JP2000009711A - Elemental analysis method and analytical device of organic compound - Google Patents
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- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は有機化合物の元素分
析方法及び分析装置に関する。The present invention relates to a method and an apparatus for elemental analysis of organic compounds.
【０００２】[0002]
【従来の技術】様々な有機物が混ざり合った液体材料の
各成分分析においては、第一にそれらを構成している各
成分に分離することが必須である。各成分に分離を行っ
た後、質量分析、赤外吸収分光分析、元素分析等を行
い、各成分の同定を行うが、一般的に普及しているガス
クロマトグラフ−質量分析法のように分離と分析をオン
ライン化した手法が簡便である。分離の手段としてはガ
スクロマトグラフと高速液体クロマトグラフが良く用い
られ、これらに質量分析計、赤外分光光度計を接続した
分析装置は広く用いられている。2. Description of the Related Art In the analysis of each component of a liquid material in which various organic substances are mixed, it is first essential to separate each component constituting the components. After separating each component, mass spectrometry, infrared absorption spectroscopy, elemental analysis, etc. are performed to identify each component, but the separation and separation are performed as in the general gas chromatography-mass spectrometry method. The method of online analysis is simple. Gas chromatographs and high-performance liquid chromatographs are often used as means for separation, and analyzers in which a mass spectrometer and an infrared spectrophotometer are connected to these are widely used.
【０００３】一般的に有機化合物を同定するためには、
その化合物のマススペクトル、赤外吸収スペクトル、核
磁気共鳴スペクトル、元素組成比を得る必要性がある
が、混合物中の微量成分の分析となると装置の検出下限
が問題となり、利用できるものは汎用性を考慮に入れて
ガスクロマトグラフ−質量分析計とガスクロマトグラフ
−赤外分光光度計に限られ、得ることのできる情報はマ
ススペクトルと赤外吸収スペクトルに限られてしまう。
これらによる同定解析は分析対象物質が市販のデータラ
イブラリーに含まれているような一般的なものの場合は
問題とならないが、未知物質の場合においては困難とな
る。Generally, in order to identify an organic compound,
It is necessary to obtain the mass spectrum, infrared absorption spectrum, nuclear magnetic resonance spectrum, and elemental composition ratio of the compound, but the analysis of trace components in a mixture has a problem with the lower detection limit of the device, and the available ones are versatile. In consideration of the above, the information is limited to a gas chromatograph-mass spectrometer and a gas chromatograph-infrared spectrophotometer, and the information that can be obtained is limited to a mass spectrum and an infrared absorption spectrum.
The identification analysis by these does not pose a problem when the substance to be analyzed is a general substance contained in a commercially available data library, but becomes difficult when the substance is an unknown substance.
【０００４】最近、ガスクロマトグラフに原子発光分析
器を連結して分離後の元素分析が行える装置が普及して
おり、各成分の元素組成式が求められるようになってい
る。この装置で得られる元素情報はある程度の微量成分
には適用でき、同定解析できる範囲が広がった。しか
し、その実用的な検出下限は数ｐｐｍでガスクロマトグ
ラフ−質量分析計やガスクロマトグラフ−赤外分光光度
計の数１０ｐｐｂに比較すると大きな隔たりがあり、ガ
スクロマトグラフ−質量分析法やガスクロマトグラフ−
赤外吸収分光法で得られた微小なピーク成分に関する元
素情報を与えることはできない。[0004] Recently, devices that can perform elemental analysis after separation by connecting an atomic emission analyzer to a gas chromatograph have become widespread, and the elemental composition formula of each component has been required. The elemental information obtained by this device can be applied to a certain amount of trace components, and the range of identification analysis has been widened. However, its practical lower limit of detection is several ppm, and there is a large gap compared with a gas chromatograph-mass spectrometer or a gas chromatograph-infrared spectrophotometer of several tens of ppb.
It is not possible to provide elemental information on minute peak components obtained by infrared absorption spectroscopy.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記のように、有機混
合物液体中の数１０ｐｐｂレベルの微量成分分析に関し
て、現在はガスクロマトグラフ−質量分析法とガスクロ
マトグラフ−赤外吸収分光法が適用できるが、元素情報
を与える手段がない。As described above, gas chromatograph-mass spectrometry and gas chromatograph-infrared absorption spectroscopy are currently applicable to the analysis of trace components at the level of tens of ppb in an organic mixture liquid. There is no means to give elemental information.
【０００６】本発明の目的は、数１０ｐｐｂレベルの有
機化合物を含む試料の元素分析ができる元素分析方法及
び分析装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide an elemental analysis method and an elemental analyzer capable of performing elemental analysis of a sample containing an organic compound of several tens of ppb level.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、ガスク
ロマトグラフで分離された試料ガスを冷却された捕集板
上に捕集して、蛍光Ｘ線分析、オージェ電子分光分析、
電子プローブマイクロアナライザー又はＸ線光電子分光
法により試料、特に有機化合物の元素分析を行う元素分
析方法にある。また、本発明の要旨は、ガスクロマトグ
ラフと、該ガスクロマトグラフのカラムに接続された捕
集室と、該捕集室に接続された、蛍光Ｘ線分析装置、オ
ージェ電子分光分析装置、電子プローブマイクロアナラ
イザー又はＸ線光電子分光分析装置等の装置とを備えた
分析装置であって、前記捕集室内には前記ガスクロマト
グラフのカラムから出てくる試料ガスを冷却捕集する捕
集板が収容され、前記試料ガスを冷却捕集した前記捕集
板が冷却を保持したまま前記装置のチャンバー内に移動
されて前記装置により試料を分析する分析装置にある。
前記捕集板は回転されること、特にその中心軸を回転軸
として回転させられることが好ましい。また、捕集板は
金属を蒸着された金属蒸着板、特に金を蒸着された蒸着
板であることが好ましい。更に、捕集板は、試料ガスを
効率よく捕集するために、約マイナス５０゜Ｃ以下、好
ましくはマイナス１００゜Ｃ以下の沸点（１気圧下）を
持つ冷媒で冷却されることが好ましい。The gist of the present invention is to collect a sample gas separated by a gas chromatograph on a cooled collecting plate, and perform X-ray fluorescence analysis, Auger electron spectroscopy,
An elemental analysis method for performing elemental analysis of a sample, particularly an organic compound, by an electron probe microanalyzer or X-ray photoelectron spectroscopy. Further, the gist of the present invention is to provide a gas chromatograph, a collection chamber connected to a column of the gas chromatograph, a fluorescent X-ray analyzer, an Auger electron spectrometer, and an electron probe micrometer connected to the collection chamber. An analyzer comprising an analyzer or an apparatus such as an X-ray photoelectron spectrometer, wherein a collection plate for cooling and collecting a sample gas coming out of the column of the gas chromatograph is housed in the collection chamber, The collecting plate, which collects the sample gas by cooling, is moved into a chamber of the device while maintaining the cooling, and the sample is analyzed by the device.
