JP2000064088A - プリント基板のめっき装置 - Google Patents
プリント基板のめっき装置Info
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- JP2000064088A JP2000064088A JP10227005A JP22700598A JP2000064088A JP 2000064088 A JP2000064088 A JP 2000064088A JP 10227005 A JP10227005 A JP 10227005A JP 22700598 A JP22700598 A JP 22700598A JP 2000064088 A JP2000064088 A JP 2000064088A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プリント基板の表裏面のめっき液を均一かつ
確実に攪拌し、金属イオン濃度が均一なめっき液を被め
っき面へ一様に供給してプリント基板の表裏面とスルー
ホールに高精度で均一なめっきを施すこと。 【解決手段】 めっき液2中に浸漬したプリント基板P
と、該プリント基板の両側に位置してプリント基板Pの
長手方向に沿って配置したアノード7,7との間に直流
電圧を印加することにより、プリント基板Pの表裏面お
よび表裏面を貫くスルーホールH内にめっき層を形成す
るようにしたプリント基板のめっき装置において、めっ
き液2中に浸漬したプリント基板Pの真下に、外周面所
定位置に放出孔9を備えた噴射管10を配設し、該噴射
管10をその管軸まわりに回転または往復回動させなが
ら放出孔9から気体または液体を噴射することにより、
プリント基板Pの表裏面のめっき液を交互に均一に攪拌
する。
確実に攪拌し、金属イオン濃度が均一なめっき液を被め
っき面へ一様に供給してプリント基板の表裏面とスルー
ホールに高精度で均一なめっきを施すこと。 【解決手段】 めっき液2中に浸漬したプリント基板P
と、該プリント基板の両側に位置してプリント基板Pの
長手方向に沿って配置したアノード7,7との間に直流
電圧を印加することにより、プリント基板Pの表裏面お
よび表裏面を貫くスルーホールH内にめっき層を形成す
るようにしたプリント基板のめっき装置において、めっ
き液2中に浸漬したプリント基板Pの真下に、外周面所
定位置に放出孔9を備えた噴射管10を配設し、該噴射
管10をその管軸まわりに回転または往復回動させなが
ら放出孔9から気体または液体を噴射することにより、
プリント基板Pの表裏面のめっき液を交互に均一に攪拌
する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、スルーホールを有
するプリント基板のめっき装置に係り、より詳しくは、
めっき液中に吊り下げたプリント基板の表裏面のめっき
液を均等に攪拌し、金属イオン濃度が均一なめっき液を
プリント基板の表裏面とスルーホールに供給するように
したプリント基板のめっき装置に関する。
するプリント基板のめっき装置に係り、より詳しくは、
めっき液中に吊り下げたプリント基板の表裏面のめっき
液を均等に攪拌し、金属イオン濃度が均一なめっき液を
プリント基板の表裏面とスルーホールに供給するように
したプリント基板のめっき装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図4に、従来のめっき装置を示す。図に
おいて、31はめっき槽、32はめっき槽31に満たさ
れためっき液、33はアノード(陽極)、34は気泡を
噴射してめっき液を攪拌するための噴射管、35は噴射
管34の周面に穿たれた気泡放出孔、36は噴射管34
に圧縮されたエアを送給するエアポンプ、Pはプリント
基板、Hはプリント基板Pの表裏面を貫いて形成された
スルーホールである。
おいて、31はめっき槽、32はめっき槽31に満たさ
れためっき液、33はアノード(陽極)、34は気泡を
噴射してめっき液を攪拌するための噴射管、35は噴射
管34の周面に穿たれた気泡放出孔、36は噴射管34
に圧縮されたエアを送給するエアポンプ、Pはプリント
基板、Hはプリント基板Pの表裏面を貫いて形成された
スルーホールである。
【0003】図示するように、従来のめっき装置は、め
っき液32中に吊り下げたプリント基板Pをカソード
(陰極)とし、このプリント基板Pを中に挟んでその左
右両側に配置したアノード33,33との間に直流電圧
を印加することにより、プリント基板Pの表裏面および
表裏面を貫くスルーホールH内にめっき層を形成させて
いた。なお、アノード33,33は、プリント基板Pの
めっき層の形成が進むに従って減少する金属イオンをめ
っき液32中に溶出供給する。
っき液32中に吊り下げたプリント基板Pをカソード
(陰極)とし、このプリント基板Pを中に挟んでその左
右両側に配置したアノード33,33との間に直流電圧
を印加することにより、プリント基板Pの表裏面および
表裏面を貫くスルーホールH内にめっき層を形成させて
いた。なお、アノード33,33は、プリント基板Pの
めっき層の形成が進むに従って減少する金属イオンをめ
っき液32中に溶出供給する。
【0004】また、プリント基板Pの被めっき面に付着
する発生ガス(H2 ガス)の除去、金属イオンの供
