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FR2792003A1 - Durable hydrophobic and oleophobic coating, for glass, ceramic, glass-ceramic, metal and plastic substrates, is formed by plasma CVD while reducing the substrate temperature - Google Patents

Durable hydrophobic and oleophobic coating, for glass, ceramic, glass-ceramic, metal and plastic substrates, is formed by plasma CVD while reducing the substrate temperature Download PDF

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FR2792003A1
FR2792003A1 FR9904431A FR9904431A FR2792003A1 FR 2792003 A1 FR2792003 A1 FR 2792003A1 FR 9904431 A FR9904431 A FR 9904431A FR 9904431 A FR9904431 A FR 9904431A FR 2792003 A1 FR2792003 A1 FR 2792003A1
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oleophobic coating
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David Lebellac
Claude Bernard
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Saint Gobain Vitrage SA
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Abstract

Hydrophobic/oleophobic coating formation, by ionizing a precursor while reducing the substrate temperature, is new. A hydrophobic/oleophobic coating is formed on a substrate by ionization of one or more precursors while reducing the substrate temperature from above 80 deg C to below 80 deg C. Independent claims are also included for the following: (i) a substrate with a 10-100 (preferably 20-80) nm thick external hydrophobic/oleophobic coating formed by the above process; and (ii) a monolithic, laminated or multiple glazing for buildings or transport vehicles, in which the or each surface in contact with the ambient atmosphere has a hydrophobic/oleophobic coating formed by the above process.

Description

SUBSTRAT TRANSPARENT COMPORTANT UN REVETEMENTTRANSPARENT SUBSTRATE HAVING A COATING

HYDROPHOBE/OLEOPHOBE FORME PAR CVD PLASMA  HYDROPHOBE / OLEOPHOBE FORMED BY CVD PLASMA

La présente invention appartient au domaine des substrats, notamment transparents, dotés de la propriété d'hydrophobie/oléophobie en vue d'obtenir certains effets anti-pluie/anti-salissures. A cette fin, un tel substrat est, par exemple, muni d'un revêtement dans le cadre d'applications diverses, comme les vitrages pour véhicules de transport aéronautique, maritime, terrestre (ferroviaire, routier), pour le bâtiment (fenêtres), le mobilier urbain (panneau d'affichage, Abribus... ) ou l'aménagement intérieur (panneau décoratif, ameublement), électroménager (porte de réfrigérateur, de four, vitrine..., plaque vitrocéramique), ustensiles de cuisine, mobilier sanitaire (lavabo, baignoire...), les matériaux de construction, etc. Le substrat est donc transparent ou non et constitué en général de verre, céramique, vitrocéramique, métal, matière plastique (poly(méthacrylate de méthyle) (PMMA), polyvinylbutyral (PVB), polycarbonate (PC) ou polyuréthane (PU), copolymère éthylène/acétate de vinyle (EVA) thermoplastique, poly(téréphtalate d'éthylène) (PET), poly(téréphtalate de butylène) (PBT), copolymères polycarbonates/polyester, copolymère cyclooléfinique du type éthylène/norbornène ou éthylène/cyclopentadiène, les résines ionomères, par exemple un copolymère éthylène/acide (méth)acrylique neutralisé par une polyamine, les thermodurcissables ou thermoréticulables tels que polyuréthane, polyester insaturé (UPE), copolymère éthylène/acétate de vinyle... ou d'une combinaison de plusieurs de ces materiaux. La propriété d'hydrophobie/oléophobie à laquelle il est fait référence vise le fait que des liquides polaires ou non polaires n'adhèrent pas sur le substrat en formant un film gênant. Un substrat présentant cette propriété aura une tendance faible ou quasi nulle à retenir les poussières ou salissures de toutes natures, traces de doigts, insectes, etc. La présence d'eau et/ou de salissures entraîne un aspect inesthétique et, le cas échéant, une diminution de la transparence du substrat ainsi qu'une altération de la vision à travers celui-ci. Ces dernières sont particulièrement gênantes lorsque le substrat est un vitrage  The present invention belongs to the field of substrates, in particular transparent substrates, endowed with the property of hydrophobicity / oleophobia with a view to obtaining certain anti-rain / anti-fouling effects. To this end, such a substrate is, for example, provided with a coating in the context of various applications, such as glazing for aeronautical, maritime, land (rail, road) transport vehicles, for building (windows), urban furniture (display panel, Bus shelter ...) or interior design (decorative panel, furniture), household appliances (refrigerator door, oven, display case, ceramic hob), kitchen utensils, sanitary furniture (sink, bathtub ...), building materials, etc. The substrate is therefore transparent or not and generally consists of glass, ceramic, glass ceramic, metal, plastic (poly (methyl methacrylate) (PMMA), polyvinyl butyral (PVB), polycarbonate (PC) or polyurethane (PU), ethylene copolymer / thermoplastic vinyl acetate (EVA), poly (ethylene terephthalate) (PET), poly (butylene terephthalate) (PBT), polycarbonate / polyester copolymers, cycloolefinic copolymer of the ethylene / norbornene or ethylene / cyclopentadiene type, ionomer resins , for example an ethylene / (meth) acrylic acid copolymer neutralized by a polyamine, thermosetting or thermosetting agents such as polyurethane, unsaturated polyester (UPE), ethylene / vinyl acetate copolymer ... or a combination of several of these materials The property of hydrophobicity / oleophobia to which reference is made relates to the fact that polar or non-polar liquids do not adhere to the substrate in form. ant a troublesome film. A substrate with this property will have a weak or almost zero tendency to retain dust or dirt of all kinds, fingerprints, insects, etc. The presence of water and / or soiling causes an unsightly appearance and, if necessary, a reduction in the transparency of the substrate as well as a deterioration of vision through it. These are particularly troublesome when the substrate is a glazing

utilisé dans le domaine du transport.  used in the transport sector.

