[go: up one dir, main page]

JP2000068641A - Manufacturing method of printed wiring board - Google Patents

Manufacturing method of printed wiring board

Info

Publication number
JP2000068641A
JP2000068641A JP10250446A JP25044698A JP2000068641A JP 2000068641 A JP2000068641 A JP 2000068641A JP 10250446 A JP10250446 A JP 10250446A JP 25044698 A JP25044698 A JP 25044698A JP 2000068641 A JP2000068641 A JP 2000068641A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring board
metal foil
printed wiring
resin
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10250446A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Morio Take
杜夫 岳
Nobuyuki Ikeguchi
信之 池口
Toshihiko Kobayashi
敏彦 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
Original Assignee
Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Gas Chemical Co Inc filed Critical Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
Priority to JP10250446A priority Critical patent/JP2000068641A/en
Publication of JP2000068641A publication Critical patent/JP2000068641A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H10W70/682
    • H10W70/685
    • H10W72/884
    • H10W90/754

Landscapes

  • Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ドライシステムの製造方法によってスルーホ
ールの信頼性に優れたプリント配線板を作成する。 【解決手段】 金属板の片面に、スルーホールとする、
円錐台形突起或いは導電性接着剤付着円錐台形の突起を
形成し、突起側に、突起よりやや薄目の絶縁層を形成
し、その外側に金属箔を置いて、加熱、加圧下に積層成
形した両面金属箔張積層板を用い、回路形成、貴金属メ
ッキを施してプリント配線板とする。 【効果】 スルーホール接続信頼性、吸湿後の耐熱性、
プレッシャークッカー後の電気絶縁性、耐マイグレーシ
ョン性等に優れたプリント配線板を製造することができ
た。
(57) [Problem] To produce a printed wiring board having excellent through-hole reliability by a dry system manufacturing method. SOLUTION: A through hole is formed on one side of a metal plate.
A frusto-conical protrusion or a conductive adhesive is attached. A frusto-conical protrusion is formed, an insulating layer slightly thinner than the protrusion is formed on the protrusion side, and a metal foil is placed outside the protrusion, and both sides are laminated under heat and pressure. Using a metal foil-clad laminate, circuit formation and precious metal plating are performed to obtain a printed wiring board. [Effect] Through-hole connection reliability, heat resistance after moisture absorption,
It was possible to manufacture a printed wiring board having excellent electrical insulation properties and resistance to migration after pressure cooker.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、新規なドライシス
テムのプリント配線板の製造方法に関する。得られたプ
リント配線板は半導体チップを搭載して使用するパッケ
ージ用途として主に用いられる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a printed wiring board for a novel dry system. The obtained printed wiring board is mainly used as a package for mounting and using a semiconductor chip.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プリント配線板に使用する両面金
属箔張積層板は、ガラス織布等の基材に熱硬化性樹脂組
成物を含浸、乾燥させてBステージとしたプリプレグを
複数枚重ねて、加熱、加圧下に積層成形して作成され
る。この両面金属箔張積層板に貫通スルーホール用孔を
所定の位置にあけ、金属メッキを施して表裏回路を導通
する。スルーホールに付着した金属は、厚さが15〜25μ
mであり、メッキの付着が悪いと、加熱冷却時のストレ
スによりメッキの剥離、切断が発生し、信頼性に問題の
生じることがあった。また、工程が煩雑であり、更に板
厚が厚く、孔径の小さいものは、スルーホールメッキが
困難であり、信頼性の点で問題があった。
2. Description of the Related Art Conventionally, a double-sided metal foil-clad laminate used for a printed wiring board is made by impregnating a base material such as a glass woven fabric with a thermosetting resin composition and drying the prepreg to form a B stage. It is made by laminating under heat and pressure. Holes for through-holes are made at predetermined positions in this double-sided metal foil-clad laminate, and metal plating is applied to conduct the front and back circuits. Metal attached to the through hole has a thickness of 15 to 25μ
m, and poor adhesion of the plating may cause peeling and cutting of the plating due to stress at the time of heating and cooling, causing a problem in reliability. In addition, the steps are complicated, and those having a large plate thickness and a small hole diameter have difficulty in plating through holes, and have a problem in reliability.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上の問題
点を改善したプリント配線板を提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a printed wiring board in which the above problems are improved.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は金属板の片面
の、少なくともスルーホールを形成する位置に円錐台形
の突起を形成し、必要により表面処理を行ない、導電性
接着剤を円錐台形突起上に付着させるか、円錐台形突起
を形成する前に導電性接着剤を付着させてからエッチン
グ等の方法で導電性接着剤付き円錐台形突起を作成し、
その突起側に、突起全体の高さよりやや薄めの半硬化プ
リプレグ、樹脂シート、樹脂付き金属箔、或いは塗布樹
脂層を配置し、金属箔の付着してない樹脂層の外側には
金属箔を配置して、加熱、加圧下に積層成形して両面金
属箔張積層板を作成し、ついで、この両面金属箔張積層
板に回路を形成後、貴金属メッキを行なって作成された
プリント配線板を提供する。本発明はさらに樹脂層とし
て、好適には多官能性シアン酸エステル樹脂組成物を使
用するプリント配線板を提供する。本発明によれば、上
記構成のプリント配線板とすることにより、吸湿後の耐
熱性、耐湿性、プレッシシャークッカー処理後の電気絶
縁性、耐マイグレーション性に優れ、デスミア処理やス
ルーホールメッキの必要もなく、信頼性に優れた小径の
スルーホールがドライシステムで製造でき、作業性の改
善された新規なプリント配線板が提供される。
According to the present invention, a truncated cone-shaped projection is formed on at least one side of a metal plate at a position where a through-hole is to be formed. Or to form a truncated cone-shaped protrusion with a conductive adhesive by a method such as etching after attaching a conductive adhesive before forming a truncated cone-shaped protrusion,
A semi-cured prepreg, resin sheet, resin-coated metal foil, or coated resin layer that is slightly thinner than the height of the entire projection is placed on the projection side, and a metal foil is placed outside the resin layer where no metal foil is attached Then, a double-sided metal foil-clad laminate is prepared by laminating and molding under heat and pressure, and then a circuit is formed on this double-sided metal-foil-clad laminate, and a printed wiring board prepared by performing noble metal plating is provided. I do. The present invention further provides a printed wiring board which preferably uses a polyfunctional cyanate resin composition as a resin layer. According to the present invention, the printed wiring board having the above-described configuration has excellent heat resistance after moisture absorption, moisture resistance, electrical insulation after pressure cooker treatment, and migration resistance, and requires desmear treatment and through-hole plating. Therefore, a small-diameter through hole with excellent reliability can be manufactured by a dry system, and a novel printed wiring board with improved workability is provided.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】本発明のプリント配線板は、プリ
ント配線板のスルーホール等として、金属板の片面に円
錐台形の突起を形成し、必要により表面化学処理を施
し、好適には円錐台形上に導電性接着剤が付着した金属
板を作成し、この突起側に、突起の高さよりやや薄目の
半硬化のプリプレグ、樹脂シート、樹脂付き金属箔、或
いは塗布樹脂層を配置し、金属箔の付いてない樹脂層の
外側には金属箔を配置して、加熱、加圧下に積層成形
し、回路形成し、貴金属メッキを施して製造される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The printed wiring board of the present invention has a truncated conical projection formed on one surface of a metal plate as a through hole or the like of the printed wiring board, and is subjected to a surface chemical treatment if necessary. Create a metal plate with a conductive adhesive on it, and place a semi-cured prepreg, resin sheet, resin-coated metal foil, or coated resin layer that is slightly thinner than the height of the projection on the projection side. It is manufactured by placing a metal foil on the outside of the resin layer without the mark, laminating and molding under heat and pressure, forming a circuit, and applying noble metal plating.

