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JP2000094673A - Ink jet recording device - Google Patents

Ink jet recording device

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Publication number
JP2000094673A
JP2000094673A JP26909198A JP26909198A JP2000094673A JP 2000094673 A JP2000094673 A JP 2000094673A JP 26909198 A JP26909198 A JP 26909198A JP 26909198 A JP26909198 A JP 26909198A JP 2000094673 A JP2000094673 A JP 2000094673A
Authority
JP
Japan
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ink
electrode
ink jet
nozzle
diaphragm
Prior art date
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Application number
JP26909198A
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Japanese (ja)
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JP3656800B2 (en
Inventor
Takashi Kimura
隆 木村
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14314Structure of ink jet print heads with electrostatically actuated membrane
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14491Electrical connection

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電極とプリント基板を接続する導電性材料が
はみ出して導電性の部材に接触する。 【解決手段】 プリント基板25と個別電極21とを接
続した後の異方導電性膜26がプリント基板25の端部
より内側に位置するようにした。
(57) Abstract: A conductive material for connecting an electrode and a printed circuit board protrudes and comes into contact with a conductive member. SOLUTION: An anisotropic conductive film 26 after connecting a printed board 25 and an individual electrode 21 is located inside an end of the printed board 25.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はインクジェット記録装置
に関し、特にインクジェットヘッドとプリント基板との
接続部を保護するようにしたインクジェット記録装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording apparatus, and more particularly to an ink jet recording apparatus for protecting a connection between an ink jet head and a printed circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の
画像記録装置として用いるインクジェット記録装置にお
いて使用するインクジェットヘッドは、インク滴を吐出
するノズル孔と、このノズル孔が連通する吐出室(圧力
室、加圧液室、液室、インク流路等とも称される。)
と、この吐出室内のインクを加圧するエネルギーを発生
するエネルギー発生手段とを備えて、エネルギー発生手
段を駆動することで吐出室内インクを加圧してノズル孔
からインク滴を吐出させるものであり、記録の必要なと
きにのみインク滴を吐出するインク・オン・デマンド方
式のものが主流である。そして、インク滴(記録液体)
の発生方法及び飛翔方向を制御するための制御方法によ
り、幾つかの方式に大別される。
2. Description of the Related Art An ink jet head used in an ink jet recording apparatus used as an image recording apparatus such as a printer, a facsimile, a copying machine, etc. has a nozzle hole for discharging ink droplets and a discharge chamber (pressure chamber, pressure chamber, etc.) communicating with the nozzle hole. Also referred to as a pressure liquid chamber, a liquid chamber, an ink flow path, etc.)
And an energy generating means for generating energy for pressurizing the ink in the discharge chamber, and driving the energy generating means to pressurize the ink in the discharge chamber to discharge ink droplets from the nozzle holes. The ink-on-demand type which discharges ink droplets only when necessary is the mainstream. And ink drops (recording liquid)
Are roughly classified into several types according to the generation method of the phenomena and the control method for controlling the flight direction.

【0003】第1の方式は、例えば米国特許第3060
429号明細書に開示されているものである。これは、
Tele type方式と称され、インク滴の発生を静電吸引的
に行い、発生したインク滴を記録信号に応じて電界制御
し、被記録体上にこのインク滴を選択的に付着させて記
録を行うものである。
[0003] The first method is disclosed, for example, in US Patent No. 3060.
No. 429. this is,
This is called the Tele type system, and ink droplets are generated by electrostatic attraction, the generated ink droplets are subjected to electric field control according to a recording signal, and the ink droplets are selectively attached to a recording medium to perform recording. Is what you do.

【0004】より詳細には、ノズルと加速電極間に電界
をかけて、一様に帯電したインク滴をノズルより吐出さ
せ、吐出したインク滴を記録信号に応じて電気制御可能
なように構成されたXY偏向電極間を飛翔させ、電界の
強度変化によって選択的にインク滴を被記録体上に付着
させるものである。
More specifically, an electric field is applied between the nozzle and the accelerating electrode to discharge uniformly charged ink droplets from the nozzles, and the discharged ink droplets can be electrically controlled in accordance with a recording signal. In this case, the ink droplets are caused to fly between the XY deflection electrodes, and ink droplets are selectively deposited on the recording medium by a change in the intensity of the electric field.

【0005】第2の方式は、例えば米国特許第3596
275号明細書、米国特許第3298030号明細書等
に開示されているものである。これは、Sweet方式と称
され、連続振動発生法により帯電量の制御されたインク
滴を発生させ、この帯電量の制御されたインク滴を、一
様電界がかけられている偏向電極間を飛翔させて、被記
録体上に記録を行わせるものである。
The second method is disclosed in, for example, US Pat.
No. 275, U.S. Pat. No. 3,298,030, and the like. This is called the Sweet method, in which ink droplets having a controlled charge amount are generated by a continuous vibration generation method, and the ink droplets having the controlled charge amount fly between deflection electrodes to which a uniform electric field is applied. Thus, recording is performed on the recording medium.

【0006】具体的には、ピエゾ振動素子の付設されて
いる記録ヘッドを構成する一部であるノズルのオリフイ
ス(吐出口)の前に記録信号が印加されるようにした帯電
電極を所定距離離間させて配置し、前記ピエゾ振動素子
に一定周波数の電気信号を印加することでピエゾ振動素
子を機械的に振動させ、オリフィスよりインク滴を吐出
させる。この時、吐出するインク滴には帯電電極により
電荷が静電誘導され、インク滴は記録信号に応じた電荷
量で帯電される。帯電量の制御されたインク滴は、一定
電界が一様にかけられている偏向電極間を飛翔する時
に、付加された帯電量に応じて偏向を受け、記録信号を
担うインク滴のみが被記録体上に付着することになる。
More specifically, a charging electrode, to which a recording signal is applied, is separated by a predetermined distance from an orifice (ejection port) of a nozzle, which is a part of a recording head provided with a piezoelectric vibrating element. The piezo-vibration element is mechanically vibrated by applying an electric signal of a constant frequency to the piezo-vibration element, and ink droplets are ejected from the orifice. At this time, a charge is electrostatically induced in the discharged ink droplet by the charging electrode, and the ink droplet is charged with a charge amount according to the recording signal. The ink droplet whose charge amount is controlled is deflected according to the added charge amount when flying between the deflecting electrodes to which a constant electric field is uniformly applied, and only the ink droplet carrying the recording signal is recorded on the recording medium. Will adhere to the top.

【0007】第3の方式は、例えば米国特許第3416
153号明細書に開示されているものである。これは、
Hertz方式と称され、ノズルとりング状の帯電電極間に
電界をかけ、連続振動発生法によって、インク滴を発生
霧化させて記録する方式である。すなわち、ノズルと帯
電電極間にかける電界強度を記録信号に応じて変調する
ことによりインク滴の霧化状態を制御し、記録画像の階
調性を出して記録させるものである。
A third method is disclosed in, for example, US Pat.
No. 153 specification. this is,
This is a method called the Hertz method, in which an electric field is applied between the charging electrodes in the form of nozzles, and ink droplets are generated and atomized by a continuous vibration generation method for recording. That is, the intensity of the electric field applied between the nozzle and the charging electrode is modulated in accordance with the recording signal to control the atomization state of the ink droplets, and the image is recorded with the gradation of the recorded image.

【0008】第4の方式は、例えば米国特許第3747
120号明細書に開示されているものである。これは、
Stemme方式と称され、上記第1〜3の方式とは根本的
に原理が異なるものである。すなわち、第1〜3の方式
が、いずれもノズルより吐出されたインク滴を、飛翔し
ている途中で電気的に制御し、記録信号を担ったインク
滴を選択的に被記録体上に付着させて記録を行わせるの
に対し、このStemme方式では、記録信号に応じて吐出
口よりインク滴を吐出飛翔させて記録するものである。
The fourth method is disclosed in, for example, US Pat.
No. 120 is disclosed. this is,
It is called the Stemme system, and its principle is fundamentally different from the first to third systems. That is, all of the first to third systems electrically control ink droplets ejected from nozzles during flight, and selectively deposit ink droplets carrying a recording signal on a recording medium. On the other hand, in the Stemme method, ink droplets are ejected and ejected from ejection ports in accordance with a recording signal to perform recording.

【0009】つまり、Stemme方式は、記録液体を吐出
する吐出口を有する記録ヘッドに付設されているピエゾ
振動素子に、電気的な記録信号を印加してピエゾ振動素
子の機械的振動に変え、この機械的振動に従い吐出口よ
りインク滴を吐出飛翔させて被記録体に付着させるもの
である。
In other words, in the Stemme method, an electric recording signal is applied to a piezoelectric vibrating element attached to a recording head having a discharge port for discharging a recording liquid to change the vibration into mechanical vibration of the piezoelectric vibrating element. Ink droplets are ejected and ejected from ejection ports in accordance with mechanical vibration and adhere to a recording medium.

【0010】これらの4方式は、各々に特長を有する
が、同時に、不利な点もある。先ず、第1〜第3の方式
は、インク滴を発生させるための直接的エネルギーが電
気的エネルギーであり、かつ、インク滴の偏向制御も電
界制御による。したがって、第1の方式は、構成上はシ
ンプルであるが、小滴の発生に高電圧を要し、かつ、記
録ヘッドのマルチノズル化が困難で高速記録には不向き
である。
[0010] Each of these four methods has its own features, but at the same time, has disadvantages. First, in the first to third systems, direct energy for generating ink droplets is electric energy, and deflection control of ink droplets is also performed by electric field control. Therefore, the first method is simple in configuration, but requires a high voltage to generate small droplets, and it is difficult to use a multi-nozzle recording head, and is not suitable for high-speed recording.

【0011】また、第2の方式は、記録ヘッドのマルチ
ノズル化が可能で高速記録に向くが、構成上複雑であ
り、かつ、インク滴の電気的制御が高度で困難であり、
被記録体上にサテライトドットが生じやすい。第3の方
式は、インク滴を霧化することにより階調性に優れた記
録が可能ではあるが、他方、霧化状態の制御が困難であ
る。また、記録画像にカブリが生じたり、記録ヘッドの
マルチノズル化が困難で高速記録には不向きであるとい
った不利な点がある。
In the second method, the recording head can be multi-nozzle, and is suitable for high-speed recording. However, the configuration is complicated, and electrical control of ink droplets is advanced and difficult.
Satellite dots easily occur on the recording medium. The third method enables recording with excellent gradation by atomizing ink droplets, but it is difficult to control the atomized state. In addition, there are disadvantages such as fogging of a recorded image and difficulty in multi-nozzle recording head, which is not suitable for high-speed recording.

