JP2000068226A - イオン注入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 アームの水平からの角度およびイオンビーム
のウェーハに対する注入角を考慮した釣り合いトルクを
カウンタバランサから発生させることによって、スイン
グモータにかかる負荷変動をより小さくして、ホルダお
よびウェーハの機械的走査をより高精度で行うことがで
きるようにする。 【解決手段】 アーム２２の水平からの角度をα、イオ
ンビーム２の注入角をβ、アーム２２およびそれと共に
旋回させられる物（即ちウェーハ６、ホルダ８、ツイス
トモータ２４および真空シール部２６）の総重量をＷ、
その総重量の重心点Ｇからアーム２２の旋回中心軸２２
ａまでの距離をＬとした場合、カウンタバランサ３０ａ
から、少なくともウェーハ６にイオン注入を行うアーム
２２の角度範囲内において、次式またはそれと実質的に
等価の関係で表される釣り合いトルクＦを発生させるよ
うにした。 Ｆ＝Ｌ・Ｗcosβcosα

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、イオンビームを
電気的に走査すると共に、スイングアームによってホル
ダをウェーハと共にイオンビーム走査方向と実質的に直
交する方向に機械的に走査する、いわゆるハイブリッド
スキャン方式のイオン注入装置であって、スイングモー
タに加わる負荷トルクを軽減する圧縮空気式のカウンタ
バランサを備えるイオン注入装置に関し、より具体的に
は、カウンタバランサの釣り合いをより精密に行う手段
に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のイオン注入装置の一例が特公平
７−１２３０３４号公報に開示されている。それを以下
に要約して説明する。

【０００３】このイオン注入装置は、図２および図３に
示すように、Ｚ方向に進行するイオンビーム２を一定方
向（この例ではＸ方向）に電気的に走査して注入室４内
に導くと共に、ウェーハ６を注入室４内でイオンビーム
走査方向と実質的に直交するＹ方向（例えばＹ方向また
は図６に示すＹ′方向）に機械的に走査する構成の装置
であり、注入室４内においてウェーハ６を保持するホル
ダ８と、このホルダ８を注入室４内で機械的に走査する
ホルダ駆動装置１０とを備えている。なお、上記Ｘ方向
は例えば水平方向であり、上記Ｙ方向は例えば垂直方向
である。

【０００４】ホルダ駆動装置１０は、この例では、注入
室４の壁面をＸ方向に貫通する主軸１４と、この主軸１
４の注入室外部に結合された可逆転式の注入角モータ１
６と、主軸１４の注入室内部にほぼ直交するように取り
付けられた可逆転式のスイングモータ１８と、このスイ
ングモータ１８の出力軸にほぼ直交するように取り付け
られたアーム２２と、このアーム２２にほぼ直交するよ
うに取り付けられた可逆転式のツイストモータ２４とを
備えており、このツイストモータ２４の出力軸にほぼ直
交するように前記ホルダ８が取り付けられている。１２
は真空シール軸受、２０および２６は真空シール部であ
る。

【０００５】イオン注入に際しては、図３に示すよう
に、アーム２２の水平からの角度をαとすると、スイン
グモータ１８によってアーム２２を、α＝０°を中心
に、例えばα＝＋３５°〜α＝−３５°の範囲内を往復
旋回させる。それによってホルダ８に保持されたウェー
ハ６は、イオンビーム２に向いた状態で、円弧を描くよ
うな形で例えばＹ方向に走査される。

【０００６】なお、ツイストモータ２４は、アーム２２
を上記のように旋回させるときに、ホルダ８およびウェ
ーハ６の姿勢を一定に保つこと等に用いられる。注入角
モータ１６は、ウェーハ６に対するイオンビーム２の注
入角β（図６参照）を変えること等に用いられる。

【０００７】ところで、アーム２２を上記のように旋回
させるときのアーム２２等の重さによるトルクを図５中
にカーブＡで示す。このトルクはsinカーブになり、何
も対策を施さない場合は、これがそのままスイングモー
タ１８にかかる負荷トルクになるため、スイングモータ
１８には最大でＴ₁ という大きな負荷トルクがかかる。
この場合、アーム２２を水平（α＝０°）から下降方向
（−３５°の方向）に旋回させるときはスイングモータ
１８に対してはマイナス負荷となり、上昇方向（＋３５
°の方向）に旋回させるときはプラス負荷となる。

