JP2000003955A - 半導体ウエハ収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体ウエハ収納装置全体の作業効率を向上
させる。 【解決手段】 気体供給機１７と半導体ウエハ保管装置
本体２をつなぐダクト１９に開閉アクチェエータ２１に
よって開閉されるボリュームダンパ２０を設け、ウエハ
キャリア搬送装置５からシャッター９に出力された開閉
命令の信号に同期して開閉アクチェエータ２１を開閉さ
せる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は半導体の製造工程
において、半導体ウエハを保管するための半導体ウエハ
収納装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は従来の半導体ウエハ収納装置を示
す断面図である。図において、クリーンルーム４１内に
設置された半導体ウエハ保管装置本体４２は、ウエハを
搭載したウエハキャリア４３を収納するウエハキャリア
収納棚４４と、ウエハキャリア４３を搬送するためのウ
エハキャリア搬送装置４５と、ウエハキャリア４３の投
入及び払出を行うポート４６と、給気チャンバ４７とか
ら構成される。半導体ウエハ保管装置本体４２は、図示
しない保護カバーによって覆われ、内部に保管されるウ
エハキャリア４３が、クリーンルーム４１の環境に直接
さらされない構造となっている。

【０００３】ウエハキャリア収納棚４４は、お互いに対
面して設置され、ウエハキャリア４３を上下左右に複数
保管できる。又、図６に示すようにウエハキャリア搬送
装置４５は、ウエハキャリア収納棚４４に沿って設けら
れた走行レール４８上を移動し、ウエハキャリア４３を
ウエハキャリア収納棚４４やポート４６へ自動搬送す
る。更に、図６に示すようにポート４６は、内側シャッ
ター４９と外側シャッター５０の２重シャッターと、ウ
エハキャリアを受け渡すための載置ステージ５１を備
え、シャッター４９，５０を片側ずつ開けることができ
る。

【０００４】給気チャンバ４７は、ＵＬＰＡフィルタ５
２とファン５３を備える。半導体ウエハ保管装置本体４
２とは別置きで設置している気体供給機５４から供給さ
れた気体５５は、ダクト５６を通過しファン５３により
加圧され、例えば０．３ｍ／ｓの風速でＵＬＰＡフィル
タ５２から常に面内均一に吹き出す。気体供給機５４か
ら供給される気体５５の風量は常に一定で、半導体ウエ
ハ保管装置本体４２内の圧力がクリーンルーム４１内の
圧力より若干高くなるようにボリュームダンパ５７は調
整される。そしてポート４６の内側シャッター４９及び
外側シャッター５０の交互動作とともに、半導体ウエハ
保管装置本体４２内にクリーンルーム４１内のケミカル
ミストを含んだ空気が混入しないようにする。

【０００５】給気チャンバ４７を通って吹き出された気
体５５は、ウエハ保管中のウエハキャリア４３を通り、
ベース台５８に設けた図示しない排気口よりクリーンル
ーム４１の外に排気される。気体供給機５４から供給さ
れる気体５５の種類としては、ウエハプロセスで要求さ
れる保管雰囲気に応じてドライエアやドライ窒素等があ
る。半導体ウエハ保管装置本体４２は、図示しない上位
計算機の命令により制御される。入出庫時には、全自動
の場合は図示しない外部に設置の搬送機器が、手動の場
合は図示しない作業者が上位計算機の命令により、ウエ
ハキャリア４３を移載ステージ５１に移載する。

【０００６】次に動作について説明する。まず、ウエハ
キャリア４３を半導体ウエハ保管装置本体４２へ全自動
で入庫するときについて説明する。上位計算機は、ポー
ト４６に外側シャッター５０の開命令を出力する。上位
計算機は、ポート４６から外側シャッター５０の開完了
の報告を受けて、外部に設置の搬送機器へウエハキャリ
ア４３を載置ステージ５１へ移載する搬送の命令を出力
する。搬送終了後、上位計算機は、外部に設置の搬送機
器から搬送完了の報告を受けて、ポート４６に外側シャ
ッター５０の閉命令を出力する。上位計算機は、ポート
４６から外側シャッター５０の閉完了の報告を受ける。

【０００７】次に上位計算機は、ウエハキャリア搬送装
置４５にウエハキャリア４３を載置ステージ５１からウ
エハキャリア収納棚４４へ移載する搬送命令を出力す
る。ウエハキャリア搬送装置４５は、載置ステージ５１
にアクセスできるポイントまで移動した後、ポート４６
に内側シャッター４９の開命令を出力する。ウエハキャ
リア搬送装置４５は、ポート４６から内側シャッター４
９の開完了の報告を受け、載置ステージ５１からウエハ
キャリア４３を取り出す。ウエハキャリア搬送装置４５
は、ポート４６に内側シャッター４９の閉命令を出力す
る。ウエハキャリア搬送装置４５は、ポート４６から内
側シャッター４９の閉完了の報告を受けて、ウエハキャ
リア収納棚４４へ移動し、ウエハキャリア４３を載置す
る。その後、上位計算機は、ウエハキャリア搬送装置４
５の搬送完了の報告を受ける。

【０００８】次に、ウエハキャリア４３を半導体ウエハ
保管装置本体４２から全自動で出庫するときについて説
明する。上位計算機は、ウエハキャリア搬送装置４５に
ウエハキャリア４３をウエハキャリア収納棚４４から載
置ステージ５１へ移載する搬送命令を出力する。ウエハ
キャリア搬送装置４５は、ウエハキャリア収納棚４４へ
移動し、ウエハキャリア４３を取り出す。ウエハキャリ
ア搬送装置４５は、載置ステージ５１にアクセスできる
ポイントまで移動した後、ポート４６に内側シャッター
４９の開命令を出力する。ウエハキャリア搬送装置４５
は、ポート４６から内側シャッター４９の開完了の報告
を受け、載置ステージ５１へウエハキャリア４３を載置
する。ウエハキャリア搬送装置４５は、ポート４６に内
側シャッター４９の閉命令を出力する。ウエハキャリア
搬送装置４５は、ポート４６から内側シャッター４９の
閉完了の報告を受け、その後、上位計算機は、ウエハキ
ャリア搬送装置４５からの搬送完了の報告を受ける。