La propriété d'hydrophobie/oléophobie - ou non-mouillabilité - d'un substrat consiste en ce que les angles de contact entre un liquide et ce substrat sont élevés, par exemple d'au moins 90 pour l'eau. Le liquide a alors tendance à s'écouler aisément, sous forme de gouttes, sur le substrat, par simple gravité si le substrat est incliné ou sous l'effet de forces aérodynamiques dans le cas d'un véhicule en mouvement. Des agents connus pour conférer cette propriété d'hydrophobie/oléophobie sont, par exemple, des alkylsilanes fluorés tels que décrits dans les  The hydrophobicity / oleophobicity - or non-wettability - property of a substrate consists in that the contact angles between a liquid and this substrate are high, for example at least 90 for water. The liquid then tends to flow easily, in the form of drops, on the substrate, by simple gravity if the substrate is inclined or under the effect of aerodynamic forces in the case of a moving vehicle. Agents known to impart this hydrophobicity / oleophobicity property are, for example, fluorinated alkylsilanes as described in

demandes de brevets EP 0 492 417, EP O 492 545 et EP 0 672 779.  Patent applications EP 0 492 417, EP O 492 545 and EP 0 672 779.

Les agents hydrophobes/oléophobes courants sont en particulier des alkyltrihalogéno- ou -trialkoxy-silanes dont le groupe alkyle comporte au moins une extrémité perfluorée, c'est-à-dire consistant en un groupement F3C-(CF2)n- dans lequel n est un nombre entier positif ou nul,  Common hydrophobic / oleophobic agents are in particular alkyltrihalogeno- or -trialkoxy-silanes in which the alkyl group comprises at least one perfluorinated end, that is to say consisting of a group F3C- (CF2) n- in which n is a positive or zero integer,

comme décrits dans la demande de brevet EP 0 719 743.  as described in patent application EP 0 719 743.

Les agents hydrophobes/oléophobes sont appliqués de manière connue en solution selon des modes de dépôt classiques avec ou sans chauffage. L'un des problèmes se posant avec le plus d'acuité dans le domaine de l'invention est celui de la durabilité du revêtement hydrophobe/oléophobe. Celle-ci est en effet affectée par l'érosion qui ne manque pas de se produire plus ou moins, par exemple au cours des opérations de nettoyage du substrat périodiquement indispensables lorsque celui-ci est transparent, lorsqu'il s'agit de restaurer une vision satisfaisante à travers le substrat. On cherche ainsi constamment à ralentir l'élimination progressive des revêtements hydrophobes/oléophobes de types précités qui se produit notamment sous l'action d'essuie-glaces, d'autant plus qu'une telle élimination peut, de  The hydrophobic / oleophobic agents are applied in a known manner in solution according to conventional deposition methods with or without heating. One of the most acute problems in the field of the invention is that of the durability of the hydrophobic / oleophobic coating. The latter is in fact affected by erosion which does not fail to occur more or less, for example during the cleaning operations of the substrate which are periodically essential when the latter is transparent, when it is a question of restoring a satisfactory vision through the substrate. It is thus constantly sought to slow down the progressive elimination of the hydrophobic / oleophobic coatings of the aforementioned types which occurs in particular under the action of wipers, all the more so since such elimination can,

surcroît, résulter d'une dégradation par le rayonnement ultraviolet.  moreover, result from degradation by ultraviolet radiation.

Deux voies principales ont jusqu'à présent été explorées pour  Two main routes have so far been explored for

augmenter la durabilité des revêtements en limitant les effets de l'érosion.  increase the durability of coatings by limiting the effects of erosion.

Ces deux voies consistent à augmenter l'adhésion des revêtements aux  These two ways consist in increasing the adhesion of coatings to

substrats.substrates.

Selon une première approche, la demande EP 0 484 746 préconise la préparation du substrat par un traitement préalable à l'aide d'un  According to a first approach, application EP 0 484 746 recommends the preparation of the substrate by a preliminary treatment using a

primaire du type tétrahalogéno- ou tétraalkoxy-silane.  primer of the tetrahalogeno- or tetraalkoxy-silane type.

La demande EP 0 497 189 A2 propose, conformément à une seconde approche, de créer au préalable à la surface du substrat des irrégularités de dimensions comprises par exemple entre 1 et micromètres, soit par apport de particules, soit par diverses attaques  Application EP 0 497 189 A2 proposes, in accordance with a second approach, to create beforehand on the surface of the substrate irregularities of dimensions ranging for example between 1 and micrometers, either by addition of particles, or by various attacks.

telles que chimique ou sablage.such as chemical or sandblasting.

