JP2000006100A

JP2000006100A - 板状ワークの破断装置

Info

Publication number: JP2000006100A
Application number: JP19372598A
Authority: JP
Inventors: Akira Shimotoru; 暁下豊留
Original assignee: BELDEX KK; THK Co Ltd
Current assignee: BELDEX KK; THK Co Ltd
Priority date: 1998-06-24
Filing date: 1998-06-24
Publication date: 2000-01-11

Abstract

(57)【要約】【課題】板状ワークをスクライブ線に沿って良好に破
断することができる装置を提供する。【解決手段】テーブル１０の受部Ｒは、剛性部１１と
これを覆う弾性部２０とで構成されている。剛性部１１
には隆起１３が形成されており、この隆起１３に対応す
る第１領域Ｒ１では弾性部２０が薄く、隆起１３に対応
しない第２領域Ｒ２では弾性部２０が厚い。ワーク１０
０をスクライブ線１０１ｙを形成した面１０１ａを上に
して受部Ｒに載せる。この際、スクライブ線１０１ｙを
隆起１３に一致させる。第２領域Ｒ２に形成した吸引孔
２５から吸引を行うことにより、スクライブ線１０１ｙ
に沿って曲げ応力を付与し、ワーク１００を破断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、スクライブ線が形
成された板状ワークを、スクライブ装置に沿って破断す
る装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】特開平９−２７８４６９号公報には、従
来の破断装置として、ゴムシートを張り付けたテーブル
と、ロッドやローラ等の押圧部材とを備えた装置が、開
示されている。この装置では、スクライブ線を形成した
面を下にしてワークをテーブルに載せる。この状態で、
上記押圧部材でスクライブ線に対応する箇所を上から押
すと、ワークに曲げ応力が付与され、ワークがスクライ
ブ線に沿って破断される。また、上記公報で提案された
新しい破断装置は、テーブルとバキューム手段とを備え
ている。このテーブルに、スクライブ線を形成した面を
下にしてワークを載せる。このテーブルには、スクライ
ブ線に沿って吸引通路が形成され、この吸引通路が上記
バキューム手段に接続されている。このバキューム手段
により吸引通路を介してワークを吸引すると、ワークに
曲げ応力が付与され、ワークがスクライブ線に沿って破
断される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記公報で従来装置と
して開示された破断装置では、ローラによる押圧力の調
節が難しく、必要以上の力を付与することにより、スク
ライブ線での破断が良好に行われなかった。上記公報で
新規装置として開示された破断装置では、バキュームを
用いるので破断時の曲げ応力の調節が容易であるが、剛
性のテーブルの上面に吸引通路が形成されるため、この
吸引通路の縁でワークを傷つける可能性があった。本発
明の目的は、ワークをスクライブ線に沿って良好に破断
できるとともに、ワークの他の部位を傷つけることがな
い破断装置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、第
１，第２の面を有し、この第１面にスクライブ線が形成
された板状ワークを、スクライブ線に沿って破断する装
置において、次の構成を備えたことを特徴とする。（イ）上記ワークがセットされるテーブル。このテーブ
ルは受部を有し、この受部の露出面が、上記ワークの第
２面を受ける受面として提供される。この受部は、上記
セット状態のワークのスクライブ線に沿う第１領域と、
この第１領域の両側に配置された第２領域とを含む。第
１領域は弾性圧縮を抑制されるか禁じられ、第２領域は
第１領域に比べて大きく弾性圧縮可能である。この第２
領域に吸引通路が形成されており、この吸引通路の一端
が上記受面に開口している。（ロ）上記吸引通路の他端に連なるバキューム手段。

