JP2000084809A - Grinding wheel fitting structure - Google Patents
Grinding wheel fitting structureInfo
- Publication number
- JP2000084809A JP2000084809A JP10260512A JP26051298A JP2000084809A JP 2000084809 A JP2000084809 A JP 2000084809A JP 10260512 A JP10260512 A JP 10260512A JP 26051298 A JP26051298 A JP 26051298A JP 2000084809 A JP2000084809 A JP 2000084809A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- grinding wheel
- shaft
- bolt
- tapered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は砥石車の取付方法に
係り、特にウェーハの周縁を面取り加工する砥石車を砥
石軸に取り付ける場合の砥石車の取付方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for mounting a grinding wheel, and more particularly, to a method for mounting a grinding wheel when a grinding wheel for chamfering a peripheral edge of a wafer is mounted on a grinding wheel shaft.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ウェーハの周縁を面取り加工するウェー
ハ面取り装置の場合、砥石車はフランジを介して砥石軸
に取り付けるようにしている。ここで、従来のウェーハ
面取り装置では、フランジがあらかじめ砥石軸に固定さ
れており、この固定されたフランジに砥石車を取り付け
ることにより、砥石車を砥石軸に装着していた。2. Description of the Related Art In a wafer chamfering apparatus for chamfering a peripheral edge of a wafer, a grinding wheel is mounted on a grinding wheel shaft via a flange. Here, in the conventional wafer chamfering apparatus, the flange is fixed to the grinding wheel shaft in advance, and the grinding wheel is mounted on the grinding wheel shaft by attaching the grinding wheel to the fixed flange.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、砥石車
のフランジへの取り付けは、はめあい公差穴基準で取り
付けているため、フランジ側又は砥石車側のはめあい加
工誤差によりアンバランスが発生するという欠点があ
る。そして、この砥石の振れおよびアンバランスにより
加工精度が低下してしまうという欠点がある。However, since the grinding wheel is mounted on the flange based on the fitting tolerance hole, there is a disadvantage that imbalance occurs due to a fitting error on the flange side or the grinding wheel side. . Then, there is a disadvantage that the processing accuracy is reduced due to the run-out and imbalance of the whetstone.
【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、加工精度を向上することができる砥石車の取
付方法を提供することを目的とする。[0004] The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a method of attaching a grinding wheel capable of improving machining accuracy.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ウェーハの周縁を面取り加工する砥石車
をウェーハ面取り装置の砥石軸に取り付ける砥石車の取
付方法において、砥石車をフランジに固定し、前記フラ
ンジの軸芯部に形成されたテーパ状の取付穴を、テーパ
状に形成された砥石軸に嵌め合わせて固定することによ
り、前記砥石車を前記砥石軸に取り付けることを特徴と
する。In order to achieve the above object, the present invention provides a method of mounting a grinding wheel for chamfering a peripheral edge of a wafer to a grinding wheel shaft of a wafer chamfering apparatus, comprising: The grinding wheel is attached to the grinding wheel shaft by fixing and fixing the tapered mounting hole formed in the shaft core portion of the flange to the grinding wheel shaft formed in a tapered shape. And
【０００６】本発明によれば、まず、砥石軸から取り外
された状態のフランジに砥石車を取り付けて固定する。
次に、そのフランジを砥石軸に取り付けて固定する。こ
のとき、フランジは、その軸芯部に形成されたテーパ状
の取付穴を、同じくテーパ状に形成された砥石軸に嵌め
合わせることにより取り付ける。これにより、砥石車が
砥石軸に取り付けられる。この方法によれば、テーパー
部同士で容易に芯合わせを行うことができるので、砥石
の振れおよびアンバランスの発生を防止することができ
る。この結果、加工精度が向上する。According to the present invention, first, the grinding wheel is attached and fixed to the flange detached from the grinding wheel shaft.
Next, the flange is attached to the grindstone shaft and fixed. At this time, the flange is mounted by fitting a tapered mounting hole formed in the shaft core portion thereof to a grindstone shaft also formed in a tapered shape. Thus, the grinding wheel is attached to the grinding wheel shaft. According to this method, since the centering can be easily performed between the tapered portions, it is possible to prevent the wobble of the grindstone and the occurrence of imbalance. As a result, processing accuracy is improved.
【０００７】[0007]
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る砥石車の取付方法の好ましい実施の形態について詳説
する。図１は、砥石車を砥石軸に取り付けた状態の構成
を示す正面断面図である。同図に示すように、砥石車１
０はフランジ１２を介して砥石軸１４に取り付けられて
いる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a method for mounting a grinding wheel according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a front sectional view showing a configuration in a state where a grinding wheel is attached to a grinding wheel shaft. As shown in FIG.