給、さらにめっき液の温度の均一化を図るために、プリ
ント基板Pの下方に位置してプリント基板Pの表裏面に
沿って長手方向に配設した2本の噴射管34,34の放
出孔35からエアを噴出してやることにより、めっき液
32を攪拌するようにしている。
する発生ガス(H2 ガス)の除去、金属イオンの供
給、さらにめっき液の温度の均一化を図るために、プリ
ント基板Pの下方に位置してプリント基板Pの表裏面に
沿って長手方向に配設した2本の噴射管34,34の放
出孔35からエアを噴出してやることにより、めっき液
32を攪拌するようにしている。
【0005】また、高精度のめっき層を形成させるに
は、めっき液32中に吊るしたプリント基板Pをできる
だけ垂直に保持する必要があるが、これを実現するため
に、図5に示すように、吊り金具37によって支持枠3
8をカソードバー39に懸吊し、この支持枠38にプリ
ント基板Pを取り付けるようにしていた。
は、めっき液32中に吊るしたプリント基板Pをできる
だけ垂直に保持する必要があるが、これを実現するため
に、図5に示すように、吊り金具37によって支持枠3
8をカソードバー39に懸吊し、この支持枠38にプリ
ント基板Pを取り付けるようにしていた。
【0006】また、孔の向きが水平方向を向いたスルー
ホールH内にも高精度のめっき層を形成させる必要があ
るが、従来においては、図4中に矢印(イ)で示すよう
に、プリント基板Pの全体を板面と直交する向きに往復
動させ、めっき液32がスルーホールH内に効果的に流
入するようにしていた。
ホールH内にも高精度のめっき層を形成させる必要があ
るが、従来においては、図4中に矢印(イ)で示すよう
に、プリント基板Pの全体を板面と直交する向きに往復
動させ、めっき液32がスルーホールH内に効果的に流
入するようにしていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のめっき装置の場合、プリント基板Pの下方に配
置した2本の噴射管34,34から噴射した気泡によっ
てめっき液32を攪拌しても、めっき液32の抵抗が大
きいため、プリント基板Pの表裏面における攪拌効果の
均一性を十分に確保することができず、また、図6に示
すように、プリント基板Pがめっき液32中で煽られて
傾いたままとなったり、気泡が基板の一方の側だけに廻
り込んでしまい、プリント基板Pの表裏面におけるめっ
き液32の攪拌状態に偏りを生じていた。
た従来のめっき装置の場合、プリント基板Pの下方に配
置した2本の噴射管34,34から噴射した気泡によっ
てめっき液32を攪拌しても、めっき液32の抵抗が大
きいため、プリント基板Pの表裏面における攪拌効果の
均一性を十分に確保することができず、また、図6に示
すように、プリント基板Pがめっき液32中で煽られて
傾いたままとなったり、気泡が基板の一方の側だけに廻
り込んでしまい、プリント基板Pの表裏面におけるめっ
き液32の攪拌状態に偏りを生じていた。
【0008】上記欠点を改善するには、プリント基板P
の下方に設けた2本の噴射管34,34をプリント基板
Pからそれぞれ左右にある程度離し、それぞれの噴射管
から噴射される気泡がプリント基板Pのそれぞれの面の
側でのみ立ち上がっていくようにすればよい。しかしな
がら、このような構成とした場合、プリント基板Pの下
端部が攪拌領域から外れてしまい、プリント基板の全面
においてめっき液の良好な攪拌効果が得られなくなって
しまう。
の下方に設けた2本の噴射管34,34をプリント基板
Pからそれぞれ左右にある程度離し、それぞれの噴射管
から噴射される気泡がプリント基板Pのそれぞれの面の
側でのみ立ち上がっていくようにすればよい。しかしな
がら、このような構成とした場合、プリント基板Pの下
端部が攪拌領域から外れてしまい、プリント基板の全面
においてめっき液の良好な攪拌効果が得られなくなって
しまう。
【0009】上記のようにめっき液の攪拌が不均一にな
ると、被めっき面に供給される金属イオン濃度が不均一
となってアノードとカソード間の電気抵抗に差異を生
じ、めっき電流の電流密度が場所によって異なってしま
うため、高精度で均一なめっきが得られないという問題
があった。
ると、被めっき面に供給される金属イオン濃度が不均一
となってアノードとカソード間の電気抵抗に差異を生
じ、めっき電流の電流密度が場所によって異なってしま
うため、高精度で均一なめっきが得られないという問題
があった。
【0010】また、プリント基板の煽り防止策として、
プリント基板の下端縁に沿って断面凹形状の案内部材を
固設し、この凹形状内に下端縁を入れた状態でプリント
基板を吊り下げ、左右の移動を凹形状の案内部材によっ
て規制することにより、プリント基板が左右に揺れて煽
られることがないようにしたものも見られるが、このよ
うな構造の場合、プリント基板の下端部が規制されてい
るため、図4中に矢印(イ)で示した水平方向への往復
動が困難となり、スルーホール内を高精度かつ均一にめ
っきすることができない。
プリント基板の下端縁に沿って断面凹形状の案内部材を
固設し、この凹形状内に下端縁を入れた状態でプリント
基板を吊り下げ、左右の移動を凹形状の案内部材によっ
て規制することにより、プリント基板が左右に揺れて煽
られることがないようにしたものも見られるが、このよ
