HK1158361B - 静电吸盘的检查方法以及静电吸盘装置 - Google Patents

Description

静电吸盘的检查方法以及静电吸盘装置

技术领域

本发明涉及一种静电吸盘装置中的静电吸盘的检查方法以及静电吸盘装置，所述静电吸盘装置具备在电介质内具有两个吸附电极的双极型静电吸盘、和向它供给吸附用的直流电压的吸盘电源。

背景技术

在如上述那样的双极型静电吸盘的制造后的检查、将该静电吸盘安装在半导体制造装置等使用装置中后的检查等中，从以往就检查静电吸盘内有无异常。

作为检查静电吸盘内有无异常的方法，以往例如如下地进行：使用分别设在静电吸盘的两个吸附电极与吸盘电源之间的两个电流计，测量在没有载置基板等被吸附物的状态下流过两吸附电极的泄漏电流[电源接通后的稳态电流(即，稳定为一定值的电流)]。

此外，在专利文献1中，虽然没有记载检查静电吸盘内有无异常的方法，但是记载有与上述相同的两个电流计、和流过该两个电流计的电流波形的例子。上述泄漏电流，与在该专利文献1的图3中记载的、不配置基板时的电流的稳态电流相当。

然而，在该专利文献1所记载的以往的检查方法中，虽然知道有无直流的绝缘不佳，但是无法判别静电吸盘内的静电电容的异常。静电吸盘是通过静电来吸附被吸附物的部件，因此静电吸盘内的静电电容的异常成为针对被吸附物的吸附力异常的原因。另外，对于在静电吸盘上是否有被吸附物、或者被吸附物是否被正常地吸附的判定也带来不良影响。因此，不是检测直流的绝缘不佳而是检测静电电容的异常是重要的。

并且，在上述专利文献1的检查方法中，虽然根据上述泄漏电流的大小来知道在静电吸盘内的何处发生绝缘不佳，但是无法判别哪个吸附电极的周边发生异常。例如，无法判别在两个吸附电极内的哪个的周边发生异常、或者在两吸附电极间具有异常。在两个电流计的测量值中有差的情况下，虽然也许有时能够推测异常地方更接近哪个吸附电极，但是该推测未必正确。

另外，与上述专利文献1不同，在具备在下部电介质层和上部电介质层之间具有吸盘电极的静电吸盘、和配置在该静电吸盘的下方的下部电极的玻璃基板的载置台上，作为在静电吸盘的使用开始前诊断该电介质层的绝缘状态的方法，提出了如下方法(专利文献2)：向静电吸盘的吸盘电极施加比吸附保持玻璃基板的情况还低的直流的诊断电压，测量此时的静电吸盘的电特性(电压、电流)，通过所得到的测量数据和预设的设定数据来判定静电吸盘是否能够使用。

然而，在该专利文献2所记载的静电吸盘的诊断方法中，虽然与专利文献1的情况相同地，通过比较测量数据与设定数据也能够判别是否在静电吸盘内的哪个位置处发生绝缘不佳，但是无法判别在哪个吸附电极的周边发生异常。

专利文献1：日本特开平11-330，220号公报(图1、图3)

专利文献2：日本特开2008-047，564号公报(图1、图2)

发明内容

然而，静电吸盘是通过静电来吸附被吸附物的部件，因此静电吸盘内的静电电容的异常成为针对被吸附物的吸附力异常的原因，特别是，在电介质内具有沿着该电介质的表面进行配置的正吸附电极以及负吸附电极并通过静电来吸附被吸附物的双极型静电吸盘中，判别在两个吸附电极内的哪个的周边发生异常、或者两吸附电极间发生异常，除了在制造时、实际工作时对正常吸附的保证、不佳位置的追踪有用之外，还能够容易地判定在哪个电极中存在断线、电极的脱落、对地的短路等故障，所以极为重要。

因此，本发明的主要目的在于提供一种能够判别在双极型静电吸盘内的哪个吸附电极的周边在静电电容中发生异常的方法以及装置。

本发明中的静电吸盘的检查方法，其特征在于，

在具备双极型静电吸盘、以及吸盘电源的静电吸盘装置中，其中所述双极型静电吸盘在电介质内具有沿着该电介质的表面配置的正吸附电极以及负吸附电极且通过静电来吸附被吸附物，所述吸盘电源以接地电位部为基准向所述静电吸盘的正吸附电极以及负吸附电极分别供给正的直流电压以及负的直流电压，