【0006】公知のスルーホールを有するプリント配線
板は、スルーホールをメカニカルドリル等であけ、金属
メッキを施す。板厚みに比べてスルーホール径が小さい
と、金属メッキがうまく付着しない、信頼性に欠ける等
の問題点が発生してくる。本発明は、まず金属芯とする
金属板をあらかじめ公知のエッチング等の方法で、表裏
回路導通用、半導体チップ放熱用スルーホール等を形成
する位置に、円錐台形の突起を形成し、好適にはその台
形上に、エッチング前、或いはエッチング後にハンダペ
ースト、銀ペースト等の導電性接着剤を付着させてお
き、突起側に樹脂シート又は基材に樹脂を含浸、乾燥さ
せて、半硬化としたプリプレグを配置し、必要により、
金属箔を配置して、加熱、加圧、真空下に積層成形して
両面金属箔張積層板を作成する。
[0006] A known printed wiring board having a through hole is formed by drilling the through hole with a mechanical drill or the like and performing metal plating. If the diameter of the through hole is smaller than the thickness of the plate, problems such as poor adhesion of metal plating and lack of reliability occur. The present invention first forms a truncated cone-shaped protrusion at a position where a metal plate as a metal core is formed in advance by a known etching method or the like, for forming a front and back circuit conduction, a semiconductor chip heat dissipation through hole, and the like. A conductive adhesive such as solder paste or silver paste is attached to the trapezoid before or after etching, and a resin sheet or a base material is impregnated with resin on the protrusion side and dried to obtain a semi-cured prepreg. And, if necessary,
The metal foil is arranged and laminated under heat, pressure and vacuum to form a double-sided metal foil-clad laminate.

【0007】該円錐台形突起が形成された金属板の表面
を公知の方法で酸化処理、微細凹凸形成、皮膜形成等の
接着性や電気絶縁性向上のための表面処理を必要に応じ
て施す。
The surface of the metal plate on which the frustoconical projections are formed is subjected to a surface treatment for improving adhesiveness and electric insulation such as oxidation treatment, formation of fine irregularities, and formation of a film, as necessary, by a known method.

【0008】円錐台形上に導電性接着剤を付着した突起
を形成し、積層成形後に内層回路等と接着させて接続信
頼性を向上させる。導電性接着剤としては、一般に公知
のものが使用される。具体的には、ハンダペースト、鉛
フリーハンダ、銀ペースト、銅ペースト等が挙げられ
る。
A projection with a conductive adhesive is formed on the truncated cone, and after lamination molding, is adhered to an inner layer circuit or the like to improve connection reliability. As the conductive adhesive, a generally known conductive adhesive is used. Specific examples include solder paste, lead-free solder, silver paste, and copper paste.

【0009】積層成形条件は、使用する樹脂によって異
なり、特に限定はしないが、一般には100〜300℃、好適
には150〜250℃で加熱される。圧力は、3〜50kgf/cm2
好適には5〜35kgf/cm2、時間は1〜5時間である。
The lamination molding conditions vary depending on the resin used and are not particularly limited, but are generally heated at 100 to 300 ° C., preferably 150 to 250 ° C. Pressure, 3~50kgf / cm 2,
Preferably, it is 5 to 35 kgf / cm 2 , and the time is 1 to 5 hours.

【0010】表裏の回路を形成後、貴金属メッキを、少
なくともワイヤボンディングパッド表面に形成してプリ
ント配線板を完成させる。この場合、貴金属メッキの必
要のない箇所は、事前にメッキレジストで被覆してお
く。または、メッキ後に、必要により公知の熱硬化性樹
脂組成物、或いは光選択熱硬化性樹脂組成物で、少なく
とも半導体チップ搭載部、ボンディングパッド、反対面
のハンダボール接着用パッド以外の表面に皮膜を形成す
る。
After the front and back circuits are formed, noble metal plating is formed on at least the surface of the wire bonding pad to complete the printed wiring board. In this case, a portion that does not require noble metal plating is covered with a plating resist in advance. Or, after plating, if necessary, a known thermosetting resin composition, or a photoselective thermosetting resin composition, at least a semiconductor chip mounting portion, a bonding pad, a coating on a surface other than the solder ball bonding pad on the opposite surface. Form.

【0011】本発明に用いる金属板は、特に限定しない
が、高弾性率、高熱伝導性で、厚さ70〜300μmのものが
好適である。具体的には、純銅、無酸素銅、その他、銅
が95重量%以上のFe、Sn、P, Cr, Zr. Zn等との合金が
好適に使用される。また、合金の表面を銅メッキした金
属板等も使用され得る。
Although the metal plate used in the present invention is not particularly limited, a metal plate having a high elastic modulus, a high thermal conductivity and a thickness of 70 to 300 μm is preferable. Specifically, pure copper, oxygen-free copper, and alloys with Fe, Sn, P, Cr, Zr. Zn or the like containing 95% by weight or more of copper are preferably used. Further, a metal plate or the like in which the surface of the alloy is plated with copper may be used.

【0012】本発明の金属板の円錐台形突起部の高さ
は、特に限定はないが、50〜150μmが好適である。ま
た、プリプレグ、樹脂シート、樹脂付き金属箔、塗布樹
脂等の絶縁層の厚さは、円錐台形突起部或いは導電性接
着剤付着金属円錐台形突起の高さよりやや低め、好まし
くは5〜15μm低めとし、積層成形後に該突起部と表層金
属箔とを導電性接着剤で接続させる。この円錐台形突起
部にあたる部分は、エッチング法等の一般に公知の加工
法によって作成される。また、残った金属板の厚みは10
〜70μmとする。できるだけプリプレグの上に配置する
反対面の金属箔の厚みと同じ厚みにするのが、ソリを防
ぐ点からも好ましい。
The height of the truncated conical projection of the metal plate of the present invention is not particularly limited, but is preferably 50 to 150 μm. Also, the thickness of the insulating layer such as prepreg, resin sheet, metal foil with resin, coating resin, etc., is slightly lower than the height of the truncated conical protrusion or the conductive adhesive attached metal truncated conical protrusion, preferably 5 to 15 μm lower. After the lamination molding, the protrusions and the surface metal foil are connected with a conductive adhesive. The portion corresponding to the truncated conical projection is formed by a generally known processing method such as an etching method. The thickness of the remaining metal plate is 10
7070 μm. It is preferable to make the thickness as much as possible the same as the thickness of the metal foil on the opposite surface disposed on the prepreg, from the viewpoint of preventing warpage.

【0013】本発明の製造方法によれば、金属メッキを
して表裏回路導通するためのスルーホール用のクリアラ
ンスホールまたはスリット孔を形成する必要はなく、ド
ライシステムでプリント配線板を作成することができ
る。
According to the manufacturing method of the present invention, it is not necessary to form a clearance hole or a slit hole for a through-hole for conducting a front-to-back circuit through metal plating, and a printed wiring board can be formed by a dry system. it can.