【０００５】請求項２の発明は、請求項１に記載の板状
ワークの破断装置において、上記テーブルの受部が、剛
性部と、この剛性部を覆う弾性部とを有し、この弾性部
の露出面が上記受面として提供され、上記剛性部は、上
記受面に向かって突出する隆起を有し、上記受部の第１
領域はこの隆起とこれを覆う弾性部とを含み、上記受部
の第２領域はこの隆起を含まず上記弾性部の厚さが第１
領域より厚いことを特徴とする。請求項３の発明は、請
求項２に記載の板状ワークの破断装置において、上記隆
起が格子をなし、この格子で分割された多数の第２領域
の中央部に、上記吸引通路としての吸引孔が形成されて
いることを特徴とする。請求項４の発明は、請求項３に
記載の板状ワークの破断装置において、上記テーブル
は、上記剛性部に形成された補助吸引通路と、１つの内
部空間とを備えており、上記弾性部の多数の吸引孔は、
補助吸引通路および内部空間を介して上記バキューム手
段に接続されていることを特徴とする。請求項５の発明
は、請求項３に記載の板状ワークの破断装置において、
上記格子をなす隆起は、第１の軸線に対して平行に延び
る複数の第１隆起部分と、この第１の軸線と直交する第
２の軸線に対して平行に延びる複数の第２隆起部分とを
有し、第１隆起部分が第２隆起部分より高いことを特徴
とする。

【０００６】請求項６の発明は、第１，第２の面を有
し、この第１面にスクライブ線が形成された板状ワーク
を、スクライブ線に沿って破断する装置において、次の
構成を備えたことを特徴とする。（イ）上記ワークがセットされるテーブル。このテーブ
ルは受部を有し、この受部の露出面が、上記ワークの第
１面を受ける受面として提供される。この受部は、上記
セット状態のワークのスクライブ線に沿う第１領域と、
この第１領域の両側に配置された第２領域とを含む。上
記第１領域は弾性圧縮可能であり、第２領域は第１領域
に比べて弾性圧縮を抑制されるか禁じられている。この
第１領域に吸引通路が形成されており、この吸引通路の
一端が上記受面に開口している。（ロ）上記吸引通路の他端に連なるバキューム手段。

【０００７】請求項７の発明は、請求項６に記載の板状
ワークの破断装置において、上記テーブルの受部が、剛
性部と、この剛性部を覆う弾性部とを有し、この弾性部
の露出面が上記受面として提供され、上記剛性部は、上
記受面に向かって突出する隆起を有し、上記受部の第２
領域はこの隆起とこれを覆う弾性部とを含み、上記受部
の第１領域はこの隆起を含まず上記弾性部の厚さが第２
領域より厚いことを特徴とする。請求項８の発明は、請
求項７に記載の板状ワークの破断装置において、上記吸
引通路が、仮想格子に沿って形成され、この仮想格子に
より分割された受部の領域の中央部に、上記隆起が形成
されていることを特徴とする。請求項９の発明は、請求
項８に記載の板状ワークの破断装置において、上記吸引
通路が、上記仮想格子に沿って配列された多数の吸引孔
を含むことを特徴とする。請求項１０の発明は、請求項
６に記載の板状ワークの破断装置において、上記吸引通
路が、セット状態のワークのスクライブ線の両側に配置
されることを特徴とする。請求項１１の発明は、請求項
１０に記載の板状ワークの破断装置において、上記吸引
通路が、スクライブ線に沿ってその両側に配列された多
数の吸引孔により構成されることを特徴とする。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１実施形態につ
いて、図１〜図５を参照して説明する。本実施形態の破
断装置を説明する前に、破断の対象となるワーク１００
について、説明しておく。図２，図３に示すように、ワ
ーク１００は円盤形状をなすセラミック製ウェハーであ
り、互いに平行をなす２つの平坦な面１００ａ，１００
ｂ（第１，第２の面）を有している。その一方の面１０
０ａに、互いに直交する水平な軸線Ｘ，Ｙに対してそれ
ぞれ平行に直線的に延びるスクライブ線１０１ｘ，１０
１ｙが形成されている。これらスクライブ線１０１ｘ，
１０１ｙにより、多数の四角の分割領域１０４を含む格
子１０３が描かれている。これら分割領域１０４は、そ
れぞれ電子部品例えばノイズフィルタを構成している。

