately 10 nm to 100 nm are formed on the surface of 8 g of the semi-cured or completely cured ultraviolet curable resin, (b) As shown in (2), the flat plate 21 is separated, and in the case of semi-curing, it is completely cured.
【００４５】この状態では、紫外線硬化樹脂８ｈの表面
に略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直径及び深さを有する凹み
８ｎ（ディンプル）が多数形成されている。次に、
（ｃ）に示すように、硬化した紫外線硬化樹脂８ｈの表
面に、潤滑耐久性に優れた新たな液体潤滑剤８ｉを塗布
し、液体潤滑剤８ｉが、紫外線硬化樹脂８ｈの表面に偏
在し、潤滑保護層８表面の全面を覆うようにしてある。In this state, a large number of depressions 8n (dimples) having a diameter and a depth of approximately 10 nm to 100 nm are formed on the surface of the ultraviolet curable resin 8h. next,
As shown in (c), a new liquid lubricant 8i having excellent lubrication durability is applied to the surface of the cured ultraviolet curing resin 8h, and the liquid lubricant 8i is unevenly distributed on the surface of the ultraviolet curing resin 8h, The entire surface of the lubrication protection layer 8 is covered.
【００４６】これにより、潤滑保護層８表面に、スライ
ダが潤滑保護層８に吸着することを防止するテクスチャ
を形成すると共に、液体潤滑剤８ｉが潤滑保護層８表面
を均一に覆うことが出来る。また、凹み８ｎを、潤滑耐
久性に優れた新たな液体潤滑剤８ｉを保持する為の穴と
して利用出来る。凹み８ｎの直径及び深さが略１０ｎｍ
より小さい場合、表面粗さが小さ過ぎ、スライダの吸着
が生じ、スライダの浮上安定性及び走行（摺動）安定性
が悪化する。凹み８ｎの直径及び深さが略１００ｎｍを
超える場合、表面粗さが大き過ぎ、スライダの浮上安定
性及び走行（摺動）安定性が著しく悪化する。尚、塗布
する液体潤滑剤８ｉとしては、上述したように、フッ素
オイル、炭化水素オイル又はシリコーン系オイル又を用
いることが好ましい。本実施の形態により形成された潤
滑保護膜（層）の潤滑耐久性は、図３に示したＣＳＳ試
験の結果及び図４に示した摺動試験の結果と同様であ
る。Thus, a texture is formed on the surface of the lubrication protection layer 8 to prevent the slider from being attracted to the lubrication protection layer 8, and the liquid lubricant 8i can uniformly cover the surface of the lubrication protection layer 8. The recess 8n can be used as a hole for holding a new liquid lubricant 8i having excellent lubrication durability. The diameter and depth of the recess 8n is approximately 10 nm
If it is smaller, the surface roughness is too small, and the slider is attracted, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider deteriorate. If the diameter and the depth of the recess 8n exceed about 100 nm, the surface roughness is too large, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider are significantly deteriorated. As described above, it is preferable to use a fluorine oil, a hydrocarbon oil, a silicone oil or the like as the liquid lubricant 8i to be applied. The lubrication durability of the lubrication protective film (layer) formed according to the present embodiment is the same as the result of the CSS test shown in FIG. 3 and the result of the sliding test shown in FIG.
【００４７】図１１は、実施の形態５の光記録媒体の製
造方法の、図９に示した透光性潤滑保護層２の形成方法
を説明する為の説明図である。紫外線硬化樹脂（光硬化
樹脂）と液体潤滑剤とを混合し、ワニス状にした混合樹
脂を、（ａ）に示すように、下地である光ディスク基板
１上に塗布する。次に、時間又は光量を調整し、紫外線
照射により紫外線硬化樹脂２ｊを半硬化又は完全硬化さ
せる。次に、半硬化又は完全硬化させた紫外線硬化樹脂
２ｊの表面に、略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直径及び高さ
を有する錐状突起物が多数形成された平板２１を押し当
てた（スタンプした）後、（ｂ）に示すように、平板２
１を引き離し、半硬化の場合は完全硬化させる。FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining a method of forming the light-transmitting lubricating protective layer 2 shown in FIG. 9 in the method of manufacturing the optical recording medium according to the fifth embodiment. A UV-curable resin (photo-curable resin) and a liquid lubricant are mixed to form a varnish-shaped mixed resin, as shown in FIG. Next, the time or light amount is adjusted, and the ultraviolet curable resin 2j is semi-cured or completely cured by ultraviolet irradiation. Next, a flat plate 21 having a large number of conical protrusions having a diameter and a height of approximately 10 nm to 100 nm is pressed (stamped) on the surface of the semi-cured or completely cured ultraviolet curable resin 2j. As shown in FIG.
1 is separated, and if it is semi-cured, it is completely cured.
【００４８】この状態では、紫外線硬化樹脂２ｋの表面
に略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直径及び深さを有する凹み
２ｐ（ディンプル）が多数形成され、また、実施の形態
１において説明したように、紫外線硬化樹脂２ｊの硬化
に伴って遊離された液体潤滑剤が、紫外線硬化樹脂２ｋ
の表層部に偏在している。In this state, a large number of depressions 2p (dimples) having a diameter and a depth of about 10 nm to 100 nm are formed on the surface of the ultraviolet-curable resin 2k, and as described in the first embodiment, The liquid lubricant released with the curing of 2j is an ultraviolet curable resin 2k
Are unevenly distributed on the surface layer.
【００４９】これにより、潤滑保護層２表面に、スライ
ダが潤滑保護層２に吸着することを防止するテクスチャ
を形成すると共に、液体潤滑剤が潤滑保護層２表面を均
一に覆うことが出来る。また、凹み２ｐを、液体潤滑剤
を保持する為の穴として利用出来る。凹み２ｐの直径及
び深さが略１０ｎｍより小さい場合、表面粗さが小さ過
ぎ、スライダの吸着が生じ、スライダの浮上安定性及び
走行（摺動）安定性が悪化する。凹み２ｐの直径及び深
さが略１００ｎｍを超える場合、表面粗さが大き過ぎ、
スライダの浮上安定性及び走行（摺動）安定性が著しく
悪化する。Thus, a texture is formed on the surface of the lubrication protection layer 2 to prevent the slider from being attracted to the lubrication protection layer 2, and the liquid lubricant can uniformly cover the surface of the lubrication protection layer 2. Further, the recess 2p can be used as a hole for holding the liquid lubricant. If the diameter and the depth of the recess 2p are smaller than about 10 nm, the surface roughness is too small, the slider is attracted, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider deteriorate. When the diameter and depth of the dent 2p exceed about 100 nm, the surface roughness is too large,
The flying stability and running (sliding) stability of the slider are significantly deteriorated.