【0014】本発明で使用される熱硬化性樹脂組成物の
樹脂としては、一般に公知の熱硬化性樹脂が使用され
る。具体的には、エポキシ樹脂、多官能性シアン酸エス
テル樹脂、 多官能性マレイミドーシアン酸エステル樹
脂、多官能性マレイミド樹脂、不飽和基含有ポリフェニ
レンエーテル樹脂等が挙げられ、これらの1種或いは2
種類以上を組み合わせて使用する。耐熱性、耐湿性、耐
マイグレーション性、吸湿後の電気的特性等の点から多
官能性シアン酸エステル樹脂組成物が好適である。
As the resin of the thermosetting resin composition used in the present invention, generally known thermosetting resins are used. Specific examples include epoxy resin, polyfunctional cyanate ester resin, polyfunctional maleimide-cyanate ester resin, polyfunctional maleimide resin, and unsaturated group-containing polyphenylene ether resin.
Use a combination of more than one type. Polyfunctional cyanate ester resin compositions are preferred from the viewpoints of heat resistance, moisture resistance, migration resistance, electrical properties after moisture absorption, and the like.

【0015】本発明の好適な熱硬化性樹脂分である多官
能性シアン酸エステル化合物とは、分子内に2個以上の
シアナト基を有する化合物である。具体的に例示する
と、1,3-又は1,4-ジシアナトベンゼン、1,3,5-トリシア
ナトベンゼン、1,3-、1,4-、1,6-、1,8-、2,6-又は2,7-
ジシアナトナフタレン、1,3,6-トリシアナトナフタレ
ン、4,4-ジシアナトビフェニル、ビス(4-ジシアナトフ
ェニル)メタン、2,2-ビス(4-シアナトフェニル)プロパ
ン、2,2-ビス(3,5-ジブロモー4-シアナトフェニル)プロ
パン、ビス(4-シアナトフェニル)エーテル、ビス(4-シ
アナトフェニル)チオエーテル、ビス(4-シアナトフェニ
ル)スルホン、トリス(4-シアナトフェニル)ホスファイ
ト、トリス(4-シアナトフェニル)ホスフェート、および
ノボラックとハロゲン化シアンとの反応により得られる
シアネート類などである。
The polyfunctional cyanate compound which is a preferred thermosetting resin component of the present invention is a compound having two or more cyanato groups in the molecule. Specific examples include 1,3- or 1,4-dicyanatobenzene, 1,3,5-tricyanatobenzene, 1,3-, 1,4-, 1,6-, 1,8-, 2 , 6- or 2,7-
Dicyanatonaphthalene, 1,3,6-tricyanatonaphthalene, 4,4-dicyanatobiphenyl, bis (4-dicyanatophenyl) methane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane, 2,2- Bis (3,5-dibromo-4-cyanatophenyl) propane, bis (4-cyanatophenyl) ether, bis (4-cyanatophenyl) thioether, bis (4-cyanatophenyl) sulfone, tris (4-cy (Anatophenyl) phosphite, tris (4-cyanatophenyl) phosphate, and cyanates obtained by reacting novolak with cyanogen halide.

【0016】これらのほかに特公昭41-1928、同43-1846
8、同44-4791、同45-11712、同46-41112、同47-26853及
び特開昭51-63149号公報等に記載の多官能性シアン酸エ
ステル化合物類も用いら得る。また、これら多官能性シ
アン酸エステル化合物のシアナト基の三量化によって形
成されるトリアジン環を有する分子量400〜6,000 のプ
レポリマーが使用される。このプレポリマーは、上記の
多官能性シアン酸エステルモノマーを、例えば鉱酸、ル
イス酸等の酸類;ナトリウムアルコラート等、第三級ア
ミン類等の塩基;炭酸ナトリウム等の塩類等を触媒とし
て重合させることにより得られる。このプレポリマー中
には一部未反応のモノマーも含まれており、モノマーと
プレポリマーとの混合物の形態をしており、このような
原料は本発明の用途に好適に使用される。一般には可溶
な有機溶剤に溶解させて使用する。
In addition to these, Japanese Patent Publication Nos. 41-1928 and 43-1846
8, polyfunctional cyanate compounds described in JP-A-44-4791, JP-A-45-11712, JP-A-46-41112, JP-A-47-26853 and JP-A-51-63149 can also be used. Further, a prepolymer having a molecular weight of 400 to 6,000 and having a triazine ring formed by trimerization of a cyanato group of these polyfunctional cyanate compounds is used. This prepolymer is obtained by polymerizing the above-mentioned polyfunctional cyanate ester monomer with a catalyst such as an acid such as a mineral acid or a Lewis acid; a base such as a tertiary amine such as sodium alcoholate; or a salt such as sodium carbonate. It can be obtained by: The prepolymer also contains some unreacted monomers and is in the form of a mixture of the monomer and the prepolymer, and such a raw material is suitably used for the purpose of the present invention. Generally, it is used after being dissolved in a soluble organic solvent.

【0017】エポキシ樹脂としては、一般に公知のもの
が使用できる。具体的には、液状或いは固形のビスフェ
ノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ
樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾー
ルノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂;ブ
タジエン、ペンタジエン、ビニルシクロヘキセン、ジシ
クロペンチルエーテル等の二重結合をエポキシ化したポ
リエポキシ化合物類;ポリオール、水酸基含有シリコン
樹脂類とエポハロヒドリンとの反応によって得られるポ
リグリシジル化合物類等が挙げられる。これらは1種或
いは2種以上を組み合わせて使用する。
As the epoxy resin, a generally known epoxy resin can be used. Specifically, liquid or solid bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, alicyclic epoxy resin; butadiene, pentadiene, vinylcyclohexene, dicyclopentyl ether, etc. And polyglycidyl compounds obtained by reacting a polyol, a hydroxyl-containing silicone resin with an epohalohydrin, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

【0018】ポリイミド樹脂としては、一般に公知のも
のが使用され得る。具体的には、多官能性マレイミド類
とポリアミン類との反応物、特公昭57-005406号公報に
記載の末端三重結合のポリイミド類が挙げられる。
As the polyimide resin, generally known ones can be used. Specific examples include a reaction product of a polyfunctional maleimide and a polyamine, and a polyimide having a terminal triple bond described in JP-B-57-005406.

【0019】これらの熱硬化性樹脂は、単独でも使用さ
れるが、特性のバランスを考え、適宜組み合わせて使用
するのが良い。
These thermosetting resins may be used alone, but it is preferable to use them in an appropriate combination in consideration of the balance of properties.

