JP2000039566A - 拡大観察装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】観察対象物の光学拡大像を三次元データ化し
て、観察対象物の観察したい領域を任意の視点、視野お
よび角度から立体画像として観察することが可能な拡大
観察装置を提供する。 【解決手段】観察対象物Ｗの光学拡大像を得る光学拡大
手段としての対物レンズ６および顕微鏡鏡筒７と、光学
拡大像を撮像する撮像装置８と、対物レンズ６および顕
微鏡鏡筒７を観察対象物Ｗに対して任意の相対位置に移
動させ位置決めする移動位置決め手段と、移動位置決め
手段を駆動制御し、観察対象物Ｗに対して異なる相対位
置で撮像された複数の画像データから立体的な三次元画
像データを生成する三次元画像データ生成手段、観察対
象物Ｗの三次元画像データに基づく立体画像を任意の視
野、視点および角度で立体的に表示する画像処理／駆動
制御装置３１を有する。
て、観察対象物の観察したい領域を任意の視点、視野お
よび角度から立体画像として観察することが可能な拡大
観察装置を提供する。 【解決手段】観察対象物Ｗの光学拡大像を得る光学拡大
手段としての対物レンズ６および顕微鏡鏡筒７と、光学
拡大像を撮像する撮像装置８と、対物レンズ６および顕
微鏡鏡筒７を観察対象物Ｗに対して任意の相対位置に移
動させ位置決めする移動位置決め手段と、移動位置決め
手段を駆動制御し、観察対象物Ｗに対して異なる相対位
置で撮像された複数の画像データから立体的な三次元画
像データを生成する三次元画像データ生成手段、観察対
象物Ｗの三次元画像データに基づく立体画像を任意の視
野、視点および角度で立体的に表示する画像処理／駆動
制御装置３１を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡等の光学機
器を通じて取得した観察対象物の光学拡大像を立体化し
て表示する拡大観察装置に関する。
器を通じて取得した観察対象物の光学拡大像を立体化し
て表示する拡大観察装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡などの光学機器においては、立体
的な観察対象物の像を観察する場合、被写界深度により
その像の一部がぼやけてしまうことがある。この場合に
は、焦点位置を変化させたり、倍率を変化させるなどし
て、観察したい部分を鮮明にする作業を行なう。
的な観察対象物の像を観察する場合、被写界深度により
その像の一部がぼやけてしまうことがある。この場合に
は、焦点位置を変化させたり、倍率を変化させるなどし
て、観察したい部分を鮮明にする作業を行なう。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいて、特に高倍率の顕微鏡などの光学機器では、被写
界深度がきわめて浅いため、像の鮮明な部分がごくわず
かとなってしまい、観察対象物における被写界深度以上
の深さを有する段差を同時に観察することができない。
たとえば、半導体装置における配線パターン等の段差を
有する観察対象物では、段差の高部と低部とを同時に観
察できないことがあり、配線パターンの検査を迅速に行
うことができない。このため、従来においては、顕微鏡
などの光学機器の有する被写界深度によらず、観察対象
物の観察したい領域の全てについて焦点があった画像を
得る技術への要求が存在した。
おいて、特に高倍率の顕微鏡などの光学機器では、被写
界深度がきわめて浅いため、像の鮮明な部分がごくわず
かとなってしまい、観察対象物における被写界深度以上
の深さを有する段差を同時に観察することができない。
たとえば、半導体装置における配線パターン等の段差を
有する観察対象物では、段差の高部と低部とを同時に観
察できないことがあり、配線パターンの検査を迅速に行
うことができない。このため、従来においては、顕微鏡
などの光学機器の有する被写界深度によらず、観察対象
物の観察したい領域の全てについて焦点があった画像を
得る技術への要求が存在した。
【０００４】一方、観察対象物の観察したい領域の全て
について焦点があった画像が得られたとしても、この画
像は二次元の画像であるため、たとえば、観察対象物を
初めて観察するような場合には、二次元画像から観察対
象物の立体形状を認識するのは困難なこともある。ま
た、観察対象物の二次元画像から立体的な画像を得る技
術については、たとえば、論文”Image processing and
synthesis for extended depth of opticalmicroscope
s, The Visual Computer(1992)8:351-360" に開示され
ているが、表示された画像を立体的に認識するために
は、たとえば、立体視化するための左右眼用の特殊眼鏡
を必要とするため、実用的ではなかった。さらに、立体
的な画像であっても、観察対象物に対して一定の視点、
視野および角度からのみの画像であるため、観察対象物
の観察したい領域を迅速に画像表示装置に表示するのが
難しかった。
について焦点があった画像が得られたとしても、この画
像は二次元の画像であるため、たとえば、観察対象物を
初めて観察するような場合には、二次元画像から観察対
象物の立体形状を認識するのは困難なこともある。ま
た、観察対象物の二次元画像から立体的な画像を得る技
術については、たとえば、論文”Image processing and
synthesis for extended depth of opticalmicroscope
s, The Visual Computer(1992)8:351-360" に開示され
ているが、表示された画像を立体的に認識するために
は、たとえば、立体視化するための左右眼用の特殊眼鏡
を必要とするため、実用的ではなかった。さらに、立体
的な画像であっても、観察対象物に対して一定の視点、
視野および角度からのみの画像であるため、観察対象物
の観察したい領域を迅速に画像表示装置に表示するのが
難しかった。
【０００５】本発明は、上述の従来の問題に鑑みてなさ
れたものであって、観察対象物の光学拡大像を三次元デ
ータ化して、観察対象物の観察したい領域を任意の視
点、視野および角度から立体画像として観察することが
可能な拡大観察装置を提供することを目的とする。
れたものであって、観察対象物の光学拡大像を三次元デ
ータ化して、観察対象物の観察したい領域を任意の視
点、視野および角度から立体画像として観察することが
可能な拡大観察装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、観察対象物の
