JP2000051760A - Fluid feeder - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、フ
ォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基
板、光ディスク用の基板など（以下、単に基板と称す
る）の被処理体に対して、純水や窒素ガスなどの流体を
供給する流体供給装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an object to be processed such as a semiconductor wafer, a glass substrate for a photomask, a glass substrate for a liquid crystal display, a substrate for an optical disk (hereinafter, simply referred to as a substrate). The present invention relates to a fluid supply device that supplies a fluid such as pure water or nitrogen gas.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のこの種の流体供給装置として、図
９ないし図１１に示す液ナイフ１００が挙げられる。な
お、図９は平面図であり、図１０は図９のＡ−Ａ矢視断
面図であり、図１１は図９のＢ−Ｂ矢視断面図である。2. Description of the Related Art As a conventional fluid supply apparatus of this type, there is a liquid knife 100 shown in FIGS. 9 is a plan view, FIG. 10 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 9, and FIG. 11 is a sectional view taken along the line BB of FIG.
【０００３】この液ナイフ１００は、２枚の板状部材１
００ａ，１００ｂでスペーサ１００ｃを挟んで構成され
ている。板状部材１００ａの側面には、純水などの処理
液を供給される導入口１０２が３箇所に形成されてお
り、これらの導入口１０２から導入された処理液は、板
状部材１００ａ，１００ｂの合わせ面に形成されている
流路１０４に沿って流下し、板状部材１００ａ，１００
ｂの長手方向に幅広の吐出口１０６から吐出される。ま
た、板状部材１００ａ，１００ｂとスペーサ１００ｃと
は、複数個の調整用ボルト１０８で取り付けられてお
り、これらの調整用ボルト１０８によって吐出口１０６
の幅が調整できる。[0003] The liquid knife 100 includes two plate-like members 1.
00a and 100b sandwich the spacer 100c. On the side surface of the plate member 100a, there are formed three inlets 102 to which a processing liquid such as pure water is supplied, and the processing liquid introduced from these inlets 102 is used for the plate members 100a and 100b. Flow down along the flow path 104 formed on the mating surface of the plate-shaped members 100a and 100a.
B is discharged from the discharge port 106 which is wide in the longitudinal direction. The plate members 100a and 100b and the spacer 100c are attached with a plurality of adjustment bolts 108, and the discharge ports 106 are formed by these adjustment bolts 108.
Width can be adjusted.
【０００４】さらに、導入口１０２の奥側には、導入さ
れた処理液を板状部材１００ａ，１００ｂの長手方向に
拡げるため、一時的に処理液を滞留させる上流バッファ
部１１０が形成され、この上流バッファ部１１０には、
３箇所の導入口１０２から導入された処理液の流れを板
状部材１００ａ，１００ｂの長手方向に拡げ整流するた
めの整流板１１２が形成されている。また、調整用ボル
ト１０８と吐出口１０６との間に位置する流路１０４に
は、上流バッファ部１１０から流路１０４に導入された
処理液の流れを拡大するため、一時的に処理液を滞留さ
せる下流バッファ部１１４が形成されている。Further, an upstream buffer section 110 for temporarily storing the processing liquid is formed in the back side of the inlet 102 to spread the introduced processing liquid in the longitudinal direction of the plate members 100a and 100b. In the upstream buffer unit 110,
A rectifying plate 112 is formed for expanding and rectifying the flow of the processing liquid introduced from the three inlets 102 in the longitudinal direction of the plate members 100a and 100b. Further, in the flow path 104 located between the adjusting bolt 108 and the discharge port 106, the processing liquid is temporarily retained in order to enlarge the flow of the processing liquid introduced from the upstream buffer section 110 into the flow path 104. A downstream buffer section 114 is formed.
【０００５】このように構成された液ナイフ１００で
は、導入口１０２から導入された処理液が、上流バッフ
ァ部１１０と上流整流板１１２によって板状部材１００
ａ，１００ｂの長手方向に流れを拡げられる。幅の狭い
流路１０４を通った処理液は、下流バッファ部１１４で
板状部材１００ａ，１００ｂの長手方向に流れを拡げら
れるとともに、流路１０４を流下して吐出口１０６から
板状部材１００ａ，１００ｂの長手方向に幅広の処理液
が薄膜状に吐出される。In the liquid knife 100 configured as described above, the processing liquid introduced from the inlet 102 is supplied to the plate member 100 by the upstream buffer 110 and the upstream rectifying plate 112.
a, the flow can be spread in the longitudinal direction of 100b. The processing liquid that has passed through the narrow flow path 104 can be spread in the longitudinal direction of the plate-like members 100a and 100b by the downstream buffer 114, and flow down the flow path 104 from the discharge port 106 to the plate-like members 100a and 100a. A processing liquid wide in the longitudinal direction of 100b is discharged in the form of a thin film.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、調整用ボルト１０８によって上流バッ
ファ部１１０から流路１０４を流れる処理液の流れが分
断されるため、下流バッファ部１１４が形成されていて
も吐出口１０６から長手方向に幅広の処理液にムラが生
じ、図９に示すように吐出口１０６から吐出される液膜
が均一な薄膜状にならず、液切れしたり液膜が薄くなる
という問題がある。このように吐出液膜が不均一になる
と、エッチング不良や洗浄不良といった問題が生じるた
め、導入口１０２への処理液の供給量を多くすることに
より処理液の液切れを防止してこのようなムラが吐出液
膜に生じることを防止しているのが現状である。However, the prior art having such a structure has the following problems. That is, since the flow of the processing liquid flowing from the upstream buffer section 110 through the flow path 104 is divided by the adjusting bolt 108, even if the downstream buffer section 114 is formed, the processing liquid which is wide in the longitudinal direction from the discharge port 106 may be uneven. This causes a problem that the liquid film discharged from the discharge port 106 does not form a uniform thin film as shown in FIG. If the discharge liquid film becomes non-uniform in this way, problems such as poor etching and poor cleaning occur. Therefore, by increasing the supply amount of the processing liquid to the inlet 102, it is possible to prevent the processing liquid from running out. At present, unevenness is prevented from being generated in the discharge liquid film.
