JP2000088764A - 自動顕微鏡検査装置 - Google Patents
自動顕微鏡検査装置Info
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- JP2000088764A JP2000088764A JP26281098A JP26281098A JP2000088764A JP 2000088764 A JP2000088764 A JP 2000088764A JP 26281098 A JP26281098 A JP 26281098A JP 26281098 A JP26281098 A JP 26281098A JP 2000088764 A JP2000088764 A JP 2000088764A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ステージを一つにするとともに移動距離を少
なくし、予備位置決めの際と実際の検査の際の位置誤差
を小さくした自動顕微鏡検査装置を提供する。 【解決手段】 自動顕微鏡検査装置の本体１０は、試験
片を含んだサンプルパレット３０を載置して移動可能な
ｘ−ｙステージ２０、この上に配置された顕微鏡２１、
顕微鏡２１の上部に取り付けられ、顕微鏡２１による拡
大画像を撮像するテレビカメラ２２、そして、破線の円
で囲んだ部位に取り付けられるラインセンサカメラを具
備している。ラインセンサカメラは、光センサが直線状
に配列されたカメラで、この配列方向に沿った一次元の
画像を撮像することができる。これを前記の部位に、ｘ
−ｚ面内で傾けて取り付ける。このラインセンサカメラ
は、顕微鏡２１で検査する前の予備的な位置決め用とし
て用いる。
なくし、予備位置決めの際と実際の検査の際の位置誤差
を小さくした自動顕微鏡検査装置を提供する。 【解決手段】 自動顕微鏡検査装置の本体１０は、試験
片を含んだサンプルパレット３０を載置して移動可能な
ｘ−ｙステージ２０、この上に配置された顕微鏡２１、
顕微鏡２１の上部に取り付けられ、顕微鏡２１による拡
大画像を撮像するテレビカメラ２２、そして、破線の円
で囲んだ部位に取り付けられるラインセンサカメラを具
備している。ラインセンサカメラは、光センサが直線状
に配列されたカメラで、この配列方向に沿った一次元の
画像を撮像することができる。これを前記の部位に、ｘ
−ｚ面内で傾けて取り付ける。このラインセンサカメラ
は、顕微鏡２１で検査する前の予備的な位置決め用とし
て用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、鋼材等の試験片を
顕微鏡により拡大して介在物等の有無を検査する作業を
自動的に行う自動顕微鏡検査装置に関する。
顕微鏡により拡大して介在物等の有無を検査する作業を
自動的に行う自動顕微鏡検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】製鉄所などの生産現場では、品質管理上
の要請から、製品の一部を切り取った試験片を顕微鏡な
どで拡大し、これをテレビモニターなどに表示させて詳
しく観察し、介在物等の欠陥がないかどうか、あるい
は、欠陥がある場合はそれがどのようなものか等を詳し
く調べる検査が行われている。顕微鏡による観察は部分
的な拡大画像ごとに行うため、試験片のすべての部分を
観察するにはある程度の時間を要し、また、生産量の多
い現場では多数の試験片を検査しなければならないた
め、効率的な作業が求められる。このため、かかる検査
を自動化し省力化を図った検査装置が使用されている。
このような検査を自動化する装置の一例が、特公平５−
７０１２６号公報に開示されている。
の要請から、製品の一部を切り取った試験片を顕微鏡な
どで拡大し、これをテレビモニターなどに表示させて詳
しく観察し、介在物等の欠陥がないかどうか、あるい
は、欠陥がある場合はそれがどのようなものか等を詳し
く調べる検査が行われている。顕微鏡による観察は部分
的な拡大画像ごとに行うため、試験片のすべての部分を
観察するにはある程度の時間を要し、また、生産量の多
い現場では多数の試験片を検査しなければならないた
め、効率的な作業が求められる。このため、かかる検査
を自動化し省力化を図った検査装置が使用されている。
このような検査を自動化する装置の一例が、特公平５−
７０１２６号公報に開示されている。
【０００３】前記公報に記載されている装置には、走査
位置の割り出しを行うための「位置割り出しステージ」
と、必要な範囲で走査を行って実際の画像測定を行うた
