JP2000074254A - 純水・薬液供給用空気圧シリンダ操作弁の制御装置及び制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オイルダンパーやゴムクッションを用いるこ
となく弁体を弁座にソフトランディングさせ、弁体及び
弁座自体からの発塵を防止でき、しかも、ウォータハン
マーの発生を無くして純水・薬液供給系全体からの発塵
を防止できる。 【解決手段】 空気圧シリンダ操作弁１を、配管１１
ａ、１１ｂの流れ方向に対して通常と逆の背圧側が流入
口となるように設ける。空気圧シリンダ操作弁１の空気
供給口１０に連なる空気供給源１２からの空気制御ライ
ン１３の途中に空気圧制御用コントローラ１４を組み込
む。空気圧シリンダ操作弁１を弁開閉制御するに際し、
圧力を空気圧制御用コントローラ１４を用いてステップ
式に制御し、且つその都度、約１秒〜２秒程度、停止状
態に保持してピストン３の動作を遅延させ、弁体４を弁
座７にソフトに着座させたり、弁座７からソフトに離隔
させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の
洗浄、製造装置等に用いるのに適する純水・薬液供給用
空気圧シリンダ操作弁の制御装置及び制御方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ等の洗浄、製造装置等に用
いる純水・薬液供給系の弁は、弁開閉時にパーティクル
が発生すると半導体ウエハ等の製造の歩留りが低下する
ため、パーティクルの発生のなるべく少ないものが要求
されている。従来、この種の弁において、パーティクル
の発生を防止するために、オイルダンパーを内蔵し、若
しくはゴムクッションをピストンに付けて衝撃力を緩衝
することにより、弁体を弁座にソフトランディングさせ
るようにした構成が提供されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例の構成では、弁の使用条件に合わせた任意の設定が
難しい。また、構造上、弁開閉によるウォーターハンマ
ーの発生を防止することができず、純水・薬液供給系全
体からの発塵が余儀なくされていた。

【０００４】ウエハの枚葉処理化に伴い、バッチ式とは
異なって洗浄液を循環濾過できない。従って、洗浄装置
等に使われる弁は、１つで、しかも発塵しないことが要
求される。

【０００５】そこで本発明は、オイルダンパーやゴムク
ッションを用いることなく、弁体を弁座にソフトランデ
ィングさせることができて、弁体及び弁座自体からの発
塵を抑制することができ、しかも、ウォーターハンマー
の発生を防止して純水・薬液供給系全体からの発塵を抑
制できるようにした純水・薬液供給用空気圧シリンダ操
作弁の制御装置及び制御方法を提供しようとするもので
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の純水・薬液供給用空気圧シリンダ操作弁の制
御装置は、純水・薬液供給用空気圧シリンダ操作弁にお
ける空気供給口に連通する空気制御ラインの途中に組み
込まれ、上記空気圧シリンダ操作弁の弁閉時の圧力をス
テップ式に制御する空気圧制御手段を備えたものであ
る。

【０００７】上記課題を解決するための本発明の他の純
水・薬液供給用空気圧シリンダ操作弁の制御装置は、上
記制御装置において、空気圧制御手段が空気圧シリンダ
操作弁の弁開時の圧力をステップ式に制御するようにし
たものである。

【０００８】上記課題を解決するための本発明の純水・
薬液供給用空気圧シリンダ操作弁の制御方法は、純水・
薬液供給用空気圧シリンダ操作弁における弁閉時の圧力
を空気圧制御手段によりステップ式に制御して上記空気
圧シリンダ操作弁のピストンの動作を遅延させ、弁体を
弁座にソフトに着座させるようにしたものである。

【０００９】上記課題を解決するための本発明の他の純
水・薬液供給用空気圧シリンダ操作弁の制御方法は、上
記制御方法において、空気圧シリンダ操作弁における弁
開時の圧力を空気圧制御手段によりステップ式に制御し
て上記空気圧シリンダ操作弁のピストンの動作を遅延さ
せるようにしたものである。

