JP2000028553A - X-ray transmission inspection method and apparatus - Google Patents
X-ray transmission inspection method and apparatusInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】プラスチックの射出成形品から成るコネクタ用
の絶縁体機能部品の検査にX線透過による非破壊検査法
を適用しようとしても、そのX線透過像は、境界が不鮮
明でかつ全体としてもぼけたもので、検査が出来なかっ
た。
【解決手段】被験体にX線を照射して得た透過像の画像
データをデジタル化し、その表示を見て判別するX線透
過検査方法に於いて、前記透過像にエッジ強調の画像処
理をしたエッジ強調像を得、そして該エッジ強調像の画
像データと前記透過像の画像データとを差動演算するこ
とにより検査選別用の判別像の画像データを得て判別像
を表示させるようにした。
(57) [Problem] To apply a non-destructive inspection method by X-ray transmission to the inspection of an insulator functional component for a connector formed of a plastic injection-molded product, the boundary of the X-ray transmission image is unclear. In addition, it was blurred as a whole and could not be inspected. An X-ray transmission inspection method for digitizing image data of a transmission image obtained by irradiating a subject with X-rays and discriminating the image by looking at the display thereof includes applying edge enhancement image processing to the transmission image. The obtained edge-enhanced image is obtained, and the image data of the edge-enhanced image and the image data of the transmission image are subjected to a differential operation to obtain the image data of the discrimination image for inspection selection and to display the discrimination image. .
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用方法】本発明は、各種工業分野に於ける
被験体の放射線透過、特にX線透過画像による非破壊検
査方法、特に印刷配線板の相互間またはそれと電子機器
内の電線とを接続するゴム・プラスチックス製の射出成
形品又はその若しくは金属との組み合わせ体から成る各
種のコネクタや、プラグ等のような3次元形状体に適用
して有用な放射線、通常は放射線中のX線透過による非
破壊検査方法及び装置に係る。The present invention relates to a method for non-destructive inspection of a subject in various industrial fields by means of radiographic transmission, especially X-ray transmission images. Radiation useful for application to three-dimensional shapes such as various connectors and plugs, etc. composed of rubber or plastic injection molded products or their combination with metal to be connected, usually X-rays in radiation The present invention relates to a nondestructive inspection method and apparatus by transmission.
【0002】[0002]
【従来の技術】X線等の放射線透過像による非破壊検査
は,被験体の一部以上がゴム・プラスチックスである絶縁
被覆電線、半導体多端子パッケージ、各種プリント配線
基板等に於いては,半田付けの良否検査も含めて広く行
われている。しかし、そのほぼ全体乃至はその大部分
が、ゴム・プラスチックスから成る射出成形品や該成形
品等の組み合わせ形状体から成る各種コネクタの如き電
気絶縁体や機構部品等については、X線透過像を撮影し
ても、得られるX線透過像の濃淡画像、例えば、CRT
等のディスプレイ上に表示するかビデオプリンタ等のプ
リンタからのプリント出力した中間調画像では明るさの
差があり過ぎて、全体を観察しようとすると、全体のコ
ントラストを下げなければならず、かつ全体としても又
境界部分も不鮮明で、前記中間調画像のX線透過像によ
っては、上記ゴム・プラスチックス形状体各部の傷、欠
け、欠損、異物混入等を判別、探知することが出来ず、
このため、上記全体乃至はその大部分がゴム・プラスチ
ックスから成るコネクタ等の形状体の内部等の検査にX
線透過検査法が用いられることは殆ど無かったようであ
る。2. Description of the Related Art Non-destructive inspection using radiographic images such as X-rays is performed on insulated wires, semiconductor multi-terminal packages, various printed wiring boards, etc., where at least a part of the test object is made of rubber or plastic. Widely performed, including soldering quality inspection. However, electric insulators and mechanical parts such as injection molded articles made of rubber or plastics or almost all connectors made of a combination of such molded articles, or almost all of them, have an X-ray transmission image. Is obtained, a gray scale image of an obtained X-ray transmission image, for example, a CRT
There is too much difference in brightness in the halftone image displayed on a display such as a display or printed out from a printer such as a video printer, so that when observing the whole, the overall contrast must be reduced, and Also, the boundary portion is also unclear, and depending on the X-ray transmission image of the halftone image, it is not possible to determine and detect scratches, chips, defects, foreign matter inclusions, etc. of each part of the rubber / plastics body,
For this reason, the X or X is generally used for inspection of the inside of a shape such as a connector made of rubber or plastics.
It seems that the line transmission inspection method was rarely used.
【0003】これは、全体乃至はその大部分がゴム・プ
ラスチックスから成るコネクタ等の形状体は、重元素の
金属材料と異なり,軽元素から成る材料であるからX線
等の放射線が透過し易く、コントラストは透過部分の材
料の厚みの大小に依存する。即ち、厚みの差が小さい場
合はコントラストが弱く、厚みの差が小さい隣接部分間
ではコントラストが弱いため境界が明瞭にならず全体的
にぼけた中間調画像となり、このぼけた画像から、その
形状体局部の欠陥等を発見、識別することは困難である
から、上記全体乃至はその大部分がゴム・プラスチック
スから成るコネクタ等の形状体の非破壊検査に、X線透
過検査法が用いられて来なかったのだと思われる。[0003] This is because the shape of a connector or the like made of rubber or plastics as a whole or mostly is made of a light element, unlike a metal material of a heavy element, so that radiation such as X-rays is transmitted therethrough. Easily, the contrast depends on the thickness of the material of the transmission part. That is, when the difference in thickness is small, the contrast is weak, and between adjacent portions having a small difference in thickness, the contrast is weak, so that the boundary is not clear and a halftone image is blurred as a whole. Since it is difficult to find and identify defects and the like in a body part, an X-ray transmission inspection method is used for nondestructive inspection of the above-mentioned or a shape such as a connector made mostly of rubber and plastics. It seems that he did not come.