めの「検査ステージ」という二つのステージが設けられ
ている。各ステージには顕微鏡が設けられており、位置
割り出しステージ用の顕微鏡は低倍率、検査ステージ用
の顕微鏡は高倍率とされている。各顕微鏡によって得ら
れた画像は、接眼レンズに取り付けられた二次元カメラ
によって撮像され、テレビモニター等に表示される。
位置の割り出しを行うための「位置割り出しステージ」
と、必要な範囲で走査を行って実際の画像測定を行うた
めの「検査ステージ」という二つのステージが設けられ
ている。各ステージには顕微鏡が設けられており、位置
割り出しステージ用の顕微鏡は低倍率、検査ステージ用
の顕微鏡は高倍率とされている。各顕微鏡によって得ら
れた画像は、接眼レンズに取り付けられた二次元カメラ
によって撮像され、テレビモニター等に表示される。
【０００４】前記公報に記載されている装置で試験片の
検査を行う場合は、まず、試験片を検体載置台に載せ、
これを位置割り出しステージ側に置いて低倍率の顕微鏡
で画像を得て、この画像から本来の画像測定を行うため
の走査位置を求める。次に、この試験片を載せた検体載
置台を検査ステージへ移動し、ここで、位置割り出しス
テージにおいて求められた走査位置において走査を行
い、実際の画像測定を行う。すなわち、試験片は、検体
載置台の上に載置され、更にこの検体載置台が移動可能
な載置台によって搬送され、位置割り出しステージと検
査ステージとの間で行き来する。すなわち、各ステージ
上での試験片の微少な移動は検体載置台によって行わ
れ、各ステージ間の移動は載置台によって行われことに
なるので、実質的に、検体載置台と載置台という二つの
ステージが使用されている。
検査を行う場合は、まず、試験片を検体載置台に載せ、
これを位置割り出しステージ側に置いて低倍率の顕微鏡
で画像を得て、この画像から本来の画像測定を行うため
の走査位置を求める。次に、この試験片を載せた検体載
置台を検査ステージへ移動し、ここで、位置割り出しス
テージにおいて求められた走査位置において走査を行
い、実際の画像測定を行う。すなわち、試験片は、検体
載置台の上に載置され、更にこの検体載置台が移動可能
な載置台によって搬送され、位置割り出しステージと検
査ステージとの間で行き来する。すなわち、各ステージ
上での試験片の微少な移動は検体載置台によって行わ
れ、各ステージ間の移動は載置台によって行われことに
なるので、実質的に、検体載置台と載置台という二つの
ステージが使用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述のよう
に、ステージ間の移動を行う載置台と、一方のステージ
における微少な移動を行うための検体載置台という、実
質的に二つの移動可能な台を設けると、載置台に載せて
ステージ間の移動を行う際に位置に誤差が生じる原因と
なる。また、位置割り出しステージ及び検査ステージに
おけるカメラはいずれも二次元カメラであるため、検体
載置台の移動距離は、ほぼ位置割り出しステージと検査
ステージの間隔と同じであり、移動距離が大きくなる。
このように移動距離が大きいと、移動後の位置誤差はそ
れだけ大きくなる。
に、ステージ間の移動を行う載置台と、一方のステージ
における微少な移動を行うための検体載置台という、実
質的に二つの移動可能な台を設けると、載置台に載せて
ステージ間の移動を行う際に位置に誤差が生じる原因と
なる。また、位置割り出しステージ及び検査ステージに
おけるカメラはいずれも二次元カメラであるため、検体
載置台の移動距離は、ほぼ位置割り出しステージと検査
ステージの間隔と同じであり、移動距離が大きくなる。
このように移動距離が大きいと、移動後の位置誤差はそ
れだけ大きくなる。
【０００６】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、ステージを一つにするとともに移動距離を少な
くし、予備位置決めの際と実際の検査の際の位置誤差を
小さくした自動顕微鏡検査装置を提供することを目的と
する。
であり、ステージを一つにするとともに移動距離を少な
くし、予備位置決めの際と実際の検査の際の位置誤差を
小さくした自動顕微鏡検査装置を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明に係る自動顕微鏡検査装置は、載置された
試験片を水平面内で移動させる搬送手段と、前記試験片
の予備位置決めに用いる一次元撮像手段と、前記試験片
を拡大して二次元画像を得る拡大画像撮像手段と、前記
一次元撮像手段によって撮像された画像に画像処理を施
す画像処理手段と、前記拡大画像撮像手段によって撮像
