JP2000011889A - Gas discharge type display panel - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高輝度なガス放電型表示パネル得ること。
【解決手段】 同一基板上に、互いに平行な2本の放電
電極から形成される電極対を有し、上記放電電極は透明
電極と金属材料からなるバス電極とからなるス放電型表
示パネルにおいて、透明電極の片側のエッジが、バス電
極幅内に位置するように構成する。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To obtain a high-brightness gas discharge type display panel. SOLUTION: In a discharge type display panel comprising an electrode pair formed of two discharge electrodes parallel to each other on the same substrate, wherein the discharge electrodes comprise a transparent electrode and a bus electrode made of a metal material. The edge of one side of the transparent electrode is configured to be located within the width of the bus electrode.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、AC型プラズマデ
ィスプレイパネルなどの面放電型のガス放電型表示パネ
ルに係り、特に、従来よりも輝度が向上できるようにし
たガス放電型表示パネルに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface discharge type gas discharge type display panel such as an AC type plasma display panel, and more particularly, to a gas discharge type display panel which can improve the brightness as compared with the prior art. is there.
【0002】[0002]
【従来の技術】プラズマディスプレイパネルなどのガス
放電型表示パネルは、自己発光により表示を行うため、
視野角が広く、表示が見やすい。また、薄形の表示装置
とすることが可能で、大画面が実現できるなどの特徴を
持っており、情報端末機器の表示装置や高品位テレビへ
の応用が期待されている。2. Description of the Related Art Gas discharge display panels such as plasma display panels perform display by self-emission,
The viewing angle is wide and the display is easy to see. In addition, it has a feature that it can be a thin display device and can realize a large screen, and is expected to be applied to a display device of an information terminal device and a high-definition television.
【0003】上記のプラズマディスプレイパネルは、直
流駆動型(DC型)と交流駆動型(AC型)とに大別さ
れる。このうちAC型のプラズマディスプレイパネル
は、放電に使用する電極を覆っている誘電体層の作用に
よりメモリー機能を有し、保護層の形成などにより実用
に耐える寿命が得られるようになった。その結果、AC
型プラズマディスプレイパネルは、大画面で薄型な多用
途モニタとして近年実用化されるようになった。The above-described plasma display panels are roughly classified into a direct current drive type (DC type) and an alternating current drive type (AC type). Among them, the AC type plasma display panel has a memory function by the action of the dielectric layer covering the electrodes used for the discharge, and has a practically usable life due to the formation of the protective layer and the like. As a result, AC
2. Description of the Related Art In recent years, a plasma display panel has been put to practical use as a thin, versatile monitor with a large screen.
【0004】図6に従来のAC型プラズマディスプレイ
パネルの例を示す。図6の(a)は表示面側から見た部
分平面図、図6の(b)は部分断面図である。FIG. 6 shows an example of a conventional AC plasma display panel. FIG. 6A is a partial plan view as viewed from the display surface side, and FIG. 6B is a partial cross-sectional view.
【0005】前面基板13は、前面ガラス基板1の上
に、走査電極3及び維持電極4が互いに平行になるよう
に形成され、一対の走査電極3と維持電極4とにより、
1つのセルとなる面放電電極対103が構成されてい
る。走査電極3及び維持電極4は、各々AgやCuやA
l等の金属材料からなるバス電極19、19’と、IT
O(Indium Tin Oxide)や酸化スズ(SnO2 )などか
らなる透明電極12、12’とから構成されている。さ
らに、走査電極(バス電極と透明電極)3及び維持電極
(バス電極と透明電極)4を被覆する前面誘電体層5
と、酸化マグネシウム(MgO)等からなる保護層6が
形成された構造となっている。また、背面基板14は、
背面ガラス基板2の上に、AgやCuやAl等の金属材
料からなる書き込み電極9と、背面誘電体層8と、隔壁
7と、放電によって発生する紫外線を可視光に変換する
蛍光体層10とが形成された構造となっている。[0005] The front substrate 13 is formed on the front glass substrate 1 so that the scanning electrodes 3 and the sustaining electrodes 4 are parallel to each other.
A surface discharge electrode pair 103 serving as one cell is formed. The scan electrode 3 and the sustain electrode 4 are made of Ag, Cu or A, respectively.
bus electrodes 19, 19 'made of a metal material such as
The transparent electrodes 12 and 12 'are made of O (Indium Tin Oxide) or tin oxide (SnO 2 ). Further, a front dielectric layer 5 covering the scan electrodes (bus electrodes and transparent electrodes) 3 and the sustain electrodes (bus electrodes and transparent electrodes) 4
And a protective layer 6 made of magnesium oxide (MgO) or the like. Also, the rear substrate 14
On the back glass substrate 2, a writing electrode 9 made of a metal material such as Ag, Cu, or Al, a back dielectric layer 8, a partition wall 7, and a phosphor layer 10 for converting ultraviolet generated by discharge into visible light. Are formed.
【0006】そして、前面基板1と背面基板2を、維持
電極4と書き込み電極9とが直交するようにして張り合
わせ、NeやXeやAr等を放電ガスとして充填し、外
周部を封止層11で密封することにより、放電空間1
5、ガス空間16を形成している。なお、放電空間15
およびガス空間16と異なる空間が定義してあるが、互
いの空間はパネル内の所定の位置でつながれている場合
が大多数であり、同一のガスが同一圧力で存在する空間
となる。Then, the front substrate 1 and the rear substrate 2 are bonded together so that the sustain electrodes 4 and the write electrodes 9 are perpendicular to each other, and Ne, Xe, Ar or the like is filled as a discharge gas, and the outer peripheral portion is sealed with a sealing layer 11. By sealing the discharge space 1
5. A gas space 16 is formed. The discharge space 15
And a space different from the gas space 16 are defined, but the spaces are mostly connected at predetermined positions in the panel, and are spaces where the same gas exists at the same pressure.
