JP2000075501A - 現像液、これを用いた着色画像の製造法及びカラーフィルターの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 顔料を分散した感光材料の現像液の問題点で
ある現像時間、解像性及び現像残渣をいずれも向上させ
た着色画像形成材料用の現像液、この現像液を用いる着
色画像の製造法及びこの現像液を用いるカラーフィルタ
ーの製造法を提供する。 【解決手段】 塩基性を示す化合物とアルキルフェノー
ル系界面活性剤及びアルキルエーテル系界面活性剤を含
有してなる現像液、アルカリ現像可能で感光性の着色画
像形成材料からなる層を基板上に積層し、露光現像する
着色画像形成工程を含む着色画像の製造法において、現
像時に使用する現像液として上記の現像液を使用する着
色画像の製造法及びこの着色画像の製造法により同一基
板上に複数の着色画像を作製するカラーフィルターの製
造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、現像液、これを用
いた着色画像の製造法及びカラーフィルターの製造法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶表示デバイス、センサー及び
色分解デバイスなどにカラーフィルターが多用されてい
る。このカラーフィルターの製造法としては、従来は、
染色可能な樹脂、例えば天然のゼラチンやカゼインをパ
ターニングし、そこに主に染料を用いて染色し、画素を
得るという方法が採られていた。しかし、この方法で得
た画素は、材料からの制約で耐熱性及び耐光性が低いと
いう問題があった。

【０００３】そこで、最近、耐熱性及び耐光性を改良す
る目的で顔料を分散した感光材料を用いる方法が注目さ
れ、多くの検討が行われるようになった。この方法によ
れば製法も簡略化され。得られたカラーフィルターも安
定で、寿命の長いものになることが知られている。この
ような顔料を分散させたフォトレジストを利用した着色
画像の作製が、得られる画像の安定性、寿命の長さの点
から賞揚されている。

【０００４】しかし、従来、顔料を分散させたフォトレ
ジストの現像の技術が難しく、特に現像時間、解像性、
現像残渣の問題をすべて満足することは難しかった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、顔料
を分散した感光材料の現像液の問題点である現像時間、
解像性及び現像残渣をいずれも向上させ、従来の技術の
問題点を解消した着色画像形成材料用の現像液を提供す
ることにある。

【０００６】本発明の他の目的は、この現像液を用いる
着色画像の製造法を提供することにある。

【０００７】本発明の他の目的は、この現像液を用いる
カラーフィルターの製造法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、塩基性を示す
化合物とアルキルフェノール系界面活性剤及びアルキル
エーテル系界面活性剤を含有してなる現像液に関する。

【０００９】本発明は、また、塩基性を示す化合物が水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭
酸カリウム、メタケイ酸ナトリウム及びメタケイ酸カリ
ウムからなる群から選ばれる少なくとも１種類の無機ア
ルカリ化合物である現像液に関する。

【００１０】本発明は、また、アルキルフェノール系界
面活性剤が下記一般式（１）

【００１１】

【化３】 （式中、Ｒ¹は炭素数１〜１９の脂肪族炭化水素基を示
し、ｔは０又は１であり、ｎは１〜５０の整数であ
る。）で表される化合物である現像液に関する。

【００１２】本発明は、また、アルキルエーテル系界面
活性剤が下記一般式（２）

【００１３】

【化４】 （式中、Ｒ²は炭素数１〜１００のアルキル基を示し、
ｍは１〜５０の整数である。）で表される化合物である
現像液に関する。

【００１４】本発明は、また、アルカリ現像可能で感光
性の着色画像形成材料からなる層を基板上に積層し、露
光現像する着色画像形成工程を含む着色画像の製造法に
おいて、現像時に使用する現像液として前記したいずれ
かの現像液を使用することを特徴とする着色画像の製造
法に関する。

【００１５】本発明は、また、アルカリ現像可能で感光
性の着色画像形成材料が酸価が２０〜３００の樹脂、顔
料、光重合性不飽和結合を分子内に１個以上有するモノ
マー及び光開始剤を含有するものである着色画像の製造
法に関する。

【００１６】本発明は、また、上記のいずれかの着色画
像の製造法により同一基板上に複数の着色画像を作製す
ることを特徴とするカラーフィルターの製造法に関す
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明の現像液はフォトレジスト
の現像用、顔料分散フォトレジストの現像用に好ましく
使用される。

【００１８】本発明において、塩基性を示す化合物は水
に溶解又は分散して含有させられる。塩基性を示す化合
物としては、無機アルカリ化合物又は有機アルカリ化合
物が使用されるが、取り扱い上、無機アルカリ化合物が
好ましい。無機アルカリ化合物としては、水酸化ナトリ
ウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウ
ム、メタケイ酸ナトリウム及びメタケイ酸カリウム等が
あり、水酸化カリウム及び炭酸カリウムが最も好まし
い。無機アルカリ化合物は２種類以上を併用することが
できる。

【００１９】また、有機アルカリ化合物としては、トリ
エタノールアミン、ジエタノールアミン、ブチルアミ
ン、フェニルヒドラジン、テトラメチルアンモニウムハ
イドロオキサイドなどがある。

【００２０】塩基性を示す化合物の含有量は、現像液総
量１００重量部に対して、０．０１〜２０重量部とする
ことが好ましく、０．０５〜１５重量部とすることがよ
り好ましく、０．１〜１０重量部とすることが特に好ま
しい。無機アルカリ化合物の含有量が少なすぎると解像
性が不十分となる傾向があり、多すぎるとフォトレジス
ト全体が基板から剥離し、選択的な除去ができなくなる
傾向がある。

【００２１】本発明の現像液には、更に必須成分として
アルキルフェノール系界面活性剤及びアルキルエーテル
系界面活性剤が好ましくは溶解して含有される。

【００２２】アルキルフェノール系界面活性剤の含有量
は、現像液総量に対して、０．００５〜２０重量％とす
ることが好ましく、０．０１〜２０重量％とすることが
より好ましく、０．０５〜１０重量％とすることがより
好ましく、０．０５〜８重量％とすることがより好まし
く、０．０５〜５重量％とすることが特に好ましい。ア
ルキルフェノール系界面活性剤の含有量が少なすぎると
現像性が不十分となる傾向があり、多すぎるとフォトレ
ジスト全体が基板から剥離しやすくなり、選択的な除去
ができなくなる傾向がある。

