JP2000096022A - Radiation-polymerizable electrical insulating resin composition and multilayer printed wiring board - Google Patents
Radiation-polymerizable electrical insulating resin composition and multilayer printed wiring boardInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、放射線重合性絶縁
樹脂組成物及び多層プリント配線板に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a radiation-polymerizable insulating resin composition and a multilayer printed wiring board.
【0002】[0002]
【従来の技術】最近、多層プリント配線板の製造方法と
して、配線密度を高くできることから、ビルドアップ法
により製造された多層プリント配線板が注目されてい
る。ビルドアップ法は、順次回路と絶縁層を積み上げて
いく方法である。すなわち、絶縁層上に形成された第1
の回路の上に絶縁層を形成し、その上に第2の回路を形
成する。そして、この第2の回路を第1の回路とみなし
て、以下絶縁層形成及び第2の回路形成を必要なだけ繰
返して多層化する。通常、最初に形成される第1の回路
は、金属はく張積層板に回路加工を行って形成される。2. Description of the Related Art Recently, a multilayer printed wiring board manufactured by a build-up method has attracted attention as a method of manufacturing a multilayer printed wiring board because the wiring density can be increased. The build-up method is a method of sequentially stacking circuits and insulating layers. That is, the first layer formed on the insulating layer
An insulating layer is formed on the circuit described above, and a second circuit is formed thereon. The second circuit is regarded as the first circuit, and the formation of the insulating layer and the formation of the second circuit are repeated as necessary to form a multilayer. Usually, the first circuit formed first is formed by performing circuit processing on a metal-clad laminate.
【0003】第2の回路を形成する方法としては、第1
の回路上に絶縁層を介して金属はくを積層し、この金属
はくをエッチングして形成する方法と、第1の回路上に
形成された絶縁層の上にめっきにより形成する方法とが
あり、いずれも実用化されている。[0003] As a method of forming the second circuit, the first method is used.
A method of laminating a metal foil on the circuit of the above via an insulating layer and etching the metal foil, and a method of forming the metal foil by plating on the insulating layer formed on the first circuit. Yes, all have been put to practical use.
【0004】多層プリント配線板において、第1の回路
と第2の回路との電気的接続すなわち層間接続を形成す
る必要がある。この層間接続はバイアホールといわれ
る。そして、その名が示す通り、第1の回路と第2の回
路の間の絶縁層に層間接続用穴を形成し、この層間接続
用穴にめっきにより導体を析出させることにより形成さ
れる。In a multilayer printed wiring board, it is necessary to form an electrical connection between a first circuit and a second circuit, that is, an interlayer connection. This interlayer connection is called a via hole. Then, as the name implies, it is formed by forming an interlayer connection hole in an insulating layer between the first circuit and the second circuit, and depositing a conductor in the interlayer connection hole by plating.
【0005】第2の回路を絶縁層の上にめっきにより形
成する方法においては、放射線重合性絶縁樹脂組成物を
絶縁層の材料として用い、層間接続用穴を形成する箇所
をマスクして放射線(通常、紫外線が用いられる)照射
を行って、放射線重合性絶縁樹脂組成物に含まれる放射
線照射により重合する化合物のうちマスクされた部分以
外の化合物を重合させて現像液に不溶とし、マスクされ
た部分の絶縁材料を現像液により溶解除去(現像)して
層間接続用穴を形成する。このように写真技術を用いる
ことから、この方法はフォト法といわれる。In the method of forming the second circuit on the insulating layer by plating, a radiation-polymerizable insulating resin composition is used as a material for the insulating layer, and the radiation ( (Ultraviolet rays are usually used.) Irradiation is performed to polymerize compounds other than the masked portion among the compounds polymerized by the radiation irradiation contained in the radiation-polymerizable insulating resin composition to make them insoluble in a developing solution and masked. A portion of the insulating material is dissolved and removed (developed) with a developer to form an interlayer connection hole. Since the photographic technique is used in this way, this method is called a photo method.
【0006】以下フォト法の工程について、図1を参照
して説明する。 (a)金属はく張積層板を出発材料として用い、金属は
く張積層板に回路加工を行って、絶縁基板2の上に第1
の回路1を形成する(図1(a)参照)。 (b)第1の回路1を形成した絶縁基板2上に放射線重
合性絶縁樹脂組成物層3aを形成する(図1(b)参
照)。 (c)層間接続用穴4を形成する箇所をマスクして放射
線重合性絶縁樹脂組成物層3aに放射線照射を行い、現
像して層間接続用穴4を形成する(図1(c)参照)。
この後、加熱して放射線重合性絶縁樹脂組成物層3aの
硬化を進めて絶縁層3を形成する。そして、粗化液によ
り処理して絶縁層3の表面を粗化する。 (d)絶縁層3の表面及び層間接続用穴4内にめっきを
施してめっき層5を形成する(図1(d)参照)。 (e)めっき層5に回路加工を行って、第2の回路6を
形成する(図1(e)参照)。 以下第2の回路6を第1の回路1とみなして(b)〜
(e)の工程を必要な回数繰返すことによりさらに多層
化することができる。Hereinafter, the steps of the photo method will be described with reference to FIG. (A) Using a metal-clad laminate as a starting material, performing circuit processing on the metal-clad laminate,
(See FIG. 1A). (B) A radiation polymerizable insulating resin composition layer 3a is formed on the insulating substrate 2 on which the first circuit 1 is formed (see FIG. 1B). (C) The radiation-polymerizable insulating resin composition layer 3a is irradiated with radiation while masking a portion where the interlayer connection hole 4 is to be formed, and is developed to form the interlayer connection hole 4 (see FIG. 1C). .
Thereafter, heating is performed to advance the curing of the radiation-polymerizable insulating resin composition layer 3a to form the insulating layer 3. Then, the surface of the insulating layer 3 is roughened by treatment with a roughening solution. (D) Plating is performed on the surface of the insulating layer 3 and in the interlayer connection hole 4 to form a plating layer 5 (see FIG. 1D). (E) The circuit processing is performed on the plating layer 5 to form the second circuit 6 (see FIG. 1E). Hereinafter, the second circuit 6 is regarded as the first circuit 1 (b) to
By repeating the step (e) a required number of times, further multilayering can be achieved.