【００１０】そして、上記各制御装置及び各制御方法の
いずれにおいても、空気圧シリンダ操作弁を純水、又は
薬液が背圧側から流れるように配置するのが好ましく、
また、空気圧制御手段が空気圧制御をステップごとにピ
ストンの慣性の影響を及ぼさないように停止させるのが
好ましい。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。まず、本発明の第１の
実施形態について説明する。図１に示すように、空気圧
シリンダ操作弁１は空気圧の利用によりシリンダ２内の
ピストン３を動作させて弁体４を開閉させることができ
る。この空気圧シリンダ操作弁１は本実施形態において
は、弁体４がダイヤフラムで、通常、スプリング５によ
りピストン３が下降され、このピストン３の下側に突出
するロッド６に結合されたダイヤフラム４の中央部が図
１の左半部に示すように、弁座７に着座させられて流路
８ａ、８ｂが閉じられるノーマル・クローズタイプに構
成されている。従って、シリンダ２の下室９に空気供給
口１０から空気が供給されることにより、その空気圧に
より図１の右半部に示すように、ピストン３及びダイヤ
フラム４等がスプリング５の弾性に抗して上昇され、ダ
イヤフラム４の中央部が弁座７から離隔し、流路８ａ、
８ｂが連通される。これにより、配管１１ａ、流路８
ａ、流路８ｂ、配管１１ｂを介して純水、又は薬液が洗
浄、製造装置等に供給される。そして、空気圧シリンダ
操作弁１は純水、又は薬液供給系の配管１１ａ、１１ｂ
の流れ方向に対し、通常とは逆に背圧側の流路８ａが流
入側となるように配置されている。

【００１２】空気供給口１０と空気供給源１２とを連通
させる空気制御ライン１３の途中に空気圧制御用コント
ローラ１４が組み込まれている。この空気圧制御用コン
トローラ１４は、その一例として、比例ソレノイドバル
ブ、ピエゾバルブ等から成るコントロールバルブ１５を
空気制御ライン１３の途中に備え、その下流で空気圧シ
リンダ操作弁１の空気供給口１０との間に容量式、抵抗
式等の圧力センサ１６を備え、この圧力センサ１６の信
号により動作される比較制御回路・駆動回路を持った電
気制御系１７を備えている。そして、電気制御系１７に
よりコントロールバルブ１５をステップ式に開閉制御
し、且つそのステップの都度、空気圧制御を所望時間停
止させるように保持することができる。空圧気制御用コ
ントローラ１４は上記構成が一体となった電子式レギュ
レータ、電空レギュレータ等を用いることもできる。こ
の空気圧制御用コントローラ１４と空気圧シリンダ操作
弁１の空気供給口１０との間には任意圧力で任意量の空
気が逃げる空気逃がしライン１８を設け、この空気逃が
しライン１８には絞り部１９を設けている。この絞り部
１９は逃げる流量に応じて１次側の圧力が変化させられ
る。この絞り部１９として細管、ノズル等、Ｃｖ値が固
定されるものや、ニードル等の可変できるものを使用す
ることができ、逃がし量はコントロールバルブ１５の性
能を考慮し、任意に設定される。

【００１３】上記構成による純水・薬液供給用空気圧シ
リンダ操作弁１の制御方法について説明する。空気圧シ
リンダ操作弁１が弁開の状態から弁閉に至る過程でシリ
ンダ２の下室９内の圧力を、予め空気圧シリンダ操作弁
１のヒステリシスやシリンダ２の慣性を考慮して時間軸
に対して設定したプログラムを空気圧制御用コントロー
ラ１４の電気制御系１７の比較制御回路に内蔵し、この
プログラムに基づいて動作させる。即ち、電気制御系１
７に外部からプログラム開スタート信号が入り、空気供
給源１２からシリンダ２の下室９に連通する空気制御ラ
イン１３の途中の圧力センサ１６によりシリンダ２の下
室９へ送られる空気の圧力が検出され、その検出信号が
電気制御系１７の比較制御回路に送られると、ここで予
め設定したプログラムに基づいて電気制御系１７の駆動
回路が動作し、コントロールバルブ１５の開度を閉方向
に制御し、空気制御ライン１３及び空気逃がしライン１
８を介して絞り部１９から任意圧力で任意量の空気を逃
がす。そして、空気供給源１２から空気圧シリンダ操作
弁１のシリンダ２の下室９へ送る空気の圧力を図５に示
すようにステップ式に制御し、空気圧シリンダ操作弁１
におけるスプリング５で加圧されているピストン３の動
作を遅延させる。本実施形態においては、約１秒〜２秒
程度の間、停止させるように保持することにより、ピス
トン３を確実に停止させ、ピストン３の慣性の影響をな
くすことができ、これによりダイヤフラムから成る弁体
４を弁座７にソフトに着座させることができる。