【0004】又従来、X線等の放射線透過検査法が、全
体乃至はその大部分がゴム・プラスチックスから成るコ
ネクタ等の形状体の検査に用いられなかったのには、前
記形状体としては、それほど複雑な3次元形状体でも、
又高い寸法精度体でもなく、比較的安価であったのに対
し、X線等の放射線の発生及び透過検査装置が大型でか
つかなり高価なものであった事等にも原因しているのか
と思惟される。しかし、今日では、大幅な小型化と高性
能化が進んで使用し易くなってきている一方で、前記コ
ネクタ等は、電子機器及び該電子機器等に複数個が設け
られる印刷配線板に各種の形式のものが多数個取り付け
使用される状況にあるところから、その良否検査は、全
数にわたってより正確に行われることが要請される状況
にあるものである。Conventionally, a radiographic inspection method such as X-rays has not been used for inspecting a whole or most of a shape such as a connector made of rubber or plastics. , Even for a complex 3D object,
In addition, it was relatively inexpensive without high dimensional accuracy, but it was also caused by the fact that the generation and transmission inspection equipment for radiation such as X-rays were large and quite expensive. Be thoughtful. However, today, while the size and performance have been greatly reduced and the use thereof has been facilitated, the connectors and the like are variously used for electronic devices and printed wiring boards provided with a plurality of the electronic devices and the like. In a situation where a large number of types are mounted and used, the quality inspection is required to be performed more accurately over the entire number.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上述のように、全体乃
至はその大部分がゴム・プラスチックから成る電子機器
用のコネクタ等の射出成形品及びその組み立て体等の形
状体の検査に、X線等放射線による非破壊の透過検査が
容易には適用し難い所から、従来は所定複数個に対する
サンプリング体の外観及び所望截断物に対する目視乃至
拡大目視検査等に依存していたが、人手と時間を要する
上に、信頼性に問題があった。As described above, X-rays are used for inspecting injection molded articles such as connectors for electronic equipment and electronic devices made of rubber or plastic, or almost all of them, and shapes thereof such as assemblies thereof. Conventionally, since nondestructive transmission inspection by isoradiation is difficult to apply, it has conventionally depended on the appearance of a predetermined number of sampling bodies and visual or enlarged visual inspection of desired cut objects. In short, there was a problem with reliability.
【0006】本発明は、上述の如き問題点に着目してな
されたものであり、X線等の放射線透過像の濃淡画像又
は前記中間調画像が、濃淡情報(データ)を有している
状態で境界表示の明瞭化を達成し、欠陥等の発見、識別
を目視、及び自動で容易に可能とする検査方法及び装置
を提供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is intended that a halftone image of a radiographic image such as X-rays or the halftone image has density information (data). The present invention provides an inspection method and apparatus that achieves clarification of a boundary display and enables easy and automatic detection and identification of defects and the like by visual observation.
【0007】[0007]
【課題を解決する手段】前述本発明の目的は、(1)被
験体にX線を照射してX線透過像を得、該透過像の画像
データをデジタル化して表示用又は印刷用の画像データ
を得るX線透過検査方法に於いて、前記透過像にエッジ
強調の画像処理をしたエッジ強調像を得、そして該エッ
ジ強調像の画像データと前記透過像の画像データとを差
動演算することにより検査選別用の判別像の画像データ
を得、前記表示用又は印刷用の判別像を出力し得るよう
にしたX線透過検査方法とすることにより達成される。The object of the present invention is to (1) irradiate a subject with X-rays to obtain an X-ray transmission image, and digitize the image data of the transmission image to display or print an image. In the X-ray transmission inspection method for obtaining data, an edge-enhanced image obtained by performing edge enhancement image processing on the transmission image is obtained, and a differential operation is performed between the image data of the edge-enhancement image and the image data of the transmission image. This is achieved by an X-ray transmission inspection method capable of obtaining image data of a discrimination image for inspection selection and outputting the discrimination image for display or printing.
【0008】又、本発明の目的は、(2)前記X線透過
像を画像化してCCDカメラにより撮影し、該撮影画像
をデジタル化した画像データとしてコンピュ−タ−の記
憶装置に取り込ませたものであって、該記憶装置に取り
込まれた透過像の前記画像データから前記検査選別用の
判別像の画像データを得る画像処理が、コンピューター
に読み込んだ画像処理プログラムによりコンピューター
内で実行されるものであって、処理実行後前記エッジ強
調像及び判別像が順次に、又は前記判別像が前記コンピ
ューターの表示装置に表示されるようにした前記(1)
に記載のX線透過検査方法とすることにより達成され
る。Another object of the present invention is to (2) convert the X-ray transmission image into an image, photograph the image with a CCD camera, and load the photographed image into a storage device of a computer as digitized image data. Wherein image processing of obtaining image data of the discrimination image for inspection selection from the image data of the transmission image taken into the storage device is executed in the computer by an image processing program read into the computer. Wherein the edge enhanced image and the discrimination image are sequentially displayed after the processing is performed, or the discrimination image is displayed on a display device of the computer.
This is achieved by the X-ray transmission inspection method described in (1).
【0009】又、本発明の目的は、(3)正常被験体に
つき予め製作した参照判別像の画像データを記憶装置に
格納しておき、新たな被験体の検査に於いて、前記記憶
装置から読み出した参照判別像の画像データを、画像の
位置及び露光条件を同一として得た被験体の判別像の画
像データと差動演算し、得られた画像データを前記表示
装置に前記被験体の検査像として表示する前記(2)に
記載のX線透過検査方法とすることにより達成される。Another object of the present invention is to store (3) image data of a reference discriminant image prepared in advance for a normal subject in a storage device, and to store the image data from the storage device in testing a new subject. The read image data of the reference discrimination image is subjected to a differential operation with the image data of the discrimination image of the subject obtained with the same image position and the same exposure conditions, and the obtained image data is displayed on the display device for inspection of the subject. This is achieved by the X-ray transmission inspection method described in (2) above, which displays an image.