在所述静电吸盘的电介质内、所述正吸附电极以及负吸附电极的背面侧，以与这些吸附电极之间隔开规定的间隔而分别对置的方式设有正辅助电极以及负辅助电极，并且这些辅助电极与所述接地电位部连接，

进行判定工序，分别测量在所述静电吸盘上没有载置被吸附物的状态下从所述吸盘电源向所述静电吸盘施加或者断开所述正以及负的直流电压时的(a)在所述静电吸盘的正吸附电极和所述吸盘电源之间流过的第1瞬态电流、(b)在所述静电吸盘的正辅助电极和所述接地电位部之间流过的第2瞬态电流、(c)在所述静电吸盘的负吸附电极和所述吸盘电源之间流过的第3瞬态电流以及(d)在所述静电吸盘的负辅助电极和所述接地电位部之间流过的第4瞬态电流中的至少三个瞬态电流，并且算出作为所述第1瞬态电流和第2瞬态电流之差或者所述第3瞬态电流和第4瞬态电流之差的第5瞬态电流，将所得到的各瞬态电流分别与从正常的静电吸盘所得到的各瞬态电流的基准值进行比较，判定所述静电吸盘内的各吸附电极的周边的静电电容的异常。

本发明中的静电吸盘装置，其特征在于，

具备双极型静电吸盘、以及吸盘电源，其中所述双极型静电吸盘在电介质内具有沿着该电介质的表面配置的正吸附电极以及负吸附电极且通过静电来吸附被吸附物，所述吸盘电源以接地电位部为基准向所述静电吸盘的正吸附电极以及负吸附电极分别供给正的直流电压以及负的直流电压，该静电吸盘装置具备：

正辅助电极以及负辅助电极，在所述静电吸盘的电介质内、所述正吸附电极以及负吸附电极的背面侧，以与这些吸附电极之间隔开规定的间隔而分别对置的方式设置；第1电流计，连接在所述静电吸盘的正吸附电极和所述吸盘电源之间来测量在它们之间流过的第1瞬态电流；第2电流计，连接在所述静电吸盘的正辅助电极和所述接地电位部之间来测量在它们之间流过的第2瞬态电流；第3电流计，连接在所述静电吸盘的负吸附电极和所述吸盘电源之间来测量在它们之间流过的第3瞬态电流；第4电流计，连接在所述静电吸盘的负辅助电极和所述接地电位部之间来测量在它们之间流过的第4瞬态电流；运算单元，算出作为所述第1瞬态电流和第2瞬态电流之差或者所述第3瞬态电流和第4瞬态电流之差而求出的第5瞬态电流；以及

判定装置，具备如下功能，即在所述静电吸盘上没有载置被吸附物的状态下从所述吸盘电源向所述静电吸盘施加或者断开所述正以及负的直流电压时，测量由所述第1至第4电流计内的至少三个电流计所测量的所述第1至第4瞬态电流内的至少三个瞬态电流，并且算出由所述运算单元所算出的所述第5瞬态电流，将所得到的各瞬态电流分别与从正常的静电吸盘所得到的各瞬态电流的基准值进行比较，判定所述静电吸盘内的静电电容的异常。

上述第1或者第2瞬态电流成为与静电吸盘的正吸附电极和正辅助电极之间的静电电容的大小相应的电流。上述第3或者第4瞬态电流成为与静电吸盘的负吸附电极和负辅助电极之间的静电电容的大小相应的电流。上述第5瞬态电流成为与静电吸盘的正吸附电极和负吸附电极之间的静电电容的大小相应的电流。

因此，在双极型静电吸盘内的哪个吸附电极的周边在静电电容中发生了异常的判别能够如下地进行，即能够通过测量上述第1至第4瞬态电流内的至少三个瞬态电流，将作为第1或者第2瞬态电流、第3或者第4瞬态电流、以及作为上述第1瞬态电流和第2瞬态电流之差或者第3瞬态电流和第4瞬态电流之差而求出的第5瞬态电流分别与规定的基准值(从与该静电吸盘相同规格的正常的静电吸盘所得到的对应的第1至第5瞬态电流)进行比较来判定静电电容有无异常，除了在双极型静电吸盘内的哪个吸附电极的周边是否在静电电容中发生异常的判别之外，还能够进行是否在两吸附电极间在静电电容中发生异常的判别。