It is preferable that the collecting plate is rotated, and particularly that the collecting plate is rotated with its central axis as a rotation axis. Further, it is preferable that the collecting plate is a metal-deposited plate on which a metal is deposited, in particular, a vapor-deposited plate on which gold is deposited. Further, in order to efficiently collect the sample gas, the collecting plate is preferably cooled by a refrigerant having a boiling point (under one atmosphere) of about minus 50 ° C or less, preferably minus 100 ° C or less.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】本発明は、ガスクロマトグラフ
と、蛍光Ｘ線分析装置、オージェ電子分光分析装置、電
子プローブマイクロアナライザー、Ｘ線光電子分光装置
等の表面分析法に用いられる装置とを、冷却捕集を行う
インターフェースで連結して高感度に元素情報を与え
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention relates to a method for cooling a gas chromatograph and an apparatus used for surface analysis such as a fluorescent X-ray analyzer, an Auger electron spectrometer, an electron probe microanalyzer, and an X-ray photoelectron spectrometer. Provide element information with high sensitivity by linking with the interface for collection.
【０００９】図１に、ガスクロマトグラフとオージェ電
子分光分析装置とを連結させた分析装置の例を示す。該
分析装置は、ガスクロマトグラフ１０１と、該ガスクロ
マトグラフ１０１のカラム１０５の終端に接続された捕
集室１０２と、該捕集室１０２に接続されたオージェ電
子分光分析装置１１１とを備えた分析装置であって、前
記捕集室１０２内には前記ガスクロマトグラフ１０１の
カラム１０５から出てくる有機化合物の分離されたガス
（試料ガス）を冷却捕集する円形の捕集板１０９が収容
され、前記ガスを冷却捕集した前記捕集板１０９が冷却
を保持したまま前記オージェ電子分光分析装置１１１の
真空チャンバー１０３内に導入されて前記オージェ電子
分光分析装置１１１により有機化合物の元素分析を行う
分析装置である。なお、捕集板１０９は、その中心を回
転軸として回転させられ、捕集板１０９上にはカラム１
０５から出てくる有機化合物の分離された試料ガス成分
が順次その円周上に冷却捕集されるようにされる。FIG. 1 shows an example of an analyzer in which a gas chromatograph and an Auger electron spectrometer are connected. The analyzer includes a gas chromatograph 101, a collection chamber 102 connected to an end of a column 105 of the gas chromatograph 101, and an Auger electron spectrometer 111 connected to the collection chamber 102. In the collection chamber 102, a circular collection plate 109 for cooling and collecting a gas (sample gas) from which the organic compound is separated from the column 105 of the gas chromatograph 101 is accommodated. An analyzer that cools and collects the gas, introduces the gas into the vacuum chamber 103 of the Auger electron spectrometer 111 while maintaining the cooling, and performs elemental analysis of organic compounds by the Auger electron spectrometer 111. It is. The collecting plate 109 is rotated about its center as a rotation axis, and the column 1 is placed on the collecting plate 109.
The separated sample gas components of the organic compound coming out of the liquid crystal 05 are sequentially cooled and collected on the circumference thereof.
【００１０】前記分析装置において、ガスクロマトグラ
フ１０１の注入口１０４に注入された、有機化合物を含
む試料は瞬時に蒸発気化してキャリアガスによりカラム
１０５に運ばれ、カラム１０５を通過する間に各成分に
分離される。分離後の各成分の流路はバルブ１０６によ
ってガスクロマトグラフ１０１のフレームイオン化検出
器１０７又は捕集室１０２のどちらか一方だけに流す
か、両方へ流すかの選択ができようになっている。一般
に有機混合液体の分析は適当な溶媒に希釈して行われる
ため、試料の大部分はこの溶媒が占めている。希釈に用
いられる溶媒は揮発性の高いものが多いために、オージ
ェ電子分光分析装置のような高真空下で行う場合には装
置の汚染源となり好ましくない。そこで本発明において
は溶媒の高真空チャンバー１０３への導入を避けるため
に、初期にバルブ１０６をフレームイオン化検出器１０
７側に設定しておき、ガスクロマトグラムに現れる溶媒
ピークを確認してから流路を捕集室１０２の側に切り替
える操作を行う。尚、フレームイオン化検出器１０７の
代わりに質量分析計や赤外分光光度計を用いてこれらを
接続すると、質量スペクトルと元素情報、赤外吸収スペ
クトルと元素情報が同時に得られ、より効果的となる。In the analyzer, the sample containing an organic compound injected into the inlet 104 of the gas chromatograph 101 is instantaneously evaporated and vaporized and carried to the column 105 by the carrier gas. Is separated into The flow path of each component after the separation can be selected by a valve 106 to flow only to either the frame ionization detector 107 or the collection chamber 102 of the gas chromatograph 101 or to both of them. In general, the analysis of an organic mixed liquid is performed by diluting the mixture in an appropriate solvent, and therefore, most of the sample is occupied by the solvent. Since many solvents used for dilution have high volatility, they are unfavorable when used in a high vacuum such as an Auger electron spectroscopy apparatus, because they cause contamination of the apparatus. Therefore, in the present invention, in order to avoid introduction of the solvent into the high vacuum chamber 103, the valve 106 is initially set to the flame ionization detector 10.
The operation is switched to the side of the collection chamber 102 after confirming the solvent peak appearing on the gas chromatogram. If these are connected using a mass spectrometer or an infrared spectrophotometer instead of the flame ionization detector 107, a mass spectrum and elemental information and an infrared absorption spectrum and elemental information can be obtained at the same time, which is more effective. .
【００１１】ここで捕集室１０２の主な構成について、
図２、図３に基づき、以下に説明する。捕集板１０９
は、例えば直径が５センチメートルのステンレス製の円
形の板で厚みが１センチメートルである。そして、図３
に示すように、側壁中心部に試料押し込み棒２０４と接
続するためのねじ穴を掘っている。また、捕集板１０９
として、鏡面研磨を行った後に金を蒸着したものが好ま
しい。なぜなら、蒸着膜が捕集板１０９の表面に存在す
るので、有機化合物等が捕集板に吸着しないし、金属と
反応することもないからである。Here, the main configuration of the collection chamber 102 will be described.