【0007】絶縁層3としては、プリント配線板として
必要な絶縁性及び耐熱性を有すること及びめっき層5の
密着性を良好にするような表面であることが要求され
る。このため、絶縁層3の形成に用いられる放射線重合
性絶縁樹脂組成物としては、放射線照射により重合する
化合物、エポキシ樹脂及びカルボン酸変性架橋アクリロ
ニトリルブタジエンゴムを必須成分とする放射線重合性
絶縁樹脂組成物が用いられていた。エポキシ樹脂が絶縁
層3の絶縁性及び耐熱性に主として作用し、カルボン酸
変性架橋アクリロニトリルブタジエンゴムが絶縁層3と
めっき層5の密着性に主として作用するとされている。The insulating layer 3 is required to have insulation and heat resistance required for a printed wiring board, and to have a surface that improves the adhesion of the plating layer 5. For this reason, the radiation polymerizable insulating resin composition used for forming the insulating layer 3 includes a compound polymerizable by irradiation, an epoxy resin, and a carboxylic acid-modified crosslinked acrylonitrile butadiene rubber as essential components. Was used. The epoxy resin mainly acts on the insulation and heat resistance of the insulating layer 3, and the carboxylic acid-modified crosslinked acrylonitrile butadiene rubber mainly acts on the adhesion between the insulating layer 3 and the plating layer 5.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
放射線重合性絶縁樹脂組成物を用いて形成された絶縁層
3は、例えば、厚さが30μmの絶縁層において絶縁抵
抗が10GΩ程度であった。また、絶縁層3の表面が粗
化液により粗化されにくく、粗化むらを生じやすいこと
から、機械的な研磨手段により絶縁層3の表面を一部削
った後に粗化液で処理する必要があった。機械的な研磨
手段としてはバフロール、ベルトサンダーなどが挙げら
れるが、このような機械的な研磨手段によると絶縁層3
に大きな研磨傷が残ることがあった。このように大きな
研磨傷があると微細配線形成時に、配線の断線や短絡な
どの不具合を生じる原因となるため、微細配線形成の支
障となることから高密度配線が不可能となる。However, the insulating layer 3 formed using such a radiation-polymerizable insulating resin composition has, for example, an insulation layer having a thickness of 30 μm and an insulation resistance of about 10 GΩ. . In addition, since the surface of the insulating layer 3 is not easily roughened by the roughening solution and the roughening unevenness is easily generated, it is necessary to treat the insulating layer 3 with the roughening solution after partially shaving the surface of the insulating layer 3 by a mechanical polishing means. was there. Examples of the mechanical polishing means include a buff roll, a belt sander, and the like.
In some cases, large polishing scratches remained. Such a large polishing scratch may cause problems such as disconnection or short-circuit of the wiring when forming the fine wiring, which hinders the formation of the fine wiring, so that high-density wiring becomes impossible.
【0009】そこで、請求項1に記載の発明は、絶縁層
の絶縁抵抗を改善し、また、機械的研磨手段を用いるこ
となく粗化可能な絶縁層を形成することができる放射線
重合性絶縁樹脂組成物を提供することを目的とする。ま
た、請求項2に記載の発明は、絶縁層の絶縁抵抗が高
く、また、高密度配線可能な多層プリント配線板を提供
することを目的とする。Therefore, the present invention provides a radiation-polymerizable insulating resin capable of improving the insulation resistance of an insulating layer and forming an insulating layer which can be roughened without using mechanical polishing means. It is intended to provide a composition. Another object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board having a high insulation resistance of an insulating layer and capable of high-density wiring.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、放射線照射により重合する化合物、エポキシ樹脂、
エポキシ変性アクリロニトリルブタジエンゴム及びフェ
ノール樹脂を必須成分として含んでなる放射線重合性絶
縁樹脂組成物である。Means for Solving the Problems The invention according to claim 1 comprises a compound polymerizable by irradiation with radiation, an epoxy resin,
A radiation-polymerizable insulating resin composition comprising an epoxy-modified acrylonitrile-butadiene rubber and a phenol resin as essential components.
【0011】エポキシ変性アクリロニトリルブタジエン
ゴムは分子中にエポキシ基を有しており、エポキシ変性
アクリロニトリルブタジエンゴム及びエポキシ樹脂が共
にフェノール樹脂と反応して3次元的に架橋して硬化す
る。このため、アクリロニトリルブタジエンゴム由来の
構造が骨格中に含まれることにより、粗化液により粗化
されやすくなる。したがって、機械的研磨を用いなくと
も絶縁層表面を粗化することができる。The epoxy-modified acrylonitrile-butadiene rubber has an epoxy group in the molecule, and both the epoxy-modified acrylonitrile-butadiene rubber and the epoxy resin react with the phenol resin to cure three-dimensionally by crosslinking. For this reason, since the structure derived from acrylonitrile-butadiene rubber is contained in the skeleton, the structure is easily roughened by the roughening liquid. Therefore, the surface of the insulating layer can be roughened without using mechanical polishing.
【0012】また、請求項2に記載の発明は、請求項1
に記載の放射線重合性絶縁樹脂組成物を用いて層間の絶
縁層を形成してなる多層プリント配線板である。The invention described in claim 2 is the first invention.
A multilayer printed wiring board comprising an interlayer insulating layer formed by using the radiation-polymerizable insulating resin composition described in 1. above.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】まず、放射線重合性絶縁樹脂組成
物について説明する。放射線照射により重合する化合物
としては、放射線照射により重合する化合物を用いるこ
とができ、特に制限はない。照射を簡便に行えることか
ら、紫外線照射により重合する化合物が好ましい。この
ような化合物としては、ウレタンアクリレート、ポリエ
ステルアクリレート、エポキシアクリレート、フタル酸
変性エポキシアクリレートなどが挙げられる。なかでも
絶縁層3の耐熱性の観点からエポキシアクリレートが好
ましい。放射線照射により重合する化合物のほかに、必
要により光重合開始剤を配合する。光重合開始剤として
は、ベンジルジメチルケタールなどのベンジルアルキル
ケタール類、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロ
アンチモネートなどのスルホニウム塩類など公知の光重
合開始剤が挙げられ、特に制限はない。光重合開始剤の
配合量については特に制限はなく、放射線照射により重
合する化合物の種類や量に応じて適宜選定される。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, a radiation polymerizable insulating resin composition will be described. As the compound polymerized by irradiation with radiation, a compound polymerized by irradiation with radiation can be used, and there is no particular limitation. A compound that is polymerized by ultraviolet irradiation is preferable because irradiation can be easily performed. Examples of such a compound include urethane acrylate, polyester acrylate, epoxy acrylate, and phthalic acid-modified epoxy acrylate. Among them, epoxy acrylate is preferred from the viewpoint of the heat resistance of the insulating layer 3. In addition to the compound polymerized by irradiation with radiation, a photopolymerization initiator is blended if necessary. Examples of the photopolymerization initiator include, but are not particularly limited to, known photopolymerization initiators such as benzylalkyl ketals such as benzyldimethyl ketal and sulfonium salts such as triphenylsulfonium hexafluoroantimonate. The blending amount of the photopolymerization initiator is not particularly limited, and is appropriately selected according to the type and amount of the compound to be polymerized by irradiation with radiation.