【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、吐出口の幅を調整するための調整用ボ
ルトの影響を抑制することによって、流体の流量を増や
すことなく吐出口から吐出される流体の膜にムラが生じ
ることを防止することができる流体供給装置を提供する
ことを目的とする。The present invention has been made in view of such circumstances, and suppresses the influence of an adjusting bolt for adjusting the width of the discharge port, thereby preventing the discharge port from increasing without increasing the flow rate of the fluid. It is an object of the present invention to provide a fluid supply device that can prevent unevenness of a film of a fluid discharged from a liquid.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の流体供給装置は、被処理体に流体
を供給する流体供給装置であって、流体を導入させる導
入口と、流体を被処理体に吐出させる吐出口と、前記導
入口に導入された流体を前記吐出口へ導くための流路
と、前記吐出口の間隔を調整するために、前記流路を貫
通させて形成された複数の調整部材と、前記吐出口と前
記調整部材との間の前記流路に形成され、前記流路の間
隔よりも広い下流バッファ部と、前記下流バッファ部に
形成され、前記導入口から流れてくる流体の流れと略直
交する方向に流体の流れを広げて前記吐出口へ流体を流
させる下流整流部材と、を備えたことを特徴とするもの
である。The present invention has the following configuration in order to achieve the above object. In other words, the fluid supply device according to claim 1 is a fluid supply device that supplies a fluid to an object to be processed, the inlet for introducing a fluid, the discharge port for discharging a fluid to the object, and the introduction port. A flow path for guiding the fluid introduced into the port to the discharge port, and a plurality of adjustment members formed by penetrating the flow path to adjust the interval between the discharge ports; and the discharge port and the discharge port. A downstream buffer portion formed in the flow path between the adjusting member and the gap between the flow paths, and formed in the downstream buffer portion, in a direction substantially orthogonal to the flow of the fluid flowing from the introduction port. A downstream rectifying member for expanding the flow of the fluid and causing the fluid to flow to the discharge port.
【０００９】また、請求項２に記載の流体供給装置は、
請求項１に記載の流体供給装置において、前記下流整流
部材は、流体の流れと略直交するように突出した整流板
であることを特徴とするものである。The fluid supply device according to claim 2 is
2. The fluid supply device according to claim 1, wherein the downstream rectifying member is a rectifying plate protruding so as to be substantially orthogonal to the flow of the fluid.
【００１０】また、請求項３に記載の流体供給装置は、
請求項２に記載の流体供給装置において、前記整流板
を、流体の流れる方向に複数段設けたことを特徴とする
ものである。The fluid supply device according to claim 3 is
The fluid supply device according to claim 2, wherein the current plate is provided in a plurality of stages in a direction in which the fluid flows.
【００１１】また、請求項４に記載の流体供給装置は、
請求項２に記載の流体供給装置において、前記整流板に
よって仕切られる前記下流バッファ部の上流の流路断面
積が下流の流路断面積よりも小さくなるように前記整流
板を設けたことを特徴とするものである。The fluid supply device according to claim 4 is
3. The fluid supply device according to claim 2, wherein the rectifying plate is provided such that a cross-sectional area of an upstream flow path of the downstream buffer section partitioned by the rectifying plate is smaller than a cross-sectional area of a downstream flow path. It is assumed that.
【００１２】また、請求項５に記載の流体供給装置は、
請求項２に記載の流体供給装置において、前記整流板に
よって仕切られる前記下流バッファ部の上流の流路断面
積と下流の流路断面積とが等しくなるように前記整流板
を設けたことを特徴とするものである。The fluid supply device according to claim 5 is
3. The fluid supply device according to claim 2, wherein the rectifying plate is provided such that an upstream flow path cross-sectional area and a downstream flow path cross-sectional area of the downstream buffer unit partitioned by the rectifying plate are equal. It is assumed that.
【００１３】また、請求項６に記載の流体供給装置は、
請求項１に記載の流体供給装置において、前記下流整流
部材は、前記下流バッファ部と連通する上流側の流路の
位置と下流側の流路の位置とを前記吐出口の間隔方向に
ずらすことで形成され、上流側の流路からの流れと略直
交した整流面であることを特徴するものである。The fluid supply device according to claim 6 is
2. The fluid supply device according to claim 1, wherein the downstream rectifying member shifts a position of an upstream channel and a position of a downstream channel that communicate with the downstream buffer unit in a space direction of the discharge port. 3. And a rectifying surface substantially orthogonal to the flow from the upstream flow path.
【００１４】また、請求項７に記載の流体供給装置は、
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の流体供給装
置において、前記下流バッファ部の下流側の流路に連通
する底部には、流路断面積が次第に小さくなるようにテ
ーパが形成されていることを特徴とするものである。Further, the fluid supply device according to claim 7 is
The fluid supply device according to any one of claims 1 to 6, wherein a taper is formed at a bottom portion communicating with the flow path on the downstream side of the downstream buffer portion so that a flow path cross-sectional area becomes gradually smaller. It is characterized by having.
【００１５】また、請求項８に記載の流体供給装置は、
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の流体供給装
置において、前記調整部材よりも上流側の流路に形成さ
れ、前記流路の間隔よりも広い上流バッファ部と、前記
上流バッファ部に形成され、前記導入口から流れてくる
流体の流れと略直交する方向に流体の流れを広げる上流
整流部材と、をさらに備えたことを特徴とするものであ
る。Further, the fluid supply device according to claim 8 is
The fluid supply device according to any one of claims 1 to 7, wherein the upstream buffer portion is formed in a flow path on the upstream side of the adjustment member and is wider than an interval between the flow paths. And an upstream rectifying member that is formed and expands the flow of the fluid in a direction substantially orthogonal to the flow of the fluid flowing from the introduction port.
【００１６】また、請求項９に記載の流体供給装置は、
請求項８に記載の流体供給装置において、前記上流整流
部材を流体の流れる方向に複数段設けたことを特徴とす
るものである。Further, the fluid supply device according to claim 9 is
The fluid supply device according to claim 8, wherein the upstream rectifying member is provided in a plurality of stages in a direction in which the fluid flows.
【００１７】また、請求項１０に記載の流体供給装置
は、請求項８または請求項９に記載の流体供給装置にお
いて、前記上流バッファ部の下流側の流路に連通する底
部には、流路断面積が次第に小さくなるようにテーパが
形成されていることを特徴とするものである。According to a tenth aspect of the present invention, in the fluid supply device according to the eighth or ninth aspect, a flow path is provided at a bottom portion communicating with a flow path on the downstream side of the upstream buffer section. The taper is formed so that the cross-sectional area becomes gradually smaller.
