JP2000074965A - 電気抵抗測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定対象個所を損傷させることがなく、測定
対象個所のサイズの小さいものであっても、製造が容易
で、所要の電気抵抗の測定を高い精度で行うことができ
る電気抵抗測定装置を提供すること。 【解決手段】 本発明の電気抵抗測定装置は、同一の測
定対象個所に電気的に接続される、互いに離間して配置
された電流供給用電極および電圧測定用電極と、前記電
流供給用電極および前記電圧測定用電極の両方の表面に
接するよう設けられた共通の接触部材とを有してなり、
前記接触部材は、弾性高分子物質中に導電性粒子が充填
されてなる異方導電性エラストマーにより構成され、当
該接触部材が測定対象個所に圧接された状態で電気抵抗
の測定が実行されることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電流供給用電極お
よび電圧測定用電極を有する電気抵抗測定装置に関し、
更に詳しくは回路基板における電極間の電気抵抗を測定
するために好適な電気抵抗測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、回路基板の電気的検査において
は、被検査回路基板における電極間の電気抵抗を測定す
ることが行われている。かかる電気抵抗の測定において
は、図１１に示すように、被検査回路基板９０の測定対
象電極９１，９２の各々に対し、電流供給用プローブＰ
Ａ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＣ，ＰＤを押圧し
て接触させ、この状態で、電流供給用プローブＰＡ，Ｐ
Ｄの間に電源装置９３から電流を供給し、電圧測定用プ
ローブＰＢ，ＰＣによって検出される電圧信号を電気信
号処理装置９４において処理することにより、当該測定
対象電極９１，９２間の電気抵抗の大きさを求める手段
が採用されている。

【０００３】然るに、上記の手段においては、電流供給
用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＣ，
ＰＤを測定対象電極９１，９２に相当に大きい押圧力で
接触させることが必要であるが、プローブは金属製であ
ってその先端は尖頭状とされているため、接触プローブ
が押圧されることによって測定対象電極９１，９２の表
面が損傷してしまい、当該回路基板は使用することが不
可能なものとなってしまう。このような事情から、電気
抵抗の測定は、製品のすべてについて行うことができ
ず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ず、結局、製
品の歩留りを大きくすることはできない。

【０００４】このような問題を解決するため、エラスト
マーにより導電性粒子が結着された導電ゴムよりなる接
触部材が、電流供給用電極および電圧供給用電極の各々
に互いに独立して配置された電気抵抗測定装置が提案さ
れている（特開平９−２６４４６号公報参照）。上記の
電気抵抗測定装置によれば、被検査回路基板における測
定対象電極に対する電流供給用電極および電圧供給用電
極の電気的接続が導電ゴムよりなる接触部材を介してな
されるため、当該測定対象電極が損傷することなく電気
抵抗を測定することができる。

【０００５】しかしながら、上記の電気抵抗測定装置に
おいては、次のような問題がある。回路基板における電
極間の電気抵抗を測定するためには、当該回路基板にお
ける測定対象電極に、電流供給用電極に接続された接触
部材および電圧供給用電極に接続された接触部材の両方
を接触させることが必要となる。然るに、回路基板にお
いては、高い集積度を得るために電極サイズが小さくな
る傾向があり、このような測定対象電極に、互いに独立
した２つの接触部材を接触させるためには、当該測定対
象電極よりも更に小さいサイズの接触部材を、極めて小
さい距離で離間した状態で形成しなければならない。こ
のような理由から、小さいサイズの電極を有する回路基
板の電気抵抗を測定するための電気抵抗測定装置につい
ては、当該回路基板の測定対象電極に対応する接触部材
を形成することは極めて困難であり、従って、このよう
な電気抵抗測定装置を容易に製造することができない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に基づいてなされたものであって、その目的は、
測定対象個所を損傷させることがなく、測定対象個所の
サイズの小さいものであっても、製造が容易で、所要の
電気抵抗の測定を高い精度で行うことができる電気抵抗
測定装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の電気抵抗測定装
置は、同一の測定対象個所に電気的に接続される、互い
に離間して配置された電流供給用電極および電圧測定用
電極と、前記電流供給用電極および前記電圧測定用電極
の両方の表面に接するよう設けられた共通の接触部材と
を有してなり、前記接触部材は、弾性高分子物質中に導
電性粒子が充填されてなる異方導電性エラストマーによ
り構成され、当該接触部材が測定対象個所に圧接された
状態で電気抵抗の測定が実行されることを特徴とする。