うな構造の場合、プリント基板の下端部が規制されてい
るため、図4中に矢印(イ)で示した水平方向への往復
動が困難となり、スルーホール内を高精度かつ均一にめ
っきすることができない。
【0011】本発明は、上記のような問題を解決するた
めになされたもので、プリント基板の表裏面のめっき液
を均一かつ確実に攪拌し、金属イオン濃度が均一なめっ
き液を被めっき面へ一様に供給してプリント基板の表裏
面および表裏面を貫くスルーホールに高精度で均一なめ
っきを施すことができるプリント基板のめっき装置を提
供することを目的とする。
めになされたもので、プリント基板の表裏面のめっき液
を均一かつ確実に攪拌し、金属イオン濃度が均一なめっ
き液を被めっき面へ一様に供給してプリント基板の表裏
面および表裏面を貫くスルーホールに高精度で均一なめ
っきを施すことができるプリント基板のめっき装置を提
供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、めっき液中に浸漬したプリント基板と、
該プリント基板の両側に位置してプリント基板の長手方
向に沿って配置したアノードとの間に直流電圧を印加す
ることにより、プリント基板の表裏面および表裏面を貫
くスルーホール内にめっき層を形成するようにしたプリ
ント基板のめっき装置において、前記めっき液中に浸漬
したプリント基板の真下に位置して、外周面所定位置に
放出孔を備えた噴射管をプリント基板の長手方向に沿っ
て配設し、該噴射管をその管軸まわりに回転または往復
回動させながら前記放出孔から気体または液体を噴射す
ることにより、プリント基板の表裏面のめっき液を交互
に攪拌するように構成したものである。
め、本発明は、めっき液中に浸漬したプリント基板と、
該プリント基板の両側に位置してプリント基板の長手方
向に沿って配置したアノードとの間に直流電圧を印加す
ることにより、プリント基板の表裏面および表裏面を貫
くスルーホール内にめっき層を形成するようにしたプリ
ント基板のめっき装置において、前記めっき液中に浸漬
したプリント基板の真下に位置して、外周面所定位置に
放出孔を備えた噴射管をプリント基板の長手方向に沿っ
て配設し、該噴射管をその管軸まわりに回転または往復
回動させながら前記放出孔から気体または液体を噴射す
ることにより、プリント基板の表裏面のめっき液を交互
に攪拌するように構成したものである。
【0013】なお、前記めっき液中に浸漬されたプリン
ト基板の表裏面の両側に近接して金属イオンを透過可能
な多孔性隔壁を配設し、前記噴射管から噴射される気体
または液体がこの隔壁とプリント基板の間を立ち昇って
いくようにすれば、より好ましい。
ト基板の表裏面の両側に近接して金属イオンを透過可能
な多孔性隔壁を配設し、前記噴射管から噴射される気体
または液体がこの隔壁とプリント基板の間を立ち昇って
いくようにすれば、より好ましい。
【0014】
【作用】噴射管をその管軸まわりに回転または往復回動
させながら、放出孔から圧縮エアなどの気体を噴射しあ
るいはめっき槽内のめっき液を循環しながら噴射する
と、噴射管の回転または往復回動に応じて放出孔から噴
射される気体または液体の噴射方向と噴射位置が周期的
に変わる。噴射管は、プリント基板の真下に設けられて
いるため、前記放出孔から噴射される気体または液体は
噴射管の回転または往復回動に応じてプリント基板の表
面側と裏面側に向かって一定周期で交互に噴射され、こ
の立ち昇っていく気体または液体によってプリント基板
の表裏面付近に存在するめっき液が交互に均一に攪拌さ
れる。また、気泡が一方の面側だけに廻り込んだままと
なってプリント基板がめっき液中で傾斜したままとなっ
たり、攪拌流によって押し流されるようなことがなくな
る。
させながら、放出孔から圧縮エアなどの気体を噴射しあ
るいはめっき槽内のめっき液を循環しながら噴射する
と、噴射管の回転または往復回動に応じて放出孔から噴
射される気体または液体の噴射方向と噴射位置が周期的
に変わる。噴射管は、プリント基板の真下に設けられて
いるため、前記放出孔から噴射される気体または液体は
噴射管の回転または往復回動に応じてプリント基板の表
面側と裏面側に向かって一定周期で交互に噴射され、こ
の立ち昇っていく気体または液体によってプリント基板
の表裏面付近に存在するめっき液が交互に均一に攪拌さ
れる。また、気泡が一方の面側だけに廻り込んだままと
なってプリント基板がめっき液中で傾斜したままとなっ
たり、攪拌流によって押し流されるようなことがなくな
る。
【0015】このため、プリント基板の表裏面を均一か
つ効果的に攪拌することができ、金属イオン濃度が均一
なめっき液をプリント基板の表裏面全面に一様に供給す
ることができ、プリント基板の表裏面を均一にめっきす
ることができる。
つ効果的に攪拌することができ、金属イオン濃度が均一
なめっき液をプリント基板の表裏面全面に一様に供給す
ることができ、プリント基板の表裏面を均一にめっきす
ることができる。
【0016】また、プリント基板を境界として基板の表
裏面のめっき液が交互に攪拌されるため、プリント基板
の表裏面に圧力差が生じ、この圧力差によってスルーホ
ール内のめっき液の対流が促進される。このため、めっ
きの難しいスルーホール内も高精度かつ均一にめっきす
ることができる。
裏面のめっき液が交互に攪拌されるため、プリント基板