【０００９】次に上位計算機は、ポート４６に外側シャ
ッター５０の開命令を出力する。上位計算機は、ポート
４６から外側シャッター５０の開完了の報告を受けて、
外部に設置の搬送機器へウエハキャリア４３を載置ステ
ージ５１から移載する搬送の命令を出力する。搬送終了
後、上位計算機は、外部に設置の搬送機器から搬送完了
の報告を受けて、ポート４６に外側シャッター５０の閉
命令を出力する。そして上位計算機は、ポート４６から
外側シャッター５０の閉完了の報告を受ける。手動で入
出庫するときは、外部に設置の搬送機器のところが作業
者にかわるだけで他の操作は上記で示したものと同様に
動作が行なわれる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体ウエハ保
管装置は以上のように構成されているので、半導体ウエ
ハ収納装置へウエハキャリアを入出庫するために、ウエ
ハキャリア搬送装置がポートへ移動を行なう時は、ウエ
ハキャリア搬送装置がポートの載置ステージにアクセス
できるポイントまで移動した後に、ポートに対し内側シ
ャッターの開命令を出力し、内側シャッターを開けてい
た為、ウエハキャリア搬送装置はポートから内側シャッ
ターの開完了の報告を受けるまで待たなければならず、
ウエハキャリア搬送装置の搬送効率を低下させるという
問題点があった。また、ポートの内側シャッターの開
閉、及び外側シャッターの開閉にそれぞれ時間を要すた
め、単位時間当たりの入出庫数が低下し、半導体ウエハ
収納装置全体の作業効率を低下させるという問題点があ
った。

【００１１】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ウエハキャリア搬送装置の搬送
効率を向上させ、半導体ウエハ収納装置全体の作業効率
を向上させることを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る半導体ウエハ収納装置は、クリーンルーム内に設置さ
れた半導体ウエハ保管装置本体と、ＵＬＰＡフィルタ及
びファンを備える給気チャンバと、半導体ウエハ保管装
置本体内に設けられたウエハキャリアを収納するための
ウエハキャリア収納棚と、ウエハキャリアを搬送するた
めのウエハキャリア搬送装置と、シャッター及びウエハ
キャリアを受け渡すための載置ステージを備えたポート
と、半導体ウエハ保管装置本体に気体を供給するのため
の気体供給機とから構成されるものであって、気体供給
機と半導体ウエハ保管装置本体をつなぐダクトにボリュ
ームダンパを設けると共に、このボリュームダンパの開
閉を行なうための開閉アクチュエータを設けたものであ
る。

【００１３】この発明の請求項２に係る半導体ウエハ収
納装置は、クリーンルーム内に設置された半導体ウエハ
保管装置本体と、ＵＬＰＡフィルタ及びファンを備える
給気チャンバと、半導体ウエハ保管装置本体内に設けら
れたウエハキャリアを収納するためのウエハキャリア収
納棚と、ウエハキャリアを搬送するためのウエハキャリ
ア搬送装置と、シャッター及びウエハキャリアを受け渡
すための載置ステージを備えたポートと、半導体ウエハ
保管装置本体に気体を供給するのための気体供給機とか
ら構成されるものであって、シャッターの開状態でクリ
ーンルーム内に逃げる風量を測定するためのセンサーを
設け、上記風量と等しい気体の風量を気体供給機から供
給するものである。

【００１４】この発明の請求項３に係る半導体ウエハ収
納装置は、クリーンルーム内に設置された半導体ウエハ
保管装置本体と、ＵＬＰＡフィルタ及びファンを備える
給気チャンバと、半導体ウエハ保管装置本体内に設けら
れたウエハキャリアを収納するためのウエハキャリア収
納棚と、ウエハキャリアを搬送するためのウエハキャリ
ア搬送装置と、シャッター及びウエハキャリアを受け渡
すための載置ステージを備えたポートと、半導体ウエハ
保管装置本体に気体を供給するのための気体供給機とか
ら構成されるものであって、気体供給機と半導体ウエハ
保管装置本体をつなぐダクトにボリュームダンパを設け
ると共に、シャッターとボリュームダンパとを連動させ
るための連結部を設けたものである。

【００１５】この発明の請求項４に係る半導体ウエハ収
納装置は、シャッターと開閉アクチュエータの開閉動作
を同期に行なうものである。

【００１６】この発明の請求項５に係る半導体ウエハ収
納装置は、シャッターの開状態でクリーンルーム内に逃
げる風量と等しい気体の風量を気体供給機から供給する
ものである。

【００１７】この発明の請求項６に係る半導体ウエハ収
納装置は、ウエハキャリア搬送装置からシャッターに開
閉命令の信号を出力するものである。

【００１８】この発明の請求項７に係る半導体ウエハ収
納装置は、ウエハキャリア搬送装置の走行経路に位置検
出センサーを設け、この位置検出センサーがシャッター
の開閉命令信号を出力するものである。

【００１９】この発明の請求項８に係る半導体ウエハ収
納装置は、ウエハキャリア搬送装置に設けられたブロッ
クと接触することによりウエハキャリア搬送装置の走行
動力をシャッターの開閉動作に変換する伝達方向変換部
を設けたものである。

【００２０】この発明の請求項９に係る半導体ウエハ収
納装置は、気体供給機を２つ以上設けると共に、シャッ
ターを一重にしたものである。

【００２１】

【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
一実施形態を図について説明する。図１はこの発明の実
施の形態１による半導体ウエハ収納装置を示す断面図で
ある。図において、クリーンルーム１内に設置された半
導体ウエハ保管装置本体２は、ウエハを搭載したウエハ
キャリア３を収納するウエハキャリア収納棚４と、ウエ
ハキャリア３を搬送するウエハキャリア搬送装置５と、
ウエハキャリア３の投入及び払出を行うポート６と、給
気チャンバ７とから構成される。半導体ウエハ保管装置
本体２は、図示しない保護カバーによって覆われ、内部
に保管されるウエハキャリア３が、クリーンルーム１の
環境に直接さらされない構造である。

【００２２】ウエハキャリア収納棚４は、お互いに対面
して設置され、ウエハキャリア３を上下左右に複数保管
できる。又、図１に示すようにウエハキャリア搬送装置
５は、ウエハキャリア収納棚４に沿って設けられた走行
レール８上を移動し、ウエハキャリア３をウエハキャリ
ア収納棚４やポート６へ自動搬送する。更に、図１に示
すようにポート６は、シャッター９と、ウエハキャリア
を受け渡すための載置ステージ１０を備える。