Numeral 0 is attached to the grinding wheel shaft 14 via the flange 12.
【０００８】砥石軸１４は、テーパ状（円すいテーパ）
に形成されており、その頂部に軸線に沿って所定深さの
ボルト穴１６が形成されている。この砥石軸１４は、モ
ータ１８の出力軸２０に連結されている。フランジ１２
は、円筒状に形成された胴部１２Ａと、その胴部１２Ａ
の下端部外周に形成されたフランジ部１２Ｂとから構成
されている。このフランジ１２の軸芯部にはテーパ状
（円すいテーパ）の取付穴２２が形成されており、その
テーパ比は前記砥石軸１４のテーパ比と等しく形成され
ている。The grinding wheel shaft 14 has a tapered shape (conical taper).
A bolt hole 16 having a predetermined depth is formed at the top along the axis. The grinding wheel shaft 14 is connected to an output shaft 20 of a motor 18. Flange 12
Is a cylindrical body 12A, and the body 12A
And a flange portion 12B formed on the outer periphery of the lower end portion. A tapered (conical taper) mounting hole 22 is formed in the shaft core of the flange 12, and the taper ratio thereof is formed equal to the taper ratio of the grinding wheel shaft 14.
【０００９】また、このフランジ１２の上端部には軸線
に沿ってネジ穴２４が形成されており、該ネジ穴２４は
前記取付穴２２に連通されている。さらに、このフラン
ジ１２のフランジ部１２Ｂには、通し穴２６、２６、…
が９０°間隔で４ヵ所に形成されており（２ヵ所のみ図
示）、この通し穴２６、２６、…に砥石取付けボルト２
８、２８、…（六角穴付きボルト）が挿通される。A screw hole 24 is formed at the upper end of the flange 12 along the axis, and the screw hole 24 communicates with the mounting hole 22. Further, through holes 26, 26,.
Are formed at four locations at 90 ° intervals (only two locations are shown), and the through-holes 26, 26,.
8, 28, ... (hexagon socket head cap screw) are inserted.
【００１０】砥石軸１４へのフランジ１２の取り付け
は、フランジ取付けボルト３０（六角穴付きボルト）を
介して行われる。このフランジ取付けボルト３０は、砥
石軸１４に形成されたボルト穴１６に螺合され、頂部に
フランジ部３０Ａを有している。このフランジ取付けボ
ルト３０を用いたフランジ１２の固定方法は次の通りで
ある。The attachment of the flange 12 to the grinding wheel shaft 14 is performed via a flange attachment bolt 30 (hexagon socket head bolt). The flange mounting bolt 30 is screwed into a bolt hole 16 formed in the grindstone shaft 14, and has a flange portion 30A at the top. The method of fixing the flange 12 using the flange mounting bolt 30 is as follows.
【００１１】まず、フランジ１２に形成された取付穴２
２を砥石軸１４に嵌め込む。次に、フランジ取付けボル
ト３０をボルト穴１６に嵌め、締め付ける。これによ
り、フランジ取付けボルト３０のフランジ部３０Ａが、
フランジ１２の頂部を押圧し、テーパ同士の嵌め合いに
より固定される。砥石車１０はドーナツ状に形成されて
おり、金属製のホイール３２と、そのホイール３２の外
周に固着された砥石３４とから構成されている。ホイー
ル１８の中央に形成されている取付穴３６は、その内径
が前記フランジ１２の胴部１２Ａの外径と等しく形成さ
れており、この取付穴３６をフランジ１２の胴部１２Ａ
に嵌め合わせることにより、砥石車１０がフランジ１２
に取り付けられる。First, the mounting holes 2 formed in the flange 12
2 is fitted into the grinding wheel shaft 14. Next, the flange mounting bolt 30 is fitted into the bolt hole 16 and tightened. Thereby, the flange portion 30A of the flange mounting bolt 30 is
The top of the flange 12 is pressed, and is fixed by fitting tapers. The grinding wheel 10 is formed in a donut shape, and includes a metal wheel 32 and a grinding wheel 34 fixed to the outer periphery of the wheel 32. The mounting hole 36 formed in the center of the wheel 18 has an inner diameter equal to the outer diameter of the body 12A of the flange 12, and the mounting hole 36 is connected to the body 12A of the flange 12.
The grinding wheel 10 is attached to the flange 12
Attached to.