【0007】このAC型プラズマディスプレイパネルで
は、走査電極3及び維持電極4及び書き込み電極9との
間に特定のパルス駆動波形電圧を印加することにより、
特定の放電空間15で走査電極3及び維持電極4の間で
主放電を行わせ、非発光の放電空間と発光する放電空間
を制御して、任意の画像表示を可能としている。In this AC type plasma display panel, a specific pulse driving waveform voltage is applied between the scanning electrode 3, the sustaining electrode 4, and the writing electrode 9, whereby
A main discharge is performed between the scan electrode 3 and the sustain electrode 4 in the specific discharge space 15 to control a non-light emitting discharge space and a light emitting discharge space, thereby enabling an arbitrary image display.
【0008】ここで示したガス放電型表示パネルの従来
例は、たとえば、フラットパネルディスプレイ1996
(日経マイクロデバイス編、1995年)の第208頁
から215頁に記載されている。A conventional example of the gas discharge type display panel shown here is, for example, a flat panel display 1996.
(Nikkei Microdevices, 1995), pp. 208-215.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来構造の
プラズマディスプレイパネルでは、図2の(b)に示す
ように、バス電極19(19’)が透明電極幅201
(201’)の内側に含まれるように配置することによ
り、維持電極と走査電極の外形を透明電極12(1
2’)によって形成していた。すなわち、隣接する面放
電電極対間の間隙距離である隣接ギャップ204と、維
持電極と走査電極の間の間隙距離である放電ギャップ2
02とを、透明電極12(12’)の外形により規定し
ていた。ここで、安定な放電のためには、隣接ギャップ
204と放電ギャップ202を精度よく形成しなければ
ならない。このため、バス電極19(19’)と透明電
極12(12’)の位置合わせ精度を考慮し、バス電極
19(19’)は、透明電極12(12’)の隣接ギャ
ップ204側のエッジより0.03〜0.05mm程度
内側に形成し、バス電極19(19’)と透明電極12
(12’)の製造工程中に位置ずれが発生した場合で
も、バス電極19(19’)が透明電極幅201(20
1’)の外に出ない位置関係としていた。In a conventional plasma display panel, as shown in FIG. 2B, the bus electrode 19 (19 ') has a transparent electrode width 201.
By arranging them so as to be included inside (201 ′), the outer shapes of the sustain electrodes and the scan electrodes can be changed to the transparent electrodes 12 (1
2 '). That is, an adjacent gap 204 that is a gap distance between adjacent surface discharge electrode pairs, and a discharge gap 2 that is a gap distance between a sustain electrode and a scan electrode.
02 was defined by the outer shape of the transparent electrode 12 (12 ′). Here, for stable discharge, the adjacent gap 204 and the discharge gap 202 must be accurately formed. For this reason, in consideration of the alignment accuracy between the bus electrode 19 (19 ') and the transparent electrode 12 (12'), the bus electrode 19 (19 ') is positioned closer to the gap 204 side than the edge of the transparent electrode 12 (12'). The bus electrode 19 (19 ') and the transparent electrode 12 are formed on the inner side of about 0.03 to 0.05 mm.
Even if a displacement occurs during the manufacturing process of (12 ′), the bus electrode 19 (19 ′) is not covered with the transparent electrode width 201 (20).
1 ')).
【0010】しかし、上記のようにバス電極を透明電極
幅の内側に配置することにより、ガス放電型表示パネル
の輝度が低下するという問題があった。これは、放電に
よる発光強度が強い面放電電極対の中央付近により近い
位置に、発光を遮光するバス電極が配置されてしまって
いるからである。However, there is a problem that the luminance of the gas discharge type display panel is reduced by disposing the bus electrode inside the width of the transparent electrode as described above. This is because the bus electrode that blocks light emission is disposed closer to the center of the surface discharge electrode pair where the light emission intensity due to discharge is strong.
【0011】本発明は上記の点に鑑みなされたもので、
その目的とするところは、従来よりも高輝度なガス放電
型表示パネルを提供することにある。[0011] The present invention has been made in view of the above points,
It is an object of the present invention to provide a gas discharge type display panel having higher brightness than before.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明によるガス放電型表示パネルにおいては、
図2の(a)に示すように、透明電極12(12’)の
エッジ401が、バス電極19(19’)内に配置され
るように、構成される。このように、透明電極12(1
2’)のエッジ401をバス電極幅205(205’)
内に配置することにより、図2の(b)に示す従来のガ
ス放電型表示パネルと同一の放電ギャップ202、隣接
ギャップ204をもつガス放電型表示パネルであって
も、発光を遮光するバス電極19(19’)を、より面
放電電極対の外端に配置することができ、その結果、発
光強度の強い面放電電極対103の中央付近の発光を、
より有効に利用することができ、ガス放電型表示パネル
の輝度を向上させることが可能となる。To achieve the above object, a gas discharge type display panel according to the present invention comprises:
As shown in FIG. 2A, the edge 401 of the transparent electrode 12 (12 ′) is configured to be arranged in the bus electrode 19 (19 ′). Thus, the transparent electrode 12 (1
The edge 401 of 2 ′) is connected to the bus electrode width 205 (205 ′).
