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FR3050033B1 - Sonde pour appareil de mesure d'interaction entre un echantillon, une pointe de dispositif a champ proche et un faisceau electromagnetique d'excitation et appareil de mesure comprenant une telle sonde - Google Patents

Sonde pour appareil de mesure d'interaction entre un echantillon, une pointe de dispositif a champ proche et un faisceau electromagnetique d'excitation et appareil de mesure comprenant une telle sonde Download PDF

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FR3050033B1
FR3050033B1 FR1653182A FR1653182A FR3050033B1 FR 3050033 B1 FR3050033 B1 FR 3050033B1 FR 1653182 A FR1653182 A FR 1653182A FR 1653182 A FR1653182 A FR 1653182A FR 3050033 B1 FR3050033 B1 FR 3050033B1
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FR
France
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probe
measuring apparatus
tip
field device
sample
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FR1653182A
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English (en)
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FR3050033A1 (fr
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Bettignies Philippe De
Damien Eschimese
Joachim Schreiber
Gaetan Leveque
Thierry Melin
Steve Arscott
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
De Lille 1, University of
Horiba Jobin Yvon SAS
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Universite Lille 1 Sciences et Technologies
Original Assignee
De Lille 1, University of
Horiba Jobin Yvon SAS
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Universite Lille 1 Sciences et Technologies
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    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
    • G01Q60/18—SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
    • G01Q60/22—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
    • G—PHYSICS
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Abstract

L'invention concerne une sonde (10) pour instrument d'analyse comprenant un dispositif à champ proche à sonde locale (10) ayant une pointe (1), le dispositif à champ proche étant combiné à un faisceau électro-magnétique d'excitation concentré sur la pointe (1), l'instrument d'analyse comprenant un système de détection d'interaction entre l'échantillon, la pointe et le faisceau électromagnétique d'excitation. Selon l'invention, la pointe (1) est métallique, la sonde (10) comporte un support (3) et une portion intermédiaire (2) disposée entre la pointe (1) et le support (3), la portion intermédiaire (2) est métallique ou comporte un revêtement externe métallique, le support (3) est en matériau diélectrique ou en matériau diélectrique recouvert d'un revêtement externe métallique et la portion intermédiaire (2) s'étend latéralement à l'extérieur d'un cône (18) défini par une droite génératrice passant par l'apex et par une circonférence de la base (12) de la pointe (1).
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