【０００８】従ってこのままでは、スイングモータ１８
にかかる負荷変動が非常に大きくてアーム２２を滑らか
に旋回させることが難しいので、ホルダ８およびウェー
ハ６の機械的走査を高精度で行うのが難しく、ひいては
ウェーハ６に対するイオン注入の均一性が悪化するとい
う問題がある。

【０００９】そこでこれを解決するために、圧縮空気式
のカウンタバランサ３０を設けている。このカウンタバ
ランサ３０は、スイングモータ１８の反対側に設けられ
ていてアーム２２の旋回中心軸２２ａに出力軸４９が結
合されたアクチュエータ４０と、これに圧縮空気を供給
する圧縮空気供給部５０とを有している。

【００１０】アクチュエータ４０は、図４に示すよう
に、二つの互いに対向配置された空気圧シリンダ４２ａ
および４２ｂを有している。両空気圧シリンダ４２ａ、
４２ｂ内のピストン４４ａ、４４ｂには、ラック４６
ａ、４６ｂがそれぞれ連結されており、かつ両ラック４
６ａ、４６ｂに共通のピニオン４８が噛み合わされてお
り、このピニオン４８に前記出力軸４９が接続されてい
る。

【００１１】圧縮空気供給部５０は、この例では圧縮空
気源５２および減圧弁５６を有しており、これからの圧
縮空気は、配管６０を経由して、アクチュエータ４０の
両空気圧シリンダ４２ａ、４２ｂに供給される。

【００１２】上記構成によれば、スイングモータ１８に
よってアーム２２を図３等で説明したように旋回させる
場合、出力軸４９等を介して、アクチュエータ４０の空
気圧シリンダ４２ａおよび４２ｂも連動する。

【００１３】このとき、圧縮空気供給部５０から両空気
圧シリンダ４２ａ、４２ｂに圧縮空気を供給しておく
と、アーム２２（即ちホルダ８）が下降方向に旋回する
ときは、ピストン４４ａ、４４ｂの移動によって空気圧
シリンダ４２ａ、４２ｂ内の容積が減少して内部圧力が
上昇しようとするが、減圧弁５６はその二次側の圧力を
一定に保つ作用をするので、ピストン４４ａ、４４ｂで
圧縮した容積分だけ圧縮空気が減圧弁５６から排出され
る。

【００１４】逆に、アーム２２が上昇方向に旋回すると
きは、空気圧シリンダ４２ａ、４２ｂ内の容積が増大し
て内部圧力が減少しようとするが、上記と同様に減圧弁
５６はその二次側の圧力を一定に保つ作用をするので、
増大した容積分だけ減圧弁５６を介して圧縮空気源５２
から空気圧シリンダ４２ａ、４２ｂ内に圧縮空気が供給
される。

【００１５】このような作用によって、カウンタバラン
サ３０が発生する釣り合いトルクは、理想的には一定に
なる。例えば、両空気圧シリンダ４２ａ、４２ｂに供給
する圧縮空気の圧力を適当に選定することにより、カウ
ンタバランサ３０の釣り合いトルクを、図５中に直線Ｂ
で示すように、イオン注入動作範囲であるα＝＋３５°
〜α＝−３５°の範囲内におけるアーム等によるトルク
（カーブＡ）の平均トルクＴ₂ にすることができる。

【００１６】その結果、スイングモータ１８にかかる負
荷トルク（即ちトルクカーブＡとＢとの差）を小さくし
てスイングモータ１８を小容量化および小型化すること
ができる。また、スイングモータ１８にかかる負荷変動
が小さくなってアーム２２の動きが滑らかになるので、
ホルダ８およびウェーハ６の機械的走査を高精度で行う
ことができ、ひいてはウェーハ６に対するイオン注入の
均一性も向上する。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記カウン
タバランサ３０は、アーム２２の水平からの角度αおよ
びウェーハ６に対する注入角βが考慮されていないとい
う点になお改善の余地がある。

【００１８】即ち、上記カウンタバランサ３０は、それ
が発生する釣り合いトルクを、アームの角度αに応じた
トルクに追従させることはできず、図５に示したよう
に、イオン注入動作範囲内の角度αにおけるアーム等に
よるトルク（カーブＡ）の平均トルクＴ₂ に固定したも
のである。

