HK1205285B

HK1205285B - Silicon overcoil balance spring

Info

Publication number: HK1205285B
Application number: HK15105482.7A
Authority: HK
Inventors: Yingnan Wang; Ho Ching
Original assignee: Master Dynamic Limited
Priority date: 2013-07-29
Filing date: 2015-06-09
Publication date: 2018-05-04

Claims

Verfahren zum Herstellen einer einheitlich gebildeten Silicium-Ausgleichsfeder (2) mit einem Endkurvenabschnitt zur Regelung einer mechanischen Uhr, wobei das Verfahren die folgenden Schritte enthält:
(i) Bereitstellen einer Silicium-Ausgleichsfeder mit einem Hauptkörperabschnitt (23) und einem Außenabschnitt (22) zur Bildung eines Endkurvenabschnitts, wobei sich der Außenabschnitt von einer äußersten Windung des Hauptkörperabschnitts radial nach außen erstreckt und wobei der Hauptkörperabschnitt und der Außenabschnitt einstückig aus einem Silicium-basierten Material gebildet sind und in einer koplanaren Konfiguration gebildet sind;

(ii) Bewegen des Außenabschnitts (22) in eine Richtung relativ zur und aus der Ebene des Hauptkörperabschnitts (23) heraus, und in eine Richtung hin über den Hauptkörperabschnitt und hin zur Ebene des Hauptkörperabschnitts; und

(iii) Bereitstellen eines Entspannungsprozesses für die Ausgleichsfeder, um innere Spannungen abzubauen, die durch Schritt (ii) in die Ausgleichsfeder eingebracht werden;
wobei sich, bei der Bewegung des Außenabschnitts (22) in die Ebene des Hauptkörperabschnitts (23), der Außenabschnitt in einer zum Hauptkörperabschnitt relativen Endkurvenkonfiguration befindet.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Bewegung des Schritts (ii) inkrementell in die Richtung hin über den Hauptkörperabschnitt (23) und hin zur Ebene des Hauptkörperabschnitts durchgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 2, wobei Schritt (iii) zwischen oder während der inkrementellen Schritte von Schritt (ii) durchgeführt wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ein Oxidationsschritt zumindest des Außenabschnitts vor dem Durchführen von Schritt (ii) durchgeführt wird, um Spannungskonzentrationsdefekte zu entfernen oder zu minimieren.
Verfahren nach Anspruch 4, wobei der Oxidationsschritt ein Aussetzen an eine Fluorwasserstofflösung enthält.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, ferner enthaltend den Schritt des Verdrehens des Außenabschnitts (22) um mindestens eine 180°-Drehung, wobei die mindestens eine 180°-Drehung um die Längsachse des Außenabschnitts erfolgt und wobei der Außenabschnitt in einem Bereich verdreht wird, der benachbart zur Außenwindung des Hauptkörperabschnitts (23) ist.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Entspannungsprozess bei einer Temperatur von über 500 °C durchgeführt wird, mehr bevorzugt bei einer Temperatur von über 700 °C, und mehr bevorzugt bei einer Temperatur von über 1100 °C.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Entspannungsprozess mindestens 10 Stunden lang durchgeführt wird, mehr bevorzugt mindestens 20 Stunden lang, und mehr bevorzugt mindestens 30 Stunden lang.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Ausgleichsfeder (2) durch eine Mikrofabrikationstechnik gebildet wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Ausgleichsfeder (2) durch eine Technik des reaktiven Ionentiefenätzens (DRIE; deep reactive ion etching) gebildet wird.
Silicium-basierte Ausgleichsfeder (2), aufweisend:
einen Hauptkörperabschnitt (23) mit einer Federanordnung zum Bereitstellen eines Wiederherstellungs-Drehmoments zur Regelung einer mechanischen Uhr, und

einen Endkurvenabschnitt (22), wobei der Hauptkörperabschnitt und der Endkurvenabschnitt einheitlich nach einem der Ansprüche 1 bis 10 gebildet sind.
Silicium-basierte Ausgleichsfeder (2) nach Anspruch 11, wobei die Ausgleichsfeder durch eine Mikrofabrikationstechnik gebildet wird.
Silicium-basierte Ausgleichsfeder nach Anspruch 11 oder Anspruch 12, wobei die Ausgleichsfeder durch eine Technik des reaktiven Ionentiefenätzens (DRIE; deep reactive ion etching) gebildet wird.