【００１８】[0018]
【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。導入口から導入された流体は、流路を流れて下流バ
ッファ部に流入する。下流バッファ部の上流には、流路
を貫通して吐出口の間隔を調整するための調整部材が取
り付けられているため、この流路を流れる流体の流れが
分断される。しかしながら、その下流に形成された下流
バッファ部の下流整流部材によって、分断された流体の
流れが拡げ整流されるので、調整部材に起因する流出速
度の大幅な低下といった悪影響が抑制される。The operation of the first aspect of the invention is as follows. The fluid introduced from the inlet flows through the flow path and flows into the downstream buffer. Upstream of the downstream buffer section, an adjusting member that penetrates the flow path and adjusts the interval between the discharge ports is attached, so that the flow of the fluid flowing through the flow path is cut off. However, since the flow of the divided fluid is expanded and rectified by the downstream rectifying member of the downstream buffer portion formed downstream thereof, adverse effects such as a large decrease in the outflow speed caused by the adjusting member are suppressed.
【００１９】ところで発明者等は、図９に示したような
液膜の不具合について数値シミュレーションにより解析
を行った。具体的には、エアーナイフを用いて吐出口に
おける『空気』の流出速度分布を計算した。なお、シミ
ュレーションに用いたエアーナイフは、図９ないし図１
１に示した液ナイフ１００と形状寸法に若干の差異があ
るが、吐出口のレイノズル数（Ｒｅ数）は、エアーナイ
フがＲｅ＝１．５９×１０4 であり、液ナイフがＲｅ＝
１．３８×１０4 であって大差なく、エアーナイフによ
る数値シミュレーション結果は液ナイフにも適用でき
る。By the way, the present inventors have analyzed a defect of the liquid film as shown in FIG. 9 by numerical simulation. Specifically, the outflow velocity distribution of “air” at the discharge port was calculated using an air knife. The air knives used in the simulation are shown in FIGS.
Although there is a slight difference in the shape and dimensions from the liquid knife 100 shown in FIG. 1, the number of Reynolds nozzles (Re number) of the discharge port is Re = 1.59 × 10 4 for the air knife and Re = 1.59 × 10 4 for the liquid knife.
It is 1.38 × 10 4 , which is not much different, and the numerical simulation result by the air knife can be applied to the liquid knife.
【００２０】図１２に示したグラフ（従来例に相当）
は、調整用ボルトを長手方向に５ｃｍごとに取り付けた
状態のエアーナイフにおける吐出口の流出速度分布を示
したものである。この場合における最大速度は１１３．
０[m/s] であり、最小速度は１１０．３[m/s] となっ
て、速度差が２．７[m/s] にもなっている。このように
調整用ボルトが取り付けられた箇所では、大幅に流出速
度が低下することが判る。なお、エアーナイフにおいて
調整用ボルトを取り外した状態における吐出口の流出速
度分布を示したのが図１３のグラフであるが、図１２の
グラフと比較することにより大幅な流出速度の低下の原
因が調整用ボルトにあることは明らかである。因みに、
この調整用ボルト無しの場合における最大速度は１１
２．６[m/s] 、最小速度は１１２．２[m/s] であって、
速度差が０．４[m/s] と極めて小さくなっている。The graph shown in FIG. 12 (corresponding to the conventional example)
Fig. 5 shows the distribution of the outflow velocity of the discharge port of the air knife in a state where the adjusting bolt is attached every 5 cm in the longitudinal direction. The maximum speed in this case is 113.
0 [m / s], the minimum speed is 110.3 [m / s], and the speed difference is 2.7 [m / s]. It can be seen that the outflow speed is significantly reduced at the locations where the adjustment bolts are attached. FIG. 13 is a graph showing the outflow velocity distribution of the discharge port in a state where the adjustment bolt is removed from the air knife. The comparison with the graph of FIG. It is clear that the adjustment bolt is present. By the way,
The maximum speed without this adjustment bolt is 11
2.6 [m / s], the minimum speed is 112.2 [m / s],
The speed difference is extremely small at 0.4 [m / s].
【００２１】また、図１４は、本発明に係る流体供給装
置のように下流バッファ部に下流整流部材を形成したエ
アーナイフによる数値シミュレーション結果を示したグ
ラフである。このグラフから、下流整流部材によって板
状部材の長手方向へ流体の流れが拡げられているため調
整部材である調整用ボルトの無い部分において流出速度
が低下している一方、各調整用ボルトの取り付け位置に
おける流出速度の低下が抑制されて、長手方向において
流出速度が従来例に比較して大幅に均一化されているこ
とが判る。したって、下流バッファ部に下流整流部材を
設けることで、調整用ボルトに起因する流出速度の大幅
な低下といった悪影響が抑制できることが判る。なお、
この場合における最大速度は１１２．８[m/s] 、最小速
度は１１２．２[m/s] であって、速度差が０．６[m/s]
と従来例に比較して大幅に小さく、調整用ボルト無しの
場合に近い値となっている。FIG. 14 is a graph showing a result of a numerical simulation using an air knife having a downstream rectifying member formed in a downstream buffer section as in the fluid supply device according to the present invention. From this graph, it can be seen that the flow rate of the fluid is expanded in the longitudinal direction of the plate-like member by the downstream rectifying member, so that the outflow speed is reduced in a portion where there is no adjusting bolt as the adjusting member, It can be seen that the decrease in the outflow velocity at the position is suppressed, and the outflow velocity in the longitudinal direction is much more uniform than in the conventional example. Therefore, it can be seen that by providing the downstream rectifying member in the downstream buffer section, it is possible to suppress an adverse effect such as a significant decrease in the outflow speed caused by the adjusting bolt. In addition,
In this case, the maximum speed is 112.8 [m / s], the minimum speed is 112.2 [m / s], and the speed difference is 0.6 [m / s].
The value is much smaller than that of the conventional example, and is close to the value without the adjusting bolt.
【００２２】また、請求項２に記載の発明によれば、流
体の流れる方向に略直交するように突出した整流板を下
流整流部材とすることによって、流体の流れを拡げて調
整部材に起因する流出速度の大幅な低下を抑制できる。According to the second aspect of the present invention, the flow rectifying plate, which protrudes so as to be substantially perpendicular to the direction in which the fluid flows, is used as the downstream rectifying member. A large decrease in the outflow speed can be suppressed.
【００２３】また、請求項３に記載の発明によれば、下
流整流部材として整流板を複数段にわたって設けること
により、より大きな整流効果を生じさせることができ
る。According to the third aspect of the present invention, a greater rectifying effect can be produced by providing a plurality of rectifying plates as downstream rectifying members.
