JP2000036128A - 近視野光学ヘッドおよび再生方法 - Google Patents
近視野光学ヘッドおよび再生方法Info
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
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- G11B11/007—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by perturbation of the physical or electrical structure with reproducing by means directly associated with the tip of a microscopic electrical probe as defined in G11B9/14
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- G11B11/18—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by mechanical cutting, deforming or pressing with reproducing by optical means
-
- G—PHYSICS
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- G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
- G11B9/12—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor
- G11B9/14—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor using microscopic probe means, i.e. recording or reproducing by means directly associated with the tip of a microscopic electrical probe as used in Scanning Tunneling Microscopy [STM] or Atomic Force Microscopy [AFM] for inducing physical or electrical perturbations in a recording medium; Record carriers or media specially adapted for such transducing of information
- G11B9/1409—Heads
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 非常に高密度に記録された情報をＳ／Ｎ良く
再生し、コンパクトな構成の近視野光学ヘッドを提供す
ること。 【解決手段】 電界を印加することによって発光する記
録媒体３が電極２上に形成されており、逆錐状の穴がそ
の頂部を微小開口６とするようにスライダー３１上に形
成された近視野光学ヘッド１０１を記録媒体３に近接さ
せる。逆錐状の穴の側面３２には微小電極５が形成され
ており、記録媒体３の微小領域のみに電界９を印加して
発光させ、開口６で微小領域の発光のみを検出すること
ができる。
再生し、コンパクトな構成の近視野光学ヘッドを提供す
ること。 【解決手段】 電界を印加することによって発光する記
録媒体３が電極２上に形成されており、逆錐状の穴がそ
の頂部を微小開口６とするようにスライダー３１上に形
成された近視野光学ヘッド１０１を記録媒体３に近接さ
せる。逆錐状の穴の側面３２には微小電極５が形成され
ており、記録媒体３の微小領域のみに電界９を印加して
発光させ、開口６で微小領域の発光のみを検出すること
ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高密度に記録され
た記録媒体の情報を再生する情報再生装置に関し、特に
近視野を利用した光による再生に適した情報再生装置に
関する。
た記録媒体の情報を再生する情報再生装置に関し、特に
近視野を利用した光による再生に適した情報再生装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】現状の情報再生デバイスにおいては、そ
の多くがＣＤ及びＣＤ−ＲＯＭに代表される再生専用型
の光ディスクに記録された情報の再生を行っている。例
えばＣＤにおいては、その表面に、再生の際に使用され
るレーザ光の波長程度のサイズ及びその波長の４分の１
程度の深さを有したピットが凹凸情報として記録されて
おり、その情報を再生するのに光の干渉現象が利用され
ている。レーザ光のスポットがピットに照射されると、
ピットの深さが４分の１波長であるために、ピットの底
面において反射された反射光と、ピット外の面上におい
て反射された反射光の光路差は、照射されたレーザ光の
２分の１波長となり、ピット外の面上にレーザ光のスポ
ットを照射した場合に比較して、得られる反射光は弱く
なる。このように、反射光の強弱を検出することによっ
てピットの有無を判断し、光ディスクに記録された情報
の再生を達成している。
の多くがＣＤ及びＣＤ−ＲＯＭに代表される再生専用型
の光ディスクに記録された情報の再生を行っている。例
えばＣＤにおいては、その表面に、再生の際に使用され
るレーザ光の波長程度のサイズ及びその波長の４分の１
程度の深さを有したピットが凹凸情報として記録されて
おり、その情報を再生するのに光の干渉現象が利用され
ている。レーザ光のスポットがピットに照射されると、
ピットの深さが４分の１波長であるために、ピットの底
面において反射された反射光と、ピット外の面上におい
て反射された反射光の光路差は、照射されたレーザ光の
２分の１波長となり、ピット外の面上にレーザ光のスポ
ットを照射した場合に比較して、得られる反射光は弱く
なる。このように、反射光の強弱を検出することによっ
てピットの有無を判断し、光ディスクに記録された情報
の再生を達成している。
【０００３】上述した反射光の検出系は、従来の光学顕
微鏡において用いられているレンズ光学系を使用してお
り、光の回折限界のためにレーザ光のスポットサイズを
２分の１波長以下にすることはできない。よって、光デ
ィスクの情報記録密度を更に増加させた場合、ピットの
大きさやトラックピッチは縮小され、情報記録単位がレ
ーザ光の波長よりも小さなサイズとなってしまい、従来
の情報再生装置は、そのような光ディスクの情報の再生
に対応できなくなってしまう。
微鏡において用いられているレンズ光学系を使用してお
り、光の回折限界のためにレーザ光のスポットサイズを
２分の１波長以下にすることはできない。よって、光デ
ィスクの情報記録密度を更に増加させた場合、ピットの
大きさやトラックピッチは縮小され、情報記録単位がレ
ーザ光の波長よりも小さなサイズとなってしまい、従来
の情報再生装置は、そのような光ディスクの情報の再生
に対応できなくなってしまう。
【０００４】一方、照射されるレーザ光の波長以下、例
えばその波長の１／１０程度の径の微小開口を有するプ
ローブを使用し、近視野（エバネッセント場）を利用し
て試料の微小な表面構造を観察する近視野光学顕微鏡が
知られている。近視野光学顕微鏡における近視野利用方
式の一つとして、プローブの微小開口と試料表面との距
離をプローブの微小開口の径程度まで近接させ、試料裏
面からの伝搬光の照射により試料表面に生じた近視野を
プローブに透過させて観察する方式がある。この場合、
試料表面に生じた近視野は、試料表面の微細構造を反映
した強度や位相を伴っており、この近視野をプローブの
微小開口によって伝搬光として取り出し、光検出器にお
いて処理されることにより、従来の光学顕微鏡において
実現し得なかった分解能を有した観察が達成されてい
る。
えばその波長の１／１０程度の径の微小開口を有するプ
ローブを使用し、近視野（エバネッセント場）を利用し
て試料の微小な表面構造を観察する近視野光学顕微鏡が
知られている。近視野光学顕微鏡における近視野利用方
式の一つとして、プローブの微小開口と試料表面との距
離をプローブの微小開口の径程度まで近接させ、試料裏
面からの伝搬光の照射により試料表面に生じた近視野を
プローブに透過させて観察する方式がある。この場合、
試料表面に生じた近視野は、試料表面の微細構造を反映
した強度や位相を伴っており、この近視野をプローブの
微小開口によって伝搬光として取り出し、光検出器にお
いて処理されることにより、従来の光学顕微鏡において
実現し得なかった分解能を有した観察が達成されてい
る。
【０００５】従って、ＣＤに代表される従来の情報記録