【０００８】

【作用】（１）測定対象電極に圧接される接触部材は、
異方導電性エラストマーにより構成されているため、当
該接触部材が測定対象個所に圧接されても当該測定対象
個所が損傷することがない。 （２）接触部材は、電流供給用電極および電圧測定用電
極の両方の表面に接するよう設けられているため、十分
に大きいサイズを有するものであり、その結果、測定対
象個所のサイズが小さくても、当該接触部材を容易に形
成することができる。 （３）接触部材は、厚み方向における電気抵抗が厚み方
向と垂直な方向における電気抵抗に比して極めて小さい
ものであるため、接触部材が電流供給用電極および電圧
測定用電極の両方の表面に接していても、当該接触部材
を介して電流供給用電極と電圧測定用電極との間に流れ
る電流は極めて小さく、その結果、測定誤差が小さくて
高い精度で電気抵抗を測定することができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。図１は、本発明の電気抵抗測定装置
の一例における構成を示す説明図である。この電気抵抗
測定装置は、回路基板における電極間の電気抵抗を測定
するものであり、検査用回路基板１１を有する上部側ア
ダプター１０と、検査用回路基板３１を有する下部側ア
ダプター３０とが上下に互いに対向するよう配置されて
いる。上部側アダプター１０における検査用回路基板１
１の上面には、例えば発泡ポリウレタン、発泡ゴムなど
よりなる弾性緩衝板２５を介して、当該上部側アダプタ
ー１０を下方に押圧して降下させるための押圧板２０が
配置されている。一方、下部側アダプター３０における
検査用回路基板３１の下面には、当該下部側アダプター
３０を上方に押圧して上昇させるための押圧板４０が配
置されている。

【００１０】上部側アダプター１０と下部側アダプター
３０との間には被検査回路基板１が配置されている。こ
の例における被検査回路基板１は、図２に示すように、
その上面に、当該被検査回路基板１の周縁の方向に沿っ
て並ぶよう配置された、複数の矩形のペリフェラール電
極２を有すると共に、これらのペリフェラール電極２の
外方に配置された複数のフォトビア電極３を有し、これ
らのフォトビア電極３の各々は、ペリフェラール電極２
の各々に電気的に接続されている。また、被検査回路基
板１は、図３に示すように、その下面に、格子点位置に
従って配置された複数のグリッド電極４を有し、これら
のグリッド電極４の各々は、フォトビア電極３の各々に
電気的に接続されている。

【００１１】図４にも拡大して示すように、上部側アダ
プター１０における検査回路基板１１の下面には、被検
査回路基板１の上面における測定対象電極（図示の例で
はペリフェラール電極２）の配置パターンに従って、電
流供給用電極１２および電圧測定用電極１３が互いに離
間して配置されており、電流供給用電極１２および電圧
測定用電極１３は、当該検査用回路基板１１の配線回路
１４およびコネクター１５を介してテスター５０に電気
的に接続されている。また、上部側アダプター１０に
は、検査用回路基板１１における電流供給用電極１２お
よび電圧測定用電極１３の両方の表面に接する共通の接
触部材１６が設けられており、この接触部材１６は、検
査用回路基板１１の下面に設けられたシート状の保持部
材１７によって、端面が当該保持部材１７の表面から突
出した状態で保持されている。この例においては、被検
査回路基板１における測定対象電極（ペリフェラール電
極２）毎に、これに対応する複数の接触部材１６が互い
に独立した状態で設けられている。