另外，在本发明中，使用测量或者算出的第1至第5瞬态电流来进行双极型静电吸盘中的静电电容有无异常的判别，因此与以往的使用电压、电流来进行的情况进行比较，具有如下优点：能够得到与成为静电吸盘发挥其功能的基础的静电电容有关的很多信息。

并且，在本发明中，优选是所述的判定工序(判定装置)包括从所述吸盘电源向所述静电吸盘施加了所述正以及负的直流电压时的(a)第1工序(第1功能)，测量所述第1以及第2瞬态电流中的至少一个瞬态电流，将该瞬态电流下降到其峰值的规定比例为止的时间，和与其对应的正常的静电吸盘的时间进行比较，判定所述静电吸盘的正吸附电极和正辅助电极之间的静电电容的异常；(b)第2工序(第2功能)，测量所述第3以及第4瞬态电流中的至少一个瞬态电流，将该瞬态电流下降到其峰值的规定比例为止的时间，和与其对应的正常的静电吸盘的时间进行比较，判定所述静电吸盘的负吸附电极和负辅助电极之间的静电电容的异常；(c)第3工序(第3功能)，将作为所述第1瞬态电流和第2瞬态电流之差或者第3瞬态电流和第4瞬态电流之差而求出的第5瞬态电流的峰值，和与其对应的正常的静电吸盘的峰值进行比较，判定所述静电吸盘的正吸附电极和负吸附电极之间的静电电容的异常。这样，通过使用所测量的瞬态电流的峰值下降到规定比例为止的时间来进行静电电容有无异常的判别，难以受到对电源和静电吸盘的布线的阻抗、周围电磁场干扰的影响，因此具有能够进行更正确的判定这样的优点。

并且另外，在本发明中，优选所述静电吸盘的正辅助电极形成与正吸附电极对应的形状，另外负辅助电极形成与负吸附电极对应的形状。由此，各吸附电极和各辅助电极之间的静电电容变大，与此相应地流过该静电电容的上述瞬态电流也变大且缓慢。其结果是，变得容易判定该瞬态电流的变化，或者变得容易判定上述静电电容的异常。

根据本发明，测量上述第1至第4瞬态电流中的至少三个瞬态电流，另外求出第5瞬态电流并分别与规定的基准值进行比较来判定静电电容的异常，从而能够判别在双极型静电吸盘内的哪个吸附电极的周边发生静电电容异常，并且还能够判别在两吸附电极间静电电容发生异常。

附图说明

图1是表示实施本发明中的检查方法的静电吸盘装置的一个实施方式的图。

图2是图1中的静电吸盘的概要俯视图。

图3是表示正常的静电吸盘的各瞬态电流的仿真结果的一个例子的图。

图4是表示静电吸盘的正吸附电极和正辅助电极之间的静电电容C₁比正常时大的情况下的各瞬态电流的仿真结果的一个例子的图。

图5是表示静电吸盘的正吸附电极和正辅助电极之间的静电电容C₁比正常时小的情况下的各瞬态电流的仿真结果的一个例子的图。

图6是表示静电吸盘的负吸附电极和负辅助电极之间的静电电容C₂比正常时大的情况下的各瞬态电流的仿真结果的一个例子的图。

图7是表示静电吸盘的负吸附电极和负辅助电极之间的静电电容C₂比正常时小的情况下的各瞬态电流的仿真结果的一个例子的图。

图8是表示静电吸盘的正吸附电极和负吸附电极之间的静电电容C₃比正常时大的情况下的各瞬态电流的仿真结果的一个例子的图。

图9是表示静电吸盘的正吸附电极和负吸附电极之间的静电电容C₃比正常时小的情况下的各瞬态电流的仿真结果的一个例子的图。

具体实施方式

下面，根据附图所示的实施例来具体地说明本发明。

此外，在下面的实施例中，对使用从吸盘电源向静电吸盘施加了正以及负的直流电压时的瞬态电流来进行静电吸盘的检查的情况进行说明，但是也同样地能够实施使用断开从吸盘电源向静电吸盘的正以及负的直流电压时的瞬态电流来进行静电吸盘的检查。