【0012】一方、第4の方式は、比較的多くの利点を
持っている。つまり、まず、構成が簡単であり、また、
オンデマンドでインク滴をノズルより吐出させて記録を
行うために、第1〜第3の方式のように吐出飛翔するイ
ンク滴の、画像記録に要しなかったインク滴を回収する
必要がない。さらに、第1、2の方式のように、導電性
のインクを使用する必要はなく、インクの物質上の選択
自由度が大きい。
On the other hand, the fourth method has relatively many advantages. That is, first, the configuration is simple,
Since the recording is performed by discharging the ink droplets from the nozzles on demand, it is not necessary to collect the ink droplets which are not required for image recording, as in the first to third systems. Further, unlike the first and second systems, it is not necessary to use a conductive ink, and the degree of freedom in selecting the material of the ink is large.

【0013】しかしながら、所望の共振周波数を有する
ピエゾ振動素子の小型化が極めて困難である等の理由か
ら、記録ヘッドのマルチノズル化が難しい。また、ピエ
ゾ振動素子の機械的振動という機械的エネルギーによっ
てインク滴の吐出飛翔を行わせるために、上記のマルチ
ノズル化の困難さと相俟って、高速記録には不向きのも
のとなっている。
However, it is difficult to make the recording head multi-nozzle because it is extremely difficult to reduce the size of the piezoelectric vibrating element having a desired resonance frequency. Further, since the ink droplets are ejected and fly by the mechanical energy of the mechanical vibration of the piezo-vibration element, it is not suitable for high-speed printing in combination with the difficulty of the multi-nozzle described above.

【0014】そこで、例えば特開昭56−9429号公
報に開示されているように、液室内のインクを加熱して
気泡を発生させて、インクに圧力上昇を生じさせ、微細
な毛細管ノズルからインクを吐出させる方式や特公昭6
1−59914号公報に開示されているように、液体を
所定の方向に吐出させるための吐出口に連通する液路中
の液体の一部を熱して膜沸騰を生起させることにより、
吐出口より吐出される液体の飛翔的液滴を形成し、この
液滴を被記録体に付着させて記録させるものなどがあ
る。
Therefore, as disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-9429, the ink in the liquid chamber is heated to generate air bubbles, causing a rise in the pressure of the ink. And Japanese Patent Publication 6
As disclosed in Japanese Patent Application Publication No. 1-59914, by heating a part of the liquid in a liquid passage communicating with a discharge port for discharging a liquid in a predetermined direction to cause film boiling,
There is a method of forming a flying droplet of liquid ejected from an ejection port and attaching the droplet to a recording medium to perform recording.

【0015】この方式の記録ヘッドは、特公昭62−5
9672号公報に記載されているように、基板上の所定
位置にインクに液摘発生のためのエネルギーを与えるエ
ネルギー発生手段としての発熱素子、圧電素子等の能動
素子を複数個固定的に設置した後(電極は適宜形成され
る)、基板表面に所定厚さで感光性組成物層を塗布法等
により形成し、通常のフオトリソグラフイー法により、
オリフィス部、作用部、インク供給路部、インク吐出路
部等のインク流路を形成するためのインク流路溝を形成
し、この後、上蓋を接合させて記録ヘッドを製造するよ
うにしている。
A recording head of this type is disclosed in Japanese Patent Publication No. 62-5 / 1987.
As described in Japanese Patent No. 9672, a plurality of active elements such as a heating element and a piezoelectric element are fixedly provided at predetermined positions on a substrate as energy generating means for applying energy for ink picking to ink. After (electrodes are appropriately formed), a photosensitive composition layer is formed at a predetermined thickness on the substrate surface by a coating method or the like, and a usual photolithography method is used.
An ink flow path groove for forming an ink flow path such as an orifice section, an action section, an ink supply path section, and an ink discharge path section is formed, and thereafter, an upper lid is joined to manufacture a recording head. .

【0016】このようにフオトリソ技術を用いることに
より、高密度化が可能となるが、インクの中で発熱体を
高温に発熱させること、さらには気泡を瞬間的に膨張・
消滅させるため、その熱ストレスや、衝撃で発熱体が劣
化しやすく、また、発熱体が直接インクに接触するため
に、使用できるインクの自由度が少ないという欠点があ
る。
By using the phototriso technology in this way, it is possible to increase the density, but it is necessary to heat the heating element to a high temperature in the ink, and to instantaneously expand and expand bubbles.
The heating element is easily deteriorated due to the heat stress or the impact due to the disappearance, and the heating element is in direct contact with the ink, so that the degree of freedom of the usable ink is small.

【0017】これらの問題点を解決し、しかもフオトリ
ソ技術の使用による高密度化を実現するものとして、特
開平4−52214号公報、特開平3−293141号
公報などに記載されているように、シリコン基板からな
る第1の基板(振動板基板)にエッチングによって液室
とこの液室の一壁面を形成する振動板とを形成し、この
第1の基板の下側に電極を形成した第2の基板(電極基
板)を配置して、振動板に所定ギャップを置いて電極を
対向させ、振動板と電極間に電圧を印加することで、静
電力によって振動板を撓ませて液室の内容積を変化させ
て液室に連通するノズルからインク滴を吐出させる静電
型インクジェットヘッドが知られている。
As a technique for solving these problems and realizing high density by using the phototriso technology, as described in JP-A-4-52214, JP-A-3-293141 and the like, A second substrate in which a liquid chamber and a diaphragm forming one wall surface of the liquid chamber are formed by etching on a first substrate (diaphragm substrate) made of a silicon substrate, and an electrode is formed below the first substrate. The substrate (electrode substrate) is placed, the electrodes are opposed to each other with a predetermined gap between the diaphragms, and a voltage is applied between the diaphragms and the electrodes. 2. Description of the Related Art An electrostatic inkjet head that changes the product and ejects ink droplets from nozzles communicating with a liquid chamber is known.

【0018】この静電型インクジェットヘッドの電極
(個別電極)に駆動波形を印加するための構成として
は、例えば特開平7−246706号公報に記載されて
いるように、インクジェットヘッドの個別電極とプリン
ト板とを異方導電性膜で接続するものが知られている。
As a configuration for applying a drive waveform to the electrodes (individual electrodes) of the electrostatic ink jet head, for example, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. There is known one in which a plate is connected with an anisotropic conductive film.

【0019】[0019]

【発明が解決しようとする課題】上述したような電極基
板上に振動板基板を設けた静電型インクジェットヘッド
にあっては、電極の取り出しのために電極基板を振動板
基板より大きく形成し、電極基板上の電極を振動板基板
より外側に延設して電極取り出し部とし、この電極取り
出し部とプリント基板とを上述した異方性導電膜或いは
ハンダなどの導電性材料を介して接続することになる。
In an electrostatic ink jet head having a diaphragm substrate provided on an electrode substrate as described above, the electrode substrate is formed larger than the diaphragm substrate for taking out electrodes. An electrode on the electrode substrate is extended outside the diaphragm substrate to form an electrode extraction portion, and the electrode extraction portion is connected to the printed board via the above-described conductive material such as an anisotropic conductive film or solder. become.

【0020】この場合、異方導電性膜やハンダなどの導
電性材料がプリント基板と電極とを接続するときにはみ
出して、振動板や隣接電極間に接触したり、極めて近接
することになる。ところが、特に、振動板の変位方向が
インク滴吐出方向に一致するいわゆるサイドシュータ方
式の静電型インクジェットヘッドの場合にあっては、電
極基板の個別電極を形成する電極形成面はノズル面と同
方向の面になり、しかも、ヘッドの小型化に従って電極
形成面とノズル面とが近接するので、電極とプリント基
板との接続部がノズル面に極めて近接した状態にある。
In this case, a conductive material such as an anisotropic conductive film or solder protrudes when connecting the printed circuit board and the electrode, and comes into contact with the diaphragm or the adjacent electrode or comes very close to each other. However, in particular, in the case of a so-called side shooter type electrostatic inkjet head in which the displacement direction of the diaphragm coincides with the ink droplet ejection direction, the electrode forming surface for forming the individual electrodes of the electrode substrate is the same as the nozzle surface. In addition, since the electrode forming surface and the nozzle surface are close to each other in accordance with the miniaturization of the head, the connecting portion between the electrode and the printed circuit board is in a state extremely close to the nozzle surface.

【0021】一方、インクジェット記録装置において
は、インク滴吐出やノズル面のワイピング、ノズル内の
インクの吸引排出などの信頼性維持動作を行うために、
この信頼性回復動作によってノズル面に残留したインク
が、振動板や電極とこれに極めて近接している導電性材
料との間に侵入してリークが発生し、吐出不能になった
り、誤動作をするチャンネルが発生することがあり、長
期安定性及び信頼性に欠けることがある。
On the other hand, in an ink jet recording apparatus, in order to perform reliability maintaining operations such as ink droplet ejection, wiping of a nozzle surface, and suction and discharge of ink in a nozzle,
The ink remaining on the nozzle surface due to the reliability recovery operation intrudes between the diaphragm or the electrode and the conductive material that is very close to the nozzle and causes a leak, which makes it impossible to discharge or malfunctions. Channels may occur and may lack long-term stability and reliability.

【0022】なお、上述したような各問題は、アクチュ
エータ手段として振動板に対向配置した電極を有する静
電型インクジェットヘッドに限らず、例えば基板上に積
層型圧電素子を配置したインクジェットヘッドにあって
も、基板上に電気機械変換素子に駆動波形を与えるため
の電極取り出し部(電極パターン)を設けて、この電極
取り出し部とプリント基板とを接続するような場合には
同様に発生するものである。ただし、積層型圧電素子を
用いる場合にはノズル面と電極パターンとが静電型イン
クジェットヘッドに比べて離れているので、前者の問題
は静電型インクジェットヘッドの場合ほど顕著ではな
い。
The above-mentioned problems are not limited to the electrostatic type ink jet head having the electrodes arranged as opposed to the vibration plate as the actuator means, but, for example, to the ink jet head having the laminated piezoelectric element disposed on the substrate. This also occurs when an electrode extraction portion (electrode pattern) for providing a drive waveform to the electromechanical transducer is provided on the substrate and the electrode extraction portion is connected to the printed circuit board. . However, when the stacked piezoelectric element is used, the nozzle face and the electrode pattern are farther apart than the electrostatic ink jet head, so the former problem is not so remarkable as in the case of the electrostatic ink jet head.