【００１９】従って、アーム２２にかかる負荷変動は、
カウンタバランサ３０を設けない場合よりは小さくなる
ものの、依然として存在する。従ってその分、ホルダ８
およびウェーハ６の機械的走査を高精度で行うには限界
がある。

【００２０】また、上記カウンタバランサ３０は、ウェ
ーハ６に対するイオンビーム２の注入角β（図６参照）
が固定（通常はβ＝０°）であることを前提としてお
り、この注入角βを可変にする場合の考慮はなされてい
ない。しかし、注入角βは、イオン注入の重要なパラメ
ータの一つであり、図２の装置でも、前述したように、
注入角モータ１６によってこの注入角βを可変にしてい
る。即ち、注入角モータ１６によってその中心軸１６ａ
を中心にしてアーム２２等を傾けることによって、図６
に示すように、ホルダ８およびウェーハ６を、上記Ｙ方
向から角度βだけ傾けたＹ′方向に走査するようにして
いる。換言すれば、イオンビーム２を走査する面（この
例ではＸ方向を含む面）とホルダ８を走査する面（上記
Ｙ′方向を含む面）との成す角γを可変にしており、こ
れによって、ウェーハ６に対するイオンビーム２の注入
角β（ウェーハ６の表面に立てた法線とイオンビーム２
との成す角）を可変にしている。注入角βは、例えば、
０度、７度、３０度、４５度、６０度等が選ばれる。

【００２１】β＞０°の場合は、アーム２２を斜めに傾
けて旋回させることになるので、アーム２２等の偏荷重
によってスイングモータ１８にかかる前述した負荷トル
クは、β＝０°の場合よりも小さくなり、しかも注入角
βが大きくなるに従って小さくなる。簡単に言えばcos
βに比例する。

【００２２】従って、カウンタバランサ３０から一つの
注入角βを前提にした固定の釣り合いトルクを発生させ
たのでは、注入角βを変化させたときに、釣り合いを精
密に行うことはできず、スイングモータ１８にかかる負
荷変動を小さくすることはできない。従ってこの理由か
らも、ホルダ８およびウェーハ６の機械的走査を高精度
で行うには限界がある。

【００２３】そこでこの発明は、アームの水平からの角
度およびイオンビームのウェーハに対する注入角を考慮
した釣り合いトルクをカウンタバランサから発生させる
ことによって、スイングモータにかかる負荷変動をより
小さくして、ホルダおよびウェーハの機械的走査をより
高精度で行うことができるようにすることを主たる目的
とする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】この発明のイオン注入装
置は、前記アームの水平からの角度をα、前記イオンビ
ームの注入角をβ、前記アームおよびそれと共に旋回さ
せられる物の総重量をＷ、この総重量の重心点から前記
アームの旋回中心軸までの距離をＬとした場合、カウン
タバランサから、少なくともウェーハにイオン注入を行
うアームの角度範囲内において、次式またはこれと実質
的に等価の関係で表される釣り合いトルクＦを発生させ
るようにしている。

【００２５】

【数１】Ｆ＝Ｌ・Ｗcosβcosα

【００２６】上記角度αおよび注入角β等の条件の場
合、スイングモータにかかるトルクも上記数１で表され
るので、カウンタバランサから上記数１で表される釣り
合いトルクＦを発生させることによって、アームの角度
αおよび注入角βに応じた最適な釣り合い力をスイング
モータに加えることができる。従って、スイングモータ
にかかる負荷変動が殆ど無くなり、ホルダおよびウェー
ハの機械的走査をより高精度で行うことができるように
なる。その結果、ウェーハに対するイオン注入の均一性
もより向上する。

【００２７】

【発明の実施の形態】図１は、この発明に係るイオン注
入装置の一例を示す図である。上述した従来例と同一ま
たは相当する部分には同一符号を付し、以下においては
当該従来例との相違点を主に説明する。