【００５０】尚、紫外線硬化樹脂２ｊとの混練に用いる
液体潤滑剤としては、ジメチル変性物、メチルフェニル
変性物、メチルスチリル変性物、アルキル変性物、フッ
素変性物、エーテル変性物、エステル変性物、アルコー
ル変性物又はカルボキシル変性物が好ましい。液体潤滑
剤の混練量は、略１〜１０重量％が好ましい。本実施の
形態により形成された透光性潤滑保護膜（層）の潤滑耐
久性は、図３に示したＣＳＳ試験の結果及び図４に示し
た摺動試験の結果と同様である。The liquid lubricant used for kneading with the ultraviolet curable resin 2j includes dimethyl-modified, methylphenyl-modified, methylstyryl-modified, alkyl-modified, fluorine-modified, ether-modified, ester-modified, and the like. Alcohol-modified or carboxyl-modified products are preferred. The kneading amount of the liquid lubricant is preferably about 1 to 10% by weight. The lubrication durability of the light-transmitting lubricating protective film (layer) formed according to the present embodiment is the same as the result of the CSS test shown in FIG. 3 and the result of the sliding test shown in FIG.
【００５１】実施の形態６．図１２は、第３発明に係る
光記録媒体の製造方法の実施の形態６の、潤滑保護層の
形成方法を説明する為の説明図である。本実施の形態に
より製造された光記録媒体の膜構成は、上述した実施の
形態５により製造された光記録媒体の膜構成を示す断面
概略図（図９）と同様であり、説明を省略する。紫外線
硬化樹脂（光硬化樹脂）と液体潤滑剤とを混合し、ワニ
ス状にした混合樹脂を、（ａ）に示すように、下地であ
る反射層６上に塗布する。次に、時間又は光量を調整
し、紫外線照射により紫外線硬化樹脂８ｊを半硬化又は
完全硬化させる。次に、半硬化又は完全硬化させた紫外
線硬化樹脂８ｊの表面に、略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直
径及び高さを有する錐状突起物が多数形成された平板２
１を押し当てた（スタンプした）後、（ｂ）に示すよう
に、平板２１を引き離し、半硬化の場合は完全硬化させ
る。Embodiment 6 FIG. FIG. 12 is an explanatory diagram for describing a method of forming a lubrication protective layer according to the sixth embodiment of the method for manufacturing an optical recording medium according to the third invention. The film configuration of the optical recording medium manufactured according to the present embodiment is the same as the cross-sectional schematic diagram (FIG. 9) showing the film configuration of the optical recording medium manufactured according to the above-described fifth embodiment, and the description is omitted. . A UV-curable resin (photo-curable resin) and a liquid lubricant are mixed to form a varnish-shaped mixed resin, as shown in FIG. Next, the time or light amount is adjusted, and the ultraviolet curable resin 8j is semi-cured or completely cured by ultraviolet irradiation. Next, a flat plate 2 on which a large number of conical protrusions having a diameter and a height of approximately 10 nm to 100 nm are formed on the surface of a semi-cured or fully cured ultraviolet curable resin 8j.
After pressing (stamping) 1, the flat plate 21 is separated as shown in (b), and is completely cured in the case of semi-curing.
【００５２】この状態では、硬化した紫外線硬化樹脂８
ｈの表面に略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直径及び深さを有
する凹み８ｎ（ディンプル）が多数形成され、また、実
施の形態１において説明したように、紫外線硬化樹脂８
ｊの硬化に伴って遊離された液体潤滑剤が、紫外線硬化
樹脂８ｈの表層部に偏在している。次いで、（ｃ）に示
すように、潤滑保護層８表面の液体潤滑剤の上に液体潤
滑剤８ｍ（オイル）を追加塗布する。In this state, the cured ultraviolet curable resin 8
h, a large number of recesses 8n (dimples) having a diameter and a depth of approximately 10 nm to 100 nm are formed on the surface of the ultraviolet-curable resin 8 as described in the first embodiment.
The liquid lubricant released with the curing of j is unevenly distributed on the surface layer of the ultraviolet curable resin 8h. Next, as shown in (c), a liquid lubricant 8m (oil) is additionally applied on the liquid lubricant on the surface of the lubricating protection layer 8.
【００５３】これにより、潤滑保護層８表面に、スライ
ダが潤滑保護層８に吸着することを防止するテクスチャ
を形成すると共に、液体潤滑剤８ｍ及び遊離された液体
潤滑剤が潤滑保護層８表面を均一に覆うことが出来る。
また、凹み８ｎを、液体潤滑剤を保持する為の穴として
も利用出来る。凹み８ｎの直径及び深さが略１０ｎｍよ
り小さい場合、表面粗さが小さ過ぎ、スライダの吸着が
生じ、スライダの浮上安定性及び走行（摺動）安定性が
悪化する。凹み８ｎの直径及び深さが略１００ｎｍを超
える場合、表面粗さが大き過ぎ、スライダの浮上安定性
及び走行（摺動）安定性が著しく悪化する。As a result, a texture is formed on the surface of the lubrication protection layer 8 to prevent the slider from being attracted to the lubrication protection layer 8, and the liquid lubricant 8 m and the released liquid lubricant cover the surface of the lubrication protection layer 8. It can be covered evenly.
Also, the recess 8n can be used as a hole for holding the liquid lubricant. When the diameter and the depth of the recess 8n are smaller than about 10 nm, the surface roughness is too small, the slider is attracted, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider deteriorate. If the diameter and the depth of the recess 8n exceed about 100 nm, the surface roughness is too large, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider are significantly deteriorated.
