JP2000021798A

JP2000021798A - 基板処理装置

Info

Publication number: JP2000021798A
Application number: JP10189187A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Morimitsu; 和広盛満; Kazuhiko Noro; 和彦野呂; Koichi Noto; 幸一能戸
Original assignee: Kokusai Electric Co Ltd
Current assignee: Kokusai Denki Electric Inc
Priority date: 1998-07-03
Filing date: 1998-07-03
Publication date: 2000-01-21

Abstract

(57)【要約】【課題】ロードロック室用、ウェーハ移載用に各１台
のみのエレベータと、簡潔なボート交換機を配置し、コ
ンパクトな基板処理装置を提供する。【解決手段】この基板処理装置においては、縦型ＣＶ
Ｄ反応室１０およびそれの直下のロードロック室２０が
配置されている。ロードロック室には、ウェーハボート
をシールキャップ２６に搭載して縦型ＣＶＤ反応室の中
に密封できるエレベータ２５が内蔵されている。ロード
ロック室の搬入搬出口２１の前には、ボート交換装置３
０が配置されている。ボート交換装置は、搬入搬出口の
前に位置付けた第１または第２のボート移載用テーブル
３１，３２によってウェーハボートをシールキャップと
授受する。搬入搬出口の前にないボート交換装置上のウ
ェーハボートに対しては、ウェーハ移載機４１がボート
の処理済みのウェーハとカセット棚のカセットに収納さ
れた処理待ちのウェーハとを交換する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体基板など
の基板に成膜処理などを行う基板処理装置に関し、特
に、縦型ＣＶＤ反応室と、縦型ＣＶＤ反応室に連接して
前記縦型ＣＶＤ反応室の直下に配置されたロードロック
室とを有し、ロードロック室は、ウェーハボートをシー
ルキャップに搭載して前記縦型ＣＶＤ反応室の中に密封
できる第１のエレベータを内蔵している基板処理装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】高温、希薄反応ガス雰囲気の反応室の中
で半導体ウェーハに成膜処理等を行うＣＶＤ装置、特に
縦型ＣＶＤ反応室と、縦型ＣＶＤ反応室に連接して前記
縦型ＣＶＤ反応室の直下にロードロック室とが配置され
た従来の半導体基板処理装置においては、例えば、特開
平３−８５７２３号公報に開示されているように、ロー
ドロック室の中に配置された２台のエレベータのうち、
１台によってウェーハボートを反応室に搬入し、他の１
台によってウェーハの交換を行うとともに、次のサイク
ルには各エレベータの動作を切り替えている。したがっ
て、２台のエレベータに対応して２台のウェーハ移載機
が必要となっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
基板処理装置は、機構が簡潔で良好に稼働するが、ロー
ドロック室に２台のエレベータが配置されているので、
スペース的に余裕が無く小型にしたいという要望に応じ
るのは容易ではなく、また、ロードロック室の２台のエ
レベータやウェーハ移載機を搭載した２台のエレベータ
を用意しなければならず、費用の点でこれらをそれぞれ
１台にしたいという要望もある。

【０００４】この発明は、上述した要望を満たすべく、
ロードロック室用およびウェーハ移載用に１台のエレベ
ータのみを配置することと、従来よりも簡潔で機能性の
よいボート交換機を配置することにより、コンパクトで
ウェーハボートの交換を機能的に実行できる基板処理装
置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ために、この発明は、反応室に連接して前記反応室の直
下に配置され、ウェーハボートをシールキャップに搭載
して前記反応室の中に密封できる第１のエレベータを内
蔵したロードロック室の密閉可能なウェーハボート搬入
搬出口の正面と、ウェーハカセットとウェーハボートと
の間でウェーハを移載するためのウェーハ移載機を搭載
した第２のエレベータとの間に配置されたボート交換装
置を有する。

【０００６】また、この発明の第１の実施の形態におい
て、ボート交換装置３０は、前記搬入搬出口２１に沿っ
た仮想水平直線上において一定の間隔をおいて配置さ
れ、前記搬入搬出口２１を通してウェーハボートＢ１あ
るいはＢ２を前記シールキャップ２６の上まで直線的に
送り込むことができる第１のボート移載用テーブル手段
３１，３３，３５，４４ａ，４４ｂおよび第２のボート
移載用テーブル手段３２，３４，３６，４４ｃ，４４ｄ
と、前記第１，第２のボート移載用テーブル手段を支持
するように設けられ、前記第１，第２のボート移載用テ
ーブル手段を前記送り込みの方向ＦＢに直交した方向Ｈ
Ｓに移動させるベーステーブル手段４４，４５ａ，４５
ｂ，４６，４７とを有する。