【００２８】この実施例のイオン注入装置は、従来例の
カウンタバランサ３０に代わるカウンタバランサ３０ａ
を備えている。そして、前記アーム２２の水平からの角
度をα、前記イオンビーム２の注入角をβ、前記アーム
２２およびそれと共に旋回させられる物（この例ではウ
ェーハ６、ホルダ８、ツイストモータ２４および真空シ
ール部２６）の総重量をＷ、その総重量の重心点Ｇから
前記アーム２２の旋回中心軸２２ａまでの距離をＬとし
た場合、カウンタバランサ３０ａから、少なくともウェ
ーハ６にイオン注入を行うアーム２２の角度範囲内（例
えば前述したα＝＋３５°〜α＝−３５°の範囲内）に
おいて、上記数１またはそれと実質的に等価の関係で表
される釣り合いトルクＦを発生させるようにしている。

【００２９】上記角度αおよび注入角β等の条件の場
合、スイングモータ１８にかかるトルクも上記数１で表
されるので、カウンタバランサ３０ａから上記数１で表
される釣り合いトルクＦを発生させることによって、ア
ーム２２の角度αおよび注入角βに応じた最適な釣り合
い力をスイングモータ１８に加えることができる。

【００３０】上記カウンタバランサ３０ａのより具体例
を説明すると、カウンタバランサ３０ａは、この例で
は、前記と同じアクチュエータ４０および圧縮空気源５
２と、この圧縮空気源５２とアクチュエータ４０との間
に接続された電空式圧力調節弁６６と、この電空式圧力
調節弁６６を制御する制御装置７０と、アーム２２の前
記角度αを検出するアーム角度検出手段とを備えてい
る。

【００３１】まず、上記アーム角度検出手段について説
明すると、この例ではスイングモータ１８駆動用の駆動
回路７８が当該検出手段を兼ねている。即ち、注入角モ
ータ１６およびスイングモータ１８は、この例ではサー
ボモータであり、それらの駆動用の駆動回路７６および
７８をそれぞれ介して、この例では注入コントローラ８
０によって制御される。この駆動回路７８には、アーム
２２の前記角度αがスイングモータ１８からフィードバ
ックされており、当該角度αがこの駆動回路７８からこ
の例では注入コントローラ８０および制御装置７０に与
えられる。従ってこの例では、この駆動回路７８が上記
アーム角度検出手段を兼ねている。

【００３２】ちなみに注入コントローラ８０からは、こ
の例では、注入レシピ（注入条件）に応じて、上記注入
角βを設定する信号が駆動回路７６および制御装置７０
に与えられる。更に注入コントローラ８０は、スイング
モータ１８を制御して、特公平７−８７０８３号公報に
開示されているように、アーム２２の往復旋回の角速度
ωが次式を満たすように制御する。これによって、ウェ
ーハ６の機械的走査速度がイオンビーム２のビーム電流
Ｉに比例するようになるので、ビーム電流Ｉの変動の影
響を受けることなく、ウェーハの全面に均一性良くイオ
ン注入を行うことができる。ここで、Ｋ₀ は比例定数、
Ｍはアーム２２の旋回中心軸２２ａとウェーハ６の中心
６ａとの間の距離、αは前記アームの角度、Ｉはイオン
ビーム２のビーム電流である。

【００３３】

【数２】ω＝｛Ｋ₀ ／（Ｍ・cosα）｝Ｉ

【００３４】電空式圧力調節弁６６は、電気空気式のも
のであり、圧縮空気源５２とアクチュエータ４０との間
に接続されていて、そのアクチュエータ４０側の空気圧
Ｐを、この例では制御装置７０から与えられる制御電圧
Ｖに比例した値に調節する。

【００３５】制御装置７０は、例えばコンピュータであ
り、この例では、記憶手段７２と、上記注入コントロー
ラ８０から注入角βが設定され、かつ上記駆動回路７８
からアームの角度αが与えられる演算制御手段７４とを
有している。

【００３６】そして、アーム２２の角度αが０度のとき
の数１に示した釣り合いトルクＦをアクチュエータ４０
が発生するのに必要な、電空式圧力調節弁６６のアクチ
ュエータ４０側の空気圧Ｐに相当する前記制御電圧Ｖ
（これを特にＶ₀ とする）を、注入角βごとに予め実験
等によって求めておいて、それを例えば表１に示すよう
な形で記憶手段７２に記憶しておく。この制御電圧Ｖ₀
には、数１のcosα以外の部分、即ちＬ・Ｗcosβが反映
されている。

