[go: up one dir, main page]

HK1168151B - Band excitation method applicable to scanning probe microscopy - Google Patents

Band excitation method applicable to scanning probe microscopy Download PDF

Info

Publication number
HK1168151B
HK1168151B HK12107773.4A HK12107773A HK1168151B HK 1168151 B HK1168151 B HK 1168151B HK 12107773 A HK12107773 A HK 12107773A HK 1168151 B HK1168151 B HK 1168151B
Authority
HK
Hong Kong
Prior art keywords
frequency
response
amplitude
signal
band
Prior art date
Application number
HK12107773.4A
Other languages
German (de)
English (en)
Chinese (zh)
Other versions
HK1168151A (en
Inventor
Stephen Jesse
Sergei V. Kalinin
Original Assignee
Ut-Battelle, Llc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ut-Battelle, Llc filed Critical Ut-Battelle, Llc
Publication of HK1168151A publication Critical patent/HK1168151A/en
Publication of HK1168151B publication Critical patent/HK1168151B/en

Links

Claims (16)

  1. Procédé, comprenant le fait :
    de générer un signal d'excitation de bande ayant un spectre d'amplitude et de phase fini et prédéfini dans au moins une bande de fréquences prédéterminée ;
    d'exciter simultanément un microscope à sonde locale à une pluralité de fréquences dans la bande de fréquences prédéterminée en utilisant le signal d'excitation de bande ;
    d'obtenir des données en mesurant une réponse du microscope à sonde locale dans la bande de fréquences prédéterminée ; et
    d'analyser les données obtenues par la réponse mesurée et d'extraire au moins un paramètre dynamique pertinent sur la base de la réponse mesurée du microscope à sonde locale dans une plage prédéfinie.
  2. Procédé de la revendication 1, comprenant en outre le fait de balayer un échantillon maintenu dans un appareil et de mesurer la réponse du microscope à sonde locale à chaque position croisée au cours du balayage.
  3. Procédé de la revendication 2, comprenant en outre le fait d'effectuer une transformée mathématique, par un processeur d'un extracteur de paramètre dynamique pertinent, sur la réponse mesurée et de délivrer en sortie des données d'amplitude-fréquence et des données de phase-fréquence à chaque position balayée de l'échantillon.
  4. Procédé de la revendication 3, dans lequel la fonction mathématique est choisie dans le groupe consistant en une transformée intégrale et une transformée discrète.
  5. Procédé de la revendication 3, comprenant en outre le fait d'extraire la fréquence de résonance, l'amplitude maximale et des paramètres du facteur Q pour chaque position de l'échantillon sur la base d'une analyse des données d'amplitude-fréquence et des données de phase-fréquence.
  6. Procédé de la revendication 5, dans lequel le paramètre dynamique pertinent extrait la fréquence de résonance, l'amplitude maximale et des paramètres du facteur Q indépendamment pour chaque position.
  7. Procédé de la revendication 1, dans lequel la réponse du microscope à sonde locale est mesurée dans une fenêtre de fréquences sélectionnée autour d'une fréquence de résonance.
  8. Procédé de la revendication 7, dans lequel la réponse du microscope à sonde locale est mesurée sur ladite bande de fréquences prédéterminée.
  9. Procédé de la revendication 1, dans lequel le signal d'excitation comporte une densité d'amplitude et de phase commandée dans la bande de fréquences prédéterminée.
  10. Procédé de la revendication 1, comprenant en outre le fait de balayer une pluralité de points.
  11. Procédé de la revendication 10, dans lequel la pluralité de points sont définis par une surface d'échantillon.
  12. Procédé de la revendication 10, dans lequel le signal d'excitation de bande est généré avant l'imagerie et n'est pas changé par rapport à la pluralité de points.
  13. Procédé de la revendication 10, comprenant en outre le fait de resynthétiser le signal d'excitation de bande à chacun de la pluralité de points en fonction, au moins en partie, d'un changement de l'au moins un paramètre dynamique pertinent de la réponse du microscope à sonde locale qui est caractéristique des propriétés locales d'un échantillon.
  14. Procédé de la revendication 13, dans lequel la resynthèse comporte le fait de fournir une rétroaction fonctionnelle active.
  15. Procédé de la revendication 14, dans lequel la fonction est définie, au moins en partie, par au moins un paramètre dynamique choisi dans le groupe consistant en l'amplitude, le facteur de qualité, la fréquence de résonance, la courbe amplitude-fréquence et la courbe phase-fréquence.
  16. Programme informatique, comprenant des éléments de programme lisibles par ordinateur ou par machine traduisibles pour mettre en oeuvre le procédé de la revendication 1.
HK12107773.4A 2006-09-01 2009-11-25 Band excitation method applicable to scanning probe microscopy HK1168151B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US515348 2006-09-01

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HK09110986.6A Addition HK1131213B (en) 2006-09-01 2007-09-04 Scanning probe microscopy with band excitation

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HK09110986.6A Division HK1131213B (en) 2006-09-01 2007-09-04 Scanning probe microscopy with band excitation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
HK1168151A HK1168151A (en) 2012-12-21
HK1168151B true HK1168151B (en) 2018-09-14

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2416164B1 (fr) Procédé d'excitation de bande applicable à la microscopie à sonde à balayage
US6185991B1 (en) Method and apparatus for measuring mechanical and electrical characteristics of a surface using electrostatic force modulation microscopy which operates in contact mode
US8024963B2 (en) Material property measurements using multiple frequency atomic force microscopy
Rogers et al. Improving tapping mode atomic force microscopy with piezoelectric cantilevers
Jesse et al. Band excitation in scanning probe microscopy: sines of change
US7979916B2 (en) Preamplifying cantilever and applications thereof
US7451638B1 (en) Harmonic cantilevers and imaging methods for atomic force microscopy
US10557865B2 (en) Quantitative measurements using multiple frequency atomic force microscopy
US7603891B2 (en) Multiple frequency atomic force microscopy
US20110154546A1 (en) Thermal measurements using multiple frequency atomic force microscopy
Proksch et al. Energy dissipation measurements in frequency-modulated scanning probe microscopy
US9977050B2 (en) Wear-less operation of a material surface with a scanning probe microscope
WO2008156722A1 (fr) Mesures de propriétés d'un matériau en utilisant une microscopie à force atomique et à fréquences multiples
HK1168151B (en) Band excitation method applicable to scanning probe microscopy
HK1168151A (en) Band excitation method applicable to scanning probe microscopy
HK1131213B (en) Scanning probe microscopy with band excitation
HK1131213A (en) Scanning probe microscopy with band excitation
Murdfield et al. Acoustic and dynamic force microscopy with ultrasonic probes
Rodriguez et al. Dynamic and spectroscopic modes and multivariate data analysis in piezoresponse force microscopy
Burns et al. Automatic lateral resonance identification from cantilever deflection information in high speed atomic force microscopy
Oliver et al. Imaging local dielectric and mechanical responses with dynamic heterodyned electrostatic force microscopy
Oliver et al. Dynamic heterodyned polarization imaging: a scanning probe technique for studying polarization dynamics in materials