【００５４】尚、追加塗布する液体潤滑剤８ｍは、その
下地となる潤滑保護層８に含まれる液体潤滑剤と同じ系
の液体潤滑剤が好ましい。つまり、下地となる潤滑保護
層８にシリコーン系オイルを用いた場合には、追加塗布
する液体潤滑剤８ｅとして、フッ素系オイル又は炭化水
素系オイルよりも、シリコーン系オイルを用いることが
好ましい。また、紫外線硬化樹脂２ｊとの混練に用いる
液体潤滑剤としては、ジメチル変性物、メチルフェニル
変性物、メチルスチリル変性物、アルキル変性物、フッ
素変性物、エーテル変性物、エステル変性物、アルコー
ル変性物又はカルボキシル変性物が好ましい。液体潤滑
剤の混練量は、略１〜１０重量％が好ましい。本実施の
形態により形成された潤滑保護膜（層）の潤滑耐久性
は、その表面の液体潤滑剤がより潤沢になるので、図３
に示したＣＳＳ試験の結果及び図４に示した摺動試験の
結果よりも優れた結果を得ることが出来る。The liquid lubricant 8m to be additionally applied is preferably a liquid lubricant of the same system as the liquid lubricant contained in the lubricating protective layer 8 as the base. That is, when a silicone-based oil is used for the lubrication protective layer 8 serving as the base, it is preferable to use a silicone-based oil as the liquid lubricant 8e to be additionally applied, rather than a fluorine-based oil or a hydrocarbon-based oil. Examples of the liquid lubricant used for kneading with the ultraviolet curable resin 2j include dimethyl-modified, methylphenyl-modified, methylstyryl-modified, alkyl-modified, fluorine-modified, ether-modified, ester-modified, and alcohol-modified. Alternatively, a carboxyl-modified product is preferable. The kneading amount of the liquid lubricant is preferably about 1 to 10% by weight. The lubrication durability of the lubricating protective film (layer) formed according to the present embodiment is more abundant with the liquid lubricant on its surface.
And the sliding test shown in FIG. 4 can be more excellent than the results of the CSS test shown in FIG.
【００５５】図１３は、第３発明に係る光記録媒体の製
造方法の実施の形態６の、図９に示した透光性潤滑保護
層２の形成方法を説明する為の説明図である。紫外線硬
化樹脂（光硬化樹脂）と液体潤滑剤とを混合し、ワニス
状にした混合樹脂を、（ａ）に示すように、下地である
光ディスク基板１上に塗布する。次に、時間又は光量を
調整し、紫外線照射により紫外線硬化樹脂２ｊを半硬化
又は完全硬化させる。次に、半硬化又は完全硬化させた
紫外線硬化樹脂２ｊの表面に、略１０ｎｍ〜１００ｎｍ
の直径及び高さを有する錐状突起物が多数形成された平
板２１を押し当てた（スタンプした）後、（ｂ）に示す
ように、平板２１を引き離し、半硬化の場合は完全硬化
させる。FIG. 13 is an explanatory diagram for explaining a method of forming the light-transmitting lubricating protective layer 2 shown in FIG. 9 in the sixth embodiment of the method of manufacturing an optical recording medium according to the third invention. A UV-curable resin (photo-curable resin) and a liquid lubricant are mixed to form a varnish-shaped mixed resin, as shown in FIG. Next, the time or light amount is adjusted, and the ultraviolet curable resin 2j is semi-cured or completely cured by ultraviolet irradiation. Next, on the surface of the semi-cured or completely cured ultraviolet curable resin 2j, approximately 10 nm to 100 nm
After pressing (stamping) the flat plate 21 on which a large number of conical projections having a diameter and a height are formed, the flat plate 21 is separated as shown in FIG.
【００５６】この状態では、紫外線硬化樹脂２ｋの表面
に略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直径及び深さを有する凹み
２ｐ（ディンプル）が多数形成され、また、実施の形態
１において説明したように、紫外線硬化樹脂２ｊの硬化
に伴って遊離された液体潤滑剤が、紫外線硬化樹脂２ｋ
の表層部に滲み出て偏在している。次に、滲み出た液体
潤滑剤を洗い流した後、紫外線硬化樹脂２ｋの表面に新
たに液体潤滑剤２ｎを塗布し、透光性潤滑保護層２表面
に液体潤滑剤２ｎが偏在するようにしてある。In this state, a large number of depressions 2p (dimples) having a diameter and a depth of approximately 10 nm to 100 nm are formed on the surface of the ultraviolet-curable resin 2k, and as described in the first embodiment, The liquid lubricant released with the curing of 2j is an ultraviolet curable resin 2k
Oozes out and is unevenly distributed in the surface layer portion of. Next, after the exuded liquid lubricant is washed out, a new liquid lubricant 2n is applied to the surface of the ultraviolet curable resin 2k so that the liquid lubricant 2n is unevenly distributed on the surface of the light-transmitting lubricating protective layer 2. is there.
【００５７】これにより、透光性潤滑保護層２表面に、
スライダが透光性潤滑保護層２に吸着することを防止す
るテクスチャを形成すると共に、凹み２ｐを、潤滑耐久
性に優れた新たな液体潤滑剤２ｎを保持する為の穴とし
て利用出来る。凹み２ｐの直径及び深さが略１０ｎｍよ
り小さい場合、表面粗さが小さ過ぎ、スライダの吸着が
生じ、スライダの浮上安定性及び走行（摺動）安定性が
悪化する。凹み２ｐの直径及び深さが略１００ｎｍを超
える場合、表面粗さが大き過ぎ、スライダの浮上安定性
及び走行（摺動）安定性が著しく悪化する。As a result, the surface of the light-transmitting lubricating protective layer 2
A texture for preventing the slider from adsorbing to the light-transmitting lubricating protective layer 2 is formed, and the recess 2p can be used as a hole for holding a new liquid lubricant 2n having excellent lubrication durability. If the diameter and the depth of the recess 2p are smaller than about 10 nm, the surface roughness is too small, the slider is attracted, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider deteriorate. When the diameter and the depth of the recess 2p exceed about 100 nm, the surface roughness is too large, and the flying stability and running (sliding) stability of the slider are significantly deteriorated.