【0023】本発明は上記の課題に鑑みてなされたもの
であり、低コストで信頼性を向上したインクジェットヘ
ッド記録装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide an ink jet head recording apparatus which is low in cost and has improved reliability.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項1のインクジェット記録装置は、インク滴を
吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この
液室内のインクを加圧して前記ノズルからインク滴を吐
出させる圧力を発生する圧力発生手段とを備えたインク
ジェットヘッドを有し、この圧力発生手段を動作させる
ための電圧を印加する基板上に形成した電極に導電性材
料を介してプリント基板を接続したインクジェット記録
装置において、前記導電性材料は接続前の状態で前記プ
リント基板の端部より内側に位置する構成とした。
In order to solve the above-mentioned problems, an ink jet recording apparatus according to the first aspect of the present invention provides a nozzle for discharging ink droplets, a liquid chamber to which the nozzle communicates, and a method for adding ink in the liquid chamber. A pressure generating means for generating a pressure for ejecting ink droplets from said nozzles by pressurizing, said conductive material being applied to an electrode formed on a substrate for applying a voltage for operating said pressure generating means. In the ink-jet recording apparatus in which the printed circuit board is connected via the above, the conductive material is located inside the end of the printed circuit board before the connection.

【0025】請求項2のインクジェット記録装置は、イ
ンク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室
と、この液室内のインクを加圧して前記ノズルからイン
ク滴を吐出させる圧力を発生する圧力発生手段とを備え
たインクジェットヘッドを有し、この圧力発生手段を動
作させるための電圧を印加する基板上に形成した電極に
導電性材料を介してプリント基板を接続したインクジェ
ット記録装置において、前記導電性材料は前記プリント
基板の端部より内側に位置する構成とした。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a nozzle for discharging ink droplets, a liquid chamber communicating with the nozzle, and a pressure for pressurizing ink in the liquid chamber to discharge ink droplets from the nozzle. An ink jet recording apparatus comprising: an ink jet head having pressure generating means; and a printed circuit board connected to an electrode formed on a substrate to which a voltage for operating the pressure generating means is applied via a conductive material. The conductive material was located inside the edge of the printed circuit board.

【0026】請求項3のインクジェット記録装置は、上
記請求項2のインクジェット記録装置において、前記イ
ンクジェットヘッドの圧力発生手段が前記の少なくとも
一つの壁面を形成する振動板と、この振動板に対向配置
した電極とを有し、前記振動板と電極との間に電圧を印
加することで前記振動板が静電力によって変形して前記
液室のインクを加圧する手段であり、前記振動板を形成
する部材が導体又は半導体からなる構成とした。
According to a third aspect of the present invention, in the ink jet recording apparatus of the second aspect, the pressure generating means of the ink jet head is disposed so as to face the vibration plate forming the at least one wall surface and the vibration plate. A means for applying pressure between the diaphragm and the electrode to deform the diaphragm by electrostatic force and pressurize the ink in the liquid chamber; and a member forming the diaphragm. Is composed of a conductor or a semiconductor.

【0027】請求項4のインクジェット記録装置は、イ
ンク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室
と、この液室の少なくとも一つの壁面を形成する振動板
と、この振動板に対向配置した電極とを有し、前記振動
板と電極との間に電圧を印加することで前記振動板を静
電力によって変形させて前記ノズルからインク滴を吐出
させるインクジェットヘッドを有し、このインクジェッ
トヘッドの基板上に形成した電極に導電性材料を介して
プリント基板を接続したインクジェット記録装置におい
て、前記振動板を形成する基板と前記プリント基板の端
部との間に絶縁性を有する隔壁部材を設けた構成とし
た。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an ink jet recording apparatus, comprising: a nozzle for discharging ink droplets; a liquid chamber to which the nozzle communicates; a vibrating plate forming at least one wall surface of the liquid chamber; And an ink-jet head that discharges ink droplets from the nozzles by deforming the vibration plate by electrostatic force by applying a voltage between the vibration plate and the electrode. In an ink jet recording apparatus in which a printed board is connected to an electrode formed on the board via a conductive material, an insulating partition member is provided between the board forming the diaphragm and an end of the printed board. The configuration was adopted.

【0028】請求項5のインクジェット記録装置は、上
記請求項4のインクジェット記録装置において、前記離
隔手段が前記電極を形成する基板と一体的に形成した凸
部である構成とした。
According to a fifth aspect of the present invention, in the ink jet recording apparatus of the fourth aspect, the separating means is a projection formed integrally with a substrate on which the electrodes are formed.

【0029】[0029]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照して説明する。図1は本発明の第1実
施形態に係るインクジェット記録装置のヘッド部の斜視
図、図2は同ヘッド部のインクジェットヘッドの斜視
図、図3は図1のA−Aに沿う要部拡大断面図、図4は
図1のB−B線に沿う要部拡大断面図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view of a head portion of an ink jet recording apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of an ink jet head of the head portion, and FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view taken along line AA of FIG. FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a main part along the line BB of FIG.

【0030】インクジェットヘッド1は、図2乃至図4
に示すように、振動板基板10と、この振動板基板10
の上側に設けた液室基板11と、振動板基板10の下側
に設けた電極基板12と、液室基板11の上側に設けた
ノズルプレート13とを備え、複数のノズル15、各ノ
ズル15が連通する液室16などを形成している。
The ink jet head 1 is shown in FIGS.
As shown in FIG.
A liquid chamber substrate 11 provided above the liquid chamber substrate 10, an electrode substrate 12 provided below the diaphragm substrate 10, and a nozzle plate 13 provided above the liquid chamber substrate 11; Are formed to communicate with each other.

【0031】振動板基板10には、液室16及びこの液
室16の底部をなし、第1の電極で共通電極となる振動
板18を形成する凹部17と、各液室16にインクを供
給する図示しない共通インク室、共通インク室と液室1
6とを連通する図示しない流体抵抗部などを形成する凹
部、溝等を形成している。この振動板基板10は、SU
S基板などの金属基板、シリコン基板等をエッチングす
ることで所望の微細な液室パターンを形成したものであ
る。この振動板基板10上に液室16に対応する貫通穴
19等を形成した液室基板11を接合している。
The diaphragm substrate 10 has a liquid chamber 16 and a concave portion 17 which forms a bottom portion of the liquid chamber 16 and forms a diaphragm 18 which is a first electrode and serves as a common electrode, and supplies ink to each liquid chamber 16. Not shown common ink chamber, common ink chamber and liquid chamber 1
6, a recessed portion, a groove, and the like, which form a fluid resistance portion (not shown) and the like which are not shown. The diaphragm substrate 10 is made of SU
A desired fine liquid chamber pattern is formed by etching a metal substrate such as an S substrate, a silicon substrate, or the like. A liquid chamber substrate 11 in which a through hole 19 corresponding to the liquid chamber 16 and the like are formed on the vibration plate substrate 10 is joined.

【0032】電極基板12には凹部20を形成して、こ
の凹部20の底面に振動板18に所定(ここでは、1μ
mとしている。)のギャップを置いて対向する第2の電
極となる個別電極21を形成し、この個別電極21と振
動板18によって、振動板18を変位させて液室16の
内容積を変化させるアクチュエータ部を構成している。
この電極基板12の個別電極21上には短絡、放電によ
って個別電極21が破損するのを防止するためのSiO2
などの絶縁層22を成膜し、また、個別電極21は振動
板基板10より外側に延設してプリント基板と接続する
ための電極パッド23を設けている。
A concave portion 20 is formed in the electrode substrate 12, and a predetermined portion (here, 1 μm) is formed on the diaphragm 18 on the bottom surface of the concave portion 20.
m. ), An individual electrode 21 serving as a second electrode opposed to the gap is formed, and the actuator section for displacing the diaphragm 18 to change the inner volume of the liquid chamber 16 by the individual electrode 21 and the diaphragm 18 is formed. Make up.
SiO 2 for preventing the individual electrode 21 from being damaged by a short circuit or discharge on the individual electrode 21 of the electrode substrate 12.
The individual electrode 21 is provided with an electrode pad 23 extending outside the diaphragm substrate 10 and connected to a printed circuit board.

【0033】この電極基板12は、SUSなどの金属
や、ガラス、Si等をエッチングして凹部20を形成
し、この凹部20にNi、A1、Ti/Pt、Cuなどの電
極材料を、スパッタ、CVD、蒸着などの成膜技術で所
望の厚さに成膜し、その後、フォトレジストを形成して
エッチングすることにより、凹部20にのみ個別電極2
1を形成したものである。
The electrode substrate 12 is formed by etching a metal such as SUS, glass, Si, or the like to form a concave portion 20. An electrode material such as Ni, A1, Ti / Pt, or Cu is sputtered into the concave portion 20. A film is formed to a desired thickness by a film forming technique such as CVD or vapor deposition, and then a photoresist is formed and etched, so that the individual electrode 2 is formed only in the recess 20.
1 is formed.

【0034】ノズルプレート13は、NiやSUSなど
の金属板、ガラス、或いは樹脂などで形成し、エッチン
グやニッケルのエレクトロフォーミング法などの周知の
方法で作製することができる。このノズルプレート13
にはノズル15を2列千鳥状に配列してノズル密度を高
くしたものであり、これに対応して前述した振動板基板
10、液室基板11には液室16、振動板18を、電極
基板13には個別電極21を、それぞれ2列配列して設
けている。さらに、ノズルプレート13のノズル面(吐
出方向の表面)には、インクとの撥水性を確保するた
め、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周
知の方法で撥水膜を形成している。
The nozzle plate 13 is formed of a metal plate such as Ni or SUS, glass, resin, or the like, and can be manufactured by a known method such as etching or nickel electroforming. This nozzle plate 13
The nozzles 15 are arranged in two rows in a staggered manner to increase the nozzle density. In response to this, the liquid chamber 16 and the vibration plate 18 are provided on the diaphragm substrate 10 and the liquid chamber substrate 11, respectively. The substrate 13 is provided with the individual electrodes 21 arranged in two rows. Further, a water-repellent film is formed on the nozzle surface (surface in the ejection direction) of the nozzle plate 13 by a known method such as a plating film or a water-repellent agent coating in order to ensure water repellency with the ink.

【0035】これらの振動板基板10、液室基板11、
電極基板12及びノズルプレート13は、接着剤や陽極
接合などの直接接合法、共晶接合法等によって接合して
いる。
The vibrating plate substrate 10, the liquid chamber substrate 11,
The electrode substrate 12 and the nozzle plate 13 are joined by a direct joining method such as an adhesive or anodic joining, a eutectic joining method, or the like.