On observe, d'autre part, couramment une disparition progressive de la propriété hydrophobe/oléophobe sous l'effet d'une exposition prolongée aux rayonnements ultraviolets qui détruisent plus ou moins les  On the other hand, a progressive disappearance of the hydrophobic / oleophobic property is commonly observed under the effect of prolonged exposure to ultraviolet radiation which more or less destroys the

revêtements hydrophobes/oléophobes.  hydrophobic / oleophobic coatings.

Il est précisé, d'autre part, que dans tous les cas la reformation d'un nouveau revêtement hydrophobe/oléophobe pour remédier à l'érosion du revêtement précédent ne pose pas de difficulté particulière; elle peut être effectuée sur le revêtement ancien, une fois que celui-ci a été succinctement nettoyé. L'intérêt de retarder autant que possible cette  It is specified, on the other hand, that in all cases the reformation of a new hydrophobic / oleophobic coating to remedy the erosion of the previous coating does not pose any particular difficulty; it can be carried out on the old coating, once it has been succinctly cleaned. The advantage of delaying this

opération demeure néanmoins évident.  operation remains obvious.

Les inventeurs ont à présent mis en oeuvre une technique différente permettant d'obtenir des revêtements hydrophobes/oléophobes à durabilité améliorée, en particulier dans des conditions exigeantes de frottement solide et d'exposition aux ultraviolets. A cet effet, l'invention a pour objet un procédé de formation d'un revêtement hydrophobe/oléophobe sur un substrat par ionisation d'au moins un précurseur. Ce procédé présente la particularité qu'au cours de cette formation, la température du substrat décroit de plus de 80 C à moins de 80 C. Pour ce faire, le substrat repose commodément sur un  The inventors have now implemented a different technique making it possible to obtain hydrophobic / oleophobic coatings with improved durability, in particular under demanding conditions of solid friction and exposure to ultraviolet light. To this end, the subject of the invention is a process for forming a hydrophobic / oleophobic coating on a substrate by ionization of at least one precursor. This process has the particularity that during this formation, the temperature of the substrate decreases from more than 80 C to less than 80 C. To do this, the substrate rests conveniently on

support thermostaté à température variable.  thermostated support with variable temperature.

Cette technique permet de former des revêtements en couches fines et homogènes, présentant une adhésion élevée vis à vis du substrat, et un indice de réfraction ajustable - par un choix judicieux du ou des  This technique makes it possible to form coatings in thin and homogeneous layers, having a high adhesion with respect to the substrate, and an adjustable refractive index - by a judicious choice of the

précurseurs - notamment à une valeur quasi identique à celle du verre.  precursors - especially at a value almost identical to that of glass.

Ainsi, selon un mode de réalisation avantageux du procédé de l'invention, le produit final est transparent et présente les qualités optiques d'un vitrage, le substrat est en verre ou en matière plastique telle que poly(méthacrylate de méthyle) (PMMA) ou polycarbonate (PC) éventuellement revêtue d'un primaire notamment à base de silice pour favoriser l'adhésion du revêtement sur-jacent, et ledit précurseur est un composé du silicium. Un précurseur organométallique, seul ou en combinaison avec un ou plusieurs autres précurseurs, notamment siliciés tels que mentionnés précédemment, peut également convenir: s'avère particulièrement approprié, par exemple, un composé comprenant des  Thus, according to an advantageous embodiment of the process of the invention, the final product is transparent and has the optical qualities of a glazing, the substrate is made of glass or plastic such as poly (methyl methacrylate) (PMMA) or polycarbonate (PC) optionally coated with a primer in particular based on silica to promote the adhesion of the overlying coating, and said precursor is a silicon compound. An organometallic precursor, alone or in combination with one or more other precursors, in particular silicon precursors as mentioned above, may also be suitable: proves to be particularly suitable, for example, a compound comprising

groupements oxyde d'étain répartis dans une chaîne carbonée.  tin oxide groups distributed in a carbon chain.

En tant que précurseurs siliciés, les suivants donnent pleinement satisfaction: - un silane tel que tétraméthylsilane, hexaméthyldisilane, un alkoxysilane, par exemple un alkoxytrialkylsilane dans lequel le groupe alkyle est un groupe méthyle, éthyle, propyle, isopropyle, le groupe méthyle étant préféré - un silane fluoré, notamment un perfluoroalkylalkl-ltrialkoxysilane ou un perfluoroalkylalkyltrihalogénosilane; - un siloxane tel qu'hexaméthyldisiloxane; - un silazane tel qu'hexaméthyldisilazane; - et leurs dérivés. De préférence, le précurseur est introduit dans une enceinte dans laquelle des impulsions de fréquence comprise entre 10 kHz et 10 GHz et de puissance comprise entre 100 et 2000 W pour une surface de substrat à revêtir de 0,4 m2 sont créées par un générateur, la puissance étant bien  As silicon precursors, the following give full satisfaction: - a silane such as tetramethylsilane, hexamethyldisilane, an alkoxysilane, for example an alkoxytrialkylsilane in which the alkyl group is a methyl, ethyl, propyl, isopropyl group, the methyl group being preferred - a fluorinated silane, in particular a perfluoroalkylalkl-ltrialkoxysilane or a perfluoroalkylalkyltrihalogénosilane; - a siloxane such as hexamethyldisiloxane; - a silazane such as hexamethyldisilazane; - and their derivatives. Preferably, the precursor is introduced into an enclosure in which pulses of frequency between 10 kHz and 10 GHz and of power between 100 and 2000 W for a surface of substrate to be coated of 0.4 m2 are created by a generator, power being good

entendu proportionnelle à la surface à revêtir.  heard proportional to the surface to be coated.