【００５８】尚、滲み出た液体潤滑剤を洗い流す洗浄剤
としては、液体潤滑剤がシリコーン系オイルである場合
には、ヘキサン等の炭化水素溶剤、液体潤滑剤がフッ素
系オイルである場合には、ハイドロフルオロエーテル又
はハイドロフルオロカーボン等のフッ素系溶剤、液体潤
滑剤が炭化水素オイルである場合には、ヘキサン等の炭
化水素溶剤又はアルコール溶剤が好ましい。また、液体
潤滑剤を洗い流した後に新たに塗布する液体潤滑剤は、
その下地となる透光性潤滑保護層に含まれる液体潤滑剤
と同じ系の液体潤滑剤が好ましい。When the liquid lubricant is a silicone-based oil, the detergent is a hydrocarbon solvent such as hexane, and when the liquid lubricant is a fluorine-based oil. When the fluorinated solvent such as hydrofluoroether or hydrofluorocarbon or the liquid lubricant is a hydrocarbon oil, a hydrocarbon solvent such as hexane or an alcohol solvent is preferred. In addition, the liquid lubricant newly applied after washing away the liquid lubricant is
A liquid lubricant of the same system as the liquid lubricant contained in the light-transmitting lubricating protective layer serving as the base is preferable.
【００５９】また、紫外線硬化樹脂２ｊとの混練に用い
る液体潤滑剤としては、ジメチル変性物、メチルフェニ
ル変性物、メチルスチリル変性物、アルキル変性物、フ
ッ素変性物、エーテル変性物、エステル変性物、アルコ
ール変性物又はカルボキシル変性物が好ましい。液体潤
滑剤の混練量は、略１〜１０重量％が好ましい。本実施
の形態により形成された透光性潤滑保護膜（層）の潤滑
耐久性は、その表面の液体潤滑剤に、潤滑耐久性に優れ
た液体潤滑剤を用いているので、図３に示したＣＳＳ試
験の結果及び図４に示した摺動試験の結果よりも優れた
結果を得ることが出来る。尚、実施の形態５，６におけ
る潤滑保護層８及び透光性潤滑保護層２のそれぞれの形
成方法は、実施の形態５，６において説明した４つの形
成方法の何れであっても良い。The liquid lubricant used for kneading with the ultraviolet curable resin 2j includes dimethyl-modified, methylphenyl-modified, methylstyryl-modified, alkyl-modified, fluorine-modified, ether-modified, ester-modified, and the like. Alcohol-modified or carboxyl-modified products are preferred. The kneading amount of the liquid lubricant is preferably about 1 to 10% by weight. The lubrication durability of the light-transmitting lubricating protective film (layer) formed according to the present embodiment is shown in FIG. 3 because a liquid lubricant having excellent lubrication durability is used for the liquid lubricant on the surface. It is possible to obtain better results than the results of the CSS test and the sliding test shown in FIG. The method of forming the lubrication protection layer 8 and the light-transmitting lubrication protection layer 2 in the fifth and sixth embodiments may be any of the four formation methods described in the fifth and sixth embodiments.
【００６０】実施の形態７．図１４は、第４発明に係る
光記録媒体の実施の形態７の膜構成を示す断面概略図で
ある。この光記録媒体は、記録層側表面に、入射光に対
して光学的に透明な無機物からなる潤滑保護層を形成し
た光磁気ディスクの例であり、スライダに磁気コイル及
び光学レンズを共に搭載した光磁気ヘッドが、記録層側
から磁界を加え、また光を入射する。Embodiment 7 FIG. FIG. 14 is a schematic sectional view showing a film configuration of an optical recording medium according to Embodiment 7 of the fourth invention. This optical recording medium is an example of a magneto-optical disk in which a lubricating protective layer made of an inorganic material that is optically transparent to incident light is formed on the recording layer side surface, and a magnetic coil and an optical lens are both mounted on a slider. A magneto-optical head applies a magnetic field from the recording layer side and makes light incident.
【００６１】この光記録媒体である光磁気ディスクは、
例えば、ポリカーボネート樹脂基板、アモルファスポリ
オレフィン樹脂基板、エポキシ樹脂基板、ガラス２Ｐ基
板又はガラス基板である光ディスク基板１３の一方の面
側に、例えば、純アルミニウム、アルミニウム合金又は
金からなる反射層６と、例えば、窒化シリコン又は酸化
シリコンからなる第２誘電体保護層１１と、例えば、テ
ルビウム−鉄−コバルト又はガドリニウム−鉄−コバル
ト等からなる磁性単層膜又は磁性多層膜である光磁気記
録層１０と、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、酸
化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ジルコニウ
ム、ダイヤモンドライクカーボン、又はこれらの無機物
膜上にカーボン膜を重ねた積層膜からなる第１誘電体保
護層９と、第１誘電体保護層９の表面がフッ素化された
透光性無機物潤滑保護層１４とをこの順に備えている。The magneto-optical disk, which is the optical recording medium,
For example, a reflection layer 6 made of, for example, pure aluminum, an aluminum alloy, or gold is provided on one surface side of an optical disc substrate 13 which is a polycarbonate resin substrate, an amorphous polyolefin resin substrate, an epoxy resin substrate, a glass 2P substrate, or a glass substrate. A second dielectric protection layer 11 made of silicon nitride or silicon oxide, and a magneto-optical recording layer 10 which is a magnetic single-layer film or a magnetic multilayer film made of, for example, terbium-iron-cobalt or gadolinium-iron-cobalt; For example, a first dielectric protection layer 9 made of silicon oxide, silicon nitride, aluminum oxide, aluminum nitride, zirconium oxide, diamond-like carbon, or a stacked film in which a carbon film is stacked on an inorganic film, and a first dielectric material Fluorinated translucent inorganic material lubricated on the surface of the protective layer 9 And a layer 14 in this order.