【0020】本発明の熱硬化性樹脂組成物には、組成物
本来の特性が損なわれない範囲で、所望に応じて種々の
添加物を配合することができる。これらの添加物として
は、不飽和ポリエステル等の重合性二重結合含有モノマ
ー類及びそのプレポリマー類;ポリブタジエン、エポキ
シ化ブタジエン、マレイン化ブタジエン、ブタジエン-
アクリロニトリル共重合体、ポリクロロプレン、ブタジ
エン-スチレン共重合体、ポリイソプレン、ブチルゴ
ム、フッ素ゴム、天然ゴム等の低分子量液状〜高分子量
のelasticなゴム類;ポリエチレン、ポリプロピレン、ポ
リブテン、ポリ-4-メチルペンテン、ポリスチレン、A
S樹脂、ABS樹脂、MBS樹脂、スチレン-イソプレ
ンゴム、ポリエチレン-プロピレン共重合体、4-フッ化
エチレン-6-フッ化エチレン共重合体類;ポリカーボネー
ト、ポリフェニレンエーテル、ポリスルホン、ポリエス
テル、ポリフェニレンサルファイド等の高分子量プレポ
リマー若しくはオリゴマー;ポリウレタン等が例示さ
れ、適宜使用される。また、その他、公知の無機或いは
有機の充填剤、染料、顔料、増粘剤、滑剤、消泡剤、分
散剤、レベリング剤、光増感剤、難燃剤、光沢剤、重合
禁止剤、チキソ性付与剤等の各種添加剤が、所望に応じ
て適宜組み合わせて用いられる。必要により、反応基を
有する化合物は硬化剤、触媒が適宜配合される。
Various additives can be added to the thermosetting resin composition of the present invention, if desired, as long as the inherent properties of the composition are not impaired. These additives include polymerizable double bond-containing monomers such as unsaturated polyesters and prepolymers thereof; polybutadiene, epoxidized butadiene, maleated butadiene, butadiene-
Low molecular weight liquid to high molecular weight elastic rubbers such as acrylonitrile copolymer, polychloroprene, butadiene-styrene copolymer, polyisoprene, butyl rubber, fluororubber, natural rubber; polyethylene, polypropylene, polybutene, poly-4-methyl Penten, polystyrene, A
S resin, ABS resin, MBS resin, styrene-isoprene rubber, polyethylene-propylene copolymer, 4-fluoroethylene-6-fluoroethylene copolymers; polycarbonate, polyphenylene ether, polysulfone, polyester, polyphenylene sulfide, etc. High molecular weight prepolymers or oligomers; polyurethanes and the like are exemplified, and are appropriately used. Other known inorganic or organic fillers, dyes, pigments, thickeners, lubricants, defoamers, dispersants, leveling agents, photosensitizers, flame retardants, brighteners, polymerization inhibitors, thixotropic Various additives such as imparting agents are used in combination as needed. If necessary, the compound having a reactive group is appropriately blended with a curing agent and a catalyst.

【0021】本発明の熱硬化性樹脂組成物は、それ自体
は加熱により硬化するが硬化速度が遅く、作業性、経済
性等に劣るため使用した熱硬化性樹脂に対して公知の熱
硬化触媒を用い得る。使用量は、熱硬化性樹脂100重量
部に対して0.005〜10重量部、好ましくは0.01〜5重量部
である。
The thermosetting resin composition of the present invention can be cured by heating itself, but has a low curing rate and is inferior in workability and economical efficiency. Can be used. The amount used is 0.005 to 10 parts by weight, preferably 0.01 to 5 parts by weight, per 100 parts by weight of the thermosetting resin.

【0022】プリプレグの補強基材として使用するもの
は、一般に公知の無機或いは有機の織布、不織布が使用
される。具体的には、Eガラス、Sガラス、Dガラス等
の公知のガラス繊維布、全芳香族ポリアミド繊維布、液
晶ポリエステル繊維布等が挙げられる。これらは、混抄
でも良い。積層成形時に突起が基材間を突き抜けるよう
な密度の基材とする。
As the reinforcing base material of the prepreg, generally known inorganic or organic woven or nonwoven fabric is used. Specific examples include known glass fiber cloths such as E glass, S glass, and D glass, wholly aromatic polyamide fiber cloths, and liquid crystal polyester fiber cloths. These may be mixed. The base material has a density such that the protrusions penetrate between the base materials during lamination molding.

【0023】対面に使用する金属箔は、一般に公知のも
のが使用できる。好適には厚さ3〜18μmの銅箔、ニッケ
ル箔等が使用される。材質は、円錐台形状突起を形成す
る金属箔と同一にするのが、ソリを防ぐ点からも好まし
い。
A generally known metal foil can be used as the facing metal foil. Preferably, a copper foil, a nickel foil or the like having a thickness of 3 to 18 μm is used. It is preferable that the material is the same as the metal foil forming the truncated cone-shaped protrusion, from the viewpoint of preventing warpage.

【0024】金属板に形成する円錐台形状のスルーホー
ル代替用突起部は、特に限定はしないが、金属板に接着
している底部は、一般には0.2〜1.0mm、頂上部は、0〜
0.5mmに形成するのが良い。頂上部が0mmで、先端が尖っ
ている場合、積層成形時に対面の金属箔に突き刺して接
続するようにする。この場合、先端が圧しつぶされて平
らになってもよい。
The truncated conical through-hole replacement projections formed on the metal plate are not particularly limited, but the bottom adhered to the metal plate is generally 0.2-1.0 mm, and the top is 0-1.0 mm.
It is good to form to 0.5mm. If the top is 0 mm and the tip is sharp, it should be pierced into the facing metal foil during lamination and connected. In this case, the tip may be crushed and flattened.

【0025】本発明のプリント配線板用プリプレグを作
成する場合、基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸、乾燥
し、半硬化状態の積層材料とする。また基材を使用しな
い半硬化状態とした樹脂シートも使用できる。或いは塗
料も使用できる。プリプレグ等を作成する温度は一般的
には100〜180℃である。時間は5〜60分である。
When preparing the prepreg for a printed wiring board of the present invention, the substrate is impregnated with a thermosetting resin composition and dried to obtain a semi-cured laminated material. Also, a resin sheet in a semi-cured state without using a base material can be used. Alternatively, paints can be used. The temperature at which a prepreg or the like is formed is generally 100 to 180 ° C. The time is 5-60 minutes.

【0026】本発明の金属芯の入った半導体プラスチッ
クパッケージを作成する方法は特に限定しないが、例え
ば図1に示す以下の方法による。 (1) 金属板両面を液状エッチングレジストで被覆し、
加熱して溶剤を除去した後、片面のスルーホールとなる
箇所の上のレジストを円形に残して除去し、下側は全面
レジストを残し、エッチングにて上側に円錐台形状の突
起fが形成された金属板cを作成する。この円錐台形上
に導電性接着剤dを付着させ、その上に、円錐台形の高
さよりやや厚みの薄いプリプレグB(b)を配置し、そ
の上側に金属箔aを置く。 (2) 加熱、加圧、真空下に積層成形して一体化する。 (3) 金属箔が厚い場合、片面の金属箔と厚みをあわせ
るために、厚い面をエッチング除去し(図1、g)、 (4) 上下に回路を形成し、貴金属メッキを施してプリ
ント配線板を作成する。
The method of producing the semiconductor plastic package containing the metal core of the present invention is not particularly limited. For example, the following method shown in FIG. 1 is used. (1) Both sides of the metal plate are covered with a liquid etching resist,
After heating to remove the solvent, the resist on the portion that will become a through hole on one side is removed leaving a circular shape, the entire resist is left on the lower side, and a truncated cone-shaped projection f is formed on the upper side by etching. A metal plate c is created. A conductive adhesive d is adhered onto the truncated cone, a prepreg B (b) slightly thinner than the truncated cone is placed thereon, and a metal foil a is placed above the prepreg B (b). (2) Laminate under heat, pressure and vacuum to integrate. (3) If the metal foil is thick, remove the thick side by etching to match the thickness of the metal foil on one side (Fig. 1, g). (4) Form circuits on the top and bottom, apply precious metal plating and print wiring Create a board.