Selon un mode de réalisation particulièrement avantageux, le précurseur est le hexaméthyldisiloxane, introduit dans l'enceinte à un débit compris entre 50 et 500 cm3/min, de façon à y établir et maintenir  According to a particularly advantageous embodiment, the precursor is hexamethyldisiloxane, introduced into the enclosure at a flow rate of between 50 and 500 cm3 / min, so as to establish and maintain there

une pression de 0,1 à 70 Pa.a pressure of 0.1 to 70 Pa.

Par ailleurs, le procédé de l'invention comporte trois variantes principales. Selon la première, le précurseur vaporisé est introduit dans l'enceinte qui est reliée à la masse à travers une cathode poreuse ou  Furthermore, the method of the invention has three main variants. According to the first, the vaporized precursor is introduced into the enclosure which is connected to ground through a porous cathode or

percée de trous, reliée à un générateur d'impulsions.  pierced with holes, connected to a pulse generator.

Selon la seconde, le précurseur vaporisé est introduit dans l'enceinte qui est reliée à la masse à travers des rampes de gaz percées, et des ondes sont émises dans l'enceinte par un guide d'ondes relié à un générateur d'impulsions. Le guide d'ondes est par exemple métallique à section rectangulaire, et situé au-dessus de l'enceinte dont il épouse la forme; les ondes sont transmises à travers une fenêtre en quartz ménagée  According to the second, the vaporized precursor is introduced into the enclosure which is connected to ground through bored gas ramps, and waves are emitted into the enclosure by a waveguide connected to a pulse generator. The waveguide is for example metallic with a rectangular section, and located above the enclosure of which it follows the shape; the waves are transmitted through a quartz window provided

dans la paroi de l'enceinte.in the wall of the enclosure.

Selon la troisième variante principale, le précurseur vaporisé est introduit dans une enceinte reliée à la masse, et le substrat est revêtu d'une couche conductrice reliée à un générateur de courant alternatif. Une couche conductrice convenant parfaitement est à base d'oxydes métalliques sous-stoechiométriques et/ou dopés tels que l'oxyde d'indium dopé à l'étain ITO, l'oxyde de zinc dopé à l'indium ZnO:In, au fluor ZnO:F, à l'aluminium ZnO:Al ou à l'étain ZnO:Sn, l'oxyde d'étain dopé au fluor  According to the third main variant, the vaporized precursor is introduced into an enclosure connected to ground, and the substrate is coated with a conductive layer connected to an alternating current generator. A perfectly suitable conductive layer is based on substoichiometric and / or doped metal oxides such as indium oxide doped with tin ITO, zinc oxide doped with indium ZnO: In, with fluorine ZnO: F, with aluminum ZnO: Al or with tin ZnO: Sn, tin oxide doped with fluorine

SnO2:F ou à l'antimoine (tétravalent ou pentavalent) SnO2:Sb.  SnO2: F or antimony (tetravalent or pentavalent) SnO2: Sb.

Le substrat est donc utilisé ici comme électrode pour créer la décharge. Ce mode de réalisation est particulièrement indiqué pour un dépôt sur substrat de grande taille. L'homogénéité du revêtement produit est meilleure; les espèces chimiques activées n'ont pas le temps de diffuser de façon inhomogène entre la cathode et le substrat mais sont directement créées à la surface de celui-ci. Par rapport à la première variante mettant en oeuvre une cathode poreuse ou percée de trous, il est précisé que les dépôts doivent ici s'effectuer avec une faible puissance pour que la couche conductrice ne soit pas détruite lors de la décharge électrique: la puissance optimale pour une surface de dépôt de cm x 20 cm passe alors de 100 W à 25 W. Simultanément, la vitesse de  The substrate is therefore used here as an electrode to create the discharge. This embodiment is particularly indicated for a deposit on a large substrate. The homogeneity of the coating produced is better; the activated chemical species do not have time to diffuse inhomogeneously between the cathode and the substrate but are directly created on the surface of the latter. Compared to the first variant using a porous cathode or one pierced with holes, it is specified that the deposits must be carried out here with a low power so that the conductive layer is not destroyed during the electric discharge: the optimal power for a deposit area of cm x 20 cm then goes from 100 W to 25 W. Simultaneously, the speed of

dépôt est considérablement augmentée, par exemple de 0,5-0,6 A/s à 17-  deposit is greatly increased, for example from 0.5-0.6 A / s to 17-

38 A/s.38 A / s.

L'invention a d'autre part pour objet un substrat muni d'un revêtement hydrophobe/oléophobe extérieur, c'est-à-dire destiné à une exposition directe à l'atmosphère ambiante, et formé en mettant en oeuvre un procédé tel que décrit ci-dessus, l'épaisseur de ce revêtement hydrophobe/oléophobe étant comprise entre 10 et 100 nm, de préférence  The invention also relates to a substrate provided with an external hydrophobic / oleophobic coating, that is to say intended for direct exposure to the ambient atmosphere, and formed by implementing a process such as described above, the thickness of this hydrophobic / oleophobic coating being between 10 and 100 nm, preferably

entre 20 et 80 nm.between 20 and 80 nm.