【００６２】このような構成の光磁気ディスクを記録再
生装置に装着した場合、図１４に示すように、光磁気デ
ィスクの透光性（無機物）潤滑保護層１４側に光磁気ヘ
ッド１５が配される。光磁気ヘッド１５は、サスペンシ
ョンであるアーム１８に支持された浮上スライダ型の構
造を有しており、例えば、液晶ポリマを主成分とするポ
リマ材からなるスライダ１７に光学レンズ１６及び磁気
コイル（図示せず）を共に搭載した構造を有している。When a magneto-optical disk having such a configuration is mounted on a recording / reproducing apparatus, as shown in FIG. 14, a magneto-optical head 15 is disposed on the light-transmitting (inorganic) lubrication protective layer 14 side of the magneto-optical disk. You. The magneto-optical head 15 has a flying slider type structure supported by an arm 18 serving as a suspension. For example, a slider 17 made of a polymer material mainly composed of a liquid crystal polymer is provided with an optical lens 16 and a magnetic coil (see FIG. (Not shown).
【００６３】図１５は、図１４に示した透光性（無機
物）潤滑保護層１４の形成方法を説明する為の説明図で
ある。図１５に示すように、入射光に対して光学的に透
明な第１誘電体保護層９を、四フッ化炭素ガスに代表さ
れるフッ素ガスのプラズマ中に暴露することにより、第
１誘電体保護層９の表面をフッ素化させる。FIG. 15 is an explanatory diagram for explaining a method of forming the light-transmissive (inorganic) lubricating protective layer 14 shown in FIG. As shown in FIG. 15, the first dielectric protection layer 9 which is optically transparent to incident light is exposed to a plasma of fluorine gas typified by carbon tetrafluoride gas to form a first dielectric protection layer 9. The surface of the protective layer 9 is fluorinated.
【００６４】また、別の方法では、図１５に示すよう
に、入射光に対して光学的に透明な第１誘電体保護層９
上にハイドロフルオロカーボン、ハイドロフルオロエー
テルに代表されるフッ素溶媒又はフッ素オイルを塗布す
る。次いで、光磁気ディスクを、酸素ガスのプラズマ中
に暴露することにより、第１誘電体保護層９の表面をフ
ッ素化させる。又は、光磁気ディスクを、大気中で加熱
することにより、第１誘電体保護層９の表面をフッ素化
させる。In another method, as shown in FIG. 15, the first dielectric protection layer 9 which is optically transparent to incident light.
A fluorine solvent or a fluorine oil typified by hydrofluorocarbon or hydrofluoroether is applied thereon. Next, the surface of the first dielectric protection layer 9 is fluorinated by exposing the magneto-optical disk to oxygen gas plasma. Alternatively, the surface of the first dielectric protection layer 9 is fluorinated by heating the magneto-optical disk in the air.
【００６５】本実施の形態による光磁気ディスクの透光
性（無機物）潤滑保護層１４の潤滑耐久性は、図３に示
したＣＳＳ試験及び図４に示した摺動試験の結果と同様
である。但し、実施の形態８又は９で提案したヘッド装
置を用いた場合は、前記結果よりも優れた潤滑耐久性を
得ることが出来る。The lubrication durability of the translucent (inorganic) lubrication protective layer 14 of the magneto-optical disk according to the present embodiment is the same as the result of the CSS test shown in FIG. 3 and the result of the sliding test shown in FIG. . However, when the head device proposed in the eighth or ninth embodiment is used, lubrication durability superior to the above results can be obtained.
【００６６】実施の形態８．図１６は、第５発明に係る
ヘッド装置の実施の形態８の構成を示す側面図（ａ）及
び下方からの平面図（ｂ）である。このヘッド装置は、
サスペンションであるアーム１８に支持された浮上又は
摺動スライダ型の構造を有しており、例えば、液晶ポリ
マを主成分とするポリマ材、又はチタン酸カルシウム、
酸化アルミニウム−炭化チタン等のセラミックからなる
スライダ１７に、光学レンズ及び磁気コイル（図示せ
ず）を共に搭載した構造であり、スライダ１７の底部
（光磁気ディスクに対向する面）には、ポリイミド樹脂
又は少なくともフッ素を含む樹脂からなる複数の微細な
突起１９（バンプ）を、（ｂ）に示すように、分散させ
て有している。Embodiment 8 FIG. FIG. 16 is a side view (a) and a plan view from below (b) showing the configuration of a head device according to an eighth embodiment of the fifth invention. This head device
It has a floating or sliding slider type structure supported by an arm 18 serving as a suspension. For example, a polymer material mainly composed of a liquid crystal polymer, or calcium titanate,
An optical lens and a magnetic coil (not shown) are both mounted on a slider 17 made of ceramics such as aluminum oxide-titanium carbide. A polyimide resin is provided on the bottom of the slider 17 (the surface facing the magneto-optical disk). Alternatively, a plurality of fine projections 19 (bumps) made of a resin containing at least fluorine are dispersed and provided as shown in FIG.
【００６７】突起１９は、ポリテトラフルオロエチレン
及びフッ素化アクリル樹脂に代表されるフッ素樹脂、又
はポリイミド樹脂を用いて、高さが略１０μｍ以下の突
起物を、スライダ１７の底部（光磁気ディスクに対向す
る面）に形成したものである。この突起１９により、ス
ライダ１７と光ディスクの保護膜（層）との接触（摺
接）部位の表面エネルギーが低下するので、摩擦力が低
下し、良好な潤滑性を得ることが出来ると共に、耐摩耗
性及び耐擦傷性を高めることが出来る。また、この突起
１９により、図１７に示すように、スライダ１７の底部
と光ディスクの保護膜との距離Ｌを一定に保つことが可
能となり、ヘッド装置は、近接場領域での光照射が可能
となる、又は、光スポット径を一定に保つことが可能と
なる。The protrusion 19 is made of a fluororesin typified by polytetrafluoroethylene and a fluorinated acrylic resin, or a polyimide resin. (Opposing surfaces). The projections 19 reduce the surface energy of the contact (sliding contact) portion between the slider 17 and the protective film (layer) of the optical disk, so that the frictional force is reduced, good lubricity can be obtained, and abrasion resistance can be obtained. Properties and abrasion resistance can be enhanced. 17, the distance L between the bottom of the slider 17 and the protective film of the optical disk can be kept constant, and the head device can irradiate light in the near-field region. Or the light spot diameter can be kept constant.