された画像に基づいて所定の検査を行う検査手段とを具
備し、前記一次元撮像手段によって撮像された画像を前
記画像処理手段に処理させて前記試験片の位置を認識
し、その情報に基づいて前記搬送手段により前記拡大画
像撮像手段の撮像位置に前記試験片を移動させ、前記拡
大画像撮像手段により撮像された拡大画像に基づいて前
記検査手段による検査を行うことを特徴とする。
めに、本発明に係る自動顕微鏡検査装置は、載置された
試験片を水平面内で移動させる搬送手段と、前記試験片
の予備位置決めに用いる一次元撮像手段と、前記試験片
を拡大して二次元画像を得る拡大画像撮像手段と、前記
一次元撮像手段によって撮像された画像に画像処理を施
す画像処理手段と、前記拡大画像撮像手段によって撮像
された画像に基づいて所定の検査を行う検査手段とを具
備し、前記一次元撮像手段によって撮像された画像を前
記画像処理手段に処理させて前記試験片の位置を認識
し、その情報に基づいて前記搬送手段により前記拡大画
像撮像手段の撮像位置に前記試験片を移動させ、前記拡
大画像撮像手段により撮像された拡大画像に基づいて前
記検査手段による検査を行うことを特徴とする。
【０００８】前記搬送手段は、単一のｘ−ｙステージと
することができる。また、前記一次元撮像手段は、前記
拡大画像撮像手段の中心軸に対して傾けて設置すること
ができる。
することができる。また、前記一次元撮像手段は、前記
拡大画像撮像手段の中心軸に対して傾けて設置すること
ができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照して、発明の実
施の形態について説明する。図１は、本発明の一実施形
態に係る自動顕微鏡検査装置の斜視図、図２は、図１に
示した装置のブロック図である。図１において、自動顕
微鏡検査装置の本体１０は、除震台１１の上に載置固定
され、さらに除震台１１の上の部分がアクリルカバーで
覆われたケース１２に収納されている。後部には、ケー
ス１２の中を除湿するための除湿器１３が設けられてい
る。
施の形態について説明する。図１は、本発明の一実施形
態に係る自動顕微鏡検査装置の斜視図、図２は、図１に
示した装置のブロック図である。図１において、自動顕
微鏡検査装置の本体１０は、除震台１１の上に載置固定
され、さらに除震台１１の上の部分がアクリルカバーで
覆われたケース１２に収納されている。後部には、ケー
ス１２の中を除湿するための除湿器１３が設けられてい
る。
【００１０】自動顕微鏡検査装置の本体１０は、試験片
を入れたサンプルパレット３０を載置してｘ軸方向、ｙ
軸方向に独立して移動可能なｘ−ｙステージ２０、ｘ−
ｙステージ２０の上に配置されたオートフォーカス式顕
微鏡（以下単に「顕微鏡」という）２１、顕微鏡２１の
上部に取り付けられ、顕微鏡２１による拡大画像を撮像
するテレビカメラ２２、そして、図１の破線の円で囲ん
だ部分に取り付けられる図３に示したラインセンサカメ
ラ４０を具備している。顕微鏡２１及びテレビカメラ２
２は、本発明の拡大画像撮像手段に該当し、ラインセン
サカメラ４０は、本発明の一次元撮像手段に該当する。
を入れたサンプルパレット３０を載置してｘ軸方向、ｙ
軸方向に独立して移動可能なｘ−ｙステージ２０、ｘ−
ｙステージ２０の上に配置されたオートフォーカス式顕
微鏡（以下単に「顕微鏡」という）２１、顕微鏡２１の
上部に取り付けられ、顕微鏡２１による拡大画像を撮像
するテレビカメラ２２、そして、図１の破線の円で囲ん
だ部分に取り付けられる図３に示したラインセンサカメ
ラ４０を具備している。顕微鏡２１及びテレビカメラ２
２は、本発明の拡大画像撮像手段に該当し、ラインセン
サカメラ４０は、本発明の一次元撮像手段に該当する。
【００１１】ｘ−ｙステージ２０の移動は、図２に示し
たｘ−ｙコントローラ６０によって制御される。テレビ
カメラ２２によって撮像された画像、およびラインセン
サカメラ４０によって撮像された画像は、図２に示した
画像処理部６１へ送られる。画像処理部６１では、例え
ば、ラインセンサカメラ２０によって得られた画像から
試験片の部分を認識するという処理をはじめとして、種
々の画像処理が行われる。画像処理部６１によって処理
された結果は、図２に示した主処理部６２へ送られる。
ここでは、所定の処理が行われ、その結果はｘ−ｙコン
トローラ６０に送られ、ｘ−ｙステージ２０の移動がこ
の情報に基づいて制御される。なお、図２には明示して
いないが、実際には、顕微鏡２１用の照明と、ラインセ
ンサカメラ４０用の照明、およびこれらの照明のための