【００２３】アルキルフェノール系界面活性剤として
は、前記した一般式（１）で表される化合物が好まし
い。また、一般式（１）中、Ｒ¹は炭素数１〜１９の脂
肪族炭化水素基であれば、直鎖でも分岐状でも特に制限
はないが、中でも炭素数３〜１４のアルキル基又はアル
キレン基が好ましく、炭素数３〜１１のアルキル基又は
アルキレン基がより好ましく、炭素数３〜９のアルキル
基又はアルキレン基であることが特に好ましい。脂肪族
炭化水素基の炭素数が１９を超えると、水への溶解性が
劣り、現像性が劣る傾向がある。また、ｎは１〜５０の
整数であることが好ましく、５〜４０の整数であること
がより好ましく、１０〜３５の整数であることが特に好
ましい。ｎが５０を超えると起泡性が高くなる傾向があ
り、また、スプレー現像が困難になる傾向がある。

【００２４】一般式（１）で表される化合物としては、
ポリオキシエチレンクミルフェニルエーテル、ポリオキ
シエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチ
レンノニルフェニルエーテル等が挙げられる。ポリオキ
シエチレンノニルフェニルエーテルにおいて、一般式
（１）のｎが２８〜３２であるものが好ましい。なお、
一般式（１）において、ｔ＝０のとき、Ｒ¹はアルキル
基となり、ｔ＝１のとき、Ｒ¹はアルキレン基となる。

【００２５】アルキルエーテル系界面活性剤の含有量
は、現像液総量に対して、０．００５〜２０重量％とす
ることが好ましく、０．０１〜２０重量％とすることが
より好ましく、０．０５〜１０重量％とすることがより
好ましく、０．０５〜８重量％とすることがより好まし
く、０．０５〜５重量％とすることが特に好ましい。ア
ルキルエーテル系界面活性剤の含有量が少なすぎると現
像性が不十分となる傾向があり、多すぎるとフォトレジ
スト全体が基板から剥離しやすくなり、選択的な除去が
できなくなる傾向がある。

【００２６】アルキルエーテル系界面活性剤としては、
前記した一般式（２）で表される化合物が好ましい。ま
た、一般式（２）中、Ｒ²は炭素数１〜１００のアルキ
ル基であれば、直鎖でも分岐状でも特に制限はないが、
中でも炭素数１〜５０のアルキル基が好ましく、炭素数
１〜４０のアルキル基がより好ましく、炭素数４〜３０
のアルキル基であることが特に好ましく、炭素数１１又
は１２のアルキル基であることが最も好ましい。アルキ
ル基の炭素数が１００を超えると、水への溶解性が劣
り、現像性が劣る傾向がある。また、ｎは１〜５０の整
数であることが好ましく、５〜４０の整数であることが
より好ましく、８〜３５の整数であることが特に好まし
い。ｎが５０を超えると起泡性が高くなる傾向があり、
また、スプレー現像が困難になる傾向がある。

【００２７】本発明の現像液には、ポリカルボン酸型高
分子界面活性剤、ポリスルホン酸型高分子界面活性剤等
のアニオン系分散剤、ポリオキシエチレン・ポリオキシ
プロピレンブロックポリマー等のノニオン系分散剤など
の上記以外の界面活性剤を溶解して含有させていてもよ
い。その含有量はアルキルフェノール系界面活性剤及び
アルキルエーテル系界面活性剤の総量に対して１００重
量％以下、特に５０重量％以下が好ましい。

【００２８】本発明に用いられる着色画像形成材料は、
感光性を有しアルカリ現像が可能なものであれば特に制
限はないが、樹脂、顔料、光重合性不飽和結合を分子内
に１個以上有するモノマー及び光開始剤を含有するもの
が好ましい。

【００２９】本発明に用いられる着色画像形成材料に用
いられる樹脂としては、着色画像形成材料としたとき
に、感光性を妨げず、顔料分散性、成膜性、アルカリ現
像性を有するものであれば特に制限はない。このような
樹脂としては、カルボキシメチルヒドロキシエチルセル
ロース、ヒドロキシエチルセルロースなどのセルロース
系樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン
などを使用することができるが、（メタ）アクリル酸
（アクリル酸及びメタクリル酸を意味する。以下同
様。）、イタコン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、マ
レイン酸モノアルキルエステル、シトラコン酸、無水シ
トラコン酸、シトラコン酸モノアルキルエステルなどの
カルボキシル基含有重合性モノマーとメチルメタクリレ
ート、エチルメタクリレート、プロピルメタクリレー
ト、ブチルメタクリレート、メチルアクリレート、プロ
ピルアクリレート、ブチルアクリレート等の（メタ）ア
クリル酸エステル、スチレン、スチレン誘導体、その他
の重合性モノマーとの共重合体などが特に好ましい。

【００３０】前記マレイン酸モノアルキルエステルとし
ては、アルキル基の炭素数が１〜１２のものが好まし
く、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マ
レイン酸モノ−ｎ−プロピル、マレイン酸イソプロピ
ル、マレイン酸モノ−ｎ−ブチル、マレイン酸モノ−ｎ
−ヘキシル、マレイン酸モノ−ｎ−オクチル、マレイン
酸モノ−２−エチルヘキシル、マレイン酸モノ−ｎ−ノ
ニル、マレイン酸モノ−ｎ−ドデシルなどが挙げられ
る。

【００３１】前記シトラコン酸モノアルキルエステルと
しては、例えば、シトラコン酸モノメチル、シトラコン
酸モノエチル、シトラコン酸モノ−ｎ−プロピル、シト
ラコン酸モノ−イソプロピル、シトラコン酸モノ−ｎ−
ブチル、シトラコン酸モノ−ｎ−ヘキシル、シトラコン
酸モノ−ｎ−オクチル、シトラコン酸モノ−２−エチル
ヘキシル、シトラコン酸モノ−ｎ−ノニル、シトラコン
酸モノ−ｎ−ドデシル等が挙げられる。

【００３２】前記スチレン誘導体としては、例えばα−
メチルスチレン、ｍ−又はｐ−メトキシスチレン、ｐ−
ヒドロキシスチレン、２−メトキシ−４−ヒドロキシス
チレン、２−ヒドロキシ−４−メチルスチレン等が挙げ
られる。