【０００７】また、この発明の第２の実施の形態におい
て、ボート交換装置６０は、前記搬入搬出口２１に直交
する仮想水平直線上の回転中心ＲＣを挟んで配置され、
前記搬入搬出口２１の前に配置されたとき、前記搬入搬
出口２１を通してウェーハボートＢ１あるいはＢ２を前
記シールキャップ２６の上まで直線的に送り込むことが
できる第１のボート移載用テーブル手段６１，６３，６
５，６７ａ，６９ａ，７５ａおよび第２のボート移載用
テーブル手段６２，６４，６６，６７ｂ，６９ｂ，７５
ｂと、前記第１，第２のボート移載用テーブル手段を支
持するように設けられ、前記第１，第２のボート移載用
テーブル手段を前記搬入搬出口の前に適宜に配置すべ
く、前記第１，第２のボート移載用テーブル手段を前記
回転中心ＲＣの周りで回転させるベーステーブル手段７
４，７７とを有する。

【０００８】また、この発明の第３の実施の形態におい
て、前述の第１，第２の実施の形態の前記第１，第２の
ボート移載用テーブル３１，３２，６１，６２の端末の
ウェーハボート搭載部は、ウェーハボートの底部を挟持
するために先端が開いたＵ字状の切り込み３１ａ，３２
ａをそれぞれ有し、前記ウェーハボートの底部は、円盤
状の底面部８１と、前記底面部８１の外周よりも若干小
さい外径をもち、底面部の下面から底面部と同心状に突
出するリング状突出部８２とを有し、前記シールキャッ
プ２６は、中央部分に円柱状突出部２６ａを有し、この
場合、前記リング状突出部８２の外径は、前記Ｕ字状の
切り込み３１ａ，３２ａに挟持されるのに好適な寸法と
され、前記円柱状突出部２６ａの外径は、前記リング状
突出部の内側の凹部に滑らかに嵌入する寸法とされてい
る。

【０００９】このように構成によれば、ボート交換装置
は、反応室に搬入するためのウェーハボートとウェーハ
交換を必要とするウェーハボートとを搬入搬出口の正面
のボート移載基準位置とウェーハ交換位置との間で自在
に位置交替させることにより、ロードロック室およびウ
ェーハ移載機は、１台で済むようになる。

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて添付図面に基づいて説明する。図１は、この発明に
係わる基板処理装置の第１の実施の形態を示す構成図、
図２は、図１のＡ−Ａラインから見た図、図３は、図１
および図２において示されたボート交換装置を示す外観
図、図４は、図３のボート交換装置によってボートが、
ロードロック室に送り込まれるところを説明する図であ
る。図５は、この発明に係わる半導体基板処理装置の第
２の実施の形態を示す構成図、図６は、図５のＡ−Ａラ
インから見た図、図７は、図５および図６において示さ
れたボート交換装置を示す外観図、図８は、図７のボー
ト交換装置の第１，第２のボート移載用テーブルのうち
の一方のものの構造を示す断面図、図９は、図７のボー
ト交換装置によってボートが、ロードロック室に送り込
まれるところを説明する図である。

【００１０】先ず、図１および図２に示された半導体基
板処理装置１の構成について説明する。反応室１０は、
搬入されるウェーハボートに収納された半導体ウェーハ
に対して成膜処理等のＣＶＤ処理を行う。反応室１０の
直下には、反応室１０に連接してロードロック室２０が
設けられている。反応室１０とロードロック室２０との
間の仕切壁（反応室１０の底部でありロードロック室２
０の天井）には、反応室１０とロードロック室２０との
間でウェーハボートの搬入搬出を行うための開口１１が
設けられている。この開口１１は、反応室１０でＣＶＤ
処理が行われるときには、密閉されるが、その密閉は、
開口１１に配置されたゲートバルブで行われるか、ある
いは、ウェーハボートを搭載して反応室１０に搬入する
シールキャップで行うのが一般的である。この例では、
この密閉は、シールキャップで行うものとして説明す
る。排気ポンプ１２は、必要に応じて反応室１０の排気
を行う。