【0014】エポキシ樹脂としては、公知の多官能エポ
キシ樹脂が挙げられる。例えば、ビスフェノールA型エ
ポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフ
ェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エ
ポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂
環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹
脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型
エポキシ樹脂、イソシアヌレート型エポキシ樹脂などが
挙げられる。これらに臭素などのハロゲンを付加したハ
ロゲン化エポキシ樹脂、水素を付加した水素添加エポキ
シ樹脂であってもよい。これらのエポキシ樹脂は、単独
で用いてもよく、必要に応じて二種類以上組み合わせて
用いてもよい。絶縁層3を難燃化する必要があるときに
は、ハロゲン化エポキシ樹脂例えばブロム化エポキシ樹
脂を配合するのが好ましい。Examples of the epoxy resin include known polyfunctional epoxy resins. For example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, Hydantoin type epoxy resins, isocyanurate type epoxy resins and the like can be mentioned. A halogenated epoxy resin to which halogen such as bromine is added, or a hydrogenated epoxy resin to which hydrogen is added may be used. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more as needed. When it is necessary to make the insulating layer 3 flame-retardant, it is preferable to mix a halogenated epoxy resin, for example, a brominated epoxy resin.
【0015】エポキシ変性アクリロニトリルブタジエン
ゴムは、公知のエポキシ変性アクリロニトリルブタジエ
ンゴムを使用することができ、特に制限はない。エポキ
シ変性アクリロニトリルブタジエンゴムの市販品として
は、大都産業株式会社のDT−8208(商品名)など
を挙げることができる。フェノール樹脂しては、公知の
フェノール樹脂を使用することができ、特に制限はな
い。As the epoxy-modified acrylonitrile-butadiene rubber, known epoxy-modified acrylonitrile-butadiene rubber can be used, and there is no particular limitation. Commercial products of epoxy-modified acrylonitrile butadiene rubber include DT-8208 (trade name) of Daito Sangyo Co., Ltd. As the phenol resin, a known phenol resin can be used, and there is no particular limitation.
【0016】エポキシ樹脂、エポキシ変性アクリロニト
リルブタジエンゴム及びフェノール樹脂は、放射線照射
により重合する化合物100重量部に対して、エポキシ
樹脂20〜60重量部、エポキシ変性アクリロニトリル
ブタジエンゴム5〜30重量部、フェノール樹脂5〜3
0重量部の範囲で配合されるのが好ましい。エポキシ樹
脂が20重量部未満では絶縁層3の絶縁性が低下する傾
向にあり、60重量部を超えると層間接続用孔4の形成
性が悪くなる傾向にある。エポキシ変性アクリロニトリ
ルブタジエンゴムが5重量部未満では第2の回路との密
着性が低下する傾向にあり、30重量部を超えると絶縁
層3を形成するときの作業性が低下する傾向にある。フ
ェノール樹脂が5重量部未満であると層間接続用孔4の
形成性が悪くなる傾向にあり、30重量部を超えると絶
縁層3を粗化液で粗化するときの粗化性が低下する傾向
にある。このことから、放射線照射により重合する化合
物100重量部に対して、エポキシ樹脂25〜40重量
部、エポキシ変性アクリロニトリルブタジエンゴム10
〜25重量部、フェノール樹脂10〜25重量部の範囲
で配合されるのがより好ましい。The epoxy resin, the epoxy-modified acrylonitrile-butadiene rubber and the phenol resin are 20 to 60 parts by weight of the epoxy resin, 5 to 30 parts by weight of the epoxy-modified acrylonitrile-butadiene rubber, and phenol resin based on 100 parts by weight of the compound polymerized by irradiation with radiation. 5-3
It is preferred to be blended in the range of 0 parts by weight. If the epoxy resin is less than 20 parts by weight, the insulating property of the insulating layer 3 tends to decrease, and if it exceeds 60 parts by weight, the formability of the interlayer connection hole 4 tends to deteriorate. If the amount of the epoxy-modified acrylonitrile-butadiene rubber is less than 5 parts by weight, the adhesion to the second circuit tends to decrease, and if it exceeds 30 parts by weight, the workability when forming the insulating layer 3 tends to decrease. If the amount of the phenolic resin is less than 5 parts by weight, the formability of the interlayer connection hole 4 tends to be poor, and if the amount exceeds 30 parts by weight, the roughening property when the insulating layer 3 is roughened with a roughening liquid is reduced. There is a tendency. From this, 25 to 40 parts by weight of the epoxy resin and 10 parts by weight of the epoxy-modified acrylonitrile-butadiene rubber
More preferably, it is blended in a range of from about 25 parts by weight to about 25 parts by weight of the phenol resin.
【0017】これらのほか、機械強度補強のために必要
があるときには、アルミナ、微粉末シリカ、水酸化アル
ミニウム、ケイ酸ジルコニウム、タルクなど無機充填剤
を配合することもできる。In addition, when necessary for reinforcing mechanical strength, inorganic fillers such as alumina, fine powder silica, aluminum hydroxide, zirconium silicate and talc can be blended.
【0018】次に、多層プリント配線板の製造について
工程順に説明する。最初の第1の回路は、金属はく張積
層板に回路加工を施して形成される。ここで用いられる
金属はく張積層板は、公知の金属はく張積層板を使用す
ることができ、特に制限はない。作製しようとする多層
プリント配線板の構成に応じて片面又は両面の金属はく
張積層板が適宜選択して使用される。金属はくとして銅
はくを用いた銅張積層板が使用され、また、耐熱性の観
点からは絶縁基板の材質として、ガラス布基材エポキシ
樹脂を用いるのが好ましい。プリント配線板の分野にお
いては、金属はくとして銅はくを用いた銅張積層板が使
用されるから、以下銅張積層板について説明する。Next, the production of a multilayer printed wiring board will be described in the order of steps. The first first circuit is formed by performing circuit processing on a metal-clad laminate. As the metal-clad laminate used here, a known metal-clad laminate can be used, and there is no particular limitation. A single-sided or double-sided metal-clad laminate is appropriately selected and used depending on the configuration of the multilayer printed wiring board to be manufactured. A copper-clad laminate using copper foil is used as the metal foil, and a glass cloth base epoxy resin is preferably used as the material of the insulating substrate from the viewpoint of heat resistance. In the field of printed wiring boards, copper-clad laminates using copper foil are used as metal foils, and thus copper-clad laminates will be described below.