图1是表示实施本发明中的检查方法的静电吸盘装置的一个实施方式的图。图2是图1中的静电吸盘的概要俯视图。

该静电吸盘装置具备：双极型静电吸盘4，通过静电来吸附被吸附物(例如晶片等基板)2；以及吸盘电源26，以接地电位部GND为基准，向该静电吸盘4的正吸附电极8以及负吸附电极10分别供给正的直流电压+V以及负的直流电压-V。

静电吸盘4，在例如陶瓷那样的电介质6内的表面附近，具有沿着该表面配置的一对正吸附电极8以及负吸附电极10。两吸附电极8、10在该实施方式中如图2所示的例子那样，都呈半圆形，且配置成在同一平面内相对置而呈圆形。但是，一对吸附电极8、10的形状不限于此，也可以是其它形状、例如梳子形等。

在静电吸盘4的电介质6内、正吸附电极8以及负吸附电极10的背面侧(换句话说被吸附物2的吸附面的相反侧)，以与两吸附电极8、10隔开间隔而分别对置的方式配置正辅助电极12以及负辅助电极14。两辅助电极12、14无需必须呈与吸附电极8、10对应的形状，但是在该实施方式中，正辅助电极12呈与正吸附电极8对应的形状，负辅助电极14呈与负吸附电极10对应的形状。更具体地说，在该实施方式中，两辅助电极12、14分别呈与吸附电极8、10几乎相同尺寸的半圆形，且配置成在同一平面内相对置而呈圆形。

此外，在图1中，图示为辅助电极12、14比吸附电极8、10小，但是这只是为了图示方便。在图2中，辅助电极12、14与吸附电极8、10重叠，因此没有表现在图中。

在没有载置被吸附物2的状态下，在上述正吸附电极8和正辅助电极12之间形成有第1静电电容C₁，在负吸附电极10和负辅助电极14之间形成有第2静电电容C₂，在正吸附电极8和负吸附电极10之间形成有第3静电电容C₃。这些通过等效电路图示在图1中。

在该实施方式中，静电吸盘4具有支撑上述电介质6等的支撑台16。在支撑台16由金属等导体构成的情况下，支撑台16通常被电接地。

吸盘电源26具有：正电源28，以地端子36为基准从其正输出端子32输出上述正的直流电压+V；以及负电源30，以地端子36为基准从负输出端子34输出上述负的直流电压-V。两直流电压+V、-V，大小相等，极性相反。

在静电吸盘4的正吸附电极8和吸盘电源26(更具体地说是吸盘电源26的正输出端子32)之间，连接有测量在其间流过的第1瞬态电流I₁第1电流计21。在该电流计21的线路中，根据需要串联连接限流电阻38。

在静电吸盘4的正辅助电极12和接地电位部GND之间，连接有测量在其间流过的第2瞬态电流I₂的第2电流计22。换句话说，正辅助电极12经过电流计22与接地电位部GND连接(即接地)。另外，吸盘电源26的地端子36也与接地电位部GND连接，因此也可以说正辅助电极12经过电流计22与吸盘电源26的地端子36连接。

在静电吸盘4的负吸附电极10和吸盘电源26(更具体地说其负输出端子34)之间，连接有测量流过其间的第3瞬态电流I₃的第3电流计23。在该电流计23的线路中，根据需要串联连接了与上述限流电阻38相同电阻值的限流电阻40。

在静电吸盘4的负辅助电极14和接地电位部GND之间，连接有测量在其间流过的第4瞬态电流I₄的第4电流计24。换句话说，负辅助电极14经过电流计24与接地电位部GND连接(即接地)。或者，也可以说负辅助电极14经过电流计24与吸盘电源26的地端子36连接。

吸盘电源26是直流电源，因此上述瞬态电流I₁～I₄本质上是当接通了吸盘电源26时、即从吸盘电源26向静电吸盘4施加了上述正以及负的直流电压+V、-V时瞬态地流过的电流。关于这点，在后面参照图3及图3之后的附图进行进一步说明。

另外，当接通了吸盘电源26时，瞬态电流I₅流过上述静电电容C₃。该瞬态电流I₅是根据基尔霍夫定律的上述瞬态电流I₁和I₂之差或者上述瞬态电流I₃和I₄之差的电流。具体地说，能够通过下面的数式1或者数式2来求出瞬态电流I₅。