【００２３】給気チャンバ７は、ＵＬＰＡフィルタ１１
とファン１２を備える。半導体ウエハ保管装置本体２と
は別置きで設置している気体供給機１３から供給された
気体１４は、ダクト１５を通過してファン１２により加
圧され、例えば０．３ｍ／ｓの風速でＵＬＰＡフィルタ
１１から常に面内均一に吹き出す。気体供給機１３から
供給される気体１４の風量は常に一定で、半導体ウエハ
保管装置本体２内の圧力がクリーンルーム１内の圧力よ
り若干高くなるようにボリュームダンパ１６は調整され
る。また半導体ウエハ保管装置本体２とは別置きで設置
している気体供給機１７から供給される気体１８は、同
じくダクト１９を通過し給気チャンバ７へ供給される。

【００２４】気体供給機１７から供給される気体１８の
風量は、通常“０”で、気体供給機１７は、ボリューム
ダンパ２０の開閉アクチュエータ２１からの開信号によ
り、シャッター９の開状態でクリーンルーム１内に逃げ
る風量と等しい気体１８の風量を給気チャンバ７へ供給
する。シャッター９の開閉動作とボリュームダンパ２０
の開閉動作は、半導体ウエハ保管装置本体２内にクリー
ンルーム１内のケミカルミストを含んだ空気が混入しな
いように同期動作をする。

【００２５】給気チャンバ７を通って吹き出された気体
は、ウエハ保管中のウエハキャリア３を通り、ベース台
２２に設けた図示しない排気口よりクリーンルーム１の
外に排気される。気体供給機１３，１７から供給される
気体１４，１８としては、ウエハプロセスで要求される
保管雰囲気に応じてドライエアやドライ窒素等がある。
半導体ウエハ保管装置本体２は、図示しない上位計算機
の命令により制御される。入出庫時には、全自動の場合
は図示しない外部に設置の搬送機器が、手動の場合は図
示しない作業者が上位計算機の命令により、ウエハキャ
リア３を載置ステージ１０に移載する。

【００２６】次に動作について説明する。まず、ウエハ
キャリア３を半導体ウエハ保管装置本体２へ全自動で入
庫するときについて説明する。上位計算機は、外部に設
置の搬送機器へウエハキャリア３を載置ステージ１０へ
移載する搬送の命令を出力する。搬送終了後、上位計算
機は外部に設置の搬送機器から搬送完了の報告を受け
る。次に上位計算機は、ウエハキャリア搬送装置５にウ
エハキャリア３を載置ステージ１０からウエハキャリア
収納棚４へ移載する搬送命令を出力する。ウエハキャリ
ア搬送装置５は、上位計算機より搬送命令を入力した時
点で、載置ステージ１０にアクセスできるポイントまで
移動開始するとともに、ポート６にシャッター９の開命
令を出力する。ポート６は、シャッター９の開命令を入
力した時点で、シャッター９を開けるとともに、開閉ア
クチュエータ２１にボリュームダンパ２０の開命令を出
力する。

【００２７】ポート６は、開閉アクチュエータ２１から
ボリュームダンパ２０の開完了の報告を受ける。ウエハ
キャリア搬送装置５は、ポート６からシャッター９の開
完了の報告を受け、載置ステージ１０からウエハキャリ
ア３を取り出す。ウエハキャリア搬送装置５は、ポート
６にシャッター９の閉命令を出力するとともに、ウエハ
キャリア収納棚４へ移動しウエハキャリア３を載置す
る。ポート６は、シャッター９の閉命令を入力した時点
で、シャッター９を閉めるとともに、開閉アクチュエー
タ２１にボリュームダンパ２０の閉命令を出力する。ポ
ート６は、開閉アクチュエータ２１からボリュームダン
パ２０の閉完了の報告を受けると共に、ウエハキャリア
搬送装置５は、ポート６からシャッター９の閉完了の報
告を受ける。その後、上位計算機は、ウエハキャリア搬
送装置５より搬送完了の報告を受ける。

【００２８】次に、ウエハキャリア３を半導体ウエハ保
管装置本体２から全自動で出庫するときについて説明す
る。上位計算機は、ウエハキャリア搬送装置５にウエハ
キャリア３をウエハキャリア収納棚４から載置ステージ
１０へ移載する搬送命令を出力する。ウエハキャリア搬
送装置５は、ウエハキャリア収納棚４へ移動し、ウエハ
キャリア３を取り出す。ウエハキャリア搬送装置５は、
載置ステージ１０にアクセスできるポイントまで移動開
始するとともに、ポート６にシャッター９の開命令を出
力する。ポート６は、シャッター９の開命令を入力した
時点で、シャッター９を開けるとともに、開閉アクチュ
エータ２１にボリュームダンパ２０の開命令を出力す
る。ポート６は、開閉アクチュエータ２１からボリュー
ムダンパ２０の開完了の報告を受ける。

【００２９】ウエハキャリア搬送装置５は、ポート６か
らシャッター９の開完了の報告を受け、載置ステージ１
０へウエハキャリア３を載置する。次にウエハキャリア
搬送装置５は、ポート６にシャッター９の閉命令を出力
する。ポート６は、シャッター９の閉命令を入力した時
点で、シャッター９を閉めるとともに、開閉アクチュエ
ータ２１にボリュームダンパ２０の閉命令を出力する。
ポート６は、開閉アクチュエータ２１からボリュームダ
ンパ２０の閉完了の報告を受け、またウエハキャリア搬
送装置５は、ポート６からシャッター９の閉完了の報告
を受ける。その後、上位計算機は、ウエハキャリア搬送
装置５からの搬送完了の報告を受ける。上位計算機は、
外部に設置の搬送機器へウエハキャリア３を載置ステー
ジ１０から移載する搬送の命令を出力する。搬送終了
後、上位計算機は、外部に設置の搬送機器から搬送完了
の報告を受ける。手動で入出庫するときは、外部に設置
の搬送機器のところが作業者にかわるだけでその他の動
作は上記説明と同様である。

【００３０】実施の形態２．以下、この発明の実施の形
態２を図について説明する。図２はこの発明の実施の形
態２による半導体ウエハ収納装置を示す断面図であり、
図において、ウエハキャリア搬送装置５の走行レール８
に位置検出センサー２３を備えたものである。