【０００９】上記スクライブ線１０１ｘ，１０１ｙの形
成方法は、本発明の特徴部ではないが、簡単に説明す
る。先端が尖ったカッタをワーク１００の面１００ａに
押し付けながら移動させることによって、上記スクライ
ブ線１０１ｘ，１０１ｙが形成される。この際、カッタ
に高周波振動を付与するのが好ましい。図３に示すよう
に、スクライブ線１０１ｘ，１０１ｙは、ワーク１００
の厚さ方向の垂直クラック１０５を有している。

【００１０】次に、破断装置について詳述する。図４に
概略的に示すように、破断装置は、テーブル１０とバキ
ューム手段３０とを備えている。上記テーブル１０は、
図１，図３に示すように、金属製のボデイ１１を有して
いる。このボデイ１１は、浅い箱１１ａと、この箱１１
ａの上端を塞ぐ蓋１１ｂ（剛性部）とを有している。蓋
１１ｂの上面には、円形の凹部１２が形成されており、
この凹部１２の底面には、格子をなす隆起１３が形成さ
れている。この隆起１３は、軸線Ｘ，Ｙと平行に直線的
に延びる第１隆起部分１３ｘと第２隆起部分１３ｙによ
り構成されている。図５に示すように、第１隆起部分１
３ｘは、第２隆起部分１３ｙより若干高く形成されてい
る。

【００１１】上記蓋１１ｂの凹部１２には、弾性部材２
０（弾性部）が収容されており、この弾性部材２０が凹
部１２の全域を覆っている。この弾性部材２０の平坦で
水平をなす上面２０ａが、ワーク１００の面１００ｂを
受けるための受面となっている。弾性部材２０は、例え
ば、溶融状態にあるゴム等の弾性材料を凹部１２に流し
込んで固化させることにより得られる。

【００１２】上記蓋１１ｂと弾性部材２０により、ワー
ク１００のための受部Ｒが構成されている。この受部Ｒ
は、上記蓋１１ｂの隆起１３に対応する第１の領域Ｒ１
と、上記隆起１３が形成されない部位１４に対応する第
２の領域Ｒ２とを有している。なお、第２の領域Ｒ２
は、上記隆起１３により構成される格子で分割された小
さな四角形の領域（以下、内側の第２領域と称す）と、
この格子の外側に位置する領域（以下、外側の第２領域
と称す）とを含む。

【００１３】上記受部Ｒの第１領域Ｒ１では、上記蓋１
１ｂの隆起１３を含むので弾性部材２０が薄くなってい
る。そのため、第１領域Ｒ１では弾性圧縮が抑制され
る。これに対して第２領域Ｒ２は、隆起１３を含まない
ので、弾性部材２０が厚くなっている。そのため、第２
領域Ｒ２では、第１領域Ｒ１よりも大きく弾性圧縮可能
である。本実施形態では、上記第１領域Ｒ１の弾性部材
２０の厚さを、第２領域Ｒ２の約１０〜３５パーセント
にしている。なお、図３では、理解を助けるために隆起
１３の高さ、弾性部材２０およびワーク１００の厚み
を、誇張して示している。

【００１４】上記内側の第２領域Ｒ２の中央には、垂直
に延びる吸引孔２５（吸引通路）が形成されている。ま
た、外側の第２領域Ｒ２にも格子に沿って吸引孔２５が
配置されている。その結果、内側の第２領域Ｒ２の４つ
の辺に位置する第１領域Ｒ１の両側には、吸引孔２５が
配置されることになる。これら吸引孔２５の上端は上記
受面２０ａに開口している。

【００１５】上記蓋１１ｂには、上記弾性部材２０の吸
引孔２５に連なる多数の吸引孔１５（補助吸引通路）が
形成されている。他方、上記箱１１ａと蓋１１ｂによっ
て、浅い内部空間１６が形成されており、この内部空間
１６に上記多数の吸引孔１５が連なっている。この内部
空間１６は、箱１１ａの側壁に形成された連通孔１７を
介して図４に示すバキューム手段３０に連なっている。