【0036】このインクジェットヘッド1は、振動板1
8と個別電極21との間に駆動電圧を印加することによ
って静電力によって振動板18が変形して、液室16の
内容積(体積)が変化することによって、ノズル15か
らインク滴が吐出される。
The ink jet head 1 has a diaphragm 1
When a driving voltage is applied between the electrode 8 and the individual electrode 21, the diaphragm 18 is deformed by electrostatic force, and the internal volume (volume) of the liquid chamber 16 changes, whereby an ink droplet is ejected from the nozzle 15. You.

【0037】そこで、このインクジェットヘッド1の個
別電極21の電極パッド23には、図3に示すように個
別電極21に駆動波形を与えるために外部回路(駆動I
C等)に接続したフレキシブルプリントケーブル(FP
C)からなるプリント基板25を導電性材料である異方
導電性膜(或いはハンダなどでもよい。)26を介して
接続している。
Therefore, as shown in FIG. 3, an external circuit (drive I) is provided on the electrode pad 23 of the individual electrode 21 of the ink jet head 1 in order to apply a drive waveform to the individual electrode 21.
C) and a flexible printed cable (FP
The printed board 25 made of C) is connected via an anisotropic conductive film (or solder or the like) 26 which is a conductive material.

【0038】このプリント基板25は、ガラスエポキシ
樹脂やフェノール樹脂等からなる板状のプリント基板ベ
ースや、ポリイミド樹脂、PET樹脂等からなるフィル
ム状のプリント基板ベースを用いることができ、このプ
リント基板ベース27上に個別電極21に電圧を印加す
るための電極リード28を形成したものである。
As the printed board 25, a plate-shaped printed board base made of glass epoxy resin, phenol resin or the like, or a film-shaped printed board base made of polyimide resin, PET resin or the like can be used. An electrode lead 28 for applying a voltage to the individual electrode 21 is formed on 27.

【0039】プリント基板25上の電極リード28と個
別電極21の電極パッド23を電気的に接続する方法と
しては、例えば、半田を熱圧着する方法、異方導電性接
着剤で熱圧着する方法、電極間同士を圧接する方法、ワ
イヤボンディングで接続する方法、バンプで接続する方
法などがある。これらの中でも、半田や異方導電性接着
剤、圧接などの方法を用いることで、複数の電極間同士
の接続を一度に行うことができ、接続作業が効率的で、
低コスト化を図れる。
As a method of electrically connecting the electrode leads 28 on the printed circuit board 25 and the electrode pads 23 of the individual electrodes 21, for example, a method of thermocompression bonding of solder, a method of thermocompression bonding with an anisotropic conductive adhesive, There are a method of pressing the electrodes together, a method of connecting them by wire bonding, a method of connecting them by bumps, and the like. Among these, solder and anisotropic conductive adhesive, by using a method such as pressure welding, it is possible to connect a plurality of electrodes at once, the connection work is efficient,
Cost reduction can be achieved.

【0040】ここで、このインクジェットヘッドにおい
ては異方導電性膜26を介して個別電極21とプリント
基板25とを電気的に接続している。異方導電性膜(異
方導電フィルム)26は、既知のように、熱可塑性、或
いは熱硬化性の樹脂の中に、フィラと呼ばれる導電性の
粒子を分散させたもので、電極の間に挟んで加熱、加圧
することによって、異方導電膜が潰れて、フィラーが両
電極に接触して、電極間の導通がとれるものである。
Here, in this ink jet head, the individual electrodes 21 and the printed circuit board 25 are electrically connected via the anisotropic conductive film 26. As is known, the anisotropic conductive film (anisotropic conductive film) 26 is obtained by dispersing conductive particles called filler in a thermoplastic or thermosetting resin, and is provided between electrodes. By applying heat and pressure between the electrodes, the anisotropic conductive film is crushed, the filler comes into contact with both electrodes, and conduction between the electrodes can be obtained.

【0041】ここで、この異方導電性膜26による接続
について図5を参照して説明する。先ず、同図(a)に
示すように、圧着ヘッド29を用いてプリント基板25
の電極リード28に異方導電性膜26を仮圧着する。な
お、異方導電性膜26には保護フィルム26aが貼着さ
れている。この異方導電性膜26は、プリント基板25
の端面より内側に位置合せして仮圧着している。このと
き、異方導電膜26のプリント基板25からの後退量a
は、異方導電性膜26の膜厚にもよるが、圧着実験に基
づくと、好ましくは膜厚以上、より好ましくは膜厚の2
倍以上にする。
Here, the connection by the anisotropic conductive film 26 will be described with reference to FIG. First, as shown in FIG.
The anisotropic conductive film 26 is temporarily press-bonded to the electrode lead 28 of FIG. Note that a protective film 26a is attached to the anisotropic conductive film 26. The anisotropic conductive film 26 is
Temporarily press-bonded to the inside from the end face of At this time, the retreat amount a of the anisotropic conductive film 26 from the printed board 25
Although it depends on the film thickness of the anisotropic conductive film 26, it is preferably not less than the film thickness, more preferably 2
More than double.

【0042】そして、同図(b)に示すように、異方導
電性膜26の保護フィルム26aを除去し、電極基板1
2の電極パッド部とプリント基板25の電極リード28
との位置合せを行なって、加熱した圧着ヘッド29を電
極幅以上の領域に押し当てて熱圧着する。これにより、
同図(c)に示すように、プリント基板25は異方導電
性膜26を介して個別電極21の電極パッド23に接続
される。
Then, as shown in FIG. 2B, the protective film 26a of the anisotropic conductive film 26 is removed, and the electrode substrate 1
2 electrode pad part and the electrode lead 28 of the printed circuit board 25
Is performed, and the heated pressure bonding head 29 is pressed against a region larger than the electrode width to perform thermocompression bonding. This allows
As shown in FIG. 3C, the printed board 25 is connected to the electrode pads 23 of the individual electrodes 21 via the anisotropic conductive film 26.

【0043】このとき、異方導電性膜26はプリント基
板25の端部方向に広がるが、予め広がる量を見越し
て、異方導電性膜26をプリント基板25の端部より後
退量aだけ後退させているので、同図(c)に示すよう
に異方導電性膜26がプリント基板25の端部からはみ
出すことがなくなる。なお、異方導電性膜26を電極2
1側に仮圧着する場合には、プリント基板25の位置合
せで、プリント基板25の端部より内側に異方導電性膜
26が位置するように位置合せして熱圧着すればよい。
At this time, the anisotropic conductive film 26 spreads in the direction of the edge of the printed circuit board 25, but the anisotropic conductive film 26 is retracted from the edge of the printed circuit board 25 by a retreat amount a in anticipation of the amount of expansion. Therefore, the anisotropic conductive film 26 does not protrude from the edge of the printed circuit board 25 as shown in FIG. Note that the anisotropic conductive film 26 is
When temporarily press-bonding to the first side, it is only necessary to align the printed board 25 so that the anisotropic conductive film 26 is positioned inside the end of the printed board 25 and then heat-press.

【0044】このように、導電性材料は接続前の状態で
プリント基板の端部より内側に位置する構成とすること
によって、プリント基板を導電性材料で接続したときに
プリント基板の先端から導電性材料がはみ出すことを防
止でき、導電性材料が振動板や隣接電極間に接触するこ
とがなくなり、信頼性が向上する。
As described above, the conductive material is positioned inside the end of the printed circuit board before the connection, so that when the printed circuit board is connected with the conductive material, the conductive material is connected to the end of the printed circuit board. The protrusion of the material can be prevented, and the conductive material does not come into contact with the diaphragm or between the adjacent electrodes, thereby improving reliability.

【0045】特に、このインクジェットヘッド1のよう
に、インク滴の噴射方向が振動板面と垂直方向である、
いわゆるサイドシュータ型インクジェツトヘッドの場
合、この電極面はノズル面と同方向になり、しかもヘッ
ドの小型化のために、電極面とノズル面が近接した状態
となる。そのため、インク滴吐出や、ノズル面のワイピ
ング、ノズル15内インクの吸引排出などの信頼性を維
持するための動作により、インクが個別電極21とプリ
ント基板25との接続部に入り込み、水性インクの場
合、導電性を有しているため、入り込んだインクによっ
て隣接する個別電極21がリークしたり、プリント基板
25の電極リード28が電気的に誤った個別電極21に
接続されて、吐出不良や誤吐出が生じる。本発明は、こ
のようなサイドシュータ型のインクジェットヘッドの対
して特に効果的である。
In particular, as in the ink jet head 1, the direction of ejecting ink droplets is perpendicular to the diaphragm surface.
In the case of a so-called side shooter type ink jet head, the electrode surface is in the same direction as the nozzle surface, and the electrode surface and the nozzle surface are close to each other for downsizing the head. Therefore, the ink enters the connection portion between the individual electrode 21 and the printed circuit board 25 by the operation for maintaining the reliability such as the ink droplet ejection, the wiping of the nozzle surface, and the suction and discharge of the ink in the nozzle 15, and the water-based ink is discharged. In this case, because of the conductivity, the adjacent individual electrode 21 leaks due to the ink that has entered, or the electrode lead 28 of the printed circuit board 25 is electrically connected to the incorrect individual electrode 21, causing a discharge failure or erroneous operation. Discharge occurs. The present invention is particularly effective for such a side shooter type ink jet head.

【0046】また、プリント基板の先端から導電性材料
がはみ出すことがないので、プリント基板を振動板基
板、ノズル基板の近傍まで配置することができ、電極パ
ッドとの接触面積を大きくとることができるようにな
る。これによって、接触抵抗が小さくなると共に、接着
力が大きくなり、電気的、機械的な信頼性が向上する。
Further, since the conductive material does not protrude from the front end of the printed circuit board, the printed circuit board can be arranged up to the vicinity of the diaphragm board and the nozzle board, and the contact area with the electrode pads can be increased. Become like As a result, the contact resistance is reduced, the adhesive force is increased, and the electrical and mechanical reliability is improved.

【0047】なお、導電性材料としては異方導電性膜に
限られるものではなく、ハンダなども使用することがで
きる。この場合には、プリント基板の電極リード面への
ハンダめっき位置を、プリント基板の端部より内側の位
置にとどめるようにすればよい。
The conductive material is not limited to the anisotropic conductive film, but may be solder or the like. In this case, the solder plating position on the electrode lead surface of the printed circuit board may be kept at a position inside the end of the printed circuit board.