【００３１】次に動作について説明する。まず、ウエハ
キャリア３を半導体ウエハ保管装置本体２へ全自動で入
庫するときについて説明する。上位計算機は、外部に設
置の搬送機器へウエハキャリア３を載置ステージ１０へ
移載する搬送の命令を出力する。搬送終了後、上位計算
機は、外部に設置の搬送機器から搬送完了の報告を受け
る。次に上位計算機は、ウエハキャリア搬送装置５にウ
エハキャリア３を載置ステージ１０からウエハキャリア
収納棚４へ移載する搬送命令を出力する。ウエハキャリ
ア搬送装置５は、上位計算機より搬送命令を入力した時
点で、載置ステージ１０にアクセスできるポイントまで
移動開始する。ウエハキャリア搬送装置５の位置を、ウ
エハキャリア搬送装置５の走行レール８にある位置検出
センサー２３で認識し、位置検出センサー２３を通過し
た時点で、ポート６にシャッター９の開命令を出力す
る。ポート６は、シャッター９の開命令を入力した時点
で、シャッター９を開けるとともに、開閉アクチュエー
タ２１にボリュームダンパ２０の開命令を出力する。そ
してポート６は、開閉アクチュエータ２１からボリュー
ムダンパ２０の開完了の報告を受ける。

【００３２】ウエハキャリア搬送装置５は、ポート６か
らシャッター９の開完了の報告を受け、載置ステージ１
０からウエハキャリア３を取り出す。ウエハキャリア搬
送装置５は、ウエハキャリア収納棚４へ移動しウエハキ
ャリア３を載置する。ウエハキャリア搬送装置５の位置
を、ウエハキャリア搬送装置５の走行レール８にある位
置検出センサー２３で認識し、位置検出センサー２３を
通過した時点で、ポート６にシャッター９の閉命令を出
力する。ポート６は、シャッター９の閉命令を入力した
時点で、シャッター９を閉めるとともに、開閉アクチュ
エータ２１にボリュームダンパ２０の閉命令を出力す
る。ポート６は、開閉アクチュエータ２１からボリュー
ムダンパ２０の閉完了の報告を受ける。ウエハキャリア
搬送装置５は、ポート６からシャッター９の閉完了の報
告を受ける。その後、上位計算機は、ウエハキャリア搬
送装置５の搬送完了の報告を受ける。

【００３３】次に、ウエハキャリア３を半導体ウエハ保
管装置本体２から全自動で出庫する場合について説明す
る。上位計算機は、ウエハキャリア搬送装置５にウエハ
キャリア３をウエハキャリア収納棚４から載置ステージ
１０へ移載する搬送命令を出力する。ウエハキャリア搬
送装置５は、ウエハキャリア収納棚４へ移動し、ウエハ
キャリア３を取り出し、ウエハキャリア搬送装置５は、
載置ステージ１０にアクセスできるポイントまで移動開
始する。ウエハキャリア搬送装置５の位置を、ウエハキ
ャリア搬送装置５の走行レール８にある位置検出センサ
ー２３で認識し、位置検出センサー２３を通過した時点
で、ポート６にシャッター９の開命令を出力する。ポー
ト６は、シャッター９の開命令を入力した時点で、シャ
ッター９を開けるとともに、開閉アクチュエータ２１に
ボリュームダンパ２０の開命令を出力する。

【００３４】ポート６は、開閉アクチュエータ２１から
ボリュームダンパ２０の開完了の報告を受ける。ウエハ
キャリア搬送装置５は、ポート６からシャッター９の開
完了の報告を受け、載置ステージ１０へウエハキャリア
３を載置する。載置後、ウエハキャリア搬送装置５は、
退避位置へ移動する。ウエハキャリア搬送装置５の位置
を、ウエハキャリア搬送装置５の走行レール８にある位
置検出センサー２３で認識し、位置検出センサー２３を
通過した時点で、ポート６にシャッター９の閉命令を出
力する。ポート６は、シャッター９の閉命令を入力した
時点で、シャッター９を閉めるとともに、開閉アクチュ
エータ２１にボリュームダンパ２０の閉命令を出力す
る。ポート６は、開閉アクチュエータ２１からボリュー
ムダンパ２０の閉完了の報告を受け、ウエハキャリア搬
送装置５は、ポート６からシャッター９の閉完了の報告
を受ける。その後、上位計算機は、ウエハキャリア搬送
装置５から搬送完了の報告を受ける。上位計算機は、外
部に設置の搬送機器へウエハキャリア３を載置ステージ
１０から移載する搬送の命令を出力する。搬送終了後、
上位計算機は、外部に設置の搬送機器から搬送完了の報
告を受ける。手動で入出庫するときは、外部に設置の搬
送機器のところが作業者にかわるだけでその他の動作は
上記説明と同様である。

【００３５】実施の形態３．以下、この発明の実施の形
態３について説明する。図３はこの発明の実施の形態３
による半導体ウエハ収納装置を示す断面図である。図に
おいて、ウエハキャリア搬送装置５の本体に取り付けて
あるブロック２４と、このブロック２４と接触しウエハ
キャリア搬送装置５の走行動力を受け取り、外部へ力を
変換し伝える伝達方向変換部２５と、この伝達方向変換
部２５とポート６のシャッター９を接続する連結部２６
とを備え、ウエハキャリア搬送装置５とポート６におけ
るシャッター９の同期動作を実現する。伝達方向変換部
２５は、入力部２７と変換部２８と出力部２９から構成
され、伝達方向変換部２５は、例えば油圧や空圧のよう
な圧力機器や、ラックピニオン、リンク機構のような機
械部品で動力伝達を行なうように構成されている。

【００３６】次に動作について説明する。まず、ウエハ
キャリア３を半導体ウエハ保管装置本体２へ全自動で入
庫するときについて説明する。上位計算機は、外部に設
置の搬送機器へウエハキャリア３を載置ステージ１０へ
移載する搬送の命令を出力する。搬送終了後、上位計算
機は、外部に設置の搬送機器から搬送完了の報告を受け
る。次に上位計算機は、ウエハキャリア搬送装置５にウ
エハキャリア３を載置ステージ１０からウエハキャリア
収納棚４へ移載する搬送命令を出力する。ウエハキャリ
ア搬送装置５は、上位計算機より搬送命令を入力した時
点で、載置ステージ１０にアクセスできるポイントまで
移動を開始する。ウエハキャリア搬送装置５の本体が載
置ステージ１０に近づくと、ウエハキャリア搬送装置５
の本体に取り付けてあるブロック２４と伝達方向変換部
２５の入力部２７が矢印Ａ方向に移動する。