[数式1]I₅＝I₁-I₂

[数式2]I₅＝I₃-I₄

由电流计21～24测量的瞬态电流I₁～I₄的数据，提供给判定装置42。在该实施方式中，判定装置42除了具有后述的功能之外，还具有按照上述数式1或者数式2来算出上述瞬态电流I₅的运算单元。该判定装置42例如使用计算机来构成。

为了进行静电吸盘4的检查，在该实施方式的检查方法中，进行下面的判定工序。

即，分别测量在静电吸盘4上没有载置被吸附物2的状态下从吸盘电源26向静电吸盘4施加了上述正以及负的直流电压+V、-V时的上述瞬态电流I₁～I₅中的、包含瞬态电流I₅的至少四个瞬态电流。具体地说，分别测量表1所示的组合的至少四个瞬态电流。也可以测量及算出全部五个瞬态电流I₁～I₅。而且，将测量及算出的瞬态电流分别与规定的基准值进行比较，判定静电吸盘4内的静电电容的异常。

[表1]

组合
					1
2
					3
4
					5
6
					7
8

表1中的I₅算出用的瞬态电流，除了静电电容C₁、C₂、C₃判定用的瞬态电流之外，还是按照上述数式1或者数式2算出瞬态电流I5所需的瞬态电流。

上述瞬态电流I₁、I₂成为与上述静电电容C₁的大小相应的电流。上述瞬态电流I₃、I₄成为与上述静电电容C₂的大小相应的电流。上述瞬态电流I₅成为与上述静电电容C₃的大小相应的电流。因此，通过进行如上述那样的判定工序，能够判别在静电吸盘4内的哪个吸附电极8、10的周边中静电电容C₁或者C₂发生异常，并且也能够判定在两吸附电极8、10间静电电容C3发生异常。

即，根据该检查方法，通过设置分别与两吸附电极8、10对应的辅助电极12、14，能够测量来自两辅助电极12、14的作为返回电流的瞬态电流I₂、I₄，且按照上述数式1或者数式2也能够算出在两吸附电极8、10间流过的瞬态电流I5，因此变得容易捕捉静电电容C₁～C₃的变化。

下面与上述判定工序的更具体例子一起对以上情况进行进一步说明。在下面的实施方式中，上述判定工序由下面的第1至第3工序组成。

(a)第1工序：测量上述瞬态电流I₁以及I₂中的至少一个瞬态电流，将该瞬态电流下降到其峰值的规定比例为止的时间，和作为与其对应的时间且与静电吸盘4相同规格的正常的静电吸盘的时间进行比较，判定静电吸盘4的正吸附电极8和正辅助电极12之间的静电电容C₁的异常。

上述峰值的规定比例例如是峰值的1/e。e是自然对数的底，为2.718。规定比例不限于此，下面以此为例进行说明。下面的第2工序中的规定比例也相同。

另外，在静电电容C₁的判定中，也可以测量瞬态电流I₁以及I₂的两者的瞬态电流并将两者用于判定。由此，判定的准确率提高。下面的第2工序中的瞬态电流I₃以及I₄也相同。但是，在下面的仿真中，以在静电电容C₁的判定用中使用瞬态电流I₁、在静电电容C₂的判定用中使用瞬态电流I₃的情况为例进行说明。

(b)第2工序：测量上述瞬态电流I₃以及I₄中的至少一个瞬态电流，将该瞬态电流下降到其峰值的规定比例为止的时间，和作为与其对应的时间且与静电吸盘4相同规格的正常的静电吸盘的时间进行比较，判定静电吸盘4的负吸附电极10和负辅助电极14之间的静电电容C₂的异常。

(c)第3工序：算出上述瞬态电流I₅，将该瞬态电流的峰值与作为与其对应的峰值且与静电吸盘4相同规格的正常的静电吸盘的峰值进行比较，判定静电吸盘4的正吸附电极8和负吸附电极10之间的静电电容C₃的异常。

参照表2更详细地说明上述第1至第3工序，该表2综合了作为使用图1所示的装置的等效电路来进行仿真的结果的图3～图9、以及判定内容。

[表2]

图3表示正常的静电吸盘4的上述瞬态电流I₁～I₅的一个例子。在时间0的时刻接通电源。关于其它图也相同。对瞬态电流I₃加括弧是表示与瞬态电流I₁曲线重合。关于瞬态电流I₄也相同。关于其它图也相同。