【００３７】

【表１】

【００３８】演算制御手段７４は、注入コントローラ８
０から設定される注入角β（これは、この場合は、０
度、７度、３０度、４５度、６０度の内のどれかであ
る）に対応する制御電圧Ｖ₀ を上記記憶手段７２から取
り出し、かつ駆動回路７８から与えられるアームの角度
αを用いて、次式の演算を行って、アーム２２の角度α
および注入角βに応じた制御電圧Ｖを求め、この制御電
圧Ｖを上記電空式圧力調節弁６６に与える。

【００３９】

【数３】Ｖ＝Ｖ₀ cosα

【００４０】電空式圧力調節弁６６は、前述したよう
に、そのアクチュエータ４０側の空気圧Ｐを、この演算
制御手段７４から与えられる制御電圧Ｖに比例した値に
調節する。

【００４１】これによって、圧縮空気源５２から電空式
圧力調節弁６６を通してアクチュエータ４０に与える空
気圧Ｐを、次式で表される関係に制御することができ
る。

【００４２】

【数４】Ｐ∝Ｖ＝Ｖ₀ cosα＝Ｌ・Ｗcosβcosα

【００４３】この数４は、上記数１と実質的に等価であ
り、その結果、カウンタバランサ３０ａから（具体的に
はそのアクチュエータ４０から）、上記数１で表される
釣り合いトルクＦを発生させることができるので、アー
ム２２の角度αおよび注入角βに応じた最適な釣り合い
力をスイングモータ１８に加えることができる。従っ
て、スイングモータ１８にかかる負荷を大幅に軽減する
ことができると共に、その負荷変動が殆ど無くなり、ホ
ルダ８およびウェーハ６の機械的走査をより高精度で行
うことができるようになる。具体的には、数２に示した
制御をより高精度で行うことができるようになる。その
結果、ウェーハ６に対するイオン注入の均一性もより向
上する。

【００４４】なお、上記例のようにする代わりに、アー
ム２２の角度αが０度のときの数１に示した釣り合いト
ルクＦをアクチュエータ４０が発生するのに必要な、電
空式圧力調節弁６６のアクチュエータ４０側の空気圧Ｐ
（これを特にＰ₀ とする）を、注入角βごとに予め実験
等によって求めておいて、それを例えば表２に示すよう
な形で記憶手段７２に記憶しておいても良い。この空気
圧Ｐ₀ には、上記制御電圧Ｖ₀ の場合と同様、数１のco
sα以外の部分、即ちＬ・Ｗcosβが反映されている。

【００４５】

【表２】

【００４６】そして、演算制御手段７４によって、注入
コントローラ８０から設定される注入角β（これは、こ
の場合も、０度、７度、３０度、４５度、６０度の内の
どれかである）に対応する空気圧Ｐ₀ を上記記憶手段７
２から取り出し、かつ駆動回路７８から与えられるアー
ムの角度αを用いて、次式の演算を行って、アーム２２
の角度αおよび注入角βに応じた空気圧Ｐを求め、電空
式圧力調節弁６６を制御してそのアクチュエータ４０側
の空気圧をこの空気圧Ｐにせしめても良い。

【００４７】

【数５】Ｐ＝Ｐ₀ cosα

【００４８】このような手段によっても、上記例と同
様、カウンタバランサ３０ａから（具体的にはそのアク
チュエータ４０から）、アーム２２の角度αおよび注入
角βに応じた最適な釣り合い力を発生させてそれをスイ
ングモータ１８に加えることができる。

【００４９】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、アーム
の水平からの角度およびイオンビームのウェーハに対す
る注入角に最適な釣り合いトルクをカウンタバランサか
ら発生させてそれをスイングモータに加えることができ
るので、スイングモータにかかる負荷を大幅に軽減する
ことができると共に、その負荷変動が殆ど無くなる。そ
の結果、ホルダおよびウェーハの機械的走査をより高精
度で行うことができるようになり、ひいてはウェーハに
対するイオン注入の均一性もより向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るイオン注入装置の一例を示す図
である。