【００１２】なお、この取付穴３６の下端部は、拡径し
て形成されており、該拡径部３６Ａの内径は前記フラン
ジ１２のフランジ部１２Ｂの外径と等しく形成されてい
る。また、この拡径部３６Ａには、ボルト孔３８、３
８、…が９０°間隔で４ヵ所に形成されており、このボ
ルト穴３８、３８、…に前記砥石取付けボルト２８、２
８、…が螺合される。The lower end of the mounting hole 36 is formed with an enlarged diameter, and the inner diameter of the enlarged diameter portion 36A is equal to the outer diameter of the flange portion 12B of the flange 12. The enlarged diameter portion 36A has bolt holes 38, 3
Are formed at four locations at 90 ° intervals, and the bolt holes 38, 38,.
8, ... are screwed together.
【００１３】次に、以上のように構成された砥石車１
０、フランジ１２及び砥石軸１４を用いた本発明に係る
砥石車の取付方法について説明する。なお、砥石車１０
を砥石軸１４に装着する前の状態において、フランジ１
２は砥石軸１４から取り外されているものとする。ま
た、砥石車１０の砥石３４の外周面には、溝加工がされ
ていないものとする。Next, the grinding wheel 1 configured as described above
A method of mounting the grinding wheel according to the present invention using the flange 0, the flange 12, and the grinding wheel shaft 14 will be described. Note that the grinding wheel 10
Before mounting on the grinding wheel shaft 14, the flange 1
2 is assumed to be removed from the grinding wheel shaft 14. Also, it is assumed that no groove is formed on the outer peripheral surface of the grinding wheel 34 of the grinding wheel 10.
【００１４】まず、フランジ１２に砥石車１０を取り付
ける。この場合、まず、砥石車１０の取付穴３６をフラ
ンジ１２の胴部１２Ａに嵌め合わせる。次いで、フラン
ジ１２のフランジ部１２Ｂに形成されている通し穴２
６、２６、…の位置と、取付穴３６の拡径部３６Ａに形
成されているボルト穴３８、３８、…の位置とを合わせ
る。そして、各通し穴２６、２６、…から砥石取付けボ
ルト２８、２８、…を挿通し、ボルト穴３８、３８、…
に螺合させて締め付ける。これにより、砥石車１０がフ
ランジ１２に固定される。First, the grinding wheel 10 is attached to the flange 12. In this case, first, the mounting hole 36 of the grinding wheel 10 is fitted to the body 12A of the flange 12. Next, the through hole 2 formed in the flange portion 12B of the flange 12 is formed.
, And the positions of the bolt holes 38, 38,... Formed in the enlarged diameter portion 36A of the mounting hole 36. , Are inserted through the through holes 26, 26,..., And the bolt holes 38, 38,.
And tighten it. Thereby, the grinding wheel 10 is fixed to the flange 12.
【００１５】次に、砥石車１０をフランジ１２に取り付
けた状態で砥石３４の外周面に所定形状の溝を形成す
る。この作業は、専用の砥石溝形成装置（図示せず）に
おいて行う。この砥石溝形成装置は、前記砥石車１０が
装着されるウェーハ面取り装置の砥石軸１４と同じテー
パ比の砥石取付軸を有しており、この砥石取付軸にフラ
ンジ１２の取付穴２２を嵌め合わせて固定することによ
り、砥石車１０を砥石溝形成装置にセットする。なお、
セットされた砥石車１０の溝の形成方法については、ツ
ルーイング砥石を用いて形成してもよいし、放電加工等
により形成してもよい。また、形成する溝の形状につい
ても、断面台形状に形成してもよいし、断面Ｖ字状に形
成してもよい。本実施の形態では、図１に示すように、
断面台形状の溝３４Ａ1 、３４Ａ2 を上下に２段形成し
ている。Next, a groove having a predetermined shape is formed on the outer peripheral surface of the grinding wheel 34 with the grinding wheel 10 attached to the flange 12. This operation is performed in a dedicated grindstone groove forming device (not shown). This grindstone groove forming device has a grindstone mounting shaft having the same taper ratio as the grindstone shaft 14 of the wafer chamfering device on which the grinding wheel 10 is mounted, and the fitting hole 22 of the flange 12 is fitted to the grindstone mounting shaft. The grinding wheel 10 is set in the grinding wheel groove forming apparatus by fixing the grinding wheel. In addition,
Regarding the method of forming the groove of the set grinding wheel 10, it may be formed using a truing grindstone, or may be formed by electric discharge machining or the like. Further, the shape of the groove to be formed may be a trapezoidal cross section or a V-shaped cross section. In the present embodiment, as shown in FIG.
Grooves 34A 1 and 34A 2 each having a trapezoidal cross section are formed vertically in two stages.