【0048】ここで、インクジェットヘッド1の具体的
な構成について説明する。ここで採用したインクジェッ
トヘッドは、インク液室6の幅は0.2mm、奥行き
2.0mm、ピッチを0.28mmとした。Si基板を
エッチングして厚さ10μmの振動板18を形成した板
厚0.2mmの振動板基板10と、パイレックスガラス
基板に0.5μmの溝(凹部20、ギャップとなる)の
底部に、Niの個別電極21を幅0.2mm、ピッチ
0.28mmで形成し、更に個別電極21上に1000
ÅのSiO2の絶縁層22を形成した電極基板12とを接
着剤で接合し、振動板基板10の上に、板厚150μm
の液室基板11、板厚30μmのノズルプレート13と
を順次接着剤で接合して、静電型インクジェットヘッド
を作製した。このヘッドのノズルピッチは0.28m
m、ノズル数は64チャンネルである。
Here, a specific configuration of the ink jet head 1 will be described. In the inkjet head employed here, the width of the ink liquid chamber 6 was 0.2 mm, the depth was 2.0 mm, and the pitch was 0.28 mm. A diaphragm plate 10 having a thickness of 0.2 mm formed by etching a Si substrate to form a diaphragm 18 having a thickness of 10 μm, and a 0.5 μm groove (recess 20, which is a gap) formed on a Pyrex glass substrate are formed with Ni at the bottom. Are formed with a width of 0.2 mm and a pitch of 0.28 mm.
The electrode substrate 12 on which the SiO 2 insulating layer 22 was formed was bonded with an adhesive, and a plate thickness of 150 μm was placed on the diaphragm substrate 10.
The liquid chamber substrate 11 and the nozzle plate 13 having a thickness of 30 μm were sequentially bonded with an adhesive to produce an electrostatic ink jet head. The nozzle pitch of this head is 0.28m
m, the number of nozzles is 64 channels.

【0049】そして、FPC(プリント基板)25の電
極リード28には異方導電性フィルム(株式会社スリー
ボンド製3370C:商品名)を仮圧着した。この仮圧
着は、圧着機の圧着ヘッド温度を150℃、圧着圧力を
30kg/cm2、圧着時間を1秒で行なった。さら
に、このFPC(プリント基板)25の電極リード28
をインクジェットヘッドの電極パッド23に位置合せし
た状態で、本圧着した。この本圧着は、圧着機の圧着ヘ
ッド温度を150℃、加圧力を30kg/cm2、圧着
時間を20秒で行なった。
Then, an anisotropic conductive film (3370C manufactured by Three Bond Co., Ltd .: trade name) was provisionally pressed to the electrode lead 28 of the FPC (printed circuit board) 25. The temporary pressing was performed at a pressing head temperature of a pressing machine of 150 ° C., a pressing pressure of 30 kg / cm 2 , and a pressing time of 1 second. Further, the electrode leads 28 of this FPC (printed circuit board) 25
Was completely press-bonded while being aligned with the electrode pad 23 of the inkjet head. This main bonding was performed at a pressing head temperature of a pressing machine of 150 ° C., a pressing force of 30 kg / cm 2 , and a pressing time of 20 seconds.

【0050】これにより、FPC25を異方導電性膜フ
ィルムを介して個別電極21に接続して駆動電圧を供給
できるようにした。また、このインクジェットヘッドの
インク液室16に連通したインク供給口を通して、イン
クタンクからインクが供給できるようにした。
Thus, the FPC 25 is connected to the individual electrode 21 via the anisotropic conductive film so that a driving voltage can be supplied. Further, ink can be supplied from an ink tank through an ink supply port communicating with the ink liquid chamber 16 of the inkjet head.

【0051】このヘッドは、 振動板サイズ :200μm×2mm 振動板の配列密度 :90dpi(=ノズルの配列密度) 振動板の数 :32個×2列=64個(ノズルの
数) 構成である。
This head has a configuration in which the diaphragm size: 200 μm × 2 mm, the array density of the diaphragms: 90 dpi (= nozzle array density), the number of diaphragms: 32 × 2 rows = 64 (number of nozzles).

【0052】次に、このようにして形成された記録ヘッ
ドチップは、例えば次のような方法でインク飛翔記録ヘ
ッドユニットとして完成する。このインク飛翔記録ヘッ
ドユニットは、インク供給管(インク供給手段)に接続
された中空のインク供給室を有して形成されたマニホー
ルドをベース材として構成し、マニホールドの頂部には
記録ヘッドチップを固定し、インク供給管から供給され
たインクをインク供給室を通して、マニホールドの頂部
に導き、記録ヘッドチップの端に設けたインク供給口か
ら記録ヘッドチップの共通インク室に供給し、その後
は、各インク供給チャンネルの毛管現象により、各エネ
ルギー作用部まで運ばれる。さらに、記録ヘッドチップ
は周囲を覆い、枠状の保持部材により押え固定される。
Next, the recording head chip thus formed is completed as an ink flying recording head unit by, for example, the following method. This ink flying recording head unit comprises a manifold formed with a hollow ink supply chamber connected to an ink supply pipe (ink supply means) as a base material, and a recording head chip is fixed to the top of the manifold. Then, the ink supplied from the ink supply pipe is led to the top of the manifold through the ink supply chamber, and supplied to the common ink chamber of the recording head chip from the ink supply port provided at the end of the recording head chip. Due to the capillarity of the supply channel, it is carried to each energy application. Further, the recording head chip covers the periphery thereof and is pressed and fixed by a frame-shaped holding member.

【0053】そして、このインクジェットヘッドにおい
ては、インク供給管よりインク供給口に供給されたイン
クが共通インク室を通ってインク供給チャンネル全域に
満たされている状態で、画像情報に応じて各個別電極に
対して個別に駆動電圧を与えることで、個別電極と振動
板との間で静電気力が発生し、振動板が個別電極側に変
位する。この状態から、通電をオフすると、振動板は元
の状態に戻ろうとし、この時の急激な容積変化により、
インクがノズルより液滴となって飛翔する。
In this ink-jet head, the ink supplied from the ink supply pipe to the ink supply port passes through the common ink chamber and fills the entire ink supply channel. When a drive voltage is individually applied to the diaphragm, an electrostatic force is generated between the individual electrode and the diaphragm, and the diaphragm is displaced toward the individual electrode. When the power is turned off from this state, the diaphragm tries to return to the original state, and due to the sudden volume change at this time,
The ink flies as droplets from the nozzles.

【0054】そこで、このインクジェットヘッドの振動
板基板10をグランドにして、個別電極21に、 駆動電圧 :120V パルス幅 :30μsec 連続駆動周波数 :2kHz(ベタ印写時) の駆動波形を印可し、その駆動波形をオシロスコープで
観察したところ、グランドとのリーク、隣接電極とのリ
ークの発生は認められなかった。
Therefore, with the diaphragm substrate 10 of the ink jet head being grounded, a drive waveform of drive voltage: 120 V pulse width: 30 μsec continuous drive frequency: 2 kHz (at the time of solid printing) is applied to the individual electrodes 21. When the driving waveform was observed with an oscilloscope, no leakage was observed with the ground or with the adjacent electrode.

【0055】これに対して、本発明のように、導電性材
料は接続前の状態でプリント基板の端部より内側に位置
する構成としないときには、図6に示すように、プリン
ト基板25の端部で間に介した異方導電性膜26(或い
はハンダなどの導電性材料)が熱圧着時の圧力によって
はみ出して、振動板基板10に接触してグランドとリー
クしたり、隣接する個別電極21間でのリークが発生す
る。
On the other hand, when the conductive material is not located inside the end of the printed circuit board before connection as in the present invention, as shown in FIG. The anisotropic conductive film 26 (or a conductive material such as solder) interposed between the portions protrudes due to the pressure at the time of thermocompression bonding, contacts the diaphragm substrate 10 and leaks to the ground, or the adjacent individual electrode 21 Leaks occur between the two.

【0056】次に、本発明の第2実施形態について図7
及び図8を参照して説明する。なお、図7は本発明の第
2実施形態に係るインクジェット記録装置のヘッド部の
要部断面図、図8は同実施形態における異方導電膜によ
る接続工程を説明する説明図である。なお、第1実施形
態と対応する部分には同一符号を付して説明を省略す
る。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view of a main part of a head portion of an ink jet recording apparatus according to a second embodiment of the present invention, and FIG. Note that parts corresponding to those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【0057】この実施形態は、プリント基板25と個別
電極21とを接続した後の異方導電性膜26がプリント
基板25の端部より内側に位置するようにした例であ
る。すなわち、図8(a)に示すように、圧着ヘッド2
9を用いてプリント基板25の電極リード28に異方導
電性膜26を仮圧着する。なお、異方導電性膜26には
保護フィルム26aが貼着されている。
This embodiment is an example in which the anisotropic conductive film 26 after connecting the printed board 25 and the individual electrodes 21 is located inside the end of the printed board 25. That is, as shown in FIG.
9, the anisotropic conductive film 26 is temporarily pressure-bonded to the electrode leads 28 of the printed circuit board 25. Note that a protective film 26a is attached to the anisotropic conductive film 26.

【0058】ここで、異方導電性膜26は、上記第1実
施形態のようにプリント基板25の端面より内側に位置
合せして仮圧着する必要はない。したがって、異方導電
性膜26は、位置合せの容易なプリント基板25の端部
に合せても良い(図示の例)し、端部から多少はみ出し
ていても、端部より若干内側入り込んでいてもよい。こ
れにより、仮接着時に高精度の位置合せが必要でなくな
り、作業時間の短縮、歩留まりの向上を図れる。
Here, the anisotropic conductive film 26 does not need to be positioned inside the end face of the printed circuit board 25 and temporarily press-bonded as in the first embodiment. Therefore, the anisotropic conductive film 26 may be fitted to the edge of the printed circuit board 25, which is easy to align (illustrated in the drawing), or slightly protruded from the edge, but slightly penetrated from the edge. Is also good. This eliminates the need for high-precision alignment at the time of temporary bonding, thereby shortening the working time and improving the yield.

【0059】そして、同図(b)に示すように、異方導
電性膜26の保護フィルム26aを除去し、電極基板1
2の電極パッド部とプリント基板25の電極リード28
との位置合せを行なって、加熱した圧着ヘッド29を電
極幅以上の領域に押し当てて熱圧着する。
Then, as shown in FIG. 2B, the protective film 26a of the anisotropic conductive film 26 is removed, and the electrode substrate 1
2 electrode pad part and the electrode lead 28 of the printed circuit board 25
Is performed, and the heated pressure bonding head 29 is pressed against a region larger than the electrode width to perform thermocompression bonding.