【0027】[0027]

【実施例】以下に実施例、比較例で本発明を具体的に説
明する。尚、特に断らない限り、『部』は重量部を表
す。 実施例1 2,2-ビス(4-シアナトフェニル)プロパン900部、ビス(4-
マレイミドフェニル)メタン100部を150℃に熔融させ、
攪拌しながら4時間反応させ、プレポリマーを得た。こ
れをメチルエチルケトンとジメチルホルムアミドの混合
溶剤に溶解した。これにビスフェノールA型エポキシ樹
脂(商品名:エピコート1001、油化シェルエポキシ<株>
製)400部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(商品
名:ESCN-220F、住友化学工業<株>製)600部を加え、均
一に溶解混合した。更に触媒としてオクチル酸亜鉛0.4
部を加え、溶解混合し、これに無機充填剤(商品名:焼成
タルクBST-200、日本タルク<株>製)500部を加え、均
一攪拌混合してワニスAを得た。これを50μmのガラス
織布に含浸、乾燥して、ゲル化時間(at 170℃)103秒、
絶縁層の厚さ75μmのプリプレグ(積層材料B)を作成
した。一方、内層金属板となる厚さ120μmのCu:99.9%,F
e:0.07%,P:0.03%の合金板を用意し、上下に液状エッチ
ングレジストを25μm塗布、乾燥し、表面には大きさ50m
m角のパッケージの、スルーホール形成部に、径350μm
のレジストが残るように作成したネガフィルムを被せ、
エッチングして、円錐台形上部の径130μm、下部の径60
0μm、高さ80μmの突起を作成した。又、半導体チップ
搭載部範囲13mm角内にも同様に400個の円錐台形突起を
形成し、この突起上に銀ペーストを厚さ6μm付着させ、
その上側に上記積層材料Bを配置し、18μmの電解銅箔
をその外側に置き、200℃、20kgf/cm2、30mmHg以下の真
空下で2時間積層成形して、金属突起のスルーホールを
有する両面銅張積層板を得た。この上面にエッチングレ
ジストを付着させ、厚い下側の銅箔面を18μmまで薬液
で溶解した後、回路を形成し、半導体チップ搭載部、ボ
ンディングパッド部及び仮面のボールパッド部以外にメ
ッキレジストを形成し、ニッケル、金メッキを施してプ
リント配線板を完成した。半導体チップを銀ペーストで
接着固定した後、ワイヤボンディングを行い、次いでシ
リカ入り封止用エポキシ樹脂コンパウンドを用い、半導
体チップ、ワイヤ及びボンディングパッドを樹脂封止
し、ハンダボールを接合して半導体プラスチックパッケ
ージを作成した。評価結果を表1に示す。
The present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples. Unless otherwise specified, “parts” indicates parts by weight. Example 1 900 parts of 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane,
100 parts of (maleimidophenyl) methane are melted at 150 ° C,
The mixture was reacted for 4 hours while stirring to obtain a prepolymer. This was dissolved in a mixed solvent of methyl ethyl ketone and dimethylformamide. Add bisphenol A type epoxy resin (trade name: Epicoat 1001, Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.)
) And 600 parts of a cresol novolac type epoxy resin (trade name: ESCN-220F, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) were uniformly mixed and dissolved. Further, as a catalyst, zinc octylate 0.4
Were added and dissolved and mixed. To this, 500 parts of an inorganic filler (trade name: calcined talc BST-200, manufactured by Nippon Talc Co., Ltd.) was added, followed by uniform stirring and mixing to obtain Varnish A. This is impregnated in a 50 μm glass woven fabric, dried, and gelled (at 170 ° C.) 103 seconds,
A prepreg (laminate material B) having an insulating layer thickness of 75 μm was prepared. On the other hand, Cu with a thickness of 120 μm to become the inner metal plate: 99.9%, F
e: Prepare a 0.07%, P: 0.03% alloy plate, apply liquid etching resist 25μm on the upper and lower sides and dry, size 50m on the surface
350μm diameter at the through hole forming part of m square package
Cover the negative film created so that the resist remains,
Etching, frustoconical upper diameter 130μm, lower diameter 60
A projection having a height of 0 μm and a height of 80 μm was formed. Also, 400 frusto-conical projections are similarly formed within the 13 mm square area of the semiconductor chip mounting area, and a silver paste of 6 μm thickness is deposited on these projections,
The laminated material B is arranged on the upper side, an 18 μm electrolytic copper foil is placed on the outer side, and the laminated material is laminated and molded at 200 ° C., 20 kgf / cm 2 , and a vacuum of 30 mmHg or less for 2 hours to have a through hole of a metal projection. A double-sided copper-clad laminate was obtained. After attaching an etching resist to this top surface, dissolving the thick lower copper foil surface with a chemical solution to 18 μm, forming a circuit, forming a plating resist other than the semiconductor chip mounting part, the bonding pad part and the temporary ball pad part Then, nickel and gold plating were applied to complete the printed wiring board. After bonding and fixing the semiconductor chip with silver paste, wire bonding is performed, then using a sealing epoxy resin compound containing silica, the semiconductor chip, wires and bonding pads are resin-sealed, and solder balls are joined to form a semiconductor plastic package. It was created. Table 1 shows the evaluation results.

【0028】実施例2 実施例1において、銀ペーストを使用しない以外は実施
例1と同様に操作して半導体プラスチックパッケージを
作成した。評価結果を表1に示す。
Example 2 A semiconductor plastic package was prepared in the same manner as in Example 1 except that no silver paste was used. Table 1 shows the evaluation results.

【0029】比較例1 実施例1のプリプレグB(b)を1枚使用し、上下に18
μmの電解銅箔aを配置し、200℃、20kgf/cm2、30mmHg
以下の真空下に2時間積層成形し、両面銅張積層板を得
た。この両面銅張積層板を用い、所定の位置に孔径0.15
mmφのスルーホールをドリルであけ、スルーホールに銅
メッキを施した(h,o)。この板の上下に公知の方法
で回路を形成し、メッキレジストmで被覆後、ニッケ
ル、金メッキを施した。これは半導体チップを搭載する
箇所に放熱用のスルーホールoが形成されている。この
上の領域に半導体チップiを搭載し、樹脂封止した(図
2、n)。評価結果を表1に示す。
Comparative Example 1 One prepreg B (b) of Example 1 was used, and
μm electrolytic copper foil a is placed, 200 ℃, 20kgf / cm 2 , 30mmHg
Laminate molding was performed for 2 hours under the following vacuum to obtain a double-sided copper-clad laminate. Using this double-sided copper-clad laminate, place a 0.15
A through hole of mmφ was drilled, and the through hole was plated with copper (h, o). Circuits were formed on and under the plate by a known method, and were covered with a plating resist m and then plated with nickel and gold. This has a through hole o for heat dissipation formed at a place where a semiconductor chip is mounted. The semiconductor chip i was mounted in the region above this and sealed with resin (FIG. 2, n). Table 1 shows the evaluation results.