D'autre part, il est souhaitable d'éviter des accumulations locales de charges électrostatiques qui apparaissent dans des applications telles que pare-brise d'avion, c'est-à-dire de prévoir au contraire l'évacuation de ces charges par conduction. Ces accumulations constituent en effet une source de craquèlement et destruction d'éventuelles couches empilées et notamment du revêtement hydrophobe/oléophobe. Les inventeurs proposent deux voies distinctes pour résoudre ce problème: - soit le revêtement hydrophobe/oléophobe lui- même est antistatique, - soit son épaisseur n'excède pas 50 nm, le substrat sur lequel il est  On the other hand, it is desirable to avoid local accumulations of electrostatic charges which appear in applications such as aircraft windshields, that is to say on the contrary to provide for the evacuation of these charges by conduction. . These accumulations indeed constitute a source of cracking and destruction of any stacked layers and in particular of the hydrophobic / oleophobic coating. The inventors propose two distinct ways to solve this problem: - either the hydrophobic / oleophobic coating itself is antistatic, - or its thickness does not exceed 50 nm, the substrate on which it is

formé étant antistatique.formed being antistatic.

Peuvent être employés comme matériaux antistatiques, ceux cités ci- dessus pour la couche conductrice utilisée conformément à la troisième variante du procédé de l'invention. et/ou des matériaux formés par des procédés similaires à ceux utilisés pour la formation du revêtement hydrophobe/oléophobe. De plus, le revêtement hydrophobe/oléophobe peut être rendu antistatique par exemple en ajoutant à l'hexaméthyldisiloxane utilisé comme précurseur, une certaine proportion de SiH4, de manière à créer dans le revêtement produit des liaisons Si- Si; CH4 est à cet égard susceptible d'assumer une fonction analogue à celle de  Can be used as antistatic materials, those mentioned above for the conductive layer used in accordance with the third variant of the process of the invention. and / or materials formed by methods similar to those used for the formation of the hydrophobic / oleophobic coating. In addition, the hydrophobic / oleophobic coating can be made antistatic, for example by adding to the hexamethyldisiloxane used as precursor, a certain proportion of SiH4, so as to create in the coating produces Si-Si bonds; CH4 is in this respect capable of assuming a function analogous to that of

SiH4, de même que des sels métalliques du type acétylacétonate de cuivre.  SiH4, as well as metal salts of the copper acetylacetonate type.

L'invention met également à disposition, de manière particulièrement avantageuse, un substrat comportant un revêtement antireflet recouvert par ledit revêtement hydrophobe/oléophobe ou dont ce  The invention also makes available, in a particularly advantageous manner, a substrate comprising an anti-reflective coating covered by said hydrophobic / oleophobic coating or whose

dernier constitue la partie extérieure.  the latter constitutes the outer part.

Un revêtement antireflet est usuellement constitué d'un empilement de couches minces interférentielles, en général une alternance de couches  An anti-reflective coating usually consists of a stack of thin interference layers, generally an alternation of layers

à base de matériau diélectrique à forts et faibles indices de réfraction.  based on dielectric material with high and low refractive indices.

Déposé sur un substrat transparent, un tel revêtement a pour fonction d'en diminuer la réflexion lumineuse, donc d'en augmenter la  Deposited on a transparent substrate, such a coating has the function of reducing the light reflection, therefore increasing the

transmission lumineuse.light transmission.

En face extérieure d'un pare-brise automobile, pour lequel des niveaux élevés de transmission lumineuse, en général supérieurs à 75 %, et un flou résiduel très faible (inférieur à 1 % de la lumière transmise) sont imposés, l'effet antireflet a pour conséquence l'amélioration du confort  On the outside of an automobile windshield, for which high levels of light transmission, generally greater than 75%, and very low residual blurring (less than 1% of the transmitted light) are imposed, the anti-reflection effect results in improved comfort

visuel du conducteur et des passagers.  visual of the driver and passengers.

Les inventeurs rendent possible la formation consécutive d'un revêtement antireflet et d'un revêtement hydrophobe/oléophobe en utilisant une seule installation et des procédés similaires voire identiques, avec obtention d'une excellente adhésion entre les deux revêtements, ou bien encore la formation d'un revêtement à la fois antireflet et hydrophobe/oléophobe. En effet, de tels revêtements peuvent notamment être obtenus en appliquant à des compositions de précurseurs variables  The inventors make possible the subsequent formation of an anti-reflective coating and a hydrophobic / oleophobic coating using a single installation and similar or even identical processes, with excellent adhesion between the two coatings being obtained, or alternatively the formation of '' an anti-reflective and hydrophobic / oleophobic coating. Indeed, such coatings can in particular be obtained by applying to compositions of variable precursors

dans le temps une technique de CVD plasma à radiofréquence ou à micro-  over time a plasma CVD technique at radio frequency or micro-

ondes. Les compositions de précurseurs varient de manière discontinue (couches distinctes) ou continue (couche unique à gradient de composition). Les différents précurseurs mis en oeuvre sont choisis en vue de l'obtention de matériaux d'indices de réfraction différents. De tels matériaux sont par exemple à base de SiOxN, avec x et v variant  waves. The precursor compositions vary discontinuously (separate layers) or continuously (single layer with composition gradient). The different precursors used are chosen with a view to obtaining materials with different refractive indices. Such materials are for example based on SiOxN, with x and v varying

respectivement entre 0 et 2 et entre 0 et 1,33.  between 0 and 2 respectively and between 0 and 1.33.