媒体の記録密度を越えて、微小に記録された情報記録単
位であっても、上述した近視野光学顕微鏡の技術を利用
することにより、それを再生することが可能となる。
媒体の記録密度を越えて、微小に記録された情報記録単
位であっても、上述した近視野光学顕微鏡の技術を利用
することにより、それを再生することが可能となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光照射
により生成される近視野は、非常に微弱であり、更にプ
ローブ中には照射光または散乱光等の迷光が加わるため
に、光ディスクのピットの有無を判断するだけの十分な
強度を有して、Ｓ／Ｎ比良く検出されることは困難であ
った。
により生成される近視野は、非常に微弱であり、更にプ
ローブ中には照射光または散乱光等の迷光が加わるため
に、光ディスクのピットの有無を判断するだけの十分な
強度を有して、Ｓ／Ｎ比良く検出されることは困難であ
った。
【０００７】また、強度の大きな近視野を生成させるた
めに、光ディスクを照射する照射光の強度を大きくした
場合には、ピット部だけでなく、ピット部近傍に位置し
たプローブの先端までもが加熱され、光ディスク及びプ
ローブの破損や変形がもたらされる可能性がある。従っ
て、本発明は上記問題を鑑みて、高密度に記録された光
ディスクに対して信頼性の高い情報再生を実現させるた
めの近視野光学ヘッドを提供することを目的としてい
る。
めに、光ディスクを照射する照射光の強度を大きくした
場合には、ピット部だけでなく、ピット部近傍に位置し
たプローブの先端までもが加熱され、光ディスク及びプ
ローブの破損や変形がもたらされる可能性がある。従っ
て、本発明は上記問題を鑑みて、高密度に記録された光
ディスクに対して信頼性の高い情報再生を実現させるた
めの近視野光学ヘッドを提供することを目的としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る近視野光学ヘッドは、電極上に形成
され、電界を印加することによって発光する記録媒体の
情報再生を行う近視野光学ヘッドであって、少なくとも
１つの逆錐状の穴がその頂部を微小開口とするように貫
通して形成され、前記電極に対向するヘッド電極を前記
逆錐状の穴に有するスライダーと、前記スライダーにお
いて、前記微小開口が形成された面と反対側の面上に前
記微小開口に対応するように配置した受光素子とを有
し、前記微小開口と前記記録媒体を近接し、前記電極と
前記ヘッド電極との間に電圧を印加することを特徴とし
ている。
めに、本発明に係る近視野光学ヘッドは、電極上に形成
され、電界を印加することによって発光する記録媒体の
情報再生を行う近視野光学ヘッドであって、少なくとも
１つの逆錐状の穴がその頂部を微小開口とするように貫
通して形成され、前記電極に対向するヘッド電極を前記
逆錐状の穴に有するスライダーと、前記スライダーにお
いて、前記微小開口が形成された面と反対側の面上に前
記微小開口に対応するように配置した受光素子とを有
し、前記微小開口と前記記録媒体を近接し、前記電極と
前記ヘッド電極との間に電圧を印加することを特徴とし
ている。
【０００９】従って、ヘッド電極によって記録媒体の微
小領域のみに電界を印加して発光させることができる。
また、その発光した光を記録媒体に近接した微小開口で
散乱させて、受光素子まで伝搬させたのち受光素子で受
光することによって、記録媒体の微小な領域のみの発光
を受光することができる。その結果、非常に高密度に記
録された情報をＳ／Ｎ良く再生することが可能な近視野
光学ヘッドを提供することができる。
小領域のみに電界を印加して発光させることができる。
また、その発光した光を記録媒体に近接した微小開口で
散乱させて、受光素子まで伝搬させたのち受光素子で受
光することによって、記録媒体の微小な領域のみの発光
を受光することができる。その結果、非常に高密度に記
録された情報をＳ／Ｎ良く再生することが可能な近視野
光学ヘッドを提供することができる。
【００１０】また、本発明に係る近視野光学ヘッドは、
電極上に形成され、電界を印加することによって発光す
る記録媒体の情報再生を行う近視野光学ヘッドであっ
て、少なくとも１つの逆錐状の穴がその頂部を微小開口
とするように貫通して形成されたスライダーと前記逆錐
状の穴の側面に形成された微小電極と、前記スライダー
において、前記微小開口が形成された面と反対側の面上
に前記微小開口に対応するように配置した受光素子を有
し、前記微小開口と前記記録媒体を近接し、前記電極と
前記微小電極との間に電圧を印加することを特徴として
いる。
電極上に形成され、電界を印加することによって発光す
る記録媒体の情報再生を行う近視野光学ヘッドであっ
て、少なくとも１つの逆錐状の穴がその頂部を微小開口
とするように貫通して形成されたスライダーと前記逆錐
状の穴の側面に形成された微小電極と、前記スライダー
において、前記微小開口が形成された面と反対側の面上
に前記微小開口に対応するように配置した受光素子を有
し、前記微小開口と前記記録媒体を近接し、前記電極と
前記微小電極との間に電圧を印加することを特徴として
いる。
【００１１】従って、微小電極によって記録媒体の微小
領域のみに電界を印加して発光させることができる。ま
た、その発光した光を記録媒体に近接した微小開口で散
乱させて、受光素子まで伝搬させたのち受光素子で受光
することによって、記録媒体の微小な領域のみの発光を
受光することができる。その結果、非常に高密度に記録
された情報をＳ／Ｎ良く再生することが可能な近視野光
学ヘッドを提供することができる。
領域のみに電界を印加して発光させることができる。ま
た、その発光した光を記録媒体に近接した微小開口で散
乱させて、受光素子まで伝搬させたのち受光素子で受光
することによって、記録媒体の微小な領域のみの発光を
受光することができる。その結果、非常に高密度に記録
された情報をＳ／Ｎ良く再生することが可能な近視野光
学ヘッドを提供することができる。
【００１２】また、本発明に係る近視野光学ヘッドは、
電極上に形成され、電界を印加することによって発光す
る記録媒体の情報再生を行う近視野光学ヘッドであっ
て、少なくとも１つの逆錐状の穴がその頂部を微小開口
とするように貫通して形成されたスライダーと前記逆錐
状の穴の側面に形成された光導波路と、前記逆錐状の穴
の内部に形成され先端が微小開口に向かう先鋭電極と、
前記スライダーにおいて、前記微小開口が形成された面
と反対側の面上に前記光導波路に対応するように配置し
た受光素子を有し、前記微小開口と前記記録媒体を近接
し、前記電極と前記先鋭電極との間に電圧を印加するこ
とを特徴としている。
電極上に形成され、電界を印加することによって発光す
る記録媒体の情報再生を行う近視野光学ヘッドであっ
て、少なくとも１つの逆錐状の穴がその頂部を微小開口
とするように貫通して形成されたスライダーと前記逆錐
状の穴の側面に形成された光導波路と、前記逆錐状の穴
の内部に形成され先端が微小開口に向かう先鋭電極と、
前記スライダーにおいて、前記微小開口が形成された面
と反対側の面上に前記光導波路に対応するように配置し
た受光素子を有し、前記微小開口と前記記録媒体を近接
し、前記電極と前記先鋭電極との間に電圧を印加するこ
とを特徴としている。
【００１３】従って、先鋭電極によって記録媒体の微小
領域のみに電界を印加して発光させることができる。ま
た、その発光した光を記録媒体に近接した微小開口で散
乱させて光導波路を伝搬させたのち受光素子で受光する
ことによって、記録媒体の微小な領域のみの発光を受光
することができる。その結果、非常に高密度に記録され
た情報をＳ／Ｎ良く再生することが可能になると共に、
コンパクトな構成の近視野光学ヘッドを提供できる。
領域のみに電界を印加して発光させることができる。ま
た、その発光した光を記録媒体に近接した微小開口で散
乱させて光導波路を伝搬させたのち受光素子で受光する
ことによって、記録媒体の微小な領域のみの発光を受光
することができる。その結果、非常に高密度に記録され
た情報をＳ／Ｎ良く再生することが可能になると共に、
コンパクトな構成の近視野光学ヘッドを提供できる。
【００１４】また、本発明に係る近視野光学ヘッドは、
電極上に形成され、電界を印加することによって発光す
る記録媒体の情報再生を行う近視野光学ヘッドであっ
て、少なくとも１つの逆錐状の突起がその頂部を前記記
録媒体に対向するように形成されたスライダーと、先端
に微小開口が形成されるように前記突起の側面に形成さ
れた微小電極と、前記スライダーにおいて、前記突起が
形成された面と反対側の面上に、前記突起に対応するよ
うに配置した受光素子を有し、前記突起と前記記録媒体
を近接し、前記電極と前記微小電極との間に電圧を印加
することを特徴としている。
電極上に形成され、電界を印加することによって発光す
る記録媒体の情報再生を行う近視野光学ヘッドであっ
て、少なくとも１つの逆錐状の突起がその頂部を前記記