【００１４】空気圧シリンダ操作弁１を弁閉から弁開へ
制御するには、電気制御系１７に外部からプログラム開
スタート信号が入ると、予め設定したプログラムに基づ
いて駆動回路が動作し、任意圧力でコントロールバルブ
１５の開度を開方向に制御し、空気制御ライン１３を介
して空気供給源１２から空気圧シリンダ操作弁１の空気
供給口１０へ供給する空気圧を図５に示すように上記弁
閉時とは逆のステップ式に制御し、スプリング５で加圧
されているピストン３の動作を遅延させて弁体４を弁座
７からソフトに離脱させる。空気圧シリンダ操作弁１の
弁開制御に際し、ステップ式制御を行わない場合には、
コントロールバルブ１５を空気圧制御用コントローラ１
４とは無関係に強制的に開にし、空気供給源１２から空
気圧シリンダ操作弁１の空気供給口１０へ空気を供給す
ればよい。

【００１５】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。図２に示すように、本実施形態においては、空
気圧制御用コントローラ１４と空気供給源１２との間で
空気制御ライン１３の途中にシャットオフバルブ２０が
設けられている。そして、空気圧制御用コントローラ１
４としては、シャットオフバルブ２０とシリンダ２との
間の一定容積（シリンダ２の内容積を含む）から任意流
量で空気を逃がし、シリンダ２内の圧力を制御するため
に、シャットオフバルブ２０と空気圧シリンダ操作弁１
の空気供給口１０との間で、空気制御ライン１３に空気
逃がしライン２１を分岐して設け、この空気逃がしライ
ン２１にコントロールバルブ１５を設け、このコントロ
ールバルブ１５を空気制御ライン１３の途中で空気供給
口１０側に設けた圧力センサ１６の検出信号により動作
する比較制御回路・駆動回路を持った電気制御系１７に
よりステップ式に開閉制御し、且つそのステップの都
度、空気圧制御を所望時間停止させるように保持するよ
うにしたものである。その他の構成については上記第１
の実施形態と同様である。

【００１６】上記構成による純水・薬液供給用空気圧シ
リンダ操作弁１の制御方法について説明する。空気圧シ
リンダ操作弁１の圧力を空気圧制御用コントローラ１４
により弁開の状態から弁閉の状態に制御するには、シャ
ットオフバルブ２０を閉じることにより、電気制御系１
７にシャットオフバルブ２０のＯＦＦ信号が入り、空気
制御ライン１３の途中の圧力センサ１６によりシリンダ
２の下室９へ送られる空気の圧力が検出され、その検出
信号が電気制御系１７の比較制御回路に送られると、こ
こで予め設定されたプログラムに基づいて電気制御系１
７の駆動回路が動作し、空気制御ライン１３の圧力セン
サ１６の上流で分岐して設けられた空気逃がしライン２
１中のコントロールバルブ１５の開度を開方向に制御す
る。そして、シャットオフバルブ２０とシリンダ２の下
室９との間の一定容積から任意流量で空気を逃がし、シ
リンダ２の下室９内の空気の圧力を図５に示すようにス
テップ式に制御し、空気圧シリンダ操作弁１におけるス
プリング５で加圧されているピストン３の動作を遅延さ
せる。本実施形態においては、約１秒〜２秒程度の間、
停止させるように保持することにより、ピストン３を確
実に停止させ、ピストン３の慣性の影響をなくすことが
でき、これによりダイヤフラムから成る弁体４を弁座７
にソフトに着座させることができる。