2B, a bus electrode that blocks light emission even in a gas discharge type display panel having the same discharge gap 202 and adjacent gap 204 as the conventional gas discharge type display panel shown in FIG. 19 (19 ') can be arranged at the outer end of the pair of surface discharge electrodes, and as a result, the light emission near the center of the pair of surface discharge electrodes 103 having high emission intensity is
It can be used more effectively, and the brightness of the gas discharge display panel can be improved.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を用いて説明する。図1は、本発明の1実施形態に係
るAC型プラズマディスプレイパネルの要部構成を示す
図で、図1の(a)は画面表示面側から見た部分正面図
を、図1の(b)は図1の(a)に対応した部分断面を
それぞれ示している。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a main part configuration of an AC type plasma display panel according to an embodiment of the present invention. FIG. 1A is a partial front view viewed from a screen display surface side, and FIG. ) Respectively show partial cross sections corresponding to FIG.
【0014】図1において、13は前面基板、14は背
面基板、15は放電空間、1は前面ガラス基板、2は背
面ガラス基板、12と12’は透明導電材料からなる透
明電極、19と19’は透明電極の一部と重なるように
設けられたバス電極、5と8は誘電体層、6はMgOか
らなる保護層、9は書き込み電極、10は蛍光体、7は
放電空間を分離する隔壁である。基本的な構成は、図6
に示した従来構成と同等であり、透明電極12及びバス
電極19により走査電極3が、透明電極12’及びバス
電極19’により維持電極4が、それぞれ形成されてい
る。In FIG. 1, 13 is a front substrate, 14 is a rear substrate, 15 is a discharge space, 1 is a front glass substrate, 2 is a rear glass substrate, 12 and 12 'are transparent electrodes made of a transparent conductive material, 19 and 19 'Is a bus electrode provided so as to overlap a part of the transparent electrode, 5 and 8 are dielectric layers, 6 is a protective layer made of MgO, 9 is a writing electrode, 10 is a phosphor, and 7 is a discharge space. It is a partition. The basic configuration is shown in FIG.
The scanning electrode 3 is formed by the transparent electrode 12 and the bus electrode 19, and the sustain electrode 4 is formed by the transparent electrode 12 'and the bus electrode 19'.
【0015】図1に示すように、本実施形態では、透明
電極12(12’)の片側のエッジ401を、バス電極
幅205(205’)内に配置している。より詳細に
は、透明電極12(12’)における面放電電極対10
3の外側に位置する側のエッジ401が、バス電極幅2
05(205’)の概略中心に位置するように配置して
いる。すなわち、これによって、2本の放電電極の間隙
(走査電極3と維持電極4との間隔;放電ギャップ)2
02が、透明電極12、12’の外形ラインにより規定
され、また、隣接する面放電電極対と面放電電極対の間
隙(隣接ギャップ)204が、バス電極19、19’の
外形ラインにより規定されるようになっている。As shown in FIG. 1, in this embodiment, one edge 401 of the transparent electrode 12 (12 ') is arranged within the bus electrode width 205 (205'). More specifically, the surface discharge electrode pair 10 in the transparent electrode 12 (12 ′)
3 is located outside the bus electrode width 2.
05 (205 '). That is, the gap between the two discharge electrodes (the interval between the scan electrode 3 and the sustain electrode 4; discharge gap) 2
02 is defined by the outline of the transparent electrodes 12, 12 ', and the gap 204 (adjacent gap) between adjacent surface discharge electrode pairs is defined by the outline of the bus electrodes 19, 19'. It has become so.
【0016】このように、透明電極12(12’)のエ
ッジ401をバス電極幅205(205’)の内部に配
置することにより、同一の放電ギャップ、同一の隣接ギ
ャップをもつプラズマディスプレイパネルであっても、
発光を遮光するバス電極を、より面放電電極対の外端に
配置することができ、その結果、発光強度の強い面放電
電極対の中央付近の発光を、より有効に利用できて、プ
ラズマディスプレイパネル(ガス放電型表示パネル)の
輝度向上を図ることが可能となる。By arranging the edge 401 of the transparent electrode 12 (12 ') inside the bus electrode width 205 (205'), the plasma display panel has the same discharge gap and the same adjacent gap. Even
The bus electrode that blocks light emission can be arranged at the outer end of the surface discharge electrode pair, and as a result, the light emission near the center of the surface discharge electrode pair with high emission intensity can be more effectively used, and the plasma display It is possible to improve the brightness of the panel (gas discharge type display panel).
【0017】図2は本実施形態と従来のプラズマディス
プレイパネルを対比して示す図で、図2の(a)が本実
施形態の構成を、図2の(b)が従来の構成を示してお
り、同一の放電ギャップ、同一の隣接ギャップをもつも
のとなっている。図3の(a)は、図2の(a)に示し
た本実施形態のプラズマディスプレイパネルにおけるA
−A’線分上の輝度分布を模式的に表し、図3の(b)
は、図2の(b)に示した従来のプラズマディスプレイ
パネルにおけるB−B’線分上の輝度分布を模式的に表
している。FIGS. 2A and 2B show the present embodiment and a conventional plasma display panel in comparison. FIG. 2A shows the configuration of the present embodiment, and FIG. 2B shows the conventional configuration. And have the same discharge gap and the same adjacent gap. FIG. 3A is a view showing A in the plasma display panel of the present embodiment shown in FIG.
FIG. 3B schematically illustrates a luminance distribution on the −A ′ line segment.
2 schematically shows the luminance distribution on the line BB ′ in the conventional plasma display panel shown in FIG.
【0018】図3に示すように、バス電極領域302の
部分は、バス電極が不透明であるため輝度はほとんど得
られない。従って、プラズマディスプレイパネルの輝度
は、バス領域302を除いた部分の輝度の積分値で表さ
れる。図3の(a)と図3の(b)とを対比すると、同
一の面放電電極外形301をもつプラズマディスプレイ
パネルでは、図3の(a)の本実施形態による輝度積分
値の方が、図3の(b)に示した従来構造の輝度積分値
よりも大きいことがわかる。As shown in FIG. 3, almost no luminance is obtained in the bus electrode region 302 because the bus electrode is opaque. Therefore, the brightness of the plasma display panel is represented by an integrated value of the brightness excluding the bus area 302. When comparing FIG. 3A and FIG. 3B, in the plasma display panel having the same surface discharge electrode outer shape 301, the luminance integrated value according to the present embodiment in FIG. It can be seen that it is larger than the luminance integrated value of the conventional structure shown in FIG.