【0010】又、本発明の目的は、(4)前記被験体
が、ゴム・プラスチックスの3次元形状体である前記
(1)、(2)、又は(3)に記載のX線透過検査方法
の場合により良く達成される。[0010] It is another object of the present invention to provide (4) the X-ray transmission inspection as described in (1), (2) or (3), wherein the subject is a three-dimensional rubber or plastic body. The method is better achieved.
【0011】又、本発明の目的は、(5)X線を被験体
に照射してX線透過像を得、該透過像の画像データをデ
ジタル化し、該デジタル化画像データを画像処理して検
査選別用の中間調画像の判別像及び該判別像の画像デー
タを得るX線透過検査装置に於いて、前記画像処理手段
が、前透過像のデジタル化画像データに対しエッジ強調
の処理をするプログラムと処理済画像データの記憶部
と、該処理済画像データと前記透過像の画像データとを
差動演算して判別像の画像データを得るプログラムと得
た画像データの記憶部と、前記両プログラムを順次に実
行するプログラムの記憶部を有し、前記画像処理手段に
おける画像処理の実行後に、前記判別像の画像データを
中間調の画像として表示する表示手段を備えて成るX線
透過検査装置とすることにより達成されるものである。Another object of the present invention is to (5) irradiate a subject with X-rays to obtain an X-ray transmission image, digitize image data of the transmission image, and perform image processing on the digitized image data. In an X-ray transmission inspection apparatus for obtaining a discrimination image of a halftone image for inspection selection and image data of the discrimination image, the image processing means performs edge enhancement processing on the digitized image data of the pre-transmission image. A storage unit for storing a program and processed image data, a program for obtaining differential image data by performing a differential operation between the processed image data and the image data of the transmission image, and a storage unit for obtained image data; An X-ray transmission inspection apparatus having a storage unit for a program for sequentially executing the programs, and a display unit for displaying the image data of the discrimination image as a halftone image after the image processing in the image processing unit is performed To be It is those established by.
【0012】[0012]
【発明の実施の形体】図1のA、B、及びCは、本発明
に於ける被験体の実施例を示す前述プラスチックスの射
出成形品から成るコネクタ機構部品の例を示す各斜視図
で、Aはポリブチレンテレフタレート(PBT)製のメ
スコネクタ、又B及びCはポリアミド(PA、通称:ナ
イロン)製の同じくメスコネクタであり、之等の直方体
状の被験体については、各X、Y、及びZの直角3軸方向
からのX線照射による3種類の透過像が得られ、各透過
像における各部のプラスチック材の透過厚みは大小相違
しているものの、その相違の程度は、照射X線の透過度
に大きな差を生じさせる程のものではなく、このため前
述のように、得られる透過像は画像として前記厚みに依
存する濃淡情報、形状にかかる境界情報、及び欠損、欠
陥、その他すべての画像情報を持っているにもかかわら
ず、前記境界部分の両側においてコントラストが弱く、
従って境界が不明瞭で、全体としてぼけた中間調画像と
してCRT等の表示装置の表示画像、又はビデオプリン
タ等のプリンタ出力画像として得られるものである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIGS. 1A, 1B and 1C are perspective views showing examples of a connector mechanism component comprising an injection-molded product of the above-mentioned plastics, showing an embodiment of a subject according to the present invention. A and A are female connectors made of polybutylene terephthalate (PBT), and B and C are female connectors made of polyamide (PA, commonly known as nylon). , And three types of transmission images by X-ray irradiation from three orthogonal directions of Z are obtained. Although the transmission thickness of the plastic material of each part in each transmission image is largely different, the degree of the difference is as follows. This is not enough to cause a large difference in the transmittance of the line, and therefore, as described above, the obtained transmission image is an image in which the thickness information depending on the thickness, the boundary information relating to the shape, and the defect, defect, etc. All paintings Despite having image information, the contrast is weak on both sides of the boundary,
Therefore, the boundary is unclear and the whole image is obtained as a blurred halftone image as a display image of a display device such as a CRT or a printer output image of a video printer or the like.
【0013】図2は、前記X線透過像の中間調画像を得
る装置の原理的構成説明図で、1はX線装置、2はX線
管で、枠状台3に配置された被験体5にX線4が照射さ
れ、被験体5透過X線を蛍光板6により被写体画像化
し、該画像をファイバーオプティックス等から成るイメ
ージインテンシファイア7によって縮小し、これをCC
D等のイメージセンサカメラ8によって撮影し、該撮影
画像を適宜A/D変換した画像データとしてパソコン本
体9のRAM記憶装置に取り込むと共に、CRTやLC
D等の表示装置10に表示せしめ、さらに必要に応じビ
デオプリンタ等のプリンタ11から上記中間調画像をハ
ードコピーとして出力させる。なお、図に於て12は、キ
ーボード等の入力装置、13は後述するように、例え
ば、各種被験体コネクタの良品についての本発明による
画像処理をした中間調画像の参照画像データ及び、前記
本発明による画像処理を前記X線透過像の画像データ入
力に応じて実行するためのプログラム、及び前記参照画
像データと被験体の画像データとにより被験体の良否判
別の処理を行うプログラム等を記憶してあるフレキシブ
ルデイクやCD−ROM等の記憶媒体で、前記本体9に
設けた各ディスクドライブ9Aにセットすることにより
記憶データやプログラムが本体9に取り込まれ、透過検
査が実行される。FIG. 2 is a view for explaining the basic configuration of an apparatus for obtaining a halftone image of the X-ray transmission image, wherein 1 is an X-ray apparatus, 2 is an X-ray tube, and a subject arranged on a frame base 3. 5 is irradiated with X-rays 4, the transmitted X-rays of the subject 5 are imaged on a subject by a fluorescent screen 6, and the images are reduced by an image intensifier 7 made of fiber optics or the like.
D and the like, and the captured image is taken into the RAM storage device of the personal computer 9 as A / D-converted image data as appropriate.