録媒体に対向するように形成されたスライダーと、先端
に微小開口が形成されるように前記突起の側面に形成さ
れた微小電極と、前記スライダーにおいて、前記突起が
形成された面と反対側の面上に、前記突起に対応するよ
うに配置した受光素子を有し、前記突起と前記記録媒体
を近接し、前記電極と前記微小電極との間に電圧を印加
することを特徴としている。
【００１５】従って、微小電極によって記録媒体の微小
領域のみに電界を印加して発光させることができる。ま
た、その発光した光を記録媒体に近接した微小開口で散
乱させて受光素子で受光することによって、記録媒体の
微小な領域のみの発光を受光することができる。その結
果、非常に高密度に記録された情報をＳ／Ｎ良く再生す
ることが可能になると共に、コンパクトな構成の近視野
光学ヘッドを提供できる。
領域のみに電界を印加して発光させることができる。ま
た、その発光した光を記録媒体に近接した微小開口で散
乱させて受光素子で受光することによって、記録媒体の
微小な領域のみの発光を受光することができる。その結
果、非常に高密度に記録された情報をＳ／Ｎ良く再生す
ることが可能になると共に、コンパクトな構成の近視野
光学ヘッドを提供できる。
【００１６】また、本発明に係る近視野光学ヘッドは、
電極上に形成され、電界を印加することによって発光す
る記録媒体の情報再生を行う近視野光学ヘッドであっ
て、少なくとも１つの逆錐状の突起がその頂部を前記記
録媒体に対向するように形成されたスライダーと、前記
逆錐状の突起の先端に形成された微小電極と、前記スラ
イダーにおいて、前記突起が形成された面と反対側の面
上に、前記突起に対応するように配置した受光素子を有
し、前記突起と前記記録媒体を近接し、前記電極と前記
微小電極との間に電圧を印加することを特徴としてい
る。
電極上に形成され、電界を印加することによって発光す
る記録媒体の情報再生を行う近視野光学ヘッドであっ
て、少なくとも１つの逆錐状の突起がその頂部を前記記
録媒体に対向するように形成されたスライダーと、前記
逆錐状の突起の先端に形成された微小電極と、前記スラ
イダーにおいて、前記突起が形成された面と反対側の面
上に、前記突起に対応するように配置した受光素子を有
し、前記突起と前記記録媒体を近接し、前記電極と前記
微小電極との間に電圧を印加することを特徴としてい
る。
【００１７】従って、微小電極によって記録媒体の微小
領域のみに電界を印加して発光させることができる。そ
の結果、非常に高密度に記録された情報をＳ／Ｎ良く再
生することが可能になると共に、コンパクトな構成の近
視野光学ヘッドを提供できる。また、本発明に係る再生
方法は、電極上に形成され、電界を印加することによっ
て発光する記録媒体の情報再生を行う再生方法であっ
て、前記電極に対向し、少なくとも１つの先鋭化したヘ
ッド電極が形成されたスライダーと、前記スライダーに
おいて、前記ヘッド電極に対応するように配置した受光
素子と、を有する近視野光学ヘッドを用い、前記ヘッド
電極と前記記録媒体を近接し、前記電極と前記ヘッド電
極との間に電圧を印加することによって前記記録媒体を
発光させ、前記発光による光を前記受光素子で検出する
ことを特徴としている。
領域のみに電界を印加して発光させることができる。そ
の結果、非常に高密度に記録された情報をＳ／Ｎ良く再
生することが可能になると共に、コンパクトな構成の近
視野光学ヘッドを提供できる。また、本発明に係る再生
方法は、電極上に形成され、電界を印加することによっ
て発光する記録媒体の情報再生を行う再生方法であっ
て、前記電極に対向し、少なくとも１つの先鋭化したヘ
ッド電極が形成されたスライダーと、前記スライダーに
おいて、前記ヘッド電極に対応するように配置した受光
素子と、を有する近視野光学ヘッドを用い、前記ヘッド
電極と前記記録媒体を近接し、前記電極と前記ヘッド電
極との間に電圧を印加することによって前記記録媒体を
発光させ、前記発光による光を前記受光素子で検出する
ことを特徴としている。
【００１８】従って、ヘッド電極によって記録媒体の微
小領域のみに電界を印加して発光させることができる。
その結果、非常に高密度に記録された情報をＳ／Ｎ良く
再生することが可能になる。また、本発明に係る再生方
法は、電極上に形成され、電界を印加することによって
発光する記録媒体の情報再生を行う再生方法であって、
少なくとも１つの微小開口が形成され、前記電極に対向
するヘッド電極を前記微小開口近傍に有するスライダー
と、前記スライダーにおいて、前記微小開口が形成され
た面と反対側の面上に前記微小開口に対応するように配
置した受光素子と、を有する近視野光学ヘッドを用い、
前記微小開口と前記記録媒体を近接し、前記電極と前記
ヘッド電極との間に電圧を印加することによって前記記
録媒体を発光させ、前記発光による光を前記微小開口を
経て前記受光素子で検出することを特徴としている。
小領域のみに電界を印加して発光させることができる。
その結果、非常に高密度に記録された情報をＳ／Ｎ良く
再生することが可能になる。また、本発明に係る再生方
法は、電極上に形成され、電界を印加することによって
発光する記録媒体の情報再生を行う再生方法であって、
少なくとも１つの微小開口が形成され、前記電極に対向
するヘッド電極を前記微小開口近傍に有するスライダー
と、前記スライダーにおいて、前記微小開口が形成され
た面と反対側の面上に前記微小開口に対応するように配
置した受光素子と、を有する近視野光学ヘッドを用い、
前記微小開口と前記記録媒体を近接し、前記電極と前記
ヘッド電極との間に電圧を印加することによって前記記
録媒体を発光させ、前記発光による光を前記微小開口を
経て前記受光素子で検出することを特徴としている。
【００１９】従って、ヘッド電極によって記録媒体の微
小領域のみに電界を印加して発光させることができる。
また、その発光した光を記録媒体に近接した微小開口で
散乱させて、受光素子まで伝搬させたのち受光素子で受
光することによって、記録媒体の微小な領域のみの発光
を受光することができる。その結果、非常に高密度に記
録された情報をＳ／Ｎ良く再生することが可能な再生方
法を提供することができる。
小領域のみに電界を印加して発光させることができる。
また、その発光した光を記録媒体に近接した微小開口で
散乱させて、受光素子まで伝搬させたのち受光素子で受
光することによって、記録媒体の微小な領域のみの発光
を受光することができる。その結果、非常に高密度に記
録された情報をＳ／Ｎ良く再生することが可能な再生方
法を提供することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る近視野光学
ヘッドの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるもの
ではない。 ［実施の形態１］図１は、実施の形態１に係る近視野光
学ヘッドの一部の断面図を示している。図１において、
電界を加えることにより発光する微小な記録マーク４が
形成された光ディスク１１１からの情報を、近視野光学
ヘッド１０１に形成された微小な開口６が光ディスク１
１１表面に近接し、発光する記録マーク４からの光を受
光素子７で受光することにより、情報を再生する。
ヘッドの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるもの
ではない。 ［実施の形態１］図１は、実施の形態１に係る近視野光
学ヘッドの一部の断面図を示している。図１において、
電界を加えることにより発光する微小な記録マーク４が
形成された光ディスク１１１からの情報を、近視野光学
ヘッド１０１に形成された微小な開口６が光ディスク１
１１表面に近接し、発光する記録マーク４からの光を受
光素子７で受光することにより、情報を再生する。
【００２１】シリコン基板３１はこれを貫通するように
テーパー部３２が形成され、微小な開口６を有してい
る。このテーパー部３２には、微小電極５が形成されて
いる。開口６は、例えば５０ｎｍの径を有している。テ
ーパー部３２は、従来のフォトリソグラフィやシリコン
異方性エッチングなどを用いた微細加工によって形成さ
れる。例えば、（１００）平面を有するシリコン基板３
１の両面に、続いて行う異方性エッチングのマスクとな
る熱酸化膜またはＡｕ／Ｃｒ金属膜などを設け、その一
方の表面のマスクの開口窓となる部分を除去して（１０
０）平面を露出させる。続いて、開口窓が形成された面
をエッチング溶液にさらし、シリコン基板３１に逆ピラ
ミッド構造をした四方面のテーパを形成し、同時にその
先端が開口６となるように他方の面のマスク裏面が露出
される。次にシリコン基板３１の両面のマスク材料を除
去することにより、所望の開口６を有してテーパー部３
２が形成されたシリコン基板３１を得ることができる。
その後、導電性を有するアルミニウムなどの金属をスパ
ッタや蒸着によりテーパー部３２に成膜することによ
