ITMI970769A1

ITMI970769A1 - Leghe getter non evaporabili

Info

Publication number: ITMI970769A1
Application number: IT000769A
Authority: IT
Inventors: Alessio Corazza; Alessandro Gallitognotta; Stefano Tominetti
Original assignee: Getters Spa
Priority date: 1997-04-03
Filing date: 1997-04-03
Publication date: 1998-10-03
Also published as: CN1144887C; CA2232098A1; DE69801456T2; EP0869195B1; KR100268312B1; CN1198475A; CA2232098C; TW428031B; KR19980081016A; DE69801456D1; JPH10324937A; CN1335200A; EP0869195A1; HK1043072A1; ATE204921T1; IT1290451B1; RU2146722C1; US5961750A; HK1043072B; JP2893528B2

Description

DESCRIZIONE dell'invenzione industriale dal titolo: "LEGHE GETTER NON EVAPORABILI "

La presente invenzione si riferisce a leghe getter non evaporabili.

In particolare, l'invenzione si riferisce a leghe getter non evaporabili di impiego generico che non presentano rischi ambientali o di sicurezza .

Le leghe getter non evaporabili, note anche come leghe NEG, sono in grado di assorbire reversibilmente idrogeno e irreversibilmente gas quali ossigeno, acqua, ossidi di carbonio e, nel caso di alcune leghe, azoto. Queste leghe vengono di conseguenza impiegate per il mantenimento del vuoto per isolamento termico, per esempio all'interno delle intercapedini evacuate delle bottiglie termiche (thermos) o di Dewars o delle condutture per il trasporto di petrolio nelle regioni artiche. Oppure possono essere impiegate per rimuovere i gas sopra citati da atmosfere gassose, generalmente di gas nobili. Un esempio è l'uso nelle lampade, in particolare quelle fluorescenti, in cui la lega NEG ha la funzione di mantenere l'atmosfera appropriata per il funzionamento della lampada. Ancora, le leghe NEG sono impiegate nella purificazione di gas inerti, da cui rimuovono i gas sopra citati; in questo caso, la purificazione può essere fatta avvenire prima o a monte dell'impiego del gas purificato, oppure nella stessa camera in cui il gas purificato viene impiegato, per esempio nella produzione di semiconduttori come descritto nella domanda di brevetto WO 96/13620 a nome della ditta SAES Pure Gas di San Luis Obispo, USA. Generalmente queste leghe hanno come componenti principali zirconio e/o titanio e comprendono uno o più altri elementi scelti tra i metalli di transizione o alluminio. Leghe NEG sono oggetto di numerosi brevetti. Il brevetto US 3.203.901 descrive leghe Zr-Al, ed in particolare la lega di composizione percentuale in peso Zr 84% - Al 16%, prodotta e venduta dalla richiedente con il nome St 101 ; il brevetto US 4.071.335 descrive leghe Zr-Ni, ed in particolare la lega di composizione in peso Zr 75,7% - Ni 24,3%, prodotta e venduta dalla richiedente con il nome St 199™; il brevetto US 4.306.887 descrive leghe Zr-Fe, ed in particolare la lega di composizione in peso Zr 76,6% - Fe 23,4%, prodotta e venduta dalla richiedente con il nome St 198™. Questi materiali hanno in genere impieghi limitati ad alcune applicazioni specifiche, a causa di alcune loro caratteristiche peculiari: per esempio, la lega St 101® citata ha una temperatura di attivazione di circa 900°C, per cui è impiegata quando i dispositivi a cui è destinata possono resistere alle alte temperature, mentre la lega St 198™ citata assorbe solo limitatamente azoto.

Materiali simili a quelli dei brevetti citati hanno impieghi ancora più specifici. Per esempio il brevetto CA 1.320.336 descrive l'impiego del composto intermetallico ZrCo come mezzo per lo stoccaggio reversibile di idrogeno, in quanto dotato di elevata pressione di equilibrio per questo gas ed i suoi isotopi. Il brevetto US 4.668.424 descrive leghe zirconio-nichelmischmetal, con aggiunta opzionale di uno o più altri metalli tra cui il cobalto. L'impiego di questi materiali è però limitato all'assorbimento reversibile di idrogeno e suoi isotopi.

