HK1021401B

HK1021401B - Vacuum pump

Info

Publication number: HK1021401B
Application number: HK00100211.3A
Authority: HK
Inventors: De Simon Mauro; Spaziani Vincenzo
Original assignee: Varian S.P.A.
Priority date: 1997-12-24
Filing date: 2000-01-13
Publication date: 2003-10-10

Claims

Pompe à vide (1 ; 101 ; 201), comprenant :
un boîtier de pompe (5 ; 105) ;

une première pluralité d'étages de pompage (2 ; 102 ; 202) du type moléculaire formée par des disques de rotor (8a, 8b ; 108a, 108b) fixés à un arbre mobile en rotation (11 ; 211) et coopérant avec des anneaux de stator (9a, 9b ; 109a, 109b) logés dans une première partie (4a ; 104a) dudit boîtier de pompe (5 ; 105) ;

une seconde pluralité d'étages de pompage (3 ; 103 ; 203) de type à membrane, logée dans une seconde partie (4b ; 104b) dudit boîtier de pompe (5 ; 105) ;

un premier moteur électrique (13 ; 213) destiné à entraîner ledit arbre mobile en rotation (11 ; 211) des étages moléculaires ;

un second moteur électrique (30 ; 130 ; 230) destiné à entraîner les membranes (40 ; 140) desdits étages à membrane ; caractérisée par

