JP2000018932A - 被検物の欠点検査方法および検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 微小凹凸をほこり等と区別して検査する。 【解決手段】 回転する光源１からのストライプパター
ン光は被検物２の表面で反射され、反射像が連続的に演
算装置４に入力される。演算装置４は、複数枚の画像に
おける同一位置の画素に関する最大値や最小値を評価値
として、位置が異なる各画素について評価値を比較す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス等の鏡面性
または光透過性を有する物体の微小凹凸等の欠点の検査
や評価に用いられる被検物の欠点検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガラス等の鏡面性を有する製品表面にお
ける微小凹凸等の欠点を検査する一般的な方法として、
検査員の目視による方法があるが、目視による方法で
は、検査員の熟練が必要になるとともに、見落としや見
誤りをなくすことが困難である。また、要求される品質
が高くなると、目視検査で対応することが難しくなる。
そこで、種々の自動検査装置が提案されている。

【０００３】例えば、特開昭６３−２９３４４８号公報
には、被検物からの透過光、透過散乱光、反射光および
反射散乱光のうちの複数の光を用いて欠点を検出する方
法が開示されている。また、特開平１−１０７１０３号
公報には、被検物からの正反射光と乱反射光とを用いて
欠点を検出する方法が開示されている。さらに、特開平
４−２３８２０７号公報や特開平５−２１５６９７号公
報には、複数のセンサを設け各センサの出力にもとづい
て欠点を検出する方法が開示されている。そして、特開
平８−１５２４１６号公報や特開平９−４９８０６号公
報には、光源または光源と受光部とを被検物に対して所
定の角度に設定して被検物からの透過光または反射光に
もとづいて欠点を検出する方法が開示されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、複数の光を用
いる方法または１種類の光を用いるものの複数センサを
用いる方法では、検出対象が小さくなって必要な解像度
が高くなるにつれて、センサ間の位置合わせが難しくな
る。同様に、光源または光源と受光部とを被検物に対し
て所定の角度に設定する必要がある方法でも、光源や受
光部の位置合わせが難しくなる。従って、位置ずれによ
る誤動作や検出感度の低下を招いたり、検査装置の調整
や保守に多大の労力がかかるという課題がある。

【０００５】そこで、本発明は、被検物の欠点を検出す
る際に複数のセンサを用いる必要がなく、また、センサ
等の位置合わせをする必要もなく、かつ、被検物におけ
る微小凹凸等の欠点をほこり等の散乱性欠点と区別して
検出および評価することができる被検物の欠点検査方法
および検査装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明による被検物の欠
点検査方法は、互いに位相のみが異なる明暗パターンを
有する複数の光を被検物に照射するステップと、複数の
光の照射にもとづいて反射光または透過光を受光して複
数の画像を得るステップと、複数の画像またはそれらの
画像に微分処理が施された各画像における被検物の同一
位置の画素に関するそれぞれのデータにもとづいて評価
値を決め位置が異なる各画素について評価値を比較して
被検物の微小欠点を検査するステップとを備える。

【０００７】評価値は、最大値および最小値の一方もし
くは双方、または最大値と最小値との差もしくは和であ
ってもよい。また、明暗パターンは、好ましくは、明暗
ストライプパターンまたは明暗ギザギザパターンであ
る。ギザギザパターンとは、例えば、三角状の山部と谷
部が繰り返すようなパターンである。

【０００８】被検物の欠点検査方法は、光の照射にもと
づいて得られた複数の画像またはそれらの画像に微分処
理が施された各画像における被検物の同一位置の画素の
周辺にウィンドウを設定するように構成されていてもよ
い。

【０００９】また、互いに位相のみが異なる明暗ギザギ
ザパターンを有する複数の光と透過補助光とを被検物に
照射し、被検物中の泡欠点を検出するように構成されて
いてもよい。

【００１０】本発明による被検物の欠点検査装置は、拡
散光源とそれを覆うストライプパターン部などの明暗パ
ターン部とを有し被検物を照射する光源部と、光源部か
らの明暗パターンと被検物との相対位置を移動させる駆
動部と、被検物の反射光または透過光を入力して明暗パ
ターンの位相が異なる複数枚の画像を生成する受光部
と、複数枚の画像における被検物の同一位置の画素に関
するそれぞれのデータにもとづいて評価値を決め位置が
異なる各画素について評価値を比較する演算装置とを備
えたものである。なお、相対位置の移動は、光源部もし
くは明暗パターン部の移動、または被検物の移動によっ
て実現される。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、本発明による被検物の欠
点検査方法を実行するための検査装置の第１の実施の形
態を示す構成図である。図に示すように、ガラス等の被
検物２の表面に平行な回転軸の回りを回転する光源１か
らの光は、被検物２の表面で反射され、ＣＣＤエリアカ
メラ等の撮像素子３に入力される。光源１は例えば拡散
光源とそれを覆う筒状部とを備え、演算装置４に制御さ
れる回転駆動装置５によって駆動される。そして、撮像
素子３で撮像された被検物２の表面の反射像は連続的に
演算装置４に入力される。

【００１２】光源１の周面は、黒白のストライプ模様の
フィルムで覆われている。従って、撮像素子３で撮像さ
れた各反射像は、ストライプパターンの位相が徐々にず
れていく画像となる。演算装置４は、例えば、ストライ
プパターン１位相分進むと１６枚の画像が取り込まれる
ように回転駆動装置５を制御する。なお、回転駆動装置
５は、一定速度またはステップ状の速度で光源１を回転
させる。また、画像取り込みの間に、［（１６×ｎ±
１）／１６］位相（ｎは自然数）進むように一定速度で
回転させてもよい。

【００１３】次に、演算装置４に取り込まれる画像につ
いて図２〜図４を参照して説明する。演算装置４に取り
込まれる画像は、被検物２の表面における同一領域の反
射像であるが、図２（Ａ）の（ａ）〜（ｄ）に示すよう
にストライプパターンの位相がずれていく画像である。
ここで、被検物２の表面に微小凹凸７，９とほこり６，
８がある場合を考える。なお、図２（Ａ）では一部分に
のみ符号が付されているが、（ａ）〜（ｄ）における対
応位置にある微小凹凸およびほこりは、それぞれ同じも
のを示す。