预先测量这种正常的静电吸盘4的瞬态电流I₁、I₃成为其峰值P的1/e为止的时间t₁，并将其设为上述第1以及第2工序中的比较的基准值。该时间t₁例如只要存储在上述判定装置42内即可。此外，瞬态电流I₁～I₄的峰值P在下面的说明以及附图中为了简化而使用相同标记P，但是在瞬态电流I₁～I₄中不限于相互成为相同值。

并且，预先算出正常的静电吸盘4的瞬态电流I₅的峰值P₁，并将其设为上述第3工序中的比较的基准值。该峰值P₁例如只要存储在上述判定装置42内即可。

此外，在该仿真中，作为比较的基准，使用图3中所示的正常的静电吸盘4的电流数据，但是在静电吸盘4的实际检查中，使用与要检查的静电吸盘4相同规格的正常的静电吸盘的电流数据。两数据实际上相同，因此在下面的说明中不区别两者。

在静电吸盘4中静电电容C₁异常的情况下，例如在图4中表示比正常时(例如100nF)大的情况下(例如150nF)的例子，在图5中表示比正常时小的情况下(例如30nF)的例子。与图3进行比较可知，瞬态电流I₁、I₂显著变化。

作为上述第1工序，测量瞬态电流I₁下降到其峰值P的1/e为止的时间t₂(图4的情况)、t₃(图5的情况)，将其与正常的静电吸盘4的时间t₁进行比较。在图4的例子的情况下是t₁＜t₂，因此判定为静电电容C₁比正常时大。在图5的例子的情况下是t₁＞t₃，因此判定为静电电容C₁比正常时小。这是因为：如在瞬态现象中众所周知的那样，在刚刚接通了直流电源后在静电电容中流过的瞬态电流，当静电电容大时对它的充电时间变长，伴随着时间经过而缓慢衰减，当静电电容小时对它的充电时间变短，伴随着时间经过急剧衰减。由此，能够判定静电电容C₁的异常。

作为静电电容C₁变大的原因，例如能够列举正吸附电极8和正辅助电极12之间的距离等效地变小。作为该原因，例如考虑电介质6发生了热收缩的情况、正吸附电极8的材料通过电子迁移向周边进行扩散的情况、电极材料因为正吸附电极8的周边发生的放电而向周边进行熔融固化的情况等。

作为静电电容C₁变小的原因，例如能够列举向正吸附电极8的断线、正吸附电极8和正辅助电极12之间的距离等效地变大等。作为后者的原因，例如考虑电介质6的基于热的膨胀、正吸附电极8的周边的电介质6的剥离等。

在图6中表示在静电吸盘4中静电电容C₂异常的情况、例如比正常时(例如100nF)大的情况(例如150nF)的例子，在图7中表示比正常时小的情况(例如30nF)的例子。与图3进行比较可知，瞬态电流I₃、I₄显著变化。

作为上述第2工序，测量瞬态电流I₃下降到其峰值P的1/e为止的时间t₄(图6的情况)、t₅(图7的情况)，并将其与正常的静电吸盘4的时间t₁进行比较。在图6的例子的情况下是t₁＜t₄，因此判定为静电电容C₂比正常时大。在图7的例子的情况下是t₁＞t₅，因此判定为静电电容C₂比正常时小。由此，能够判定静电电容C₂的异常。

静电电容C₂变大或变小的原因的例子，与静电电容C₁的情况相同。

这样，通过上述第1工序以及第2工序，能够相互独立地判定静电电容C₁的异常和静电电容C₂的异常，因此能够容易地判别在静电吸盘4的正吸附电极8和负吸附电极10的哪个电极的周边在静电电容中发生了异常。

在图8中表示在静电吸盘4中静电电容C₃异常的情况、例如比正常时(例如10nF)大的情况(例如30nF)的例子，在图9中表示比正常时小的情况(例如3nF)的例子。与图3进行比较可知，瞬态电流I₅显著变化。

作为上述第3工序，测量瞬态电流I₅的峰值P₂(图8的情况)、P₃(图9的情况)，并将其与正常的静电吸盘4的峰值P₁进行比较。在图8的例子的情况下是P₁＜P₂，因此判定为静电电容C₃比正常时大。在图9的例子的情况下是P₁＞P₃，因此判定为静电电容C₃比正常时小。由此，能够判定静电电容C₃的异常。