The image is displayed on a display device 10 such as D, and if necessary, the halftone image is output as a hard copy from a printer 11 such as a video printer. In the figure, reference numeral 12 denotes an input device such as a keyboard, and reference numeral 13 denotes, for example, reference image data of a halftone image obtained by performing image processing according to the present invention on non-defective connectors of various test objects, and A program for executing the image processing according to the present invention in accordance with the input of the image data of the X-ray transmission image, and a program for performing a process of determining the acceptability of the subject based on the reference image data and the image data of the subject are stored. By setting the storage medium such as a flexible disk or a CD-ROM in each disk drive 9A provided in the main body 9, the stored data and the program are taken into the main body 9, and the transmission inspection is executed.
【0014】図3のAは、前記図1のAのコネクタのX
軸方向の前述X線透過像、又図4のAは前記図1のBの
コネクタのX軸方向の前述X線透過像の各中間調画像で
あるが、何れの中間調画像も、前述のように全体的にぼ
けたもので、かかる画像を使用する限りは、仮令、予め
作成した良品の参照画像を、同一画面上又は紙面上に並
べて比較したとしても、この参照画像も同時にぼけてい
る所から、上記図3及び図4の各Aの透過像に依って
は、該プラスチックス射出成形体から成る各コネクタの
内部等に存する局部的な欠けや欠損、或いは余剰片の付
着、残存等を探知することは、熟練者等によっても容易
でないことは明らかである。FIG. 3A shows the X of the connector shown in FIG.
The X-ray transmission image in the axial direction and A in FIG. 4 are each halftone image of the X-ray transmission image in the X-axis direction of the connector in FIG. 1B. As long as this image is used, as long as such an image is used, even if the provisional command and the reference image of a non-defective product created in advance are compared on the same screen or on paper, the reference image is also blurred at the same time. From the point of view, depending on the transmission image of each A in FIGS. 3 and 4 described above, local chipping or chipping existing inside each connector made of the plastics injection molded article, or adhesion or surplus of surplus pieces, etc. Obviously, it is not easy for even a skilled person or the like to detect.
【0015】而して、この場合、上記被験体画像と参照
画像との比較を、画像処理、例えば、画像の回転、移動
などの参照画像と被験体画像とのアラインメント及び相
互相関係数の算出などにより行うことも可能ではある
が、複雑な処理ソフトの作成が必要であり、又作成した
としても、検査の実行処理に時間が長く掛かり、到底採
用すべきものと為し得ないものであった。In this case, the comparison between the subject image and the reference image is performed by image processing, for example, alignment of the reference image such as rotation and movement of the image with the subject image and calculation of the cross-correlation coefficient. Although it is possible to do so, it is necessary to create complicated processing software, and even if it is created, it takes a long time to execute the inspection, and it can not be done as it should be adopted .
【0016】然るに、本発明者は、前述したように、図
3のA及び図4のAに示したような前述の如きX線透過
像の中間調画像に対し、比較的簡単な画像処理を施すこ
とにより、コントラストが増大すると共に境界が明瞭化
して、全体的に明瞭化した乃至は被験体瑕疵の判別、探
知が容易な中間調画像を得ることに成功したものであ
る。However, as described above, the present inventor performed relatively simple image processing on the halftone image of the X-ray transmission image as shown in FIGS. 3A and 4A. By applying the method, the contrast is increased and the boundary is clarified, so that a halftone image which is clarified as a whole or in which the defect of the subject can be easily determined and detected is successfully obtained.
【0017】以下、之を図5の処理手段の流れ図により
説明すると、図2で説明したように、被験体5をセット
し、ステップS1としてX線を照射露光し、該露光によ
って得られた透過X線データを被写体画像化、該画像の
CCDカメラによる撮影、該撮影画像をA/D変換した
画像データAのパソコン本体9RAMへの取り込み(ス
テップS2)、次いで、該取り込んだ画像データに対す
る必要に応じて設けられるステップS3の前処理として
のメディアンフィルタ(Mediam Filter)
等によるフィルタリングの処理の後、前記画像データA
に対するロバーツ(Roberts)、ソーベル(So
bel),又はプレウィット(Prewit)等のエッ
ジ強調(edge enhancement)の画像処
理(ステップS4)をして、画像(図3のB、及び図4
のB)及び画像データBを得、該画像データBを上記RA
Mに取り込み、次のステップS5で、上記未処理の画像デ
ータAとエッジ強調処理をして得た画像データBの差動
演算処理をして(ステップS6)、図示の場合減算処理
による画像データCを得、該画像データCを上記RAMに
取り込むと共にステップ7として表示装置10に前記画
像データCによる中間調画像を検査判別用の判別画像
(図3のC、及び図4のC)として出力表示させるよう
にするものである。なお、前述前処理のフィルタリング
処理としては、前述メディアンフィルタによる処理が、
画像明瞭化に有効なことが確認されている。In the following, this will be described with reference to the flow chart of the processing means in FIG. 5. As described in FIG. 2, the subject 5 is set, X-ray irradiation and exposure are performed in step S1, and the transmission obtained by the exposure is performed. X-ray data is converted into a subject image, the image is photographed by a CCD camera, the photographed image is A / D-converted, and image data A is captured into a personal computer 9RAM (step S2). Median filter as a pre-process of step S3 provided accordingly
After the filtering process by
Roberts, Sobel (So
image processing (step S4) such as edge enhancement (edge) such as “bel” or “Prewitt” (step S4), and an image (B in FIG. 3 and FIG. 4).
B) and image data B, and the image data B
M, and in the next step S5, differential processing is performed on the unprocessed image data A and the image data B obtained by performing the edge enhancement processing (step S6). C, the image data C is loaded into the RAM, and a halftone image based on the image data C is output to the display device 10 as a discrimination image for inspection discrimination (C in FIG. 3 and C in FIG. 4) as step 7. This is to be displayed. In addition, as the filtering processing of the pre-processing, the processing by the median filter is
It has been confirmed that it is effective for image clarification.
