[go: up one dir, main page]

ITMI952233A1 - Sistema perfezionato per la misura e la regolazione della portata massica di gas - Google Patents

Sistema perfezionato per la misura e la regolazione della portata massica di gas Download PDF

Info

Publication number
ITMI952233A1
ITMI952233A1 IT95MI002233A ITMI952233A ITMI952233A1 IT MI952233 A1 ITMI952233 A1 IT MI952233A1 IT 95MI002233 A IT95MI002233 A IT 95MI002233A IT MI952233 A ITMI952233 A IT MI952233A IT MI952233 A1 ITMI952233 A1 IT MI952233A1
Authority
IT
Italy
Prior art keywords
measurement
regulation
valve
flow rate
gas
Prior art date
Application number
IT95MI002233A
Other languages
English (en)
Inventor
Lorenzo Bergamini
Original Assignee
Nuovo Pignone Spa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nuovo Pignone Spa filed Critical Nuovo Pignone Spa
Priority to IT95MI002233A priority Critical patent/IT1275825B1/it
Publication of ITMI952233A0 publication Critical patent/ITMI952233A0/it
Priority to US08/738,774 priority patent/US5927321A/en
Priority to EP96203011A priority patent/EP0772027A3/en
Publication of ITMI952233A1 publication Critical patent/ITMI952233A1/it
Application granted granted Critical
Publication of IT1275825B1 publication Critical patent/IT1275825B1/it

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/78Direct mass flowmeters
    • G01F1/80Direct mass flowmeters operating by measuring pressure, force, momentum, or frequency of a fluid flow to which a rotational movement has been imparted
    • G01F1/84Coriolis or gyroscopic mass flowmeters
    • G01F1/8409Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details
    • G01F1/8431Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details electronic circuits
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/78Direct mass flowmeters
    • G01F1/80Direct mass flowmeters operating by measuring pressure, force, momentum, or frequency of a fluid flow to which a rotational movement has been imparted
    • G01F1/84Coriolis or gyroscopic mass flowmeters
    • G01F1/8409Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details
    • G01F1/8436Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details signal processing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/86Indirect mass flowmeters, e.g. measuring volume flow and density, temperature or pressure
    • G01F1/88Indirect mass flowmeters, e.g. measuring volume flow and density, temperature or pressure with differential-pressure measurement to determine the volume flow
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/02Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
    • G01F15/04Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature of gases to be measured
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00Control of flow
    • G05D7/06Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
    • G05D7/0641Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means
    • G05D7/0664Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged for the control of a plurality of diverging flows from a single flow
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/2496Self-proportioning or correlating systems
    • Y10T137/2559Self-controlled branched flow systems
    • Y10T137/265Plural outflows
    • Y10T137/2657Flow rate responsive
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/7722Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7737Thermal responsive
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/7722Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7758Pilot or servo controlled
    • Y10T137/7759Responsive to change in rate of fluid flow
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/7722Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7758Pilot or servo controlled
    • Y10T137/7761Electrically actuated valve

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Flow Control (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

Sistema per la misura e la regolazione della portata massica di un gas a caratteristiche variabili in una tubazione con una valvola di misura e regolazione, in cui un misuratore di portata massica Coriolis, montato su detta tubazione, è collegato all'unità di elaborazione della valvola allo scopo del calcolo di un fattore correttivo della portata calcolata dalla detta valvola, rappresentato dal rapporto tra i valori provenienti dal misuratore di Coriolis e da detta valvola, fattore aggiornato periodicamente quando le condizioni operative non introducono errore nel misuratore di Coriolis. E' pure descritto un sistema con più valvole, per portate differenti ed un unico misuratore di Coriolis.