【００１２】一方、下部側アダプター３０における検査
回路基板３１の上面には、被検査回路基板１の下面にお
ける測定対象電極（図示の例ではグリッド電極４）の配
置パターンに従って、電流供給用電極３２および電圧測
定用電極３３が互いに離間して配置されており、電流供
給用電極３２および電圧測定用電極３３は、当該検査用
回路基板３１の配線回路３４およびコネクター３５を介
してテスター５０に電気的に接続されている。検査用回
路基板３１における電流供給用電極３２と電圧測定用電
極３３との離間距離は、上部側アダプター１０と同様の
範囲である。また、下部側アダプター３０には、検査用
回路基板３１における電流供給用電極３２の表面および
電圧測定用電極３３の表面の両方に接する共通の接触部
材３６が設けられており、この接触部材３６は、検査用
回路基板３１の上面に設けられたシート状の保持部材３
７によって、端面が当該保持部材３７の表面から突出し
た状態で保持されている。この例においては、被検査回
路基板１における測定対象電極（グリッド電極４）毎
に、これに対応する複数の接触部材１６が互いに独立し
た状態で設けられている。

【００１３】以上において、 検査用回路基板１１，３
１における電流供給用電極１２，３２と電圧測定用電極
１３，３３との離間距離は、１０〜５００μｍであるこ
とが好ましい。この離間距離が１０μｍ未満である場合
には、接触部材１６，３６を介して電流供給用電極１
２，３２と電圧測定用電極１３，３３との間に流れる電
流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定するこ
とが困難となることがある。一方、この離間距離が５０
０μｍを超える場合には、電極サイズの小さい測定対象
電極を有する被検査回路基板について、その電極間の電
気抵抗を測定することが困難となる。

【００１４】接触部材１６，３６の各々は異方導電性エ
ラストマーにより構成されている。この異方導電性エラ
ストマーは、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が
厚み方向（図において上下方向）に並ぶよう配向した状
態で充填されてなり、これにより、厚み方向に高い導電
性を示すものであり、特に、厚み方向に加圧されて圧縮
されたときに抵抗値が減少して導電路が形成される、加
圧異方導電性エラストマーが好ましい。

【００１５】導電性粒子としては、例えばニッケル、
鉄、コバルトなどの磁性を示す金属の粒子もしくはこれ
らの合金の粒子、またはこれらの粒子に金、銀、パラジ
ウム、ロジウムなどのメッキを施したもの、非磁性金属
粒子もしくはガラスビーズなどの無機質粒子またはポリ
マー粒子にニッケル、コバルトなどの導電性磁性体のメ
ッキを施したものなどを挙げることができる。

【００１６】後述する接触部材の形成方法においては、
ニッケル、鉄、またはこれらの合金などよりなる導電性
磁性体粒子が用いられ、また接触抵抗が小さいなどの電
気的特性の点で金メッキされた粒子を好ましく用いるこ
とができる。また、磁気ヒステリシスを示さない点か
ら、導電性超常磁性体よりなる粒子も好ましく用いるこ
とができる。

【００１７】導電性粒子の粒径は、接触部材１６，３６
の加圧変形を容易にし、かつ接触部材１６，３６におい
て導電性粒子間に十分な電気的な接触が得られるよう、
３〜２００μｍであることが好ましく、特に１０〜１０
０μｍであることが好ましい。

【００１８】弾性高分子物質としては、架橋構造を有す
る高分子物質が好ましい。架橋高分子物質を得るために
用いることができる硬化性の高分子物質用材料として
は、例えばシリコーンゴム、ポリブタジエン、天然ゴ
ム、ポリイソプレン、スチレン−ブタジエン共重合体ゴ
ム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴム、エチ
レン−プロピレン共重合体ゴム、ウレタンゴム、ポリエ
ステル系ゴム、クロロプレンゴム、エピクロルヒドリン
ゴム、軟質液状エポキシ樹脂などを挙げることができ
る。

【００１９】具体的には、硬化処理前には液状であっ
て、硬化処理後に検査用回路基板１１，３１と密着状態
または接着状態を保持して一体となる高分子物質用材料
が好ましい。このような観点から、本発明に好適な高分
子物質用材料としては、液状シリコーンゴム、液状ウレ
タンゴム、軟質液状エポキシ樹脂などを挙げることがで
きる。高分子物質用材料には、検査用回路基板１１，３
１に対する接着性を向上させるために、シランカップリ
ング剤、チタンカップリング剤などの添加剤を添加する
ことができる。