Un autre objet de l'invention est un vitrage monolithique, feuilleté ou multiple pour le bâtiment ou pour véhicule de transport, dont au moins une face destinée à être en contact avec l'atmosphère ambiante et constituée par un revêtement hydrophobe/oléophobe formé sur un  Another object of the invention is a monolithic, laminated or multiple glazing for the building or for transport vehicle, at least one face intended to be in contact with the ambient atmosphere and constituted by a hydrophobic / oleophobic coating formed on a

substrat en mettant en oeuvre un procédé tel que décrit ci-dessus.  substrate by implementing a method as described above.

D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront  Other characteristics and advantages of the invention will appear

dans la description de l'exemple qui suit:  in the description of the following example:

EXEMPLEEXAMPLE

Sur trois échantillons de verre silico-sodo-calcique flotté de 20 cm x cm, on dépose un revêtement hydrophobe/oléophobe conformément à  A hydrophobic / oleophobic coating is applied to three samples of soda-lime-silica float glass of 20 cm x cm.

la procédure suivante.the following procedure.

Les échantillons sont posés consécutivement sur un support  The samples are placed consecutively on a support

thermostaté à température variable, dans une enceinte reliée à la masse.  thermostatically controlled at variable temperature, in a grounded enclosure.

Du hexaméthyldisiloxane (HMDSO) vaporisé est envoyé dans l'enceinte à travers une cathode percée de trous de 2 mm de diamètre, qui a été préférée à une cathode poreuse, car dans le cas présent elle semble procurer une meilleure stabilité du plasma. Le débit de HMDSO est de 300 cm3/min et permet d'établir et maintenir dans l'enceinte une pression  Hexamethyldisiloxane (HMDSO) vaporized is sent into the enclosure through a cathode pierced with holes of 2 mm in diameter, which was preferred to a porous cathode, because in the present case it seems to provide better stability of the plasma. The HMDSO flow rate is 300 cm3 / min and makes it possible to establish and maintain a pressure in the enclosure.

de HMDSO de 6,67 Pa.of HMDSO of 6.67 Pa.

Le plasma est créé par transmission d'ondes dans l'enceinte à une fréquence et une puissance de 100 kHz, respectivement 100 W. La vitesse de dépôt du revêtement hydrophobe/oléophobe ainsi obtenue est 0,5 A/s. Pour les trois échantillons, la durée de dépôt est  The plasma is created by transmission of waves in the enclosure at a frequency and a power of 100 kHz, respectively 100 W. The deposition rate of the hydrophobic / oleophobic coating thus obtained is 0.5 A / s. For the three samples, the duration of deposit is

800 s, correspondant à une épaisseur du revêtement de 40 nm.  800 s, corresponding to a coating thickness of 40 nm.

Les deux premiers échantillons sont maintenus à température constante pendant toute la durée du dépôt, c'est-à-dire à 200 C, respectivement à température ambiante. Le troisième échantillon est à C pendant la première moitié du traitement, puis à température  The first two samples are kept at constant temperature throughout the duration of the deposition, that is to say at 200 ° C., respectively at room temperature. The third sample is at C during the first half of the treatment, then at temperature

ambiante pendant la seconde.ambient for the second.

On évalue en premier lieu la résistance à l'érosion des trois revêtements en mesurant la persistance de la propriété hydrophobe/oléophobe au cours d'un essai Taber effectué avec une charge de 500 g et des meules CS 10 F. On mesure pour ce faire l'angle de contact de l'eau à l'équilibre en l'absence d'abrasion d'une part et après  The resistance to erosion of the three coatings is first evaluated by measuring the persistence of the hydrophobic / oleophobic property during a Taber test carried out with a load of 500 g and CS 10 F grinding wheels. the contact angle of the water at equilibrium in the absence of abrasion on the one hand and after

100 tours de meule d'autre part.100 wheel turns on the other hand.

En second lieu est évaluée la résistance au rayonnement ultraviolet par mesure de l'angle de contact de l'eau à l'équilibre après 1000 h d'essai au Weather-Ometer (WOM) combinant une sollicitation ultraviolette et une  Secondly, the resistance to ultraviolet radiation is evaluated by measuring the contact angle of water at equilibrium after 1000 h of weather-ometer (WOM) test combining an ultraviolet stress and a

température de 90 C.temperature of 90 C.