【0018】上記の場合、X線透過像をA/D変換した
画像データA及びその出力中間調画像は、透過像に関す
る濃淡、境界、及び欠陥等の全ての情報を持っているに
もかかわらず、表示又はプリントされている中間調画像
は、図3のA及び図4のAの如く、境界が判然としない
と共に全体的にもぼけた画像であって、被験体の検査判
別画像には適さないもので、かかる画像の性状は、照射
X線のエネルギの調整、及びX線管球電極にタングステ
ン(W)又はモリブデン等を使用して発生させる連続X
線から成る軟X線、又は前記電極に銅(Cu)又はクロ
ーム(Cr)等を使用して発生させた特性X線と連続X線
から成る軟X線の使用によっても大きな変化はないよう
であった。In the above case, the image data A obtained by A / D conversion of the X-ray transmission image and the output halftone image have all the information on the transmission image, such as shading, boundaries and defects. The displayed or printed halftone image is an image whose boundary is not clear and is totally blurred as shown in FIG. 3A and FIG. 4A, and is suitable for the test discrimination image of the subject. However, the characteristics of such an image are controlled by adjusting the energy of the irradiated X-rays and the continuous X-ray generated by using tungsten (W) or molybdenum for the X-ray tube electrode.
The use of soft X-rays composed of X-rays or characteristic X-rays generated by using copper (Cu) or chromium (Cr) for the electrodes and continuous X-rays does not seem to change much. there were.
【0019】次に、上記図3及び図4の各Aの中間調画
像が得られる画像データAに対し、前述エッジ強調の画
像処理をすると境界が検出でき、得られる画像データB
による表示又はプリント出力の中間調画像は、図3及び
図4の各Bに示すように、境界(エッジ)は明瞭である
が、X線透過像の情報である濃淡情報、即ち、被験体各
部の材料のX線透過厚み情報が失われるものであるか
ら、この中間調画像は被験体の透過像情報を備えて居ら
ず、検査判別用の判別画像となり得ないことは明らかで
ある。Next, when the above-described edge-enhanced image processing is performed on the image data A from which the halftone image of each of FIGS. 3 and 4 is obtained, the boundary can be detected, and the obtained image data B
As shown in each of FIGS. 3 and 4B, the halftone image displayed or printed out has clear boundaries (edges), but the grayscale information that is the information of the X-ray transmission image, that is, each part of the subject. Since the X-ray transmission thickness information of the material is lost, it is clear that this halftone image does not have the transmission image information of the subject and cannot be a discrimination image for inspection discrimination.
【0020】然るに、上記図3及び図4の各Aの中間調
画像が得られる被験体のX線透過像の画像データAと、
上記図3及び図4の各Bの中間画像が得られる画像デー
タAをエッジ強調画像処理をした画像データBとを、差
動演算処理をして画像処理をし、得られた画像データC
により画像を表示またはプリント出力させたところ、被
験体のX線透過像の濃淡情報を失うことなしに境界を明
瞭に表示する画像改善の為された。即ち、図3及び図4
の各Cに示すような新たな中間調画像が得られ、該画像
によれば、前述検査判別用の判別画像としての利用に耐
えるものであり、又この図3及び図4の各Cの画像デー
タCを得る画像処理は、X線透過像の画像データAか
ら、必要に応じての画質改善に有効なフィルタリング処
理後の、エッジ強調処理による画像データBを得る処理
と、この新たに得た画像データBと元の画像データAと
を重ね合わせて加減算処理をすることにより上記画像デ
ータCを得ると言う簡単な組み合わせ処理で、画像処理
時間も短くて済むものであるから、この点からも、検査
判別用の判別像を得る手段として好ましいものである。Therefore, the image data A of the X-ray transmission image of the subject from which the halftone image of each A of FIGS. 3 and 4 is obtained,
The image data A from which the intermediate image of each of B in FIGS. 3 and 4 is obtained is subjected to the differential operation processing to the image data B obtained by performing the edge enhancement image processing, and the obtained image data C is obtained.
When the image was displayed or printed out, the image was improved to clearly display the boundary without losing the density information of the X-ray transmission image of the subject. 3 and 4
A new halftone image as shown in each C is obtained, and according to this image, it can be used as a discrimination image for the inspection discrimination, and the image of each C in FIGS. The image processing for obtaining the data C includes, from the image data A of the X-ray transmission image, processing for obtaining image data B by edge enhancement processing after filtering processing effective for improving image quality as necessary, and processing for newly obtaining the image data B. This simple combination process of obtaining the image data C by superimposing the image data B on the original image data A and performing the addition / subtraction process requires only a short image processing time. This is preferable as a means for obtaining a discrimination image for discrimination.
【0021】このようにして判別画像が得られると、被
験体が比較的簡単な形状体とか、実質的な検査位置が特
定の部位等に限られているようなものの場合には、表示
装置10の表示又はプリンタ11のプリント出力の中間
調画像を直接目視することにより所定の検査をするよう
にしても良いが、通常は前述図示説明のように可成複雑
なものであるから、正常被験体につき前述本発明と同一
のX線露光条件で撮影し、かつ同一の画像処理をした正
常被験体の判別画像を参照画像として予め作成し、コン
ピューター9内に記憶又は外部の記憶媒体13に記憶格
納して置き、之を読み出して、被験体の判別画像に参照
画像として並設表示させ、比較対照により検査するよう
にするものである。しかし、かかる検査方法も、各部を
全体にわたり順次に走査するように目視等検査する必要
があるとすると、上記参照画像が並設表示されたとして
も、その検査は容易ではなく、複雑な成形品では、検査
に長時間を要することとなる。When the discrimination image is obtained in this manner, if the subject is a relatively simple shaped body, or if the actual inspection position is limited to a specific part, the display device 10 A predetermined inspection may be performed by directly viewing the display or the halftone image of the print output of the printer 11. However, since the inspection is usually complicated as shown in the above-described description, the normal subject As described above, a discrimination image of a normal subject that has been photographed under the same X-ray exposure conditions as in the present invention and subjected to the same image processing is created in advance as a reference image and stored in the computer 9 or stored in the external storage medium 13. This is read out, read out, displayed side by side as a reference image on the discrimination image of the subject, and inspected by comparison. However, in this inspection method, if it is necessary to visually inspect each part so as to sequentially scan each part, even if the above-described reference images are displayed side by side, the inspection is not easy, and a complicated molded product is not provided. Then, a long time is required for the inspection.