コントローラが設けられている。
たｘ−ｙコントローラ６０によって制御される。テレビ
カメラ２２によって撮像された画像、およびラインセン
サカメラ４０によって撮像された画像は、図２に示した
画像処理部６１へ送られる。画像処理部６１では、例え
ば、ラインセンサカメラ２０によって得られた画像から
試験片の部分を認識するという処理をはじめとして、種
々の画像処理が行われる。画像処理部６１によって処理
された結果は、図２に示した主処理部６２へ送られる。
ここでは、所定の処理が行われ、その結果はｘ−ｙコン
トローラ６０に送られ、ｘ−ｙステージ２０の移動がこ
の情報に基づいて制御される。なお、図２には明示して
いないが、実際には、顕微鏡２１用の照明と、ラインセ
ンサカメラ４０用の照明、およびこれらの照明のための
コントローラが設けられている。
【００１２】図４は、試験片パレットを上から見た図で
あり、（ａ）は断面が長方形の試験片のモールドを載せ
たもの、（ｂ）は断面が円形の試験片のモールドを載せ
たものである。これら以外の形状の試験片のモールド
や、異なる形状の試験片のモールドとを混在させて載せ
ることもできる。試験片５０，５１は、樹脂で円柱状に
モールドされ、このモールド５３，５４が、ここでは９
個ずつ各サンプルパレット５６，５７上に載置されてい
る。図４（ａ）では各モールドに試験片が３個ずつ、図
４（ｂ）では各モールドに試験片が４個ずつ含まれてい
るが、この数も一例に過ぎない。
あり、（ａ）は断面が長方形の試験片のモールドを載せ
たもの、（ｂ）は断面が円形の試験片のモールドを載せ
たものである。これら以外の形状の試験片のモールド
や、異なる形状の試験片のモールドとを混在させて載せ
ることもできる。試験片５０，５１は、樹脂で円柱状に
モールドされ、このモールド５３，５４が、ここでは９
個ずつ各サンプルパレット５６，５７上に載置されてい
る。図４（ａ）では各モールドに試験片が３個ずつ、図
４（ｂ）では各モールドに試験片が４個ずつ含まれてい
るが、この数も一例に過ぎない。
【００１３】ラインセンサカメラ４０は、光センサが直
線状に配列されたカメラで、この配列方向に沿った一次
元の画像を撮像することができる。本実施形態では、こ
のラインセンサカメラ４０を、予備的な位置決めのため
のカメラとして用いる。図１に示した装置では、光セン
サの配列方向がｘ軸方向と平行となるようラインセンサ
カメラ４０を配置し、ｘ−ｙステージ２０をｙ軸方向に
移動させながら撮像して、二次元的な画像を得る。ライ
ンセンサカメラは、光センサの配列密度が高く、二次元
カメラの場合に比べ、容易に高い解像度の画像を得るこ
とができる。例えば、二次元マクロカメラの現状での標
準的な画素数が６４０×４８０画素程度であるのに対
し、ラインセンサカメラでは、一次元で５０００画素が
程度のものが容易に入手できる。
線状に配列されたカメラで、この配列方向に沿った一次
元の画像を撮像することができる。本実施形態では、こ
のラインセンサカメラ４０を、予備的な位置決めのため
のカメラとして用いる。図１に示した装置では、光セン
サの配列方向がｘ軸方向と平行となるようラインセンサ
カメラ４０を配置し、ｘ−ｙステージ２０をｙ軸方向に
移動させながら撮像して、二次元的な画像を得る。ライ
ンセンサカメラは、光センサの配列密度が高く、二次元
カメラの場合に比べ、容易に高い解像度の画像を得るこ
とができる。例えば、二次元マクロカメラの現状での標
準的な画素数が６４０×４８０画素程度であるのに対
し、ラインセンサカメラでは、一次元で５０００画素が
程度のものが容易に入手できる。
【００１４】また、ラインセンサカメラ４０を用いる
と、次のような利点もある。すなわち、図３に示すよう
に、光センサの配列方向をｘ軸方向に一致させておけ
ば、ラインセンサカメラ４０をｘ−ｚ面内で傾けても、
ｘ軸と平行な直線画像が得られる。したがって、ライン
センサカメラ４０が顕微鏡２１から離れて取り付けてあ
っても、顕微鏡２１の視野領域又はこれに近い領域を撮
像することができる。このことにより、ラインセンサカ
メラ４０で予備の位置決めを行ったあと、顕微鏡２１で
実際の検査のための撮像を行うときに移動量が少なくて
済み、このため移動に伴う誤差を小さく抑えることがで
きるという利点がある。仮に、予備位置決めのためのカ
メラとして二次元カメラを用い、これを傾けて設置した
とすると、長方形のものを撮像しても台形に写ってしま
い、予備位置決めが難しくなる。
と、次のような利点もある。すなわち、図３に示すよう
に、光センサの配列方向をｘ軸方向に一致させておけ
ば、ラインセンサカメラ４０をｘ−ｚ面内で傾けても、