【００１１】ロードロック室２０の一方の壁には、ロー
ドロック室２０にウェーハボートを搬入し、あるいは、
ロードロック室２０から搬出するための開口である搬入
搬出口２１が設けられている。この開口には、ロードロ
ック室２０を必要に応じて密閉するためのゲートバルブ
が備えられている。排気ポンプ２２は、必要に応じてロ
ードロック室２０の排気を行う。搬入搬出口２１の対向
方向には、それぞれ若干の距離をあけて順次に整列す
る、ボート交換装置３０と、ウェーハ移載機４１が取り
付けられたエレベータ４０と、ウェーハを収納するウェ
ーハカセットが多段に載置できるカセット棚５０とが配
置されている。

【００１２】ボート交換装置３０（図３）は、第１，第
２のボート移載用テーブル３１，３２と、第１，第２の
ボート移載用テーブル３１，３２を搭載して移動させる
ためのベーステーブル４４と、ベーステーブル４４に載
った第１，第２のボート移載用テーブル３１，３２を矢
印ＦＢの方向に直線的にそれぞれ移動させるための第
１，第２の移載用駆動機構（詳細は後述）と、ベーステ
ーブル４４を移動ロードロック室２０の搬入搬出口２１
に沿って矢印ＨＳの方向に直線的に移動可能にさせるベ
ーステーブル駆動機構（詳細は後述）とを有する。この
場合、第１，第２のボート移載用テーブル３１，３２
は、互いに一定の距離を保ちつつ独立して直線往復運動
できるようにベーステーブル４４に搭載されており、第
１，第２のボート移載用テーブル３１，３２のロードロ
ック室２０側の端末には、図３に示されるように、ウェ
ーハボートの底部の突出している中心部を挟持できるＵ
字状の切り込み３１ａ，３２ａが形成されている。

【００１３】上述の第１，第２の移載用駆動機構は、ベ
ーステーブル４４の上の第１，第２のボート移載用テー
ブル３１，３２のＵ字状の切り込み３１ａ，３２ａが搬
入搬出口２１の正面のボート移載基準位置ＴＰに設定さ
れたとき、すなわち、第１，第２のボート移載用テーブ
ル３１，３２のＵ字状の切り込み３１ａ，３２ａに挟持
されたウェーハボートがボート移載基準位置ＴＰに設定
されたとき、第１，第２のボート移載用テーブル３１，
３２をそれぞれロードロック室２０の中に矢印ＦＢに沿
って反応室１０の直下の図４の点線で示される位置（シ
ールキャップ２６の真上）に前進させ、あるいは、そこ
から矢印ＦＢに沿って元の位置に後退させるための第
１，第２の移載用駆動機構とを有する。

【００１４】上述のベーステーブル駆動機構は、ベース
４５の上に形成されたレール４５ａ，４５ｂと、レール
４５ａ，４５ｂの上に載ってベーステーブル４４を摺動
可能に支持しているベアリング（不図示）と、ボールね
じ４６と、ボールねじを回転させて、ボールねじ４６に
螺合しているベーステーブル４４を矢印ＨＳ方向に移動
させるモータ４７とを有する。

【００１５】また、第１の移載用駆動機構は、ベース４
５の上に形成されたレール４５ａ，４５ｂと直交するよ
うに、ベーステーブル４４の上に形成されたレール４４
ａ，４４ｂと、レール４４ａ，４４ｂの上に載って第１
のボート移載用テーブル３１を摺動可能に支持するベア
リング３９と、ボールねじ３５と、第１のボート移載用
テーブル３１が搬入搬出口２１の正面のボート移載基準
位置ＴＰに位置付けられたとき、ボールねじ３５を回転
させて、ボールねじ３５に螺合している第１のボート移
載用テーブル３１を搬入搬出口２１を通して矢印ＦＢ方
向にロードロック室に進入させ、あるいは、そこから元
のボート移載基準位置ＴＰに後退させるモータ３３とか
ら構成されている。

【００１６】また、第２の移載用駆動機構は、第１の移
載用駆動機構と同様に、ベース４５の上に形成されたレ
ール４５ａ，４５ｂと直交するように、ベーステーブル
４４の上に形成されたレール４４ｃ，４４ｄと、レール
４４ｃ，４４ｄの上に載って第２のボート移載用テーブ
ル３２を摺動可能に支持するベアリング３９と、ボール
ねじ３６と、第２のボート移載用テーブル３２が搬入搬
出口２１の正面のボート移載基準位置ＴＰに位置付けら
れたとき、ボールねじ３６を回転させて、ボールねじ３
６に螺合している第２のボート移載用テーブル３２を搬
入搬出口２１を通して矢印ＦＢ方向にロードロック室に
進入させ、あるいは、そこから元のボート移載基準位置
ＴＰに後退させるモータ３４とから構成されている。

