[go: up one dir, main page]

HU228414B1 - Piezoelectrically excited oscillating element - Google Patents

Piezoelectrically excited oscillating element Download PDF

Info

Publication number
HU228414B1
HU228414B1 HU0302057A HUP0302057A HU228414B1 HU 228414 B1 HU228414 B1 HU 228414B1 HU 0302057 A HU0302057 A HU 0302057A HU P0302057 A HUP0302057 A HU P0302057A HU 228414 B1 HU228414 B1 HU 228414B1
Authority
HU
Hungary
Prior art keywords
diaphragm
clamping screw
vibrating
piezoelectric elements
membrane
Prior art date
Application number
HU0302057A
Other languages
English (en)
Inventor
Felix Raffalt
Adrian Frick
Ingo Harter
Original Assignee
Grieshaber Vega Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Grieshaber Vega Kg filed Critical Grieshaber Vega Kg
Publication of HUP0302057A2 publication Critical patent/HUP0302057A2/hu
Publication of HUP0302057A3 publication Critical patent/HUP0302057A3/hu
Publication of HU228414B1 publication Critical patent/HU228414B1/hu

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296Acoustic waves
    • G01F23/2968Transducers specially adapted for acoustic level indicators
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296Acoustic waves
    • G01F23/2966Acoustic waves making use of acoustical resonance or standing waves
    • G01F23/2967Acoustic waves making use of acoustical resonance or standing waves for discrete levels