ｘ軸と平行な直線画像が得られる。したがって、ライン
センサカメラ４０が顕微鏡２１から離れて取り付けてあ
っても、顕微鏡２１の視野領域又はこれに近い領域を撮
像することができる。このことにより、ラインセンサカ
メラ４０で予備の位置決めを行ったあと、顕微鏡２１で
実際の検査のための撮像を行うときに移動量が少なくて
済み、このため移動に伴う誤差を小さく抑えることがで
きるという利点がある。仮に、予備位置決めのためのカ
メラとして二次元カメラを用い、これを傾けて設置した
とすると、長方形のものを撮像しても台形に写ってしま
い、予備位置決めが難しくなる。
【００１５】実際に顕微鏡２１で検査をする前に、ライ
ンセンサカメラ４０と顕微鏡２１の位置関係を求めてお
く必要がある。そのために、予め較正用の試験片をｘ−
ｙステージ２０上に載置し、ラインセンサカメラ４０で
得られた画像と、顕微鏡２１を介して上部のカメラ２２
で得られた画像とを比較し、例えば較正用試験片の特定
の点が、両カメラの画像の中心にくるようにするために
必要な移動量を予め求めておく。この移動量の算出は、
図２に示した主処理部６２において行われる。こうして
求められた移動量は、二つのカメラの撮像位置の相対的
な距離に対応する。この移動量に関する情報は、ｘ−ｙ
ステージ２１の移動を制御するｘ−ｙコントローラ６０
に与えられる。
ンセンサカメラ４０と顕微鏡２１の位置関係を求めてお
く必要がある。そのために、予め較正用の試験片をｘ−
ｙステージ２０上に載置し、ラインセンサカメラ４０で
得られた画像と、顕微鏡２１を介して上部のカメラ２２
で得られた画像とを比較し、例えば較正用試験片の特定
の点が、両カメラの画像の中心にくるようにするために
必要な移動量を予め求めておく。この移動量の算出は、
図２に示した主処理部６２において行われる。こうして
求められた移動量は、二つのカメラの撮像位置の相対的
な距離に対応する。この移動量に関する情報は、ｘ−ｙ
ステージ２１の移動を制御するｘ−ｙコントローラ６０
に与えられる。
【００１６】実際の試験片について検査を行う場合に
は、まず、ラインセンサカメラ４０によって試験片の低
倍率の画像を得る。この画像は、画像処理部６１におい
てディジタル化され、ソフトウェア的に樹脂と試験片と
の境界部を認識する処理を行う。これにより、各モール
ド中のどこに試料があるかが求められる。この画像処理
の結果に基づいて、予め較正用試験片を用いて得られて
いる二つのカメラの相対位置に関する情報に基づいて顕
微鏡２１の真下に、試験片の最初の検査部位が来るよ
う、ｘ−ｙコントローラ６０がｘ−ｙステージ２０を移
動させる。そして、この最初の検査部位の視野内に介在
物等の欠陥がないかどうかを、所定の画像処理の手法で
検出する。続いて、所定の間隔でｘ−ｙステージ２０を
移動させて顕微鏡の次の視野に移り、同様の処理を行
う。以後、同様の動作を繰り返してゆき、介在物等の欠
陥が検出された場合には、その寸法、形状、座標位置を
記憶しておく。座標を記憶しておくことによって、後に
その部分を迅速にテレビモニター等に表示させることが
でき、介在物の画像をオペレータが目で直接確認するこ
とができる。
は、まず、ラインセンサカメラ４０によって試験片の低
倍率の画像を得る。この画像は、画像処理部６１におい
てディジタル化され、ソフトウェア的に樹脂と試験片と
の境界部を認識する処理を行う。これにより、各モール
ド中のどこに試料があるかが求められる。この画像処理
の結果に基づいて、予め較正用試験片を用いて得られて
いる二つのカメラの相対位置に関する情報に基づいて顕
微鏡２１の真下に、試験片の最初の検査部位が来るよ
う、ｘ−ｙコントローラ６０がｘ−ｙステージ２０を移
動させる。そして、この最初の検査部位の視野内に介在
物等の欠陥がないかどうかを、所定の画像処理の手法で
検出する。続いて、所定の間隔でｘ−ｙステージ２０を
移動させて顕微鏡の次の視野に移り、同様の処理を行
う。以後、同様の動作を繰り返してゆき、介在物等の欠
陥が検出された場合には、その寸法、形状、座標位置を
記憶しておく。座標を記憶しておくことによって、後に
その部分を迅速にテレビモニター等に表示させることが
でき、介在物の画像をオペレータが目で直接確認するこ
とができる。
【００１７】このように、試験片を自動的に顕微鏡２１
の下の所定位置に配置することができるので、検査が自
動化され、効率が向上する。本実施形態の場合、試験片
の移動は、ｘ−ｙステージ２０のみによって行う。した
がって、実質的に二つのステージを必要とする従来の装