【0019】銅張積層板に回路加工を施して第1の回路
を形成する方法については、プリント配線板の製造おい
て慣用されている公知の方法によることができ、特に制
限はない。例えば、銅はくをエッチングすることによ
り、絶縁基板2の片面(図1(a)参照)又は両面に第
1の回路1を形成する。The method of forming the first circuit by performing circuit processing on the copper-clad laminate can be a known method commonly used in the manufacture of printed wiring boards, and is not particularly limited. For example, the first circuit 1 is formed on one surface (see FIG. 1A) or both surfaces of the insulating substrate 2 by etching copper foil.
【0020】次に、第1の回路1の表面を粗化する。こ
の工程は、次亜塩素酸ナトリウムのアルカリ水溶液によ
り表面を酸化して酸化銅の針状結晶を形成し、形成した
酸化銅の針状結晶をジメチルアミンボラン水溶液に浸漬
して還元するなど、公知の方法によることができ、特に
制限はない。Next, the surface of the first circuit 1 is roughened. In this step, the surface is oxidized with an alkaline aqueous solution of sodium hypochlorite to form copper oxide needle-like crystals, and the formed copper oxide needle-like crystals are immersed in an aqueous dimethylamine borane solution and reduced. And there is no particular limitation.
【0021】次に、第1の回路1を形成した絶縁基板2
上に放射線重合性絶縁樹脂組成物層3aを形成する(図
1(b)参照)。放射線重合性絶縁樹脂組成物層3aの
形成方法としては、放射線重合性絶縁樹脂組成物のワニ
スをスクリーン印刷、ロールコート、カーテンコートな
どの方法により塗布する方法、放射線重合性絶縁樹脂組
成物をフィルム状又はシート状としておき、これをラミ
ネートして張り合わせる方法などによることがができ
る。また、放射線重合性絶縁樹脂組成物層3aの厚さに
ついては、特に制限はく、通常20〜200μmの範囲
で適宜選択される。Next, the insulating substrate 2 on which the first circuit 1 is formed
The radiation polymerizable insulating resin composition layer 3a is formed thereon (see FIG. 1B). As a method for forming the radiation-polymerizable insulating resin composition layer 3a, a method in which a varnish of the radiation-polymerizable insulating resin composition is applied by a method such as screen printing, roll coating, curtain coating, or the like. Or a sheet shape, and laminating and laminating them. Further, the thickness of the radiation-polymerizable insulating resin composition layer 3a is not particularly limited, and is usually appropriately selected in the range of 20 to 200 μm.
【0022】次に、層間接続用穴4を形成する箇所をマ
スクして放射線重合性絶縁樹脂組成物層3aに放射線照
射を行い、現像して層間接続用穴4を形成する。現像
は、公知の方法によることができ、特に制限はない。例
えば、現像液としてブトキシエタノールなどの水溶性有
機溶剤の10〜50重量%アルカリ水溶液を用い、現像
液をスプレーするか又は現像液に浸漬する方法などが挙
げられる。現像後加熱して放射線重合性絶縁樹脂組成物
層3aの硬化を進めて絶縁層3を形成する(図1(c)
参照)。このときの加熱条件は、放射線重合性絶縁樹脂
組成物層3aが適度に硬化すればよく、特に制限はな
い。Next, the radiation-polymerizable insulating resin composition layer 3a is irradiated with radiation while masking the portion where the interlayer connection hole 4 is to be formed, and is developed to form the interlayer connection hole 4. Development can be performed by a known method, and there is no particular limitation. For example, a method in which a 10 to 50% by weight aqueous alkali solution of a water-soluble organic solvent such as butoxyethanol is used as a developer and the developer is sprayed or immersed in the developer may be used. After the development, heating is performed to advance the curing of the radiation polymerizable insulating resin composition layer 3a to form the insulating layer 3 (FIG. 1 (c)).
reference). The heating condition at this time is not particularly limited as long as the radiation-polymerizable insulating resin composition layer 3a is appropriately cured.
【0023】引き続き粗化液により処理して絶縁層3の
表面を粗化する。絶縁層3表面の粗化は、過マンガン酸
カリのアルカリ溶液に浸漬するなど公知の方法によるこ
とができ、特に制限はない。Subsequently, the surface of the insulating layer 3 is roughened by a treatment with a roughening solution. The surface of the insulating layer 3 can be roughened by a known method such as immersion in an alkali solution of potassium permanganate, and there is no particular limitation.
【0024】次に、塩化第1錫の塩酸水溶液に浸漬し
て、錫イオンを付着させるセンシタイジング処理を行
い、さらに、パラジウムを付着させる増感処理を行う。
増感処理は、パラジウム錯体タイプの増感剤に浸漬する
ことにより行われる。パラジウム錯体タイプの増感剤
は、塩化パラジウム及び塩化パラジウムと反応してパラ
ジウムイオン錯体を形成する錯化剤を主成分とする増感
剤である。錯化剤としては、エチルアミン類、例えば、
モノエチルアミン、ジエチルアミンなど、プロピルアミ
ン類、例えば、イソプロピルアミン、ジイソプロピルア
ミン、プロピルアミンなど、ブチルアミン類、例えば、
t−ブチルアミン、ジイソブチルアミンなどのアミン系
錯化剤、ホルムアミド、ジメチルホルムアミド、ジエチ
ルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルアク
リルアミドなどのアミド系錯化剤などが挙げられる。こ
れらは、単独で使用してもよく、必要により2種類以上
を組み合わせて用いてもよい。Next, the film is immersed in an aqueous solution of stannous chloride in hydrochloric acid to perform a sensitizing treatment for attaching tin ions, and a sensitizing treatment for attaching palladium.
The sensitization treatment is performed by immersion in a palladium complex type sensitizer. The palladium complex type sensitizer is a sensitizer mainly containing palladium chloride and a complexing agent which reacts with palladium chloride to form a palladium ion complex. As complexing agents, ethylamines, for example,
Monoethylamine, diethylamine and the like, propylamines such as isopropylamine, diisopropylamine, propylamine and the like, butylamines such as
Examples include amine complexing agents such as t-butylamine and diisobutylamine, and amide complexing agents such as formamide, dimethylformamide, diethylformamide, dimethylacetamide, and dimethylacrylamide. These may be used alone or, if necessary, in combination of two or more.
【0025】錯化剤及び塩化パラジウムに純水を加え、
さらにアルカリ性とすることによりパラジウム錯体タイ
プの増感剤が得られる。かかるパラジウム錯体タイプの
増感剤は市販品、例えば、日立化成工業株式会社製、H
AS−101(商品名)などを使用することができる。Pure water is added to the complexing agent and palladium chloride,
Further sensitization of a palladium complex type can be obtained by making it more alkaline. Such palladium complex type sensitizers are commercially available products, for example, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd .;
AS-101 (trade name) or the like can be used.