【0030】比較例2 エポキシ樹脂(商品名:エピコート5045)700部及びエポキ
シ樹脂(商品名:ESCN220F)300部、ジシアンジアミド35
部、2-エチル-4-メチルイミダゾール1部をメチルエチル
ケトンとジメチルホルムアミドの混合溶剤に均一溶解さ
せ、これを厚さ100μmのガラス織布に含浸、乾燥させ
て、ゲル化時間150秒のプリプレグ(プリプレグD)及び
ゲル化時間10秒のプリプレグ(プリプレグE、e)を
作成した。プリプレグDを1枚使用し、190℃、20kgf/c
m2、30mmHg以下の真空下で2時間積層成形し、両面銅張
積層板を作成した。後は比較例1と同様にしてプリント
配線板を作成し、半導体チップ搭載部分をザグリマシー
ンを用いてくりぬき、裏面に厚さ100μmの銅板pを上
記プリプレグE(e)を打ち抜いたものを使用して、加
熱加圧下に接着させ、放熱板付きプリント配線板を作成
した。この放熱板に直接銀ペーストkで半導体チップi
を接着させ、ワイヤボンディングで接続後液状エポキシ
樹脂nで封止した(図3)。評価結果を表1に示す。
Comparative Example 2 Epoxy resin (trade name: Epicoat 5045) 700 parts and epoxy resin (trade name: ESCN220F) 300 parts, dicyandiamide 35
Part of 2-ethyl-4-methylimidazole was uniformly dissolved in a mixed solvent of methyl ethyl ketone and dimethylformamide, impregnated in a glass woven fabric having a thickness of 100 μm, and dried to prepare a prepreg having a gel time of 150 seconds (prepreg). D) and a prepreg (prepregs E and e) having a gelation time of 10 seconds were prepared. Use one prepreg D, 190 ℃, 20kgf / c
Laminate molding was performed for 2 hours under a vacuum of m 2 and 30 mmHg or less to prepare a double-sided copper-clad laminate. Thereafter, a printed wiring board was prepared in the same manner as in Comparative Example 1, the semiconductor chip mounting portion was cut out using a counterbore machine, and a copper plate p having a thickness of 100 μm was punched out from the back using the prepreg E (e). Then, they were bonded under heat and pressure to prepare a printed wiring board with a heat sink. The semiconductor chip i is directly applied to this heat sink with silver paste k.
And bonded by wire bonding and sealed with a liquid epoxy resin n (FIG. 3). Table 1 shows the evaluation results.

【0031】 表1 項 目 実 施 例 比 較 例 1 2 1 2 吸湿後の耐熱性1) 常 態 異常なし 異常なし 異常なし 異常なし 24hrs. 異常なし 異常なし 異常なし 異常なし 48hrs. 異常なし 異常なし 異常なし 異常なし 72hrs. 異常なし 異常なし 異常なし 一部剥離 96hrs. 異常なし 異常なし 一部剥離 一部剥離 120hrs. 異常なし 異常なし 一部剥離 一部剥離 144hrs. 異常なし 異常なし 一部剥離 一部剥離 168hrs. 異常なし 異常なし 一部剥離 一部剥離 吸湿後の耐熱性2) 常 態 異常なし 異常なし 異常なし 異常なし 24hrs. 異常なし 異常なし 一部剥離 一部剥離 48hrs. 異常なし 異常なし 一部剥離 剥離大 72hrs. 異常なし 異常なし 剥離大 ワイヤ切れ 96hrs. 異常なし 異常なし ワイヤ切れ ワイヤ切れ 120hrs. 異常なし 異常なし ワイヤ切れ ワイヤ切れ 144hrs. 異常なし 異常なし − − 168hrs. 異常なし 異常なし − − ガラス転移温度(℃) 234 234 234 160[0031] Table 1 Item implementation example comparisons Example 1 2 1 2 after moisture absorption heat resistance 1) normal state No change No change No change No change 24hrs. No abnormality No abnormality No abnormality No abnormality 48hrs. No problem No No abnormalities No abnormalities 72hrs. No abnormalities No abnormalities No abnormalities Partial peeling 96hrs. No abnormalities No abnormalities Partial peeling Partial peeling 120hrs. No abnormalities No abnormalities Partial peeling Partial peeling 144hrs. No abnormalities No abnormalities Partial peeling Partial Peeling 168hrs. No abnormalities No abnormalities Partial peeling Partial peeling Heat resistance after moisture absorption 2) Normal No abnormalities No abnormalities No abnormalities No abnormalities 24hrs. No abnormalities No abnormalities Partial peeling 48hrs. No abnormalities No abnormalities Partial Peeling Large peeling 72hrs. No abnormality No abnormality Large peeling Large wire breakage 96hrs. No abnormality No abnormality Wire breakage Wire 120hrs. No abnormality No abnormality Wire breakage 144hrs. No abnormality No abnormality − − 1 68hrs. No abnormality No abnormality--Glass transition temperature (° C) 234 234 234 160

【0032】 表1(続) 項 目 実 施 例 比 較 例 1 2 1 2 プレッシャークッカ 処理後の絶縁抵抗値(Ω) 常 態 5x1014 5×1014 6x1014 5x1014 200hrs. 6x1012 6×1012 6x1012 3x108 500hrs. 8x1011 8×1011 5x1011 <108 700hrs. 5x1010 5×1010 4x1010 − 1000hrs. 2x1010 2×1010 3x1010 − 耐マイグレーション性(Ω) 常 態 6x1013 6×1013 4x1013 6x1013 200hrs. 4x1011 4×1011 5x1011 3x109 500hrs. 6x1011 6×1011 4x1011 <108 700hrs. 3x1011 3×1011 1x1011 − 1000hrs. 9x1010 9×1010 8x1010 − スルーホール・ヒートサイクル試験(%) 1.7 2.9 2.3 4.0 放熱性 33 35 57 48[0032] Table 1 (Continued) Item implementation example comparisons Example 1 2 1 2 Pressure cooker treatment after the insulation resistance (Omega) normal state 5x10 14 5 × 10 14 6x10 14 5x10 14 200hrs. 6x10 12 6 × 10 .. 12 6x10 12 3x10 8 500hrs 8x10 11 8 × 10 11 5x10 11 <10 8 700hrs 5x10 10 5 × 10 10 4x10 10 -. 1000hrs 2x10 10 2 × 10 10 3x10 10 - migration resistance (Omega) normal state 6x10 13 ... 6 × 10 13 4x10 13 6x10 13 200hrs 4x10 11 4 × 10 11 5x10 11 3x10 9 500hrs 6x10 11 6 × 10 11 4x10 11 <10 8 700hrs 3x10 11 3 × 10 11 1x10 11 -. 1000hrs 9x10 10 9 × 10 10 8 x 10 10 -Through-hole heat cycle test (%) 1.7 2.9 2.3 4.0 Heat dissipation 33 35 57 48