This will be described below with reference to FIGS. Collection plate 109
Is, for example, a stainless steel circular plate having a diameter of 5 cm and a thickness of 1 cm. And FIG.
As shown in (1), a screw hole for connecting to the sample pushing rod 204 is formed in the center of the side wall. Also, the collecting plate 109
Preferably, gold is deposited after mirror polishing. This is because the vapor-deposited film exists on the surface of the collection plate 109, so that organic compounds and the like do not adsorb to the collection plate and do not react with metal.
【００１２】捕集板１０９の冷却の手順を説明する。ま
ず、図３に示すように、捕集板１０９を回転台に真空チ
ャックで固定する。ロータリーポンプ（ＲＰ）で捕集室
１０２を真空にした後、アルゴンガスをリークさせて室
内をアルゴン雰囲気に置換する。雰囲気置換が終了した
なら、予備冷却管２０１に液体窒素を循環させて室内の
水分を予備冷却管２０１の管表面に凍結させる。その
後、冷却管２０２に液体窒素を循環させて捕集板１０９
を約マイナス１７０度まで冷却する。また、オージェ電
子分光装置１１１の真空チャンバー１０３へ通じる試料
導入路の冷却管２０３にも液体窒素を循環させておく。
この冷却作業をガスクロマトグラフ１０１への試料注入
の前に行っておく。A procedure for cooling the collecting plate 109 will be described. First, as shown in FIG. 3, the collection plate 109 is fixed to a turntable with a vacuum chuck. After the collection chamber 102 is evacuated with a rotary pump (RP), argon gas is leaked to replace the chamber with an argon atmosphere. When the replacement of the atmosphere is completed, the liquid nitrogen is circulated through the pre-cooling tube 201 to freeze the moisture in the room on the surface of the pre-cooling tube 201. Thereafter, liquid nitrogen is circulated through the cooling pipe 202 to collect the collecting plate 109.
Is cooled to about minus 170 degrees. Liquid nitrogen is also circulated through the cooling pipe 203 of the sample introduction path leading to the vacuum chamber 103 of the Auger electron spectrometer 111.
This cooling operation is performed before the sample is injected into the gas chromatograph 101.
【００１３】試料注入後、モニターしているガスクロマ
トグラムで溶媒ピークが減衰したら、冷却捕集と同時に
ガスクロマトグラムを得るために、試料ガスがフレーム
イオン化検出器１０７の側と捕集室１０２の側との両方
に流れるようにバルブ１０６を切り替えるとともに捕集
板１０９を０．５〜１回転毎時間の速度で回転させて、
ノズル２０５から捕集板１０９に吹き付けられる。各成
分は、捕集板１０９の表面円周上に凍結されて、図４に
示すように、捕集物１１５として捕集される。After the sample injection, if the solvent peak is attenuated in the monitored gas chromatogram, the sample gas is transferred to the side of the flame ionization detector 107 and the side of the collection chamber 102 in order to obtain the gas chromatogram simultaneously with the cold collection. The valve 106 is switched so as to flow to both of them, and the collecting plate 109 is rotated at a speed of 0.5 to 1 rotation per hour,
It is sprayed from the nozzle 205 onto the collecting plate 109. Each component is frozen on the surface circumference of the collecting plate 109 and collected as a collected matter 115 as shown in FIG.
【００１４】冷却捕集後は再び捕集室１０２の内部を真
空にして、捕集板１０９を試料導入路を経由してオージ
ェ電子分光分析装置１１１のチャンバー１０３内に移動
して、該チャンバー１０３内の試料台上に固定して通常
のオージェ電子分光分析をおこなう。After the cooling and collecting, the inside of the collecting chamber 102 is evacuated again, and the collecting plate 109 is moved into the chamber 103 of the Auger electron spectrometer 111 via the sample introduction path. Perform normal Auger electron spectroscopy analysis by fixing it on the sample table inside.
【００１５】以上のようなガスクロマトグラフ１０１の
連結はオージェ電子分光分析装置の他、Ｘ線光電子分光
分析装置や電子プローブマイクロアナライザー、蛍光Ｘ
線分析装置に対して行っても良い。The connection of the gas chromatograph 101 as described above is not limited to an Auger electron spectrometer, an X-ray photoelectron spectrometer, an electron probe microanalyzer, and a fluorescent X-ray analyzer.
The measurement may be performed on a line analyzer.
【００１６】[0016]
【実施例】実施例１として円形の捕集板１０９を用い
て、有機化合物の混合液体を溶媒で希釈した試料から微
量成分を採集する方法、装置及び分析結果を示す。実施
例２として正方形の捕集板１０９を用いて、実施例１と
同じ試料から微量成分の採集する方法、装置、及び分析
結果を示す。実施例３として炭化水素系の試料を用い
て、本発明が水に影響されないことを示す。Example 1 As Example 1, a method, an apparatus and an analysis result of collecting a trace component from a sample obtained by diluting a mixed liquid of an organic compound with a solvent using a circular collecting plate 109 will be described. Example 2 shows a method, an apparatus, and an analysis result of collecting trace components from the same sample as in Example 1 using a square collecting plate 109. Example 3 shows that the present invention is not affected by water by using a hydrocarbon-based sample.
【００１７】実施例１ 有機化合物を微量含む混合液体１マイクロリットルを１
０ミリリットルのテトラヒドロフランに溶解させて、図
１に示すガスクロマトグラフ−オージェ電子分光分析装
置で分析した。ガスクロマトグラフ１０１のキャリアガ
スとしてヘリウムを用い、該ガスの流量は１ミリリット
ル毎秒とした。カラム１０５として、直径約０．３ミリ
メートル、長さ３０メートルの無極性キャピラリーカラ
ムを用いた。ガスクロマトグラフ１０１の注入口１０４
の温度は３００℃で、１マイクロリットルの試料溶液を
マイクロシリンジで注入口１０４に注入した。注入はス
プリットレスモードで行った。カラムオーブンは５０℃
〜３００℃まで昇温を行った。試料注入から５分間５０
℃に保ったのち１０℃毎分の速度で昇温を行い、３００
℃で２０分間保持した。フレームイオン化検出器１０７
の温度は３００℃に設定した。フレームイオン化検出器
１０７の燃焼ガスとして用いる水素の流量は３０ミリリ
ットル毎分、空気の流量は４００ミリリットル毎分とし
た。Example 1 1 microliter of a mixed liquid containing a trace amount of an organic compound was added to 1
It was dissolved in 0 ml of tetrahydrofuran and analyzed by a gas chromatograph-Auger electron spectrometer shown in FIG. Helium was used as a carrier gas for the gas chromatograph 101, and the flow rate of the gas was 1 milliliter per second. As the column 105, a non-polar capillary column having a diameter of about 0.3 mm and a length of 30 meters was used. Inlet 104 of gas chromatograph 101
Was 300 ° C., and 1 microliter of the sample solution was injected into the injection port 104 with a microsyringe. The injection was performed in a splitless mode. Column oven at 50 ° C
The temperature was raised to 300 ° C. 50 for 5 minutes after sample injection
After the temperature was maintained at 10 ° C, the temperature was raised at a rate of 10 ° C per minute,
C. for 20 minutes. Flame ionization detector 107
Was set to 300 ° C. The flow rate of hydrogen used as the combustion gas of the flame ionization detector 107 was 30 ml / min, and the flow rate of air was 400 ml / min.