【００３３】また、前記の樹脂としては、光感度の向上
等を目的として光重合性不飽和結合を有するものを使用
してもよい。このような樹脂の好ましい例としては、高
酸価のカルボキシル基含有樹脂にグリシジルメタクリレ
ート、グリシジルアクリレート、アリルグリシジルエー
テル、α−エチルグリシジルアクリレート、クロトニル
グリシジルエーテル、イタコン酸モノアルキルグリシジ
ルエーテル等のオキシラン環とエチレン性不飽和結合を
それぞれ１個有する化合物やアリルアルコール、２−ブ
テン−４−オール、フルフリルアルコール、シンナミル
アルコール、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−
ヒドロキシエチルメタクリレート、Ｎ−メチロールアク
リルアミド等の水酸基とエチレン性不飽和結合をそれぞ
れ１個有する化合物（不飽和アルコール）を反応させた
樹脂、水酸基を有するカルボキシル基含有樹脂に遊離イ
ソシアネート基含有不飽和化合物を反応させた樹脂、エ
ポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との付加反応物に多塩基
酸無水物を反応させた樹脂、共役ジエン重合体や共役ジ
エン共重合体と不飽和ジカルボン酸無水物との付加反応
に水酸基含有重合性モノマーを反応させた樹脂などが挙
げられる。これらの樹脂の不飽和当量は、６００〜３０
００の範囲とすることが好ましく、８００〜２０００の
範囲とすることがより好ましい。不飽和当量が小さすぎ
ると感光材料の調製時に、顔料を樹脂に分散させるとき
に一部硬化する傾向があり、不飽和当量が大きすぎる
と、不飽和基の導入による光感度の向上効果が低下する
傾向がある。なお、ここでいる不飽和当量とは、不飽和
結合一つあたりの樹脂の分子量を意味している。

【００３４】前記の樹脂は、着色画像形成材料が露光後
アルカリ現像性を有するという観点からは、酸価が２０
〜３００の範囲内であることが好ましく、更に４０〜２
００の範囲であることが好ましく、特に６０〜１７０の
範囲内であることが好ましい。酸価が２０未満ではアル
カリ現像性が低下する傾向があり、３００を超えるとア
ルカリ現像後の画像パターンの形状が不鮮明となる傾向
がある。

【００３５】また、前記の樹脂の重量平均分子量は１，
５００〜２００，０００の範囲内にあることが好まし
く、更に５，０００〜１００，０００の範囲内であるこ
とが好ましく、特に１０，０００〜５０，０００の範囲
内であることが好ましい。重量平均分子量が１，５００
未満では顔料の分散安定性が低下する傾向があり、ま
た、２００，０００を超えると感光液にしたときに粘度
が高くなり、特に、スピンコートする際の塗布性が低下
する傾向がある。

【００３６】なお、ここで、重量平均分子量は、ゲルパ
ーミエーションクロマトグラフィーによって測定し、標
準ポリスチレンの検量線を用いて換算した値である。

【００３７】樹脂としては、酸価が２０〜３００かつ重
量平均分子量が１，５００〜２００，０００のものが好
ましいが、このような樹脂としては、特に下記一般式
（３）及び下記一般式（４）で表される繰り返し単位を
一般式（３）／一般式（４）が１／１〜５／１（モル
比）の比率で有する樹脂が顔料の分散性、光感度の点で
好ましい。

【００３８】

【化５】 （ただし、式中、Ｒ⁴は水素原子又はメチル基を示し、
Ｒ⁵及びＲ⁶はそれぞれ独立に水素原子、水酸基、炭素数
１〜１２のアルキル基又は炭素数１〜１２のアルコキシ
基を示す。）

【００３９】

【化６】 （ただし、式中、Ｒ⁷及びＲ⁸は、それぞれ独立に、炭素
数１〜１２のアルキル基又は光反応性不飽和結合を有す
る基を示し、Ｒ⁹は水素原子又は炭素数１〜１２のアル
キル基を示す。）また、（ｉ）一般式（４）において、
Ｒ⁷が光反応性不飽和結合を有する基、Ｒ⁸が水素原子、
Ｒ⁹が水素原子である繰り返し単位を有する樹脂、（ｉ
ｉ）一般式（４）において、Ｒ⁷が光反応性不飽和結合
を有する基、Ｒ⁸が水素原子又は光反応性不飽和結合を
有する基、Ｒ⁹が水素原子である繰り返し単位を有する
樹脂、（ｉｉｉ）一般式（４）において、Ｒ⁷が光反応
性不飽和結合を有する基又は水素原子、Ｒ⁸が光反応性
不飽和結合を有する基、Ｒ⁹が水素原子である繰り返し
単位を有する樹脂、又は（ｉｖ）一般式（４）におい
て、Ｒ⁷及びＲ⁸がそれぞれ独立に水素原子又は光反応性
不飽和結合を有する基であり、これらのうち少なくとも
一方は光反応性不飽和結合を有する基であり、Ｒ⁹が炭
素数１〜１２のアルキル基である繰り返し単位を有する
樹脂であることが好ましい。

【００４０】上記一般式（３）で表される繰り返し単位
及び一般式（４）で表される繰り返し単位を有する樹脂
の製造法としては、例えば、一般式（３）で表される繰
り返し単位及び一般式（４）で表される繰り返し単位を
有する樹脂の前駆体に、不飽和アルコール（アリルアル
コール、２−ブテン−４−オール、フルフリルアルコー
ル、オレイルアルコール、シンナミルアルコール、２−
ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチル
メタクリレート、Ｎ−メチロールアクリルアミド等）を
エステル化反応させて製造する方法、一般式（３）で表
される繰り返し単位及び一般式（４）で表される繰り返
し単位を有する樹脂の前駆体に、オキシラン環とエチレ
ン性不飽和結合をそれぞれ１個有する化合物（グリシジ
ルメタクリレート、グリシジルアクリレート、アリルグ
リシジルエーテル、α−エチルグリシジルアクリレー
ト、クロトニルグリシジルエーテル、イタコン酸モノア
ルキルモノグリシジルエステル等）を付加反応させて製
造する方法などが挙げられる。

【００４１】一般式（３）で表される繰り返し単位及び
一般式（４）で表される繰り返し単位を有する樹脂の前
駆体としては、スチレン又はその誘導体と、無水マレイ
ン酸又はマレイン酸モノアルキルエステル（マレイン酸
のハーフエステル）とを共重合することにより得ること
ができる。

【００４２】スチレン誘導体としては、例えばα−メチ
ルスチレン、ｍ−又はｐ−メトキシスチレン、ｐ−ヒド
ロキシスチレン、２−メトキシ−４−ヒドロキシスチレ
ン、２−ヒドロキシ−４−メチルスチレン等が挙げられ
る。

【００４３】マレイン酸モノアルキルエステルとして
は、例えば、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエ
チル、マレイン酸モノ−ｎ−プロピル、マレイン酸モノ
イソプロピル、マレイン酸モノ−ｎ−ブチル、マレイン
酸モノ−ｎ−ヘキシル、マレイン酸モノ−ｎ−オクチ
ル、マレイン酸モノ−２−エチルヘキシル、マレイン酸
モノ−ｎ−ノニル、マレイン酸モノ−ｎ−ドデシル等が
挙げられる。