【００１４】微小凹凸７，９の部分では反射角が微妙に
ずれる。そのために、背景が白である明視野では、反射
角がずれて視野が黒ストライプの部分にかかることによ
って反射像の画像が暗くなる。逆に、背景が黒である暗
視野では、光量が多い光源１の白ストライプからの光も
反射することによって明るくなる。明視野での暗くなり
かたの程度と、暗視野での明るくなりかたの程度とは、
基本的に同じである。一方、小さなほこりは散乱要素で
あるから、明視野でも暗視野でも、光源１の白ストライ
プからくる光を広く散乱する。よって、反射像の画像に
おいて、暗視野での明るさが微小凹凸の場合に比べて強
くなり、明視野では微小凹凸の場合に比べてそれほど暗
くならない。

【００１５】図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示された各画
像おける微小凹凸７，９を含むＩ−Ｉ断面の光量を示
し、図２（Ｃ）は図２（Ａ）に示された各画像おけるほ
こり６，８を含むII−II断面の光量を示す説明図であ
る。図２（Ｂ）において、微小凹凸７の部分での光量
は、山又は谷部７１〜７４に現れ、微小凹凸９の部分で
の光量は、山又は谷部９１〜９４に現れている。また、
図２（Ｃ）において、ほこり６の部分での光量は、山又
は谷部６１〜６４に現れ、ほこり８の部分での光量は、
山又は谷部８１〜８４に現れている。

【００１６】図２（Ａ）の（ａ），（ｄ）における微小
凹凸７および（ｃ）における微小凹凸９のように、背景
が白ストライプ（明視野）である場合には、各画像にお
ける微小凹凸は黒点となるが、光量は黒ストライプ部分
の光量（Ｉ_ｍｉｎ）に比べると大きな値になる。逆に、
図２（Ａ）の（ａ）における微小凹凸９および（ｂ），
（ｃ）における微小凹凸７のように、背景が黒ストライ
プ（暗視野）である場合には、各画像における微小凹凸
は白点となるが、光量はストライプ部分の光量（Ｉ
_ｍａｘ）に比べると小さな値になる。また、図２（Ａ）
の（ｂ），（ｄ）における微小凹凸９のように白黒の境
界近傍にある場合には、白黒を含む点になるが、白部分
も黒部分も光量はＩ_ｍａｘに比べると小さくＩ_ｍｉｎに
比べると大きな値になる。

【００１７】一方、図２（Ａ）の（ａ），（ｂ）におけ
るほこり８および（ｃ）におけるほこり６のように、明
視野である場合には、ほこりはわずかに黒い点になる
が、その光量はＩ_ｍｉｎに比べるとかなり大きな値にな
る。逆に、図２（Ａ）の（ａ）おけるほこり６および
（ｃ），（ｄ）におけるほこり８のように、暗視野であ
る場合には強い白点となり、その光量はＩ_ｍａｘに近い
値になる。また、図２（Ａ）の（ｂ），（ｄ）おけるほ
こり６のように白黒の境界近傍にある場合には、光量が
Ｉ_ｍａｘに近い値の白点になる。

【００１８】以上のことから、画像を構成する各画素の
明視野における光量および暗視野における光量を、Ｉ
_ｍａｘおよびＩ_ｍｉｎと比較することによって、微小凹
凸とほこりとを検出できることがわかる。そして、図２
（Ｂ），（Ｃ）からわかるように、各画素の光量の最大
値および最小値と、Ｉ_ｍａｘおよびＩ_ｍｉｎと比較する
ことによって、微小凹凸とほこりとを区別して検出でき
ることがわかる。そこで、本発明では、白黒パターンの
位相がずれるように被検物２に照射し、得られる複数
（例えば１６）枚の反射像の画像を対象に、各画素につ
いて最大値および最小値を求め、得られた最大値および
最小値をＩ_ｍａｘおよびＩ_ｍｉｎと比較する。

【００１９】次に、具体的動作について説明する。図３
は、演算装置４の信号処理の一例を示すフローチャート
である。演算装置４は、回転駆動装置５によって光源１
を回転させつつ撮像素子３からｋ枚の画像Ａ1 〜Ａk を
取り込む（ステップＳ１）。そして、ｋ枚の画像Ａ1 〜
Ａk に関して、（０，０）〜（ｍ，ｎ）の全画素につい
て同一の画素ごとに画像間の光量の最大値ＭＡＸ（０，
０）〜ＭＡＸ（ｍ，ｎ）を求める（ステップＳ２）。

【００２０】また、（０，０）〜（ｍ，ｎ）の全画素に
ついて同一の画素ごとに画像間の光量の最小値ＭＩＮ
（０，０）〜ＭＩＮ（ｍ，ｎ）を求める（ステップＳ
３）。そして、各画素の最大値ＭＡＸ（０，０）〜ＭＡ
Ｘ（ｍ，ｎ）および最小値ＭＩＮ（０，０）〜ＭＩＮ
（ｍ，ｎ）を用いて微小凹凸とほこりとを区別して検出
する（ステップＳ４）。なお、ステップＳ２とステップ
Ｓ３の処理の順は逆でもよい。

【００２１】図４（Ａ）の（ａ），（ｂ）は、ステップ
Ｓ２，Ｓ３の処理によって得られる最大値によって形成
される画像（（ａ））と最小値によって形成される画像
（（ｂ））とを示す模式図である。また、図４（Ｂ）の
（ａ），（ｂ）は、微小凹凸７，９の光量の最大値
（（ａ））と最小値（（ｂ））を示す説明図であり、図
４（Ｃ）の（ａ），（ｂ）は、ほこり６，８の部分の光
量の最大値（図（ａ））と最小値（図（ｂ））を示す説
明図である。

【００２２】被検物２の表面において欠点のない部分で
は、最大値はＩ_ｍａｘとなり、最小値はＩ_ｍｉｎとな
る。しかし、微小凹凸の欠点のある部分では、明視野の
場合には周囲の光量よりも小さくＩ_ｍｉｎよりも大きな
値になり、暗視野の場合には周囲の光量よりも大きくＩ
_ｍａｘよりも小さな値になるので、最大値は欠点のない
部分よりも小さな値になり、最小値は欠点のない部分よ
りも大きな値になる。例えば、図４（Ｂ）の（ａ）に示
すように、微小凹凸７，９の最大値７１１，９１１は、
周囲の光量よりも小さくＩ_ｍｉｎよりも大きな値になっ
ている。また、（ｂ）に示すように、微小凹凸７，９の
最小値７１２，９１２は、周囲の光量よりも大きくＩ
_ｍａｘよりも小さな値になっている。