【0019】ところで、透明電極12(12’)のエッ
ジ401をバス電極幅205(205’)内に配置する
ことにより、先にも述べたように、放電ギャップ202
は透明電極12(12’)の外形により形成され、隣接
ギャップ204はバス電極19(19’)の外形により
形成される。バス電極は透明電極と同様にフォトリソ工
程により形成される場合が多く、透明電極とバス電極の
外形形成精度はほぼ同等であり、隣接ギャップ204の
形成精度は、従来の透明電極の外形で形成していた場合
とほぼ等しくなるため、放電の安定性を損なうことはな
い。By arranging the edge 401 of the transparent electrode 12 (12 ') within the bus electrode width 205 (205'), as described above, the discharge gap 202 is formed.
Is formed by the outer shape of the transparent electrode 12 (12 '), and the adjacent gap 204 is formed by the outer shape of the bus electrode 19 (19'). The bus electrode is often formed by a photolithography process as in the case of the transparent electrode, and the external electrode forming accuracy of the transparent electrode and the bus electrode is almost the same, and the forming accuracy of the adjacent gap 204 is the same as that of the conventional transparent electrode. Since this is almost equal to the case where the discharge is performed, the stability of the discharge is not impaired.
【0020】また、透明電極のエッジを、本実施形態の
ように、ほぼバス電極幅の中心に位置するように設計す
ることにより、透明電極とバス電極に位置ずれが発生し
た場合でも、透明電極のエッジがバス電極から外れてし
まうことはない。通常、バス電極幅は0.06〜0.1
mm程度であり、透明電極とバス電極の位置合わせずれ
は、一般的な製造工程であれば0.005〜0.02m
m程度と、バス電極幅の半分以下に抑えられるからであ
る。Further, by designing the edge of the transparent electrode so as to be located substantially at the center of the width of the bus electrode as in the present embodiment, even if a displacement occurs between the transparent electrode and the bus electrode, the transparent electrode can be formed. Does not come off the bus electrode. Usually, the bus electrode width is 0.06 to 0.1.
mm, and the misalignment between the transparent electrode and the bus electrode is 0.005 to 0.02 m in a general manufacturing process.
This is because it can be suppressed to about m, which is less than half the width of the bus electrode.
【0021】次に、本実施形態の製造方法の1例を説明
する。まず、前面基板13の製造方法について説明す
る。Next, an example of the manufacturing method of the present embodiment will be described. First, a method for manufacturing the front substrate 13 will be described.
【0022】(1)前面ガラス基板1とするソーダライ
ムガラス等のガラス板を、中性洗剤等により洗浄する。(1) A glass plate such as soda lime glass as the front glass substrate 1 is washed with a neutral detergent or the like.
【0023】(2)洗浄した前面ガラス基板1上に、ス
パッタリング法やディップ法などの成膜手法により、二
酸化珪素(SiO 2)の膜厚が0.00002〜0.0
002mmとなるように形成する(図示せず)。次に、
スパッタリング法や電子線蒸着法などの成膜手法によ
り、酸化スズ膜やITO膜などの透明導電膜を、膜厚が
0.0001〜0.0005mmとなるように形成す
る。次いで、公知のフォトエッチング法によって透明導
電膜の加工を行い、透明電極12、12’を形成する。
透明電極12、12’のパターン寸法は、製造するパネ
ルの画素サイズの大きさに合わせて定めれば良い。( 2 ) The thickness of silicon dioxide (SiO 2 ) is set to 0.00002 to 0.02 on the cleaned front glass substrate 1 by a film forming technique such as a sputtering method or a dipping method.
002 mm (not shown). next,
A transparent conductive film such as a tin oxide film or an ITO film is formed to a thickness of 0.0001 to 0.0005 mm by a film forming technique such as a sputtering method or an electron beam evaporation method. Next, the transparent conductive film is processed by a known photoetching method to form the transparent electrodes 12 and 12 ′.
The pattern dimensions of the transparent electrodes 12, 12 'may be determined according to the pixel size of the panel to be manufactured.
【0024】(3)透明電極12、12’を形成した前
面ガラス基板1上に、スパッタリング法や電子線蒸着法
等の成膜手法を用いて、クロム(Cr)膜で銅(Cu)
膜をサンドイッチしたCr/Cu/Cr積層膜を形成す
る。透明電極12、12’を形成した前面ガラス基板1
に接するクロム(Cr)膜の膜厚が0.0003〜0.
001mm、その上の銅(Cu)膜の膜厚が0.001
〜0.003mm、さらにその上のクロム(Cr)膜の
膜厚が0.0005〜0.0015mmとなるように形
成した。次いで、公知のフォトエッチング法を用いて、
Cr/Cu/Cr積層膜の加工を行い、透明電極12、
12’の一部と重なるように電極パターンを形成し、バ
ス電極19、19’とする。Cu膜の膜厚とバス電極1
9、19’のパターン寸法は、バス電極19、19’に
要求される抵抗値によって定めれば良い。(3) A chromium (Cr) film is used to form a copper (Cu) film on the front glass substrate 1 on which the transparent electrodes 12 and 12 'are formed, using a film forming technique such as a sputtering method or an electron beam evaporation method.
A Cr / Cu / Cr laminated film in which the films are sandwiched is formed. Front glass substrate 1 on which transparent electrodes 12 and 12 'are formed
The thickness of the chromium (Cr) film in contact with is 0.0003 to 0.