【００１６】上記バキューム手段３０は、真空ポンプ３
１と、メインタンク３２と、サブタンク３３とをテーブ
ル１０に向かって順に備えている。サブタンク３３は、
テーブル１０の内部空間１６の約２倍の容量を有してお
り、メインタンク３２はサブタンク３３より遥かに大き
な容量を有している。真空ポンプ３１とメインタンク３
２との間の通路にはレギュレータ３５が設けられてい
る。メインタンク３２とサブタンク３３との間の通路に
はバルブ３６が設けられ、サブタンク３３とテーブル１
０の連通孔１７との間の通路にも、バルブ３７が設けら
れている。

【００１７】上記構成をなす破断装置の作用について説
明する。まず、バキューム手段３０のバルブ３６を開
き，バルブ３７を閉じた状態で、真空ポンプ３１を駆動
させる。これにより、メインタンク３２およびサブタン
ク３３をレギュレータ３５で設定された真空度にする。
他方、図２，図３に示すように、図示しない搬送機構に
より、スクライブ線１０１ｘ，１０１ｙを形成したワー
ク１００を、受け部材２０に載せる。この際、ワーク１
００の面１００ｂが下になって受け部材２０の受面２０
ａに接し、スクライブ線１０１ｘ，１０１ｙを形成した
面１００ａが上になる。上記搬送機構は、スクライブ線
１０１ｘ，１０１ｙが、それぞれテーブル１０のボデイ
１１の隆起部分１３ｘ，１３ｙの真上になるように、ワ
ーク１００を位置決めする。

【００１８】上記ワーク１００のセット状態で、バルブ
３６を閉じ、それからバルブ３７を開く。これにより、
内部空間１６がサブタンク３３と連通し、その空気がサ
ブタンク３３に引かれ、両者が同程度の負圧になる。こ
の負圧は、レギュレータ３５で設定された真空度より低
い。次に、バルブ３７を閉じてから、バルブ３６を開い
て、サブタンク３３の圧力を上記設定真空度に戻す。次
に、バルブ３６を閉じ、それからバルブ３７を開くこと
により、再び内部空間１６とサブタンク３３を連通させ
る。このようにして、段階的に内部空間１６の負圧のレ
ベルを高めていく。

【００１９】上記のようにテーブル１０の内部空間１６
が負圧になると、その吸引孔１５，２５を介してワーク
１００が吸引される。テーブル１０の受面２０ａは、全
域にわたって弾性部材２０の露出面によって構成されて
いるので、ワーク１００と弾性部材２０との間のシール
が良好であり、上記吸引を効率よく行うことができる。
また、ワーク１００全体を弾性をもって受けるので、ワ
ーク１００のセットの際、および後述する吸引動作の際
に、ワーク１００が傷つくのを確実に防止できる。

【００２０】上記ワーク１００は、テーブル１０に向か
って吸引された時に、弾性部材２０を圧縮しながら下降
する。この際、受部Ｒの第１領域Ｒ１では、隆起１３が
あり弾性部材２０が薄いので、この弾性部材２０の圧縮
量が小さい。それ故、ワーク１００は、この第１領域Ｒ
１に対応する部位すなわちスクライブ線１０１ｘ，１０
１ｙを形成した部位で下降量が小さい。これに対して、
受部Ｒの第２領域Ｒ２では、弾性部材２０が厚いのでそ
の弾性圧縮量が大きい。それ故、ワーク１００は、この
第２領域Ｒ２の中央に対応する部位すなわち分割領域１
０４の中央で下降量が最大となる。

【００２１】その結果、ワーク１００は、スクライブ線
１０１ｘ，１０１ｙの形成箇所が上に凸となるような曲
げ応力を受ける。上述したように、内部空間１６の負圧
度が段階的に高まり、これに伴い吸引孔２５を介してワ
ーク１００を吸引する力が段階的に高まると、曲げ応力
も段階的に増大する。曲げ応力が閾値を越えると、スク
ライブ線１０１ｘ，１０１ｙの垂直クラック１０５が成
長して、破断がなされ、これにより、ワーク１００は、
格子１０３の内側の分割領域１０４に対応する多数の小
チップと、格子１０３の外側の部位とに分解される。な
お、上記のように、負圧の度合を段階的に高めると、曲
げ応力が急激に増大するので、破断を良好に行うことが
できる。