【００３７】変換部２８は出力部２９を矢印Ｂ方向に押
し出し、出力部２９と接続されている連結部２６及び連
結部２６と接続されているポート６のシャッター９も同
様に矢印Ｂ方向に押し出し、ポート６のシャッター９が
開き始める。ウエハキャリア搬送装置５の本体が載置ス
テージ１０にアクセスできるポイントまで移動完了した
時点で、シャッター９の開が完了する。ポート６は、シ
ャッター９の開を開始した時点で、開閉アクチュエータ
２１にボリュームダンパ２０の開命令を出力する。ポー
ト６は、開閉アクチュエータ２１からボリュームダンパ
２０の開完了の報告を受ける。ウエハキャリア搬送装置
５は、ポート６からシャッター９の開完了の報告を受
け、載置ステージ１０からウエハキャリア３を取り出
す。ウエハキャリア搬送装置５は、ウエハキャリア収納
棚４へ移動しウエハキャリア３を載置する。ウエハキャ
リア搬送装置５の本体が載置ステージ１０から遠ざかる
と、ウエハキャリア搬送装置５の本体に取り付けてある
ブロック２４と伝達方向変換部２５の入力部２７が、矢
印Ｃ方向に移動する。

【００３８】変換部２８は出力部２９を矢印Ｄ方向に引
っ張り、出力部２９と接続されている連結部２６及び連
結部２６と接続されているポート６のシャッター９も同
様に矢印Ｄ方向に引っ張られ、ポート６のシャッター９
が閉じ始める。ウエハキャリア搬送装置５の本体に取り
付けてあるブロック２４と伝達方向変換部２５の入力部
２７が接触しないポイントまで移動した時点で、シャッ
ター９の閉が完了する。ポート６は、シャッター９の閉
を開始した時点で、開閉アクチュエータ２１にボリュー
ムダンパ２０の閉命令を出力する。ポート６は、開閉ア
クチュエータ２１からボリュームダンパ２０の閉完了の
報告を受ける。ウエハキャリア搬送装置５は、ポート６
からシャッター９の閉完了の報告を受け、その後、上位
計算機は、ウエハキャリア搬送装置５から搬送完了の報
告を受ける。

【００３９】次に、ウエハキャリア３を半導体ウエハ保
管装置本体２から全自動で出庫するときについて説明す
る。上位計算機は、ウエハキャリア搬送装置５にウエハ
キャリア３をウエハキャリア収納棚４から載置ステージ
１０へ移載する搬送命令を出力する。ウエハキャリア搬
送装置５は、ウエハキャリア収納棚４へ移動し、ウエハ
キャリア３を取り出す。ウエハキャリア搬送装置５は、
載置ステージ１０にアクセスできるポイントまで移動開
始する。ウエハキャリア搬送装置５の本体が載置ステー
ジ１０に近づくと、ウエハキャリア搬送装置５の本体に
取り付けてあるブロック２４と伝達方向変換部２５の入
力部２７が矢印Ａ方向に移動する。

【００４０】変換部２８は出力部２９を矢印Ｂ方向に押
し出し、出力部２９と接続されている連結部２６及び連
結部２６と接続されているポート６のシャッター９も同
様に矢印Ｂ方向に押し出され、ポート６のシャッター９
が開き始める。ウエハキャリア搬送装置５の本体が載置
ステージ１０にアクセスできるポイントまで移動完了し
た時点で、シャッター９の開が完了する。ポート６は、
シャッター９の開命令を入力した時点で、シャッター９
を開けるとともに、開閉アクチュエータ２１にボリュー
ムダンパ２０の開命令を出力する。ポート６は、開閉ア
クチュエータ２１からボリュームダンパ２０の開完了の
報告を受ける。ウエハキャリア搬送装置５は、ポート６
からシャッター９の開完了の報告を受け、載置ステージ
１０へウエハキャリア３を載置する。

【００４１】載置後、ウエハキャリア搬送装置５の本体
が載置ステージ１０から遠ざかると、ウエハキャリア搬
送装置５の本体に取り付けてあるブロック２４と伝達方
向変換部２５の入力部２７が、矢印Ｃ方向に移動する。
変換部２８は出力部２９を矢印Ｄ方向に引っ張り、出力
部２９と接続されている連結部２６及び連結部２６と接
続されているポート６のシャッター９も同様に矢印Ｄ方
向に引っ張られ、ポート６のシャッター９が閉じ始め
る。ウエハキャリア搬送装置５の本体に取り付けてある
ブロック２４と伝達方向変換部２５の入力部２７が接触
しないポイントまで移動した時点で、シャッター９の閉
が完了する。ポート６は、シャッター９の閉を開始した
時点で、開閉アクチュエータ２１にボリュームダンパ２
０の閉命令を出力する。ポート６は、開閉アクチュエー
タ２１からボリュームダンパ２０の閉完了の報告を受
け、ウエハキャリア搬送装置５は、ポート６からシャッ
ター９の閉完了の報告を受ける。その後、上位計算機
は、ウエハキャリア搬送装置５から搬送完了の報告を受
ける。

【００４２】上位計算機は、外部に設置の搬送機器へウ
エハキャリア３を載置ステージ１０から移載する搬送の
命令を出力する。搬送終了後、上位計算機は、外部に設
置の搬送機器から搬送完了の報告を受ける。手動で入出
庫するときは、外部に設置の搬送機器のところが作業者
にかわるだけでその他の動作は上記説明と同様である。

【００４３】実施の形態４．以下、この発明の実施の形
態４について説明する。図４は本実施形態による半導体
ウエハ保管装置を示す断面図である。図において、気体
供給機１７はインバータ機能を持ち、気体供給機１７か
ら供給される気体１８の風量は、通常“０”で、気体供
給機１７は、ポート６に備えているセンサー３０の信号
により、ポート６のシャッター９の開状態でクリーンル
ーム１内に逃げる風量と等しい気体１８の風量を判断
し、給気チャンバ７へ供給する。センサー３０として
は、圧力センサーや風速センサーなどが用いられる。