【００１８】捕集板１０９として、金蒸着した直径５セ
ンチメートルの円形のステンレス板を用い、冷媒として
液体窒素を用いて約マイナス１７０℃に冷却した。捕集
室１０２内を１００ミリパスカルにした後、アルゴンガ
スをリークさせて大気圧まで戻して室内をアルゴン雰囲
気にした。この置換作業を２回行って最終的に５パスカ
ルのアルゴン雰囲気にした。それから予備冷却管２０１
に液体窒素を循環させて３０分が経過してから試料台１
１０を冷却する冷却管２０２に液体窒素を冷媒として循
環させて捕集板１０９の温度を約マイナス１７０℃にし
てガスクロマトグラフ１０１に試料を注入した。捕集板
１０９の回転速度は１回転毎時間とし、ガスクロマトグ
ラムでテトラヒドロフランのピークが減衰した試料注入
から７分後に回転を始めた。冷却捕集後には捕集板１０
９をもとの回転位置に戻した。As a collecting plate 109, a circular stainless steel plate having a diameter of 5 centimeters on which gold was deposited was cooled to about minus 170 ° C. using liquid nitrogen as a refrigerant. After the inside of the collection chamber 102 was made 100 mPa, the argon gas was leaked and returned to the atmospheric pressure, and the inside of the collection chamber was set to an argon atmosphere. This substituting operation was performed twice, and finally an argon atmosphere of 5 Pascal was obtained. Then the pre-cooling pipe 201
30 minutes after liquid nitrogen was circulated through the sample table 1
The sample was injected into the gas chromatograph 101 by circulating liquid nitrogen as a refrigerant through the cooling pipe 202 for cooling the sample 10 to set the temperature of the collecting plate 109 at about minus 170 ° C. The rotation speed of the collection plate 109 was set to 1 rotation per hour, and rotation started 7 minutes after injection of the sample in which the peak of tetrahydrofuran was attenuated in the gas chromatogram. After cooling and collecting, the collecting plate 10
9 was returned to the original rotational position.
【００１９】得られたガスクロマトグラムを図５に示
す。この分析では図５に示したピーク以外は検出されな
かった。微小ピーク５０１と５０２のピーク面積がテト
ラヒドロフラン以外のピーク面積の合計に対する割合は
それぞれ０．１％と０．０７％であったので、それぞれ
の濃度はピーク５０１の成分が約１００ｐｐｂ、ピーク
５０２が約７０ｐｐｂである。捕集板１０９をオージェ
電子分光装置１１１のチャンバー（室）１０３内へ移動
させてピーク５０１とピーク５０２のオージェ電子スペ
クトルを測定した。オージェ電子分光分析装置１１１の
試料台にも捕集室１０２の回転台と同様な構造を持た
せ、捕集板１０９を回転できるようにした。ガスクロマ
トグラムのピーク出現時間と冷却捕集時の捕集板１０９
の回転速度、冷却捕集の開始時間から各成分の付着位置
が容易にわかるので試料の位置合わせは計算から求まる
角度だけ捕集板１０９を回転させるだけ良く、非常に簡
単である。分析は一次電子ビームのエネルギーは５キロ
エレクトロンボルト、電流値５００ナノアンペア、チャ
ンバー１０３の圧力１マイクロパスカルで行った。FIG. 5 shows the obtained gas chromatogram. In this analysis, no peaks other than those shown in FIG. 5 were detected. The ratios of the peak areas of the minute peaks 501 and 502 to the total peak areas other than tetrahydrofuran were 0.1% and 0.07%, respectively, so that the concentration of the peak 501 was about 100 ppb and the peak 502 was about 100 ppb. 70 ppb. The collecting plate 109 was moved into the chamber (chamber) 103 of the Auger electron spectrometer 111, and the Auger electron spectra of the peak 501 and the peak 502 were measured. The sample stage of the Auger electron spectrometer 111 was also provided with a structure similar to that of the turntable of the collection chamber 102 so that the collection plate 109 could be rotated. Gas chromatogram peak appearance time and collection plate 109 during cooling collection
Since the position where each component is attached can be easily determined from the rotation speed of the sample and the start time of the cooling and collecting, the positioning of the sample can be performed simply by rotating the collecting plate 109 by the angle determined from the calculation, which is very simple. The analysis was performed at a primary electron beam energy of 5 kiloelectron volts, a current value of 500 nanoamperes, and a chamber 103 pressure of 1 micropascal.
【００２０】ピーク５０１とピーク５０２の成分から得
られたオージェ電子スペクトルをそれぞれ図６と図７に
示す。ピーク５０１の成分は炭素と酸素と窒素をもって
いることが図６から判った。この元素分析結果とガスク
ロマトグラフ−質量分析から得られたマススペクトル、
ガスクロマトグラフ−赤外分光分析から得られた赤外吸
収スペクトルを総合的に判断した結果、ピーク５０１の
成分はピリミジン誘導体であることが推定された。同様
にピーク５０２の成分は炭素と酸素を持っており、マス
スペクトルと赤外吸収スペクトルを合わせて解析した結
果、ジオキサン誘導体であると推定された。尚、同じ試
料をガスクロマトグラフ−原子発光分析装置により分析
を行ったが、ピーク５０１とピーク５０２に関する元素
情報は何も得られなかった。FIGS. 6 and 7 show Auger electron spectra obtained from the components of the peak 501 and the peak 502, respectively. FIG. 6 shows that the component of the peak 501 has carbon, oxygen, and nitrogen. Mass spectrometry obtained from this elemental analysis result and gas chromatography-mass spectrometry,
As a result of comprehensively judging the infrared absorption spectrum obtained from the gas chromatography-infrared spectroscopic analysis, it was estimated that the component of the peak 501 was a pyrimidine derivative. Similarly, the component of peak 502 has carbon and oxygen, and as a result of analyzing the mass spectrum and the infrared absorption spectrum together, it was presumed to be a dioxane derivative. The same sample was analyzed by a gas chromatograph-atomic emission spectrometer, but no elemental information on the peak 501 and the peak 502 was obtained.