【0026】次に、無電解めっき液に浸漬することによ
り、この上に厚さが0.3〜1.5μmの無電解めっき
を析出させ、さらに電気めっきすることによりめっき層
5を形成する(図1(d)参照)。無電解めっきに使用
する無電解めっき液については、公知の無電解めっき液
を使用することができ、特に制限はない。また、電気め
っきについても公知の方法によることができ、特に制限
はない。Next, by immersing in an electroless plating solution, electroless plating having a thickness of 0.3 to 1.5 μm is deposited thereon, and then electroplated to form a plating layer 5 ( FIG. 1D). As the electroless plating solution used for the electroless plating, a known electroless plating solution can be used, and there is no particular limitation. Also, the electroplating can be performed by a known method, and there is no particular limitation.
【0027】次に、第1の回路1を形成したのと同様の
方法によりめっき層5に回路加工を施すことにより第2
の回路6及び第1の回路1と第2の回路6との層間接続
を形成する(図1(e)参照)。Next, circuit processing is performed on the plating layer 5 by the same method as that for forming the first circuit 1 to form a second circuit.
And the interlayer connection between the first circuit 1 and the second circuit 6 is formed (see FIG. 1E).
【0028】このようにして形成された第2の回路を、
以下第1の回路とみなして第1の回路表面粗化以降の工
程を繰り返すことにより、さらに層数の多い多層プリン
ト配線板を製造できる。The second circuit thus formed is:
Hereinafter, a multilayer printed wiring board having a larger number of layers can be manufactured by repeating the steps after the first circuit surface roughening assuming that the circuit is the first circuit.
【0029】[0029]
【実施例】実施例1 放射線重合性絶縁樹脂組成物の調製 酸無水物付加エポキシアクリレート(酸価72mgKO
H/mg、日本化薬株式会社製、PCR−1050(商
品名)を使用)40部(重量部、以下同じ)、クレゾー
ルノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量198g/
eq、住友化成株式会社製、ESCN−195(商品
名)を使用)45部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂
(エポキシ当量189g/eq、油化シェルエポキシ株
式会社製、EP−828(商品名)を使用)5部、末端
エポキシ変性アクリロニトリルブタジエンゴム(大都産
業株式会社製、DT−8208(商品名)を使用)10
部、o−クレゾールノボラック型フェノール樹脂(群栄
化学工業株式会社製、PSF−2803(商品名)を使
用)10部及びトリフェニルスルホニウムヘキサフルオ
ロアンチモネート(光重合開始剤、ユニオンカーバイド
社製、UVI−6974(商品名)を使用)3部を配合
して放射線重合性絶縁樹脂組成物を調製した。Example 1 Preparation of radiation polymerizable insulating resin composition An acid anhydride-added epoxy acrylate (acid value 72 mg KO)
H / mg, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., using PCR-1050 (trade name), 40 parts (parts by weight, the same applies hereinafter), cresol novolac type epoxy resin (epoxy equivalent: 198 g /
eq, 45 parts of bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent: 189 g / eq, Yuka Shell Epoxy Co., Ltd., EP-828 (trade name) using ESCN-195 (trade name) manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) ) 5 parts, terminal epoxy-modified acrylonitrile butadiene rubber (DT-8208 (trade name) manufactured by Daito Sangyo Co., Ltd.) 10
Parts, 10 parts of o-cresol novolak type phenol resin (PSF-2803 (trade name) manufactured by Gunei Chemical Industry Co., Ltd.) and triphenylsulfonium hexafluoroantimonate (photopolymerization initiator, manufactured by Union Carbide Co., Ltd., UVI -6974 (trade name) was used to prepare a radiation-polymerizable insulating resin composition.
【0030】2層プリント配線板の作製 (a)ガラス布基材エポキシ樹脂片面銅張積層板(銅は
く厚さ18μm、日立化成工業株式会社製、MCL−E
−67(商品名)を使用)にエッチングを行って第1の
回路を形成した。次に、水酸化ナトリウム5g/l及び
次亜塩素酸ナトリウム30g/lの水溶液に70℃で2
分間浸漬して第1の回路の導体表面を酸化し、引き続
き、ジメチルアミンボラン5g/l水溶液(pH=1
3)に1分間浸漬して酸化した前記第1の回路表面を還
元することにより第1の回路表面を粗化した。 (b)次に、第1の回路上に前記で調製した放射線重合
性絶縁樹脂組成物を1−アセトキシ−2−エトキシエタ
ンの70重量%溶液とし、ロールコートにより乾燥後の
厚さが30μmとなるように塗布し、温度70℃で20
分間乾燥した。 (c)次に、層間接続用穴となる箇所をマスクして、露
光量が2000mJ/cm2 となるように紫外線を照
射し、水酸化ナトリウム10重量%、ブトキシエトキシ
エタノール50重量%、残部水からなる現像液を温度3
0℃に加温し、その中に2分間浸漬して現像することに
より層間接続用穴を形成した。続いて温度150℃で1
時間加熱して放射線重合性絶縁樹脂組成物の硬化を進め
て絶縁層を形成した。Preparation of Two-Layer Printed Wiring Board (a) Single-sided copper-clad laminate of glass cloth base epoxy resin (copper foil thickness: 18 μm, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., MCL-E
-67 (trade name) was used to form a first circuit. Next, an aqueous solution containing 5 g / l of sodium hydroxide and 30 g / l of sodium hypochlorite was added at 70 ° C. for 2 hours.
For 1 minute to oxidize the conductor surface of the first circuit, followed by a 5 g / l aqueous solution of dimethylamine borane (pH = 1).
The first circuit surface was roughened by reducing the oxidized first circuit surface by immersion in 3) for 1 minute. (B) Next, the radiation-polymerizable insulating resin composition prepared above was converted into a 70% by weight solution of 1-acetoxy-2-ethoxyethane on the first circuit, and the thickness after drying by roll coating was 30 μm. And apply at 70 ° C for 20
Dried for minutes. (C) Next, a portion to be a hole for interlayer connection is masked and irradiated with ultraviolet rays so that the exposure amount becomes 2000 mJ / cm 2 , 10% by weight of sodium hydroxide, 50% by weight of butoxyethoxyethanol, and the remaining water. The developer consisting of
The mixture was heated to 0 ° C., immersed in the mixture for 2 minutes, and developed to form a hole for interlayer connection. Then at 150 ° C for 1
By heating for a time, the radiation-polymerizable insulating resin composition was cured to form an insulating layer.