【００１７】空気圧シリンダ操作弁１を弁閉の状態から
弁開の状態へ制御するには、シャットオフバルブ２０を
開くことにより、電気制御系１７にシャットオフバルブ
２０のＯＮ信号が入ると、予め設定したプログラムに基
づいて駆動回路が動作し、コントロールバルブ１５の開
度を閉方向に制御して空気供給源１２からシャットオフ
バルブ２０、空気制御ライン１３を介して空気圧シリン
ダ操作弁１の空気供給口１０へ供給する空気圧を図５に
示すように上記弁閉時とは逆のステップ式に制御し、ス
プリング５で加圧されているピストン３の動作を遅延さ
せて弁体４を弁座７からソフトに離脱させる。空気圧シ
リンダ操作弁１の弁開制御に際し、ステップ式制御を行
わない場合には、コントロールバルブ１５をステップ式
に制御することなく、強制的に開にして空気供給口１０
へ空気を供給すればよい。

【００１８】次に、本発明の第３の実施形態について説
明する。図３に示すように、本実施形態においては、空
気圧制御用コントローラ１４と空気供給源１２との間で
空気制御ライン１３の途中にシャットオフバルブ２０が
設けられている。そして、空気圧制御用コントローラ１
４としては、シャットオフバルブ２０とシリンダ２の空
気供給口１０との間で空気制御ライン１３に空気逃がし
ライン２１を分岐して設け、この空気逃がしライン２１
に絞り部１９とＯＮ−ＯＦＦバルブ２２を直列に設け、
このＯＮ−ＯＦＦバルブ２２を空気制御ライン１３の途
中に設けた圧力センサ１６の検出信号により動作する比
較制御回路・駆動回路を持った電気制御系１７によりス
テップ式に開閉制御し、且つそのステップの都度、空気
圧制御を所望時間停止させるように保持するようにした
ものである。その他の構成については上記第１の実施形
態と同様である。

【００１９】上記構成による純水・薬液供給用空気圧シ
リンダ操作弁１の制御方法について説明する。空気圧シ
リンダ操作弁１の圧力を空気圧制御用コントローラ１４
により弁開の状態から弁閉の状態に制御するには、シャ
ットオフバルブ２０を閉じることにより、電気制御系１
７にシャットオフバルブ２０のＯＦＦ信号が入り、空気
制御ライン１３の途中の圧力センサ１６によりシリンダ
２の下室９へ送られる空気の圧力が検出され、その検出
信号が電気制御系１７の比較制御回路に送られると、こ
こで予め設定されたプログラムに基づいて電気制御系１
７の駆動回路が動作し、空気制御ライン１３の圧力セン
サ１６の上流で分岐して設けられた空気逃がしライン２
１の中のＯＮ−ＯＦＦバルブ２２の開度を開方向に制御
する。そして、シャットオフバルブ２０からシリンダ２
の下室９へ流入する空気量を空気逃がしライン２１から
逃げる空気量に応じて図５に示すようにステップ式に制
御して空気圧力を制御し、空気圧シリンダ操作弁１にお
けるスプリング５で加圧されているピストン３の動作を
遅延させる。本実施形態においては、約１秒〜２秒程度
の間、停止させるように保持することにより、ピストン
３の慣性の影響をなくすことができ、これによりダイヤ
フラムから成る弁体４を弁座７にソフトに着座させるこ
とができる。

【００２０】空気圧シリンダ操作弁１を弁閉の状態から
弁開の状態へ制御するには、シャットオフバルブ２０を
開くことにより、空気供給源１２からシャットオフバル
ブ２０、空気制御ライン１３を介して空気圧シリンダ操
作弁１の空気供給口１０へ空気を供給し、スプリング５
で加圧されているピストン３を動作させて弁体４を弁座
７から離脱させることができる。

