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FR3145611B1 - Detecteur infrarouge et procede de realisation associe - Google Patents

Detecteur infrarouge et procede de realisation associe Download PDF

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FR3145611B1
FR3145611B1 FR2301102A FR2301102A FR3145611B1 FR 3145611 B1 FR3145611 B1 FR 3145611B1 FR 2301102 A FR2301102 A FR 2301102A FR 2301102 A FR2301102 A FR 2301102A FR 3145611 B1 FR3145611 B1 FR 3145611B1
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micro
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bolometers
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Nicolas Boudou
Sylvain Lemettre
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Lynred SAS
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Abstract

Ce détecteur infrarouge (10d) comprend :– un substrat d’embase (11) supportant un réseau de micro-bolomètres (19), chaque micro-bolomètre étant monté en suspension au-dessus dudit substrat au moyen de clous d’ancrage (14) s’étendant sensiblement perpendiculairement par rapport au substrat d’embase (11) ;– des parois latérales (13) s’étendant sensiblement perpendiculairement par rapport au substrat d’embase (11) ; et– une fenêtre optique (12) fixée sur une extrémité supérieure des parois latérales (13) au-dessus des micro-bolomètres (19). Le substrat d’embase (11), les parois latérales (13) et la fenêtre optique (12) forment une cavité hermétique sous vide (16) au sein de laquelle sont présents les micro-bolomètres (19). Le détecteur infrarouge (10d) comprend également des espaceurs (20) s’étendant à l’aplomb d’au moins 10% des clous d’ancrage (14), ces espaceurs (20) étant également orientés sensiblement perpendiculairement par rapport au substrat d’embase (11), lesdits espaceurs (20) formant une butée apte à coopérer avec la face inférieure de la fenêtre optique (12), ou avec l’extrémité supérieure des clous d’ancrage (14), et ainsi limiter les déflexions de la fenêtre optique (12) et/ou du substrat (11). Figure pour l’abrégé : Fig 9
FR2301102A 2023-02-06 2023-02-06 Detecteur infrarouge et procede de realisation associe Active FR3145611B1 (fr)

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