【００４４】シトラコン酸モノアルキルエステルとして
は、例えば、シトラコン酸モノメチル、シトラコン酸モ
ノエチル、シトラコン酸モノ−ｎ−プロピル、シトラコ
ン酸モノ−イソプロピル、シトラコン酸モノ−ｎ−ブチ
ル、シトラコン酸モノ−ｎ−ヘキシル、シトラコン酸モ
ノ−ｎ−ノニル、シトラコン酸モノ−ｎ−ドデシル等が
挙げられる。

【００４５】また、本発明に用いられる着色画像形成材
料に使用する樹脂としては、前記した一般式（３）で表
される繰り返し単位及び一般式（４）で表される繰り返
し単位を有する樹脂を使用するとき、他の樹脂を併用し
てもよい。他の樹脂としては前記した樹脂のうち前記し
た一般式（３）で表される繰り返し単位及び一般式
（４）で表される繰り返し単位を有する樹脂以外の樹脂
が使用されるが、更に、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、
ウレタン樹脂、メラミン樹脂等を使用してもよい。他の
樹脂は樹脂の総量１００重量部に対して、５０重量部以
下で使用することが好ましい。

【００４６】本発明に用いられる着色画像形成材料に用
いられる樹脂の配合量は、着色画像形成材料の総量に対
して１０〜８５重量％とすることが好ましく、２０〜６
０重量％とすることがより好ましい。

【００４７】次に、前記着色画像形成材料に使用される
顔料について説明する。本発明における着色画像形成材
料の顔料としては、無機顔料と有機顔料があり、いずれ
も使用することができるが、色調の豊富さ等から黒色の
カーボンブラック（無機顔料）と有機顔料が好ましい。

【００４８】有機顔料としては、例えば、アゾ系、フタ
ロシアニン系、インジゴ系、アントラキノン系、ペリレ
ン系、キナクリドン系、メチン・アゾメチン系、イソイ
ンドリノン系等が挙げられる。

【００４９】本発明における着色画像形成材料をカラー
フィルターに適用する場合には、赤、緑、青及び黒色の
着色画像に適した顔料系が用いられる。

【００５０】赤色の着色画像には、単一の赤色顔料系を
用いてもよいし、黄色顔料系又は橙色顔料系を赤色顔料
系に混合して調色を行ってもよい。赤色顔料系として
は、例えば、カラーインデック名でピグメントレッド
９、１２３、１５５、１６８、１７７、１８０、２１
７、２２０、２２４、２５４などが挙げられる。また、
黄色顔料系としては、例えば、カラーインデックス名で
ピグメントイエロー１７、２０、２４、８３、９３、１
０９、１１０、１１７、１２５、１２８、１２９、１３
８、１３９、１４７、１５０、１５４などが挙げられ
る。また、橙色顔料系としては、カラーインデックス名
でピグメントオレンジ４３、４８、７１などが挙げられ
る。これらの赤色、黄色又は橙色顔料は、それぞれ２種
以上混合して用いることもできる。また、赤色顔料系と
黄色顔料系又は橙色顔料系を混合して用いる場合には、
赤色顔料系と黄色顔料系又は橙色顔料系の総量１００重
量部に対して黄色顔料系又は橙色顔料系を５０重量部以
下で用いることが好ましい。

【００５１】緑色の着色画像には、単一の緑色顔料系を
用いてもよいし、黄色顔料系を緑色顔料系に混合して調
色を行ってもよい。緑色顔料系としては、例えば、カラ
ーインデック名でピグメントグリーン７、３６、３７等
が挙げられる。また、黄色顔料系としては、例えば、カ
ラーインデックス名でピグメントイエロー１７、２０、
２４、８３、９３、１０９、１１０、１１７、１２５、
１２８、１２９、１３８、１３９、１４７、１５０、１
５４等が挙げられる。これらの緑色及び黄色顔料は、そ
れぞれ２種以上混合して用いることもできる。また、緑
色顔料系と黄色顔料系を混合して用いる場合には、緑色
顔料系と黄色顔料の総量１００重量部に対して黄色顔料
系を５０重量部以下で用いることが好ましい。

【００５２】青色の着色画像には、単一の青色顔料系を
用いてもよいし、紫色顔料系を青色顔料系に混合して調
色を行ってもよい。青色顔料系としては、例えば、カラ
ーインデック名でピグメントブルー１５、１５：３、１
５：４、１５：６、２２、６０等が挙げられる。また、
紫色顔料系としては、例えば、カラーインデックス名で
ピグメントバイオレット１９、２３、２９、３７、５０
等が挙げられる。これらの青色及び紫色顔料は、それぞ
れ２種以上混合して用いることもできる。また、青色顔
料系と紫色顔料系を混合して用いる場合には、青色顔料
系と紫色顔料の総量１００重量部に対して紫色顔料系を
５０重量部以下で用いることが好ましい。

【００５３】黒色の着色画像には、例えば、カーボンブ
ラック、黒鉛、チタンカーボン、黒色酸化鉄、二酸化マ
ンガン等の黒色顔料が用いられる。

【００５４】本発明に用いられる着色画像形成材料にお
ける顔料の使用量は、樹脂、顔料、光重合性不飽和結合
を分子内に１個以上有するモノマー及び光開始剤からな
る着色画像形成材料の総量に対して５〜５０重量％とす
ることが好ましく、１０〜４０重量％とすることがより
好ましく、１５〜３０重量％とすることが特に好まし
い。この使用量が５重量％未満では画像の色濃度が低く
なる傾向があり、また５０重量％を超えると光感度が低
下する傾向がある。

【００５５】前記着色画像形成用材料に使用される光重
合性不飽和結合を分子内に１個以上有するモノマーのう
ち、光重合性不飽和結合を分子内に１個有するモノマー
としては、メチルメタクリレート、ブチルメタクリレー
ト、２−エチルヘキシルメタクリレート等のアルキルメ
タクリレート、メチルアクリレート、ブチルアクリレー
ト、２−エチルヘキシルアクリレート等のアルキルアク
リレート、ベンジルメタクリレート等のアラルキルメタ
クリレート、ベンジルアクリレート等のアラルキルアク
リレート、ブトキシエチルメタクリレート等のアルコキ
シアルキルメタクリレート、ブトキシエチルアクリレー
ト等のアルコキシアルキルアクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメ
チルアミノエチルメタクリレート等のアミノアルキルメ
タクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリレ
ート等のアミノアルキルアクリレート、（ジエチレング
リコールエチルエーテル）のメタクリル酸エステル、
（トリエチレングリコールブチルエーテル）のメタクリ
ル酸エステル、（ジプロピレングリコールメチルエーテ
ル）のメタクリル酸エステル等の（ポリアルキレングリ
コールアルキルエーテル）のメタクリル酸エステル、
（ジエチレングリコールエチルエーテル）のアクリル酸
エステル、（トリエチレングリコールブチルエーテル）
のアクリル酸エステル、（ジプロピレングリコールメチ
ルエーテル）のアクリル酸エステル等の（ポリアルキレ
ングリコールアルキルエーテル）のアクリル酸エステ
ル、（ヘキサエチレングリコールフェニルエーテル）の
メタクリル酸エステル等の（ポリアルキレングリコール
アリールエーテル）のメタクリル酸エステル、（ヘキサ
エチレングリコールフェニルエーテル）のアクリル酸エ
ステル等の（ポリアルキレングリコールアリールエーテ
ル）のアクリル酸エステル、ジシクロペンタニルメタク
リレート、ジシクロペンタニルアクリレート、イソボル
ニルメタクリレート、メトキシ化シクロデカトリエンメ
タクリレート、イソボルニルアクリレート、メトキシ化
シクロデカトリエンアクリレート、グリセロールメタク
リレート、グリセロールアクリレート、ヘプタデカフロ
ロデシルメタクリレート等のフッ素化アルキルメタクリ
レート、ヘプタデカフロロデシルアクリレート等のフッ
素化アルキルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタ
クリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート等があ
る。