【００２１】次に、本発明の第４の実施形態について説
明する。図３に示す上記実施形態においては、弁開時に
空気圧をステップ式に制御することができない。そこ
で、本実施形態においては、図４に示すように、空気圧
制御用コントローラ１４として、空気制御ライン１３の
途中で空気供給源１２側にシャットオフバルブ２０が設
けられ、その下流側に空気逃がしライン２１が分岐して
設けられ、その下流で空気圧シリンダ操作弁１の空気供
給口１０との間に圧力センサ１６が設けられ、空気逃が
しライン２１と圧力センサ１６との間に絞り部１９が設
けられ、空気逃がしライン２１にＯＮ−ＯＦＦバルブ２
２が設けられている。そして、圧力センサ１６の検出信
号により動作する比較制御回路・駆動回路を持った電気
制御系１７によりシャットオフバルブ２０、ＯＮ−ＯＦ
Ｆバルブ２２を開閉制御し、空気圧制御をステップ式に
所望時間停止させるように保持するようにしたものであ
る。その他の構成については上記第１の実施形態と同様
である。

【００２２】上記構成による純水・薬液供給用空気圧シ
リンダ操作弁１の制御方法について説明する。空気圧シ
リンダ操作弁１の圧力を空気圧制御用コントローラ１４
により弁開の状態から弁閉の状態に制御するには、電気
制御系１７に外部からプログラム開スタート信号が入
り、空気制御ライン１３の途中の圧力センサ１６により
シリンダ２の下室９へ送られる空気の圧力が検出され、
その検出信号が電気制御系１７の比較制御回路に送られ
ると、ここで予め設定されたプログラムに基づいて電気
制御系１７の駆動回路が動作し、上記側のシャットオフ
バルブ２０を閉じ、その下流で分岐して設けられた空気
逃がしライン２１の中のＯＮ−ＯＦＦバルブ２２の開閉
を交互に行うように制御する。そして、シャットオフバ
ルブ２０からシリンダ２の下室９へ流入する空気量を空
気逃がしライン２１から逃げる空気量に応じて図５に示
すようにステップ式に制御して空気圧力を制御し、空気
圧シリンダ操作弁１におけるスプリング５で加圧されて
いるピストン３の動作を遅延させる。本実施形態におい
ては、約１秒〜２秒程度の間、停止させるように保持す
ることにより、ピストン３の慣性の影響をなくすことが
でき、これによりダイヤフラムから成る弁体４を弁座７
にソフトに着座させることができる。

【００２３】空気圧シリンダ操作弁１を弁閉の状態から
弁開の状態へ制御するには、電気制御系１７に外部から
プログラム開スタート信号が入ると、電気制御系１７が
ＯＮ−ＯＦＦバルブ２２を閉じ、シャットオフバルブ２
０の開閉を交互に行うように制御し、絞り部１９により
空気圧シリンダ操作弁１におけるシリンダ２の下室９へ
の単位時間当たりの空気流入量を制限することにより、
図５に示すように弁開時において上記弁閉時と同様に、
空気圧をステップ式に制御し、スプリング５で加圧され
ているピストン３の動作を遅延させて弁体４を弁座７か
らソフトに離脱させることができる。

【００２４】次に、本発明の試験例について説明する。
図６は試験例を示す説明図である。図６において、２４
は超純水供給系の配管で、空気圧シリンダ操作弁１の上
流に圧力計２５、フィルター２６、ニードルバルブ２７
が設けられ、空気圧シリンダ操作弁１の下流にビーカー
２８、パーティクル試験器２９が設けられている。１３
は空気圧シリンダ操作弁１のシリンダ２の下室９への空
気制御ラインで、その途中に空気圧制御用コントローラ
１４、本試験例の場合、図４に示される空気圧制御用コ
ントローラ１４が設けられ、さらにレギュレータ３０が
設けられている。この試験ラインで、１／４″の空気圧
シリンダ操作弁１と１／２″の空気圧シリンダ操作弁１
を夫々１分間に５サイクル開閉し、超純水１０ｍＬ中に
発生する０．１〜０．５μｍのパーティクルの発生数に
ついて、空気圧制御用コントローラ１４により空気圧制
御した場合と、空気圧制御しない場合とで測定したとこ
ろ、下記の表１の示すような結果を得た。