【0022】図6のA及びBは、前述図1のCのコネク
タ用成形品と同様なコネクタ成形品の良品と、欠陥品の
各X軸方向の透過像を前述の本発明の画像処理により明
瞭化処理を行った参照画像Aと判別画像Bで、本発明に
より境界が明瞭化した濃淡画像となっているが、両者を
対比しても、B中の欠陥又は欠陥部位の探知は容易では
ない。しかるところ、かかる画像を比較して両者の違い
を検知判別する方法としては、参照体に対し被験体を、
配置位置及びX線露光条件などを同一条件で撮像し、同
一の画像処理をした両画像の差を評価することであるこ
とが知られている。上記の場合、良品の参照画像を前も
って撮像し、所定の画像処理をした画像データを、検査
処理プログラム等と共に、コンピュータ本体9内の記憶
装置や外部の記憶媒体に格納しておき、被験体を同一の
位置に配置し同一の条件で撮像、さらには、画像処理を
した画像データとの差を演算すると、欠陥があれば、そ
の部位は、透過X線強度に違いがあるはずであるから、
欠陥部分が差を表示する検査画像上に顕在化するはずで
ある。FIGS. 6A and 6B show transmission images in the X-axis direction of good and defective connector molded products similar to the connector molded product of FIG. 1C by the above-described image processing of the present invention. The reference image A and the discrimination image B, which have been subjected to the clarification processing, are gray images in which the boundaries are clarified according to the present invention. However, even if both are compared, it is not easy to detect a defect or a defective portion in B. Absent. However, as a method of comparing the images and detecting and determining the difference between the two, a subject is referred to a reference body,
It is known that imaging is performed under the same conditions such as an arrangement position and an X-ray exposure condition, and the difference between the two images subjected to the same image processing is evaluated. In the above case, a non-defective reference image is captured in advance, and image data subjected to predetermined image processing is stored in a storage device in the computer main body 9 or an external storage medium together with an inspection processing program and the like, and the subject is examined. When arranged at the same position and imaged under the same conditions, and further calculating the difference from the image data subjected to image processing, if there is a defect, the part should have a difference in transmitted X-ray intensity,
The defective part should appear on the inspection image showing the difference.
【0023】前記図6のA及びBの参照画像と判別画像
の各底辺から右側面につながる直角コーナ15は、参照
用の良品と被験体とが、夫々同一の配置及び位置関係
で、X線の露光撮像が行われて比較可能な画像データが
得られるように設けられた良品及び被験体の配置及び位
置決め治具である。このようにして得られた図6のAと
Bの各画像データを差動演算して得た画像データによる
表示又はプリント出力の中間調画像は、例えば、図7の
Cの検査像の如く、前記被験体の右側中段部に縦長状の
何等かの欠陥があることが容易にかつ直ちに視認可能に
表示されているが如くである。なお、図7のCは(参照
品−被験体)の差動演算による画像データの表示中間調
画像である。The right-angled corners 15 connected to the right side from the bases of the reference image and the discrimination image in FIGS. 6A and 6B are provided so that the non-defective reference object and the subject can be X-ray And a jig for arranging and positioning a non-defective product and a subject so as to obtain image data that can be compared by performing exposure imaging. A halftone image of a display or print output based on the image data obtained by performing a differential operation on each of the image data of A and B in FIG. 6 thus obtained is, for example, as shown in the inspection image in FIG. It is as if it is displayed easily and immediately visually that there is any vertical defect in the right middle part of the subject. Note that C in FIG. 7 is a display halftone image of image data obtained by differential operation of (reference product-subject).
【0024】図8及び図9は、上述図6及び図7と同様
な他の例を示すもので、図8のA及びBは、図6のA及
びBと同様に良品と欠陥品の透過像に本発明の画像処理
を施して得た参照画像と判別画像である。そして図9の
C及びDは、上記参照画像の画像データをA、後者被検
体の判別画像をBとして、差動演算により得た画像デー
タの検査像で、夫々図9のC=(B−A)、図9のD=
(A−B)に該当し、何れの場合も、上記の欠陥が右側
下方の部位にあることがはっきり視認することができ
る。そして、かかる図6及び図9のような画像及び画像
データが得られるところから、人の目視による検査選別
が容易に可能なだけでなく、自動化も可能なことが判
る。FIGS. 8 and 9 show other examples similar to FIGS. 6 and 7 described above. FIGS. 8A and 8B show transmission of non-defective products and defective products similarly to FIGS. 6A and 6B. A reference image and a discrimination image obtained by performing image processing of the present invention on an image. C and D in FIG. 9 are inspection images of image data obtained by differential operation, where A is the image data of the reference image and B is the discrimination image of the latter subject, and C = (B− A), D = in FIG.
This corresponds to (AB), and in any case, it can be clearly seen that the above-mentioned defect is located at the lower right part. Then, from the images and image data as shown in FIGS. 6 and 9, it can be seen that not only the inspection and sorting by human eyes can be easily performed but also the automation can be performed.