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

PIEZOELEKTROMOSÁN gerjeszthető rezoöelem
A találmány tárgya piezoelektromosán gerjeszthető rezgőelem. Ilyen rezgőelemek különösen olyan töitésíszint-érzékelöknéí kerülnek alkalmazásra, amelyek például folyós vagy íluidizálható közegek, főként folyadékok tartályaiba vannak beépítve. A rezgőelemek a közeg mindenkon szintjétől függően, azzal vagy érintkezésbe kerülnek, vagy nem érintkeznek. A rezgőelemek rezgésfrekvendáját a folyadékkal történő érintkezés befolyásolja.
Az ilyen töltésiszint-érzékelöknél alkalmazott rezgőelemek legkülönbözőbb változatai ismeretesek. Ezek általában egy rezgőképes membránnal rendelkeznek, amely az érzékelendő folyadékkal való érintkezés céljából előirányzott rezgötesteket hordozza, valamint piezoelektromos elemek kőtegét, amelynek villamosán gerjesztett kitágulása és összehúzódása egy összehúzó csavaron keresztül átadódik a membránra, és a rezgőtesteket rezgésbe hozza.
Ilyen rezgőelemre mutat be példát az EP 0 810 423 A2 számú szabadalmi leírás. Ennél az ismert rezgöelemnél az összehúzó csavar rá van hegesztve a rezgőmembránra, és átnyúlik egy, a membrántól bizonyos távolságra mereven elrendezett fenéklapon, A fenéklapon egy köteg gyűrő alakú plezoelem van elrendezve, mégpedig szigetelőtárcsák által elválasztva. Ezek az összehúzó csavart koncentrikusan veszik körül. A köteg felső lezárását egy merev nyomótárcsa képezi, amelyre egy csavarelem fejt ki nyomást, amely az összehúzó csavar felső végére van rácsavarozva. A rezgés gerjesztését és annak érzékelése ugyanazokkal a piezoelemekkei történik, és á jelvézetés a piezoeiemek kötegéhez két villamos vezetéken keresztül van biztosítva.
Egy második Ismert rezgőelem a Wö 92/21945 számú leírásban van bemutatva. Ennél a rezgőelemnél az EP ö 31 ü 423 A2 számú szabadalmi leírásból ismert fenéklapot egy nyomótárcsa helyettesíti, amely a piezoeiemek kötegének alsó lezárását képezi, és amely egy, a membrán peremén gyűrő alakban kialakított vállra fejt ki nyomást. A rezgés gerjesztését és annak érzékelését itt különválasztott piezoeiemek végzik, és legalább három villamos vezeték kerül alkalmazásra.
97337-5226 WE/Tz
- 2 Egy további rezgőetem példáját Ismerteti sz EF 0 875 742 A1 számú szabadalmi leírás. Itt is egy nyomógyűrü képezi a piezöeíem-köteg alsó, membrán felöli lezárását. Egy váll helyett azonban ez a nyomógyürű a membránon kialakított nyomócsapokra fejti ki nyomását,
A töltési szint érzékelésére alkalmazott rezgöelemek szerkezeti kialakításánál az egyik problémát az jelenti, hogy egy rendkívül merev kapcsolódás szükséges a plezoelemek és a membrán, illetve arra ráformázott rezgötestek között azért, hogy a rezgőtestek mozgásának az érzékelendő közeg általi csillapítása megbízhatóan viszszahasson a plezoelemekre, és ott villamosán érzékelhető legyen, A jelenleg ismert rezgőelemek esetén ez a követelmény jói teljesíthető, ha a rezgőtestek - amelyek szokásosan villafogakként vannak kialakítva - mintegy 100 mm hosszúságúak. A foghossznak például 40 mm-re való lecsökkentése esetén ez a követelmény már nem kerül megfelelően kielégítésre. Ezen probléma okának az tekinthető, hogy a fogak megrövidítése a rezgőetem rezonanciafrekvenoiájának a növekedéséhez vezet Az itt példaként emiitett kb, 100 mm-ről kb. 40 mm-re történő megrövidítés esetén a rezgésfrekvencia mintegy megháromszorozódása adódik. Ez egy jelentős szétkapcsolődásf eredményez a rezgést gerjesztő (meghajtó) piezoelektromos elemek és a viliafogak között, mégpedig azzal a következménnyel, hogy még teljesen blokkolt viliafogak esetén is a meghajtás csökkentett mértékben mechanikusan rezgöképes marad. Egy kellően merev kapcsolódás a meghajtás és a viliafogak között azonban kényszerű előfeltétel a villa rezonaneiafrekvendájánsk villamos méréséhez a meghajtó egységben levehető, a villa rezgése által a piezoelektromos elemekben indukált villamos jelek alapján, amelyek itt, mint detektált jelek kerülnek megjelölésre, Mindaddig, amíg a rezgőtestek levegővel vannak körülvéve, és így csak mérsékelten vannak csillapítva, azok rezgő mozgása még kellő hőséggel követi a piezoelektromos elemek általi gegesztést, Mihelyt azonban ezek a rezgőtestek egy, a tartályban lévő érzékelendő anyaggal kerülnek érintkezésbe, és ezáltal rezgésük csillapítása megnő, jelentős eltérések tapasztalhatók a detektált jel, illetve a rezgötestek és a membrán által alkotott rendszer rezonanciája között, és ekkor nemkívánatos felharmonikus rezgések lépnek fel. Amennyiben a tartályban tevő anyag meghalad egy
- 3 bizonyos viszkozitás! értéket, akkor végül túl erősen elválik a rezgőtest viselkedése és a piezoeiemek általi gerjesztéstől és így a szintérzékelő működőképességének teljes elvesztése következhet be, A piezoelektromosán gerjesztett (meghajtott) rezgöelemek koncepciói így nem alkalmasak egy jelentősebb miniatürizálásra,
A hagyományos rezgőelemeknéi további problémát jelent a szükséges alkatrészek nagy száma. Ez nemcsak az előállítási költségekre hat kedvezőtlenül, hanem befolyásolja a rezgőelem megbízhatóságát Is. Különösen a rezgöelem magas alkalmazási hőmérsékletei esetén egyes alkatrészei jelentés mechanikai igénybevételeknek vannak kitéve, ami az alkatrészek idő előtti elöregedését okozza.