【００２０】接触部材１６，３６は、厚み方向の電気抵
抗に対する厚み方向と垂直な方向の電気抵抗の比が１以
下、特に０．５以下であることが好ましい。この比が１
を超える場合には、接触部材１６，３６を介して電流供
給用電極１２，３２と電圧測定用電極１３，３３との間
に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を
測定することが困難となることがある。このような観点
から、接触部材１６，３６における導電性粒子の充填率
は５〜５０体積％であることが好ましい。

【００２１】保持部材１７，３７を構成する材料として
は、弾性高分子物質が好ましく、接触部材１６，３６を
構成する弾性高分子物質と同一のものまたは異なるもの
を用いることができるが、同様に硬化処理後に検査用回
路基板１１，３１と密着状態または接着状態を保持して
一体となるものが用いられる。

【００２２】以上において、接触部材１６は、以下のよ
うにして検査用回路基板１１上に形成することができ
る。先ず、図５に示すように、検査用回路基板１１上
に、電流供給用電極１２および電圧測定用電極が形成さ
れた個所に対応して貫通孔１８が形成された保持部材１
７を形成する。このような保持部材１７は、検査用回路
基板１１上に、硬化されて絶縁性の弾性高分子物質とな
る高分子物質用材料を塗布し、これを硬化させることに
より、保持部材用シートを当該検査用回路基板１１に一
体的に形成し、その後、当該保持部材用シートに対して
レーザーなどにより所要の個所に貫通孔１８を形成する
ことにより得られる。

【００２３】次いで、図６に示すように、保持部材１７
の貫通孔１８内に、硬化されて絶縁性の弾性高分子物質
となる高分子物質用材料中に導電性磁性体粒子が分散さ
れてなる接触部材用材料層１６Ａを形成する。その後、
電磁石などにより、接触部材用材料層１６Ａの厚さ方向
の平行磁場を作用させる。その結果、接触部材用材料層
１６Ａにおいては、導電性磁性体粒子が、磁力により厚
み方向に並ぶよう配向する。そして、平行磁場を作用さ
せたまま、あるいは平行磁場を除いた後、硬化処理を行
うことにより、検査用回路基板１１および保持部材１７
に一体的に設けられた接触部材が形成される。

【００２４】接触部材用材料層１６Ａに作用される平行
磁場の強度は、平均で２００〜２０，０００ガウスとな
る大きさが好ましい。

【００２５】また、接触部材用材料層１６Ａの硬化処理
は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、
熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱
時間は、接触部材用材料層１６Ａの高分子物質用材料の
種類、導電性磁性体粒子の移動に要する時間などを考慮
して適宜選定される。例えば、高分子物質用材料が室温
硬化型シリコーンゴムである場合に、硬化処理は、室温
で２４時間程度、４０℃で２時間程度、８０℃で３０分
間程度で行われる。

【００２６】以上のような電気抵抗測定装置において
は、次のようにして被検査回路基板１における測定対象
電極間の電気抵抗が測定される。被検査回路基板１を、
上部側アダプター１０および下部側アダプター３０の間
における所要の位置に配置し、この状態で、押圧板２０
により弾性緩衝板３１を介して上部側アダプター１０を
押圧して下降させると共に、押圧板４０により下部側ア
ダプター３０を押圧して上昇させることにより、上部側
アダプター１０の接触部材１６が、被検査回路基板１に
おける一方の測定対象電極であるペリフェラール電極２
に圧接されると共に、下部アダプター３０の接触部材３
６が、被検査回路基板１における他方の測定対象電極で
あるグリッド電極４に圧接される。これにより、上部側
アダプター１０の検査用回路基板１１における電流供給
用電極１２および電圧測定用電極１３が、接触部材１６
を介して被検査回路基板１のペリフェラール電極２に電
気的に接続されると共に、下部側アダプター３０の検査
用回路基板３１における電流供給用電極３２および電圧
測定用電極３３が、接触部材３６を介して被検査回路基
板１のグリッド電極４に電気的に接続される。そして、
テスター５０から電流供給用電極１２，３２間に電流を
供給する共に、テスター５０によって、電圧測定用電極
１３，３３間の電圧信号を検出して処理することによ
り、ペリフェラール電極２およびグリッド電極４間にお
ける電気抵抗の測定が達成される。