【００２１】実施例２ 有機化合物を微量含む実施例１と同じ混合液体１マイク
ロリットルを１０ミリリットルのテトラヒドロフランに
溶解させてガスクロマトグラフ−オージェ電子分光分析
装置を用いて以下の通り分析した。ガスクロマトグラフ
１０１のキャリアガスにはヘリウムを用いて流量は１ミ
リリットル毎秒とした。カラム１０５として直径約０．
３ミリメートル、長さ３０メートルの無極性キャピラリ
ーカラムを用いた。注入口１０４の温度は３００℃で、
１マイクロリットルの試料溶液をマイクロシリンジで注
入口１０４に注入した。注入はスプリットレスモードで
行った。カラムオーブンは５０℃〜３００℃まで昇温を
行った。試料注入から５分間５０℃に保ったのち１０℃
毎分の速度で昇温を行い、３００℃で２０分間保持し
た。フレームイオン化検出器１０７の温度は３００℃に
設定した。フレームイオン化検出器１０７の燃焼ガスと
して用いる水素の流量は３０ミリリットル毎分、空気の
流量は４００ミリリットル毎分とした。Example 2 1 microliter of the same mixed liquid as in Example 1 containing a trace amount of an organic compound was dissolved in 10 ml of tetrahydrofuran and analyzed using a gas chromatograph-Auger electron spectrometer as follows. Helium was used as the carrier gas of the gas chromatograph 101, and the flow rate was 1 milliliter per second. The diameter of the column 105 is about 0.
A 3 millimeter, 30 meter long non-polar capillary column was used. The temperature of the inlet 104 is 300 ° C.
One microliter of the sample solution was injected into the inlet 104 with a microsyringe. The injection was performed in a splitless mode. The column oven was heated to 50 ° C to 300 ° C. 10 minutes after keeping at 50 ° C for 5 minutes after sample injection
The temperature was raised at a rate of every minute and kept at 300 ° C. for 20 minutes. The temperature of the flame ionization detector 107 was set at 300 ° C. The flow rate of hydrogen used as the combustion gas of the flame ionization detector 107 was 30 ml / min, and the flow rate of air was 400 ml / min.
【００２２】捕集板１０９として、図８〜図９に示すよ
うに金蒸着した５センチメートル×５センチメートルの
正方形のステンレス板を用い、またＸＹステージ９０１
上に設置した。捕集板１０９のＹ方向への移動速度を
０．１ミリメートル毎秒として、図１０に示すように、
Ｙ方向へ４センチメートル連続的に移動させ、同じ速度
でＸ方向へ５ミリメートル移動させる走査を繰り返し
た。As shown in FIGS. 8 and 9, a 5 cm × 5 cm square stainless steel plate deposited with gold is used as the collecting plate 109.
Installed above. Assuming that the moving speed of the collecting plate 109 in the Y direction is 0.1 mm per second, as shown in FIG.
Scanning was repeated by moving continuously 4 cm in the Y direction and moving 5 mm in the X direction at the same speed.
【００２３】冷媒には実施例１と同様に液体窒素を用い
て捕集板１０９の温度を約マイナス１５５℃に冷却し
た。捕集室１０２を１００ミリパスカルにした後、アル
ゴンガスをリークさせて大気圧まで戻して室内をアルゴ
ン雰囲気にした。この置換作業を２回行って最終的に５
パスカルのアルゴン雰囲気にした。それから予備冷却管
２０１に液体窒素を循環させて３０分が経過してから試
料台を冷却する冷却管２０２に液体窒素を循環させて捕
集板１０９の温度を約マイナス１５５℃にしてガスクロ
マトグラフ１０１に試料を注入した。捕集板１０９の走
査はガスクロマトグラムでテトラヒドロフランのピーク
が減衰した試料注入から７分後に始めた。The temperature of the collecting plate 109 was cooled to about minus 155 ° C. by using liquid nitrogen as in the first embodiment. After the collection chamber 102 was set to 100 mPa, the argon gas was leaked and returned to the atmospheric pressure, and the inside of the chamber was set to an argon atmosphere. This replacement work is performed twice and finally 5
An argon atmosphere of Pascal was used. After 30 minutes have passed since the liquid nitrogen was circulated through the pre-cooling tube 201, the liquid nitrogen was circulated through the cooling tube 202 for cooling the sample stage, and the temperature of the collecting plate 109 was set to about minus 155 ° C. Was injected with the sample. The scanning of the collecting plate 109 was started 7 minutes after injection of the sample in which the peak of tetrahydrofuran was attenuated in the gas chromatogram.
【００２４】得られたガスクロマトグラムは実施例１と
同じで同様に微小ピーク５０１とピーク５０２が観測さ
れた。微小ピーク５０１と５０２のピーク面積がテトラ
ヒドロフラン以外のピーク面積の合計に対する割合は実
施例１と同様にそれぞれ０．１％と０．０７％であった
ので、それぞれの濃度はピーク５０１の成分が約１００
ｐｐｂ、ピーク５０２が約７０ｐｐｂである。The obtained gas chromatogram was the same as in Example 1, and similarly, a minute peak 501 and a peak 502 were observed. The ratios of the peak areas of the minute peaks 501 and 502 to the total peak area other than tetrahydrofuran were 0.1% and 0.07%, respectively, as in Example 1. 100
ppb, peak 502 is about 70 ppb.
【００２５】捕集板１０９をオージェ電子分光分析チャ
ンバー１０３内へ移動させてピーク５０１とピーク５０
２のオージェ電子スペクトルを測定した。オージェ電子
分光分析装置の試料台にも捕集室１０２のＸＹステージ
９０１と同様のものを設置した。ガスクロマトグラムの
ピーク出現時間と冷却捕集時の捕集板１０９の移動速
度、冷却捕集の開始時間から各成分の付着位置が容易に
わかるので試料の位置あわせは計算から求まる座標に捕
集板１０９を移動させるだけ良く、非常に簡単である。
分析は一次電子ビームのエネルギーは５キロエレクトロ
ンボルト、電流値５００ナノアンペア、チャンバー１０
３の圧力１マイクロパスカルで行った。The collecting plate 109 is moved into the Auger electron spectroscopic analysis chamber 103 so that the peak 501 and the peak 50 are moved.
The Auger electron spectrum of Sample No. 2 was measured. The same thing as the XY stage 901 in the collection chamber 102 was also set on the sample stage of the Auger electron spectrometer. The adhesion position of each component can be easily determined from the peak appearance time of the gas chromatogram, the moving speed of the collecting plate 109 during cooling collection, and the start time of cooling collection. It is very easy only by moving 109.