A hagyományos rezgőelemek további problémája, hegy a gyártásból adódó mechanika! tűrések következtében a rezgőelem viiiamos/mechanikus hatásfoka függ a piezoelem-kötegnek az összehúzó csavarhoz képesti elfordulási helyzetétől. Ahhoz, hogy egy adott villamos gerjesztési amplitúdónál a mindenkori szerkezeti kialakítás által meghatározott rezgési amplitúdót el lehessen érni, szükséges az összeszereléskor a piezoelem-köfeget az összehúzó csavar körül mindaddig lépésenként elfordítani, majd mindig próbaként meghúzni, amíg a legkedvezőbb pozíciót meg nem találják, amelyben azután a piezoelem-köteg arretálva marad,
A találmány által megoldandó feladat egy olyan piezoelektromosán gerjeszthető rezgöelem létrehozása, amely a hagyományos rezgoeiemeknéi jobban alkalmas a miniatürizálásra. A találmány szerinti rezgöelem további előnyeihez tartozik az alkatrészek csekély száma, és ezzel összefüggésben a gyártási költségek alacsonyabb szintje,
A kitűzött feladatot egy olyan rezgoelemnéi, amely egy rezgőképes membránt, egy kőteg piezoelektromos elemből álló meghajtó egységet, valamint egy, a membránnal összekötött, és a piezoelektromos elemeknek a membránra való rászoritására szolgáló összehúzó csavart tartalmaz, ahol emellett az összehúzó csavar és a membrán egy darabból álló alkatrészként van kialakítva, és a membrán erőátviteli interfészt képez a villafogak és meghajtó egység között, a találmány érteimében azáltal oldjuk meg, hogy az összehúzó csavar és a membrán egy darabból álló forgácsolt alkatrészként van kialakítva. Ily módon egy lényegesen megbízhatóbb, az
között létesíteni.
emek és a
A találmány szerint a kitűzött feladat egy másik lehetséges megoldásánál amely előnyösen kombinálható az előbb Ismertetett megoldással a köteg egy nyomógyűrö és egy. a membránt érintő támasztőgyűrű között van elrendezve, és legalább két piezoelektromos elemet tartalmaz, aböl a nyomógyűrü és a támasztőgyűrű egy első meghajtó potenciállal kapcsolható össze, míg egy, a piezoelektromos elemek között elrendezett elektród egy második meghajtó potenciállal kapcsolható őszsze. Adott esetben a két piezoeiekf romos elemre történő korlátozás egyrészt a rezgőelem beépítési magasságának csökkentését eredményezi, ez pedig a rezgöteslekkel való kapcsolódásának további merevltését, másrészt, mivel az első meghajtó potenciált a kótegnek csak egy helyére kell csatlakoztatni, így elhagyható a hőmérséklet-érzékeny vezetőlap a rezgőelemről aminek következtében az alkalmazás akár egészen 2ÖÖ 'C-ig lehetséges.
A nyomögyűrű és a támasztőgyűrű közötti villamosán vezető kapcsolat egyszerű módon létrehozható az összehúzó csavaron keresztül. A rezgőelem egyszerűsített cserélése biztosítható azáltal, hogy a piezoelektromos elemek, a nyomögyűrű és a támasztógyűrű egy őket körülvevő házrész révén egy szerelési egységgé vannak összefogva, amely a membránról és az összehúzó csavarról levehetoen van elrendezve.
A találmány további részleteit és előnyeit kiviteli példa kapcsán, a csatolt rajzra való hivatkozással ismertetjük, ahol az 1 ábra egy találmány szerinti rezgőetemet szemléltet tengelyirányú metszetben.
A rezgőelem egy fém anyagú 3 membránt tartalmaz, amely egy lényegében fazék alakú, fém anyagú 14 beépítési ház alját képezi. A 14 beépítési ház egy tartály falába történő beszerelés céljából egy 16 külső menettel van ellátva. Két, a 3 membrán alsó oldalára ráformázoft és 2 víllafogak alakjában kialakított rezgőtest áll ki a tartály belseje felé. Á 3 membrán felső oldaláról egy 4 összehúzó csavar áll ki a 14 beépítési ház belseje felé. Egy gerjesztő-meghajtó szerkezeti egység van a 4 összehúzó csavarra rádugva, és egy,, a 4 összehúzó csavarra 'felcsavarozott 13 anya révén rá van szorítva a 3 membránra.
A gerjesztő-meghajtó szerelési egység több gyűrő alakú elem Rétegéből áll, nevezetesen egy 5 támasztőgyürüből, amely közvetlenül érintkezésben van a 3 membránnal, egy első 7 piezoelembőí, egy 8 elektródból egy felső 8 plezoelemből és egy 12 nyomógyürüből, mely utóbbi felveszi a 13 anya nyomóerejét, és egyenletesen elosztja a felső 6 piezoelem teljes felületére. A 12 nyomógyürö és az 5 támasztógyűrö fémből van, és egyidejűleg a két 8, 7 piezoelem 8 elektródhoz komplementer elektródjait alkotják.
A 8, 7 plezoelemek belső oldalfelületei egy 10 szigetelőhüvely révén a 4 összehúzó csavarral szemben villamosán szigetelve vannak. Sugárirányban kifelé ezek egy 11 hajtásház áltat vannak körülvéve, amely átfogja az 5 támasziógyűrű és a 12 nyomógyürö kiugrásait, és így ezeket az elemeket egy 5, 8, 7, 8, 12 szerelési egységgé fogja össze. Ez a szerelési egység a nagyobb számú piezoelektromos elemet tartalmazó hagyományos meghajtó egységekkel szemben igen lapos felépítést biztosít, és csak kevés alkatrészből áll. A merevséget csökkentő felöletáfmenetek száma ezáltal csekély.