の表裏面に圧力差が生じ、この圧力差によってスルーホ
ール内のめっき液の対流が促進される。このため、めっ
きの難しいスルーホール内も高精度かつ均一にめっきす
ることができる。
【0017】また、上記攪拌によって金属イオン濃度の
高いめっき液がまわりから巻き込まれてプリント基板の
表裏面に次々と供給されるので、金属イオン濃度の高い
めっき液を常に供給することができる。このため、めっ
き効率が向上し、めっき速度を高速化することができ
る。
高いめっき液がまわりから巻き込まれてプリント基板の
表裏面に次々と供給されるので、金属イオン濃度の高い
めっき液を常に供給することができる。このため、めっ
き効率が向上し、めっき速度を高速化することができ
る。
【0018】なお、前記めっき液中に浸漬されたプリン
ト基板の表裏面の両側に近接して金属イオンを透過する
多孔性隔壁を配設し、前記噴射管から噴射される気体ま
たは液体がこの隔壁とプリント基板の間を立ち昇ってい
くようにした場合には、噴射された気体や液体が無駄に
広がって散逸することがないので、前述した作用をより
高めることができる。
ト基板の表裏面の両側に近接して金属イオンを透過する
多孔性隔壁を配設し、前記噴射管から噴射される気体ま
たは液体がこの隔壁とプリント基板の間を立ち昇ってい
くようにした場合には、噴射された気体や液体が無駄に
広がって散逸することがないので、前述した作用をより
高めることができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。図1および図2に、本発
明に係るめっき装置の一実施の形態を示す。図におい
て、1はめっき液2を満たされためっき槽である。この
めっき槽1の上端位置には、めっき槽1から溢れるめっ
き液を回収するためのめっき液回収堰3が設けられてお
り、プリント基板Pは支持枠4に取り付けられて吊り金
具5によってカソードバー6に吊り下げられている。こ
のカソードバー6の両端は図示しない槽上のサドルに保
持されており、このサドルによってプリント基板Pを上
下方向と長手方向に揺動することにより、めっき液の流
動を高めるように工夫されている。
て、図面を参照して説明する。図1および図2に、本発
明に係るめっき装置の一実施の形態を示す。図におい
て、1はめっき液2を満たされためっき槽である。この
めっき槽1の上端位置には、めっき槽1から溢れるめっ
き液を回収するためのめっき液回収堰3が設けられてお
り、プリント基板Pは支持枠4に取り付けられて吊り金
具5によってカソードバー6に吊り下げられている。こ
のカソードバー6の両端は図示しない槽上のサドルに保
持されており、このサドルによってプリント基板Pを上
下方向と長手方向に揺動することにより、めっき液の流
動を高めるように工夫されている。
【0020】めっき槽1の左右の壁面の近傍位置には、
アノード7,7がプリント基板Pの長手方向に沿って平
行に配設されている。このアノード7,7はアノードバ
ー8,8を介してめっき用直流電源の陽極(+)に接続
されている。また、前記カソードバー6は、めっき用直
流電源の陰極(−)に接続されている。このカソードバ
ー6とアノードバー8,8に直流電圧を印加することに
より、プリント基板Pのめっきが行なわれる。
アノード7,7がプリント基板Pの長手方向に沿って平
行に配設されている。このアノード7,7はアノードバ
ー8,8を介してめっき用直流電源の陽極(+)に接続
されている。また、前記カソードバー6は、めっき用直
流電源の陰極(−)に接続されている。このカソードバ
ー6とアノードバー8,8に直流電圧を印加することに
より、プリント基板Pのめっきが行なわれる。
【0021】一方、めっき槽1内に吊り下げられたプリ
ント基板Pの真下の位置には、外周面所定位置に放出孔
9を備えた、図2(a)または(b)に示すごとき断面
形状からなる噴射管10がプリント基板Pの長手方向に
沿って配設されている。この噴射管10は、その管軸ま
わりに回動自在とされており、この噴射管10に図示を
略したエアポンプから圧縮されたエアを送給することに
より、放出孔9からエアを噴出し、めっき液攪拌用の気
泡11となってめっき液中を立ち昇っていくように構成
されている。
ント基板Pの真下の位置には、外周面所定位置に放出孔
9を備えた、図2(a)または(b)に示すごとき断面
形状からなる噴射管10がプリント基板Pの長手方向に
沿って配設されている。この噴射管10は、その管軸ま
わりに回動自在とされており、この噴射管10に図示を
略したエアポンプから圧縮されたエアを送給することに
より、放出孔9からエアを噴出し、めっき液攪拌用の気
泡11となってめっき液中を立ち昇っていくように構成
されている。
【0022】前記噴射管10は、その管端を槽外におい
て図示しない回転または往復回動機構に接続され、図2
(a)に示すように、その軸心周りに所定の角度θの範
囲で往復回動するか、あるいは図2(b)に示すよう
に、その軸心まわりで一方向に回転するように構成され
ている。この噴射管10の回転または往復回動によっ
て、放出孔9より噴射される気泡11をプリント基板P
の左右両面側に一定周期で交互に分配するようになって
いる。
て図示しない回転または往復回動機構に接続され、図2
(a)に示すように、その軸心周りに所定の角度θの範