【００５６】光重合性不飽和結合を分子内に１個以上有
するモノマーのうち、光重合性不飽和結合を分子内に２
個以上有するモノマーとしては、ビスフェノールＡジメ
タクリレート、１，４−ブタンジオールジメタクリレー
ト、１，３−ブチレングリコールジメタクリレート、ジ
エチレングリコールジメタクリレート、グリセロールジ
メタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレ
ート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ポリ
プロピレングリコールジメタクリレート、テトラエチレ
ングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパ
ントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタ
クリレート、トリス（メタクリロキシエチル）イソシア
ヌレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレー
ト、ジペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジ
ペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ジペンタ
エリスリトールペンタメタクリレート、ビスフェノール
Ａジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレ
ート、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、ジ
エチレングリコールジアクリレート、グリセロールジア
クリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、
ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレ
ングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコー
ルジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリ
ス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエ
リスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリト
ールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリ
レート等が挙げられる。

【００５７】前記着色画像形成材料に使用される光重合
性不飽和結合を分子内に２個以上有するモノマーとして
は、さらに、一般式（ａ）

【００５８】

【化７】 （ただし、式中、Ｒはエチレン基又はピロピレン基を示
し、ａ及びｂはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を示
す。）で示されるビスフェノールＡのアルキレンオキシ
ド付加物のジアクリレート、一般式（ｂ）

【００５９】

【化８】 （ただし、式中、ｃ及びｄはそれぞれ独立に、１〜１０
の整数を示す。）で示されるビスフェノールＡのエピク
ロルヒドリン変性物とアクリル酸の付加エステル化物、
ビスフェノールＡジメタクリレート、１，４−ブタンジ
オールジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジ
アクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレー
ト、グリセロールジメタクリレート、ネオペンチルグリ
コールジアクリレート、一般式（ｃ）

【００６０】

【化９】 （ただし、式中、Ｒはエチレン基又はプロピレン基を示
し、ｅ及びｆはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を示
す。）で示されるリン酸のアルキレンオキシド付加物の
ジアクリレート、一般式（ｄ）

【００６１】

【化１０】 （ただし、式中、ｇ及びｈはそれぞれ独立に、１〜１０
の整数を示す。）で示されるフタル酸のエピクロルヒド
リン変性物とアクリル酸の付加エステル化物、ポリエチ
レングリコールのジアクリレート、ポリプロピレングリ
コールのジメタクリレート、テトラエチレングリコール
ジアクリレート、一般式（ｅ）

【００６２】

【化１１】 （ただし、式中、ｉ及びｊはそれぞれ独立に、１〜２０
の整数を示す。）で示される１，６−ヘキサンジオール
のエピクロルヒドリン変性物とアクリル酸の付加エステ
ル化物（アクリル基を一分子中に２個有するもの）、ト
リメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリス
リトールトリアクリレート、一般式（ｆ）

【００６３】

【化１２】 （ただし、式中、Ｒはエチレン基またはプロピレン基を
示し、３個のｋはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を示
す。）で示されるリン酸のアルキンオキシド付加物のト
リアクリレート、一般式（ｇ）

【００６４】

【化１３】 （ただし、式中、Ｒはエチレン基又はプロピレン基を示
し、ｐ、ｑ及びｒはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を
示す。）で示されるトリメチロールプロパンのアルキレ
ンオキシド付加物のトリアクリレート、トリス（メタク
リロキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリト
ールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテト
ラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリ
レート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートな
どが挙げられる。これらのモノマーは、単独で又は２種
以上を組み合わせて用いることができる。

【００６５】本発明における着色画像形成材料の光重合
性不飽和結合を分子内に１個以上有するモノマーの配合
量は、樹脂、顔料、光重合性不飽和結合を分子内に１個
以上有するモノマー及び光開始剤からなる着色画像形成
材料総量に対して、２〜５０重量％とすることが好まし
く、５〜４０重量％とすることがより好ましく、１０〜
３０重量％とすることが特に好ましい。この配合量が、
２重量％未満であると、光感度が低くなる傾向があり、
５０重量％を超えると、顔料の分散安定性が低下する傾
向がある。

【００６６】本発明における着色画像形成材料の光開始
剤としては、特に制限はなく、ベンゾフェノン、Ｎ，
Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノ
ン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノ
ン、ベンジル、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ベ
ンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソ
ブチルエーテル、ベンジルジメチルケタール、α−ヒド
ロキシイソブチルフェノン、チオキサントン、２−クロ
ロチオキサントン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェ
ニルケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フ
ェニル］−２−モルホリノ−１−プロパノン、ｔ−ブチ
ルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２，３
−ジクロロアントラキノン、３−クロル−２−メチルア
ントラキノン、２−エチルアントラキノン、１，４−ナ
フトキノン、９，１０−フェナントラキノン、１，２−
ベンゾアントラキノン、１，４−ジメチルアントラキノ
ン、２−フェニルアントラキノン、２−（ｏ−クロロフ
ェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体、ト
リアジン系光開始剤などが挙げられる。これらの光開始
剤は、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いること
ができる。

【００６７】本発明に用いられる着色画像形成材料の光
開始剤の配合量は、樹脂、顔料、光重合性不飽和結合を
分子内に１個以上有するモノマー及び光開始剤からなる
着色画像形成材料総量１００重量部に対して、０．０１
〜２０重量部とすることが好ましく、２〜１５重量部と
することがより好ましく、５〜１０重量部とすることが
特に好ましい。この配合量が、０．０１重量部未満であ
ると、光感度が低くなる傾向があり、２０重量部を超え
ると、密着性が低下する傾向がある。