り、微小電極５が形成される。そして、シリコン基板３
１の開口６と反対側の面に、開口６に対応するように受
光素子７を接着や接合により設ける。
テーパー部３２が形成され、微小な開口６を有してい
る。このテーパー部３２には、微小電極５が形成されて
いる。開口６は、例えば５０ｎｍの径を有している。テ
ーパー部３２は、従来のフォトリソグラフィやシリコン
異方性エッチングなどを用いた微細加工によって形成さ
れる。例えば、（１００）平面を有するシリコン基板３
１の両面に、続いて行う異方性エッチングのマスクとな
る熱酸化膜またはＡｕ／Ｃｒ金属膜などを設け、その一
方の表面のマスクの開口窓となる部分を除去して（１０
０）平面を露出させる。続いて、開口窓が形成された面
をエッチング溶液にさらし、シリコン基板３１に逆ピラ
ミッド構造をした四方面のテーパを形成し、同時にその
先端が開口６となるように他方の面のマスク裏面が露出
される。次にシリコン基板３１の両面のマスク材料を除
去することにより、所望の開口６を有してテーパー部３
２が形成されたシリコン基板３１を得ることができる。
その後、導電性を有するアルミニウムなどの金属をスパ
ッタや蒸着によりテーパー部３２に成膜することによ
り、微小電極５が形成される。そして、シリコン基板３
１の開口６と反対側の面に、開口６に対応するように受
光素子７を接着や接合により設ける。
【００２２】光ディスク１１１は例えば回転機構（図示
しない）によって回転される円盤状であり、ガラスなど
の基板１上にＩＴＯなどの電極２を成膜された後、エレ
クトロルミネッセンス（ＥＬ）を有する薄膜状の記録媒
体３が形成されている。記録媒体３としては、有機ある
いは無機のＥＬ薄膜を用いることができる。有機のＥＬ
薄膜として、例えばスパッタによって形成されたそれぞ
れ厚さ数十ｎｍのトリフェニルジアミン（ＴＰＤ）とｔ
ｒｉｓ（８−ｈｙｄｒｏｘｙ−ｑｕｉｎｏｌｉｎａｔ
ｅ）ａｌｕｍｉｎｕｍ（Ａｌｑ3）が積層されたＥＬ薄
膜を用いることができる。この場合、数ボルト程度と低
い電圧をこの有機ＥＬ薄膜に印加することにより、ＴＰ
ＤとＡｌｑ3の界面からＥＬによる可視域の発光が生じ
る。通常、発光に必要な印加電圧が低い点から、有機Ｅ
Ｌ薄膜の方が無機ＥＬ薄膜より好ましい。
しない）によって回転される円盤状であり、ガラスなど
の基板１上にＩＴＯなどの電極２を成膜された後、エレ
クトロルミネッセンス（ＥＬ）を有する薄膜状の記録媒
体３が形成されている。記録媒体３としては、有機ある
いは無機のＥＬ薄膜を用いることができる。有機のＥＬ
薄膜として、例えばスパッタによって形成されたそれぞ
れ厚さ数十ｎｍのトリフェニルジアミン（ＴＰＤ）とｔ
ｒｉｓ（８−ｈｙｄｒｏｘｙ−ｑｕｉｎｏｌｉｎａｔ
ｅ）ａｌｕｍｉｎｕｍ（Ａｌｑ3）が積層されたＥＬ薄
膜を用いることができる。この場合、数ボルト程度と低
い電圧をこの有機ＥＬ薄膜に印加することにより、ＴＰ
ＤとＡｌｑ3の界面からＥＬによる可視域の発光が生じ
る。通常、発光に必要な印加電圧が低い点から、有機Ｅ
Ｌ薄膜の方が無機ＥＬ薄膜より好ましい。
【００２３】このような記録媒体３には、所定の電界が
印加された場合の発光の有無によって、情報が記録マー
ク４として記録されている。最小の記録マーク４の直径
は、例えば１００ｎｍと、可視光をレンズ系で集光して
得られるスポット径よりはるかに小さい。記録媒体３へ
の情報の記録は、例えば、記録マークサイズと同程度か
それ以下の先端径を有する先鋭な金属探針を記録媒体３
に近接あるいは接触させ、この金属探針と電極２間に大
きな電圧を印加して記録媒体３に過大な電流を流すこと
により、記録媒体３の微小領域のＥＬ発光性を消失させ
ることで可能である。本実施の形態では、発光性が残っ
ている部分を記録マーク４と呼び、その大きさは上記金
属探針の先端径と同程度となるので、１００ｎｍ以下と
することが可能である。
印加された場合の発光の有無によって、情報が記録マー
ク４として記録されている。最小の記録マーク４の直径
は、例えば１００ｎｍと、可視光をレンズ系で集光して
得られるスポット径よりはるかに小さい。記録媒体３へ
の情報の記録は、例えば、記録マークサイズと同程度か
それ以下の先端径を有する先鋭な金属探針を記録媒体３
に近接あるいは接触させ、この金属探針と電極２間に大
きな電圧を印加して記録媒体３に過大な電流を流すこと
により、記録媒体３の微小領域のＥＬ発光性を消失させ
ることで可能である。本実施の形態では、発光性が残っ
ている部分を記録マーク４と呼び、その大きさは上記金
属探針の先端径と同程度となるので、１００ｎｍ以下と
することが可能である。
【００２４】このようにして情報を記録した光ディスク
１１１の電極２と上述した近視野光学ヘッド１０１の微
小電極５の間に、数ボルト程度の電圧を印加し、微小な
開口６と記録媒体３を数十ｎｍの距離まで近接させる。
近視野光学ヘッド１０１と光ディスク１１１の間に潤滑
剤を充填し、近視野光学ヘッド１０１を十分に薄く形成
することで、潤滑剤の表面張力を利用して開口６と記録
媒体３との間隔を十分に小さく維持できる。更には、記
録媒体の撓みに対しても追従できる。
１１１の電極２と上述した近視野光学ヘッド１０１の微
小電極５の間に、数ボルト程度の電圧を印加し、微小な
開口６と記録媒体３を数十ｎｍの距離まで近接させる。
近視野光学ヘッド１０１と光ディスク１１１の間に潤滑
剤を充填し、近視野光学ヘッド１０１を十分に薄く形成
することで、潤滑剤の表面張力を利用して開口６と記録
媒体３との間隔を十分に小さく維持できる。更には、記
録媒体の撓みに対しても追従できる。
【００２５】なお、近視野光学ヘッド１０１と光ディス
ク１１１との近接状態を上記した潤滑剤によらずに、ハ
ードディスク技術に用いられているフライングヘッドと
同様にエアベアリングによって制御してもよい。このよ
うにして近視野光学ヘッド１０１と光ディスク１１１を
近接させ、微小電極５と電極２間に電圧を印加すること
により、記録媒体３には電界９が印加される。この電界
９の大きさは微小電極５と電極２間の距離に依存する
が、開口６と記録媒体３間の距離が数十ｎｍと非常に短
いため、微小電極５と電極２間に数ボルト程度の電圧を
印加するだけで、上記有機のＥＬ薄膜を用いた記録媒体
３を発光させることが可能である。また、微小な開口６
を形成するテーパー部３２のみに微小電極５を形成して
いるため、記録媒体３の電界９が印加される領域は、ほ
ぼ開口６の大きさ程度となり非常に小さい。
ク１１１との近接状態を上記した潤滑剤によらずに、ハ
ードディスク技術に用いられているフライングヘッドと
同様にエアベアリングによって制御してもよい。このよ
うにして近視野光学ヘッド１０１と光ディスク１１１を
近接させ、微小電極５と電極２間に電圧を印加すること
により、記録媒体３には電界９が印加される。この電界
９の大きさは微小電極５と電極２間の距離に依存する
が、開口６と記録媒体３間の距離が数十ｎｍと非常に短
いため、微小電極５と電極２間に数ボルト程度の電圧を
印加するだけで、上記有機のＥＬ薄膜を用いた記録媒体
３を発光させることが可能である。また、微小な開口６
を形成するテーパー部３２のみに微小電極５を形成して
いるため、記録媒体３の電界９が印加される領域は、ほ
ぼ開口６の大きさ程度となり非常に小さい。
【００２６】開口６が発光する記録マーク４上にあると
き、記録マーク４に電界９が印加されてＥＬ光１０が発
生する。開口６から離れた記録マーク４には電界９が印
加されないため発光しない。また、記録マーク４以外の
部分は発光性を有さないため発光しない。開口６と記録
マーク４間の距離は数十ｎｍであるため、記録マーク４
の近視野領域でＥＬ光１０は発光する。このＥＬ光１０
は、発光波長より十分に小さな径を有する開口６で散乱
され、散乱光１１として受光素子７で検出されて電気信
号に変換される。近視野光を発生させるための伝搬光が
不要である上、記録媒体３上の他の部分からはＥＬ光１
０が発光していないため、伝搬光や迷光など再生信号光
以外は受光素子７で検出されない。テーパー部３２はア
ルミニウムなど金属の微小電極５が形成されているた
め、その反射率は高く、散乱光１１は少ない損失で効率
よく受光素子７を照射する。このようにして、例えば１
００ｎｍ以下の最小ビット径で光ディスク１１１に高密
度記録された情報を、近視野光学ヘッド１０１で非常に
Ｓ／Ｎ良く再生することが可能となる。
き、記録マーク４に電界９が印加されてＥＬ光１０が発
生する。開口６から離れた記録マーク４には電界９が印
加されないため発光しない。また、記録マーク４以外の
部分は発光性を有さないため発光しない。開口６と記録
マーク４間の距離は数十ｎｍであるため、記録マーク４
の近視野領域でＥＬ光１０は発光する。このＥＬ光１０
は、発光波長より十分に小さな径を有する開口６で散乱
され、散乱光１１として受光素子７で検出されて電気信
号に変換される。近視野光を発生させるための伝搬光が
不要である上、記録媒体３上の他の部分からはＥＬ光１