囲で往復回動するか、あるいは図2(b)に示すよう
に、その軸心まわりで一方向に回転するように構成され
ている。この噴射管10の回転または往復回動によっ
て、放出孔9より噴射される気泡11をプリント基板P
の左右両面側に一定周期で交互に分配するようになって
いる。
【0023】また、前記めっき液中に浸漬されたプリン
ト基板Pの表裏面の両側に近接して金属イオンの透過可
能な多孔性隔壁12が配設されており、噴射管10から
噴射される気泡11がこの多孔性隔壁12とプリント基
板Pの間を立ち昇っていくように構成している。多孔性
隔壁12としては、図示するように全面に多数の微細孔
12aを穿った非金属板を用いてもよいし、あるいは微
細多孔性の磁器板などを用いることができる。また、こ
の多孔性隔膜12の役目は、プリント基板Pの縁部に電
気が集中して高電流密度となるエッジ効果を抑制するた
めに設けられる電流遮蔽板(図示せず)に兼用させても
よい。
ト基板Pの表裏面の両側に近接して金属イオンの透過可
能な多孔性隔壁12が配設されており、噴射管10から
噴射される気泡11がこの多孔性隔壁12とプリント基
板Pの間を立ち昇っていくように構成している。多孔性
隔壁12としては、図示するように全面に多数の微細孔
12aを穿った非金属板を用いてもよいし、あるいは微
細多孔性の磁器板などを用いることができる。また、こ
の多孔性隔膜12の役目は、プリント基板Pの縁部に電
気が集中して高電流密度となるエッジ効果を抑制するた
めに設けられる電流遮蔽板(図示せず)に兼用させても
よい。
【0024】なお、噴射管10とアノード7,7の下方
には、めっき液2の攪拌を補助するために、めっき液の
循環吐出管13または固定のエア噴出管が複数本設けら
れている。これら複数本の循環吐出管13のうち、左右
のアノード7,7の下方に位置する循環吐出管13,1
3は、めっき液2の補助攪拌と同時にめっき時にアノー
ド7,7の表面に付着する発生ガス(H2 ガス)を吹
き払う役目も担っている。
には、めっき液2の攪拌を補助するために、めっき液の
循環吐出管13または固定のエア噴出管が複数本設けら
れている。これら複数本の循環吐出管13のうち、左右
のアノード7,7の下方に位置する循環吐出管13,1
3は、めっき液2の補助攪拌と同時にめっき時にアノー
ド7,7の表面に付着する発生ガス(H2 ガス)を吹
き払う役目も担っている。
【0025】上記構造になる本発明のめっき装置の動作
を、図3の動作説明図を参照して説明する。プリント基
板Pをめっき槽1内に位置して図1のような状態に吊り
下げる。また、図示を略した回転または往復回動機構に
よって噴射管10の回転または往復回動を開始するとと
もに、図示を略したエアポンプからエアを送給開始し、
噴射管10の放出孔9からめっき液攪拌用の気泡11を
噴射開始する。さらに、図示を略した槽上のサドルによ
って、プリント基板Pをめっき槽1内で上下方向と長手
方向に揺動開始するとともに、図示を略した循環ポンプ
によって循環吐出管13からめっき槽1内のめっき液2
を循環吐出し、補助攪拌を開始する。この状態で、図示
を略しためっき用直流電源のスイッチを投入し、プリン
ト基板Pのめっきを開始する。
を、図3の動作説明図を参照して説明する。プリント基
板Pをめっき槽1内に位置して図1のような状態に吊り
下げる。また、図示を略した回転または往復回動機構に
よって噴射管10の回転または往復回動を開始するとと
もに、図示を略したエアポンプからエアを送給開始し、
噴射管10の放出孔9からめっき液攪拌用の気泡11を
噴射開始する。さらに、図示を略した槽上のサドルによ
って、プリント基板Pをめっき槽1内で上下方向と長手
方向に揺動開始するとともに、図示を略した循環ポンプ
によって循環吐出管13からめっき槽1内のめっき液2
を循環吐出し、補助攪拌を開始する。この状態で、図示
を略しためっき用直流電源のスイッチを投入し、プリン
ト基板Pのめっきを開始する。
【0026】上記のようにしてめっきが開始されると、
回転または往復回動する噴射管10の放出孔9から噴射
される気泡11により、プリント基板Pの表裏面のめっ
き液が一定の周期で交互に均一に攪拌される。
回転または往復回動する噴射管10の放出孔9から噴射
される気泡11により、プリント基板Pの表裏面のめっ
き液が一定の周期で交互に均一に攪拌される。
【0027】すなわち、例えば、噴射管10が図2
(a)に示したように所定の角度θの範囲で往復回動す
るように構成されている場合を例に採ると、往復回動す
る噴射管10の放出孔9は、図3(a)〜(b)に示す
ように、噴射管10の往復回動位置に応じてその噴射方
向が周期的に変わる。したがって、例えば、放出孔9が
図3(a)のように左側を向いている場合には、噴射さ
れる気泡11はプリント基板Pの左側の面に沿って立ち
昇っていき、また、放出孔9が図3(c)のように右側
を向いている場合には、噴射される気泡11はプリント
基板Pの右側の面に沿って立ち昇っていき、プリント基
板Pの表裏面のめっき液を一定周期で交互に均一に攪拌
する。
(a)に示したように所定の角度θの範囲で往復回動す
るように構成されている場合を例に採ると、往復回動す
る噴射管10の放出孔9は、図3(a)〜(b)に示す
ように、噴射管10の往復回動位置に応じてその噴射方