【００１７】ウェーハ移載機４１は、エレベータ４０に
よって、上昇あるいは下降させられ、カセット棚５０の
カセットの処理待ちのウェーハを第１，第２のボート移
載用テーブル３１，３２の上のウェーハボートに移載す
るか、ウェーハボートに収納された処理済みのウェーハ
をカセット棚５０のカセットに移載する。この例におい
ては、例えば、図２に示されるように、一方で、第１の
移載用駆動機構が処理待ちのウェーハを収納したボート
Ｂ１を搭載してボート移載基準位置ＴＰにある第１のボ
ート移載用テーブル３１をロードロック室２０に移動さ
せ、他方で、エレベータ４０に搭載されたウェーハ移載
機４１がウェーハ交換位置ＴＢにあるウェーハボートＢ
２の処理済みのウェーハと、カセット棚５０のカセット
の処理待ちのウェーハとの交換を行う。ボート交換装置
３０とウェーハ移載機４１とのこれらの動作は、同時進
行されるのが効率的である。

【００１８】ウェーハ交換位置ＴＢにあるウェーハボー
トＢ２に対するウェーハ移載機４１によるウェーハの交
換が完了し、ロードロック室２０に移動させられたウェ
ーハボートＢ１の反応室１０における処理が完了する
と、ウェーハボートＢ１は、シールキャップ２６に載せ
られエレベータ２５によってロードロック室２０に降下
させられる。そこで、第１の移載用駆動機構がウェーハ
ボートを搭載していない第１のボート移載用テーブル３
１を再びロードロック室２０の中に移動し、シールキャ
ップ２６からウェーハボートＢ１を受け取り、第１のボ
ート移載用テーブル３１に載せたウェーハボートＢ１を
ボート移載基準位置ＴＰに後退させる。そこで、ベース
テーブル駆動機構は、ベーステーブル４４を矢印ＨＳの
方向に移動させ、第２のボート移載用テーブル３２の上
のウェーウェーハボートＢ２がボート移載基準位置ＴＰ
に、第１のボート移載用テーブル３１の上のウェーハボ
ートＢ１がウェーハ交換位置ＴＡにくるようにさせる。

【００１９】そこで、ボート交換装置３０の第２の移載
用駆動機構が処理待ちのウェーハを収納したボートＢ２
を搭載してボート移載基準位置ＴＰにある第２のボート
移載用テーブル３１をロードロック室２０に移動させ、
ウェーハ移載機４１がウェーハ交換位置ＴＡにあるウェ
ーハボートＢ１の処理済みのウェーハと、カセット棚５
０のカセットの処理待ちのウェーハとの交換を行う。こ
の動作は、前のサイクルのウェーハボートＢ１，Ｂ２に
対して行われたと同様に続けられ、あるいは、繰り返さ
れる。このように、ボート交換装置３０がロードロック
室２０とウェーハ移載機４１との間に配置されたことに
より、ロードロック室２０には１台のエレベータ２５を
配置するだけでよく、あまりスペースを必要とせずロー
ドロック室２０を小さくできる。また、ウェーハ移載の
ためのエレベータおよびウェーハ移載機は、１台でよく
スペース的にもコスト的にも有利である。また、第１，
第２のボート移載用テーブル３１，３２は、ロードロッ
ク室２０に直線的に移動するので、機構が簡易化でき、
また、ベーステーブル４４の移動も直線的なので全体的
な機構も簡易化できるという利点がある。

【００２０】次に、この発明に係わる半導体基板処理装
置の第２の実施の形態について図５ないし図９を参照し
て説明する。第２の実施の形態は、図１ないし図４で示
された第１の実施の形態のボート交換装置３０が変形さ
れたボート交換装置６０に置き換えられたもので、その
他については、第１の実施の形態と同様である。したが
って、この半導体基板処理装置２は、反応室１０と、ロ
ードロック室２０と、ボート交換装置６０と、ウェーハ
移載機４１が取り付けられたエレベータ４０と、ウェー
ハを収納するウェーハカセットが多段に載置できるカセ
ット棚５０とを有する。