０が発光していないため、伝搬光や迷光など再生信号光
以外は受光素子７で検出されない。テーパー部３２はア
ルミニウムなど金属の微小電極５が形成されているた
め、その反射率は高く、散乱光１１は少ない損失で効率
よく受光素子７を照射する。このようにして、例えば１
００ｎｍ以下の最小ビット径で光ディスク１１１に高密
度記録された情報を、近視野光学ヘッド１０１で非常に
Ｓ／Ｎ良く再生することが可能となる。
【００２７】従って、実施の形態１に係る近視野光学ヘ
ッドによれば、光ディスク１１１の記録媒体３をＥＬ薄
膜とし、微小電極５と電極２間に電圧を印加することに
より微小な領域のみに電界９を印加することが可能で、
電界９が印加された記録マーク４のみから発光するＥＬ
光１０を微小な開口６を用いて検出するため、再生信号
のＳ／Ｎ比を大きくすることができ、高密度に記録され
た光ディスク１１１の情報を信頼性高く安定して再生す
ることができる。
ッドによれば、光ディスク１１１の記録媒体３をＥＬ薄
膜とし、微小電極５と電極２間に電圧を印加することに
より微小な領域のみに電界９を印加することが可能で、
電界９が印加された記録マーク４のみから発光するＥＬ
光１０を微小な開口６を用いて検出するため、再生信号
のＳ／Ｎ比を大きくすることができ、高密度に記録され
た光ディスク１１１の情報を信頼性高く安定して再生す
ることができる。
【００２８】また、従来の近視野光学顕微鏡において生
成された近視野と相互作用することにより得られる伝搬
光を検出する近視野検出系は、本実施の形態の近視野光
学ヘッドに組み込まれているため、開口位置との相対的
な調整は不要である。さらに、伝搬光を照射して近視野
を生成させる近視野生成系は、本実施の形態では不要と
なるため、本実施の形態を用いた情報再生装置の構成を
コンパクトにすることが可能である。 ［実施の形態２］図２は、実施の形態２に係る近視野光
学ヘッドの一部の断面図を示している。なお、図１と共
通する部分には同一符号を付している。
成された近視野と相互作用することにより得られる伝搬
光を検出する近視野検出系は、本実施の形態の近視野光
学ヘッドに組み込まれているため、開口位置との相対的
な調整は不要である。さらに、伝搬光を照射して近視野
を生成させる近視野生成系は、本実施の形態では不要と
なるため、本実施の形態を用いた情報再生装置の構成を
コンパクトにすることが可能である。 ［実施の形態２］図２は、実施の形態２に係る近視野光
学ヘッドの一部の断面図を示している。なお、図１と共
通する部分には同一符号を付している。
【００２９】図２においては、光ディスク１１１の構成
は同じである。近視野光学ヘッド１０２に形成された先
鋭電極２２が光ディスク１１１表面に近接し、発光する
記録マーク４からの光が光導波路２１を導波して受光素
子７で受光されることにより、この光ディスク１１１に
記録された情報を再生する。シリコン基板４１はこれを
貫通するようにテーパー部４２が形成され、開口２３を
有している。開口２３は、実施の形態１で示した開口６
より大きく、例えば数ミクロンから数十ミクロン程度の
径を有している。 テーパー部４２は、実施の形態１で
示した方法と同様に作製することができる。ただし、エ
ッチングによってテーパー部４２を作製する前に、シリ
コン基板４１の開口２３を形成する面に酸化シリコン膜
を形成しておく。この酸化シリコン膜は、シリコンとの
エッチングレートの違いを利用してテーパー部４２形成
後も残す。このようにして、テーパー部４２は形成され
るがシリコン基板４１を貫通しないため、次の光導波路
２１や先鋭電極２２の形成時に、開口２３近傍での形状
を正確に形成することができる。
は同じである。近視野光学ヘッド１０２に形成された先
鋭電極２２が光ディスク１１１表面に近接し、発光する
記録マーク４からの光が光導波路２１を導波して受光素
子７で受光されることにより、この光ディスク１１１に
記録された情報を再生する。シリコン基板４１はこれを
貫通するようにテーパー部４２が形成され、開口２３を
有している。開口２３は、実施の形態１で示した開口６
より大きく、例えば数ミクロンから数十ミクロン程度の
径を有している。 テーパー部４２は、実施の形態１で
示した方法と同様に作製することができる。ただし、エ
ッチングによってテーパー部４２を作製する前に、シリ
コン基板４１の開口２３を形成する面に酸化シリコン膜
を形成しておく。この酸化シリコン膜は、シリコンとの
エッチングレートの違いを利用してテーパー部４２形成
後も残す。このようにして、テーパー部４２は形成され
るがシリコン基板４１を貫通しないため、次の光導波路
２１や先鋭電極２２の形成時に、開口２３近傍での形状
を正確に形成することができる。
【００３０】このテーパー部４２には、光導波路２１が
形成された後、先鋭電極２２が形成されている。光導波
路２１は、テーパー部４２に酸化シリコン膜を厚さが数
ミクロン程度となるようにスパッタやＣＶＤで成膜する
ことにより形成する。この酸化シリコンの膜厚は、厚く
なるほど導波路としての光の伝搬効率が向上するため好
ましい。
形成された後、先鋭電極２２が形成されている。光導波
路２１は、テーパー部４２に酸化シリコン膜を厚さが数
ミクロン程度となるようにスパッタやＣＶＤで成膜する
ことにより形成する。この酸化シリコンの膜厚は、厚く
なるほど導波路としての光の伝搬効率が向上するため好
ましい。
【００３１】上記光導波路２１形成後、アルミニウムな
どの金属をスパッタなどで成膜することにより、先鋭電
極２２を形成する。テーパー形状をした光導波路２１の
側面にこの先鋭電極２２を形成するため、先鋭電極２２
の先端部は先端径が１００ｎｍ程度の先鋭な形状とする
ことができる。そして、シリコン基板４１の開口２３側
の面に形成した酸化シリコン膜を除去することにより、
開口２３を形成する。
どの金属をスパッタなどで成膜することにより、先鋭電
極２２を形成する。テーパー形状をした光導波路２１の
側面にこの先鋭電極２２を形成するため、先鋭電極２２
の先端部は先端径が１００ｎｍ程度の先鋭な形状とする
ことができる。そして、シリコン基板４１の開口２３側
の面に形成した酸化シリコン膜を除去することにより、
開口２３を形成する。
【００３２】このように作製した近視野光学ヘッド１０
２を、実施の形態１と同様に、光ディスク１１１に近接
させる。光ディスク１１１と先鋭電極２２間に数ボルト
程度の電圧を印加すると、実施の形態１で説明したよう
に、記録媒体３の微小領域のみに電界９を印加すること
ができる。従って、実施の形態２に係る近視野光学ヘッ
ドによれば、実施の形態１に係る近視野光学ヘッド同様
に、光ディスク１１１の微小領域のみに電界を印加する
ことができ、開口２３で散乱させた散乱光１１を光導波
路２１を伝搬させて検出するため、再生信号のＳ／Ｎ比
を大きくすることができ、高密度に記録された光ディス
クの情報を信頼性高く安定して再生することができる。
２を、実施の形態１と同様に、光ディスク１１１に近接
させる。光ディスク１１１と先鋭電極２２間に数ボルト
程度の電圧を印加すると、実施の形態１で説明したよう
に、記録媒体３の微小領域のみに電界９を印加すること
ができる。従って、実施の形態２に係る近視野光学ヘッ
ドによれば、実施の形態１に係る近視野光学ヘッド同様
に、光ディスク１１１の微小領域のみに電界を印加する
ことができ、開口２３で散乱させた散乱光１１を光導波
路２１を伝搬させて検出するため、再生信号のＳ／Ｎ比
を大きくすることができ、高密度に記録された光ディス
クの情報を信頼性高く安定して再生することができる。
【００３３】また、先鋭電極２２を用いて非常に微小な
領域のみをＥＬ発光させるため、開口２３の径が大きく
ても微小な記録マーク４からの信号を再生することがで
き、ＥＬ光１０の受光効率を高くして効率の良い再生が
可能となる。 ［実施の形態３］図３は、実施の形態３に係る近視野光
学ヘッドの一部の下面図とそのａ−ａ‘における断面図
を示している。なお、図１や図２と共通する部分には同
一符号を付している。
領域のみをＥＬ発光させるため、開口２３の径が大きく
ても微小な記録マーク４からの信号を再生することがで
き、ＥＬ光１０の受光効率を高くして効率の良い再生が
可能となる。 ［実施の形態３］図３は、実施の形態３に係る近視野光
学ヘッドの一部の下面図とそのａ−ａ‘における断面図
を示している。なお、図１や図２と共通する部分には同
一符号を付している。
【００３４】図３においては、光ディスク１１１の構成
は同じである。近視野光学ヘッド１０３に形成された微
小電極５２が光ディスク１１１表面に近接し、発光する
記録マーク４からの光１０が微小な開口６を経て受光素
子７で受光されることにより、この光ディスク１１１に
記録された情報を再生する。近視野光学ヘッド１０３
は、受光素子７と、開口６や微小電極５２を有するスラ
イダー５１からなる。スライダー５１は、石英など透過