光学拡大像を得る光学拡大手段と、前記光学拡大像を撮
像する撮像手段と、前記光学拡大手段を前記観察対象物
に対して任意の相対位置に移動させ位置決めする移動位
置決め制御手段と、前記光学拡大手段を前記観察対象物
に対して複数の相対位置に移動位置決めして撮像した複
数の画像データを取得する画像データ入力手段と、前記
複数の画像データから立体的な三次元画像データを生成
する三次元画像データ生成手段と、前記観察対象物の前
記三次元画像データに基づく立体画像を指定された条件
で立体的に表示する画像表示手段とを有する。
光学拡大像を得る光学拡大手段と、前記光学拡大像を撮
像する撮像手段と、前記光学拡大手段を前記観察対象物
に対して任意の相対位置に移動させ位置決めする移動位
置決め制御手段と、前記光学拡大手段を前記観察対象物
に対して複数の相対位置に移動位置決めして撮像した複
数の画像データを取得する画像データ入力手段と、前記
複数の画像データから立体的な三次元画像データを生成
する三次元画像データ生成手段と、前記観察対象物の前
記三次元画像データに基づく立体画像を指定された条件
で立体的に表示する画像表示手段とを有する。
【０００７】本発明では、光学拡大手段を通じて得られ
た観察対象物の光学拡大像を撮像手段によって撮像した
複数の画像データから三次元画像データが生成される。
この三次元画像データが画像表示手段によって画像表示
手段に指定された条件で立体的に表示されるため、光学
拡大像を単に撮像したのでは認識できない観察対象物の
立体形状が表示される。
た観察対象物の光学拡大像を撮像手段によって撮像した
複数の画像データから三次元画像データが生成される。
この三次元画像データが画像表示手段によって画像表示
手段に指定された条件で立体的に表示されるため、光学
拡大像を単に撮像したのでは認識できない観察対象物の
立体形状が表示される。
【０００８】前記画像表示手段における条件は、三次元
画像データにおける前記観察対象物の所定の軸に関する
回転角度および前記観察対象物の拡大率である。
画像データにおける前記観察対象物の所定の軸に関する
回転角度および前記観察対象物の拡大率である。
【０００９】前記三次元画像データ生成手段は、前記各
々の画像データから焦点の合っている合焦点画像データ
を抽出し、これら各合焦点画像データに基づいて三次元
データ化して三次元画像データを生成する。
々の画像データから焦点の合っている合焦点画像データ
を抽出し、これら各合焦点画像データに基づいて三次元
データ化して三次元画像データを生成する。
【００１０】前記三次元画像データ生成手段は、前記各
合焦点画像データの各画素情報から得られる前記観察対
象物の光学拡大像に対する高さ情報に基づいて前記各合
焦点画像データを合成して前記三次元画像データを生成
する。
合焦点画像データの各画素情報から得られる前記観察対
象物の光学拡大像に対する高さ情報に基づいて前記各合
焦点画像データを合成して前記三次元画像データを生成
する。
【００１１】前記観察対象物の各位置の前記光学拡大像
に対する高さ情報を直接測定する三次元位置測定手段を
有し、前記三次元画像データ生成手段は、前記三次元位
置測定手段によって得られた高さ情報に基づいて前記各
合焦点画像データを合成して三次元画像データを生成す
る。
に対する高さ情報を直接測定する三次元位置測定手段を
有し、前記三次元画像データ生成手段は、前記三次元位
置測定手段によって得られた高さ情報に基づいて前記各
合焦点画像データを合成して三次元画像データを生成す
る。
【００１２】前記画像表示手段は、画面上で前記観察対
象物の表示のための視点、視野および角度を設定するた
めの指示手段を有する。
象物の表示のための視点、視野および角度を設定するた
めの指示手段を有する。
【００１３】前記光学拡大手段は、光学式顕微鏡であ
る。
る。
【００１４】前記観察対象物に対して複数の方向から設
けられた複数の光学拡大手段と、前記各光学拡大像を撮
像する複数の撮像手段と、前記各光学拡大手段を前記観
察対象物に対して任意の相対位置に移動させ位置決めす
る複数の移動位置決め手段とを有し、三次元画像データ
生成手段は、前記各光学拡大手段および各撮像手段によ
って前記観察対象物に対して異なる相対位置で撮像され
た複数の画像データから立体的な三次元画像データをそ
れぞれ生成し、これら各三次元画像データを合成する。
けられた複数の光学拡大手段と、前記各光学拡大像を撮
像する複数の撮像手段と、前記各光学拡大手段を前記観
察対象物に対して任意の相対位置に移動させ位置決めす
る複数の移動位置決め手段とを有し、三次元画像データ
生成手段は、前記各光学拡大手段および各撮像手段によ
って前記観察対象物に対して異なる相対位置で撮像され
た複数の画像データから立体的な三次元画像データをそ
れぞれ生成し、これら各三次元画像データを合成する。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施
形態に係る顕微鏡拡大観察システムの構成を示す説明図
である。図１において、本実施形態に係る顕微鏡拡大観
察システムは、撮像部１と、画像処理／駆動制御装置３
１と、画像表示装置５１とを有する。撮像部１は、ベー
ス２上に設けられたＸＹテーブル３と、ベース２上に立
設されたコラム９にＺ軸方向に移動自在に設けられた顕
微鏡鏡筒７と、顕微鏡鏡筒７に取り付けられた撮像装置
８と、顕微鏡鏡筒７に取り付けられた対物レンズ６と、
コラム９に設けられた照明装置１０とを有する。
いて図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施
形態に係る顕微鏡拡大観察システムの構成を示す説明図
である。図１において、本実施形態に係る顕微鏡拡大観
察システムは、撮像部１と、画像処理／駆動制御装置３
１と、画像表示装置５１とを有する。撮像部１は、ベー
ス２上に設けられたＸＹテーブル３と、ベース２上に立
設されたコラム９にＺ軸方向に移動自在に設けられた顕
微鏡鏡筒７と、顕微鏡鏡筒７に取り付けられた撮像装置
８と、顕微鏡鏡筒７に取り付けられた対物レンズ６と、
コラム９に設けられた照明装置１０とを有する。
【００１６】ＸＹテーブル３は、図示しないスライダに
よってベース２上をＸ軸およびＹ軸方向に移動自在に保
持されており、ＸＹテーブル３上に観察対象物Ｗが載置
される。ＸＹテーブル３には、ＸＹテーブル３をＸ軸方
向に沿って移動位置決めするためのＸ軸送り機構４が設
けられている。Ｘ軸送り機構４は、たとえば、電動モー
タと送りネジで構成され、送りネジがＸＹテーブル３の
