HK1168151B - Band excitation method applicable to scanning probe microscopy - Google Patents
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Claims (16)
- Procédé, comprenant le fait :de générer un signal d'excitation de bande ayant un spectre d'amplitude et de phase fini et prédéfini dans au moins une bande de fréquences prédéterminée ;d'exciter simultanément un microscope à sonde locale à une pluralité de fréquences dans la bande de fréquences prédéterminée en utilisant le signal d'excitation de bande ;d'obtenir des données en mesurant une réponse du microscope à sonde locale dans la bande de fréquences prédéterminée ; etd'analyser les données obtenues par la réponse mesurée et d'extraire au moins un paramètre dynamique pertinent sur la base de la réponse mesurée du microscope à sonde locale dans une plage prédéfinie.
- Procédé de la revendication 1, comprenant en outre le fait de balayer un échantillon maintenu dans un appareil et de mesurer la réponse du microscope à sonde locale à chaque position croisée au cours du balayage.
- Procédé de la revendication 2, comprenant en outre le fait d'effectuer une transformée mathématique, par un processeur d'un extracteur de paramètre dynamique pertinent, sur la réponse mesurée et de délivrer en sortie des données d'amplitude-fréquence et des données de phase-fréquence à chaque position balayée de l'échantillon.
- Procédé de la revendication 3, dans lequel la fonction mathématique est choisie dans le groupe consistant en une transformée intégrale et une transformée discrète.
- Procédé de la revendication 3, comprenant en outre le fait d'extraire la fréquence de résonance, l'amplitude maximale et des paramètres du facteur Q pour chaque position de l'échantillon sur la base d'une analyse des données d'amplitude-fréquence et des données de phase-fréquence.
- Procédé de la revendication 5, dans lequel le paramètre dynamique pertinent extrait la fréquence de résonance, l'amplitude maximale et des paramètres du facteur Q indépendamment pour chaque position.
- Procédé de la revendication 1, dans lequel la réponse du microscope à sonde locale est mesurée dans une fenêtre de fréquences sélectionnée autour d'une fréquence de résonance.
- Procédé de la revendication 7, dans lequel la réponse du microscope à sonde locale est mesurée sur ladite bande de fréquences prédéterminée.
- Procédé de la revendication 1, dans lequel le signal d'excitation comporte une densité d'amplitude et de phase commandée dans la bande de fréquences prédéterminée.
- Procédé de la revendication 1, comprenant en outre le fait de balayer une pluralité de points.
- Procédé de la revendication 10, dans lequel la pluralité de points sont définis par une surface d'échantillon.
- Procédé de la revendication 10, dans lequel le signal d'excitation de bande est généré avant l'imagerie et n'est pas changé par rapport à la pluralité de points.
- Procédé de la revendication 10, comprenant en outre le fait de resynthétiser le signal d'excitation de bande à chacun de la pluralité de points en fonction, au moins en partie, d'un changement de l'au moins un paramètre dynamique pertinent de la réponse du microscope à sonde locale qui est caractéristique des propriétés locales d'un échantillon.
- Procédé de la revendication 13, dans lequel la resynthèse comporte le fait de fournir une rétroaction fonctionnelle active.
- Procédé de la revendication 14, dans lequel la fonction est définie, au moins en partie, par au moins un paramètre dynamique choisi dans le groupe consistant en l'amplitude, le facteur de qualité, la fréquence de résonance, la courbe amplitude-fréquence et la courbe phase-fréquence.
- Programme informatique, comprenant des éléments de programme lisibles par ordinateur ou par machine traduisibles pour mettre en oeuvre le procédé de la revendication 1.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US515348 | 2006-09-01 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| HK09110986.6A Addition HK1131213B (en) | 2006-09-01 | 2007-09-04 | Scanning probe microscopy with band excitation |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| HK09110986.6A Division HK1131213B (en) | 2006-09-01 | 2007-09-04 | Scanning probe microscopy with band excitation |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| HK1168151A HK1168151A (en) | 2012-12-21 |
| HK1168151B true HK1168151B (en) | 2018-09-14 |
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