【0025】図10は、上述の検査選別を自動化した場
合の一実施例の概念図を示したもので、前述図2の原理
的構成説明図と共通する部分には、同一符号を付し、説
明を省略してある。図に於て、16は、ベースに設置さ
れた基台で、XYクロステーブル17が載置して設けら
れると共に、CCDカメラ8がX線管2と対向した位置
に設けられる。前記クロステーブル17に取り付けら
れ、被験体5を載置して水平2軸方向に移動及び位置制
御されるテーブル18が、クロステーブル17上からカ
メラ8上へ水平に延出している。19は基台16上又は
その側部に設けられたワークヘッド19Aを有するマニ
プレータで、図示しない被験体の貯蔵箱から被験体5を
把持してテーブル18上のX線露光設置位置に搬送し、
位置決め治具15に従って設置すると共に、前述のよう
にして良品又は欠陥品と判別された被験体を把持して良
品及び欠陥品バケット20A、20Bへと搬送する。1
7A及び17Bは、前記クロステーブル17の水平位置
を移動調整用のエンコーダ付きサーボモータ、13及び
13Aは、前述参照画像データ等の各種のデータ及び読
み込んだX線透過像に対する本発明に従う画像処理プロ
グラム並びに該画像処理された判別画像により参照画像
等を参照して検査選別を実行するプログラム等を記憶し
た記憶媒体とその読込み装置であり、被験体5は位置決
め治具15及びクロステーブル17によりX線管2及び
CCDカメラ8に対し、常に所定の姿勢及び位置関係に
設置されて、X線露光が行われるものである。そして,
被験体5は、必要に応じ、図1のY、Z等の他軸方向か
らの透過像についての検査が、プログラム及びマニプレ
ータ19操作により行われ、検査精度が高められる。FIG. 10 is a conceptual diagram of an embodiment in which the above-mentioned inspection and sorting are automated, and the same reference numerals are given to the same parts as those in the principle configuration explanatory view of FIG. The description is omitted. In the figure, reference numeral 16 denotes a base mounted on a base, on which an XY cross table 17 is mounted, and a CCD camera 8 provided at a position facing the X-ray tube 2. A table 18 which is attached to the cross table 17 and on which the subject 5 is placed and whose movement and position are controlled in two horizontal axes is horizontally extended from above the cross table 17 onto the camera 8. Reference numeral 19 denotes a manipulator having a work head 19A provided on the base 16 or on a side thereof. The manipulator 19 holds the subject 5 from a storage box (not shown) of the subject and transports the subject 5 to an X-ray exposure installation position on a table 18.
In addition to being set according to the positioning jig 15, the subject determined to be good or defective as described above is gripped and transported to the good and defective buckets 20A and 20B. 1
7A and 17B are servomotors with encoders for moving and adjusting the horizontal position of the cross table 17, and 13 and 13A are image processing programs according to the present invention for various data such as the aforementioned reference image data and the read X-ray transmission images. A storage medium storing a program for executing inspection selection by referring to a reference image or the like based on the image-processed discrimination image and a reading device thereof; The X-ray exposure is performed with the tube 2 and the CCD camera 8 always installed in a predetermined posture and positional relationship. And
The test object 5 is inspected by a program and the operation of the manipulator 19 for transmission images from other axial directions such as Y and Z in FIG.
【0026】本発明の検査方法は、従来X線透過検査方
法の適用が有ったとしても実行が得難かったゴム・プラ
スチック等の射出成形体の欠陥品検査等を実用可能とし
た点で有用なものであるが、前述本発明によれば、本発
明の対象被験体としては、これに限らず、金属やセラミ
ックス等とゴム・プラスチックスとが一体となった3次
元形状体等に適用しても同様に有効なことが明かであ
る。The inspection method of the present invention is useful in that it can be used to inspect defective molded articles such as rubber and plastics which have been difficult to execute even if the conventional X-ray transmission inspection method is applied. However, according to the present invention described above, the subject of the present invention is not limited to this, and may be applied to a three-dimensional body or the like in which metal, ceramics, or the like and rubber / plastics are integrated. It is clear that this is equally effective.
【0027】[0027]
【発明の効果】本発明によれば、X線の透過度が高いと
共に部分的に透過厚みの変化が少ないために、全体及び
境界部分がぼけたX線透過像の画像データによる中間調
画像となり、該画像により欠陥品検査等をするには、複
雑な時間のかかる画像処理を必要としたのを、簡単な画
像処理で、検査選別の可能な濃淡情報を有し境界が明瞭
となって画質の改善された判別像を得ることができ、欠
陥の有無、場所を判別するのに効果的であると共に、処
理に要する時間が短く検査方法とし好ましいものであ
る。According to the present invention, since the transmittance of X-rays is high and the change in transmission thickness is partially small, a halftone image based on the image data of the X-ray transmission image with the entire and boundary portions blurred is obtained. In order to inspect a defective product using such an image, complicated and time-consuming image processing was required. It is possible to obtain an improved discrimination image, which is effective for discriminating the presence / absence and location of a defect, and requires a short processing time, which is preferable as an inspection method.
【図1】図A、B、及びCは、本発明に於ける被検体の
実施例であるプラスチック射出成形品の各斜視図であ
る。FIGS. 1A, 1B, and 1C are perspective views of a plastic injection molded product that is an embodiment of a subject according to the present invention.
【図2】本発明検査方法を実施する装置の原理的構成の
説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a basic configuration of an apparatus for performing the inspection method of the present invention.
【図3】図のA、B、及びCは、本発明の一実施例を説
明するX線透過像とその画像処理像の各中間調画像であ
る。FIGS. 3A, 3B, and 3C are halftone images of an X-ray transmission image and an image processed image for explaining an embodiment of the present invention.
【図4】図のA,B、及びCは、本発明の他の実施例を
説明するX線透過像とその画像処理像の各中間調画像で
ある。FIGS. 4A, 4B, and 4C are halftone images of an X-ray transmission image and an image processed image thereof for explaining another embodiment of the present invention.
【図5】本発明の一実施例の手法を説明する流れ図であ
る。FIG. 5 is a flowchart illustrating a method according to an embodiment of the present invention.
【図6】図のA、及びBは、本発明の他の実施例を説明
する異なる被験体の各画像処理済の中間調画像である。FIGS. 6A and 6B are image-processed halftone images of different subjects illustrating another embodiment of the present invention.
【図7】図のCは、図7のAとBの各中間調画像の画像
データを差動演算して得た検査像である。FIG. 7C is an inspection image obtained by performing a differential operation on the image data of each halftone image of FIGS. 7A and 7B;
【図8】図のA、及びBは、本発明の他の実施例を説明
する異なる被検体の各画像処理済の中間調画像である。FIGS. 8A and 8B are image-processed halftone images of different subjects for explaining another embodiment of the present invention. FIGS.
【図9】図のC、及びDは、図8のAとBの各中間調画
像の画像データA、Bを差動演算して得た中間調画像C
(=B−A)、及びD(=A−B)である。9 is a halftone image C obtained by performing a differential operation on the image data A and B of each halftone image of FIGS. 8A and 8B;
(= BA) and D (= AB).