【００２３】ほこりが付着している部分では、明視野で
は光量はＩ_ｍａｘよりも小さいがＩ _ｍａｘに近い値にな
り、暗視野でもＩ_ｍａｘよりも小さいがＩ_ｍａｘに近い
値になるので、最大値は欠点のない部分の値に近い値に
なり、最小値は欠点のない部分よりもずっと大きな値に
なる。例えば、図４（Ｃ）の（ａ）に示すように、ほこ
り６，８が付着している部分では、最大値６１１，８１
１は欠点のない部分の値に近い値になっている。また、
（ｂ）に示すように、ほこり６，８が付着している部分
では、最小値６１２，８１２は欠点のない部分よりもず
っと大きな値になっている。

【００２４】以上のことから、例えば、最小値がＩ
_ｍｉｎよりも大きくなっている箇所では、微小凹凸やほ
こりが存在していると認識できる。また、最小値がＩ
_ｍｉｎよりも大きくなっている箇所のうち最大値がＩ
_ｍａｘに近い値になっている箇所ではほこりが付着して
いると検出できる。

【００２５】図５は、より高精度で微小凹凸とほこりと
を区別して検出できる処理を示すフローチャートであ
る。この方法では、図３に示されたステップＳ１〜Ｓ３
の処理によって得られた最大値と最小値との差が、ある
値以下である各画素に相当する部分を微小凹凸欠点の候
補とし、さらに、候補画素の最大値＋最小値がある値以
下で、かつ、最大値がある値以下であれば、微小凹凸欠
点の候補を微小凹凸欠点であると判定する。

【００２６】図４（Ａ）の（ｃ）には、各画素の（最大
値−最小値）で形成される画像の模式図が示され、
（ｄ）には、各画素の（最大値＋最小値）で形成される
画像の模式図が示されている。また、図４（Ｂ）の
（ｃ）には、微小凹凸７，９の（最大値−最小値）の値
７１３，９１３が示され、（ｄ）には、微小凹凸７，９
の（最大値＋最小値）の値が示されている。図４（Ｃ）
の（ｃ）には、ほこり６，８の（最大値−最小値）の値
６１３，８１３が示され、（ｄ）には、ほこり６，８の
（最大値＋最小値）の値６１４，８１４が示されてい
る。

【００２７】図４（Ｂ）の（ｃ）と図４（Ｃ）の（ｃ）
とで示されるように、微小凹凸７，９の（最大値−最小
値）の値７１３，９１３とほこり６，８の（最大値−最
小値）の値６１３，８１３とは欠点のない部分の値より
もかなり小さいので、各画素の（最大値−最小値）を調
べることによって、高い精度（ＳＮ比）でそれらの存在
は検出される。しかし、微小凹凸７，９の（最大値−最
小値）の値７１３，９１３とほこり６，８の（最大値−
最小値）の値６１３，８１３とは比較的近いので、（最
大値−最小値）によって微小凹凸７，９とほこり６，８
を区別すると、区別の精度はあまりよくない。

【００２８】しかし、上述したように微小凹凸欠点の明
視野での暗くなりかたと暗視野での明るくなりかたはほ
ぼ同じであるから、図４（Ｂ）の（ｄ）に示されるよう
に微小凹凸欠点の（最大値＋最小値）の値は、欠点のな
い部分の値に対してほとんど差がない。それに対して、
ほこりは明視野での暗くなりかたが小さく暗視野での明
るくなりかたが大きいので、（最大値＋最小値）の値
は、図４（Ｃ）の（ｄ）に示されるように欠点のない部
分の値よりも大きくなる。よって、（最大値＋最小値）
の値を調べることによって、高いＳＮ比で微小凹凸欠点
とほこりを区別することができる。

【００２９】また、微小凹凸欠点の最大値はほこり付着
部分の最大値よりもかなり小さいので、最大値も微小凹
凸欠点であるか否かの評価の指標に含めれば、検出の精
度はさらに上がる。

【００３０】次に、具体的動作について説明する。図３
のフローチャートに示されたステップＳ１〜Ｓ３の処理
によって各画素の最大値および最小値が得られたら、演
算装置４は、各画素の（最大値−最小値）の値であるＤ
ＩＦ（ｉ，ｊ）を求める（ステップＳ４１）。ここで、
ｉ＝０〜ｍ，ｊ＝０〜ｎである。そして、各画素の（最
大値−最小値）の値ＤＩＦ（ｉ，ｊ）をしきい値ｔｈｒ
ｅｓｈｏｌｄ（ＤＩＦ）と比較し、ＤＩＦ（ｉ，ｊ）が
ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ（ＤＩＦ）よりも小さければ、その
画素に相当する部分を微小凹凸欠点候補とする（ステッ
プＳ４２）。しきい値ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ（ＤＩＦ）
は、欠点のない部分の（最大値−最小値）の値よりも小
さく、ほこりの（最大値−最小値）の値よりも大きい値
である。

【００３１】次いで、微小凹凸欠点候補とされた各画素
について、（最大値＋最小値）の値であるＳＵＭ（ｉ，
ｊ）を求める。そして、ＳＵＭ（ｉ，ｊ）をしきい値ｔ
ｈｒｅｓｈｏｌｄ（ＳＵＭ）と比較し（ステップＳ４
３）、ＳＵＭ（ｉ，ｊ）がｔｈｒｅｓｈｏｌｄ（ＳＵ
Ｍ）よりも小さければ、その画素に相当する部分を微小
凹凸欠点とする（ステップＳ４４）。しきい値ｔｈｒｅ
ｓｈｏｌｄ（ＳＵＭ）は、欠点のない部分の（最大値＋
最小値）の値よりも大きく、ほこりの（最大値＋最小
値）の値よりも小さい値である。

【００３２】また、ステップＳ４３において、最大値Ｍ
ＡＸ（ｉ，ｊ）をしきい値ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ（ＭＡ
Ｘ）と比較し、最大値ＭＡＸ（ｉ，ｊ）がしきい値ｔｈ
ｒｅｓｈｏｌｄ（ＭＡＸ）よりも小さいことを条件に加
えることによって検出の精度はさらに上がる。

【００３３】図５に示された方法によれば、微小凹凸欠
点の位置と大きさが高いＳＮ比で検出される。また、図
３に示された処理によって得られた最大値もしくは最小
値、またはその両者を用いても被検物２の欠点を検出で
きることは既に述べた。しかし、それらの方法以外で
も、最大値、最小値、（最大値−最小値）および（最大
値＋最小値）のうちの複数を組み合わせて、様々な欠点
を区別して検出できる。