所定の部材に螺合され、送りネジが電動モータによって
回転駆動されることにより、ＸＹテーブル３がＸ軸方向
の任意の位置に位置決めされる。また、ＸＹテーブル３
には、ＸＹテーブル３をＹ軸方向に沿って移動位置決め
するためのＹ軸送り機構５が設けられている。Ｙ軸送り
機構５は、Ｘ軸送り機構４と同様に、たとえば、電動モ
ータと送りネジで構成され、送りネジがＸＹテーブル３
の所定の部材に螺合され、送りネジが電動モータによっ
て回転駆動されることにより、ＸＹテーブル３がＹ軸方
向の任意の位置に位置決めされる。
よってベース２上をＸ軸およびＹ軸方向に移動自在に保
持されており、ＸＹテーブル３上に観察対象物Ｗが載置
される。ＸＹテーブル３には、ＸＹテーブル３をＸ軸方
向に沿って移動位置決めするためのＸ軸送り機構４が設
けられている。Ｘ軸送り機構４は、たとえば、電動モー
タと送りネジで構成され、送りネジがＸＹテーブル３の
所定の部材に螺合され、送りネジが電動モータによって
回転駆動されることにより、ＸＹテーブル３がＸ軸方向
の任意の位置に位置決めされる。また、ＸＹテーブル３
には、ＸＹテーブル３をＹ軸方向に沿って移動位置決め
するためのＹ軸送り機構５が設けられている。Ｙ軸送り
機構５は、Ｘ軸送り機構４と同様に、たとえば、電動モ
ータと送りネジで構成され、送りネジがＸＹテーブル３
の所定の部材に螺合され、送りネジが電動モータによっ
て回転駆動されることにより、ＸＹテーブル３がＹ軸方
向の任意の位置に位置決めされる。
【００１７】顕微鏡鏡筒７は、観察対象物Ｗの光学拡大
像を得るためのものであり、たとえば、ズーム式の組み
合わせレンズから構成されている。ズームレンズは顕微
鏡鏡筒７に内蔵された電動モータにより駆動される。対
物レンズ６は、観察対象物Ｗを光学的に拡大するために
顕微鏡鏡筒７の先端に設けられている。
像を得るためのものであり、たとえば、ズーム式の組み
合わせレンズから構成されている。ズームレンズは顕微
鏡鏡筒７に内蔵された電動モータにより駆動される。対
物レンズ６は、観察対象物Ｗを光学的に拡大するために
顕微鏡鏡筒７の先端に設けられている。
【００１８】撮像装置８は、例えばＣＣＤ(charge coup
led device) 撮像素子を用いたカラーカメラであり、顕
微鏡鏡筒７の上端に設けられており、対物レンズ６およ
び顕微鏡鏡筒７を通じて拡大された観察対象物Ｗの光学
拡大像を撮像する。
led device) 撮像素子を用いたカラーカメラであり、顕
微鏡鏡筒７の上端に設けられており、対物レンズ６およ
び顕微鏡鏡筒７を通じて拡大された観察対象物Ｗの光学
拡大像を撮像する。
【００１９】顕微鏡鏡筒７は、コラム９内に内蔵された
図示しないＺ軸送り機構によって、Ｚ軸方向の任意の位
置に移動可能となっている。Ｚ軸送り機構は、上記した
Ｘ軸送り機構４およびＹ軸送り機構５と同様に、たとえ
ば、電動モータと送りネジで構成され、送りネジが顕微
鏡鏡筒７に固定された固定部材に螺合され、この送りネ
ジが電動モータによって回転駆動されることにより、顕
微鏡鏡筒７がＺ軸方向の任意の位置に位置決めされる。
これにより、顕微鏡鏡筒７の焦点位置を観察対象物Ｗに
対して任意の高さに設定することができる。
図示しないＺ軸送り機構によって、Ｚ軸方向の任意の位
置に移動可能となっている。Ｚ軸送り機構は、上記した
Ｘ軸送り機構４およびＹ軸送り機構５と同様に、たとえ
ば、電動モータと送りネジで構成され、送りネジが顕微
鏡鏡筒７に固定された固定部材に螺合され、この送りネ
ジが電動モータによって回転駆動されることにより、顕
微鏡鏡筒７がＺ軸方向の任意の位置に位置決めされる。
これにより、顕微鏡鏡筒７の焦点位置を観察対象物Ｗに
対して任意の高さに設定することができる。
【００２０】照明装置１０は、観察対象物Ｗに光を照ら
すために、顕微鏡鏡筒８に取り付けられている。照明装
置１０から照射された光は、顕微鏡鏡筒８および対物レ
ンズ１０を通って観察対象物Ｗを上方から照らす。
すために、顕微鏡鏡筒８に取り付けられている。照明装
置１０から照射された光は、顕微鏡鏡筒８および対物レ
ンズ１０を通って観察対象物Ｗを上方から照らす。
【００２１】画像処理／駆動制御装置３１は、上記した
Ｘ軸送り機構４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機構の
各電動モータの駆動制御を行い、顕微鏡鏡筒７を任意の
三次元位置に位置決めする。また、画像処理／駆動制御
装置３１は、上記した撮像装置８の撮像した画像データ
を取り込んで、この画像データに所定の処理を施し、複
数の画像データを合成して三次元画像データを生成し、
これを画像表示装置５１に表示する。画像処理／駆動制
御装置３１は、たとえば、パーソナルコンピュータに画
像処理用ボードおよびモーターコントロールボードを付
加し、これらボードを動作させるソフトウェアをパーソ
ナルコンピュータに備えることによって構成することが
できる。画像表示装置５１は、たとえば、パーソナルコ
ンピュータ用のモニタを使用することができる。また、
画像処理／駆動制御装置３１には、マウス４０が接続さ
れている。マウス４０は、マウス４０を移動させること
によって画像表示装置５１に出力されたマウスポインタ
３２ａの画面上での位置を設定する信号を画像処理／駆
動制御装置３１に対して出力したり、また、マウス４０
に設けられた操作ボタン４０ａの操作によって、画像表
示装置５１に所定の位置に表示された画像処理／駆動制
御装置３１の行う所定の処理機能を実行させる信号を画
像処理／駆動制御装置３１に対して出力したりする。
Ｘ軸送り機構４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機構の
各電動モータの駆動制御を行い、顕微鏡鏡筒７を任意の
三次元位置に位置決めする。また、画像処理／駆動制御
装置３１は、上記した撮像装置８の撮像した画像データ
を取り込んで、この画像データに所定の処理を施し、複
数の画像データを合成して三次元画像データを生成し、
これを画像表示装置５１に表示する。画像処理／駆動制
御装置３１は、たとえば、パーソナルコンピュータに画
像処理用ボードおよびモーターコントロールボードを付
加し、これらボードを動作させるソフトウェアをパーソ
ナルコンピュータに備えることによって構成することが
できる。画像表示装置５１は、たとえば、パーソナルコ
ンピュータ用のモニタを使用することができる。また、
画像処理／駆動制御装置３１には、マウス４０が接続さ
れている。マウス４０は、マウス４０を移動させること
によって画像表示装置５１に出力されたマウスポインタ