001 mm, and the thickness of the copper (Cu) film thereon is 0.001
The thickness of the chromium (Cr) film was set to 0.0005 to 0.0015 mm. Then, using a known photo etching method,
By processing the Cr / Cu / Cr laminated film, the transparent electrode 12,
An electrode pattern is formed so as to overlap with a part of 12 ′, and bus electrodes 19 and 19 ′ are formed. Cu film thickness and bus electrode 1
The pattern dimensions 9 and 19 'may be determined according to the resistance value required for the bus electrodes 19 and 19'.
【0025】(4)透明電極12(12’)とバス電極
19(19’)を形成した前面ガラス基板1の所定の場
所に、酸化鉛を主成分としたペ−ストを用いて、スクリ
−ン印刷法によりベタ印刷した後、所定のプロファイル
で焼成して、膜厚が0.02〜0.05mmの前面誘電
体層5を形成する。1回の印刷でこれらの膜厚が得られ
ない場合には、複数回、印刷及び焼成を繰り返すことが
ある。この際、例えば、電極に接する誘電体材料には電
極材料を保護する材料を用い、その上に形成する誘電体
材料には次に形成する保護層6であるMgO膜が形成し
やすい表面を得る材料を用いるように、目的に合ったペ
−ストに変えることがある。(4) A predetermined portion of the front glass substrate 1 on which the transparent electrode 12 (12 ') and the bus electrode 19 (19') are formed, is screened using a paste mainly composed of lead oxide. After the solid printing by the printing method, the resultant is baked with a predetermined profile to form the front dielectric layer 5 having a thickness of 0.02 to 0.05 mm. If these film thicknesses cannot be obtained by one printing, printing and baking may be repeated a plurality of times. At this time, for example, a material that protects the electrode material is used as the dielectric material in contact with the electrode, and a surface on which the MgO film that is the next protective layer 6 is easily formed is obtained as the dielectric material formed thereon. As with materials, the paste may be changed to suit the purpose.
【0026】(5)スパッタリング法や電子線蒸着法等
の成膜手法を用いて、MgO膜を所定の場所に成膜し、
保護層6とする。MgO膜の膜厚は、ガス放電型表示パ
ネルに要求される寿命によって定める必要があるが、そ
の代表値は0.0003〜0.001mmである。(5) An MgO film is formed at a predetermined place by using a film forming method such as a sputtering method or an electron beam evaporation method,
The protective layer 6 is used. The thickness of the MgO film needs to be determined according to the life required for the gas discharge type display panel, and a typical value is 0.0003 to 0.001 mm.
【0027】以上の工程により、前面基板13が完成す
る。Through the above steps, the front substrate 13 is completed.
【0028】次に、背面基板14の製造方法について説
明する。Next, a method of manufacturing the back substrate 14 will be described.
【0029】(6)背面ガラス基板2とするソーダライ
ムガラス等のガラス板を、中性洗剤等を用いて洗浄す
る。(6) A glass plate such as soda lime glass as the rear glass substrate 2 is washed using a neutral detergent or the like.
【0030】(7)洗浄した背面ガラス基板2上に、ス
パッタリング法やディップ法などの成膜手法により、二
酸化珪素(SiO2 )の膜厚が0.00002〜0.0
002mmとなるように絶縁層を形成する(図示せ
ず)。次に、スパッタリング法や電子線蒸着法等の成膜
手法を用いて、クロム(Cr)膜で銅(Cu)膜をサン
ドイッチしたCr/Cu/Cr積層膜を形成する。絶縁
層を形成した背面ガラス基板2に接するクロム(Cr)
膜の膜厚が0.0003〜0.001mm、その上の銅
(Cu)膜の膜厚が0.001〜0.003mm、さら
にその上のクロム(Cr)膜の膜厚が0.0005〜
0.0015mmとなるように形成した。次いで、公知
のフォトエッチング法を用いてCr/Cu/Cr積層膜
の加工を行い、書き込み電極9とする。Cu膜の膜厚と
書き込み電極9のパターン寸法は、書き込み電極9に要
求される抵抗値によって定めれば良い。(7) The film thickness of silicon dioxide (SiO 2 ) is 0.00002 to 0.00.0 on the cleaned rear glass substrate 2 by a film forming technique such as a sputtering method or a dipping method.
An insulating layer is formed to have a thickness of 002 mm (not shown). Next, a Cr / Cu / Cr laminated film in which a copper (Cu) film is sandwiched by a chromium (Cr) film is formed by using a film forming technique such as a sputtering method or an electron beam evaporation method. Chromium (Cr) in contact with rear glass substrate 2 on which insulating layer is formed
The thickness of the film is 0.0003 to 0.001 mm, the thickness of the copper (Cu) film thereon is 0.001 to 0.003 mm, and the thickness of the chromium (Cr) film thereon is 0.0005 to 0.005 mm.
It was formed to have a thickness of 0.0015 mm. Next, the Cr / Cu / Cr laminated film is processed by using a known photo-etching method to form a write electrode 9. The thickness of the Cu film and the pattern size of the writing electrode 9 may be determined according to the resistance value required for the writing electrode 9.
【0031】(8)書き込み電極9を形成した背面ガラ
ス基板2の所定の場所に、酸化鉛を主成分としたペ−ス
トを用いて、スクリ−ン印刷法によりベタ印刷した後、
所定のプロファイルで焼成し、膜厚が0.005〜0.