向が周期的に変わる。したがって、例えば、放出孔9が
図3(a)のように左側を向いている場合には、噴射さ
れる気泡11はプリント基板Pの左側の面に沿って立ち
昇っていき、また、放出孔9が図3(c)のように右側
を向いている場合には、噴射される気泡11はプリント
基板Pの右側の面に沿って立ち昇っていき、プリント基
板Pの表裏面のめっき液を一定周期で交互に均一に攪拌
する。
【0028】ところで、往復回動する噴射管10の放出
孔9から噴射される気泡11は、図3の(a)の状態か
ら(b)の状態を経て(c)の状態に、また、(c)の
状態から(b)の状態を経て(a)の状態に移り変わっ
ていくが、この際に懸吊されたプリント基板Pをその回
動方向に煽り、プリント基板Pを傾斜しようとするが、
本発明の場合、気泡11がプリント基板Pの反対側の面
まで回り込んだ時点で、今度はプリント基板Pを垂直位
置に押し戻す向きに煽るように作用する。また、プリン
ト基板Pを含む支持枠4の自重も垂直方向への復元力と
して作用する。
孔9から噴射される気泡11は、図3の(a)の状態か
ら(b)の状態を経て(c)の状態に、また、(c)の
状態から(b)の状態を経て(a)の状態に移り変わっ
ていくが、この際に懸吊されたプリント基板Pをその回
動方向に煽り、プリント基板Pを傾斜しようとするが、
本発明の場合、気泡11がプリント基板Pの反対側の面
まで回り込んだ時点で、今度はプリント基板Pを垂直位
置に押し戻す向きに煽るように作用する。また、プリン
ト基板Pを含む支持枠4の自重も垂直方向への復元力と
して作用する。
【0029】このため、本発明の場合、プリント基板P
の真下の位置から直接基板表面に気泡を当てても、従来
のようにプリント基板P一方向に傾斜しっ放しにするよ
うなことがなくなる。したがって、プリント基板Pの表
裏両面を同一状態で交互に攪拌することができ、プリン
ト基板Pの表裏両面のメッキ液2の金属イオン濃度を常
に均一に維持することができる。また、プリント基板P
の表裏面に交互に回り込む気泡11によって表裏面間に
圧力差が交互に発生するので、スルーホールH内の液流
も促進させることができ、スルーホールH内も均一にめ
っきすることができる。
の真下の位置から直接基板表面に気泡を当てても、従来
のようにプリント基板P一方向に傾斜しっ放しにするよ
うなことがなくなる。したがって、プリント基板Pの表
裏両面を同一状態で交互に攪拌することができ、プリン
ト基板Pの表裏両面のメッキ液2の金属イオン濃度を常
に均一に維持することができる。また、プリント基板P
の表裏面に交互に回り込む気泡11によって表裏面間に
圧力差が交互に発生するので、スルーホールH内の液流
も促進させることができ、スルーホールH内も均一にめ
っきすることができる。
【0030】さらに、図示の例では、プリント基板Pの
表裏面の両側に近接して金属イオンを透過する多孔性隔
壁12を配設しているので、噴射管10から噴射される
気泡11はこの隔壁12とプリント基板Pの間を立ち昇
っていき、気泡11が無駄に広がって散逸することがな
くなり、前述した作用をより高めることができる。
表裏面の両側に近接して金属イオンを透過する多孔性隔
壁12を配設しているので、噴射管10から噴射される
気泡11はこの隔壁12とプリント基板Pの間を立ち昇
っていき、気泡11が無駄に広がって散逸することがな
くなり、前述した作用をより高めることができる。
【0031】なお、上述した実施の形態では、噴射管1
0の放出孔9から気泡11を噴射してめっき液2を攪拌
する場合について説明したが、めっき槽1内のめっき液
2を循環ポンプなどで循環して噴射管10の放出孔9か
ら放出しても同様の効果を得ることができる。
0の放出孔9から気泡11を噴射してめっき液2を攪拌
する場合について説明したが、めっき槽1内のめっき液
2を循環ポンプなどで循環して噴射管10の放出孔9か
ら放出しても同様の効果を得ることができる。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のめっき装
置によれば、プリント基板の真下に設けた噴射管をその
管軸まわりに回転または往復回動させながら、噴射管の
外周面適宜位置に設けた放出孔から気体または液体を噴
射することにより、プリント基板の表裏面のめっき液を
交互に攪拌するようにしたので、プリント基板の表裏面
を常に均一に攪拌することができるとともに、プリント
基板が一方の側に傾斜したままとなるようなこともなく
すことができる。このため、金属イオン濃度が均一なめ
っき液をプリント基板の表裏面全面に供給して高精度か
つ均一なめっきを行なうことができる。
置によれば、プリント基板の真下に設けた噴射管をその
管軸まわりに回転または往復回動させながら、噴射管の
外周面適宜位置に設けた放出孔から気体または液体を噴
射することにより、プリント基板の表裏面のめっき液を
交互に攪拌するようにしたので、プリント基板の表裏面
を常に均一に攪拌することができるとともに、プリント
基板が一方の側に傾斜したままとなるようなこともなく
すことができる。このため、金属イオン濃度が均一なめ
っき液をプリント基板の表裏面全面に供給して高精度か
つ均一なめっきを行なうことができる。
【0033】また、プリント基板の表裏面に交互に発生