【００２７】上記の電気抵抗測定装置によれば、被検査
回路基板１における測定対象電極であるペリフェラール
電極２およびグリッド電極４に圧接される接触部材１
６，３６は、異方導電性エラストマーにより構成されて
いるため、接触部材１６，３６がペリフェラール電極２
およびグリッド電極４に圧接されてもこれらが損傷する
ことがない。また、接触部材１６，３６は、電流供給用
電極１２，３２および電圧測定用電極１３，３３の両方
の表面に接するよう設けられているため、十分に大きい
サイズを有するものであり、その結果、ペリフェラール
電極２およびグリッド電極４の電極サイズが小さいもの
であっても、接触部材１６，３６を容易に形成すること
ができる。そして、接触部材１６，３６は、厚み方向に
おける電気抵抗が厚み方向と垂直な方向における電気抵
抗に比して極めて小さいものであるため、接触部材１
６，３６が電流供給用電極１２，３２および電圧測定用
電極１３，３３の両方の表面に接していても、接触部材
１６，３６を介して電流供給用電極１２，３２と電圧測
定用電極１３，３３との間に流れる電流は極めて小さ
く、その結果、測定誤差が小さくて高い精度で電気抵抗
を測定することができる。

【００２８】以上、本発明の実施の形態の一例を説明し
たが、本発明は上記の電気抵抗測定装置に限定されず、
以下のような種々の変更を加えることが可能である。 （１）図２および図３に示す被検査回路基板１におい
て、フォトビア電極３およびグリッド電極４間の電気抵
抗を測定する場合には、図７および図８に示す構成を採
用することができる。

【００２９】図７に示す電気抵抗測定装置ついて具体的
に説明すると、上部側アダプター１０における検査用回
路基板１１の下面には、被検査回路基板１におけるペリ
フェラール電極２の配置パターンに対応して電流供給用
電極１２が配置されると共に、フォトビア電極３の配置
パターンに対応して電圧測定用電極１３が配置されてい
る。そして、電流供給用電極１２の表面および電圧測定
用電極１３の表面の各々には、それぞれ独立の接触部材
１６が設けられており、この接触部材１６の各々は、検
査用回路基板１１の下面に設けられたシート状の保持部
材１７によって、端面が当該保持部材１７の表面から突
出した状態で保持されている。一方、下部側アダプター
３０は、図４に示すものと同様の構成である。

【００３０】上記の電気抵抗測定装置においては、図１
に示す電気抵抗測定装置と同様にして、上部側アダプタ
ー１０の接触部材１６が、被検査回路基板１におけるペ
リフェラール電極２およびフォトビア電極３の各々に圧
接されると共に、下部アダプター３０の接触部材３６
が、被検査回路基板１におけるグリッド電極４に圧接さ
れ、これにより、上部側アダプター１０の検査用回路基
板１１における電流供給用電極１２が、接触部材１６を
介して被検査回路基板１のペリフェラール電極２に電気
的に接続されると共に、電圧測定用電極１３が、接触部
材１６を介して被検査回路基板１のフォトビア電極３に
電気的に接続され、一方、下部側アダプター３０の検査
用回路基板３１における電流供給用電極３２および電圧
測定用電極３３が、接触部材３６を介して被検査回路基
板１のグリッド電極４に電気的に接続される。そして、
テスター５０から電流供給用電極１２，３２間に電流を
供給する共に、テスター５０によって、電圧測定用電極
１３，３３間の電圧信号を検出して処理することによ
り、フォトビア電極３およびグリッド電極４間における
電気抵抗の測定が達成される。