【００３４】例えば、ほこりが付着した部分では最大値
は欠点のない部分の最大値とさほど変わらないので（図
４（Ｃ）の（ａ）参照）、（最大値−最小値）によって
欠点候補を抽出し、最大値のみによっても、ほこりが付
着している部分を特定することができる。また、ガラス
粉が付着していると最小値が極端に大きくなるので、
（最大値−最小値）によって欠点候補を抽出し、最小値
によってガラス粉が付着している部分を特定することが
できる。その他、目的に応じて、種々の組み合わせを用
いて欠点を抽出することができる。

【００３５】図６は、最大値、最小値、（最大値−最小
値）および（最大値＋最小値）のうちの複数を組み合わ
て欠点を検出する処理を示すフローチャートである。図
に示すように、求めたＤＩＦ（ｉ，ｊ）がｔｈｒｅｓｈ
ｏｌｄ（ＤＩＦ）よりも小さければ、その画素に相当す
る部分を微小凹凸欠点候補とし（ステップＳ４１，Ｓ４
２）、微小凹凸欠点候補についてＳＵＭ（ｉ，ｊ）を求
める。そして、ＳＵＭ（ｉ，ｊ）、最大値、最小値を、
それぞれのしきい値ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ１（ＳＵＭ）お
よびｔｈｒｅｓｈｏｌｄ２（ＳＵＭ）、ｔｈｒｅｓｈｏ
ｌｄ（ＭＡＸ）、ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ（ＭＩＮ）と比較
する（ステップＳ４５）。その後、目的応じた比較結果
を用いて、欠点の位置と大きさを決定する（ステップＳ
４６）。

【００３６】ここで、（最大値＋最小値）を下のしきい
値ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ１（ＳＵＭ）および上のｔｈｒｅ
ｓｈｏｌｄ２（ＳＵＭ）と比較することによって、微小
凹凸と、散乱性のほこりよりもやや大きい遮光性のよご
れとを区別することができる。遮光性のよごれでは、暗
視野で光らず明視野で暗くなるので、（最大値＋最小
値）が微小凹凸での（最大値＋最小値）よりも小さくな
るからである。

【００３７】以上、被検物２の表面の微小凹凸をほこり
等の散乱性欠点および遮光性の欠点と区別して検出する
場合について説明した。しかし、ほこり等の影響を除去
して被検物２の表面の微小凹凸欠点を検出するのに本発
明を適用できるだけでなく、欠点ではない微小凹凸を有
する被検物２の表面におけるきずなどの散乱性欠点を検
出するために、本発明を適用することもできる。

【００３８】また、本発明によれば、微小凹凸の位置と
大きさとを検出できるので、表面に凹凸が施された被検
物２の凹凸むらを、ほこり等の影響をうけずに評価する
こともできる。さらに、被検物２の凹凸むらの評価と、
きずなどの欠点の検出とを同時に行うこともできる。

【００３９】なお、上記の実施の形態では光学系として
反射光学系を用いたが、図７に示すような透過光学系を
用いても、反射光学系の場合と同様の効果を得ることが
できる。

【００４０】また、上記の実施の形態では１６枚の画像
を取り込む間にストライプパターンが１位相分進む一定
速度またはステップ状の速度で光源１を回転させたり、
画像取り込みの間に［（１６×ｎ±１）／１６］位相
（ｎは自然数）進むように一定速度で回転させたが、パ
ターンのピッチによってはそれよりも少ない枚数の画
像、例えば４枚の画像を用いてもよい。また、パターン
の位相がずれている複数の画像を取り込むのであれば、
光源１の回転と画像の取り込みとを同期させずに、ラン
ダムに画像を取り込んでもよい。

【００４１】上記の実施の形態では、黒白のストライプ
模様のフィルムで覆われた筒状部が回転する光源１を例
示したが、黒白のストライプパターンの位相がずれてい
くものであればよく、例えば、黒白のストライプが配さ
れた平面状の光源を往復運動させてもよい。または、ベ
ルト状の黒白のストライプ模様のフィルムを回転駆動し
てもよい。さらに、白黒パターンの位相がずれる光を被
検物２に照射できれば、チェッカーパターンや斜めスト
ライプパターン等の他のパターンを用いてもよい。光源
１の構成としては、光源１全体を運動させる構成でもよ
いし、拡散光源を固定してパターンの部分のみを運動さ
せる構成でもよい。

【００４２】また、検査装置を、光源１と撮像素子３と
がひとまとまりになった構成にすることもできる。そし
て、光源１および撮像素子３と被検面との角度を一定に
保ちつつ被検物２の形状に沿って検査装置を移動させる
ことによって、撮像素子３の視野を越える広い範囲の検
査を容易に行うことができる。

【００４３】以下、本発明の具体的適用例を説明する。
ブラウン管用ガラスの外面を検査対象とし、反射光学系
を用い、被検面の法線と撮像素子３の光軸とを１０°傾
けた。そして、ガラス面上で１画素が０．０３３ｍｍ×
０．０３３ｍｍとなるように撮像素子３を設定した。ま
た、光源１のパターンとして、白黒が等ピッチで白＋黒
の幅が３ｍｍのストライプパターンを用い、画像上で１
ピッチが４０画素に相当するように設定した。

【００４４】図８は、上記のような条件での、通常の微
小凹凸欠点（Ａ）、弱い微小凹凸欠点（Ｂ）、ほこり
（Ｃ）およびガラス粉（Ｄ）の検出状況を示す説明図で
ある。図８におけるＡ〜Ｄのそれぞれにおいて、左か
ら、最大値（ＭＡＸ）、最小値（ＭＩＮ）、差（ＭＡＸ
−ＭＩＮ）、和（ＭＡＸ＋ＭＩＮ）が示されている。縦
軸のＳ／Ｎは、その画素における信号と欠点のない通常
部分での信号の差を、通常部分の信号のばらつきで割っ
た値を示し、通常部分では０となる。

【００４５】Ａ，Ｂの微小凹凸欠点では、差（ＭＡＸ−
ＭＩＮ）は低い値になっている。また、和（ＭＡＸ＋Ｍ
ＩＮ）は通常部分の値とほぼ同じになっている。ほこり
（Ｃ）に関しては、差（ＭＡＸ−ＭＩＮ）は微小凹凸欠
点の場合と同程度の低い値であるが、和（ＭＡＸ＋ＭＩ
Ｎ）が通常部分よりも高い値になっている。よって、和
（ＭＡＸ＋ＭＩＮ）によって微小凹凸欠点と区別するこ
とができる。ガラス粉（Ｄ）に関しては、差（ＭＡＸ−
ＭＩＮ）は微小凹凸欠点の場合と同程度の低い値であ
り、和（ＭＡＸ＋ＭＩＮ）は通常部分の値とほぼ同じに
なっている。しかし、最小値（ＭＩＮ）は微小凹凸に比
べて大きい値になっているので、最小値（ＭＩＮ）によ
って微小凹凸欠点と区別することができる。