３２ａの画面上での位置を設定する信号を画像処理／駆
動制御装置３１に対して出力したり、また、マウス４０
に設けられた操作ボタン４０ａの操作によって、画像表
示装置５１に所定の位置に表示された画像処理／駆動制
御装置３１の行う所定の処理機能を実行させる信号を画
像処理／駆動制御装置３１に対して出力したりする。
【００２２】図２は、画像処理／駆動制御装置３１の一
構成例を示す説明図である。画像処理／駆動制御装置３
１は、位置制御部３２と、画像データ入力部３２と、画
像データ記憶部３４と、合焦点画像データ抽出部３５
と、三次元画像データ合成部３６と、三次元画像表示部
３７とを有する。位置制御部３２は、上記したＸ軸送り
機構４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機構１１の各電
動モータの回転位置制御を行い、観察対象物Ｗと顕微鏡
鏡筒７を目標位置に移動する位置決め制御を行う。たと
えば、位置制御部３２は、観察対象物ＷのＸ軸およびＹ
軸方向の目標位置および顕微鏡鏡筒７のＺ軸方向の目標
位置に移動させる位置指令を生成し、この位置指令を各
電動モータＭの回転指令量に換算してモータドライバＤ
ｒに出力する。モータドライバＤｒは各回転指令量にし
たがって各電動モータＭを回転駆動制御する。
構成例を示す説明図である。画像処理／駆動制御装置３
１は、位置制御部３２と、画像データ入力部３２と、画
像データ記憶部３４と、合焦点画像データ抽出部３５
と、三次元画像データ合成部３６と、三次元画像表示部
３７とを有する。位置制御部３２は、上記したＸ軸送り
機構４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機構１１の各電
動モータの回転位置制御を行い、観察対象物Ｗと顕微鏡
鏡筒７を目標位置に移動する位置決め制御を行う。たと
えば、位置制御部３２は、観察対象物ＷのＸ軸およびＹ
軸方向の目標位置および顕微鏡鏡筒７のＺ軸方向の目標
位置に移動させる位置指令を生成し、この位置指令を各
電動モータＭの回転指令量に換算してモータドライバＤ
ｒに出力する。モータドライバＤｒは各回転指令量にし
たがって各電動モータＭを回転駆動制御する。
【００２３】画像データ入力部３３は、顕微鏡鏡筒７の
Ｚ軸方向の複数の目標位置に移動位置決めして撮像した
複数の画像データを取得する。画像データ記憶部３４
は、画像データ入力部３３に入力された撮像装置８によ
って撮像された数値化された複数の画像データを記憶保
持する。合焦点画像データ抽出部３５は、画像データ記
憶部３４に記憶された各画像データの焦点の合った領域
のみを抽出する。
Ｚ軸方向の複数の目標位置に移動位置決めして撮像した
複数の画像データを取得する。画像データ記憶部３４
は、画像データ入力部３３に入力された撮像装置８によ
って撮像された数値化された複数の画像データを記憶保
持する。合焦点画像データ抽出部３５は、画像データ記
憶部３４に記憶された各画像データの焦点の合った領域
のみを抽出する。
【００２４】ここで、焦点の合っている画像データの抽
出原理について説明する。たとえば、図３に示すよう
に、ＸＹテーブル３上に載置して観察する対象として、
四角錐状の観察対象物Ｗの場合について説明する。図３
において、観察対象物Ｗに対して先端に対物レンズ６が
設けられた顕微鏡鏡筒７のＺ軸方向位置をＰA 、ＰB お
よびＰC のように変化させてＸＹテーブル３上に載置さ
れた観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像する。
出原理について説明する。たとえば、図３に示すよう
に、ＸＹテーブル３上に載置して観察する対象として、
四角錐状の観察対象物Ｗの場合について説明する。図３
において、観察対象物Ｗに対して先端に対物レンズ６が
設けられた顕微鏡鏡筒７のＺ軸方向位置をＰA 、ＰB お
よびＰC のように変化させてＸＹテーブル３上に載置さ
れた観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像する。
【００２５】たとえば、顕微鏡鏡筒７をＺ軸方向の位置
ＰA に移動して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画
像データＧには、図４（ａ）に示すように、焦点の合っ
た合焦点領域Ｒ1 と焦点の合わないぼやけた非合焦点領
域Ｒ2 とが存在する。合焦点領域Ｒ1 は、ＸＹテーブル
３の載置面と四角錐状の観察対象物Ｗの錐面の下部領域
からなる。
ＰA に移動して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画
像データＧには、図４（ａ）に示すように、焦点の合っ
た合焦点領域Ｒ1 と焦点の合わないぼやけた非合焦点領
域Ｒ2 とが存在する。合焦点領域Ｒ1 は、ＸＹテーブル
３の載置面と四角錐状の観察対象物Ｗの錐面の下部領域
からなる。
【００２６】顕微鏡鏡筒７をＺ軸方向の位置ＰB に移動
して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画像データＧ
には、図４（ｂ）に示すように、四角錐状の観察対象物
Ｗの錐面の中間部領域に対応する領域のみ合焦点領域Ｒ
4 となり、ＸＹテーブル３の載置面と四角錐状の観察対
象物Ｗの錐面の下部領域および頂部領域に対応する領域
は、非合焦点領域Ｒ3 およびＲ5 となる。
して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画像データＧ
には、図４（ｂ）に示すように、四角錐状の観察対象物
Ｗの錐面の中間部領域に対応する領域のみ合焦点領域Ｒ
4 となり、ＸＹテーブル３の載置面と四角錐状の観察対
象物Ｗの錐面の下部領域および頂部領域に対応する領域
は、非合焦点領域Ｒ3 およびＲ5 となる。
【００２７】顕微鏡鏡筒７をＺ軸方向の位置ＰC に移動
して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画像データＧ
には、図４（ｃ）に示すように、四角錐状の観察対象物
Ｗの錐面の中間部領域に対応する領域のみ合焦点領域Ｒ
4 となり、ＸＹテーブル３の載置面と四角錐状の観察対
象物Ｗの錐面の下部領域および頂部領域に対応する領域
は、非合焦点領域Ｒ3 およびＲ5 となる。
して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画像データＧ
には、図４（ｃ）に示すように、四角錐状の観察対象物
Ｗの錐面の中間部領域に対応する領域のみ合焦点領域Ｒ