【００２４】また、請求項４に記載の発明によれば、下
流整流部材として整流板を下流バッファ部に設ける際
に、上流の流路断面積が下流の流路断面積より小さくな
るようにしても、調整部材に起因する流出速度の低下を
抑制可能である。According to the fourth aspect of the present invention, when the rectifying plate is provided in the downstream buffer portion as the downstream rectifying member, the upstream cross-sectional area is smaller than the downstream cross-sectional area. Also, it is possible to suppress a decrease in the outflow speed caused by the adjustment member.
【００２５】また、請求項５に記載の発明によれば、下
流整流部材として整流板を下流バッファ部に設ける際
に、上流と下流の流路断面積が等しくなるようにして
も、調整部材に起因する流出速度の低下を抑制できる。According to the fifth aspect of the present invention, when the rectifying plate is provided in the downstream buffer portion as the downstream rectifying member, even if the cross-sectional areas of the upstream and downstream passages are made equal, the adjusting member can be used as the downstream rectifying member. The resulting decrease in outflow speed can be suppressed.
【００２６】また、請求項６に記載の発明によれば、下
流バッファ部に連通する上流側の流路の位置と下流側の
流路の位置とを吐出口の間隔方向にずらすことで形成さ
れる整流面を下流整流部材とすることによっても、上流
からの流体を拡げ整える整流効果を生じさせることがで
き、調整部材に起因する流出速度の大幅な低下を抑制で
きる。According to the invention, the position of the upstream flow path and the position of the downstream flow path communicating with the downstream buffer portion are shifted in the direction of the interval of the discharge ports. Also, by using the rectifying surface as the downstream rectifying member, a rectifying effect of expanding and adjusting the fluid from the upstream can be generated, and a significant decrease in the outflow speed due to the adjusting member can be suppressed.
【００２７】また、請求項７に記載の発明によれば、下
流バッファ部の下流側の流路に連通する底部に流路断面
積が次第に小さくなるテーパを設けることにより、下流
バッファ部から吐出口への流体の流れをより円滑にでき
る。According to the seventh aspect of the present invention, the bottom portion communicating with the flow path on the downstream side of the downstream buffer portion is provided with a taper having a gradually decreasing cross-sectional area of the flow passage, so that the discharge port from the downstream buffer portion is formed. Fluid flow can be made smoother.
【００２８】また、請求項８に記載の発明によれば、上
流バッファ部を形成するとともに、ここに上流整流部材
を形成することにより、導入口から導入された流体の流
れを拡げ整えることができ、さらに下流に形成された下
流バッファ部にも流体を十分均一に供給することができ
る。According to the eighth aspect of the present invention, by forming the upstream buffer portion and the upstream rectifying member here, the flow of the fluid introduced from the inlet can be expanded. In addition, the fluid can be supplied to the downstream buffer section formed further downstream sufficiently uniformly.
【００２９】また、請求項９に記載の発明によれば、上
流整流部材を複数段にわたって設けると、より大きな整
流効果を生じさせることができる。According to the ninth aspect of the present invention, when the upstream rectifying member is provided in a plurality of stages, a greater rectifying effect can be produced.
【００３０】また、請求項１０に記載の発明によれば、
上流バッファ部の下流側の流路に連通する底部に流路断
面積が次第に小さくなるテーパを設けたので、上流バッ
ファ部と下流バッファ部とをつなぐ流路への流体の流れ
をより円滑にできる。According to the tenth aspect of the present invention,
Since a taper whose cross-sectional area is gradually reduced is provided at the bottom communicating with the flow path on the downstream side of the upstream buffer part, the flow of the fluid to the flow path connecting the upstream buffer part and the downstream buffer part can be made smoother. .
【００３１】[0031]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例を説明する。図１は、本発明に係る流体供給装置
の一実施例を用いた基板洗浄装置の要部を示す図であ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a main part of a substrate cleaning apparatus using one embodiment of a fluid supply device according to the present invention.
【００３２】流体供給装置に相当する液ナイフ１は、取
り付け部材３により下向き傾斜姿勢で取り付けられ、洗
浄液供給源から供給される洗浄液（流体）を基板Ｗに対
して薄膜状にして吐出する。処理対象である基板Ｗは、
装置の筐体５に形成された開口７から搬入されるように
なっており、搬入された後は、複数個の搬送ローラ９に
よって液ナイフ１の下方を水平姿勢のまま搬送され、洗
浄液が全面にわたって供給されて洗浄処理が施される。The liquid knife 1 corresponding to the fluid supply device is attached in a downwardly inclined posture by the attachment member 3, and discharges the cleaning liquid (fluid) supplied from the cleaning liquid supply source to the substrate W in a thin film form. The substrate W to be processed is
After being carried in from an opening 7 formed in the housing 5 of the apparatus, after being carried in, the cleaning liquid is conveyed in a horizontal position below the liquid knife 1 by a plurality of conveying rollers 9, and the cleaning liquid is entirely conveyed. And subjected to a cleaning process.
【００３３】液ナイフ１は、図２および図３に示すよう
に構成されている。なお、図２は調整用ボルト部分にお
ける縦断面図であり、図３は調整用ボルトが無い部分に
おける縦断面図である。この液ナイフ１の平面的な構成
は、従来例として示した図９と同様であり、図２がＢ−
Ｂ矢視断面図に相当し、図３がＡ−Ａ矢視断面図に相当
する。The liquid knife 1 is configured as shown in FIGS. FIG. 2 is a longitudinal sectional view of an adjusting bolt portion, and FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a portion having no adjusting bolt. The planar configuration of the liquid knife 1 is the same as that of FIG. 9 shown as a conventional example, and FIG.
FIG. 3 corresponds to a cross-sectional view taken along arrow AA in FIG.
【００３４】液ナイフ１は、２枚の板状部材１１ａ，１
１ｂを合わせて構成されており、その間に吐出幅調整の
ためにＰＴＦＥ製のスペーサ１１ｃを介在させてある。
板状部材１１ａの側面には、洗浄液を内部に導入させる
導入口１３が長手方向に複数個形成されており、導入口
１３から導入された洗浄液は、板状部材１１ａ，１１ｂ
の合わせ面に形成されている流路１５に沿って流下し、
板状部材１１ａ，１１ｂの長手方向（紙面方向）に幅広
の吐出口１９から吐出される。また、板状部材１１ａ，
１１ｂとスペーサ１１ｃとは、流路１５を貫通させて形
成された複数個の調整用ボルト１７によって一体的に取
り付けられており、これらの調整用ボルト１７のねじ込
み量によって吐出口１９の間隔すなわち吐出口１９の幅
（図２，３の水平方向）が調整できる。なお、一般的に
は、液ナイフ１から洗浄液を吐出させつつ、その洗浄液
膜の状態を見ながら調整用ボルト１７のねじ込み量を調
整する。The liquid knife 1 has two plate-like members 11a, 1
1b, and a PTFE spacer 11c is interposed therebetween for adjusting the discharge width.