【００４６】なお、図８では結果を通常部分との差をＳ
／Ｎという形で表示したが、実際の検査では、単純に、
得られた値としきい値とを比較すればよい。

【００４７】図９は、本発明による被検物の欠点検査方
法を実行するための検査装置の第２の実施の形態を示す
構成図である。図に示すように、ストライプ模様のフィ
ルムによって光源部が覆われた光源１Ａからの光は、被
検物２の表面で反射され、ＣＣＤエリアカメラ等の撮像
素子３に入力される。この実施の形態では、光源１は静
止している。また、被検物２は、駆動装置（図示せず）
によって、図９における矢印方向に等速で移動する。そ
して、撮像素子３で撮像された被検物２の表面の反射像
は連続的に演算装置４に入力される。

【００４８】演算装置４に入力される各反射像は、図１
０（Ａ）に示すように、それぞれ同じパターンで被検物
２の位置がずれた画像となる。この実施の形態では、演
算装置４は、被検物２がストライプパターンの１位相相
当分進む間に８枚の画像を取り込む。

【００４９】次に、演算装置４に取り込まれる画像につ
いて図１０，１１を参照して説明する。演算装置４に取
り込まれる画像は図１０（Ａ）に示すようにストライプ
上を被検物が移動していくような画像であるが、演算装
置４は、画像を被検物２の移動量に相当する量だけずら
し、全ての画像における被検物２の反射点の位置を一致
させる。よって、例えば、図１１（Ａ）に示すような各
画像が得られる。図１０（Ａ）に示された各画像におい
て欠点の位置はずれているが、図１１（Ａ）に示された
各画像では同一位置になる。なお、図１０（Ｂ）は、図
１０（Ａ）に示された各画像のＩ−Ｉ断面の光量を示
し、図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）に示された各画像のＩ
−Ｉ断面の光量を示す説明図である。

【００５０】このような処理によって得られた各画像
は、両端部を除けば、第１の実施の形態で得られた各画
像と同じものになる。よって、第１の実施の形態の処理
と同様の処理によって、被検物２の表面の微小凹凸を精
度よく検出することができる。

【００５１】ここで、被検物２の表面に、遮光性の汚れ
２７、微小凹凸２８および散乱性のほこり２９がある場
合を考える。なお、図１０（Ａ），図１１（Ａ）では一
部分にのみ符号が付されているが、（ａ）〜（ｄ）にお
ける対応位置にある微小凹凸およびほこりは、それぞれ
同じものを示す。

【００５２】微小凹凸２８は、図１０（Ａ）（ｂ）に示
すように、背景がストライプの白（以下、明視野とい
う。）である場合には黒点となるが、ストライプの黒部
分（Ｉ _min）に比べると大きな値となる。逆に、図１０
（Ａ）（ｄ）に示すように、背景がストライプの黒（以
下、暗視野という。）である場合は白点となるが、スト
ライプの白部分（Ｉ_max）に比べると小さな値となる。

【００５３】図１０（Ａ）（ａ），（ｃ）に示すよう
に、白黒の境界にある場合は、白と黒を含む点となる
が、白も黒もＩ_maxに比べると小さく、Ｉ_minに比べると
大きな値となる。

【００５４】また、遮光性の汚れ２７に関しては、明視
野の場合には黒い点となってＩ_maxに比べるとかなり大
きな値となる。暗視野の場合にはわずかに白点となる
が、Ｉ _maxに近い値となる。そして、散乱性のほこり２
９に関しては、明視野ではほとんど背景と変わらず、暗
視野では強い白点となる。

【００５５】従って、各画像間の（最大値−最小値）に
よって、高い感度で遮光性の汚れ２７、微小凹凸２８お
よび散乱性のほこり２９を検出することができ、（最大
値＋最小値）によって、遮光性の汚れ２７、微小凹凸２
８および散乱性のほこり２９を弁別することが可能にな
る。

【００５６】以上のように、被検物２の方を移動させて
も、第１の実施の形態の場合と同様に精度よく欠点を検
出することができる。そして、この実施の形態では、よ
り簡略化された装置で検査を行うことができる。

【００５７】なお、第２の実施の形態では光学系として
反射光学系を用いたが、図１２に示すような透過光学系
を用いても、反射光学系の場合と同様の効果を得ること
ができる。

【００５８】以下、本発明による検査装置のさらに他の
実施の形態について説明する。図１３は、平坦な被検物
２に対する本発明の実施の形態の一例の構成を示す構成
図である。図１３において、３１，３２はラインカメ
ラ、１１２は暗視野に挟まれたストライプの半ピッチ相
当の線状の明視野光源、１３は明視野に挟まれたストラ
イプの半ピッチ相当の線状の暗視野光源を示す。

【００５９】被検物２は、図１３における矢印方向に、
ラインカメラ３１，３２の視野を横切る方向に進む。演
算装置４は、被検物２を移動させる駆動装置（図示せ
ず）を駆動する。ラインカメラ３１，３２で得られた被
検物２の同一位置に対する信号は、第２の実施の形態に
おけるストライプの白部分および黒部分の中心で得られ
る信号に相当する。すなわち、位相の異なる複数画像間
の最小値および最大値に相当する信号が得られる。演算
装置４は、例えば駆動装置の駆動量から、ラインカメラ
３１が撮像した位置と同位置のラインカメラ３２の出力
信号を決定することができる。

【００６０】よって、演算装置４は、ラインカメラ３
１，３２で得られた被検物２の同一位置に対する信号の
差および和をとることによって、（最大値＋最小値）お
よび（最大値−最小値）を得ることができる。上述した
各実施の形態の場合と同様に、得られた（最大値＋最小
値）および（最大値−最小値）から、欠点を検出したり
弁別したりすることができる。

【００６１】この実施の形態では、ストライプ光源を使
った形態に比べて、視野部分と視野外とのコントラスト
が高まるので、暗視野部および明視野部での欠点信号が
ともに大きくなり、高いＳ／Ｎでの検出が可能になる。