率の高い誘電体材料の凹部に逆錐状の突起５３を設け、
その突起５３周辺を金属膜でコートすることで微小電極
５２を形成するとともに、突起５３先端には金属膜がコ
ートされていない微小な開口６を形成する。凹部に逆錐
状の突起５３を有する形状は、平面状の石英基板の突起
５３に対応する部分に従来のフォトリソグラフィーによ
りレジスト膜や金属膜でマスクを形成し、異方性エッチ
ングや等方性エッチングを行うことにより作製すること
ができる。このとき、平面状の基板から作製しているた
め、突起５３先端はスライダー底面５４から突出するこ
とはない。金属膜としては、抵抗が小さく、遮光性が良
く反射率の高い材料、例えば、アルミニウムや銀などが
良く、スパッタなどで成膜することができる。開口６
は、例えば５０ｎｍの径を有している。このように形成
されたスライダー５１においては、開口６はスライダー
底面５４と略同一面になるように形成されており、突起
５３や開口６をゴミや衝突などによる破壊から保護する
ことができる。スライダー５１に対し、受光素子７は開
口６で散乱された散乱光１１を効率よく受光できる位置
に配置して接着される。
は同じである。近視野光学ヘッド１０３に形成された微
小電極５２が光ディスク１１１表面に近接し、発光する
記録マーク４からの光１０が微小な開口６を経て受光素
子７で受光されることにより、この光ディスク１１１に
記録された情報を再生する。近視野光学ヘッド１０３
は、受光素子７と、開口６や微小電極５２を有するスラ
イダー５１からなる。スライダー５１は、石英など透過
率の高い誘電体材料の凹部に逆錐状の突起５３を設け、
その突起５３周辺を金属膜でコートすることで微小電極
５２を形成するとともに、突起５３先端には金属膜がコ
ートされていない微小な開口６を形成する。凹部に逆錐
状の突起５３を有する形状は、平面状の石英基板の突起
５３に対応する部分に従来のフォトリソグラフィーによ
りレジスト膜や金属膜でマスクを形成し、異方性エッチ
ングや等方性エッチングを行うことにより作製すること
ができる。このとき、平面状の基板から作製しているた
め、突起５３先端はスライダー底面５４から突出するこ
とはない。金属膜としては、抵抗が小さく、遮光性が良
く反射率の高い材料、例えば、アルミニウムや銀などが
良く、スパッタなどで成膜することができる。開口６
は、例えば５０ｎｍの径を有している。このように形成
されたスライダー５１においては、開口６はスライダー
底面５４と略同一面になるように形成されており、突起
５３や開口６をゴミや衝突などによる破壊から保護する
ことができる。スライダー５１に対し、受光素子７は開
口６で散乱された散乱光１１を効率よく受光できる位置
に配置して接着される。
【００３５】このように作製した近視野光学ヘッド１０
３を、実施の形態１や２と同様に、光ディスク１１１に
近接させる。光ディスク１１１と微小電極５２間に数ボ
ルト程度の電圧を印加すると、記録媒体３の微小領域の
みに電界９を印加することができる。この電界９により
発光したＥＬ光１０は開口６で散乱され、散乱光１１と
して受光素子７で検出される。
３を、実施の形態１や２と同様に、光ディスク１１１に
近接させる。光ディスク１１１と微小電極５２間に数ボ
ルト程度の電圧を印加すると、記録媒体３の微小領域の
みに電界９を印加することができる。この電界９により
発光したＥＬ光１０は開口６で散乱され、散乱光１１と
して受光素子７で検出される。
【００３６】このため、開口６の周辺は微小電極５２で
遮光され、開口６からのみＥＬ光１０を検出できるた
め、迷光など再生信号以外が受光素子７で検出されず、
Ｓ／Ｎの良い信号再生が可能となる。また、スライダー
５１に開口６を形成しているため、容易に光ディスク１
１１と開口６との間隔を近接させた状態で制御できる。
さらに、受光素子７をスライダー５１に接着しているた
め、開口６で散乱された伝搬光を検出するための光学系
が不要である。近視野光を生成するための近視野生成系
も不要である。これらのことから、本実施の形態を用い
た情報再生装置の構成をコンパクトにすることが可能で
ある。 ［実施の形態４］図４は、実施の形態４に係る近視野光
学ヘッドの一部の下面図とそのｂ−ｂ‘における断面図
を示している。図１から３と共通する部分には同一符号
を付している。
遮光され、開口６からのみＥＬ光１０を検出できるた
め、迷光など再生信号以外が受光素子７で検出されず、
Ｓ／Ｎの良い信号再生が可能となる。また、スライダー
５１に開口６を形成しているため、容易に光ディスク１
１１と開口６との間隔を近接させた状態で制御できる。
さらに、受光素子７をスライダー５１に接着しているた
め、開口６で散乱された伝搬光を検出するための光学系
が不要である。近視野光を生成するための近視野生成系
も不要である。これらのことから、本実施の形態を用い
た情報再生装置の構成をコンパクトにすることが可能で
ある。 ［実施の形態４］図４は、実施の形態４に係る近視野光
学ヘッドの一部の下面図とそのｂ−ｂ‘における断面図
を示している。図１から３と共通する部分には同一符号
を付している。
【００３７】図４においては、光ディスク１１１の構成
は同じである。近視野光学ヘッド１０４に形成されたヘ
ッド電極６２が光ディスク１１１表面に近接し、発光す
る記録マーク４からの光がスライダー６１を透過して受
光素子７で受光されることにより、この光ディスク１１
１に記録された情報を再生する。近視野光学ヘッド１０
４は、石英など透過率の高い誘電体材料からなるスライ
ダー６１と受光素子７からなり、スライダー６１に形成
した凹部に突起６３を設け、突起６３の側面と先端に金
属膜をコートしてヘッド電極６２としている。このた
め、開口は存在しない。スライダー６１は実施の形態３
でのスライダーと同様に作製できる。そのため、突起６
３の先端とスライダー６１の底面６４とは略同一面にな
るように形成されるため、突起６３やヘッド電極６２を
ゴミや衝突などによる破壊から保護することができる。
スライダー６１に対し、受光素子７はＥＬ光１２を効率
よく受光できる位置に配置して接着される。
は同じである。近視野光学ヘッド１０４に形成されたヘ
ッド電極６２が光ディスク１１１表面に近接し、発光す
る記録マーク４からの光がスライダー６１を透過して受
光素子７で受光されることにより、この光ディスク１１
１に記録された情報を再生する。近視野光学ヘッド１０
４は、石英など透過率の高い誘電体材料からなるスライ
ダー６１と受光素子７からなり、スライダー６１に形成
した凹部に突起６３を設け、突起６３の側面と先端に金
属膜をコートしてヘッド電極６２としている。このた
め、開口は存在しない。スライダー６１は実施の形態３
でのスライダーと同様に作製できる。そのため、突起６
３の先端とスライダー６１の底面６４とは略同一面にな
るように形成されるため、突起６３やヘッド電極６２を
ゴミや衝突などによる破壊から保護することができる。
スライダー６１に対し、受光素子７はＥＬ光１２を効率
よく受光できる位置に配置して接着される。
【００３８】このように作製した近視野光学ヘッド１０
４を、実施の形態１から３と同様に、光ディスク１１１
に近接させる。光ディスク１１１とヘッド電極６２間に
数ボルト程度の電圧を印加すると、記録媒体３の微小領
域のみに電界９を印加することができる。この電界９に
より発光したＥＬ光１２は、金属膜をコートしている領
域を小さくしておけばヘッド電極６２で遮光されること
なく、ほとんどがスライダー６１を透過して効率よく受
光素子７で受光することが可能である。
４を、実施の形態１から３と同様に、光ディスク１１１
に近接させる。光ディスク１１１とヘッド電極６２間に
数ボルト程度の電圧を印加すると、記録媒体３の微小領
域のみに電界９を印加することができる。この電界９に
より発光したＥＬ光１２は、金属膜をコートしている領
域を小さくしておけばヘッド電極６２で遮光されること
なく、ほとんどがスライダー６１を透過して効率よく受
光素子７で受光することが可能である。
【００３９】このため、突起６３の先端部の記録マーク
４のみを発光させることができるため、非常にＳ／Ｎの
高い信号再生が可能となる。また、光ディスク１１１と
ヘッド電極６２とを近接させることが容易である。記録
マーク４から発光したＥＬ光１２を検出する光学系が不
要であり、近視野光を生成するための近視野生成系も不
要であるため、本実施の形態を用いた情報再生装置の構
成をコンパクトにすることが可能である。
４のみを発光させることができるため、非常にＳ／Ｎの
高い信号再生が可能となる。また、光ディスク１１１と
ヘッド電極６２とを近接させることが容易である。記録
マーク４から発光したＥＬ光１２を検出する光学系が不
要であり、近視野光を生成するための近視野生成系も不
要であるため、本実施の形態を用いた情報再生装置の構
成をコンパクトにすることが可能である。
【００４０】従って、上述した実施の形態１から４に係
る近視野光学ヘッドによれば、情報が記録された記録媒