【００２１】ここでは、第１の実施の形態と異なってい
るボート交換装置６０の部分について主に説明する。ボ
ート交換装置６０は、第１，第２のボート移載用テーブ
ル６１，６２と、第１，第２のボート移載用テーブル６
１，６２を搭載して、中心ＲＣの周りで矢印ＲＲに沿っ
て回転可能にされ、中心線が搬入搬出口２１に直交する
停止位置で通常停止するようにされている水平な略長方
形のベーステーブル７４と、ベーステーブル７４に載っ
た第１，第２のボート移載用テーブル６１，６２を図６
の矢印ＦＢの方向（図７の矢印ＧＡ，ＧＢ）に水平直線
的にそれぞれ移動させるための第１，第２の移載用駆動
機構（詳細は後述）と、ベーステーブル７４を矢印ＲＲ
に沿って回転させるためのベーステーブル駆動機構（詳
細は後述）とを有する。この場合、第１，第２のボート
移載用テーブル６１，６２は、ベーステーブル７４に搭
載され互いに反対方向に矢印ＧＡ，ＧＢ（図７）に沿っ
て直線的に往復動可能にされている。また、第１，第２
のボート移載用テーブル６１，６２の先端には、図７に
示されるように、ウェーハボートの底部の突出している
中心部を挟持できるようにＵ字状の切り込み６１ａ，６
２ａが形成されている。

【００２２】上述のベーステーブル駆動機構は、第１，
第２のボート移載用テーブル６１，６２を搭載したベー
ステーブル７４を矢印ＲＲに沿って中心ＲＣ周りに回転
させるためのモータ７７を有し、第１，第２のボート移
載用テーブル６１，６２のＵ字状の切り込み６１ａ，６
２ａが搬入搬出口２１の正面のボート移載基準位置ＴＰ
またはウェーハ交換のためのウェーハ交換位置ＴＣに停
止するように１８０°ずつ回転させることができる。

【００２３】第１の移載用駆動機構（ボート移載基準位
置ＴＰに停止されているものとする）は、搬入搬出口２
１に直交するように停止位置におけるベーステーブル７
４の一辺に平行に設けられたレール７５ａと、レール７
５ａに係合して第１のボート移載用テーブル６１を水平
直線移動可能に支持しているベアリング６９ａと、ベー
ステーブル７４の上でレール７５ａと平行にベーステー
ブル７４に固定され、第１のボート移載用テーブル６１
と螺合するように配置されたボールねじ６５と、ベース
テーブル７４の下に配置されたモータ６３と、ボールね
じ６５の一端に固定された歯車とモータ６３の駆動軸の
一端に取り付けられた歯車とを連結し、モータ６３の回
転をボールねじ６５に伝達し、第１のボート移載用テー
ブル６１を搬入搬出口２１を通して矢印ＦＢ方向にロー
ドロック室（Ｕ字状の切り込み６１ａをシールキャップ
２６の真上）に進入させ、あるいは、そこから元のボー
ト移載基準位置ＴＰに後退可能にさせているチェーン
（あるいは歯付きベルト）６７ａとを有する。

【００２４】第２の移載用駆動機構は、中心ＲＣに関し
て、第１の移載用駆動機構に対して点対称になるように
構成されている。もちろん、点対称であることに限定さ
れるわけではないが、製造上部品が共通化でき便利であ
るからである。したがって、第２の移載用駆動機構は、
レール７５ａの設けられた一辺に対向するベーステーブ
ル７４の他の一辺に設けられたレール７５ｂと、レール
７５ｂに係合して第２のボート移載用テーブル６２を水
平直線移動可能に支持しているベアリング６９ｂと、水
平にベーステーブル７４に固定され、第２のボート移載
用テーブル６２と螺合するように配置されたボールねじ
６６と、ベーステーブル７４の下に配置されたモータ６
４と、ボールねじ６６の一端に固定された歯車とモータ
６４の駆動軸の一端に取り付けられた歯車とを連結し、
モータ６４の回転をボールねじ６６に伝達し、第２のボ
ート移載用テーブル６２が第１のボート移載用テーブル
６１に代わってボート移載基準位置ＴＰに停止されたと
きには、第２のボート移載用テーブル６２を搬入搬出口
２１を通して矢印ＦＢ方向（図７の矢印ＧＢの方向）に
ロードロック室（Ｕ字状の切り込み６２ａをシールキャ
ップ２６の真上）に進入させ、あるいは、そこから元の
ボート移載基準位置ＴＰに後退可能にさせているチェー
ン（あるいは歯付きベルト）６７ｂとを有する。