作为静电电容C₃变大的原因，例如能够列举(a)两吸附电极8、10间的距离等效地变小、(b)两吸附电极8、10间的电介质6的介电常数变大等。作为(a)的原因，例如考虑两吸附电极8、10的材料通过电子迁移而扩散到两吸附电极8、10之间的情况、电极材料由于两吸附电极8、10间发生的放电而向相对电极熔融固化的情况等。

作为静电电容C₃变小的原因，例如能够列举吸附电极8、10的两者或者一个的一部分缺损的情况、电介质6的介电常数随时间变化等而变小的情况等。

这样，通过上述第3工序，能够容易地判定在两吸附电极8、10间在静电电容中发生了异常。

此外，如所述那样、静电吸盘4的辅助电极12、14优选设为分别与吸附电极8、10对应的形状。当这样设置时，上述静电电容C₁、C₂变大，与此相应地，流过该静电电容C₁、C₂的瞬态电流I₂、I₄也变大且缓慢，因此变得容易判定该瞬态电流的变化，或者变得容易判定上述静电电容C₁、C₂的异常。

在该实施方式中，上述判定装置42具有如所述那样算出瞬态电流I₅的运算单元，并且具有进行与上述判定工序实际上相同内容的处理(即，瞬态电流测量、比较以及静电电容的异常判定。以下相同)的功能。更具体地说在该实施方式中，具有进行与上述第1工序实际上相同内容的处理的第1功能、进行与上述第2工序实际上相同内容的处理的第2功能、以及、进行与上述第3工序实际上相同内容的处理的第3功能。换句话说，判定装置42具备具有这种功能的单元。

因此，在具备上述静电吸盘4、吸盘电源26、电流计21～24以及判定装置42的该实施方式的静电吸盘装置中，能够起到与对上述检查方法进行说明的作用效果相同的作用效果。

(附图标记说明)

2：被吸附物；4：静电吸盘；6：电介质；8：正吸附电极；10：负吸附电极；12：正辅助电极；14：负辅助电极；21～24：电流计；26：吸盘电源；42：判定装置；I₁～I₅：电流；C₁～C₃：静电电容；+V：正的直流电压；-V：负的直流电压；GND：接地电位部

Claims (6)

1.一种静电吸盘的检查方法，其特征在于，

在具备双极型的静电吸盘、以及吸盘电源的静电吸盘装置中，其中所述静电吸盘在电介质内具有沿着该电介质的表面配置的正吸附电极以及负吸附电极且通过静电来吸附被吸附物，所述吸盘电源以接地电位部为基准向所述静电吸盘的正吸附电极以及负吸附电极分别供给正的直流电压以及负的直流电压，

在所述静电吸盘的电介质内、所述正吸附电极以及负吸附电极的背面侧，以与这些吸附电极之间隔开规定的间隔而分别对置的方式设有正辅助电极以及负辅助电极，并且这些辅助电极与所述接地电位部连接，

在静电吸盘的检查方法中进行判定工序，分别测量在所述静电吸盘上没有载置被吸附物的状态下从所述吸盘电源向所述静电吸盘施加或者断开所述正以及负的直流电压时的(a)在所述静电吸盘的正吸附电极和所述吸盘电源之间流过的第1瞬态电流、(b)在所述静电吸盘的正辅助电极和所述接地电位部之间流过的第2瞬态电流、(c)在所述静电吸盘的负吸附电极和所述吸盘电源之间流过的第3瞬态电流以及(d)在所述静电吸盘的负辅助电极和所述接地电位部之间流过的第4瞬态电流中的至少三个瞬态电流，并且算出作为所述第1瞬态电流和第2瞬态电流之差或者所述第3瞬态电流和第4瞬态电流之差的第5瞬态电流，将所得到的各瞬态电流分别与从正常的静电吸盘所得到的各瞬态电流的基准值进行比较，判定所述静电吸盘内的各吸附电极的周边的静电电容的异常。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘的检查方法，其特征在于，