Description

Descrizione
La presente invenzione concerne un sistema che pur eliminando l'impiego di un costoso ed ingombrante gas-cromatografo, consente una precisa e sicura misura e regolazione di una portata massica di gas con una valvola di misura e regolazione, anche quando le caratteristiche del gas variano. La regolazione di una portata massica di gas quando sia richiesto dal processo un grande rapporto tra la portata massima e la portata minima ed anche una grande variabilità del salto di pressione a cavallo della valvola di regolazione, presenta grandi difficoltà specialmente in presenza di una dinamica di regolazione veloce. I misuratori di portata massica basati sull'effetto Coriolis possono arrivare alla accuratezza, affidabilità ed estensione del campo di misura richieste ma hanno tipicamente una dinamica di misura insufficiente per le applicazioni che presentino condizioni operative variabili dinamicamente. Un'altra soluzione è data dall'impiego di valvole di misura e regolazione (metering valve), che potenzialmente hanno tutte le caratteristiche richieste ma abbisognano di dati fisici del gas che devono essere inevitabilmente forniti da un gas-cromatografo in linea, se la composizione del gas è variabile. Detto gas-cromatografo introduce un notevole fattore di costo nel sistema, richiede l'alimentazione con gas ausiliario e quindi complicazioni costruttive e, data la sua struttura abbassa l’affidabilità e disponibilità dell'insieme.
Ora, uno scopo della presente invenzione è appunto di poter misurare e regolare una portata massica di gas a caratteristiche fisiche variabili con una valvola di misura e regolazione, quale ad esempio quella descritta un un'altra nostra domanda di brevetto, senza bisogno di un gas-cromatografo in linea.
Ciò viene conseguito per il fatto che l'influenza delle caratteristiche fisiche del gas da regolare sulla portata massica è ridotta, in riferimento all'impiego di valvole atte alla misura e regolazione, ad un unico parametro correttivo della portata calcolata della valvola di misura e regolazione, detto parametro essendo ricavabile in modo semplice dal valore rilevato da un misuratore di Coriolis, che in questo modo sostituirebbe il costoso gas-cromatografo.
D'altra parte, l'influenza di detto parametro correttivo sulla accuratezza globale deve essere tale da permettere un suo aggiornamento in modo periodico e non dinamico, praticamente secondo le possibilità ed i limiti di un normale misuratore di Coriolis, per cui la misura a dinamica veloce e la regolazione vengono delegate alla valvola dì misura e regolazione o a più valvole dello stesso tipo poste in parallelo e regolanti frazioni diverse della portata totale. Ulteriore scopo della presente invenzione è la possibilità, grazie alla intrinseca ridondanza di un sistema costituito da più valvole di misura in parallelo e da un misuratore di Coriolis, di affrontare l'evenienza della perdita di una o più informazioni dei sensori utilizzati dalle valvole di misura e regolazione.
Il sistema di regolazione e misura oggetto della presente invenzione è quindi basato sull'impiego di valvole di regolazione e misura dotate di una propria unità di elaborazione che le rende atte alla misura della portata massica (metering valve) con capacità di gestione dinamica della regolazione associata ad un misuratore di portata massica di Coriolis atto a fornire il dato di portata massica con tempi di risposta più lenti di quelli richiesti dal processo.
Detto sistema di regolazione e misura della portata oggetto dell'invenzione è in grado di determinare un fattore correttivo della portata calcolata dalla valvola di misura e regolazione dal confronto di questa con il valore di portata proveniente dal misuratore di Coriolis in condizioni operative quasi stazionarie. In pratica, il sistema prevede che la valvola (o più valvole in parallelo) regoli (regolino) e misuri (misurino) la portata utilizzando dati relativi alle caratteristiche fisiche del gas determinate in precedenza, dati che vengono corretti ed aggiornati ogni qualvolta la dinamica del processo permette al misuratore di Coriolis di fornire una misura valida. Detto fattore correttivo è strutturato in modo tale che la precisione di misura e regolazione non venga degradata dal fatto di operare l'aggiornamento di tale parametro solamente quando le condizioni sono quasi stazionarie.
