FR3128315B1 - Procédé de report d’un dispositif optoélectronique - Google Patents
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Abstract
Titre : Procédé de report d’un dispositif optoélectronique L’invention a pour objet un procédé de transfert d’un dispositif (10) depuis un premier substrat (1) vers un deuxième substrat (2) par l’intermédiaire d’un substrat de manipulation (3). Le procédé comprend : Le collage du dispositif sur le substrat de manipulation (3) par l’intermédiaire d’une couche d’assemblage au niveau d’une surface de collage La gravure partielle de la couche d’assemblage (30, 40) de façon à conserver une portion étroite (301, 401) intercalée entre le dispositif (10) et le substrat de manipulation (3), ladite portion étroite (301, 401) présentant une section transverse (S301, S401) strictement inférieure à la surface de collage, Le procédé étant caractérisé en ce que la couche d’assemblage (30, 40) est formée préalablement sur le substrat de manipulation (3) et uniquement sur le substrat de manipulation (3). Figure pour l’abrégé : Fig. 1
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