【００２２】本実施形態では、Ｘ軸線に沿う隆起部分１
３ｘがＹ軸線に沿う隆起部分１３ｙよりも高いので、ワ
ーク１００の破断前の状態では、スクライブ線１０１ｘ
に沿う部位での曲げ応力の方が、スクライブ線１０１ｙ
に沿う部位での曲げ応力より大きい。そのため、最初
は、スクライブ線１０１ｘに沿って破断がなされ、その
後で、スクライブ線１０１ｙに沿って破断がなされる。
その結果、円滑な破断がなされる。なお、平行をなす複
数の隆起１３ｘ（または１３ｙ）の高さを並び順に徐々
に低くすることにより、複数のスクライブ線１０１ｘ
（または１０１ｙ）を順に破断させてもよい。また、隆
起の高さを一端から他端に向かって徐々に低くすること
により、スクライブ線を一端から他端に向かって円滑に
破断してもよい。

【００２３】上記破断により分割された多数の小チップ
は、それぞれが吸引孔２５で吸引されるので、この破断
時の衝撃でバラバラに飛ぶことがない。なお、破断後も
バルブ３７を開いておき、テーブル１０の内部空間１６
とサブタンク３３の負圧を、小チップの吸引に利用する
のが好ましいが、バルブ３７を閉めて内部空間１６の負
圧のみを小チップ吸引に用いてもよい。上記のようにし
て分割された小チップは、テーブル１０に載せたまま、
次工程例えばチップをマザーボードに装着する工程まで
搬送される。この搬送の過程でも、小チップは、吸引孔
２５での吸引作用により安定して保持される。なお、破
断後に、図示しないバルブを開いて内部空間１６を大気
圧に戻すようにしてもよい。

【００２４】上記第１実施形態では、ワーク１００の上
面１００ａにスクライブ線１０１ｘ，１０１ｙを形成し
た後、そのままの姿勢で（すなわち、上下に反転させず
にスクライブ線１０１ｘ，１０１ｙを上にしたまま）、
テーブル１０に載せて破断することができ、生産効率が
良い。

【００２５】上記第１の実施形態では、ワークを多数の
チップに破断する場合について述べたが、ワークを例え
ば直線に沿って２分割する場合にも適用できる。この場
合、テーブル１０の蓋１１ｂに１筋の隆起だけが形成さ
れ、弾性部材２０には、この隆起の両側に吸引通路が形
成されることになる。なお、ワーク１００をテーブル１
０に載せておき、このセット状態でスクライブ線１０１
ｘ，１０１ｙを形成し、それから上述の破断を行っても
よい。

【００２６】次に、本発明の他の実施形態について説明
する。これら実施形態において、第１実施形態に対応す
る構成部には同番号を付してその説明を省略する。図
６，図７に示す第２実施形態では、ワーク１００を第１
実施形態と上下を逆にしてセットする。すなわち、スク
ライブ線１０１ｘ，１０１ｙを形成した面１００ａを下
にする。

【００２７】第２実施形態の装置では、テーブル１０Ａ
の弾性部材２０Ａには、仮想格子に沿って、多数の吸引
孔２５Ａが形成されている。蓋１１ｂには、この吸引孔
２５Ａに対応した位置に吸引孔１５Ａが形成されてい
る。また、蓋１１ｂには、上記仮想格子で分割された領
域の中央に、円柱形状の隆起１３Ａが形成されている。
すなわち、第１実施形態の隆起１３の形成位置に吸引孔
２５Ａが形成され、第１実施形態の吸引孔２５の形成位
置に隆起１３Ａが形成されている。この第２実施形態で
は、受部Ｒ’の第１領域Ｒ１’は隆起１３Ａを含まず、
大きな弾性圧縮が可能である。これに対して、第２領域
Ｒ２’は隆起１３Ａを含み弾性圧縮を抑制される。