Per i motivi sopra descritti, le leghe sopra citate possono essere definite leghe d'impiego specifico, e spesso vengono descritte o indicate per l'uso in applicazioni specifiche in brevetti e bollettini tecnici o commerciali.

Di contro, esistono leghe con temperature di attivazione relativamente basse e buone caratteristiche di assorbimento per un'ampia gamma di gas differenti; leghe che presentano queste caratteristiche funzionali sono particolarmente utili perché possono essere impiegate in un'ampia varietà di condizioni e quindi in molte applicazioni differenti. Queste leghe possono essere definite leghe d'impiego generico, definizione che verrà impiegata nel resto del testo. Tra le leghe d'impiego generico, quella che ha avuto più ampia diffusione è la lega di composizione in peso Zr 70% - V 24,6% - Fe 5,4%, che ha una temperatura di attivazione compresa tra circa 350 e 500°C, relativamente bassa rispetto ai normali valori dei materiali getter; questa lega è descritta nel brevetto US 4.312.669 e prodotta e venduta dalla richiedente con il nome St 707™. La lega St 707™ ha però l'inconveniente di contenere vanadio, i cui composti, in particolare gli ossidi, sono tossici. Il vanadio è presente anche in molte leghe utilizzate nella purificazione di gas inerti descritte in varie domande di brevetto pubblicate a nome della ditta Japan Pionics, tra cui per esempio le domande Kokai 5-4809, 6-135707 e 7-242401.

Un altro problema che si incontra con alcune leghe NEG della tecnica nota è che quando vengono improvvisamente in contatto con elevate quantità di gas reattivi, per esempio per esposizione all'aria, e soprattutto quando la lega è inizialmente a temperature superiori a 200-250°C, possono dare luogo a reazioni fortemente esotermiche con conseguente innalzamento della temperatura a valori superiori a 1000°C, rappresentando così un pericolo per la sicurezza di persone e dispositivi. Generalmente infatti queste leghe sono presenti all'interno di dispositivi o apparecchiature realizzate in metallo, spesso in acciaio, le cui pareti possono fondere a temperature sopra i 1000°C, con possibili fuoriuscite di materiali ad elevata temperatura e danni all'ambiente circostante. Eventualità simili possono verificarsi per esempio in conseguenza di rotture accidentali del dispositivo che contiene la lega o di errori degli operatori addetti alla costruzione o al funzionamento dei dispositivi stessi. Questi problemi si presentano in particolar modo nel campo della purificazione di gas inerti; all'interno dei purificatori, le cui pareti sono generalmente in acciaio, sono presenti ingenti quantità di leghe getter mantenute a temperature di lavoro di circa 400°C; queste condizioni, in caso di ingresso accidentale di aria o altri gas reattivi, favoriscono l'innesco di reazioni violente che possono portare alla fusione di tutta la massa del materiale getter e delle pareti del purificatore. Casi simili si sono già verificati in passato in impianti di produzione di semiconduttori in cui si usano purificatori di gas di medie e grosse dimensioni basati sull'uso di leghe getter. In casi simili, inoltre, aumenta il pericolo di formazione e diffusione nell'ambiente di specie tossiche o nocive da parte dei materiali NEG, come per esempio gli ossidi di vanadio nel caso che il materiale getter sia la lega St 707 o una delle leghe descritte nelle domande di brevetto a nome Japan Pionics citate.

Scopo della presente invenzione è di fornire leghe getter non evaporabili di impiego generico e che non presentino i rischi ambientali o di sicurezza sopra citati.

In particolare, scopo della presente invenzione è quello di fornire leghe getter in grado di assorbire un'ampia varietà di gas attivabili a temperature relativamente basse, che non contengano vanadio o altri metalli tossici o in grado di formare composti tossici, e che in caso di reazione violenta con gas reattivi raggiungano temperature inferiori a quelle raggiunte da altre leghe NEG note.

Secondo la presente invenzione, questo scopo viene raggiunto con leghe getter non evaporabili comprendenti zirconio, cobalto e uno o più componenti scelti tra ittrio, lantanio o Terre Rare .