Mivel a meghajtás ereje az 5 támasztőgyörün keresztül közvetlenül kapcsolódik a 3 membránba, csak egy Igen rövid távolság adódik azon helyek között, amelyekben az 5 támasztógyőrünek ráhatása van a 3 membránra a támaszfögyürű 17 homlokoldalának sugárirányban véve külső tartományában, és a 4 összehúzó csavar tartományában. Az 5 támasztógyőrünek 4 összehúzó csavarral való koncentrikus érintkezése révén a membránnal egy merev kapcsolat adódik.
A 4 összehúzó csavar a 3 membránra nincs ráhegesztve, hanem a 3 membránnal együtt egy darabból van forgácsoló megmunkálással, mint például esztergálással kialakítva. Ezáltal a 4 összehúzó csavarról a 3 membránra való átmenet keresztmetszete azonos szilárdság mellett kisebbre alakítható ki, mint ahogy az egy, a két elem közötti hegesztéses kapcsolatnál lehetséges, ezenkívül kiküszöbölhetők a hegesztésnél bekövetkező anyagkeményeöéssel járó szerkezetváltozások a 3 membránon a 4 összehúzó csavar közeiében, Ez nagyon fontos, mert magának a 3 * ♦
membránnak a feikeményedése nemkívánatos. A membrán ugyanis az egyetlen hajlítható rész az egész rezgöelemben, ahol minden további résznek a membránhoz képest nagy hajlítási merevséggel kell rendelkeznie. A membrán képezi az erőátviteli interfészt (illesztési helyet) a 2 villafogak és a meghajtó egység között. Bármely más alkatrész meghajlása a 2 villafogak és a meghajtó egység közötti széfkapcsolódást segíti elő, és ezért nemkívánatos.
A 8, 7 piezoelektromos elemeket egyidejűleg használjuk mind a meghajtásra (gerjesztésre), mind pedig a rezgések érzékelésére, miként az az EP 0 810 423 számú szabadalmi leírásban is szerepel. Ilyen módon nemcsak a piezoelemek száma csökken, hanem a szükséges érintkeztető elektródok száma is,
Egy első meghajtó potenciált a 8, 7 piezoeiemekhez egy első 9 meghajtó vezetéken keresztül vezetünk be, amely a piezoelemek által közrezárt 8 elektróddal van összekötve. Mivel csak egyetlen 8 csatlakozó elektródra van szükség, ezen a 9 meghajtó elektród közvetlenül rögzítve lehet. Speciális érintkeztető vezetőlapokra nincs szükség, így a rezgőelem igen magas alkalmazási hőmérsékletekre is alkalmas, akár 200 ’C-ig is.
A második meghajtó potenciál a 8, 7 piezoelektromos elemek külső oldalán kerül bevezetésre az 5 támasztógyűrün, illetve a 12 nyomógyürűn keresztül. A 12 nyomógyűrű a 13 anyán és a 4 összehúzó csavaron keresztül villamosán vezető módon van a 3 membránnal összekapcsolva, amely az § támasztógyűrüvel is érintkezésben van. Á membrán viszont a maga részéről egy 18 hegesztéses kapcsolat révén villamosán vezető módon össze van kötve a 14 beépítési házzal amelyhez egy második 15 meghajtó vezeték van csatlakoztatva. Egy adott esetben szükséges potenciálszétválasztás a tartály vonatkozásában, amelybe a 14 beépítési ház be van csavarozva, egy nem ábrázolt kiértékelő elektronikában történhet egy DC-átalakítö (egyenáramú szintlileszíö) segítségévei, és nincs hatása a rezgési tulajdonságokra,
Az első 9 meghajtó vezeték legalább azon a hosszon, amellyel kiterjed a 14 beépítési házon keresztül, árnyékolatlan lehet, mivel a második meghajtó potenciállal ellátott 14 beépítési ház már egy koaxiális árnyékolást jelent az első 9 meghajtó vezeték számára. Ez különösen az érzékelőelemek olyan megvalósítási formájában
X 0 0 »
0 0 0 * * 0 *
0 * * * ♦ * ♦ χ 0 » 00 « Λ 0
- 7 .
történő megoldásnál előnyös, amelyeknél a beépítési háznak a tartály falában való rögzítési helye., jelen esetben a 16 külső menet, és a 3 membrán egy, a tartályba bemerülő, jelentős hosszúságú fém anyagú hosszabbítóesö által külön van választva. Mivel ez a cső már eleve, mint elektromágneses árnyékolás szolgál, elmaradhatnak a bizonyos esetekben akár több méter hosszú, magas bömérsékietáííő, költséges koaxiális összekötő vezetékek,
A meghajtó egység alkatrészeinek kis száma következtében ez a megoldás különösen alkalmas nagy hőmérsékleten, például 200 X- on történő üzemelésre. Mivel a második 15 meghajtó vezeték a tartályfal tartományában, illetve a tartályon kívül érintkezik, nincs szükség semmiféle különleges védőintézkedésre, hogy biztosítsuk az összeköttetés magas hőmérsékletáilóságát. Egyedül az első 9 meghajtó vezeték van a 8 elektróddal a 3 membrán környezetében levő nagyhőmérsékletű tartományban énntkeztetve, Ezt az érintkezést előnyösen ponthegesztéssel vagy krimpeíéssel hozzuk létre, mert a forrasztáson kapcsolat az ilyen alkalmazási hőmérsékletek mellett már nem alkalmazható.
A 3 membránnak és a 4 összehúzó csavarnak egy darabból eszlergálással történő előállítása révén a 4 összehúzó csavar ferde helyzete Itt ugyanúgy ki van küszöbölve, mint az összehúzó csavarnak a 3 membrán középpontján kívüli helyzete. Ugyancsak ki vannak zárva a határozatlan kiterjedésű változások is a membrán acélanyagának míkroszerkezetéhen, mivel elmarad a hegesztési folyamat a rezgőképes membranfelületen. Ez, és a meghajtó egység igen lapos kialakítása, valamint számos tűrésigényes alkatrész elmaradása mind hozzájárul ahhoz, hogy a találmány szerinti rezgőelem hatásfoka független a meghajtó egységnek az összehúzó csavarhoz képesti elfordulási helyzetétől. A meghajtó egység elfordulási helyzetének eddig szükséges beállítása így teljesen elmaradhat a rezgőelem készítésekor. A meghajtó egység cseréje gyorsan, minden nehézség nélkül elvégezhető.