体を照明する照明光学系が不要であり、受光素子が形成
された近視野光学ヘッドのみで情報を再生できるため、
この近視野光学ヘッドを用いた情報再生装置の構成をコ
ンパクトにすることができる。また、光ディスク１１１
の裏面側を有効に活用できるために、記録媒体を表面側
及び裏面側に配置することで、両面にピットを情報とし
て記録された光ディスクの両面再生をも容易に実現可能
である。
る近視野光学ヘッドによれば、情報が記録された記録媒
体を照明する照明光学系が不要であり、受光素子が形成
された近視野光学ヘッドのみで情報を再生できるため、
この近視野光学ヘッドを用いた情報再生装置の構成をコ
ンパクトにすることができる。また、光ディスク１１１
の裏面側を有効に活用できるために、記録媒体を表面側
及び裏面側に配置することで、両面にピットを情報とし
て記録された光ディスクの両面再生をも容易に実現可能
である。
【００４１】なお、上述した実施の形態１乃至４におい
ては、近視野光学ヘッドとしてスライダー上に形成した
が、他のヘッドに形成しても良い。例えば、光ファイバ
ーを先鋭化して、先端を除く周囲を金属でコーティング
することにより微小開口を形成した光ファイバープロー
ブや、中空ガラスファイバーを上記光ファイバーの代わ
りに用いて微小開口を形成した中空プローブ等を使用す
ることができる。
ては、近視野光学ヘッドとしてスライダー上に形成した
が、他のヘッドに形成しても良い。例えば、光ファイバ
ーを先鋭化して、先端を除く周囲を金属でコーティング
することにより微小開口を形成した光ファイバープロー
ブや、中空ガラスファイバーを上記光ファイバーの代わ
りに用いて微小開口を形成した中空プローブ等を使用す
ることができる。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、電
界を印加することにより発光する記録媒体に情報が高密
度記録されており、ヘッド電極によりその微小領域のみ
に電界を印加して発光させることができる。また、微小
開口を用いて記録媒体の微小領域から発光した光のみを
検出するため、再生信号のＳ／Ｎ比を大きくすることが
でき、高密度に記録された記録媒体の情報を信頼性高く
安定して再生することができる。また、スライダー上に
ヘッド電極と受光素子とを一体の構成として実現でき、
近視野光学ヘッドの構成をコンパクトにし、各構成要素
間の相対的な調整を不要にしている。
界を印加することにより発光する記録媒体に情報が高密
度記録されており、ヘッド電極によりその微小領域のみ
に電界を印加して発光させることができる。また、微小
開口を用いて記録媒体の微小領域から発光した光のみを
検出するため、再生信号のＳ／Ｎ比を大きくすることが
でき、高密度に記録された記録媒体の情報を信頼性高く
安定して再生することができる。また、スライダー上に
ヘッド電極と受光素子とを一体の構成として実現でき、
近視野光学ヘッドの構成をコンパクトにし、各構成要素
間の相対的な調整を不要にしている。
【００４３】また、本発明によれば、電界を印加するこ
とにより発光する記録媒体に情報が高密度記録されてお
り、その微小領域のみに電界を印加して発光させること
ができる。また、近視野光を発生させる伝搬光が不要で
あり、その上微小開口によって微小領域から発光した光
のみを検出するため、再生信号のＳ／Ｎ比を大きくする
ことができ、高密度に記録された記録媒体の情報を信頼
性高く安定して再生することができる。また、スライダ
ー上に微小電極と受光素子とを一体の構成として実現で
き、近視野光学ヘッドの構成をコンパクトにし、各構成
要素間の相対的な調整を不要にしている。
とにより発光する記録媒体に情報が高密度記録されてお
り、その微小領域のみに電界を印加して発光させること
ができる。また、近視野光を発生させる伝搬光が不要で
あり、その上微小開口によって微小領域から発光した光
のみを検出するため、再生信号のＳ／Ｎ比を大きくする
ことができ、高密度に記録された記録媒体の情報を信頼
性高く安定して再生することができる。また、スライダ
ー上に微小電極と受光素子とを一体の構成として実現で
き、近視野光学ヘッドの構成をコンパクトにし、各構成
要素間の相対的な調整を不要にしている。
【００４４】また、本発明によれば、電界を印加するこ
とにより発光する記録媒体に情報が高密度記録されてお
り、先鋭な電極によりその微小領域のみに電界を印加し
て発光させることができる。また、微小開口に形成され
た光導波路によって微小領域から発光した光のみを検出
するため、再生信号のＳ／Ｎ比を大きくすることがで
き、高密度に記録された記録媒体の情報を信頼性高く安
定して再生することができる。また、スライダー上に先
鋭電極と受光素子とを一体の構成として実現でき、近視
野光学ヘッドの構成をコンパクトにし、各構成要素間の
相対的な調整を不要にしている。
とにより発光する記録媒体に情報が高密度記録されてお
り、先鋭な電極によりその微小領域のみに電界を印加し
て発光させることができる。また、微小開口に形成され
た光導波路によって微小領域から発光した光のみを検出
するため、再生信号のＳ／Ｎ比を大きくすることがで
き、高密度に記録された記録媒体の情報を信頼性高く安
定して再生することができる。また、スライダー上に先
鋭電極と受光素子とを一体の構成として実現でき、近視
野光学ヘッドの構成をコンパクトにし、各構成要素間の
相対的な調整を不要にしている。
【００４５】また、本発明によれば、電界を印加するこ
とにより発光する記録媒体に情報が高密度記録されてお
り、微小な電極によりその微小領域のみに電界を印加し
て発光させることができる。また、微小開口によって微
小領域から発光した光のみを検出するため、再生信号の
Ｓ／Ｎ比を大きくすることができ、高密度に記録された
記録媒体の情報を信頼性高く安定して再生することがで
きる。また、スライダー上に微小電極と受光素子とを一
体の構成として実現でき、近視野光学ヘッドの構成をコ
ンパクトにし、各構成要素間の相対的な調整を不要にし
ている。
とにより発光する記録媒体に情報が高密度記録されてお
り、微小な電極によりその微小領域のみに電界を印加し
て発光させることができる。また、微小開口によって微
小領域から発光した光のみを検出するため、再生信号の
Ｓ／Ｎ比を大きくすることができ、高密度に記録された
記録媒体の情報を信頼性高く安定して再生することがで
きる。また、スライダー上に微小電極と受光素子とを一
体の構成として実現でき、近視野光学ヘッドの構成をコ
ンパクトにし、各構成要素間の相対的な調整を不要にし
ている。
【００４６】また、本発明によれば、電界を印加するこ
とにより発光する記録媒体に情報が高密度記録されてお
り、先鋭な電極によりその微小領域のみに電界を印加し
て発光させることができるため、再生信号のＳ／Ｎ比を
大きくすることができ、高密度に記録された記録媒体の
情報を信頼性高く安定して再生することができる。ま
た、スライダー上に微小電極と受光素子とを一体の構成
として実現でき、近視野光学ヘッドの構成をコンパクト
にし、各構成要素間の相対的な調整を不要にしている。
とにより発光する記録媒体に情報が高密度記録されてお
り、先鋭な電極によりその微小領域のみに電界を印加し
て発光させることができるため、再生信号のＳ／Ｎ比を
大きくすることができ、高密度に記録された記録媒体の
情報を信頼性高く安定して再生することができる。ま
た、スライダー上に微小電極と受光素子とを一体の構成
として実現でき、近視野光学ヘッドの構成をコンパクト
にし、各構成要素間の相対的な調整を不要にしている。
【００４７】また、本発明によれば、電界を印加するこ
とにより発光する記録媒体に情報が高密度記録されてお
り、先鋭なヘッド電極によりその微小領域のみに電界を
印加して発光させることができるため、再生信号のＳ／
Ｎ比を大きくすることができ、高密度に記録された記録
媒体の情報を信頼性高く安定して再生することが可能な
再生方法を提供することができる。
とにより発光する記録媒体に情報が高密度記録されてお
り、先鋭なヘッド電極によりその微小領域のみに電界を
印加して発光させることができるため、再生信号のＳ／
Ｎ比を大きくすることができ、高密度に記録された記録
媒体の情報を信頼性高く安定して再生することが可能な
再生方法を提供することができる。
【００４８】また、本発明によれば、電界を印加するこ
とにより発光する記録媒体に情報が高密度記録されてお
り、ヘッド電極によりその微小領域のみに電界を印加し
て発光させることができる。また、微小開口によって微
小領域から発光した光のみを検出するため、再生信号の
Ｓ／Ｎ比を大きくすることができ、高密度に記録された
記録媒体の情報を信頼性高く安定して再生することが可
能な再生方法を提供することができる。
とにより発光する記録媒体に情報が高密度記録されてお
り、ヘッド電極によりその微小領域のみに電界を印加し
て発光させることができる。また、微小開口によって微