L'invenzione verrà descritta nel seguito con riferimento alle Figure in cui:

- in Fig. 1 è mostrato un diagramma ternario su cui sono riportate le possibili composizioni di leghe NEG secondo l'invenzione;

- nelle Figg. 2a-2d sono riportate alcune possibili forme di dispositivi getter non evaporabili realizzati impiegando le leghe dell'invenzione;

- nelle Figg. da 3 a 7 sono riportati grafici che mostrano le caratteristiche di assorbimento di gas delle leghe dell'invenzione e di alcune leghe di confronto.

Le leghe utili per la realizzazione dell'invenzione sono quelle che, riportate sul diagramma ternario di composizioni percentuali in peso della Figura 1, cadono nel poligono delimitato dai punti:

a) Zr 81% - Co 9% - A 10%;

b) Zr 68% - Co 22% - A 10%;

c) Zr 74% - Co 24% - A 2%;

d) Zr 88% - Co 10% - A 2%;

con A si intende un elemento qualunque scelto tra ittrio, lantanio, Terre Rare o miscele di questi elementi.

In particolare, tra queste leghe preferite sono quelle in cui l'elemento o la miscela di elementi A è presente circa per il 5% in peso; ancor più preferita è la lega di composizione percentuale in peso Zr 80,8% - Co 14,2% - A 5%, identificata nel diagramma di Figura 1 con il punto e.

Particolarmente utile per l'invenzione è l'impiego del mischmetal come terzo componente oltre a zirconio e cobalto. Il mischmetal, nel seguito indicato anche semplicemente con MM, è una miscela di elementi che comprende soprattutto cerio, lantanio e neodimio, e quantità minori di altre Terre Rare. La composizione esatta del mischmetal non è comunque importante, poiché gli elementi sopra citati hanno reattività simili tra loro, per cui il comportamento chimico dei diversi possibili tipi di mischmetal è essenzialmente costante al variare del contenuto dei singoli elementi; di conseguenza, le caratteristiche di funzionamento delle leghe dell'invenzione sono indipendenti dalla composizione specifica del tipo di mischmetal impiegato.

Le leghe dell'invenzione possono essere preparate per fusione in forno a partire da pezzi o polveri dei metalli componenti, presi nelle proporzioni corrispondenti alla composizione finale desiderata. Preferite sono le tecniche di fusione in forno ad arco in ambiente di gas inerte, per esempio con una pressione di 300 mbar di argon; oppure in forno ad induzione, in vuoto o in gas inerte. E' comunque possibile l'impiego di altre tecniche comuni in campo metallurgico per la preparazione di leghe. La fusione richiede temperature superiori a circa 1000°C.

Per la produzione di dispositivi getter che fanno uso delle leghe dell'invenzione, siano questi costituiti da pillole del solo materiale getter o dall'insieme formato da quest'ultimo su un supporto o in un contenitore, è preferito l'uso delle leghe in forma di polveri, con granulometrie generalmente inferiori a 250 μm e preferibilmente comprese tra 125 e 40 μm. Con granulometrie superiori si ha una riduzione eccessiva della superficie specifica (area superficiale per unità di peso) del materiale, con conseguente riduzione delle caratteristiche di assorbimento di gas soprattutto a temperature inferiori a circa 200°C; granulometrie inferiori a 40 piti, per quanto utilizzabili ed in alcune applicazioni richieste, pongono dei problemi nelle fasi di produzione dei dispositivi getter.