【００６８】本発明に用いられる着色画像形成材料に
は、必須成分である樹脂、顔料、光重合性不飽和結合を
分子内に１個以上有するモノマー及び光開始剤以外に、
暗反応を抑制するためのハイドロキノン、ハイドロキノ
ンモノメチルエーテル、ピロガロール、ｔ−ブチルカテ
コール等の熱重合禁止剤、基板との密着性を向上させる
ためのシランカップリング剤（ビニル基、エポキシ基、
アミノ基、メルカプト基等を有した）やチタネート系カ
ップリング剤（イソプロピルトリメタクリロイルチタネ
ート、ジイソプロピルイソステアロイル−４−アミノベ
ンゾイルチタネート等）、膜の平滑性を向上させるため
の界面活性剤（フッ素系、シリコン系、炭化水素系
等）、紫外線吸収剤、酸化防止剤などの各種添加剤を必
要に応じて使用することができる。

【００６９】本発明に用いられる着色画像形成材料は、
適当な有機溶剤を加えて感光液とし、これを基板にスピ
ンコータなどを用い、膜として形成される。その後、露
光及び現像を行い、目的の画像パターンを得ることがで
きる。

【００７０】次に、本発明に用いる着色画像形成材料を
感光液とする方法について説明する。

【００７１】まず、着色画像形成材料に使用する顔料を
分散させる必要がある。この方法としては、通常、樹脂
及び顔料を有機溶剤と混合し、この混合物を超音波分散
機、三本ロール、ボールミル、サンドミル、ビースミ
ル、ホモジナイザー、ニーダー、ナノマイザー等の分散
・混練装置を用いて混練する方法がある。

【００７２】このとき用いる有機溶剤としては、特に制
限はなく、例えば、ケトン系、セロソルブ系、アルコー
ル系、芳香族系などが挙げられる。具体的には、アセト
ン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、メチルセ
ロソルブ（ジエチレングリコールジメチルエーテル）、
エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルセロソル
ブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセ
ロソルブアセテート、エチレングリコールモノプロピル
エーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、
エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリ
コールエチルエーテル、トリエチレングリコールジエチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピ
レングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリ
コールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノ
メチルエーテルアセテート、３−メチル−３−メトキシ
ブタノール、３−メチル−３−メトキシブチルアセテー
ト、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−ヒドロキシメチ
ル−２−ピロリドン、メチルアルコール、エチルアルコ
ール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコー
ル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ベンゼン、トル
エン、キシレン、酢酸エチル等の有機溶剤が挙げられ
る。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いる
ことができる。

【００７３】顔料分散時に、ポリカルボン酸型高分子活
性剤、ポリスルホン酸型高分子活性剤等のアニオン系顔
料分散剤、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレン
ブロックポリマー等のノニオン系顔料分散剤などの顔料
分散剤、アントラキノン系、ペリレン系、フタロシアニ
ン系、キナクリドン系等の有機色素にカルボキシル基、
スルホン酸塩基、カルボン酸アミド基、水酸基等の置換
基を導入した有機色素の誘導体などを加えると、顔料の
分散性や分散安定性が向上し、好ましい。これら顔料分
散剤や有機色素の誘導体は、顔料１００重量部に対して
５０重量部以下で用いることが好ましい。

【００７４】また、光重合性不飽和結合を分子内に１個
以上有するモノマー及び光開始剤は、顔料分散時に加え
ても、顔料分散後に加えてもよい。

【００７５】樹脂は、全量を分散時に顔料と共に用いて
もよく、また、樹脂の一部を分散後に加えてもよい。た
だし、分散時に樹脂は顔料１００重量部に対して少なく
とも２０重量部用いることが好ましい。２０重量部未満
では顔料の分散安定性が低下する傾向がある。

【００７６】同様に有機溶剤も顔料の分散時に全量用い
てもよく、また有機溶剤の一部を分散後に加えてもよ
い。ただし、有機溶剤は、分散時の顔料及び樹脂の全量
１００重量部に対して、分散時に少なくとも１００重量
部用いることが好ましい。１００重量部未満では分散時
の粘度が高すぎて、特にボールミル、サンドミル、ビー
ズミルなどで分散する場合には分散が困難になる可能性
がある。

【００７７】また、有機溶剤は、感光液中の樹脂、顔
料、光重合性不飽和結合を分子内に１個以上有するモノ
マー及び光開始剤を含む全固形分が５〜４０重量％の範
囲になるように用いることが好ましい。

【００７８】このような感光液を基板に塗布する方法と
しては、例えば、ロールコーター塗布、スピンコーター
塗布、スプレー塗布、ホエラー塗布、ディップコーター
塗布、カーテンフローコーター塗布、ワイヤーバーコー
ター塗布、グラビアコーター塗布、エアナイフコーター
塗布などがある。この際に用いる基板としては、用途に
より選択されるが、例えば、白板ガラス、青板ガラス、
シリカコート青板ガラス等の透明ガラス基板、ポリエス
テル樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、塩化
ビニル樹脂等の合成樹脂製シート、フィルム又は基板、
アルミニウム板、銅板、ニッケル板、ステンレス板等の
金属基板、その他セラミック基板、光電変換素子を有す
る半導体基板などが挙げられる。

【００７９】塗布後、通常、５０〜１３０℃の温度で１
〜３０分乾燥して膜を得ることができる、このようにし
て基板表面に形成した着色画像形成材料を含む膜の厚み
は、用途によって適宜定まるが、通常０．１〜３００μ
ｍの範囲で使用される。また、カラーフィルターに用い
る場合には、通常０．２〜５μｍの範囲で使用される。

【００８０】次に画像パターンを形成する方法について
説明する。

【００８１】上記方法で得られた基板上の膜に活性光線
を画像状に照射し、露光部の膜を硬化させる。また、膜
表面にポリビニルアルコール等の酸素遮断膜を０．５〜
３０μｍの厚みで形成し、その上から露光してもよい。

【００８２】活性光線の光源としては、例えば、カーボ
ンアーク灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハ
ライドランプ、蛍光ランプ、タングステンランプ、可視
光レーザーなどが好適である。これらの光源を用いてフ
ォトマスクを介したパターン露光や走査による直接描写
などにより画像状に活性光線が照射される。

【００８３】続いて、本発明の現像液液を用いて現像工
程を行う。すなわち、現像液を吹き付けるか、現像液に
浸漬するなどして未露光部を除去し、画像に対応した硬
化膜の着色画像パターンを得ることができる。