04mmの背面誘電体層8を形成する。この際、例えば
2回の印刷及び焼成を行い、所定の形状の背面誘電体層
8を得る。またこの際、例えば、書き込み電極9に接す
る誘電体材料には電極材料を保護する材料を用い、その
上に形成する誘電体材料には次に形成する隔壁7の材料
との反応性を考慮した材料を用いるように、目的に合っ
たペ−ストに変えることが好ましい。また、蛍光体が発
色する際に背面ガラス基板2側に出た光を少しでも有効
に反射するために、背面誘電体層8には白色の絶縁材料
とすることが好ましい。(8) After a solid printing is performed on a predetermined place of the rear glass substrate 2 on which the writing electrode 9 is formed by a screen printing method using a paste containing lead oxide as a main component,
It is baked with a predetermined profile and has a film thickness of 0.005 to 0.5 mm.
A back dielectric layer 8 of 04 mm is formed. At this time, for example, printing and baking are performed twice to obtain the back dielectric layer 8 having a predetermined shape. At this time, for example, a material for protecting the electrode material is used as the dielectric material in contact with the write electrode 9, and the reactivity with the material of the partition 7 to be formed next is taken into consideration for the dielectric material formed thereon. It is preferable to change the paste to suit the purpose so that the material is used. Further, in order to effectively reflect even a little light emitted to the rear glass substrate 2 when the phosphor emits color, the rear dielectric layer 8 is preferably made of a white insulating material.
【0032】(9)上記背面誘電体層8を形成した背面
ガラス基板2の所定の場所に、酸化鉛を主成分とした隔
壁ペ−ストを用いて、スクリーン印刷法によりベタ印刷
し、膜厚が0.1〜0.2mmの隔壁材を塗布する。1
回の印刷でこれらの膜厚が得られない場合には、複数回
印刷及び焼成を繰り返すことがある。この際、例えば、
隔壁7の最上層のみは黒色の材料を用い、それ以外は白
色の材料を用いることがある。このように、目的に合っ
たペ−ストに変えることがある。また、隔壁ペ−スト
は、ブレードコート法やロールコート法により、1回で
形成する方法を用いることもある。(9) Solid printing is performed on a predetermined location of the rear glass substrate 2 on which the rear dielectric layer 8 is formed, by a screen printing method using a partition paste containing lead oxide as a main component, and a film thickness is obtained. Applies a partition material of 0.1 to 0.2 mm. 1
If these film thicknesses cannot be obtained in one printing, printing and baking may be repeated a plurality of times. At this time, for example,
Only the uppermost layer of the partition 7 may be made of a black material, and the other may be made of a white material. As described above, the paste may be changed to a paste that suits the purpose. The partition paste may be formed once by a blade coating method or a roll coating method.
【0033】(10)感光性フィルムを、隔壁材まで形
成した背面ガラス基板2上にラミネートし、周知の露
光、現像、水洗、乾燥を行うことにより、所定の感光性
フィルムパターンを形成する。(10) A photosensitive film is laminated on the rear glass substrate 2 on which the partition wall material has been formed, and is exposed, developed, washed and dried to form a predetermined photosensitive film pattern.
【0034】(11)サンドブラスト処理を行うことに
より、背面ガラス基板2の感光性フィルムによって被覆
されていない隔壁材の部分を除去し、放電空間15とな
る“溝”を形成する。感光性フィルムを剥離した後、所
定のプロファイルで焼成し、隔壁7を形成する。(11) By performing a sandblasting process, a portion of the rear wall glass substrate 2 which is not covered with the photosensitive film is removed to form a “groove” serving as the discharge space 15. After peeling off the photosensitive film, it is baked with a predetermined profile to form the partition 7.
【0035】(12)放電空間15となる“溝”の内壁
の表面に、スプレー法やスクリ−ン印刷法等の手法を用
いて、緑、青、赤の蛍光体10を塗布する。次いで、1
50〜500℃の温度で5〜60分の熱処理を行う。(12) The green, blue, and red phosphors 10 are applied to the surface of the inner wall of the "groove" to be the discharge space 15 by using a method such as a spray method or a screen printing method. Then 1
A heat treatment is performed at a temperature of 50 to 500 ° C. for 5 to 60 minutes.
【0036】(13)ディスペンサ法を用いて封止材の
パターン形成を行い、乾燥、脱バインダを行って、真空
封止を行うための封止層11を形成する。(13) A pattern of a sealing material is formed by using a dispenser method, and drying and binder removal are performed to form a sealing layer 11 for performing vacuum sealing.
【0037】以上の工程で、放電空間を分離する隔壁7
と蛍光体10を有する背面基板14が完成する。In the above steps, the partition 7 for separating the discharge space
And the back substrate 14 having the phosphor 10 is completed.
【0038】次に、前面基板13と背面基板14の組立
方法について説明する。Next, a method of assembling the front substrate 13 and the rear substrate 14 will be described.
【0039】(14)前面基板13と背面基板14の位
置合せを行い、高耐熱クリップ等で仮固定をする。この
時、前面基板13に設けた面放電電極対103と背面基
板14に設けた書き込み電極9とを直交させる。(14) The front substrate 13 and the rear substrate 14 are aligned and temporarily fixed with a high heat-resistant clip or the like. At this time, the pair of surface discharge electrodes 103 provided on the front substrate 13 and the write electrodes 9 provided on the rear substrate 14 are made orthogonal to each other.
【0040】(15)背面基板2に、パネル組立後に行
う排気とガス導入のためにチップ管(図示せず)を取り
付ける。(15) A chip tube (not shown) is attached to the rear substrate 2 for exhaust and gas introduction after panel assembly.
【0041】(16)位置合わせした前面基板13と背
面基板14に熱処理を施すことによって、これらの基板
を固定する。(16) The front substrate 13 and the rear substrate 14 that have been aligned are subjected to a heat treatment to fix these substrates.