Come già accennato, le forme dei dispositivi getter che si possono preparare impiegando le leghe dell'invenzione sono le più varie, comprendendo pillole costituite dalle sole polveri della lega getter, o da queste su un supporto metallico. In entrambi i casi il consolidamento delle polveri può essere effettuato per compressione oppure per sinterizzazione. Le pillole di sole polveri compresse trovano applicazione per esempio nell'isolamento termico dei thermos. Nei casi in cui le polveri sono .supportate, come materiale di supporto si usa in genere acciaio, nichel o leghe di nichel. Il supporto può essere semplicemente in forma di un nastro sulla cui superficie le polveri di lega sono fatte aderire per laminazione a freddo o per sinterizzazione dopo deposizione con tecniche varie; dispositivi getter ottenuti da simili nastri sono impiegati nelle lampade. Il supporto può essere anche costituito da un vero e proprio contenitore, delle forme più varie, in cui le polveri sono inserite generalmente per compressione, o anche senza compressione in alcuni dispositivi in cui il contenitore è provvisto di un setto poroso, permeabile al passaggio di gas ma in grado di trattenere le polveri. Alcune di queste possibilità sono rappresentate nelle Figure da 2a a 2d: la Figura 2a rappresenta una pillola 20 di sole polveri compresse di lega NEG; la Figura 2b rappresenta un dispositivo NEG 30 costituito da un nastro metallico 31 su cui sono presenti polveri 32 di lega NEG; la Figura 2c rappresenta in sezione un dispositivo NEG 40 costituito da un contenitore metallico 41 con un'apertura superiore 42, al cui interno sono presenti polveri di lega NEG 43; e la Figura 2d rappresenta in sezione un dispositivo NEG 50 costituito da un contenitore metallico 51 al cui interno sono presenti polveri di lega NEG 52, con un'apertura superiore chiusa da un setto poroso 53.

Le leghe NEG dell'invenzione sono leghe di impiego generico, e sono quindi caratterizzate da temperature di attivazione relativamente basse e da capacità di assorbire vari gas.

Un'attivazione sufficiente per rendere le leghe dell'invenzione funzionali può essere ottenuta già per riscaldamento a 200°C per 1-2 ore. Un'attivazione completa, che garantisce maggiori velocità e capacità di assorbimento si ottiene per trattamento termico a 350°C per un'ora.

Una volta attivate, queste leghe sono in grado di funzionare per l'assorbimento di gas diversi dall'idrogeno da temperatura ambiente fino al limite teorico della temperatura di fusione. Generalmente la temperatura massima di impiego è di circa 500°C, per non compromettere la stabilità e funzionalità del dispositivo in cui sono inserite. A temperatura ambiente l'assorbimento è limitato alla superficie dei grani e di conseguenza la capacità di assorbimento è limitata, mentre a temperature maggiori di circa 300°C la velocità di diffusione dalla superficie verso il centro del grano delle molecole dì gas assorbite è sufficiente a "pulire" continuamente la superficie, migliorando così capacità e velocità di assorbimento. Le temperature ottimali di funzionamento di queste leghe dipendono dalla specifica applicazione: per esempio, nel caso della purificazione di gas le temperature ottimali sono comprese tra circa 300 e 400°C .

Nel caso dell'idrogeno, come per tutti i materiali NEG, l'assorbimento è reversibile per cui le proprietà di assorbimento vengono valutate in termini di pressione di equilibrio di idrogeno sulla lega in funzione della temperatura e dalla quantità di idrogeno assorbita. In questo senso l'assorbimento di idrogeno delle leghe dell'invenzione è molto buono: la pressione di equilibrio è inferiore a quella di quasi tutte le leghe citate nell'introduzione, con la sola eccezione della lega St 101® che però richiede temperature di attivazione dì 800-900°C.

Infine, le temperature raggiunte durante reazioni violente delle leghe dell'invenzione, per esempio con gas atmosferici, variano tra circa 550 e 740°C, in dipendenza della composizione, a differenza delle temperature di circa 1200°C raggiunte durante la combustione della lega St 707.

Quindi, anche in caso di incidenti con ingresso di gas atmosferici nelle camere in cui è presente la lega, le leghe dell'invenzione non raggiungono le temperature di fusione delle leghe stesse o della maggior parte dei materiali {metalli o leghe quali gli acciai) con i quali sono in genere realizzate le pareti di dette camere. Anche in caso di incidente la lega rimane così più facilmente confinata, riducendo i pericoli per persone ed impianti .

L'invenzione verrà ulteriormente illustrata dai seguenti esempi. Questi esempi non limitativi illustrano alcune forme realizzative destinate ad insegnare agli esperti del ramo come mettere in pratica l'invenzione ed a rappresentare il modo migliore considerato per la realizzazione dell'invenzione .