【００８４】現像後、更に、着色画像パターンを高圧水
銀灯などを用いて０．５〜５ｍＪ／ｃｍ²の光量を後露
光するか、あるいは６０〜２００℃の温度で１〜６０分
間、後加熱をすると、画像パターンはより強固になり好
ましい。

【００８５】液晶表示素子に用いるカラーフィルターの
作製を例示すると、ガラス基板上に着色画像形成材料を
用いて、前記した方法を繰り返して行うことにより、
赤、緑、青等の着色画像を形成した後、この着色画素間
の間隙に黒色の着色画像をブラックマトリックスとして
形成する方法や、先にクロム蒸着や黒色の着色画像等に
よりブラックマトリックスを形成後、上記と同様に赤、
緑、青等の着色画素を形成したカラーフィルターを形成
する方法などがある。

【００８６】

【実施例】以下、本発明を実施例により詳細に説明する
が、本発明はこれらによって限定されるものではない。 （１）使用する樹脂：スチレン５０モル％−マレイン酸
モノプロピルエステル２０モル％−マレイン酸誘導体３
０モル％からなり、重量平均分子量が１１，０００かつ
酸価６５の共重合体（以下、共重合体Ａという。） （２）上記マレイン酸誘導体に基づく繰り返し単位は次
の構造を有するものである。

【００８７】

【化１４】 感光液の製造例１（黒色着色画像形成用感光液の製造
例） 樹脂として共重合体Ａ１０ｇ、顔料としてカーボンブラ
ックを３８ｇ及びジエチレングリコールジメチルエーテ
ル２００ｇをビースミルを用いて２時間混練して着色樹
脂組成物を得た。

【００８８】この着色樹脂組成物、モノマーとしてトリ
メチロールプロパントリアクリレート３２ｇ、光開始剤
としてベンゾフェノン１２ｇ及びＮ，Ｎ′−テトラエチ
ル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン４ｇ並びに有機
溶剤であるジエチレングリコールジメチルエーテル２０
０ｇを加えて混合し、黒色の着色画像形成用感光液を得
た。

【００８９】感光液の製造例２（赤色着色画像形成用感
光液の製造例） 樹脂として共重合体Ａ３０ｇ、顔料としてＣ．Ｉ．ピグ
メントレッド１７７を２１ｇ及びＣ．Ｉ．ピグメントイ
エロー１３９を４ｇ及びジエチレングリコールジメチル
エーテル２００ｇをビースミルを用いて２時間混練して
着色樹脂組成物を得た。

【００９０】この着色樹脂組成物、モノマーとしてペン
タエリスリトールテトラアクリレート３２ｇ、光開始剤
としてベンゾフェノン６ｇ及びＮ，Ｎ′−テトラエチル
−４，４′−ジアミノベンゾフェノン２ｇ並びに有機溶
剤であるジエチレングリコールジメチルエーテル２００
ｇを加えて混合し、赤色の着色画像形成用感光液を得
た。

【００９１】 感光液の製造例３（緑色着色画像形成用感光液の製造
例）樹脂として共重合体４０ｇ、顔料としてＣ．Ｉ．ピ
グメントグリーン３６を１５ｇ及びＣ．Ｉ．ピグメント
イエロー８３を５ｇを使用したこと以外は感光液の製造
例２に準じて行い、緑色の着色画像形成用感光液を得
た。

【００９２】感光液の製造例４（青色着色画像形成用感
光液の製造例） 樹脂として共重合体Ａ４０ｇ、顔料としてＣ．Ｉ．ピグ
メントブルー１５：６を１７ｇ及びＣ．Ｉ．ピグメント
バイオレット２３を４ｇを使用したこと以外は感光液の
製造例２に準じて行い、青色の着色画像形成用感光液を
得た。

【００９３】実施例１ 感光液の製造例１で得た黒色の着色画像形成用感光液
を、ガラス基板（コーニング社製、商品名７０５９）上
にスピンコータ法により塗布し、更に１１０℃で５分間
乾燥を行い、膜厚１．０μｍの膜を形成した。

【００９４】得られた膜に、ネガマスクを通して超高圧
水銀灯により画像状に７００ｍＪ／ｃｍ²の露光を行
い、次いで、ポリオキシエチレンクミルフェニルエーテ
ル（下記式（５）中、ｎが１２のもの）０．１５重量
％、ポリオキシエチレンラウリルエーテル（一般式
（２）中ｎが１０のもの）０．１５重量％及び水酸化カ
リウムを０．３重量％含む水溶液により現像を行った。
その際の現像時間と画素の解像度及び現像残渣の評価結
果を表１に示した。

【００９５】

【化１５】 実施例２ 感光液の製造例２で得た赤色の着色画像形成用感光液
を、実施例１と同様にガラス基板上に塗布し、乾燥し、
膜厚２．０μｍの膜を形成した。

【００９６】得られた膜に、ネガマスクを通して超高圧
水銀灯により画像状に１００ｍＪ／ｃｍ²の露光を行
い、次いで、ポリオキシエチレンクミルフェニルエーテ
ル（式（５）中、ｎが１２のもの）０．１５重量％、ポ
リオキシエチレンラウリルエーテル（一般式（２）中ｎ
が１０のもの）０．１５重量％及び水酸化カリウムを
０．３重量％含む水溶液により現像を行った。その際の
現像時間と画素の解像度及び現像残渣の評価結果を表１
に示した。

【００９７】実施例３ 感光液の製造例３で得た緑色の着色画像形成用感光液
を、実施例１と同様にガラス基板上に塗布し、乾燥し、
膜厚２．０μｍの膜を形成した。

【００９８】得られた膜に、実施例２と同様な方法及び
条件で露光し、次いで、ポリオキシエチレンクミルフェ
ニルエーテル（式（５）中、ｎが１２のもの）０．１５
重量％、ポリオキシエチレンラウリルエーテル（一般式
（２）中ｎが１０のもの）０．１５重量％及び水酸化カ
リウムを０．３重量％含む水溶液により現像を行った。
その際の現像時間と画素の解像度及び現像残渣の評価結
果を表１に示した。

【００９９】実施例４ 感光液の製造例４で得た青色の着色画像形成用感光液
を、実施例１と同様にガラス基板上に塗布し、乾燥し、
膜厚２．０μｍの膜を形成した。

【０１００】得られた膜に、実施例２と同様な方法及び
条件で露光し、次いで、ポリオキシエチレンクミルフェ
ニルエーテル（式（５）中、ｎが１２のもの）０．１５
重量％、ポリオキシエチレンラウリルエーテル（一般式
（２）中ｎが１０のもの）０．１５重量％及び水酸化カ
リウムを０．３重量％含む水溶液により現像を行った。
その際の現像時間と画素の解像度及び現像残渣の評価結
果を表１に示した。