【0033】<測定方法> 1) 吸湿後の耐熱性1) JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL3:30℃・60%
RHで所定時間処理後、220℃リフローソルダー3サイクル
後の基板の異常の有無について、断面観察及び電気的チ
ェックによって確認した。 2) 吸湿後の電気絶縁性2) JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL2:85℃・60%
RHで所定時間(Max.168hrs.)処理後、220℃リフローソル
ダー3サイクル後の基板の異常の有無を断面観察及び電
気的チェックによって確認した。 3) ガラス転移温度 DMA法にて測定した。 4) プレッシャークッカー処理後の絶縁抵抗値 端子間(ライン/スペース=70/70 μm)の櫛形パターン
を作成し、この上に、それぞれ使用したプリプレグ、又
は樹脂層を形成し、加熱硬化させたものを、121℃・2気
圧で所定時間処理した後、25℃・60%RHで2時間後処理を
行ない、500VDCを印加60秒後に、 その端子間の絶縁抵
抗値を測定した。 5) 耐マイグレーション性 上記4)の試験片を85℃・85%RH、50VDC印加して端子間の
絶縁抵抗値を測定した。 6) スルーホール・ヒートサイクル試験 各スルーホール部にランド径200μmを作成し、900孔を
表裏交互につなぎ、1サイクルが、260℃・半田浸せき3
0秒→室温5分 で200サイクル実施し、抵抗値の変化率
の最大値を示した。 7) 放熱性 パッケージを同一マザーボードプリント配線板にハンダ
ボールで接続させ、1000時間連続使用してから、パッケ
ージの温度を測定した。
<Measurement method> 1) Heat resistance after moisture absorption 1) JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL3: 30 ℃ ・ 60%
After the treatment with RH for a predetermined time, the presence or absence of an abnormality in the substrate after three cycles of reflow soldering at 220 ° C. was confirmed by cross-sectional observation and electrical check. 2) Electric insulation after moisture absorption 2) JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL2: 85 ℃ ・ 60%
After processing at RH for a predetermined time (Max. 168 hrs.), The presence or absence of abnormality in the substrate after three cycles of reflow soldering at 220 ° C. was confirmed by cross-sectional observation and electrical check. 3) Glass transition temperature Measured by the DMA method. 4) Insulation resistance after pressure cooker process A comb-shaped pattern between terminals (line / space = 70/70 μm) is created, and the prepreg or resin layer used is formed on each of these patterns and cured by heating. Was treated at 121 ° C. and 2 atm for a predetermined period of time, followed by post-treatment at 25 ° C. and 60% RH for 2 hours, and after applying 500 VDC for 60 seconds, the insulation resistance between the terminals was measured. 5) Migration resistance The test piece of the above 4) was applied at 85 ° C. and 85% RH at 50 VDC, and the insulation resistance between the terminals was measured. 6) Through-hole heat cycle test A land diameter of 200 μm is created in each through-hole, and 900 holes are connected alternately on the front and back.
200 cycles were performed from 0 seconds to 5 minutes at room temperature, and the maximum value of the rate of change in resistance was shown. 7) Heat dissipation The package was connected to the same motherboard printed wiring board with solder balls and used continuously for 1000 hours before measuring the package temperature.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明は、デスミア処理、スルーホール
メッキ等の薬液を使用せずに、ドライシステムにて両面
金属箔張積層板を製造し、これを用いて製造されるプリ
ント配線板であり、得られたプリント配線板は、スルー
ホールの信頼性、放熱性に優れ、量産性にも優れてい
る。即ち、金属板の片面の、少なくともスルーホールを
形成する位置に、円錐台形の突起を形成し、必要により
表面化学処理を施し、この円錐台形突起上あるいは円錐
台形突起上に導電性接着剤を付着した金属板の突起側
に、その突起の高さよりやや薄目の半硬化状態のプリプ
レグ、樹脂シート、樹脂付き金属箔或いは塗布樹脂層を
配置し、金属箔が付着していない樹脂層の外側には金属
箔を配置し、加熱加圧、好適には真空下に、積層成形し
て直接或いは導電性接着剤で金属箔と接合させて得られ
る両面金属箔張積層板を用い、これに回路を形成し、少
なくともワイヤボンディングパッドに貴金属メッキを施
し、プリント配線板とする。樹脂層として、多官能性シ
アン酸エステル樹脂組成物を使用することが好ましい。
得られたプリント配線板は、耐熱性、吸湿後の絶縁性、
耐マイグレーション性、プレッシャークッカー処理後の
絶縁性等に優れており、スルーホールの加熱による接続
信頼性にも優れ、加えて大量生産性にも適しており、経
済性の改善された、新規な構造のプリント配線板を得る
ことができた。
The present invention is a printed wiring board manufactured by manufacturing a double-sided metal foil-clad laminate by a dry system without using a chemical solution such as desmear treatment and through-hole plating. The obtained printed wiring board has excellent through-hole reliability, heat dissipation, and mass productivity. That is, a truncated cone-shaped projection is formed on at least one position of the metal plate at a position where a through-hole is formed, and if necessary, a surface chemical treatment is performed, and a conductive adhesive is adhered onto the truncated cone-shaped projection or the truncated cone-shaped projection. A semi-cured prepreg, resin sheet, resin-coated metal foil or coated resin layer, which is slightly thinner than the height of the protrusions, is placed on the protrusion side of the metal plate, and the outside of the resin layer to which the metal foil is not attached is provided. A circuit is formed by using a double-sided metal foil-clad laminate obtained by disposing a metal foil, laminating under heat and pressure, preferably under vacuum, and joining the metal foil directly or by using a conductive adhesive. Then, noble metal plating is applied to at least the wire bonding pads to obtain a printed wiring board. It is preferable to use a polyfunctional cyanate resin composition as the resin layer.
The resulting printed wiring board has heat resistance, insulation after moisture absorption,
New structure with excellent migration resistance, insulation after pressure cooker treatment, etc., excellent connection reliability by heating through-holes, and also suitable for mass productivity, with improved economic efficiency Was obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例1のプリント配線板の製造工程図であ
る。
FIG. 1 is a manufacturing process diagram of a printed wiring board of Example 1.

【図2】比較例1のプリント配線板の製造工程図であ
る。
FIG. 2 is a manufacturing process diagram of the printed wiring board of Comparative Example 1.

【図3】比較例2のプリント配線板の製造工程図であ
る。
FIG. 3 is a manufacturing process diagram of the printed wiring board of Comparative Example 2.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

a 金属箔 b プリプレグB c 片面円錐台形金属板 d 導電性接着剤 e プリプレグE f 円錐台形突起 g エッチングされた銅箔 h 表裏回路導通用スルーホール i 半導体チップ j ボンディングワイヤ k 銀ペースト l ハンダボール m メッキレジスト n 封止樹脂 o 放熱用スルーホール p 銅板 a Metal foil b Pre-preg B c Single-sided truncated conical metal plate d Conductive adhesive e Pre-preg E f Truncated conical projection g Etched copper foil h Through-hole for front and back circuit conduction i Semiconductor chip j Bonding wire k Silver paste l Solder ball m Plating resist n Sealing resin o Heat dissipation through hole p Copper plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 敏彦 東京都葛飾区新宿6丁目1番1号 三菱瓦 斯化学株式会社東京工場内 Fターム(参考) 5E315 AA11 CC15 CC16 DD05 DD13 GG01 GG11 GG13 5E317 AA24 AA30 BB01 BB12 BB14 BB18 CC33 CD05 GG09 GG17 5E346 AA41 CC02 CC08 CC32 CC38 CC39 CC40 CC42 DD02 DD12 DD22 EE02 EE08 EE09 EE12 EE13 FF22 FF24 FF36 FF41 GG08 GG27 GG28 HH11 HH33 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Toshihiko Kobayashi F-term (reference) 5E315 AA11 CC15 CC16 DD05 DD13 GG01 GG11 GG13 5E317 AA24 in the Tokyo Plant, Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. 6-1-1-1 Shinjuku, Katsushika-ku, Tokyo AA30 BB01 BB12 BB14 BB18 CC33 CD05 GG09 GG17 5E346 AA41 CC02 CC08 CC32 CC38 CC39 CC40 CC42 DD02 DD12 DD22 EE02 EE08 EE09 EE12 EE13 FF22 FF24 FF36 FF41 GG08 GG27 GG28 HH11 HH33