【００６８】実施の形態９．図１８は、第５発明に係る
ヘッド装置の実施の形態９の構成を示す側面図（ａ）及
び下方からの平面図（ｂ）である。このヘッド装置は、
サスペンションであるアーム１８に支持された浮上又は
摺動スライダ型の構造を有しており、例えば、液晶ポリ
マを主成分とするポリマ材、又はチタン酸カルシウム、
酸化アルミニウム−炭化チタン等のセラミックからなる
スライダ１７に、光学レンズ及び磁気コイル（図示せ
ず）を共に搭載した構造であり、スライダ１７の底部
（光磁気ディスクに対向する面）は、ポリイミド樹脂又
は少なくともフッ素を含む樹脂からなる膜２０により被
覆されている。Embodiment 9 18A and 18B are a side view and a plan view from below showing a configuration of a ninth embodiment of a head device according to the fifth invention. This head device
It has a floating or sliding slider type structure supported by an arm 18 serving as a suspension. For example, a polymer material mainly composed of a liquid crystal polymer, or calcium titanate,
An optical lens and a magnetic coil (not shown) are both mounted on a slider 17 made of ceramic such as aluminum oxide-titanium carbide. The bottom of the slider 17 (the surface facing the magneto-optical disk) is made of polyimide resin or It is covered with a film 20 made of a resin containing at least fluorine.
【００６９】膜２０は、フッ素溶剤等に可溶なフッ素樹
脂をフッ素溶剤等に溶解させ、スライダ１７の底部（光
磁気ディスクに対向する面）に塗布し加熱して形成す
る。また、別の方法では、ポリイミド（ワニス状）を塗
布し加熱することにより、少なくともスライダ１７の底
部に、フッ素樹脂又はポリイミド樹脂の膜２０を形成す
る。この膜２０により、スライダ１７と光ディスクの保
護膜（層）との接触（摺接）部位の表面エネルギーが低
下するので、摩擦力が低下し、良好な潤滑性を得ること
が出来ると共に、耐摩耗性及び耐擦傷性を高めることが
出来る。The film 20 is formed by dissolving a fluorine resin soluble in a fluorine solvent or the like in a fluorine solvent or the like, applying the solution on the bottom of the slider 17 (the surface facing the magneto-optical disk) and heating. In another method, a film of fluororesin or polyimide resin is formed at least on the bottom of the slider 17 by applying and heating polyimide (varnish). The film 20 reduces the surface energy of the contact (sliding contact) portion between the slider 17 and the protective film (layer) of the optical disk, so that the frictional force is reduced, good lubricity can be obtained, and abrasion resistance can be obtained. Properties and abrasion resistance can be enhanced.
【００７０】[0070]
【発明の効果】第１発明に係る光記録媒体の製造方法に
よれば、混合樹脂の表面及び表面付近に液体潤滑剤を多
く存在させることが出来、保護層表面の潤滑耐久性に優
れた光記録媒体を製造することが出来る。According to the method for manufacturing an optical recording medium according to the first invention, a large amount of liquid lubricant can be present on the surface and near the surface of the mixed resin, and the light having excellent lubrication durability on the surface of the protective layer can be obtained. A recording medium can be manufactured.
【００７１】第２発明に係る光記録媒体の製造方法によ
れば、光硬化樹脂の表面に液体潤滑剤を多く存在させる
ことが出来、保護層表面の潤滑耐久性に優れた光記録媒
体を製造することが出来る。According to the method for manufacturing an optical recording medium according to the second invention, a large amount of liquid lubricant can be present on the surface of the photocurable resin, and an optical recording medium having excellent lubrication durability on the surface of the protective layer can be manufactured. You can do it.
【００７２】第３発明に係る光記録媒体の製造方法によ
れば、光硬化樹脂の表面に液体潤滑剤を多く存在させる
ことが出来、保護層表面の潤滑耐久性に優れた光記録媒
体を製造することが出来る。According to the method for manufacturing an optical recording medium according to the third invention, a large amount of liquid lubricant can be present on the surface of the photocurable resin, and an optical recording medium having excellent lubrication durability on the surface of the protective layer can be manufactured. You can do it.
【００７３】第４発明に係る光記録媒体によれば、保護
層表面の潤滑耐久性に優れている。According to the optical recording medium of the fourth invention, the lubrication durability of the surface of the protective layer is excellent.
【００７４】第５発明に係るヘッド装置によれば、光記
録媒体表面との摩擦抵抗を低減させ、光記録媒体の保護
層表面における潤滑耐久性を向上させる。According to the head device of the fifth aspect, the frictional resistance with the optical recording medium surface is reduced, and the lubrication durability on the protective layer surface of the optical recording medium is improved.
【図１】第１発明に係る光記録媒体の製造方法の実施の
形態１により製造された光記録媒体の膜構成を示す断面
概略図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing a film configuration of an optical recording medium manufactured according to a first embodiment of a method for manufacturing an optical recording medium according to a first invention.
【図２】実施の形態１の光記録媒体の製造方法の、図１
に示した透光性潤滑保護層の形成方法を説明する為の説
明図である。FIG. 2 shows a method of manufacturing the optical recording medium according to the first embodiment;
FIG. 4 is an explanatory diagram for describing a method of forming the light-transmitting lubricating protective layer shown in FIG.
【図３】従来の潤滑保護膜と、本実施の形態により形成
された潤滑保護膜（層）とのＣＳＳ試験の結果を示すグ
ラフである。FIG. 3 is a graph showing the results of a CSS test of a conventional lubrication protection film and a lubrication protection film (layer) formed according to the present embodiment.
【図４】従来の潤滑保護膜と、本実施の形態により形成
された潤滑保護膜（層）との摺動試験の結果を示すグラ
フである。FIG. 4 is a graph showing the results of a sliding test between a conventional lubricating protective film and a lubricating protective film (layer) formed according to the present embodiment.