【００２８】ワーク１００をセットする際には、面１０
０ａを下にして受面２０ａに載せ、そのスクライブ線１
０１ｘ，１０１ｙを、吸引孔２５Ａが配列される仮想格
子に一致させ、その分割領域１０４の中央を隆起２５Ａ
に一致させる。前述と同様に、バキューム手段（図４に
符号３０で示す）により吸引孔１５Ａ，２５Ａを介して
ワーク１００を吸引すると、スクライブ線１０１ｘ，１
０１ｙの形成箇所で、下に凸とするような曲げ応力が働
き、垂直クラック１０５が成長して、破断される。この
実施形態では、吸引通路として、多数の吸引孔２５Ａの
代わりに、格子形状の溝であってもよい。

【００２９】図８，図９に示す第３実施形態では、セル
材２００を破断することにより、２つの液晶表示装置の
セルを形成するものである。このセル材２００は、２枚
の基板２０１，２０２（板状ワーク）を接着材で貼り合
わせたものであり、このセル材２００の両面２０１ａ，
２０２ａ（基板２０１，２０２の外面すなわち第１面）
の中央には、直線的に延びるスクライブ線２０３，２０
４が形成されている。なお、接着材は、セル材２００の
周縁部と上記スクライブ線２０３，２０４に沿って配置
されている。

【００３０】上記第３実施形態の装置では、テーブル１
０Ｂのボデイ１１Ｂは、図８において左右方向に延びる
ように細長く形成されており、箱１１ａと蓋１１ｂとを
有している。蓋１１ｂの上面は平坦で水平をなしてい
る。この蓋１１ｂの長手方向の中央部の上面には、ゴム
製の平板形状をなす弾性部材２０Ｂが取り付けられてお
り、その左右部の上面には硬質樹脂製の平板形状をなす
支持部材４０が取り付けられている。これら蓋１１ｂと
弾性部材２０Ｂと支持部材４０とで、受部Ｒ”が構成さ
れている。受部Ｒ”の第１領域Ｒ１”は、弾性部材２０
Ｂが占める領域であり、第２領域Ｒ２”は、支持部材４
０が占める領域である。弾性部材２０Ｂと支持部材４０
の露出した上面は、セル材２００を受けるための受面と
なる。なお、本実施形態では、弾性部材２０Ｂと支持部
材４０の厚さを等しくし、その上面を面一にしている
が、弾性部材２０Ｂを若干厚くしてもよい。

【００３１】上記弾性部材２０Ｂには、幅方向の中央を
挟んで２列をなすようにして（すなわち２本の仮想直線
に沿って）、多数の吸引孔２５Ｂが形成されている。蓋
１１ｂにもこの吸引孔２５Ｂに対応して吸引孔１５Ｂが
形成されている。

【００３２】上記構成において、セル材２００を一方の
基板２０１が下になるように受部２０Ｒ”にセットす
る。この際、スクライブ線２０３が２列の吸引孔２５Ｂ
の間の中央になるように、セル材２００を位置決めす
る。この状態で、第１，第２実施形態と同様に、バキュ
ーム手段を動作させると、基板２０１は、支持部材４０
によって下降を禁じられ、弾性部材２０Ｂに対応する中
央部のみが下降しようとする。その結果、スクライブ線
２０３に沿って基板２０１を下に凸とする曲げ応力が働
き、基板２０１をスクライブ線２０３に沿って破断させ
ることができる。次に、セル部材２００を上下に反転さ
せて、基板２０２を受部Ｒ”にセットし、上記と同様に
してスクライブ線２０４に沿って基板２０２を破断す
る。その結果、２つの分離したセルが得られる。

【００３３】上記実施形態において、スクライブ線２０
３，２０４に沿って破断が実行された時に、破断の衝撃
があっても、２つに分離されたセルは、吸引孔２５Ｂに
よる吸着状態を維持されるから、安定して保持すること
ができる。