In definitiva, il sistema per la misura e la regolazione in una tubazione della portata massica di un gas a caratteristiche variabili, comprendente almeno una valvola di misura e regolazione, montata sulla detta tubazione, il cui attuatore è pilotato da una corrispondente unità di elaborazione in base ai valori rispettivamente di pressione a monte ed a valle della valvola ed eventualmente di temperatura del gas, valori forniti dalla detta valvola di misura e regolazione, al valore di portata massica richiesto ed alle caratteristiche del gas, è caratterizzato secondo la presente invenzione dal fatto che le dette caratteristiche del gas sono fornite alla detta unità di elaborazione da un misuratore di Coriolis, posto sulla detta tubazione nel punto a monte o a valle della valvola ove si hanno le minori variazioni di pressione, sotto forma di un unico fattore correttivo della portata calcolata dalla detta valvola, rappresentato dal rapporto tra le misure provenienti dal misuratore di Coriolis e dall'insieme delle valvole di misura e regolazione, fattore che viene aggiornato periodicamente allorché le condizioni operative sono quasi stazionarie.
Poiché, poi, il detto fattore correttivo della portata è prevalentemente funzione delle proprietà fisiche del gas e non dipende quindi sostanzialmente da errori di misura e regolazione della valvola, e ora possibile utilizzare più valvole di misura e regolazione collegate in parallelo tra loro ed in serie con un solo misuratore di Coriolis, per regolare delle portate parziali diverse di un'unica portata di ingresso.
Più specificatamente, una pluralità di valvole di misura e regolazione sono collegate in parallelo tra loro ed in serie con un unico misuratore di Coriolis, su diramazioni della tubazione principale, le unità di elaborazione delle dette valvole essendo collegate ad una unità centrale di elaborazione connessa al detto misuratore di Coriolis per fornire alle singole valvole il fattore correttivo delle portate massiche parziali relativo alle dette valvole.
L'invenzione viene ora meglio chiarita con riferimento ai disegni allegati che illustrano delle forme preferenziali di realizzazioni pratiche date a solo titolo esemplificativo ma non limitativo, in quanto delle varianti tecniche e costruttive potranno essere sempre apportate senza uscire dall'ambito della presente invenzione.
In detti disegni:
la Fig.l mostra schematicamente a blocchi il sistema di misura e regolazione della portata massica di un gas secondo l'invenzione;
la Fig.2 mostra schematicamente a blocchi l'utilizzo di più valvole di misura e regolazione per regolare più portate parziali di una portata totale, pure secondo l'invenzione.
Con riferimento alla Fig.l con 1 viene indicato il sistema dell'invenzione, costituito da una tubazione 2, entro la quale il gas scorre secondo il verso della freccia 3 e sulla quale sono montati rispettivamente la valvola di misura e di regolazione 4 ed un misuratore di Coriolis 5. L'attuatore 6 della valvola 4 è comandato dall'unità di elaborazione 7 alla quale vengono inviati il valore di portata massica richiesto 8, il valore di pressione a monte 9 ed a valle 10 della valvola ed eventualmente il valore 11 della temperatura del gas. L'unità di elaborazione 7 è inoltre collegata con il detto misuratore di Coriolis 5. Il misuratore di Coriolis 5 è posizionato a monte di misura e regolazione 4, quando la pressione a valle della valvola 4 subisce maggiori variazioni di quella di monte, mentre conviene posizionare il misuratore a valle quando sì verifica la situazione opposta.
Sono possibili diverse formulazioni per il calcolo della portata massica, a partire dalle misure ricavabili da una valvola di misura e regolazione 4. Il fattore correttivo della portata, calcolato dalla unità di elaborazione 7, può avere diversi formati a seconda della formulazione usata dalla valvola di misura e regolazione 4. In tutti i casi la portata attraverso una restrizione è proporzionale all'inverso della radice quadrata della costante elastica del gas ed il fattore di correzione, ottenuto come rapporto tra le misure provenienti dal misuratore di Coriolis 5 e dalla valvola di misura e regolazione 4, può essere posto uguale alla radice quadrata del rapporto tra la costante elastica nominale e quella effettiva del gas. Più in generale si può dire che tale fattore di correzione è funzione del prodotto:
ζΗη
ove: z coefficiente di comprimibilità del gas,
R la costante elastica del gas,
η fattore correttivo che tiene conto degli effetti sulla portata delle variazioni dell'esponente
dell<1>isoentropica dal valore nominale, di errori di determinazione del coefficiente di efflusso e di errori introdotti dalle misure effettuate dai sensori di pressione e temperatura.
Questo calcolo viene eseguito periodicamente solo negli intervalli di tempo per i quali si verifica un quasi stazionarietà sia del segnale di comando che della grandezza controllata ossia quando il valore di portata misurata da un misuratore di Coriolis convenzionale presenta il minimo errore di non stazionarietà. La valvola di misura e regolazione utilizza l'ultimo valore valido del prodotto zRq per effettuare la regolazione della portata/ quando la condizione di quasi stazionarietà non è verificata. La condizione di quasi stazionarietà, che consente di utilizzare l'informazione proveniente dal misuratore di Coriolis, può essere determinata utilizzando il segnale di comando ricevuto dalla valvola di misura e regolazione 4. Un primo criterio utilizza la derivata prima del detto segnale: se tale derivata rimane inferiore ad un valore di soglia per un certo periodo di tempo superiore alla costante di tempo del misuratore, la condizione di quasi stazionarietà è verificata e si può operare il calcolo del fattore ZRTI. Oppure quando lo scostamento quadratico medio applicato a campioni del detto segnale di comando in un intervallo di tempo risulta inferiore ad un prefissato valore di soglia.
La misura proveniente dal misuratore di Coriolis 5 può essere in alcune situazioni depurata dall'errore dinamico, aumentando con ciò le possibilità di misura del fattore ζϊΐη.
Come evidenziato dalla figura 2, è possibile applicare il principio ad un sistema di regolazione costituito da più valvole 4', 4", ...4<n >in parallelo tra loro ed in serie con un solo misuratore di Coriolis 5 posto sul condotto principale 2. Le dette valvole 4', 4", ...4<n >sono invece poste su delle diramazioni, rispettivamente 2', 2", ...2<n >, della tubazione 2. Poiché, come già detto, il fattore correttivo della portata (per esempio lo stesso prodotto zRt|) è prevalentemente funzione delle proprietà fisiche del gas e solo in maniera secondaria degli errori derivanti dalle misure nei singoli rami, esso può essere usato da tutte le valvole di misura e regolazione in parallelo. In particolare il prodotto zRq può essere ottenuto, in questo caso, dalla seguente formula:
dove GÌ indica la generica portata massica misurata (o richiesta) in uno dei rami in parallelo mentre Gcoriolis indica il valore' della portata massica totale proveniente dal misuratore di Coriolis ed n è il numero di rami utilizzati.
Le uscite 12', 12",...12<n >delle unità di elaborazione 7', 7",...7<n >delle dette valvole di misura e regolazione 4' , 4",...4<n >, che forniscono i valori di portata massica parziali delle dette valvole, vanno ad una unità centrale di elaborazione 13 che, collegata col detto unico misuratore di Coriolis 5, fornisce in uscita 14 un fattore correttivo di portata massica utilizzato dalle dette unità di elaborazione 7', 7",...7<n >per regolare le portate massiche parziali.
Nel caso in cui la valvola di misura e regolazione 4 non disponesse della misura della temperatura assoluta del gas, dato dalla 11, vi è anche la possibilità di includere nel fattore di correzione della portata tale grandezza (divenendo, per esempio, ζϊΙηΤ). Infatti la portata, in tutte le espressioni di calcolo, risulta inversamente proporzionale alla radice quadrata di tale temperatura. In questo caso la accuratezza della misura e regolazione sarebbe, solo in condizioni stazionarie, pari a quella ottenibile dal sistema che include anche la misura di temperatura, mentre subirebbe un peggioramento in condizioni dinamiche poiché l’influenza del fattore correttivo sul risultato è maggiore.