【００２５】

【表１】

【００２６】上記の表１で明らかなように、空気圧制御
無しの１／４″の空気圧シリンダ操作弁と１／２″の空
気圧シリンダ操作弁は超純水１０ｍＬ中に発生するパー
ティクルの数が極めて多いのに対し、空気圧制御コント
ローラ１４により空気圧制御した１／４″の空気圧シリ
ンダ操作弁と１／２″の空気圧シリンダ操作弁は超純水
１０ｍＬ中に発生するパーティクルの数は桁違いに少な
いことがわかる。

【００２７】また、空気圧制御無しで１／４″の空気圧
シリンダ操作弁を弁開閉したときの超純水供給系の配管
の圧力変動は、図７に示す通りであり、空気圧制御無し
で１／２″の空気圧シリンダ操作弁を弁開閉したときの
超純水供給系の配管の圧力変動は、図８に示す通りであ
る。これらから明らかなように、空気圧制御を行わなか
った場合には、急速な立ち上がり、立下げにより、弁座
での衝撃とウォーターハンマーが生じ、系全体で発生す
るパーティルの数が多くなることを裏付けている。これ
に対し、空気圧制御用コントローラ１４により空気圧制
御して１／４″の空気圧シリンダ操作弁を弁開閉したと
きの超純水供給系の配管の圧力変動は、図９に示す通り
であり、空気圧制御用コントローラ１４により空気圧制
御して１／２″の空気圧シリンダ操作弁を弁開閉したと
きの超純水供給系の配管の圧力変動は、図１０に示す通
りである。これらから明らかなように、空気圧制御を行
うことにより、急速な立上がり、立下げは解消され、弁
座で衝撃とウォーターハンマーが防止されて、系全体で
発生するパーティクルの数が著しく減少することを裏付
けている。

【００２８】なお、空気圧シリンダ操作弁１の空気圧制
御手段は上記各実施形態に限定されるものでなく、例え
ば、上記第３の実施形態における絞り部１９とＯＮ−Ｏ
ＦＦバルブ２２を逆に配置し、シャットオフバルブ２０
とＯＮ−ＯＦＦバルブ２２とを２連３方バージョンとな
るように設定してもよく、また、圧力センサに代えてシ
リンダ２のピストン３等の可動部にコアを設け、コイル
の相互誘導作用を利用して直線変位を測定し、その値か
ら上記第２、第３、第４の実施形態におけるバルブ１
５、２２を制御することもでき、また、シリンダ２のピ
ストン３の位置を差動変圧以外にピストン３等の可動部
を誘電体としての容量変化や抵抗体としての抵抗値変化
から読み取ることも可能である。また、空気圧シリンダ
操作弁１は上記実施形態以外の種々の方式のものを用い
ることができ、ステップ式に制御する停止保持時間も適
用する空気圧シリンダ操作弁１に対応してピストンの慣
性の影響を及ぼさないように適切に選択することができ
る。このほか、本発明は、その基本的技術思想を逸脱し
ない範囲で種々設計変更することができる。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、空
気圧シリンダ操作弁における弁閉時の圧力をステップ式
にコントロールすることにより、従来のようにオイルダ
ンパーやゴムクッションを用いることなく、弁体を弁座
にソフトに着座させることができて、弁体及び弁座自体
からの発塵を抑制することができ、しかも、ウォーター
ハンマーを防止して、純水・薬液供給系全体からの発塵
を抑制することができるので、半導体ウエハ等の製造の
歩留りを向上させることができる。

【００３０】また、空気圧シリンダ操作弁における弁開
時の圧力をステップ式にコントロールすることにより、
弁開時のウォーターハンマーをも防止することができて
純水・薬液供給系全体からの発塵を更に一層効果的に抑
制することができる。

