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FR2394115B1 - Procede et dispositif pour realiser le positionnement automatique d'une piece a travailler par rapport a un champ d'exploration ou a un masque - Google Patents

Procede et dispositif pour realiser le positionnement automatique d'une piece a travailler par rapport a un champ d'exploration ou a un masque

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FR2394115B1
FR2394115B1 FR7816428A FR7816428A FR2394115B1 FR 2394115 B1 FR2394115 B1 FR 2394115B1 FR 7816428 A FR7816428 A FR 7816428A FR 7816428 A FR7816428 A FR 7816428A FR 2394115 B1 FR2394115 B1 FR 2394115B1
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FR
France
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mask
realizing
automatic positioning
workpiece relative
exploration field
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FR7816428A
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FR2394115A1 (fr
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
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Publication date
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
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Publication of FR2394115B1 publication Critical patent/FR2394115B1/fr
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H01J37/3045—Object or beam position registration

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
FR7816428A 1977-06-08 1978-06-01 Procede et dispositif pour realiser le positionnement automatique d'une piece a travailler par rapport a un champ d'exploration ou a un masque Expired FR2394115B1 (fr)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2726173A DE2726173C2 (de) 1977-06-08 1977-06-08 Verfahren und Schaltung zur automatischen Positionierung eines Werkstückes relativ zu einem Abtastfeld bzw. zu einer Maske, sowie Verwendung des Verfahrens

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2394115A1 FR2394115A1 (fr) 1979-01-05
FR2394115B1 true FR2394115B1 (fr) 1987-01-30

Family

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FR7816428A Expired FR2394115B1 (fr) 1977-06-08 1978-06-01 Procede et dispositif pour realiser le positionnement automatique d'une piece a travailler par rapport a un champ d'exploration ou a un masque

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US (1) US4219719A (fr)
JP (1) JPS605221B2 (fr)
DE (1) DE2726173C2 (fr)
FR (1) FR2394115B1 (fr)
NL (1) NL7805320A (fr)

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DE2726173A1 (de) 1978-12-14
NL7805320A (nl) 1978-12-12
FR2394115A1 (fr) 1979-01-05
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