【００４４】次に動作について説明する。まず、ウエハ
キャリア３を半導体ウエハ保管装置本体２へ全自動で入
庫するときについて説明する。上位計算機は、外部に設
置の搬送機器へウエハキャリア３を載置ステージ１０へ
移載する搬送の命令を出力する。搬送終了後、上位計算
機は、外部に設置の搬送機器から搬送完了の報告を受け
る。次に上位計算機は、ウエハキャリア搬送装置５にウ
エハキャリア３を載置ステージ１０からウエハキャリア
収納棚４へ移載する搬送命令を出力する。ウエハキャリ
ア搬送装置５は、上位計算機より搬送命令を入力した時
点で、載置ステージ１０にアクセスできるポイントまで
移動開始するとともに、ポート６にシャッター９の開命
令を出力する。

【００４５】ポート６は、シャッター９の開命令を入力
した時点で、シャッター９を開ける。気体供給機１７
は、ポート６に備えているセンサー３０の信号により、
気体１８の風量を判断し、給気チャンバ７へ必要な気体
を供給する。ウエハキャリア搬送装置５は、ポート６か
らシャッター９の開完了の報告を受け、載置ステージ１
０からウエハキャリア３を取り出す。ウエハキャリア搬
送装置５は、ポート６にシャッター９の閉命令を出力す
るとともに、ウエハキャリア収納棚４へ移動しウエハキ
ャリア３を載置する。ポート６は、シャッター９の閉命
令を入力した時点で、シャッター９を閉める。気体供給
機１７は、ポート６に備えているセンサー３０の信号に
より、気体１８の風量を判断し、給気チャンバ７への供
給を停止する。ウエハキャリア搬送装置５は、ポート６
からシャッター９の閉完了の報告を受ける。その後、上
位計算機は、ウエハキャリア搬送装置５より搬送完了の
報告を受ける。

【００４６】次に、ウエハキャリア３を半導体ウエハ保
管装置本体２から全自動で出庫するときについて説明す
る。上位計算機は、ウエハキャリア搬送装置５にウエハ
キャリア３をウエハキャリア収納棚４から載置ステージ
１０へ移載する搬送命令を出力する。ウエハキャリア搬
送装置５は、ウエハキャリア収納棚４へ移動し、ウエハ
キャリア３を取り出す。ウエハキャリア搬送装置５は、
載置ステージ１０にアクセスできるポイントまで移動開
始するとともに、ポート６にシャッター９の開命令を出
力する。ポート６は、シャッター９の開命令を入力した
時点で、シャッター９を開ける。気体供給機１７は、ポ
ート６に備えているセンサー３０の信号により、気体１
８の風量を判断し、給気チャンバ７へ供給する。

【００４７】ウエハキャリア搬送装置５は、ポート６か
らシャッター９の開完了の報告を受け、載置ステージ１
０へウエハキャリア３を載置する。そしてウエハキャリ
ア搬送装置５は、ポート６にシャッター９の閉命令を出
力する。ポート６は、シャッター９の閉命令を入力した
時点で、シャッター９を閉める。気体供給機１７は、ポ
ート６に備えているセンサー３０の信号により、気体１
８の風量を判断し、給気チャンバ７への供給を停止す
る。ウエハキャリア搬送装置５は、ポート６からシャッ
ター９の閉完了の報告を受け、その後、上位計算機は、
ウエハキャリア搬送装置５からの搬送完了の報告を受け
る。上位計算機は、外部に設置の搬送機器へウエハキャ
リア３を載置ステージ１０から移載する搬送の命令を出
力する。搬送終了後、上位計算機は、外部に設置の搬送
機器から搬送完了の報告を受ける。手動で入出庫すると
きは、外部に設置の搬送機器のところが作業者にかわる
だけでその他の動作は上記説明と同様である。

【００４８】実施の形態５．以下、この発明の実施の形
態５について説明する。図５は本実施形態による半導体
ウエハ収納装置を示す断面図である。図において、ポー
ト６のシャッター９に取り付けてあるブロック３１と、
伝達部３２と、この伝達部３２とボリュームダンパ２０
を接続する連結部３３とを備える。伝達部３２は、例え
ば油圧や空圧のような圧力機器や、ラックピニオン、リ
ンク機構のような機械部品で動力伝達を行なう。気体供
給機１７から供給される気体１８の風量は、通常“０”
で、気体供給機１７は、ポート６のシャッター９とボリ
ュームダンパ２０とのメカニカルな同期により、シャッ
ター９の開状態でクリーンルーム１内に逃げる風量と等
しい気体１８の風量を給気チャンバ７へ供給する。

【００４９】次に動作について説明する。まず、ウエハ
キャリア３を半導体ウエハ保管装置本体２へ全自動で入
庫するときについて説明する。上位計算機は、外部に設
置の搬送機器へウエハキャリア３を載置ステージ１０へ
移載する搬送の命令を出力する。搬送終了後、上位計算
機は、外部に設置の搬送機器から搬送完了の報告を受け
る。次に上位計算機は、ウエハキャリア搬送装置５にウ
エハキャリア３を載置ステージ１０からウエハキャリア
収納棚４へ移載する搬送命令を出力する。ウエハキャリ
ア搬送装置５は、上位計算機より搬送命令を入力した時
点で、載置ステージ１０にアクセスできるポイントまで
移動開始するとともに、ポート６にシャッター９の開命
令を出力する。ポート６は、シャッター９の開命令を入
力した時点で、シャッター９を開ける。シャッター９の
上昇に伴い、シャッター９に取り付けてあるブロック３
１は上昇を始め、ブロック３１に取り付けている伝達部
３２及び、伝達部３２に取り付けている連結部３３も上
昇を始める。

【００５０】連結部３３に取り付けているボリュームダ
ンパ２０は、機械的に開けられ、気体供給機１７は、気
体１８を給気チャンバ７へ供給する。ウエハキャリア搬
送装置５は、ポート６からシャッター９の開完了の報告
を受け、載置ステージ１０からウエハキャリア３を取り
出す。ウエハキャリア搬送装置５は、ポート６にシャッ
ター９の閉命令を出力するとともに、ウエハキャリア収
納棚４へ移動しウエハキャリア３を載置する。ポート６
は、シャッター９の閉命令を入力した時点で、シャッタ
ー９を閉める。ポート６のシャッター９の下降に伴い、
シャッター９に取り付けてあるブロック３１は下降を始
め、ブロック３１に取り付けられている伝達部３２及
び、伝達部３２に取り付けられている連結部３３も下降
を始める。連結部３３に取り付けられているボリューム
ダンパ２０は、機械的に閉められ、気体供給機１７は、
気体１８の給気チャンバ７への供給を停止する。ウエハ
キャリア搬送装置５は、ポート６からシャッター９の閉
完了の報告を受ける。その後、上位計算機は、ウエハキ
ャリア搬送装置５より搬送完了の報告を受ける。