所述判定工序包括从所述吸盘电源向所述静电吸盘施加了所述正以及负的直流电压时的

第1工序，测量所述第1以及第2瞬态电流中的至少一个瞬态电流，将该瞬态电流下降到其峰值的规定比例为止的时间，和与其对应的正常的静电吸盘的时间进行比较，判定所述静电吸盘的正吸附电极和正辅助电极之间的静电电容的异常；

第2工序，测量所述第3以及第4瞬态电流中的至少一个瞬态电流，将该瞬态电流下降到其峰值的规定比例为止的时间，和与其对应的正常的静电吸盘的时间进行比较，判定所述静电吸盘的负吸附电极和负辅助电极之间的静电电容的异常；

第3工序，将作为所述第1瞬态电流和第2瞬态电流之差或者第3瞬态电流和第4瞬态电流之差而求出的第5瞬态电流的峰值，和与其对应的正常的静电吸盘的峰值进行比较，判定所述静电吸盘的正吸附电极和负吸附电极之间的静电电容的异常。

3.根据权利要求1或2所述的静电吸盘的检查方法，其特征在于，

所述静电吸盘的正辅助电极呈与正吸附电极对应的形状，负辅助电极呈与负吸附电极对应的形状。

4.一种静电吸盘装置，其特征在于，

具备双极型的静电吸盘、以及吸盘电源，其中所述静电吸盘在电介质内具有沿着该电介质的表面配置的正吸附电极以及负吸附电极且通过静电来吸附被吸附物，所述吸盘电源以接地电位部为基准向所述静电吸盘的正吸附电极以及负吸附电极分别供给正的直流电压以及负的直流电压，该静电吸盘装置具备：

正辅助电极以及负辅助电极，在所述静电吸盘的电介质内、所述正吸附电极以及负吸附电极的背面侧，以与这些吸附电极之间隔开规定的间隔而分别对置的方式设置；

第1电流计，连接在所述静电吸盘的正吸附电极和所述吸盘电源之间，来测量在它们之间流过的第1瞬态电流；

第2电流计，连接在所述静电吸盘的正辅助电极和所述接地电位部之间来测量在它们之间流过的第2瞬态电流；

第3电流计，连接在所述静电吸盘的负吸附电极和所述吸盘电源之间来测量在它们之间流过的第3瞬态电流；

第4电流计，连接在所述静电吸盘的负辅助电极和所述接地电位部之间来测量在它们之间流过的第4瞬态电流；

运算单元，算出作为所述第1瞬态电流和第2瞬态电流之差或者所述第3瞬态电流和第4瞬态电流之差而求出的第5瞬态电流；以及

判定装置，具备如下功能，即在所述静电吸盘上没有载置被吸附物的状态下从所述吸盘电源向所述静电吸盘施加或者断开所述正以及负的直流电压时，测量由所述第1至第4电流计内的至少三个电流计所测量的所述第1至第4瞬态电流内的至少三个瞬态电流，并且算出由所述运算单元所算出的所述第5瞬态电流，将所得到的各瞬态电流分别与从正常的静电吸盘所得到的各瞬态电流的基准值进行比较，判定所述静电吸盘内的静电电容的异常。

5.根据权利要求4所述的静电吸盘装置，其特征在于，

所述判定装置包括从所述吸盘电源向所述静电吸盘施加了所述正以及负的直流电压时的

第1功能，测量所述第1以及第2瞬态电流中的至少一个瞬态电流，将该瞬态电流下降到其峰值的规定比例为止的时间，和与其对应的正常的静电吸盘的时间进行比较，判定所述静电吸盘的正吸附电极和正辅助电极之间的静电电容的异常；

第2功能，测量所述第3以及第4瞬态电流中的至少一个瞬态电流，将该瞬态电流下降到其峰值的规定比例为止的时间，和与其对应的正常的静电吸盘的时间进行比较，判定所述静电吸盘的负吸附电极和负辅助电极之间的静电电容的异常；以及

第3功能，将作为所述第1瞬态电流和第2瞬态电流之差或者第3瞬态电流和第4瞬态电流之差而求出的第5瞬态电流的峰值，和与其对应的正常的静电吸盘的峰值进行比较，判定所述静电吸盘的正吸附电极和负吸附电极之间的静电电容的异常。

6.根据权利要求4或者5所述的静电吸盘装置，其特征在于，

所述静电吸盘的正辅助电极呈与正吸附电极对应的形状，负辅助电极呈与负吸附电极对应的形状。