【００３４】上記第３実施形態において、図８に想像線
で示すように、テーブル１０Ｂと同一構成のテーブル１
０Ｂ’を上下逆にして配置し、これでセル材２００を挟
むようにしてもよい。この場合、セル材２００を反転さ
せずに、時間をずらして基板２０１，２０２を破断する
ことができる。上記第３実施形態において、セル材に十
文字にスクライブ線を形成して４枚のセルを得る場合に
は、このスクライブ線に対応して、弾性部材が配置され
る。上記第３実施形態は、セル材ではなく、１枚のワー
クを破断する場合にも適用することができる。また、吸
引通路として多数の吸引孔２５Ｂの代わりに溝であって
もよい。

【００３５】上記第１〜第３の実施形態では、ワークは
セラミックやガラスであったが、他の硬質脆性材料であ
ってもよい。

【００３６】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、スクライブ線
を形成したワーク面をテーブルの受面の反対側に位置さ
せて破断することができる。また、吸引作用でワークに
曲げ応力を付与することにより、ワークをスクライブ線
に沿って破断するので、良好な破断を実行できる。しか
も、吸引通路のエッジでワークの他の部位を傷つけるこ
ともない。また、破断されたワークの分割片を吸引通路
を介して吸引することにより、破断の衝撃があっても分
割片を安定して保持できる。請求項２の発明では、剛性
部を弾性部で覆い、この弾性部の露出面をワークのため
の受面としたことにより、ワークを傷つけるのをより一
層確実に防止できる。請求項３の発明では、格子形状の
スクライブ線を有するワークを、短時間で効率良く多数
の小片に破断することができる。請求項４の発明では、
テーブルに内部空間を形成することにより、簡単な構造
で多数の吸引孔での吸引を実行できる。請求項５の発明
では、互いに直交するスクライブ線を時間差をおいて破
断するので、より円滑に破断することができる。請求項
６の発明では、ワークを請求項１とは逆に配置した状態
で、ワークを破断することができる。しかも、吸引作用
でワークに曲げ応力を付与することによりワークをスク
ライブ線に沿って良好に破断できるとともに、吸引通路
のエッジでワークの他の部位を傷つけることもない。請
求項７の発明では、ワークの配置を逆にした状態で、請
求項２と同様の効果を得ることができる。請求項８の発
明では、ワークの配置を逆にした状態で、請求項３と同
様の効果を得ることができる。請求項９の発明では、多
数の吸引孔で吸引通路を形成するので、ワークと受面と
の間のシールを良好に行うことができ、吸引動作を確実
なものにすることができる。請求項１０の発明では、ワ
ークの分割片をスクライブ線の両側の吸引通路を介して
吸引することにより、破断の衝撃があっても分割片を安
定して保持できる。請求項１１の発明では、請求項９と
同様の効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態をなす破断装置のテーブ
ルを示す平面図である。