【0060】このとき、異方導電性膜26はプリント基
板25の端部方向に広がり、場合によっては、同図
(c)に示すように異方導電性膜26がプリント基板2
5の端部よりはみ出すので、圧着後にはみ出した部分2
6bを除去して、図7に示すように異方導電性膜26を
プリント基板25の端部に揃える。
At this time, the anisotropic conductive film 26 spreads in the direction of the edge of the printed circuit board 25, and in some cases, as shown in FIG.
5, which protrudes from the end of 5
6b is removed, and the anisotropic conductive film 26 is aligned with the end of the printed circuit board 25 as shown in FIG.

【0061】このように、導電性材料は接続後の状態で
プリント基板の端部より内側に位置する構成とすること
によって、プリント基板を導電性材料で接続したとき
に、振動板などの部材に接触することがなくなり、信頼
性が向上する。
As described above, the conductive material is located inside the end of the printed circuit board after connection, so that when the printed circuit board is connected with the conductive material, the conductive material is applied to a member such as a diaphragm. There is no contact, and reliability is improved.

【0062】特に、このインクジェットヘッド1のよう
に、インク滴の噴射方向が振動板面と垂直方向である、
いわゆるサイドシュータ型インクジェツトヘッドの場
合、この電極面はノズル面と同方向になり、しかもヘッ
ドの小型化のために、電極面とノズル面が近接した状態
となる。そのため、インク滴吐出や、ノズル面のワイピ
ング、ノズル15内インクの吸引排出などの信頼性を維
持するための動作により、インクが個別電極21とプリ
ント基板25との接続部に入り込み、水性インクの場
合、導電性を有しているため、入り込んだインクによっ
て隣接する個別電極21がリークしたり、プリント基板
25の電極リード28が電気的に誤った個別電極21に
接続されて、吐出不良や誤吐出が生じる。本発明は、こ
のようなサイドシュータ型のインクジェットヘッドの対
して特に効果的である。
In particular, as in the ink jet head 1, the direction of ejecting ink droplets is perpendicular to the surface of the diaphragm.
In the case of a so-called side shooter type ink jet head, the electrode surface is in the same direction as the nozzle surface, and the electrode surface and the nozzle surface are close to each other for downsizing the head. Therefore, the ink enters the connection portion between the individual electrode 21 and the printed circuit board 25 by the operation for maintaining the reliability such as the ink droplet ejection, the wiping of the nozzle surface, and the suction and discharge of the ink in the nozzle 15, and the water-based ink is discharged. In this case, because of the conductivity, the adjacent individual electrode 21 leaks due to the ink that has entered, or the electrode lead 28 of the printed circuit board 25 is electrically connected to the incorrect individual electrode 21, causing a discharge failure or erroneous operation. Discharge occurs. The present invention is particularly effective for such a side shooter type ink jet head.

【0063】また、プリント基板の先端から導電性材料
がはみ出していないので、プリント基板を振動板基板、
ノズル基板の近傍まで配置することができ、電極パッド
との接触面積を大きくとることができるようになる。こ
れによって、接触抵抗が小さくなると共に、接着力が大
きくなり、電気的、機械的な信頼性が向上する。
Further, since the conductive material does not protrude from the tip of the printed circuit board, the printed circuit board is
It can be arranged to the vicinity of the nozzle substrate, and the contact area with the electrode pad can be increased. As a result, the contact resistance is reduced, the adhesive force is increased, and the electrical and mechanical reliability is improved.

【0064】なお、導電性材料としては異方導電性膜2
6に限られるものではなく、ハンダなども使用すること
ができる。
The anisotropic conductive film 2 is used as the conductive material.
It is not limited to 6, and solder or the like can be used.

【0065】また、振動板基板10として絶縁性の材料
にボロン等の金属などの導電性材料を性膜して共通電極
(振動板)とした場合にも、振動板基板の端部におい
て、露出した共通電極とはみ出した異方導電性膜とが接
触してリークが生じるという不都合がなくなるが、さら
に、共通電極形成工程の必要のない、振動板自体が金属
や半導体で形成された場合には、振動板基板の端部で大
きく共通電極が露出することになるが、この場合でもリ
ークが発生せず、より効果的である。
Also, when the common electrode (diaphragm) is formed by forming a conductive film such as a metal such as boron on the insulating material as the diaphragm substrate 10, even if the common electrode (diaphragm) is exposed, The inconvenience that leakage occurs due to contact between the protruding anisotropic conductive film and the protruding anisotropic conductive film is eliminated, but furthermore, when the diaphragm itself is formed of metal or semiconductor without the need for a common electrode forming step, Although the common electrode is largely exposed at the end of the diaphragm substrate, no leakage occurs even in this case, which is more effective.

【0066】ここで、インクジェットヘッド1の具体的
な構成について説明する。ここで採用したインクジェッ
トヘッドは、インク液室6の幅は0.2mm、奥行き
2.0mm、ピッチを0.28mmとした。Si基板を
エッチングして厚さ10μmの振動板18を形成した板
厚0.2mmの振動板基板10と、パイレックスガラス
基板に0.5μmの溝(凹部20、ギャップとなる)の
底部に、Niの個別電極21を幅0.2mm、ピッチ
0.28mmで形成し、更に個別電極21上に1000
ÅのSiO2の絶縁層22を形成した電極基板12とを接
着剤で接合し、振動板基板10の上に、板厚150μm
の液室基板11、板厚30μmのノズルプレート13と
を順次接着剤で接合して、静電型インクジェットヘッド
を作製した。このヘッドのノズルピッチは0.28m
m、ノズル数は64チャンネルである。
Here, a specific configuration of the ink jet head 1 will be described. In the inkjet head employed here, the width of the ink liquid chamber 6 was 0.2 mm, the depth was 2.0 mm, and the pitch was 0.28 mm. A diaphragm plate 10 having a thickness of 0.2 mm formed by etching a Si substrate to form a diaphragm 18 having a thickness of 10 μm, and a 0.5 μm groove (recess 20, which is a gap) formed on a Pyrex glass substrate are formed with Ni at the bottom. Are formed with a width of 0.2 mm and a pitch of 0.28 mm.
The electrode substrate 12 on which the SiO 2 insulating layer 22 was formed was joined with an adhesive, and a plate thickness of 150 μm was placed on the diaphragm substrate 10.
The liquid chamber substrate 11 and the nozzle plate 13 having a thickness of 30 μm were sequentially bonded with an adhesive to produce an electrostatic ink jet head. The nozzle pitch of this head is 0.28m
m, the number of nozzles is 64 channels.

【0067】そして、FPC(プリント基板)25の電
極リード28には異方導電性フィルム(株式会社スリー
ボンド製3370C:商品名)を仮圧着した。10枚の
プリント基板を仮圧着したところ、端部からのばらつき
は±20μmであった。この仮圧着は、圧着機の圧着ヘ
ッド温度を150℃、圧着圧力を30kg/cm2、圧
着時間を1秒で行なった。さらに、このFPC(プリン
ト基板)25の先端が振動板基板10の端面から50μ
mの位置で、電極リード28と電極パッド23とを位置
合せした状態で、本圧着した。この本圧着は、圧着機の
圧着ヘッド温度を150℃、加圧力を30kg/c
2、圧着時間を20秒で行なった。
Then, an anisotropic conductive film (3370C, manufactured by Three Bond Co., Ltd .: trade name) was provisionally pressed onto the electrode lead 28 of the FPC (printed circuit board) 25. When ten printed boards were provisionally pressed, the variation from the end was ± 20 μm. The temporary pressing was performed at a pressing head temperature of a pressing machine of 150 ° C., a pressing pressure of 30 kg / cm 2 , and a pressing time of 1 second. Further, the tip of the FPC (printed circuit board) 25 is 50 μm from the end face of the diaphragm board 10.
At the position of m, the electrode leads 28 and the electrode pads 23 were aligned and the main bonding was performed. In this final press bonding, the pressure of the pressing head of the pressing machine is 150 ° C., and the pressing force is 30 kg / c.
m 2 , and the crimping time was 20 seconds.

【0068】このとき、異方導電性膜26のFPC25
の端部からのはみ出し量を測定すると、5μmから50
μm(振動板基板10に接触)の範囲であった。その
後、異方導電性膜26のプリント基板25の端部からの
はみ出し部分を除去した。このはみ出し部分の除去は、
例えば、鋭利なカッターなどで機械的に除去する方法を
用いて行なった。これにより、製作したFPC25はす
べて振動板基板10と接触することがなく、すべて使用
可能となった。
At this time, the FPC 25 of the anisotropic conductive film 26
The amount of protrusion from the edge of the
μm (contact with diaphragm substrate 10). Thereafter, the portion of the anisotropic conductive film 26 protruding from the end of the printed circuit board 25 was removed. Removal of this protruding part
For example, the removal was performed using a method of mechanically removing with a sharp cutter or the like. As a result, all of the manufactured FPCs 25 did not come into contact with the diaphragm substrate 10 and were all usable.

【0069】これにより、FPC25を異方導電性膜フ
ィルムを介して個別電極21に接続して駆動電圧を供給
できるようにした。また、このインクジェットヘッドの
インク液室16に連通したインク供給口を通して、イン
クタンクからインクが供給できるようにした。
As a result, the FPC 25 can be connected to the individual electrode 21 via the anisotropic conductive film to supply a driving voltage. Further, ink can be supplied from an ink tank through an ink supply port communicating with the ink liquid chamber 16 of the inkjet head.

【0070】このヘッドは、 振動板サイズ :200μm×2mm 振動板の配列密度 :90dpi(=ノズルの配列密度) 振動板の数 :32個×2列=64個(ノズルの
数) 構成である。
The head has a configuration in which the diaphragm size: 200 μm × 2 mm, the arrangement density of the diaphragms: 90 dpi (= the arrangement density of the nozzles) The number of diaphragms: 32 × 2 rows = 64 (the number of nozzles).

【0071】次に、このようにして形成された記録ヘッ
ドチップは、例えば次のような方法でインク飛翔記録ヘ
ッドユニットとして完成する。このインク飛翔記録ヘッ
ドユニットは、インク供給管(インク供給手段)に接続
された中空のインク供給室を有して形成されたマニホー
ルドをベース材として構成し、マニホールドの頂部には
記録ヘッドチップを固定し、インク供給管から供給され
たインクをインク供給室を通して、マニホールドの頂部
に導き、記録ヘッドチップの端に設けたインク供給口か
ら記録ヘッドチップの共通インク室に供給し、その後
は、各インク供給チャンネルの毛管現象により、各エネ
ルギー作用部まで運ばれる。さらに、記録ヘッドチップ
は周囲を覆い、枠状の保持部材により押え固定される。
Next, the recording head chip thus formed is completed as an ink flying recording head unit by, for example, the following method. This ink flying recording head unit comprises a manifold formed with a hollow ink supply chamber connected to an ink supply pipe (ink supply means) as a base material, and a recording head chip is fixed to the top of the manifold. Then, the ink supplied from the ink supply pipe is led to the top of the manifold through the ink supply chamber, and supplied to the common ink chamber of the recording head chip from the ink supply port provided at the end of the recording head chip. Due to the capillarity of the supply channel, it is carried to each energy application. Further, the recording head chip covers the periphery thereof and is pressed and fixed by a frame-shaped holding member.