On the side surface of the plate member 11a, a plurality of introduction ports 13 for introducing the cleaning liquid into the inside are formed in the longitudinal direction, and the cleaning liquid introduced from the introduction port 13 is supplied to the plate members 11a and 11b.
Flow down along the flow path 15 formed on the mating surface of
Discharge is performed from the discharge port 19 which is wide in the longitudinal direction (the paper surface direction) of the plate-like members 11a and 11b. Further, the plate-like members 11a,
11b and the spacer 11c are integrally attached by a plurality of adjustment bolts 17 formed so as to penetrate the flow path 15, and the distance between the discharge ports 19, that is, the discharge, depends on the amount of screwing of these adjustment bolts 17. The width of the outlet 19 (horizontal direction in FIGS. 2 and 3) can be adjusted. Generally, while the cleaning liquid is discharged from the liquid knife 1, the screwing amount of the adjusting bolt 17 is adjusted while checking the state of the cleaning liquid film.
【００３５】導入口１３の奥側には、導入口１３から導
入された洗浄液を板状部材１１ａ，１１ｂの長手方向に
拡げるため、一時的に洗浄液を滞留させるための上流バ
ッファ部２１が形成されている。この上流バッファ部２
１には、導入口１３から導入されてきた洗浄液の流れを
板状部材１１ａ，１１ｂの長手方向に拡げ整流するよう
に、板状部材１１ｂから板状部材１１ａ側に突出した上
流整流板２３（上流整流部材）が形成されている。ま
た、流路１５の上流側にあたる上流バッファ部２１の底
部には、流路断面積が下方に向かって小さくなるように
テーパ２５が形成されており、上流バッファ部２１から
下流側の流路１５に洗浄液が流れ易いようになってい
る。An upstream buffer portion 21 for temporarily retaining the cleaning liquid is formed behind the inlet 13 to spread the cleaning liquid introduced from the inlet 13 in the longitudinal direction of the plate members 11a and 11b. ing. This upstream buffer unit 2
The upstream rectifying plate 23 (1) protrudes from the plate-shaped member 11b toward the plate-shaped member 11a so that the flow of the cleaning liquid introduced from the inlet 13 is expanded and rectified in the longitudinal direction of the plate-shaped members 11a and 11b. An upstream rectifying member is formed. Further, a taper 25 is formed at the bottom of the upstream buffer section 21 on the upstream side of the flow path 15 so that the cross-sectional area of the flow path decreases downward. The washing liquid easily flows.
【００３６】また、調整用ボルト１７と吐出口１９との
間に位置する流路１５には、上流バッファ部２１から流
路１５に流れてきた洗浄液を一時的に滞留させるための
下流バッファ部２７が形成されている。さらに下流バッ
ファ部２７には、洗浄液の流れを板状部材１１ａ，１１
ｂの長手方向に拡げ整流するように、板状部材１１ｂか
ら板状部材１１ａ側に突出した下流整流板２９（下流整
流部材）が形成されている。また、吐出口１９の上流側
にあたる下流バッファ部２７の底部には、流路断面積が
上流側に向かって大きくなる、換言すると下流に向かっ
て流路断面積が小さくなるようにテーパ３１が形成され
て、下流バッファ部２７から吐出口１９に連通している
流路１５に洗浄液が流れ易いようになっている。In the flow path 15 located between the adjusting bolt 17 and the discharge port 19, a downstream buffer 27 for temporarily retaining the cleaning liquid flowing from the upstream buffer 21 to the flow path 15. Are formed. Further, the flow of the cleaning liquid is supplied to the downstream
A downstream rectifying plate 29 (downstream rectifying member) protruding from the plate-shaped member 11b toward the plate-shaped member 11a is formed so as to expand and rectify in the longitudinal direction of b. Further, a taper 31 is formed at the bottom of the downstream buffer section 27 on the upstream side of the discharge port 19 so that the flow path cross-sectional area increases toward the upstream side, in other words, the flow path cross-sectional area decreases toward the downstream side. Then, the cleaning liquid easily flows from the downstream buffer section 27 to the flow path 15 communicating with the discharge port 19.
【００３７】上述したように構成されている液ナイフ１
では、導入口１３から導入された洗浄液が、上流バッフ
ァ部２１の上流整流板２３によって板状部材１１ａ，１
１ｂの長手方向に流れを拡げ整えられる。そして、幅の
狭い流路１５を流れた洗浄液は、下流バッファ部２７で
板状部材１１ａ，１１ｂの長手方向に流れを拡げられる
とともに、吐出口１９に連通した流路１５を流下する。
このとき、調整用ボルト１７が取り付けられている部分
においては、洗浄液の流れが分断されるため流速が大幅
に低下するが、下流バッファ部２７の下流整流板２９に
よって板状部材１１ａ，１１ｂの長手方向に洗浄液の流
れが拡げ整流されるため、吐出口１９から板状部材１１
ａ，１１ｂの長手方向に幅広の洗浄液が薄膜状に均一に
吐出される。このように調整用ボルト１７に起因する流
出速度の大幅な低下といった悪影響を抑制しているの
で、洗浄液の流量を増やすことなく吐出口１９から吐出
される洗浄液の膜にムラが生じることを防止することが
でき、その結果、洗浄液の消費量を抑制しつつも、洗浄
不良などを防止できるようになっている。The liquid knife 1 configured as described above
Then, the cleaning liquid introduced from the introduction port 13 is supplied to the plate-like members 11 a, 1 by the upstream rectifying plate 23 of the upstream buffer unit 21.
The flow can be expanded and arranged in the longitudinal direction of 1b. The cleaning liquid that has flowed through the narrow flow path 15 can be spread in the longitudinal direction of the plate-like members 11 a and 11 b by the downstream buffer section 27, and flows down the flow path 15 that communicates with the discharge port 19.
At this time, although the flow of the cleaning liquid is cut off at the portion where the adjustment bolt 17 is attached, the flow velocity is greatly reduced. The flow of the cleaning liquid is expanded and rectified in the direction, so that the plate-like member 11
The cleaning liquid wide in the longitudinal direction of a and 11b is uniformly discharged in a thin film shape. As described above, since an adverse effect such as a large decrease in the outflow speed caused by the adjusting bolt 17 is suppressed, it is possible to prevent the film of the cleaning liquid discharged from the discharge port 19 from becoming uneven without increasing the flow rate of the cleaning liquid. As a result, it is possible to prevent poor cleaning while suppressing the consumption of the cleaning liquid.