In the analysis, the energy of the primary electron beam was 5 kiloelectron volts, the current value was 500 nanoamperes, and the chamber 10
3 at 1 micropascal.
【００２６】ピーク５０１とピーク５０２の成分から得
られたオージェ電子スペクトルをそれぞれ図１１と図１
２に示す。ピーク５０１の成分は炭素と酸素と窒素をも
っていることがわかった。この元素分析結果とガスクロ
マトグラフ−質量分析から得られたマススペクトル、ガ
スクロマトグラフ−赤外分光分析から得られた赤外吸収
スペクトルを総合的に判断した結果、ピーク５０１の成
分はピリミジン誘導体と推定された。同様にピーク５０
２の成分は炭素と酸素を持っており、マススペクトルと
赤外吸収スペクトルを合わせて解析した結果、ジオキサ
ン誘導体であると推定された。尚、同じ試料をガスクロ
マトグラフ−原子発光分析装置により分析を行ったが、
ピーク５０１とピーク５０２に関する元素情報は何も得
られなかった。The Auger electron spectra obtained from the components of the peak 501 and the peak 502 are shown in FIGS.
It is shown in FIG. It was found that the component of the peak 501 had carbon, oxygen, and nitrogen. As a result of comprehensively judging the elemental analysis results, the mass spectrum obtained from gas chromatography-mass spectrometry, and the infrared absorption spectrum obtained from gas chromatography-infrared spectroscopy, the component of peak 501 was estimated to be a pyrimidine derivative. Was. Similarly peak 50
The component 2 has carbon and oxygen, and as a result of analyzing the mass spectrum and the infrared absorption spectrum together, it was presumed to be a dioxane derivative. The same sample was analyzed by a gas chromatograph-atomic emission spectrometer,
No elemental information on peaks 501 and 502 was obtained.
【００２７】実施例３ 本発明においては冷却捕集を行うので水の影響を受ける
可能性が指摘される。そこで、酸素を構成元素に含まな
い炭化水素系化合物の混合液体を試料としてガスクロマ
トグラフ−オージェ電子分光分析を行った。試料はノル
マルヘキサン１００ミリリットルにノルマルデカン、ド
デカンをそれぞれ１マイクロリットルを溶かして試料溶
液とした。冷却捕集法は実施例１と同じ円形の捕集板１
０９を回転させる方法で行った。Embodiment 3 In the present invention, it is pointed out that water is affected by water because cooling and collection are performed. Therefore, gas chromatograph-Auger electron spectroscopy analysis was performed using a mixed liquid of hydrocarbon compounds containing no oxygen as a constituent element. A sample was prepared by dissolving 1 microliter each of normal decane and dodecane in 100 ml of normal hexane. The cooling collecting method is the same circular collecting plate 1 as in Example 1.
09 was rotated.
【００２８】ガスクロマトグラフ１０１のキャリアガス
にはヘリウムを用いて流量は１ミリリットル毎秒とし
た。カラム１０５には直径約０．３ミリメートル、長さ
３０メートルの無極性キャピラリーカラムを用いた。注
入口１０４の温度は３００℃で１マイクロリットルの試
料溶液をマイクロシリンジで注入した。注入はスプリッ
トレスモードで行った。カラムオーブンは５０℃〜３０
０℃まで昇温を行った。試料注入から５分間５０℃に保
ったのち１０℃毎分の速度で昇温を行い、３００℃で２
０分間保持した。フレームイオン化検出器１０７の温度
は３００℃に設定した。フレームイオン化検出器１０７
の燃焼ガスとして用いる水素の流量は３０ミリリットル
毎分、空気の流量は４００ミリリットル毎分とした。Helium was used as the carrier gas for the gas chromatograph 101, and the flow rate was 1 milliliter per second. As the column 105, a non-polar capillary column having a diameter of about 0.3 mm and a length of 30 meters was used. The temperature of the inlet 104 was 300 ° C., and 1 microliter of the sample solution was injected with a micro syringe. The injection was performed in a splitless mode. Column oven is 50 ℃ -30
The temperature was raised to 0 ° C. After maintaining the temperature at 50 ° C. for 5 minutes from the sample injection, the temperature was raised at a rate of 10 ° C. per minute, and the temperature was raised at 300 ° C. for 2 minutes.
Hold for 0 minutes. The temperature of the flame ionization detector 107 was set at 300 ° C. Flame ionization detector 107
The flow rate of hydrogen used as the combustion gas was 30 ml / min, and the flow rate of air was 400 ml / min.
【００２９】捕集板１０９として、金蒸着した直径５セ
ンチメートルの円形のステンレス板を用い、冷媒には液
体窒素を用いて約マイナス１７０℃に冷却した。捕集室
１０２を１００ミリパスカルにした後、アルゴンガスを
リークさせて大気圧まで戻して室内をアルゴン雰囲気に
した。この置換作業を２回行って最終的に５パスカルの
アルゴン雰囲気にした。それから予備冷却管２０１に液
体窒素を循環させて３０分が経過してから試料台１１０
を冷却する冷却管２０２に液体窒素を循環させて捕集板
１０９の温度を約マイナス１７０℃にしてガスクロマト
グラフに試料を注入した。回転台の速度は１回転毎時間
とし、ガスクロマトグラムでテトラヒドロフランのピー
クが減衰した試料注入から１０分後に回転を始めた。冷
却捕集後には捕集板１０９を元の回転位置に戻した。As the collecting plate 109, a circular stainless steel plate having a diameter of 5 cm, on which gold was deposited, was cooled to about minus 170 ° C. using liquid nitrogen as a refrigerant. After the collection chamber 102 was set to 100 mPa, the argon gas was leaked and returned to the atmospheric pressure, and the inside of the chamber was set to an argon atmosphere. This substituting operation was performed twice, and finally an argon atmosphere of 5 Pascal was obtained. Then, after 30 minutes have passed since liquid nitrogen was circulated through the pre-cooling tube 201, the sample stage 110
Liquid nitrogen was circulated through a cooling pipe 202 for cooling the sample, the temperature of the collecting plate 109 was set to about minus 170 ° C., and a sample was injected into the gas chromatograph. The speed of the turntable was set to 1 rotation per hour, and rotation started 10 minutes after injection of the sample in which the peak of tetrahydrofuran was attenuated in the gas chromatogram. After the cooling and collecting, the collecting plate 109 was returned to the original rotation position.
