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HK1168151B - Band excitation method applicable to scanning probe microscopy - Google Patents

Band excitation method applicable to scanning probe microscopy Download PDF

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Publication number
HK1168151B
HK1168151B HK12107773.4A HK12107773A HK1168151B HK 1168151 B HK1168151 B HK 1168151B HK 12107773 A HK12107773 A HK 12107773A HK 1168151 B HK1168151 B HK 1168151B
Authority
HK
Hong Kong
Prior art keywords
frequency
response
amplitude
signal
band
Prior art date
Application number
HK12107773.4A
Other languages
English (en)
French (fr)
Chinese (zh)
Other versions
HK1168151A (en
Inventor
Stephen Jesse
Sergei V. Kalinin
Original Assignee
Ut-Battelle, Llc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ut-Battelle, Llc filed Critical Ut-Battelle, Llc
Publication of HK1168151A publication Critical patent/HK1168151A/en
Publication of HK1168151B publication Critical patent/HK1168151B/en

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Claims (16)

  1. Verfahren, folgendes aufweisend:
    Erzeugen eines Bandanregungssignals mit endlicher und vordefinierter Amplitude und Phasenspektrum in mindestens einem vorbestimmten Frequenzband;
    gleichzeitiges Anregen eines Rastersondenmikroskops bei einer Vielzahl von Frequenzen innerhalb eines vorbestimmten Frequenzbands unter Verwendung des Bandanregungssignal;
    Erhalten von Messwerten durch Messen einer Reaktion des Rastersondenmikroskops in dem vorbestimmten Frequenzband; und
    Auswerten der durch die gemessene Reaktion erhaltenen Messwerte und Extrahieren von mindestens einem relevanten dynamischen Parameter auf Basis der gemessenen Reaktion des Rastersondenmikroskops in einem vordefinierten Bereich.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend das Scannen einer in ein Gerät gehaltenen Probe und Messen der Reaktion des Rastersondenmikroskops an jeder während des Scannens überstrichenen Position.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, weiterhin aufweisend das Durchführen einer mathematischen Transformation durch einen Prozessor eines relevanten dynamischen Parameter-Extraktors mit der gemessenen Reaktion und Ausgeben von Amplitude-Frequenz-Messwerten und Phasen-Frequenz-Messwerten an jeder gescannten Position der Probe.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die mathematische Funktion aus der Gruppe ausgewählt wird, bestehend aus einer integralen Transformation und einer diskreten Transformation.
  5. Verfahren nach Anspruch 3, weiterhin aufweisend das Extrahieren von Resonanzfrequenz, maximaler Amplitude, und Q-Faktorparametern für jede Position der Probe auf Basis einer Analyse der Amplituden-Frequenz-Messwerte und der Phasen-Frequenz-Messwerte.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, wobei der relevante dynamische Parameter Resonanzfrequenz, die maximale Amplitude und Q-Faktorparameter unabhängig für jede Position extrahiert.
  7. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Reaktion des Rastersondenmikroskops in einem ausgewählten Frequenzfenster um die Resonanzfrequenz gemessen wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, wobei die Reaktion des Rastersondenmikroskops über das vorbestimmte Frequenzband gemessen wird.
  9. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Anregungssignal ein kontrollierte Amplitude und Phasendichte innerhalb des vorbestimmten Frequenzbands aufweist.
  10. Verfahren nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend das Scannen einer Vielzahl von Punkten.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, wobei die Vielzahl von Punkten durch eine Probenoberfläche definiert wird.
  12. Verfahren nach Anspruch 10, wobei das Bandanregungssignal vor der Bilderzeugung erzeugt und bezüglich der Vielzahl von Punkten nicht geändert wird.
  13. Verfahren nach Anspruch 10, weiterhin aufweisend das Resynthetisieren des Bandanregungssignals an jedem der Vielzahl von Punkten als eine Funktion, mindestens zum Teil, einer Änderung in dem mindestens einen relevanten dynamischen Parameter der Reaktion des Rastersondenmikroskops, der für die lokalen Eigenschaften einer Probe charakteristisch ist.
  14. Verfahren nach Anspruch 13, wobei das Resynthetisieren das Bereitstellen einer aktiven betrieblichen Rückkopplung aufweist.
  15. Verfahren nach Anspruch 14, wobei die Funktion, mindestens zum Teil, durch mindestens einen dynamischen Parameter definiert wird, der ausgewählt wird aus der Gruppe bestehend aus Amplitude, Qualitätsfaktor, Resonanzfrequenz, Amplitude-Frequenz-Kurve und Phasen-Frequenzkurve.
  16. Computerprogramm, aufweisend Computer- oder Maschinen-lesbare Programmelemente, die zur Implementierung des Verfahrens nach Anspruch 1 übersetzbar sind.
HK12107773.4A 2006-09-01 2009-11-25 Band excitation method applicable to scanning probe microscopy HK1168151B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US515348 2006-09-01

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HK09110986.6A Addition HK1131213B (en) 2006-09-01 2007-09-04 Scanning probe microscopy with band excitation

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HK09110986.6A Division HK1131213B (en) 2006-09-01 2007-09-04 Scanning probe microscopy with band excitation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
HK1168151A HK1168151A (en) 2012-12-21
HK1168151B true HK1168151B (en) 2018-09-14

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