【００３１】また、空気圧シリンダ操作弁を純水、又は
薬液が背圧側から流れるように配置することにより、流
体圧力変動を避けることができ、コントロール性を更に
一層向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態による純水・薬液供給
用空気圧シリンダ操作弁の制御装置を示す系統図であ
る。

【図２】本発明の第２の実施形態による純水・薬液供給
用空気圧シリンダ操作弁の制御装置を示す系統図であ
る。

【図３】本発明の第３の実施形態による純水・薬液供給
用空気圧シリンダ操作弁の制御装置を示す系統図であ
る。

【図４】本発明の第４の実施形態による純水・薬液供給
用空気圧シリンダ操作弁の制御装置を示す系統図であ
る。

【図５】本発明の純水・薬液供給用空気圧シリンダ操作
弁の制御装置により系弁における空気圧シリンダ操作弁
の弁体をステップ式に弁座に着座させたり、弁座から離
隔させる際の空圧制御の要領を示す図である。

【図６】本発明の純水・薬液供給用空気圧シリンダ操作
弁の制御方法の試験例を示す説明図である。

【図７】空圧制御無しで１／４″の空気圧シリンダ操作
弁を弁開閉したときの超純水供給系の配管の圧力変動を
示す図である。

【図８】空圧制御無しで１／２″の空気圧シリンダ操作
弁を弁開閉したときの超純水供給系の配管の圧力変動を
示す図である。

【図９】本発明による空圧制御により１／４″の空気圧
シリンダ操作弁を弁開閉したときの超純水供給系の配管
の圧力変動を示す図である。

【図１０】本発明による空圧制御により１／２″の空気
圧シリンダ操作弁を弁開閉したときの超純水供給系の配
管の圧力変動を示す図である。

【符号の説明】

１ 空気圧シリンダ操作弁 ２ シリンダ ３ ピストン ４ 弁体（ダイヤフラム） ７ 弁座 １０ 空気供給口 １２ 空気供給源 １３ 空気制御ライン １４ 空気圧制御用コントローラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石川 亨一 京都府京都市南区上鳥羽鉾立町11−５ 株 式会社エステック内 Ｆターム(参考） 3H056 AA01 BB04 BB12 BB37 BB41 CA01 CB03 CB09 CC02 CD04 CE03 EE08 GG05 GG11

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 純水・薬液供給用空気圧シリンダ操作弁
   における空気供給口に連通する空気制御ラインの途中に
   組み込まれ、上記空気圧シリンダ操作弁の弁閉時の圧力
   をステップ式に制御する空気圧制御手段を備えた純水・
   薬液供給用空気圧シリンダ操作弁の制御装置。
2. 【請求項２】 空気圧制御手段が空気圧シリンダ操作弁
   の弁開時の圧力をステップ式に制御する請求項１記載の
   純水・薬液供給用空気圧シリンダ操作弁の制御装置。
3. 【請求項３】 空気圧シリンダ操作弁が純水、又は薬液
   を背圧側から流すように配置された請求項１または２記
   載の純水・薬液供給用空気圧シリンダ操作弁の制御装
   置。
4. 【請求項４】 純水・薬液供給用空気圧シリンダ操作弁
   における弁閉時の圧力を空気圧制御手段によりステップ
   式に制御して上記空気圧シリンダ操作弁のピストンの動
   作を遅延させるようにした純水・薬液供給用空気圧シリ
   ンダ操作弁の制御方法。
5. 【請求項５】 純水・薬液供給用空気圧シリンダ操作弁
   における弁開時の圧力を空気圧制御手段によりステップ
   式に制御して上記空気圧シリンダ操作弁のピストンの動
   作を遅延させるようにした請求項４記載の純水・薬液供
   給用空気圧シリンダ操作弁の制御方法。
6. 【請求項６】 空気圧シリンダ操作弁が純水、又は薬液
   を背圧側から流すように配置された請求項４または５記
   載の純水・薬液供給用空気圧シリンダ操作弁の制御方
   法。