置に比べ、移動に伴う位置誤差を小さく抑えることがで
きる。また、実質的に一個のステージで済むので、その
分製造コストを抑えことができる。
の下の所定位置に配置することができるので、検査が自
動化され、効率が向上する。本実施形態の場合、試験片
の移動は、ｘ−ｙステージ２０のみによって行う。した
がって、実質的に二つのステージを必要とする従来の装
置に比べ、移動に伴う位置誤差を小さく抑えることがで
きる。また、実質的に一個のステージで済むので、その
分製造コストを抑えことができる。
【００１８】尚、本発明は上記実施形態に限定されるも
のではなく、その要旨の範囲内で種々の変更が可能であ
る。
のではなく、その要旨の範囲内で種々の変更が可能であ
る。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
試験片の移動手段として、単一の搬送手段を用いて、二
つの撮像手段（一次元撮像手段と拡大画像撮像手段）の
間の移動と、各撮像手段のところでの微少移動の両方を
行うようにしたので、複数の搬送手段を用いた場合に比
べて移動に伴う誤差をより小さく抑えるできる。また、
予備位置決めを一次元撮像手段を用いて行うことによ
り、この一次元撮像手段を傾けて配置できるので、予備
位置決めを行ってから実際の検査を行う部位まで移動さ
せるときの移動距離を短くでき、このことによっても、
移動に伴う誤差を小さくできる。したがって、総合的な
誤差を従来よりも小さくできる自動顕微鏡検査装置を提
供することができる。
試験片の移動手段として、単一の搬送手段を用いて、二
つの撮像手段（一次元撮像手段と拡大画像撮像手段）の
間の移動と、各撮像手段のところでの微少移動の両方を
行うようにしたので、複数の搬送手段を用いた場合に比
べて移動に伴う誤差をより小さく抑えるできる。また、
予備位置決めを一次元撮像手段を用いて行うことによ
り、この一次元撮像手段を傾けて配置できるので、予備
位置決めを行ってから実際の検査を行う部位まで移動さ
せるときの移動距離を短くでき、このことによっても、
移動に伴う誤差を小さくできる。したがって、総合的な
誤差を従来よりも小さくできる自動顕微鏡検査装置を提
供することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る自動顕微鏡検査装置
の斜視図である。
の斜視図である。
【図２】図１に示した自動顕微鏡検査装置のブロック図
である。
である。
【図３】ラインセンサカメラの斜視図である
【図４】試験片を含むモールドを載置した試験片パレッ
トを上から見た図である。
トを上から見た図である。
１０ 自動顕微鏡検査装置本体 １１ 除震台 １２ ケース １３ 除湿器 ２０ ｘ−ｙステージ ２１ オートフォーカス顕微鏡 ２２ テレビカメラ ３０，５６，５７ サンプルパレット ４０ ラインセンサカメラ ５０，５１ 試験片 ５３，５４ モールド ６０ ｘ−ｙコントローラ ６１ 画像処理部 ６２ 主処理部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｇ０１Ｎ 13/10 Ｇ０１Ｎ 37/00 Ｕ Ｆターム(参考） 2G051 AA37 AB01 AC15 CA03 CA04 CC20 DA05 DA07 ED15 FA01 FA04 2G059 AA05 BB15 CC20 DD13 FF03 FF08 KK04 2H052 AC04 AC07 AC28 AD09 AD19 AF02 AF14 AF20 AF25
Claims (3)
- 【請求項１】 載置された試験片を水平面内で移動させ
る搬送手段と、 前記試験片の予備位置決めに用いる一次元撮像手段と、 前記試験片を拡大して二次元画像を得る拡大画像撮像手
段と、 前記一次元撮像手段によって撮像された画像に画像処理
を施す画像処理手段と、 前記拡大画像撮像手段によって撮像された画像に基づい
て所定の検査を行う検査手段と、 を具備し、前記一次元撮像手段によって撮像された画像
を前記画像処理手段に処理させて前記試験片の位置を認
識し、その情報に基づいて前記搬送手段により前記拡大
画像撮像手段の撮像位置に前記試験片を移動させ、前記
拡大画像撮像手段により撮像された拡大画像に基づいて
前記検査手段による検査を行うことを特徴とする自動顕
微鏡検査装置。 - 【請求項２】 前記搬送手段は、単一のｘ−ｙステージ
からなることを特徴とする請求項１記載の自動顕微鏡検
査装置。 - 【請求項３】 前記一次元撮像手段は、前記拡大画像撮
像手段の中心軸に対して傾けて設置されていることを特