ESEMPIO 1

Questo esempio descrive la preparazione di una lega dell'invenzione.

Vengono pesati 80,8 g di zirconio, 14,2 g di cobalto e 5,0 g di mischmetal di composizione percentuale in peso approssimativa 50% cerio, 30% lantanio, 15% neodimio ed il restante 5% di altre Terre Rare. Le polveri vengono miscelate e introdotte in un crogiolo di rame raffreddato ad acqua di un forno ad arco, in atmosfera di 300 mbar di argon. La temperatura raggiunta dalla miscela durante la fusione è di circa 2000°C, temperatura che viene mantenuta per circa 5 minuti. Poiché la preparazione avviene in forno ad arco con i materiali precursori introdotti in crogiolo di rame raffreddato ad acqua, in condizioni quindi di forte gradiente termico (tecnica cosiddetta della "scarpa fredda"), per favorire l'omogeneità della lega la fusione del lingotto viene ripetuta quattro volte. Il lingotto ottenuto per raffreddamento del fuso viene macinato, e la polvere risultante viene infine setacciata, recuperando la frazione di granulometria compresa tra 40 e 105 μm. Con questa polvere si preparano vari campioni usati nelle prove successive: ogni campione viene ottenuto comprimendo 150 mg di polvere all'interno di un contenitore a forma di anello con una pressione di 2000 Kg/cm2. Ad ognuno dei contenitori viene saldata una termocoppia per la rilevazione delle temperature di attivazione e di prova delle leghe.

ESEMPIO 2

Questo esempio descrive la preparazione di un'altra lega dell'invenzione.

Vengono pesati 83,0 g di zirconio, 14,7 g di cobalto e 2,3 g di mischmetal, ripetendo la procedura dell'esempio 1 e preparando anche in questo caso una serie di campioni identici.

ESEMPIO 3

Questo esempio descrive la preparazione di una terza lega dell'invenzione.

Vengono pesati 76,7 g di zirconio, 13,5 g di cobalto e 9,8 g di mischmetal, ripetendo la procedura dell'esempio 1 e preparando anche in questo caso una serie di campioni identici.

E SEMPIO 4 (COMPARAIIVO)

Questo esempio è relativo alla preparazione di un campione di lega St 707.

Vengono pesati 70,0 g di zirconio, 24,6 g di vanadio e 5,4 g di ferro. Si ripete la procedura dell'esempio 1, preparando anche in questo caso una serie di campioni identici.

ESEMPIO 5

Su un campione di ognuna delle leghe preparate negli esempi da 1 a 4 viene effettuata una prova di assorbimento di idrogeno. Tutti i campioni vengono attivati a 500°C per 10 minuti. Le prove di assorbimento vengono effettuate seguendo la procedura descritta nello standard ASTM F 798-82, operando a temperatura ambiente e con una pressione di idrogeno di 4'IO'5 mbar. I risultati di queste prove vengono riportati in grafico in Figura 3 come velocità di assorbimento (S) in funzione della quantità di gas assorbito {Q); le curve sono numerate da 1 a 4 rispettivamente per i campioni da 1 a 4.

ESEMPIO 6

La prova dell'esempio 5 viene ripetuta, impiegando altri quattro campioni preparati negli esempi da 1 a 4, ed impiegando in questo caso CO come gas di prova. I risultati di queste prove vengono riportati in grafico in Figura 4, come curve numerate da 5 a 8 rispettivamente per i campioni da 1 a 4.