【００３１】図８に示す電気抵抗測定装置ついて具体的
に説明すると、上部側アダプター１０における検査用回
路基板１１の下面には、図９に示すように、被検査回路
基板１における全てのペリフェラール電極２をカバーす
る大きさの単独の電流供給用電極１２が配置されると共
に、フォトビア電極３の配置パターンに対応して電圧測
定用電極１３が配置されている。そして、電流供給用電
極１２の表面および電圧測定用電極１３の表面の各々に
は、それぞれ独立の接触部材１６が設けられており、こ
の接触部材１６の各々は、検査用回路基板１１の下面に
設けられたシート状の保持部材１７によって、端面が当
該保持部材１７の表面から突出した状態で保持されてい
る。一方、下部側アダプター３０は、図４に示すものと
同様の構成である。このような構成によれば、ペリフェ
ラール電極２に対応して複数の電流供給用電極１２を形
成することが不要となるため、検査用回路基板１０の製
造が容易となる。

【００３２】上記の電気抵抗測定装置においては、図１
に示す電気抵抗測定装置と同様にして、上部側アダプタ
ー１０における電流供給用電極１２の表面に設けられた
接触部材１６が、被検査回路基板１における全てのペリ
フェラール電極２に圧接されると共に、電圧測定用電極
１３の各々の表面に設けられた接触部材１６が、フォト
ビア電極３の各々に圧接され、一方、下部アダプター３
０の接触部材３６が、被検査回路基板１におけるグリッ
ド電極４に圧接され、これにより、上部側アダプター１
０の検査用回路基板１１における電流供給用電極１２
が、接触部材１６を介して被検査回路基板１の全てのペ
リフェラール電極２に電気的に接続されると共に、電圧
測定用電極１３の各々が、接触部材１６を介して被検査
回路基板１のフォトビア電極３の各々に電気的に接続さ
れ、一方、下部側アダプター３０の検査用回路基板３１
における電流供給用電極３２および電圧測定用電極３３
が、接触部材３６を介して被検査回路基板１のグリッド
電極４に電気的に接続される。そして、テスター５０か
ら電流供給用電極１２，３２間に電流を供給する共に、
テスター５０によって、電圧測定用電極１３，３３間の
電圧信号を検出して処理することにより、フォトビア電
極３およびグリッド電極４間における電気抵抗の測定が
達成される。

【００３３】（２）本発明の電気抵抗測定装置において
は、図１０に示すように、接触部材１６として、検査用
回路基板１０における電流供給用電極１２および電圧測
定用電極１３が形成された領域全体をカバーする寸法を
有する、全ての電流供給用電極１２および電圧測定用電
極１３に接続される異方導電性エラストマーシートを用
いることができる。 （３）本発明の電気抵抗測定装置は、回路基板における
電極間の電気抵抗の測定以外の用途にも適用することが
できる。

【００３４】

〔ペリフェラール電極〕

電極サイズ：０．０６ｍｍ×１．０ｍｍ，配置ピッチ：
０．１ｍｍ、電極数：６４×４（２５６） 〔フォトビア電極〕 電極サイズ：直径０．２ｍｍ，電極数：２５６ 〔グリット電極〕 電極サイズ：直径０．３ｍｍ，配置ピッチ：０．５ｍ
ｍ，電極数：１６×１６（２５６）

【００３５】〈実施例１〉図１の構成に従い、下記の条
件により電気抵抗測定装置を作製した。 （１）上部側アダプター 〔検査用回路基板〕 電流供給用電極の寸法：０．０６ｍｍ×０．４ｍｍ 電圧測定用電極の寸法：０．０６ｍｍ×０．４ｍｍ 電流供給用電極と電圧測定用電極との離間距離：１００
μｍ， 〔接触部材〕 寸法：０．０６×１．０ｍｍ，厚み０．２ｍｍ， 導電性粒子：材質；表面に金メッキが施されたニッケル
粒子，平均粒子径３０μｍ，充填率３０体積％， 弾性高分子物質：材質；シリコーンゴム， 〔保持部材〕 材質；シリコーンゴム，厚み０．２ｍｍ

【００３６】（２）下部側アダプター 〔検査用回路基板〕 電流供給用電極の寸法：０．２ｍｍ×０．１ｍｍ 電圧測定用電極の寸法：０．２ｍｍ×０．１ｍｍ 電流供給用電極と電圧測定用電極との離間距離：７０μ
ｍ， 〔接触部材〕 寸法：直径３００μｍ，厚み０．２ｍｍ， 導電性粒子：材質；表面に金メッキが施されたニッケル
粒子，平均粒子径３０μｍ，充填率３０体積％， 弾性高分子物質：材質；シリコーンゴム， 〔保持部材〕 材質；シリコーンゴム，厚み０．２ｍｍ