【００３０】得られたガスクロマトグラムの一部を図１
３に示す。ノルマルデカンとノルマルドデカンのピーク
が観測されている。捕集板１０９をオージェ電子分光分
析装置１１１のチャンバー１０３へ移動させてノルマル
デカンとノルマルデカンのオージェ電子スペクトルを測
定した。オージェ電子分光分析装置１１１の試料台にも
捕集室１０２の回転台と同様な構造を持たせ、捕集板１
０９を回転できるようにした。ガスクロマトグラムのピ
ーク出現時間と冷却捕集時の捕集板１０９の回転速度、
冷却捕集の開始時間から各成分の付着位置を計算し、そ
の角度だけ捕集板１０９を回転させた。分析は一次電子
ビームのエネルギーは５キロエレクトロンボルト、電流
値５００ナノアンペア、チャンバー圧力１マイクロパス
カルで行った。A part of the obtained gas chromatogram is shown in FIG.
3 is shown. Normal decane and normal dodecane peaks are observed. The collecting plate 109 was moved to the chamber 103 of the Auger electron spectrometer 111 to measure normal decane and Auger electron spectra of normal decane. The sample table of the Auger electron spectrometer 111 has the same structure as the rotating table of the collection chamber 102, and the collection plate 1
09 can be rotated. The peak appearance time of the gas chromatogram and the rotation speed of the collection plate 109 during cooling collection,
The attachment position of each component was calculated from the start time of cooling and collecting, and the collecting plate 109 was rotated by that angle. The analysis was performed at a primary electron beam energy of 5 kiloelectron volts, a current value of 500 nanoamps, and a chamber pressure of 1 micropascal.
【００３１】ノルマルデカンとノルマルドデカンから得
られたオージェ電子スペクトルをそれぞれ図１４と図１
５に示す。どちらのオージェ電子スペクトルにも炭素以
外のピークはなく、予備冷却による水分除去が効果的に
働いていることがわかる。尚、同じ試料をガスクロマト
グラフ−原子発光分析装置により分析を行ったが、炭素
に関する元素情報は何も得られなかった。The Auger electron spectra obtained from normal decane and normal dodecane are shown in FIGS. 14 and 1, respectively.
It is shown in FIG. There are no peaks other than carbon in both Auger electron spectra, and it can be seen that water removal by pre-cooling works effectively. The same sample was analyzed by a gas chromatograph-atomic emission spectrometer, but no elemental information on carbon was obtained.
【００３２】ガスクロマトグラフ１０１に連結されたオ
ージェ電子分光分析装置１１１の代わりに、蛍光Ｘ線分
析装置、電子プローブマイクロアナライザー、Ｘ線光電
子分光分析装置を用いても良い。また、ガスクロマトグ
ラフ１０１においては、検出器をフレームイオン化検出
器１０７の代わりに質量分析計や赤外分光高度計を接続
しても良い。Instead of the Auger electron spectrometer 111 connected to the gas chromatograph 101, a fluorescent X-ray analyzer, an electron probe microanalyzer, or an X-ray photoelectron spectrometer may be used. Further, in the gas chromatograph 101, a mass spectrometer or an infrared spectroscopic altimeter may be connected to the detector instead of the frame ionization detector 107.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の元素分析
方法及び装置によれば、有機混合物液体中の数１０ｐｐ
ｂレベルの微量成分の元素情報を得ることができる。As described above, according to the elemental analysis method and apparatus of the present invention, several tens of pp
Elemental information on b-level trace components can be obtained.
【図１】 本発明の分析装置の例を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of an analyzer according to the present invention.
【図２】 捕集室の例を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of a collection chamber.
【図３】 捕集室の例を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing an example of a collecting chamber.
【図４】 冷却捕集方法の例を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing an example of a cooling and collecting method.
【図５】 実施例１で得られたガスクロマトグラムであ
る。FIG. 5 is a gas chromatogram obtained in Example 1.
【図６】 実施例１で得られたオージェ電子スペクトル
である。FIG. 6 is an Auger electron spectrum obtained in Example 1.
【図７】 実施例１で得られたオージェ電子スペクトル
である。FIG. 7 is an Auger electron spectrum obtained in Example 1.
【図８】 捕集室の他の例を示す模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing another example of the collection chamber.
【図９】 捕集室の例を示す側面図である。FIG. 9 is a side view showing an example of a collecting chamber.
【図１０】 実施例２で行った冷却捕集方法を示す図で
ある。FIG. 10 is a view showing a cooling and collecting method performed in Example 2.
【図１１】 実施例２で得られたオージェ電子スペクト
ルである。11 is an Auger electron spectrum obtained in Example 2. FIG.
【図１２】 実施例２で得られたオージェ電子スペクト
ルである。FIG. 12 is an Auger electron spectrum obtained in Example 2.
【図１３】 実施例３で得られたガスクロマトグラムで
ある。FIG. 13 is a gas chromatogram obtained in Example 3.
【図１４】 実施例３で得られたオージェ電子スペクト
ルである。FIG. 14 is an Auger electron spectrum obtained in Example 3.
【図１５】 実施例３で得られたオージェ電子スペクト
ルである。FIG. 15 is an Auger electron spectrum obtained in Example 3.
１０１・・ガスクロマトグラフ、１０２・・捕集室、１
０３・・チャンバー、１０４・・ガスクロマトグラフの
注入口、１０５・・カラム、１０６・・バルブ、１０７
・・フレームイオン化検出器、１０９・・捕集板、１１
０・・試料台、２０１・・予備冷却管、２０２・・冷却
管、２０３・・試料導入路の冷却管、５０１、５０２・
・ピーク、９０１・・ＸＹステージ板101 gas chromatograph, 102 collection chamber, 1
03 · · chamber, 104 · · gas chromatograph inlet, 105 · column, 106 · valve, 107
..Frame ionization detectors, 109..Collecting plates, 11
0: sample stage, 201: pre-cooling tube, 202: cooling tube, 203: cooling tube of sample introduction path, 501, 502
・ Peak, 901 ・ ・ XY stage plate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｎ 30/74 Ｇ０１Ｎ 30/74 Ｚ 30/88 30/88 Ｃ ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI theme coat ゛ (Reference) G01N 30/74 G01N 30/74 Z 30/88 30/88 C
Claims (12)
スを冷却された捕集板上に捕集して蛍光Ｘ線分析により
試料の元素分析を行う分析方法。1. An analysis method in which a sample gas separated by a gas chromatograph is collected on a cooled collecting plate and subjected to elemental analysis of the sample by X-ray fluorescence analysis.
スを冷却された捕集板上に捕集してオージェ電子分光分
析により試料の元素分析を行う分析方法。2. An analysis method in which a sample gas separated by a gas chromatograph is collected on a cooled collection plate and subjected to elemental analysis of the sample by Auger electron spectroscopy.