Les résultats sont consignés dans le tableau suivant: Couche déposée Couche déposée Bicouche 200 C/ à 200 C à température température ambiante ambiante Eau initial 100 + 5 100 + 5 100 + 5 Eau après 90 < 50' 80 tours Taber Eau après 70 84- 84 1000 h WOM Il apparaît que la couche déposée à 200 C résiste à l'abrasion mais beaucoup moins bien au rayonnement UV, à l'inverse de la couche déposée à température ambiante. Seul le troisième revêtement, conforme à  The results are recorded in the following table: Deposited layer Deposited layer Two-layer 200 C / at 200 C at room temperature ambient temperature Initial water 100 + 5 100 + 5 100 + 5 Water after 90 <50 '80 turns Taber Water after 70 84- 84 1000 h WOM It appears that the layer deposited at 200 C resists abrasion but much less well to UV radiation, unlike the layer deposited at room temperature. Only the third coating, conforming to

l'invention, résiste de manière satisfaisante aux deux sollicitations.  the invention resists satisfactorily both stresses.

Ceci reste valable dans les conditions réelles d'utilisation o les deux causes d'usure coexistent, notamment sous forme de combinaison de l'action d'essuie-glaces et du rayonnement solaire. On observe en effet une durabilité accrue, vis à vis de l'abrasion, de la couche déposée à température ambiante sur la couche déposée à 200 C par rapport à la 1o couche déposée à température ambiante directement sur le verre. Il est supposé que l'adhésion et la cohésion dans l'épaisseur de cette couche  This remains valid under real conditions of use where the two causes of wear coexist, in particular in the form of a combination of the wiper action and solar radiation. Increased durability is observed, with respect to abrasion, of the layer deposited at room temperature on the layer deposited at 200 ° C. compared with the 1o layer deposited at room temperature directly on the glass. It is assumed that the adhesion and cohesion in the thickness of this layer

sont supérieures dans le premier cas.  are higher in the first case.

Un autre avantage remarquable du revêtement formé selon le procédé de l'invention est sa tenue au cycle thermique de bombage (8 minutes à 620 C puis refroidissement à température ambiante) au cours  Another remarkable advantage of the coating formed according to the process of the invention is its resistance to the thermal bending cycle (8 minutes at 620 ° C. then cooling to ambient temperature) during

duquel l'angle de contact de l'eau à l'équilibre passe de 100 à 96 .  which the contact angle of water at equilibrium goes from 100 to 96.

Ainsi l'invention met-elle à disposition un revêtement hydrophobe/oléophobe excellent pour un substrat transparent tel que le 1o verre; l'indice de réfraction du revêtement de HMDSO de l'exemple  Thus, the invention provides a hydrophobic / oleophobic coating which is excellent for a transparent substrate such as 1o glass; the refractive index of the HMDSO coating of the example

n _ 1,47 est très proche de celui du verre.  n _ 1.47 is very close to that of glass.

La durabilité du revêtement est également excellente, même dans des conditions rigoureuses d'abrasion et d'exposition au rayonnement ultraviolet.  The durability of the coating is also excellent, even under severe conditions of abrasion and exposure to ultraviolet radiation.

Claims (14)