【００３８】＜＜変形例＞＞ここで下流バッファ部２７
に設ける下流整流板２９の変形例について図４ないし図
６を参照して説明する。<< Modified Example >> Here, the downstream buffer unit 27
A modification of the downstream rectifying plate 29 provided in the first embodiment will be described with reference to FIGS.
【００３９】図４は、上流の流路断面積が下流の流路断
面積よりも小さくなるように下流バッファ部２７に下流
整流板２９ａを形成したものである。また、その逆にな
るようにしてもよい。FIG. 4 shows a configuration in which a downstream rectifying plate 29a is formed in the downstream buffer section 27 so that the upstream flow path cross-sectional area is smaller than the downstream flow path cross-sectional area. Alternatively, the reverse may be performed.
【００４０】図５は、上流の流路断面積と下流の流路断
面積が等しくなるように下流バッファ部２７に下流整流
板２９ｂを設けたものである。また、上流と下流とを結
ぶ流路の断面積をそれらと同じ断面積にしてもよい。FIG. 5 shows a configuration in which a downstream rectifying plate 29b is provided in the downstream buffer section 27 so that the cross-sectional area of the upstream passage is equal to the cross-sectional area of the downstream passage. Further, the cross-sectional area of the flow path connecting the upstream and the downstream may be the same cross-sectional area.
【００４１】上記のような下流整流板２９ａ，２９ｂで
あっても詳述した実施例と同様の効果を得ることができ
る。また、上記の両変形例では、下流バッファ部２７を
一方の板状部材１１ａにのみ削設しているので、両部材
１１ａ，１１ｂに形成する場合に比較して容易に製作で
きる。Even with the above-mentioned downstream rectifying plates 29a and 29b, the same effects as those of the embodiment described in detail can be obtained. Further, in both of the above modifications, the downstream buffer portion 27 is cut out only on one of the plate-like members 11a, so that it can be manufactured more easily than when it is formed on both the members 11a and 11b.
【００４２】また、図６は、板状部材１１ｂ側に２枚の
下流整流板２９ｃ，２９ｄを立設し、さらに２枚の下流
整流板２９ｃ，２９ｄの間に挟まれるように板状部材１
１ａ側に１枚の下流整流部材２９ｅを立設している。こ
のように３枚の下流整流板２９ａ〜２９ｃを設けると、
より大きな整流効果が期待できる。FIG. 6 shows that two downstream rectifying plates 29c and 29d are erected on the plate-shaped member 11b side, and the plate-shaped member 1 is sandwiched between the two downstream rectifying plates 29c and 29d.
One downstream straightening member 29e is provided upright on the 1a side. When the three downstream rectifying plates 29a to 29c are provided as described above,
A greater rectification effect can be expected.
【００４３】上述した実施例および各変形例では、下流
バッファ部２７を挟む上流と下流の流路１５が鉛直軸上
で一致するように設けられているが、図７に示すよう
に、それらを吐出口１９の間隔方向にずらすようにして
もよい。この場合には、下流バッファ部２７の底面が整
流面２９ｆとなって、洗浄液の流れを板状部材１１ａ，
１１ｂの長手方向に拡げ整流する整流効果を発揮する。In the above-described embodiment and each modified example, the upstream and downstream flow paths 15 sandwiching the downstream buffer section 27 are provided so as to coincide on the vertical axis. However, as shown in FIG. The discharge ports 19 may be shifted in the interval direction. In this case, the bottom surface of the downstream buffer portion 27 becomes the rectifying surface 29f, and the flow of the cleaning liquid is controlled by the plate-like members 11a
A rectifying effect of expanding and rectifying in the longitudinal direction of 11b is exhibited.
【００４４】さらに、下流バッファ部２９だけでなく上
流バッファ部２１にも、上記のような変形例を適用可能
である。例えば、図８に示すように、上流バッファ部２
１に、３枚の上流整流板２３ａ〜２３ｃ（上流整流部
材）を設けるようにしてもよく、整流面を形成するよう
にしてもよい。Further, the above-described modification can be applied not only to the downstream buffer unit 29 but also to the upstream buffer unit 21. For example, as shown in FIG.
1, three upstream rectifying plates 23a to 23c (upstream rectifying members) may be provided, or a rectifying surface may be formed.
【００４５】なお、上記の説明では、流体として液体で
ある洗浄液を吐出する液ナイフを例に採って説明した
が、本発明は液ナイフに限定されるものではなく空気を
噴射するエアーナイフにも適用可能である。また、不活
性ガスなどの気体を噴射する気体ナイフにも適用でき
る。In the above description, a liquid knife for discharging a cleaning liquid which is a liquid as a fluid has been described as an example. However, the present invention is not limited to a liquid knife, but may be applied to an air knife for jetting air. Applicable. Further, the present invention can be applied to a gas knife for injecting a gas such as an inert gas.
【００４６】[0046]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、下流バッファ部の下流整流部
材によって、流体の流れを拡げ整流することができるの
で、調整部材に起因する流出速度の大幅な低下といった
悪影響を抑制できる。したがって、流体の流量を増やす
ことなく吐出口から吐出される流体の膜にムラが生じる
ことを防止することができる。その結果、流体の消費量
を抑制しつつも、エッチング不良や洗浄不良などを防止
できる。As is apparent from the above description, according to the first aspect of the present invention, the flow of the fluid can be expanded and rectified by the downstream rectifying member of the downstream buffer portion. It is possible to suppress an adverse effect such as a significant decrease in the outflow speed. Therefore, it is possible to prevent unevenness in the film of the fluid discharged from the discharge port without increasing the flow rate of the fluid. As a result, it is possible to prevent poor etching and poor cleaning while suppressing the consumption of fluid.
【００４７】また、請求項２に記載の発明によれば、整
流板を下流整流部材とすることによって、調整部材に起
因する流出速度の大幅な低下を抑制でき、請求項１に記
載の効果を得ることができる。Further, according to the second aspect of the present invention, by using the rectifying plate as the downstream rectifying member, it is possible to suppress a significant decrease in the outflow speed due to the adjusting member. Obtainable.