【００３７】（３）テスター 「ＯＰＥＮ／ＬＥＡＫテスター Ｒ−５６００」（抵抗
測定範囲１０ｍΩ〜１００Ω，日本電産リード製）

【００３８】上記の電気抵抗測定装置を用い、上部側ア
ダプターおよび下部側アダプターの接触部材を被検査回
路基板のペリフェラール電極およびグリッド電極に３ｋ
ｇｆの圧力で圧接させた状態で、当該被検査回路基板に
おけるペリフェラール電極とグリッド電極との間の電気
抵抗を測定した。結果を表１に示す。

【００３９】〈実施例２〉図７に示す構成に従い、下記
の条件により上部側コネクターを作製したこと以外は実
施例１と同様にして電気抵抗測定装置を作製した。 〔検査用回路基板〕 電流供給用電極の寸法：０．０６ｍｍ×１．０ｍｍ， 電圧測定用電極の寸法：直径０．２ｍｍ， 〔接触部材〕 電流供給用電極に接続されたものの寸法：０．０６ｍｍ
×１．０ｍｍ，厚み０．２ｍｍ， 電圧測定用電極に接続されたものの寸法：直径０．２ｍ
ｍ，厚み０．２ｍｍ，導電性粒子：材質；表面に金メッ
キが施されたニッケル粒子，平均粒子径３０μｍ，充填
率３０体積％， 弾性高分子物質：材質；シリコーンゴム

【００４０】上記の電気抵抗測定装置を用い、上部側ア
ダプターおよび下部側アダプターの接触部材を被検査回
路基板のペリフェラール電極およびフォトビア電極並び
にグリッド電極に３ｋｇｆの圧力で圧接させた状態で、
当該被検査回路基板におけるフォトビア電極とグリッド
電極との間の電気抵抗を測定した。結果を表１に示す。

【００４１】〈実施例３〉図８に示す構成に従い、下記
の条件により上部側コネクターを作製したこと以外は実
施例１と同様にして電気抵抗測定装置を作製した。 〔検査用回路基板〕 電流供給用電極の寸法：外周６．５ｍｍ×６．５ｍｍ，
幅１．０ｍｍ， 電圧測定用電極の寸法：直径０．２ｍｍ， 〔接触部材〕 電流供給用電極に接続されたものの寸法：外周６．５ｍ
ｍ×６．５ｍｍ，幅０．８ｍｍ，厚み０．２ｍｍ， 電圧測定用電極に接続されたものの寸法：直径０．２ｍ
ｍ，厚み０．２ｍｍ，導電性粒子：材質；表面に金メッ
キが施されたニッケル粒子，平均粒子径３０μｍ，充填
率３０体積％， 弾性高分子物質：材質；シリコーンゴム

【００４２】上記の電気抵抗測定装置を用い、上部側ア
ダプターおよび下部側アダプターの接触部材を被検査回
路基板のペリフェラール電極およびフォトビア電極並び
にグリッド電極に３ｋｇｆの圧力で圧接させた状態で、
当該被検査回路基板におけるフォトビア電極とグリッド
電極との間の電気抵抗を測定した。結果を表１に示す。

【００４３】〈参考例１〉電気抵抗測定器「ＴＲ６１４
３」（アドバンテスト製）を用い、プローブピンによ
り、被検査回路基板におけるペリフェラール電極とグリ
ッド電極との間の電気抵抗を測定した。結果を表１に示
す。 〈参考例２〉高精度電気抵抗測定器「ＴＲ６１４３」
（アドバンテスト製）を用い、プローブピンにより、被
検査回路基板におけるフォトビア電極とグリッド電極と
の間の電気抵抗を測定した。結果を表１に示す。