【００２５】次に、第２の実施の形態の動作について簡
単に説明する。図５および図６において示されるように
ボート交換装置６０において、一方で、第１の移載用駆
動機構が処理待ちのウェーハを収納したボートＢ１を搭
載してボート移載基準位置ＴＰにある第１のボート移載
用テーブル６１をロードロック室２０に移動させ、他方
で、エレベータ４０に搭載されたウェーハ移載機４１が
ウェーハ交換位置ＴＣにあるウェーハボートＢ２の処理
済みのウェーハと、カセット棚５０のカセットの処理待
ちのウェーハとの交換を行う。ボート交換装置６０とウ
ェーハ移載機４１とのこれらの動作は、同時進行される
のが効率的である。

【００２６】ウェーハ交換位置ＴＣにあるウェーハボー
トＢ２に対するウェーハ移載機４１によるウェーハの交
換が完了し、ロードロック室２０に移動させられたウェ
ーハボートＢ１の反応室１０における処理が完了する
と、ウェーハボートＢ１は、シールキャップ２６に載せ
られエレベータ２５によってロードロック室２０に降下
させられる。そこで、第１の移載用駆動機構がウェーハ
ボートを搭載していない第１のボート移載用テーブル６
１を再びロードロック室２０の中に移動し、シールキャ
ップ２６からウェーハボートＢ１を受け取り、第１のボ
ート移載用テーブル６１に載せたウェーハボートＢ１を
ボート移載基準位置ＴＰに後退させる。そこで、ベース
テーブル駆動機構は、ベーステーブル７４を矢印ＲＲの
方向に回転させ、第２のボート移載用テーブル６２の上
のウェーウェーハボートＢ２がボート移載基準位置ＴＰ
に、第１のボート移載用テーブル６１の上のウェーハボ
ートＢ１がウェーハ交換位置ＴＣにくるようにさせる。

【００２７】そこで、ボート交換装置６０の第２の移載
用駆動機構が処理待ちのウェーハを収納したボートＢ２
を搭載してボート移載基準位置ＴＰにある第２のボート
移載用テーブル６１をロードロック室２０に移動させ、
ウェーハ移載機４１がウェーハ交換位置ＴＣにあるウェ
ーハボートＢ１の処理済みのウェーハと、カセット棚５
０のカセットの処理待ちのウェーハとの交換を行う。こ
の動作は、前のサイクルのウェーハボートＢ１，Ｂ２に
対して行われたと同様に続けられ、あるいは、繰り返さ
れる。このように、ボート交換装置６０がロードロック
室２０とウェーハ移載機４１との間に配置されたことに
より、第１の実施の形態と同様にロードロック室２０に
は１台のエレベータ２５を配置するだけでよく、あまり
スペースを必要とせずロードロック室２０を小さくでき
る。また、ウェーハ移載のためのエレベータおよびウェ
ーハ移載機は、１台でよくスペース的にもコスト的にも
有利である。また、第１，第２のボート移載用テーブル
６１，６２は、ロードロック室２０に直線的に移動する
ので、機構が簡易化できる。また、ベーステーブル７４
は、回転するだけなのでウェーハボートのボート移載基
準位置ＴＰとウェーハ交換位置ＴＣとの間の位置移動の
機構がより簡易化できるという利点がある。

【００２８】図１ないし図９によって示された第１，第
２の実施の形態に使用可能な改良されたウェーハボート
およびそれを反応室に搬入搬出するエレベータに取り付
けられたシールキャップについて図１０ないし図１２を
参照して説明する。ただし、内容的には第１，第２の実
施の形態において、実質的に同じなので、ここでは第１
の実施の形態についてのみ説明する。ウェーハボートＢ
１，Ｂ２の底部は、円筒状のウェーハボートＢ１，Ｂ２
の外径よりも若干大きな直径を有する円盤状の底面部８
１と、底面部８１の外周よりも若干小さい外径を有し、
底面部８１の下面から同心円状に突出するリング状突出
部８２とを有する。リング状突出部８２の外径は、図３
および図１１のの第１，第２のボート移載用テーブル３
１，３２の端末においてＵ字状に形成された切り込み３
１ａ，３２ａに対して、図１１に示すように若干の余裕
をもって適切に挿入されるような外径とされている。ま
た、リング状突出部８２の内径は、図１２に示すよう
に、シールキャップ２６の上面の中央に形成された円柱
状の突出部２６ａの外径よりも若干大きめにされている
（なお、リング状突出部８２の円柱状内面と、突出部２
６ａの外面とは、下に開くテーパをもつように形成され
ているのが好ましい）。