【0072】そして、このインクジェットヘッドにおい
ては、インク供給管よりインク供給口に供給されたイン
クが共通インク室を通ってインク供給チャンネル全域に
満たされている状態で、画像情報に応じて各個別電極に
対して個別に駆動電圧を与えることで、個別電極と振動
板との間で静電気力が発生し、振動板が個別電極側に変
位する。この状態から、通電をオフすると、振動板は元
の状態に戻ろうとし、この時の急激な容積変化により、
インクがノズルより液滴となって飛翔する。
In this ink-jet head, the ink supplied from the ink supply pipe to the ink supply port passes through the common ink chamber and fills the entire area of the ink supply channel. When a drive voltage is individually applied to the diaphragm, an electrostatic force is generated between the individual electrode and the diaphragm, and the diaphragm is displaced toward the individual electrode. When the power is turned off from this state, the diaphragm tries to return to the original state, and due to the sudden volume change at this time,
The ink flies as droplets from the nozzles.

【0073】そこで、図7に示すように、このインクジ
ェットヘッドの振動板基板10をグランドにして、個別
電極21に、 駆動電圧 :120V パルス幅 :30μsec 連続駆動周波数 :2kHz(ベタ印写時) の駆動波形を印可し、その駆動波形をオシロスコープで
観察したところ、グランドとのリーク、隣接電極とのリ
ークの発生は認められなかった。
Therefore, as shown in FIG. 7, the diaphragm plate 10 of the ink jet head is grounded, and the individual electrodes 21 are supplied with a driving voltage of 120 V, a pulse width of 30 μsec, a continuous driving frequency of 2 kHz (at the time of solid printing). When a drive waveform was applied and the drive waveform was observed with an oscilloscope, no leakage with the ground or a leak with the adjacent electrode was observed.

【0074】次に、本発明の第3実施形態について図9
を参照して説明する。なお、同図は、同実施形態のイン
クジェット記録装置のヘッド部の要部断面図である。こ
の実施形態は、振動板基板10とプリント基板25との
間に異方導電性膜26のはみ出しを阻止する絶縁性を有
する隔壁部材30を設けたものである。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of a head unit of the ink jet recording apparatus of the embodiment. In this embodiment, a partition member 30 having an insulating property for preventing the anisotropic conductive film 26 from protruding is provided between the diaphragm board 10 and the printed board 25.

【0075】この隔壁部材30としては、セラミックス
や成形が容易な樹脂材料を用いることが好ましい。ま
た、隔壁部材30の大きさは、振動板基板10とプリン
ト基板25との絶縁を行なえば良いので、加工作業中に
壊れない程度に小さくて良い。また、あまり大きすぎる
と、高さがノズル面より高くなったり、幅方向では、プ
リント基板25と電極との接続面積を確保する必要があ
るため、電極基板が大きくなったりすることからも、で
きるだけ小さい方が好ましい。したがって、隔壁部材3
0の幅は1mm以下、好ましくは0.5mm以下であ
り、高さもノズル面以下となるようにする。
For the partition member 30, it is preferable to use ceramics or a resin material which is easy to mold. In addition, the size of the partition member 30 may be small enough that the diaphragm substrate 10 and the printed board 25 are insulated from each other, so that the partition member 30 is not broken during the processing operation. Also, if it is too large, the height will be higher than the nozzle surface, and in the width direction, it is necessary to secure a connection area between the printed circuit board 25 and the electrode, so the electrode substrate will be large, A smaller one is preferred. Therefore, the partition member 3
The width of 0 is 1 mm or less, preferably 0.5 mm or less, and the height is also equal to or less than the nozzle surface.

【0076】この実施形態におけるプリント基板25の
接続方法は、先ず、上記第2実施形態と同様に、プリン
ト基板25の電極リード28に異方導電性膜26を仮圧
着し、他方、電極基板12上にヘッドの振動板基板10
の端面に接して隔壁部材30を接着剤などで固定して設
ける。
The method of connecting the printed circuit board 25 in this embodiment is as follows. First, as in the second embodiment, the anisotropic conductive film 26 is temporarily pressure-bonded to the electrode leads 28 of the printed circuit board 25. The diaphragm 10 of the head
The partition member 30 is provided in contact with the end surface of the base member by fixing with an adhesive or the like.

【0077】そして、ヘッドの個別電極21と異方導電
性膜26を仮接着したプリント基板25の電極リード2
8とを位置合せした後、圧着ヘッドで本圧着する。この
とき、異方導電性膜26は潰されてプリント基板25の
端部からはみ出してくるが、隔壁部材30によって阻止
されて、異方導電性膜26が振動板基板10に接触する
ことがなく、プリント基板25を介して駆動波形を印加
したときに、グランドに接続した振動板基板25とリー
クすることがなくなる。
Then, the electrode leads 2 of the printed circuit board 25 to which the individual electrodes 21 of the head and the anisotropic conductive film 26 are temporarily adhered.
After the alignment with No. 8, the main bonding is performed with a bonding head. At this time, the anisotropic conductive film 26 is crushed and protrudes from the end of the printed circuit board 25, but is blocked by the partition member 30 so that the anisotropic conductive film 26 does not contact the diaphragm substrate 10. When the drive waveform is applied via the printed circuit board 25, no leakage occurs with the diaphragm board 25 connected to the ground.

【0078】なお、隔壁部材30は、例えば図10に示
すように、ノズル面13aの周縁部を覆うノズルカバー
31を設けるときには、このノズルカバー31と一体に
形成することもできる。
The partition member 30 can be formed integrally with the nozzle cover 31 when a nozzle cover 31 for covering the peripheral edge of the nozzle surface 13a is provided as shown in FIG. 10, for example.

【0079】次に、本発明の第4実施形態について図1
1及び図12を参照して説明する。なお、図11は、同
実施形態のインクジェット記録装置のヘッド部の要部断
面図、図12は同実施形態の隔壁部材の形成工程を説明
する説明図である。この実施形態は、振動板基板10と
プリント基板25との間に、電極基板12と一体に形成
した、異方導電性膜26のはみ出しを阻止する絶縁性を
有する隔壁部材32を設けたものである。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
1 and FIG. FIG. 11 is a cross-sectional view of a main part of a head portion of the ink jet recording apparatus of the embodiment, and FIG. 12 is an explanatory diagram illustrating a process of forming a partition member of the embodiment. In this embodiment, a partition member 32 having an insulating property for preventing the anisotropic conductive film 26 from protruding is provided between the diaphragm substrate 10 and the printed circuit board 25 and formed integrally with the electrode substrate 12. is there.

【0080】すなわち、図12(a)に示すように、電
極基板12上に電極21のパターンを形成した後、ドラ
イフィルムレジスト(DFR)33をラミネートし、露
光、現像することで、隔壁部材32となる部分を残して
DFR33を除去する。たとえば、ネガ型DFR33を
用いた場合には、同図(b)に示すように、隔壁部材と
なる部分に対応する開口部34aを形成したマスク34
を用いて露光して、DFR33の隔壁部材となる部分を
硬化させ、現像液でスプレー現像、或いは、ディップ現
像することで、同図(c)に示すように、隔壁部材32
となる部分(硬化部分)を残してDFR33を除去する
ことができる。
That is, as shown in FIG. 12A, after the pattern of the electrode 21 is formed on the electrode substrate 12, a dry film resist (DFR) 33 is laminated, exposed and developed, thereby forming the partition member 32. The DFR 33 is removed while leaving a portion that becomes. For example, when the negative type DFR 33 is used, as shown in FIG. 3B, a mask 34 having an opening 34a corresponding to a portion serving as a partition member is formed.
Exposure is performed by using the DFR 33 to harden the portion that will become the partition member, and then spray-developed or dip-developed with a developer, as shown in FIG.
The DFR 33 can be removed while leaving a portion (cured portion).

【0081】なお、電極基板12と一体の隔壁部材32
は、SiO2層の成膜、エッチングなどによっても形成す
ることができる。
The partition member 32 integral with the electrode substrate 12
Can also be formed by forming a SiO 2 layer, etching or the like.

【0082】なお、上記各実施形態においては本発明を
静電型インクジェットヘッドを搭載するインクジェット
記録装置に適用した例で説明したが、特に、アクチュエ
ータ部(例えば、積層型圧電素子などの電気機械変換素
子、発熱抵抗体等の電気熱変換素子を用いるもの)より
もこのアクチュエータ部に駆動波形を与えるための電極
の取り出し部を形成した基板が大きく、電極を外部に露
出させてプリント基板と接続するインクジェットヘッド
を搭載するいかなるインクジェット記録装置にも適用す
ることができる。
In each of the above embodiments, the present invention has been described with respect to an example in which the present invention is applied to an ink jet recording apparatus equipped with an electrostatic ink jet head. The substrate on which the electrode extraction portion for giving a drive waveform to the actuator section is larger than that using an electrothermal conversion element such as an element or a heating resistor), and the electrode is exposed to the outside and connected to a printed circuit board. The present invention can be applied to any inkjet recording device equipped with an inkjet head.

【0083】[0083]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1のインク
ジェット記録装置によれば、インクジェットヘッドの圧
力発生手段を動作させるための電圧を印加する基板上に
形成した電極に導電性材料を介してプリント基板を接続
したインクジェット記録装置において、導電性材料は接
続前の状態でプリント基板の端部より内側に位置する構
成としたので、加圧、加熱による接着時に導電性材料が
プリント基板の端部からはみ出て振動板などの導電性の
部材に接触することがなくなり、吐出不良や誤吐出が防
止されて信頼性が向上する。
As described above, according to the ink jet recording apparatus of the first aspect, the electrode formed on the substrate to which the voltage for operating the pressure generating means of the ink jet head is applied through the conductive material. In the ink jet recording apparatus to which the printed circuit board is connected, the conductive material is located inside the edge of the printed circuit board before connection, so that the conductive material is bonded to the edge of the printed circuit board during bonding by pressing and heating. It does not protrude and comes into contact with a conductive member such as a diaphragm, thereby preventing ejection failure and erroneous ejection and improving reliability.