【００１６】上記の溝の形成作業が終了すると、次に、
砥石車１０をフランジ１２に取り付けた状態で、砥石車
１０のバランス調整を行う。この作業も前記と同様に専
用のバランス調整装置（図示せず）において行う。この
バランス調整装置も前記砥石溝形成装置と同様に砥石軸
１４と同じテーパ比の砥石取付軸を有しており、この砥
石取付軸にフランジ１２の取付穴２２を嵌め合わせて固
定することにより、砥石車１０をバランス調整装置にセ
ットする。なお、バランスの調整方法は、バランスウェ
イトと取り付けて調整する方法と、砥石車１０のホイー
ル３２にバランス穴を開けて調整する方法がある。When the above groove forming operation is completed,
With the grinding wheel 10 attached to the flange 12, the balance of the grinding wheel 10 is adjusted. This operation is also performed by a dedicated balance adjusting device (not shown) as described above. This balance adjusting device also has a grindstone mounting shaft having the same taper ratio as the grindstone shaft 14 similarly to the grindstone groove forming device, and by fixing the fitting hole 22 of the flange 12 to the grindstone mounting shaft, it is fixed. The grinding wheel 10 is set on the balance adjusting device. The balance can be adjusted by attaching a balance weight to the wheel, or by adjusting a balance hole in the wheel 32 of the grinding wheel 10.
【００１７】前記のごとく砥石車１０をフランジ１２に
取り付けた状態で溝形成及びバランス調整を行ったの
ち、砥石軸１４にフランジ１２を取り付ける。この場
合、まず、フランジ１２に形成されているテーパ状の取
付穴２２を同じくテーパ状に形成されている砥石軸１４
に嵌め込む。次に、フランジ取付けボルト３０をボルト
穴１６に嵌め、締め付ける。これにより、フランジ取付
けボルト３０のフランジ部３０Ａが、フランジ１２の頂
部を押圧し、フランジ１２が砥石軸１４に固定される。After the grooves are formed and the balance is adjusted while the grinding wheel 10 is mounted on the flange 12 as described above, the flange 12 is mounted on the grinding wheel shaft 14. In this case, first, the tapered mounting hole 22 formed in the flange 12 is formed into the grindstone shaft 14 also formed in the tapered shape.
Fit into Next, the flange mounting bolt 30 is fitted into the bolt hole 16 and tightened. Thus, the flange portion 30A of the flange mounting bolt 30 presses the top of the flange 12, and the flange 12 is fixed to the grindstone shaft 14.
【００１８】以上により、砥石車１０が砥石軸１４に装
着される。このように、本実施の形態の砥石車の取付方
法では、まず、砥石車１０をフランジ１２に取り付け、
そのフランジ１２を砥石軸１４に取り付けることによ
り、砥石車１０を砥石軸１４に取り付ける。この場合、
砥石軸１４とフランジ１２とは、円すいテーパのはめあ
いにより結合されるので、互いの芯合わせを容易に行う
ことができる。As described above, the grinding wheel 10 is mounted on the grinding wheel shaft 14. As described above, in the method of attaching the grinding wheel according to the present embodiment, first, the grinding wheel 10 is attached to the flange 12,
The grinding wheel 10 is attached to the grinding wheel shaft 14 by attaching the flange 12 to the grinding wheel shaft 14. in this case,
Since the grindstone shaft 14 and the flange 12 are connected by fitting with a conical taper, the centering of each other can be easily performed.
【００１９】また、フランジ１２に固定した状態で砥石
車１０の砥石３４の溝３４Ａ1 、３４Ａ2 を形成し、そ
の後、直接フランジ１２を砥石軸１４に取り付けるよう
にすることにより、砥石の振れを防止することができ
る。これにより、加工精度の向上を図ることができる。
同様に、フランジ１２に固定した状態で砥石車１０のバ
ランス調整を行い、その後、直接フランジ１２を砥石軸
１４に取り付けるようにすることにより、アンバランス
の発生を防止することができ、これにより、加工精度の
向上を図ることができる。The grooves 34A 1 and 34A 2 of the grinding wheel 34 of the grinding wheel 10 are formed in a state of being fixed to the flange 12, and then the flange 12 is directly attached to the grinding wheel shaft 14. Can be prevented. Thereby, the processing accuracy can be improved.
Similarly, the balance of the grinding wheel 10 is adjusted while being fixed to the flange 12, and then the flange 12 is directly attached to the grinding wheel shaft 14, whereby occurrence of imbalance can be prevented. Processing accuracy can be improved.
【００２０】なお、砥石軸１４から砥石車１０を取り外
す場合も同様に、フランジ１２ごとを砥石軸１４から取
り外すことにより行う。この場合、フランジ１２はテー
パ部の食い込みにより砥石軸１４にから外れにくくなっ
ているので、次の専用の抜き工具４０を用いて取り外
す。図２に示すように、この抜き工具４０は、ナット部
材４２とボルト部材４４とから構成されている。When the grinding wheel 10 is removed from the grinding wheel shaft 14, the entire flange 12 is similarly removed from the grinding wheel shaft 14. In this case, the flange 12 is hard to be detached from the grindstone shaft 14 due to the bite of the tapered portion. As shown in FIG. 2, the extracting tool 40 includes a nut member 42 and a bolt member 44.