【0042】(17)背面基板14に設けたチップ管
(図示せず)を通して、前面基板13と背面基板14の
間に形成されるガス空間16及び放電空間15の真空排
気を行い、例えば3〜10%のXeガスを含むNeガス
を、ガス空間16及び放電空間15に導入し、圧力を3
5〜70kPaに調節する。(17) The gas space 16 and the discharge space 15 formed between the front substrate 13 and the rear substrate 14 are evacuated through a chip tube (not shown) provided on the rear substrate 14. Ne gas containing 10% of Xe gas is introduced into the gas space 16 and the discharge space 15 and the pressure is reduced to 3%.
Adjust to 5-70 kPa.
【0043】(18)チップ管(図示せず)の局部加熱
によってチップオフを行うことにより、プラズマディス
プレイパネル(ガス放電型表示パネル)が完成する。(18) The plasma display panel (gas discharge type display panel) is completed by performing chip-off by local heating of a chip tube (not shown).
【0044】本実施形態では、前面基板13の上記した
製造工程(2)で使用する透明電極のフォトマスクと、
上記した製造工程(3)で使用するバス電極のフォトマ
スクを、透明電極のエッジがバス電極幅内に入るように
パターン設計することで実現できる。In the present embodiment, a photomask of a transparent electrode used in the above-described manufacturing process (2) of the front substrate 13 is provided.
The photomask of the bus electrode used in the above-described manufacturing step (3) can be realized by pattern design such that the edge of the transparent electrode falls within the width of the bus electrode.
【0045】なお、本実施形態では、透明電極は帯状の
形状のものとして説明したが、図4に示すように、透明
電極12、12’の放電ギャップ側に凹凸のある形状
や、図5に示すように、透明電極12、12’が島状に
複数分離された形状であってもかまわない。また、凹凸
や島の形状は、円弧状でも、四角、三角形状等であって
もかまわない。In this embodiment, the transparent electrode has been described as having a strip shape. However, as shown in FIG. 4, the transparent electrodes 12 and 12 'have irregularities on the discharge gap side, and FIG. As shown, the transparent electrodes 12, 12 'may have a plurality of island-like separated shapes. Further, the shape of the unevenness or the island may be an arc, a square, a triangle, or the like.
【0046】なおまた、本実施形態では、バス電極は帯
状の形状のものとして説明したが、パネルの駆動方式や
静電容量を考慮し凹凸形状としても、隣接ギャップがバ
ス電極エッジで形成されていればかまわない。In this embodiment, the bus electrode is described as having a strip shape. However, even when the bus electrode is formed in a concavo-convex shape in consideration of a panel driving method and capacitance, an adjacent gap is formed at the edge of the bus electrode. It does not matter.
【0047】さらにまた、本実施形態では、バス電極1
9、19’の材料としてCuとCrを用いているが、A
lやTi、Ni、W、Moの金属やこれらの合金を用い
てもさしつかえない。また、バス電極19、19’と書
き込み電極9を構成する材料の形成方法としてスパッタ
リング法や電子線蒸着法を用いているが、形成方法に制
限はなく、めっき法や抵抗加熱蒸着法、厚膜印刷法など
を用いても良い。また、透明電極12、12’を構成す
る透明導電材料も酸化すずやITOに限定されるもので
はなく、また、その形成方法としてもスパッタリング法
や電子線蒸着法に限定されるものではなく、化学気相反
応法やソル−ゲル法などを用いてもさしつかえない。Further, in this embodiment, the bus electrode 1
Cu and Cr are used as the materials of 9 and 19 '.
It is possible to use metals such as l, Ti, Ni, W, and Mo, and alloys thereof. In addition, a sputtering method or an electron beam evaporation method is used as a method for forming the materials constituting the bus electrodes 19 and 19 'and the writing electrode 9, but the formation method is not limited, and a plating method, a resistance heating evaporation method, a thick film A printing method or the like may be used. Further, the transparent conductive material forming the transparent electrodes 12 and 12 ′ is not limited to tin oxide or ITO, and the method for forming the transparent conductive material is not limited to sputtering or electron beam evaporation. A phase reaction method or a sol-gel method may be used.
【0048】上述したように、透明電極のエッジをバス
電極幅の内部に配置することにより、同一の放電ギャッ
プ、隣接ギャップをもつプラズマディスプレイパネル
(ガス放電型表示パネル)であっても、発光を遮光する
バス電極を、より面放電電極対の外端に配置することが
でき、その結果、発光強度の強い面放電電極対の中央付
近の発光を、より有効に利用することができ、以って、
プラズマディスプレイパネル(ガス放電型表示パネル)
の輝度向上を図ることが可能となる。また、本発明は、
従来の電極構造のマスクの設計変更のみで対応できるた
め、製造コストの増加なしにプラズマディスプレイパネ
ル(ガス放電型表示パネル)の輝度向上が実現できる。As described above, by arranging the edge of the transparent electrode within the width of the bus electrode, light can be emitted even from a plasma display panel (gas discharge type display panel) having the same discharge gap and adjacent gap. The bus electrode for shielding light can be arranged at the outer end of the pair of surface discharge electrodes, and as a result, the light emission near the center of the pair of surface discharge electrodes having high light emission intensity can be more effectively used. hand,
Plasma display panel (gas discharge type display panel)
Can be improved. Also, the present invention
Since it can be dealt with only by changing the design of the mask having the conventional electrode structure, the brightness of the plasma display panel (gas discharge type display panel) can be improved without increasing the manufacturing cost.
【0049】[0049]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、従来より
も輝度が向上できるガス放電型表示パネルを、製造コス
トの増加なしに実現することができ、その工業的価値は
多大である。As described above, according to the present invention, it is possible to realize a gas discharge type display panel whose luminance can be improved as compared with the conventional one without increasing the manufacturing cost, and its industrial value is enormous.