ladite première partie de boîtier (4a ; 104a) et ladite seconde partie de boîtier (4b ; 104b) étant pourvues d'au moins un passage commun intégré (7 ; 107 ; 207) destiné à la circulation du gaz déchargé par lesdits étages de pompage moléculaire (2 ; 102 ; 202) et aspiré par lesdits étages de pompage à membrane (3 ; 103 ; 203).
Pompe à vide selon la revendication 1, caractérisée en ce que ledit passage commun (7 ; 107 ; 207) est dirigé sensiblement axialement par rapport au corps de pompe, et est logé complètement à l'intérieur de la paroi (28 ; 128) dudit boîtier de pompe (5 ; 105).
Pompe à vide selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce qu'un espace sensiblement cylindrique (20) est prévu dans ladite seconde partie de boîtier (4b ; 104b) dans le but de loger lesdits étages de pompage à membrane (3 ; 103 ; 203).
Pompe à vide selon la revendication 3, caractérisée en ce que ladite première partie de boîtier (4a ; 104a) et ladite seconde partie de boîtier (4b ; 104b) sont formées comme deux parties distinctes reliées l'une à l'autre par plusieurs moyens de fixation (28).
Pompe à vide selon la revendication 4, caractérisée en ce que ladite seconde partie de boîtier (4b ; 104b), logeant les étages de pompage à membrane (3 ; 103 ; 203), comporte une section ouverte sensiblement en forme de fer à cheval et apte à rendre plus facile le remplacement des membranes (40 ; 140) contenues dans lesdits étages de pompage à membrane (3 ; 103 ; 203).
Pompe à vide selon la revendication 3 ou 4 ou 5, caractérisée en ce que lesdits plusieurs étages de pompage à membrane (3 ; 103 ; 203) sont formés par des membranes élastiques (40 ; 140) logées radialement dans autant de chambres de pompage (41a, 41b, 41c ; 141a, 141b) et en ce que chaque membrane (40 ; 140) est actionnée par une tige de liaison correspondante (23 ; 123) reliée mobile en rotation à un vilebrequin (22 ; 122 ; 222) entraîné par ledit second moteur électrique (30 ; 130 ; 230).
Pompe à vide selon la revendication 6, caractérisée en ce que ledit espace (20) loge en outre une soufflante (29a, 29b) destinée à refroidir lesdits étages de pompage à membrane (3 ; 103 ; 203).
Pompe à vide selon la revendication 7, caractérisée en ce que ladite au moins une soufflante (29a, 29b) est couplée audit vilebrequin (22 ; 122 ; 222).
Pompe à vide selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que ladite seconde partie de boîtier (4b ; 104b) correspond sensiblement à la base (150) de la pompe à vide logeant ledit premier moteur et les paliers supportant l'arbre des étages de pompage moléculaire (2 ; 102 ; 202).
Pompe à vide selon la revendication 9, caractérisée en ce que lesdits plusieurs étages de pompage à membrane (3 ; 103 ; 203) comprennent au moins deux membranes élastiques sensiblement coplanaires (40 ; 140) disposées dans autant de chambres de pompage (41a, 41b, 41c ; 141a, 141b, 141c), et en ce que chaque membrane (40 ; 140) est actionnée par une tige de liaison correspondante (23 ; 123) couplée mobile en rotation à un vilebrequin (22 ; 122 ; 222) entraîné par ledit second moteur électrique (30 ; 130).
Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications des revendications 6 à 8 ou 10, caractérisée en ce que lesdites chambres de pompage (41a, 41b, 41c ; 141a, 141b) des étages de membrane sont raccordées les unes aux autres en série par des canaux de circulation de gaz (44a, 44b ; 144), et en ce que la première desdites chambres de pompage, dans le sens de circulation de gaz, comporte un orifice (46a ; 146a) destiné à l'entrée du gaz provenant dudit passage commun (7 ; 107) et la dernière desdites chambres comporte un orifice de décharge (46c ; 146b) destiné à évacuer le gaz à la pression atmosphérique.
Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications 3 à 8, caractérisée en ce que lesdits plusieurs étages de pompage à membrane (3 ; 103 ; 203) comprennent trois étages de pompage à membrane raccordés les uns aux autres en série.
Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications 9 ou 10, caractérisée en ce que lesdits plusieurs étages de pompage à membrane (3 ; 103 ; 203) comprennent deux étages de pompage à membrane raccordés l'un à l'autre en série.
Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications 3 à 13, caractérisée en ce qu'un espace (16 ; 116) est prévu dans l'extrémité de pompe (1 ; 101 ; 201), opposé par rapport à l'entrée d'aspiration (10 ; 110 ; 210), cet espace logeant ledit second moteur des étages de pompage à membrane et le module de commande électronique (15, 31 ; 115, 131 ; 215, 231) dudit premier moteur (13 ; 213) et dudit second moteur (30 ; 130 ; 230).
Pompe à vide selon la revendication 14, caractérisée en ce que les axes de rotation dudit premier moteur (13 ; 213) et dudit second moteur (30 ; 130 ; 230) sont sensiblement coaxiaux.
Pompe à vide selon la revendication 14, caractérisée en ce que ledit espace (16 ; 116) de l'extrémité de pompe (1 ; 101 ; 201), opposé à l'entrée d'aspiration (10 ; 110 ; 210), est sensiblement défini autour de ladite base (150).
Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que l'on a prévu un moyen destiné à réduire la vitesse de rotation dudit second moteur (30 ; 130 ; 230) des étages de pompage à membrane (3 ; 103 ; 203) lorsque la pression de sortie desdits étages de pompage moléculaire (2 ; 102 ; 202) est plus basse qu'un seuil prédéterminé.
Pompe à vide selon la revendication 17, caractérisée en ce que ledit moyen de réduction comprend un premier signal proportionnel à la pression dans ledit canal commun (7 ; 107 ; 207), un deuxième signal proportionnel à un seuil de pression prédéterminé inférieur à la pression de décharge maximale PMOLmax des étages moléculaires, et un moyen (271) servant à comparer ledit premier signal avec ledit deuxième signal pour engendrer un troisième signal servant à commander la vitesse de rotation dudit second moteur (30 ; 130 ; 230).
Pompe à vide selon la revendication 18, caractérisée en ce que ledit moyen de comparaison comprend un amplificateur opérationnel (271), et en ce que ledit troisième signal est appliqué audit second module de commande électronique (31 ; 131 ; 231) dudit second moteur électrique (30 ; 130 ; 230).
Pompe à vide selon la revendication 19, caractérisée en ce que ledit premier signal est obtenu à partir d'un transducteur de pression (270) disposé en correspondance avec ledit canal commun (7 ; 107 ; 207).
Pompe à vide selon la revendication 19, caractérisée en ce que ledit premier signal correspond à un signal proportionnel à la puissance tirée par le moteur (13 ; 213) des étages de pompage moléculaire (2 ; 102), ledit signal étant disponible à partir du module de commande électronique (15 ; 115 ; 215) dudit premier moteur électrique (13 ; 213).