【0084】請求項2のインクジェット記録装置によれ
ば、インクジェットヘッドの圧力発生手段を動作させる
ための電圧を印加する基板上に形成した電極に導電性材
料を介してプリント基板を接続したインクジェット記録
装置において、導電性材料はプリント基板の端部より内
側に位置する構成としたので、導電性材料が振動板など
の導電性の部材に接触することがなくなり、吐出不良や
誤吐出が防止されて信頼性が向上する。
According to the second aspect of the present invention, there is provided an ink jet recording apparatus in which a printed circuit board is connected to an electrode formed on a substrate to which a voltage for operating a pressure generating means of an ink jet head is applied via a conductive material. In this case, the conductive material is located inside the edge of the printed circuit board, so that the conductive material does not come into contact with conductive members such as the diaphragm, and ejection failures and erroneous ejections are prevented. The performance is improved.

【0085】請求項3のインクジェット記録装置によれ
ば、上記請求項2のインクジェット記録装置において、
インクジェットヘッドの圧力発生手段がの少なくとも一
つの壁面を形成する振動板と、この振動板に対向配置し
た電極とを有し、振動板と電極との間に電圧を印加する
ことで振動板が静電力によって変形して液室のインクを
加圧する手段であり、振動板を形成する部材が導体又は
半導体からなる構成としたので、振動板を形成する振動
板基板を導電性の材料で形成しなければならない静電型
インクジェットヘッドの信頼性を向上することができ
る。
According to the ink jet recording apparatus of claim 3, in the ink jet recording apparatus of claim 2,
The pressure generating means of the ink jet head has a vibration plate forming at least one wall surface, and an electrode disposed opposite to the vibration plate, and the diaphragm is statically applied by applying a voltage between the vibration plates. This is a means to pressurize the ink in the liquid chamber by deforming with electric power, and the member forming the diaphragm is made of a conductor or a semiconductor, so the diaphragm substrate forming the diaphragm must be formed of a conductive material. The reliability of the electrostatic type ink jet head which must be improved can be improved.

【0086】請求項4のインクジェット記録装置によれ
ば、静電型インクジェットヘッドの基板上に形成した電
極に導電性材料を介してプリント基板を接続したインク
ジェット記録装置において、振動板を形成する基板とプ
リント基板の端部との間に絶縁性を有する隔壁部材を設
けた構成としたので、プリント基板の端部からはみ出す
導電性材料が隔壁部材阻止されて振動板に接触すること
がなくなり、吐出不良や誤吐出が防止されて信頼性が向
上する。
According to the ink jet recording apparatus of the fourth aspect, in the ink jet recording apparatus in which the printed circuit board is connected to the electrodes formed on the substrate of the electrostatic type ink jet head via a conductive material, Since a partition member having an insulating property is provided between the end of the printed board and the conductive material protruding from the end of the printed board, the partition member is prevented from coming into contact with the diaphragm, so that a discharge failure occurs. Erroneous ejection is prevented, and the reliability is improved.

【0087】請求項5のインクジェット記録装置によれ
ば、上記請求項4のインクジェット記録装置において、
離隔手段が電極を形成する基板と一体的に形成した凸部
である構成としたので、隔壁部材の形成を容易に行なう
ことができ、低コスト化を図れる。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the ink jet recording apparatus of the fourth aspect, wherein
Since the separating means is configured as a protrusion integrally formed with the substrate on which the electrode is formed, the partition member can be easily formed, and the cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施形態に係るインクジェット記
録装置のヘッド部の斜視図
FIG. 1 is a perspective view of a head section of an ink jet recording apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同ヘッド部のインクジェットヘッドの斜視図FIG. 2 is a perspective view of an inkjet head of the head unit.

【図3】図1のA−Aに沿う要部拡大断面図FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part along AA of FIG. 1;

【図4】図1のB−B線に沿う要部拡大断面図FIG. 4 is an enlarged sectional view of a main part along the line BB in FIG. 1;

【図5】同実施形態のプリント基板と電極の接続工程を
説明する説明図
FIG. 5 is an explanatory diagram illustrating a process of connecting a printed board and an electrode according to the embodiment;

【図6】同実施形態の作用説明に供する従前のインクジ
ェットヘッドの要部断面図
FIG. 6 is an essential part cross-sectional view of a conventional inkjet head used for describing the operation of the embodiment.

【図7】本発明の第2実施形態に係るインクジェット記
録装置のヘッド部の要部断面図
FIG. 7 is a sectional view of a main part of a head section of an ink jet recording apparatus according to a second embodiment of the present invention.

【図8】同実施形態のプリント基板と電極の接続工程を
説明する説明図
FIG. 8 is an explanatory diagram illustrating a process of connecting a printed board and an electrode according to the embodiment.

【図9】本発明の第3実施形態に係るインクジェット記
録装置のヘッド部の要部断面図
FIG. 9 is a sectional view of a main part of a head section of an ink jet recording apparatus according to a third embodiment of the present invention.

【図10】同実施形態の他の例を示すヘッド部の要部断
面図
FIG. 10 is an essential part cross sectional view of a head section showing another example of the embodiment;

【図11】本発明の第3実施形態に係るインクジェット
記録装置のヘッド部の要部断面図
FIG. 11 is a cross-sectional view of a main part of a head unit of an inkjet recording apparatus according to a third embodiment of the invention.

【図12】同実施形態における隔壁部材の形成工程を説
明する説明図
FIG. 12 is an explanatory view illustrating a step of forming a partition member in the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…インクジェットヘッド、10…振動板基板、11…
液室基板、12…電極基板、13…ノズルプレート、1
3a…ノズル面、15…ノズル、21…個別電極、23
…電極パッド、25…プリント基板、26…異方導電性
膜、30、32…隔壁部材、31…ノズルカバー。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ink jet head, 10 ... Diaphragm board, 11 ...
Liquid chamber substrate, 12: electrode substrate, 13: nozzle plate, 1
3a: nozzle surface, 15: nozzle, 21: individual electrode, 23
... electrode pads, 25 ... printed circuit board, 26 ... anisotropic conductive film, 30, 32 ... partition member, 31 ... nozzle cover.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インク滴を吐出するノズルと、このノズ
ルが連通する液室と、この液室内のインクを加圧して前
記ノズルからインク滴を吐出させる圧力を発生する圧力
発生手段とを備えたインクジェットヘッドを有し、この
圧力発生手段を動作させるための電圧を印加する基板上
に形成した電極に導電性材料を介してプリント基板を接
続したインクジェット記録装置において、前記導電性材
料は接続前の状態で前記プリント基板の端部より内側に
位置することを特徴とするインクジェット記録装置。
A nozzle for discharging ink droplets, a liquid chamber communicating with the nozzle, and pressure generating means for generating a pressure for discharging ink from the nozzle by pressurizing ink in the liquid chamber. In an ink jet recording apparatus having an ink jet head and connecting a printed circuit board via a conductive material to an electrode formed on a substrate to which a voltage for operating the pressure generating means is applied, the conductive material is connected before the connection. An ink jet recording apparatus, wherein the ink jet recording apparatus is located inside an end of the printed circuit board in a state.
【請求項2】 インク滴を吐出するノズルと、このノズ
ルが連通する液室と、この液室内のインクを加圧して前
記ノズルからインク滴を吐出させる圧力を発生する圧力
発生手段とを備えたインクジェットヘッドを有し、この
圧力発生手段を動作させるための電圧を印加する基板上
に形成した電極に導電性材料を介してプリント基板を接
続したインクジェット記録装置において、前記導電性材
料は前記プリント基板の端部より内側に位置することを
特徴とするインクジェット記録装置。
2. A nozzle for discharging ink droplets, a liquid chamber communicating with the nozzle, and pressure generating means for generating a pressure for discharging ink from the nozzle by pressurizing ink in the liquid chamber. In an ink jet recording apparatus having an ink jet head and connecting a printed board via a conductive material to an electrode formed on a board to which a voltage for operating the pressure generating means is applied, the conductive material is the printed board An ink jet recording apparatus, which is located inside an end of the ink jet recording apparatus.
【請求項3】 請求項2に記載のインクジェット記録装
置において、前記インクジェットヘッドの圧力発生手段
が前記の少なくとも一つの壁面を形成する振動板と、こ
の振動板に対向配置した電極とを有し、前記振動板と電
極との間に電圧を印加することで前記振動板が静電力に
よって変形して前記液室のインクを加圧する手段であ
り、前記振動板を形成する部材が導体又は半導体からな
ることを特徴とするインクジェット記録装置。
3. The ink jet recording apparatus according to claim 2, wherein the pressure generating means of the ink jet head has a vibration plate forming the at least one wall surface, and an electrode arranged to face the vibration plate, By applying a voltage between the diaphragm and the electrode, the diaphragm is deformed by electrostatic force to press the ink in the liquid chamber, and a member forming the diaphragm is made of a conductor or a semiconductor. An ink jet recording apparatus comprising:
【請求項4】 インク滴を吐出するノズルと、このノズ
ルが連通する液室と、この液室の少なくとも一つの壁面
を形成する振動板と、この振動板に対向配置した電極と
を有し、前記振動板と電極との間に電圧を印加すること
で前記振動板を静電力によって変形させて前記ノズルか
らインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを有し、
このインクジェットヘッドの基板上に形成した電極に導
電性材料を介してプリント基板を接続したインクジェッ
ト記録装置において、前記振動板を形成する基板と前記
プリント基板の端部との間に絶縁性を有する隔壁部材を
設けたことを特徴とするインクジェット記録装置。
4. A nozzle for discharging ink droplets, a liquid chamber communicating with the nozzle, a vibration plate forming at least one wall surface of the liquid chamber, and an electrode disposed to face the vibration plate, An inkjet head that discharges ink droplets from the nozzles by deforming the vibration plate by electrostatic force by applying a voltage between the vibration plate and an electrode,
In an ink jet recording apparatus in which a printed board is connected to an electrode formed on a substrate of the ink jet head via a conductive material, an insulating partition wall is provided between a substrate forming the diaphragm and an end of the printed board. An ink jet recording apparatus comprising a member.
【請求項5】 請求項4に記載のインクジェット記録装
置において、前記離隔手段が前記電極を形成する基板と
一体的に形成した凸部であることを特徴とするインクジ
ェット記録装置。
5. The ink-jet recording apparatus according to claim 4, wherein said separation means is a projection integrally formed with a substrate on which said electrode is formed.
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US7219981B2 (en) 2002-09-25 2007-05-22 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink-jet head and producing method thereof
JP2013193259A (en) * 2012-03-16 2013-09-30 Ricoh Co Ltd Method for manufacturing liquid discharge head, the liquid discharge head, liquid discharge head unit, and image forming device

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