【図２】同テーブルにワークを載せた状態を示す平面図
である。

【図３】図２において、III−III線に沿う拡大断面図で
ある。

【図４】同破断装置の全体構成を示す概略図である。

【図５】同テーブルのボデイに形成された格子を示す拡
大斜視図である。

【図６】本発明の第２実施形態をなす破断装置のテーブ
ルを示す平面図である。

【図７】上記第２実施形態のテーブルの要部拡大断面図
である。

【図８】本発明の第３実施形態をなすテーブルの断面図
である。

【図９】上記第３実施形態のテーブルの要部平面図であ
る。

【符号の説明】Ｒ受部Ｒ１，Ｒ１’，Ｒ１” 第１の領域Ｒ２，Ｒ２’，Ｒ２” 第２の領域１０テーブル１１ｂ蓋（剛性部）１３，１３Ａ隆起１３ｘ第１の隆起部分１３ｙ第２の隆起部分１５，１５Ａ，１５Ｂ吸引孔（補助吸引通路）１６内部空間２０，２０Ａ，２０Ｂ弾性部材（弾性部）２０ａ受面２５，２５Ａ，２５Ｂ吸引孔（吸引通路）１００，２０１，２０２ワーク１００ａ，２０１ａ，２０２ａワークの第１面１０１ｘ，１０１ｙ，２０３，２０４スクライブ線１０３格子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１，第２の面を有し、この第１面にス
クライブ線が形成された板状ワークを、スクライブ線に
沿って破断する装置において、次の構成を備えたことを
特徴とする板状ワークの破断装置。（イ）上記ワークがセットされるテーブル。このテーブ
ルは受部を有し、この受部の露出面が、上記ワークの第
２面を受ける受面として提供される。この受部は、上記
セット状態のワークのスクライブ線に沿う第１領域と、
この第１領域の両側に配置された第２領域とを含む。第
１領域は弾性圧縮を抑制されるか禁じられ、第２領域は
第１領域に比べて大きく弾性圧縮可能である。この第２
領域に吸引通路が形成されており、この吸引通路の一端
が上記受面に開口している。（ロ）上記吸引通路の他端に連なるバキューム手段。
【請求項２】上記テーブルの受部が、剛性部と、この
剛性部を覆う弾性部とを有し、この弾性部の露出面が上
記受面として提供され、上記剛性部は、上記受面に向か
って突出する隆起を有し、上記受部の第１領域はこの隆
起とこれを覆う弾性部とを含み、上記受部の第２領域は
この隆起を含まず上記弾性部の厚さが第１領域より厚い
ことを特徴とする請求項１に記載の板状ワークの破断装
置。
【請求項３】上記隆起が格子をなし、この格子で分割
された多数の第２領域の中央部に、上記吸引通路として
の吸引孔が形成されていることを特徴とする請求項２に
記載の板状ワークの破断装置。
【請求項４】上記テーブルは、上記剛性部に形成され
た補助吸引通路と、１つの内部空間とを備えており、上
記弾性部の多数の吸引孔は、補助吸引通路および内部空
間を介して上記バキューム手段に接続されていることを
特徴とする請求項３に記載の板状ワークの破断装置。
【請求項５】上記格子をなす隆起は、第１の軸線に対し
て平行に延びる複数の第１隆起部分と、この第１の軸線
と直交する第２の軸線に対して平行に延びる複数の第２
隆起部分とを有し、第１隆起部分が第２隆起部分より高
いことを特徴とする請求項３に記載の板状ワークの破断
装置。
【請求項６】第１，第２の面を有し、この第１面にス
クライブ線が形成された板状ワークを、スクライブ線に
沿って破断する装置において、次の構成を備えたことを
特徴とする板状ワークの破断装置。（イ）上記ワークがセットされるテーブル。このテーブ
ルは受部を有し、この受部の露出面が、上記ワークの第
１面を受ける受面として提供される。この受部は、上記
セット状態のワークのスクライブ線に沿う第１領域と、
この第１領域の両側に配置された第２領域とを含む。上
記第１領域は弾性圧縮可能であり、第２領域は第１領域
に比べて弾性圧縮を抑制されるか禁じられている。この
第１領域に吸引通路が形成されており、この吸引通路の
一端が上記受面に開口している。（ロ）上記吸引通路の他端に連なるバキューム手段。
【請求項７】上記テーブルの受部が、剛性部と、この
剛性部を覆う弾性部とを有し、この弾性部の露出面が上
記受面として提供され、上記剛性部は、上記受面に向か
って突出する隆起を有し、上記受部の第２領域はこの隆
起とこれを覆う弾性部とを含み、上記受部の第１領域は
この隆起を含まず上記弾性部の厚さが第２領域より厚い
ことを特徴とする請求項６に記載の板状ワークの破断装
置。
【請求項８】上記吸引通路が、仮想格子に沿って形成
され、この仮想格子により分割された受部の領域の中央
部に、上記隆起が形成されていることを特徴とする請求
項７に記載の板状ワークの破断装置。
【請求項９】上記吸引通路が、上記仮想格子に沿って
配列された多数の吸引孔を含むことを特徴とする請求項
８に記載の板状ワークの破断装置。
【請求項１０】上記吸引通路が、セット状態のワーク
のスクライブ線の両側に配置されることを特徴とする請
求項６に記載の板状ワークの破断装置。
【請求項１１】上記吸引通路が、スクライブ線に沿って
その両側に配列された多数の吸引孔により構成されるこ
とを特徴とする請求項１０に記載の板状ワークの破断装
置。