する圧力差によって、スルーホール内のめっき液の流動
を促進されるので、スルーホール内にも高濃度で均一な
めっき液を供給することができ、めっきの難しいスルー
ホール内も高精度かつ均一にめっきすることができる。
する圧力差によって、スルーホール内のめっき液の流動
を促進されるので、スルーホール内にも高濃度で均一な
めっき液を供給することができ、めっきの難しいスルー
ホール内も高精度かつ均一にめっきすることができる。
【0034】また、前記攪拌によって金属イオン濃度の
高いめっき液がまわりから巻き込まれ、プリント基板の
表裏面に次々と供給されるので、プリント基板の表裏面
に常に金属イオン濃度の高いめっき液を供給することが
できる。このため、めっき効率を向上し、めっき速度を
高速化することができる。
高いめっき液がまわりから巻き込まれ、プリント基板の
表裏面に次々と供給されるので、プリント基板の表裏面
に常に金属イオン濃度の高いめっき液を供給することが
できる。このため、めっき効率を向上し、めっき速度を
高速化することができる。
【0035】さらに、プリント基板の表裏面の両側に近
接して金属イオンを透過する多孔性隔壁を配設した場合
には、噴射管から噴射される気体や液体がこの隔壁とプ
リント基板の間を立ち昇っていくので、噴射された気体
や液体が無駄に広がって散逸することがなくなり、前述
の各効果をより高めることができる。
接して金属イオンを透過する多孔性隔壁を配設した場合
には、噴射管から噴射される気体や液体がこの隔壁とプ
リント基板の間を立ち昇っていくので、噴射された気体
や液体が無駄に広がって散逸することがなくなり、前述
の各効果をより高めることができる。
【図1】本発明に係るめっき装置の一実施の形態を示す
略示縦断面図である。
略示縦断面図である。
【図2】上記実施の形態における噴射管の拡大断面図で
あって、(a)は一定の角度範囲で往復回動する噴射管
の例を示す図、(b)は一定方向に回転する噴射管の例
を示す図である。
あって、(a)は一定の角度範囲で往復回動する噴射管
の例を示す図、(b)は一定方向に回転する噴射管の例
を示す図である。
【図3】(a)〜(c)は上記実施の形態の動作説明図
である。
である。
【図4】従来装置の略示縦断面図である。
【図5】従来装置におけるプリント基板の支持枠部分の
略示斜視図である。
略示斜視図である。
【図6】従来装置におけるプリント基板の煽られ状態の
説明図である。
説明図である。
1 めっき槽
2 めっき液
3 めっき液回収堰
4 支持枠
5 吊り金具
6 カソードバー
7 アノード
8 アノードバー
9 放出孔
10 噴射管
11 気泡
12 多孔性隔壁
12a 微細孔
13 循環吐出管
P プリント基板
H スルーホール
Claims (2)
- 【請求項1】 めっき液中に浸漬したプリント基板と、
該プリント基板の両側に位置してプリント基板の長手方
向に沿って配置したアノードとの間に直流電圧を印加す
ることにより、プリント基板の表裏面および表裏面を貫
くスルーホール内にめっき層を形成するようにしたプリ
ント基板のめっき装置において、 前記めっき液中に浸漬したプリント基板の真下に位置し
て、外周面所定位置に放出孔を備えた噴射管をプリント
基板の長手方向に沿って配設し、 該噴射管をその管軸まわりに回転または往復回動させな
がら前記放出孔から気体または液体を噴射することによ
り、プリント基板の表裏面のめっき液を交互に攪拌する
ことを特徴とするプリント基板のめっき装置。 - 【請求項2】 前記めっき液中に浸漬されたプリント基
板の表裏面の両側に近接して金属イオンの透過可能な多
孔性隔壁を配設し、前記噴射管から噴射される気体また
は液体がこの隔壁とプリント基板の間を立ち昇っていく
ようにしたことを特徴とする請求項1記載のプリント基
板のめっき装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10227005A JP2000064088A (ja) | 1998-08-11 | 1998-08-11 | プリント基板のめっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10227005A JP2000064088A (ja) | 1998-08-11 | 1998-08-11 | プリント基板のめっき装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000064088A true JP2000064088A (ja) | 2000-02-29 |
Family
ID=16854026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10227005A Pending JP2000064088A (ja) | 1998-08-11 | 1998-08-11 | プリント基板のめっき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000064088A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001034881A3 (de) * | 1999-11-09 | 2001-11-29 | Siemens Ag | Vorrichtung zur elektrolytischen behandlung von plattenförmigen werkstücken, insbesondere von leiterplatten |