【００２１】ナット部材４２はリング状に形成されてお
り、その内周部４２Ａには雌ネジが形成されている。ま
た、ナット部材４２の先端には縮径部４２Ｂが形成され
ており、その外周には雄ネジが形成されている。この縮
径部４２Ｂに形成された雄ネジは前記フランジ１２の頂
部に形成されたネジ穴２４に螺合する。一方、ボルト部
材４４は、外周に雄ネジが形成されたボルト部４４Ａ
と、そのボルト部４４Ａの頂部に固着されたハンドル部
４４Ｂとから構成されている。ボルト部４４Ａは、前記
ナット部材４２の内周部４２Ａに形成された雌ネジに螺
合し、前記ハンドル部４４Ｂを回すことにより雌ネジに
沿って推進する。The nut member 42 is formed in a ring shape, and a female screw is formed on an inner peripheral portion 42A thereof. A reduced diameter portion 42B is formed at the tip of the nut member 42, and a male screw is formed on the outer periphery thereof. The male screw formed in the reduced diameter portion 42B is screwed into the screw hole 24 formed in the top of the flange 12. On the other hand, the bolt member 44 has a bolt portion 44A having an external thread formed on the outer periphery.
And a handle portion 44B fixed to the top of the bolt portion 44A. The bolt portion 44A is screwed into a female screw formed on the inner peripheral portion 42A of the nut member 42, and is propelled along the female screw by turning the handle portion 44B.
【００２２】なお、ボルト部４４Ａの呼び径は、前記砥
石軸１４の頂部に形成されたボルト穴１６の呼び径より
も小さく形成されている。前記のごとく構成された抜き
工具４０を用いた砥石車１０の取り外し方法は次の通り
である。まず、フランジ１２を砥石軸１４に固定してい
たフランジ取付けボルト３０を取り外す。The nominal diameter of the bolt 44A is smaller than the nominal diameter of the bolt hole 16 formed on the top of the grinding wheel shaft 14. A method for removing the grinding wheel 10 using the cutting tool 40 configured as described above is as follows. First, the flange mounting bolt 30 that fixed the flange 12 to the grinding wheel shaft 14 is removed.
【００２３】次に、抜き工具４０のナット部材４２をフ
ランジ１２に取り付ける。すなわち、ナット部材４２の
先端縮径部４２Ｂに形成された雄ネジをフランジ１２の
頂部に形成されたネジ穴２４に嵌め込み締め付けること
により、ナット部材４２をフランジ１２に取り付ける。
次に、ナット部材４２の内周部４２Ａに形成されている
雌ネジに、ボルト部材４４のボルト部４４Ａを嵌め込
み、ハンドル部４４Ｂを回す。これにより、ボルト部材
４４がナット部材４２に沿って推進する。Next, the nut member 42 of the punching tool 40 is attached to the flange 12. That is, the nut member 42 is attached to the flange 12 by fitting and tightening a male screw formed at the tip reduced diameter portion 42B of the nut member 42 into the screw hole 24 formed at the top of the flange 12.
Next, the bolt portion 44A of the bolt member 44 is fitted into a female screw formed on the inner peripheral portion 42A of the nut member 42, and the handle portion 44B is turned. Thereby, the bolt member 44 is propelled along the nut member 42.
【００２４】ナット部材４２に沿って推進したボルト部
材４４は、図２に示すように、そのボルト部４４Ａの先
端が、砥石軸１４に形成されたボルト穴１６の底部に当
接する。この当接後も、更にボルト部材４４のハンドル
部４４Ｂを回し続けると、ナット部材４２がボルト部材
４４に沿って上昇し、この結果、フランジ１２が砥石軸
１４から引き抜かれる。As shown in FIG. 2, the bolt member 44 propelled along the nut member 42 has the tip of the bolt portion 44A in contact with the bottom of the bolt hole 16 formed in the grinding wheel shaft 14. After the contact, if the handle portion 44B of the bolt member 44 is further rotated, the nut member 42 moves up along the bolt member 44, and as a result, the flange 12 is pulled out from the grindstone shaft 14.