Claims (7)

  1. SZABADALMI IGÉNYPONTOK
    1. Rezgőelem egy rezgőképes membránnal (3), egy piezoelektromos elemekből (6, 7) álló kötegel tartalmazó meghajtó egységgel és egy, a membránnal összekötött összehúzó csavarral (4) a piezoelektromos elemeknek (6, 7) a membránra (3) való rászorítására, ahol az összehúzó csavar (4) és a membrán (3) egy darabból álló alkatrészként van kialakítva, és a membrán (3) erőátviteli interfészt képez villafogak (2) és a meghajtó egység között, azzal jellemezve, hogy az összehúzó csavar (4) és a membrán (3) egy darabból álló forgácsolt alkatrészként van kialakítva.
  2. 2. Az 1. igénypont szerinti rezgőeiem, azzal jellemezve, hogy a koteg egy nyomógyűrű (12) és egy, a membránt (3) érintő támasztógyűrö (5) között van elrendezve, és piezoelektromos elemeket (6, 7) tartalmaz, ahol a nyomógyürű (12) és a támasztógyörö (5) egy első meghajtó potenciállal kapcsolható össze, míg egy, a piezoelektromos elemek (6, 7) között elrendezett elektróda (^ egy második meghajtó potenciállal kapcsolható össze,
  3. 3. A 2. igénypont szerinti rezgöeíem, azzal jellemezve, hogy a támasztógyűrö (5) és a nyomógyürű (12) az összehúzó csavaron (4) keresztül villamosán vezető módon van összekötve,
  4. 4. A 2. vagy 3. igénypont szerinti rezgőeiem, azzal jellemezve, hogy a piezoelektromos elemek (6, 7), a nyomógyürű (12) és a támasztógyörö (5) egy őket körülvevő házrész (11) révén egy szerelési egységgé vannak összefogva, amely a membránról (3) és az összehúzó csavarról (4) levehetöen van elrendezve.
  5. 5. A 2-4, igénypontok bármelyike szerinti rezgőeiem, azzal jellemezve, hogy a támasztógyörö (5) a membránt (3) a membrán (3) felé eső homlokoldalának (17) sugárirányban külső tartományában érinti.
  6. 6. A 2-5, Igénypontok bármelyike szerinti rezgőelem, azzal jellemezve, hogy a nyomógyürű (12) és a támasztógyűrö (5) a rezgőelem egy beépítési házával (14) villamosán vezető módon van összekötve,
  7. 7. Az l-δ. igénypontok bármelyike szerinti rezgőeiem, azzal jellemezve, hogy a villafogak (2) 20-70 mm hosszúságúak.
    fi ** «4*»« »♦
    - 9 8. Az 1-7. igénypontok bármelyike szerinti rezgőetem, ezzel Jellemezve, hogy az összehúzó csavar (4) és a membrán (3) egy darabból álló esztergáit alkatrészként van kialakítva.
HU0302057A 2000-05-15 2001-05-12 Piezoelectrically excited oscillating element HU228414B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10023302A DE10023302C2 (de) 2000-05-15 2000-05-15 Piezoelektrisch erregbares Schwingelement
PCT/EP2001/005437 WO2001088490A1 (de) 2000-05-15 2001-05-12 Piezoelektrisch erregbares schwingelement