【００５１】次に、ウエハキャリア３を半導体ウエハ保
管装置本体２から全自動で出庫するときについて説明す
る。上位計算機は、ウエハキャリア搬送装置５にウエハ
キャリア３をウエハキャリア収納棚４から載置ステージ
１０へ移載する搬送命令を出力する。ウエハキャリア搬
送装置５は、ウエハキャリア収納棚４へ移動し、ウエハ
キャリア３を取り出す。ウエハキャリア搬送装置５は、
載置ステージ１０にアクセスできるポイントまで移動開
始するとともに、ポート６にシャッター９の開命令を出
力する。ポート６は、シャッター９の開命令を入力した
時点で、シャッター９を開ける。ポート６のシャッター
９の上昇に伴い、シャッター９に取り付けてあるブロッ
ク３１は上昇を始め、ブロック３１に取り付けられてい
る伝達部３２及び、伝達部３２に取り付けられている連
結部３３も上昇を始める。

【００５２】連結部３３に取り付けられているボリュー
ムダンパ２０は、機械的に開けられ、気体供給機１７
は、気体１８を給気チャンバ７へ供給する。ウエハキャ
リア搬送装置５は、ポート６からシャッター９の開完了
の報告を受け、載置ステージ１０へウエハキャリア３を
載置する。ウエハキャリア搬送装置５は、ポート６にシ
ャッター９の閉命令を出力する。ポート６は、シャッタ
ー９の閉命令を入力した時点で、シャッター９を閉め
る。ポート６のシャッター９の下降に伴い、シャッター
９に取り付けてあるブロック３１は下降を始め、ブロッ
ク３１に取り付けられている伝達部３２及び、伝達部３
２に取り付けられている連結部３３も下降を始める。連
結部３３に取り付けられているボリュームダンパ２０
は、機械的に閉められ、気体供給機１７は、気体１８の
給気チャンバ７への供給を停止する。ウエハキャリア搬
送装置５は、ポート６からシャッター９の閉完了の報告
を受ける。搬送終了後、上位計算機は、ウエハキャリア
搬送装置５からの搬送完了の報告を受ける。手動で入出
庫するときは、外部に設置の搬送機器のところが作業者
にかわるだけでその他の動作は上記説明と同様である。

【００５３】実施の形態６．又、上記実施の形態１〜６
で、それぞれウエハキャリア搬送装置５がポート６のシ
ャッター９を開閉する機構並びに気体供給機１７が、気
体１８を給気チャンバ７へ供給する機構を示したが、そ
れぞれの機構を別々に組み合わせて装置全体を構成して
もよい。

【００５４】

【発明の効果】この発明の請求項１に係る半導体ウエハ
収納装置によれば、クリーンルーム内に設置された半導
体ウエハ保管装置本体と、ＵＬＰＡフィルタ及びファン
を備える給気チャンバと、半導体ウエハ保管装置本体内
に設けられたウエハキャリアを収納するためのウエハキ
ャリア収納棚と、ウエハキャリアを搬送するためのウエ
ハキャリア搬送装置と、シャッター及びウエハキャリア
を受け渡すための載置ステージを備えたポートと、半導
体ウエハ保管装置本体に気体を供給するのための気体供
給機とから構成されるものであって、気体供給機と半導
体ウエハ保管装置本体をつなぐダクトにボリュームダン
パを設けると共に、このボリュームダンパの開閉を行な
うための開閉アクチュエータを設けたので、気体供給機
からの気体供給量を調整することができる。

【００５５】この発明の請求項２に係る半導体ウエハ収
納装置によれば、クリーンルーム内に設置された半導体
ウエハ保管装置本体と、ＵＬＰＡフィルタ及びファンを
備える給気チャンバと、半導体ウエハ保管装置本体内に
設けられたウエハキャリアを収納するためのウエハキャ
リア収納棚と、ウエハキャリアを搬送するためのウエハ
キャリア搬送装置と、シャッター及びウエハキャリアを
受け渡すための載置ステージを備えたポートと、半導体
ウエハ保管装置本体に気体を供給するのための気体供給
機とから構成されるものであって、シャッターの開状態
でクリーンルーム内に逃げる風量を測定するためのセン
サーを設け、上記風量と等しい気体の風量を気体供給機
から供給するので、半導体ウエハ保管装置本体に過不足
なく気体を送ることができる。

【００５６】この発明の請求項３に係る半導体ウエハ収
納装置によれば、クリーンルーム内に設置された半導体
ウエハ保管装置本体と、ＵＬＰＡフィルタ及びファンを
備える給気チャンバと、半導体ウエハ保管装置本体内に
設けられたウエハキャリアを収納するためのウエハキャ
リア収納棚と、ウエハキャリアを搬送するためのウエハ
キャリア搬送装置と、シャッター及びウエハキャリアを
受け渡すための載置ステージを備えたポートと、半導体
ウエハ保管装置本体に気体を供給するのための気体供給
機とから構成されるものであって、気体供給機と半導体
ウエハ保管装置本体をつなぐダクトにボリュームダンパ
を設けると共に、シャッターとボリュームダンパとを連
動させるための連結部を設けたので、シャッターとボリ
ュームダンパの開閉動作を同期に行なうことができる。

【００５７】この発明の請求項４に係る半導体ウエハ収
納装置によれば、シャッターと開閉アクチュエータの開
閉動作を同期に行なうようにしたので、作業効率を向上
させることができる。

【００５８】この発明の請求項５に係る半導体ウエハ収
納装置によれば、シャッターの開状態でクリーンルーム
内に逃げる風量と等しい気体の風量を気体供給機から供
給するようにしたので、半導体ウエハ保管装置本体に過
不足なく気体を送ることができる。

【００５９】この発明の請求項６に係る半導体ウエハ収
納装置によれば、ウエハキャリア搬送装置からシャッタ
ーに開閉命令の信号を出力するようにしたので、ウエハ
キャリア搬送装置を拘束する時間が減少し、搬送効率の
向上を図ることができる。