【００２５】作業者は、フランジ１２を砥石軸１４から
取り外したのち、抜き工具４０をフランジ１２から取り
外し、その後、フランジ１２から砥石車１０を取り外
す。このように、上記の抜き工具４０を使用すればフラ
ンジ１２の着脱を容易に行うことができるようになる。
上記のようにして砥石車１０を取り外したフランジ１２
は、新たな砥石車１０を装着して再び砥石軸１４に装着
する。一般にフランジ１２はテーパ部の加工精度が要求
されるため製作コストが高くなるが、このように砥石車
１０だけを新たなものと交換して、フランジ１２は繰り
返し使用すれば、ランニングコストの低減も図ることが
できる。After removing the flange 12 from the grinding wheel shaft 14, the operator removes the punching tool 40 from the flange 12, and then removes the grinding wheel 10 from the flange 12. As described above, the use of the above-described punching tool 40 allows the flange 12 to be easily attached and detached.
The flange 12 from which the grinding wheel 10 has been removed as described above.
Is mounted on the grinding wheel shaft 14 again with a new grinding wheel 10. Generally, the manufacturing cost of the flange 12 is high because the processing accuracy of the tapered portion is required. However, if only the grinding wheel 10 is replaced with a new one and the flange 12 is used repeatedly, the running cost can be reduced. Can be planned.
【００２６】なお、本実施の形態では、砥石車１０を砥
石取付けボルト２８、２８、…によってフランジ１２に
固定するようにしているが、砥石車１０の固定方法はこ
れに限定されるものではない。たとえば、フランジ１２
の胴部１２Ａの上端外周に雄ネジを形成し、その雄ネジ
にナットを螺合させる。そして、そのナットとフランジ
１２のフランジ部１２Ｂとで砥石車１０を挟持して固定
する。In this embodiment, the grinding wheel 10 is fixed to the flange 12 by the grinding wheel fixing bolts 28, 28,..., But the method of fixing the grinding wheel 10 is not limited to this. . For example, flange 12
A male screw is formed on the outer periphery of the upper end of the body portion 12A, and a nut is screwed onto the male screw. Then, the grinding wheel 10 is sandwiched and fixed between the nut and the flange portion 12B of the flange 12.
【００２７】ただし、この場合、フランジ１２の胴部１
２Ａに形成した雄ネジにクーラントやスラッジが付着し
てネジ山が壊れたり、外れにくくなるおそれがあるの
で、本実施の形態のように砥石取付けボルト２８、２
８、…によって砥石車１０をフランジ１２に固定する方
が好ましい。また、砥石交換時に発生する取付穴２２の
テーパ面の磨耗や傷等を防止するためにも、フランジ１
２は焼き入れ可能な材質のもの、たとえばＳＫ材等で製
造することが望ましい。However, in this case, the body 1 of the flange 12
Since coolant or sludge may adhere to the male screw formed in 2A and break the screw thread or make it difficult to remove the screw thread, the grinding stone mounting bolts 28, 2
More preferably, the grinding wheel 10 is fixed to the flange 12 by 8,. Further, in order to prevent abrasion, scratches, and the like of the tapered surface of the mounting hole 22 generated at the time of replacement of the whetstone, the flange 1 is used.
2 is preferably made of a hardenable material, for example, SK material.
【００２８】また、砥石車１０のホイール３２は、イナ
ーシャを削減するためにも比重の小さい材質のもの、た
とえばＡｌ材などで製造することが好ましい。なお、ウ
ェーハ面取り砥石車の場合、砥石車１０を砥石軸１４に
装着したとき、どの高さの位置に砥石３４の溝３４
Ａ1 、３４Ａ2 が位置しているのかを知る必要がある。
本実施の形態の場合は、次の方法で砥石３４に形成され
た溝３４Ａ 1 、３４Ａ2 の高さ位置を検出する。なお、
この場合、図３に示すように、砥石軸１４の近傍に測長
センサ５０を設置する。この測長センサ５０は、非接触
で砥石軸１４に装着された砥石車１０の下面（以下、こ
の面を『基準面Ｕ』とする。）までの距離Ｈを測定す
る。The wheel 32 of the grinding wheel 10 is
Materials of low specific gravity to reduce
For example, it is preferable to manufacture with an Al material or the like. In addition, c
In the case of a wafer chamfering grinding wheel, the grinding wheel 10 is
When mounted, the groove 34 of the grindstone 34
A1, 34ATwoNeed to know if is located.
In the case of this embodiment, it is formed on the grindstone 34 by the following method.
Groove 34A 1, 34ATwoDetects the height position of. In addition,
In this case, as shown in FIG.
The sensor 50 is installed. This length measuring sensor 50 is a non-contact
The lower surface of the grinding wheel 10 attached to the grinding wheel shaft 14 (hereinafter referred to as
Is referred to as “reference plane U”. Measure the distance H to
You.