【００２９】したがって、例えば、図１０に示されるよ
うに第１のボート移載用テーブル３１（第２のボート移
載用テーブル３２についても同様）は、処理待ちのウェ
ーハを収納したウェーハボートＢ１（Ｂ２についても同
様）をＵ字状に形成された切り込み３１ａの中に図１１
に示されるように挟持して、ボート移載基準位置ＴＰか
らロードロック室２０の中に送り込む。送り込みの最後
に、エレベータ２５に取り付けられ、最低位置に下げら
れたシールキャップ２６の真上にウェーハボートＢ１を
停止させる。ウェーハボートＢ１がシールキャップ２６
の真上に停止されると、エレベータ２５は、シールキャ
ップ２６を矢印ＶＶに沿って垂直に上昇させ、シールキ
ャップ２６の突出部２６ａをウェーハボートＢ１のリン
グ状突出部８２の内側の凹部に嵌入させる。エレベータ
２５は、シールキャップ２６によってウェーハボートＢ
１を完全に支持したボート受け渡し位置においてシール
キャップ２６を一旦停止させ、第１のボート移載テーブ
ル３１がボート移載基準位置ＴＰまで後退するのを待
つ。

【００３０】第１のボート移載テーブル３１が後退し、
搬入搬出口２１が密閉された後に、エレベータ２５は、
ウェーハボートＢ１を搭載したシールキャップ２６を上
昇させ、シールキャップ２６の上面外周に沿ってはめ込
まれたＯリング２６ｂを反応炉１０の下部のフランジ部
に当接させて反応炉１０を密封するとともに、ウェーハ
ボートＢ１を反応炉１０の中に配置する。反応炉１０の
内部における処理が終了後、ウェーハボートＢ１を反応
炉１０から搬出する場合は、上記の工程が逆に進行され
る。このように、シールキャップ２６の突出部２６ａと
ウェーハボートＢ１，Ｂ２のリング状突出部８２の内側
とは嵌合するので、位置出しは正確に行われ、第１，第
２のボート移載用テーブル３１，３２がボートをＵ字状
の切り込み部で挟持することが容易であり、自動化のた
めに極めて好適なものとなる。なお、上述の実施の形態
では基板処理装置として半導体基板処理装置を例にとっ
て説明したが、ガラス基板などにも適用できることは言
うまでもない。

【００３１】

【発明の効果】以上に詳述したように、この発明に係わ
る基板処理装置は、縦型ＣＶＤ反応室に連接して前記縦
型ＣＶＤ反応室の直下に配置され、ウェーハボートをシ
ールキャップに搭載して前記縦型ＣＶＤ反応室の中に密
封できる第１のエレベータを内蔵したロードロック室の
密閉可能なウェーハボート搬入搬出口の正面と、ウェー
ハカセットとウェーハボートとの間でウェーハを移載す
るためのウェーハ移載機を搭載した第２のエレベータと
の間に配置されたボート交換装置を有することにより、
ロードロック室には１台のエレベータ２５を配置するだ
けでよく、あまりスペースを必要とせずロードロック室
２０を小さくできる。また、ウェーハ移載のためのエレ
ベータおよびウェーハ移載機は、１台でよくスペース的
にもコスト的にも有利である。

【００３２】また、第１，第２のボート移載用テーブル
をロードロック室に直線的に送り込み、その送り込みの
ために、第１，第２のボート移載用テーブルをベーステ
ーブルに搭載してロードロック室の搬入搬出口に沿って
移動し位置交替をさせるために、送り込みに直交して直
線的に移動させれば、全体的な機構が簡易化できる。ま
た、そのベーステーブルを回転式にすれば、さらに機構
は簡単となる。さらに、使用されるウェーハボートの底
面部にリング状突出部を設け、シールキャップにリング
状突出部内側の凹部に嵌入する突出部を設ければ位置出
しが正確に行え自動化が容易になるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係わる基板処理装置の第１の実施の
形態を示す構成図である。