【図５】第２発明に係る光記録媒体の製造方法の実施の
形態２により製造された光記録媒体の膜構成を示す断面
概略図である。FIG. 5 is a schematic sectional view showing a film configuration of an optical recording medium manufactured according to a second embodiment of the method for manufacturing an optical recording medium according to the second invention.
【図６】実施の形態２の光記録媒体の製造方法の、図５
に示した潤滑保護層の形成方法を説明する為の説明図で
ある。FIG. 6 is a view showing a method of manufacturing the optical recording medium according to the second embodiment;
FIG. 4 is an explanatory diagram for describing a method of forming a lubrication protection layer shown in FIG.
【図７】第２発明に係る光記録媒体の製造方法の実施の
形態３の、潤滑保護層の形成方法を説明する為の説明図
である。FIG. 7 is an explanatory diagram for describing a method of forming a lubrication protection layer in a third embodiment of the method of manufacturing an optical recording medium according to the second invention.
【図８】第２発明に係る光記録媒体の製造方法の実施の
形態４の、潤滑保護層の形成方法を説明する為の説明図
である。FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining a method for forming a lubrication protective layer in Embodiment 4 of the method for manufacturing an optical recording medium according to the second invention.
【図９】第３発明に係る光記録媒体の製造方法の実施の
形態５により製造された光記録媒体の膜構成を示す断面
概略図である。FIG. 9 is a schematic sectional view showing a film configuration of an optical recording medium manufactured by Embodiment 5 of the method for manufacturing an optical recording medium according to the third invention.
【図１０】実施の形態５の光記録媒体の製造方法の、図
９に示した潤滑保護層の形成方法を説明する為の説明図
である。FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining a method of forming the lubrication protection layer shown in FIG. 9 in the method of manufacturing the optical recording medium according to the fifth embodiment.
【図１１】実施の形態５の光記録媒体の製造方法の、図
９に示した透光性潤滑保護層の形成方法を説明する為の
説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining a method of forming the light-transmitting lubricating protective layer shown in FIG. 9 in the method of manufacturing the optical recording medium according to the fifth embodiment.
【図１２】第３発明に係る光記録媒体の製造方法の実施
の形態６の、潤滑保護層の形成方法を説明する為の説明
図である。FIG. 12 is an explanatory diagram for describing a method of forming a lubricating protective layer according to a sixth embodiment of the method of manufacturing an optical recording medium according to the third invention.
【図１３】第３発明に係る光記録媒体の製造方法の実施
の形態６の、図９に示した透光性潤滑保護層の形成方法
を説明する為の説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram for describing a method of forming the light-transmitting lubricating protective layer shown in FIG. 9 in the sixth embodiment of the method of manufacturing an optical recording medium according to the third invention.
【図１４】第４発明に係る光記録媒体の実施の形態７の
膜構成を示す断面概略図である。FIG. 14 is a schematic sectional view showing a film configuration of an optical recording medium according to a seventh embodiment of the present invention;
【図１５】図１４に示した透光性潤滑保護層の形成方法
を説明する為の説明図である。15 is an explanatory diagram for explaining a method of forming the light-transmitting lubricating protective layer shown in FIG.
【図１６】第５発明に係るヘッド装置の実施の形態８の
構成を示す側面図及び平面図である。FIG. 16 is a side view and a plan view showing a configuration of a head device according to an eighth embodiment of the fifth invention.
【図１７】第５発明に係るヘッド装置の実施の形態８の
動作を説明する為の説明図である。FIG. 17 is an explanatory diagram for explaining an operation of the head device according to the eighth embodiment of the fifth invention;
【図１８】第５発明に係るヘッド装置の実施の形態９の
構成を示す側面図及び平面図である。FIGS. 18A and 18B are a side view and a plan view showing a configuration of a ninth embodiment of a head device according to the fifth invention.
１，１３ 光ディスク基板 ２ 透光性潤滑保護層 ２ｊ，２ｋ，８ａ，８ｇ，８ｈ，８ｊ 紫外線硬化樹脂
（光硬化樹脂） ２ｎ，８ｂ，８ｅ，８ｆ，８ｉ，８ｍ 液体潤滑剤 ２ｐ，８ｎ 凹み ４ 相変化記録層 ６ 反射層 ７ 光ヘッド ８ 潤滑保護層（紫外線硬化樹脂） ９ 第１誘電体保護層 １０ 光磁気記録層 １４ 透光性（無機物）潤滑保護層 １７ スライダ １８ アーム １９ 突起（バンプ） ２１ 平板1, 13 Optical disk substrate 2 Translucent lubricating protective layer 2j, 2k, 8a, 8g, 8h, 8j Ultraviolet curable resin (photocurable resin) 2n, 8b, 8e, 8f, 8i, 8m Liquid lubricant 2p, 8n Concave 4 Phase change recording layer 6 Reflective layer 7 Optical head 8 Lubricating protective layer (ultraviolet curable resin) 9 First dielectric protective layer 10 Magneto-optical recording layer 14 Translucent (inorganic) lubricating protective layer 17 Slider 18 Arm 19 Projection (bump) 21 flat plate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩村 康正 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 5D029 LA13 LA14 LB02 LC21 5D075 EE03 FG04 GG04 GG16 5D119 AA31 BA01 BB05 MA06 5D121 AA04 EE21 EE23 EE28 GG30 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing from the front page (72) Inventor Yasumasa Iwamura 4-1-1, Kamidadanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa F-term in Fujitsu Limited (reference) 5D029 LA13 LA14 LB02 LC21 5D075 EE03 FG04 GG04 GG16 5D119 AA31 BA01 BB05 MA06 5D121 AA04 EE21 EE23 EE28 GG30
Claims (5)
備え、その表裏面の少なくとも１面に潤滑保護層が設け
られた光記録媒体の製造方法において、 前記潤滑保護層の形成は、光硬化樹脂と液体潤滑剤との
混合樹脂を塗布した後、光照射により前記混合樹脂を硬
化させるに際し、前記液体潤滑剤が前記混合樹脂の表面
及び表面付近に偏在すべく硬化させることを特徴とする
光記録媒体の製造方法。1. A method of manufacturing an optical recording medium comprising: a substrate; and a recording layer for recording and holding information, wherein a lubricating protective layer is provided on at least one of the front and back surfaces. After applying the mixed resin of the photocurable resin and the liquid lubricant, when curing the mixed resin by light irradiation, the liquid lubricant is cured so as to be unevenly distributed on the surface and near the surface of the mixed resin. Manufacturing method of an optical recording medium.