Publications (3)

Publication Number Publication Date
HUP0302057A2 HUP0302057A2 (hu) 2003-09-29
HUP0302057A3 HUP0302057A3 (en) 2006-01-30
HU228414B1 true HU228414B1 (en) 2013-03-28

Family

ID=7641797

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HU0302057A HU228414B1 (en) 2000-05-15 2001-05-12 Piezoelectrically excited oscillating element

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6545556B2 (hu)
EP (1) EP1285241B1 (hu)
CN (1) CN1249409C (hu)
DE (2) DE10023302C2 (hu)
HU (1) HU228414B1 (hu)
WO (1) WO2001088490A1 (hu)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9851244B2 (en) 2014-02-04 2017-12-26 Vega Grieshaber Kg Vibration sensor with bonded drive

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7262778B1 (en) 2000-02-11 2007-08-28 Sony Corporation Automatic color adjustment of a template design
DE10341422A1 (de) * 2003-09-09 2005-03-31 Sick Engineering Gmbh Ultraschallwandleranordnung
US7146845B2 (en) * 2004-03-24 2006-12-12 Vega Grieshaber Kg Method for operating tests of vibration level switch sensors and corresponding vibration level switch
DE102004019228A1 (de) * 2004-04-16 2005-11-17 Vega Grieshaber Kg Füllstands-Messvorrichtung
JP5248856B2 (ja) * 2004-07-07 2013-07-31 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 力測定エレメント
US8261615B2 (en) * 2007-01-16 2012-09-11 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Apparatus for determining and/or monitoring a process variable of a medium
DE102007041349A1 (de) * 2007-08-30 2009-03-05 Vega Grieshaber Kg Füllstandsmessvorrichtung zum Bestimmen und/oder Überwachen eines Füllstandes
GB0803901D0 (en) * 2008-03-01 2008-04-09 Mobrey Ltd Vibrating element apparatus
GB0803899D0 (en) * 2008-03-01 2008-04-09 Mobrey Ltd Vibrating element apparatus
US9667365B2 (en) * 2008-10-24 2017-05-30 The Nielsen Company (Us), Llc Methods and apparatus to perform audio watermarking and watermark detection and extraction
DE102008043764A1 (de) 2008-11-14 2010-05-20 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße
CN102032939B (zh) 2009-09-29 2015-12-16 西门子公司 振级传感器
EP2803954B1 (de) 2013-05-15 2019-01-02 VEGA Grieshaber KG Füllstandmessvorrichtung
CN104006863A (zh) * 2014-05-07 2014-08-27 含山县大力精密机械有限公司 一种一体式铸造液位音叉
HUE059513T2 (hu) * 2016-10-20 2022-11-28 Grieshaber Vega Kg Vibrációs szenzor integrált hõérzékelõvel
CN109489771B (zh) * 2018-11-22 2020-06-09 北京航天计量测试技术研究所 一种适用于高温高压、易燃易爆环境的振动式料位开关
DE102019116152A1 (de) * 2019-06-13 2020-12-17 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
CN114018358A (zh) * 2020-07-16 2022-02-08 无锡定华传感网科技有限公司 音叉液位开关及其振动装置
DE102021108462A1 (de) 2021-04-01 2022-10-06 Herrmann Ultraschalltechnik Gmbh & Co. Kg Konverter mit integriertem Bolzen
DE102024102774A1 (de) * 2024-01-31 2025-07-31 Vega Grieshaber Kg Feldgerät mit Radarsensor und Vibrationsgrenzstandsensor und Verfahren zum Betreiben eines Feldgerätes