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 金属板の片面の、少なくとも、スルーホ
ールを形成する位置に円錐台形の突起を形成し、円錐台
形突起側に、その突起の高さよりやや薄目の半硬化のプ
リプレグ、樹脂シート、樹脂付き金属箔或いは塗布樹脂
層を配置し、金属箔のない樹脂層の外側には金属箔を配
置し、加熱、加圧下に積層成形して、該金属箔に円錐台
形突起部の先端が接触した両面金属箔張積層板を作成
し、表裏に回路形成し、貴金属メッキを行なうことを特
徴とするプリント配線板の製造方法。
1. A frustum-shaped projection is formed on at least one side of a metal plate at a position where a through-hole is formed, and a semi-cured prepreg, a resin sheet, which is slightly thinner than the height of the projection, is formed on the frustum-shaped projection side. A metal foil with resin or a coating resin layer is placed, and a metal foil is placed outside the resin layer without the metal foil, and laminated under heat and pressure, and the tip of the frustoconical projection comes into contact with the metal foil. A method for producing a printed wiring board, comprising: forming a double-sided metal foil-clad laminate, forming a circuit on the front and back, and performing noble metal plating.
【請求項2】 該円錐台形突起部先端に導電性接着剤を
付着し、加熱、加圧下に積層成形して、該突起部先端を
該金属箔に接合した請求項1記載のプリント配線板の製
造方法。
2. The printed wiring board according to claim 1, wherein a conductive adhesive is adhered to the tip of the truncated cone-shaped projection, laminated and formed under heat and pressure, and the tip of the projection is joined to the metal foil. Production method.
【請求項3】 該金属板が銅95重量%以上の銅合金、或
いは純銅である請求項1記載のプリント配線板の製造方
法。
3. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein said metal plate is a copper alloy containing 95% by weight or more of copper or pure copper.
【請求項4】 プリプレグ、樹脂シート、樹脂付き金属
箔或いは塗布樹脂層に使用される絶縁樹脂組成物が、多
官能性シアン酸エステル、該シアン酸エステルプレポリ
マーを必須成分とする熱硬化性樹脂組成物である請求項
1又は2記載のプリント配線板の製造方法。
4. An insulating resin composition used for a prepreg, a resin sheet, a metal foil with a resin, or a coating resin layer, comprising a polyfunctional cyanate ester, and a thermosetting resin containing the cyanate ester prepolymer as an essential component. 3. The method for producing a printed wiring board according to claim 1, which is a composition.
JP10250446A 1998-08-20 1998-08-20 Manufacturing method of printed wiring board Pending JP2000068641A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10250446A JP2000068641A (en) 1998-08-20 1998-08-20 Manufacturing method of printed wiring board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10250446A JP2000068641A (en) 1998-08-20 1998-08-20 Manufacturing method of printed wiring board

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000068641A true JP2000068641A (en) 2000-03-03

Family

ID=17208004

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10250446A Pending JP2000068641A (en) 1998-08-20 1998-08-20 Manufacturing method of printed wiring board

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000068641A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002020511A (en) * 2000-07-04 2002-01-23 Mitsubishi Gas Chem Co Inc Prepreg manufacturing method and printed wiring board using the same
JP2008141156A (en) * 2006-11-30 2008-06-19 Sanyo Electric Co Ltd Circuit equipment
WO2011058978A1 (en) * 2009-11-10 2011-05-19 株式会社フジクラ Manufacturing method of circuit board
US7989359B2 (en) 2007-01-31 2011-08-02 Sanyo Electric Co., Ltd. Semiconductor module manufacturing method, semiconductor module, and mobile device
US8237258B2 (en) 2008-02-29 2012-08-07 Sanyo Electric Co., Ltd. Semiconductor module including a semiconductor device, a device mounting board, and a protecting layer therebetween
WO2014045721A1 (en) * 2012-09-20 2014-03-27 株式会社村田製作所 Wiring board and wiring board manufacturing method
JP2014216599A (en) * 2013-04-30 2014-11-17 株式会社村田製作所 Wiring board and manufacturing method of the same

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002020511A (en) * 2000-07-04 2002-01-23 Mitsubishi Gas Chem Co Inc Prepreg manufacturing method and printed wiring board using the same
JP2008141156A (en) * 2006-11-30 2008-06-19 Sanyo Electric Co Ltd Circuit equipment
US7989359B2 (en) 2007-01-31 2011-08-02 Sanyo Electric Co., Ltd. Semiconductor module manufacturing method, semiconductor module, and mobile device
US8237258B2 (en) 2008-02-29 2012-08-07 Sanyo Electric Co., Ltd. Semiconductor module including a semiconductor device, a device mounting board, and a protecting layer therebetween
WO2011058978A1 (en) * 2009-11-10 2011-05-19 株式会社フジクラ Manufacturing method of circuit board
WO2014045721A1 (en) * 2012-09-20 2014-03-27 株式会社村田製作所 Wiring board and wiring board manufacturing method
JP5928601B2 (en) * 2012-09-20 2016-06-01 株式会社村田製作所 WIRING BOARD AND WIRING BOARD MANUFACTURING METHOD
JP2014216599A (en) * 2013-04-30 2014-11-17 株式会社村田製作所 Wiring board and manufacturing method of the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1999059205A1 (en) Semiconductor plastic package and method for producing printed wiring board
JPH11298143A (en) Manufacturing method of multilayer printed wiring board
JP2000068641A (en) Manufacturing method of printed wiring board
JP2001102491A (en) Printed circuit board for ultra-thin BGA type semiconductor plastic package
JP2000150714A (en) Printed wiring board for semiconductor plastic package
JP2000150715A (en) Method of manufacturing copper-clad board for printed wiring board containing metal plate
JP2000260900A (en) Substrates for semiconductor plastic packages
JPH11214572A (en) Method for producing double-sided metal foil-clad multilayer board with metal core
JP2000260901A (en) Multilayer printed wiring board for semiconductor plastic package with metal core
JP2000294678A (en) High heat dissipation ball grid array type printed wiring board for semiconductor plastic package
JP2001007533A (en) Manufacture of ball grid array printed wiring board excellent in heat dissipating property
JP3985342B2 (en) Semiconductor plastic package
JP2000315750A (en) Manufacturing method of ball grid array type printed wiring board excellent in heat dissipation
JP4022972B2 (en) Semiconductor plastic package
JP3852510B2 (en) Semiconductor plastic package
JP2000077567A (en) Manufacturing method of printed wiring board
JP2005079516A (en) Cavity type semiconductor plastic package with metal core
JP2000315749A (en) Printed wiring board for ball grid array type semiconductor plastic package with metal core
JPH11220066A (en) Method for producing double-sided metal foil-clad laminate with metal core for semiconductor plastic package
JP2000323836A (en) Method of manufacturing metal core for printed wiring board with metal core
JP2000068412A (en) Manufacturing method of printed wiring board with metal core
JP2000286361A (en) Multilayer printed wiring board for flip chip mounting
JPH11220061A (en) Cavity type semiconductor plastic package
JPH11195745A (en) Multi-chip plastic package
JP2000183228A (en) Semiconductor plastic package with metal plate

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050705

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070515

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070522

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070717

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070911