Claims (1)

  1. Rivendicazioni 1. Sistema per la misura e la regolazione in una tubazione della portata massica di un gas a caratteristiche variabili, comprendente almeno una valvola di misura e regolazione, montata sulla detta tubazione, il cui attuatore è pilotato da una corrispondente unità di elaborazione in base ai valori rispettivamente di pressione a monte ed a valle della valvola ed eventualmente di temperatura del gas, valori forniti dalla detta valvola di misura e regolazione, al valore di portata massica richiesto ed alle caratteristiche del gas, caratterizzato dal fatto che le dette caratteristiche del gas sono fornite alla detta unità di elaborazione da un misuratore di Coriolis, posto sulla detta tubazione nel punto a monte o a valle della valvola ove si hanno le minori variazioni di pressione, sotto forma di un unico fattore correttivo della portata calcolata dalla detta valvola, rappresentato dal rapporto tra le misure provenienti dal misuratore di Coriolis e dall'insieme delle valvole di misura e regolazione, fattore che viene aggiornato periodicamente allorché le condizioni operative sono quasi stazionarie. Sistema secondo la rivendicazione 1 caratterizzato dal fatto che una pluralità di valvole di misura e regolazione sono collegate in parallelo tra loro ed in serie con un unico misuratore di Coriolis, su diramazioni della tubazione principale, le unità dì elaborazione delle dette valvole essendo collegate ad una unità centrale di elaborazione connessa al detto misuratore di Coriolis, per fornire alle singole il fattore correttivo delle portate massiche parziali relativo a dette valvole*
IT95MI002233A 1995-10-30 1995-10-30 Sistema perfezionato per la misura e la regolazione della portata massica di gas IT1275825B1 (it)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT95MI002233A IT1275825B1 (it) 1995-10-30 1995-10-30 Sistema perfezionato per la misura e la regolazione della portata massica di gas
US08/738,774 US5927321A (en) 1995-10-30 1996-10-29 System for measuring and controlling gas mass flow
EP96203011A EP0772027A3 (en) 1995-10-30 1996-10-29 Improved system for measuring and controlling gas mass flow

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT95MI002233A IT1275825B1 (it) 1995-10-30 1995-10-30 Sistema perfezionato per la misura e la regolazione della portata massica di gas

Publications (3)

Publication Number Publication Date
ITMI952233A0 ITMI952233A0 (it) 1995-10-30
ITMI952233A1 true ITMI952233A1 (it) 1997-04-30
IT1275825B1 IT1275825B1 (it) 1997-10-17

Family

ID=11372448

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
IT95MI002233A IT1275825B1 (it) 1995-10-30 1995-10-30 Sistema perfezionato per la misura e la regolazione della portata massica di gas

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5927321A (it)
EP (1) EP0772027A3 (it)
IT (1) IT1275825B1 (it)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6516651B1 (en) * 1999-07-22 2003-02-11 Analog Devices, Inc. Coriolis effect transducer
US6471487B2 (en) * 2001-01-31 2002-10-29 Micro Motion, Inc. Fluid delivery system
US6418954B1 (en) 2001-04-17 2002-07-16 Mks Instruments, Inc. System and method for dividing flow
KR20040019293A (ko) * 2001-05-24 2004-03-05 셀레리티 그룹 아이엔씨 소정 비율의 프로세스 유체를 제공하는 방법 및 장치
US20030098069A1 (en) * 2001-11-26 2003-05-29 Sund Wesley E. High purity fluid delivery system
US6606917B2 (en) * 2001-11-26 2003-08-19 Emerson Electric Co. High purity coriolis mass flow controller
US6766260B2 (en) * 2002-01-04 2004-07-20 Mks Instruments, Inc. Mass flow ratio system and method
JP2007051002A (ja) * 2005-08-19 2007-03-01 Kyocera Mita Corp 用紙カセット
US7621302B2 (en) * 2007-09-28 2009-11-24 Airgas, Inc. Coriolis dosing system for filling gas cylinders
US7693606B2 (en) * 2007-12-21 2010-04-06 Rosemount Inc. Diagnostics for mass flow control
US8342199B2 (en) * 2008-06-03 2013-01-01 Gilbarco, Inc. Dispensing equipment utilizing coriolis flow meters
PL2307938T3 (pl) * 2008-06-26 2014-02-28 Belparts Układ regulacji przepływu
US9389111B2 (en) 2010-03-11 2016-07-12 Measurement Technology Group, Inc. Dynamic-adaptive vapor reduction system and method
BR112013031296B1 (pt) * 2011-06-08 2021-02-17 Micro Motion, Inc. sistema de fluxo de fluido, eletrônica de medidor para um sensor vibratório, e, método para operar um sistema de fluxo de fluido
CN102331340B (zh) * 2011-06-22 2013-09-04 浙江春晖智能控制股份有限公司 一种燃气温控阀的测试装置
US9904296B2 (en) * 2014-04-01 2018-02-27 Honeywell International Inc. Controlling flow in a fluid distribution system
CN103940482B (zh) * 2014-04-29 2016-09-14 安徽理工大学 科里奥利粉体质量流量计
CN119948422A (zh) * 2022-09-26 2025-05-06 安比徽股份公司 用于控制流体流的方法和生物分析装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4149254A (en) * 1975-06-25 1979-04-10 American Chain & Cable Co., Inc. Method and apparatus for flow metering
EP0061856B1 (en) * 1981-04-01 1987-08-26 LUCAS INDUSTRIES public limited company Measurement of air mass flow into an internal combustion engine
US4823613A (en) * 1986-10-03 1989-04-25 Micro Motion, Inc. Density insensitive coriolis mass flow rate meter
US5044208A (en) * 1987-03-18 1991-09-03 Neptune Measurement Company Double-pigtail-shaped, Coriolis-type mass flow rate meter
US5080131A (en) * 1989-09-26 1992-01-14 Lintec Co., Ltd. Mass flow controller
US5537914A (en) * 1989-10-04 1996-07-23 Micro-Blend, Inc. Beverage blending and proportioning
US5072416A (en) * 1990-01-16 1991-12-10 Calibron Systems, Inc. Method and apparatus for calibrating a flowmeter using a master meter and a prover
US5190068A (en) * 1992-07-02 1993-03-02 Brian Philbin Control apparatus and method for controlling fluid flows and pressures
GB9215043D0 (en) * 1992-07-15 1992-08-26 Flow Inc K Fluid mass flow meters
CH684657A5 (de) * 1993-02-16 1994-11-15 Landis & Gyr Tech Innovat Verfahren und Einrichtung zur Erfassung des Durchflusses in einem Leitungsrohr.
US5392656A (en) * 1993-09-14 1995-02-28 Lew; Hyok S. Nonvibrating conduit inertia force flowmeter
US5586574A (en) * 1994-03-03 1996-12-24 Smith; Dean E. Air system control
US5488969A (en) * 1994-11-04 1996-02-06 Gas Research Institute Metering valve