【００４４】

【表１】

【００４５】表１から明らかなように、実施例１〜３に
係る電気抵抗測定装置によれば、プローブピンによる電
気抵抗の測定値に対して５ｍΩ以下の誤差で電気抵抗を
測定することができ、高い精度を有するものであること
が確認された。

【００４６】

【発明の効果】本発明の電気抵抗測定装置によれば、測
定対象個所に圧接される接触部材が異方導電性エラスト
マーにより構成されているため、当該接触部材が測定対
象個所に圧接されても当該測定対象個所が損傷すること
がない。また、接触部材は、電流供給用電極および電圧
測定用電極の両方の表面に接するよう設けられているた
め、十分に大きいサイズを有するものであり、その結
果、測定対象個所のサイズが小さくても、当該接触部材
の形成が容易であり、従って、当該電気抵抗測定装置を
容易に製造することができる。そして、接触部材は、厚
み方向における電気抵抗が厚み方向と垂直な方向におけ
る電気抵抗に比して極めて小さいものであるため、接触
部材が電流供給用電極および電圧測定用電極の両方の表
面に接していても、当該接触部材を介して電流供給用電
極と電圧測定用電極との間に流れる電流は極めて小さ
く、その結果、電気抵抗の測定を誤差が小さくて高い精
度で行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電気抵抗測定装置の一例における
構成の概略を示す説明図である。

【図２】被検査回路基板の上面における測定対象電極の
配置状態を示す説明図である。

【図３】被検査回路基板の下面における測定対象電極の
配置状態を示す説明図である。

【図４】上部側アダプターおよび下部側アダプターの一
部を拡大して示す説明図である。

【図５】検査用回路基板上に貫通孔を有する保持部材が
形成された状態を示す説明図である。

【図６】保持部材の貫通孔内に接触部材用材料層が形成
された状態を示す説明図である。

【図７】本発明に係る電気抵抗測定装置の他の例におけ
る上部側アダプターおよび下部側アダプターの一部を拡
大して示す説明図である。

【図８】本発明に係る電気抵抗測定装置の更に他の例に
おける上部側アダプターおよび下部側アダプターの一部
を拡大して示す説明図である。

【図９】図８に示す電気抵抗測定装置における上部側ア
ダプターの電流供給用電極の形状を示す説明図である。

【図１０】本発明に係る電気抵抗測定装置の更に他の例
における上部側アダプターの一部を拡大して示す説明図
である。

【図１１】電流供給用プローブおよび電圧測定用プロー
ブにより、回路基板における電極間の電気抵抗を測定す
る装置の模式図である。

【符号の説明】

１ 被検査回路基板 ２ ペリフェラール電極 ３ フォトビア電極 ４ グリッド電極 １０ 上部側アダプター １１ 検査用回路基板 １２ 電流供給用電極 １３ 電圧測定用電極 １４ 配線回路 １５ コネクター １６ 接触部材 １６Ａ 接触部材用材料層 １７ 保持部材 １８ 貫通孔 ２０ 押圧板 ２１ 弾性緩衝板 ３０ 下部側アダプター ３１ 検査用回路基板 ３２ 電流供給用電極 ３３ 電圧測定用電極 ３４ 配線回路 ３５ コネクター ３６ 接触部材 ３７ 保持部材 ４０ 押圧板 ５０ テスター ９０ 被検査回路基板 ９１，９２ 測定対象電極 ９３ 電源装置 ９４ 電気信号処理装置 ＰＡ ＰＤ 電流供給用プローブ ＰＢ ＰＣ 電圧測定用プローブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA16 AB08 AC14 AE01 AF01 2G014 AA14 AB59 AC09 2G028 AA01 AA04 BC01 CG02 DH03 FK01 HN11 HN13

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 同一の測定対象個所に電気的に接続され
   る、互いに離間して配置された電流供給用電極および電
   圧測定用電極と、 前記電流供給用電極および前記電圧測定用電極の両方の
   表面に接するよう設けられた共通の接触部材とを有して
   なり、 前記接触部材は、弾性高分子物質中に導電性粒子が充填
   されてなる異方導電性エラストマーにより構成され、 当該接触部材が測定対象個所に圧接された状態で電気抵
   抗の測定が実行されることを特徴とする電気抵抗測定装
   置。