REVENDICATIONS 1. Procédé de formation d'un revêtement hydrophobe/oléophobe sur un substrat par ionisation d'au moins un précurseur, caractérisé en ce qu'au cours de cette formation la température du substrat décroît d'une température supérieure à 80 C à une température inférieure à 80 C.  1. Method for forming a hydrophobic / oleophobic coating on a substrate by ionization of at least one precursor, characterized in that during this formation the temperature of the substrate decreases from a temperature above 80 C to a temperature less than 80 C. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le produit final est transparent et présente les qualités optiques d'un vitrage, en ce que le substrat est en verre ou en matière plastique telle que poly(méthacrylate de méthyle) (PMMA) ou polycarbonate (PC) o0 éventuellement revêtue d'un primaire, notamment à base de silice, pour favoriser l'adhésion du revêtement sur-jacent, et en ce que ledit2. Method according to claim 1, characterized in that the final product is transparent and has the optical qualities of a glazing, in that the substrate is glass or plastic such as poly (methyl methacrylate) (PMMA) or polycarbonate (PC) o0 optionally coated with a primer, in particular based on silica, to promote the adhesion of the overlying coating, and in that said précurseur est un composé du silicium.  precursor is a compound of silicon. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit composé du silicium est choisi parmi: - un silane tel que tétraméthylsilane, hexaméthyldisilane, un alkoxysilane, par exemple un alkoxytrialkylsilane, dans lequel le groupe alkvle est un groupe méthyle, éthyle, propyle, isopropyle, le groupe méthyle étant préféré; - un silane fluoré, notamment un perfluoroalkylalkyltrialkoxysilane ou un perfluoroalkylalkyltrihalogénosilane; - un siloxane tel qu'hexaméthyldisiloxane; - un silazane tel qu'hexaméthytdisilazane;  3. Method according to claim 2, characterized in that said silicon compound is chosen from: - a silane such as tetramethylsilane, hexamethyldisilane, an alkoxysilane, for example an alkoxytrialkylsilane, in which the alkyl group is a methyl, ethyl, propyl group , isopropyl, the methyl group being preferred; - a fluorinated silane, in particular a perfluoroalkylalkyltrialkoxysilane or a perfluoroalkylalkyltrihalosilane; - a siloxane such as hexamethyldisiloxane; - a silazane such as hexamethytdisilazane; - et leurs dérivés.- and their derivatives. 4. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé  4. Method according to one of the preceding claims, characterized en ce que le précurseur est introduit dans une enceinte dans laquelle des impulsions de fréquence comprise entre 10 kHz et 10 GHz et de puissance comprise entre 100 et 2000 W pour une surface de substrat à revêtir de  in that the precursor is introduced into an enclosure in which pulses of frequency between 10 kHz and 10 GHz and of power between 100 and 2000 W for a surface of substrate to be coated with 0,4 m2 sont créées par un générateur.  0.4 m2 are created by a generator. 5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le précurseur est le hexaméthyldisiloxane, introduit dans l'enceinte à un débit compris entre 50 et 500 cm3/min, de façon à y établir et maintenir  5. Method according to claim 4, characterized in that the precursor is hexamethyldisiloxane, introduced into the enclosure at a flow rate between 50 and 500 cm3 / min, so as to establish and maintain there une pression de 0,1 à 70 Pa.a pressure of 0.1 to 70 Pa. 6. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé  6. Method according to one of the preceding claims, characterized en ce que le précurseur vaporisé est introduit dans une enceinte reliée à la masse à travers une cathode poreuse ou percée de trous reliée à un  in that the vaporized precursor is introduced into an enclosure connected to ground through a porous cathode or pierced with holes connected to a générateur d'impulsions.pulse generator. 7. Procédé selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce  7. Method according to one of claims 1 to 5, characterized in that que le précurseur vaporisé est introduit dans l'enceinte qui est reliée à la masse à travers des rampes de gaz percées, et des ondes sont émises dans  that the vaporized precursor is introduced into the enclosure which is connected to ground through pierced gas ramps, and waves are emitted in l'enceinte par un guide d'ondes relié à un générateur d'impulsions.  the enclosure by a waveguide connected to a pulse generator. 8. Procédé selon l'une des revendications i à 5, caractérisé en ce  8. Method according to one of claims i to 5, characterized in that que le précurseur vaporisé est introduit dans une enceinte reliée à la masse, et en ce que le substrat est revêtu d'une couche conductrice reliée  that the vaporized precursor is introduced into an enclosure connected to ground, and that the substrate is coated with a conductive layer connected à un générateur de courant alternatif.  to an alternating current generator. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que la couche conductrice est à base d'oxydes métalliques sous-stoechiométriques et/ou dopés tels que l'oxyde d'indium dopé à l'étain ITO, l'oxyde de zinc dopé à l'indium ZnO:In, au fluor ZnO:F, à l'aluminium ZnO:Al, ou à l'étain ZnO:Sn, l'oxyde d'étain dopé au fluor SnO2:F ou à l'antimoine (tétravalent  9. Method according to claim 8, characterized in that the conductive layer is based on sub-stoichiometric and / or doped metal oxides such as indium oxide doped with tin ITO, zinc oxide doped indium ZnO: In, fluorine ZnO: F, aluminum ZnO: Al, or tin ZnO: Sn, tin oxide doped with fluorine SnO2: F or antimony (tetravalent ou pentavalent) SnO2:Sb.or pentavalent) SnO2: Sb. 10. Substrat muni d'un revêtement hydrophobe/oléophobe extérieur  10. Substrate provided with an exterior hydrophobic / oleophobic coating formé par un procédé selon l'une des revendications 1 à 9, l'épaisseur de  formed by a method according to one of claims 1 to 9, the thickness of ce revêtement étant comprise entre 10 et 100 nm, de préférence entre 20  this coating being between 10 and 100 nm, preferably between 20 et 80 nm.and 80 nm. 11. Substrat selon la revendication 10, caractérisé en ce que ledit  11. Substrate according to claim 10, characterized in that said revêtement hydrophobe/oléophobe est antistatique.  hydrophobic / oleophobic coating is antistatic. 12. Substrat selon la revendication 10, caractérisé en ce que ledit revêtement hydrophobe/oléophobe a une épaisseur au plus égale à 50 nm  12. Substrate according to claim 10, characterized in that said hydrophobic / oleophobic coating has a thickness at most equal to 50 nm et ledit substrat est antistatique.and said substrate is antistatic. 13. Substrat selon l'une des revendications 10 à 12, comportant un  13. Substrate according to one of claims 10 to 12, comprising a revêtement antireflet, dont ledit revêtement hydrophobe/oléophobe  anti-reflective coating, including said hydrophobic / oleophobic coating constitue éventuellement la partie extérieure.  possibly constitutes the external part. 14. Vitrage monolithique, feuilleté ou multiple pour le bâtiment ou pour véhicule de transport, dont au moins une face destinée à être en contact avec l'atmosphère ambiante est constituée par un revêtement hydrophobe/oléophobe formé sur un substrat en mettant en oeuvre un  14. Monolithic, laminated or multiple glazing for the building or for transport vehicle, at least one face of which is intended to be in contact with the ambient atmosphere is constituted by a hydrophobic / oleophobic coating formed on a substrate by employing a procédé selon l'une des revendications 1 à 9.  method according to one of claims 1 to 9.
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