【図２】図１のＡ−Ａラインから見た図である。

【図３】図１および図２において示されたボート交換装
置を示す外観図である。

【図４】図３のボート交換装置によってボートが、ロー
ドロック室に送り込まれるところを説明する図である。

【図５】この発明に係わる基板処理装置の第２の実施の
形態を示す構成図である。

【図６】図５のＡ−Ａラインから見た図である。

【図７】図５および図６において示されたボート交換装
置を示す外観図である。

【図８】図７のボート交換装置の第１，第２のボート移
載用テーブルのうちの一方のものの構造を示す断面図で
ある。

【図９】図７のボート交換装置によってウェーハボート
が、ロードロック室に送り込まれるところを説明する図
である。

【図１０】ウェーハボートがシールキャップの突出部の
真上に送り込まれたところを示す図である。

【図１１】第１または第２のボート移載用テーブルのＵ
字状の切り込みがウェーハボートの底面部のリング状突
出部を挟持しているところを示す図である。

【図１２】シールキャップの上面中央の突出部がウェー
ハボートの底面部のリング状突出部の内側の凹部に嵌入
しているところを示している図である。

【符号の説明】

１，２半導体基板処理装置１０反応室１１，２１開口１２，２２排気ポンプ２０ロードロック室２５，４０エレベータ２６シールキャップ２６ａ突出部２６ｂＯリング３０，６０ボート交換装置３１第１のボート移載用テーブル３１ａ，３２ａ切り込み３２第２のボート移載用テーブル３３，３４，４７，６３，６４，７７モータ３５，３６，４６，６５，６６ボールねじ３９，６９ａ，６９ｂベヤリング４１ウェーハ移載機４４ベーステーブル４４ａ，４４ｂ，４４ｃ，４４ｄ，４５ａ，４５ｂ，７
５ａ，７５ｂレール４５ベース５０カセット棚８１底面部８２リング状突出部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者能戸幸一東京都中野区東中野三丁目14番20号国際電気株式会社内Ｆターム(参考） 5F031 BB07 CC12 CC63 EE01 EE03 EE04 JJ01 KK07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】反応室に連接して前記反応室の直下に配
置されるとともに、ウェーハボートをシールキャップに
搭載して前記反応室の中に密封できる第１のエレベータ
を内蔵したロードロック室の密閉可能なウェーハボート
搬入搬出口の正面と、ウェーハカセットとウェーハボー
トとの間でウェーハを移載するためのウェーハ移載機を
搭載した第２のエレベータとの間にボート交換装置を有
する基板処理装置。
【請求項２】前記ボート交換装置は、前記搬入搬出口
に沿った仮想水平直線上において一定の間隔をおいて配
置され、前記搬入搬出口を通してウェーハボートを前記
シールキャップ上まで直線的に送り込むことができる第
１，第２のボート移載用テーブル手段と、前記第１，第
２のボート移載用テーブル手段を支持するように設けら
れ、前記第１，第２のボート移載用テーブル手段を前記
送り込みの方向に直交して移動させるベーステーブル手
段とを有する請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】前記ボート交換装置は、前記搬入搬出口
に直交する仮想水平直線上において回転中心を挟むよう
に配置され、前記搬入搬出口の前に配置されたとき、前
記搬入搬出口を通してウェーハボートを前記シールキャ
ップ上まで直線的に送り込むことができる第１，第２の
ボート移載用テーブル手段と、前記第１，第２のボート
移載用テーブル手段を支持するように設けられ、前記第
１，第２のボート移載用テーブル手段を前記搬入搬出口
の前に適宜に配置すべく、前記第１，第２のボート移載
用テーブル手段を前記回転中心の周りで回転させるベー
ステーブル手段とを有する請求項１記載の基板処理装
置。
【請求項４】前記第１，第２のボート移載用テーブル
の端末のウェーハボート搭載部は、ウェーハボートの底
部を挟持するために先端が開いたＵ字状の切り込みをそ
れぞれ有し、前記ウェーハボートの底部は、円盤状の底
面部と、前記底面部の外周よりも若干小さい外径をも
ち、底面部の下面から底面部と同心状に突出するリング
状突出部とを有し、前記シールキャップは、中央部分に
円柱状突出部を有し、この場合、前記リング状突出部の
外径は、前記Ｕ字状の切り込み部に挟持されるのに好適
な寸法とされ、前記円柱状突出部の外径は、前記リング
状突出部の内側に滑らかに嵌入する寸法とされている請
求項２または３記載の基板処理装置。