【００２９】砥石車１０は、砥石３４の外周面に溝３４
Ａ1 、３４Ａ2 を形成した後、砥石軸１４に装着する前
に、各々の溝３４Ａ1 、３４Ａ2 の中心から基準面Ｕま
での距離Ｔ1 、Ｔ2 を測定しておく。前記同様の方法で
砥石車１０が装着されたフランジ１２を砥石軸１４に取
り付ける。そして、その砥石軸１４に取り付けられた砥
石車１０の基準面Ｕまでの距離Ｈを測長センサ５０で測
定する。The grinding wheel 10 has a groove 34 on the outer peripheral surface of the grinding wheel 34.
After forming A 1 and 34A 2 , the distances T 1 and T 2 from the center of each of the grooves 34A 1 and 34A 2 to the reference plane U are measured before mounting on the grindstone shaft 14. The flange 12 on which the grinding wheel 10 is mounted is attached to the grinding wheel shaft 14 in the same manner as described above. Then, the distance H to the reference plane U of the grinding wheel 10 attached to the grinding wheel shaft 14 is measured by the length measuring sensor 50.
【００３０】砥石３４の溝３４Ａ1 、３４Ａ2 の中心か
ら基準面Ｕまでの距離Ｔ1 、Ｔ2 は既知であり、また、
測長センサ５０は一定位置に固定されているので、測長
センサ５０から砥石車１０の基準面Ｕまでの距離Ｈが分
かれば、砥石軸１４に装着された砥石車１０の溝３４Ａ
1 、３４Ａ2 の高さ位置を求めることができる。通常は
ダミーウェーハを研削して溝の高さ位置の確認を行うよ
うにしているが、この方法によれは、ダミーウェーハの
研削作業を省略でき、砥石車の交換作業が容易になる。The distances T 1 , T 2 from the centers of the grooves 34A 1 , 34A 2 of the grindstone 34 to the reference plane U are known.
Since the length measuring sensor 50 is fixed at a fixed position, if the distance H from the length measuring sensor 50 to the reference surface U of the grinding wheel 10 is known, the groove 34A of the grinding wheel 10 mounted on the grinding wheel shaft 14 is provided.
1, the height position of the 34A 2 can be obtained. Normally, the dummy wafer is ground to confirm the height position of the groove. However, according to this method, the work of grinding the dummy wafer can be omitted, and the work of replacing the grinding wheel becomes easy.
【００３１】なお、溝３４Ａ1 、３４Ａ2 の中心から基
準面Ｕまでの距離Ｔ1 、Ｔ2 と同時に溝深さＤ1 、Ｄ2
を測定しておけば、砥石車１０は砥石軸１４の同軸上に
装着されるので、溝位置の確認も容易に行うことができ
るようになる。Incidentally, the groove depths D 1 , D 2 at the same time as the distances T 1 , T 2 from the centers of the grooves 34A 1 , 34A 2 to the reference plane U.
Is measured, the grinding wheel 10 is mounted coaxially with the grinding wheel shaft 14, so that the groove position can be easily confirmed.
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
砥石の振れおよびアンバランスの発生を防止し、加工精
度を向上させることができる。As described above, according to the present invention,
The occurrence of runout and imbalance of the grindstone can be prevented, and the processing accuracy can be improved.
【図１】砥石車を砥石軸に取り付けた状態の構成を示す
正面断面図FIG. 1 is a front sectional view showing a configuration in which a grinding wheel is attached to a grinding wheel shaft.
【図２】抜き工具の構成を示す正面断面図FIG. 2 is a front sectional view showing a configuration of a punching tool.
【図３】溝の高さ位置を検出する方法の説明図FIG. 3 is an explanatory diagram of a method for detecting a height position of a groove.
１０…砥石車 １２…フランジ １４…砥石軸 ２８…砥石取付けボルト ３０…フランジ取付けボルト ３４…砥石 ３４Ａ1 、３４Ａ2 …溝 ４０…抜き工具 ５０…測長センサ10 ... grinding wheel 12 ... flange 14 ... wheel spindle 28 ... grinding wheel mounting bolt 30 ... flange mounting bolts 34 ... grinding wheel 34A 1, 34A 2 ... groove 40 ... vent tool 50 ... measuring sensor
Claims (3)
をウェーハ面取り装置の砥石車軸に取り付ける砥石車の
取付方法において、 砥石車をフランジに固定し、 前記フランジの軸芯部に形成されたテーパ状の取付穴
を、テーパ状に形成された砥石軸に嵌め合わせて固定す
ることにより、前記砥石車を前記砥石軸に取り付けるこ
とを特徴とする砥石車の取付方法。1. A method of mounting a grinding wheel on a grinding wheel axle of a wafer chamfering apparatus, wherein the grinding wheel for chamfering a peripheral edge of a wafer is fixed to a flange, and a tapered shape formed on a shaft core of the flange. The grinding wheel is attached to the grinding wheel shaft by fitting and fixing the mounting hole of (1) to a grinding wheel shaft formed in a tapered shape.