【0031】引き続き、純水1リットルについて過マン
ガン酸ナトリウム70g及び水酸化ナトリウム40gの
割合で過マンガン酸ナトリウム及び水酸化ナトリウムを
溶解して粗化液を調製し、この粗化液を60℃に加温し
てその中に5分間浸漬することにより絶縁層表面を粗化
した。 (d)次に、純水1リットルについて塩化第1錫30g
及び濃塩酸300mlの割合で塩化第1錫及び濃塩酸を
溶解した液に3分間浸漬し、次に、パラジウム錯体タイ
プの増感剤(日立化成工業株式会社製、HAS−101
(商品名)を使用)に常温で10分間浸漬し次いで水洗
することによりパラジウム錯体による増感処理を行い、
引き続き、150℃で30分間加熱処理を行った。この
後、無電解銅めっき液(日立化成工業株式会社製、CU
ST−2000(商品名)を使用)に30分間浸漬し、
水洗した後、硫酸銅の電気めっきを行って厚さ20μm
のめっき層を形成した。 (e)温度160℃で1時間加熱することによりめっき
層をアニーリングし、引き続き、エッチングレジスト形
成、エッチング、エッチングレジスト除去の工程を常法
により行うことにより第2の回路及び層間接続を形成し
て2層プリント配線板を作製した。Subsequently, a roughening solution was prepared by dissolving sodium permanganate and sodium hydroxide in a ratio of 70 g of sodium permanganate and 40 g of sodium hydroxide per liter of pure water, and the roughening solution was heated to 60 ° C. The surface of the insulating layer was roughened by heating and immersing it for 5 minutes. (D) Next, 30 g of stannous chloride per liter of pure water
And 300 ml of concentrated hydrochloric acid in a solution of stannous chloride and concentrated hydrochloric acid for 3 minutes, and then a sensitizer of a palladium complex type (HAS-101 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.)
(Using trade name) at room temperature for 10 minutes, followed by rinsing with water to perform a sensitization treatment with a palladium complex.
Subsequently, heat treatment was performed at 150 ° C. for 30 minutes. Thereafter, an electroless copper plating solution (CU, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.)
ST-2000 (trade name)) for 30 minutes,
After washing with water, electroplating copper sulfate to a thickness of 20 μm
Was formed. (E) The plating layer is annealed by heating at a temperature of 160 ° C. for 1 hour, and then the steps of forming an etching resist, etching and removing the etching resist are performed by a conventional method to form a second circuit and an interlayer connection. A two-layer printed wiring board was produced.
【0032】実施例2 酸無水物付加エポキシアクリレート(実施例1と同じも
の)40部、ブロム化ノボラック型エポキシ樹脂(日本
化薬株式会社製、BREN−105(商品名)を使用)
45部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(実施例1と
同じもの)5部、末端エポキシ変性アクリロニトリルブ
タジエンゴム(実施例1と同じもの)15部、o−クレ
ゾールノボラック型フェノール樹脂(実施例1と同じも
の)15部及びトリフェニルスルホニウムヘキサフルオ
ロアンチモネート(実施例1と同じもの)3部を配合し
て放射線重合性絶縁樹脂組成物を調製した。以下実施例
1と同様にして2層プリント配線板を作製した。Example 2 40 parts of an acid anhydride-added epoxy acrylate (same as in Example 1), brominated novolak type epoxy resin (using BREN-105 (trade name) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
45 parts, bisphenol A type epoxy resin (same as in Example 1) 5 parts, terminal epoxy-modified acrylonitrile butadiene rubber (same as in Example 1) 15 parts, o-cresol novolac type phenol resin (same as Example 1) 15) and 3 parts of triphenylsulfonium hexafluoroantimonate (same as in Example 1) were blended to prepare a radiation-polymerizable insulating resin composition. Thereafter, a two-layer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1.
【0033】実施例3 酸無水物付加エポキシアクリレート(実施例1と同じも
の)40部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エ
ポキシ当量220g/eq、旭電化工業株式会社製、K
RM−2650(商品名)を使用)40部、ビスフェノ
ールA型エポキシ樹脂(実施例1と同じもの)7部、末
端エポキシ変性アクリロニトリルブタジエンゴム(実施
例1と同じもの)20部、レゾール樹脂(日立化成工業
株式会社製、HP−180R((商品名)を使用)10
部及びトリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチ
モネート(実施例1と同じもの)3部を配合して放射線
重合性絶縁樹脂組成物を調製した。以下実施例1と同様
にして2層プリント配線板を作製した。Example 3 40 parts of an acid anhydride-added epoxy acrylate (same as in Example 1) and a cresol novolak type epoxy resin (epoxy equivalent: 220 g / eq, manufactured by Asahi Denka Kogyo KK, K
40 parts of RM-2650 (trade name), 7 parts of bisphenol A type epoxy resin (same as in Example 1), 20 parts of acrylonitrile butadiene rubber modified with terminal epoxy (same as in Example 1), resole resin (Hitachi) HP-180R ((trade name) used) manufactured by Kasei Kogyo Co., Ltd. 10
Parts and 3 parts of triphenylsulfonium hexafluoroantimonate (the same as in Example 1) were blended to prepare a radiation-polymerizable insulating resin composition. Thereafter, a two-layer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1.
【0034】実施例4 酸無水物付加エポキシアクリレート(実施例1と同じも
の)40部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(実
施例3と同じもの)55部、ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂(実施例1と同じもの)5部、末端エポキシ変性
アクリロニトリルブタジエンゴム(実施例1と同じも
の)20部、レゾール樹脂(実施例3と同じもの)15
部及びトリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチ
モネート(実施例1と同じもの)3部を配合して放射線
重合性絶縁樹脂組成物を調製した。以下実施例1と同様
にして2層プリント配線板を作製した。Example 4 40 parts of an acid anhydride-added epoxy acrylate (the same as in Example 1), 55 parts of a cresol novolak type epoxy resin (the same as in Example 3), and bisphenol A type epoxy resin (the same as in Example 1) 5 parts, terminal epoxy-modified acrylonitrile butadiene rubber (same as in Example 1) 20 parts, resole resin (same as in Example 3) 15
Parts and 3 parts of triphenylsulfonium hexafluoroantimonate (the same as in Example 1) were blended to prepare a radiation-polymerizable insulating resin composition. Thereafter, a two-layer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1.