【図２】従来のイオン注入装置の一例を示す図である。

【図３】図１および図２の装置をアームの後方側から見
た図である。

【図４】図１および図２中のカウンタバランサの詳細例
を示す図である。

【図５】各種トルクの例を示す図である。

【図６】注入角を０度よりも大きくしたときのホルダの
走査の様子を、イオンビーム走査方向に平行に見て示す
図である。

【符号の説明】

２ イオンビーム ６ ウェーハ ８ ホルダ １０ ホルダ駆動装置 １６ 注入角モータ １８ スイングモータ ２２ アーム ３０ａ カウンタバランサ ４０ アクチュエータ ５２ 圧縮空気源 ６６ 電空式圧力調節弁 ７０ 制御装置 ７２ 記憶手段 ７４ 演算制御手段 ７８ 駆動回路

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 イオンビームを一定方向に電気的に走査
   すると共に、アームを可逆転式のスイングモータで往復
   旋回させることによって、アームに取り付けたウェーハ
   保持用のホルダをウェーハと共にイオンビーム走査方向
   と実質的に直交する方向に機械的に走査する構成のイオ
   ン注入装置であって、前記アームの旋回中心軸に接続さ
   れた圧縮空気式のアクチュエータおよびそれに圧縮空気
   を供給する圧縮空気源を有していて釣り合い力を発生さ
   せて前記スイングモータに加わる負荷トルクを軽減する
   圧縮空気式のカウンタバランサを備えており、しかもイ
   オンビームを走査する面とホルダを走査する面との成す
   角が可変でありそれによってウェーハに対するイオンビ
   ームの注入角が可変であるイオン注入装置において、 前記アームの水平からの角度をα、前記イオンビームの
   注入角をβ、前記アームおよびそれと共に旋回させられ
   る物の総重量をＷ、この総重量の重心点から前記アーム
   の旋回中心軸までの距離をＬとした場合、前記カウンタ
   バランサは、少なくともウェーハにイオン注入を行うア
   ームの角度範囲内において、 Ｆ＝Ｌ・Ｗcosβcosα またはこれと実質的に等価の関係で表される釣り合いト
   ルクＦを発生させるものであることを特徴とするイオン
   注入装置。
2. 【請求項２】 前記アームの角度αを検出するアーム角
   度検出手段と、前記圧縮空気源とアクチュエータとの間
   に接続されていてアクチュエータ側の空気圧を調節する
   電空式圧力調節弁と、前記アーム角度検出手段から与え
   られるアームの角度αおよび外部から設定される注入角
   βに応じて前記電空式圧力調節弁を制御する制御装置と
   を更に備えており、 しかもこの制御装置は、アームの角度αが０度のときの
   前記釣り合いトルクＦを発生させるのに必要な前記アク
   チュエータ側の空気圧Ｐ₀ を複数の注入角βごとに求め
   たものを記憶している記憶手段と、 設定された注入角βに対応する前記空気圧Ｐ₀ を前記記
   憶手段から取り出し、 かつアーム角度検出手段から与えられるアームの角度α
   を用いて、 Ｐ＝Ｐ₀ cosα なる演算を行ってアームの角度αおよび注入角βに応じ
   た空気圧Ｐを求め、前記電空式圧力調節弁を制御してそ
   のアクチュエータ側の空気圧をこの空気圧Ｐにせしめる
   演算制御手段とを有している請求項１記載のイオン注入
   装置。
3. 【請求項３】 前記アームの角度αを検出するアーム角
   度検出手段と、前記圧縮空気源とアクチュエータとの間
   に接続されていてアクチュエータ側の空気圧を制御電圧
   に比例した値に調節する電空式圧力調節弁と、前記アー
   ム角度検出手段から与えられるアームの角度αおよび外
   部から設定される注入角βに応じて前記電空式圧力調節
   弁を制御する制御装置とを更に備えており、 しかもこの制御装置は、アームの角度αが０度のときの
   前記釣り合いトルクＦを発生させるのに必要な前記アク
   チュエータ側の空気圧に相当する前記制御電圧Ｖ₀ を複
   数の注入角βごとに求めたものを記憶している記憶手段
   と、 設定された注入角βに対応する前記制御電圧Ｖ₀ を前記
   記憶手段から取り出し、かつアーム角度検出手段から与
   えられるアームの角度αを用いて、 Ｖ＝Ｖ₀ cosα なる演算を行ってアームの角度αおよび注入角βに応じ
   た制御電圧Ｖを求め、この制御電圧Ｖを前記電空式圧力
   調節弁に与える演算制御手段とを有している請求項１記
   載のイオン注入装置。