4 となり、ＸＹテーブル３の載置面と四角錐状の観察対
象物Ｗの錐面の下部領域および頂部領域に対応する領域
は、非合焦点領域Ｒ3 およびＲ5 となる。
【００２８】このように、画像データＧの観察対象物Ｗ
および対物レンズ６の有する被写界深度に対応する領域
のみが合焦点領域となり、図４（ａ）〜図４（ｃ）の合
焦点領域を合成することにより、画像データＧの全ての
領域で焦点の合った画像データを得ることができる。し
かしながら、たとえば、観察対象物の形状を知らない場
合には、合焦点画像データから観察対象物の立体形状を
認識することができない。
および対物レンズ６の有する被写界深度に対応する領域
のみが合焦点領域となり、図４（ａ）〜図４（ｃ）の合
焦点領域を合成することにより、画像データＧの全ての
領域で焦点の合った画像データを得ることができる。し
かしながら、たとえば、観察対象物の形状を知らない場
合には、合焦点画像データから観察対象物の立体形状を
認識することができない。
【００２９】そこで、三次元画像データ合成部３６で
は、合焦点画像データ抽出部３５で抽出された各合焦点
画像データにＺ軸方向の高さ情報を付与して、これらＺ
軸方向の高さ情報を付与した各合焦点画像データを合成
して、三次元画像データを生成する。合焦点画像データ
へのＺ軸方向の高さ情報の付与は、たとえば、、論文”
Image processing and synthesis for extended depth
of optical microscopes, The Visual Computer(1992)
8:351-360" に開示された技術を用いることができる。
この技術では、合焦点画像データ抽出部３５で抽出され
た合焦点画像データの各画素（ピクセル）に対応して、
各画素の強度に対応した高さｈと各画素の色に対応した
色を有する柱状データを形成することにより、観察対象
物Ｗの立体形状を再構成する。三次元画像データ合成部
３６で生成される三次元画像データは、観察対象物Ｗの
立体形状を再構成した柱状データ群と、各柱状データの
色からなる。
は、合焦点画像データ抽出部３５で抽出された各合焦点
画像データにＺ軸方向の高さ情報を付与して、これらＺ
軸方向の高さ情報を付与した各合焦点画像データを合成
して、三次元画像データを生成する。合焦点画像データ
へのＺ軸方向の高さ情報の付与は、たとえば、、論文”
Image processing and synthesis for extended depth
of optical microscopes, The Visual Computer(1992)
8:351-360" に開示された技術を用いることができる。
この技術では、合焦点画像データ抽出部３５で抽出され
た合焦点画像データの各画素（ピクセル）に対応して、
各画素の強度に対応した高さｈと各画素の色に対応した
色を有する柱状データを形成することにより、観察対象
物Ｗの立体形状を再構成する。三次元画像データ合成部
３６で生成される三次元画像データは、観察対象物Ｗの
立体形状を再構成した柱状データ群と、各柱状データの
色からなる。
【００３０】画像処理表示部３７は、三次元画像データ
合成部３６で生成された観察対象物Ｗの三次元画像デー
タを画像表示装置５１に立体的に表示する機能を有し、
たとえば、グラフィックソフトウエアや画像処理を行う
グラフィック回路から構成することができる。また、画
像処理表示部３７は、三次元画像データ合成部３６で生
成された観察対象物Ｗの三次元画像データを任意の視
点、視野（画角）および角度で画像表示装置５１に表示
させる。本実施形態では、三次元画像データの表示の際
の視点、視野および角度は、マウス４０の操作によって
設定することができる。すなわち、画像処理表示部３７
は、観察対象物Ｗの三次元画像データを表示するための
視点、視野および角度を変更設定するための設定スイッ
チを画像表示装置５１に表示する。マウス４０を操作し
て画像表示装置５１に表示されたマウスポインタ３２ａ
を各設定スイッチの場所に移動させ、マウス４０の操作
ボタン４０ａを操作することで、設定スイッチの有する
機能を実行させることができる。
合成部３６で生成された観察対象物Ｗの三次元画像デー
タを画像表示装置５１に立体的に表示する機能を有し、
たとえば、グラフィックソフトウエアや画像処理を行う
グラフィック回路から構成することができる。また、画
像処理表示部３７は、三次元画像データ合成部３６で生
成された観察対象物Ｗの三次元画像データを任意の視
点、視野（画角）および角度で画像表示装置５１に表示
させる。本実施形態では、三次元画像データの表示の際
の視点、視野および角度は、マウス４０の操作によって
設定することができる。すなわち、画像処理表示部３７
は、観察対象物Ｗの三次元画像データを表示するための
視点、視野および角度を変更設定するための設定スイッ
チを画像表示装置５１に表示する。マウス４０を操作し
て画像表示装置５１に表示されたマウスポインタ３２ａ
を各設定スイッチの場所に移動させ、マウス４０の操作
ボタン４０ａを操作することで、設定スイッチの有する
機能を実行させることができる。
【００３１】図６は、図３に示した四角錐状の観察対象
物Ｗの画像データを三次元画像データ合成部３６におい
て合成した三次元画像データを画像処理表示部３７によ
って画像表示装置５１に表示した場合の画面一例を示す
図である。なお、図６において示す四角錐状の観察対象
物Ｗは、実際には、柱状のデータ群の集合によって立体
的に再現される。図６に示す画面上には、観察対象物Ｗ
の三次元画像データをＸ軸に関して回転させるＸ軸方向
回転スイッチ４１と、Ｙ軸に関して回転させるＹ軸方向
回転スイッチ４２と、観察対象物Ｗの三次元画像データ
の拡大縮小率を設定するための拡大縮小スイッチ４３と
が表示されている。Ｘ軸方向回転スイッチ４１、Ｙ軸方
向回転スイッチ４２および拡大縮小スイッチ４３はダイ
アル状のスイッチであり、これらのスイッチはマウス４
０によって回転させることができる。Ｘ軸方向回転スイ
ッチ４１およびＹ軸方向回転スイッチ４２をマウス４０
によって操作することで、観察対象物Ｗの三次元画像デ
ータの視点および角度を任意に変更設定でき、拡大縮小
スイッチ４３によって観察対象物Ｗの三次元画像データ
の視野を任意の変更設定することが可能となる。
物Ｗの画像データを三次元画像データ合成部３６におい
て合成した三次元画像データを画像処理表示部３７によ
って画像表示装置５１に表示した場合の画面一例を示す
図である。なお、図６において示す四角錐状の観察対象
物Ｗは、実際には、柱状のデータ群の集合によって立体