【００６０】この発明の請求項７に係る半導体ウエハ収
納装置によれば、ウエハキャリア搬送装置の走行経路に
位置検出センサーを設け、この位置検出センサーがシャ
ッターの開閉命令信号を出力するようにしたので、ウエ
ハキャリア搬送装置を拘束する時間が減少し、搬送効率
の向上を図ることができる。

【００６１】この発明の請求項８に係る半導体ウエハ収
納装置によれば、ウエハキャリア搬送装置に設けられた
ブロックと接触することによりウエハキャリア搬送装置
の走行動力をシャッターの開閉動作に変換する伝達方向
変換部を設けたので、ウエハキャリア搬送装置を拘束す
る時間が減少し、搬送効率の向上を図ることができる。

【００６２】この発明の請求項９に係る半導体ウエハ収
納装置によれば、気体供給機を２つ以上設けると共に、
シャッターを一重にしたので、シャッターの開閉時間を
短縮して半導体ウエハ収納装置の作業効率の向上を図る
ことができると共に、機器サイズの縮小化を図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１による半導体ウエハ
収納装置を示す断面図である。

【図２】 この発明の実施の形態２による半導体ウエハ
収納装置を示す断面図である。

【図３】 この発明の実施の形態３による半導体ウエハ
収納装置を示す断面図である。

【図４】 この発明の実施の形態４による半導体ウエハ
収納装置を示す断面図である。

【図５】 この発明の実施の形態５による半導体ウエハ
収納装置を示す断面図である。

【図６】 従来の半導体ウエハ収納装置を示す断面図で
ある。

【符号の説明】

１ クリーンルーム、２ 半導体ウエハ保管装置本体、
３ ウエハキャリア、４ ウエハキャリア収納棚、５
ウエハキャリア搬送装置、６ ポート、９ シャッタ
ー、１０ 載置ステージ、１７ 気体供給機、１９ ダ
クト、２０ ボリュームダンパ、２１ 開閉アクチュエ
ータ、２３ 位置検出センサー、２４ ブロック、２５
伝達方向変換部、３０センサ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F022 AA08 BB09 CC02 EE05 FF01 JJ09 MM11 MM35 PP06 QQ01 QQ07 3L058 BD02 BE02 BF03 BF08 BG01 BG03 BG04 5F031 BB01 BB05 BC10 LL01 LL03 LL05

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルーム内に設置された半導体ウ
   エハ保管装置本体と、ＵＬＰＡフィルタ及びファンを備
   える給気チャンバと、上記半導体ウエハ保管装置本体内
   に設けられたウエハキャリアを収納するためのウエハキ
   ャリア収納棚と、上記ウエハキャリアを搬送するための
   ウエハキャリア搬送装置と、シャッター及び上記ウエハ
   キャリアを受け渡すための載置ステージを備えたポート
   と、上記半導体ウエハ保管装置本体に気体を供給するた
   めの気体供給機とを備えた半導体ウエハ収納装置におい
   て、上記気体供給機と上記半導体ウエハ保管装置本体を
   つなぐダクトにボリュームダンパを設けると共に、この
   ボリュームダンパの開閉を行なうための開閉アクチュエ
   ータを設けたことを特徴とする半導体ウエハ収納装置。
2. 【請求項２】 クリーンルーム内に設置された半導体ウ
   エハ保管装置本体と、ＵＬＰＡフィルタ及びファンを備
   える給気チャンバと、上記半導体ウエハ保管装置本体内
   に設けられたウエハキャリアを収納するためのウエハキ
   ャリア収納棚と、上記ウエハキャリアを搬送するための
   ウエハキャリア搬送装置と、シャッター及び上記ウエハ
   キャリアを受け渡すための載置ステージを備えたポート
   と、上記半導体ウエハ保管装置本体に気体を供給するた
   めの気体供給機とを備えた半導体ウエハ収納装置におい
   て、上記シャッターの開状態で上記クリーンルーム内に
   逃げる風量を測定するためのセンサーを設け、上記風量
   と等しい気体の風量を上記気体供給機から供給すること
   を特徴とする半導体ウエハ収納装置。
3. 【請求項３】 クリーンルーム内に設置された半導体ウ
   エハ保管装置本体と、ＵＬＰＡフィルタ及びファンを備
   える給気チャンバと、上記半導体ウエハ保管装置本体内
   に設けられたウエハキャリアを収納するためのウエハキ
   ャリア収納棚と、上記ウエハキャリアを搬送するための
   ウエハキャリア搬送装置と、シャッター及び上記ウエハ
   キャリアを受け渡すための載置ステージを備えたポート
   と、上記半導体ウエハ保管装置本体に気体を供給するた
   めの気体供給機とを備えた半導体ウエハ収納装置におい
   て、上記気体供給機と上記半導体ウエハ保管装置本体を
   つなぐダクトにボリュームダンパを設けると共に、上記
   シャッターと上記ボリュームダンパとを連動させるため
   の連結部を設けたことを特徴とする半導体ウエハ収納装
   置。
4. 【請求項４】 シャッターと開閉アクチュエータの開閉
   動作を同期に行なうことを特徴とする請求項１記載の半
   導体ウエハ収納装置。
5. 【請求項５】 シャッターの開状態でクリーンルーム内
   に逃げる風量と等しい気体の風量を気体供給機から供給
   することを特徴とする請求項１又は請求項３又は請求項
   ４記載の半導体ウエハ収納装置。
6. 【請求項６】 ウエハキャリア搬送装置からシャッター
   に開閉命令の信号を出力することを特徴とする請求項１
   から請求項５のいずれか１項に記載の半導体ウエハ収納
   装置。
7. 【請求項７】 ウエハキャリア搬送装置の走行経路に位
   置検出センサーを設け、この位置検出センサーがシャッ
   ターの開閉命令信号を出力することを特徴とする請求項
   １から請求項５のいずれか１項に記載の半導体ウエハ収
   納装置。
8. 【請求項８】 ウエハキャリア搬送装置に設けられたブ
   ロックと接触することにより上記ウエハキャリア搬送装
   置の走行動力をシャッターの開閉動作に変換する伝達方
   向変換部を設けたことを特徴とする請求項１から請求項
   ５のいずれか１項に記載の半導体ウエハ収納装置。
9. 【請求項９】 気体供給機を２つ以上設けると共に、シ
   ャッターを一重にしたことを特徴とする請求項１から請
   求項８のいずれか１項に記載の半導体ウエハ収納装置。