ESEMPIO 7

Vengono misurate le pressioni di equilibrio di idrogeno delle tre leghe dell' invenzione degli esempi 1-3 e della lega St 707 dell'esempio 4. Il sistema di misura è simile a quello dell'esempio 7, ma in questo caso il bulbo non è introdotto in un forno, ed il campione è riscaldato dall'esterno tramite radiofrequenza; inoltre, in questo caso al bulbo è collegata una trappola di azoto liquido, che contribuisce a mantenere una bassa pressione di fondo durante la prova. Il sistema viene evacuato fino ad una pressione residua di IO-6 mbar. Sotto pompaggio, si attiva il campione per riscaldamento con radiofrequenza a 720°C per un'ora. Alla fine del processo di attivazione il campione viene portato alla temperatura di 700°C ed il bulbo viene isolato dal sistema di pompaggio. Si introduce nel bulbo una quantità misurata di idrogeno, e si misura la pressione di equilibrio raggiunta dal sistema dopo 10 minuti. Il campione viene poi portato successivamente a 600°C e 500°C, misurando la pressione di equilibrio che si stabilisce nel bulbo a queste nuove condizioni. Le misure di pressione di equilibrio vengono poi confermate alle stesse temperature, ma in questo caso le temperature di prova vengono raggiunte a partire da quella più bassa. Questa procedura viene ripetuta per ogni campione con diverse quantità di idrogeno introdotte. Dalla misura delle pressioni di equilibrio, noti il volume del sistema e il peso della lega, si ricava la concentrazione di idrogeno assorbito dalla lega nelle diverse condizioni di misura.

La pressione di equilibrio (P) in funzione della concentrazione di idrogeno assorbito (C) alle diverse temperature viene riportata nei grafici delle Figure 5, 6, e 7, che si riferiscono rispettivamente alle pressioni di equilibrio dei campioni a 500, 600 e 700°C. Le curve sono numerate da 9 a 12 rispettivamente per i campioni da 1 a 4 nella Figura 5; da 13 a 16 rispettivamente per i campioni da 1 a 4 nella Figura 6; e da 17 a 20 rispettivamente per i campioni da 1 a 4 nella Figura 7.

ESEMPIO 8

In questo esempio viene misurata la temperatura raggiunta dalle leghe dell'invenzione e da alcune leghe di confronto durante la combustione in aria.

Vengono valutati un campione per ognuna delle leghe degli esempi da 1 a 4, ed un campione, preparato come descritto nell'esempio 1, per ognuna delle leghe St 198, St 199 e St 101 citate nel testo. Ogni campione viene inserito in un bulbo di vetro in contatto con l'atmosfera. I campioni vengono riscaldati per radiofrequenza da una bobina posta esteriormente al bulbo, la cui emissione di potenza è controllata da un computer che registra simultaneamente la temperatura del campione. Per ognuna delle leghe si misura preventivamente la temperatura d'innesco della combustione in aria. Questa prova preliminare si effettua fornendo al campione una potenza linearmente crescente tramite radiofrequenza e registrando l'andamento della temperatura; per tutti i campioni si ha inizialmente un incremento lineare di temperatura ed in seguito una piegatura dalla linearità verso l'alto: la temperatura a cui si osserva la piegatura viene considerata la temperatura di inizio della combustione.

La prova di temperatura massima si effettua riscaldando ogni campione tramite radiofrequenza fino alla temperatura d'innesco precedentemente misurata, interrompendo il riscaldamento dall'esterno al raggiungimento di questa temperatura e misurando la temperatura massima raggiunta dal campione durante la combustione. La precisione di queste misure è di ± 5°C.

I risultati delle prove sono riportati nella tabella della pagina seguente, in cui ogni campione è identificato dal numero dell'esempio in cui viene preparato o dal suo nome commerciale,.