的に再現される。図６に示す画面上には、観察対象物Ｗ
の三次元画像データをＸ軸に関して回転させるＸ軸方向
回転スイッチ４１と、Ｙ軸に関して回転させるＹ軸方向
回転スイッチ４２と、観察対象物Ｗの三次元画像データ
の拡大縮小率を設定するための拡大縮小スイッチ４３と
が表示されている。Ｘ軸方向回転スイッチ４１、Ｙ軸方
向回転スイッチ４２および拡大縮小スイッチ４３はダイ
アル状のスイッチであり、これらのスイッチはマウス４
０によって回転させることができる。Ｘ軸方向回転スイ
ッチ４１およびＹ軸方向回転スイッチ４２をマウス４０
によって操作することで、観察対象物Ｗの三次元画像デ
ータの視点および角度を任意に変更設定でき、拡大縮小
スイッチ４３によって観察対象物Ｗの三次元画像データ
の視野を任意の変更設定することが可能となる。
【００３２】以上のように、本実施形態によれば、画像
表示装置５１に表示された観察対象物Ｗの三次元画像を
見ながら、画像表示装置５１の画面上で、視点・視野・
角度を瞬時に変えることができ、観察対象物Ｗの観察し
たい場所を容易に表示することができる。また、本実施
形態によれば、Ｘ軸方向回転スイッチ４１およびＹ軸方
向回転スイッチ４２を操作することによって、画像表示
装置５１に観察対象物Ｗの三次元画像をいずれの角度か
らも表示できるので、例えば、光学式顕微鏡等の光学機
器では困難な観察対象物Ｗの斜め方向からの光学拡大像
を表示および観察することが可能になる。また、三次元
画像を回転させながら観察することができるので、二次
元画像では得ることができない立体感を得ることができ
る。また、立体視用の眼鏡を使うことなく、観察対象物
Ｗの奥行き方向の状態を観察することができる。また、
本実施形態によれば、合成した三次元画像は、パーソナ
ルコンピュータの画面上のデータとして劣化させること
なく、保存・複製や転送ができる。
表示装置５１に表示された観察対象物Ｗの三次元画像を
見ながら、画像表示装置５１の画面上で、視点・視野・
角度を瞬時に変えることができ、観察対象物Ｗの観察し
たい場所を容易に表示することができる。また、本実施
形態によれば、Ｘ軸方向回転スイッチ４１およびＹ軸方
向回転スイッチ４２を操作することによって、画像表示
装置５１に観察対象物Ｗの三次元画像をいずれの角度か
らも表示できるので、例えば、光学式顕微鏡等の光学機
器では困難な観察対象物Ｗの斜め方向からの光学拡大像
を表示および観察することが可能になる。また、三次元
画像を回転させながら観察することができるので、二次
元画像では得ることができない立体感を得ることができ
る。また、立体視用の眼鏡を使うことなく、観察対象物
Ｗの奥行き方向の状態を観察することができる。また、
本実施形態によれば、合成した三次元画像は、パーソナ
ルコンピュータの画面上のデータとして劣化させること
なく、保存・複製や転送ができる。
【００３３】上記した実施形態では、顕微鏡鏡筒７を通
じて取り込んだ画像を処理することにより、画像データ
から観察対象物Ｗの高さ方向（Ｚ軸方向）の位置情報を
得ているが、たとえば、レーザー式の測距型のセンサを
Ｘ軸およびＹ軸方向にスキャニングして観察対象物Ｗの
高さ情報を得ることも可能である。観察対象物ＷのＺ軸
方向の高さ情報に基づいて、上記した各合焦点画像デー
タを三次元画像データ合成部３６において合成すること
により、さらに精度がよく高画質の画像を表示すること
ができるようになる。
じて取り込んだ画像を処理することにより、画像データ
から観察対象物Ｗの高さ方向（Ｚ軸方向）の位置情報を
得ているが、たとえば、レーザー式の測距型のセンサを
Ｘ軸およびＹ軸方向にスキャニングして観察対象物Ｗの
高さ情報を得ることも可能である。観察対象物ＷのＺ軸
方向の高さ情報に基づいて、上記した各合焦点画像デー
タを三次元画像データ合成部３６において合成すること
により、さらに精度がよく高画質の画像を表示すること
ができるようになる。
【００３４】また、上述した実施形態では、観察対象物
Ｗを対物レンズ７および顕微鏡鏡筒８を通じてＺ軸方向
に沿って真上から見ているので、観察対象物Ｗの立体形
状によっては、影になる領域の情報を得ることができ
ず、上述した実施形態の構成では、三次元画像データ合
成部３６において三次元画像を合成するときに、不自然
な画像になる。この問題を解消するために、観察対象物
Ｗを種々の方向から撮像できるように、対物レンズ６、
顕微鏡鏡筒７および撮像装置８からなる撮像部を複数用
意して、それぞれ観察対象物Ｗに対して異なる方向に設
置し異なる向きに設置する。また、対物レンズ６および
顕微鏡鏡筒７の光軸方向に各撮像部を移動させる送り機
構を設ける。各撮像装置８では、上述した実施形態と同
様に複数の位置において、観察対象物Ｗの光学拡大像を
撮像し、複数の画像データを得る。これら複数の画像デ
ータから、上述した実施形態と同様に、複数の三次元画
像データを生成し、これらの三次元画像データを合成し
て一つの三次元画像データとする。このような構成とす
ることにより、観察対象物Ｗを実際の立体形状により近
い状態で、画像表示装置５１に表示することが可能とな
る。
Ｗを対物レンズ７および顕微鏡鏡筒８を通じてＺ軸方向
に沿って真上から見ているので、観察対象物Ｗの立体形
状によっては、影になる領域の情報を得ることができ
ず、上述した実施形態の構成では、三次元画像データ合
成部３６において三次元画像を合成するときに、不自然
な画像になる。この問題を解消するために、観察対象物
Ｗを種々の方向から撮像できるように、対物レンズ６、
顕微鏡鏡筒７および撮像装置８からなる撮像部を複数用
意して、それぞれ観察対象物Ｗに対して異なる方向に設
置し異なる向きに設置する。また、対物レンズ６および
顕微鏡鏡筒７の光軸方向に各撮像部を移動させる送り機
構を設ける。各撮像装置８では、上述した実施形態と同
様に複数の位置において、観察対象物Ｗの光学拡大像を
撮像し、複数の画像データを得る。これら複数の画像デ
ータから、上述した実施形態と同様に、複数の三次元画
像データを生成し、これらの三次元画像データを合成し
て一つの三次元画像データとする。このような構成とす
ることにより、観察対象物Ｗを実際の立体形状により近
い状態で、画像表示装置５１に表示することが可能とな
る。
【００３５】
【発明の効果】本発明によれば、画像表示装置に表示さ
れた観察対象物の三次元画像を見ながら、画像表示装置
の画面上で、視点・視野・角度を瞬時に変えることがで
き、対象物の観察したい場所を容易に表示することがで
きる。また、本発明によれば、観察対象物の三次元画像
を画像表示装置にいずれの角度からも表示できるので、