【００４８】また、請求項３に記載の発明によれば、下
流整流部材として整流板を複数段にわたって設けると、
より大きな整流効果を生じさせて調整部材に起因する流
出速度の大幅な低下を抑制でき、請求項１に記載の効果
を効率的に得ることが期待できる。According to the third aspect of the present invention, when a rectifying plate is provided in a plurality of stages as a downstream rectifying member,
A greater rectification effect can be generated to suppress a significant decrease in the outflow speed caused by the adjustment member, and it can be expected that the effect described in claim 1 can be efficiently obtained.
【００４９】また、請求項４に記載の発明によれば、上
流の流路断面積が下流の流路断面積より小さくなるよう
に整流板を設けても、調整部材に起因する流出速度の低
下を抑制可能である。According to the fourth aspect of the present invention, even if the flow straightening plate is provided so that the cross-sectional area of the upstream flow path is smaller than the cross-sectional area of the downstream flow path, the outflow velocity due to the adjustment member is reduced. Can be suppressed.
【００５０】また、請求項５に記載の発明によれば、上
流と下流の流路断面積が等しくなるように整流板を設け
ても、調整部材に起因する流出速度の低下を抑制でき
る。According to the fifth aspect of the invention, even if the flow straightening plate is provided so that the cross-sectional areas of the upstream and downstream flow paths are equal, a decrease in the outflow speed due to the adjustment member can be suppressed.
【００５１】また、請求項６に記載の発明によれば、整
流面を下流整流部材とすることによっても、調整部材に
起因する流出速度の大幅な低下を抑制できる。According to the sixth aspect of the present invention, a significant reduction in the outflow speed caused by the adjusting member can be suppressed by using the downstream rectifying member as the rectifying surface.
【００５２】また、請求項７に記載の発明によれば、下
流バッファ部の下流の流路に連通する底部にテーパを設
けることにより、下流バッファ部から吐出口への流体の
流れをより円滑にできる。According to the seventh aspect of the present invention, the taper is provided at the bottom communicating with the downstream flow path of the downstream buffer section, so that the flow of the fluid from the downstream buffer section to the discharge port can be more smoothly performed. it can.
【００５３】また、請求項８に記載の発明によれば、上
流バッファ部を形成して上流整流部材を設けることによ
って、流体を拡げ整えることができ、下流バッファ部に
も流体を十分均一に供給することができる。According to the eighth aspect of the present invention, by forming the upstream buffer portion and providing the upstream rectifying member, the fluid can be spread and adjusted, and the fluid can be supplied to the downstream buffer portion sufficiently uniformly. can do.
【００５４】また、請求項９に記載の発明によれば、上
流整流部材を複数段にわたって設けると、より大きな整
流効果を生じさせることができ、効果的に流体を拡げ整
えることができる。According to the ninth aspect of the present invention, when the upstream rectifying member is provided in a plurality of stages, a greater rectifying effect can be generated, and the fluid can be effectively spread and adjusted.
【００５５】また、請求項１０に記載の発明によれば、
上流バッファ部の下流の流路に連通する底部にテーパを
設けたので、上流バッファ部と下流バッファ部とをつな
ぐ流路への流体の流れをより円滑にできる。According to the tenth aspect of the present invention,
Since a taper is provided at the bottom communicating with the flow path downstream of the upstream buffer section, the flow of the fluid to the flow path connecting the upstream buffer section and the downstream buffer section can be made smoother.
【図１】実施例に係る流体供給装置を用いた基板洗浄装
置の要部を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a main part of a substrate cleaning apparatus using a fluid supply device according to an embodiment.
【図２】調整用ボルト部分における液ナイフの縦断面図
である。FIG. 2 is a vertical sectional view of a liquid knife in an adjustment bolt portion.
【図３】液ナイフの縦断面図である。FIG. 3 is a vertical sectional view of a liquid knife.
【図４】下流整流板の変形例を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a modified example of the downstream current plate.
【図５】下流整流板の変形例を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a modified example of the downstream current plate.
【図６】下流整流板の変形例を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a modified example of the downstream current plate.
【図７】下流整流面を示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing a downstream rectifying surface.
【図８】変形例に係る液ナイフの縦断面図である。FIG. 8 is a longitudinal sectional view of a liquid knife according to a modification.
【図９】従来例に係る液ナイフの平面図である。FIG. 9 is a plan view of a liquid knife according to a conventional example.
【図１０】図９のＡ−Ａ矢視断面図である。FIG. 10 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 9;
【図１１】図９のＢ−Ｂ矢視断面図である。FIG. 11 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 9;
【図１２】調整用ボルト有りの場合の数値シミュレーシ
ョン結果を示すグラフである。FIG. 12 is a graph showing a result of a numerical simulation when an adjusting bolt is provided.
【図１３】調整用ボルト無しの場合の数値シミュレーシ
ョン結果を示すグラフである。FIG. 13 is a graph showing a result of a numerical simulation without an adjustment bolt.
【図１４】下流バッファ部に下流整流部材を設けた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。FIG. 14 is a graph showing a numerical simulation result when a downstream rectifying member is provided in a downstream buffer unit.
Ｗ … 基板 １ … 液ナイフ １１ａ，１１ｂ … 板状部材 １３ … 導入口 １５ … 流路 １７ … 調整用ボルト １９ … 吐出口 ２１ … 上流バッファ部 ２３ … 上流整流板（上流整流部材） ２５ … テーパ ２７ … 下流バッファ部 ２９ … 下流整流板（下流整流部材） ３１ … テーパ W ... substrate 1 ... liquid knives 11a, 11b ... plate member 13 ... introduction port 15 ... flow path 17 ... adjustment bolt 19 ... discharge port 21 ... upstream buffer section 23 ... upstream rectification plate (upstream rectification member) 25 ... taper 27 … Downstream buffer section 29… Downstream rectifying plate (downstream rectifying member) 31… Taper
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷口 竹志 滋賀県彦根市高宮町480番地の１ 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 Ｆターム(参考） 3B201 AA03 AB14 BB62 BB87 BB93 BB99 CB01 4F041 AA02 AA06 AB01 AB08 BA14 4G068 AA03 AB01 AB11 AC05 AD50 5F043 BB27 EE07 EE09 EE27 EE36 EE40 GG10 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Takeshi Taniguchi 1 480 Takamiyacho, Hikone City, Shiga Prefecture Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. F-term (reference) in the Hikone district office 3B201 AA03 AB14 BB62 BB87 BB93 BB99 CB01 4F041 AA02 AA06 AB01 AB08 BA14 4G068 AA03 AB01 AB11 AC05 AD50 5F043 BB27 EE07 EE09 EE27 EE36 EE40 GG10
Claims (10)
であって、 流体を導入させる導入口と、 流体を被処理体に吐出させる吐出口と、 前記導入口に導入された流体を前記吐出口へ導くための
流路と、 前記吐出口の間隔を調整するために、前記流路を貫通さ
せて形成された複数の調整部材と、 前記吐出口と前記調整部材との間の前記流路に形成さ
れ、前記流路の間隔よりも広い下流バッファ部と、 前記下流バッファ部に形成され、前記導入口から流れて
くる流体の流れと略直交する方向に流体の流れを広げて
前記吐出口へ流体を流させる下流整流部材と、を備えた
ことを特徴とする流体供給装置。1. A fluid supply device for supplying a fluid to an object to be processed, comprising: an inlet for introducing a fluid; an outlet for discharging the fluid to the object; and a fluid for introducing the fluid into the inlet. A flow path for leading to the discharge port, a plurality of adjustment members formed to penetrate the flow path to adjust the interval between the discharge ports, and the flow path between the discharge port and the adjustment member. A downstream buffer portion formed in the passage and wider than the interval between the flow channels; and a discharge buffer formed in the downstream buffer portion and expanding the flow of the fluid in a direction substantially orthogonal to the flow of the fluid flowing from the inlet. A fluid supply device, comprising: a downstream straightening member for flowing a fluid to an outlet.