Also Published As

Publication number Publication date
EP0772027A2 (en) 1997-05-07
US5927321A (en) 1999-07-27
EP0772027A3 (en) 1998-07-29
ITMI952233A0 (it) 1995-10-30
IT1275825B1 (it) 1997-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ITMI952233A1 (it) Sistema perfezionato per la misura e la regolazione della portata massica di gas
US8851105B2 (en) Mass flow meter, mass flow controller, mass flow meter system and mass flow control system containing the mass flow meter and the mass flow controller
CA2441794A1 (en) Flow metering
US1697344A (en) Measurement and regulation of flow of steam or other fluid
JP2005024421A (ja) 差圧式流量計及び差圧式流量制御装置
CN102483340B (zh) 流量传感器
CN108445922A (zh) 半导体制造装置的气体分流供给装置
FI950850A0 (fi) Virtausmittari
BRPI0419043A (pt) método e aparelho de compensação para um medidor de fluxo coriolis
JP2006330851A (ja) 改良型圧力式流量制御装置
Ishibashi et al. The renewed airflow standard system in Japan for 5–1000 m3/h
US2838927A (en) Gas density measuring device
Choi et al. Interference effect between sonic nozzles
JP2020180940A (ja) 超音波式流量計の測定方法
JP3736723B2 (ja) 複数ラインを流れる流体の流量調整方法
US12066309B2 (en) Variable area flowmeter, system comprising a variable area flowmeter and an external control unit, and method for operating a variable area flowmeter
JPH05289751A (ja) マスフローコントローラのゼロ点シフト及びスパンシフトを自動補正する方法及びその自動補正機能付きマスフローコントローラ
US3034352A (en) Means for the measurement of the flow of a gas
US3247713A (en) Fluid metering
JPH0256614B2 (it)
JPS61146329A (ja) 混合装置
RU1795287C (ru) Способ определени массового расхода газа
Freeman The Calculation of Overall Inaccuracies for a Gas Flow Measurement System
RU2793076C1 (ru) Тензодатчик для объемно-весового измерителя плотности жидкости и объемно-весовой измеритель плотности жидкости на его основе
UA99705C2 (ru) Способ поверки средств измерения расхода природного газа

Legal Events

Date Code Title Description
0001 Granted