【００６２】図１３ではカメラ対応に別の光源を設け、
演算装置４が被検物２の同一位置となる信号を識別して
処理する例を示したが、図１４に示すように、白黒エッ
ジを有する光源１１７を用い、ラインカメラ３１，３２
が被検物２の同一位置での光源１１７からの光の反射光
を受光し、かつ、それらの位置および角度をずらすこと
によって、一方の反射後の視野が白部分で他方の反射後
の視野が黒部分となるように２つのラインカメラ３１，
３２を設置してもよい。

【００６３】図１４に示す形態における演算装置４の演
算処理は、図１３に示された場合と同じである。ただ
し、この場合には、演算装置４は、ラインカメラ３１，
３２からの信号を被検物２の同一位置となるようにメモ
リ等を介在させて位置合わせする処理を行わなくてよ
い。

【００６４】図１５はさらに他の実施の形態を示す。撮
像素子３３は、平行に配された複数の線状センサを有し
ている。図１５には、ラインセンサ４列を並べた撮像素
子３３が例示されている。そして、撮像素子３３は、ス
トライプ１ピッチ相当の反射像を撮像できるように設置
されている。演算装置４は、被検物２を移動させる駆動
装置（図示せず）の駆動量から、被検物２上の同一位置
における各ラインセンサからの信号を識別し、反射像信
号における最大値および最小値を算出する。

【００６５】このような構成によっても、上記した各実
施の形態の場合と同様に、（最大値＋最小値）および
（最大値−最小値）から、欠点を検出したり弁別したり
することができる。なお、撮像素子３３におけるライン
センサの列数は２列以上であれば何列でもよいが、数が
増えれば被検物２が平坦でなくても欠点を検出すること
ができる。また、この場合には、図１３および図１４に
示された実施の形態とは異なり、カメラ３３の視野が面
になっているので、被検物２の表面が曲面であっても、
視野内に明視野と暗視野とが含まれる。よって、被検物
２の表面が曲面であっても、精度よく欠点を検出するこ
とができる。

【００６６】なお、複数列のラインセンサを有する撮像
素子３３に代えて、複数台のラインカメラを用いてもよ
い。また、ストライプ１ピッチ相当分を撮像するのでは
なく図１４に示されたような白黒エッジの光源を用いて
エッジ部分を撮像するようにしてもよい。

【００６７】図１５に示された実施の形態では複数のラ
インセンサが平行に並べられ各ラインセンサの出力信号
の位置合わせが行われたが、図１６に示すように、光路
を曲げるための光学素子を介して、または、ラインセン
サの向きを調整して、同一位置の反射像が同時に取得で
きるような構成としてもよい。その場合には、演算装置
４の演算処理は図１５に示された場合と同じであるが、
演算装置４は、各ラインセンサからの信号を被検物２の
同一位置となるようにメモリ等を介在させて位置合わせ
する処理を行わなくてよい。

【００６８】なお、図１３〜図１６に示された各実施の
形態では光学系として反射光学系を用いたが、透過光学
系を用いても、反射光学系の場合と同様の効果を得るこ
とができる。透過光学系を用いた場合には、さらに、被
検物中の泡部分や異物等の欠点も検出可能である。

【００６９】図１７は、特に被検物中の泡を検出するこ
とを主目的とした実施の形態である泡検査機の一例を示
す説明図である。また、ここでは、被検物２として管球
パネルを例にする。よって、以下、被検物２をパネル２
と呼ぶ。そして、この実施の形態では、位相が異なる明
暗パターンとして、図１８（Ａ）に示す三角状の山部と
谷部が繰り返すパターン（以下、ギザギザパターンとい
う。）を用いる。そのようなパターンを用いた場合に
は、図１８（Ｂ）に示すストライプパターンを用いた場
合に比べて、管球パネル固有の細長い泡の方向性の影響
を低減することができる。

【００７０】そして、演算装置４は、ギザギザパターン
１２１が形成されたフィルム等を、拡散面光源１２０上
で定速で往復運動させる。また、パネル２をステップ送
りさせる。そして、ＣＣＤカメラ５１〜５５は、拡散面
光源１２０およびギザギザパターン１２１を透過光源と
して、パネル２を透過した透過像を連続的に撮像する。
なお、一般にはＣＣＤカメラ１台の視野ではパネル全面
の検査はできないので、パネル２の短軸方向に例えば５
台のＣＣＤカメラ５１〜５５が並べて設置される。

【００７１】パネル２は、長軸方向に対して定ピッチで
ステップ送りされる。各ＣＣＤカメラ５１〜５５が画素
分解能０．１６ｍｍ、約５００＊５００画素を有してい
るとすると、視野は８０ｍｍ角相当となる。分解能を上
げると感度は高くなるが、カメラの必要台数が増える。
現状の検査対象泡の大きさ（＞０．２ｍｍ程度）を考え
ると、この程度の分解能が適当である。

【００７２】ＣＣＤカメラ５１〜５５の絞りＦ１６、パ
ネル−パターン距離１５０ｍｍ、ギザギザパターンのピ
ッチ７ｍｍであれば、取り込み回数８回で１ピッチの位
相変化に相当する。取り込み回数を増やすとノイズが減
るが、検査時間が長くかかるので、取り込み回数は８回
が適当である。

【００７３】そして、演算装置４は、上記の各実施の形
態の場合と同様に、（最大値＋最小値）および（最大値
−最小値）から、欠点を検出したり弁別したりする。

【００７４】パネル２はプレス成型等の処理が施される
ので、細長く伸びた泡（長泡）が存在することがある。
これらは長短径方向に種々の曲率を有するので、光源の
パターンの方向性の影響を受ける。例えば、光源として
図１８（Ｂ）に示すようなストライプパターンを用いた
場合には、長泡について、ストライプと直交する方向に
は白黒境界のエッジが存在するので高い信号（Ｓ）が得
られるのに対し、平行方向ではエッジが存在しないので
信号は低くなる。この場合、長泡がストライプのエッジ
方向と平行方向にあれば検出されるが、直交方向にある
と検出されない。

【００７５】しかし、図１８（Ａ）に示すギザギザパタ
ーンを用いると、どの方向にも白黒境界のエッジが存在
するため、方向性の影響は少なくなる。図１９は、ギザ
ギザパターンを用いた場合の、長泡（1：０．０８mm）
が、９０度を５分割したそれぞれの向きにある場合のＳ
Ｎ比を示す説明図である。

【００７６】図１９を見ると、長泡がどの方向を向いて
いても信号はあまり変わらず、最大値：最小値は１：
０．７９となり、長泡の方向性に起因するＳＮ比の変化
の程度は２０％程度しかないことがわかる。すなわち、
長泡の向きに依存しない長泡検出を行うことができる。
なお、同様のサンプルに対してストライプパターンを用
いた場合は、１：０．４７となり、ＳＮ比が最大値の半
分以下になってしまう長泡の向きが存在する。