スを冷却された捕集板上に捕集して電子プローブマイク
ロアナライザーにより試料の元素分析を行う分析方法。3. An analysis method in which a sample gas separated by a gas chromatograph is collected on a cooled collecting plate, and an element analysis of the sample is performed by an electron probe microanalyzer.
スを冷却された捕集板上に捕集してＸ線光電子分光法に
より試料の元素分析を行う分析方法。4. An analysis method in which a sample gas separated by a gas chromatograph is collected on a cooled collecting plate and subjected to elemental analysis of the sample by X-ray photoelectron spectroscopy.
グラフのカラムに接続された捕集室と、該捕集室に接続
された蛍光Ｘ線分析装置とを備えた分析装置であって、
前記捕集室内には前記ガスクロマトグラフのカラムから
出てくる試料ガスを冷却捕集する捕集板が収容され、前
記試料ガスを冷却捕集した前記捕集板が冷却を保持した
まま前記蛍光Ｘ線分析装置のチャンバー内に移動されて
前記蛍光Ｘ線分析装置により試料を分析する分析装置。5. An analyzer comprising a gas chromatograph, a collecting chamber connected to a column of the gas chromatograph, and a fluorescent X-ray analyzer connected to the collecting chamber.
A collecting plate for cooling and collecting the sample gas coming out of the column of the gas chromatograph is accommodated in the collecting chamber, and the collecting plate for cooling and collecting the sample gas keeps the fluorescence X while maintaining the cooling. An analyzer which is moved into a chamber of the X-ray analyzer and analyzes a sample by the X-ray fluorescence analyzer.
求項６記載の分析装置。6. The analyzer according to claim 6, wherein the collecting plate is rotated.
グラフのカラムに接続された捕集室と、該捕集室に接続
されたオージェ電子分光分析装置とを備えた分析装置で
あって、前記捕集室内には前記ガスクロマトグラフのカ
ラムから出てくる試料ガスを冷却捕集する捕集板が収容
され、試料ガスを冷却捕集した前記捕集板が冷却を保持
したまま前記オージェ電子分光分析装置のチャンバー内
に移動されて前記オージェ電子分光分析装置により試料
を分析する分析装置。7. An analyzer comprising a gas chromatograph, a collecting chamber connected to a column of the gas chromatograph, and an Auger electron spectrometer connected to the collecting chamber. A collecting plate for cooling and collecting the sample gas coming out of the column of the gas chromatograph is housed therein, and the collecting plate for cooling and collecting the sample gas holds the cooling while the chamber of the Auger electron spectrometer is kept. An analyzer which is moved inside and analyzes a sample by the Auger electron spectrometer.
求項８記載の分析装置。8. The analyzer according to claim 8, wherein the collecting plate is rotated.
グラフのカラムに接続された捕集室と、該捕集室に接続
された電子プローブマイクロアナライザーとを備えた分
析装置であって、前記捕集室内には前記ガスクロマトグ
ラフのカラムから出てくる試料ガスを冷却捕集する捕集
板が収容され、試料ガスを冷却捕集した前記捕集板が冷
却を保持したまま前記電子プローブマイクロアナライザ
ーのチャンバー内に移動されて前記電子プローブマイク
ロアナライザーにより試料を分析する分析装置。9. An analyzer comprising a gas chromatograph, a collecting chamber connected to a column of the gas chromatograph, and an electronic probe microanalyzer connected to the collecting chamber, wherein the collecting chamber has A collection plate for cooling and collecting the sample gas coming out of the column of the gas chromatograph is housed, and the collection plate for cooling and collecting the sample gas is kept in the chamber of the electronic probe microanalyzer while maintaining the cooling. An analyzer that moves and analyzes a sample with the electronic probe microanalyzer.
請求項９記載の分析装置。10. The analyzer according to claim 9, wherein the collecting plate is rotated.
トグラフのカラムに接続された捕集室と、該捕集室に接
続されたＸ線光電子分光分析装置とを備えた分析装置で
あって、前記捕集室内には前記ガスクロマトグラフのカ
ラムから出てくる試料ガスを冷却捕集する捕集板が収容
され、試料ガスを冷却捕集した前記捕集板が冷却を保持
したまま前記Ｘ線光電子分光分析装置のチャンバー内に
移動されて前記Ｘ線光電子分光分析装置により試料を分
析する分析装置。11. An analyzer comprising: a gas chromatograph; a collecting chamber connected to a column of the gas chromatograph; and an X-ray photoelectron spectrometer connected to the collecting chamber. A collection plate for cooling and collecting the sample gas coming out of the column of the gas chromatograph is housed in the room, and the X-ray photoelectron spectroscopy analyzer is provided while the collection plate for cooling and collecting the sample gas keeps cooling. An analyzer for moving a sample into the chamber and analyzing the sample by the X-ray photoelectron spectrometer.
請求項１１記載の分析装置。12. The analyzer according to claim 11, wherein the collecting plate is rotated.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10171819A JP2000009711A (en) | 1998-06-18 | 1998-06-18 | Elemental analysis method and analytical device of organic compound |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP10171819A JP2000009711A (en) | 1998-06-18 | 1998-06-18 | Elemental analysis method and analytical device of organic compound |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000009711A true JP2000009711A (en) | 2000-01-14 |
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ID=15930334
Family Applications (1)
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| JP10171819A Pending JP2000009711A (en) | 1998-06-18 | 1998-06-18 | Elemental analysis method and analytical device of organic compound |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000009711A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008037130A (en) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | Vehicle charging potential evaluation method |
| CN103245682A (en) * | 2012-02-06 | 2013-08-14 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | Method and apparatus for on-line testing heavy metal content of particulate materials in gas |
| CN114965529A (en) * | 2021-02-24 | 2022-08-30 | 中国石油化工股份有限公司 | Analysis method of glassy substance generated after incineration of laboratory waste |
| CN115015021A (en) * | 2021-03-04 | 2022-09-06 | 中国石油化工股份有限公司 | A kind of analytical method of fly ash produced after incineration of laboratory waste |
| WO2023115636A1 (en) * | 2021-12-22 | 2023-06-29 | 云南中烟工业有限责任公司 | Substance pyrolysis real-time online analysis device and method for using same |
-
1998
- 1998-06-18 JP JP10171819A patent/JP2000009711A/en active Pending
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| US11740250B2 (en) | 2021-12-22 | 2023-08-29 | China Tobacco Yunnan Industrial Co., Ltd. | Device for real-time online analysis of substance pyrolysis and method of using the same |
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