【0035】実施例5 酸無水物付加エポキシアクリレート(実施例1と同じも
の)40部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(実
施例3と同じもの)55部、ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂(実施例1と同じもの)5部、末端エポキシ変性
アクリロニトリルブタジエンゴム(実施例1と同じも
の)15部、レゾール樹脂(実施例3と同じもの)10
部及びトリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチ
モネート(実施例1と同じもの)3部を配合して放射線
重合性絶縁樹脂組成物を調製した。以下実施例1と同様
にして2層プリント配線板を作製した。Example 5 40 parts of an acid anhydride-added epoxy acrylate (the same as in Example 1), 55 parts of a cresol novolak type epoxy resin (the same as in Example 3), and bisphenol A type epoxy resin (the same as in Example 1) 5 parts, epoxy-terminated acrylonitrile butadiene rubber (same as in Example 1) 15 parts, resole resin (same as in Example 3) 10
Parts and 3 parts of triphenylsulfonium hexafluoroantimonate (the same as in Example 1) were blended to prepare a radiation-polymerizable insulating resin composition. Thereafter, a two-layer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1.
【0036】実施例6 酸無水物付加エポキシアクリレート(実施例1と同じも
の)40部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(実
施例3と同じもの)40部、ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂(実施例1と同じもの)10部、末端エポキシ変
性アクリロニトリルブタジエンゴム(実施例1と同じも
の)25部、レゾール樹脂(実施例3と同じもの)20
部及びトリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチ
モネート(実施例1と同じもの)3部を配合して放射線
重合性絶縁樹脂組成物を調製した。以下実施例1と同様
にして2層プリント配線板を作製した。Example 6 40 parts of an acid anhydride-added epoxy acrylate (the same as in Example 1), 40 parts of a cresol novolak type epoxy resin (the same as in Example 3), and bisphenol A type epoxy resin (the same as in Example 1) 10 parts, terminal epoxy-modified acrylonitrile butadiene rubber (same as in Example 1) 25 parts, resole resin (same as in Example 3) 20
Parts and 3 parts of triphenylsulfonium hexafluoroantimonate (the same as in Example 1) were blended to prepare a radiation-polymerizable insulating resin composition. Thereafter, a two-layer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1.
【0037】比較例1 o−クレゾールノボラック型エポキシアクリレート(エ
ポキシ当量190g/eq、新中村化学株式会社製、E
A−4400(商品名)を使用)80部、末端カルボン
酸変性アクリロニトリルブタジエンゴム(日本合成ゴム
株式会社製、PNR−1H(商品名)を使用)20部、
末端カルボン酸変性架橋アクリロニトリルブタジエンゴ
ム(日本合成ゴム株式会社製、XER−91(商品名)
を使用)5部、レゾール樹脂(実施例3と同じもの)1
5部、アルキルフェノール樹脂(日立化成工業株式会社
製、H−2400(商品名)を使用)3部及びベンジル
ジメチルケタール(光重合開始剤、チバガイギー社製、
I−651(商品名)を使用)7部を配合して放射線重
合性絶縁樹脂組成物を調製した。以下実施例1と同様に
して2層プリント配線板を作製した。Comparative Example 1 o-cresol novolak type epoxy acrylate (epoxy equivalent 190 g / eq, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., E
A-4400 (trade name)) 80 parts, terminal carboxylic acid-modified acrylonitrile butadiene rubber (Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd., use PNR-1H (trade name)) 20 parts,
Crosslinked acrylonitrile butadiene rubber modified with terminal carboxylic acid (XER-91 (trade name) manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.)
5 parts, resole resin (same as in Example 3) 1
5 parts, alkylphenol resin (H-2400 (trade name) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., 3 parts) and benzyl dimethyl ketal (photopolymerization initiator, manufactured by Ciba Geigy,
A radiation polymerizable insulating resin composition was prepared by mixing 7 parts of I-651 (trade name). Thereafter, a two-layer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1.
【0038】比較例2 比較例1で調製した放射線重合性絶縁樹脂組成物を用
い、工程(c)において、粗化液による粗化の前にバフ
ロール研磨を追加して行ったほかは実施例1と同様にし
て2層プリント配線板を作製した。Comparative Example 2 The radiation-polymerizable insulating resin composition prepared in Comparative Example 1 was used, and in step (c), baffle polishing was additionally performed before roughening with a roughening solution. In the same manner as in the above, a two-layer printed wiring board was produced.
【0039】比較例3 o−クレゾールノボラック型エポキシアクリレート(比
較例1と同じもの)40部、酸無水物付加エポキシアク
リレート(実施例1と同じもの)40部、末端カルボン
酸変性アクリロニトリルブタジエンゴム(比較例1と同
じもの)20部、末端カルボン酸変性架橋アクリロニト
リルブタジエンゴム(比較例1と同じもの)5部、レゾ
ール樹脂(実施例3と同じもの)15部、アルキルフェ
ノール樹脂(比較例1と同じもの)3部、ベンジルジメ
チルケタール(比較例1と同じもの)7部及び水酸化ア
ルミニウム(昭和電工株式会社製、H−42M(商品
名)を使用)10部を配合して放射線重合性絶縁樹脂組
成物を調製した。以下実施例1と同様にして2層プリン
ト配線板を作製した。Comparative Example 3 40 parts of o-cresol novolac type epoxy acrylate (same as Comparative Example 1), 40 parts of acid anhydride-added epoxy acrylate (same as Example 1), acrylonitrile butadiene rubber modified with carboxylic acid terminal (comparative) 20 parts of the same as in Example 1, 20 parts of a terminal carboxylic acid-modified crosslinked acrylonitrile butadiene rubber (the same as in Comparative Example 1), 15 parts of a resole resin (the same as in Example 3), and an alkylphenol resin (the same as in Comparative Example 1) 3), 7 parts of benzyldimethyl ketal (same as in Comparative Example 1) and 10 parts of aluminum hydroxide (H-42M (trade name) manufactured by Showa Denko KK) were mixed to form a radiation-polymerizable insulating resin composition. Was prepared. Thereafter, a two-layer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1.
【0040】比較例4 比較例3で調製した放射線重合性絶縁樹脂組成物を用
い、工程(c)において、粗化液による粗化の前にバフ
ロール研磨を追加して行ったほかは実施例1と同様にし
て2層プリント配線板を作製した。COMPARATIVE EXAMPLE 4 The procedure of Example 1 was repeated except that the radiation-polymerizable insulating resin composition prepared in Comparative Example 3 was used, and in step (c), buffling was additionally performed before roughening with a roughening solution. In the same manner as in the above, a two-layer printed wiring board was produced.