する砥石溝形成装置に前記フランジに固定された前記砥
石車を装着し、該砥石溝形成装置で前記砥石車の外周面
に所定の形状の溝を形成した後、前記フランジを前記砥
石軸に固定することを特徴とする請求項１記載の砥石車
の取付方法。2. The grindstone wheel fixed to the flange is mounted on a grindstone groove forming device having a mounting shaft having the same taper ratio as the grindstone shaft. The method according to claim 1, wherein the flange is fixed to the grinding wheel shaft after forming the groove having the shape.
するバランス調整装置に前記フランジに固定された前記
砥石車を装着し、該バランス調整装置で前記砥石車のバ
ランスを調整した後、前記フランジを前記砥石軸に固定
することを特徴とする請求項１又は２記載の砥石車の取
付方法。3. The grinding wheel fixed to the flange is mounted on a balance adjusting device having a mounting shaft having the same taper ratio as the grinding wheel shaft, and after adjusting the balance of the grinding wheel with the balance adjusting device, The method according to claim 1 or 2, wherein a flange is fixed to the grinding wheel shaft.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10260512A JP2000084809A (en) | 1998-09-14 | 1998-09-14 | Grinding wheel fitting structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10260512A JP2000084809A (en) | 1998-09-14 | 1998-09-14 | Grinding wheel fitting structure |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000084809A true JP2000084809A (en) | 2000-03-28 |
Family
ID=17349004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10260512A Pending JP2000084809A (en) | 1998-09-14 | 1998-09-14 | Grinding wheel fitting structure |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000084809A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012206202A (en) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Komatsu Ntc Ltd | Grindstone base metal, removing tool, grinding machine and method for removing grindstone base metal |
| JP2014079843A (en) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | Mount flange removing fixture |
| WO2023176448A1 (en) * | 2022-03-15 | 2023-09-21 | 日本電気硝子株式会社 | Tool assembly, processing device, and glass plate production method |
| CN119458050A (en) * | 2024-12-18 | 2025-02-18 | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 | Silicon wafer edge grinding equipment, method and device |
-
1998
- 1998-09-14 JP JP10260512A patent/JP2000084809A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012206202A (en) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Komatsu Ntc Ltd | Grindstone base metal, removing tool, grinding machine and method for removing grindstone base metal |
| JP2014079843A (en) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | Mount flange removing fixture |
| WO2023176448A1 (en) * | 2022-03-15 | 2023-09-21 | 日本電気硝子株式会社 | Tool assembly, processing device, and glass plate production method |
| JP2023135224A (en) * | 2022-03-15 | 2023-09-28 | 日本電気硝子株式会社 | Tool assembly, processing equipment and glass plate manufacturing method |
| CN119458050A (en) * | 2024-12-18 | 2025-02-18 | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 | Silicon wafer edge grinding equipment, method and device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08510187A (en) | Grinding wheel mounting device | |
| US5669807A (en) | Preform for attaching a holding member to an optical lens, and method of using it | |
| US5224303A (en) | Brake roto finishing adaptor | |
| JP2000084809A (en) | Grinding wheel fitting structure | |
| US2727748A (en) | Quick-change chuck | |
| JP3556769B2 (en) | Grinding tool for H-section steel | |
| CN212192383U (en) | Cylindrical grinding machine clamp for shaft products without center hole | |
| JP4481224B2 (en) | Tool gripping chuck | |
| JP2005212066A (en) | Fixed flange for wafer chamfering grinding stone, flange removal tool, and grinding stone mounting method of wafer chamfering apparatus | |
| KR900007519B1 (en) | Milling chuck | |
| JPS634569Y2 (en) | ||
| JPS5821669Y2 (en) | round blade tools | |
| JP3009561U (en) | Grinding wheel holder with small diameter shaft for grinding machine | |
| GB1587692A (en) | Arrangement for mounting a cutter on a driven spindle | |
| US20240416473A1 (en) | Precured tire tread repair grinding bit | |
| JPH059839U (en) | Cutting tool holder | |
| JPH0354846Y2 (en) | ||
| JPS5856108Y2 (en) | Kaitenkatsuta-Tritskegu | |
| JPH039972Y2 (en) | ||
| JPS5924475Y2 (en) | round blade tools | |
| JP2002066829A (en) | Transversely sliding front mill mounting device | |
| JPH08257903A (en) | Grinding stone holding device for cutting / grooving | |
| JPS6210019Y2 (en) | ||
| JPS6258842B2 (en) | ||
| CN206104995U (en) | Milling cutter presss from both sides cover |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050524 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070111 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070118 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070314 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070405 |