例えば、光学式顕微鏡等の光学機器では困難な観察対象
物の斜め方向からの光学拡大像を表示および観察するこ
とが可能になる。また、本発明によれば、三次元画像を
回転させながら観察することができるので、二次元画像
では得ることができない立体感を得ることができる。ま
た、本発明によれば、立体視用の眼鏡を使うことなく、
観察対象物の奥行き方向の状態を観察することができ
る。
れた観察対象物の三次元画像を見ながら、画像表示装置
の画面上で、視点・視野・角度を瞬時に変えることがで
き、対象物の観察したい場所を容易に表示することがで
きる。また、本発明によれば、観察対象物の三次元画像
を画像表示装置にいずれの角度からも表示できるので、
例えば、光学式顕微鏡等の光学機器では困難な観察対象
物の斜め方向からの光学拡大像を表示および観察するこ
とが可能になる。また、本発明によれば、三次元画像を
回転させながら観察することができるので、二次元画像
では得ることができない立体感を得ることができる。ま
た、本発明によれば、立体視用の眼鏡を使うことなく、
観察対象物の奥行き方向の状態を観察することができ
る。
【図１】本発明の一実施形態に係る顕微鏡拡大観察シス
テムの構成を示す説明図である。
テムの構成を示す説明図である。
【図２】本実施形態に係る画像処理／駆動制御装置３１
の一構成例を示す説明図である。
の一構成例を示す説明図である。
【図３】合焦点画像データ抽出部における合焦点画像デ
ータ領域の抽出原理を説明するための図である。
ータ領域の抽出原理を説明するための図である。
【図４】顕微鏡鏡筒をＺ軸方向の各位置に移動させて観
察対象物の光学拡大像を撮像して得た画像データの例を
示す図である。
察対象物の光学拡大像を撮像して得た画像データの例を
示す図である。
【図５】三次元画像データ合成部における三次元画像デ
ータの高さ情報を生成する方法を説明するための図であ
る。
ータの高さ情報を生成する方法を説明するための図であ
る。
【図６】三次元画像データ合成部において合成した三次
元画像データを画像処理表示部によって画像表示装置に
表示した場合の画面一例を示す図である
元画像データを画像処理表示部によって画像表示装置に
表示した場合の画面一例を示す図である
１…撮像部、３…ＸＹテーブル、６…対物レンズ、７…
顕微鏡鏡筒、８…撮像装置、３１…画像処理／駆動制御
装置、３２…位置制御部、３３…画像データ入力部、３
４…画像データ記憶部、３５…合焦点画像データ抽出
部、３６…三次元画像データ合成部、３７…三次元画像
表示部、４０…マウス、５１…画像表示装置。
顕微鏡鏡筒、８…撮像装置、３１…画像処理／駆動制御
装置、３２…位置制御部、３３…画像データ入力部、３
４…画像データ記憶部、３５…合焦点画像データ抽出
部、３６…三次元画像データ合成部、３７…三次元画像
表示部、４０…マウス、５１…画像表示装置。
Claims (8)
- 【請求項１】観察対象物の光学拡大像を得る光学拡大手
段と、 前記光学拡大像を撮像する撮像手段と、 前記光学拡大手段を前記観察対象物に対して任意の相対
位置に移動させ位置決めする移動位置決め制御手段と、 前記光学拡大手段を前記観察対象物に対して複数の相対
位置に移動位置決めして撮像した複数の画像データを取
得する画像データ入力手段と、 前記複数の画像データから立体的な三次元画像データを
生成する三次元画像データ生成手段と、 前記観察対象物の前記三次元画像データに基づく立体画
像を指定された条件で立体的に表示する画像表示手段と
を有する拡大観察装置。 - 【請求項２】前記画像表示手段における条件は、三次元
画像データにおける前記観察対象物の所定の軸に関する
回転角度および前記観察対象物の拡大率である請求項１
に記載の拡大観察装置。 - 【請求項３】前記三次元画像データ生成手段は、前記各
々の画像データから焦点の合っている合焦点画像データ
を抽出し、これら各合焦点画像データに基づいて三次元
データ化して三次元画像データを生成する請求項１に記
載の拡大観察装置。 - 【請求項４】前記三次元画像データ生成手段は、前記各
合焦点画像データの各画素情報から得られる前記観察対
象物の光学拡大像に対する高さ情報に基づいて前記各合
焦点画像データを合成して前記三次元画像データを生成
する請求項３に記載の拡大観察装置。 - 【請求項５】前記観察対象物の各位置の前記光学拡大像
に対する高さ情報を直接測定する三次元位置測定手段を
有し、 前記三次元画像データ生成手段は、前記三次元位置測定
手段によって得られた高さ情報に基づいて前記各合焦点
画像データを合成して三次元画像データを生成する請求
項３に記載の拡大観察装置。 - 【請求項６】前記画像表示手段は、画面上で前記観察対
象物の表示のための前記条件を設定するための指示手段
を有する請求項１に記載の拡大観察装置。 - 【請求項７】前記光学拡大手段は、光学式顕微鏡である
請求項１に記載の拡大観察装置。 - 【請求項８】前記観察対象物に対して複数の方向から設
けられた複数の光学拡大手段と、 前記各光学拡大像を撮像する複数の撮像手段と、 前記各光学拡大手段を前記観察対象物に対して任意の相
対位置に移動させ位置決めする複数の移動位置決め手段
とを有し、 三次元画像データ生成手段は、前記各光学拡大手段およ
び各撮像手段によって前記観察対象物に対して異なる相
対位置で撮像された複数の画像データから立体的な三次
元画像データをそれぞれ生成し、これら各三次元画像デ
ータを合成する請求項１に記載の拡大観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10209304A JP2000039566A (ja) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | 拡大観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10209304A JP2000039566A (ja) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | 拡大観察装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000039566A true JP2000039566A (ja) | 2000-02-08 |
Family