備え、その表裏面の少なくとも１面に潤滑保護層が設け
られた光記録媒体の製造方法において、 前記潤滑保護層の形成は、光硬化樹脂と、該光硬化樹脂
と完全には相溶しない液体潤滑剤とを、該液体潤滑剤が
前記光硬化樹脂内で略１０ｎｍ〜１００ｎｍの球状又は
粒状となるように混合し、次いで塗布した後、球状又は
粒状の前記液体潤滑剤を前記光硬化樹脂の表面に浮上さ
せた状態で、光照射により前記光硬化樹脂を硬化させ、
硬化した光硬化樹脂の表面に、略１０ｎｍ〜１００ｎｍ
の直径及び深さを有し液体潤滑剤を保持する為の凹みを
形成することを特徴とする光記録媒体の製造方法。2. A method for manufacturing an optical recording medium comprising: a substrate; and a recording layer for recording and holding information, wherein a lubricating protective layer is provided on at least one of the front and back surfaces. A photocurable resin and a liquid lubricant that is not completely compatible with the photocurable resin are mixed such that the liquid lubricant becomes a spherical or granular shape of about 10 nm to 100 nm in the photocurable resin, and then applied. After that, while the spherical or granular liquid lubricant is floated on the surface of the photocurable resin, the photocurable resin is cured by light irradiation,
Approximately 10 nm to 100 nm on the surface of the cured photocurable resin
Forming a recess having a diameter and a depth for holding a liquid lubricant.
備え、その表裏面の少なくとも１面に潤滑保護層が設け
られた光記録媒体の製造方法において、 前記潤滑保護層の形成は、光硬化樹脂又は光硬化樹脂と
液体潤滑剤との混合樹脂を塗布した後、光照射により前
記光硬化樹脂を半硬化又は硬化させた状態で、略１０ｎ
ｍ〜１００ｎｍの直径及び高さを有する錐状突起物が多
数形成された平板を、前記光硬化樹脂の表面に押し当て
ることにより、前記表面に略１０ｎｍ〜１００ｎｍの直
径及び深さを有し液体潤滑剤を保持する為の凹みを形成
することを特徴とする光記録媒体の製造方法。3. A method for manufacturing an optical recording medium comprising: a substrate; and a recording layer for recording and holding information, wherein a lubricating protective layer is provided on at least one of the front and back surfaces thereof. After applying the photo-curing resin or the mixed resin of the photo-curing resin and the liquid lubricant, approximately 10 n in a state where the photo-curing resin is semi-cured or cured by light irradiation.
By pressing a flat plate on which a number of conical protrusions having a diameter and a height of m to 100 nm are formed against the surface of the photocurable resin, a liquid having a diameter and a depth of approximately 10 nm to 100 nm on the surface is formed. A method for manufacturing an optical recording medium, comprising forming a recess for holding a lubricant.
備え、その表裏面の少なくとも１面に保護層が設けられ
た光記録媒体において、 前記保護層は、酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化
ジルコニウム、窒化シリコン、窒化アルミニウム、カー
ボン及びダイヤモンドライクカーボンの物質群から選択
される少なくとも１つを含む光学的に透明な無機物から
なり、表面をフッ素化してなしてあることを特徴とする
光記録媒体。4. An optical recording medium comprising a substrate and a recording layer for recording and holding information, wherein a protective layer is provided on at least one of the front and back surfaces, wherein the protective layer is made of silicon oxide, aluminum oxide, or oxide. An optical recording medium comprising an optically transparent inorganic substance containing at least one selected from the group consisting of zirconium, silicon nitride, aluminum nitride, carbon, and diamond-like carbon, and having a surface fluorinated. .
スライダを有する光磁気ヘッド、光ヘッド又は磁気ヘッ
ドを備えたヘッド装置において、 前記スライダは、前記光記録媒体に対向すべき部分が、
ポリイミド樹脂又は少なくともフッ素を含む樹脂により
形成してあることを特徴とするヘッド装置。5. A magneto-optical head having a slider that slides or comes close to the surface of an optical recording medium, or a head device including an optical head or a magnetic head, wherein the slider has a portion to be opposed to the optical recording medium. ,
A head device formed of a polyimide resin or a resin containing at least fluorine.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10311457A JP2000149339A (en) | 1998-10-30 | 1998-10-30 | Method of manufacturing optical recording medium, optical recording medium, and head device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10311457A JP2000149339A (en) | 1998-10-30 | 1998-10-30 | Method of manufacturing optical recording medium, optical recording medium, and head device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000149339A true JP2000149339A (en) | 2000-05-30 |
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ID=18017461
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10311457A Withdrawn JP2000149339A (en) | 1998-10-30 | 1998-10-30 | Method of manufacturing optical recording medium, optical recording medium, and head device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000149339A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002156505A (en) * | 2000-11-21 | 2002-05-31 | Dainippon Printing Co Ltd | Film having hard coat layer and method for producing the same |
| US7465482B2 (en) | 2001-10-10 | 2008-12-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Film, packaging material, container, lens, window, spectacles, recording medium, and deposition apparatus |
| CN102019323A (en) * | 2009-09-16 | 2011-04-20 | 日本航空电子工业株式会社 | Stamping tool and treatment method for stamping tool surface |
-
1998
- 1998-10-30 JP JP10311457A patent/JP2000149339A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN102019323A (en) * | 2009-09-16 | 2011-04-20 | 日本航空电子工业株式会社 | Stamping tool and treatment method for stamping tool surface |
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| US9233410B2 (en) | 2009-09-16 | 2016-01-12 | Japan Aviation Electronics Industry, Limited | Treatment method for stamping tool surface |
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