【0041】実施例1、2、3、4、5及び6並びに比
較例1、2、3及び4において、工程(d)の前に、絶
縁層表面の状態を調べた。その結果、比較例1及び3に
ついては粗化むらがあり、それ以外については均一に粗
化されていることが確認された。また、比較例2及び4
については、均一に粗化されているものの、絶縁層表面
に研磨傷があることが確認された。In Examples 1, 2, 3, 4, 5, and 6 and Comparative Examples 1, 2, 3, and 4, the state of the surface of the insulating layer was examined before step (d). As a result, it was confirmed that the samples of Comparative Examples 1 and 3 had unevenness in roughness, and the other samples were uniformly roughened. Comparative Examples 2 and 4
It was confirmed that the surface of the insulating layer had polishing scratches, though the surface was uniformly roughened.
【0042】次に、以上で作製した2層プリント配線板
について、微細配線の形成性、めっきピール強度、はん
だ耐熱性、層間絶縁抵抗(第1の回路と第2の回路間の
層間絶縁抵抗)及び解像度を調べた。その結果を表1及
び表2に示す。Next, with respect to the two-layer printed wiring board manufactured as described above, fine wiring formability, plating peel strength, solder heat resistance, and interlayer insulation resistance (interlayer insulation resistance between the first circuit and the second circuit) And resolution. The results are shown in Tables 1 and 2.
【0043】試験方法は以下の通りとした。 微細配線形成性:第2の回路の一部にライン幅50μm
の回路を50μm間隔で形成し、この部分について金属
顕微鏡を用いて観察して断線の有無を調べた。表1及び
表2において、○は断線なし、×は断線ありを意味す
る。 めっきピール強度(単位;kN/m):第2の回路の一
部として幅10mm、長さ100mmの部分を形成し、
この部分の一端をつかみ具でつかみ、引っ張り方向が第
2の回路面と垂直になるようにして約50mmはがした
ときの荷重を測定した。 はんだ耐熱性(単位;秒):260℃に保持されたはん
だ槽に50mm角の試験片3枚を浮かべ、ふくれを生ず
るまでの時間を測定した。なお、表1及び表2におい
て、例えば、>60とあるのは、ふくれを生じなかった
ため60秒で試験を打ち切ったことを示す。 層間絶縁抵抗(単位;10GΩ):層間接続部が含まれ
ないように切り取った試験片を用いて、第1の回路と第
2の回路間の絶縁抵抗値を測定した。 解像度(単位;μm):直径50〜150μmで、10
μm毎に大きさを変えた円形黒丸をマスクとして用い、
層間絶縁用穴を形成可能であったマスクのうちの最小の
直径を解像度とした。The test method was as follows. Fine wiring formability: 50 μm line width on part of the second circuit
Were formed at intervals of 50 μm, and this portion was observed using a metallographic microscope to check for disconnection. In Tables 1 and 2, ○ means no disconnection and × means disconnection. Plating peel strength (unit: kN / m): forming a portion having a width of 10 mm and a length of 100 mm as a part of the second circuit,
One end of this part was gripped with a gripper, and the load was measured when the piece was peeled off by about 50 mm so that the pulling direction was perpendicular to the second circuit surface. Solder heat resistance (unit: seconds): Three 50 mm square test pieces were floated in a solder bath maintained at 260 ° C., and the time required for blistering was measured. In Tables 1 and 2, for example, ">60" indicates that the test was terminated in 60 seconds because no blister occurred. Interlayer insulation resistance (unit: 10 GΩ): The insulation resistance between the first circuit and the second circuit was measured using a test piece cut out so as not to include an interlayer connection part. Resolution (unit: μm): 10 to 50 μm in diameter
Using a circular black circle with a size changed for each μm as a mask,
The resolution was defined as the smallest diameter of the mask that could form the interlayer insulating hole.
【0044】[0044]
【表1】 [Table 1]
【0045】[0045]
【表2】 [Table 2]
【0046】表1及び表2から、実施例1〜6では、層
間絶縁抵抗微細配線形成性がいずれも比較例1〜4より
も良好であること、めっきピール強度及はんだ耐熱性が
機械的研磨であるバフロール研磨を用いた比較例2及と
同等であることが示される。From Tables 1 and 2, it can be seen that in Examples 1 to 6, the inter-layer insulation resistance and fine wiring formability were all better than Comparative Examples 1 to 4, and the plating peel strength and solder heat resistance were mechanically polished. It is shown to be equivalent to Comparative Examples 2 and 3 using baffle polishing.
【0047】[0047]
【発明の効果】本発明になる放射線重合性絶縁樹脂組成
物によれば、絶縁抵抗が高い絶縁層を形成することがで
き、機械的研磨手段を併用することなく粗化可能な絶縁
層を形成することができるため微細配線形成に支障がな
くなる。また、本発明になる多層プリント配線板は、絶
縁層の絶縁抵抗が高く、高密度配線が可能である。According to the radiation polymerizable insulating resin composition of the present invention, an insulating layer having a high insulation resistance can be formed, and an insulating layer which can be roughened without using mechanical polishing means is formed. Therefore, there is no problem in forming the fine wiring. Further, the multilayer printed wiring board according to the present invention has a high insulation resistance of the insulating layer, and enables high-density wiring.
【図1】(a)、(b)、(c)、(d)、(e)の順
に工程による形態の変化を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a change in form according to a process in the order of (a), (b), (c), (d) and (e).
1 第1の回路 2 絶縁基板 3a 放射線重合性絶縁樹脂組成物層 3 絶縁層 4 層間接続用穴 5 めっき層 6 第2の回路 REFERENCE SIGNS LIST 1 first circuit 2 insulating substrate 3 a radiation-polymerizable insulating resin composition layer 3 insulating layer 4 interlayer connection hole 5 plating layer 6 second circuit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // C08L 9/02 C08L 9/02 63/00 63/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI theme coat ゛ (reference) // C08L 9/02 C08L 9/02 63/00 63/00
Claims (2)
キシ樹脂、エポキシ変性アクリロニトリルブタジエンゴ
ム及びフェノール樹脂を必須成分として含んでなる放射
線重合性絶縁樹脂組成物。1. A radiation-polymerizable insulating resin composition comprising, as essential components, a compound polymerizable by irradiation with radiation, an epoxy resin, an epoxy-modified acrylonitrile-butadiene rubber, and a phenol resin.
組成物を用いて層間の絶縁層を形成してなる多層プリン
ト配線板。2. A multilayer printed wiring board comprising an interlayer insulating layer formed by using the radiation-polymerizable insulating resin composition according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10267593A JP2000096022A (en) | 1998-09-22 | 1998-09-22 | Radiation-polymerizable electrical insulating resin composition and multilayer printed wiring board |
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|---|---|---|---|
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| JP10267593A Pending JP2000096022A (en) | 1998-09-22 | 1998-09-22 | Radiation-polymerizable electrical insulating resin composition and multilayer printed wiring board |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP2000096022A (en) |
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