Nelle Figure da 3 a 7 vengono confrontate le caratteristiche di assorbimento per vari gas delle leghe dell'invenzione e della lega St 707, che è la migliore lega di impiego generico tra quelle note. Le prove sono state effettuate su idrogeno e monossido di carbonio perché questi gas sono quelli che maggiormente contribuiscono alla pressione residua nelle camere evacuate. Come si nota dall'analisi dei grafici, le leghe dell'invenzione hanno caratteristiche simili a quelle della lega St 707 per CO e migliori per idrogeno, tranne nel caso della lega a più alto contenuto di mischmetal (campione 3), che mostra un aumento della pressione di equilibrio ad elevati valori di idrogeno assorbito. La temperatura massima raggiunta in caso di combustione da queste leghe non supera i 740°C circa, che è una temperatura che può essere sopportata da pareti in metallo, permettendo così il confinamento della lega in caso di incidenti. Per confronto, sono state valutate nella prova anche le temperature massime raggiunte nella combustione da alcune leghe di impiego specifico, che hanno comunque possibilità d'applicazione più limitate di quelle dell'invenzione; come si nota dai risultati in tabella, anche queste leghe, a parte la lega St 198, raggiungono temperature più alte e pongono quindi problemi di sicurezza maggiori delle leghe dell'invenzione. In conclusione, le leghe dell'invenzione/ grazie alla loro temperatura d'attivazione relativamente bassa e alla varietà di gas assorbiti, possono essere impiegate in molte applicazioni diverse, come per esempio nelle intercapedini evacuate di Dewars o thermos o nella purificazione di gas; inoltre, grazie al fatto che non contengono metalli tossici e grazie alle temperature relativamente basse raggiunte in caso di combustione, queste leghe pongono minori problemi dal punto di vista ambientale e della sicurezza in caso di incidenti rispetto alla lega St 707, che ha caratteristiche di attivazione e assorbimento di gas simili, ed anche rispetto alla maggior parte delle altre leghe getter note caratterizzate da campi d'applicazione più limitati.

Claims

RIVENDICAZIONI 1. Leghe getter non evaporabili (NEG) comprendenti zirconio, cobalto e uno o più componenti scelti tra ittrio, lantanio o Terre Rare tali che, riportando la loro composizione su un diagramma ternario di composizioni percentuali in peso, cadono nel poligono delimitato dai punti: a) Zr 81% - Co 9% - A 10% b) Zr 68% - Co 22% - A 10% c) Zr 74% - Co 24% - A 2% d) Zr 88% - Co 10% - A 2%, in cui con A si intende un elemento qualunque scelto tra ittrio, lantanio, Terre Rare o miscele di questi elementi.
2. Leghe secondo la rivendicazione 1 in cui l'elemento o la miscela di elementi A è presente circa per il 5% in peso.
3. Leghe secondo la rivendicazione 2 di composizione percentuale in peso Zr 80,8% - Co 14,2% - A 5%.
4. Leghe secondo la rivendicazione 1 in cui il componente A è costituito da miscela di lantanio e Terre Rare nota come mischmetal.
5. Dispositivo getter non evaporabile contenente una lega della rivendicazione 1, in cui la lega è impiegata in forma di polveri di granulometria inferiore a circa 250 μm.
6. Dispositivo secondo la rivendicazione 5 in cui la lega è impiegata in forma di polveri di granulometria compresa tra circa 125 e 40 pm.
7. Dispositivo getter non evaporabile (20) costituito unicamente da polveri di una lega della rivendicazione 1.
8. Dispositivo secondo la rivendicazione 7 in cui dette polveri sono compresse o sinterizzate.
9. Dispositivo getter non evaporabile costituito da polveri di una lega della rivendicazione 1 su un supporto metallico.
10. Dispositivo (30) secondo la rivendicazione 9 in cui il supporto è in forma di nastro (31).
11. Dispositivo (40) secondo la rivendicazione 9 in cui il supporto un contenitore aperto (41).
12. Dispositivo (50) secondo la rivendicazione 9 in cui il supporto è un contenitore (51) con un'apertura chiusa da un setto metallico poroso (53).
13. Uso di una lega della rivendicazione 1 per l'assorbimento di gas reattivi in vuoto o da un'atmosfera di gas inerte.
14. Uso secondo la rivendicazione 13 in cui i gas reattivi sono idrogeno, azoto, ossigeno, vapor d'acqua, monossido e biossido di carbonio.
15. Uso secondo la rivendicazione 13 per il mantenimento del vuoto in un'intercapedine evacuata termicamente isolante con pareti metalliche o dì vetro .
16. Uso secondo la rivendicazione 15 in cui detta intercapedine è l'intercapedine di un thermos, di un Dewar o di una conduttura per il trasporto di petrolio.
17. Uso secondo la rivendicazione 13 per la purificazione dei gas nobili.
18. Uso secondo la rivendicazione 17 in cui la purificazione dei gas nobili avviene all'interno di una camera dì processo per la produzione di semiconduttori .
19. Uso secondo la rivendicazione 13 per il mantenimento di un'atmosfera controllata all'interno di lampade.