HK1218168B

HK1218168B - Movable body drive method and movable body drive system, pattern formation method and apparatus, exposure method and apparatus, and device manufacturing method

Info

Publication number: HK1218168B
Application number: HK16106140.8A
Authority: HK
Inventors: Yuichi Shibazaki
Original assignee: Nikon Corporation
Priority date: 2006-09-01
Filing date: 2016-05-31
Publication date: 2018-05-11

Claims

Appareil d'exposition (100) pour exposer un objet (W) au moyen d'un faisceau d'énergie (IL) par l'intermédiaire d'un système optique de projection (PL), l'appareil comprenant:
un élément de cadre pour supporter le système optique de projection ;

un corps mobile (WST) qui possède un organe de maintien pour maintenir l'objet, et qui peut être déplacé au moins dans une première direction et une deuxième direction orthogonales l'une à l'autre dans un plan prédéterminé, et qui peut également être incliné par rapport au plan prédéterminé, le plan prédéterminé étant perpendiculaire à un axe optique (AX) du système optique de projection ;

un système d'entraînement (124) configuré pour déplacer le corps mobile ;

un système codeur dans lequel l'une parmi une section réseau (39X₁, 39X₂, 39Y₁, 39Y₂) et des têtes (62A, 62B, 62C, 62D) est disposée sur le corps mobile et l'autre de la section réseau et des têtes est disposée sur l'élément de cadre de sorte à faire face au corps mobile sur un côté d'extrémité inférieure du système optique de projection, et qui est configuré pour mesurer des informations de position du corps mobile avec une pluralité des têtes qui font face à la section réseau ; et

un dispositif de commande (20) configuré pour commander le système d'entraînement, sur la base d'informations de correction pour compenser une erreur de mesure du système codeur, caractérisé en ce que l'erreur de mesure du système codeur se produit du fait d'une différence de position entre un plan de référence avec lequel l'objet coïncide quasiment à un moment de l'exposition et une surface de réseau de la section réseau, dans une troisième direction orthogonale au plan prédéterminé, et sur la base d'informations de mesure du système codeur.
Appareil d'exposition selon la revendication 1, dans lequel l'autre de la section réseau et des têtes est supportée de manière suspendue à l'élément de cadre par l'intermédiaire d'un élément de support.
Appareil d'exposition selon la revendication 1 ou 2, comprenant en outre :
un système de détection (AL1) supporté par l'élément de cadre, à l'écart du système optique de projection, et configuré pour détecter des informations de position de l'objet en irradiant l'objet par un faisceau de mesure, dans lequel

dans chacune d'une opération d'exposition de l'objet et d'une opération de détection de l'objet, les informations de position du corps mobile sont mesurées par le système codeur.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant en outre :
une unité de buse (32) disposée de sorte à entourer une partie d'extrémité inférieure du système optique de projection et configurée pour former une région d'immersion dans du liquide (14) avec un liquide (Lq) sous le système optique de projection, dans lequel

l'autre de la section réseau et des têtes est disposée sur un côté externe de l'unité de buse par rapport au système optique de projection, et

l'objet est exposé par l'intermédiaire du système optique de projection et du liquide de la région d'immersion dans du liquide.
Appareil d'exposition selon la revendication 4, dans lequel l'unité de buse est disposée sur l'élément de cadre.
Appareil d'exposition selon la revendication 4, dans lequel l'unité de buse est disposée sur un autre élément de cadre différent de l'élément de cadre.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel le corps mobile est pourvu des têtes et il est déplacé au-dessous de la section réseau dans une opération d'exposition de l'objet.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel le dispositif de commande est configuré pour permuter une tête particulière de la pluralité de têtes utilisées pour la mesure par le système codeur pour une autre tête pendant un déplacement du corps mobile, et après la permutation, les informations de position du corps mobile sont mesurées par une pluralité de têtes qui incluent des têtes restantes et l'autre tête, les têtes restantes excluant la tête particulière de la pluralité de têtes utilisées avant la permutation.
Appareil d'exposition selon la revendication 8, dans lequel la permutation est effectuée tandis que les têtes utilisées avant la permutation et les têtes à utiliser après la permutation font toutes face à la section réseau.
Appareil d'exposition selon la revendication 8 ou 9, dans lequel des informations de position pour commander un déplacement du corps mobile sont acquises en utilisant l'autre tête après la permutation, sur la base d'informations de position mesurées par la pluralité de têtes utilisées avant la permutation.
Appareil d'exposition selon la revendication 10, dans lequel l'acquisition des informations de position est effectuée tandis que la pluralité de têtes utilisées avant la permutation et l'autre tête font face à la section réseau.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 8 à 11, dans lequel avant la permutation, les informations de position du corps mobile sont mesurées par trois des têtes, la permutation est effectuée tandis que quatre têtes incluant les trois têtes utilisées avant la permutation et l'autre tête font face à la section réseau, et après la permutation, les informations de position du corps mobile sont mesurées par trois têtes incluant deux têtes restantes et l'autre tête, les deux têtes restantes excluant la tête particulière des trois têtes utilisées avant la permutation.
Appareil d'exposition selon la revendication 12, dans lequel dans au moins une opération d'exposition de l'objet, les trois têtes ou les quatre têtes font face à la section réseau, et pendant un déplacement du corps mobile, les têtes qui font face à la section réseau sont échangées de la tête particulière parmi les trois têtes et des quatre têtes à l'autre.
Appareil d'exposition selon la revendication 12 ou 13, dans lequel la section réseau inclut quatre éléments d'échelle, chacun des quatre éléments d'échelle ayant un réseau de type réfléchissant formée sur celui-ci, et dans au moins une opération d'exposition de l'objet, les informations de position du corps mobile sont mesurées par les trois têtes ou les quatre têtes qui font respectivement face à trois ou quatre des quatre éléments d'échelle.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, dans lequel le plan de référence est un plan d'image du système optique de projection.
Procédé d'exposition pour exposer un objet (W) au moyen d'un faisceau d'énergie (IL) par l'intermédiaire d'un système optique de projection (PL), le procédé comprenant :
le déplacement d'un corps mobile (WST) qui possède un organe de maintien pour maintenir l'objet et qui peut être déplacé au moins dans une première direction et une deuxième direction orthogonales l'une à l'autre dans un plan prédéterminé, et qui peut également être incliné par rapport au plan prédéterminé, le plan prédéterminé étant perpendiculaire à un axe optique (AX) du système optique de projection ;