小領域から発光した光のみを検出するため、再生信号の
Ｓ／Ｎ比を大きくすることができ、高密度に記録された
記録媒体の情報を信頼性高く安定して再生することが可
能な再生方法を提供することができる。
【図１】本発明の実施の形態１による近視野光学ヘッド
の一部の断面図である。
の一部の断面図である。
【図２】本発明の実施の形態２による近視野光学ヘッド
の一部の断面図である。
の一部の断面図である。
【図３】本発明の実施の形態３による近視野光学ヘッド
の一部の下面図と断面図である。
の一部の下面図と断面図である。
【図４】本発明の実施の形態４による近視野光学ヘッド
の一部の下面図と断面図である。
の一部の下面図と断面図である。
１ 基板 ２ 電極 ３ 記録媒体 ４ 記録マーク ５ 微小電極 ６ 開口 ７ 受光素子 ９ 電界 １０ ＥＬ光 １１ 散乱光 １２ ＥＬ光 ２１ 光導波路 ２２ 先鋭電極 ２３ 開口 ３１、４１ シリコン基板 ３２、４２ テーパー部 ５１、６１ スライダー ５２ 微小電極 ５３、６３ 突起 ５４、６４ スライダー底面 ６２ ヘッド電極 １０１、１０２、１０３、１０４ 近視野光学ヘッド １１１ 光ディスク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 21/21 Ｇ１１Ｂ 21/21 Ｄ １０１ １０１Ｐ (72)発明者 笠間 宣行 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 新輪 隆 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 加藤 健二 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 大海 学 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 中島 邦雄 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内
Claims (7)
- 【請求項１】 電極上に形成され、電界を印加すること
によって発光する記録媒体の情報再生を行う近視野光学
ヘッドであって、 少なくとも１つの逆錐状の穴がその頂部を微小開口とす
るように貫通して形成され、前記電極に対向するヘッド
電極を前記逆錐状の穴に有するスライダーと、前記スラ
イダーにおいて、前記微小開口が形成された面と反対側
の面上に前記微小開口に対応するように配置した受光素
子とを有し、 前記微小開口と前記記録媒体を近接し、 前記電極と前記ヘッド電極との間に電圧を印加すること
を特徴とする近視野光学ヘッド。 - 【請求項２】 電極上に形成され、電界を印加すること
によって発光する記録媒体の情報再生を行う近視野光学
ヘッドであって、 少なくとも１つの逆錐状の穴がその頂部を微小開口とす
るように貫通して形成されたスライダーと、 前記逆錐状の穴の側面に形成された微小電極と、 前記スライダーにおいて、前記微小開口が形成された面
と反対側の面上に、前記微小開口に対応するように配置
した受光素子を有し、 前記微小開口と前記記録媒体を近接し、 前記電極と前記微小電極との間に電圧を印加することを
特徴とする近視野光学ヘッド。 - 【請求項３】 電極上に形成され、電界を印加すること
によって発光する記録媒体の情報再生を行う近視野光学
ヘッドであって、 少なくとも１つの逆錐状の穴がその頂部を微小開口とす
るように貫通して形成されたスライダーと、 前記逆錐状の穴の側面に形成された光導波路と、 前記逆錐状の穴の内部に形成され先端が微小開口に向か
う先鋭電極と、 前記スライダーにおいて、前記微小開口が形成された面
と反対側の面上に前記光導波路に対応するように配置し
た受光素子を有し、 前記微小開口と前記記録媒体を近接し、 前記電極と前記先鋭電極との間に電圧を印加することを
特徴とする近視野光学ヘッド。 - 【請求項４】 電極上に形成され、電界を印加すること
によって発光する記録媒体の情報再生を行う近視野光学
ヘッドであって、 少なくとも１つの逆錐状の突起がその頂部を前記記録媒
体に対向するように形成されたスライダーと、 先端に微小開口が形成されるように前記突起の側面に形
成された微小電極と、 前記スライダーにおいて、前記突起が形成された面と反
対側の面上に、前記突起に対応するように配置した受光
素子を有し、 前記突起と前記記録媒体を近接し、 前記電極と前記微小電極との間に電圧を印加することを
特徴とする近視野光学ヘッド。 - 【請求項５】 電極上に形成され、電界を印加すること
によって発光する記録媒体の情報再生を行う近視野光学
ヘッドであって、 少なくとも１つの逆錐状の突起がその頂部を前記記録媒
体に対向するように形成されたスライダーと、 前記逆錐状の突起の先端に形成された微小電極と、 前記スライダーにおいて、前記突起が形成された面と反
対側の面上に、前記突起に対応するように配置した受光
素子を有し、 前記突起と前記記録媒体を近接し、前記電極と前記微小
電極との間に電圧を印加することを特徴とする近視野光
学ヘッド。 - 【請求項６】 電極上に形成され、電界を印加すること
によって発光する記録媒体の情報再生を行う再生方法で
あって、 前記電極に対向し、少なくとも１つの先鋭化したヘッド
電極が形成されたスライダーと、 前記スライダーにおいて、前記ヘッド電極に対応するよ
うに配置した受光素子と、を有する近視野光学ヘッドを
用い、 前記ヘッド電極と前記記録媒体を近接し、 前記電極と前記ヘッド電極との間に電圧を印加すること
によって前記記録媒体を発光させ、 前記発光による光を前記受光素子で検出することを特徴
とする再生方法。 - 【請求項７】 電極上に形成され、電界を印加すること
によって発光する記録媒体の情報再生を行う再生方法で
あって、 少なくとも１つの微小開口が形成され、前記電極に対向
するヘッド電極を前記微小開口近傍に有するスライダー
と、 前記スライダーにおいて、前記微小開口が形成された面
と反対側の面上に前記微小開口に対応するように配置し
た受光素子と、を有する近視野光学ヘッドを用い、 前記微小開口と前記記録媒体を近接し、 前記電極と前記ヘッド電極との間に電圧を印加すること
によって前記記録媒体を発光させ、 前記発光による光を前記微小開口を経て前記受光素子で
検出することを特徴とする再生方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11108005A JP2000036128A (ja) | 1998-05-11 | 1999-04-15 | 近視野光学ヘッドおよび再生方法 |
| PCT/JP1999/002394 WO1999059147A1 (fr) | 1998-05-11 | 1999-05-07 | Tete optique en champ proche et procede de reproduction |
| EP99918344A EP0996117B1 (en) | 1998-05-11 | 1999-05-07 | Near field optical head and reproduction method |
| US09/462,438 US6448543B1 (en) | 1998-05-11 | 1999-05-07 | Near field optical head and reproduction method |
| DE69932690T DE69932690T2 (de) | 1998-05-11 | 1999-05-07 | Optischer nahfeldkopf und wiedergabeverfahren |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12757098 | 1998-05-11 | ||
| JP10-127570 | 1998-05-11 | ||
| JP11108005A JP2000036128A (ja) | 1998-05-11 | 1999-04-15 | 近視野光学ヘッドおよび再生方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000036128A true JP2000036128A (ja) | 2000-02-02 |
Family
ID=26447981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11108005A Pending JP2000036128A (ja) | 1998-05-11 | 1999-04-15 | 近視野光学ヘッドおよび再生方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
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