【図1】本発明の1実施形態に係るAC型プラズマディ
スプレイパネルの要部構成を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating a main configuration of an AC plasma display panel according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の1実施形態に係るAC型プラズマディ
スプレイパネルの要部構成と、従来技術によるAC型プ
ラズマディスプレイパネルの要部構成とを、対比して示
す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram for comparing a main configuration of an AC plasma display panel according to an embodiment of the present invention with a main configuration of an AC plasma display panel according to a conventional technique.
【図3】図2の(a)の構成による輝度分布と、図2の
(b)の構成による輝度分布とを、対比して示す説明図
である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a luminance distribution by the configuration of FIG. 2A and a luminance distribution by the configuration of FIG. 2B in comparison;
【図4】本発明の他の実施形態に係るAC型プラズマデ
ィスプレイパネルの要部構成を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a main configuration of an AC plasma display panel according to another embodiment of the present invention.
【図5】本発明のさらに他の実施形態に係るAC型プラ
ズマディスプレイパネルの要部構成を示す説明図であ
る。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a main configuration of an AC plasma display panel according to still another embodiment of the present invention.
【図6】従来技術によるAC型プラズマディスプレイパ
ネルの要部構成を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory view showing a configuration of a main part of an AC type plasma display panel according to the related art.
1 前面ガラス基板 2 背面ガラス基板 3 走査電極 4 維持電極 5 前面誘電体 6 保護層 7 隔壁 8 背面誘電体 9 書き込み電極 10 蛍光体層 11 封止層 12、12’ 透明電極 13 前面基板 14 背面基板 15 放電空間 16 ガス空間 19、19’ バス電極 103 面放電電極対 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Front glass substrate 2 Back glass substrate 3 Scan electrode 4 Sustain electrode 5 Front dielectric 6 Protective layer 7 Partition 8 Back dielectric 9 Writing electrode 10 Phosphor layer 11 Sealing layer 12, 12 'Transparent electrode 13 Front substrate 14 Rear substrate 15 Discharge space 16 Gas space 19, 19 'Bus electrode 103 Surface discharge electrode pair
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 了平 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所情報メディア事業本部内 (72)発明者 西亀 正志 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 Fターム(参考) 5C040 DD01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Ryohei Sato Inventor Hitachi, Ltd. Information Media Business Headquarters, 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture (72) Inventor Masashi Nishigame Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa No. 292 F-term in Hitachi, Ltd. Production Engineering Laboratory Co., Ltd. (reference) 5C040 DD01
Claims (4)
電極から形成される電極対を有し、上記放電電極は透明
電極と金属材料からなるバス電極とからなり、上記透明
電極の片側のエッジが、上記バス電極幅内に配置された
ことを特徴とするガス放電型表示パネル。An electrode pair formed of two discharge electrodes parallel to each other on the same substrate, wherein the discharge electrode comprises a transparent electrode and a bus electrode made of a metal material, and one side of the transparent electrode. A gas discharge display panel, wherein the edge of the gas discharge type display panel is arranged within the bus electrode width.
おいて、 上記透明電極の片側のエッジが、上記バス電極幅の概略
中心に配置されたことを特徴とするガス放電型表示パネ
ル。2. The gas discharge type display panel according to claim 1, wherein one edge of the transparent electrode is arranged substantially at the center of the width of the bus electrode.
パネルにおいて、 上記バス電極幅内に配置される上記透明電極のエッジ
が、上記電極対の外側に位置する側のエッジであること
を特徴とするガス放電型表示パネル。3. The gas discharge type display panel according to claim 1, wherein an edge of the transparent electrode disposed within the bus electrode width is an edge on a side located outside the electrode pair. Characteristic gas discharge display panel.
電極から形成される複数の電極対を有し、上記放電電極
は透明電極と金属材料からなるバス電極とからなり、2
本の上記放電電極の間隙が、上記透明電極の外形ライン
により形成され、かつ、隣接する上記電極対と電極対と
の間隙が、上記バス電極の外形ラインにより形成された
ことを特徴とするガス放電型表示パネル。4. A plurality of electrode pairs formed of two discharge electrodes parallel to each other on the same substrate, wherein the discharge electrodes comprise a transparent electrode and a bus electrode made of a metal material.
A gas, wherein the gap between the discharge electrodes is formed by the outer shape line of the transparent electrode, and the gap between the adjacent electrode pair is formed by the outer shape line of the bus electrode. Discharge type display panel.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17338698A JP2000011889A (en) | 1998-06-19 | 1998-06-19 | Gas discharge type display panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17338698A JP2000011889A (en) | 1998-06-19 | 1998-06-19 | Gas discharge type display panel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000011889A true JP2000011889A (en) | 2000-01-14 |
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ID=15959448
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP17338698A Pending JP2000011889A (en) | 1998-06-19 | 1998-06-19 | Gas discharge type display panel |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000011889A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000044025A1 (en) * | 1999-01-22 | 2000-07-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas discharge panel, gas discharge device, and method of manufacture thereof |
| US9062442B2 (en) | 2004-06-14 | 2015-06-23 | Zurn Industries, Llc | Flush actuator assembly and method therefor |
-
1998
- 1998-06-19 JP JP17338698A patent/JP2000011889A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000044025A1 (en) * | 1999-01-22 | 2000-07-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas discharge panel, gas discharge device, and method of manufacture thereof |
| US7045962B1 (en) | 1999-01-22 | 2006-05-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas discharge panel with electrodes comprising protrusions, gas discharge device, and related methods of manufacture |
| US9062442B2 (en) | 2004-06-14 | 2015-06-23 | Zurn Industries, Llc | Flush actuator assembly and method therefor |
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