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FR3091011B1 - Substrat de type semi-conducteur sur isolant pour des applications radiofréquences - Google Patents

Substrat de type semi-conducteur sur isolant pour des applications radiofréquences Download PDF

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FR3091011B1
FR3091011B1 FR1873888A FR1873888A FR3091011B1 FR 3091011 B1 FR3091011 B1 FR 3091011B1 FR 1873888 A FR1873888 A FR 1873888A FR 1873888 A FR1873888 A FR 1873888A FR 3091011 B1 FR3091011 B1 FR 3091011B1
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electrically insulating
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Abstract

SUBSTRAT DE TYPE SEMI-CONDUCTEUR SUR ISOLANT POUR DES APPLICATIONS RADIOFRÉQUENCES La présente invention concerne un substrat (1) de type semi-conducteur sur isolant pour des applications radiofréquences, comprenant :- un substrat support (2) en silicium,- une couche électriquement isolante (3) agencée sur le substrat support,- une couche semi-conductrice monocristalline (4) agencée sur la couche électriquement isolante,le substrat (1) étant principalement caractérisé en ce qu’il comprend en outre une couche de carbure de silicium SiC (5) agencée entre le substrat support (2) et la couche électriquement isolante (3), la surface (6) de la couche de carbure de silicium SiC qui est du côté de la couche électriquement isolante (3) étant rugueuse. Figure pour l’abrégé : Fig. 1
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