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4118793C2 (de) * 1991-06-07 1995-02-09 Endress Hauser Gmbh Co Vorrichtung zur Feststellung und/oder Überwachung eines vorbestimmten Füllstandes in einem Behälter
DE19621449C2 (de) * 1996-05-29 2000-11-30 Grieshaber Vega Kg Vibrationsresonator, Verfahren zum Betreiben eines solchen Vibrationsresonators und Vibrations-Füllstand-Grenzschalter mit einem solchen Vibrationsresonator
EP0875741B1 (de) * 1997-04-30 2008-08-20 Endress + Hauser GmbH + Co. KG Anordnung zur Feststellung und/oder Überwachung eines vorbestimmten Füllstands in einem Behälter
DE59712903D1 (de) * 1997-04-30 2008-01-31 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Vorrichtung zur Feststellung und/oder Überwachung eines vorbestimmten Füllstands in einem Behälter
EP0985916B1 (de) * 1998-09-09 2007-07-18 Endress + Hauser GmbH + Co. KG Vorrichtung zur Feststellung und/oder Überwachung eines vorbestimmten Füllstandes in einem Behälter

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9851244B2 (en) 2014-02-04 2017-12-26 Vega Grieshaber Kg Vibration sensor with bonded drive

Also Published As

Publication number Publication date
US20020014117A1 (en) 2002-02-07
HK1056773A1 (en) 2004-02-27
DE50115474D1 (de) 2010-06-17
WO2001088490A1 (de) 2001-11-22
US6545556B2 (en) 2003-04-08
CN1439093A (zh) 2003-08-27
EP1285241A1 (de) 2003-02-26
DE10023302A1 (de) 2001-11-29
DE10023302C2 (de) 2003-11-13
EP1285241B1 (de) 2010-05-05
HUP0302057A3 (en) 2006-01-30
HUP0302057A2 (hu) 2003-09-29
CN1249409C (zh) 2006-04-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
HU228414B1 (en) Piezoelectrically excited oscillating element
US10107670B2 (en) Apparatus for determining and/or monitoring at least one process variable
US4922745A (en) Fluid transducer
US5492016A (en) Capacitive melt pressure measurement with center-mounted electrode post
JP4242841B2 (ja) 少なくとも一つの物理的パラメータを測定及び/又は監視し、振動励起及び振動検出のためにピエゾドライブを有する装置
US8752426B2 (en) Fill-level measuring device
JPH0765919B2 (ja) 容器の所定充填レベルを確認/監視する装置
CA2175303C (en) Device for establishing and/or monitoring a predetermined filling level in a container
KR101345268B1 (ko) 연소실 외부에서 가열 막대를 둘러싸는 부하 검출 슬리브를 갖는 글로우 플러그
CN110662609B (zh) 超声换能器、超声流量计和超声填充水平计
JP6091419B2 (ja) レーザ加工ヘッド
EP1562030B1 (en) Pressure sensor with metal diaphragm
CN109752280B (zh) 用于确定流体介质的密度的密度测量装置
CN120359394A (zh) 用于确定和/或监测介质的至少一个过程变量的设备
US20240269767A1 (en) Ultrasonic welding device comprising a force sensor
US10234324B2 (en) Apparatus for determining and/or monitoring a process variable
JP3879264B2 (ja) 超音波センサ
CN121511393A (zh) 振动传感器
HK1056773B (zh) 可压电激励的振动元件
JP2000337988A (ja) 圧力検出装置
US20240328849A1 (en) Vibration sensor
JP2008151599A (ja) 超音波探触子
EP4650619A1 (en) Field device with tunable damping arrangement and configuration method
US20250237542A1 (en) Decoupling unit for a vibronic sensor
US20080272766A1 (en) Inductive sensor

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of definitive patent protection due to non-payment of fees