| JP2009155725A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-07-16 | Ebara Corp | めっき装置及びめっき方法 |
| JP2010084168A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Hitachi Ltd | 湿式処理方法,無電解銅めっき方法およびプリント配線板 |
| KR101135955B1 (ko) * | 2008-10-02 | 2012-04-18 | 주식회사 티케이씨 | 도금설비의 인쇄회로기판용 차폐박스구조 |
| WO2012164872A1 (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-06 | 上村工業株式会社 | めっき方法 |
| US8784636B2 (en) | 2007-12-04 | 2014-07-22 | Ebara Corporation | Plating apparatus and plating method |
| CN112495926A (zh) * | 2020-12-02 | 2021-03-16 | 盛青永致半导体设备(苏州)有限公司 | 一种用于化学镀或清洗的装置及方法 |
| WO2021210150A1 (ja) * | 2020-04-17 | 2021-10-21 | 株式会社メイコー | 回路基板の製造方法 |
-
1998
- 1998-08-11 JP JP10227005A patent/JP2000064088A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001034881A3 (de) * | 1999-11-09 | 2001-11-29 | Siemens Ag | Vorrichtung zur elektrolytischen behandlung von plattenförmigen werkstücken, insbesondere von leiterplatten |
| JP2009155725A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-07-16 | Ebara Corp | めっき装置及びめっき方法 |
| US8784636B2 (en) | 2007-12-04 | 2014-07-22 | Ebara Corporation | Plating apparatus and plating method |
| JP2010084168A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Hitachi Ltd | 湿式処理方法,無電解銅めっき方法およびプリント配線板 |
| KR101135955B1 (ko) * | 2008-10-02 | 2012-04-18 | 주식회사 티케이씨 | 도금설비의 인쇄회로기판용 차폐박스구조 |
| CN103493609A (zh) * | 2011-05-27 | 2014-01-01 | 上村工业株式会社 | 镀覆方法 |
| JP2012248662A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | C Uyemura & Co Ltd | めっき方法 |
| US20140120245A1 (en) * | 2011-05-27 | 2014-05-01 | C. Uyemura & Co., Ltd. | Plating method |
| WO2012164872A1 (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-06 | 上村工業株式会社 | めっき方法 |
| US9730337B2 (en) * | 2011-05-27 | 2017-08-08 | C. Uyemura & Co., Ltd. | Plating method |
| WO2021210150A1 (ja) * | 2020-04-17 | 2021-10-21 | 株式会社メイコー | 回路基板の製造方法 |
| JPWO2021210150A1 (ja) * | 2020-04-17 | 2021-10-21 | ||
| CN112495926A (zh) * | 2020-12-02 | 2021-03-16 | 盛青永致半导体设备(苏州)有限公司 | 一种用于化学镀或清洗的装置及方法 |
| CN112495926B (zh) * | 2020-12-02 | 2024-02-20 | 盛青永致半导体设备(苏州)有限公司 | 一种用于化学镀或清洗的装置及方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050401 |
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