徴とする請求項１又は２記載の自動顕微鏡検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26281098A JP2000088764A (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | 自動顕微鏡検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26281098A JP2000088764A (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | 自動顕微鏡検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000088764A true JP2000088764A (ja) | 2000-03-31 |
Family
ID=17380936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26281098A Withdrawn JP2000088764A (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | 自動顕微鏡検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000088764A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1892667A3 (en) * | 2006-08-25 | 2008-03-05 | Olympus Corporation | Examination apparatus |
| WO2022014247A1 (ja) | 2020-07-15 | 2022-01-20 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 撮像システム、検査システム、情報処理装置、情報処理方法及びそのプログラム、並びに撮像制御方法及びそのプログラム |
| US11555995B2 (en) | 2020-05-20 | 2023-01-17 | Evident Corporation | Microscope system, control method, and recording medium |
| US11611722B2 (en) | 2020-05-20 | 2023-03-21 | Evident Corporation | Microscope system, control method, and recording medium |
-
1998
- 1998-09-17 JP JP26281098A patent/JP2000088764A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1892667A3 (en) * | 2006-08-25 | 2008-03-05 | Olympus Corporation | Examination apparatus |
| US11555995B2 (en) | 2020-05-20 | 2023-01-17 | Evident Corporation | Microscope system, control method, and recording medium |
| US11611722B2 (en) | 2020-05-20 | 2023-03-21 | Evident Corporation | Microscope system, control method, and recording medium |
| WO2022014247A1 (ja) | 2020-07-15 | 2022-01-20 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 撮像システム、検査システム、情報処理装置、情報処理方法及びそのプログラム、並びに撮像制御方法及びそのプログラム |
| KR20230037587A (ko) | 2020-07-15 | 2023-03-16 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 촬상 시스템, 검사 시스템, 정보 처리 장치, 정보 처리 방법 및 그 프로그램, 그리고 촬상 제어 방법 및 그 프로그램 |
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