【０１０１】実施例５ クロムによりブラックマトリックスを形成したガラス基
板上に、実施例２と同様な方法及び条件で赤色の画像パ
ターンを形成した後、１８０℃で１０分間加熱を行っ
た。次いで、その基板を用いて実施例３と同様な方法及
び条件で赤色画像パターンの隣に緑色の画像パターンを
形成した後、１８０℃で１０分間加熱を行った。次い
で、その基板を用いて、実施例４と同様な方法及び条件
で、緑色画像パターンの隣に青の画像パターンを形成し
た後、２００℃で１０分間加熱を行った。以上より、一
つの画素が、３０μｍ×１００μｍの赤、緑及び青の三
色からなるモザイク状に並んだカラーフィルターを作製
した。

【０１０２】実施例６ ガラス基板上に、実施例１と同様な方法及び条件で幅２
０μｍの黒色の画像パターン（ブラックマトリックス）
を形成した後、２０５℃で２０分間加熱を行った。次い
で、実施例５と同様な方法で赤、緑色及び青色の順で画
素を形成し、一つの画素が、３０μｍ×１００μｍの
赤、緑及び青の三色からなるモザイク状に並んだカラー
フィルターを作製した。

【０１０３】比較例１ 現像液として水酸化ナトリウムを０．３重量％含む水溶
液を使用する以外は、実施例１と同様の感光液を用い
て、実施例１と同様の方法及び条件で、黒色画像を形成
した。その際の現像時間と画素の解像度及び現像残渣の
評価結果を表１に示した。

【０１０４】比較例２ 現像液としてポリオキシエチレンクミルフェニルエーテ
ル（式（５）中、ｎが１２のもの）０．１５重量％及び
水酸化カリウムを０．３重量％含む水溶液を使用する以
外は、実施例１と同様の感光液を用いて、実施例１と同
様の方法及び条件で黒色画像を形成した。その際の現像
時間と画素の解像度及び現像残渣の評価結果を表１に示
した。

【０１０５】比較例３ 現像液としてポリオキシエチレンラウリルエーテル（一
般式（２）中、ｎが１０のもの）０．１５重量％及び水
酸化カリウムを０．３重量％含む水溶液を使用する以外
は、実施例１と同様の感光液を用いて、実施例１と同様
の方法及び条件で黒色画像を形成した。その際の現像時
間と画素の解像度及び現像残渣の評価結果を表１に示し
た。

【０１０６】

【表１】 １）スプレー現像（スプレー圧：０．１ｋｇ／ｍｍ²）
により、画像が現れる最小現像時間（ｓ） ２）◎：未露光部に現像残渣が認められなかった。

【０１０７】×：未露光部に現像残渣が多くなった。

【０１０８】表１より、本発明による現像液を用いて現
像すると（実施例１〜４）、本発明の範囲外の現像液を
用いた場合（比較例１〜３）に比べて、現像時間が短縮
できることが分かる。また実施例１〜４で得られた画像
パターンの解像度も比較例１〜３に比べて高く、現像後
の未露光部には現像残渣が認められなかった。

【０１０９】このように従来になく現像性に優れた現像
液を用いて作製したカラーフィルター（実施例５及び
６）は何れも消偏性が７００以上と光学特性に優れ、画
像表示素子として有効であることを確認した。

【０１１０】

【発明の効果】本発明の現像液は、顔料を分散した感光
材料の現像液の問題点である現像時間、解像性及び現像
残渣を何れも向上させる。

【０１１１】本発明の着色画像の製造法により、解像性
が優れ、現像残渣が少なく、顔料を分散した着色画像を
形成することができる。

【０１１２】本発明のカラーフィルターの製造法によ
り、画像表示素子として好適な高品位のカラーフィルタ
ーを製造することができる。

フロントページの続き (72)発明者 山崎 浩二 千葉県市原市五井南海岸14番地 日立化成 工業株式会社五井工場内 (72)発明者 横地 精吾 千葉県市原市五井南海岸14番地 日立化成 工業株式会社五井工場内 (72)発明者 加藤 慎也 千葉県市原市五井南海岸14番地 日立化成 工業株式会社五井工場内 (72)発明者 劉 順林 千葉県市原市五井南海岸14番地 日立化成 工業株式会社五井工場内 Ｆターム(参考） 2H025 AA02 AA04 AB13 AD01 BC31 CB42 CC04 2H048 AA05 AA09 BA17 BA24 2H096 AA22 GA09 GA11

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塩基性を示す化合物とアルキルフェノー
   ル系界面活性剤及びアルキルエーテル系界面活性剤を含
   有してなる現像液。
2. 【請求項２】 塩基性を示す化合物が水酸化ナトリウ
   ム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、
   メタケイ酸ナトリウム及びメタケイ酸カリウムからなる
   群から選ばれる少なくとも１種類の無機アルカリ化合物
   である請求項１記載の現像液。
3. 【請求項３】 アルキルフェノール系界面活性剤が下記
   一般式（１） 【化１】 （式中、Ｒ¹は炭素数１〜１９の脂肪族炭化水素基を示
   し、ｔは０又は１であり、ｎは１〜５０の整数であ
   る。）で表される化合物である請求項１又は２記載の現
   像液。
4. 【請求項４】 アルキルエーテル系界面活性剤が下記一
   般式（２） 【化２】 （式中、Ｒ²は炭素数１〜１００のアルキル基を示し、
   ｍは１〜５０の整数である。）で表される化合物である
   請求項１、２又は３記載の現像液。
5. 【請求項５】 塩基性を示す化合物の濃度が０．０１〜
   ２０重量％、アルキルフェノール系界面活性剤の濃度が
   ０．０１〜２０重量％及びアルキルエーテル系界面活性
   剤の濃度が０．０１〜２０重量％である請求項１乃至４
   いずれかに記載の現像液。
6. 【請求項６】 アルカリ現像可能で感光性の着色画像形
   成材料からなる層を基板上に積層し、露光現像する着色
   画像形成工程を含む着色画像の製造法において、現像時
   に使用する現像液として請求項１乃至４いずれかに記載
   の現像液を使用することを特徴とする着色画像の製造
   法。
7. 【請求項７】 アルカリ現像可能で感光性の着色画像形
   成材料が酸価が２０〜３００の樹脂、顔料、光重合性不
   飽和結合を分子内に１個以上有するモノマー及び光開始
   剤を含有するものである請求項６記載の着色画像の製造
   法。
8. 【請求項８】 請求項６又は７記載の着色画像の製造法
   により同一基板上に複数の着色画像を作製することを特
   徴とするカラーフィルターの製造法。