l'utilisation d'un système codeur dans lequel l'une parmi une section réseau (39X₁, 39X₂, 39Y₁, 39Y₂) et des têtes (62A, 62B, 62C, 62D) est disposée sur le corps mobile et l'autre de la section réseau et des têtes est disposée sur un élément de cadre de sorte à faire face au corps mobile sur un côté d'extrémité inférieure du système optique de projection, pour mesurer des informations de position du corps mobile avec une pluralité des têtes qui font face à la section réseau, l'élément de cadre supportant le système optique de projection ; et

la commande d'un déplacement du corps mobile, sur la base d'informations de correction pour compenser une erreur de mesure du système codeur qui se produit du fait d'une différence de position entre un plan de référence avec lequel l'objet coïncide quasiment à un moment de l'exposition et une surface de réseau de la section réseau, dans une troisième direction orthogonale au plan prédéterminé, et sur la base d'informations de mesure du système codeur.
Procédé d'exposition selon la revendication 16, dans lequel l'autre de la section réseau et des têtes est supportée de manière suspendue à l'élément de cadre par l'intermédiaire d'un élément de support, afin de détecter des informations de position de l'objet, un faisceau de mesure est irradié sur l'objet par un système de détection (AL1) supporté par l'élément de cadre, à l'écart du système optique de projection, et dans chacune d'une opération d'exposition de l'objet et d'une opération de détection de l'objet, les informations de position du corps mobile sont mesurées par le système codeur.
Procédé d'exposition selon la revendication 16 ou 17, dans lequel une région d'immersion dans du liquide (14) est formée avec un liquide (Lq) sous le système optique de projection, par une unité de buse (32) disposée de sorte à entourer une partie d'extrémité inférieure du système optique de projection, et l'objet est exposé par l'intermédiaire du système optique de projection et du liquide de la région d'immersion dans du liquide, l'autre de la section réseau et des têtes est disposée sur un côté externe de l'unité de buse par rapport au système optique de projection, et l'unité de buse est disposée au niveau de l'élément de cadre ou d'un autre élément de cadre différent de l'élément de cadre.
Procédé d'exposition selon l'une quelconque des revendications 16 à 18, dans lequel au cours d'un déplacement du corps mobile, une tête particulière de la pluralité de têtes utilisées pour la mesure par le système codeur est permutée pour une autre tête, et après la permutation, les informations de position du corps mobile sont mesurées par une pluralité de têtes qui incluent des têtes restantes et l'autre tête, les têtes restantes excluant la tête particulière de la pluralité de têtes utilisées avant la permutation.
Procédé d'exposition selon la revendication 19, dans lequel la permutation est effectuée pendant que les têtes utilisées avant la permutation et les têtes à utiliser après la permutation font toutes face à la section réseau.
Procédé d'exposition selon la revendication 19 ou 20, dans lequel des informations de position pour commander un déplacement du corps mobile sont acquises en utilisant l'autre tête après la permutation, sur la base d'informations de position mesurées par la pluralité de têtes utilisées avant la permutation.
Procédé d'exposition selon la revendication 21, dans lequel l'acquisition des informations de position est effectuée tandis que la pluralité de têtes utilisées avant la permutation et l'autre tête font face à la section réseau.
Procédé d'exposition selon l'une quelconque des revendications 19 à 22, dans lequel avant la permutation, les informations de position du corps mobile sont mesurées par trois des têtes, la permutation est effectuée tandis que quatre têtes incluant les trois têtes utilisées avant la permutation et l'autre tête font face à la section réseau, et après la permutation, les informations de position du corps mobile sont mesurées par trois têtes incluant deux têtes restantes et l'autre tête, les deux têtes restantes excluant la tête particulière des trois têtes utilisées avant la permutation.
Procédé d'exposition selon l'une quelconque des revendications 16 à 23, dans lequel le plan de référence est un plan d'image du système optique de projection.
Procédé de fabrication de dispositif, incluant :
l'exposition d'un substrat en utilisant le procédé d'exposition selon l'une quelconque des revendications 16 à 24; et

le développement du substrat qui a été exposé.