【００７７】複数方向にエッジが存在するパターンとし
て、チェッカーパターンや白黒の正三角形が連続するパ
ターンがあるが、それらを移動させて撮像した場合に
は、エッジ部分が連続すること、および、場所によって
白黒の幅が変わるということのために、移動方向と平行
に感度差が生じる。ギザギザパターンを用いた場合に
は、そのような影響も小さい。

【００７８】ところで、反射光学系を用いた場合には、
図４に示されたように、ＭＡＸ，ＭＩＮの信号とも同程
度になる。しかし、透過光学系を用いた場合には、図２
０（ａ），（ｂ）に示すように、泡の輪郭部に暗い部分
（どの様な透過光を入れても光らない部分）が生ずるた
めに、明視野のＭＡＸ信号における泡と周辺の信号差に
比べて、暗視野のＭＩＮ信号における信号差が小さくな
る。その結果、遮光性の汚れとの弁別ができないことが
ある。なお、図２０において、斜線は、光量が落ちてい
ることを示す。

【００７９】この問題を解消するために、図２１に示す
ように、背景の動くギザギザパターン１２１による光源
とは別の透過補助光源を用いることが考えられる。図２
１において、符号１００は泡を示す。透過補助光源を用
いると、図２２に示すように、泡１００の一部を強く光
らせることによってＭＩＮにおける信号差を大きくする
ことができる。その結果、泡１００と遮光性の汚れと弁
別することができる。

【００８０】図２３は、図２１に示された形態を別の方
向から見た図である。図２３に示すように、４つの透過
光源１３１〜１３３が設けられ、方向性による影響と死
角をなくすように４方向から透過補助光が照射される。
このような方向性のない透過補助光源を、例えば、向か
い合う２本の蛍光灯と、光線がそれらと直交する２つの
スポットライトとで実現した。そのような透過補助光源
を用いた場合には、遮光性の汚れによる誤検出をなくす
ことができた。

【００８１】図２４は、泡検出のための演算装置４の処
理を示すフローチャートである。図２４に示すように、
まず、ＭＡＸ画像、ＭＩＮ画像および（ＭＡＸ−ＭＩ
Ｎ）画像を算出する（ステップＳ５１，Ｓ５２）。ステ
ップＳ５１，Ｓ５２の処理は、既に説明したステップＳ
１〜Ｓ３およびＳ４１（図３および図５参照）の処理と
同様である。

【００８２】ここでは、得られた（ＭＡＸ−ＭＩＮ）画
像に対して微分系の例えばＳｏｂｅｌフィルタをかけ、
しきい値以上となる点を検出する（ステップＳ５３，Ｓ
５４）。そして、検出した点の周辺にウィンドウを設定
する（ステップＳ５５）。ウィンドウは、例えば、検出
した点の大きさに対して、縦横それぞれ２倍となるよう
な大きさの長方形である。

【００８３】そして、ＭＡＸ画像、ＭＩＮ画像および
（ＭＡＸ−ＭＩＮ）画像に対して、ウィンドウ内のヒス
トグラムを算出し、各パラメータ（特徴量）から泡か否
かを判定する（ステップＳ５６，Ｓ５７）。

【００８４】泡であると判定する具体的な条件は以下の
３条件であり、３条件をすべて満たす場合に泡であると
判定されたとする。 （１）（ＭＡＸ−ＭＩＮ）画像の判別分析によるしきい
値と平均値の差がある値以上であること。 （２）ＭＡＸ画像の平均値と最小値の差、ＭＩＮ画像の
最大値と平均値の差がそれぞれ指定する値以上であるこ
と。 （３）ＭＡＸ画像の平均値と最小値の差と、ＭＩＮ画像
の最大値と平均値の差の比がある範囲に入ること。

【００８５】（１）の条件によって、表面の微少な凹凸
等に起因するノイズによる誤検出を防ぐ。また、
（２），（３）の条件によって、遮光性または散乱性の
付着物による誤検出を防ぐ。

【００８６】泡であると判定されたもののうち、（ＭＡ
Ｘ−ＭＩＮ）の微分値が、上記の判別分析のためのしき
い値より高い所定のしきい値を越えるものを泡として検
出する。それ以下のものについては、判別分析のための
しきい値でウィンドウ内を２値化し（ステップＳ５
８）、しきい値以上の箇所を検出し評価する（ステップ
Ｓ５９，Ｓ６０）。すなわち、検出された箇所のうち最
大径と最小径の比がある値以上であるもののみ泡として
検出する。そして、そのような評価条件に合うものを泡
欠点とする（ステップＳ６１）。

【００８７】以上のような処理によって、細長い泡の見
逃しが防止される。これにより、１×０．１ｍｍという
ような細長い泡の見逃しがなくなった。

【００８８】上述したような位相のみが異なる明暗パタ
ーンを有する複数の光を被検物に照射し、複数の光の照
射にもとづく反射光または透過光を受光して複数の画像
を得、得られた画像にもとづいて被検物の微小凹凸等の
欠点を検出する場合に、得られた各画像に空間微分を施
してもよい。

【００８９】例えば、図２５（Ａ）に示す各画像が得ら
れらとすると、それぞれに微分フィルタ処理を施された
ものは図２５（Ｂ）に示すようになる。図２５（Ｃ）
は、図２５（Ｂ）に示された微分画像のＩ−Ｉ断面にお
ける光量を示す。各微分画像では、欠点、ほこり、パタ
ーンのエッジ部分で大きな信号となる。図２５におい
て、符号７は欠点を示し符号８は矛値を示す。

【００９０】欠点７はどの画像においても常に大きな値
となる。パターンのエッジによる大きな信号は画像によ
り位置が異なり、ほこり８は背景が黒い場合は大きな値
となるが、背景が白い場合には信号として現れない。ま
た、各微分画像の同一画素における最小値を取ると、欠
点７はどの画像でも大きな信号となるので、最小値にも
信号が現れる。しかし、エッジおよびほこり８による信
号は最小値とならないので消えてしまう。従って、欠点
７のみを選択的に検出することが可能になる。