て、 前記下流整流部材は、流体の流れと略直交するように突
出した整流板であることを特徴とする流体供給装置。2. The fluid supply device according to claim 1, wherein the downstream straightening member is a straightening plate protruding so as to be substantially orthogonal to the flow of the fluid.
て、 前記整流板を、流体の流れる方向に複数段設けたことを
特徴とする流体供給装置。3. The fluid supply device according to claim 2, wherein the current plate is provided in a plurality of stages in a direction in which the fluid flows.
て、 前記整流板によって仕切られる前記下流バッファ部の上
流の流路断面積が下流の流路断面積よりも小さくなるよ
うに前記整流板を設けたことを特徴とする流体供給装
置。4. The fluid supply device according to claim 2, wherein the flow rectifying plate is formed such that an upstream flow path cross-sectional area of the downstream buffer section partitioned by the rectifying plate is smaller than a downstream flow path cross-sectional area. A fluid supply device characterized by being provided.
て、 前記整流板によって仕切られる前記下流バッファ部の上
流の流路断面積と下流の流路断面積とが等しくなるよう
に前記整流板を設けたことを特徴とする流体供給装置。5. The fluid supply device according to claim 2, wherein the rectifying plate is formed such that an upstream flow path cross-sectional area and a downstream flow path cross-sectional area of the downstream buffer section partitioned by the rectifying plate are equal. A fluid supply device characterized by being provided.
て、 前記下流整流部材は、前記下流バッファ部と連通する上
流側の流路の位置と下流側の流路の位置とを前記吐出口
の間隔方向にずらすことで形成され、上流側の流路から
の流れと略直交した整流面であることを特徴する流体供
給装置。6. The fluid supply device according to claim 1, wherein the downstream rectifying member sets the position of an upstream flow path and the position of a downstream flow path that communicate with the downstream buffer unit to the position of the discharge port. A fluid supply device formed by being shifted in an interval direction and having a rectifying surface substantially orthogonal to a flow from an upstream channel.
載の流体供給装置において、 前記下流バッファ部の下流側の流路に連通する底部に
は、流路断面積が次第に小さくなるようにテーパが形成
されていることを特徴とする流体供給装置。7. The fluid supply device according to claim 1, wherein a bottom portion communicating with a flow path on the downstream side of the downstream buffer section has a flow path cross-sectional area gradually reduced. A fluid supply device having a taper.
載の流体供給装置において、 前記調整部材よりも上流側の流路に形成され、前記流路
の間隔よりも広い上流バッファ部と、 前記上流バッファ部に形成され、前記導入口から流れて
くる流体の流れと略直交する方向に流体の流れを広げる
上流整流部材と、をさらに備えたことを特徴とする流体
供給装置。8. The fluid supply device according to claim 1, wherein the upstream buffer portion is formed in a flow path on the upstream side of the adjustment member, and is wider than an interval between the flow paths. A fluid supply device, further comprising: an upstream rectifying member formed in the upstream buffer section and expanding a flow of the fluid in a direction substantially orthogonal to a flow of the fluid flowing from the inlet.
て、 前記上流整流部材を流体の流れる方向に複数段設けたこ
とを特徴とする流体供給装置。9. The fluid supply device according to claim 8, wherein the upstream straightening member is provided in a plurality of stages in a direction in which the fluid flows.
供給装置において、 前記上流バッファ部の下流側の流路に連通する底部に
は、流路断面積が次第に小さくなるようにテーパが形成
されていることを特徴とする流体供給装置。10. The fluid supply device according to claim 8, wherein a taper is formed at a bottom portion communicating with the flow path on the downstream side of the upstream buffer section so that a flow path cross-sectional area becomes gradually smaller. A fluid supply device, comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10225616A JP2000051760A (en) | 1998-08-10 | 1998-08-10 | Fluid feeder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10225616A JP2000051760A (en) | 1998-08-10 | 1998-08-10 | Fluid feeder |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000051760A true JP2000051760A (en) | 2000-02-22 |
Family
ID=16832118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10225616A Pending JP2000051760A (en) | 1998-08-10 | 1998-08-10 | Fluid feeder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000051760A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101044011B1 (en) | 2008-11-26 | 2011-06-24 | 세메스 주식회사 | Slit nozzle and substrate processing apparatus and method using the slit nozzle |
| KR101099589B1 (en) * | 2009-12-01 | 2011-12-28 | 세메스 주식회사 | Liquid knives for supplying treatment liquid onto the substrate |
| KR101122863B1 (en) * | 2010-02-05 | 2012-03-21 | 주식회사 케이씨텍 | Apparatus to Dry Substrate |
| JP2018506844A (en) * | 2014-12-19 | 2018-03-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | System and method for rinsing a substrate |
| JP2019087705A (en) * | 2017-11-10 | 2019-06-06 | 株式会社ディスコ | Cleaning nozzle |
-
1998
- 1998-08-10 JP JP10225616A patent/JP2000051760A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101044011B1 (en) | 2008-11-26 | 2011-06-24 | 세메스 주식회사 | Slit nozzle and substrate processing apparatus and method using the slit nozzle |
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