【図10】本発明検査方法の他の実施例を説明する概念
的構成図である。FIG. 10 is a conceptual configuration diagram illustrating another embodiment of the inspection method of the present invention.
1 X線装置 2 X線管 3 枠状台 4 X線 5 被験体 6 蛍光板 7 イメージインテンシファイア 8 イメージセンサカメラ 9 パソコン 10 表示装置 11 プリンタ 12 入力装置 13 記憶媒体 15 位置決め治具 16 基台 17 クロステーブル 18 テーブル 19 マニプレータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray apparatus 2 X-ray tube 3 Frame base 4 X-ray 5 Subject 6 Fluorescent plate 7 Image intensifier 8 Image sensor camera 9 Personal computer 10 Display device 11 Printer 12 Input device 13 Storage medium 15 Positioning jig 16 Base 17 Cross table 18 Table 19 Manipulator
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G001 AA01 BA11 CA01 DA01 DA09 FA06 FA08 GA06 GA07 HA01 HA07 HA12 HA13 JA13 KA03 LA05 LA11 PA01 5B057 AA01 BA03 CE03 CH11 DA12 DC32 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2G001 AA01 BA11 CA01 DA01 DA09 FA06 FA08 GA06 GA07 HA01 HA07 HA12 HA13 JA13 KA03 LA05 LA11 PA01 5B057 AA01 BA03 CE03 CH11 DA12 DC32
Claims (5)
該透過像の画像データをデジタル化して表示用又は印刷
用の画像データを得るX線透過検査方法に於いて、前記
透過像にエッジ強調の画像処理をしたエッジ強調像を
得、そして該エッジ強調像の画像データと前記透過像の
画像データとを差動演算することにより検査選別用の判
別像の画像データを得、前記表示用又は印刷用の判別像
を出力し得るようにしたことを特徴とするX線透過検査
方法。An X-ray transmission image is obtained by irradiating a subject with X-rays.
In an X-ray transmission inspection method for digitizing image data of the transmission image to obtain image data for display or printing, an edge-enhanced image obtained by subjecting the transmission image to edge enhancement image processing is obtained. Differential operation between image data of an image and image data of the transmission image is performed to obtain image data of a discrimination image for inspection selection, and the discrimination image for display or printing can be output. X-ray transmission inspection method.
により撮影し、該撮影画像をデジタル化した画像データ
としてコンピューターの記憶装置に取り込ませたもので
あって、該記憶装置に取り込まれた透過像の画像データ
から前記検査選別用の判別像の画像データを得る画像処
理が、コンピューターに読み込んだ画像処理プログラム
によりコンピューター内で実行されるものであって、処
理実行後前記エッジ強調像及び判別像が順次に、又は前
記判別像が前記コンピューターの表示装置に表示される
ようにしたことを特徴とする請求項1に記載のX線透過
検査方法。2. The apparatus according to claim 1, wherein said X-ray transmission image is imaged and photographed by a CCD camera, and the photographed image is stored in a storage device of a computer as digitized image data. The image processing for obtaining the image data of the discrimination image for inspection selection from the image data of the transmission image is executed in a computer by an image processing program read into the computer, and after performing the processing, the edge enhanced image and the discrimination are determined. 2. The X-ray transmission inspection method according to claim 1, wherein the images are sequentially displayed or the discrimination image is displayed on a display device of the computer.
の画像データを記憶装置に格納しておき、新たな被験体
の検査に於いて、前記記憶装置から読み出した参照判別
像の画像データを、画像の位置及び露光条件を同一とし
て得た被験体の判別像の画像データと差動演算し、得ら
れた画像データを前記表示装置に前記被験体の検査像と
して表示することを特徴とする請求項2記載のX線透過
検査方法。3. An image data of a reference discrimination image prepared in advance for a normal subject is stored in a storage device, and the image data of the reference discrimination image read from the storage device is read in a new test. Differentially calculating the image data of the discrimination image of the subject obtained with the same image position and exposure condition, and displaying the obtained image data as an inspection image of the subject on the display device. 3. The X-ray transmission inspection method according to claim 2.
元形状体であることを特徴とする請求項1、2、又は3
に記載のX線透過検査方法。4. The object according to claim 1, wherein said subject is a three-dimensional body made of rubber and plastics.
2. The X-ray transmission inspection method according to 1.
該透過像の画像データをデジタル化し、該デジタル化画
像データを画像処理して検査選別用の中間調画像の判別
像及び該判別像の画像データを得るX線透過検査装置に
於いて、前記画像処理手段が、前記透過像のデジタル化
画像データに対しエッジ強調の処理をするプログラムと
処理済画像データの記憶部と、該処理済画像データと前
記透過像の画像データとを差動演算して判別像の画像デ
ータを得るプログラムと得た画像データの記憶部と、前
記両プログラムを順次に実行するプログラムの記憶部と
を有し、前記画像処理手段に於ける画像処理の実行後
に、前記判別像の画像データを中間調の画像として表示
する表示手段を備えて成ることを特徴とするX線透過検
査装置。5. An X-ray transmission image is obtained by irradiating a subject with X-rays.
In an X-ray transmission inspection apparatus for digitizing image data of the transmission image and performing image processing on the digitized image data to obtain a discrimination image of a halftone image for inspection selection and image data of the discrimination image, A processing unit for storing a program for performing edge enhancement processing on the digitized image data of the transmission image and a storage unit for processed image data, and performing a differential operation on the processed image data and the image data of the transmission image; A storage unit for storing a program for obtaining image data of the discrimination image, a storage unit for the obtained image data, and a storage unit for a program for sequentially executing the two programs, wherein after performing the image processing in the image processing means, An X-ray transmission inspection apparatus comprising: display means for displaying image data of an image as a halftone image.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10214854A JP2000028553A (en) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | X-ray transmission inspection method and apparatus |
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-
1998
- 1998-07-14 JP JP10214854A patent/JP2000028553A/en active Pending
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