【００９１】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、被検物
の欠点検査方法を、互いに位相のみが異なる明暗パター
ンを有する複数の光を被検物に照射するステップと、複
数の光の照射にもとづいて反射光または透過光を受光し
て複数の画像を得るステップと、複数の画像における被
検物の同一位置の画素に関するそれぞれのデータにもと
づいて評価値を決め位置が異なる各画素について評価値
を比較して被検物の微小凹凸や内部の泡・異物等の欠点
を検査するステップとを備えた構成にしたので、被検物
の欠点を、ほこりなどの他の欠点や誤検出要因と区別し
て検査することができ、精度のよい確実な検査または評
価を行うことができる効果がある。

【００９２】また、被検物の欠点検査装置を、拡散光源
とそれを覆うストライプパターン部とを有し被検物を照
射する光源部と、光源部からの明暗パターンと被検物と
の相対位置を移動させる駆動部と、被検物の反射光また
は透過光を入力してストライプパターンの位相が異なる
複数枚の画像を生成する受光部と、複数枚の画像におけ
る被検物の同一位置の画素に関するそれぞれのデータに
もとづいて評価値を決め位置が異なる各画素について評
価値を比較する演算装置とを備えた構成にしたので、複
数センサや光源および受光部の位置合わせを行う必要は
なく、検査装置の調整や保守が容易化される効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による被検物の欠点検査装置の第１の
実施の形態を示す構成図である。

【図２】 （Ａ）はストライプパターンの位相がずれて
いく画像、（Ｂ）は（Ａ）に示された各画像のＩ−Ｉ断
面の光量、（Ｃ）は（Ａ）に示された各画像のII−II断
面の光量を示す説明図である。

【図３】 演算装置の信号処理の一例を示すフローチャ
ートである。

【図４】 （Ａ）は最大値、最小値、差および和による
画像を模式的に示し、（Ｂ）は微小凹凸の最大値、最小
値、差および和を示し、（Ｃ）はほこりの最大値、最小
値、差および和を示す説明図である。

【図５】 より高精度で微小凹凸欠点とほこりとを区別
して検出できる処理を示すフローチャートである。

【図６】 最大値、最小値、（最大値−最小値）および
（最大値＋最小値）のうちの複数を組み合わて欠点を検
出する処理を示すフローチャートである。

【図７】 本発明による被検物の欠点検査装置の他の実
施の形態を示す構成図である。

【図８】 本発明による被検物の欠点検査方法を用いた
検出結果例を示す説明図である。

【図９】 本発明による被検物の欠点検査装置の第２の
実施の形態を示す構成図である。

【図１０】 （Ａ）はストライプ上を被検物が移動して
いく各画像、（Ｂ）は（Ａ）に示された各画像のＩ−Ｉ
断面の光量を示す説明図である。

【図１１】 （Ａ）は被検物の反射点の位置を一致させ
た各画像、（Ｂ）は（Ａ）に示された各画像のＩ−Ｉ断
面の光量を示す説明図である。

【図１２】 第２の実施の形態で反射光学系を用いた場
合の形態を示す構成図である。

【図１３】 本発明のさらに他の実施の形態示す構成図
である。

【図１４】 本発明のさらに他の実施の形態示す構成図
である。

【図１５】 本発明のさらに他の実施の形態示す構成図
である。

【図１６】 本発明のさらに他の実施の形態示す構成図
である。

【図１７】 被検物中の泡を検出することを主目的とし
た実施の形態を示す説明図である。

【図１８】 ギザギザパターンとストライプパターンを
示す説明図である。

【図１９】 ギザギザパターンを用いた場合の長泡の向
きに応じたＳＮ比を示す説明図である。

【図２０】 透過光を用いた場合の泡の光り方を説明す
るための説明図である。

【図２１】 補助光源を用いた泡検出器の構成例を示す
説明図である。

【図２２】 補助光源による効果を説明するための説明
図である。

【図２３】 図２１に示された泡検出器を別の方向から
見た説明図である。

【図２４】 泡検出の処理を示すフローチャートであ
る。

【図２５】 （Ａ）はストライプパターンの位相がずれ
ていく画像、（Ｂ）は微分フィルタ処理を施された画
像、（Ｃ）は（Ｂ）に示された各画像のＩ−Ｉ断面の光
量を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 光源 ２ 被検物 ３ 撮像素子 ４ 演算装置 ５ 回転駆動装置 ３１，３２ ラインカメラ ３３ 撮像素子 ５１〜５５ ＣＣＤカメラ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検物表面を反射した反射光または被検
   物を透過した透過光を受光し、受光して得られた画像を
   用いて被検物の欠点を検査する被検物の欠点検査方法で
   あって、 互いに位相のみが異なる明暗パターンを有する複数の光
   を前記被検物に照射し、 前記複数の光の照射にもとづいて反射光または透過光を
   受光して複数の画像を得て、 前記複数の画像またはそれらの画像に微分処理が施され
   た各画像における前記被検物の同一位置の画素に関する
   それぞれのデータにもとづいて評価値を決め、位置が異
   なる各画素について評価値を比較して前記被検物の微小
   欠点を検査することを特徴とする被検物の欠点検査方
   法。
2. 【請求項２】 評価値は、最大値および最小値の一方も
   しくは双方、または最大値と最小値との差もしくは和で
   ある請求項１記載の被検物の欠点検査方法。
3. 【請求項３】 明暗パターンは、明暗ストライプパター
   ンまたは明暗ギザギザパターンである請求項１記載の被
   検物の欠点検査方法。
4. 【請求項４】 光の照射にもとづいて得られた複数の画
   像またはそれらの画像に微分処理が施された各画像にお
   ける被検物の同一位置の画素の周辺にウィンドウを設定
   する請求項１記載の被検物の欠点検査方法。
5. 【請求項５】 互いに位相のみが異なる明暗ギザギザパ
   ターンを有する複数の光と透過補助光とを被検物に照射
   し、被検物中の泡欠点を検出する請求項１記載の被検物
   の欠点検査方法。
6. 【請求項６】 被検物表面を反射した反射光または被検
   物を透過した透過光を受光し、受光して得られた画像を
   用いて被検物の欠点を検査する被検物の欠点検査装置で
   あって、 拡散光源とそれを覆う明暗パターン部とを有し前記被検
   物を照射する光源部と、 前記光源部からの明暗パターンと前記被検物との相対位
   置を移動させる駆動部と、 前記被検物の反射光または透過光を入力して明暗パター
   ンの位相が異なる複数枚の画像を生成する受光部と、 前記複数枚の画像における前記被検物表面上の同一位置
   の画素に関するそれぞれのデータにもとづいて評価値を
   決め、位置が異なる各画素について評価値を比較する演
   算装置とを備えたことを特徴とする被検物の欠点検査装
   置。