ID=16570748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10209304A Pending JP2000039566A (ja) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | 拡大観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000039566A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6653633B2 (en) | 1999-07-09 | 2003-11-25 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam apparatus |
| JP2005518570A (ja) * | 2002-02-22 | 2005-06-23 | バクス リサーチ ラボラトリーズ インコーポレイテッド | 集束可能な仮想顕微鏡装置及びその方法 |
| JP2006126374A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Olympus Corp | 画像表示方法、プログラム、及び走査型共焦点顕微鏡 |
| JP2007316993A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Omron Corp | 画像処理装置、画像データを選択させる方法、およびその方法をコンピュータに実行させるためのプログラム |
| DE102008041523A1 (de) | 2007-08-29 | 2009-04-30 | Omron Corp. | Verfahren zur dreidimensionalen Messung und Vorrichtung zur dreidimensionalen Messung |
| JP2009175334A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Olympus Corp | 顕微鏡システム、画像生成方法、及びプログラム |
| JP2016063522A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-25 | カシオ計算機株式会社 | 画像処理装置、および方法、ならびにプログラム |
| JP2017524994A (ja) * | 2014-07-28 | 2017-08-31 | ノバルティス アーゲー | 被写界深度拡大顕微鏡ならびに関連する装置、システムおよび方法 |
-
1998
- 1998-07-24 JP JP10209304A patent/JP2000039566A/ja active Pending
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6936818B2 (en) | 1999-07-09 | 2005-08-30 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam apparatus |
| US7109485B2 (en) | 1999-07-09 | 2006-09-19 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam apparatus |
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| US7329868B2 (en) | 1999-07-09 | 2008-02-12 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam apparatus |
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| JP2009075618A (ja) * | 2002-02-22 | 2009-04-09 | Bacus Lab Inc | 仮想顕微鏡スライドを形成し、かつ使用するための方法 |
| US8306300B2 (en) | 2002-02-22 | 2012-11-06 | Olympus America Inc. | Focusable virtual microscopy apparatus and method |
| JP2009104161A (ja) * | 2002-02-22 | 2009-05-14 | Bacus Lab Inc | 仮想顕微鏡スライドを形成する方法及びその装置 |
| JP2009104162A (ja) * | 2002-02-22 | 2009-05-14 | Bacus Lab Inc | 仮想顕微鏡スライドを使用する方法 |
| JP2009104163A (ja) * | 2002-02-22 | 2009-05-14 | Bacus Lab Inc | 仮想顕微鏡スライドデータ構造 |
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| DE102008041523A1 (de) | 2007-08-29 | 2009-04-30 | Omron Corp. | Verfahren zur dreidimensionalen Messung und Vorrichtung zur dreidimensionalen Messung |
| US8564655B2 (en) | 2007-08-29 | 2013-10-22 | Omron Corporation | Three-dimensional measurement method and three-dimensional measurement apparatus |
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| US8350905B2 (en) | 2008-01-23 | 2013-01-08 | Olympus Corporation | Microscope system, image generating method, and program for practicing the same |
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| JP2016063522A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-25 | カシオ計算機株式会社 | 画像処理装置、および方法、ならびにプログラム |
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